KR20110032780A - Supporting instrument for gate valve - Google Patents

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KR20110032780A
KR20110032780A KR1020090090448A KR20090090448A KR20110032780A KR 20110032780 A KR20110032780 A KR 20110032780A KR 1020090090448 A KR1020090090448 A KR 1020090090448A KR 20090090448 A KR20090090448 A KR 20090090448A KR 20110032780 A KR20110032780 A KR 20110032780A
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Abstract

PURPOSE: A supporting instrument for a gate valve is provided to increase productivity by reducing a work time for a maintenance work to rapidly reactivate a system. CONSTITUTION: In a supporting instrument for a gate valve, a frame(10) comprises a guide unit(11). A support bracket(20) is moved along the longitudinal direction of the guide unit. A mounting bracket(30) allows a gate value to be detachable. A leveler(40) controls the height of the support bracket and is interposed between the guide unit and the support bracket.

Description

진공펌프용 스태커의 게이트밸브 지지구{SUPPORTING INSTRUMENT FOR GATE VALVE}Gate valve supporter for stacker for vacuum pump {SUPPORTING INSTRUMENT FOR GATE VALVE}

본 발명은 반도체를 생산에 필요한 진공펌프 사용 시 최적의 상태의 사용을 위해 스태커(stacker)를 사용하는 경우 각종 부대설비들이 포함되어 있으며, 특히 게이트밸브의 유지보수의 편의성을 보장하고, 이를 통하여 유지보수를 위한 작업 시간 및 인력 손실을 최소화함으로써 경제적인 측면과 사후작업 측면에서 시너지(synergy) 효과를 얻을 수 있는 진공펌프용 스태커의 게이트밸브 지지구에 관한 것이다.The present invention includes a variety of additional equipment when using a stacker (stacker) for the optimal use of the vacuum pump required for the production of semiconductor, in particular to ensure the convenience of maintenance of the gate valve, thereby maintaining The present invention relates to a gate valve support of a stacker for a vacuum pump, which can achieve synergy in economic and post-working operations by minimizing work time and manpower loss for maintenance.

일반적으로 반도체를 생산하는데 고청정 및 고효율을 위해 반도체 장비의 챔버를 진공상태로 만들어 생산을 하게 되는데,In general, to produce semiconductors, the chamber of semiconductor equipment is vacuumed for high cleanliness and high efficiency.

이 때문에 진공펌프가 구비되며, 진공펌프를 최적의 상태로 사용하고 유지하기 위한 스태커(stacker)에는 진공펌프 외에 H/N2, 디루션(dillution), 게이트밸브(A.G.V.), 싸이런써(silencer), 컨트롤러, 진공 배관 등 각종 부대설비들이 포함되어 적재 또는 적층된다.For this reason, a vacuum pump is provided. In addition to the vacuum pump, a stacker for optimal use and maintenance of the vacuum pump is provided with H / N2, dilution, gate valve (AGV) and silencer. Various accessories such as controller, vacuum pipe, etc. are included or stacked.

그러나 이러한 부대설비들은 일단 설치하게 되면 부대설비들을 교체하거나, 또는 위치 이동이나, 또는 유지보수를 위한 작업 어려워 엔지니어들이 많은 시간을 들여도 기대하는 효과를 거두기 힘들고,However, once these accessories are installed, it is difficult to replace them, move their positions, or maintain them, which makes it difficult for the engineers to expect a lot of time.

따라서 유지보수를 위해 소용되는 작업 시간 및 비용이 상승하는 문제가 발생하게 된다.As a result, a problem arises in that the working time and costs used for maintenance are increased.

특히 상기한 바와 같은 부대설비 중에 게이트밸브의 경우에는 흡입기체의 유동과, 또 진공배관과 연결구조 등에 의하여 유지보수가 빈번하게 이루지게 됨으로 그 탈착이 용이하게 이루어져야 하며,In particular, in the case of the gate valve in the auxiliary equipment as described above, the maintenance of the inlet gas flow and the vacuum pipe and the connection structure is frequently performed, so the desorption must be made easily.

또 게이트밸브의 교체나 유지보수를 위해 분리하거나, 또는 교체 후나 유지보수 후 게이트밸브를 재설치하는 경우If the gate valve is removed for replacement or maintenance, or the gate valve is reinstalled after replacement or maintenance.

게이트밸브 상부 및 하부에 연결되는 진공배관의 상대 위치에 따라Depending on the relative position of the vacuum pipe connected to the upper and lower gate valve

게이트밸브의 위치를 상부 및 하부에 위치하는 진공배관의 위치에 따라 좌우 또는 상하방향, 또는 이들 모든 방향으로 적정하게 조절할 수 있어야The position of the gate valve should be able to be adjusted appropriately in the left and right or up and down directions, or in all of these directions depending on the position of the vacuum pipe located at the top and bottom.

게이트밸브 분리 또는 재설치 시 작업이 신속하고 정확하게 이루어져 작업 편의성을 보장할 수 있게 된다.When the gate valve is removed or re-installed, the work is done quickly and accurately to ensure the convenience of operation.

그러나 종래의 스태커에 설치되는 부대설비들 중에서 게이트밸브를 지지하여 고정하는 지지구는However, among the auxiliary equipment installed in the conventional stacker, the support for supporting and fixing the gate valve is

진공배관와의 상대적인 배열 위치에 따라 게이트밸브의 위치를 좌우 이동 및 상하 높낮이 조절이 되지 않아 게이트밸브의 유지보수 작업이 어렵고 불편한 점,It is difficult and inconvenient to maintain the gate valve because the position of the gate valve is not moved left and right and the height and height are not adjusted according to the relative arrangement position with the vacuum pipe.

아울러 엔지니어들의 많은 시간과 노력에도 불구하고 작업능률이 떨어지고, 유지보수를 위한 비용 또한 상승하는 문제가 있다.In addition, despite the time and effort of engineers, the work efficiency is reduced, and the cost for maintenance also increases.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로,The present invention has been made to solve the above problems,

반도체를 생산에 필요한 진공펌프 사용 시 최적의 상태의 사용을 위해 스태커(stacker)를 사용하는 경우 각종 부대설비들이 포함되어 있으며,When using a stacker for optimum use of the vacuum pump required for semiconductor production, various auxiliary facilities are included.

특히 게이트밸브의 유지보수를 위해 게이트밸브가 장착되는 장착브라켓은 게이트밸브를 탈부착 가능하도록 형성되고, 또 지지브라켓은 프레임의 가이드부를 따라 미끄럼 이동 가능하여 게이트밸브의 위치조절이 가능하며, 아울러 프레임의 가이드부와 지지브라켓 사이에 구비된 레벨러는 지지브라켓의 높이 조절을 가능하게 하여 게이트밸브의 높낮이를 일정한 범위 내에서 조절 가능하게 함으로써In particular, the mounting bracket on which the gate valve is mounted for the maintenance of the gate valve is formed to be detachable from the gate valve, and the support bracket is slidable along the guide of the frame to adjust the position of the gate valve. The leveler provided between the guide portion and the support bracket enables the height adjustment of the support bracket so that the height of the gate valve can be adjusted within a certain range.

게이트밸브의 유지보수의 편의성을 보장하고, 이를 통하여 유지보수를 위한 작업 시간 및 인력 손실을 최소화함으로써 경제적인 측면과 사후작업 측면에서 시너지(synergy) 효과를 얻을 수 있는 진공펌프용 스태커의 게이트밸브 지지구를 제공하는 것을 하나의 목적으로 한다.Gate valve support of the stacker for vacuum pumps, which ensures the convenience of maintenance of the gate valve, and thereby achieves synergy in economical and post-working aspects by minimizing maintenance time and labor loss for maintenance. To serve the planet is one purpose.

더 나아가 본 발명에 따른 지지구는 유지보수를 위한 작업시간을 단축하여 시스템의 재가동이 신속하게 이루어져 생산량을 증대시킬 수 있고,Furthermore, the support according to the present invention can shorten the working time for maintenance to restart the system quickly to increase the yield,

또 게이트밸브의 높낮이 조절 및 좌우 위치 조절이 가능하여 게이트밸브의 설치 후 위치 변화 및 진공펌프의 모델 변경으로 인한 게이트밸브의 변경 시 지지구의 교체 없이 손쉽게 대응할 수 있으며,In addition, the height of the gate valve can be adjusted and the left and right positions can be adjusted, so that the gate valve can be easily responded to without changing the support port when the gate valve is changed due to the position change after the installation of the gate valve and the change of the model of the vacuum pump.

특히 각 구성이 심플한 구조로 이루어져 작업성과 생산성을 향상시킬 수 있고, 아울러 유지보수 작업 시 안전성 확보와, 작업자의 만족도를 높일 수 있는 진공펌프용 스태커의 게이트밸브 지지구를 제공하는 것을 또 하나의 목적으로 한다.In particular, the simple structure of each structure improves workability and productivity, and also provides a gate valve support for the stacker for vacuum pumps, which ensures safety during maintenance work and increases worker satisfaction. It is done.

본 발명에 따른 진공펌프용 스태커의 게이트 밸브 지지구는 가이드부를 갖는 프레임; 상기 가이드부의 길이방향을 따라 미끄럼 이동 가능한 지지브라켓; 상기 지지브라켓 상부에 배열되고, 게이트밸브의 탈부착이 가능하도록 형성된 장착브라켓; 및 상기 가이드부와 상기 지지브라켓 사이에 배열되고, 상기 지지브라켓의 높이 조절을 가능하게 하는 레벨러(leveler);를 포함하여 이루어진다.Gate valve support of the stacker for a vacuum pump according to the present invention frame; A support bracket which is slidable along the longitudinal direction of the guide part; A mounting bracket arranged on the support bracket, the mounting bracket being configured to be detachable from the gate valve; And a leveler arranged between the guide part and the support bracket to enable height adjustment of the support bracket.

그리고 본 발명에 따른 상기 레벨러는 상기 프레임의 가이드부 상면부에 얹히는 지지체와, 상기 지지체와 상부에 배열되어 회전 가능하고, 상기 지지브라켓에 형성된 제1 나사공에 삽입되는 조절볼트를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.And the leveler according to the present invention comprises a support which is mounted on the upper surface portion of the guide portion of the frame, the support bolt is arranged on the support and rotatable, the adjustment bolt is inserted into the first screw hole formed in the support bracket It is characterized by.

또 본 발명에 따른 상기 지지브라켓은 상기 장착브라켓이 연결되는 장착부와, 상기 장착부의 양측부에 연결되고, 상기 가이드부의 양측면부를 감싸는 안내부와, 그리고 상기 안내부의 각 단부와 연결되고, 내측방향으로 절곡 형성된 걸림부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.In addition, the support bracket according to the present invention is connected to the mounting portion to which the mounting bracket is connected, connected to both sides of the mounting portion, the guide portion surrounding the both side portions of the guide portion, and connected to each end of the guide portion, inward direction Characterized in that it comprises a hook formed bent.

더 나아가 본 발명에 따른 상기 장착브라켓은 상기 지지브라켓에 형성된 제2 나사공에 대응하는 관통공이 형성되고, 체결볼트에 의하여 상기 지지브라켓에 연결되는 결합부와, 상기 결합부와 이어지고, 상기 게이트밸브를 고정시키는 지지부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.Furthermore, the mounting bracket according to the present invention has a through hole corresponding to the second screw hole formed in the support bracket, the coupling portion connected to the support bracket by a fastening bolt, and the coupling portion is connected to the gate valve It characterized in that it comprises a support for fixing the.

본 발명에 따른 진공펌프용 스태커의 게이트밸브 지지구는 반도체를 생산에 필요한 진공펌프 사용 시 최적의 상태의 사용을 위해 스태커(stacker)를 사용하는 경우 각종 부대설비들이 포함되어 있으며,The gate valve support of the stacker for a vacuum pump according to the present invention includes a variety of auxiliary equipment when using a stacker (stacker) for the optimal use of the vacuum pump required for the production of semiconductor,

특히 게이트밸브의 유지보수를 위해 게이트밸브가 장착되는 장착브라켓은 게이트밸브를 탈부착 가능하도록 형성되고, 또 지지브라켓은 프레임의 가이드부를 따라 미끄럼 이동 가능하여 게이트밸브의 위치조절이 가능하며, 아울러 프레임의 가이드부와 지지브라켓 사이에 구비된 레벨러는 지지브라켓의 높이 조절을 가능하게 하여 게이트밸브의 높낮이를 일정한 범위 내에서 조절 가능하게 함으로써In particular, the mounting bracket on which the gate valve is mounted for the maintenance of the gate valve is formed to be detachable from the gate valve, and the support bracket is slidable along the guide of the frame to adjust the position of the gate valve. The leveler provided between the guide portion and the support bracket enables the height adjustment of the support bracket so that the height of the gate valve can be adjusted within a certain range.

게이트밸브의 유지보수의 편의성을 보장하고, 이를 통하여 유지보수를 위한 작업 시간 및 인력 손실을 최소화함으로써 경제적인 측면과 사후작업 측면에서 시너지(synergy) 효과를 얻을 수 있게 된다.This ensures the convenience of maintenance of the gate valve, thereby minimizing work time and manpower loss for maintenance, thereby achieving synergistic effects in economic and post-working terms.

더 나아가 본 발명에 따른 지지구는 유지보수를 위한 작업시간을 단축하여 시스템의 재가동이 신속하게 이루어져 생산량을 증대시킬 수 있고,Furthermore, the support according to the present invention can shorten the working time for maintenance to restart the system quickly to increase the yield,

또 게이트밸브의 높낮이 조절 및 좌우 위치 조절이 가능하여 게이트밸브의 설치 후 위치 변화 및 진공펌프의 모델 변경으로 인한 게이트밸브의 변경 시 지지구의 교체 없이 손쉽게 대응할 수 있으며,In addition, the height of the gate valve can be adjusted and the left and right positions can be adjusted, so that the gate valve can be easily responded to without changing the support port when the gate valve is changed due to the position change after the installation of the gate valve and the change of the model of the vacuum pump.

특히 각 구성이 심플한 구조로 이루어져 작업성과 생산성을 향상시킬 수 있고, 아울러 유지보수 작업 시 안전성 확보와, 작업자의 만족도를 높일 수 있게 된다.In particular, each configuration is made of a simple structure can improve the workability and productivity, as well as ensuring safety and maintenance of the worker satisfaction during maintenance work.

이하에서는 본 발명에 따른 진공펌프용 스태커의 게이트밸브 지지구를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면,Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, the gate valve support of the stacker for a vacuum pump according to the present invention,

도 1은 본 발명에 따른 진공펌프용 스태커의 게이트밸브 지지구를 나타내는 사시도, 도 2는 본 발명에 따른 게이트밸브 지지구의 지지브라켓에 의한 좌우 위치 조절을 나타내는 동작 사시도, 도 3은 본 발명에 따른 게이트밸브 지지구의 레벨러에 의한 높이 조절을 나타내는 동작 단면도, 도 4는 본 발명에 따른 게이트밸브 지지구의 장착브라켓에 의한 게이트밸브의 탈부착을 나타내는 분해 사시도, 도 5는 본 발명에 따른 게이트밸브 지지구의 가이드부 하면부를 나타내는 사시도이다.1 is a perspective view showing a gate valve support of the stacker for a vacuum pump according to the present invention, Figure 2 is an operation perspective view showing the left and right position adjustment by the support bracket of the gate valve support according to the present invention, Figure 3 according to the present invention 4 is an exploded perspective view illustrating detachment and detachment of the gate valve by the mounting bracket of the gate valve support according to the present invention, and FIG. 5 is a guide of the gate valve support according to the present invention. It is a perspective view which shows a lower surface part.

도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 진공펌프용 스태커의 게이트밸브 지지구는1 to 5, the gate valve support of the stacker for a vacuum pump according to the present invention is

가이드부(11)를 갖는 프레임(10); 상기 가이드부(11)의 길이방향을 따라 미 끄럼 이동 가능한 지지브라켓(20); 상기 지지브라켓(20) 상부에 배열되고, 게이트밸브(GV)의 탈부착이 가능하도록 형성된 장착브라켓(30); 및 상기 가이드부(11)와 상기 지지브라켓(20) 사이에 배열되고, 상기 지지브라켓(20)의 높이 조절을 가능하게 하는 레벨러(leveler)(40);를 포함하여 이루어진다.A frame 10 having a guide portion 11; A support bracket 20 which is slidable along the longitudinal direction of the guide part 11; A mounting bracket (30) arranged above the support bracket (20) and configured to attach / detach the gate valve (GV); And a leveler 40 arranged between the guide part 11 and the support bracket 20 to enable height adjustment of the support bracket 20.

도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 진공펌프용 스태커의 게이트밸브 지지구에서, 상기 프레임(10)은1 to 5 in the gate valve support of the stacker for a vacuum pump according to the present invention, the frame 10 is

다수의 진공펌프(VP)가 적재 또는 적층되는 스태커(S)의 골격을 이루며,A plurality of vacuum pump (VP) forms a skeleton of the stacker (S) is stacked or stacked,

상기 스태커(S)에는 반도체 생산에 필요한 진공펌프 외에 H/N2, 디루션(dillution), 게이트밸브(A.G.V.), 싸이런써(silencer), 컨트롤러, 진공 배관 등 각종 부대설비들이 포함되어 있으며,The stacker (S) includes various auxiliary facilities such as H / N2, dilution, gate valve (A.G.V.), silencer, controller, and vacuum piping in addition to the vacuum pump required for semiconductor production.

상기 프레임(10)에는 진공펌프(VP) 및 그 부대설비들이 적재 또는 적층되어 구비된다.The frame 10 is provided with a vacuum pump (VP) and its accessories are stacked or stacked.

그리고 상기 프레임(10) 상부에는 상기 부대설비들 중 특히 게이트밸브(GV)를 설치하기 위한 바(bar) 형태의 가이드부(11)가 구비되며,And the upper portion of the frame 10 is provided with a guide portion 11 of the bar shape (bar) for installing the gate valve (GV) of the auxiliary facilities, in particular,

상기 가이드부(11) 상부에는 본 발명에 따른 지지구(SI)를 형성하는 지지브라켓(20) 및 장착브라켓(30)에 의하여 상기 게이트밸브(GV)가 고정 지지된다.The gate valve GV is fixedly supported on the guide part 11 by a support bracket 20 and a mounting bracket 30 forming a support tool SI according to the present invention.

또 도 5에 도시된 바와 같이 상기 프레임(10)의 가이드부(11)는 ‘’ 형태로 이루어지고,In addition, as shown in Figure 5 the guide portion 11 of the frame 10 is made of a '',

상기 가이드부(11)에는 그 내측에는 상호 이격되어 형성된 절편(13)이 구비되어 있어, 상기 게이트밸브(GV)의 설치 위치를 대략적으로 표시하여 게이트밸브(GV)의 설치나 또는 유지보수 후 그 설치 위치를 쉽게 찾을 수 있도록 하는 것이 바람직하다.The guide portion 11 is provided with segments 13 formed on the inside thereof so as to be spaced apart from each other, so that the installation position of the gate valve GV is roughly displayed so that It is desirable to make it easy to find the installation location.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 진공펌프용 스태커의 게이트밸브 지지구에서, 상기 지지브라켓(20)은1 to 4, in the gate valve support of the stacker for a vacuum pump according to the present invention, the support bracket 20 is

상기 프레임(10)의 가이드부(11)의 길이방향을 따라 미끄럼 이동 가능하도록 일정한 길이를 갖고, 그 형상은 상기 가이드부(11)와 유사한 ‘’ 형태로 이루어져 상기 가이드부(11)를 감싸는 형태로 구성된다.It has a certain length so as to be able to slide along the longitudinal direction of the guide portion 11 of the frame 10, the shape is formed of a `` similar to the guide portion 11 to surround the guide portion 11 It consists of.

즉 상기 지지브라켓(20)은That is, the support bracket 20

상기 장착브라켓(30)이 상부에 연결되는 장착부(21)와,A mounting portion 21 to which the mounting bracket 30 is connected;

상기 장착부(21)의 양측부에 연결되고, 상기 가이드부(11)의 양측면부를 감싸는 안내부(23)와, 그리고A guide part 23 connected to both sides of the mounting part 21 and surrounding both side parts of the guide part 11, and

상기 안내부(23)의 각 단부와 연결되고, 내측방향으로 절곡 형성되어 탄성을 갖는 걸림부(25)를 포함하여 이루어진다.It is connected to each end of the guide portion 23, it is formed to be bent inwardly comprises a locking portion 25 having elasticity.

본 발명에 따른 지지브라켓(20)에서In the support bracket 20 according to the invention

상기 장착부(21)에는 장착브라켓(30)을 연결하기 위한 제2 나사공(21b)이 양측으로 형성되고,The mounting portion 21 has a second screw hole 21b for connecting the mounting bracket 30 to both sides,

상기 제2 나사공(21b) 외측에는 상기 레벨러(40)를 위한 제1 나사공(21a)이 형성되며,The first screw hole 21a for the leveler 40 is formed outside the second screw hole 21b,

상기 안내부(23)는 상기 장착부(21)에서 절곡 형성되고, 상기 가이드부(11)의 양측면부 두께보다 넓게 형성되어 상리 레벨러(40)에 의한 높낮이 조절이 가능하도록 일정한 상하 방향으로 유격을 형성하게 된다.The guide portion 23 is bent from the mounting portion 21, and formed wider than the thickness of both side portions of the guide portion 11 to form a clearance in a constant vertical direction to enable height adjustment by the upper leveler 40. Done.

아울러 상기 걸림부(25)는 상기 안내부(23)의 각 단부와 이어져 내측방향으로 절곡 형성되어 있어 상기 레벨러(40)에 의한 높이 조절 시In addition, the engaging portion 25 is formed to be bent inwardly in connection with each end of the guide portion 23 when adjusting the height by the leveler 40

상기 지지브라켓(20)이 일정 높이까지 상승하는 경우 상기 걸림부(25)가 상기 가이드부(11) 하단부에 걸려 지지브라켓(20)의 상승 높이를 제한하게 된다.When the support bracket 20 is raised to a certain height, the locking portion 25 is caught by the lower end of the guide portion 11 to limit the rising height of the support bracket 20.

또 상기 걸림부(25)는 상기 지지브라켓(20)이 가이드부(11)에서 빠지거나 또는 이탈하는 것을 방지하게 되며,In addition, the locking portion 25 is to prevent the support bracket 20 from falling out or detached from the guide portion 11,

이 경우 상기 걸림부(25)가 상기 가이드부(11)에 맞닿는 경우 탄성을 발휘하여 지지함으로써 각 부재에 걸리는 부하를 일정 정도 흡수하는 역할을 하게 된다.In this case, when the engaging portion 25 is in contact with the guide portion 11, by supporting the elastic portion to serve to absorb a certain amount of the load applied to each member.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 진공펌프용 스태커의 게이트밸브 지지구에서, 상기 장착브라켓(30)은In the gate valve support of the stacker for a vacuum pump according to the present invention as shown in Figures 1 to 4, the mounting bracket 30 is

상기 지지브라켓(20) 상부에 배열되고, 게이트밸브(GV)의 탈부착이 가능하도록 형성되고,It is arranged on the support bracket 20, and is formed to be removable from the gate valve (GV),

이는 상기 장착브라켓(30)이 상기 게이트밸브(GV)를 고정시키고, 동시에 유지보수의 편의성을 보장하기 위해 탈부착이 가능하도록 구성된다.It is configured such that the mounting bracket 30 is fixed to the gate valve (GV), at the same time detachable to ensure the convenience of maintenance.

이를 구현하기 위한 본 발명에 따른 상기 장착브라켓(30)은The mounting bracket 30 according to the present invention for implementing this

상기 지지브라켓(20)의 제2 나사공(21b)에 대응하는 관통공(31a)을 갖는 결합부(31)와,An engaging portion 31 having a through hole 31a corresponding to the second screw hole 21b of the support bracket 20;

상기 결합부(31)와 이어지고, 상기 게이트밸브(GV)를 고정시키는 지지부(33)를 포함하여 이루어진다.It is connected to the coupling portion 31, and comprises a support portion 33 for fixing the gate valve (GV).

즉 상기 장착브라켓(30)은 상기 결합부(31)와 지지부(33)가 상호 절곡된 형태로 이루어져,That is, the mounting bracket 30 is made of a form in which the coupling portion 31 and the support portion 33 are bent to each other,

상기 결합부(31)의 하면부는 상기 지지브라켓(20)의 상면부와 접하고, 상기 지지부(33)의 하면부는 상기 게이트밸브(GV)의 외측 상면부를 덮어 지지하는 형태로 게이트밸브(GV)를 양측에서 고정시키게 된다.The lower surface portion of the coupling portion 31 is in contact with the upper surface portion of the support bracket 20, and the lower surface portion of the support portion 33 covers the outer upper surface portion of the gate valve GV to cover the gate valve GV. It is fixed on both sides.

이 경우 상기 결합부(31)의 관통공(31a)은 상기 지지브라켓(20)의 장착부(21)에 형성된 제2 나사공(21b)의 해당위치에 배열되고,In this case, the through hole 31a of the coupling portion 31 is arranged at a corresponding position of the second screw hole 21b formed in the mounting portion 21 of the support bracket 20,

체결볼트(B)에 의하여 상기 제2 나사공(21b)에 장착브라켓(30)을 결합시켜 게이트밸브(GV)를 고정시킴은 물론,As well as fixing the gate valve (GV) by coupling the mounting bracket 30 to the second screw hole (21b) by a fastening bolt (B),

상기 게이트밸브(GV)의 유비보수 및 작업 후 재장착하는 경우 상기 체결볼트(B)의 분리 및 체결만으로 손쉽게 게이트밸브(GV)를 탈부착 할 수 있어 유지보수 작업의 편의성을 보장하게 된다.When re-installing after maintenance and work of the gate valve (GV) can be easily attached and detached to the gate valve (GV) only by removing and fastening the fastening bolt (B) to ensure the convenience of maintenance work.

도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 진공펌프용 스태커의 게이트밸브 지지구에서, 상기 레벨러(leveler)(40)는In the gate valve support of the stacker for a vacuum pump according to the invention as shown in Figures 1 to 4, the leveler (40)

상기 가이드부(11)와 상기 지지브라켓(20) 사이에 배열되고,It is arranged between the guide portion 11 and the support bracket 20,

상기 지지브라켓(20)의 높이 조절을 가능하게 함으로써 게이트밸브(GV)의 설치 후 위치조정이나 탈부착 시 일정한 유격을 갖게 함으로써 유지보수 작업이 보다 쉽고 신속하게 이루어질 수 있도록 하는 구성이다.By enabling the height adjustment of the support bracket 20 has a constant clearance when adjusting the position or detachment after installation of the gate valve (GV) is configured to make the maintenance work easier and faster.

이를 구현하기 위한 본 발명에 따른 상기 레벨러(40)는The leveler 40 according to the present invention for implementing this is

상기 프레임(10)의 가이드부(11) 상면부에 얹히는 지지체(41)와,A support 41 mounted on an upper surface of the guide part 11 of the frame 10,

상기 지지체(41) 상부에 배열되어 회전 가능하고, 상기 지지브라켓(20)에 형성된 제1 나사공(21a)에 삽입되는 조절볼트(43)를 포함하여 이루어진다.It is arranged on the support 41 is rotatable, and comprises a control bolt 43 is inserted into the first screw hole (21a) formed in the support bracket (20).

본 발명에 따른 레벨러(40)는 상기 가이드부(11)와 상기 지지브라켓(20) 사이에 복수로 구비되고,Leveler 40 according to the present invention is provided with a plurality between the guide portion 11 and the support bracket 20,

상기 지지체(41)는 원반 형태(또는 다각 형태)를 이루어지고,The support 41 has a disk shape (or polygonal shape),

그리고 상기 지지체(41) 하면부에는 상기 조절볼트(43)에 의한 높이 조절 시 상기 지지체(41)가 함께 연동하는 것을 방지하기 위해And in order to prevent the support 41 is interlocked with the support 41 when the height adjustment by the adjustment bolt 43 on the lower portion.

일정한 탄성을 갖고 상기 가이드부(11)의 상면부와의 접촉력을 보장할 수 있는 고무나 엘라스토머 등과 같은 재질의 밀착부재(45)가 부착되는 것이 바람직하다.It is preferable that the adhesion member 45 made of a material such as rubber or elastomer having a certain elasticity and ensuring a contact force with the upper surface portion of the guide portion 11 is attached.

또 상기 조절볼트(43)는 상기 지지체(41) 상부에 공회전 가능하도록 형성되어 있으며,In addition, the adjusting bolt 43 is formed to be idling on the support 41,

상기 장착부(21)의 제1 나사공(21a)에 삽입되어 장착부(21) 상부로 노출되고, 상기 조절볼트(43) 하부에는 조절너트(43a)가 일체로 형성되어 있어 스패너나 또는 적정한 공구에 의하여 조절볼트(43)의 동작이 용이하도록 구성된다.Inserted into the first screw hole (21a) of the mounting portion 21 is exposed to the upper mounting portion 21, the adjustment nut 43a is formed in the lower portion of the adjustment nut 43a integrally formed in the spanner or a suitable tool It is configured to facilitate the operation of the adjustment bolt 43.

따라서 상기 레벨러(40)의 지지체(41)는 상기 가이드부(11) 상면부에 의하여 지지된 상태에서, 상기 조절볼트(43)를 양방향으로 회전시켜 상기 장착부(21)의 제1 나사공(21a)을 통하여Therefore, the support 41 of the leveler 40 is supported by the upper surface portion of the guide portion 11, by rotating the adjusting bolt 43 in both directions, the first screw hole 21a of the mounting portion 21 Through)

상기 지지브라켓(20), 더욱 정확하게는 상기 게이트밸브(GV)의 높이를 조절 가능하게 한다.It is possible to adjust the height of the support bracket 20, more precisely the gate valve (GV).

더 나아가 상기 지지브라켓(20)의 장착부(21) 상부로 노출된 상기 조절볼트(43) 부분에는 고정너트(47)가 구비되어 상기 레벨러(40)에 의한 높이 조절 시 그 상한을 정할 수 있고,Furthermore, a fixing nut 47 is provided at a portion of the adjustment bolt 43 exposed to the mounting portion 21 of the support bracket 20 to determine an upper limit thereof when height is adjusted by the leveler 40.

아울러 높이 조절 후 상기 고정너트(47)를 체결하여 상기 조절볼트(43)가 장치 자체에서 발생하는 진동이나 흔들림에 의하여 풀리는 것을 방지할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.In addition, it is preferable to fasten the fixing nut 47 after adjusting the height so as to prevent the adjusting bolt 43 from being loosened by vibration or shaking generated by the device itself.

상기한 바와 같이 본 발명에 따른 진공펌프용 스태커의 게이트밸브 지지구는 게이트밸브의 설치 후 유비보수 시 그 작업 편의성을 보장하기 위한 것으로As described above, the gate valve supporter of the stacker for a vacuum pump according to the present invention is to ensure the convenience of operation during maintenance of the gate valve after installation.

도 4에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 게이트밸브(GA)를 교체하거나 또는 청소나 수리를 위해 지지구(SI)에서 게이트밸브(GA)를 분리 및 결합하는 경우에 있어서As shown in Figure 4 in the case of replacing the gate valve (GA) in accordance with the present invention or to separate and combine the gate valve (GA) from the support (SI) for cleaning or repair

우선 장착브라켓(30)에 의하여 게이트밸브(GA)가 지지구(SI)로부터 탈부착이 가능하게 되고,First, the mounting bracket 30 allows the gate valve GA to be attached and detached from the support SI.

다음으로 도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 게이트밸브(GA)를 지지구(SI)에서 분리하거나 또는 재설치하는 경우 게이트밸브(GA)의 상부 및 하부에는 진공배관(P)이 연결됨으로 게이트밸브(GA)와 진공배관(P)의 상대적인 위치에 따라 분리 및 설치 작업을 용이하도록 하기 위해선Next, as shown in FIGS. 2 and 4, when the gate valve GA according to the present invention is removed or reinstalled from the support SI, the vacuum pipes P are disposed on the upper and lower portions of the gate valve GA. In order to facilitate the separation and installation work according to the relative position of the gate valve (GA) and the vacuum pipe (P) by being connected

게이트밸브(GA)의 위치를 적정하게 조절하여야 할 필요가 있고,It is necessary to properly adjust the position of the gate valve (GA),

따라서 지지브라켓(20)을 좌우 방향으로 이동하거나 또는 레벨러(40)에 의하여 지지브라켓(20)의 높낮이를 적정하게 조절하여 게이트밸브(GA)의 위치를 적정하게 설정함으로써Therefore, by moving the support bracket 20 in the left and right direction or by appropriately adjusting the height of the support bracket 20 by the leveler 40 to properly set the position of the gate valve (GA)

그 유지보수 작업이 용이하면서도 신속하게 이루어질 수 있게 된다.The maintenance work can be done easily and quickly.

이상에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명인 진공펌프용 스태커의 게이트밸브 지지구를 설명함에 있어 특정 형상 및 방향을 위주로 설명하였으나, 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.In the above description of the gate valve support of the stacker for a vacuum pump according to the present invention with reference to the accompanying drawings, the present invention has been described based on a specific shape and direction, but various modifications and changes can be made by those skilled in the art. Should be construed as being included in the scope of the invention.

도 1은 본 발명에 따른 진공펌프용 스태커의 게이트밸브 지지구를 나타내는 사시도,1 is a perspective view showing a gate valve support of the stacker for a vacuum pump according to the present invention,

도 2는 본 발명에 따른 게이트밸브 지지구의 지지브라켓에 의한 좌우 위치 조절을 나타내는 동작 사시도, Figure 2 is a perspective view showing the left and right position control by the support bracket of the gate valve support according to the present invention,

도 3은 본 발명에 따른 게이트밸브 지지구의 레벨러에 의한 높이 조절을 나타내는 동작 단면도,Figure 3 is an operation cross-sectional view showing the height adjustment by the leveler of the gate valve support according to the present invention,

도 4는 본 발명에 따른 게이트밸브 지지구의 장착브라켓에 의한 게이트밸브의 탈부착을 나타내는 분해 사시도,Figure 4 is an exploded perspective view showing the detachment of the gate valve by the mounting bracket of the gate valve support according to the present invention,

도 5는 본 발명에 따른 게이트밸브 지지구의 가이드부의 하면부를 나타내는 사시도.Figure 5 is a perspective view showing the lower surface of the guide portion of the gate valve support according to the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 ><Explanation of Signs of Major Parts of Drawings>

SI : 지지구 GV : 게이트밸브SI: Supporting GV: Gate Valve

P : 진공배관 B : 체결볼트P: Vacuum piping B: Tightening bolt

10 : 프레임 11 : 가이드부10 frame 11 guide portion

11a : 절편11a: intercept

20 : 지지브라켓 21 : 장착부20: support bracket 21: mounting portion

21a : 제1 나사공 21b : 제2 나사공21a: 1st screw hole 21b: 2nd screw hole

23 : 안내부 25 : 걸림부23: guide portion 25: locking portion

30 : 장착브라켓 31 : 결합부30: mounting bracket 31: coupling portion

31a : 관통공 33 : 지지부31a: through hole 33: support part

40 : 레벨러 41 : 지지체40 leveler 41 support

43 : 조절볼트 43a : 조절너트43: adjusting bolt 43a: adjusting nut

45 : 밀착부재 47 : 고정너트45: contact member 47: fixing nut

Claims (4)

가이드부를 갖는 프레임;A frame having a guide portion; 상기 가이드부의 길이방향을 따라 미끄럼 이동 가능한 지지브라켓;A support bracket which is slidable along the longitudinal direction of the guide part; 상기 지지브라켓 상부에 배열되고, 게이트밸브의 탈부착이 가능하도록 형성된 장착브라켓; 및A mounting bracket arranged on the support bracket, the mounting bracket being configured to be detachable from the gate valve; And 상기 가이드부와 상기 지지브라켓 사이에 배열되고, 상기 지지브라켓의 높이 조절을 가능하게 하는 레벨러(leveler);A leveler arranged between the guide part and the support bracket to enable height adjustment of the support bracket; 를 포함하여 이루어진 진공펌프용 스태커의 게이트밸브 지지구.Gate valve support of the stacker for vacuum pump comprising a. 제 1 항에 있어서, 상기 레벨러는The method of claim 1, wherein the leveler 상기 프레임의 가이드부 상면부에 얹히는 지지체와,A supporter mounted on the upper surface portion of the guide part of the frame; 상기 지지체 상부에 배열되어 회전 가능하고, 상기 지지브라켓에 형성된 제1 나사공에 삽입되는 조절볼트를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 진공펌프용 스태커의 게이트밸브 지지구.The gate valve supporter of the vacuum pump stacker, characterized in that it is arranged on the support and rotatable, comprising a control bolt inserted into the first screw hole formed in the support bracket. 제 1 항에 있어서, 상기 지지브라켓은The method of claim 1, wherein the support bracket 상기 장착브라켓이 연결되는 장착부와,A mounting part to which the mounting bracket is connected; 상기 장착부의 양측부에 연결되고, 상기 가이드부의 양측면부를 감싸는 안내부와,A guide part connected to both sides of the mounting part and surrounding both side parts of the guide part; 상기 안내부의 각 단부와 연결되고, 내측방향으로 절곡 형성된 걸림부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 진공펌프용 스태커의 게이트밸브 지지구.The gate valve support of the stacker for a vacuum pump, characterized in that the hook portion is connected to each end of the guide portion, and formed to be bent inwardly. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 장착브라켓은According to any one of claims 1 to 3, wherein the mounting bracket 상기 지지브라켓에 형성된 제2 나사공에 대응하는 관통공이 형성되고, 체결볼트에 의하여 상기 지지브라켓에 연결되는 결합부와,A through hole corresponding to the second screw hole formed in the support bracket is formed and connected to the support bracket by a fastening bolt; 상기 결합부와 이어지고, 상기 게이트밸브를 고정시키는 지지부를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 진공펌프용 스태커의 게이트밸브 지지구.And a support portion connected to the coupling portion and fixing the gate valve.
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KR102618365B1 (en) 2023-09-06 2023-12-27 주식회사 디노솔루션 Input and output unit structure for vacuum pump gate valve

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