KR20110066069A - Hepa filter unit for clean room - Google Patents

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KR20110066069A
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김용진
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(주)에이치엔씨
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Abstract

PURPOSE: A fan filter unit for a clean room is provided to install a plurality of fixed levers to enable pivotal rotation and separation to thereby freely detach a filter unit from the ceiling in a clean room with a low ceiling. CONSTITUTION: A fan filter unit for a clean room comprises an air chamber, a filter housing, a ventilation fan assembly(140), and a filter assembly. The air chamber is communicated with an air conditioning pipe. One side opening path(110a) of the upper part of the air chamber is projected to the lateral direction. The lower part of the filter housing is opened. The ventilation fan assembly is mounted in the filter housing by means of a mounting bracket. The filter assembly is installed in the lower part of the filter housing corresponding to the lower part of the ventilation fan assembly. A direct current discharge type air blade(150) is supported by a hinge means in a discharge opening such that the air blade is hinge-rotated downward.

Description

크린룸용 팬필터유닛{Hepa filter unit for clean room}Fan filter unit for clean room {Hepa filter unit for clean room}

본 발명은 크린룸용 팬필터유닛에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 종래 BFU 방식의 상부의 여유공간이 없더라도 단시간에 필터유닛의 유지 보수를 위시한 교환작업을 용이하게 수행할 수 있음과 동시에, 고정레버수단을 다수개 장치하여, 피벗회전 및 탈거 가능하게 함으로써, 천정이 낮은 청정실에서는 천정 하부에서의 필터유닛의 하방 탈거를 자유롭게 수행할 수 있도록 한 구조를 갖춘 크린룸용 팬필터 유닛에 관련한 것이다.
The present invention relates to a fan filter unit for a clean room, and more particularly, even if there is no free space in the upper part of the conventional BFU method, the replacement work including the maintenance of the filter unit in a short time can be easily performed, and a fixed lever. The present invention relates to a fan filter unit for a clean room having a structure in which a plurality of means are provided so that pivoting and removal are possible, so that the lower ceiling can freely remove the filter unit from the lower part of the ceiling.

일반적으로, 크린룸은 먼지가 전혀 없으며 외부와 차단 또는 격리된 공간으로서, 초고밀도집적회로나 유전자 조작 등과 같이 세포 속의 미소한 유전자를 다루는 곳에서와 같이 환경 조건이 품질에 큰 영향을 끼치는 분야에 광범위하게 적용된다.In general, clean rooms are completely dust-free, isolated or isolated from the outside, and are widely used in areas where environmental conditions have a significant impact on quality, such as where ultra-dense integrated circuits or genetic manipulations handle small genes in cells. Is applied.

이러한 크린룸은 환경 조건의 하나로 먼지의 유무가 문제되는데, 눈에 보이지 않을 정도의 미세한 것도 존재해서는 안 된다. 따라서 크린룸은 외부로부터 먼지가 들어오지 않도록 방을 격리, 방안으로 들어오는 사람의 먼지를 문 밖에서 제거, 방안에 있는 사람에게 먼지가 나지 않는 특수복 착용 또는 필수적으로 방안의 먼지를 없애는 장치를 설비해야 한다.This clean room is one of environmental conditions, the presence of dust is a problem, there should not be anything too small to be visible. Therefore, the clean room should be equipped with a device that isolates the room from the outside to remove dust from outside the door, wears special clothing that does not dust the room, or essentially removes dust from the room.

전술된 크린룸의 청정도는 공조 시스템에 의해 크게 좌우된다. 현재, 크린룸의 공조 시스템은 팬 필터 유닛 방식(FanFilter Unit, 이하 "FFU"라 한다)과 블로어 팬 필터(Blower Filter Unit) 방식으로 크게 구별된다.The cleanliness of the cleanroom described above is highly dependent on the air conditioning system. Currently, the air conditioning system of the clean room is largely divided into a fan filter unit method (hereinafter referred to as "FFU") and a blower filter unit method.

FFU 방식은 개별 방식의 수직 층류형으로 공기 조화기가 필요치 않고 자가 순환이 가능하여 저소음, 저진동, 저에너지 등의 초크린룸을 구현할 수 있는 특징이 있다. 또한, 팬필터유닛 방식은 공기 조화기로 냉, 난방 부하 및 청정도에 필요한 풍량을 헤파 필터 박스(Hepa Filter Box)를 통하여 공급하고 청정도에 필요한 풍량만을 자체적으로 순환시키는 방식이다.The FFU method is a vertical laminar flow type of individual method, which does not need an air conditioner and can self-circulate, and has the characteristics of realizing a super clean room such as low noise, low vibration, and low energy. In addition, the fan filter unit type is a method of supplying the air volume required for cooling, heating load and cleanliness through an air conditioner through a Hepa Filter Box and circulating only the air volume necessary for cleanliness.

여기서, 팬필터유닛 방식은 다음과 같은 장점을 갖는다.Here, the fan filter unit method has the following advantages.

1. 시스템의 구조가 간단하고, 운전비 및 설비비가 저렴하다.1. The structure of the system is simple, and the running cost and equipment cost are low.

2. 일반 크린룸에 가장 많이 사용되는 시스템이다.2. It is the most used system in general clean room.

3. 실내의 구조 및 장비 배치에 따라 천정에 리턴 박스(Return Box)를 설치하거나 실내에 리턴 풍도를 설치하여 공기를 순환시킨다.3. Circulate air by installing a return box on the ceiling or by installing return airways in the room, depending on the structure and equipment layout of the room.

4. 공기 조화기 용량 범위 내에서 크린룸의 확장이 비교적 편리하다.4. It is relatively convenient to expand the cleanroom within the air conditioner capacity range.

5. 크린 벤치(Clean Bench) 및 크린 부스(Clean Booth) 등을 이용하여 국부적인 고청정도를 형성할 수 있다.5. Local cleanliness can be formed by using a clean bench and a clean booth.

종래 기술에 의한 팬필터유닛은 다음과 같다.The fan filter unit according to the prior art is as follows.

종래 기술에 의한 팬필터유닛는, 일반적으로, 크린룸용 팬필터 유닛는, 송풍실(11)과 필터실(12)을 가지며, 크린룸의 외부에 설치되는 케이스(10)와; 상기 케이스의 송풍실에 장착되며 상기 크린룸을 순환하는 오염 공기를 상기 케이스의 필터실에 송풍하는 블로어(20)와; 상기 케이스의 송풍실에 장착되며 상기 블로어에 의해 송풍되어 상기 크린룸에 공급되는 공기를 여과하는 필터(30)와; 상기 케이스의 필터실의 내부에 횡방향으로 배열되면서 일측이 상기 케이스의 통공에 연결되며 타측은 상기 필터실의 내벽과의 사이에 선회홀(18)이 형성되도록 이격되어 상기 통공을 통해 토출된 공기가 상기 선회홀을 따라 상기 필터측으로 선회하도록 안내하는 판상의 가이드(16)와; 상기 가이드의 저부에 장착되며 전원을 인가받아 UV 파장을 발산하는 UV 어셈블리(40)를 포함하는 구성된다.The fan filter unit according to the related art is generally, a fan filter unit for a clean room, the blower chamber 11 and the filter chamber 12, the case 10 is provided outside the clean room; A blower (20) mounted to the blowing chamber of the case and blowing contaminated air circulating through the clean room to the filter chamber of the case; A filter (30) mounted to the blower of the case and filtering air supplied by the blower to the clean room; The air discharged through the through-air spaced one side is connected to the through-hole of the case while the other side is spaced apart so that the turning hole 18 is formed between the inner wall of the filter chamber and the other side is arranged in the filter chamber of the case. A plate-shaped guide (16) for guiding the pivot to the filter side along the pivot hole; It is mounted to the bottom of the guide is configured to include a UV assembly 40 for emitting power under UV light.

이와 같은 구조의 팬필터유닛은 크린룸의 외부에 설치되어 유공관 등을 통해 유체 연통 가능하게 연결되어 상기 크린룸 내에 여과된 공기를 지속적으로 공급한다.The fan filter unit having such a structure is installed outside the clean room to be in fluid communication through a hole and the like, and continuously supplies the filtered air in the clean room.

한편, 종래 팬필터유닛에 적용된 필터(30)는 철판재 등으로 케이싱되어 이루어진 송풍실(11)과 필터실(12)로 구획 분리된 2중의 대형 공간 중에서 필터실(12)에 부착되는 바, 이러한 필터(30)는 미세한 유해세균과 오염된 먼지까지도 걸러주는 공지된 특수 대전섬유인 석면 섬유로 제작된 여과지인 헤파필터(HEPA: High Efficiency Particulate Air)를 장착하여 사용하고 있는데, 상기 헤파필터는 인체에 가장 해로운 미립자인 대략 0.3마이크론 크기의 오염먼지를 99.97%까지 깨끗하게 제거하는 정화력을 가짐으로써 오염된 공기를 상당히 깨끗한 상태까지 정화시키는 역할을 하는 것이다.On the other hand, the filter 30 applied to the conventional fan filter unit is attached to the filter chamber 12 in a double large space divided into a blowing chamber 11 and a filter chamber 12 made of a casing made of iron plate material, The filter 30 is equipped with a HEPA filter (High Efficiency Particulate Air), which is a filter paper made of asbestos fiber, which is a special antistatic fiber, which filters even harmful microorganisms and contaminated dust. It has the ability to purify polluted air to a fairly clean state by having a purifying power that cleans up to 99.97% of dust, which is about 0.3 micron, which is the most harmful particles.

그러나, 이와 같이 2중으로 분리된 대형의 필요 설치 공간이 사공간화됨에 따라, 불필요하게 천정실의 대부분의 공간을 점유하게 되는 등의 설치 상의 저효율적인 문제점이 파생되게 되었다.However, as the large required installation space divided into two spaces is quadrupled, a problem of low efficiency in installation such as unnecessarily occupying most of the space of the ceiling room is derived.

더욱이, BFU 방식은 전술된 장점을 갖는 반면, 청정도를 유지하기 위한 풍량을 제공하기 위하여 송풍기를 사용함으로써 청정실 내부에 와류나 기류의 혼란이 야기되어 고 청정도를 유지하여야 하는 고 청정실에는 적용이 곤란한 문제점이 있다.Moreover, while the BFU method has the above-mentioned advantages, it is difficult to apply to a high clean room in which a blower is used to provide a flow rate for maintaining cleanliness, which causes confusion of vortices or air flows within the clean room, and thus maintains high cleanliness. There is this.

그러나, 상기한 구조에서는, 필터의 유지보수를 위해 탈거를 해야할 경우, 특히 정사각형 형상으로 이루어진 유닛의 상부에서만 탈거가 가능하였다. 이것은 거치프레임 등의 위쪽 영역에 작업공간에 해당하는 여분의 공간이 제공될 경우에만 가능하기 때문에, 필터유닛의 유지보수 작업이 그만큼 어려워지게 되는 단점을 내포하고 있었다.
However, in the above-described structure, in the case where the removal is necessary for the maintenance of the filter, it is possible to remove only the upper part of the unit, which is particularly square. This is possible only when an extra space corresponding to the work space is provided in the upper region of the mounting frame, etc., so that the maintenance work of the filter unit becomes difficult.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명은 상부의 여유공간이 없더라도 단시간에 필터유닛의 유지 보수를 위시한 교환작업을 용이하게 수행할 수 있음과 동시에, 고정레버수단을 다수개 장치하여, 피벗회전 및 탈거 가능하게 함으로써, 천정이 낮은 청정실에서는 천정 하부에서의 필터유닛의 하방 탈거를 자유롭게 수행할 수 있도록 한 구조를 제공하는 것을 주된 기술적 해결과제로 한다.
The present invention has been made to solve the above problems, the present invention can easily perform the replacement operation including the maintenance of the filter unit in a short time even if there is no free space at the top, and at the same time a plurality of fixed lever means It is a main technical problem to provide a structure which makes it possible to pivot and remove and to remove, and to freely remove the filter unit below the ceiling in a clean room with low ceiling.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 하향 직류성 송풍 기능을 갖는 크린룸용 팬필터 유닛에 있어서, 공조관과 연통 가능하게 상부의 일측 개방통로가 측방향으로 돌출 형성된 에어 챔버와, 하부가 개방된 중공 구조를 갖는 필터 하우징과, 상기 필터 하우징에 마운팅 브라켓을 매개로 장착 고정된 송풍 팬 어셈블리와, 상기 송풍 팬 어셈블리의 하부에 대응되는 상기 필터 하우징의 하부에 기밀하게 설치된 필터 어셈블리를 포함하고, 상기 토출 개구부에는 에어 직류 토출형 에어 블레이드가 힌지수단을 매개로, 하방향으로 힌지 회동 가능하게 지지되도록 구성되어, 상기 에어 블레이드의 개폐를 용이하게 수행함에 따른 유지 보수성의 향상을 도모할 수 있도록 한 것을 특징으로 한다.
In order to achieve the above object, the present invention is a fan filter unit for a clean room having a downward direct current blowing function, the air chamber in which one side of the open passage protrudes laterally so as to communicate with the air conditioning tube, A filter housing having an open hollow structure, a blower fan assembly fixed to the filter housing via a mounting bracket, and a filter assembly hermetically installed at a lower portion of the filter housing corresponding to a lower portion of the blower fan assembly; In the discharge opening, the air DC discharge type air blade is configured to be hinged downward in a downward direction through a hinge means, so that the maintenance performance can be improved by easily opening and closing the air blade. It is characterized by one.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 상부의 여유공간이 없더라도 단시간에 필터유닛의 유지 보수를 위시한 교환작업을 용이하게 수행할 수 있음과 동시에, 고정레버수단을 다수개 장치하여, 피벗회전 및 탈거 가능하게 함으로써, 천정이 낮은 청정실에서는 천정 하부에서의 필터유닛의 하방 탈거를 자유롭게 수행할 수 있다는 장점을 갖는다.
As described above, according to the present invention, even if there is no free space at the top, it is possible to easily perform replacement work including maintenance of the filter unit in a short time, and at the same time, by installing a plurality of fixing lever means, pivoting and removing By making it possible, in the clean room with low ceiling, there is an advantage that the removal of the filter unit below the ceiling can be freely performed.

도 1은 종래예에 따른 블로우팬 필터유닛의 내부 구조도,
도 2는 본 발명에 따른 크린룸용 팬필터유닛을 상부 방향에서 바라보아 도시한 사시 구조도,
도 3은 도 2의 반대방향에서 팬필터유닛을 예시한 사시 구조도,
도 4는 도 3의 팬필터유닛의 각 구성요소를 분해하여 도시한 분해조립 사시 구조도,
도 5는 도 4의 팬필터유닛에서 에어 챔버(110)를 개별로 확대 도시한 확대 사시도,
도 6은 도 2의 팬필터유닛의 정면 구조도,
도 7은 도 2의 팬필터유닛의 평면 구조도,
도 8은 도 7의 선 A-A에 따른 팬필터유닛의 종단면 구조도, 및
도 9는 본원 발명의 실시예에 따른 에어 블레이드 회동 작동을 설명하기 위한 측면 구조도.1 is an internal structure diagram of a blow fan filter unit according to a conventional example,
Figure 2 is a perspective structural view showing a clean room fan filter unit according to the present invention from the top direction,
3 is a perspective structural diagram illustrating a fan filter unit in an opposite direction of FIG. 2;
FIG. 4 is an exploded perspective perspective structural view showing the components of the fan filter unit of FIG.
5 is an enlarged perspective view illustrating an enlarged individually the air chamber 110 in the fan filter unit of FIG.
6 is a front structural diagram of the fan filter unit of FIG.
7 is a plan view of the fan filter unit of FIG.
8 is a vertical cross-sectional view of the fan filter unit according to the line AA of FIG.
Figure 9 is a side structural view for explaining the air blade rotation operation according to an embodiment of the present invention.

이하, 본 발명에 구성을 첨부된 도면을 참조로 설명하면, 도 1은 종래예에 따른 블로우팬 필터유닛의 내부 구조도이며, 도 2는 본 발명에 따른 크린룸용 팬필터유닛을 상부 방향에서 바라보아 도시한 사시 구조도이고, 도 3은 도 2의 반대방향에서 팬필터유닛을 예시한 사시 구조도이며, 도 4는 도 3의 팬필터유닛의 각 구성요소를 분해하여 도시한 분해조립 사시 구조도이고, 도 5는 도 4의 팬필터유닛에서 에어 챔버를 개별로 확대 도시한 확대 사시도이며, 도 6은 도 2의 팬필터유닛의 정면 구조도이고, 도 7은 도 2의 팬필터유닛의 평면 구조도이며, 도 8은 도 7의 선 A-A에 따른 팬필터유닛의 종단면 구조도이다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings the configuration of the present invention, Figure 1 is an internal structural view of a blow fan filter unit according to the prior art, Figure 2 is a clean room fan filter unit according to the present invention from the top direction FIG. 3 is a perspective structural diagram illustrating a fan filter unit in an opposite direction of FIG. 2, and FIG. 4 is an exploded assembled perspective structural diagram illustrating the disassembled components of the fan filter unit of FIG. 3. 5 is an enlarged perspective view illustrating an enlarged air chamber individually in the fan filter unit of FIG. 4, FIG. 6 is a front structural view of the fan filter unit of FIG. 2, and FIG. 7 is a plan view of the fan filter unit of FIG. 8 is a longitudinal sectional structural view of the fan filter unit according to the line AA in FIG. 7.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 의한 크린룸용 팬필터유닛은, 송풍 팬 어셈블리에 의해 강제 흡입된 공기를 제1 및 제2 확장 개방형 공기유동구와, 제1 곡면부을 경유하여 균일하게 배분, 예컨대 송풍 압력의 편차를 감소시켜 크린룸 전체의 기류 변화를 최소화하여 종래의 송풍기에 의한 난류 또는 기류 혼란을 원천적으로 방지하도록 기능하는 크린룸용 팬필터유닛의 일환으로서 도출되었다.1 and 2, the fan filter unit for a clean room according to the present invention uniformly distributes the air forcedly sucked by the blower fan assembly through the first and second expansion-open air flow ports and the first curved portion. For example, it has been derived as a part of a fan filter unit for a clean room which functions to reduce the variation of the blowing pressure to minimize the air flow change of the entire clean room, thereby preventing turbulence or air flow disturbance caused by the conventional blower.

상기한 본 발명의 일 실시예에 따른 크린룸용 팬필터유닛은, 공조관(14)과; 이 공조관(14)과 연통 가능하게 상부의 일측 개방통로(110a)가 측방향으로 돌출 형성된 에어 챔버(110)와, 하부가 개방된 중공 구조를 갖는 필터 하우징(130)과, 상기 에어 챔버(110)에 마운팅 브라켓(141)을 매개로 장착 고정된 송풍 팬 어셈블리(140)와; 상기 송풍 팬 어셈블리(140)의 하부에 대응되는 상기 필터 하우징(130)의 하부에 기밀하게 설치된 필터(30)를 포함하는 구성으로 되어 있다.Clean room fan filter unit according to an embodiment of the present invention, the air conditioning tube (14); An air chamber 110 in which an upper side opening passage 110a of the upper side protrudes in a lateral direction so as to communicate with the air conditioning tube 14, a filter housing 130 having a hollow structure with an open lower portion, and the air chamber ( A blowing fan assembly 140 fixed to the mounting bracket 141 by a medium; It is configured to include a filter 30 that is airtightly installed in the lower portion of the filter housing 130 corresponding to the lower portion of the blowing fan assembly 140.

또, 상기 필터 하우징(130)의 하측 단부에는 토출 개구부(131)가 형성되고, 이 토출 개구부(131)에는 에어 직류 토출형 에어 블레이드(150)가 힌지수단(160)을 매개로, 하방향으로 힌지 회동 가능하게 지지되어 있다.In addition, a discharge opening 131 is formed at a lower end of the filter housing 130, and the air direct current discharge type air blade 150 is connected downward through the hinge means 160 in the discharge opening 131. The hinge is rotatably supported.

또한, 상기 힌지수단(160)은 양단에 회전 가능하게 지지된 제1 및 제2 지지핀(P1, P2)을 매개로 상기 필터하우징(120)과 상기 에어 직류 토출형 에어 블레이드(150)에 소정 거리 이격되어 힌지결합된 회동레버(161)를 포함하는 구성으로 되어 있다.In addition, the hinge means 160 is predetermined to the filter housing 120 and the air direct-current discharge type air blade 150 via the first and second support pins P1 and P2 rotatably supported at both ends. It is configured to include a rotation lever 161 which is hinged to be spaced apart.

또, 상기 회동레버(161)와 상기 필터하우징(120)의 외측면에는 상기 회동레버(161)의 복원 접힘동작 시, 복원력을 조성하도록 복원 스프링(163)이 결합되어 있다.In addition, a restoring spring 163 is coupled to an outer surface of the pivoting lever 161 and the filter housing 120 to create a restoring force during a restoring folding operation of the pivoting lever 161.

또한, 상기 에어 챔버(110)에 형성된 일측 개방통로(110a)는 상기 에어 챔버(110)의 상부벽에 관통형성된 상기 송풍 팬 어셈블리(140)의 직경에 상당하는 크기의 벨 마우스(111)와 연통 가능하게 구성되어 있다.In addition, the one open passage (110a) formed in the air chamber 110 is in communication with the bell mouth 111 of the size corresponding to the diameter of the blowing fan assembly 140 formed through the upper wall of the air chamber (110). It is possible.

즉, 챔버의 상부에는 덕트를 구성하여 팬필터유닛 제작시 송풍 팬의 공기 유입구와 토출구가 분리된 구조를 가지며, FAN의 흡입측과 맞 닫는 부분에 벨 마우스가 형성된 구조로 되어 있다.That is, the upper part of the chamber constitutes a duct and has a structure in which the air inlet and the outlet of the blower fan are separated when the fan filter unit is manufactured.

또, 상기 에어 챔버(110)의 내벽의 상부 모서리부 전체에는 상기 일측 개방통로(110a)와 유입구(111)를 통해 유입되는 에어의 유동성을 증대시켜 소음을 저감시키기 위한 제1 곡면부(113)가 전체적으로 형성되어 있다.In addition, the first curved portion 113 for reducing noise by increasing the fluidity of the air flowing through the one open passage (110a) and the inlet 111 in the entire upper edge portion of the inner wall of the air chamber 110. Is formed as a whole.

또한, 상기 일측 개방통로(111)는 상기 에어 챔버(110)의 내벽에 일정곡률을 갖는 제1 곡면부(1130)에 제1 확장 개방형 공기유동구(171)가 연장 형성되도록 하기 위해, 상기 제1 확장 개방형 공기유동구(171)를 감싸도록 단면이 반구형상으로 형성된 유동커버(170)에 의해 형성되는 구조로 되어 있다.In addition, the one side open passage 111 is such that the first extended open air flow port 171 extends to the first curved portion 1130 having a predetermined curvature on the inner wall of the air chamber 110. It has a structure formed by the flow cover 170 is formed in a hemispherical cross-section so as to surround the expansion open-type air flow port 171.

또, 상기 유동커버(170)의 단부측은, 상기 에어 챔버(110)의 상부벽의 유입구를 둘러싸며, 상기 제1 확장 개방형 공기유동구(171)를 통해 유입되는 공기가 상기 에어 챔버(110)의 유입구로 유입되는 에어의 유동성을 증대시키도록 설정 곡률반경을 갖는 제2 확장 개방형 공기유동구(173)가 내벽에 형성되는 구조로 되어 있다.In addition, an end side of the flow cover 170 surrounds the inlet of the upper wall of the air chamber 110, and the air introduced through the first expansion open air flow port 171 is introduced into the air chamber 110. The second expanded open air flow port 173 having a set radius of curvature is formed on the inner wall to increase the fluidity of the air flowing into the inlet.

이로써, 상기 에어 챔버(110)의 내부는 공기의 흐름을 원활하게 유도하여 정압손실 및 소음을 방지할 수 있는 곡면형상으로 구성되게 되는 것이다.Thus, the inside of the air chamber 110 is to be configured in a curved shape that can smoothly guide the flow of air to prevent static pressure loss and noise.

상기 에어 챔버(110)는, 공기층으로 인한 열을 차단하는 단열의 효과가 있고, 불연성 및 경량성을 제공하여 안전을 재고함과 아울러 설치 및 보수가 용이하고 내구성 즉, 내화학성 및 내유성, 내후성에 강하고 보온성능을 가지며, 소음을 감쇄시켜주는 EPP재질을 사용함으로써 제작공정 및 시간을 단축하고 강도대비 무게가 가벼워 시공성을 향상시키는 구조로 되어 있다.The air chamber 110 has the effect of heat insulation to block heat due to the air layer, and provides a non-combustible and lightweight, reconsidering safety, easy installation and repair, durability, that is, chemical resistance and oil resistance, weather resistance By using EPP material, which has strong and warm insulation performance and reduces noise, it has a structure to shorten the manufacturing process and time and improve the workability due to light weight for strength.

또한, 상기 에어 챔버(110)의 외부에는 필터하우징(130)과 조립 시 볼트의 결속력에 의해 변형이 발생하여 공기의 누수가 발생할 수 있는 외측면 및 각 모서리 부위에 다수의 변형 방지 리브(119)가 돌출 형성되어 있다.In addition, a plurality of deformation preventing ribs 119 are formed on the outer surface and each corner portion of the air chamber 110 in which the deformation occurs due to the binding force of the bolts when assembled with the filter housing 130. Is formed to protrude.

또한, 상기 필터 하우징(130)의 내벽에는 상기 필터(30)를 하방에서 탈착 가능하게 탄력성 고정레버수단(180)이 상하 회전 가능하게 고정 설치되는 구성으로 되어 있다.In addition, the inner side of the filter housing 130 has a configuration in which the elastic fixing lever means 180 is fixed to the upper and lower rotations so that the filter 30 is detachable from below.

또, 상기 일측 개방통로(110a)의 유입측에는 에어의 유입 및 차단 기능을 수행하도록 댐퍼(190)가 설치되어 있다.In addition, a damper 190 is installed at an inflow side of the one side open passage 110a to perform an inflow and blocking function of air.

또한, 상기 댐퍼(190)는 전자개폐식 또는 베벨 기어와 상하로 연장하여 돌출하는 회전 구동축으로 개폐되는 기계식으로 구성됨이 바람직하다.In addition, the damper 190 is preferably composed of a mechanical type that is opened and closed by a rotary drive shaft protruding extending up and down with the electronic opening or closing bevel gear.

상기 에어 팸버(190)는, 일측부에 공조관(14)과 연통되도록 공조관(14) 연결구가 형성되어 있으며, 하부는 개방된 중공 구조를 갖는다.The air fumber 190 has an air conditioner tube 14 connector formed at one side thereof so as to communicate with the air conditioner tube 14, and has an open hollow structure at the bottom thereof.

여기에서, 상기 공조관(14)은 덕트나 배관을 의미하며, 공기 조절용 댐퍼가 제공될 수 있다. 이때, 공기 조절기는 공조관(14)의 외부에 취부된 조절 핸들과 조절 핸들의 조작에 의해 공기의 양을 조절할 수 있도록 연결되어 있다.Here, the air conditioning tube 14 means a duct or a pipe, and an air control damper may be provided. At this time, the air regulator is connected to adjust the amount of air by the operation of the control handle and the control handle attached to the outside of the air conditioning tube (14).

본 발명은, 기본적으로 에어 챔버(110), 필터하우징(130) 그리고 에어 블레이드(150)로 구성되며 세가지 구성품은 언제든지 조립, 분해가 가능한 구조를 갖는다. 에어 챔버(110)에는 토출 풍량을 조절하는 로터리식 댐퍼(190)가 장착되며, 필터 하우징(130)에는 필터를 고정하기 위한 캠락 장치로서의 고정레버수단(180)가 6개소 구성됨이 바람직하다.The present invention basically consists of the air chamber 110, the filter housing 130 and the air blade 150, three components have a structure that can be assembled, disassembled at any time. The air chamber 110 is equipped with a rotary damper 190 for adjusting the discharge air volume, it is preferable that the filter housing 130 is composed of six fixing lever means 180 as a cam lock device for fixing the filter.

상기 에어 블레이드(150)는 쉽게 열고 닫을 수 있도록 로터리 타입의 레버가 장착되며 2단 힌지 구조를 갖는 방식의 탄력성 고정레버수단(180)이 상하 회전 가능하게 고정 설치되는 구성으로 되어 있다. 이 고정레버수단(180)의 채용에 따라, 필요 시, 필터 하우징(130)과 에어 챔버(110) 사이에 모터 브라켓(141)을 장착하고 FAN을 설치하여 BFU로 변경할 수 있는 구조를 갖는다.The air blade 150 is a rotary type lever is mounted so that it can be easily opened and closed, and the elastic fixing lever means 180 having a two-stage hinge structure is configured to be fixed to be rotated up and down. According to the adoption of the fixed lever means 180, if necessary, the motor bracket 141 is mounted between the filter housing 130 and the air chamber 110, and has a structure that can be changed to BFU by installing a FAN.

상기 에어 챔버(110)의 외부에는 필터 하우징(130)과 조립 시 볼트의 결속력에 의해 변형이 발생하여 공기의 누수가 발생할 수 있는 각 모서리 부위에 변형 방지 돌출 리브(119)가 다수개 기립 형성되어 있어, 강성 증대 및 변형 억제를 동시에 도모할 수 있게 되는 것이다.Outside the air chamber 110, a plurality of anti-deformation protrusion ribs 119 are formed in each corner portion where deformation occurs due to the binding force of the bolts when assembled with the filter housing 130, which may cause air leakage. Thus, it is possible to simultaneously increase rigidity and suppress deformation.

또, 상기 에어 챔버(110)의 내부에는 공기의 흐름을 원활하게 유도하여 정압손실 및 소음을 방지할 수 있도록 곡면형상으로 되어 있고, 또, 상기 에어 챔버(110)의 상부에는 덕트를 구성하여 BFU 제작시 FAN의 공기 유입구(111)와 토출구로서의 가 분리된 구조를 갖으며 FAN의 흡입측과 맞 닫는 부분에 벨 마우스형 유입구(111)가 형성되어 공기 유동을 최대한 조력할 수 있도록 구성되게 되는 것이다.In addition, the inside of the air chamber 110 has a curved shape to smoothly guide the flow of air to prevent static pressure loss and noise, and, in the upper portion of the air chamber 110 to form a duct BFU When manufacturing, the air inlet 111 and the outlet of the FAN have a separate structure, and the bell mouth type inlet 111 is formed at the part close to the suction side of the FAN to be configured to assist the air flow as much as possible. .

또, 상기 에어 챔버(110)는, 공기층으로 인해 하부의 히터의 열을 차단하는 단열의 효과가 있고, 불연성 및 경량성을 제공하여 설치자의 안전을 재고함과 아울러 설치 및 보수가 용이하고 내 화학성 및 내유성, 내후성에 강하고 보온성능을 가지며, 소음을 감쇄시켜주는 EPP재질을 사용함으로써 제작공정 및 시간을 단축하고 강도대비 무게가 가벼워 시공성을 향상시킬 수 있도록 구성되어 있다.In addition, the air chamber 110 has the effect of thermal insulation to block the heat of the lower heater due to the air layer, providing non-combustibility and light weight, reconsidering the safety of the installer, easy to install and repair, and chemical resistance And by using EPP material which is strong in oil resistance and weather resistance and keeps heat insulation and reduces noise, it is configured to shorten the manufacturing process and time and improve construction performance by light weight for strength.

또한, 상기 필터(30)의 조립시 리크를 방지하기 위해 필터(30) 상부의 접촉면에 대응하는 상기 에어 챔버(110)의 하단부에 하나 이상의 밀착형 돌부(118)가 연속 형성되어 있다.In addition, at least one contact type protrusion 118 is continuously formed at the lower end of the air chamber 110 corresponding to the contact surface of the upper portion of the filter 30 to prevent leakage during assembly of the filter 30.

또한, 상기 에어 챔버(110)의 상부벽에는 유동개구가 형성되어 있어, 상기 유동형 커버 단부측의 절곡부의 중심 부분에 형성된 유동구를 통해, 상기 에어 챔버(110) 내부로 유입되는 에어의 양이 고르게 분배되도록 구성되게 된다.In addition, a flow opening is formed in an upper wall of the air chamber 110, and the amount of air flowing into the air chamber 110 is evenly distributed through a flow hole formed in the center portion of the bent portion of the flow-type cover end side. Configured to be dispensed.

또한, 상기 필터(30)는, 상기 송풍 팬 어셈블리(140)의 하부에 대응된 상기 필터 하우징(130)에 내장되어 있다.In addition, the filter 30 is embedded in the filter housing 130 corresponding to the lower portion of the blower fan assembly 140.

여기서, 상기 필터(30)는, 필터를 고정하기 위한 고정레버수단(180)을 통해 하방향에서 탈부착이 가능하게 구성되는 특장점이 있다.Here, the filter 30, there is a feature that is configured to be detachable in the downward direction through the fixing lever means 180 for fixing the filter.

그리고, 상기 에어 챔버(110)의 하측의 외측방향으로 넓어지는 확개부(117)를 가지고 있어, 상기 유입구(111)를 통해 유입된 에어를 하측 방향으로 정확하고도 고르게 분배 유도하도록 기능하게 된다.In addition, the expansion part 117 is widened in the outward direction of the lower side of the air chamber 110, and functions to accurately and evenly distribute the air introduced through the inlet 111 in the downward direction.

이와 같은 구성을 갖는 본 발명에 의한 팬필터유닛은, 송풍 팬 어셈블리(140)의 상측부를 통해 강제 흡입된 공기가 상기 유입구(111)를 통해 하방 수직하게 토출된 후 상기 필터에 수직으로 공급되도록 함에 있어, 상기 제1 곡면부(113)를 통해 유연하게 유동하도록 구성됨으로써, 송풍 공기가 FFU 방식과 유사하게 수직 층류를 형성한 상태에서 크린룸의 하부로 균일하게 분배되도록 구성되어 있다.Fan filter unit according to the present invention having such a configuration is to be supplied vertically to the filter after the air forcibly sucked through the upper portion of the blowing fan assembly 140 is discharged vertically downward through the inlet (111). Therefore, it is configured to flow flexibly through the first curved portion 113, it is configured to be uniformly distributed to the lower portion of the clean room in the state in which the blown air forms a vertical laminar flow similar to the FFU method.

또한, 상기한 필터 하우징(120)은, 시공 시 판넬 상부 정사각 타공부위로 삽입되는 부위에 큰 R을 형성하고 R이 형성된 부위에 와이어를 연결할 수 있도록 인서트가 삽입된 보스를 구비하도록 구성해도 좋다.In addition, the filter housing 120 may be configured to include a boss with an insert inserted to form a large R in a portion inserted into the panel upper square perforation during construction and to connect a wire to a portion where R is formed.

또한, 상기 필터 하우징(120)의 상측 외곽부에는, 상기 에어 챔버(110)와의 결속 부위에 단턱(121)을 형성하여 조립공차를 최소화하여 공기누수를 방지하는 구조를 갖는 것을 특징으로 한다.In addition, the upper outer portion of the filter housing 120, by forming a step 121 in the binding portion with the air chamber 110 is characterized by having a structure to prevent air leakage by minimizing the assembly tolerance.

또, 상기 필터 하우징(130) 내측에 필터(30)를 고정하는 원터치 방식의 캠락장치로서의 캠락 장치로서의 고정레버수단(180)이 구비되고, 이 캠락 장치로서의 고정레버수단(180)은 CAM과 CAM BRACKET으로 구성되며 2축으로 회전하는 구조로 제1축(CAM BRACKET)의 회전에 의해 필터의 중심을 맞추고 제2축(CAM)의 회전에 의해 필터를 압착 고정한다. 제 1축에 모서리형성에 의한 고정구조를 만들어 필터 삽입시 필터와 CAM LOCK의 간섭을 방지할 수 있도록 구성된다.In addition, a fixing lever means 180 as a cam lock device is provided as a one-touch cam lock device for fixing the filter 30 inside the filter housing 130, and the fixing lever means 180 as the cam lock device includes a CAM and a CAM. It consists of a BRACKET and rotates in two axes to center the filter by the rotation of the first axis (CAM BRACKET) and to fix the filter by the rotation of the second axis (CAM). It is configured to prevent interference between filter and CAM LOCK when inserting filter by making a fixed structure by corner formation on the first axis.

또한, 상기 에어 블레이드(150)는, 상기 필터(30)를 통과한 공기가 크린룸 내부로 유입시 공기의 확산범위를 확대하여 동일 체적을 보다 적은 수의 HFU(BFU)로 청정공간으로 유지시킴에 있어서 공기 유출각도가 서로다른 3개의 Blade와 확산범위를 조정하기 위해 중심부에 저항 플레이트를 결합할 수 있는 구조를 가지는 것을 특징으로 한다. 또한, 가장 안쪽 Blade의 끝 형상이 지면을 향하여 중심타공부와 블레이드 사이의 Dead Space를 없애는 구조로 되어 있다.In addition, the air blade 150 is to maintain the same volume in a clean space with a smaller number of HFU (BFU) by expanding the diffusion range of air when the air passing through the filter 30 enters the clean room. In the air outflow angle is characterized by having a structure that can be combined with the three blades and the resistance plate in the center to adjust the diffusion range. In addition, the end shape of the innermost blade is designed to eliminate the dead space between the center punching portion and the blade toward the ground.

또, 상기 필터 하우징(130)과의 결합에 있어서 에어 블레이드(150)가 필터 하우징(120)을 완전하게 감쌀 수 있도록 2단 힌지 구조를 갖는 것을 특징으로 하며, 각 모서리 4점이 토글 클램프로 고정되어 언제든지 쉽게 열고 닫을 수 있는 구조로 되어 있다.In addition, in combination with the filter housing 130, the air blade 150 has a two-stage hinge structure to completely wrap the filter housing 120, characterized in that four corners are fixed with a toggle clamp It is easy to open and close at any time.

이상의 구성을 갖는 본 발명은 종래 기술에 의한 BFU 방식의 송풍기(BLOWER)에 의해 야기되던 난류, 기류의 혼란 및 심각한 소음 등을 원천적으로 방지할 수 있어 청정실 내부에 기류의 변화없이 FFU 방식의 청정도 및 수직 층류를 제공할 수있는 효과가 있다.The present invention having the above configuration can prevent the turbulence caused by the conventional BFU blower (BLOWER), turbulence of the air flow and serious noise, etc. at the source, the cleanliness of the FFU method without changing the air flow inside the clean room And the effect of providing vertical laminar flow.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The foregoing description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.

Claims (4)

공조관과 연통 가능하게 상부의 일측 개방통로가 측방향으로 돌출 형성된 에어 챔버와,
하부가 개방된 중공 구조를 갖는 필터 하우징과,
상기 필터 하우징에 마운팅 브라켓을 매개로 장착 고정된 송풍 팬 어셈블리와,
상기 송풍 팬 어셈블리의 하부에 대응되는 상기 필터 하우징의 하부에 기밀하게 설치된 필터 어셈블리를 포함하고,
상기 토출 개구부에는 에어 직류 토출형 에어 블레이드가 힌지수단을 매개로, 하방향으로 힌지 회동 가능하게 지지된 것을 특징으로 하는 크린룸용 팬필터유닛.
An air chamber in which an open passage on one side of the upper portion protrudes in a lateral direction so as to communicate with the air conditioning pipe;
A filter housing having a hollow structure with an open bottom,
A blowing fan assembly fixed to the filter housing via a mounting bracket;
A filter assembly hermetically installed in a lower portion of the filter housing corresponding to a lower portion of the blower fan assembly;
And an air direct current discharge type air blade is hinged downwardly supported by the hinge means in the discharge opening.
제 1 항에 있어서,
상기 힌지수단은 양단에 회전 가능하게 지지된 제1 및 제2 지지핀을 매개로 상기 필터하우징과 상기 에어 직류 토출형 에어 블레이드에 소정 거리 이격되어 힌지결합된 회동레버를 포함하는 것을 특징으로 하는 크린룸용 팬필터유닛.
The method of claim 1,
The hinge means includes a rotation lever hinged to the filter housing and the air direct-current discharge type air blade by a predetermined distance from each other via first and second support pins rotatably supported at both ends. Fan filter unit.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 필터 하우징의 내벽에는 상기 필터를 하방에서 탈착 가능하게 탄력성 고정레버수단이 상하 회전 가능하게 고정 설치된 것을 특징으로 하는 크린룸용 팬필터유닛.
The method according to claim 1 or 2,
And a resilient fixing lever means fixed to the inner wall of the filter housing so as to be detachable from below.
제 2 항에 있어서,
상기 회동레버와 상기 필터하우징의 외측면에는 상기 회동레버의 복원 접힘동작 시, 복원력을 조성하도록 복원 스프링이 결합된 것을 특징으로 하는 크린룸용 팬필터유닛.The method of claim 2,
And a restoring spring is coupled to an outer surface of the pivoting lever and the filter housing to form a restoring force during the restoring folding operation of the pivoting lever.
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101280448B1 (en) * 2013-03-08 2013-07-01 신우공조 주식회사 Fan coil unit
KR101680696B1 (en) 2014-12-31 2016-12-12 주식회사 삼지에이 HEPA Filter Replacement Alarm System in Industrial Clean Room
KR101725489B1 (en) 2015-10-21 2017-04-26 정연삼 Ventilator The filter unit easily dismantled ventilation
KR102058731B1 (en) * 2018-08-08 2019-12-23 (주)이엘케이엔지니어링 An air filter for clean room with easy filter replacement
KR102244639B1 (en) 2018-10-22 2021-04-26 (주)크래프터 Structure of clean room
KR102316708B1 (en) * 2020-06-26 2021-10-22 이철희 Air conditioning unit
KR102503230B1 (en) * 2020-11-23 2023-02-23 삼성바이오로직스 주식회사 Filter unit
TWI771851B (en) * 2020-12-29 2022-07-21 惠亞工程股份有限公司 Filtering device

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200211341Y1 (en) * 1998-10-07 2001-02-01 이완근 Clean room blower
JP2001104730A (en) * 1999-10-12 2001-04-17 Matsushita Seiko Co Ltd Filter apparatus
JP2001263714A (en) * 2000-03-17 2001-09-26 Fujitsu General Ltd Ceiling-embedded type air conditioner
KR200301988Y1 (en) * 2002-09-26 2003-01-29 동방산업 주식회사 HEPA Filter Assembly of Air Defecator for Clean Room
KR100485000B1 (en) * 2005-01-08 2005-04-25 수공아이엔씨(주) Air duct connection type wind-control device mounted on the roof of clean room
JP2007160249A (en) * 2005-12-15 2007-06-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Fan filter unit

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