KR20110066326A - 전기영동 표시 장치 및 그 제조방법 - Google Patents

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안현진
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Abstract

패널의 에지부에 크랙을 갖지 않는 콤팩트한 전기영동 표시 장치, 및 단위 패널들로 분할하기 위한 스크라이빙 공정 시 단위 패널의 에지부에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있는 전기영동 표시 장치의 제조 방법이 개시된다. 본 발명의 전기영동 표시 장치는, 화상이 표시되는 액티브 영역, 게이트 패드가 형성된 게이트 패드 영역, 데이터 패드가 형성된 데이터 패드 영역, 및 에지 영역을 포함하는 전기영동 패널; 상기 게이트 패드에 전기적으로 연결되는 게이트 구동 IC; 상기 데이터 패드에 전기적으로 연결되는 데이터 구동 IC를 포함하되, 상기 에지 영역의 측면에는 단차(step)가 형성되어 있다.
전기영동, 스크라이빙

Description

전기영동 표시 장치 및 그 제조방법{Electrophoretic Display Apparatus and Method for Manuafacturing The Same}
본 발명은 전기영동 표시 장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
전기영동 표시 장치는 전자 책(e-book)의 제조에 사용되고 있는 평판 표시장치 중 하나로서, 전기영동 필름 및 상기 전기영동 필름을 화소별로 구동시키기 위한 TFT 기판을 포함한다.
전기영동 표시 장치의 경우, 서로 대향하는 2개의 전극 사이에 전기영동 분산액이 위치한다. 마이크로캡슐 방식에서는, 전기영동 분산액을 내부에 저장하고 있는 복수 개의 마이크로캡슐들이 상기 2개의 전극 사이에서 층을 형성한다. 마이크로컵 방식에서는 전기영동 분산액이 격벽에 의해 화소별로 구획된다. 두 전극에 인가되는 전압에 의해 전기영동 분산액에 포함되어 있는 착색된 대전 입자가 전기영동(electrophoresis)에 의해 반대 극성의 전극으로 이동함으로써 화상이 표시된다.
전기영동 표시 장치는 쌍안정성(bistability)을 갖고 있어 인가된 전압이 제거되어도 원래의 이미지를 장시간 보존할 수 있다. 즉 전기영동 표시 장치는 지속 적으로 전압을 인가하지 않아도 일정 화면을 장기간 유지할 수 있기 때문에 화면의 신속한 교환이 요구되지 않는 전자 책 분야에 특히 적합하다. 또한, 전기영동 표시 장치는 액정 표시 장치와는 달리 시야각(viewing angle)에 대한 의존성이 없을 뿐만 아니라 종이와 유사한 정도로 눈에 편안한 화상을 제공할 수 있다는 장점을 가지고 있다.
전기영동 표시 장치의 개발 초기에는 유리 기판이 주로 사용되었으나, 플랙서블 디스플레이 장치의 구현을 위해서 금속 또는 플라스틱과 같은 소재의 플랙서블 기판 사용에 대한 연구가 진행되고 있다. 그러나, 금속 기판 또는 플라스틱 기판을 사용하여 전기영동 패널을 제조할 경우 단위 패널들로 분할하기 위한 스크라이빙 공정 시 패널의 에지부에 크랙(crack)이 발생하는 문제점이 나타나고 있다. 이러한 크랙 발생은 패널의 에지와 패드(pad) 사이에 충분한 거리가 확보될 것을 요구하기 때문에 그 만큼 더 큰 공정 마진이 요구된다. 따라서, 패널 자체를 더 크게 하거나 또는 액티브 영역을 더 작게 하여야 하는 부담이 따르게 된다.
본 발명의 일 관점은, 패널의 에지부에 크랙을 갖지 않는 콤팩트한 전기영동 표시 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 관점은, 단위 패널들로 분할하기 위한 스크라이빙 공정 시 단위 패널의 에지부에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있는 전기영동 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.
위에서 언급된 본 발명의 관점들 외에도, 본 발명의 다른 특징 및 이점들이 이하에서 기술되거나, 그러한 기술 및 설명으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
이 밖에도, 본 발명의 실시를 통해 본 발명의 또 다른 특징 및 이점들이 새롭게 파악되어질 수도 있을 것이다.
위와 같은 본 발명의 일 관점에 따라, 화상이 표시되는 액티브 영역, 게이트 패드가 형성된 게이트 패드 영역, 데이터 패드가 형성된 데이터 패드 영역, 및 에지 영역을 포함하는 전기영동 패널; 상기 게이트 패드에 전기적으로 연결되는 게이트 구동 IC; 상기 데이터 패드에 전기적으로 연결되는 데이터 구동 IC를 포함하되, 상기 에지 영역의 측면에는 단차(step)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시 장치가 제공된다.
상기 에지 영역은, 기판; 상기 기판 상에 형성된 유기막; 및 상기 유기막 상 에 형성된 무기막을 포함할 수 있다.
상기 단차는 상기 유기막과 상기 무기막 사이에 형성될 수 있다.
상기 단차는 상기 유기막 내에 형성될 수 있다.
상기 단차는 상기 무기막 내에 형성될 수 있다.
상기 무기막은 상기 유기막 상에 형성된 장벽층, 상기 장벽층 상에 형성된 게이트 절연막, 및 상기 게이트 절연막 상에 형성된 보호막을 포함하고, 상기 단차는 상기 장벽층 내에 형성될 수 있다.
상기 무기막은 상기 유기막 상에 형성된 장벽층, 상기 장벽층 상에 형성된 게이트 절연막, 및 상기 게이트 절연막 상에 형성된 보호막을 포함하고, 상기 단차는 상기 보호막 내에 형성될 수 있다.
상기 단차는 상기 기판과 상기 유기막 사이에 형성될 수 있다.
상기 기판은 금속 기판일 수 있다.
본 발명의 다른 관점에 따라, 기판 상에 유기막을 형성하는 단계; 상기 유기막 상에 무기막을 형성하는 단계; 스크라이빙 라인을 따라 상기 무기막을 선택적으로 제거함으로써 홈을 형성하는 단계 - 상기 홈의 폭은 상기 스크라이빙 라인의 폭보다 큼 -; 및 상기 스크라이빙 라인을 따라 상기 기판 및 유기막을 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시 장치의 제조방법이 제공된다.
본 발명의 또 다른 관점에 따라, 기판 상에 유기막을 형성하는 단계; 스크라이빙 라인을 따라 상기 유기막을 선택적으로 제거함으로써 홈을 형성하는 단계 - 상기 홈의 폭은 상기 스크라이빙 라인의 폭보다 큼 -; 상기 홈이 형성된 유기막 상 에 무기막을 형성하는 단계; 및 상기 스크라이빙 라인을 따라 상기 기판 및 무기막을 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시 장치의 제조방법이 제공된다.
본 발명의 또 다른 관점에 따라, 기판 상에 유기막을 형성하는 단계; 스크라이빙 라인을 따라 상기 유기막을 선택적으로 제거함으로써 제1 홈을 형성하는 단계 - 상기 홈의 폭은 상기 스크라이빙 라인의 폭보다 큼 -; 상기 제1 홈이 형성된 유기막 상에 무기막을 형성하는 단계; 상기 제1 홈에 대응하는 상기 무기막의 부분을 선택적으로 제거함으로써 제2 홈을 형성하는 단계; 및 상기 스크라이빙 라인을 따라 상기 기판을 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시 장치의 제조방법이 제공된다.
위와 같은 본 발명에 대한 일반적 서술은 본 발명을 예시하거나 설명하기 위한 것일 뿐으로서, 본 발명의 권리범위를 제한하지 않는다.
본 발명에 의하면, 단위 패널들로 분할하기 위한 스크라이빙 공정 시 단위 패널의 에지부에 크랙이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 크랙 발생으로 인해 요구되었던 공정 마진보다 더 적은 공정 마진으로 전기영동 표시 장치를 제조할 수 있고, 그 결과 더욱 콤팩트한 전기영동 표시 장치가 구현될 수 있다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 전기영동 표시 장치 및 그 제조방법의 실시예들을 상세하게 설명한다.
본 발명의 기술적 사상은 컬러 구현 여부와 관계없이 모든 전기영동 표시 장치에 적용될 수 있으나, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 흑백만을 구현하는 모노 타입의 전기영동 표시 장치를 예로 들어 본 발명을 설명하기로 한다. 즉, 아래에서 개시되는 본 발명의 기술적 사상은, 컬러필터를 추가로 포함하는 전기영동 표시 장치는 물론이고, 전기영동 분산액 내의 대전 입자가 적색, 청색, 녹색 또는 백색으로 착색된 전기영동 표시 장치의 경우에도 동일하게 적용될 수 있다.
또한, 본 발명의 기술적 사상은 마이크로캡슐(microcapsule) 방식은 물론이고 마이크로컵(microcup) 방식의 전기영동 표시 장치 모두에 동일하게 적용될 수 있으나, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마이크로캡슐 방식의 전기영동 표시 장치를 예로 들어 본 발명을 설명하기로 한다.
또한, 본 발명의 기술적 사상은 기판 상에 유기막 형성이 필요한 모든 종류의 기판에 적용 가능하지만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 금속 기판을 사용하여 제조되는 전기영동 표시 장치를 예로 들어 본 발명을 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예를 설명함에 있어서 어떤 구조물이 다른 구조물의 "상에" 또는 "아래에" 형성된다고 기재된 경우, 이러한 기재는 이 구조물들이 서로 접촉되어 있는 경우는 물론이고 이들 구조물들 사이에 제3의 구조물이 개재되어 있는 경우까지 포함하는 것으로 해석되어야 한다. 다만, "바로 위에" 또는 "바로 아래에"라는 용어가 사용될 경우에는, 이 구조물들이 서로 접촉되어 있는 것으로 제한되어 해석되어야 한다.
기판을 복수개의 단위 패널들로 분할하기 위한 스크라이빙은 일정 라인을 따 라 수행되는데, 본 명세서에서 용어 "스크라이빙 라인"은 상기 라인을 지칭한다.
도 1은 본 발명의 전기영동 표시 장치를 간략하게 나타내는 블록도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 전기영동 표시 장치는, 전기영동 표시 패널(10), 데이터 구동부(20), 게이트 구동부(30), 및 타이밍 컨트롤러(40)를 포함한다.
전기영동 표시 패널(10)에는 데이터 라인들(D1 내지 Dm)과 게이트 라인들(G1 내지 Gn)이 서로 교차하고, 이러한 교차 구조로 인해 m×n개의 화소(11)들이 매트릭스 타입으로 배열된다. 데이터 라인들(D1 내지 Dm)과 게이트 라인들(G1 내지 Gn)이 교차하는 영역마다 스위칭 소자(SW)들이 형성되어 있다. 상기 스위칭 소자(SW)는 박막트랜지스터일 수 있으며, 이하에서는 박막트랜지스터를 예로 들어 설명한다. 각각의 박막트랜지스터는 게이트 전극, 소스 전극, 및 드레인 전극을 갖는다. 게이트 전극은 게이트 라인들(G1 내지 Gn) 중 하나에 접속되고, 소스 전극은 데이터 라인들(D1 내지 Dm) 중 하나에 접속되며, 드레인 전극은 해당 화소(11)의 화소 전극에 접속된다.
스캔 펄스가 게이트 라인(G1 내지 Gn)을 통해 공급되면, 해당 게이트 라인에 연결된 박막트랜지스터들이 상기 스캔 펄스에 응답하여 턴-온(turn-on)됨으로써 데이터 라인들(D1 내지 Dm)을 통해 공급되는 데이터 전압이 대응하는 화소(11)들의 화소 전극들로 인가된다.
화소 전극은 공통 전극과 함께 전기영동 커패시터(Cep)를 형성한다. 상기 화소 전극 또는 드레인 전극은 스토리지 전극과 함께 스토리지 커패시터(Cst)를 형성 한다.
화소 전극과 공통 전극 사이에는 착색된 대전 입자들을 포함하는 전기영동 분산액이 존재한다. 따라서, 이 두 전극들에 데이터 전압과 공통 전압(Vcom)이 각각 인가될 경우, 전기영동 분산액에 포함되어 있는 착색된 대전 입자들이 전기영동(electrophoresis)에 의해 반대 극성의 전극으로 각각 이동함으로써 해당 화소(11)에 화상이 표시된다.
한편, 게이트 전극에 인가되는 게이트 전압이 오프될 때 박막트랜지스터에 형성되는 기생 커패시턴스에 의해 소위 "킥백(kickback) 전압"이라는 전압 강하가 발생하게 된다. 킥백 전압은 명암비 등에 영향을 주어 화질 저하, 특히 정지 화상의 화질 저하를 야기한다. 스토리지 커패시터(Cst)는 이러한 킥백 전압에 의한 화질 저하를 최소화하기 위한 것이다.
데이터 구동부(20)는 소스 구동부라고도 지칭되며, 타이밍 컨트롤러(40)의 제어 하에, 표시하고자 하는 계조에 대응하는 데이터 전압을 데이터 라인들(D1 내지 Dm)에 공급한다.
게이트 구동부(30)는 스캔 구동부라고도 지칭되며, 타이밍 컨트롤러(40)의 제어에 따라 박막트랜지스터(SW)들의 스위칭 동작을 제어하기 위한 스캔 펄스를 게이트 라인들(G1 내지 Gn)에 공급한다.
타이밍 컨트롤러(40)는 외부의 그래픽 제어기(미도시)로부터 수직/수평 동기신호(Vsync/Hsync), 클럭신호(CLK) 등을 제공받아 데이터 구동부(20) 및 게이트 구동부(30)의 동작 타이밍을 제어하기 위한 제어신호를 발생시킨다. 또한, 타이밍 컨 트롤러(40)는 그래픽 제어기로부터 화상 데이터를 수신하고, 수신한 화상 데이터에 대응하는 데이터 전압의 구동 파형을 룩업 테이블(lookup table), 프레임 카운터 등을 이용하여 결정하며, 이렇게 결정된 데이터 전압의 구동 파형에 대응하는 디지털 데이터를 데이터 구동부(20)에 전송한다.
도 2는 본 발명의 전기영동 표시 장치의 평면도이다.
도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 전기영동 패널(10)은 TFT 기판(100)을 포함하며, 상기 TFT 기판(100) 상에 전기영동 필름(보이지 않음)이 부착되어 있다. 상기 전기영동 필름 상에는 보호 시트(310)가 부착되어 있다. 보호 시트(310)와 TFT 기판(100) 사이에 개재된 전기영동 필름의 외주면을 따라 실링 패턴(320)이 형성되어 있어 상기 전기영동 필름을 외부로부터 차단한다.
TFT 기판(100)의 게이트 라인들 및 데이터 라인들 각각은 게이트 구동 IC(611) 및 데이터 구동 IC(612)와 TAB 방식으로 본딩된다. 즉, 구동 IC들(611, 612)은 캐리어 필름(620)에 장착되고, 캐리어 필름(620)이 TFT 기판(100) 상에 이방성 도전 필름(Anisotropic Conductive Film: ACF)(미도시)을 이용하여 부착된다. 구동 IC들(611, 612)이 장착된 캐리어 필름(620)은 연성 인쇄 회로(Flexible Printed Circuit: FPC)(630)를 통해 외부의 인쇄회로기판(Printed Circuit Board: PCB)(미도시)에 연결된다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 전기영동 표시 장치의 단면도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 전기영동 표시 장치는 화상이 표시되는 액티브 영역(AA), 게이트 패드(182)가 형성된 게이트 패드 영 역(GP), 데이터 패드(183)가 형성된 데이터 패드 영역(DP), 및 에지 영역(EA)을 포함하는 전기영동 패널(10); 상기 게이트 패드(142)에 전기적으로 연결되는 게이트 구동 IC(611); 상기 데이터 패드(147)에 전기적으로 연결되는 데이터 구동 IC(612)를 포함하되, 상기 에지 영역(EA)의 측면에는 단차(step)가 형성되어 있다.
상기 액티브 영역(AA)은, 금속 기판(110'); 상기 금속 기판(110') 상에 형성된 유기막(120); 상기 유기막(120) 상에 형성된 장벽층(130); 상기 장벽층(130) 상에 형성된 박막트랜지스터(T); 상기 박막트랜지스터(T) 상에 형성된 제1 보호막(150); 상기 제1 보호막(150)상에 형성된 유전막(160); 상기 유전막(160) 상에 형성된 제2 보호막(170); 상기 제2 보호막(170) 상에 형성되며, 상기 제1 보호막(150), 유전막(160) 및 제2 보호막(170)을 관통하는 관통 홀을 통해 박막트랜지스터(T)와 전기적으로 연결되는 화소 전극(181); 상기 화소 전극(181) 상의 전기영동 필름(200); 상기 전기영동 필름(200) 상에 부착된 보호 시트(310); 및 상기 전기영동 필름(200)을 외부로부터 차단하기 위한 실링 패턴(320)을 포함한다.
상기 금속 기판(110')은 스테인리스 스틸(stainless steel)로 형성될 수 있다. 금속 기판(110')은 전도체이기 때문에 금속 기판(110') 바로 위에 박막트랜지스터를 형성할 수 없다. 따라서, 절연 및 평탄화를 위하여 금속 기판(110') 상에 유기막(120)이 형성되어 있다. 무기막 대신에 유기막(120)이 형성되는 이유는, 무기막의 경우 일정 두께 이상의 막을 형성하기가 어려울 뿐만 아니라 막의 표면 조도(surface roughness)가 취약하기 때문이다.
유기막(120)과 금속의 접착성이 취약하다는 점 및 유기막(120)으로부터 발생 되는 아웃가스가 금속을 손상시킬 수도 있다는 점 등을 고려하여, 상기 유기막(120) 상에 장벽층(130)이 형성된다. 상기 유기막(120)은 예를 들어 포토아크릴(photoacryl)로 형성될 수 있고, 상기 장벽층(130)은 질화규소(SiNx)로 형성될 수 있다.
상기 장벽층(130) 상에 상에 게이트 전극(141)이 형성되어 있다. 게이트 전극(141)은 비저항(resistivity)이 낮은 은(Ag), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 몰리브덴(Mo) 또는 이들의 합금(alloy)으로 이루어진 단일막이거나, 또는 이러한 단일막에 더하여 전기적 특성이 우수한 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 또는 탄탈륨(Ta)으로 이루어진 막을 더 포함하는 다층막일 수 있다.
상기 게이트 전극(141)을 포함하는 장벽층(130)의 전면(entire area) 상에 게이트 절연막(143)이 형성되어 있다. 게이트 절연막(143)은 무기막, 예를 들어 질화규소(SiNx) 막(이하, '질화막'이라 칭함)이다.
상기 게이트 절연막(143) 상에 반도체층(144), 소스 전극(145), 및 드레인 전극(146)이 형성되어 있다. 상기 반도체층(144)은 상기 게이트 전극(141)에 대응하는 게이트 절연막(143)의 영역 상에 형성되어 있다. 상기 소스 전극(145) 및 드레인 전극(146)은 서로 이격되게 형성되어 있으며, 상기 반도체층(144)과 부분적으로 중첩되어 있다. 상기 소스 전극(145) 및 드레인 전극(146)은 은(Ag), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 몰리브덴(Mo) 또는 이들의 합금으로 이루어진 단일막이거나, 또는 이러한 단일막에 더하여 전기적 특성이 우수한 크롬(Cr), 티타늄(Ti), 또는 탄탈륨(Ta)으로 이루어진 막을 더 포함하는 다층막일 수 있다.
도시되어 있지는 않으나, 상기 소스 전극(145)과 반도체층(144) 사이, 그리고 상기 드레인 전극(146)과 반도체층(144) 사이에 각각 오믹 콘택층(ohmic contact)이 더 형성되어 있을 수 있다.
상기 게이트 전극(141), 게이트 절연막(143), 반도체층(144), 소스 전극(145), 및 드레인 전극(146)은 박막트랜지스터(T)를 이룬다.
상기 박막트랜지스터(T)를 포함하는 게이트 절연막(143) 상에 제1 보호막(150), 유전막(160), 제2 보호막(170), 및 화소 전극(181)이 순차적으로 형성되어 있다. 상기 화소 전극(181)은 제1 보호막(150), 유전막(160), 및 제2 보호막(170)을 관통하는 관통 홀을 통해 드레인 전극(146)과 접속된다.
상기 화소 전극(181)은 구리, 알루미늄, ITO 등으로 형성될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 화소 전극(181)은 게이트 라인(미도시), 데이터 라인(미도시), 및 박막트랜지스터(T)를 모두 커버하도록 형성된다. 이와 같은 구조에 의해 화소 전극(181)의 면적이 극대화될 수 있고, 그 결과 전기영동 표시 장치의 반사율을 향상시킬 수 있다.
화소 전극(180)이 게이트 라인 및 데이터 라인과 중첩될 경우 매우 큰 기생 커패시턴스(Cgp, Cdp)가 발생한다는 문제점이 있다. 화소 전극(181)과 데이터 라인의 중첩에 의해 발생하는 기생 커패시턴스(Cdp)는 수직 크로스토크(crosstalk)를 유발하는데, 이는 화질 불량의 원인이 된다. 화소 전극(181)과 게이트 라인의 중첩에 의해 발생하는 기생 커패시턴스(Cgp)는 킥백 전압((kickback voltage: ΔVp)을 유발하는데, 이는 화소 전압 홀딩 특성을 나쁘게 하여 전기영동 표시 장치의 반사 율 및 명암비 저하를 야기한다. 이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 화소 전극(181)과 게이트 라인 사이 및 화소 전극(181)과 데이터 라인 사이에 낮은 유전 상수를 갖는 유전막(160)이 개재된다. 상기 유전막(160)은 포토아크릴(photoacryl), 폴리이미드, 또는 폴리(4-비닐페놀) 등과 같은 낮은 유전상수를 갖는 유기물로 형성될 수 있다.
상기 제1 및 제2 보호막들(150, 170)은 무기막, 예를 들어 질화막이다. 전극 물질은 유기물에 대해 취약한 점착성(adhesion)을 갖기 때문에, 상기 유전막(160)과 소스/드레인 전극들(145, 146) 사이 및 상기 유전막(160)과 화소 전극(181) 사이에 무기물로 형성된 제1 및 제2 보호막들(150, 170)이 각각 개재될 필요가 있다. 또한, 상기 제1 및 제2 보호막들(150, 170)은 유전막(160)으로부터 발생하는 아웃가스로부터 소스/드레인 전극들(145, 146) 및 화소 전극(181)을 보호하는 기능을 수행한다.
상기 화소 전극(181) 상의 전기영동 필름(200)은 베이스 필름(210), 공통 전극(220), 마이크로캡슐들(230), 및 점착층(240)이 순차적으로 적층된 구조를 갖는다. 공통 전극(220) 및 화소 전극(181)에 공통 전압 및 데이터 전압이 각각 인가되면 마이크로캡슐(230) 내의 대전 입자들이 전기영동에 의해 이동함으로써 화상이 표현된다.
전기영동 필름(200)은 상기 접착층(240)에 릴리즈 필름(미도시)이 부착된 상태로 보관 및 운반되다가 TFT 기판(100)에 라미네이팅되기 직전에 릴리즈 필름이 제거된다. 라미네이팅 공정에 의해 상기 점착층(240)이 TFT 기판(100)의 화소 전 극(181) 측에 부착된다.
베이스 필름(210)은 유리 또는 플라스틱으로 이루어지며, 공통 전극(220)은 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide)로 형성된다. 상기 베이스 필름(210) 및 공통 전극(220)은 화상 표시를 위해 투명하여야 한다.
마이크로캡슐(230)은 그 안에 전기영동 분산액을 갖는다. 전기영동 분산액은, 유전 용매 및 상기 유전 용매 내에 분산되어 있는 양 및 음으로 각각 대전된 대전 입자들을 포함한다. 유전 용매는 반사 휘도를 확보하기 위하여 투명한 것이 바람직하다. 그 예로는, 물, 알코올계 용매, 에스테르계 용매, 케톤계 용매, 지방족 탄화수소계 용매, 방향족 탄화수소계 용매, 할로겐화 용매 등이 있으며, 이들 물질은 단독 또는 혼합물로서 이용될 수 있다. 상기 유전 용매는 계면 활성제를 더 포함할 수 있다. 대전 입자들의 높은 이동도(mobility)를 담보한다는 측면에서 상기 유전 용매는 낮은 점도를 갖는 것으로 선택될 수 있다. 흑색 입자는, 예를 들면, 아닐린 블랙, 카본 블랙 등의 흑색 염료로 착색된 고분자 또는 콜로이드이며, 플러스로 대전되어 이용될 수 있다. 백색 입자는, 예를 들면, 이산화티탄, 삼산화 안티몬 등의 백색 염료로 착색된 고분자 또는 콜로이드이며, 마이너스로 대전되어 이용될 수 있다. 필요에 따라서, 이들 염료 외에도 하전 제어제, 분산제, 윤활제 등이 더 첨가될 수 있다.
본 명세서 및 도면에서는 설명의 편의를 위하여 무색의 유전 용매에 양으로 대전된 흑색 입자 및 음으로 대전된 백색 입자가 분산되어 있는 전기영동 분산액을 예로 들어 본 발명을 설명하고 있으나, 본 발명의 전기영동 분산액은 이에 제한되 지 않으며, 대전된 백색 입자가 흑색 염료를 포함하는 유전 용매에 분산되어 있는 전기영동 분산액이 이용될 수 있다. 이 경우, 화소 전극(180) 및 공통전극(220)에 데이터 전압 및 공통 전압이 각각 인가되면 백색 입자가 반대 극성의 전극으로 이동함으로써 흑과 백이 표시된다. 반대로, 대전된 흑색 입자가 백색 염료를 포함하는 유전 용매에 분산되어 있는 전기영동 분산액이 이용될 수도 있다.
상기 전기영동 필름(200) 상에는 보호 시트(310)가 부착되어 있다. 상기 보호 시트(310)와 TFT 기판(100) 사이에 개재된 전기영동 필름(200)을 외부와 차단시키기 위하여 상기 전기영동 필름(200) 외주면에는 실링 패턴(320)이 형성되어 있다.
전기영동 패널(10)의 상기 게이트 패드 영역(GP)은, 금속 기판(110'); 상기 금속 기판(110') 상에 형성된 유기막(120); 상기 유기막(120) 상에 형성된 장벽층(130); 상기 장벽층(130) 상에 형성된 게이트 패드(142); 상기 게이트 패드(142)를 포함하는 장벽층(130) 상에 형성된 게이트 절연막(143); 상기 게이트 절연막(143) 상에 형성된 제1 보호막(150); 상기 제1 보호막(150)상에 형성된 제2 보호막(170); 및 상기 제2 보호막(170) 상에 형성되며, 상기 게이트 절연막(143), 제1 보호막(150), 및 제2 보호막(170)을 관통하는 관통 홀을 통해 상기 게이트 패드(142)와 전기적으로 연결되는 게이트 패드 전극(182)을 포함한다.
전기영동 패널(10)의 상기 데이터 패드 영역(DP)은, 금속 기판(110'); 상기 금속 기판(110') 상에 형성된 유기막(120); 상기 유기막(120) 상에 형성된 장벽층(130); 상기 장벽층(130) 상에 형성된 게이트 절연막(143); 상기 게이트 절연 막(143) 상에 형성된 반도체층(144); 상기 반도체층(144) 상에 형성된 데이터 패드(147); 상기 데이터 패드(147)를 포함하는 게이트 절연막(143) 상에 형성된 제1 보호막(150); 상기 제1 보호막(150)상에 형성된 제2 보호막(170); 및 상기 제2 보호막(170) 상에 형성되며, 제1 및 제2 보호막들(150, 170)을 관통하는 관통 홀을 통해 상기 데이터 패드(147)와 전기적으로 연결되는 데이터 패드 전극(183)을 포함한다.
전기영동 패널(10)의 상기 에지 영역(EA)은, 금속 기판(110'); 상기 금속 기판(110') 상에 형성된 유기막(120); 및 상기 유기막(120) 상에 형성된 무기막(130, 143, 150, 170)을 포함한다. 에지 영역(EA) 측면의 단차는 상기 유기막(120)과 상기 무기막(130, 143, 150, 170), 더욱 정확하게는 상기 유기막(120)과 상기 장벽층(130) 사이에 형성된다.
상기 게이트 패드 전극(182) 및 데이터 패드 전극(183)은 게이트 구동 IC(611) 및 데이터 구동 IC(612)와 TAB 방식으로 각각 본딩된다. 구동 IC들(611, 612)은 캐리어 필름(620)에 장착되고, 캐리어 필름(620)이 게이트 패드 전극(182) 및 데이터 패드 전극(183)에 이방성 도전 필름(Anisotropic Conductive Film: ACF)(640)을 이용하여 부착된다.
이하에서는, 도 4a 내지 4h를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 의한 전기영동 표시 장치의 제조방법을 구체적으로 설명하도록 한다.
도 4a에 도시된 바와 같이, 금속 기판(110) 상에 유기막(120) 및 장벽층(130)을 순차적으로 형성한다.
이어서, 도 4b에 도시된 바와 같이, 장벽층(130) 상에 게이트 라인(미도시)와 각각 연결된 게이트 전극(141) 및 게이트 패드(142)를 스퍼터링 및 패터닝 공정을 통해 형성하고, 이들을 포함하는 장벽층(130)의 전면 상에 게이트 절연막(143)을 증착한다. 상기 게이트 전극(141)에 대응하는 게이트 절연막(142)의 부분 상 및 데이터 패드 영역(DP)의 게이트 절연막(142) 상에 반도체층(144)을 형성한다. 게이트 절연막(143) 상에 소스 전극(145) 및 드레인 전극(146)을 서로 이격되게, 그리고 액티브 영역(AA)의 반도체층(144)과 부분적으로 중첩되게 형성한다. 이와 동시에, 상기 데이터 패드 영역(DP)의 반도체층(144) 상에 데이터 라인(미도시)과 연결된 데이터 패드(147)를 형성한다. 상기 게이트 전극(141), 게이트 절연막(142), 액티브 영역(AA)의 반도체층(144), 소스 전극(145), 및 드레인 전극(146)은 박막트랜지스터(T)를 구성한다.
이어서, 상기 박막트랜지스터(T) 및 데이터 패드(147)를 포함하는 게이트 절연막(143)의 전면 상에 제1 보호막(150) 및 유전막(160)을 순차적으로 형성한 후, 콘택 홀에 해당하는 유전막(160) 부분 및 액티브 영역(AA) 이외의 영역에 해당하는 유전막(160) 부분을 노광 및 현상 공정을 통해 선택적으로 제거한다. 이어서, 상기 유전막(160)을 포함하는 제1 보호막(150)의 전면 상에 제2 보호막(180)을 형성한다.
이어서, 도 4c에 도시된 바와 같이, 이방성 건식 식각을 통해 무기막을 선택적으로 제거함으로써, 드레인 전극(146)의 일부를 노출시키기 위한 제1 콘택 홀(H1), 게이트 패드(142)의 일부를 노출시키기 위한 제2 콘택 홀(H2), 및 데이터 패드(143)의 일부를 노출시키기 위한 제3 콘택 홀(H3)을 형성한다. 이와 동시에, 상기 이방성 건식 식각을 통해, 에지 영역(EA)에서 스크라이빙 라인(SL)을 따라 무기막(130, 143, 150, 170)을 선택적으로 제거함으로써 홈(GR)을 형성한다. 상기 홈(GR)의 폭은 스크라이빙 라인(SL)의 폭보다 크며, 상기 홈(GR)을 통해 유기막(160)의 일부가 노출된다.
이어서, 도 4d에 도시된 바와 같이, 상기 제2 보호막(170) 상에 상기 제1 콘택 홀(H1)을 통해 드레인 전극(146)과 접속하는 화소 전극(181), 상기 제2 콘택 홀(H2)을 통해 게이트 패드(142)와 접속하는 게이트 패드 전극(182), 및 상기 제3 콘택 홀(H3)을 통해 데이터 패드(147)와 접속하는 데이터 패드 전극(183)을 각각 형성한다.
이어서, 도 4e에 도시된 바와 같이, 베이스 필름(210), 공통 전극(220), 마이크로캡슐들(230), 및 점착층(240)을 포함하는 전기영동 필름(200) 및 보호 시트(310)를 액티브 영역(AA)의 화소 전극(181)에 순차적으로 부착한다. 이어서, 전기영동 필름(200)을 외부와 차단시키기 위하여 상기 전기영동 필름(200) 외주면에 실런트를 도포함으로써 실링 패턴(320)을 형성한다.
이어서, 도 4f에 도시된 바와 같이, 상기 보호 시트(310)를 포함하는 기판(100)의 전면 상에 커버 필름(400)을 부착하는데, 이는 선택적 공정으로서 경우에 따라 생략될 수 있다. 이어서, 식각 공정을 통해 금속 기판(110)의 일부를 제거함으로써 슬림(slim)한 금속 기판(110')을 만든다.
위와 같은 공정들을 통해 기판에 복수개의 단위 패널(10)들이 형성되면, 도 4g에 도시된 바와 같이, 상기 복수개의 단위 패널들을 서로 분리하기 위한 스크라이빙 공정을 수행한다. 즉, 에지 영역(EA)에서 상기 홈(GR)을 통해 노출되어 있는 유기막(160) 부분 및 그 아래의 금속 기판(110') 부분을 블레이드(blade)(500)를 이용하여 스크라이빙 라인(SL)을 따라 절단한다. 스크라이빙 공정은 프레스(press) 방식 또는 시어링(shearing) 방식에 의해 수행될 수 있다.
공정 마진을 위해 상기 홈(GR)의 폭이 스크라이빙 라인(SL)의 폭보다 크기 때문에 절단면에는 단차가 발생한다. 즉, 단위 패널(10)의 에지 영역(EA) 측면에 단차가 형성된다. 본 발명의 제1 실시예에 의하면, 상기 단차는 상기 유기막(120)과 무기막(130, 143, 150, 170) 사이, 더욱 정확하게는 상기 유기막(120)과 장벽층(130) 사이에 발생한다.
에지 영역(EA)에 본 발명의 홈(GR)을 형성하지 않은 상태에서 스크라이빙 공정을 수행하면, 즉 블레이드(500)를 이용하여 무기막(130, 143, 150, 170), 유기막(120), 및 금속 기판(110')을 절단하면, 그 절단면을 따라 무기막(130, 143, 150, 170) 및/또는 유기막(120)에 크랙(crack)이 발생하게 된다. 이는 블레이드(500)에 의해 가압되는 서로 붙어 있는 유기막(120)과 무기막(130, 143, 150, 170)이 서로 다른 물성을 갖는다는 사실에 기인한다. 이러한 크랙 발생은 패널의 에지와 패드(pad) 사이에 충분한 거리가 확보될 것을 요구하기 때문에 그 만큼 더 큰 공정 마진, 예를 들어 500㎛ 이상의 공정 마진이 요구된다. 따라서, 패널 자체를 더 크게 하거나 또는 액티브 영역을 더 작게 하여야 하는 부담이 따르게 된다.
따라서, 본 발명의 제1 실시예에 의하면, 스크라이빙 공정 시 무기막(130, 143, 150, 170)이 유기막(120)과 함께 블레이드(500)로 절단되는 일이 없도록 하기 위하여, 스크라이빙 라인(SL)을 따라 상기 무기막(130, 143, 150, 170)을 이방성 식각 공정을 통해 제거함으로써 상기 유기막(120)을 노출시키는 홈(GR)을 형성한 후에 상기 유기막(120) 및 그 아래의 금속 기판(110')을 스크라이빙 라인(SL)을 따라 절단한다.
스크라이빙 공정이 완료된 후에, 도 4h에 도시된 바와 같이, 각 단위 패널(10)로부터 커버 필름(400)을 제거한 후, 상기 게이트 패드 전극(182) 및 데이터 패드 전극(183)과 게이트 구동 IC(611) 및 데이터 구동 IC(612)를 TAB 방식으로 각각 본딩한다. 본 발명의 제1 실시예에 의하면, 구동 IC들(611, 612)은 캐리어 필름(620)에 장착되고, 캐리어 필름(620)이 게이트 패드 전극(182) 및 데이터 패드 전극(183)에 이방성 도전 필름(Anisotropic Conductive Film: ACF)(640)을 이용하여 부착된다. 선택적으로, 구동 IC들(611, 612)은 이방성 도전 필름(ACF)(640)을 이용하여 상기 게이트 패드 전극(182) 및 데이터 패드 전극(183)에 직접 본딩될 수도 있다.
도 5는 본 발명의 제2 실시예에 의한 전기영동 패널(10)의 에지 영역(EA) 단면도이다. 본 발명의 제2 실시예에 의한 전기영동 패널(10)의 에지 영역(EA)은 금속 기판(110'); 상기 금속 기판(110') 상에 형성된 유기막(120); 및 상기 유기막(120) 상에 형성된 무기막(130, 143, 150, 170)을 포함한다. 에지 영역(EA) 측면에는 단차가 형성되어 있다. 본 발명의 제2 실시예에 의하면, 상기 단차는 상기 유기막(120) 내에 형성된다.
도 4c에서 예시된 홈(GR) 형성 공정시 오버에칭(overetching)을 통해 무기막(130, 143, 150, 170) 외에 유기막(120)의 일부도 식각한 다음 스크라이빙 공정을 수행함으로써 본 발명의 제2 실시예에 의한 전기영동 패널(10)을 제조할 수 있다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 전기영동 패널(10)의 에지 영역(EA) 단면도이다. 본 발명의 제3 실시예에 의한 전기영동 패널(10)의 에지 영역(EA)은 금속 기판(110'); 상기 금속 기판(110') 상에 형성된 유기막(120); 및 상기 유기막(120) 상에 형성된 무기막(130, 143, 150, 170)을 포함한다. 에지 영역(EA) 측면에는 단차가 형성되어 있다. 본 발명의 제3 실시예에 의하면, 상기 단차는 상기 무기막(130, 143, 150, 170) 내에, 더욱 정확히는 상기 장벽층(130) 내에 형성된다.
도 4c에서 예시된 홈(GR) 형성을 위해 무기막(130, 143, 150, 170)을 식각할 때 장벽층(130)의 일부가 남겨질 수도 있다. 홈(GR)에 대응하는 장벽층(130)의 일부가 존재하는 상태에서 스크라이빙 공정을 수행함으로써 본 발명의 제3 실시예에 의한 전기영동 패널(10)을 제조할 수 있다. 상기 장벽층(130)의 일부는 유기막(120)에 비하여 상당히 얇기 때문에 스크라이빙 공정시 크랙(crack)이 거의 발생하지 않는다.
도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 전기영동 패널(10)의 에지 영역(EA) 단면도이다. 본 발명의 제4 실시예에 의한 전기영동 패널(10)의 에지 영역(EA)은 금속 기판(110'); 상기 금속 기판(110') 상에 형성된 유기막(120); 및 상기 유기막(120) 상에 형성된 무기막(130, 143, 150, 170)을 포함한다. 에지 영역(EA) 측면 에는 단차가 형성되어 있다. 본 발명의 제4 실시예에 의하면, 상기 단차는 상기 무기막(130, 143, 150, 170) 내에, 더욱 정확히는 상기 제2 보호막(170) 내에 형성된다.
도 8a 내지 도 8d는 본 발명의 제4 실시예에 따른 전기영동 표시장치의 제조공정을 설명하기 위한 에지 영역(EA)의 단면도들이다.
도 8a에 도시된 바와 같이, 금속 기판(110) 상에 유기막(120)을 형성하고, 스크라이빙 라인(SL)을 따라 상기 유기막(120)을 선택적으로 제거함으로써 제1 홈(GR1)을 형성한다. 상기 제1 홈(GR1)의 폭은 스크라이빙 라인(SL)의 폭보다 크다.
이어서, 도 8b에 도시된 바와 같이, 상기 유기막(120)을 포함하는 금속 기판(110) 상에 장벽층(130), 게이트 절연막(143), 제1 보호막(150) 및 제2 보호막(170)을 순차적으로 형성한다. 상기 장벽층(130), 게이트 절연막(143), 제1 보호막(150) 및 제2 보호막(170)은 무기물로 각각 형성된 무기막들이다. 상기 제1 홈(GR1)으로 인해, 상기 무기막(130, 143, 150, 170)이 형성된 후에도 제2 홈(GR2)이 스크라이빙 라인(SL)을 따라 존재하게 된다.
이어서, 도 8c에 도시된 바와 같이, 금속 기판(110)을 식각함으로써 슬림화 공정을 진행한다.
이어서, 도 8d에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 라인(SL)에 존재하는 금속 기판(110')과 무기막(130, 143, 150, 170)을 블레이드(500)를 이용하여 스크라이빙 라인(SL)을 따라 절단한다.
도 9는 본 발명의 제5 실시예에 따른 전기영동 패널의 에지 영역 단면도이다.
본 발명의 제5 실시예에 의한 전기영동 패널(10)의 에지 영역(EA)은 금속 기판(110'); 상기 금속 기판(110') 상에 형성된 유기막(120); 및 상기 유기막(120) 상에 형성된 무기막(130, 143, 150, 170)을 포함한다. 에지 영역(EA) 측면에는 단차가 형성되어 있다. 본 발명의 제5 실시예에 의하면, 상기 단차는 상기 금속 기판(110')과 상기 유기막(120) 사이에 형성된다.
도 10a 내지 도 10e는 본 발명의 제5 실시예에 따른 전기영동 표시장치의 제조공정을 설명하기 위한 에지 영역(EA)의 단면도들이다.
도 10a에 도시된 바와 같이, 금속 기판(110) 상에 유기막(120)을 형성하고, 스크라이빙 라인(SL)을 따라 상기 유기막(120)을 선택적으로 제거함으로써 제1 홈(GR1)을 형성한다. 상기 제1 홈(GR1)의 폭은 스크라이빙 라인(SL)의 폭보다 크다.
이어서, 도 10b에 도시된 바와 같이, 상기 유기막(120)을 포함하는 금속 기판(110) 상에 장벽층(130), 게이트 절연막(143), 제1 보호막(150) 및 제2 보호막(170)을 순차적으로 형성한다. 상기 장벽층(130), 게이트 절연막(143), 제1 보호막(150) 및 제2 보호막(170)은 무기물로 각각 형성된 무기막들이다. 상기 제1 홈(GR1)으로 인해, 상기 무기막(130, 143, 150, 170)이 형성된 후에도 제2 홈(GR2)이 스크라이빙 라인(SL)을 따라 존재하게 된다.
이어서, 도 10c에 도시된 바와 같이, 상기 제1 홈(GR1)에 대응하는 상기 무 기막(130, 143, 150, 170) 부분을 선택적으로 식각함으로써 상기 금속 기판(110)을 노출시키는 제3 홈(GR3)을 형성한다.
이어서, 도 10d에 도시된 바와 같이, 금속 기판(110)을 식각함으로써 슬림화 공정을 진행한다.
이어서, 도 10e에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 라인(SL)에 존재하는 금속 기판(110')을 블레이드(500)를 이용하여 스크라이빙 라인(SL)을 따라 절단한다.
위에서 살펴본 본 발명의 실시예들은 본 발명을 예시하거나 설명하기 위한 것일 뿐으로서, 특허청구범위의 발명에 대한 더욱 자세한 설명을 제공하기 위한 것으로 이해되어야 한다. 본 발명의 기술적 사상 및 범위를 벗어나지 않는 범위 내에서 상기 실시예들의 다양한 변경 및 변형이 가능하다는 점은 당업자에게 자명할 것이다. 따라서, 본 발명은 특허청구범위에 기재된 발명 및 그 균등물의 범위 내의 변경 및 변형을 모두 포함한다.
첨부된 도면은 본 발명의 이해를 돕고 본 명세서의 일부를 구성하기 위한 것으로서, 본 발명의 실시예들을 예시하며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 원리들을 설명한다.
도 1은 본 발명의 전기영동 표시 장치를 간략하게 나타내는 블록도이고,
도 2는 본 발명의 전기영동 표시 장치의 평면도이고,
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 전기영동 표시 장치의 단면도이고,
도 4a 및 도 4h는 본 발명의 제1 실시예에 따른 전기영동 표시 장치의 제조 공정을 설명하기 위한 단면도들이고,
도 5 및 도 6은 본 발명의 제2 및 제3 실시예들에 따른 전기영동 패널의 에지 영역 단면도들이고,
도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 전기영동 패널의 에지 영역 단면도이고,
도 8a 내지 도 8d는 본 발명의 제4 실시예에 따른 전기영동 표시장치의 제조공정을 설명하기 위한 에지 영역의 단면도들이고,
도 9는 본 발명의 제5 실시예에 따른 전기영동 패널의 에지 영역 단면도이며,
도 10a 내지 도 10e는 본 발명의 제5 실시예에 따른 전기영동 표시 장치의 제조 공정을 설명하기 위한 에지 영역의 단면도들이다.
<도면 부호에 대한 간략한 설명>
10: 전기영동 패널 20: 데이터 구동부
30: 게이트 구동부 40: 타이밍 컨트롤러
100: TFT 기판 110, 110': 금속 기판
120: 유기막 130: 장벽층
141: 게이트 전극 142: 게이트 절연막
143: 게이트 패드 144: 반도체층
145: 소스 전극 146: 드레인 전극
150: 제1 보호막 160: 유전막
170: 제2 보호막 181: 화소 전극
182: 게이트 패드 전극 183: 데이터 패드 전극
200: 전기영동 필름 210: 베이스 필름
220: 공통전극 230: 마이크로캡슐
240: 점착층 310: 보호 시트
320: 실링 패턴 400: 커버 필름
500: 블레이드 611: 게이트 구동 IC
612: 데이터 구동 IC 620: 캐리어 필름
630: 연성 인쇄 회로(FPC) 640: 이방성 도전 필름(ACF)

Claims (12)

  1. 화상이 표시되는 액티브 영역, 게이트 패드가 형성된 게이트 패드 영역, 데이터 패드가 형성된 데이터 패드 영역, 및 에지 영역을 포함하는 전기영동 패널;
    상기 게이트 패드에 전기적으로 연결되는 게이트 구동 IC;
    상기 데이터 패드에 전기적으로 연결되는 데이터 구동 IC를 포함하되,
    상기 에지 영역의 측면에는 단차(step)가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 에지 영역은,
    기판;
    상기 기판 상에 형성된 유기막; 및
    상기 유기막 상에 형성된 무기막을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 단차는 상기 유기막과 상기 무기막 사이에 형성된 것을 특징으로 하는 전기영동 표시 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 단차는 상기 유기막 내에 형성된 것을 특징으로 하는 전기영동 표시 장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 단차는 상기 무기막 내에 형성된 것을 특징으로 하는 전기영동 표시 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 무기막은, 상기 유기막 상에 형성된 장벽층, 상기 장벽층 상에 형성된 게이트 절연막, 및 상기 게이트 절연막 상에 형성된 보호막을 포함하고,
    상기 단차는 상기 장벽층 내에 형성된 것을 특징으로 하는 전기영동 표시 장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 무기막은, 상기 유기막 상에 형성된 장벽층, 상기 장벽층 상에 형성된 게이트 절연막, 및 상기 게이트 절연막 상에 형성된 보호막을 포함하고,
    상기 단차는 상기 보호막 내에 형성된 것을 특징으로 하는 전기영동 표시 장치.
  8. 제 2 항에 있어서,
    상기 단차는 상기 기판과 상기 유기막 사이에 형성된 것을 특징으로 하는 전기영동 표시 장치.
  9. 제 2 항에 있어서,
    상기 기판은 금속 기판인 것을 특징으로 하는 전기영동 표시 장치.
  10. 기판 상에 유기막을 형성하는 단계;
    상기 유기막 상에 무기막을 형성하는 단계;
    스크라이빙 라인을 따라 상기 무기막을 선택적으로 제거함으로써 홈을 형성하는 단계 - 상기 홈의 폭은 상기 스크라이빙 라인의 폭보다 큼 -; 및
    상기 스크라이빙 라인을 따라 상기 기판 및 유기막을 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시 장치의 제조방법.
  11. 기판 상에 유기막을 형성하는 단계;
    스크라이빙 라인을 따라 상기 유기막을 선택적으로 제거함으로써 홈을 형성하는 단계 - 상기 홈의 폭은 상기 스크라이빙 라인의 폭보다 큼 -;
    상기 홈이 형성된 유기막 상에 무기막을 형성하는 단계; 및
    상기 스크라이빙 라인을 따라 상기 기판 및 무기막을 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시 장치의 제조방법.
  12. 기판 상에 유기막을 형성하는 단계;
    스크라이빙 라인을 따라 상기 유기막을 선택적으로 제거함으로써 제1 홈을 형성하는 단계 - 상기 홈의 폭은 상기 스크라이빙 라인의 폭보다 큼 -;
    상기 제1 홈이 형성된 유기막 상에 무기막을 형성하는 단계;
    상기 제1 홈에 대응하는 상기 무기막의 부분을 선택적으로 제거함으로써 제2 홈을 형성하는 단계; 및
    상기 스크라이빙 라인을 따라 상기 기판을 절단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기영동 표시 장치의 제조방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150015256A (ko) * 2013-07-31 2015-02-10 삼성디스플레이 주식회사 가요성 표시 장치
CN107290914A (zh) * 2016-04-01 2017-10-24 上海伯乐电子有限公司 电子纸显示模组及其制备方法、电子纸显示装置
US11450831B2 (en) 2019-03-12 2022-09-20 Samsung Display Co., Ltd. Display device with input sensing member and resin layer therein
US11594705B2 (en) 2019-04-23 2023-02-28 Samsung Display Co., Ltd. Display apparatus

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