KR20110089667A - Absorption picker for transferring electronic parts - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 부품 이송용 흡착식 픽커에 관한 것이다.The present invention relates to an adsorptive picker for conveying parts.
각종 전자부품을 이송시키기 위해 사용되는 부품이송용 흡착식 픽커는, 외부로부터 제공된 진공압력에 의해 부품을 흡착한 후 목표지점에 도달하여 흡착하고 있던 부품을 내려놓는 동작을 반복한다. 보통 이러한 흡착식 픽커는 도 1에 개략적으로 도시한 이송장치(11)에 다수 개가 병렬로 배치되어 여러 개의 부품(A)을 동시에 이송시킬 수 있다.The adsorption-type picker for conveying parts used for conveying various electronic components repeats the operation of adsorbing the parts by vacuum pressure supplied from the outside and then lowering the parts that have been adsorbed after reaching the target point. Usually, a plurality of such adsorptive pickers are arranged in parallel in the
도 1은 일반적인 부품 이송용 흡착식 픽커(13)의 사용 예를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.1 is a view for explaining an example of the use of the general pick-
도면을 참조하면, 다수의 흡착식 픽커(13)가 하나의 이송장치(11)에 병렬로 배치되어 있음을 알 수 있다. 상기 이송장치(11)는 모터와 각종 전동기구 및 가이더 등을 통해 수직 및 수평방향 이동이 가능한 것으로서, 부품의 흡착지점과 실장 목표지점을 왕복한다.Referring to the drawings, it can be seen that a plurality of
상기 다수의 픽커(13)는 동일한 구성을 가지며 각각 흡착할 부품(A)의 연직 상부에 위치한다. 상기 부품(A)은 부품용 트레이(T)에 대기하며 픽커(13)에 의해 들어 올려져 목표지점으로 이송된다.The plurality of
상기 픽커(13)는, 내부공간을 갖는 바디(19)와, 상기 바디(19)의 하단부에 결합하며 상기 내부공간을 밀폐하는 캡(19f)과, 상기 바디(19)에 삽입되며 길이방향으로 승강 가능하고 그 하단부가 캡(19f)의 하부로 연장되는 승강샤프트(25)와, 상기 승강샤프트(25)의 하단부에 구비되는 흡착노즐(15)을 포함한다. 상기 흡착노즐(15)과 중공샤프트(25)는 바디(19)의 내부공간에 형성되어 있는 배기통로(도 2a의 19a)와 일직선을 이루며 소통한다.The
또한 상기 흡착노즐(15)의 하단부에는 부품(A)의 상면에 접하는 연질재질의 흡착판(15a)이 위치한다. In addition, at the lower end of the
상기 바디(19)의 상단부에는 하나의 배기관(21)과 두 개의 급기관(23)이 위치한다. 상기 배기관(21)은 외부의 진공펌프와 연결되며 바디(19)의 내부에 형성되어 있는 배기통로(도 2a의 19a)와 소통한다. 따라서 상기 진공펌프가 동작하면 중공샤프트(25) 및 흡착노즐(15) 내부에 음압이 걸린다.One
또한 상기 두 개의 급기관(23)은 바디(19) 내부에 형성되어 있는 제 1급기통로(도 2a의 19b)와 제 2급기통로(19c)에 각각 접속된다. 상기 제 1급기통로(19b)로 공기가 주입되면 승강샤프트(25)가 하강하고, 제 2급기통로(19c)에 공기가 주입되면 승강샤프트(25)가 상승한다.In addition, the two
따라서 픽커(13)가, 흡착할 부품(A)의 연직상부에 도달한 상태로 제 1급기통로(19b)에 공기를 주입하면 중공샤프트(25) 및 흡착노즐(15)이 하강하여 흡착판(15a)이 부품(A)의 상면에 밀착한다. 이 순간 상기 진공펌프를 구동하면 흡착판(15a)의 내부에 음압이 형성되어 부품(A)이 흡착노즐(15)에 흡착되고, 이 상태로 제 2급기통로(19c)에 공기를 주입하여 중공샤프트(25)를 들어올린다.Therefore, when the
상기 이송장치(11)의 동작에 의해 픽커(13)가 부품을 놓을 자리에 도달했다면, 제 1급기통로(19b)에 공기를 공급하여 흡착노즐(15)을 내리고 이와 동시에 배기통로(19a)의 진공을 해제하여 흡착판(15a)으로부터 부품(A)을 분리한다. 이후 제 2급기통로(19c)에 공기를 주입하여 중공샤프트(25)를 상승시킨다.When the
도 2a 및 도 2b는 본 출원의 발명자에 의해 출원되었던 부품이송용 흡착식 픽커(출원번호 09-72828)의 내부 구조를 나타내 보인 단면도이다. 도 2a는 승강샤프트(25)가 상승한 모습이고, 도 2b는 도 2a의 승강샤프트가 하강한 상태의 모습니다.Figure 2a and Figure 2b is a cross-sectional view showing the internal structure of the adsorption picker (application number 09-72828) for the part transfer filed by the inventor of the present application. Fig. 2A shows the
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 종래의 픽커(13)는, 수직방향으로 연장되고 하부로 개방된 내부공간과 상기 내부공간에 각각 연통하는 배기통로(19a) 및 제 1,2급기통로(19b,19c)를 갖는 바디(19)와, 상기 바디(19)의 하단부에 고정되어 내부공간을 밀폐하는 캡(19f)과, 상기 캡(19f)을 관통하여 내부공간으로 연장되고 하단부에는 흡착노즐(15)을 갖는 승강샤프트(25)와, 상기 내부공간의 상단부에 고정되며 승강샤프트(25)의 관통로(25a)에 삽입되어 배기통로(19a)와 관통로(25a)를 연결시키는 중공로드(27)를 포함한다.Referring to FIGS. 2A and 2B, the
또한 상기 승강샤프트(25)에는 홀더유니트(29)가 고정된다. 상기 홀더유니트(29)는 승강샤프트(25)에 고정되며, 상기 제 2급기통로(19c)를 통해 공기가 화살표 a방향으로 공급될 때 공압에 의해 상부로 이동하며 승강샤프트(25)를 상승시키고, 반대로 제 1급기통로(19b)를 통해 공기가 화살표 b방향으로 유입할 때 하부로 이동하며 승강샤프트(25)를 하향 이동시킨다.In addition, a
상기 제 1급기통로(19b)를 통해 공급된 공기가 채워지는 부분이 상부공간(19d)이고, 제 2급기통로(19c)를 거쳐 공급된 공기가 채워지는 부분이 하부공간(19e)이다.The portion filled with the air supplied through the first
상기 홀더유니트(29)의 외주면에는 차단링(31)과 오링(49b)이 채워진다. 상기 차단링(31)은 바디(19) 내부공간의 내주면에 밀착한 상태로, 상부공간(19d)과 하부공간(19e)을 상호 격리시킨다. 이를 위해 상기 차단링(31)은 차단링(31)과 바디(19)의 내주면 사이로 공기가 누설되지 않도록 바디에 긴밀히 밀착한 상태로 슬라이딩 한다. 또한 상기 오링(49b)은 차단링(31)을 보조하는 역할을 한다.The outer circumferential surface of the
또한 상기 승강샤프트(25)의 상단부와 중공로드(27)의 사이에도 오링(49a)이 설치된다. 상기 오링(49a)은 부품의 흡착시 관통로(25a)에 형성되는 진공압력이 승강샤프트(25)의 외부로 누설되지 않도록 밀폐하는 역할을 한다. In addition, the O-
그런데 상기한 구성을 갖는 종래의 픽커(13)는, 픽커의 동작시 상대 운동 하는 부품 사이의 기밀을 오링(49a,49b)이 담당하므로, 오링의 마모가 심해 수명이 짧고, 특히 픽커의 연속 사용시 마찰열에 의해 오링이 벽에 눌러붙는 현상을 발생한다. 또한 오링의 열손상에 의해 오링으로부터 떨어진 부스러기들이 관로를 순환하다가 관로를 막거나 또는 진공펌프로 빨려 들어가 진공펌프의 고장을 유발하기도 한다.However, in the
또한, 상기한 바와같이, 차단링(31)이 바디의 내부공간 내주면에 접한 상태로 승강하므로, 픽커의 사용이 오래될수록, (마치 자동차 엔진에서 피스톤이 실린더벽을 마모시키는 것처럼) 상기 차단링(31)에 의해 내주면이 마모되어 틈새가 커지게 된다. 이 경우 상부공간(19d)과 하부공간(19e) 사이에 공기가 소통하게 되어 승강샤프트(25)의 승강운동이 부정확하게 된다. 상기한 현상이 발생하면 바디(19)를 교체하거나 아니면 픽커 자체를 교체해야 하므로 유지보수 비용이 매우 많이 소요된다.In addition, as described above, the
본 발명은 상기 문제점을 해소하고자 창출한 것으로서, 내부의 마찰부위에 고무 오링을 사용하지 않음으로써, 가령 오링의 손상이나 눌러붙는 현상 등과 같은 문제가 발생할 염려가 없고, 특히 바디 내부공간의 내주면을 커버하는 별도의 고정실린더를 가지므로, 사용이 오래되더라도 마찰에 의한 바디 자체의 마모가 없어, 유지 보수가 간단하고 동작 정밀성이 뛰어나 신뢰성이 높은 부품 이송용 흡착식 픽커를 제공함에 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, by not using the rubber O-ring in the friction portion of the inside, there is no fear of problems such as damage or pressing of the O-ring, in particular, covers the inner circumferential surface of the body inner space Since it has a separate fixed cylinder, there is no wear of the body itself due to friction even if the use is long, the maintenance is simple, the operation precision is excellent and the object to provide a highly reliable adsorptive picker for transporting parts.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 부품 이송용 흡착식 픽커는, 승강 및 수평 운동을 통해 부품을 흡착하여 목표지점으로 이송시키는 것으로서, 일정내경 및 높이를 가지며 하부로 개방된 제 1내부공간부와, 상기 제 1내부공간부보다 작은 내경 및 높이를 가지며, 제 1내부공간부의 상부에 위치하고 제 1내부공간부로 개방되는 제 2내부공간부와, 상기 제 2내부공간부를 외부로 연통시키는 배기통로와, 상기 제 1내부공간부의 상하단부에 각각 연통하는 제 1,2급기통로가 마련되어 있는 바디와; 상기 바디의 하단부에 결합하여 제 1,2내부공간부를 밀폐하는 캡과; 그 상단부가 상기 제 1내부공간부를 거쳐 제 2내부공간부에 위치하고, 하단부는 상기 캡을 하향 통과하여 캡의 하부에 흡착노즐과 결합하며 길이방향으로 승강 가능한 중공형 승강샤프트와; 상기 제 2내부공간부에 장착되어 승강샤프트의 상단부를 그 내부에 수용하며 승강샤프트의 승강운동을 가이드하는 상단가이더와; 상기 제 1내부공간의 내주면에 밀착 고정되며 상하로 개방된 일정 직경 및 높이를 갖는 실린더형 부재로서, 제 1급기통로의 연통구와, 제 2급기통로의 연통구의 사이에 위치하는 고정실린더와; 상기 승강샤프트에 지지된 상태로 고정실린더의 내부 영역에 위치하며, 상기 제 1급기통로로 공급된 공기의 압력에 의해 고정실린더의 내부에서 하향 이동하여 승강샤프트를 하강시키고, 제 2급기통로를 통해 공급된 공기의 압력에 의해 고정실린더의 내부에서 상향 이동하여 승강샤프트를 상승시키는 홀더유니트를 포함하는 것을 특징으로 한다.Adsorption-type picker for transporting parts of the present invention for achieving the above object, by adsorbing the parts through the lifting and horizontal movement to transfer to the target point, the first internal space portion having a predetermined inner diameter and height and open to the bottom, A second inner space portion having an inner diameter and a height smaller than the first inner space portion and positioned above the first inner space portion and opened to the first inner space portion, an exhaust passage communicating the second inner space portion to the outside; A body having first and second air supply passages communicating with upper and lower ends of the first inner space, respectively; A cap coupled to the lower end of the body to seal the first and second inner spaces; A hollow lifting shaft whose upper end portion is positioned in the second inner space portion via the first inner space portion, and the lower portion passes downward through the cap, engages with the suction nozzle in the lower portion of the cap, and is capable of lifting in a longitudinal direction; An upper guider mounted on the second inner space and accommodating an upper end of the lifting shaft therein and guiding the lifting movement of the lifting shaft; A cylindrical member having a predetermined diameter and a height, which is tightly fixed to the inner circumferential surface of the first inner space and is opened vertically, the fixed cylinder being positioned between the communication port of the first air supply passage and the communication hole of the second air supply passage; Located in the inner region of the fixed cylinder in the state supported by the lifting shaft, by moving the pressure downward in the fixed cylinder by the pressure of the air supplied to the first air supply passage to lower the lifting shaft, and through the second air supply passage It characterized in that it comprises a holder unit for moving up in the fixed cylinder by the pressure of the supplied air to raise the lifting shaft.
또한, 상기 승강샤프트의 외주면에는 상방향으로 지지력을 제공하는 걸림턱이 형성되어 있고, 상기 홀더유니트는; 상기 고정실린더의 내주면에 면접한 상태로 슬라이딩 가능하고 그 중앙부로 상기 승강샤프트를 통과시키며 상기 걸림턱을 그 내부에 포함하는 승강실린더와, 상기 걸림턱에 걸려 지지되는 스프링과, 상기 승강실린더의 상단부에 결합하며 스프링을 하향 지지하는 고정캡과, 상기 승강샤프트에 승강실린더를 링크시키는 연결수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, a locking jaw is provided on the outer circumferential surface of the lifting shaft to provide a support force in an upward direction, and the holder unit comprises; A lifting cylinder which is slidable in an interview state on the inner circumferential surface of the fixed cylinder and passes through the lifting shaft to a central portion thereof, and includes the locking jaw therein; a spring supported by the locking jaw; and an upper end of the lifting cylinder. It is characterized in that it comprises a fixing cap coupled to and supporting the spring and the lifting cylinder to link the lifting shaft to the lifting shaft.
아울러, 상기 승강샤프트의 외주면에는 걸림홈이 형성되어 있고, 상기 연결수단은; 상기 걸림홈을 수평으로 가로지르며 그 양단부가 승강실린더에 고정된 사이드핀을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the outer peripheral surface of the lifting shaft is formed with a locking groove, the connecting means; It characterized in that it comprises a side pin that crosses the locking groove horizontally and both ends thereof are fixed to the lifting cylinder.
또한, 상기 고정실린더의 상부에는, 제 1급기통로를 통해 공급된 공기를 홀더유니트의 상부로 유도하는 제 1공기유도부재가 구비되고, 상기 고정실린더의 하부에는, 제 2급기통로를 통해 공급된 공기를 홀더유니트의 하부로 유도하는 제 2공기유도부재가 설치된 것을 특징으로 한다.In addition, the upper portion of the fixed cylinder is provided with a first air guide member for guiding the air supplied through the first air supply passage to the upper portion of the holder unit, the lower portion of the fixed cylinder, supplied through the second air supply passage And a second air induction member for guiding air to the lower portion of the holder unit.
또한, 상기 고정실린더는; 상기 제 1공간부의 내부에 압입 고정된 상태로 상기 승강실린더의 승강운동을 가이드하는 것으로서, 세라믹, 초경합금, 금속 중 어느 하나로 제작된 것을 특징으로 한다.In addition, the fixed cylinder; Guide the lifting movement of the lifting cylinder in the press-fixed state inside the first space, characterized in that made of any one of ceramic, cemented carbide, metal.
상기와 같이 이루어지는 본 발명의 부품 이송용 흡착식 픽커는, 내부의 마찰부위에 고무 오링을 사용하지 않음으로써, 가령 오링의 손상이나 눌러붙는 현상 등과 같은 문제가 발생할 염려가 없고, 특히 바디 내부공간의 내주면을 커버하는 별도의 고정실린더를 가지므로, 사용이 오래되더라도 마찰에 의한 바디 자체의 마모가 없어, 유지 보수가 간단하고 동작 정밀성이 뛰어나 신뢰성이 높다.The adsorptive picker for conveying parts of the present invention made as described above does not use a rubber o-ring on the friction part inside, so that there is no possibility of problems such as damage or sticking of the o-ring, in particular, the inner circumferential surface of the inner space of the body. Since it has a separate fixed cylinder to cover, there is no wear of the body itself due to friction even if it is used for a long time, the maintenance is simple and the operation precision is excellent and the reliability is high.
도 1은 부품 이송용 흡착식 픽커의 사용 예를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도 2a 및 도 2b는 종래의 부품 이송용 흡착식 픽커의 내부 구조를 나타내 보인 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 부품 이송용 흡착식 픽커의 분해 사시도이다.
도 4및 도 5는 상기 도 3에 도시한 흡착식 픽커의 동작을 설명하기 위하여 도시한 도면이다.1 is a view for explaining the use of the adsorption picker for component transfer.
2A and 2B are cross-sectional views illustrating the internal structure of a conventional adsorptive picker for conveying parts.
3 is an exploded perspective view of an adsorptive picker for conveying parts according to an exemplary embodiment of the present invention.
4 and 5 are diagrams for explaining the operation of the adsorptive picker shown in FIG.
이하, 본 발명에 따른 하나의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, one embodiment according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 부품 이송용 흡착식 픽커의 분해 사시도이다.3 is an exploded perspective view of an adsorptive picker for conveying parts according to an exemplary embodiment of the present invention.
도시한 바와같이, 본 실시예에 따른 흡착식 픽커(51)는, 하부로 개방된 제 1,2공간부(53d,53e)를 갖는 바디(53)와, 상기 바디(53)의 하단부에 결합하는 캡(55)과, 상기 캡(55)을 관통하여 바디(53) 내부로 연장되는 승강샤프트(57)와, 상기 승강샤프트(57)의 외주면에 고정되는 홀더유니트(71)와, 상기 제 1공간부(53d)의 내부에 고정되며 홀더유니트(71)의 승강운동을 가이드하는 고정실린더(67)를 포함한다.As shown, the
먼저, 상기 바디(53)는 흡착식 픽커(51)의 하우징 역할을 하는 것으로서, 제 1공간부(53d)와 제 2공간부(53e)는 동축상에 위치한다. 상기 제1,2공간부(53d,53e)는 일정내경 및 높이를 갖는 원통형 홈으로서 하부로 개방되어 있다. 상기 제 2공간부(53e)의 내경 및 높이는 제 1공간부(53d)의 내경 및 높이보다 작다.First, the
또한 상기 제 2공간부(53e)는 배기통로(53a)를 통해 외부로 연통된다. 상기 배기통로(53a)는 바디(53) 내부의 공기를 외부로 빼내는 통로이다. 아울러 상기 제 1공간부(53d)는 제 1,2급기통로(53b,53c)를 통해 외부로 연통된다. 상기 제 1급기통로(53b)의 연통구(53m)는 제 1공간부(53d)의 상단부에 위치하고, 제 2급기통로(53c)의 연통구(53n)는 제 1공간부(53d)의 대략 하단부에 위치한다. 상기 연통구(53m,53n)이라 함은 제 1,2급기통로(53b,53c)가 제 1공간부(53d)와 만나는 부분을 의미한다.In addition, the
한편, 상기 캡(55)은 바디(53)의 하단부에 끼움 결합하는 것으로서, 그 상면에 상부로 돌출된 써포터(55a)를 갖는다. 상기 써포터(55a)는 후술할 밀폐디스크(58) 및 공기유도디스크(59)를 수평으로 지지하는 역할을 한다. 또한 상기 캡(55)의 중앙부에는 관통구멍(55b)이 마련되어 있다. 상기 관통구멍(55b)은 승강샤프트(57)의 헤드부(57a)를 통과시키는 구멍이다.On the other hand, the
상기 승강샤프트(57)는 그 하단의 헤드부(57a)가 관통구멍(55b)에 지지된 상태로 상부로 연장된 중공파이프형 부재이다. 상기 승강샤프트(57)의 내부에는 도 4에 도시한 바와같이 관통로(57e)가 형성되어 있다. 상기 승강샤프트(57)의 상단부는 제 2공간부(53e)에 삽입되어 상단가이더(70)에 지지된다. 상기 승강샤프트(57)의 상단부에는 상단가이더(70)에 지지되는 삽입지지부(57d)가 마련되어 있다.The lifting
상기 승강샤프트(57)의 외주면에는 핀홈(57c)과 스프링지지턱(57b)이 마련되어 있다. 상기 핀홈(57c)은 승강샤프트(57)의 외주면 일측에 형성한 홈으로서 후술할 사이드핀(62)을 수용한다. 상기 사이드핀(62)은 양단이 승강실린더(61)에 고정된 상태로 핀홈(57c) 내부에서 상하(승강샤프트의 길이방향)로 위치 이동 가능하다.The outer circumferential surface of the lifting
상기 스프링지지턱(57b)은 스프링(60)의 하단부를 지지하는 역할을 한다. 상기 스프링(60)은 부품을 흡착하기 위하여 흡착노즐(15)이 하강하여 부품(A)과 접하는 순간의 충격을 완화하는 것이다.The
또한 승강샤프트(57)에는 홀더유니트(71)가 구비된다. 상기 홀더유니트(71)는 상기 사이드핀(62)을 통해 승강샤프트(57)에 결합한 상태로 외부로부터 공급된 공기의 압력에 의해 상승 또는 하강하여 승강샤프트(57)를 승강시키는 것이다.In addition, the lifting
상기 홀더유니트(71)는, 그 내주면 상단부에 암나사부(61c)가 형성되며 승강샤프트(57)를 그 내부로 통과시키는 승강실린더(61)와, 상기 승강실린더(61)의 내부에 끼워지며 상기 스프링(60)의 상부에 위치하고 승강실린더(61)의 내부통로를 밀폐하는 링부재(63)와, 상기 암나사부(61c)에 결합하는 고정캡(65)과, 상기 승강실린더(61)의 일측에 마련되어 있는 핀구멍(61a)에 양단부가 고정되며 상기 핀홈(57c)에 수용되는 사이드핀(62)을 포함한다. 상기 고정캡(65)의 중심 관통구(65a) 내주면과 승강실린더(61)의 내주면이 승강샤프트(57)에 밀착함은 물론이다. The
한편, 캡(55)에 의해 막힌 상태의 제 1공간부(53d)의 하단에는 제 2공기유도디스크(59) 및 밀폐디스크(58)가 설치되고, 상단에는 제 1공기유도디스크(69)가 구비된다.On the other hand, the second
상기 제 1공기유도디스크(69)는 제 1급기통로(53b)와 연통구(53m)을 통해 유입한 공기를 도 4의 화살표 a방향으로 유도하여 홀더유니트(71)로 보내는 역할을 한다. 상기 홀더유니트(71)로 공급된 공기는 홀더유니트(71)를 하향 가압하여 승강샤프트(57)를 하강시킨다.The first
상기 제 1공기유도디스크(69)는 중앙에 관통구멍(69b)이 뚫려있는 링형태의 부재로서 그 상면에 다수의 슬릿(69a)을 갖는다. 상기 슬릿(69a)은 연통구(53m)를 통과한 공기를 그 내부로 통과시켜 관통구멍(69b)로 유도한다.The first
또한 제 2공기유도디스크(59)는 상기 제 2급기통로(53c)와 연통구(53n)를 통해 공급된 공기를 내측으로 유도하여 승강실린더(61)의 저면으로 보내는 기능을 한다. 상기 승강실린더(61)의 저면으로 압입된 공기는 홀더유니트(71)를 밀어 올려 승강샤프트(57)를 상승시킨다.In addition, the second
이러한 동작을 할 수 있도록, 상기 제 2공기유도디스크(59)의 중앙부에는 관통구멍(59b)이 형성되어 있고, 상면에는 다수의 슬릿(59a)이 마련되어 있다.The through-
도면부호 58은 밀폐디스크이다. 상기 밀폐디스크(58)는 제 2공기유도디스크(59)에 의해 유도된 공기가 하부로 빠지지 않도록 차단하는 시일의 역할을 한다. 상기 밀폐디스크(58) 중앙의 관통구멍(58a)이 승강샤프트(57)의 외주면에 밀착함은 물론이다.
상기 제 1,2공기유도디스크(69,59)나 밀폐디스크(58)는 아세탈이나 테프론 또는 엔지니어링 플라스틱으로 제작할 수 있다.The first and second
또한 상기 제 1공간부(53d)의 내부에는 고정실린더(67)가 구비된다. 상기 고정실린더(67)는 일정내경을 갖는 원통형 부재로서 세라믹 또는 초경합금이나 금속류 또는 엔지니어링플라스틱 등으로 제작할 수 있다.In addition, a fixed
상기 고정실린더(67)의 상단부는 제 1공기유도디스크(69)의 저면에 밀착하고, 하단부는 제 2공기유도디스크(59)의 상면에 접한다. 따라서 상기 고정실린더(67)는 제1,2공기유도디스크(69,59)에 갇힌 상태로 제 1공간부(53d) 내부에 고정된 상태를 유지한다.The upper end of the fixed
상기 고정실린더(67)의 내주면은 승강실린더(61)의 외주면과 긴밀히 밀착한다. 상기 승강실린더(61)는 고정실린더(67)에 밀착한 상태로 승강 운동할 수 있다. 특히 상기 고정실린더(67)와 승강실린더(61)의 밀착면이 충분히 넓고 이에 비해 승강동작은 매우 짧은 시간에 이루어지므로, 승강실린더(61)와 고정실린더(67)의 밀착면 사이로 공기가 누설될 염려가 없다.The inner circumferential surface of the fixed
한편, 연속적인 사용으로 고정실린더(67)의 내주면이 마모된다 하더라도 상기 캡(55)을 열어 고정실린더(67)만 간단히 교체할 수 있다.On the other hand, even if the inner peripheral surface of the fixed
상기 제 2공간부(53e)의 내부에는 상단가이더(70)가 설치된다. 상기 상단가이더(70)는 승강가이드(57)의 상단부를 수용하여 승강가이드의 승강운동을 가이드함과 동시에 흡착시 승강가이드(57) 내부의 압력누설을 차단한다.An
상기 상단가이더(70)는, 승강샤프트(57)의 삽입지지부(57d)를 수용하고 그 상단에 오링홈(70c)을 갖는 내통(70b)과, 상기 내통(70b)을 그 내부에 수용하며 제 2공간부(53e)의 내주면에 밀착하는 외통(70a)과, 상기 오링홈(70c)에 끼워지는 오링(70d)을 포함한다. 상기 오링(70d)은 지지면(53f)에 밀착 고정된 상태로 배기통로(53a)의 압력 손실을 차단한다. 상기 오링(70d)은 마찰면에 설치된 것이 아니므로, 시간이 지나더라도 열에 의해 손상되지 않는다.The upper guider (70) accommodates the insertion support (57d) of the lifting shaft (57) and has an inner cylinder (70b) having an O-ring groove (70c) at the upper end, and receives the inner cylinder (70b) therein An
도 4및 도 5는 상기 도 3에 도시한 흡착식 픽커의 동작을 설명하기 위하여 도시한 도면이다.4 and 5 are diagrams for explaining the operation of the adsorptive picker shown in FIG.
도 4를 참조하면, 상기 홀더유니트(71)가 제 1공간부(53d)내에서 최대한 상승한 상태를 유지하고 있음을 알 수 있다. 상기 홀더유니트(71)에 고정되어 있는 승강샤프트(57)도 상사점에 위치하고 있음은 물론이다. 또한 이때 홀더유니트(71)의 아래에 하부공간(Z)이 확보된다.Referring to FIG. 4, it can be seen that the
이 상태에서 상기 제 1급기통로(53b)내에 공기를 압입하면, 주입공기는 제 1급기통로(53b)와 연통구(53m)와 제 1공기유도디스크(69)를 차례로 거쳐 고정캡(65)의 상부에 도달한다. In this state, when air is pressurized into the first
상기 고정캡(65)의 상부에 도착한 공기의 압력은 흡착노즐(15)에 전달되어 홀더유니트(71)를 하강시킨다. 홀더유니트(71)가 하강함과 동시에 승강샤프트(57)도 하강하여, 흡착노즐(15)이 대기하고 있는 부품(A)에 접한다. 이 때 상기 홀더유니트(71)의 위에 상부공간(Y)이 만들어진다.The pressure of the air arriving at the upper portion of the fixing
도 5에 도시한 바와같이, 흡착노즐(15)이 부품(A)에 접했다면, 외부의 진공펌프(미도시)를 구동하여 관통로(57e) 내부의 공기를 외부로 빼내어 관통로(57e) 내에 음압을 형성한다. 상기 음압은 흡착노즐(15)에 전달되어 부품(A)이 흡착판(15a)에 흡착된다.As shown in FIG. 5, when the
이어서 상기 제 2급기통로(53c)에 공기를 압입하면, 제 2급기통로(53c)로 주입된 공기는 연통구(53n)와 제 2공기유도디스크(59)를 거쳐 화살표 b방향으로 진입하며 홀더유니트(71)를 상부로 가압 이동시킨다. 승강샤프트(57)가 부품을 흡착해 올린 것이다. Subsequently, when air is pressurized into the second
이 상태로 이송장치(도 1의 11)를 수평 이동시켜, 픽커(51)를 목표지점의 연직 상부에 도달시킨 후, 상기 과정을 통해 승강샤프트(57)를 하강시키고, 관통로(57e)내의 음압을 해제 하여 부품을 실장한 후. 픽커(51)를 처음의 위치로 복귀시켜 한 번의 이송을 마치고, 상기 과정을 반복하여 여러 부품의 이송을 완료한다.In this state, the transfer device (11 in FIG. 1) is moved horizontally to reach the
이상, 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정하지 않고, 본 발명의 기술적 사상의 범위내에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims.
11:이송장치 13:픽커 15:흡착노즐
15a:흡착판 19:바디 19a:배기통로
19b:제 1급기통로 19c:제 2급기통로 19d:상부공간
19e:하부공간 19f:캡 21:배기관
23:급기관 25:승강샤프트 25a:관통로
27:중공로드 29:홀더유니트 31:차단링
49a,49b:오링 51:픽커 53:바디
53a:배기통로 53b:제 1급기통로 53c:제 2급기통로
53d:제 1공간부 53e:제 2공간부 53f:지지면
53m,53n:연통구 55:캡 55a:써포터
55b:관통구멍 57:승강샤프트 57a:헤드부
57b:스프링지지턱 57c:핀홈 57d:삽입지지부
57e:관통로 58:밀폐디스크 58a:관통구멍
59:제 2공기유도디스크 59a:슬릿 59b:관통구멍
60:스프링 61:승강실린더 61a:핀구멍
61c:암나사부 62:사이드핀 63:링부재
65:고정캡 65a:관통구 67:고정실린더
69:제 1공기유도디스크 69a:슬릿 69b:관통구멍
70:상단가이더 70a:외통 70b:내통
70c:오링홈 70d:오링 71:홀더유니트11: Conveyer 13: Picker 15: Suction nozzle
15a: Suction plate 19:
19b: Class 1
19e:
23: supply pipe 25: elevating
27: hollow rod 29: holder unit 31: blocking ring
49a, 49b: O-ring 51: Picker 53: Body
53a:
53d:
53m, 53n: Communication port 55:
55b: through hole 57: lifting
57b:
57e: passage 58:
59: second
60: spring 61: lifting
61c: female thread portion 62: side pin 63: ring member
65: fixed
69: first
70:
70c: O-
Claims (5)
일정내경 및 높이를 가지며 하부로 개방된 제 1내부공간부와, 상기 제 1내부공간부보다 작은 내경 및 높이를 가지며, 제 1내부공간부의 상부에 위치하고 제 1내부공간부로 개방되는 제 2내부공간부와, 상기 제 2내부공간부를 외부로 연통시키는 배기통로와, 상기 제 1내부공간부의 상하단부에 각각 연통하는 제 1,2급기통로가 마련되어 있는 바디와;
상기 바디의 하단부에 결합하여 제 1,2내부공간부를 밀폐하는 캡과;
그 상단부가 상기 제 1내부공간부를 거쳐 제 2내부공간부에 위치하고, 하단부는 상기 캡을 하향 통과하여 캡의 하부에 흡착노즐과 결합하며 길이방향으로 승강 가능한 중공형 승강샤프트와;
상기 제 2내부공간부에 장착되어 승강샤프트의 상단부를 그 내부에 수용하며 승강샤프트의 승강운동을 가이드하는 상단가이더와;
상기 제 1내부공간의 내주면에 밀착하며 상하로 개방된 일정 직경 및 높이를 갖는 실린더형 부재로서, 제 1시트의 연통구와, 제 2급기통로의 연통구의 사이에 위치하는 고정실린더와;
상기 승강샤프트에 지지된 상태로 고정실린더의 내부 영역에 위치하며, 상기 제 1급기통로로 공급된 공기의 압력에 의해 고정실린더의 내부에서 하향 이동하여 승강샤프트를 하강시키고, 제 2급기통로를 통해 공급된 공기의 압력에 의해 고정실린더의 내부에서 상향 이동하여 승강샤프트를 상승시키는 홀더유니트를 포함하는 것을 특징으로 하는 부품 이송용 흡착식 픽커.It is to suck the parts through lifting and horizontal movement and transfer them to the target point,
A first inner space portion having a predetermined inner diameter and a height and which is opened downward; a second inner space having an inner diameter and a height smaller than the first inner space portion and positioned above the first inner space portion and opening to the first inner space portion; A body having an exhaust passage for communicating the second internal space to the outside, and first and second air supply passages communicating with upper and lower ends of the first internal space;
A cap coupled to the lower end of the body to seal the first and second inner spaces;
A hollow lifting shaft whose upper end portion is positioned in the second inner space portion via the first inner space portion, and the lower portion passes downward through the cap, engages with the suction nozzle in the lower portion of the cap, and is capable of lifting in a longitudinal direction;
An upper guider mounted on the second inner space and accommodating an upper end of the lifting shaft therein and guiding the lifting movement of the lifting shaft;
A cylindrical member in close contact with an inner circumferential surface of the first inner space and having a predetermined diameter and a height, the fixed cylinder being positioned between the communication port of the first sheet and the communication port of the second air supply passage;
Located in the inner region of the fixed cylinder in the state supported by the lifting shaft, by moving the pressure downward in the fixed cylinder by the pressure of the air supplied to the first air supply passage to lower the lifting shaft, and through the second air supply passage An adsorptive picker for conveying parts, comprising: a holder unit which moves upwardly in the fixed cylinder to raise and lower the lifting shaft by the pressure of the supplied air;
상기 승강샤프트의 외주면에는 상방향으로 지지력을 제공하는 걸림턱이 형성되어 있고,
상기 홀더유니트는;
상기 고정실린더의 내주면에 면접한 상태로 슬라이딩 가능하고 그 중앙부로 상기 승강샤프트를 통과시키며 상기 걸림턱을 그 내부에 포함하는 승강실린더와,
상기 걸림턱에 걸려 지지되는 스프링과,
상기 승강실린더의 상단부에 결합하며 스프링을 하향 지지하는 고정캡과,
상기 승강샤프트에 승강실린더를 링크시키는 연결수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 부품 이송용 흡착식 픽커.The method of claim 1,
On the outer circumferential surface of the lifting shaft is formed a locking step for providing a support force in the upward direction,
The holder unit is;
A lifting cylinder which is slidable in an interview state on an inner circumferential surface of the fixed cylinder, passes the lifting shaft through the center thereof, and includes the locking jaw therein;
A spring that is supported by the locking jaw;
A fixed cap coupled to the upper end of the elevating cylinder and supporting the spring downward;
And a connecting means for linking the lifting cylinder to the lifting shaft.
상기 승강샤프트의 외주면에는 걸림홈이 형성되어 있고,
상기 연결수단은;
상기 걸림홈을 수평으로 가로지르며 그 양단부가 승강실린더에 고정된 사이드핀을 포함하는 것을 특징으로 하는 부품 이송용 흡착식 픽커.The method of claim 2,
The outer peripheral surface of the lifting shaft is formed with a locking groove,
The connecting means;
An adsorptive picker for transferring parts, characterized in that it comprises a side pin that traverses the locking groove horizontally and both ends thereof are fixed to a lifting cylinder.
상기 고정실린더의 상부에는, 제 1급기통로를 통해 공급된 공기를 홀더유니트의 상부로 유도하는 제 1공기유도부재가 구비되고,
상기 고정실린더의 하부에는, 제 2급기통로를 통해 공급된 공기를 홀더유니트의 하부로 유도하는 제 2공기유도부재가 설치된 것을 특징으로 하는 부품 이송용 흡착식 픽커.The method of claim 1,
The upper part of the fixed cylinder is provided with a first air guide member for guiding the air supplied through the first air supply passage to the upper part of the holder unit,
The lower portion of the fixed cylinder, the adsorption picker for conveying parts, characterized in that the second air induction member for guiding the air supplied through the second air supply passage to the lower portion of the holder unit is installed.
상기 고정실린더는;
상기 제 1공간부의 내부에 압입 고정된 상태로 상기 승강실린더의 승강운동을 가이드하는 것으로서, 세라믹, 초경합금, 금속 중 어느 하나로 제작된 것을 특징으로 하는 부품 이송용 흡착식 픽커.The method of claim 1,
The fixed cylinder is;
Guide the lifting movement of the lifting cylinder in the press-fixed state inside the first space portion, the adsorption picker for transporting parts, characterized in that made of any one of ceramic, cemented carbide, metal.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100009164A KR101100931B1 (en) | 2010-02-01 | 2010-02-01 | Absorption Picker for transferring electronic parts |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020100009164A KR101100931B1 (en) | 2010-02-01 | 2010-02-01 | Absorption Picker for transferring electronic parts |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20110089667A true KR20110089667A (en) | 2011-08-09 |
KR101100931B1 KR101100931B1 (en) | 2012-01-02 |
Family
ID=44927637
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020100009164A KR101100931B1 (en) | 2010-02-01 | 2010-02-01 | Absorption Picker for transferring electronic parts |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR101100931B1 (en) |
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