KR20110091103A

KR20110091103A - Substrate inspection apparatus

Info

Publication number: KR20110091103A
Application number: KR1020100010764A
Authority: KR
Inventors: 정충민
Original assignee: 주식회사 고영테크놀러지
Priority date: 2010-02-05
Filing date: 2010-02-05
Publication date: 2011-08-11

Abstract

PURPOSE: A substrate inspecting apparatus is provided to perform smooth inspection coping with measurement boards of various shapes using variable stopper varying a location of stopper according to a shape of a measurement board. CONSTITUTION: A substrate inspecting apparatus comprises a first rail, a second rail, a variable stopper, and a substrate inspection part. The variable stopper is combined with the first rail and fixes the measurement board on a measuring position. The substrate inspection part is installed on the top of the first rail and the second rail and inspects a measurement board. The variable stopper comprises a joint(210), a shaft fixing part(220), a shaft(230), and a stopper(240).

Description

Substrate inspection apparatus

본 발명은 기판 검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 다양한 형상을 갖는 측정 기판을 효율적으로 검사하기 위한 기판 검사장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate inspection apparatus, and more particularly, to a substrate inspection apparatus for efficiently inspecting a measurement substrate having various shapes.

인쇄회로기판 상에 전자 부품들이 실장된 실장기판은 다양한 전자 제품에 사용되고 있다. 이러한 실장기판은 베어 기판의 패드 영역에 납을 도포한 후, 전자 부품의 단자들을 납 도포 영역에 결합시키는 방식으로 제조된다. BACKGROUND Mounting boards in which electronic components are mounted on a printed circuit board are used in various electronic products. Such a mounting substrate is manufactured by applying lead to a pad region of a bare substrate and then coupling terminals of an electronic component to a lead coating region.

일반적으로, 전자 부품이 실장된 인쇄회로기판의 신뢰성을 검증하기 위하여 전자 부품의 실장 전후에 인쇄회로기판의 제조가 제대로 이루어졌는지를 검사할 필요가 있다. 예를 들어, 전자 부품을 인쇄회로기판에 실장하기 전에 인쇄회로기판의 패드 영역에 납이 제대로 도포되었는지를 검사하거나, 전자 부품을 인쇄회로기판에 실장한 후 전자 부품이 제대로 실장되었는지를 검사할 필요가 있다.In general, in order to verify the reliability of the printed circuit board on which the electronic component is mounted, it is necessary to inspect whether the manufacturing of the printed circuit board is properly performed before and after mounting the electronic component. For example, before mounting an electronic component on a printed circuit board, it is necessary to check whether lead is properly applied to the pad area of the printed circuit board, or whether the electronic component is properly mounted after mounting the electronic component on the printed circuit board. There is.

이러한 검사 공정들은 검사를 수행하기 위해 조명을 제공하는 조명원과 영상을 촬영하기 위한 카메라 등의 구성을 구비한 기판 검사부를 포함하는 기판 검사장치를 통해 이루어진다. These inspection processes are performed through a substrate inspection apparatus including a substrate inspection unit having a configuration such as an illumination source for providing illumination to perform the inspection and a camera for taking an image.

기판 검사장치는 측정 기판의 양 단부를 지지하면서 측정 기판을 이송시키기 위한 2개의 레일을 포함하는데, 2개의 레일 중 하나는 고정되어 있으며, 다른 하나의 레일은 측정 기판의 크기에 대응하여 이동되도록 설치된다. 한편, 기판 검사장치는 2개의 레일에 의해 이송되는 측정 기판을 측정 위치에서 멈추게 하기 위한 스톱퍼 장치를 더 포함한다. 이때, 상기 스톱퍼 장치는 가장 작은 크기의 측정 기판에도 적용될 수 있도록 고정되어 있는 레일에 인접하게 설치되어 고정되어 있다.The substrate inspection apparatus includes two rails for transporting the measurement substrate while supporting both ends of the measurement substrate, one of the two rails being fixed and the other rail being installed to move corresponding to the size of the measurement substrate. do. On the other hand, the substrate inspection apparatus further includes a stopper device for stopping the measurement substrate carried by the two rails at the measurement position. In this case, the stopper device is installed and fixed adjacent to the rail fixed to be applied to the smallest measuring substrate.

그러나, 최근 들어, 인쇄회로기판의 형상이 직사각형 구조 뿐만 아니라, 십자 형상 등의 다양한 형상으로 형성되기 때문에, 측정 기판의 이송시 측정 기판이 고정되어 있는 스톱퍼 장치에 의해 정확한 측정 위치에 멈추지 못하고 측정 위치를 지나쳐 멈추게 되는 문제가 발생될 수 있다.However, in recent years, since the shape of the printed circuit board is formed not only in a rectangular structure but also in various shapes such as a cross shape, the measuring position cannot be stopped at an accurate measuring position by a stopper device in which the measuring substrate is fixed during transfer of the measuring substrate. This can cause problems to stop past.

따라서, 본 발명은 측정 기판의 형상에 따라 위치가 가변될 수 있는 가변식 스톱퍼 장치를 이용하여 다양한 형상을 갖는 측정 기판들에 대해 정확하게 측정 위치를 설정할 수 있는 기판 검사장치를 제공한다.Accordingly, the present invention provides a substrate inspection apparatus capable of accurately setting a measurement position with respect to measurement substrates having various shapes by using a variable stopper device whose position can be changed according to the shape of the measurement substrate.

본 발명의 일 특징에 따른 기판 검사장치는 제1 및 제2 레일, 가변식 스톱퍼 장치 및 기판 검사부를 포함한다. 상기 제1 및 제2 레일은 서로 나란하게 이격되어 측정 기판의 양 단부를 지지하고 상기 측정 기판을 이송시킨다. 상기 가변식 스톱퍼 장치는 상기 제1 레일에 결합되며, 상기 측정 기판의 형상에 따라 제1 방향으로 이동하여 상기 측정 기판을 측정 위치에 위치 고정시킨다. 상기 기판 검사부는 상기 제1 및 제2 레일의 상부에 설치되어 상기 측정 기판을 검사한다. A substrate inspection apparatus according to an aspect of the present invention includes first and second rails, a variable stopper device, and a substrate inspection unit. The first and second rails are spaced apart from each other side by side to support both ends of the measurement substrate and to transport the measurement substrate. The variable stopper device is coupled to the first rail and moves in a first direction according to the shape of the measurement substrate to fix the measurement substrate at a measurement position. The substrate inspection unit is installed on the first and second rails to inspect the measurement substrate.

상기 가변식 스톱퍼 장치는 상기 제1 레일에 결합되는 결합부, 상기 결합부에 결합되는 샤프트 고정부, 상기 제1 방향으로 이동 가능하도록 상기 샤프트 고정부에 결합되는 샤프트, 및 상기 제1 레일과 상기 제2 레일 사이에 위치하도록 상기 샤프트에 고정되고 상기 제1 및 제2 레일에 의해 이송되는 상기 측정 기판을 측정 위치에서 멈추게 하는 스톱퍼를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제1 방향은 상기 제1 레일의 길이 방향에 수직한 방향이다.The variable stopper device includes a coupling portion coupled to the first rail, a shaft fixing portion coupled to the coupling portion, a shaft coupled to the shaft fixing portion to move in the first direction, and the first rail and the And a stopper fixed to the shaft so as to be positioned between the second rails and stopping the measurement substrate carried by the first and second rails at the measurement position. For example, the first direction is a direction perpendicular to the longitudinal direction of the first rail.

상기 샤프트 고정부는 상기 샤프트가 관통하는 제1 관통홀이 형성된 제1 고정부, 및 상기 샤프트의 길이 방향을 따라 상기 제1 고정부와 일정 거리 이격되게 형성되며, 상기 샤프트가 관통하는 제2 관통홀이 형성된 제2 고정부를 포함할 수 있다. The shaft fixing part may include a first fixing part having a first through hole through which the shaft penetrates, and a second through hole penetrating a predetermined distance from the first fixing part along a length direction of the shaft, and through the shaft. It may include a formed second fixing portion.

상기 샤프트는 상기 샤프트 고정부와 결합되는 영역에 형성되며, 회전을 방지하기 위하여 일부가 절개되어 평탄면을 형성하는 회전 방지부를 포함할 수 있다. The shaft may be formed in a region coupled with the shaft fixing part, and may include a rotation preventing part which is partially cut to form a flat surface to prevent rotation.

상기 가변식 스톱퍼 장치는 상기 제1 고정부와 상기 제2 고정부 사이에 위치하며, 상기 샤프트의 직선 이동이 가능하도록 상기 회전 방지부와 밀착되는 롤러를 구비한 이동 가이드부를 더 포함할 수 있다. 상기 이동 가이드부는 상기 회전 방지부 방향으로 돌출된 돌출부를 포함하며, 상기 돌출부는 상기 회전 방지부에 형서된 홈과 결합하여 고정된다. The variable stopper device may further include a movement guide part positioned between the first fixing part and the second fixing part and having a roller in close contact with the rotation preventing part to enable linear movement of the shaft. The movement guide part includes a protrusion protruding in the direction of the anti-rotation part, and the protrusion is fixedly coupled to a groove formed in the anti-rotation part.

상기 홈은 상기 회전 방지부의 길이 방향을 따라 서로 이격되게 다수가 형성되며, 상기 샤프트가 직선 이동할 때 상기 돌출부가 삽입되어 상기 샤프트를 위치 고정시킨다. A plurality of grooves are formed to be spaced apart from each other along the longitudinal direction of the anti-rotation part, and the protrusion is inserted to fix the shaft when the shaft moves linearly.

상기 가변식 스톱퍼 장치는 상기 제1 관통홀 및 제2 관통홀의 내부에 설치되어 상기 샤프트가 직선 이동할 때 마찰을 감소시키는 부싱을 더 포함할 수 있다. The variable stopper device may further include a bushing installed inside the first through hole and the second through hole to reduce friction when the shaft moves linearly.

상기 스톱퍼는 상기 샤프트 고정부 측에 배치되는 상기 샤프트의 일단부의 반대측인 상기 샤프트의 타단부에 결합 고정된다. The stopper is fixedly coupled to the other end of the shaft opposite to one end of the shaft disposed on the shaft fixing portion side.

상기 기판 검사부는 측정 위치에 배치된 상기 측정 기판에 조명을 제공하는 적어도 하나의 조명부 및 상기 조명부의 조명을 통해 상기 측정 기판의 이미지를 촬영하는 카메라를 포함할 수 있다. The substrate inspection unit may include at least one lighting unit for providing illumination to the measurement substrate disposed at the measurement position, and a camera for capturing an image of the measurement substrate through illumination of the illumination unit.

이와 같은 기판 검사장치에 따르면, 측정 기판의 형상에 따라 스톱퍼의 위치를 변경할 수 있는 가변식 스톱퍼 장치를 이용함으로써, 다양한 형상의 측정 기판들에 대응하여 원활한 검사를 수행할 수 있다.According to such a substrate inspection apparatus, by using a variable stopper device that can change the position of the stopper according to the shape of the measurement substrate, smooth inspection can be performed corresponding to the measurement substrates of various shapes.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 검사장치를 위에서 바라본 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 가변식 스톱퍼 장치를 구체적으로 나타낸 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 가변식 스톱퍼 장치의 일 부분을 위에서 바라본 평면도이다.
도 5는 도 1에 도시된 기판 검사부의 일 예를 개략적으로 나타낸 도면이다.1 is a perspective view schematically showing a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view of the substrate inspecting apparatus shown in FIG.
3 is a perspective view showing in detail the variable stopper device shown in FIG.
4 is a plan view from above of a portion of the variable stopper device shown in FIG.
FIG. 5 is a diagram schematically illustrating an example of the substrate inspecting unit illustrated in FIG. 1.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.As the inventive concept allows for various changes and numerous embodiments, particular embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다. The terms first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "having" are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described in the specification, and that one or more other features It should be understood that it does not exclude in advance the possibility of the presence or addition of numbers, steps, actions, components, parts or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art.

일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the relevant art and are to be interpreted as ideal or overly formal in meaning unless explicitly defined in the present application Do not.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Reference will now be made in detail to the preferred embodiments of the present invention, examples of which are illustrated in the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사장치를 개략적으로 나타낸 사시도이며, 도 2는 도 1에 도시된 기판 검사장치를 위에서 바라본 평면도이다.1 is a perspective view schematically showing a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a plan view as viewed from above the substrate inspection apparatus shown in FIG.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사장치(100)는 측정 기판(110)을 측정 위치로 이송시키는 제1 레일(120) 및 제2 레일(130)과, 측정 기판(110)을 측정 위치에 위치 고정시키기 위한 가변식 스톱퍼 장치(200)와, 측정 기판(110)을 검사하는 기판 검사부(300)를 포함한다.1 and 2, the substrate inspection apparatus 100 according to an embodiment of the present invention includes a first rail 120 and a second rail 130 for transferring the measurement substrate 110 to a measurement position; A variable stopper device 200 for fixing the measurement substrate 110 at a measurement position and a substrate inspection unit 300 for inspecting the measurement substrate 110 are included.

제1 레일(120) 및 제2 레일(130)은 서로 나란하게 이격되어 측정 기판(110)의 양 단부를 지지하며, 측정 기판(110)을 측정 위치로 이송시킨다. 제1 레일(120)과 제2 레일(130)의 이격 거리는 측정 기판(110)의 크기에 따라 가변될 수 있다. 예를 들어, 제1 레일(120)은 고정되어 있는 반면, 제2 레일(130)은 측정 기판(110)의 크기에 따라 위치가 이동될 수 있다.The first rail 120 and the second rail 130 are spaced apart from each other in parallel to support both ends of the measurement substrate 110, and transfer the measurement substrate 110 to a measurement position. The separation distance between the first rail 120 and the second rail 130 may vary according to the size of the measurement substrate 110. For example, while the first rail 120 is fixed, the second rail 130 may be moved in position according to the size of the measurement substrate 110.

가변식 스톱퍼 장치(200)는 제1 레일(120)에 결합된다. 가변식 스톱퍼 장치(200)는 측정 기판(110)의 형상에 따라 제1 방향으로 이동되면서 측정 기판(120)을 측정 위치에 위치 고정시킨다. 예를 들어, 상기 제1 방향은 제1 레일(120)의 길이 방향에 수직한 방향이다. 구체적으로, 가변식 스톱퍼 장치(200)는 측정 기판(110)의 이송을 멈추게 하기 위한 스톱퍼(240)를 포함하는데, 스톱퍼(240)가 측정 기판(110)의 최외곽 영역에 대응되도록 가변식 스톱퍼 장치(200)가 이동될 수 있다. 즉, 측정 기판(110)은 적용 제품에 따라 다양한 형상을 가질 수 있기 때문에, 측정 기판(110)의 형상에 따라 스톱퍼(240)의 위치가 변경되도록 가변식 스톱퍼 장치(200)를 이동시킴으로써, 측정 기판(110)을 정확하게 측정 위치에 배치시킬 수 있다.The variable stopper device 200 is coupled to the first rail 120. The variable stopper device 200 moves in the first direction according to the shape of the measurement substrate 110 to fix the measurement substrate 120 at the measurement position. For example, the first direction is a direction perpendicular to the length direction of the first rail 120. Specifically, the variable stopper device 200 includes a stopper 240 for stopping the transfer of the measurement substrate 110, and the variable stopper 240 corresponds to the outermost region of the measurement substrate 110. The device 200 may be moved. That is, since the measurement substrate 110 may have various shapes according to the applied product, the variable stopper device 200 is moved so that the position of the stopper 240 is changed according to the shape of the measurement substrate 110. The substrate 110 can be accurately positioned at the measurement position.

기판 검사부(300)는 제1 레일(120) 및 제2 레일(130)의 상부에 설치되어 측정 기판(110)을 검사한다. 기판 검사부(300)는 가변식 스톱퍼 장치(200)에 의해 측정 위치에 배치된 측정 기판(110)의 상부에 배치되어 측정 기판(110)을 검사한다. 기판 검사부(300)는 측정 기판(110)의 2차원적인 형상 또는 3차원적인 형상을 측정하기 위하여, 측정 기판(110)에 조명을 조사하기 위한 조명부와 측정 기판(110)의 이미지를 촬영하기 위한 카메라 등을 포함할 수 있다.The substrate inspecting unit 300 is installed on the first rail 120 and the second rail 130 to inspect the measurement substrate 110. The substrate inspection unit 300 is disposed above the measurement substrate 110 disposed at the measurement position by the variable stopper device 200 to inspect the measurement substrate 110. The substrate inspector 300 is configured to photograph an image of the illumination unit and the measurement substrate 110 for irradiating the measurement substrate 110 with illumination in order to measure a two-dimensional or three-dimensional shape of the measurement substrate 110. Cameras and the like.

도 3은 도 1에 도시된 가변식 스톱퍼 장치를 구체적으로 나타낸 사시도이며, 도 4는 도 3에 도시된 가변식 스톱퍼 장치의 일 부분을 위에서 바라본 평면도이다. 3 is a perspective view showing in detail the variable stopper device shown in Figure 1, Figure 4 is a plan view of a portion of the variable stopper device shown in FIG.

도 3 및 도 4를 참조하면, 가변식 스톱퍼 장치(200)는 제1 레일(120)에 결합되는 결합부(210), 결합부(210)에 결합되는 샤프트 고정부(220), 샤프트 고정부(220)에 결합되는 샤프트(230) 및 샤프트(230)에 고정되는 스톱퍼(240)를 포함한다.3 and 4, the variable stopper device 200 includes a coupling part 210 coupled to the first rail 120, a shaft fixing part 220 coupled to the coupling part 210, and a shaft fixing part. It includes a shaft 230 coupled to 220 and a stopper 240 fixed to the shaft 230.

결합부(210)는 가변식 스톱퍼 장치(200)를 움직이지 않고 고정되어 있는 제1 레일(120)에 고정시키기 위한 부분으로, 예를 들어, 제1 레일(120)의 외측면에 결합 고정된다. 구체적으로 도시되지는 않았으나, 결합부(210)는 가변식 스톱퍼 장치(200)가 상하 이동이 가능하도록 제어하는 구성을 가질 수 있다. 즉, 가변식 스톱퍼 장치(200)는 측정 기판(110)을 측정 위치에서 멈추게 하기 위해서는 스톱퍼(240) 부분이 측정 기판(110)에 대응되는 높이에 위치하여야 하고, 측정 기판(110)의 검사가 완료된 후, 측정 기판(110)을 외부로 인출하기 위해서는 스톱퍼(240)가 측정 기판(110)보다 높거나 낮은 높이에 위치하여야 한다. 따라서, 측정 기판(110)을 멈추게 하거나 또는 이송되게 하기 위해서는 스톱퍼(240)의 높이가 변경되어야 하는데, 이러한 상하 이동 기능은 결합부(210)의 동작에 의해 가능해 진다. 예를 들어, 결합부(210)는 상기 제1 레일(120)에 결합되어 고정되는 연결부, 상기 샤프트 고정부(220)와 결합되어 샤프트 고정부(220)를 지지하는 지지부 및 상기 연결부와 상기 지지부 사이에 설치되어 상기 지지부를 상하 이동시키는 리니어 모터부를 포함할 수 있다. The coupling part 210 is a part for fixing the variable stopper device 200 to the first rail 120 which is fixed without moving. For example, the coupling part 210 is fixedly coupled to an outer surface of the first rail 120. . Although not shown in detail, the coupling unit 210 may have a configuration in which the variable stopper device 200 is controlled to be movable up and down. That is, in order to stop the measurement substrate 110 at the measurement position, the variable stopper device 200 should be positioned at a height corresponding to the measurement substrate 110, and the inspection of the measurement substrate 110 may be performed. After completion, the stopper 240 should be positioned at a height higher or lower than the measurement substrate 110 in order to withdraw the measurement substrate 110 to the outside. Therefore, the height of the stopper 240 must be changed in order to stop or transfer the measurement substrate 110. Such a vertical movement function is enabled by the operation of the coupling unit 210. For example, the coupling part 210 is connected to the first rail 120 is coupled to the fixed portion, the support portion for coupling to the shaft fixing portion 220 to support the shaft fixing portion 220 and the connecting portion and the support portion It may be provided between the linear motor portion for moving the support up and down.

샤프트 고정부(220)는 샤프트(230)를 고정시키기 위한 부분으로, 결합부(210)에 결합되어 고정된다. 샤프트 고정부(220)는 샤프트(230)가 관통하는 제1 관통홀(221)이 형성된 제1 고정부(222) 및 샤프트(230)가 관통하는 제2 관통홀(223)이 형성된 제2 고정부(224)를 포함한다. 제2 고정부(224)는 샤프트(230)의 길이 방향을 따라 제1 고정부(222)와 일정 거리 이격되게 형성된다. 이때, 제1 관통홀(221) 및 제2 관통홀(223)은 샤프트(230)가 관통할 수 있도록 샤프트(230)와 실질적으로 동일한 형상으로 형성된다.The shaft fixing part 220 is a part for fixing the shaft 230 and is coupled to and fixed to the coupling part 210. The shaft fixing part 220 includes a first fixing part 222 having a first through hole 221 through which the shaft 230 penetrates and a second height having a second through hole 223 through which the shaft 230 penetrates. Government 224. The second fixing part 224 is formed to be spaced apart from the first fixing part 222 by a predetermined distance along the longitudinal direction of the shaft 230. In this case, the first through hole 221 and the second through hole 223 are formed in substantially the same shape as the shaft 230 so that the shaft 230 can pass through.

샤프트(230)는 제1 레일(120) 및 제2 레일(130)의 길이 방향에 수직한 방향으로 이동 가능하도록 샤프트 고정부(220)에 결합된다. 즉, 샤프트(230)는 실질적으로 원형의 막대 형상으로 형성되며, 제1 관통홀(221) 및 제2 관통홀(223)을 관통하여 샤프트 고정부(220)에 결합된다. 샤프트 고정부(220)에 결합된 샤프트(230)는 길이 방향을 따라 이동이 가능하다. 한편, 제1 관통홀(221) 및 제2 관통홀(223)의 내부에는 샤프트(230)가 직선 이동할 때 마찰을 감소시키기 위한 부싱(225)이 추가적으로 설치될 수 있다.The shaft 230 is coupled to the shaft fixing part 220 to be movable in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the first rail 120 and the second rail 130. That is, the shaft 230 is formed in a substantially circular rod shape and is coupled to the shaft fixing part 220 through the first through hole 221 and the second through hole 223. The shaft 230 coupled to the shaft fixing part 220 is movable along the length direction. Meanwhile, a bushing 225 may be additionally installed in the first through hole 221 and the second through hole 223 to reduce friction when the shaft 230 linearly moves.

샤프트(230)는 회전을 방지하기 위한 회전 방지부(232)를 포함할 수 있다. 회전 방지부(232)는 샤프트 고정부(220)에 결합되는 일부 영역에 형성되며, 샤프트(230)의 회전을 방지하기 위하여 원형의 일부가 절개되어 평탄면을 형성하도록 형성된다. The shaft 230 may include an anti-rotation part 232 to prevent rotation. The anti-rotation part 232 is formed in a part of the shaft fixing part 220, and is formed to form a flat surface by cutting a part of a circle to prevent rotation of the shaft 230.

한편, 가변식 스톱퍼 장치(200)는 샤프트(230)의 회전을 방지하면서 샤프트(223)의 직선 이동이 가능하도록 설치되는 이동 가이드부(250)를 더 포함한다. 이동 가이드부(250)는 샤프트 고정부(220)의 제1 고정부(222)와 제2 고정부(224) 사이에 배치되도록 샤프트 고정부(220)에 결합된다. 이동 가이드부(250)는 샤프트(230)의 직선 이동이 가능하도록 회전 방지부(232)와 밀착되는 롤러(252)를 포함한다. 따라서, 샤프트(230)와 회전 방지부(232)와 이동 가이드부(250)의 접촉을 통해 샤프트(230)의 회전이 방지되며, 이동 가이드부(250)의 롤러(252)를 통해 샤프트(230)의 직선 이동이 원활하게 이루어질 수 있다.Meanwhile, the variable stopper device 200 further includes a movement guide part 250 installed to enable linear movement of the shaft 223 while preventing the rotation of the shaft 230. The movement guide part 250 is coupled to the shaft fixing part 220 to be disposed between the first fixing part 222 and the second fixing part 224 of the shaft fixing part 220. The movement guide part 250 includes a roller 252 that is in close contact with the rotation preventing part 232 to enable the linear movement of the shaft 230. Therefore, the rotation of the shaft 230 is prevented through the contact between the shaft 230, the rotation preventing part 232, and the movement guide part 250, and the shaft 230 through the roller 252 of the movement guide part 250. ) Linear movement can be made smoothly.

이동 가이드부(250)는 샤프트(230)의 회전 방지부(232) 방향으로 돌출되는 돌출부(254)를 더 포함할 수 있다. 돌출부(254)는 회전 방지부(232)가 밀착 이동할 때 탄성력에 의해 돌출 및 삽입이 반복하게 형성된다. 한편, 샤프트(230)는 회전 방지부(232)에 길이 방향을 따라 서로 이격되게 형성된 홈들(234)을 포함할 수 있다. 따라서, 샤프트(230)가 직선 이동할 때, 돌출부(254)와 홈(234)이 만나게 되면, 돌출부(254)가 탄성에 의해 돌출되어 홈(234)에 삽입되게 되고, 이에 따라, 샤프트(230)가 위치 고정되게 된다. 스톱퍼(240)를 원하는 위치에 위치시키기 위하여, 사용자가 힘으로 샤프트(230)를 이동시키면 샤프트(230)는 돌출부(254)에 상관없이 직선 이동이 가능하나, 일단 돌출부(254)와 홈(234)에 의해 위치가 고정된 상태에서는 특별히 힘을 가하지 않는 이상 샤프트(230)는 움직이지 않고 고정된 상태를 유지하게 된다.The movement guide part 250 may further include a protrusion 254 protruding in the direction of the rotation preventing part 232 of the shaft 230. The protrusion 254 is repeatedly formed to protrude and insert by an elastic force when the rotation preventing portion 232 moves closely. Meanwhile, the shaft 230 may include grooves 234 formed to be spaced apart from each other along the longitudinal direction in the rotation preventing portion 232. Accordingly, when the shaft 230 linearly moves, when the protrusion 254 and the groove 234 meet, the protrusion 254 is protruded by elasticity and inserted into the groove 234, and thus, the shaft 230 Becomes fixed. In order to position the stopper 240 in a desired position, when the user moves the shaft 230 by force, the shaft 230 can be linearly moved regardless of the protrusion 254, but once the protrusion 254 and the groove 234 In a state where the position is fixed by), the shaft 230 does not move and remains fixed unless a special force is applied.

스톱퍼(240)는 제1 레일(120)과 제2 레일(130) 사이에 배치되도록 샤프트(230)에 고정된다. 스톱퍼(240)는 제1 레일(120) 및 제2 레일(130)에 의해 이송되는 측정 기판(110)을 측정 위치에서 멈추게 한다. 스톱퍼(240)는 샤프트(230)의 하부 방향으로 연장되도록 샤프트(230)에 결합 고정된다. 스톱퍼(240)는 가급적 샤프트(230)의 직선 이동을 방지하지 않기 위하여, 샤프트 고정부(220) 측에 배치된 샤프트(230)의 일단부의 반대측인 샤프트(230)의 타단부에 결합 고정된다. 스톱퍼(240)는 샤프트(230)에 결합 고정되는 몸체부(242) 및 몸체부(242)의 일면에 결합되는 완충부(244)를 포함할 수 있다. 완충부(244)는 측정 기판(110)이 스톱퍼(240)에 부딪칠 때 충격을 완충하기 위한 것으로써, 예를 들어, 고무 등의 재질로 형성될 수 있다.The stopper 240 is fixed to the shaft 230 to be disposed between the first rail 120 and the second rail 130. The stopper 240 stops the measurement substrate 110 carried by the first rail 120 and the second rail 130 at the measurement position. The stopper 240 is fixedly coupled to the shaft 230 to extend in the downward direction of the shaft 230. The stopper 240 is fixedly coupled to the other end of the shaft 230 opposite to one end of the shaft 230 disposed on the shaft fixing part 220 side, in order not to prevent the linear movement of the shaft 230. The stopper 240 may include a body portion 242 coupled to the shaft 230 and a buffer portion 244 coupled to one surface of the body portion 242. The buffer unit 244 is for buffering an impact when the measurement substrate 110 strikes the stopper 240 and may be formed of, for example, a rubber or the like material.

도 5는 도 1에 도시된 기판 검사부의 일 예를 개략적으로 나타낸 도면이다.FIG. 5 is a diagram schematically illustrating an example of the substrate inspecting unit illustrated in FIG. 1.

도 5를 참조하면, 기판 검사부(300)는 측정 기판(110)의 3차원적 형상을 측정하기 위한 격자무늬 조명을 조사하는 하나 이상의 제1 조명부(310) 및 측정 기판(110)의 이미지를 촬영하기 위한 카메라(320)를 포함한다.Referring to FIG. 5, the substrate inspecting unit 300 captures images of one or more first lighting units 310 and the measuring substrate 110 that irradiate the grid-patterned illumination for measuring the three-dimensional shape of the measuring substrate 110. It includes a camera 320 for.

제1 조명부(310)는 측정 기판(110)의 상부에 일정한 각도로 기울어지도록 설치된다. 제1 조명부(310)는 측정 기판(110)의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 조명으로, 격자무늬 조명을 생성하여 측정 기판(110)에 조사한다. 제1 조명부(310)은 측정 기판(110)에 대해 기울어진 각도로 격자무늬 조명을 조사한다. The first lighting unit 310 is installed to be inclined at a predetermined angle on the upper portion of the measurement substrate 110. The first lighting unit 310 is illumination for obtaining three-dimensional shape information of the measurement substrate 110. The first illumination unit 310 generates a grid-patterned illumination and irradiates the measurement substrate 110. The first lighting unit 310 irradiates the grid pattern illumination at an angle inclined with respect to the measurement substrate 110.

제1 조명부(310)는 측정 기판(110)의 검사 정밀도를 높이기 위하여 여러 방향에서 격자무늬 조명을 조사하도록 다수가 배치될 수 있다. 이때, 제1 조명부들(310)은 카메라(320)를 중심으로 원주 방향으로 따라 서로 일정 각도로 이격되도록 배치된다. 예를 들어, 기판 검사장치(100)는 일정 각도로 이격되게 배치된 2개, 3개, 4개, 6개 또는 8개 등의 다양한 개수의 제1 조명부들(310)을 포함할 수 있다. 다수의 제1 조명부들(310)은 일정한 시간 간격을 두고 측정 기판(110)에 대하여 서로 다른 방향에서 격자무늬 조명을 조사한다.A plurality of first lighting units 310 may be disposed to irradiate the grid-patterned illumination in various directions in order to increase the inspection accuracy of the measurement substrate 110. In this case, the first lighting units 310 are disposed to be spaced apart from each other by a predetermined angle in the circumferential direction with respect to the camera 320. For example, the substrate inspecting apparatus 100 may include two, three, four, six, or eight different numbers of the first lighting units 310 arranged to be spaced apart at an angle. The plurality of first lighting units 310 irradiates the grid-patterned illumination with respect to the measurement substrate 110 in different directions at regular time intervals.

각각의 제1 조명부(310)는 격자무늬 조명을 생성하기 위해 광원(312) 및 격자소자(314)를 포함할 수 있다. 광원(312)에서 발생된 조명은 격자소자(314)를 통과하면서 격자무늬 조명으로 변환된다. 격자소자(314)는 위상천이된 격자무늬 조명을 발생시키기 위해 페이조 엑추에이터(piezo actuator : PZT) 등의 격자이송장치를 통해 2π/n 만큼씩 n번 이송된다. 여기서, n은 2 이상의 자연수이다. 제1 조명부(310)는 격자소자(314)를 n번 이송시키면서 매 이송시마다 측정 기판(110)으로 격자무늬 조명을 조사한다. 한편, 제1 조명부(310)는 격자소자(314)를 통해 형성된 격자무늬 조명을 포커싱하여 측정 기판(110)에 투영하기 위한 투영 렌즈(미도시)를 더 포함할 수 있다.Each first lighting unit 310 may include a light source 312 and a grid element 314 to generate a grid pattern illumination. Illumination generated by the light source 312 is converted into grid pattern illumination while passing through the grid element 314. The grating element 314 is transferred n times by 2π / n through a grating transfer device such as a piezo actuator (PZT) to generate a phase shifted grating pattern illumination. N is a natural number of 2 or more. The first lighting unit 310 irradiates the grid pattern illumination to the measurement substrate 110 at every transfer while transferring the grid element 314 n times. On the other hand, the first lighting unit 310 may further include a projection lens (not shown) for focusing the grid-patterned illumination formed through the grid element 314 to project on the measurement substrate 110.

카메라(320)는 측정 기판(110)의 상부에 설치되어 측정 기판(110)의 이미지를 촬영한다. 카메라(320)는 측정 기판(110)의 상부에서 측정 기판(110)의 평면에 대해 수직한 방향으로 설치될 수 있다. 카메라(320)는 이미지 촬영을 위한 카메라 및 결상 렌즈를 포함할 수 있다. 측정 기판(110)에서 반사되어 나오는 반사광은 결상 렌즈에 의해 CCD 또는 CMOS 카메라에 결상되며, 카메라는 결상된 반사광을 받아들여 이미지를 촬영된다. The camera 320 is installed on the measurement substrate 110 to take an image of the measurement substrate 110. The camera 320 may be installed in a direction perpendicular to the plane of the measurement substrate 110 on the measurement substrate 110. The camera 320 may include a camera and an imaging lens for capturing an image. The reflected light reflected from the measuring substrate 110 is formed on the CCD or CMOS camera by the imaging lens, and the camera receives the formed reflected light to take an image.

기판 검사부(300)는 측정 기판(110)의 2차원적 이미지를 측정하기 위한 제2 조명부(330)를 더 포함할 수 있다. 제2 조명부(330)는 원형의 링 형상으로 형성되어 측정 기판(110)에 인접하게 설치된다. 제2 조명부(330)는 측정 기판(110)의 초기 얼라인 또는 검사 영역 설정 등을 위한 조명을 측정 기판(110)에 조사한다. 예를 들어, 제2 조명부(330)는 백색광을 발생시키는 형광 램프를 포함하거나, 또는 적색, 녹색 및 청색 광을 각각 발생시키는 적색 발광다이오드, 녹색 발광다이오드 및 청색 발광다이오드를 포함할 수 있다.The substrate inspecting unit 300 may further include a second lighting unit 330 for measuring a two-dimensional image of the measuring substrate 110. The second lighting unit 330 is formed in a circular ring shape and is installed adjacent to the measurement substrate 110. The second lighting unit 330 irradiates the measurement substrate 110 with illumination for initial alignment of the measurement substrate 110 or setting an inspection area. For example, the second lighting unit 330 may include a fluorescent lamp to generate white light, or may include a red light emitting diode, a green light emitting diode, and a blue light emitting diode to generate red, green, and blue light, respectively.

이와 같은 구성을 갖는 기판 검사부(300)는 제1 조명부(310) 및 제2 조명부(330)를 이용하여 측정 기판(110)에 광을 조사하고, 상기 광에 의해 측정 기판(110)에서 반사되어 나오는 반사광을 카메라(320)에서 받아들여 측정 기판(110)의 이미지를 촬영함으로써, 측정 기판(110)의 형상을 측정한다. 한편, 도 5에 도시된 기판 검사부(300)는 일 예에 지나지 않으며, 하나 이상의 조명부와 카메라를 포함하는 다양한 구성으로의 변경이 가능하다.The substrate inspecting unit 300 having such a configuration irradiates light to the measuring substrate 110 using the first lighting unit 310 and the second lighting unit 330, and is reflected from the measuring substrate 110 by the light. The shape of the measurement substrate 110 is measured by receiving the reflected light from the camera 320 and capturing an image of the measurement substrate 110. On the other hand, the substrate inspection unit 300 shown in FIG. 5 is merely an example, and may be changed to various configurations including one or more lighting units and a camera.

상기한 구성을 갖는 기판 검사장치(100)를 통해 측정 기판(110)을 검사하는 과정을 설명한다.A process of inspecting the measurement substrate 110 through the substrate inspection apparatus 100 having the above-described configuration will be described.

우선, 측정 기판(110)이 제1 레일(120) 및 제2 레일(130)에 로딩되면, 사용자는 스톱퍼(240)의 위치가 측정 기판(110)의 최외곽 영역에 대응되도록 가변식 스톱퍼 장치(200)를 이동시킨다. 이후, 제1 레일(120) 및 제2 레일(130)을 구동시켜 측정 기판(110)을 이송시키면 측정 기판(110)이 스톱퍼(240)에 의해 측정 위치에서 멈추게 된다. 이후, 측정 위치에 배치된 측정 기판(110)을 기판 검사부(300)를 통해 검사한다. 측정 기판(110)의 검사가 완료되면, 가변식 스톱퍼 장치(200)를 상부 방향으로 이동시키고, 이어서 제1 레일(120) 및 제2 레일(130)의 구동을 통해 측정 기판(110)을 외부로 인출한다.First, when the measurement substrate 110 is loaded on the first rail 120 and the second rail 130, the user may change the stopper device so that the position of the stopper 240 corresponds to the outermost region of the measurement substrate 110. Move 200. Subsequently, when the first rail 120 and the second rail 130 are driven to transfer the measurement substrate 110, the measurement substrate 110 is stopped at the measurement position by the stopper 240. Thereafter, the measurement substrate 110 disposed at the measurement position is inspected through the substrate inspection unit 300. When the inspection of the measurement substrate 110 is completed, the variable stopper device 200 is moved upward, and then the measurement substrate 110 is externally driven by driving the first rail 120 and the second rail 130. Withdraw

이와 같이, 측정 기판(110)의 형상에 따라 스톱퍼(240)의 위치를 변경할 수 있는 가변식 스톱퍼 장치(200)를 이용함으로써, 다양한 형상의 측정 기판들(110)에 대응하여 원활한 검사를 수행할 수 있다.As such, by using the variable stopper device 200 that can change the position of the stopper 240 according to the shape of the measurement substrate 110, smooth inspection can be performed corresponding to the measurement substrates 110 having various shapes. Can be.

100 : 기판 검사장치 120 : 제1 레일
130 : 제2 레일 200 : 가변식 스톱퍼 장치
210 : 결합부 220 : 샤프트 고정부
230 : 샤프트 232 : 회전 방지부
240 : 스톱퍼 250 : 이동 가이드부100: substrate inspection apparatus 120: first rail
130: second rail 200: variable stopper device
210: coupling portion 220: shaft fixing portion
230: shaft 232: rotation prevention
240: stopper 250: movement guide portion

Claims

First and second rails spaced apart from each other to support both ends of the measurement substrate and to transport the measurement substrate;
A variable stopper device coupled to the first rail and moving in a first direction according to a shape of the measurement substrate to fix the measurement substrate at a measurement position; And
And a substrate inspection unit installed on the first and second rails to inspect the measurement substrate.

The method of claim 1, wherein the variable stopper device
A coupling part coupled to the first rail;
A shaft fixing part coupled to the coupling part;
A shaft coupled to the shaft fixing part to be movable in the first direction; And
And a stopper fixed to the shaft so as to be positioned between the first rail and the second rail and stopping the measurement substrate carried by the first and second rails at a measurement position. .

The method of claim 2,
The first direction is a substrate inspection apparatus, characterized in that the direction perpendicular to the longitudinal direction of the first rail.

The method of claim 2, wherein the shaft fixing portion
A first fixing part having a first through hole through which the shaft passes; And
And a second fixing part which is formed to be spaced apart from the first fixing part by a predetermined distance along a longitudinal direction of the shaft, and has a second through hole through which the shaft passes.

The method of claim 2, wherein the shaft
And an anti-rotation part formed in an area coupled with the shaft fixing part and partially cut to prevent rotation to form a flat surface.

The method of claim 5, wherein the variable stopper device
And a movement guide part disposed between the first fixing part and the second fixing part and having a roller in close contact with the anti-rotation part to enable linear movement of the shaft.

The method of claim 6, wherein the moving guide portion
And a protrusion protruding in the direction of the anti-rotation part, wherein the protruding part is fixedly coupled to a groove formed in the anti-rotation part.

The method of claim 7, wherein
The groove is a plurality of grooves are formed spaced apart from each other along the longitudinal direction of the rotation prevention portion, the projection is inserted into the projection when the shaft is linearly moved, characterized in that to fix the shaft position.

The method of claim 4, wherein the variable stopper device
And a bushing installed in the first through hole and the second through hole to reduce friction when the shaft moves linearly.

The method of claim 2, wherein the stopper
The substrate inspection apparatus, characterized in that coupled to the other end of the shaft that is opposite to the one end of the shaft disposed on the shaft fixing side.

The method of claim 1, wherein the substrate inspection unit
At least one illumination unit providing illumination to the measurement substrate disposed at a measurement position; And
Substrate inspection apparatus comprising a camera for taking an image of the measurement substrate through the illumination of the illumination unit.