KR20110095023A - Apparatus for manufacturing solar cells - Google Patents

Apparatus for manufacturing solar cells Download PDF

Info

Publication number
KR20110095023A
KR20110095023A KR1020100014812A KR20100014812A KR20110095023A KR 20110095023 A KR20110095023 A KR 20110095023A KR 1020100014812 A KR1020100014812 A KR 1020100014812A KR 20100014812 A KR20100014812 A KR 20100014812A KR 20110095023 A KR20110095023 A KR 20110095023A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
solar cell
work table
unit
sorting
inspection unit
Prior art date
Application number
KR1020100014812A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
정현권
Original Assignee
한미반도체 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한미반도체 주식회사 filed Critical 한미반도체 주식회사
Priority to KR1020100014812A priority Critical patent/KR20110095023A/en
Publication of KR20110095023A publication Critical patent/KR20110095023A/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

PURPOSE: An apparatus for manufacturing a solar cell is provided to improve productivity and yield by minimizing the number of solar cell handling processes. CONSTITUTION: A work table(20) transfers a solar cell to a preset position and includes a plurality of receiving units. A process implementing unit is composed of an edge isolation process unit(31) and a defect check unit(33). A sorting unit sorts the solar cells transferred from the work table according to the test result. A vision check unit(60) is located between the work table and the sorting unit.

Description

태양전지 셀 제조장치{Apparatus for Manufacturing Solar Cells} Solar cell manufacturing apparatus {Apparatus for Manufacturing Solar Cells}

본 발명은 태양전지 셀을 검사하는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 하나의 장비에서 태양전지 셀의 p층과 n층 간의 절연선을 형성하는 에지 아이솔레이션(edge isolation) 공정과 태양전지 셀의 전기적 성능 검사, 미세한 균열(micro-crack) 등의 결함 검사 등을 연속적으로 수행하고, 검사가 완료된 태양전지 셀의 검사 결과 별로 분류하여 적재할 수 있는 태양전지 셀 제조장치에 관한 것이다. The present invention relates to a device for inspecting a solar cell, and more particularly, an edge isolation process for forming an insulation line between the p layer and the n layer of the solar cell in one device and the electrical performance of the solar cell. The present invention relates to a solar cell manufacturing apparatus capable of continuously performing defect inspection such as inspection and micro-crack, and classifying and loading by inspection result of a solar cell in which the inspection is completed.

태양전지 셀(Solar Cell)은 태양에너지를 전기에너지로 변환시켜주는 역할을 하는 것으로, 반도체 재료인 실리콘, 갈륨비소, 카드뮴 텔루르, 황화카드뮴, 인듐인(燐) 또는 이들을 복합한 재료들이 사용되며, 통상적으로는 주로 실리콘이 이용된다.Solar cells convert solar energy into electrical energy, and semiconductor materials such as silicon, gallium arsenide, cadmium tellurium, cadmium sulfide, indium phosphide, or a combination thereof are used. Usually, mainly silicon is used.

상기 태양전지 셀은 반도체 재료를 확산법에 의해 p-n접합시켜 제조되며, 빛을 받을 때 작은 양의 전류가 흐르게 되는 광전효과(photovoltaic effect)를 이용한 것으로, 대부분 보통의 태양전지 셀은 대면적의 p-n 접합 다이오드로 이루어져 있으며, 상기 p-n접합 다이오드의 양극단에 발생된 기전력을 외부 회로에 연결하면 단위 태양전지로서 작용하게 된다.The solar cell is manufactured by a pn junction of a semiconductor material by a diffusion method, using a photovoltaic effect that a small amount of current flows when receiving the light, most of the conventional solar cell is a large area pn junction It consists of a diode, and when the electromotive force generated at the anode end of the pn junction diode is connected to an external circuit, it acts as a unit solar cell.

이러한 태양전지 셀은 p형 실리콘 기판에 POCl3 등의 n형 물질을 확산시킴으로써 p-n 접합을 형성한 다음, 반사방지막, 전면 전극 및 후면 전극을 형성하고, 셀 가장자리(edge)를 따라 레이저를 조사하여 전면과 후면을 절연시키는 에지 아이솔레이션(edge isolation) 공정을 수행하여 제조된다. 이와 같이 제조된 태양전지 셀은 컨베이어와 같은 반송라인을 따라 반송되면서 테스터에 의해 전기적 성능 검사 및 미세한 균열(micro-crack) 등의 결함 검사가 수행된 후 출하되거나 모듈 공정으로 투입된다. Such a solar cell forms a pn junction by diffusing an n-type material such as POCl3 on a p-type silicon substrate, and then forms an antireflection film, a front electrode, and a back electrode, and irradiates a laser along the cell edge to the front surface. It is manufactured by performing an edge isolation process that insulates the back and back. The solar cells manufactured as described above are transported along a conveying line such as a conveyor, and then shipped by the tester or defect inspection such as micro-crack, and then shipped or introduced into a module process.

그런데, 종래에는 태양전지 셀에 에지 아이솔레이션(edge isolation) 공정을 수행하는 장비와 전기적 성능 검사 및 미세한 균열(micro-crack) 등의 결함 검사를 수행하는 장비가 모두 개별적으로 만들어져 인라인(in-line) 상으로 배열되기 때문에 전체 공정 라인이 차지하는 면적이 매우 넓고, 태양전지 셀을 픽업하여 지정된 공정 장비로 반송하고 정렬하는 등의 핸들링 횟수가 많아 시간이 많이 소요될 뿐만 아니라 핸들링 과정에서 태양전지 셀이 파손될 확률이 높은 문제가 있었다.
However, in the related art, equipment for performing an edge isolation process on a solar cell and equipment for performing defect inspection such as electrical performance inspection and micro-crack are all separately made in-line. Since the entire process line occupies a very large area, the handling time such as picking up the solar cells, returning them to the designated process equipment, and aligning them is very time consuming, and the probability of damage of the solar cells in the handling process is high. There was a high problem.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 하나의 장비에서 에지 아이솔레이션 공정, 전기적 성능 검사 등의 검사 공정을 연속적으로 수행할 수 있으며, 태양전지 셀을 픽업하여 지정된 공정 위치로 반송하고 정렬하는 등의 핸들링 횟수를 최소화함으로써 신속하고 안전하게 태양전지 셀을 핸들링할 수 있는 태양전지 셀 제조장치를 제공함에 있다. The present invention is to solve the above problems, an object of the present invention is to perform a continuous inspection process, such as edge isolation process, electrical performance test in a single equipment, picking up a solar cell specified process location It is to provide a solar cell manufacturing apparatus that can handle the solar cell quickly and safely by minimizing the number of handling such as conveying and sorting.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 태양전지 셀이 안착되는 안착부를 구비하며, 임의의 각도로 회전하면서 태양전지 셀을 지정된 공정 위치로 반송하는 워크테이블과; 상기 워크테이블의 회전 경로 상에 배치되어, 워크테이블에 안착된 태양전지 셀에 지정된 공정을 순차적으로 수행하는 복수의 공정수행부와; 상기 워크테이블에서 반송된 공정이 완료된 태양전지 셀을 검사 결과에 따라 분류 수납하는 소팅부와; 상류측에 위치한 이전 공정 장비의 오프로더부로부터 상기 워크테이블의 안착부로, 상기 워크테이블로부터 소팅부로 태양전지 셀을 반송하는 반송유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치를 제공한다.
The present invention for achieving the above object is provided with a seating portion on which the solar cell is seated, a worktable for conveying the solar cell to a designated process position while rotating at an arbitrary angle; A plurality of process execution units disposed on a rotation path of the work table to sequentially perform a process designated to a solar cell seated on the work table; A sorting unit configured to classify and store the solar cells in which the process returned from the work table is completed according to an inspection result; It provides a solar cell manufacturing apparatus comprising a conveying unit for transporting the solar cell from the off-loader portion of the previous process equipment located upstream to the seating portion of the work table, from the work table to the sorting portion.

이러한 본 발명에 따르면, 태양전지 셀이 워크테이블 상에 안착되어 일정 각도로 회전하면서 각 공정 위치로 이동하여 지정된 공정이 수행되고, 지정된 공정 수행이 완료된 후 소팅부로 반송되어 검사 결과 별로 분류되어 적재된다. 따라서, 전체적인 장비의 크기를 대폭 줄일 수 있으며, 태양전지 셀을 픽업하여 지정된 공정 위치로 반송하고 정렬하는 등의 핸들링 횟수를 대폭 줄일 수 있으므로 생산성 및 수율이 현저히 향상되는 이점을 얻을 수 있다.
According to the present invention, a solar cell is seated on a worktable and rotated at a predetermined angle to move to each process position to perform a designated process, and after the designated process is completed, it is returned to the sorting unit and sorted by inspection results and loaded. . Therefore, the overall size of the equipment can be greatly reduced, and the number of handling such as picking up the solar cells, transporting them to a designated process position, and aligning them can be greatly reduced, thereby achieving an advantage of significantly improving productivity and yield.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 태양전지 셀 제조장치의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 태양전지 셀 제조장치의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 3은 도 2의 태양전지 셀 제조장치의 변형 실시예를 나타내는 평면도이다. 1 is a plan view schematically showing the configuration of a solar cell manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a plan view schematically showing the configuration of a solar cell manufacturing apparatus according to another embodiment of the present invention.
3 is a plan view illustrating a modified embodiment of the solar cell manufacturing apparatus of FIG.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 태양전지 셀 제조장치의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail preferred embodiments of the solar cell manufacturing apparatus according to the present invention.

먼저, 도 1을 참조하면, 본 발명의 첫번째 실시예에 따른 태양전지 셀 제조장치는 이전 공정 장비로부터 작업 대상 태양전지 셀(S)이 공급되는 오프로더부(10)와, 수직한 축을 중심으로 회전 가능하게 설치되어 일정 각도로 회전하면서 태양전지 셀을 지정된 공정 위치로 반송하는 워크테이블(20)과, 상기 워크테이블의 회전 경로 상에 배치되어 지정된 공정을 수행하는 공정수행부와, 상기 워크테이블(20)에서 반송된 공정이 완료된 태양전지 셀(S)을 검사 결과에 따라 분류 수납하는 소팅부(40)를 구비한다. First, referring to FIG. 1, an apparatus for manufacturing a solar cell according to a first embodiment of the present invention rotates about an off-loader unit 10 to which a target solar cell S is supplied from a previous process equipment and a vertical axis. A work table 20 capable of being installed and rotating at a predetermined angle to convey the solar cells to a designated process position, a process performing portion arranged on a rotation path of the work table to perform a designated process, and the work table ( The sorting part 40 which sorts and accommodates the solar cell S which completed the process conveyed in 20) according to a test result is provided.

도면에 도시하지는 않았으나, 이전 공정 장비의 오프로더부(10)와 워크테이블(20) 사이에는 상기 오프로더부(10)에서 작업 대상 태양전지 셀(S)을 픽업하여 워크테이블(20)로 반송하여 내려놓는 로딩픽커(미도시)가 구성되고, 상기 워크테이블(20)과 소팅부(40) 사이에는 워크테이블(20)에서 공정이 수행된 태양전지 셀(S)을 픽업하여 소팅부(40)로 반송하는 언로딩픽커(미도시)가 구성된다. 상기 로딩픽커와 언로딩픽커는 진공압에 의해 태양전지 셀을 진공 흡착할 수 있는 공지의 기판 핸들링용 픽커를 이용하여 구성할 수 있다. 또한, 물리적으로 직접 접촉하지 않는 비접촉식 픽커(예를 들어 베르누이 픽커)를 이용하여 구성할 수 있다. Although not shown in the drawings, between the offloader 10 and the worktable 20 of the previous process equipment, the offloader 10 picks up the work target solar cell S and returns it to the worktable 20. A loading picker (not shown) is placed, and between the work table 20 and the sorting unit 40, the solar cell S, which has been processed in the work table 20, is picked up to the sorting unit 40. The unloading picker (not shown) which conveys is comprised. The loading picker and the unloading picker may be configured using a known substrate handling picker capable of vacuum adsorption of a solar cell by vacuum pressure. It can also be configured using a non-contact picker (e.g. Bernoulli picker) that is not in direct physical contact.

그리고, 상기 오프로더부(10)와 워크테이블(20) 사이의 하측에는 상기 로딩픽커(미도시)에 픽업된 태양전지 셀(S)을 촬영하는 위치정렬용 비전카메라(50)가 설치된다. In addition, a position alignment vision camera 50 for photographing the solar cell S picked up by the loading picker (not shown) is installed below the offloader 10 and the work table 20.

상기 오프로더부(10)는 이전 공정 장비에 설치된 부분으로, 컨베이어(11)를 통해 작업 대상 태양전지 셀(S)을 본 발명의 태양전지 셀 제조장치로 공급하는 기능을 한다. The offloader unit 10 is a part installed in the previous process equipment, and functions to supply the solar cell S to be operated to the solar cell manufacturing apparatus of the present invention through the conveyor 11.

상기 워크테이블(20)은 태양전지 셀(S)이 안착되어 고정되는 복수개의 안착부(21)를 구비한다. 상기 안착부(21)에는 태양전지 셀을 안정적으로 고정할 수 있도록 복수개의 진공홀(미도시)이 형성될 수 있다. 그리고, 상기 워크테이블(20)은 공지의 회전운동장치에 의해 수직한 축을 중심으로 임의의 각도로 회전하면서 상기 안착부(21) 상에 안착된 태양전지 셀(S)을 각각의 공정 위치로 순차적으로 반송하는 기능을 수행한다. 이 실시예에서는 작업의 속도를 향상시키기 위하여 2개의 워크테이블(20)이 서로 독립적으로 회전하면서 태양전지 셀을 각각의 공정수행부 하측으로 반송하고, 각각의 워크테이블(20) 상에 공정수행부가 동일하게 구성되어 있다.The work table 20 includes a plurality of mounting parts 21 on which the solar cell S is mounted and fixed. A plurality of vacuum holes (not shown) may be formed in the seating part 21 to stably fix the solar cell. In addition, the work table 20 sequentially rotates the solar cell S mounted on the seating part 21 to each process position while rotating at a predetermined angle about a vertical axis by a known rotary motion device. Perform a function to return to. In this embodiment, the two worktables 20 are rotated independently of each other in order to improve the speed of the work while conveying the solar cells to the lower side of each process performing section, and the process performing section on each work table 20. It is configured in the same way.

한편, 상기 각각의 워크테이블(20)의 회전 경로 상에 위치하는 공정수행부는 상기 워크테이블(20)에 안착된 태양전지 셀(S)에 레이저를 조사하여 절연선을 형성하는 에지 아이솔레이션(edge isolation) 공정부(31)와, 상기 워크테이블(20)에 안착된 태양전지 셀의 전극과 전기적으로 접속하여 전기적 성능을 검사하는 성능검사부(32)와, 상기 워크테이블(20) 상의 태양전지 셀을 촬영하여 미세한 균열(micro-crack) 등의 결함을 검사하는 결함검사부(33)로 구성된다. On the other hand, the process performing portion located on the rotation path of each of the work table 20, edge isolation for forming an insulation line by irradiating a laser to the solar cell (S) seated on the work table 20 (edge isolation) Capturing the electrical performance by electrically connecting the process unit 31, the electrode of the solar cell seated on the work table 20, and the electrical performance inspection unit 32, and photographing the solar cell on the work table 20 And a defect inspection unit 33 for inspecting defects such as micro-crack.

상기 에지 아이솔레이션 공정부(31)는 태양전지 셀의 가장자리(edge)를 따라 레이저 빔을 조사하는 레이저 조사기(미도시)를 구비하고 있다. 그리고, 상기 성능검사부(32)는 태양전지 셀(S)의 전극(일명 버스바아(bus bar)라고 함)에 전기적으로 접속하는 프로브(probe)(미도시)와 태양전지 셀(S)에 인공적인 태양빛을 제공하는 조명장치(미도시) 등을 구비한다. 상기 결함검사부(33)는 태양전지 셀(S)에 순방향 전류를 가할 때 태양전지 셀(S)에서 방출되는 적외선 영상을 획득하여 태양전지 셀(S) 내부의 미세한 균열 등의 결함을 검사하는 부분으로, 태양전지 셀(S)의 전극과 접속하는 프로브와 적외선 영상을 획득하는 적외선 카메라 등을 구비한다. The edge isolation process unit 31 includes a laser irradiator (not shown) for irradiating a laser beam along an edge of the solar cell. In addition, the performance test unit 32 is artificially connected to a probe (not shown) and the solar cell S, which are electrically connected to an electrode of the solar cell S (also called a bus bar). It is provided with a lighting device (not shown) for providing a typical sunlight. The defect inspection unit 33 acquires an infrared image emitted from the solar cell (S) when applying a forward current to the solar cell (S) to inspect the defects such as minute cracks in the solar cell (S) In addition, a probe connected to an electrode of the solar cell S and an infrared camera for acquiring an infrared image are provided.

이 실시예에서 상기 에지 아이솔레이션 공정부(31)와 성능검사부(32), 결함검사부(33)는 예컨대 90도 간격으로 순차적으로 배치되는데, 이들 공정수행부들의 구성과 간격 및 순서는 필요에 따라 소정의 임의의 각도로 설정될 수 있다. 예를 들어, 결함검사부(33)를 구성하지 않고 에지 아이솔레이션 공정부(31)와 성능검사부(32)를 대략 120도 간격으로 배치하거나, 결함검사부(33) 다음에 비전검사부 등을 구성할 수도 있다. In this embodiment, the edge isolation processing unit 31, the performance testing unit 32, and the defect inspection unit 33 are sequentially arranged, for example, at 90 degree intervals. It can be set to any angle of. For example, the edge isolation processing unit 31 and the performance inspection unit 32 may be arranged at approximately 120 degree intervals without forming the defect inspection unit 33, or the vision inspection unit may be configured after the defect inspection unit 33. .

한편, 상기 워크테이블(20)과 소팅부(40) 사이의 하측에는 상기 언로딩픽커(미도시)에 의해 픽업된 태양전지 셀(S)의 하면을 촬영하여 소정의 외형 검사를 수행하는 하면 비전검사부(60)가 구성된다. On the other hand, a lower vision between the work table 20 and the sorting unit 40 photographs the lower surface of the solar cell S picked up by the unloading picker (not shown) to perform a predetermined external inspection. The inspection unit 60 is configured.

그리고, 상기 소팅부(40)는 태양전지 셀(S)이 검사 결과에 따라 분류 수납되는 복수개의 적재부(41)와, 상기 워크테이블(20)과 적재부(41) 사이에 설치되어 워크테이블(20)에서 반송된 태양전지 셀(S)을 적재부(41)로 반송하는 컨베이어(42)와, 상기 컨베이어(42)를 통해 반송되는 태양전지 셀(S)을 픽업하여 상기 적재부(41) 중 어느 하나로 반송하여 적재하는 소팅로봇(43)과, 상기 컨베이어(42)의 상측에 설치되어 컨베이어(42)를 통해 반송되는 태양전지 셀(S)의 위치를 검출하는 소팅용 비전카메라(45)를 포함하여 구성된다. 상기 소팅부(40)의 컨베이어(42) 말단부에는 소팅로봇(43)에 의해 픽업되지 못한 태양전지 셀(S)이 수납되는 버퍼부(44)가 추가로 구성되는 것이 바람직하다. In addition, the sorting unit 40 includes a plurality of stacking units 41 in which the solar cells S are classified and stored according to a test result, and are installed between the work table 20 and the stacking unit 41. The conveyor 42 which conveys the solar cell S conveyed by the 20 to the loading part 41, and the solar cell S conveyed by the said conveyor 42 are picked up, and the said loading part 41 is carried out. Sorting robot 43 for transporting and loading in any one of the) and the sorting vision camera 45 for detecting the position of the solar cell (S) that is installed on the conveyor 42 and conveyed through the conveyor 42 It is configured to include). At the distal end of the conveyor 42 of the sorting unit 40, the buffer unit 44 may be further configured to accommodate the solar cell S that is not picked up by the sorting robot 43.

상기 소팅로봇(43)은 다양한 공지의 태양전지 셀 핸들링 장치를 이용하여 구성될 수 있는데, 예를 들어 복수개의 링크바아들이 관절식으로 액츄에이터들에 연결되어 상호 연동하면서 태양전지 셀을 원하는 위치로 신속하게 반송하는 패러렐 로봇(parallel robot) 등을 이용할 수 있다. The sorting robot 43 may be configured using various known solar cell handling devices. For example, a plurality of link bars may be articulated and connected to actuators, and the solar cell may be moved to a desired position. A parallel robot etc. which can be conveyed quickly can be used.

상기 소팅부(40)의 컨베이어(42) 상측에는 컨베이어(42)를 통해 반송되는 태양전지 셀(S)의 상면을 촬영하여 얼룩(stain)이나 전극의 프린팅상태, 텍스쳐링(texturing) 상태, 에지 아이솔레인션 상태 등을 검사하는 제1상면 비전검사부(71)와, 반사방지막 두께 등의 검사를 수행하는 제2상면 비전검사부(72)가 설치되어 있다. An upper surface of the solar cell S conveyed through the conveyor 42 is photographed on the upper side of the conveyor 42 of the sorting part 40 to print a stain, an electrode printing state, a texturing state, or an edge eye. The first top vision inspection unit 71 for inspecting the state of the solution and the like, and the second top vision inspection unit 72 for inspecting the thickness of the antireflection film and the like are provided.

다음으로, 상기와 같이 구성된 태양전지 셀 제조장치의 작동에 대해 설명한다. Next, the operation of the solar cell manufacturing apparatus configured as described above will be described.

로딩픽커(미도시)는 이전 공정 장비의 오프로더부(10)의 컨베이어(11)를 통해 공급되는 태양전지 셀(S)을 픽업하여 위치정렬용 비전카메라(50)의 상측으로 이동하고, 위치정렬용 비전카메라(50)는 로딩픽커(미도시)에 흡착된 태양전지 셀(S)을 촬영하여 위치를 검출하여 위치를 보정한다. 그 후 로딩픽커(미도시)는 워크테이블(20) 쪽으로 이동하여 워크테이블(20)의 안착부(21)에 태양전지 셀(S)을 안착시킨다. The loading picker (not shown) picks up the solar cell S supplied through the conveyor 11 of the offloader unit 10 of the previous process equipment, moves to the upper side of the position alignment vision camera 50, and arranges the position. The vision camera 50 photographs the solar cell S absorbed by the loading picker (not shown) to detect the position and correct the position. Thereafter, the loading picker (not shown) moves toward the work table 20 to seat the solar cell S on the seating portion 21 of the work table 20.

이어서, 워크테이블(20)이 일방향으로 일정 각도, 예를 들어 90도로 회전하여 태양전지 셀(S)을 에지 아이솔레이션 공정부(31)의 하측으로 이동시킨다. 상기 에지 아이솔레이션 공정부(31)에서는 태양전지 셀(S)의 가장자리를 따라 레이저를 조사하여 절연선을 형성한다. Subsequently, the work table 20 is rotated at a predetermined angle, for example, 90 degrees in one direction, to move the solar cell S to the lower side of the edge isolation process unit 31. The edge isolation process unit 31 irradiates a laser along the edge of the solar cell S to form an insulation line.

에지 아이솔레이션 공정(31)이 완료되면, 워크테이블(20)은 다시 일방향으로 90도 회전하여 태양전지 셀(S)을 성능검사부(32)의 하측으로 이동시킨다. 상기 성능검사부(32)에서는 프로브(미도시)가 태양전지 셀(S)의 전극에 접속되고, 조명장치(미도시)에서 순간적으로 강한 조명이 방출되어 태양전지 셀(S)에서 집전되는 전력량을 검사하여 태양전지 셀(S)의 성능을 검사한다. When the edge isolation process 31 is completed, the work table 20 rotates 90 degrees in one direction again to move the solar cell S to the lower side of the performance inspection unit 32. In the performance tester 32, a probe (not shown) is connected to the electrode of the solar cell S, and a strong light is instantaneously emitted from the lighting device (not shown) to collect the amount of power collected in the solar cell S. Examine the performance of the solar cell (S).

성능 검사가 종료되면, 워크테이블(20)이 다시 90도 더 회전하여 태양전지 셀(S)이 결함검사부(33)의 하측으로 이동한다. 상기 결함검사부(33)에서는 프로브(미도시)가 태양전지 셀(S)의 전극에 순방향 전류를 인가하여 태양전지 셀(S)에서 적외선이 방출되도록 하고, 이 적외선 영상을 촬영하여 미세한 균열 등의 결함을 검사한다. When the performance test is finished, the work table 20 is rotated 90 degrees again, so that the solar cell S moves to the lower side of the defect inspection unit 33. In the defect inspection unit 33, a probe (not shown) applies a forward current to an electrode of the solar cell S to emit infrared rays from the solar cell S, and photographs the infrared image to detect fine cracks and the like. Check for defects.

결함검사부(33)에서의 검사가 종료되면, 워크테이블(20)이 90도 회전하여 초기 위치로 복귀하고, 언로딩픽커(미도시)가 워크테이블(20) 상의 검사 완료된 태양전지 셀(S)을 픽업하여 하면 비전검사부(60) 상으로 이동한다. When the inspection in the defect inspection unit 33 is finished, the work table 20 is rotated 90 degrees to return to the initial position, the unloading picker (not shown) is inspected on the work table 20 solar cell (S) When picked up, it moves on the vision inspection unit 60.

상기 하면 비전검사부(60)는 언로딩픽커(미도시)에 진공 흡착된 태양전지 셀(S)의 하면을 촬영하여 이상 유무를 검사한다. The lower vision inspection unit 60 photographs the lower surface of the solar cell S vacuum-adsorbed to the unloading picker (not shown) and inspects the abnormality.

이어서, 언로딩픽커(미도시)는 소팅부(40)의 컨베이어(42) 상에 태양전지 셀(S)을 안착시키고 워크테이블(20) 쪽으로 이동하여 다음 태양전지 셀(S)을 받을 준비를 한다. Subsequently, the unloading picker (not shown) seats the solar cell S on the conveyor 42 of the sorting part 40 and moves to the work table 20 to prepare for receiving the next solar cell S. do.

상기 소팅부(40)의 컨베이어(42) 상에 놓여진 태양전지 셀(S)은 소팅부(40)의 적재부(41) 쪽으로 이동하게 되는데, 이 때, 제1상면 비전검사부(71)와 제2상면 비전검사부(72)가 차례로 태양전지 셀(S)을 촬영하여 얼룩(stain)이나 전극의 프린팅상태, 텍스쳐링(texturing) 상태, 반사방지막 두께 등을 검사한다. The solar cell S placed on the conveyor 42 of the sorting part 40 moves toward the stacking part 41 of the sorting part 40. At this time, the first top vision inspection part 71 and the first The two-phase vision inspection unit 72 sequentially photographs the solar cell S to inspect stains, printing states of the electrodes, texturing states, antireflection film thicknesses, and the like.

그리고, 소팅용 비전카메라(45)가 컨베이어(42) 상의 태양전지 셀(S)을 촬영하여 태양전지 셀(S)의 위치 정보 등을 검출한다. Then, the sorting vision camera 45 photographs the solar cell S on the conveyor 42 to detect the position information of the solar cell S and the like.

상기 소팅로봇(43)은 컨베이어(42)를 따라 반송되는 태양전지 셀(S)을 픽업하여 검사 결과 별로 분류하여 해당 등급의 적재부(41)에 적재한다. The sorting robot 43 picks up the solar cells S conveyed along the conveyor 42 and sorts them by inspection result and loads them in the loading part 41 of the corresponding grade.

한편, 전술한 실시예의 태양전지 셀 제조장치는 2개의 워크테이블(20)이 독립적으로 회전하면서 태양전지 셀(S)을 처리하므로 공정 처리 효율을 더욱 향상시킬 수 있다. On the other hand, in the solar cell manufacturing apparatus of the above-described embodiment to process the solar cell (S) while the two work table 20 is rotated independently can further improve the process processing efficiency.

도 2는 본 발명에 따른 태양전지 셀 제조장치의 다른 실시예를 나타낸 것으로, 이 두번째 실시예의 태양전지 셀 제조장치는 기본적인 구성은 전술한 첫번째 실시예와 동일하다. 다만, 이 두번째 실시예의 태양전지 셀 제조장치는 워크테이블(20)이 2개 1조로 이루어져, 제1워크테이블(20a)의 회전 경로 상에 에지 아이솔레이션 공정부(31)와 에지 아이솔레이션 상태를 검사하는 비전검사부(34)가 순차적으로 배치되고, 제2워크테이블(20b)의 회전 경로 상에 성능검사부(32)와 결함검사부(33)가 순차적으로 배치된 구성으로 이루어진다. 물론, 이 실시예에서도 처리 속도를 향상시키기 위하여 제1워크테이블(20a)과 제2워크테이블(20b) 쌍이 2개씩 구성된다. Figure 2 shows another embodiment of a solar cell manufacturing apparatus according to the present invention, the basic structure of the solar cell manufacturing apparatus of this second embodiment is the same as the first embodiment described above. However, in the solar cell manufacturing apparatus of the second embodiment, the work table 20 is composed of two sets, and the edge isolation process unit 31 and the edge isolation state are inspected on the rotation path of the first work table 20a. The vision inspection unit 34 is sequentially arranged, and the performance inspection unit 32 and the defect inspection unit 33 are sequentially arranged on the rotation path of the second work table 20b. Of course, in this embodiment, two pairs of the first work table 20a and the second work table 20b are formed in order to improve the processing speed.

그리고, 이 두번째 실시예의 태양전지 셀 제조장치는 제1워크테이블(20a) 상의 태양전지 셀(S)을 제2워크테이블(20b)로 반송하여 주는 별도의 픽커를 구비할 수도 있으나, 오프로더부(10)의 태양전지 셀(S)을 제1워크테이블(20a)로 반송하는 로딩픽커(미도시) 또는 제2워크테이블(20b)의 태양전지 셀(S)을 소팅부(40)로 반송하는 언로딩픽커(미도시)가 제1워크테이블(20a) 상의 태양전지 셀(S)을 제2워크테이블(20b)로 반송하는 기능도 겸하여 수행하거나, 로딩 픽커 또는 언로딩픽커가 오프로더부(10)에서 제1워크테이블(20a)로, 제1워크테이블(20a)에서 제2워크테이블(20b)로, 제2워크테이블(20b)에서 소팅부(40)로 태양전지 셀(S)을 선택적으로 이동시키도록 구성될 수도 있을 것이다. The solar cell manufacturing apparatus of the second embodiment may include a separate picker for conveying the solar cell S on the first work table 20a to the second work table 20b. 10 to transfer the solar cell S of the second work table 20b to the sorting unit 40 or the loading picker (not shown) that conveys the solar cell S of the first work table 20a. The unloading picker (not shown) may also perform the function of conveying the solar cell S on the first work table 20a to the second work table 20b, or the loading picker or the unloading picker may perform the offloader unit 10. ) To the first work table 20a, the first work table 20a to the second work table 20b, the second work table 20b to the sorting unit 40 to selectively select the solar cell (S) It may be configured to move to.

상기와 같이 구성된 두번째 실시예의 태양전지 셀 제조장치는 제1워크테이블(20a)이 일방향으로 일정 각도씩 회전하면서 태양전지 셀(S)을 에지 아이솔레이션 공정부(31)의 하측으로 이동시켜 에지 아이솔레이션 공정을 수행한 다음, 비전검사부(34)에서 바로 에지 아이솔레이션 상태를 검사한다. 이후, 제2워크테이블(20b)로 반송되어 성능검사부(32)에서 전기적 성능 검사가 이루어지고, 결함검사부(33)에서 내부 균열 등이 검사된 후, 언로딩픽커(미도시)에 의해 소팅부(40)로 반송된다. In the solar cell manufacturing apparatus of the second embodiment configured as described above, the first worktable 20a rotates at a predetermined angle in one direction and moves the solar cell S to the lower side of the edge isolation processing unit 31 to perform the edge isolation process. Next, the vision inspection unit 34 directly examines the edge isolation state. Subsequently, it is conveyed to the second work table 20b, and electrical performance inspection is performed in the performance inspection unit 32, and internal cracks and the like are inspected in the defect inspection unit 33, and then sorted by an unloading picker (not shown). Returned to 40.

이 때, 도 3에 변형 실시예로 도시된 것과 같이, 비전검사부(34)에서의 검사 결과, 태양전지 셀(S)이 불량으로 판정될 경우에는 불량 태양전지 셀(S)을 후속 검사하지 않고 배출하기 위한 빈(bin)(80)이 구비될 수 있다. 여기서, 상기 빈(80)은 태양전지 셀 제조장치의 내외측으로 입출이 가능하게 구성됨이 바람직하다. At this time, as shown in the modified embodiment in FIG. 3, when the solar cell S is determined to be defective as a result of the inspection in the vision inspection unit 34, the defective solar cell S is not subsequently inspected. A bin 80 for discharging may be provided. Here, the bin 80 is preferably configured to be accessible to the inside and outside of the solar cell manufacturing apparatus.

물론, 태양전지 셀(S)이 비전검사부(34)에서 불량 판정받은 경우에도 상기 빈(80)에 불량 판정된 태양전지 셀(S)을 적재하지 않고 소팅부(40)로 반송할 수도 있다. 이 경우에도 상기 불량 태양전지 셀(S)에 대한 후속 검사는 수행하지 않는 것이 바람직하다. Of course, even when the solar cell S is determined to be defective in the vision inspection unit 34, the solar cell S may be conveyed to the sorting unit 40 without loading the solar cell S determined as defective in the bin 80. In this case, it is preferable not to perform the subsequent inspection of the defective solar cell (S).

상기 두번째 실시예의 태양전지 셀 제조장치는 제1,2워크테이블(20a, 20b)의 안착부(21)에 태양전지 셀(S)을 내려놓는 로딩위치와, 제1,2워크테이블(20a, 20b)의 안착부(21)에서 태양전지 셀(S)을 가져가는 언로딩위치가 서로 다르게 설정될 수 있는데, 이 경우 로딩픽커(미도시)와 언로딩픽커(미도시) 간의 간섭을 배제할 수 있어 작업 효율을 더욱 향상시킬 수 있다. The solar cell manufacturing apparatus of the second embodiment has a loading position in which the solar cell S is placed on the seating portion 21 of the first and second work tables 20a and 20b, and the first and second work tables 20a and 20b. The unloading position for taking the solar cell S in the seating part 21 of 20b may be set differently. In this case, interference between the loading picker (not shown) and the unloading picker (not shown) may be excluded. Can further improve the working efficiency.

상술한 바와 같이 본 발명의 태양전지 셀 제조장치는 태양전지 셀이 워크테이블 상에 안착된 상태에서 에지 아이솔레이션 공정, 검사 공정 등의 설정된 공정이 수행된다. 따라서, 태양전지 셀을 픽커로 진공 흡착하여 다른 공정 위치로 반송하여 내려놓거나 정렬하는 등의 핸들링 횟수를 대폭 줄일 수 있으며, 처리 속도 및 안전성을 대폭 향상시킬 수 있게 된다. As described above, in the solar cell manufacturing apparatus of the present invention, a predetermined process such as an edge isolation process or an inspection process is performed while the solar cell is seated on the worktable. Therefore, the number of handling such as vacuum adsorption of the solar cell with the picker, transported to another process position, put down or aligned, can be greatly reduced, and the processing speed and safety can be greatly improved.

전술한 본 발명에 따른 태양전지 셀 제조장치에 대한 실시예들은 단지 본 발명의 이해를 돕기 위한 예시 목적으로 제시된 것으로 본 발명은 이에 국한되지 않으며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 첨부된 특허청구범위에 기재된 기술 사상의 범주 내에서 다양한 변경 및 실시가 가능할 것이다.
Embodiments of the solar cell manufacturing apparatus according to the present invention described above are presented for illustrative purposes only to help understanding of the present invention is not limited thereto, and those skilled in the art to which the present invention pertains Various modifications and implementations may be made within the scope of the technical idea as set forth in the appended claims.

10 : 오프로더부 11 : 컨베이어
20 : 워크테이블 20a, 20b : 제1,2워크테이블
21 : 안착부 31 : 에지 아이솔레이션 공정부
32 : 성능검사부 33 : 결함검사부
34 : 비전검사부 40 : 소팅부
41 : 적재부 42 : 컨베이어
43 : 소팅로봇 44 : 버퍼부
45 : 소팅용 비전카메라 50 : 위치정렬용 비전카메라
60 : 하면 비전검사부 71, 72 : 제1,2상면 비전검사부
S : 태양전지 셀10: offloader section 11: conveyor
20: worktable 20a, 20b: first and second worktable
21: seating portion 31: edge isolation process
32: performance inspection unit 33: defect inspection unit
34: vision inspection unit 40: sorting unit
41: loading part 42: conveyor
43: sorting robot 44: buffer
45: vision camera for sorting 50: vision camera for position alignment
60: the lower vision inspection unit 71, 72: the first and second upper vision inspection unit
S: solar cell

Claims (12)

태양전지 셀이 안착되는 안착부를 구비하며, 임의의 각도로 회전하면서 태양전지 셀을 지정된 공정 위치로 반송하는 워크테이블과;
상기 워크테이블의 회전 경로 상에 배치되어, 워크테이블에 안착된 태양전지 셀에 지정된 공정을 순차적으로 수행하는 복수의 공정수행부와;
상기 워크테이블에서 반송된 공정이 완료된 태양전지 셀을 검사 결과에 따라 분류 수납하는 소팅부와;
상류측에 위치한 이전 공정 장비의 오프로더부로부터 상기 워크테이블의 안착부로, 상기 워크테이블로부터 소팅부로 태양전지 셀을 반송하는 반송유닛을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.
A worktable having a seating portion on which the solar cell is seated, and returning the solar cell to a designated process position while rotating at an arbitrary angle;
A plurality of process execution units disposed on a rotation path of the work table to sequentially perform a process designated to a solar cell seated on the work table;
A sorting unit configured to classify and store the solar cells in which the process returned from the work table is completed according to an inspection result;
And a conveying unit for conveying the solar cell from the off-loader part of the previous process equipment located upstream to the seating part of the work table, and from the work table to the sorting part.
제1항에 있어서, 상기 공정수행부는, 상기 워크테이블에 안착된 태양전지 셀에 레이저를 조사하여 절연선을 형성하는 에지 아이솔레이션(edge isolation) 공정부와, 상기 태양전지 셀을 검사하는 검사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.The solar cell of claim 1, wherein the process performing unit comprises an edge isolation process unit for irradiating a laser to a solar cell mounted on the work table to form an insulation line, and an inspection unit inspecting the solar cell. Solar cell manufacturing apparatus, characterized in that. 제2항에 있어서, 상기 검사부는,
상기 워크테이블에 안착된 태양전지 셀의 전극과 전기적으로 접속한 상태에서 상기 태양전지 셀에 광을 조사하여 태양전지 셀의 전기적 성능을 검사하는 성능검사부와;
상기 워크테이블 상의 태양전지 셀에 전류를 가해주어 태양전지 셀로부터 방출되는 적외선을 촬영하여 결함을 검사하는 결함검사부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.The method of claim 2, wherein the inspection unit,
A performance inspecting unit for inspecting electrical performance of the solar cell by irradiating light to the solar cell while being electrically connected to an electrode of the solar cell seated on the work table;
The solar cell manufacturing apparatus characterized in that it comprises a defect inspection unit for applying a current to the solar cell on the work table to inspect the defect by photographing the infrared radiation emitted from the solar cell. 제2항에 있어서, 상기 검사부는 상기 워크테이블 상의 태양전지 셀의 에지 아이솔레이션 상태를 검사하는 비전검사부를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.
The apparatus of claim 2, wherein the inspection unit comprises a vision inspection unit for inspecting an edge isolation state of the solar cell on the work table.
제4항에 있어서, 상기 워크테이블은 서로 독립적으로 회전하는 제1워크테이블과 제2워크테이블로 이루어지고,
상기 비전검사부는 제1워크테이블의 회전 경로 상에 배치되며,
상기 워크테이블에 안착된 태양전지 셀의 전극과 전기적으로 접속한 상태에서 상기 태양전지 셀에 광을 조사하여 태양전지 셀의 전기적 성능을 검사하는 성능검사부와, 상기 워크테이블 상의 태양전지 셀에 전류를 가해주어 태양전지 셀로부터 방출되는 적외선을 촬영하여 결함을 검사하는 결함검사부는 제2워크테이블의 회전 경로 상에 배치되는 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.
The method of claim 4, wherein the work table comprises a first work table and a second work table that rotates independently of each other,
The vision inspection unit is disposed on the rotation path of the first worktable,
A performance tester for inspecting the electrical performance of the solar cell by irradiating light to the solar cell while being electrically connected to an electrode of the solar cell seated on the work table; and applying a current to the solar cell on the work table. Apparatus for manufacturing a solar cell, characterized in that the defect inspection unit for photographing the infrared radiation emitted from the solar cell to inspect the defect is disposed on the rotation path of the second worktable.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 워크테이블은 복수개가 서로에 대해 대향되게 배치되는 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.
The apparatus of claim 1, wherein a plurality of the work tables are disposed to face each other. 7.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 반송유닛은 이전 공정 장비의 오프로더부에서 작업 대상 태양전지 셀을 픽업하여 워크테이블의 안착부에 내려놓는 로딩픽커와, 상기 워크테이블의 안착부에서 공정이 수행된 태양전지 셀을 픽업하여 소팅부로 반송하는 언로딩픽커를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.
The conveying unit according to any one of claims 1 to 5, wherein the conveying unit picks up the target solar cell from the offloader part of the previous process equipment and lowers it to the seating part of the work table, and the seating of the work table. The solar cell manufacturing apparatus characterized in that it comprises an unloading picker for picking up the photovoltaic cell that the process is performed in the portion and conveyed to the sorting unit.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 이전 공정 장비의 오프로더부와 워크테이블 사이의 하측에 설치되어 반송유닛에 픽업된 태양전지 셀을 촬영하는 위치정렬용 비전카메라를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.
According to any one of claims 1 to 5, further comprising a position alignment vision camera installed on the lower side between the off-loader of the previous process equipment and the work table for picking up the solar cell picked up in the transfer unit Solar cell manufacturing apparatus, characterized in that.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 워크테이블과 소팅부 사이의 하측에 설치되어 반송유닛에 의해 픽업된 태양전지 셀의 하면을 촬영하여 검사를 수행하는 하면 비전검사부를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.
The lower surface vision inspection unit according to any one of claims 1 to 5, further comprising a lower surface vision inspection unit installed at a lower side between the work table and the sorting unit and performing inspection by photographing the lower surface of the solar cell picked up by the transfer unit. Solar cell manufacturing apparatus, characterized in that configured to.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 소팅부는, 태양전지 셀이 검사 결과에 따라 분류 수납되는 복수개의 적재부와, 상기 워크테이블과 적재부 사이에 설치되어 워크테이블에서 반송된 태양전지 셀을 적재부로 반송하는 컨베이어와, 상기 컨베이어를 통해 반송되는 태양전지 셀을 픽업하여 상기 적재부 중 어느 하나로 반송하여 적재하는 소팅로봇을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.
The sorting unit according to any one of claims 1 to 5, wherein the sorting unit is provided between a plurality of stacking units in which solar cells are classified and stored according to the inspection result, and is transported from the worktable to the worktables. And a sorting robot for picking up and transporting the photovoltaic cells conveyed through the conveyor to any one of the stacking units.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 소팅부의 상측에 설치되어 소팅부에 안착된 태양전지 셀의 상면을 촬영하여 검사를 수행하는 상면 비전검사부를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.
The method according to any one of claims 1 to 5, characterized in that it further comprises a top vision inspection unit which is installed on the upper side of the sorting unit to perform the inspection by photographing the upper surface of the solar cell seated on the sorting unit. Solar cell manufacturing apparatus.
제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 비전검사부는 에지 아이솔레이션 상태를 검사하여 불량으로 판정된 태양전지 셀을 수용하기 위한 빈(bin)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 셀 제조장치.The apparatus of claim 4 or 5, wherein the vision inspection unit further comprises a bin for accommodating the solar cell determined to be defective by inspecting an edge isolation state.
KR1020100014812A 2010-02-18 2010-02-18 Apparatus for manufacturing solar cells KR20110095023A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100014812A KR20110095023A (en) 2010-02-18 2010-02-18 Apparatus for manufacturing solar cells

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100014812A KR20110095023A (en) 2010-02-18 2010-02-18 Apparatus for manufacturing solar cells

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20110095023A true KR20110095023A (en) 2011-08-24

Family

ID=44930937

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100014812A KR20110095023A (en) 2010-02-18 2010-02-18 Apparatus for manufacturing solar cells

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20110095023A (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107533993A (en) * 2015-04-29 2018-01-02 应用材料公司 Rotation sorter at a high speed
CN108816803A (en) * 2018-08-30 2018-11-16 佛山职业技术学院 A kind of solar monocrystalline silicon slice detection system based on machine vision
CN109507606A (en) * 2018-12-20 2019-03-22 苏州迈为科技股份有限公司 A kind of cell piece battery efficiency detection device
US10507991B2 (en) 2018-05-08 2019-12-17 Applied Materials, Inc. Vacuum conveyor substrate loading module
CN111860705A (en) * 2019-04-29 2020-10-30 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 Detection method and system for solar cell
US11072502B2 (en) 2018-05-03 2021-07-27 Applied Materials, Inc. Substrate tilt control in high speed rotary sorter
CN115889205A (en) * 2021-09-23 2023-04-04 环晟光伏(江苏)有限公司 Method for identifying and selecting small laminated cell strips

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107533993A (en) * 2015-04-29 2018-01-02 应用材料公司 Rotation sorter at a high speed
KR20180030258A (en) * 2015-04-29 2018-03-21 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 High speed rotary sorter
US10777436B2 (en) 2015-04-29 2020-09-15 Applied Materials, Inc. High speed rotary sorter
US11072502B2 (en) 2018-05-03 2021-07-27 Applied Materials, Inc. Substrate tilt control in high speed rotary sorter
US10507991B2 (en) 2018-05-08 2019-12-17 Applied Materials, Inc. Vacuum conveyor substrate loading module
CN108816803A (en) * 2018-08-30 2018-11-16 佛山职业技术学院 A kind of solar monocrystalline silicon slice detection system based on machine vision
CN109507606A (en) * 2018-12-20 2019-03-22 苏州迈为科技股份有限公司 A kind of cell piece battery efficiency detection device
CN109507606B (en) * 2018-12-20 2024-03-01 苏州迈为科技股份有限公司 Battery piece battery efficiency detection equipment
CN111860705A (en) * 2019-04-29 2020-10-30 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 Detection method and system for solar cell
CN115889205A (en) * 2021-09-23 2023-04-04 环晟光伏(江苏)有限公司 Method for identifying and selecting small laminated cell strips

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20110095023A (en) Apparatus for manufacturing solar cells
KR101767891B1 (en) Linear inspection system
US8614787B2 (en) High throughput quantum efficiency combinatorial characterization tool and method for combinatorial solar test substrates
CN106153633B (en) Visual inspection device and visual inspection method thereof
US8049521B2 (en) Solar parametric testing module and processes
KR101775491B1 (en) High throughput solar cell ablation system
KR20110103195A (en) Apparatus for inspecting solar cells
US20100195096A1 (en) High efficiency multi wavelength line light source
KR101264399B1 (en) Solar Cell Wafer Sorter
US20130082260A1 (en) Semiconductor integrated circuit device inspection method and semiconductor integrated circuit device
CN106409716B (en) Detection system and detection method of electronic element
US20130087788A1 (en) Detection method for semiconductor integrated circuit device, and semiconductor integrated circuit device
KR101216365B1 (en) Apparatus for handling device and device transferring method
JP7204495B2 (en) Photoluminescence inspection device and photoluminescence inspection method
KR101111952B1 (en) Die bonder for LED device
KR20110131016A (en) Inspecting device for solar cell
KR20130121497A (en) Vision inspection module and device inspection apparatus
KR101057618B1 (en) Inspection device for solar cell
KR20090066632A (en) System and method for inspecting a substrate, and method for manufacturing solar cell using the same
US8519458B2 (en) Light-emitting element detection and classification device
KR101536644B1 (en) Apparatus for inspecting LED device
KR100806374B1 (en) Transfer method for semiconductor package of sawing sorter system
WO2018079657A1 (en) Solar cell inspection method and inspection device, method for manufacturing solar cell, method for manufacturing solar cell module, inspection program, and storage medium
KR101274003B1 (en) Solar battery test system and Testing method using the same
CN218424236U (en) Chip testing equipment

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Withdrawal due to no request for examination