KR20110075358A - Test circuit of a semiconductor memory apparatus - Google Patents

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KR20110075358A
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Abstract

PURPOSE: A test circuit for a semiconductor memory device is provided to reduce a test period for a semiconductor memory device by monitoring a change in a property of a transistor according to a change of P.V.T(Process Voltage Temperature). CONSTITUTION: A test input signal generation unit generates a first test input signal and a second test input signal in response to an oscillator test signal, a pull-up test signal, a full-down test signal, and a clock. A test control signal generation unit(100) outputs a test voltage as a voltage of a PMOS control signal in response to a first test selection signal. A test control signal generation unit(200) outputs the PMOS control signal by inverting the first test input signal and outputs the test voltage as the test voltage of an NMOS control signal in response to a second test selection signal. A test control signal generation unit inverts the second test input signal and the NMOS control signal. A test driver(300) pulls up a voltage of an output node connected to a pad and pulls down the voltage of the output node.

Description

반도체 메모리 장치의 테스트 회로{Test Circuit of a Semiconductor Memory Apparatus}Test circuit of a semiconductor memory device {Test Circuit of a Semiconductor Memory Apparatus}

본 발명은 반도체 집적 회로에 관한 것으로서, 특히 반도체 메모리 장치의 테스트 회로에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to semiconductor integrated circuits, and more particularly to test circuits for semiconductor memory devices.

일반적으로 반도체 메모리 장치는 트랜지스터를 이용하여 구현된다.In general, a semiconductor memory device is implemented using a transistor.

트랜지스터는 P.V.T(process, voltage, temperature) 변화에 특성이 변하는 특징을 가지며, 이러한 트랜지스터로 구현되는 반도체 메모리 장치 또한 P.V.T 변화에 따라 특성이 변하게 된다.The transistor has a characteristic in which a characteristic changes with a P.V.T (process, voltage, temperature) change, and a semiconductor memory device implemented with such a transistor also changes in accordance with the P.V.T change.

반도체 메모리 장치의 안정적인 동작을 보장하기 위해서, 반도체 메모리 장치는 수많은 테스트를 받게 된다. In order to ensure stable operation of the semiconductor memory device, the semiconductor memory device is subjected to numerous tests.

반도체 메모리 장치가 거쳐야 할 수 많은 테스트중 웨이퍼 상태에서 P.V.T 변화에 따른 트랜지스터의 특성 변화를 모니터링하는 테스트를 먼저 수행함으로써, 반도체 메모리 장치의 불량 유무를 판단하고 다음 단계의 테스트를 수행하게 하여 반도체 메모리 장치의 테스트 시간을 줄일 수 있다.Of the many tests that a semiconductor memory device must undergo, a test that first monitors the characteristics of transistors according to PVT changes in a wafer state is performed first to determine whether there is a defect in the semiconductor memory device and to perform the next test. Reduce test time.

웨이퍼 상태에서 P.V.T 변화에 따른 트랜지스터의 특성 변화를 모니터링할 수 있는 테스트 회로에 대한 요구가 증대되고 있다.There is an increasing demand for test circuits that can monitor transistor characteristic changes with P.V.T changes in wafer conditions.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, P.V.T(process, voltage, temperature) 변화에 따른 트랜지스터의 특성 변화를 모니터링할 수 있는 반도체 메모리 장치의 테스트 회로를 제공한다.The present invention has been made to solve the above-described problem, and provides a test circuit of a semiconductor memory device capable of monitoring a characteristic change of a transistor according to a change in P.V.T (process, voltage, temperature).

본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 장치의 테스트 회로는 오실레이터 테스트 신호, 풀업 테스트 신호, 풀다운 테스트 신호, 및 클럭에 응답하여 제 1 테스트 입력 신호 및 제 2 테스트 입력 신호를 생성하는 테스트 입력 신호 생성부, 제 1 테스트 선택 신호에 응답하여 테스트 전압을 피모스 제어 신호의 전압으로서 출력하거나 상기 제 1 테스트 입력 신호를 반전시켜 상기 피모스 제어 신호로서 출력하고, 제 2 테스트 선택 신호에 응답하여 상기 테스트 전압을 엔모스 제어 신호의 전압으로서 출력하거나 상기 제 2 테스트 입력 신호를 반전시켜 상기 엔모스 제어 신호로서 출력하는 테스트 제어 신호 생성부, 및 상기 피모스 제어 신호에 응답하여 패드에 연결된 출력 노드의 전압을 풀업시키고, 상기 엔모스 제어 신호에 응답하여 상기 출력 노드의 전압을 풀다운 시키도록 구성된 테스트 드라이버를 포함한다.The test circuit of the semiconductor memory device according to an exemplary embodiment of the present invention may include a test input signal generator configured to generate a first test input signal and a second test input signal in response to an oscillator test signal, a pull-up test signal, a pull-down test signal, and a clock. Outputting a test voltage as a voltage of a PMOS control signal in response to a first test selection signal or inverting the first test input signal to output as a PMOS control signal, and in response to a second test selection signal, the test voltage Outputs the voltage as the NMOS control signal or inverts the second test input signal to output the NMOS control signal, and a voltage of an output node connected to the pad in response to the PMOS control signal. The output node in response to the NMOS control signal And a test driver configured to pull-down the voltage.

본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 테스트 회로는 P.V.T 변화에 따른 트랜지스터의 특성 변화를 모니터링할 수 있어, 반도체 메모리 장치의 테스트 기간을 줄일 수 있는 효과가 있다.The test circuit of the semiconductor memory device according to the present invention can monitor the characteristic change of the transistor according to the change of P.V.T, thereby reducing the test period of the semiconductor memory device.

본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 장치의 테스트 회로는 도 1에 도시된 바와 같이, 테스트 입력 신호 생성부(100), 테스트 제어 신호 생성부(200), 및 테스트 드라이버(300)를 포함한다.As illustrated in FIG. 1, a test circuit of a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention includes a test input signal generator 100, a test control signal generator 200, and a test driver 300.

상기 테스트 입력 신호 생성부(100)는 오실레이터 테스트 신호(T_ROD), 풀업 테스트 신호(T_PUON), 및 풀다운 테스트 신호(T_PDON)에 응답하여 클럭(CLK)을 제 1 테스트 입력 신호(T_in1) 및 제 2 테스트 입력 신호(T_in2)로서 출력한다. 또한, 상기 테스트 입력 신호 생성부(100)는 상기 풀업 테스트 신호(T_PUON) 및 상기 오실레이터 테스트 신호(T_ROD)에 응답하여 상기 제 1 테스트 입력 신호(T_in1)를 생성하고, 상기 풀다운 테스트 신호(T_PDON) 및 상기 오실레이터 테스트 신호(T_ROD)에 응답하여 상기 제 2 테스트 입력 신호(T_in2)를 각각 생성한다.The test input signal generator 100 may generate a clock CLK in response to an oscillator test signal T_ROD, a pull-up test signal T_PUON, and a pull-down test signal T_PDON, and then may include a first test input signal T_in1 and a second test signal. It outputs as a test input signal T_in2. The test input signal generator 100 may generate the first test input signal T_in1 in response to the pull-up test signal T_PUON and the oscillator test signal T_ROD, and the pull-down test signal T_PDON. And generate the second test input signal T_in2 in response to the oscillator test signal T_ROD.

상기 테스트 입력 신호 생성부(100)는 제 1 입력 신호 생성부(110), 및 제 2 입력 신호 생성부(120)를 포함한다.The test input signal generator 100 includes a first input signal generator 110 and a second input signal generator 120.

상기 제 1 입력 신호 생성부(110)는 상기 오실레이터 테스트 신호(T_ROD), 및 상기 풀업 테스트 신호(T_PUON)가 모두 인에이블되면 상기 클럭(CLK)을 상기 제 1 테스트 입력 신호(T_in1)로서 출력하고, 상기 오실레이터 테스트 신호(T_ROD)가 디스에이블되고 상기 풀업 테스트 신호(T_PUON)가 인에이블되면 상기 제 1 테스트 입력 신호(T_in1)를 디스에이블시키며, 상기 풀업 테스트 신호(T_PUON)가 디스에이블되면 상기 오실레이터 테스트 신호(T_ROD)와는 무관하게 상기 제 1 테스트 입력 신호(T_in1)를 인에이블시킨다.The first input signal generator 110 outputs the clock CLK as the first test input signal T_in1 when both the oscillator test signal T_ROD and the pull-up test signal T_PUON are enabled. When the oscillator test signal T_ROD is disabled and the pull-up test signal T_PUON is enabled, the first test input signal T_in1 is disabled. When the pull-up test signal T_PUON is disabled, the oscillator is disabled. The first test input signal T_in1 is enabled regardless of the test signal T_ROD.

상기 제 1 입력 신호 생성부(110)는 제 1 및 제 2 낸드 게이트(ND11, ND12)를 포함한다. 상기 제 1 낸드 게이트(ND11)는 상기 클럭(CLK)과 상기 오실레이터 테스트 신호(T_ROD)를 입력 받는다. 상기 제 2 낸드 게이트(ND12)는 상기 제 1 낸드 게이트(ND11)의 출력 신호와 상기 풀업 테스트 신호(T_PUON)를 입력 받아 상기 제 1 테스트 입력 신호(T_in1)를 출력한다.The first input signal generator 110 includes first and second NAND gates ND11 and ND12. The first NAND gate ND11 receives the clock CLK and the oscillator test signal T_ROD. The second NAND gate ND12 receives the output signal of the first NAND gate ND11 and the pull-up test signal T_PUON to output the first test input signal T_in1.

상기 제 2 입력 신호 생성부(120)는 상기 오실레이터 테스트 신호(T_ROD) 및 상기 풀다운 테스트 신호(T_PDON)가 모두 인에이블되면 상기 클럭(CLK)을 상기 제 2 테스트 입력 신호(T_in2)로서 출력하고, 상기 오실레이터 테스트 신호(T_ROD)가 디스에이블되고 상기 풀다운 테스트 신호(T_PDON)가 인에이블되면 상기 제 2 테스트 입력 신호(T_in2)를 디스에이블시키며, 상기 풀다운 테스트 신호(T_PDON)가 디스에이블되면 상기 오실레이터 테스트 신호(T_ROD)와는 무관하게 상기 제 2 테스트 입력 신호(T_in2)를 인에이블시킨다.The second input signal generator 120 outputs the clock CLK as the second test input signal T_in2 when both the oscillator test signal T_ROD and the pull-down test signal T_PDON are enabled. When the oscillator test signal T_ROD is disabled and the pull-down test signal T_PDON is enabled, the second test input signal T_in2 is disabled, and when the pull-down test signal T_PDON is disabled, the oscillator test The second test input signal T_in2 is enabled regardless of the signal T_ROD.

상기 제 2 입력 신호 생성부(120)는 제 1 및 제 2 노어 게이트(NOR11, NOR12)를 포함한다. 상기 제 1 노어 게이트(NOR11)는 상기 클럭(CLK)과 상기 오실레이터 테스트 신호(T_ROD)의 반전 신호(T_RODB)를 입력 받는다. 상기 제 2 노어 게이트(NOR12)는 상기 제 1 노어 게이트(NOR11)의 출력 신호와 상기 풀다운 테스트 신호(T_PDON)를 입력 받아 상기 테스트 입력 신호(T_in2)를 출력한다.The second input signal generator 120 includes first and second NOR gates NOR11 and NOR12. The first NOR gate NOR11 receives the inverted signal T_RODB of the clock CLK and the oscillator test signal T_ROD. The second NOR gate NOR12 receives the output signal of the first NOR gate NOR11 and the pull-down test signal T_PDON and outputs the test input signal T_in2.

상기 테스트 제어 신호 생성부(200)는 제 1 테스트 선택 신호(T_sel1)에 응답하여 테스트 전압(V_test)을 피모스 제어 신호(P_ctrl)의 전압으로서 출력하거나 상기 제 1 테스트 입력 신호(T_in1)를 반전시켜 상기 피모스 제어 신호(P_ctrl)로서 출력하고, 제 2 테스트 선택 신호(T_sel2)에 응답하여 상기 테스트 전압(V_test)을 엔모스 제어 신호(N_ctrl)의 전압으로서 출력하거나 상기 제 2 테스트 입력 신호(T_in2)를 반전시켜 상기 엔모스 제어 신호(N_ctrl)로서 출력한다.The test control signal generator 200 outputs a test voltage V_test as a voltage of the PMOS control signal P_ctrl or inverts the first test input signal T_in1 in response to the first test selection signal T_sel1. And output as the PMOS control signal P_ctrl and output the test voltage V_test as a voltage of the NMOS control signal N_ctrl in response to the second test selection signal T_sel2. T_in2) is inverted and output as the NMOS control signal N_ctrl.

상기 테스트 제어 신호 생성부(200)는 상기 제 1 테스트 선택 신호(T_sel1)가 인에이블되면 상기 테스트 전압(V_test)을 상기 피모스 제어 신호(P_ctrl)의 전압으로서 출력하고, 상기 제 1 테스트 선택 신호(T_sel1)가 디스에이블되면 상기 제 1 테스트 입력 신호(T_in1)를 반전시켜 상기 피모스 제어 신호(P_ctrl)로서 출력한다. The test control signal generator 200 outputs the test voltage V_test as a voltage of the PMOS control signal P_ctrl when the first test select signal T_sel1 is enabled, and the first test select signal. When T_sel1 is disabled, the first test input signal T_in1 is inverted and output as the PMOS control signal P_ctrl.

또한, 상기 테스트 제어 신호 생성부(200)는 상기 제 2 테스트 선택 신호(T_sel2)가 인에이블되면 상기 테스트 전압(V_test)을 상기 엔모스 제어 신호(N_ctrl)의 전압으로서 출력하고, 상기 제 2 테스트 선택 신호(T_sel2)가 디스에이블되면 상기 제 2 테스트 입력 신호(T_in2)를 반전시켜 상기 엔모스 제어 신호(N_ctrl)로서 출력한다.In addition, when the second test selection signal T_sel2 is enabled, the test control signal generation unit 200 outputs the test voltage V_test as the voltage of the NMOS control signal N_ctrl and the second test. When the selection signal T_sel2 is disabled, the second test input signal T_in2 is inverted and output as the NMOS control signal N_ctrl.

상기 테스트 제어 신호 생성부(200)는 제 1 내지 제 4 스위칭부(210~240)를 포함한다.The test control signal generator 200 includes first to fourth switching units 210 to 240.

상기 제 1 스위칭부(210)는 상기 제 1 테스트 선택 신호(T_sel1)가 인에이블되면 상기 테스트 전압(V_test)을 상기 피모스 제어 신호(P_ctrl)의 전압으로서 출력한다.The first switching unit 210 outputs the test voltage V_test as a voltage of the PMOS control signal P_ctrl when the first test selection signal T_sel1 is enabled.

상기 제 1 스위칭부(210)는 제 1 패스 게이트(PG11)로 구현되며, 상기 제 1 패스 게이트(PG11)는 제 1 제어단에 상기 제 1 테스트 선택 신호(T_sel1)의 반전 신호(T_sel1B)를 입력 받고 제 2 제어단에 상기 제 1 테스트 선택 신호(T_sel1)를 입력 받으며, 입력단에 상기 테스트 전압(V_test)을 입력받아 출력단에서 상기 피모스 제어 신호(P_ctrl)를 출력하도록 구성된다.The first switching unit 210 is implemented as a first pass gate PG11, and the first pass gate PG11 transmits an inverted signal T_sel1B of the first test select signal T_sel1 to a first control terminal. The first test selection signal T_sel1 is input to the second control terminal, the test voltage V_test is input to the input terminal, and the PMOS control signal P_ctrl is output at the output terminal.

상기 제 2 스위칭부(220)는 상기 제 1 테스트 선택 신호(T_sel1)가 디스에이블되면 상기 제 1 테스트 입력 신호(T_in1)를 반전시켜 상기 피모스 제어 신호(P_ctrl)로서 출력한다.When the first test select signal T_sel1 is disabled, the second switching unit 220 inverts the first test input signal T_in1 and outputs the PMOS control signal P_ctrl.

상기 제 2 스위칭부(220)는 제 1 제어 인버터(IVC11)로 구현되며, 상기 제 1 제어 인버터(IVC11)는 제 1 제어단에 상기 제 1 테스트 선택 신호(T_sel1)를 입력 받고 제 2 제어단에 상기 제 1 테스트 선택 신호(T_sel1)의 반전 신호(T_sel1B)를 입력 받으며, 입력단에 상기 제 1 테스트 입력 신호(T_in1)를 입력 받아 출력단에서 상기 피모스 제어 신호(P_ctrl)를 출력하도록 구성된다.The second switching unit 220 is implemented as a first control inverter IVC11, and the first control inverter IVC11 receives the first test selection signal T_sel1 from a first control terminal and receives a second control terminal. The inverting signal T_sel1B of the first test selection signal T_sel1 is input to the input terminal, and the PMOS control signal P_ctrl is output at the output terminal by receiving the first test input signal T_in1 at the input terminal.

상기 제 3 스위칭부(230)는 상기 제 2 테스트 선택 신호(T_sel1)가 인에이블되면 상기 테스트 전압(V_test)을 상기 엔모스 제어 신호(N_ctrl)의 전압으로서 출력한다.When the second test select signal T_sel1 is enabled, the third switching unit 230 outputs the test voltage V_test as the voltage of the NMOS control signal N_ctrl.

상기 제 3 스위칭부(230)는 제 2 패스 게이트(PG12)로 구현되며, 상기 제 2 패스 게이트(PG12)는 제 1 제어단에 상기 제 2 테스트 선택 신호(T_sel2)의 반전 신호(T_sel2B)를 입력 받고 제 2 제어단에 상기 제 2 테스트 선택 신호(T_sel2)를 입력 받으며, 입력단에 상기 테스트 전압(V_test)을 입력받아 출력단에서 상기 엔모스 제어 신호(N_ctrl)를 출력하도록 구성된다.The third switching unit 230 is implemented as a second pass gate PG12, and the second pass gate PG12 transmits an inverted signal T_sel2B of the second test select signal T_sel2 to a first control terminal. The input terminal receives the second test selection signal T_sel2 at the second control terminal, receives the test voltage V_test at the input terminal, and outputs the NMOS control signal N_ctrl at the output terminal.

상기 제 4 스위칭부(240)는 상기 제 2 테스트 선택 신호(T_sel2)가 디스에이블되면 상기 제 2 테스트 입력 신호(T_in2)를 반전시켜 상기 엔모스 제어 신호(N_ctrl)로서 출력한다.When the second test select signal T_sel2 is disabled, the fourth switching unit 240 inverts the second test input signal T_in2 and outputs the NMOS control signal N_ctrl.

상기 제 4 스위칭부(240)는 제 2 제어 인버터(IVC12)로 구현되며, 상기 제 2 제어 인버터(IVC11)는 제 1 제어단에 상기 제 2 테스트 선택 신호(T_sel2)를 입력 받고 제 2 제어단에 상기 제 2 테스트 선택 신호(T_sel2)의 반전 신호(T_sel2B)를 입력 받으며, 입력단에 상기 제 2 테스트 입력 신호(T_in2)를 입력 받아 출력단에서 상기 엔모스 제어 신호(N_ctrl)를 출력하도록 구성된다.The fourth switching unit 240 is implemented as a second control inverter IVC12, and the second control inverter IVC11 receives the second test selection signal T_sel2 from a first control terminal and receives a second control terminal. The inverting signal T_sel2B of the second test selection signal T_sel2 is input to the second test input signal T_sel2B, and the input terminal receives the second test input signal T_in2 to output the NMOS control signal N_ctrl.

상기 테스트 드라이버(300)는 상기 피모스 제어 신호(P_ctrl)에 응답하여 패드(PAD)에 연결된 출력 노드(node_out)에 풀업 동작을 수행하고, 상기 엔모스 제어 신호(N_ctrl)에 응답하여 상기 출력 노드(node_out)에 풀다운 동작을 수행한다.The test driver 300 performs a pull-up operation on the output node node_out connected to the pad PAD in response to the PMOS control signal P_ctrl and the output node in response to the NMOS control signal N_ctrl. Perform a pulldown operation on (node_out).

상기 테스트 드라이버(300)는 제 1 및 제 2 트랜지스터(P11, N11)를 포함한다. 상기 제 1 트랜지스터(P11)는 게이트에 상기 피모스 제어 신호(P_ctrl)가 입력되고 소오스에 외부 전압(VDD)을 인가 받으며 드레인에 상기 출력 노드(node_out)가 연결된다. 상기 제 2 트랜지스터(N11)는 게이트에 상기 엔모스 제어 신호(N_ctrl)를 입력 받고 드레인에 상기 출력 노드(node_out)가 연결되며 소오스에 접지단(VSS)이 연결된다. 이때, 상기 출력 노드(node_out)는 패드(PAD)에 연결된다.The test driver 300 includes first and second transistors P11 and N11. The PMOS control signal P_ctrl is input to a gate, an external voltage VDD is applied to a source, and the output node node_out is connected to a drain of the first transistor P11. The second transistor N11 receives the NMOS control signal N_ctrl on a gate, the output node node_out is connected to a drain, and a ground terminal VSS is connected to a source. In this case, the output node node_out is connected to the pad PAD.

이와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 장치의 테스트 회로를 이용한 테스트는 다음과 같이 수행된다.The test using the test circuit of the semiconductor memory device according to the embodiment configured as described above is performed as follows.

첫번째, 클럭(CLK) 즉, 반도체 메모리 장치 내부에 구현된 오실레이터의 출력을 모니터링하는 테스트에 대해 설명한다.First, a test for monitoring the output of the clock CLK, that is, the oscillator implemented in the semiconductor memory device will be described.

오실레이터 테스트 신호(T_ROD), 및 풀업 테스트 신호(T_PUON)를 하이 레벨로 인에이블시킨다. 이때, 상기 오실레이터 테스트 신호(T_ROD)의 반전 신호(T_RODB)는 로우 레벨로 디스에이블된다. 또한 풀다운 테스트 신호(T_PDON)를 로우 레벨로 인에이블시킨다. 제 1, 및 제 2 테스트 선택 신호(T_sel1, T_sel2)를 로우 레벨로 디스에이블시킨다.The oscillator test signal T_ROD and the pull-up test signal T_PUON are enabled to a high level. At this time, the inversion signal T_RODB of the oscillator test signal T_ROD is disabled to a low level. It also enables the pull-down test signal (T_PDON) to a low level. The first and second test select signals T_sel1 and T_sel2 are disabled to a low level.

테스트 입력 신호 생성부(100)는 상기 클럭(CLK)을 제 1 테스트 입력 신호(T_in1) 및 제 2 테스트 입력 신호(T_in2)로서 출력한다.The test input signal generator 100 outputs the clock CLK as a first test input signal T_in1 and a second test input signal T_in2.

테스트 제어 신호 생성부(200)의 제 1 내지 제 4 스위칭부(210~240) 중 상기 제 2 및 제 3 스위칭부(220, 230)가 턴온된다. 턴온된 상기 제 2 및 제 3 스위칭부(220, 230)는 상기 제 1 및 제 2 테스트 입력 신호(T_in1, T_in2)를 각각 반전시켜 피모스 제어 신호(P_ctrl) 및 엔모스 제어 신호(N_ctrl)로서 출력한다.The second and third switching units 220 and 230 of the first to fourth switching units 210 to 240 of the test control signal generator 200 are turned on. The turned on second and third switching units 220 and 230 invert the first and second test input signals T_in1 and T_in2, respectively, as PMOS control signals and NMOS control signals N_ctrl. Output

테스트 드라이버(300)는 상기 피모스 제어 신호(P_ctrl)가 로우 레벨로 인에이블되면 풀업 동작을 수행하여 출력 노드(node_out)의 전압 레벨을 높이고, 상기 엔모스 제어 신호(N_ctrl)가 하이 레벨로 인에이블되면 풀다운 동작을 수행하여 상기 출력 노드(node_out)의 전압 레벨을 낮춘다.When the PMOS control signal P_ctrl is enabled at the low level, the test driver 300 performs a pull-up operation to increase the voltage level of the output node node_out and the NMOS control signal N_ctrl to the high level. When enabled, a pull-down operation is performed to lower the voltage level of the output node node_out.

결국, 상기 클럭(CLK)이 하이 레벨일 경우 상기 제 1 및 제 2 테스트 입력 신호(T_in1, T_in2)가 하이 레벨이 되고, 상기 피모스 및 엔모스 제어 신호(P_ctrl, N_ctrl)가 로우 레벨이 되어, 상기 테스트 드라이버(300)는 풀업 동작 을 수행한다. 또한, 상기 클럭(CLK)이 로우 레벨일 경우 상기 제 1 및 제 2 테스트 입력 신호(T_in1, T_in2)가 로우 레벨이 되고, 상기 피모스 및 엔모스 제어 신호(P_ctrl, N_ctrl)가 하이 레벨이 되어, 상기 테스트 드라이버(300)는 풀다운 동작을 수행한다. 패드(PAD)를 통해 상기 클럭(CLK)이 반도체 메모리 장치의 외부로 출력되며, 이를 모니터링하는 테스트 수행이 가능해진다.As a result, when the clock CLK is at a high level, the first and second test input signals T_in1 and T_in2 are at a high level, and the PMOS and NMOS control signals P_ctrl and N_ctrl are at a low level. The test driver 300 performs a pull-up operation. In addition, when the clock CLK is at a low level, the first and second test input signals T_in1 and T_in2 are at a low level, and the PMOS and NMOS control signals P_ctrl and N_ctrl are at a high level. The test driver 300 performs a pull-down operation. The clock CLK is outputted to the outside of the semiconductor memory device through the pad PAD, and a test for monitoring the clock CLK can be performed.

두번째, 포화영역(saturation region)에서 구동되는 피모스 트랜지스터(P11)의 출력 전류 양을 모니터링하는 테스트에 대해 설명한다.Second, a test for monitoring the amount of output current of the PMOS transistor P11 driven in the saturation region will be described.

상기 오실레이터 테스트 신호(T_ROD), 상기 풀업 테스트 신호(T_PUON)를 로우 레벨로 디스에이블시킨다. 이때, 상기 오실레이터 테스트 신호(T_ROD)의 반전 신호(T_RODB)는 하이 레벨로 디스에이블된다. 또한 풀다운 테스트 신호(T_PDON)를 로우 레벨로 인에이블시킨다. 제 1, 및 제 2 테스트 선택 신호(T_sel1, T_sel2)를 로우 레벨로 디스에이블시킨다.The oscillator test signal T_ROD and the pull-up test signal T_PUON are disabled to a low level. In this case, the inversion signal T_RODB of the oscillator test signal T_ROD is disabled to a high level. It also enables the pull-down test signal (T_PDON) to a low level. The first and second test select signals T_sel1 and T_sel2 are disabled to a low level.

상기 테스트 입력 신호 생성부(100)는 하이 레벨로 인에이블된 상기 제 1 테스트 신호(T_in1)를 출력하고, 하이 레벨로 디스에이블된 상기 제 2 테스트 입력 신호(T_in2)를 출력한다.The test input signal generator 100 outputs the first test signal T_in1 enabled at a high level and outputs the second test input signal T_in2 disabled at a high level.

상기 테스트 제어 신호 생성부(200)의 제 1 내지 제 4 스위칭부(210~240) 중 상기 제 2 및 제 3 스위칭부(220, 230)가 턴온된다. 턴온된 상기 제 2 및 제 3 스위칭부(220, 230)는 상기 제 1 및 제 2 테스트 입력 신호(T_in1, T_in2)를 각각 반전시켜 피모스 제어 신호(P_ctrl) 및 엔모스 제어 신호(N_ctrl)로서 출력한다.The second and third switching units 220 and 230 of the first to fourth switching units 210 to 240 of the test control signal generator 200 are turned on. The turned on second and third switching units 220 and 230 invert the first and second test input signals T_in1 and T_in2, respectively, as PMOS control signals and NMOS control signals N_ctrl. Output

즉, 상기 피모스 제어 신호(P_ctrl)는 로우 레벨로 인에이블되고, 상기 엔모 스 제어 신호(N_ctrl)는 로우 레벨로 디스에이블된다.That is, the PMOS control signal P_ctrl is enabled at the low level, and the NMOS control signal N_ctrl is disabled at the low level.

상기 테스트 드라이버(300)의 피모스 트랜지스터(P11)는 턴온되고, 엔모스 트랜지스터(N11)는 턴오프된다. 상기 피모스 트랜지스터(P11)는 게이트에 접지 전압(VSS) 레벨의 상기 피모스 제어 신호(P_ctrl)를 입력 받는다. 즉, 상기 테스트 드라이버(300)는 포화 영역에서 구동되는 상기 피모스 트랜지스터(P11)의 출력 전류를 상기 출력 노드(node_out)를 거쳐 상기 패드(PAD)로 출력한다.The PMOS transistor P11 of the test driver 300 is turned on and the NMOS transistor N11 is turned off. The PMOS transistor P11 receives the PMOS control signal P_ctrl having a ground voltage VSS level. That is, the test driver 300 outputs the output current of the PMOS transistor P11 driven in the saturation region to the pad PAD via the output node node_out.

이때, 상기 패드(PAD)로부터 출력되는 전류의 양을 모니터링함으로써, 반도체 메모리 장치에 구현된 포화영역의 피모스 트랜지스터가 출력하는 전류를 테스트할 수 있다.In this case, by monitoring the amount of current output from the pad PAD, the current output by the PMOS transistor in the saturation region implemented in the semiconductor memory device may be tested.

세번째, 포화영역(saturation region)에서 구동되는 엔모스 트랜지스터(N11)의 출력 전류의 양을 모니터링하는 테스트에 대해 설명한다.Third, a test for monitoring the amount of output current of the NMOS transistor N11 driven in the saturation region will be described.

상기 오실레이터 테스트 신호(T_ROD)를 로우 레벨로 디스에이블시킨다. 상기 풀업 테스트 신호(T_PUON)를 하이 레벨로 인에이블시킨다. 이때, 상기 오실레이터 테스트 신호(T_ROD)의 반전 신호(T_RODB)는 하이 레벨로 인에이블된다. 또한 풀다운 테스트 신호(T_PDON)를 하이 레벨로 디스에이블시킨다. 제 1, 및 제 2 테스트 선택 신호(T_sel1, T_sel2)를 로우 레벨로 디스에이블시킨다.The oscillator test signal T_ROD is disabled to a low level. The pull-up test signal T_PUON is enabled to a high level. In this case, the inversion signal T_RODB of the oscillator test signal T_ROD is enabled to a high level. It also disables the pull-down test signal (T_PDON) to a high level. The first and second test select signals T_sel1 and T_sel2 are disabled to a low level.

상기 테스트 입력 신호 생성부(100)는 로우 레벨로 디스에이블된 상기 제 1 테스트 신호(T_in1)를 출력하고, 로우 레벨로 인에이블된 상기 제 2 테스트 입력 신호(T_in2)를 출력한다.The test input signal generator 100 outputs the first test signal T_in1 disabled at a low level and outputs the second test input signal T_in2 enabled at a low level.

상기 테스트 제어 신호 생성부(200)의 제 1 내지 제 4 스위칭부(210~240) 중 상기 제 2 및 제 3 스위칭부(220, 230)가 턴온된다. 턴온된 상기 제 2 및 제 3 스위칭부(220, 230)는 상기 제 1 및 제 2 테스트 입력 신호(T_in1, T_in2)를 각각 반전시켜 피모스 제어 신호(P_ctrl) 및 엔모스 제어 신호(N_ctrl)로서 출력한다.The second and third switching units 220 and 230 of the first to fourth switching units 210 to 240 of the test control signal generator 200 are turned on. The turned on second and third switching units 220 and 230 invert the first and second test input signals T_in1 and T_in2, respectively, as PMOS control signals and NMOS control signals N_ctrl. Output

즉, 상기 피모스 제어 신호(P_ctrl)는 하이 레벨로 디스에이블되고, 상기 엔모스 제어 신호(N_ctrl)는 하이 레벨로 인에이블된다.That is, the PMOS control signal P_ctrl is disabled at a high level, and the NMOS control signal N_ctrl is enabled at a high level.

그러면, 상기 테스트 드라이버(300)의 상기 피모스 트랜지스터(P11)는 턴오프되고, 상기 엔모스 트랜지스터(N11)는 턴온된다. 상기 엔모스 트랜지스터(N11)는 게이트에 외부 전압(VDD) 레벨의 상기 엔모스 제어 신호(N_ctrl)를 입력 받는다. 즉, 상기 테스트 드라이버(300)는 포화 영역에서 구동되는 상기 엔모스 트랜지스터(N11)의 출력 전류를 상기 출력 노드(node_out)를 거쳐 상기 패드(PAD)로 출력한다.Then, the PMOS transistor P11 of the test driver 300 is turned off and the NMOS transistor N11 is turned on. The NMOS transistor N11 receives a gate of the NMOS control signal N_ctrl at an external voltage level VDD. That is, the test driver 300 outputs the output current of the NMOS transistor N11 driven in the saturation region to the pad PAD via the output node node_out.

이때, 상기 패드(PAD)로부터 출력되는 전류의 양을 모니터링함으로써, 반도체 메모리 장치에 구현된 포화영역의 엔모스 트랜지스터가 출력하는 전류를 테스트할 수 있다.In this case, by monitoring the amount of current output from the pad PAD, the current output by the NMOS transistor in the saturation region implemented in the semiconductor memory device may be tested.

네번째, 포화영역(saturation region)에서 구동되는 엔모스 트랜지스터(N11)와 피모스 트랜지스터(P11)에 의해 출력 노드(node_out)로 출력되는 전류의 양을 모니터링하는 테스트에 대해 설명한다.Fourth, a test for monitoring the amount of current output to the output node node_out by the NMOS transistor N11 and the PMOS transistor P11 driven in the saturation region will be described.

상기 풀업 테스트 신호(T_PUON)를 로우 레벨로 디스에이블시킨다. 또한 상기 풀다운 테스트 신호(T_PDON)를 하이 레벨로 디스에이블시킨다. 제 1, 및 제 2 테스트 선택 신호(T_sel1, T_sel2)를 로우 레벨로 디스에이블시킨다.The pull-up test signal T_PUON is disabled to a low level. In addition, the pull-down test signal T_PDON is disabled to a high level. The first and second test select signals T_sel1 and T_sel2 are disabled to a low level.

상기 테스트 입력 신호 생성부(100)는 하이 레벨로 인에이블된 상기 제 1 테스트 신호(T_in1)를 출력하고, 로우 레벨로 인에이블된 상기 제 2 테스트 입력 신호(T_in2)를 출력한다.The test input signal generator 100 outputs the first test signal T_in1 enabled at a high level and outputs the second test input signal T_in2 enabled at a low level.

상기 테스트 제어 신호 생성부(200)의 제 1 내지 제 4 스위칭부(210~240) 중 상기 제 2 및 제 3 스위칭부(220, 230)가 턴온된다. 턴온된 상기 제 2 및 제 3 스위칭부(220, 230)는 상기 제 1 및 제 2 테스트 입력 신호(T_in1, T_in2)를 각각 반전시켜 피모스 제어 신호(P_ctrl) 및 엔모스 제어 신호(N_ctrl)로서 출력한다.The second and third switching units 220 and 230 of the first to fourth switching units 210 to 240 of the test control signal generator 200 are turned on. The turned on second and third switching units 220 and 230 invert the first and second test input signals T_in1 and T_in2, respectively, as PMOS control signals and NMOS control signals N_ctrl. Output

즉, 상기 피모스 제어 신호(P_ctrl)는 로우 레벨로 인에이블되고, 상기 엔모스 제어 신호(N_ctrl)는 하이 레벨로 인에이블된다.That is, the PMOS control signal P_ctrl is enabled at a low level, and the NMOS control signal N_ctrl is enabled at a high level.

상기 테스트 드라이버(300)의 상기 피모스 트랜지스터(P11)와 상기 엔모스 트랜지스터(N11)는 턴온된다. 상기 엔모스 트랜지스터(N11)는 게이트에 외부 전압(VDD) 레벨의 상기 엔모스 제어 신호(N_ctrl)를 입력 받아 턴온되고, 상기 피모스 트랜지스터(P11)는 게이트에 접지 전압(VSS) 레벨의 상기 피모스 제어 신호(P_ctrl)를 입력 받아 턴온된다. 즉, 상기 테스트 드라이버(300)는 포화 영역의 상기 엔모스 트랜지스터(N11)와 상기 피모스 트랜지스터(P11)가 출력하는 전류를 상기 출력 노드(node_out)를 거쳐 상기 패드(PAD)로 출력한다.The PMOS transistor P11 and the NMOS transistor N11 of the test driver 300 are turned on. The NMOS transistor N11 is turned on by receiving the NMOS control signal N_ctrl having a level of an external voltage VDD at a gate thereof, and the PMOS transistor P11 is turned off at a ground voltage VSS level at a gate thereof. It is turned on by receiving the Morse control signal P_ctrl. That is, the test driver 300 outputs currents output from the NMOS transistor N11 and the PMOS transistor P11 in a saturation region to the pad PAD via the output node node_out.

이때, 상기 패드(PAD)로부터 출력되는 전류의 양을 모니터링함으로써, 반도체 메모리 장치에 구현된 포화영역의 엔모스 트랜지스터와 피모스 트랜지스터가 출력하는 전류를 테스트할 수 있다.In this case, by monitoring the amount of current output from the pad PAD, the current output from the NMOS transistor and the PMOS transistor in the saturation region implemented in the semiconductor memory device may be tested.

다섯번째, 피모스 트랜지스터(P11)가 게이트에 입력되는 전압 레벨에 따라 출력하는 전류의 양을 모니터링하는 테스트를 설명한다.Fifth, a test for monitoring the amount of current output by the PMOS transistor P11 according to the voltage level input to the gate will be described.

상기 오실레이터 테스트 신호(T_ROD)를 로우 레벨로 디스에이블시킨다. 이때, 상기 오실레이터 테스트 신호(T_ROD)의 반전 신호(T_RODB)는 하이 레벨로 인에이블된다. 또한 풀다운 테스트 신호(T_PDON)를 로우 레벨로 인에이블시킨다. 제 1 테스트 선택 신호(T_sel1)를 하이 레벨로 인에이블시키고 제 2 테스트 선택 신호(T_sel2)를 로우 레벨로 디스에이블시킨다.The oscillator test signal T_ROD is disabled to a low level. In this case, the inversion signal T_RODB of the oscillator test signal T_ROD is enabled to a high level. It also enables the pull-down test signal (T_PDON) to a low level. The first test select signal T_sel1 is enabled at a high level and the second test select signal T_sel2 is disabled at a low level.

상기 테스트 입력 신호 생성부(100)는 하이 레벨로 디스에이블된 상기 제 2 테스트 입력 신호(T_in2)을 출력한다.The test input signal generator 100 outputs the second test input signal T_in2 disabled to a high level.

상기 테스트 제어 신호 생성부(200)의 제 1 내지 제 4 스위칭부(210~240) 중 상기 제 1 및 제 3 스위칭부(210, 230)가 턴온된다. 턴온된 상기 제 1 스위칭부(210)는 테스트 전압(V_test)을 피모스 제어 신호(P_ctrl)의 전압으로서 출력한다. 턴온된 상기 제 3 스위칭부(230)는 상기 제 2 테스트 입력 신호(T_in2)를 반전시켜 엔모스 제어 신호(N_ctrl)로서 출력한다.The first and third switching units 210 and 230 of the first to fourth switching units 210 to 240 of the test control signal generator 200 are turned on. The turned-on first switching unit 210 outputs a test voltage V_test as a voltage of the PMOS control signal P_ctrl. The turned on third switching unit 230 inverts the second test input signal T_in2 and outputs the NMOS control signal N_ctrl.

즉, 상기 엔모스 제어 신호(N_ctrl)는 로우 레벨로 디스에이블된다.That is, the NMOS control signal N_ctrl is disabled at a low level.

상기 테스트 드라이버(300)의 상기 엔모스 트랜지스터(N11)는 턴오프된다. 상기 피모스 트랜지스터(P11)는 게이트에 상기 테스트 전압(V_test)을 입력 받는다. The NMOS transistor N11 of the test driver 300 is turned off. The PMOS transistor P11 receives the test voltage V_test at a gate thereof.

결국, 상기 테스트 드라이버(300)는 게이트에 상기 테스트 전압(V_test)을입력 받는 피모스 트랜지스터(P11)가 상기 테스트 전압(V_test) 레벨에 따른 출력 전류를 상기 출력 노드(node_out)에 출력한다.As a result, the PMOS transistor P11 receiving the test voltage V_test from the gate outputs an output current corresponding to the test voltage V_test level to the output node node_out.

이때, 상기 출력 노드(node_out)와 연결된 패드(PAD)로부터 출력되는 전류의 양을 모니터링함으로써, 반도체 메모리 장치에 구현된 피모스 트랜지스터가 게이트 전압 레벨에 따라 출력하는 전류의 양을 모니터링할 수 있다.In this case, by monitoring the amount of current output from the pad PAD connected to the output node node_out, the amount of current output by the PMOS transistor implemented in the semiconductor memory device according to the gate voltage level may be monitored.

마지막으로, 엔모스 트랜지스터(N11)가 게이트에 입력되는 전압 레벨에 따라 출력하는 전류의 양을 모니터링하는 테스트를 설명한다.Finally, a test for monitoring the amount of current outputted by the NMOS transistor N11 according to the voltage level input to the gate will be described.

상기 오실레이터 테스트 신호(T_ROD)를 로우 레벨로 디스에이블시킨다. 이때, 상기 오실레이터 테스트 신호(T_ROD)의 반전 신호(T_RODB)는 하이 레벨로 인에이블된다. 또한 풀업 테스트 신호(T_PUON)를 하이 레벨로 인에이블시킨다. 제 1 테스트 선택 신호(T_sel1)를 로우 레벨로 디스에이블시키고 제 2 테스트 선택 신호(T_sel2)를 하이 레벨로 인에이블시킨다.The oscillator test signal T_ROD is disabled to a low level. In this case, the inversion signal T_RODB of the oscillator test signal T_ROD is enabled to a high level. It also enables the pull-up test signal T_PUON to a high level. The first test select signal T_sel1 is disabled to a low level and the second test select signal T_sel2 is enabled to a high level.

상기 테스트 입력 신호 생성부(100)는 로우 레벨로 디스에이블된 상기 제 1 테스트 입력 신호(T_in1)을 출력한다.The test input signal generator 100 outputs the first test input signal T_in1 disabled to a low level.

상기 테스트 제어 신호 생성부(200)의 제 1 내지 제 4 스위칭부(210~240) 중 상기 제 2 및 제 4 스위칭부(220, 240)가 턴온된다. 턴온된 상기 제 2 스위칭부(220)는 상기 제 1 테스트 입력 신호(T_in1)를 반전시켜 피모스 제어 신호(P_ctrl)로서 출력한다. 턴온된 상기 제 4 스위칭부(240)는 테스트 전압(V_test)을 엔모스 제어 신호(N_ctrl)의 전압으로서 출력한다.The second and fourth switching units 220 and 240 of the first to fourth switching units 210 to 240 of the test control signal generator 200 are turned on. The turned-on second switching unit 220 inverts the first test input signal T_in1 and outputs the PMOS control signal P_ctrl. The turned on fourth switching unit 240 outputs a test voltage V_test as the voltage of the NMOS control signal N_ctrl.

즉, 상기 피모스 제어 신호(P_ctrl)는 하이 레벨로 디스에이블된다.That is, the PMOS control signal P_ctrl is disabled to a high level.

상기 테스트 드라이버(300)의 상기 피모스 트랜지스터(P11)는 턴오프된다. 상기 엔모스 트랜지스터(N11)는 게이트에 상기 테스트 전압(V_test)을 입력 받는 다. The PMOS transistor P11 of the test driver 300 is turned off. The NMOS transistor N11 receives the test voltage V_test at a gate thereof.

결국, 상기 테스트 드라이버(300)는 게이트에 상기 테스트 전압(V_test)을입력 받는 엔모스 트랜지스터(N11)가 상기 테스트 전압(V_test) 레벨에 따라 출력하는 전류를 상기 출력 노드(node_out)에 출력한다.As a result, the test driver 300 outputs, to the output node node_out, a current output by the NMOS transistor N11 receiving the test voltage V_test from the gate according to the test voltage V_test level.

이때, 상기 출력 노드(node_out)와 연결된 패드(PAD)로부터 출력되는 전류의 양을 모니터링함으로써, 반도체 메모리 장치에 구현된 엔모스 트랜지스터가 게이트 전압 레벨에 따라 출력하는 전류의 양을 모니터링할 수 있다.In this case, by monitoring the amount of current output from the pad PAD connected to the output node node_out, the amount of current output by the NMOS transistor implemented in the semiconductor memory device according to the gate voltage level may be monitored.

본 발명에 따른 반도체 메모리 장치의 테스트 회로는 P.V.T 변화에 따른 트랜지스터의 특성 변화를 모니터링할 수 있어, 반도체 메모리 장치의 테스트 기간을 줄일 수 있다.The test circuit of the semiconductor memory device according to the present invention can monitor the characteristic change of the transistor according to the P.V.T change, thereby reducing the test period of the semiconductor memory device.

본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있으므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.As those skilled in the art to which the present invention pertains may implement the present invention in other specific forms without changing the technical spirit or essential features, the embodiments described above should be understood as illustrative and not restrictive in all aspects. Should be. The scope of the present invention is shown by the following claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included in the scope of the present invention. do.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 장치의 테스트 회로를 개략적으로 보여주는 구성도이다.1 is a configuration diagram schematically illustrating a test circuit of a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

100: 테스트 입력 신호 생성부 200: 테스트 제어 신호 생성부100: test input signal generator 200: test control signal generator

300: 테스트 드라이버300: test driver

Claims (6)

오실레이터 테스트 신호, 풀업 테스트 신호, 풀다운 테스트 신호, 및 클럭에 응답하여 제 1 테스트 입력 신호 및 제 2 테스트 입력 신호를 생성하는 테스트 입력 신호 생성부;A test input signal generator configured to generate a first test input signal and a second test input signal in response to an oscillator test signal, a pull-up test signal, a pull-down test signal, and a clock; 제 1 테스트 선택 신호에 응답하여 테스트 전압을 피모스 제어 신호의 전압으로서 출력하거나 상기 제 1 테스트 입력 신호를 반전시켜 상기 피모스 제어 신호로서 출력하고, 제 2 테스트 선택 신호에 응답하여 상기 테스트 전압을 엔모스 제어 신호의 전압으로서 출력하거나 상기 제 2 테스트 입력 신호를 반전시켜 상기 엔모스 제어 신호로서 출력하는 테스트 제어 신호 생성부; 및Outputting a test voltage as a voltage of a PMOS control signal in response to a first test selection signal or inverting the first test input signal to output as a PMOS control signal, and outputting the test voltage in response to a second test selection signal A test control signal generator for outputting the voltage of the NMOS control signal or inverting the second test input signal and outputting the NMOS control signal; And 상기 피모스 제어 신호에 응답하여 패드에 연결된 출력 노드의 전압을 풀업시키고, 상기 엔모스 제어 신호에 응답하여 상기 출력 노드의 전압을 풀다운 시키도록 구성된 테스트 드라이버를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 테스트 회로.And a test driver configured to pull up a voltage of an output node connected to a pad in response to the PMOS control signal, and to pull down a voltage of the output node in response to the NMOS control signal. Test circuit. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 테스트 입력 신호 생성부는The test input signal generator 상기 오실레이터 테스트 신호, 및 상기 풀업 테스트 신호가 모두 인에이블되면 상기 클럭을 상기 제 1 테스트 입력 신호로서 출력하고,Outputting the clock as the first test input signal when both the oscillator test signal and the pull-up test signal are enabled; 상기 오실레이터 테스트 신호가 디스에이블되고 상기 풀업 테스트 신호가 인 에이블되면 상기 제 1 테스트 입력 신호를 디스에이블시키며, Disabling the first test input signal when the oscillator test signal is disabled and the pull-up test signal is enabled, 상기 풀업 테스트 신호가 디스에이블되면 상기 오실레이터 테스트 신호와는 무관하게 상기 제 1 테스트 입력 신호를 인에이블시키는 제 1 입력 신호 생성부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 테스트 회로.And a first input signal generator configured to enable the first test input signal irrespective of the oscillator test signal when the pull-up test signal is disabled. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 테스트 입력 신호 생성부는The test input signal generator 상기 오실레이터 테스트 신호 및 상기 풀다운 테스트 신호가 모두 인에이블되면 상기 클럭을 상기 제 1 테스트 입력 신호로서 출력하고,Outputting the clock as the first test input signal when both the oscillator test signal and the pull-down test signal are enabled; 상기 오실레이터 테스트 신호가 디스에이블되고 상기 풀다운 테스트 신호가 인에이블되면 상기 제 2 테스트 입력 신호를 디스에이블시키며,Disabling the second test input signal when the oscillator test signal is disabled and the pull-down test signal is enabled, 상기 풀다운 테스트 신호가 디스에이블되면 상기 오실레이터 테스트 신호와는 무관하게 상기 제 2 테스트 입력 신호를 인에이블시키는 제 2 입력 신호 생성부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 테스트 회로.And a second input signal generator configured to enable the second test input signal irrespective of the oscillator test signal when the pull-down test signal is disabled. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 테스트 제어 신호 생성부는The test control signal generator 상기 제 1 테스트 선택 신호가 인에이블되면 상기 테스트 전압을 상기 피모스 제어 신호의 전압으로서 출력하고, 상기 제 1 테스트 선택 신호가 디스에이블되면 상기 제 1 테스트 입력 신호를 반전시켜 상기 피모스 제어 신호로서 출력하며,When the first test select signal is enabled, the test voltage is output as the voltage of the PMOS control signal. When the first test select signal is disabled, the first test input signal is inverted to be used as the PMOS control signal. Output, 상기 제 2 테스트 선택 신호가 인에이블되면 상기 테스트 전압을 상기 엔모스 제어 신호의 전압으로서 출력하고, 상기 제 2 테스트 선택 신호가 디스에이블되면 상기 제 2 테스트 입력 신호를 반전시켜 상기 엔모스 제어 신호로서 출력하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 테스트 회로.When the second test select signal is enabled, the test voltage is output as the voltage of the NMOS control signal, and when the second test select signal is disabled, the second test input signal is inverted to form the NMOS control signal. Outputting a test circuit of a semiconductor memory device. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 테스트 제어 신호 생성부는The test control signal generator 상기 제 1 테스트 선택 신호가 인에이블되면 상기 테스트 전압을 상기 피모스 제어 신호의 전압으로서 출력하는 제 1 스위칭부,A first switching unit outputting the test voltage as a voltage of the PMOS control signal when the first test selection signal is enabled; 상기 제 1 테스트 선택 신호가 디스에이블되면 상기 제 1 테스트 입력 신호를 반전시켜 상기 피모스 제어 신호로서 출력하는 제 2 스위칭부,A second switching unit which inverts the first test input signal and outputs the PMOS control signal when the first test selection signal is disabled; 상기 제 2 테스트 선택 신호가 인에이블되면 상기 테스트 전압을 상기 엔모스 제어 신호의 전압으로서 출력하는 제 3 스위칭부, 및A third switching unit which outputs the test voltage as the voltage of the NMOS control signal when the second test selection signal is enabled, and 상기 제 2 테스트 선택 신호가 디스에이블되면 상기 제 2 테스트 입력 신호를 반전시켜 상기 엔모스 제어 신호로서 출력하는 제 4 스위칭부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 테스트 회로.And a fourth switching unit for inverting the second test input signal and outputting the second test input signal as the NMOS control signal when the second test select signal is disabled. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 테스트 드라이버는The test driver 상기 피모스 제어 신호에 응답하여 상기 출력 노드에 외부 전압을 인가시키 는 제 1 트랜지스터, 및A first transistor applying an external voltage to the output node in response to the PMOS control signal, and 상기 엔모스 제어 신호에 응답하여 상기 출력 노드와 접지단을 연결시키는 제 2 트랜지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 테스트 회로.And a second transistor connecting the output node and the ground terminal in response to the NMOS control signal.
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