KR20110092162A - 하프톤 패드를 이용한 포토 마스크 제조 방법 및 이를 이용하여 제조된 포토 마스크 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2 내지 도 8은 본 발명에 따른 포토 마스크 제조 방법을 순서에 따라 도시한 단면도들이다.
40, 140 : 하프톤 패드층
60 : 차광패턴
110 : 차광층
120 : 제 1 감광막
125 : 제 1 감광패턴
130 : 제 1 차광패턴
130a : 차광영역
140a : 투광영역
150 : 제 2 감광막
155 : 제 2 감광패턴
160 : 제 2 차광패턴
Claims (8)
- 투명기판 상부에 형성되는 차광패턴 및 상기 차광 패턴에 의해서 정의되는 투광영역을 포함하는 포토 마스크를 제조하는 방법에 있어서,
상기 차광패턴이 형성된 차광영역을 벌크 형태로 묶어서 제외시키고, 상기 투광영역에 하프톤 패드층을 형성하는 것을 특징으로 하는 포토 마스크 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,
상기 투명기판은 쿼츠(Quartz) 기판인 것을 특징으로 하는 포토 마스크 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,
상기 차광패턴은 크롬 패턴인 것을 특징으로 하는 포토 마스크 제조 방법.
- 제 1 항에 있어서,
상기 차광 패턴의 상부 표면에 하프톤 패드층을 더 형성하는 것을 특징으로 하는 포토 마스크 제조 방법.
- 투명기판 전면에 차광층을 형성하는 단계;
상기 차광층 상부에 제 1 감광막을 형성하는 단계;
상기 제 1 감광막을 노광 및 현상하여 차광영역과 투광영역을 벌크 형태로 분할시킬 수 있는 제 1 감광패턴을 형성하는 단계;
상기 제 1 감광패턴을 마스크로 상기 차광층을 식각하여, 차광영역을 벌크 형태로 차단시키는 제 1 차광패턴을 형성하는 단계;
상기 제 1 감광패턴을 제거하는 단계;
상기 제 1 차광패턴을 포함하는 상기 투명기판 전면에 하프톤 패드층을 형성하는 단계;
상기 하프톤 패드층 상부에 제 2 감광막을 형성하는 단계;
상기 제 2 감광막을 노광 및 현상하여 실제 회로패턴을 정의하는 제 2 감광패턴을 형성하는 단계;
상기 제 2 감광패턴을 마스크로 상기 하프톤 패드층 또는 상기 하프톤 패드층과 상기 제 1 차광패턴을 식각하여 제 2 차광패턴을 형성하는 단계; 및
상기 제 2 감광패턴을 제거하는 단계를 포함하는 포토 마스크 제조 방법.
- 제 5 항에 있어서,
상기 제 1 감광패턴의 평면 형태는 타원형, 직사각형, 원형, 삼각형 및 다각형 형태인 것을 특징으로 하는 포토 마스크 제조 방법.
- 제 5 항에 있어서,
상기 실제 회로패턴은 FPD(Flat Panel Display) 제조용 패턴인 것을 특징으로 하는 포토 마스크 제조 방법.
- 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 하나의 방법으로 제조되어, 차광패턴이 형성된 영역을 제외한 투광영역 상부에 하프톤 패드층이 형성된 구조를 갖는 포토 마스크.
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