KR20110082476A - Provision of objects to an imaging system adapted to image multiple sides of objects - Google Patents
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Abstract
Description
본 출원은 2010년 1월 11자로 제출된 미국 특허 가출원 제 61/293,728호로부터의 우선권 이익을 주장하며, 이는 여기에 그 전체가 수록되어 있다.This application claims priority benefit from US Provisional Application No. 61 / 293,728, filed January 11, 2010, which is incorporated herein in its entirety.
본 발명은 전기적 대상체와 같은, 특히 캐패시터와 같이, 그렇지만 이에 한정되지는 않는 작고 긴 전기적 대상체와 같은 대상물들을 검사하기 위한 시스템 및 방법에 관한 것이다. The present invention is directed to a system and method for examining objects such as, but not limited to, small and long electrical objects, such as, but not limited to, capacitors.
외관 형상은 검사 방법 중의 한가지이며, 이는 검사 대상체의 이미지들을 기준 이미지에 비교함으로써 이루어진다. 하나의 측면 또는 두개의 측면을 이미징 처리하는 경우, 즉 웨이퍼 또는 피씨비 기판과 같은 경우, 하나의 이미지는 검사를 위해서 연직 방향 또는 저면 방향으로부터 포획되는데, 이는 간단한 작업들이다. The appearance shape is one of the inspection methods, which is made by comparing images of the inspection object to a reference image. In the case of imaging one or two sides, ie in the case of a wafer or PCB substrate, one image is captured from the vertical or bottom direction for inspection, which is a simple task.
육면 대상체의 경우, 그 과정은 더욱 복잡하다. 그와 같은 검사는 많은 생산품에 대해서 요구되며, 이와 같은 생산품 중 몇몇은 매우 작거나 또는 수량이 많다. 예를 들면, 마이크로 전자공학적 제품(세라믹 캐패시터, 칩들 및 레지스터들)에서 사용되는 전기적 대상체의 전체 측면을 검사하여야 할 필요성이 있으며; 크기 측정, 세라믹 결함 및 종단(termination) 결함과 같은 광범위한 결함들이 자동화된 광학 검사 시스템들을 활용하여 인식될 수 있다.For six-sided subjects, the process is more complicated. Such inspections are required for many products, some of which are very small or in large quantities. For example, there is a need to examine the entire aspect of an electrical object used in microelectronics products (ceramic capacitors, chips and resistors); A wide range of defects such as sizing, ceramic defects and termination defects can be recognized using automated optical inspection systems.
어느 한 대상체의 전체 측면들의 이미징 처리를 활용하는 시스템들이 미국 특허 제4912318호의 "inspection Equipment for Small Bottles" 및 미국 특허 제4219269호의 "External Appearance Inspection System"에 개시되어 있으며, 그 두 특허는 모두 Kajiura et al.에게 양도되었으며, 또한 이와 같은 시스템들은 몇가지 문제점들을 갖고 있다.Systems that utilize imaging processing of the entire aspects of an object are disclosed in US Pat. No. 4,123,18 "Inspection Equipment for Small Bottles" and US Pat. No. 4,229 26969, "External Appearance Inspection System," both of which are Kajiura et. handed over to al., and such systems also have some problems.
소형 캐패시터들과 같은, 그러나 이것에 한정되지는 않는 대상체들은 검사 과정 도중, 또는 검사 과정 이전에 손상될 수 있다. 이물질 및 대상체의 조각들이 검사 장치를 막히게 할 수 있다. Subjects such as, but not limited to, small capacitors may be damaged during or before the testing process. Foreign objects and pieces of the subject may clog the test device.
캐패시터들과 같은 대상체들의 절대 전기적 특성들의 측정은 상대적으로 오래 걸리는 공정이며, 이는 검사 공정의 처리량을 제한한다.Measurement of the absolute electrical properties of objects such as capacitors is a relatively long process, which limits the throughput of the inspection process.
대상체들, 특히 긴 형상으로 이루어진 밀리미터 크기의 대상체들을 이송시켜서 검사하고 시험하며 분류되도록 하는 효율적인 시스템 및 방법들을 제공하고자 하는 필요성이 점증하고 있다.There is a growing need to provide efficient systems and methods for transporting, inspecting, testing and classifying objects, particularly millimeter-sized objects of elongated shape.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 밀리미터 크기의 대상체들을 이송시키기 위한 시스템이 제공된다. 상기 시스템은 (a) 다수의 터널들을 포함하고, 대상체들이 이를 통하여 이미징 영역, 전기적 시험 영역 및 분류 영역 중에서 선택된 어느 한 영역으로 전파되도록 하는 이송 기구를 포함하고; 상기 이송 기구는 가스 압력 차이를 이용하여 상기 터널들을 통하여 대상체들을 이동시키며; 그리고 (b) 제1 용기, 제2 용기, 다수의 터널들, 중간 모듈을 포함하는 피더를 포함하고; 상기 피더는 일련의 진공 및 압력 펄스들을 인가하도록 배열되어 상기 제2 용기내의 대상체들이 상기 피더의 다수의 터널들을 통하여 상기 이송 기구의 다수의 터널들로 진입하도록 유도시키며; 상기 제1 용기는 대상체들의 첫번째 량까지 받도록 배열되고; 그리고 상기 중간 모듈은 제1 용기로부터 제2 용기로 대상체들을 이송시켜서 상기 제2 용기 내의 일정량의 대상체들이 상기 첫번째 량의 1/2보다 적게 채워지도록 배열된다.According to one embodiment of the present invention, a system for transporting objects of millimeter size is provided. The system includes (a) a transport mechanism that includes a plurality of tunnels and allows objects to propagate through any one selected from an imaging area, an electrical test area, and a classification area; The transfer mechanism moves objects through the tunnels using a gas pressure difference; And (b) a feeder comprising a first container, a second container, a plurality of tunnels, an intermediate module; The feeder is arranged to apply a series of vacuum and pressure pulses to cause objects in the second container to enter through the plurality of tunnels of the feeder into the plurality of tunnels of the transfer mechanism; The first container is arranged to receive up to the first dose of subjects; And the intermediate module is arranged to transfer the objects from the first container to the second container such that a certain amount of objects in the second container are filled less than half of the first amount.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 피더가 제공된다. 상기 피더는, (a) 밀리미터 크기 및 긴 형상의 캐패시터들의 첫번째 량을 받도록 배열된 제1 용기; (b) 가스 공급 시스템; (c) 일련의 진공 및 압력 펄스들을 인가하여 상기 피더의 다수의 배출 터널들로 캐패시터들을 유도 진입시키고, 상기 피더의 터널들은 터널내에서 상기 캐패시터들의 길이방향 전파를 용이하게 하는 형상으로 이루어진 제2 용기; 상기 일련의 진공 및 압력 펄스들은 상기 가스 공급 시스템에 의해서 제공되며; 그리고 (d) 상기 제1 용기로부터 제2 용기로 캐패시터들을 이송시키도록 배열되어 상기 제2 용기 내의 일정량의 캐패시터들이 상기 첫번째 량의 캐패시터들의 1/4보다 적게 채워지도록 된 중간 모듈을 포함한다.According to one embodiment of the invention, a feeder is provided. The feeder includes: (a) a first container arranged to receive a first amount of millimeter sized and elongated capacitors; (b) a gas supply system; (c) applying a series of vacuum and pressure pulses to induce the capacitors into the plurality of exit tunnels of the feeder, the tunnels of the feeder being shaped to facilitate longitudinal propagation of the capacitors in the tunnel; Vessel; The series of vacuum and pressure pulses are provided by the gas supply system; And (d) an intermediate module arranged to transfer capacitors from the first container to the second container such that a certain amount of capacitors in the second container are filled less than one quarter of the first amount of capacitors.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 밀리미터 크기의 대상체들의 다수의 이미지들을 이동시키는 방법이 제공된다. 상기 방법은, (a) 제1 용기에 의해서 첫번째 량의 대상체들을 받고; (b) 상기 제1 용기 및 제2 용기 사이에서 결합된 중간 모듈에 의해서, 상기 제1 용기로부터 제2 용기로 대상체들을 제공하여 상기 제2 용기 내의 일정량의 대상체들이 상기 첫번째 량의 대상체들의 10% 보다 적게 채워지도록 하며; (c) 일련의 진공 및 압력 펄스들을 인가하여 이송 기구의 다수의 터널들로 대상체들을 유도 진입시키고; 그리고 (d) 상기 이송 기구의 다수의 터널들을 통하여 대상체들을 이미징 영역, 전기적 시험 영역 및 분류 영역 중에서 선택된 어느 한 영역으로 공급하며; 상기 대상체들의 공급은 가스 압력 차이를 활용하여 대상체들이 상기 이송 기구의 터널들을 길이방향으로 통과하도록 이송시키는 것을 포함한다.According to an embodiment of the present invention, a method of moving a plurality of images of a millimeter sized object is provided. The method comprises (a) receiving a first amount of subjects by a first container; (b) providing an object from the first container to the second container by means of an intermediate module coupled between the first container and the second container such that a certain amount of objects in the second container are 10% of the first amount of the object. To be filled less; (c) applying a series of vacuum and pressure pulses to induce the objects into a number of tunnels of the transport mechanism; And (d) supply objects to any one of an imaging area, an electrical test area, and a sorting area through a plurality of tunnels of the transfer mechanism; The supply of the objects includes utilizing the gas pressure difference to transport the objects through the tunnels of the transport mechanism in the longitudinal direction.
본 발명에 의하면 대상체들, 특히 긴 형상으로 이루어진 밀리미터 크기의 대상체들을 이송시켜서 검사하고 시험하며 분류되도록 하는 효율적인 시스템 및 방법들이 제공된다.The present invention provides efficient systems and methods for transporting, inspecting, testing and classifying objects, particularly millimeter-sized objects of elongated shape.
본 발명은 여기에서 첨부된 도면에 관련하여 단지 예시적으로 설명된 것이다. 도면에서 상세히 기재된 내용에 관련하여, 특정하게 도시된 내용은 단지 본 발명의 다양한 실시 예를 예시적으로, 그리고 단지 설명을 위하여 제시된 것임을 알아야 한다.
도 1 내지 도 6은 본 발명의 여러가지 실시 예에 따른 피더를 도시한다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 시스템 일부분을 도시한다.
도 8 내지 도 13은 본 발명의 여러가지 실시 예에 따른 피더의 일부분을 도시한다.
도 14 내지 도 16은 본 발명의 일 실시 예에 따라서, 대상체 상에 가해지는 가스 펄스의 영향을 도시한다.
도 17은 본 발명의 일 실시 예에 따른 방법을 도시한다.The present invention has been described by way of example only with reference to the accompanying drawings. Regarding the contents described in detail in the drawings, it should be understood that the contents specifically shown are merely illustrative of various embodiments of the present invention and for illustration only.
1 through 6 illustrate a feeder according to various embodiments of the present disclosure.
7 illustrates a portion of a system according to an embodiment of the invention.
8 through 13 illustrate portions of a feeder according to various embodiments of the present disclosure.
14 to 16 illustrate the influence of a gas pulse applied on an object, according to an embodiment of the present invention.
17 illustrates a method according to an embodiment of the present invention.
이하의 상세한 설명에서, 본 발명은 특정 실시 예들에 관련하여 설명될 것이다. 그러나 다양한 수정 및 변경이 첨부된 특허청구범위에 기재된 본 발명의 광범위한 기술적 사상과 범위로부터 벗어남이 없이 이루어질 수 있음은 명백할 것이다.In the following detailed description, the invention will be described with reference to specific embodiments. However, it will be apparent that various modifications and changes may be made without departing from the broad spirit and scope of the invention as set forth in the appended claims.
본 발명을 구현하기 위한 장치는 대부분 당업자들에게 알려진 전기적 대상체 및 회로들이기 때문에, 상세 회로들은 상기 설명된 바와 같이, 본 발명의 근본적인 개념을 이해하고 인식할 수 있도록, 그리고 본 발명의 내용을 알기 어렵게 하거나 또는 파악하기 어렵게 하지 않도록, 필요하다고 여겨지는 것 이상으로 너무 상세하게 설명되지는 않을 것이다.Since the apparatus for implementing the present invention is mostly electrical objects and circuits known to those skilled in the art, the detailed circuits, as described above, make it difficult to understand and appreciate the essential concepts of the present invention, and to make the contents of the present invention difficult to understand. It will not be described in greater detail than is deemed necessary, so as not to make it difficult or difficult to grasp.
본 발명의 일 실시 예에 따르면, 긴 캐패시터들과 같은 밀리미터 크기의 대상체들이 피더의 다수의 터널들로 이송된다. 상기 피더는 제1 용기, 제2 용기, 다수의 터널들 및 중간 모듈을 포함한다. 상기 피더는 일련의 진공 및 압력 펄스들을 인가하여 제2 용기내의 대상체들이 상기 피더의 다수의 터널들을 통하여 이송 기구의 다수의 터널들 내로 유도 진입하도록 배열된다. 상기 제1 용기는 대상체들의 첫번째 량까지 받을 수 있도록 배열될 수 있다.According to one embodiment of the present invention, objects of millimeter size, such as long capacitors, are transported to multiple tunnels of the feeder. The feeder comprises a first vessel, a second vessel, a plurality of tunnels and an intermediate module. The feeder is arranged to apply a series of vacuum and pressure pulses to cause the objects in the second vessel to enter the multiple tunnels of the transport mechanism through the multiple tunnels of the feeder. The first container may be arranged to receive up to the first dose of the subjects.
상기 "용기"라는 용어는 요소들을 유지하고, 보관하며 또는 수용할 수 있는 임의의 구조적인 요소 또는 요소들을 나타낸다.The term "container" refers to any structural element or elements that can hold, store or accommodate elements.
도 1 내지 도 6은 본 발명의 다양한 실시 예에 따른 피더(11) 내지 피더(16)를 도시한다.1 through 6 illustrate feeders 11 through 16 according to various embodiments of the present disclosure.
도 1은 피더(11)를 도시하며, 이는 (i) 다수의 터널들(5001)-(5016),(ii) 제1 용기(20),(iii) 제2 용기(40), 및 (iv) 중간 모듈(33)을 포함한다.1 shows a feeder 11, which includes (i) a number of tunnels 5001-5016, (ii) a
상기 피더(11)는 일련의 진공 및 압력 펄스들을 인가하여 제2 용기(40) 내의 대상체들이 다수의 터널(5001)-(5016)로 유도 진입하도록 배열된다. 상기 제1 용기(40)는 대상체들의 첫번째 량까지 받을 수 있도록 배열되어 있다. 상기 중간 모듈(33)은 상기 제1 용기(20)로부터 제2 용기(40)로 대상체들을 이송시키도록 배열되어 상기 제2 용기(40) 내의 일정량의 대상체들이 상기 첫번째 량의 일부분, 특히 적은 일부분이 되도록 한다. 이와 같은 일부분은 상기 첫번째 량의 1/N일 수 있고, 여기서 N은 2를 초과하는 임의의 수이다. 특히, 상기 제2 용기(40) 내의 대상체의 수는 상기 캐패시터 첫번째 량의 1% 미만일 수 있다.The feeder 11 is arranged to apply a series of vacuum and pressure pulses to guide the objects in the
상기 대상체들의 첫번째 량은 많은 수의 대상체들을 포함할 수 있다. 상기 첫번째 량은 100, 200, 300, 400, 500, 600, 700, 800, 900, 1000, 2000, 3000, 4000, 5000, 6000, 7000, 8000, 9000, 10000, 20000, 30000, 40000, 50000, 60000, 70000, 80000, 90000, 100000, 200000, 300000, 400000, 500000, 600000, 700000, 800000, 900000, 1000000 및 그 이상을 초과할 수 있다.The first amount of the subjects may comprise a large number of subjects. The first volume is 100, 200, 300, 400, 500, 600, 700, 800, 900, 1000, 2000, 3000, 4000, 5000, 6000, 7000, 8000, 9000, 10000, 20000, 30000, 40000, 50000, It may exceed 60000, 70000, 80000, 90000, 100000, 200000, 300000, 400000, 500000, 600000, 700000, 800000, 900000, 1000000 and more.
상기 제2 용기(40) 내의 대상체들은 일련의 진공 및 압력 펄스(가스 공급 시스템(30)에 의해서 제공됨)를 받게 되어 제2 용기(40) 내의 대상체들이 다수의 터널(5001)-(5016)로 유도 진입된다. 이와 같은 펄스들은 대상체들이 충돌하도록 할 수 있다. 상기 제2 용기(40)에 시험되어야 할 대상체 전체 량의 단지 적은 일부분만을 제공함으로써, 각각의 대상체는 보다 적은 펄스를 받게 되고 보다 적은 충돌이 일어난다.The objects in the
부가적으로는 또는 다르게는, 상기 제2 용기(40) 내의 대상체 수를 감소시킴으로써, 막힘의 량 및 가혹함 정도가 역시 줄어들 수 있다. Additionally or alternatively, by reducing the number of objects in the
도 2 내지 도 6은 중간 모듈(도 1에서 부호(33)으로 도시됨)을 도시하며, 적어도 하나의 콘트롤러(70), 도관(55) 및 밸브(60)를 포함한다. 일단, 밸브(60)가 개방되면, 상기 제1 용기(20)로부터 제2 용기(40)로의 대상체 제공을 용이하게 한다. 상기 콘트롤러(70)는 밸브를 제어하도록 배치된다. 이는 밸브에 명령들을 전달하는 것을 포함하지만, 반드시 필수적으로 그러한 것은 아니다.2-6 show an intermediate module (shown by
상기 콘트롤러(70)는 다양한 제어 체계를 응용할 수 있다. 예를 들면, 상기 밸브(60)는 서로 이격된 사전에 결정된 개방 주기동안 열려질 수 있다. 이와 같은 개방 주기의 길이와, 서로 인접한 개방 주기 사이의 지속 기간은 미리 결정될 수 있다. 부가적으로 또는 다르게는, 상기 콘트롤러(70)는 피드백(feedback) 정보를 받아서 상기 개방 주기 또는 닫침 주기를 그에 따라서 조절할 수 있다.The
상기 콘트롤러(70)는 제2 용기(40)내의 대상체 량을 추정하도록 배열되고, 그에 따라 상기 밸브(60)를 제어하여 선택적으로 상기 제2 용기(40)에 대상체들을 제공할 수 있다.The
상기 콘트롤러(70)는 하나 혹은 그 이상의 이미지 센서들로부터, 그리고 부가적으로 또는 다르게는, 하나 혹은 그 이상의 중량 센서들로부터 피드백 정보를 을 수 있다. 하나 혹은 그 이상의 이미지 센서들은 제1 용기(20) 내에서 대상체를 이미지 촬영할 수 있고, 제2 용기(40) 내에서는, 상기 제1 용기(20)로부터 배출된 대상체들, 상기 중간 모듈(33)을 통과한 대상체들, 시스템의 이미징 영역에 도달한 대상체들, 상기 터널(5001)-(5016)들을 통과한 대상체들을 이미지 촬영할 수 있다. The
이미지 센서들은 상기 시스템의 여러 위치에 배치될 수 있으며, 상기 추정을 보조할 수 있다. 도 4는 제1 이미지 센서(81)를 도시하며, 상기 제1 용기(20)의 내측을 이미지 촬영하고, 제2 이미지 센서(82)를 도시하며, 상기 제2 용기(40)를 나가는 대상체들을 이미지 촬영하도록 배열된다. 도 6은 상기 제1 이미지 센서(81)를 도시하며 상기 제1 용기(20)의 내측을 이미지 촬영하고, 또한 콘트롤러(70)를 도시하며, 하나의 이미징 영역 내에 위치된 대상체들의 이미지들을 받게 된다. 상기 후자(latter) 이미지들은 이미지 장치(imager)(306)에 의해서 제공될 수 있으며, 이미징 영역(510),(520),(530) 및 (540) 중의 임의의 이미징 영역을 이미지 촬영한 것이다(도 7 참조). 도 7은 이미지 장치(306)를 도시하고, 이는 이미징 영역(540) 내의 대상체들을 이미지 촬영한다. 이와 같은 이미지 장치(540)는 대상체들의 이미지들을 상기 콘트롤러(70)로 전송할 수 있음을 알아야 한다. 상기 시스템은 하나의 이미지 장치들 이상을 포함할 수 있으며, 예를 들면 이미지 영역당 하나의 카메라를 가질 수 있음을 알아야 한다.Image sensors may be located at various locations in the system and may aid in the estimation. 4 illustrates a
중량 센서들이 상기 시스템의 여러 위치에 배치될 수 있으며, 상기 추정을 보조할 수 있다. 도 5는 제1 중량 센서(83)를 도시하며, 상기 제2 용기(40)의 내측에 위치된 대상체들의 중량을 측정하고, 제2 중량 센서(84)를 도시하며, 이는 제1 용기(20) 내에 위치된 대상체들의 중량을 측정한다. 하나의 중량 센서는 상기 용기와 대상체들의 중량을 측정할 수 있으며, 또는 상기 대상체 만을 중량 측정할 수 있다. 그와 같은 중량 센서는 상기 대상체들이 위치되는 용기 내의 공간 하부면을 형성할 수 있다. 예를 들면, 그리고 도 9를 참조하면, 상기 중량 센서는 하부 부분(335) 및 (336)를 형성할 수 있다.Weight sensors can be placed at various locations in the system and can assist in the estimation. 5 shows a
상기 센서들의 수는 2 이상으로 다를 수 있다. 예를 들면, 하나의 이미지 센서보다 많은 센서들이 상기 제1 또는 제2 용기의 내측을 이미지 촬영할 수 있다.The number of sensors may vary by more than two. For example, more than one image sensor can image the inside of the first or second container.
상기에서 설명된 바와 같이, 도 4 내지 도 6의 피더들은 그것들의 센서들에 의해서 서로 다르다. 상기 피더들은 다른 특성, 예를 들면 도관(55)의 위치와 같은 것에 의해서 서로 다를 수 있음을 알아야 한다. 예를 들면, 도 2의 피더(12)는 대상체들을 제2 용기(40)의 수직 벽 상에 형성된 유입구(미 도시) 측으로 제공하는 하나의 도관으로부터 대상체들을 받는다. 도 3 내지 도 6의 피더(13) 내지 피더(16)들은 대상체들을 제2 용기(40)의 상부 측에 형성된 유입구(미 도시) 측으로 제공하는 하나의 도관으로부터 대상체들을 받는다.As explained above, the feeders of FIGS. 4 to 6 differ from one another by their sensors. It should be noted that the feeders may differ from one another by other characteristics, such as the location of the
상기 제1 용기(20) 및 제2 용기(40)들 각각의 형상과 크기는 도 1 내지 도 6에 도시된 직사각형 형상과는 다를 수 있음을 알아야 한다.It should be noted that the shape and size of each of the
상기 가스 공급 시스템(30)은 상기 제1 및 제2 용기(20) 및 (40) 사이에서 가스 차압을 도입할 수 있고, 또는 다르게는 가스 차압을 사용하여 대상체들을 상기 제1 용기(20)로부터 제2 용기(40)로 통과하도록 할 수 있다. 예를 들면, 가스 펄스는 대상체들을 밀어서 상기 도관(55)을 통과시키고, 진공 펄스(예를 들면 흡입)는 상기 대상체들을 유도하여 제2 용기(40)로 진입하도록 할 수 있다. 부가적으로 또는 다르게는, 상기 제1 용기(20) 내의 가스 압력은 상기 제2 용기(40) 내의 가스 압력보다 높을 수 있다. 상기 제1 용기(20) 및 제2 용기(40)들 중 각각 하나는 적어도 부분적으로는 밀봉되어 대기압과는 다른 압력을 유지시키게 된다. The
도 2 내지 도 6은 가스 공급 시스템(30)을 도시하며, 가스 도관(31)에 의해서 제1 용기(20)에 연결되고, 가스 도관(32)(33)에 의해서 제2 용기(40)에 연결된다. 상기 가스 도관의 수는 이와 같은 도면들 내에서 도시된 것과는 다를 수 있음을 알아야 한다. 또한 하나 혹은 그 이상의 가스 도관들이 상기 중간 모듈(33)의 도관(55)에 연결될 수 있음을 알아야 한다. 2-6 show a
도 10 내지 도 16에 추가적으로 도시된 바와 같이, 상기 피더는 적어도 하나의 유도 가스 펄스를 유도시키도록 배열되어서 대상체들이 터널(5001)-(5016)들로 진입하도록 유도할 수 있다. 또한 상기 피더는 적어도 하나의 거부(rejecting) 가스 펄스를 유도시키도록 배열되어서 대상체들이 터널(5001)-(5016)들로부터 거부되도록 할 수 있다. 상기 가스 공급 시스템(30)은 상기 적어도 하나의 유도 가스 펄스에 의해서 후속되어지는 적어도 하나의 거부 가스 펄스를 제공할 수 있다. 하나의 유도 가스 펄스는 하나 혹은 그 이상의 거부 가스 펄스에 의해서 후속될 수 있다. 하나의 거부 가스 펄스는 하나 혹은 그 이상의 유도 가스 펄스에 의해서 후속될 수 있다. 이와 같은 각각의 타입의 가스 펄스들 수 사이의 상관 관계는 시간 경과에 따라서 변화할 수 있다.As further shown in FIGS. 10-16, the feeder may be arranged to induce at least one induced gas pulse to induce objects to enter the tunnels 5001-5016. The feeder may also be arranged to induce at least one rejecting gas pulse to cause objects to be rejected from the tunnels 5001-5016. The
상기 시스템은 다수의 터널들을 포함할 수 있음을 알아야 한다. 이와 같은 터널들은 도관들, 배선들, 트렌치들 또는 그 밖의 다른 요소들에 균등한 것이며, 이를 통해서 대상체들이 전파될 수 있고, 특히 밀봉되거나 또는 부분적으로 밀봉된 요소들이다. 상기 터널들은 사각 단면 또는 둥근 단면 또는 임의 조합의 직사각형 형상을 가질 수 있다. 상기 피더의 터널들은 이송 기구의 터널들이 될 수 있지만, 이들 각각의 요소들은 그 자체의 개별적인 터널들을 구비할 수 있다.It should be appreciated that the system can include multiple tunnels. Such tunnels are equivalent to conduits, wires, trenches or other elements, through which objects can propagate, in particular sealed or partially sealed elements. The tunnels may have a rectangular cross section or a round cross section or a rectangular shape in any combination. The feeder's tunnels may be tunnels of the transfer mechanism, but each of these elements may have its own individual tunnels.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 시스템(10)의 일부분을 도시한다.7 illustrates a portion of a
도 7은 제2 용기(20)를 도시하지만, 도 1 내지 도 6에 도시된 여러 가지 다른 요소들을 도시하지는 않는다(설명의 간략화를 위함).FIG. 7 shows the
시스템(10)은 제2 용기(40), 제1 길이방향 이송기구(110), 제1 회전 모듈(210), 제2 길이방향 이송기구(120), 제2 회전 모듈(220), 제3 길이방향 이송기구(130), 제3 회전 모듈(230), 제4 길이방향 이송기구(140), 프로세서(160), 분류 유닛(170) 및 이미지 장치(306)를 포함한다. The
상기 터널(5001)-(5016)들은 다양한 길이방향 이송 기구들을 통과하며, 비록 그것들은 회전 모듈(210),(220),(230) 및 (240)들에 의해서 차단될 수 있다. 각각의 경우에서, 상기 대상체들은 터널들을 따라서 전파하고, 회전되며, 이미지 촬영되고, 최종적으로 분류된다. 부가적으로 또는 다르게는, 상기 시스템(10)은 시험 영역을 포함할 수 있으며, 여기서는 대상체들이 시험된다(예를 들면, 전기적으로 시험됨). 설명의 간략화를 위하여, 하나의 시험 영역이 이미징 영역들 중의 하나라고 추정한다. 또한 본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 상기 이미징 영역들은 하나 혹은 그 이상의 시험 영역들에 의해서 대체된다. 상기 시험 영역들은 터널(5001)-(5016)들과 상기 터널들 내에 위치된 대상체들에 접촉하는 전극들을 포함할 수 있다. The tunnels 5001-5016 pass through various longitudinal conveying mechanisms, although they can be blocked by rotating
도 7은 대상체들의 다른 측면(801)-(804)들을 추가적으로 도시하며, 이들은 다른 이미징 영역내에서의 이미지들이다. 이와 같은 측면들 내에서의 차이는 회전 모듈(210),(220),(230) 및 (240)에 의해서 유도된 회전에 기인한다. 7 further shows other sides 801-804 of the objects, which are images within another imaging area. The difference within these aspects is due to the rotation induced by the
도 8 및 도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 제2 용기(40)와 그 일부분들을 도시한다. 8 and 9 illustrate a
대상체들은 제2 용기(40)의 하나 혹은 그 이상의 유입구들(예를 들면, 유입구(41))로 흡입될 수 있고(또는 다르게는 제공될 수 있고), 상기 제2 용기의 출구(45)를 통해서 터널(5001)-(5016)들 측으로 낙하된다(베벨 가공된 내측 공간(46)을 통함).Subjects may be inhaled (or alternatively provided) to one or more inlets (eg, inlet 41) of the
제2 용기(40)는 상부 부분(42)을 포함하여 대상체들을 수용하고(중간 모듈(33)로부터), 중간 부분(44)을 포함하여 내측 공간(46)을 형성하며, 길고 가는 개구부(45)를 구비하고, 하부 부분(48)을 포함한다. 상기 내측 공간(46)은 베벨 가공된 공간(333)을 포함하며, 이는 제1 하부 부분(335)과 제2 하부 부분(336)으로 형성된다. 상기 제1 하부 부분(335)은 제2 하부 부분(336)에 관련되어 배치될 수 있다. 도 9는 베벨 가공된 제1 하부 부분(335)과 수평의 제2 하부 부분(336)을 도시한다. 상기 베벨 가공된 제1 하부 부분(335)은 그것의 상부 지점이 터널(5001)-(5016)들 보다 높게 배치된다.The
도 10은 상기 하부 부분(48)이 4개의 수평(보조-표면) 공기 도관(301),(302),(303) 및 (304)들을 포함하는 것을 도시한다. 하부 부분(48)의 상부 레벨에 위치한 다수의 개구부들은 이와 같은 도관들을 통하여 제공된 공기를 추진시켜서 개구부(45)를 통하여 낙하한 캐패시터들이 베벨 가공된 공간(310)으로 향하도록 한다. 이러한 공기는 다른 가스로서 대체될 수 있으며, 그러한 가스는 상기 가스 공급 시스템(30)에 의해서 공급될 수 있다. FIG. 10 shows that the
상기 베벨 가공된 공간(310)은 대상체(666)들이 서로 상하로 적층되지 않도록 그 형상이 형성된다. 상기 베벨 가공된 공간(310)은 상대적으로 좁은 구조일 수 있으며, 그 높이는 대략 대상체(66)의 높이에 일치하며, 2개의 대상체(666) 들의 높이보다 작을 수 있다. 따라서 이와 같은 공간 내에서, 대상체들은 서로서로 적층될 수 없다(수직 차원으로).The
상기 베벨 가공된 공간은 실제적으로 수평인 공간 또는 임의 형상의 다른 공간들로서 대체될 수 있으며, 이 또한 상대적으로 좁은 구조들이다.The beveled space can be replaced as a substantially horizontal space or other spaces of any shape, which are also relatively narrow structures.
대상체(666)들은 도관(301)을 통하여 그리고 개구부(306)들을 통하여 가스 공급 시스템(30)으로부터 도달한 공기 펄스(또는 연속적인 가스 압력)에 의해서 터널(5001)-(5016)들로 향하여 강제적으로 이동될 수 있다(도 10에 도시됨). 이와 같은 공기 펄스들은 상기 베벨 가공된 공간(310)이 단지 부분적으로 채워지거나 또는 단지 몇몇의 대상체들 만을 포함하는 때에 인가될 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따르면, 공간(310)은 베벨 가공되지 않고, 수평으로 형성될 수 있다.According to another embodiment of the present invention, the
상기 터널(5001)-(5016)들의 입력측에 근접한 대상체들은 가스 펄스들(또한 유도 가스 펄스들로도 지칭됨) 또는 가스 압력, 즉 도 11에 도시되고, 부호(320)(1)-(320)(16) 및 (330)(1)-(330)(16)로 부여된 바와 같은 개구부들 중의 어느 하나를 통하여 제공된 가스 압력에 의해서 상기 터널 내로 이동하도록 유도될 수 있다. 본 발명의 일 실시 예에 따르면, 대상체들은 하나 혹은 그 이상의 거부 가스 펄스들 또는 가스 압력을 도입함으로써 상기 터널 개구부들로부터 거부될 수 있다. 이와 관련된 내용이 도 12 내지 도 16에 도시되어 있다.Objects proximate to the input side of the tunnels 5001-5016 are shown in gas pulses (also referred to as induced gas pulses) or gas pressure, i.e., in Figures 320 (1)-320 ( 16) and gas flow through any one of the openings as imparted to 330 (1) -330 (16) may be induced to move into the tunnel. According to an embodiment of the present disclosure, the objects may be rejected from the tunnel openings by introducing one or more reject gas pulses or gas pressure. Related contents are shown in FIGS. 12 to 16.
개구부(320)(1) 내지 (320)(16)들은 엇갈린 방식으로 배열되고, 즉 홀수 측의 개구부들은 도관(302)을 통하여 가스를 받지만, 짝수 측의 개구부들은 도관(303)을 통하여 가스를 받는다. 이와 같은 가스는 펄스 방식으로, 연속적인 흐름방식으로 또는 그 조합방식으로 제공될 수 있다. 상기 가스 펄스는 도관(302),(303)에 동시적으로, 겹치는 방식으로 또는 겹치지 않는 방식으로 제공될 수 있다.The openings 320 (1) to (320) 16 are arranged in a staggered manner, that is, the openings on the odd side receive gas through the
거부 가스 펄스 또는 거부 가스 압력들은 개구부(320)(1)-(320)(16)들을 통하여 또는 다른 개구부(미 도시)들에 의해서 제공될 수 있다.Rejection gas pulses or rejection gas pressures may be provided through
도관(304)은 개구부(330)(1)-(330)(16)들을 통하여 가스를 제공한다(펄스 방식으로 또는 연속 방식으로 또는 그 조합방식으로). 상기 가스는 터널(5001)-(5016)로 개구부들(예를 들면, 터널(5012)의 양 측면에 형성되고, 도 12 및 도 13에 도시된 개구부(340)(12) 및 (350)(12)들)을 통하여 진입한다. 상기 개구부들은 터널들의 측벽에 형성될 수 있고, 대상체들이 상기 터널들을 나가도록 방향을 유도할 수 있다. 이는 대상체가 베벨 공간(310) 측으로 복귀(터널들을 통하여)하는 것을 방지할 수 있다. 그것들은 상기 터널들을 소제하는 데에 도움을 주는 상대적으로 강한 가스 펄스들을 주입하도록 사용될 수 있다.
가스 도관(304),(303),(302)들(또는 미 도시된 다른 가스 도관)의 각각의 하나는 거부 가스 펄스들 또는 거부 가스 압력을 인가하여 베벨 가공된 공간(310) 내의 대상체들을 상기 터널들의 개구부들로부터 거부하도록 사용될 수 있음을 알아야 한다. Each one of the
도 14 내지 도 16은 본 발명의 일 실시 예에 따라서, 다수의 대상체(666)들과, 피더의 다수의 터널(5001),(5002) 및 (5003)들을 도시한다.14 through 16 illustrate
상기 피더는 다수의 터널들을 포함하는데, 예를 들면 도 5c 및 도 5d에 도시된 바와 같은, 터널(5001)-(5016)들이다. 도 12 내지 도 14는 단지 이와 같은 3개의 터널들, 즉 터널(5001)-(5003)들을 도시한다. 대상체들은 이러한 터널들로 진입하고, 이송 기구들의 터널들로 향하여 전파되도록 유도될 수 있는데, 이는 소위 유도 가스 펄스들을 유도시킴으로써 이루어진다. 이와 같은 유도 가스 펄스들은 상기 터널들 내에 또는 이러한 터널들에 인접하여 형성된 출구들로부터 가스를 흡입함으로써 유도될 수 있다. The feeder includes a number of tunnels, for example tunnels 5001-5016, as shown in FIGS. 5C and 5D. 12-14 show only these three tunnels, namely tunnels 5001-5003. The objects can enter these tunnels and be guided to propagate towards the tunnels of the transport mechanisms, by inducing so-called induced gas pulses. Such induced gas pulses may be induced by sucking gas from outlets formed in or adjacent to the tunnels.
보통은, 대상체들을 유도하여 상기 피더들의 터널들로 진입시킨 후, 잔류 대상체들은 추가적인 대상체들이 이와 같은 터널들을 통하여 이송되는 것이 방지되거나, 또는 적어도 이송이 늦춰지는 방식으로 이와 같은 터널들의 입구 주위에 모일 수 있다.Usually, after guiding the objects and entering the tunnels of the feeders, the remaining objects will gather around the entrance of these tunnels in such a way that additional objects are prevented from being transported through these tunnels, or at least slowed in transport. Can be.
상기 터널들로부터 대상체들을 진입 거부시키는 하나 혹은 그 이상의 가스 펄스들을 도입함으로써 이와 같은 문제점이 해소되거나 또는 적어도 감소될 수 있다. This problem can be solved or at least reduced by introducing one or more gas pulses that deny objects from the tunnels.
따라서, 상기 피더는 아래와 같은 일련의 단계들을 실행할 수 있으며, 이러한 단계들을 수 회 반복할 수 있다: (i) 적어도 하나의 유도 가스 펄스를 도입하여 대상체들이 상기 피더의 터널들로 유도 진입하도록 하고; (ii) 적어도 하나의 거부 가스 펄스를 도입하여 대상체들을 상기 피더의 터널들로부터 진입 거부시킨다.Thus, the feeder may execute the following series of steps and may repeat these steps several times: (i) introducing at least one induced gas pulse to cause the subject to enter the feeder's tunnels; (ii) introduce at least one reject gas pulse to deny objects from the feeder's tunnels.
하나 혹은 그 이상의 거부 가스 펄스들을 도입한 후, 상기 피더는 상기 언급된 단계들을 반복할 수 있고, 그리고 적어도 하나의 유도 가스 펄스를 도입함으로써 작동 개시한다.After introducing one or more reject gas pulses, the feeder may repeat the above mentioned steps and start operation by introducing at least one induced gas pulse.
하나 혹은 그 이상의 거부 가스 펄스들을 도입한 후, 상기 대상체들이 위치한 공간 내에서 형성된 압력은 상기 터널들을 통하여 방출될 수 있고, 대상체들을 상기 터널에 강제적으로 진입시킬 수 있음을 알아야 한다(진입 거부된 후에).After introducing one or more reject gas pulses, it should be noted that the pressure created within the space in which the objects are located may be released through the tunnels and may force objects into the tunnel (after being rejected from entering). ).
상기 피더는 주기적인 방식으로 이러한 단계들을 반복할 수 있고, 그리고 추가적으로 또는 다르게는, 상기 피더에 의한 대상체들의 공급 속도 감소, 상기 터널들 앞에 형성된 공간내의 대상체들의 모임 등과 같은 작동에 반응한다. 상기 대상체들의 제공은 이미지 센서들과, 접촉 센서들, 자력 센서들 또는 다른 방식의 센서들과 같이 상기 피더의 터널 앞부분(toe tunnels)을 감지할 수 있는 센서들에 의해서 감지될 수 있다. The feeder may repeat these steps in a periodic manner, and additionally or alternatively, responds to operations such as reducing the feed rate of objects by the feeder, gathering of objects in space formed before the tunnels, and the like. The provision of the objects may be sensed by sensors capable of sensing toe tunnels of the feeder, such as image sensors, contact sensors, magnetic force sensors or other types of sensors.
도 14는 터널(5001),(5002) 및 (5003)들의 개구부 주위에 대상체들의 모임을 도시한다. 이와 같은 대상체들은 유도 가스 펄스(터널들을 향하여 방향을 가르키는 점선의 화살표로 도시)가 가해지는 동안, 모여진다. 14 shows a collection of objects around the openings of the
도 15는 하나 혹은 그 이상의 거부 가스 펄스(점선의 화살표들로 도시)들을 도입한 결과, 상기 개구부(320)(1),(320)(2) 및 (320)(3)들로부터 대상체들의 거부를 도시한 것으로서, 터널(5001),(5002) 및 (5003)들을 통한 공기 흐름에 영향을 주게 된다.FIG. 15 shows the rejection of objects from the
유도가스 펄스에 의해서 유도된 압력 차이는 거부 가스 펄스에 의해서 유도된 압력 차이와 다를 수 있다. 상기 거부 가스 펄스들은 보다 높은 압력 차이를 유도시키도록 보다 강할 수 있다.The pressure difference induced by the induced gas pulse may be different from the pressure difference induced by the reject gas pulse. The reject gas pulses may be stronger to induce a higher pressure difference.
도 16은 터널(5001),(5002) 및 (5003)들의 개구부 주위에 대상체들의 모임을 도시한다. 이와 같은 대상체들은 유도 가스 펄스(터널들을 향하여 방향을 가르키는 점선의 화살표로 도시)가 인가되는 동안, 모여진다. 16 shows a collection of objects around the openings of
도 17은 방법(170)을 도시한 것으로서, 본 발명의 일 실시 예에 따라서, 밀리미터 크기의 대상체들의 다수의 이미지들을 전송하기 위한 것이다.FIG. 17 illustrates
방법(170) 또는 적어도 그 단계들의 일부분은 상기 설명된 시스템 또는 피더들 중의 어느 것에 의해서도 실행될 수 있다.The
방법(170)은 제1 용기에 의해서 첫번째 량의 대상체들을 받는 단계(171)에 의해서 개시된다. The
단계(171)에 이어서 단계(172)가 실행되며, 제1 용기와 제2 용기 사이에서 결합된 중간 모듈에 의해서, 상기 제1 용기로부터 제2 용기로 대상체들을 제공하여 상기 제2 용기내에 담기는 대상체들의 량이 상기 첫번째 량의 대상체들의 일부분(예를 들면, 10% 미만)으로 되도록 한다. 단계(172)에서의 제공은 아래에 기재된 것의 적어도 하나에 기초하여 감지되고 결정될 수 있으며: 사전에 정해진 타이밍 계획, 제2 용기 내의 대상체 량 추정 및 그와 유사한 것들이다. 도 17에서 박스(179)는 상기 중간 모듈에 의한 대상체들의 공급 제어를 도시한다. 상기 추정은 예를 들면, 중량 측정, 대상체들의 이미지들, 전기적으로 시험된 또는 분류된 대상체들의 수, 및 그와 유사한 것들에 반응될 수 있다. Step 171 is followed by step 171, wherein the intermediate module coupled between the first container and the second container provides the objects from the first container to the second container to be contained within the second container. The amount of subjects is made to be a portion of the first amount of subjects (eg, less than 10%). The provision at
단계(172)에 이어서 단계(173)가 실행되며, 이는 진공 및 압력 펄스들을 인가시켜서 대상체들이 이송 기구의 다수의 터널들로 진입하도록 유도한다. Step 173 is followed by step 173, which applies vacuum and pressure pulses to induce objects to enter multiple tunnels of the transfer mechanism.
단계(173)에 이어서 단계(174)가 실행되며, 이는 상기 이송 기구의 다수의 터널들을 통하여 대상체들을 이미징 영역, 전기적 시험 영역 및 분류 영역 중에서 선택된 하나의 영역으로 공급한다. 상기 대상체들의 공급은 가스 압력 차이를 이용하여 상기 이송 기구의 터널들을 통하여 대상체들을 길이방향으로 이송시킨다. Step 174 is followed by step 173, which feeds the objects into one of the imaging area, the electrical test area and the sorting area through the plurality of tunnels of the transfer instrument. The supply of the objects transfers the objects longitudinally through the tunnels of the transfer mechanism using the gas pressure difference.
방법(170)은 다수회 반복처리될 수 있다. 상기 대상체들의 첫번째 량은 검사 공정의 처리량을 증가시키기 위하여 많아질 수 있지만, 제2 용기내의 대상체 량은 터널 수를 적게 하여 적어질 수 있음을 알아야 한다.
또한, 당업자들은 상기 설명된 동작들의 상관관계 사이의 경계들이 단지 예시적인 것임을 알 수 있을 것이다. 여러 동작의 기능들이 단일 작동으로 조합될 수 있으며, 그리고/또는 단일 동작의 기능이 부가적인 동작으로 분배 적용될 수도 있을 것이다. 뿐만 아니라, 대체 실시 예들은 특정 작동의 다수의 예들을 포함할 수 있으며, 그 작동 순서는 다양한 다른 실시 예에서 변경가능한 것이다.Moreover, those skilled in the art will appreciate that the boundaries between the correlations of the above described operations are merely exemplary. The functions of several operations may be combined into a single operation, and / or the functions of a single operation may be distributed to additional operations. In addition, alternative embodiments may include a number of examples of specific operations, the order of operation being changeable in various other embodiments.
따라서, 여기에서 설명된 구성은 단지 예시적인 것이며, 실제로 많은 다른 구성들이 구현되어 동일한 기능을 달성할 수 있음을 알아야 한다. 개괄적이지만 명확하게, 동일한 기능을 달성하기 위한 구성품들의 어떠한 배열도 효과적으로 "연계되어" 원하는 기능이 얻어진다. 따라서 하나의 독특한 기능을 달성하기 위하여 조합된 임의의 두가지 구성품들은 서로 "연계"되어 도시될 수 있으며, 원하는 기능이 그 구성 또는 중간 부품들과는 무관하게 얻어진다. 이와 유사하게, 서로 연계된 임의의 두가지 구성품들은 원하는 기능을 달성하기 위하여, 서로들에 대하여 "작동가능하게 연결" 또는 "동작가능하게 결합"된 것으로 보여질 수 있다.Thus, it should be understood that the configurations described herein are merely exemplary and that in fact many other configurations may be implemented to achieve the same functionality. Outlined but clear, any arrangement of components to achieve the same functionality is effectively “associated” to achieve the desired functionality. Thus, any two components combined to achieve one unique function may be shown "associated" with each other, and the desired function is obtained regardless of its configuration or intermediate parts. Similarly, any two components associated with one another may be shown to be "operably connected" or "operably coupled" to each other to achieve a desired function.
그리고, 본 발명은 프로그램이 불가능한 하드웨어내에 구현된 물리적인 장치 또는 유닛들에 제한되지 않고, 프로그램이 가능한 장치 또는 유닛에도 적용될 수 있으며, 이는 적절한 프로그램 코드에 따라서 작동시킴으로써 원하는 장치의 기능을 수행할 수 있는 것이다. 또한 상기 장치들은 다수의 장치들 상에 물리적으로 분배될 수 있으며, 기능적으로는 단일 장치로서 동작하게 된다. In addition, the present invention is not limited to physical devices or units implemented in non-programmable hardware, and can be applied to programmable devices or units, which can perform functions of a desired device by operating according to appropriate program code. It is. The devices may also be physically distributed over multiple devices, functionally acting as a single device.
그러나, 다른 수정 예들, 변형 예들 및 대체 예들도 가능하다. 따라서 본 명세서와 도면들은 예시적인 것이지, 제한적으로 해석되어서는 안된다.However, other modifications, variations, and alternatives are also possible. The specification and drawings are, accordingly, to be regarded in an illustrative rather than a restrictive sense.
'포함'이라는 용어는 다른 요소들 또는 단계들의 존재를 배제하지 않으며, 청구항에 기재되어 있다. 또한 명세서와 특허청구범위에서 사용된 "전방","후방","상부","하부","위","아래" 및 그와 유사한 용어들은, 그 어떤 것이라도, 설명을 목적으로 사용된 것이지, 영구적인 상대 위치를 기술하기 위하여 사용된 것이 아니다. 그와 같이 사용된 용어들은 적절한 상황하에서 다른 것들과 호환적으로 사용가능하며, 여기에서 설명된 본 발명의 실시 예들은 예를 들면, 여기에서 설명되거나 기재된 것과는 다른 위치에서 작동가능한 것이다.The term 'comprising' does not exclude the presence of other elements or steps and is described in the claims. Also, as used in the specification and claims, the terms "front", "rear", "upper", "lower", "up", "below" and the like are used for the purpose of explanation. It is not used to describe a permanent relative position. Such terms are used interchangeably with others under appropriate circumstances, and embodiments of the invention described herein are operable, for example, in locations other than those described or described herein.
그리고, 여기에서 사용된 "a" 또는 "an"과 같은 용어들은 하나 혹은 하나 이상으로서 의미된 것이다. 또한 특허청구범위에서 "적어도 하나" 또는 "하나 또는 그 이상"과 같은 도입 구절의 사용은 다른 청구항 요소에 부정관사 "a" 또는 "an"를 도입 사용하는 것이, 비록 동일한 청구항이 상기 "하나 또는 그 이상" 또는 "적어도 하나"와 같은 도입 구절과 "a" 또는 "an"과 같은 부정관사들을 포함하고 있을 때라도, 그와 같은 도입 청구항 요소를 포함하는 어떤 특정 청구항을 단지 하나의 그러한 요소를 갖는 발명들로서 제한하는 것을 암시하는 것으로 해석되어서는 안된다. 이와 같은 동일한 개념이 정관사의 사용에도 적용된다. 특별하게 다르게 언급되지 않는 한, "제1" 및 "제2"와 같은 용어들은 그와 같은 용어들이 기술하는 요소들 사이에서 임의적으로 식별하기 위하여 사용된 것이다. 따라서 그와 같은 용어들은 그러한 요소들의 시간적인 또는 다른 우선 순위를 표시하기 위하여 의도적으로 사용된 것은 아니다. 서로 다른 청구항들 내에서 임의의 수단들이 열거되었다는 단순한 사실이 이러한 수단들의 조합이 잇점으로 활용될 수 없다는 점을 나타내지는 않는다.
As used herein, terms such as "a" or "an" are meant as one or more than one. Also in the claims, the use of an introductory phrase such as "at least one" or "one or more" is intended to introduce the indefinite article "a" or "an" to another claim element, although the same claim refers to the "one or" More than "or" at least one "and any indefinite article, such as" a "or" an, "even when it contains an indefinite article such as" a "or" an. " It should not be construed as to imply any limitation as the inventions. This same concept applies to the use of definite articles. Unless specifically stated otherwise, terms such as “first” and “second” are used to arbitrarily identify between the elements such terms describe. Thus, such terms are not intentionally used to indicate the temporal or other priority of such elements. The simple fact that any means are listed in different claims does not indicate that a combination of such means cannot be utilized to advantage.
Claims (32)
다수의 터널들을 포함하고, 대상체들이 이를 통하여 이미징 영역, 전기적 시험 영역 및 분류 영역 중에서 선택된 어느 한 영역으로 전파되도록 하는 이송 기구를 포함하고; 상기 이송 기구는 가스 압력 차이를 이용하여 상기 터널들을 통하여 대상체들을 이동시키며; 그리고
제1 용기, 제2 용기, 다수의 터널들, 중간 모듈을 포함하는 피더를 포함하고;
상기 피더는 일련의 진공 및 압력 펄스들을 인가하도록 배열되어 상기 제2 용기내의 대상체들이 상기 피더의 다수의 터널들을 통하여 상기 이송 기구의 다수의 터널들로 진입하도록 유도시키며;
상기 제1 용기는 대상체들의 첫번째 량까지 받도록 배열되고; 그리고
상기 중간 모듈은 제1 용기로부터 제2 용기로 대상체들을 이송시켜서 상기 제2 용기 내의 일정량의 대상체들이 상기 첫번째 량의 1/2보다 적게 채워지도록 배열되는 시스템.In order to transport objects of millimeter size,
A transport mechanism including a plurality of tunnels and allowing the objects to propagate therethrough to any one selected from an imaging area, an electrical test area and a classification area; The transfer mechanism moves objects through the tunnels using a gas pressure difference; And
A feeder comprising a first container, a second container, a plurality of tunnels, an intermediate module;
The feeder is arranged to apply a series of vacuum and pressure pulses to cause objects in the second container to enter through the plurality of tunnels of the feeder into the plurality of tunnels of the transfer mechanism;
The first container is arranged to receive up to the first dose of subjects; And
The intermediate module is arranged to transfer the objects from the first container to the second container such that a certain amount of objects in the second container are filled less than half of the first amount.
가스 공급 시스템;
일련의 진공 및 압력 펄스들을 인가하여 상기 피더의 다수의 배출 터널들로 캐패시터들을 유도 진입시키고, 상기 피더의 터널들은 터널내에서 상기 캐패시터들의 길이방향 전파를 용이하게 하는 형상으로 이루어진 제2 용기;를 포함하고, 상기 일련의 진공 및 압력 펄스들은 상기 가스 공급 시스템에 의해서 제공되며; 그리고
상기 제1 용기로부터 제2 용기로 캐패시터들을 이송시키도록 배열되어 상기 제2 용기 내의 일정량의 캐패시터들이 상기 첫번째 량의 캐패시터들의 1/4보다 적게 채워지도록 된 중간 모듈을 포함하는 피더.A first container arranged to receive a first amount of millimeter sized and elongate shaped capacitors;
Gas supply system;
A second container configured to apply a series of vacuum and pressure pulses to guide capacitors into the plurality of exit tunnels of the feeder, the tunnels of the feeder being shaped to facilitate longitudinal propagation of the capacitors in the tunnel; Wherein the series of vacuum and pressure pulses are provided by the gas supply system; And
And an intermediate module arranged to transfer capacitors from the first container to the second container such that a certain amount of capacitors in the second container are filled less than one quarter of the first amount of capacitors.
제1 용기에 의해서 첫번째 량의 대상체들을 받고;
상기 제1 용기 및 제2 용기 사이에서 결합된 중간 모듈에 의해서, 상기 제1 용기로부터 제2 용기로 대상체들을 제공하여 상기 제2 용기 내의 일정량의 대상체들이 상기 첫번째 량의 대상체들의 10% 보다 적게 채워지도록 하며;
일련의 진공 및 압력 펄스들을 인가하여 이송 기구의 다수의 터널들로 대상체들을 유도 진입시키고; 그리고
상기 이송 기구의 다수의 터널들을 통하여 대상체들을 이미징 영역, 전기적 시험 영역 및 분류 영역 중에서 선택된 어느 한 영역으로 공급하며; 상기 대상체들의 공급은 가스 압력 차이를 활용하여 대상체들이 상기 이송 기구의 터널들을 길이방향으로 통과하도록 이송시키는 것을 포함하는 방법.To move multiple images of objects of millimeter size,
Receiving a first amount of subjects by the first container;
An intermediate module coupled between the first container and the second container provides objects from the first container to the second container such that a certain amount of objects in the second container fill less than 10% of the first amount of objects. To ensure that;
Applying a series of vacuum and pressure pulses to induce the objects into multiple tunnels of the transfer mechanism; And
Supplying the objects to any one selected from an imaging area, an electrical test area and a classification area through a plurality of tunnels of the transfer mechanism; The supply of the objects includes utilizing the gas pressure difference to transport the objects through the tunnels of the transport mechanism in the longitudinal direction.
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9645097B2 (en) | 2014-06-20 | 2017-05-09 | Kla-Tencor Corporation | In-line wafer edge inspection, wafer pre-alignment, and wafer cleaning |
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Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6085530U (en) * | 1983-11-15 | 1985-06-12 | アジナ技研株式会社 | Conveying device using spherical compressed air |
JP2961510B2 (en) * | 1995-05-23 | 1999-10-12 | 長野日本無線株式会社 | Parts supply device |
JPH11301850A (en) * | 1998-04-20 | 1999-11-02 | Sony Corp | Bulk feeder |
JPH11330782A (en) * | 1998-05-13 | 1999-11-30 | Taiyo Yuden Co Ltd | Electronic component take-in device |
JP2000183590A (en) * | 1998-12-18 | 2000-06-30 | Sony Corp | Part feeder and part mounting device equipped with part feeder |
JP3521401B2 (en) * | 2000-10-30 | 2004-04-19 | 日本リトル株式会社 | Electronic component alignment supply device |
CN2935142Y (en) * | 2005-11-22 | 2007-08-15 | 清华大学 | Imaging equipment |
CN200989990Y (en) * | 2006-09-04 | 2007-12-12 | 万航 | Roentgenogram delivery device |
CN200996943Y (en) * | 2006-10-09 | 2007-12-26 | 同方威视技术股份有限公司 | Cargo inspecter |
EP2011574A1 (en) * | 2007-07-02 | 2009-01-07 | STMicroelectronics (Research & Development) Limited | Assaying device and method of transporting a fluid in an assaying device |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9885671B2 (en) | 2014-06-09 | 2018-02-06 | Kla-Tencor Corporation | Miniaturized imaging apparatus for wafer edge |
US9645097B2 (en) | 2014-06-20 | 2017-05-09 | Kla-Tencor Corporation | In-line wafer edge inspection, wafer pre-alignment, and wafer cleaning |
Also Published As
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