KR20110034330A - 비분산 적외선(ｎｄｉｒ) 이산화탄소(ｃｏ2) 가스 센서 - Google Patents

비분산 적외선(ｎｄｉｒ) 이산화탄소(ｃｏ2) 가스 센서 Download PDF

Info

Publication number
KR20110034330A
KR20110034330A KR1020090091825A KR20090091825A KR20110034330A KR 20110034330 A KR20110034330 A KR 20110034330A KR 1020090091825 A KR1020090091825 A KR 1020090091825A KR 20090091825 A KR20090091825 A KR 20090091825A KR 20110034330 A KR20110034330 A KR 20110034330A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
temperature
concentration
gas sensor
light
optical cavity
Prior art date
Application number
KR1020090091825A
Other languages
English (en)
Inventor
변형기
김시동
방현호
최우석
Original Assignee
주식회사 오토산업
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 오토산업 filed Critical 주식회사 오토산업
Priority to KR1020090091825A priority Critical patent/KR20110034330A/ko
Publication of KR20110034330A publication Critical patent/KR20110034330A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/59—Transmissivity
    • G01N21/61—Non-dispersive gas analysers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55—Specular reflectivity
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
    • G01N2021/3513—Open path with an instrumental source
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
    • G01N2021/945—Liquid or solid deposits of macroscopic size on surfaces, e.g. drops, films, or clustered contaminants

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

본 발명은 비분산 적외선 흡수 타입(NDIR: Non-dispersive infrared absorption type) 가스 센서에 관한 것이다.
본 발명은 비분산 적외선(NDIR) 가스센서를 이용하여 차량 내부 이산화탄소(CO2)의 농도를 측정하기 위해서, 적외선 광원부와 광원부에서 출사된 빛이 다중 반사되는 수광부를 포함한다. 그리고 적외선 광원으로부터 입사된 빛을 연속적으로 반사시키는 기하학적으로 배치된 반사면을 구비하여 다중 반사에 의한 연장된 광경로를 형성하고, 외부의 가스가 출입하는 공기 구멍을 포함하는 광공동과 광공동 내부의 온도를 측정하는 온도센서를 포함한다. 또한, 수광부에서 출력되는 전류 값과 온도센서의 출력 값으로부터 가스 농도를 계산하여 그에 대응하는 신호를 외부로 출력하는 제어부로
농도 = (제 1 온도에 대한 다항식)ln(X) + (제 2 온도에 대한 다항식)으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
비분산 적외선(NDIR) 방식, 이산화탄소(CO2), 가스센서, 알고리즘

Description

비분산 적외선(ＮＤＩＲ) 이산화탄소(ＣＯ2) 가스 센서 {Non-dispersive infrared absorption CO2 gas sensor}
본 발명은 비분산 적외선 흡수 타입(NDIR: Non-dispersive infrared absorption type) 가스 센서에 관한 것이다.
NDIR(Non-dispersive infrared absorption) 가스 센서는 적외선 영역에서 기체 분자가 갖는 흡수 스펙트럼의 성질을 이용하여 특정 기체의 농도를 검출하는 가스 센서이다. 이 타입의 가스 센서는 전기화학 방식 또는 반도체 방식에 비해 선택성이 우수하고 신뢰도가 높으며, 내구성과 안정성이 뛰어나다. 이와 같은 장점으로 인해 고가임에도 불구하고 유해가스의 검출이나 정밀 측정에는 NDIR 방식이 널리 사용되고 있다.
NDIR(Non-dispersive infrared absorption) 방식은 가스들이 적외선에 대해 특정한 흡수스펙트럼을 갖는 것을 이용한다. 광공동에 입사된 적외선이 가스상 물질에 의해서 흡수된 후 투과된 적외선 량은 베르-람베르트 법칙(Beer-Lambert law)에 의해 지배를 받는다.
I(L) = Io * exp(-ACL),
여기에서 I : 투과광량, Io : 입사광량, A : 고유상수(측정가스의 흡수율), C : 성분농도, L : 광경로 길이(투과길이)이다.
실제 있어서, 고유상수 A는 온도에 좌우된다. 이에 따라 동일한 농도에서도 온도에 따라 센서 출력 값이 달라진다.
본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하고자 하는 것으로 온도에 따른 측정값의 변동을 보상하여 측정값의 신뢰도를 제고하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 추가적인 하드웨어(H/W)를 최소화 하고, 소프트웨어(S/W)의 알고리즘에 의해 보정을 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하고자하는 것으로 비분산 적외선(NDIR) 방식의 가스 센서 개발 및 양산 공정에 적용이 용이한 온도 보정 및 보정(calibration) 알고리즘을 제한하는 것을 목적으로 한다.
전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 양상에 따른 비분산 적외선(NDIR) 이산화탄소(CO2) 가스 센서는 적외선 광원부와, 광원부에서 출사된 빛이 다중 반사되는 수광부와, 적외선 광원으로부터 입사된 빛을 연속적으로 반사시키는 기하학적으로 배치된 반사면을 구비하여 다중 반사에 의한 연장된 광경로를 형성하고, 외부의 가스가 출입하는 공기 구멍을 포함하는 광공동과, 광공동 내부의 온도를 측정하는 온도센서와, 수광부에서 출력되는 전류 값과 온도센서의 출력 값으로부터 가스 농도를 계산하여 그에 대응하는 신호를 외부로 출력하는 제어부로
농도 = (제 1 온도에 대한 다항식)ln(X) + (제 2 온도에 대한 다항식)으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명의 비분산 적외선(NDIR) 이산화탄소 가스센서를 이용한 농도 계산 알고리즘은 실 데이터를 기준으로 만들어진 결과로 온도범위 0℃부터 70℃구간에서 이용 가능한 보정 알고리즘을 제공할 수 있다.
또한, 본 발명은 비분산 적외선(NDIR) 이산화탄소 가스센서를 다른 온도 구간에서 사용을 원할 경우에는 온도구간별 측정 실험 데이터를 기준으로 보정 알고리즘의 각 계수들을 다시 조정하여 사용할 수 있다.
또한, 본 발명의 구현된 보정 알고리즘은 사용 및 모듈 구현이 매우 쉽고, 계산 속도가 빠르므로 인해 측정 데이터의 정확도에 따라 원하는 결과값을 얻을 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 기술되는 바람직한 실시예를 통하여 본 발명을 당업자가 용이하게 이해하고 재현할 수 있도록 상세히 기술하기로 한다.
본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명 실시예들의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되어 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다.
본 발명 명세서 전반에 걸쳐 사용되는 용어들은 본 발명 실시예에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서, 사용자 또는 운용자의 의도, 관례 등에 따라 충분히 변경될 수 있는 사항이므로, 이 용어들의 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1은 종래에 알려진 비분산 적외선 가스 센서의 평면상 구성을 개략적으로 도시한 것이다.
도시된 바와 같이, 일 실시예에 따른 비분산 적외선 가스 센서는 적외선광원부(10)와 상기 적외선 광원부(10)로부터 입사된 빛을 연속적으로 반사시키는 기하학적으로 배치된 반사면을 구비하여 다중 반사에 의한 연장된 광경로를 형성하고, 외부의 가스가 출입하는 공기 구멍을 포함하는 광공동(30)과, 상기 광공동(30)의 광경로의 종단에 위치하여 광경로 상의 특정 가스에 의해 일부 흡수된 후 도달하는 특정 파장대의 적외선 광량을 측정하는 광센서부(20)를 포함한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 비분산 적외선 가스 센서의 평면상 구성을 개락적으로 도시한 것이다.
비분산 적외선(NDIR) 가스센서를 이용하여 차량 내부 이산화탄소(CO2)의 농도를 측정하기 위해서 적외선 광원부와 광원부에서 출사된 빛이 다중 반사되는 수광부를 구비한다.
그리고 적외선 광원으로부터 입사된 빛을 연속적으로 반사시키는 기하학적으로 배치된 반사면을 구비하여 다중 반사에 의한 연장된 광경로를 형성하고, 외부의 가스가 출입하는 공기 구멍을 포함하는 광공동과 광공동 내부의 온도를 측정하는 온도센서를 구비한다.
또한, 수광부에서 출력되는 전류 값과 온도센서의 출력 값으로부터 가스 농도를 계산하여 그에 대응하는 신호를 외부로 출력하는 제어부로
농도 = (제 1 온도에 대한 다항식)ln(X) + (제 2 온도에 대한 다항식)으로 이루어진다.
베르-람베르트 법칙(Beer-Lambert law)을 이용하여,
I(L) = Ioe(-ACL)------------------(1)
lnI = lnIo + (-ACL)---------------(2)
-ACL = lnI - lnIo-----------------(3)
C = alnI +b-----------------------(4)
a = aT+b, b = cT+d로 표현된다.
제 1 온도에 대한 다항식은 aT+b, 제 2 온도에 대한 다항식은 cT+d로
따라서, 농도 = - (aT+b)lnI + (cT+d)
(a,b,c,d : 온도에 대한 상수 , I : 센싱(sensing) 전류 , T : 측정온도)로 이루어진다.
도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른, CO2 농도에 대한 PCO2의 출력 전압을 플롯한 것이다.
CO2 농도에 따른 PC02(Vout) 결과값을 살펴보면, 0℃ ~ 70℃의 8구간에서 온도가 높아질수록 PCO2(Vout)의 측정값은 감소하는 경향성을 보인다.
즉, 0℃ ~ 70℃의 8구간에서 온도가 높아질수록 PCO2(Vout)의 출력전압 값이 감소하는 것을 알 수 있다.
일반식 PCO2 = Aexp(-B*CO2농도)을 확인하였지만 센서모듈에서 측정할 수 있는 Y축의 PCO2(Vout) 값이 PCO2로 개발 중인 센서 모듈의 일반식으로 활용이 불가능하다.
이러한 이유로 센서 모듈에서 측정되는 PCO2 값을 입력으로 CO2 농도 값을 출력으로 하는 일반식이 필요하다.
도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른, PCO2의 출력 전압에 대한 CO2 농도를 플롯한 것이다.
주입된 CO2의 농도를 구하기 위해 도 3의 그래프에서 x축과 y축을 바꿔서 PCO2에 따른 CO2농도의 변화를 그래프로 나타내었다.
PC02(Vout)에 따른 CO2 농도의 결과값을 살펴보면, 0℃ ~ 70℃의 8구간에서 온도가 높아질수록 CO2의 측정값은 감소하는 것을 알 수 있다.
도 5는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른, 온도 변화에 따라 발생하는 fitting 그래프의 계수를 표로 나타낸 것이다.
도 4의 그래프로부터 도 5와 같은 fitting 알고리즘을
CO2농도(ppm) = - Aln(측정PCO2)+ B 로 구현하였다.
온도 변화에 따라 발생하는 fitting 그래프의 계수 A와 B는 도 5와 같고, R2는 A와 B의 편차로서 fitting된 데이터들의 신뢰도를 표시한다.
여기서도 마찬가지로 온도의 영향으로 PCO2에 따른 CO2 농도 값이 변한다는 사실을 알 수 있으며, 온도 보상 함수를 위의 식의 fitting 알고리즘에 적용하여 사용하여야 된다.
위의 식을 통하여 얻어진 계수 A와 B가 온도에 대한 변화율이 됨으로 이를 1차 선형 방정식의 형태로 만들면 온도에 관련된 함수를 다음 식과 같은 새로운 fitting 알고리즘으로 구현할 수 있다.
CO2 농도(ppm) = - (aT+b)lnI + (cT+d)
즉, 위의 식에서 A의 계수를 이용하여 aT+b의 1차식 구현이 가능하며, B의 계수를 이용하여 cT+d식의 구현이 가능하다.
도 6a는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른, 계수 A에 관한 선형 방정식을 그래프로 나타낸 것이다.
A 계수에 대한 1차 방정식의 경향성을 가지며 A의 계수를 이용하여 식 aT+b는 a=-16.81, b=11882로 나타냄으로써, A 계수를 이용한 온도에 관한 1차식의 구현이 가능하다.
도 6b는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른, 계수 B에 관한 선형 방정식 을 그래프로 나타낸 것이다.
B 계수에 대한 1차 방정식의 경향성을 가지며 B의 계수를 이용하여 식 cT+d는 c=-120.5, d=97075로 나타냄으로써, A 계수를 이용한 온도에 관한 1차식의 구현이 가능하다.
따라서, 온도의 영향을 보정한 NDIR CO2 센서 농도의 계산 알고리즘은
CO2농도(ppm)=-(-16.81T+11882)ln(측정PCO2)+(-120.5T+97075)
위의 식을 이용하여 계산되는 CO2 농도[ppm] 값은 온도 범위 0℃부터 70℃ 구간에서 이용 가능한 보정 알고리즘이 된다.
이제까지 본 발명의 바람직한 실시 예들을 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 구현될 수 있음으로 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구 범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
도 1은 종래에 알려진 비분산 적외선 가스 센서의 평면상 구성을 개략적으로 도시한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 비분산 적외선 가스 센서의 평면상 구성을 개략적으로 도시한다.
도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른, CO2 농도에 대한 PCO2의 출력 전압을 플롯한 것이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른, PCO2의 출력 전안에 대한 CO2 농도를 플롯한 것이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른, 온도 변화에 따라 발생하는 fitting 그래프의 계수를 표로 나타낸 것이다.
도 6a는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른, 계수 A에 관한 선형 방정식을 그래프로 나타넨 것이다.
도 6b는 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른, 계수 B에 관한 선형 방정식을 그래프로 나타낸 것이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10: 적외선 광원부 20: 광 센서부
30: 광 공동 100: 광원부
200: 수광부 300: 온도센서
400: 구동회로 500: 제어부

Claims (2)

  1. 비분산 적외선(NDIR) 가스센서를 이용하여 차량 내부 이산화탄소(CO2)의 농도를 측정하기 위해서,
    적외선 광원부와;
    광원부에서 출사된 빛이 다중 반사되는 수광부와;
    적외선 광원으로부터 입사된 빛을 연속적으로 반사시키는 기하학적으로 배치된 반사면을 구비하여 다중 반사에 의한 연장된 광경로를 형성하고, 외부의 가스가 출입하는 공기 구멍을 포함하는 광공동과;
    광공동 내부의 온도를 측정하는 온도센서와;
    상기 수광부에서 출력되는 전류 값과 온도센서의 출력 값으로부터 가스 농도를 계산하여 그에 대응하는 신호를 외부로 출력하는 제어부로
    농도 = (제 1 온도에 대한 다항식)ln(X) + (제 2 온도에 대한 다항식)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 비분산 적외선(NDIR) 이산화탄소(CO2) 가스 센서.
  2. 제 1 항에 있어서,
    제 1 온도에 대한 다항식은 aT+b, 제 2 온도에 대한 다항식은 cT+d로
    농도 = - (aT+b)lnI + (cT+d)
    (a,b,c,d : 온도에 대한 상수 , I : 센싱(sensing) 전류 , T : 측정온도)로 이루어진 것을 특징으로 하는 비분산 적외선(NDIR) 이산화탄소(CO2) 가스 센서.
KR1020090091825A 2009-09-28 2009-09-28 비분산 적외선(ｎｄｉｒ) 이산화탄소(ｃｏ2) 가스 센서 KR20110034330A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090091825A KR20110034330A (ko) 2009-09-28 2009-09-28 비분산 적외선(ｎｄｉｒ) 이산화탄소(ｃｏ2) 가스 센서

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090091825A KR20110034330A (ko) 2009-09-28 2009-09-28 비분산 적외선(ｎｄｉｒ) 이산화탄소(ｃｏ2) 가스 센서

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20110034330A true KR20110034330A (ko) 2011-04-05

Family

ID=44042938

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090091825A KR20110034330A (ko) 2009-09-28 2009-09-28 비분산 적외선(ｎｄｉｒ) 이산화탄소(ｃｏ2) 가스 센서

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20110034330A (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104596971A (zh) * 2014-12-27 2015-05-06 辽东学院 一种用于探测气体的传感器系统
CN110146460A (zh) * 2019-03-19 2019-08-20 南京信息工程大学 一种带恒温控制功能的高灵敏多气体浓度检测系统及控制方法
WO2021207245A1 (en) * 2020-04-06 2021-10-14 Joyson Safety Systems Acquisition Llc Systems and methods of ambient gas sensing in a vehicle

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104596971A (zh) * 2014-12-27 2015-05-06 辽东学院 一种用于探测气体的传感器系统
CN110146460A (zh) * 2019-03-19 2019-08-20 南京信息工程大学 一种带恒温控制功能的高灵敏多气体浓度检测系统及控制方法
CN110146460B (zh) * 2019-03-19 2024-03-08 南京信息工程大学 一种带恒温控制功能的高灵敏多气体浓度检测系统及控制方法
WO2021207245A1 (en) * 2020-04-06 2021-10-14 Joyson Safety Systems Acquisition Llc Systems and methods of ambient gas sensing in a vehicle
US11692933B2 (en) 2020-04-06 2023-07-04 Joyson Safety Systems Acquisition Llc Systems and methods of ambient gas sensing in a vehicle

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA3025935C (en) Photothermal interferometry apparatus and method
EP2635893B1 (en) Temperature calibration method and optical absorption gas sensor thereby calibrated
US9194797B2 (en) Method and system for detecting moisture in a process gas involving cross interference
JP2007502407A (ja) 測定誤差を補償する方法およびこのための電子配置
US8178832B1 (en) Re-calibration methodology for NDIR gas sensors
US10324029B2 (en) Concentration measurement device
KR20210127719A (ko) 분자 종의 광학 감지를 위한 분광 장치, 시스템, 및 방법
JP2017511485A (ja) ガスセンサの温度補償
KR20110034330A (ko) 비분산 적외선(ｎｄｉｒ) 이산화탄소(ｃｏ2) 가스 센서
Schilt Impact of water vapor on 1.51 μm ammonia absorption features used in trace gas sensing applications
Nwaboh et al. Measurement of CO amount fractions using a pulsed quantum-cascade laser operated in the intrapulse mode
US20210018433A1 (en) Spectrometer with wide-scan tunable diode laser
JP6049930B1 (ja) ガス分析方法およびガス測定装置
Hamilton et al. Multi-mode absorption spectroscopy, MUMAS, using wavelength modulation and cavity enhancement techniques
CN107991267B (zh) 波长捷变的可调谐半导体激光吸收光谱气体检测装置及方法
Hawe et al. CO2 monitoring and detection using an integrating sphere as a multipass absorption cell
US9605999B2 (en) Light sources with highly stable output intensity
US6218666B1 (en) Method of determining the concentration of a gas in a gas mixture and analyzer for implementing such a method
CN108398393B (zh) 一种快速测量温室气体含量的光腔衰荡光谱仪及测量方法
CN202092947U (zh) 烟气气体含量激光在线检测系统的光轴调节机构
Frish et al. Precision and accuracy of miniature tunable diode laser absorption spectrometers
CN108426850B (zh) 一种绝对测量大气中co2含量的稳频光腔衰荡光谱仪
CN207636485U (zh) 波长捷变的可调谐半导体激光吸收光谱气体检测装置
US20120272718A1 (en) Photoacoustic Sensor with Baseline and Span Correction
CN202133612U (zh) 烟气气体含量激光在线检测系统

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application