KR20110083052A - 5-shaft micro machining apparatus - Google Patents

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KR20110083052A
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박종권
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한국기계연구원
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Abstract

PURPOSE: A 5 shaft micro processing apparatus is provided to have a high processing accuracy and to easily process complicated shaped workpiece due to a 5 shaft structure. CONSTITUTION: The 5 shaft micro processing apparatus includes a z table; a b rotary table; a workpiece processing unit(100); a workpiece mounting unit. The z table(120) is installed on a horizontal base table to be moved toward a z direction. The b rotary table(130) is installed on the z table to be rotated in a b direction. The workpiece processing unit is fixed on the b rotary table, and is composed of a spindle and a zig for cutting supporting a cutting tool. The workpiece mounting unit(200) is installed on the c rotary table(250), and is composed of a workpiece jig supporting the workpiece.

Description

5축 마이크로 가공장치{5-SHAFT MICRO MACHINING APPARATUS}5-axis micromachining machine {5-SHAFT MICRO MACHINING APPARATUS}

본 발명은 5축 마이크로 가공장치에 관한 것이다.The present invention relates to a five-axis micromachining apparatus.

특히, 5축형이면서도 함축된 구성을 가짐에 따라 가공정밀도를 향상시킬 수 있고, 볼륨을 현저히 줄일 수 있는 5축 마이크로 가공장치에 관한 것이다.In particular, the present invention relates to a five-axis micro-machining apparatus capable of improving processing accuracy and significantly reducing the volume by having a five-axis type and an implied configuration.

[선행문언] 국내특허출원 제10-2007-0118432호(2007년 11월 20일)[Previous Statement] Domestic Patent Application No. 10-2007-0118432 (November 20, 2007)

위 선행문언에 따르면, 종래의 마이크로 가공장치는 4축형 구조를 갖는다.According to the above prior statement, the conventional micro processing apparatus has a four-axis structure.

도 1을 통해 구체적으로 보면, 종래 마이크로 장치는 베이스 테이블(10)과, 상기 베이스 테이블(10) 상에 설치되는 피삭재 장착유닛(20)과, 상기 베이스 테이블(10) 상에 설치되는 피삭재 가공유닛(30)으로 크게 구성된다.Specifically, through the micro device according to Figure 1, the base table 10, the workpiece mounting unit 20 is installed on the base table 10, the workpiece processing unit is installed on the base table 10 It consists largely of 30.

상기한 피삭재 장착유닛(20)은 상기 베이스 테이블(10) 상에 z방향으로 이동 가능하게 설치되는 z 테이블(21)과, 상기 z 테이블(21)에 회전되게 설치되며 피삭재(1)가 설치되는 c 테이블(22)과, 상기 c 테이블(22)을 회전 구동시켜주는 c 테이블 모터(23)로 구성된다.The workpiece mounting unit 20 is a z table 21 is installed to be movable in the z direction on the base table 10, and the workpiece 1 is installed to be rotated to the z table 21 is installed c table 22 and c table motor 23 which drives the c table 22 in rotation.

상기한 피삭재 가공유닛(30)은 상기 베이스 테이블(10) 상에 x방향으로 이동 가능하게 설치되는 x 테이블(31)과, 상기 x 테이블(31) 상에 고정 설치되는 y 테이블(32)과, 상기 y 테이블(32)에 y방향으로 이동 가능하게 설치되어 절삭툴(2)이 장착되는 절삭툴 장착테이블(33)로 구성된다.
The workpiece processing unit 30 includes an x table 31 mounted on the base table 10 so as to be movable in the x direction, a y table 32 fixedly mounted on the x table 31, and It is composed of a cutting tool mounting table 33 mounted on the y table 32 so as to be movable in the y direction, to which the cutting tool 2 is mounted.

그러나, 상기한 종래의 4축형 마이크로 가공장치는 5축형인 본원발명에 비해 1축이 부족함으로써 가공 정밀도가 떨어지는 하위 버젼의 가공장치이고, 또한 하위 버젼의 가공장치임에도 불구하고 볼륨이 커서 취급이 불편하였으며, 절삭툴 장착테이블(33)이 y 테이블(32)에 외팔보 형태로 설치되어 있어서 장기적으로는 y 테이블(32)의 자유단이 처짐현상이 발생하게 되어 가공정밀도에 악영향을 미치게 된다.However, the conventional four-axis micro-machining device described above is a lower version of the processing device having a lower processing accuracy due to a lack of one axis compared to the present invention, which is a five-axis type, and a large volume of the processing device, despite the lower version of the processing device. In addition, since the cutting tool mounting table 33 is installed in the y table 32 in the form of a cantilever, the free end of the y table 32 may sag in the long term, which adversely affects the machining precision.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 5축형이므로 가공 정밀도를 향상시킴은 물론 난해한 형태의 피삭재도 손쉽게 가공할 수 있으며, 5축형임에도 불구하고 볼륨이 크지 않아서 취급이 간편하고, 툴 장착테이블(b로터리 테이블)이 안정적으로 설치되어 있어서 가공정밀도를 확보할 수 있는 5축 마이크로 가공장치를 제공함에 있다.The present invention is to solve the conventional problems as described above, because it is a five-axis type to improve the processing precision, as well as to easily process a difficult form of the workpiece, despite the 5-axis type, the volume is not large, easy to handle, The tool mounting table (b rotary table) is stably installed to provide a 5-axis micro-machining device that can secure processing accuracy.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 주요 관점에 따르면,According to the main aspect of the present invention for achieving the above object,

수평 베이스 테이블; 상기 수평 베이스 테이블 상에 z방향으로 이동되게 설치되는 z테이블; 상기 z테이블 상에 b방향으로 회전되게 설치되는 b로터리 테이블; 상기 b로터리 테이블 상에 고정 설치된 채 스핀들 및 절삭툴을 지지하는 절삭툴용 지그로 이루어진 피삭재 가공유닛; 및Horizontal base table; A z table mounted to move in a z direction on the horizontal base table; A b rotary table installed to rotate in the b direction on the z table; A workpiece processing unit comprising a cutting tool jig supporting the spindle and the cutting tool while being fixedly installed on the b rotary table; And

상기 수평 베이스 테이블에 대해 수직방향으로 설치되는 수직 베이스 테이블; 상기 수직 베이스 테이블 상에 x방향으로 이동되게 설치되는 x테이블; 상기 x테이블에 지지된 채 y방향으로 이동되게 설치되는 y테이블; 상기 y테이블 상에 c방향으로 회전되게 설치되는 c로터리 테이블; 상기 c로터리 테이블 상에 설치된 채 피삭재를 지지하는 피삭재용 지그로 이루어진 피삭재 장착유닛;을 포함하는 5축 마이크로 가공장치이다.A vertical base table installed in a direction perpendicular to the horizontal base table; An x table mounted to move in the x direction on the vertical base table; A y table installed to be moved in the y direction while being supported by the x table; A c rotary table installed to be rotated in the c direction on the y table; And a workpiece mounting unit made of a workpiece jig for supporting the workpiece while being mounted on the c rotary table.

또한, 본 발명의 부수적 관점에 따르면,In addition, according to the secondary aspect of the present invention,

상기 z테이블, x테이블, y테이블은 리니어모터에 의해 이동이 제어되는 5축 마이크로 가공장치이다.The z table, x table, and y table are 5-axis micromachining apparatuses whose movement is controlled by a linear motor.

또한, 본 발명의 부수적 관점에 따르면,In addition, according to the secondary aspect of the present invention,

상기 y테이블은 상기 x테이블의 중앙부에 형성된 블랭크부의 높이범위 내에서 이동되는 5축 마이크로 가공장치이다.The y table is a 5-axis micromachining device which is moved within the height range of the blank portion formed at the center portion of the x table.

또한, 본 발명의 부수적 관점에 따르면,In addition, according to the secondary aspect of the present invention,

상기 y테이블의 좌우측은, 상기 x테이블에 지지된 좌우 실린더에 의해 지지된 5축 마이크로 가공장치이다.The left and right sides of the y table are 5-axis micromachining apparatus supported by the left and right cylinders supported by the x table.

또한, 본 발명의 부수적 관점에 따르면,In addition, according to the secondary aspect of the present invention,

상기 피삭재용 지그는, 상기 c로터리 테이블에 고정되는 고정지그와, 상기 고정지그에 자력(磁力)에 의해 결합되며 피삭재가 설치되는 피삭재 설치지그로 구성된 5축 마이크로 가공장치이다.The workpiece jig is a 5-axis micro-machining device consisting of a fixed jig fixed to the c rotary table, and a workpiece mounting jig coupled by the magnetic force to the fixed jig and installed with the workpiece.

또한, 본 발명의 부수적 관점에 따르면,In addition, according to the secondary aspect of the present invention,

상기 고정지그 또는 피삭재 설치지그중 어느 하나에는 영구자석 또는 전자석이 설치되며, 다른 하나는 상기 영구자석 또는 전자석의 자력에 의해 결합될 수 있도록 자성체로 구성된 5축 마이크로 가공장치이다.One of the fixing jig or the workpiece installation jig is provided with a permanent magnet or an electromagnet, the other is a five-axis micro-machining device composed of a magnetic material to be coupled by the magnetic force of the permanent magnet or electromagnet.

또한, 본 발명의 부수적 관점에 따르면,In addition, according to the secondary aspect of the present invention,

상기 고정지그와 피삭재 설치지그의 서로 마주하는 면중 어느 한 면에는 그루브가 구비되고, 다른 한 면에는 상기 그루브에 도킹되는 도킹볼이 구비된 5축 마이크로 가공장치이다.One of the surfaces facing each other of the fixing jig and the workpiece mounting jig is provided with a groove, the other side is a five-axis micro-machining device provided with a docking ball docked in the groove.

또한, 본 발명의 부수적 관점에 따르면,In addition, according to the secondary aspect of the present invention,

상기 수평 베이스 테이블과 수직 베이스 테이블은 그 양측에 조립되는 보강판에 의해 직각이 유지되게 한 5축 마이크로 가공장치이다.The horizontal base table and the vertical base table are 5-axis micro-machining apparatuses, which are maintained at right angles by reinforcing plates assembled at both sides thereof.

본 발명에 따르면, 5축형 구조를 이루고 있어서 가공 정밀도가 높음은 물론 난해한 형태의 피삭재도 손쉽게 가공할 수 있다.According to the present invention, the 5-axis structure makes it possible to easily process workpieces of high difficulty as well as difficult forms.

또한, 5축형임에도 불구하고 볼륨이 크지 않아서 취급이 간편하고, 좁은 공간에도 설치할 수 있다.In addition, despite the 5-axis type, the volume is not large, so handling is easy and it can be installed in a narrow space.

또한, 툴이 장착되는 b로터리 테이블이 안정적으로 설치되어 있어서 가공정밀도를 확보할 수 있다.In addition, the b rotary table on which the tool is mounted is stably provided to ensure processing accuracy.

도 1은 종래 4축 마이크로 장치의 구성도
도 2는 본 발명에 따른 5축 마이크로 장치의 조립 사시도
도 3은 본 발명에 따른 5축 마이크로 장치의 일부 분해사시도
도 4는 본 발명에 따른 5축 마이크로 장치의 측면도1 is a block diagram of a conventional 4-axis micro device
2 is an assembled perspective view of a 5-axis micro device according to the present invention;
3 is an exploded perspective view of a part of a 5-axis micro device according to the present invention;
4 is a side view of a 5-axis micro device according to the present invention;

이하, 본 발명을 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail.

첨부된 도 2는 본 발명에 따른 5축 마이크로 장치의 조립 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 5축 마이크로 장치의 일부 분해사시도이며, 도 4는 본 발명에 따른 5축 마이크로 장치의 측면도이다.2 is an exploded perspective view of a 5-axis micro device according to the present invention, FIG. 3 is a partially exploded perspective view of the 5-axis micro device according to the present invention, and FIG. 4 is a side view of the 5-axis micro device according to the present invention.

본 발명에 따른 5축 마이크로 가공장치는 위 도면들 에서와 같이 피삭재를 절삭가공하기 위한 피삭재 가공유닛(100)과, 피삭재(1)를 장착하기 위한 피삭재 장착유닛(200)으로 크게 구성된다.5-axis micro-machining apparatus according to the present invention is largely composed of a workpiece processing unit 100 for cutting the workpiece, and the workpiece mounting unit 200 for mounting the workpiece (1) as shown in the drawings.

먼저, 본 발명에 따른 피삭재 가공유닛(100)은 지지대 역할을 하는 수평 베이스 테이블(110)를 갖는다.First, the workpiece processing unit 100 according to the present invention has a horizontal base table 110 to serve as a support.

또한, 본 발명에 따른 피삭재 가공유닛(100)은 상기 수평 베이스 테이블(110) 상에 z방향으로 이동되게 설치되는 z테이블(120)을 갖는다. In addition, the workpiece processing unit 100 according to the present invention has a z table 120 is installed to be moved in the z direction on the horizontal base table (110).

여기서, 상기 z테이블(120)은 z테이블용 리니어모터(121)에 의해 이동이 제어된다.
Here, the z table 120 is controlled to be moved by the linear motor 121 for the z table.

또한, 본 발명에 따른 피삭재 가공유닛(100)은 상기 z테이블(120) 상에 b방향으로 회전되게 설치되는 b로터리 테이블(130)을 갖는다. In addition, the workpiece processing unit 100 according to the present invention has a b rotary table 130 is installed to rotate in the b direction on the z table 120.

여기서, 상기 b로터리 테이블(130)은 상기 z테이블(120)에 매립설치되는 모터(M)에 의해 회전된다.
Here, the b rotary table 130 is rotated by a motor (M) buried in the z table 120.

또한, 본 발명에 따른 피삭재 가공유닛(100)은 상기 b로터리 테이블(130) 상에 고정 설치된 채 스핀들(151) 및 절삭툴(152)을 지지하는 절삭툴용 지그(140)를 갖는다. In addition, the workpiece processing unit 100 according to the present invention has a cutting tool jig 140 for supporting the spindle 151 and the cutting tool 152 while being fixedly installed on the b rotary table 130.

여기서, 상기 절삭툴용 지그(140)는 앞서 설명된 기존 절삭툴용 장착테이블(33)(도 1 참조)의 불안정안 장착구조와는 달리 b로터리 테이블(130) 상에 안정적으로 안착 설치되어 있어서 처짐현상이 발생하지 않고 이로 인해 지속적으로 가공정밀도를 확보할 수 있다.
Here, unlike the unstable mounting structure of the conventional cutting tool mounting table 33 (see FIG. 1), the cutting tool jig 140 is stably seated and installed on the b rotary table 130 to sag. This does not occur and it is thereby possible to continuously ensure the machining accuracy.

다음, 본 발명에 따른 피삭재 장착유닛(200)은 상기 수평 베이스 테이블(110)에 대해 수직방향으로 설치되는 수직 베이스 테이블(210)을 갖는다. Next, the workpiece mounting unit 200 according to the present invention has a vertical base table 210 installed in a vertical direction with respect to the horizontal base table 110.

여기서, 상기 수평 베이스 테이블(110)과 수직 베이스 테이블(210)은 상호 직각을 이루도록 하기 위해 이들 양측을 보강판(300)에 의해 결합하는 것이 바람직하다.
In this case, the horizontal base table 110 and the vertical base table 210 is preferably combined by the reinforcing plate 300 so that both sides to form a right angle to each other.

또한, 본 발명에 따른 피삭재 장착유닛(200)은 상기 수직 베이스 테이블(210) 상에 x방향으로 이동되게 설치되는 x테이블(220)을 갖는다. In addition, the workpiece mounting unit 200 according to the present invention has an x table 220 which is installed to move in the x direction on the vertical base table 210.

여기서, 상기 x테이블(220)의 중앙부에는 블랭크부(221)가 형성되어 있다. 그리고, 상기 x테이블(220)은 x테이블용 리니어모터(222)에 의해 이동이 제어된다.
Here, a blank portion 221 is formed in the center portion of the x table 220. The x table 220 is controlled to be moved by the x table linear motor 222.

또한, 본 발명에 따른 피삭재 장착유닛(200)은 상기 x테이블(220)에 지지된 채 y방향으로 이동되게 설치되는 y테이블(230)을 갖는다. 따라서, 상기 y테이블(230)은 x테이블(220)을 따라 좌우로 이동되면서도 y방향으로도 이동된다. In addition, the workpiece mounting unit 200 according to the present invention has a y table 230 which is installed to move in the y direction while being supported by the x table 220. Accordingly, the y table 230 is moved left and right along the x table 220 and also in the y direction.

여기서, 상기 y테이블(230)은 상기 블랭크부(221)에 그 전반부가 안입되게 조립되어 있어서 y테이블(230)의 y방향 이동거리는 블랭크부(221)의 높이(h)에 의해 제한된다. Here, the y table 230 is assembled so that the first half of the y table 230 is seated in the blank part 221, and thus the y table 230 is limited in height in the y direction of the blank part 221.

그리고, 상기 y테이블(230)은 블랭크부(221)에 전반부가 인입되게 조립되므로 x테이블(220)과 y테이블(230)의 조립두께를 최소화할 수 있으며, 이로 인해 제품의 슬림화에 일조된다. In addition, since the y-table 230 is assembled so that the first half of the y-table 230 is retracted, the assembly thickness of the x-table 220 and the y-table 230 can be minimized, thereby contributing to the slimming of the product.

그리고, 상기 y테이블(230)은 y테이블용 리니어모터(231)에 의해 이동이 제어된다. The y table 230 is controlled to be moved by the y table linear motor 231.

그리고, 상기 y테이블(230)의 좌우측은 상기 x테이블(220)에 양측에 실린더 브라켓(241)에 의해 결합되어 있는 좌우 실린더(240)로서 지지되는 것이 바람직하다. 상기 좌우 실린더(240)는 y테이블용 리니어모터(231)에 의해 y테이블(230)의 기동시, y테이블(230)의 자중이 실리게 되어 모터에 부담을 주게 되므로 모터의 수명에 악영향을 미치는 바, 이를 방지하기 위해 좌우 실린더(240)에 의해 y테이블(230)의 자중을 어느 정도 감쇠시켜줌으로써 y테이블용 리니어모터(231)에 작용되는 무게하중을 현저히 줄여주게 된다.
In addition, the left and right sides of the y table 230 are preferably supported as the left and right cylinders 240 coupled to the x table 220 by the cylinder brackets 241 on both sides. The left and right cylinders 240 have a negative effect on the life of the motor because the weight of the y table 230 is loaded on the y table 230 when the y table 230 is started by the y table linear motor 231. In order to prevent this, the weight of the weight acting on the y-table linear motor 231 is remarkably reduced by attenuating the weight of the y-table 230 to some extent by the left and right cylinders 240.

또한, 본 발명에 따른 피삭재 장착유닛(200)은 상기 y테이블(230) 상에 c방향으로 회전되게 설치되는 c로터리 테이블(250)을 갖는다.In addition, the workpiece mounting unit 200 according to the present invention has a c rotary table 250 is installed to rotate in the c direction on the y table 230.

여기서, 상기 c로터리 테이블(250)은 상기 y테이블(230)의 내부에 매설되어 있는 모터(M)에 의해 회전된다.
Here, the c rotary table 250 is rotated by a motor M embedded in the y table 230.

또한, 상기 c로터리 테이블(250) 상에는 피삭재(1)를 지지하는 피삭재용 지그(260)가 설치된다.In addition, the workpiece jig 260 supporting the workpiece 1 is provided on the c rotary table 250.

여기서, 상기 c로터리 테이블(250)와 피삭재용 지그(260)는 자력(磁力)에 의해 결합된다. 이를 위해, 상기 c로터리 테이블(250) 또는 피삭재용 지그(260)중 어느 하나에 영구자석(270) 또는 전자석을 설치하고, 다른 하나에는 다른 극의 자석을 설치하거나 또는 자성체로 구성된다.Here, the c rotary table 250 and the workpiece jig 260 is coupled by a magnetic force. To this end, the permanent magnet 270 or the electromagnet is installed on any one of the c rotary table 250 or the jig 260 for the workpiece, and the other pole is provided with a magnet or a magnetic material.

그리고, 상기 c로터리 테이블(250)과 피삭재용 지그(260)의 서로 마주하는 면중 어느 한 면에는 그루브(251)가 구비되고, 다른 한면에는 상기 그루브(251)에 도킹되는 도킹볼(261)이 구비된다. 상기 그루브(251)와 도킹볼(261)은 c로터리 테이블(250)과 피삭재용 지그(260)를 결속했을 때 헛돎을 방지하기 위한 것이다.
In addition, a groove 251 is provided on one of the surfaces of the c rotary table 250 and the workpiece jig 260 facing each other, and a docking ball 261 docked to the groove 251 is provided on the other surface of the c rotary table 250 and the workpiece jig 260. It is provided. The groove 251 and the docking ball 261 is for preventing waste when binding the rotary table 250 and the workpiece jig 260.

위에서 설명된 본 발명의 실시예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대한 통상의 지식을 가지는 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.The embodiments of the present invention described above are disclosed for purposes of illustration, and those skilled in the art having various ordinary knowledge of the present invention may make various modifications, changes, and additions within the spirit and scope of the present invention. Additions should be considered to be within the scope of the following claims.

1 : 피삭재 100 : 피삭재 가공유닛
110 : 수평 베이스 테이블 120 : z테이블
130 : b로터리 테이블 140 : 절삭툴용 지그
200 : 피삭재 장착유닛 210 : 수직 베이스 테이블
220 : x테이블 230 : y테이블
240 : 좌우 실린더 250 : c로터리 테이블
260 : 피삭재용 지그1: Workpiece 100: Workpiece processing unit
110: horizontal base table 120: z table
130: b rotary table 140: jig for cutting tools
200: workpiece mounting unit 210: vertical base table
220: x table 230: y table
240: left and right cylinder 250: c rotary table
260: jig for workpiece

Claims (8)

수평 베이스 테이블; 상기 수평 베이스 테이블 상에 z방향으로 이동되게 설치되는 z테이블; 상기 z테이블 상에 b방향으로 회전되게 설치되는 b로터리 테이블; 상기 b로터리 테이블 상에 고정 설치된 채 스핀들 및 절삭툴을 지지하는 절삭툴용 지그로 이루어진 피삭재 가공유닛; 및
상기 수평 베이스 테이블에 대해 수직방향으로 설치되는 수직 베이스 테이블; 상기 수직 베이스 테이블 상에 x방향으로 이동되게 설치되는 x테이블; 상기 x테이블에 지지된 채 y방향으로 이동되게 설치되는 y테이블; 상기 y테이블 상에 c방향으로 회전되게 설치되는 c로터리 테이블; 상기 c로터리 테이블 상에 설치된 채 피삭재를 지지하는 피삭재용 지그로 이루어진 피삭재 장착유닛;을 포함하는 5축 마이크로 가공장치.Horizontal base table; A z table mounted to move in a z direction on the horizontal base table; A b rotary table installed to rotate in the b direction on the z table; A workpiece processing unit comprising a cutting tool jig supporting the spindle and the cutting tool while being fixedly installed on the b rotary table; And
A vertical base table installed in a direction perpendicular to the horizontal base table; An x table mounted to move in the x direction on the vertical base table; A y table installed to be moved in the y direction while being supported by the x table; A c rotary table installed to be rotated in the c direction on the y table; And a workpiece mounting unit made of a workpiece jig for supporting the workpiece while being mounted on the c rotary table. 5. 제1항에 있어서,
상기 z테이블, x테이블, y테이블은 리니어모터에 의해 이동이 제어되는 5축 마이크로 가공장치.The method of claim 1,
And the z table, the x table and the y table are controlled by a linear motor. 제1항에 있어서,
상기 y테이블은 상기 x테이블의 중앙부에 형성된 블랭크부의 높이범위 내에서 이동되는 5축 마이크로 가공장치.The method of claim 1,
And the y table is moved within a height range of a blank portion formed at the center of the x table. 제3항에 있어서,
상기 y테이블의 좌우측은, 상기 x테이블에 지지된 좌우 실린더에 의해 지지된 5축 마이크로 가공장치.The method of claim 3,
The left and right sides of the y table are 5-axis micromachining apparatus supported by the left and right cylinders supported by the x table. 제1항에 있어서,
상기 c로터리 테이블과 피삭재용 지그는 자력(磁力)에 의해 결합된 5축 마이크로 가공장치.The method of claim 1,
And the c rotary table and the workpiece jig are coupled to each other by a magnetic force. 제5항에 있어서,
상기 c로터리 테이블과 피삭재용 지그중 어느 하나에는 영구자석 또는 전자석이 설치되며, 다른 하나는 상기 영구자석 또는 전자석의 자력에 의해 결합될 수 있도록 자성체로 구성된 5축 마이크로 가공장치.The method of claim 5,
One of the c rotary table and the workpiece jig is provided with a permanent magnet or an electromagnet, the other is a 5-axis micro-machining device composed of a magnetic material to be coupled by the magnetic force of the permanent magnet or electromagnet. 제6항에 있어서,
상기 c로터리 테이블과 피삭재용 지그의 서로 마주하는 면중 어느 한 면에는 그루브가 구비되고, 다른 한 면에는 상기 그루브에 도킹되는 도킹볼이 구비된 5축 마이크로 가공장치.The method of claim 6,
The c rotary table and the five-axis micro-machining device having a groove on one side of the surface facing each other of the workpiece jig, the other side is provided with a docking ball docked in the groove. 제1항에 있어서,
상기 수평 베이스 테이블과 수직 베이스 테이블은 그 양측에 조립되는 보강판에 의해 직각이 유지되게 한 5축 마이크로 가공장치.The method of claim 1,
The horizontal base table and the vertical base table is a five-axis micro-machining apparatus to maintain the right angle by the reinforcing plate assembled on both sides.
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