KR20110027903A - Solar cell and method of fabricating the same - Google Patents

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KR20110027903A
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Abstract

PURPOSE: A solar cell and a method for manufacturing the same are provided to expand an incident light route in a solar light absorbing layer, thereby increasing a light absorbing rate over the entire area of an ultraviolet ray, a visible ray, and an infrared ray. CONSTITUTION: A transparent electrode(600) is arranged on a substrate(100). An active layer(700) is arranged on the transparent electrode. A facing electrode(800) is arranged on the active layer. The transparent electrode comprises a buffer layer(200), the first bar(300), the second bar(400), and a coating layer(500). The buffer layer, the first bar, and the second bar are formed of the same material.

Description

태양전지 및 이의 제조방법{SOLAR CELL AND METHOD OF FABRICATING THE SAME}SOLAR CELL AND METHOD OF FABRICATING THE SAME

실시예는 태양전지 및 이의 제조방법에 관한 것이다.An embodiment relates to a solar cell and a manufacturing method thereof.

최근 에너지의 수요가 증가함에 따라서, 태양광 에너지를 전기에너지로 변환시키는 태양전지들에 대한 개발이 진행되고 있다. 이러한 태양전지들에는 CIGS 태양전지, 실리콘 계열 태양전지, 염료감응 태양전지, 반도체 태양전지 등이 있다.Recently, as the demand for energy increases, development of solar cells for converting solar energy into electrical energy is in progress. Such solar cells include CIGS solar cells, silicon solar cells, dye-sensitized solar cells, and semiconductor solar cells.

일반적으로 태양전지는, 외부에서 들어온 빛에 의해 태양전지의 반도체 내부에서 전자와 정공의 쌍이 생성되고, 이러한 전자와 정공의 쌍에서 pn 접합에서 발생한 전기장에 의해 전자는 n형 반도체로 이동하고 정공은 p형 반도체로 이동함으로써 전력을 생산한다.In general, a solar cell has a pair of electrons and holes generated inside the semiconductor of the solar cell by light from outside, and electrons move to an n-type semiconductor by an electric field generated at a pn junction in the pair of electrons and holes. Moving to p-type semiconductors produces power.

태양전지에 적용되는 투명전극의 경우에, 태양광을 전기로 변환하는 효율이 가장 중요하므로 그 응용분야의 특성상, 전도성 물질이 높은 광투과도와 함께 낮은 비저항을 갖는 것이 필수적인 요소가 되고 있다.In the case of a transparent electrode applied to a solar cell, the efficiency of converting sunlight into electricity is the most important, and in view of the characteristics of the application, it is essential for the conductive material to have a low specific resistance with high light transmittance.

종래에 박막 결정형 실리콘 태양전지는 광흡수율을 높이기 위해 텍스쳐링(texturing)된 ITO 및 ZnO:Al과 같은 박막 연구가 수행되었다. 텍스쳐링된 ZnO:Al과 같은 기존 전면 투명전도막은 스퍼터링을 통한 증착 및 도핑과 화학적 에칭법을 통한 텍스쳐링 등 매우 정교하고 복잡한 공정을 요구하기 때문에 실행 비용이 높고, 소요 시간이 길어질 수 있다. 또한, 진공 기술 적용에 따른 높은 장비 투자비로 원가 상승을 가져오게 된다.In the related art, thin film crystalline silicon solar cells have been studied with thin films such as textured ITO and ZnO: Al in order to increase light absorption. Existing front transparent conductive films, such as textured ZnO: Al, require very sophisticated and complex processes, such as deposition and doping through sputtering and texturing through chemical etching, which can be expensive and time consuming. In addition, cost increases due to the high equipment investment costs associated with the application of vacuum technology.

또한,광흡수층의 낮은 광흡수율로 인하여 전면 투명 전도막과 후면 반사전극의 인위적인 설계가 요구되어졌다. 또한, 텍스쳐링과 같은 인위적인 전극 설계뿐만 아니라 전극의 주재료인 TCO(transparent conducting oxid)의 낮은 전도도 특성 때문에 도핑이 필요하다. 현재, 진공기술을 통한 박막화 공정은 진공 장비 요구에 따른 투자비 절감에 한계를 가지고 있다.In addition, due to the low light absorption rate of the light absorption layer, artificial design of the front transparent conductive film and the rear reflective electrode is required. In addition, doping is necessary because of the low conductivity of the electrode's main material, transparent conducting oxid (TCO), as well as artificial electrode designs such as texturing. Currently, the thinning process through the vacuum technology has a limit in reducing the investment cost according to the vacuum equipment requirements.

따라서, 전도도가 향상된 물질을 사용하여, 광흡수율 및 광전변환 효율을 증대시키기 위한 연구들이 진행 중이다.Therefore, studies are being conducted to increase light absorption and photoelectric conversion efficiency using materials with improved conductivity.

실시예는 향상된 광흡수율 및 광전변환 효율을 가지는 태양전지 및 이를 제조하는 방법을 제공하고자 한다.Embodiments provide a solar cell having an improved light absorption rate and photoelectric conversion efficiency and a method of manufacturing the same.

일 실시예에서, 태양전지는 기판, 상기 기판 상에 배치되는 투명전극, 상기 투명전극 상에 배치되는 활성층 및 상기 활성층 상에 배치되는 대향전극을 포함하고, 상기 투명전극은 버퍼층, 상기 버퍼층 상에 배치되는 제 1의 막대, 및 상기 제 1의 막대 상에 배치되는 제 2의 막대를 포함한다.In one embodiment, the solar cell comprises a substrate, a transparent electrode disposed on the substrate, an active layer disposed on the transparent electrode and a counter electrode disposed on the active layer, the transparent electrode on the buffer layer, the buffer layer A first rod disposed and a second rod disposed on the first rod.

다른 실시예에서는 태양전지의 제조방법을 제공하며, 상기 태양전지의 제조방법은 기판 상에 투명전극을 형성하는 단계, 상기 투명전극 상에 활성층을 형성하는 단계 및 상기 활성층 상에 대향전극을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 투명전극을 형성하는 단계는 상기 기판 상에 버퍼층을 형성하는 단계, 상기 버퍼층 상에 제 1의 막대를 형성하는 단계 및 상기 제 1의 막대 상에 제 2의 막대를 형성하는 단계를 포함한다.In another embodiment, a method of manufacturing a solar cell is provided, wherein the method of manufacturing a solar cell includes forming a transparent electrode on a substrate, forming an active layer on the transparent electrode, and forming an opposite electrode on the active layer. And forming the transparent electrode, forming a buffer layer on the substrate, forming a first rod on the buffer layer, and forming a second rod on the first rod. Steps.

일 실시예에 따른 태양전지는 막대가 적층된 구조를 갖는 투명전극을 포함한다. 상기 투명전극은 제 1의 막대 및 제 2의 막대로 구성된다. 상기 제 1의 막대에 의해서는 입사되는 광의 굴절 특성이 바뀌게 되고, 이로 인해 광 경로를 제어할 수 있기 때문에 태양광 흡수층 내에서 입사광 경로를 연장시킬 수 있다. 따라서, 자외 선, 가시광선, 적외선의 전 영역에 걸친 광흡수율을 높인다. 상기 제 2의 막대에 의해 활성층과의 접촉면적이 향상되어, 전극과 상기 활성층과의 접촉저항 감소로 인해 광전변환 효율을 증대시킬 수 있다.The solar cell according to an embodiment includes a transparent electrode having a stacked structure of rods. The transparent electrode is composed of a first bar and a second bar. The first rods change the refractive characteristics of the incident light, thereby allowing the light path to be controlled, thereby extending the incident light path in the solar absorption layer. Therefore, the light absorption rate over the entire area of ultraviolet ray, visible ray and infrared ray is increased. The contact area between the active layer and the active layer is improved by the second rod, thereby increasing the photoelectric conversion efficiency due to the decrease in contact resistance between the electrode and the active layer.

실시예의 설명에 있어서, 각 기판, 막, 전극 또는 층 등이 각 기판, 전극, 막 또는 층 등의 "상(on)"에 또는 "아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상(on)"과 "아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 구성요소를 개재하여(indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한, 각 구성요소의 상 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다. 도면에서의 각 구성요소들의 크기는 설명을 위하여 과장될 수 있으며, 실제로 적용되는 크기를 의미하는 것은 아니다.In the description of the embodiments, where each substrate, film, electrode, or layer is described as being formed "on" or "under" of each substrate, electrode, film, or layer, "On" and "under" include both being formed "directly" or "indirectly" through other components. In addition, the criteria for the top or bottom of each component will be described with reference to the drawings. The size of each component in the drawings may be exaggerated for the sake of explanation and does not mean the size actually applied.

도 1은 실시예에 따른 태양전지의 단면을 도시한 도면이다.1 is a cross-sectional view of a solar cell according to an embodiment.

도 1을 참조하면, 일 실시예에 따른 태양전지는 기판(100), 투명전극(600),활성층(700) 및 대향전극(800)을 포함하고, 상기 투명전극(600)은 버퍼층(200), 제 1의 막대(300), 제 2의 막대(400) 및 코팅층(500)을 포함한다.Referring to FIG. 1, a solar cell according to an embodiment includes a substrate 100, a transparent electrode 600, an active layer 700, and a counter electrode 800, and the transparent electrode 600 includes a buffer layer 200. And a first rod 300, a second rod 400, and a coating layer 500.

기판(100)은 투명하며, 절연체이다. 상기 기판(100)은 예를 들어, 유리 기판, 석영 기판 또는 플라스틱 기판일 수 있다.The substrate 100 is transparent and insulator. The substrate 100 may be, for example, a glass substrate, a quartz substrate, or a plastic substrate.

버퍼층(200)은 흡수된 광으로부터 얻어진 정공을 효율적으로 축전지로 보낼 수 있도록 연속 박막 형태를 가질 수 있다. 또한, 상기 버퍼층(200)은 제 1의 막대(300)에 대한 격자(lattice) 역할을 하고, 결정이 수직으로 성장하는 것이 에너 지적으로 안정하기 때문에, 상기 버퍼층(200)은 결정이 수직으로 성장하게 한다.The buffer layer 200 may have a continuous thin film form in order to efficiently send holes obtained from absorbed light to the storage battery. In addition, since the buffer layer 200 acts as a lattice (lattice) for the first rod 300, and it is energetically stable that crystals grow vertically, the buffer layer 200 grows crystals vertically. Let's do it.

일 실시예에서, 버퍼층(200)을 형성하는 물질의 예는 징크 옥사이드(Zinc Oxide, ZnO), 틴 옥사이드(tin oxide, SnO) 또는 인듐 틴 옥사이드(indium tin oxide, ITO)일 수 있다. 또한, 상기 징크 옥사이드에는 갈륨(Ga), 알루미늄(Al) 또는 붕소(B)가 도핑될 수 있고, 상기 틴 옥사이드에는 불소(F)가 도핑될 수 있다.In one embodiment, examples of the material forming the buffer layer 200 may be zinc oxide (ZnO), tin oxide (SnO), or indium tin oxide (ITO). In addition, the zinc oxide may be doped with gallium (Ga), aluminum (Al) or boron (B), and the tin oxide may be doped with fluorine (F).

제 1의 막대(300)는 일정한 간격으로 다수개(310, 320, 330...)로 형성될 수 있다. 상기 제 1의 막대(300)는 버퍼층(200)에 대해 수직 방향으로 막대 모양으로 형성된다. 상기 제 1의 막대(300) 모양은 기둥 모양일 수 있고, 다각기둥 모양일 수 있으며, 그 중에서도 육각기둥 모양일 수 있다. The first rod 300 may be formed of a plurality of (310, 320, 330 ...) at regular intervals. The first rod 300 is formed in a rod shape in a direction perpendicular to the buffer layer 200. The first rod 300 may have a pillar shape, a polygonal pillar shape, and among them, a hexagonal pillar shape.

상기 제 1의 막대(300)의 직경은 1 ㎛ 내지 20 ㎛이다. 또한, 상기 제 1의 막대(300)의 높이는 0.01 ㎛ 내지 10 ㎛이다. 상기 제 1의 막대(300)의 직경 및 높이는 상기 제 1의 막대(300)를 성장시키는 온도, 농도, 압력 및 외부에너지(예를 들어, 초음파, 마이크로웨이브 등)에 의해 달라질 수 있다.The diameter of the first rod 300 is 1 μm to 20 μm. In addition, the height of the first rod 300 is 0.01 μm to 10 μm. The diameter and height of the first rod 300 may vary depending on the temperature, concentration, pressure, and external energy (eg, ultrasonic wave, microwave, etc.) for growing the first rod 300.

상기 제 1의 막대(300)는 입사광을 흡수하여 빛을 산란시킨다. 상기 제 1의 막대(300)에 입사되는 광은 상기 제 1 막대(300)의 굴절율, 광밴드갭, 직경, 길이 등에 의해 굴절 특성이 바뀌게 된다. 상기 제 1의 막대(300)는 입사광을 굴절시켜 광 경로를 제어함으로써, 흡수층 내에 입사되는 광 밀도를 높여준다. 따라서, 이러한 상기 제 1 막대(300)의 특성을 이용하여 광 경로를 제어할 수 있기 때문에, 태양광 흡수층 내에서 입사광 경로를 연장시킬 수 있다.The first rod 300 absorbs incident light and scatters light. Light incident on the first bar 300 is changed in refractive index by the refractive index, the optical band gap, the diameter, and the length of the first bar 300. The first rod 300 refracts incident light to control the light path, thereby increasing the light density incident on the absorbing layer. Therefore, since the light path can be controlled using the characteristics of the first bar 300, the incident light path can be extended in the solar absorption layer.

일 실시예에서, 상기 제 1의 막대(300)를 형성하는 물질은 징크 옥사이드이 다. 또한, 상기 징크 옥사이드는 갈륨, 알루미늄 또는 붕소가 도핑된 징크 옥사이드이다.In one embodiment, the material forming the first rod 300 is zinc oxide. In addition, the zinc oxide is zinc oxide doped with gallium, aluminum or boron.

제 2의 막대(400)는 상기 제 1의 막대(300) 상에 일정한 간격으로 다수개(410, 420, 430...)로 형성될 수 있다. 상기 제 2의 막대(300)는 상기 제 1의 막대(300)와 동일한 방향으로 형성되고, 상기 버퍼층(200)에 대해서는 수직 방향으로 형성된다. 상기 제 2의 막대(400) 모양은 기둥 모양일 수 있고, 다각기둥 모양일 수 있으며, 그 중에서도 육각기둥 모양일 수 있다. The second rod 400 may be formed in plurality 410, 420, 430... At regular intervals on the first rod 300. The second rod 300 is formed in the same direction as the first rod 300 and is formed in the vertical direction with respect to the buffer layer 200. The shape of the second rod 400 may be a pillar shape, a polygonal pillar shape, and among them, a hexagonal pillar shape.

상기 제 2의 막대(400)의 직경은 10 nm 내지 500 nm이다. 또한, 상기 제 2의 막대(400)의 높이는 10 nm 내지 10,000 nm이다. 즉, 상기 제 2의 막대(400)의 직경은 상기 제 1의 막대(300)의 직경보다 작게 형성된다. 상기 제 2의 막대(400)의 직경은 상기 제 2의 막대(300)를 성장시키는 온도, 농도, 압력 및 외부에너지(예를 들어, 초음파, 마이크로웨이브 등)에 의해 달라질 수 있다.The diameter of the second rod 400 is 10 nm to 500 nm. In addition, the height of the second rod 400 is 10 nm to 10,000 nm. That is, the diameter of the second rod 400 is smaller than the diameter of the first rod 300. The diameter of the second rod 400 may vary depending on the temperature, concentration, pressure, and external energy (eg, ultrasonic wave, microwave, etc.) for growing the second rod 300.

상기 제 2의 막대(400)는 상기 제 1의 막대(300)에 대해 상방(윗쪽 방향)으로 연장되어 형성된다. 즉, 활성층(700)과의 접촉면적을 증가시킬 수 있도록 형성된다. 일반적으로, 저항은 물질의 비저항과 면적에 관계하는데, 비저항에 대해서는 비례관계이고, 면적에 대해서는 반비례관계에 있다. 따라서, 면적을 크게 하면 저항은 일반적으로 감소된다. 따라서, 상기 제 2의 막대(400)는 활성층(700)과의 접촉면적을 증가시키도록 형성되므로, 투명전극(600)과 활성층(700)간의 접촉저항을 감소시켜 광전변환 효율을 증대시킨다.The second rod 400 extends upwardly (upward) with respect to the first rod 300. That is, it is formed to increase the contact area with the active layer 700. In general, resistance is related to the resistivity and area of a material, which is proportional to the resistivity and inversely related to the area. Therefore, when the area is increased, the resistance is generally reduced. Therefore, since the second rod 400 is formed to increase the contact area with the active layer 700, the second rod 400 reduces the contact resistance between the transparent electrode 600 and the active layer 700 to increase the photoelectric conversion efficiency.

일 실시예에서, 상기 제 2의 막대(400)를 형성하는 물질은 징크 옥사이드이 다. 또한, 상기 징크 옥사이드는 갈륨, 알루미늄 또는 붕소가 도핑된 징크 옥사이드이다.In one embodiment, the material forming the second rod 400 is zinc oxide. In addition, the zinc oxide is zinc oxide doped with gallium, aluminum or boron.

일 실시예에서, 태양전지는 상기 버퍼층(200), 상기 제 1의 막대(300) 및 상기 제 2의 막대(400) 상에 전도성 물질이 코팅되어 형성되는 코팅층(500)을 더 포함한다. 상기 코팅층(500)은 투명전극의 전도도 향상을 위한 것이다. In one embodiment, the solar cell further includes a coating layer 500 formed by coating a conductive material on the buffer layer 200, the first rod 300, and the second rod 400. The coating layer 500 is for improving the conductivity of the transparent electrode.

일 실시예에서, 상기 전도성 물질은 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜)(PEDOT)계 전도성 고분자일 수 있다. 특히, 상기 PEDOT계 전도성 고분자로 코팅된 코팅층을 포함하는 것은 고분자 태양광 전지에서 유효하다.In one embodiment, the conductive material may be a poly (3,4-ethylenedioxythiophene) (PEDOT) -based conductive polymer. In particular, including the coating layer coated with the PEDOT-based conductive polymer is effective in the polymer solar cell.

상기에서 설명된 바와 같이, 일 실시예에서, 상기 버퍼층(200), 상기 제 1의 막대(300) 및 상기 제 2의 막대(400)는 동일한 물질로 구성될 수 있다. 상기 동일한 물질은 징크 옥사이드일 수 있다. 또한, 징크 옥사이드는 갈륨, 알루미늄 또는 붕소가 도핑된 징크 옥사이드일 수 있다. 따라서, 상기 버퍼층(200), 상기 제 1의 막대(300) 및 상기 제 2의 막대(400)가 동일한 물질로 구성될 경우에, 자외선, 가시광선, 적외선의 전 영역에 걸친 광흡수율을 높일 수 있다. As described above, in one embodiment, the buffer layer 200, the first rod 300 and the second rod 400 may be made of the same material. The same material may be zinc oxide. In addition, the zinc oxide may be zinc oxide doped with gallium, aluminum or boron. Therefore, when the buffer layer 200, the first rod 300, and the second rod 400 are made of the same material, light absorption of the ultraviolet, visible, and infrared rays may be increased. have.

태양광은 상기 기판(100)을 통하여, 실시예에 따른 태양전지에 입사된다. 상기 입사된 태양광은 투명전극(600)을 거쳐서, 활성층(700)에 흡수된다. 상기 활성층(700)은 입사된 광을 이용하여 전자 및 정공을 생성한다. 생성된 전자는 대향전극(800)으로 이동되고, 정공은 투명전극(600)으로 이동된다. Sunlight is incident on the solar cell according to the embodiment through the substrate 100. The incident sunlight is absorbed into the active layer 700 via the transparent electrode 600. The active layer 700 generates electrons and holes using incident light. The generated electrons are moved to the counter electrode 800, and holes are moved to the transparent electrode 600.

실시예에 따른 태양전지는 위와 같은 방식으로 전위차, 즉 전기에너지를 생성한다.The solar cell according to the embodiment generates a potential difference, that is, electrical energy in the above manner.

따라서, 실시예에 따른 태양전지는 투명전극(600)을 갖고, 상기 투명전극(600)은 제 1의 막대(300) 및 제 2의 막대(400)를 포함하는 막대가 적층된 구조를 갖기 때문에, 실시예에 따른 태양전지는 상기 투명전극(600)으로부터 상기 활성층(700)에 효율적으로 태양광을 입사시킨다. 또한, 상기 투명전극(600)과 활성층(700)간의 접촉저항이 감소되어 광전변환 효율을 증대시킨다. 또한, 상기 투명전극(600) 및 상기 활성층(700)의 계면에서의 태양광의 반사를 감소시킨다.Therefore, the solar cell according to the embodiment has a transparent electrode 600, the transparent electrode 600 has a structure in which the rod including the first rod 300 and the second rod 400 is stacked The solar cell according to the embodiment efficiently injects sunlight into the active layer 700 from the transparent electrode 600. In addition, the contact resistance between the transparent electrode 600 and the active layer 700 is reduced to increase the photoelectric conversion efficiency. In addition, the reflection of sunlight at the interface between the transparent electrode 600 and the active layer 700 is reduced.

따라서, 실시예에 따른 태양전지는 향상된 발전 효율을 가진다.Thus, the solar cell according to the embodiment has improved power generation efficiency.

도 2는 실시예에 따른 태양전지의 투명전극을 형성하는 막대 모양의 단면도 및 사시도를 나타낸다. 2 is a cross-sectional view and a perspective view of a rod-shaped forming a transparent electrode of the solar cell according to the embodiment.

도 2에서 나타낸 바와 같이, 태양전지의 투명전극을 형성하는 막대는 일정한 간격으로 다수개로 형성될 수 있다. 예를 들어, 징크 옥사이드(ZnO) 박막은 결정 성장시 에너지적으로 가장 불안정한 면이 수직면이기 때문에 일반적으로 수직축 우선 배향성을 유지하면서 성장하게 된다. 또한, 징크 옥사이드의 결정구조는 O 이온이 육방정계 자리에 위치하고, Zn 이온이 4면체 결정격자 사이의 자리에 위치한 육방정계 울자이트(hexagonal wurzite) 구조이다. Zn 원자로만 구성된 면이 상대적으로 양전하를 띄고, O 원자로만 이루어진 면이 상대적으로 음전하를 띄게 된다. 따라서, 상기 막대를 형성하는 물질이 징크 옥사이드라면, 상기 막대의 모양은 육각기둥일 수 있다.As shown in FIG. 2, the rods forming the transparent electrodes of the solar cell may be formed in plural at regular intervals. For example, a zinc oxide (ZnO) thin film is generally grown while maintaining the vertical axis preferential orientation because the most energy-stable surface is vertical. In addition, the crystal structure of zinc oxide is a hexagonal wurzite structure in which O ions are located at hexagonal sites and Zn ions are located at positions between tetrahedral crystal lattice. A surface composed only of Zn atoms is relatively positively charged, and a surface composed only of O atoms is relatively negatively charged. Therefore, if the material forming the rod is zinc oxide, the shape of the rod may be a hexagonal pillar.

도 3은 실시예에 따른 태양전지의 투명전극을 형성하는 제 1의 막대 및 제 2의 막대를 나타낸다.3 illustrates a first bar and a second bar forming a transparent electrode of the solar cell according to the embodiment.

도 3에서 나타낸 바와 같이, 상기 제 2의 막대는 상기 제 1의 막대 상에 동일한 방향으로 형성된다. 즉 제 1의 막대 상에 상기 제 2의 막대가 적층된 구조로 형성된다. 상기 제 1의 막대 및 제 2의 막대는 다수개로 형성될 수 있다. 또한, 상기에서 살펴본 바와 같이, 상기 막대를 형성하는 물질이 징크 옥사이드라면, 상기 막대의 모양은 육각기둥일 수 있다.As shown in FIG. 3, the second rod is formed in the same direction on the first rod. That is, the second rod is formed on the first rod in a stacked structure. The first rod and the second rod may be formed in plural. In addition, as described above, if the material forming the rod is zinc oxide, the shape of the rod may be a hexagonal pillar.

이하에서는 실시예에 따른 태양전지의 제조방법을 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing a solar cell according to an embodiment will be described.

도 4 내지 도 8은 실시예에 따른 태양전지의 제조방법을 도시한 도면들이다.4 to 8 are views illustrating a method of manufacturing a solar cell according to the embodiment.

도 4를 참조하면, 기판(100) 상에 버퍼층(200)이 형성된다. 상기 버퍼층(200)은 화학 기상 증착(chemical vapor deposition;CVD) 공정 또는 스퍼터링(sputtering) 공정을 포함하는 물리 기상 증착(physical vapor deposition;PVD) 공정 등에 의해 형성될 수 있다. 상기 버퍼층(200)은 이외에도 박막을 증착하는 다른 여러 공정 등에 의해서 형성될 수 있다.Referring to FIG. 4, a buffer layer 200 is formed on a substrate 100. The buffer layer 200 may be formed by a physical vapor deposition (PVD) process including a chemical vapor deposition (CVD) process or a sputtering process. The buffer layer 200 may be formed in addition to other processes for depositing a thin film.

상기 버퍼층(200)은 약 50 ℃ 내지 400 ℃에서 형성될 수 있다. 더 상세하게, 상기 버퍼층(200)은 약 150 ℃ 내지 250 ℃에서 형성될 수 있다.The buffer layer 200 may be formed at about 50 ℃ to 400 ℃. More specifically, the buffer layer 200 may be formed at about 150 ℃ to 250 ℃.

상기 버퍼층(200)의 굴절율은 약 1.4 내지 3.0일 수 있다.The refractive index of the buffer layer 200 may be about 1.4 to 3.0.

상기 버퍼층(200)의 두께는 약 5,000 Å 내지 10,000 Å일 수 있다.The buffer layer 200 may have a thickness of about 5,000 kPa to 10,000 kPa.

도 5를 참조하면, 상기 버퍼층(200) 상에 제 1의 막대(300)가 형성된다. 상기 제 1의 막대(300)를 형성하기 위해, 상기 제 1의 막대(300)를 형성하기 위한 물질(예를 들어, 징크 니트레이트(Zinc nitrate))을 포함하는 용액을 준비한다. 상기 용액의 농도는 0.001 M 내지 0.9 M 일 수 있다. 상기 제 1의 막대(300)를 형성하기 위한 물질을 포함하는 용액에 상기 기판(100) 및 상기 버퍼층(200)을 담그고, 약 70 ℃ 내지 150 ℃로 유지한다. Referring to FIG. 5, a first rod 300 is formed on the buffer layer 200. In order to form the first rod 300, a solution including a material (eg, zinc nitrate) for forming the first rod 300 is prepared. The concentration of the solution may be 0.001 M to 0.9 M. The substrate 100 and the buffer layer 200 are immersed in a solution containing a material for forming the first rod 300 and maintained at about 70 ° C to 150 ° C.

이에 의해 형성된 상기 제 1의 막대(300)의 직경은 1 ㎛ 내지 20 ㎛이다. 또한, 상기 제 1의 막대(300)의 높이는 0.01 ㎛ 내지 10 ㎛이다. 상기 제 1의 막대(300)의 굴절율은 약 1.4 내지 3.0이다.The diameter of the first rod 300 formed thereby is 1 μm to 20 μm. In addition, the height of the first rod 300 is 0.01 μm to 10 μm. The refractive index of the first rod 300 is about 1.4 to 3.0.

도 6을 참조하면, 상기 제 1의 막대(300) 상에 제 2의 막대(400)가 형성된다. 상기 제 2의 막대(400)를 형성하기 위해, 상기 제 2의 막대(400)를 형성하기 위한 물질(예를 들어, 징크 니트레이트(Zinc nitrate))을 포함하는 용액을 준비한다. 상기 용액의 농도는 0.01 M 내지 0.9 M 일 수 있다. 상기 제 2의 막대(400)를 형성하기 위한 물질을 포함하는 용액에 상기 기판(100), 상기 버퍼층(200) 및 상기 제 1의 막대(300)를 담그고, 약 70 ℃ 내지 150 ℃로 유지한다. Referring to FIG. 6, a second rod 400 is formed on the first rod 300. In order to form the second rod 400, a solution including a material (eg, zinc nitrate) for forming the second rod 400 is prepared. The concentration of the solution may be 0.01 M to 0.9 M. The substrate 100, the buffer layer 200, and the first rod 300 are immersed in a solution containing a material for forming the second rod 400 and maintained at about 70 ° C. to 150 ° C. .

이에 의해 형성된 상기 제 2의 막대(400)의 직경은 10 nm내지 500 nm이다. 또한, 상기 제 2의 막대(400)의 높이는 10 nm 내지 10,000 nm다. 상기 제 2의 막대(400)의 굴절율은 약 1.4 내지 3.0일 수 있다.The diameter of the second rod 400 formed thereby is between 10 nm and 500 nm. In addition, the height of the second rod 400 is 10 nm to 10,000 nm. The refractive index of the second rod 400 may be about 1.4 to 3.0.

상기에서 살펴본 바와 같은, 상기 제 1의 막대 및 상기 제 2의 막대를 제조하는 방법 이외에도 시드(seed) 물질로 패턴된 기판을 적용하여 상기 제 1의 막대 및 상기 제 2의 막대를 제조할 수 있다. 그리고, 상기 제 1의 막대들 및 상기 제 2의 막대들의 직경은 수열합성에서의 성장조건(예를 들어, 온도, 농도, 압력 및 외부에너지 등)에 의해 조절될 수 있다.As described above, in addition to the method of manufacturing the first rod and the second rod, a substrate patterned with a seed material may be applied to manufacture the first rod and the second rod. . In addition, the diameters of the first rods and the second rods may be controlled by growth conditions (eg, temperature, concentration, pressure, external energy, etc.) in hydrothermal synthesis.

도 7을 참조하면, 상기 버퍼층(200), 상기 제 1의 막대(300) 및 상기 제 2의 막대(400) 상에 코팅층(500)이 형성된다.Referring to FIG. 7, a coating layer 500 is formed on the buffer layer 200, the first rod 300, and the second rod 400.

상기 코팅층(500)은 투명전극(600)의 전도도 향상을 위한 것이다. 상기 코팅층(500)은 화학 기상 증착(chemical vapor deposition;CVD) 공정 또는 스퍼터링(sputtering) 공정을 포함하는 물리 기상 증착(physical vapor deposition;PVD) 공정 등에 의해 형성될 수 있다.The coating layer 500 is for improving conductivity of the transparent electrode 600. The coating layer 500 may be formed by a physical vapor deposition (PVD) process including a chemical vapor deposition (CVD) process or a sputtering process.

도 8을 참조하면, 상기 코팅층(500) 상에 활성층(600)이 형성된다. 상기 활성층(600)은 화학 기상 증착 공정 및 물리 기상 증착 공정에 의해 형성될 수 있다. 상기 활성층(700)은 입사된 광을 이용하여 전자 및 정공을 생성한다. 생성된 전자는 대향전극(800)으로 이동되고, 정공은 투명전극(600)으로 이동된다.Referring to FIG. 8, an active layer 600 is formed on the coating layer 500. The active layer 600 may be formed by a chemical vapor deposition process and a physical vapor deposition process. The active layer 700 generates electrons and holes using incident light. The generated electrons are moved to the counter electrode 800, and holes are moved to the transparent electrode 600.

또한, 상기 활성층(600)이 형성된 후에, 상기 활성층(600) 상에 대향전극(700)이 형성된다. 상기 대향전극(700)은 은(Ag) 또는 알루미늄(Al) 타겟을 사용하여 스퍼터링 공정에 의해서 형성될 수 있다.In addition, after the active layer 600 is formed, the counter electrode 700 is formed on the active layer 600. The counter electrode 700 may be formed by a sputtering process using a silver (Ag) or aluminum (Al) target.

이와는 다르게, 상기 대향전극(700)을 형성하기 위해서, 전극 페이스트가 도포되고, 소결 공정을 거칠 수 있다.Alternatively, in order to form the counter electrode 700, an electrode paste may be applied and subjected to a sintering process.

따라서, 실시예에 따른 태양전지는 향상된 발전 효율을 갖고, 태양전지의 제조방법은 향상된 광흡수율 및 광전변환 효율을 갖는 태양전지를 제공할 수 있다.Therefore, the solar cell according to the embodiment has an improved power generation efficiency, the manufacturing method of the solar cell can provide a solar cell having an improved light absorption and photoelectric conversion efficiency.

본 실시예에서 설명한 태양전지는 CIGS계 태양전지, 실리콘 계열 태양전지, 염료감응 계열 태양전지, Ⅱ-Ⅵ족 화합물 반도체 태양전지 또는 Ⅲ-Ⅴ족 화합물 반도체 태양전지 등 다양한 태양전지에 적용될 수 있다.The solar cell described in the present embodiment may be applied to various solar cells such as CIGS-based solar cells, silicon-based solar cells, dye-sensitized solar cells, II-VI compound semiconductor solar cells, or III-V compound semiconductor solar cells.

이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나, 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 평균적 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고, 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although described above with reference to the embodiment, this is only an example and not to limit the invention, those of ordinary skill in the art that the present invention is not illustrated in the above range without departing from the essential characteristics of the embodiment. It will be appreciated that many variations and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiment can be modified. And differences related to such modifications and applications should be construed as being included in the scope of the invention defined in the appended claims.

도 1은 일 실시예에 따른 태양전지의 단면을 나타낸다.1 is a cross-sectional view of a solar cell according to an embodiment.

도 2는 일 실시예에 따른 태양전지의 투명전극을 형성하는 막대 모양의 단면도 및 사시도를 나타낸다.2 is a cross-sectional view and a perspective view of a rod-shaped forming a transparent electrode of a solar cell according to an embodiment.

도 3은 일 실시예에 따른 태양전지의 투명전극을 형성하는 제 1의 막대 및 제 2의 막대를 나타낸다.3 illustrates a first bar and a second bar forming a transparent electrode of a solar cell according to an embodiment.

도 4 내지 도 8은 일 실시예에 따른 태양전지를 제조하는 방법의 단면을 도시한 도면이다.4 to 8 are cross-sectional views of a method of manufacturing a solar cell according to one embodiment.

Claims (10)

기판;Board; 상기 기판 상에 배치되는 투명전극;A transparent electrode disposed on the substrate; 상기 투명전극 상에 배치되는 활성층; 및An active layer disposed on the transparent electrode; And 상기 활성층 상에 배치되는 대향전극을 포함하고,A counter electrode disposed on the active layer, 상기 투명전극은 버퍼층; 상기 버퍼층 상에 배치되는 제 1의 막대; 및 상기 제 1의 막대 상에 배치되는 제 2의 막대를 포함하는 태양전지.The transparent electrode is a buffer layer; A first rod disposed on the buffer layer; And a second rod disposed on the first rod. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 투명 전극은 상기 버퍼층, 상기 제 1의 막대 및 상기 제 2의 막대 상에 전도성 물질이 코팅되어 형성되는 코팅층을 더 포함하는 태양전지.The transparent electrode further comprises a coating layer formed by coating a conductive material on the buffer layer, the first rod and the second rod. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 전도성 물질은 PEDOT계 고분자인 태양전지.The conductive material is a PEDOT-based polymer solar cell. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 버퍼층, 상기 제 1의 막대 및 상기 제 2의 막대는 동일한 물질로 형성되는 태양전지.The buffer layer, the first rod and the second rod is formed of the same material solar cell. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 동일한 물질은 징크 옥사이드인 태양전지.The same material is a zinc oxide solar cell. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 징크 옥사이드는 갈륨, 알루미늄 또는 붕소가 도핑된 태양전지.The zinc oxide is a solar cell doped with gallium, aluminum or boron. 기판 상에 투명전극을 형성하는 단계;Forming a transparent electrode on the substrate; 상기 투명전극 상에 활성층을 형성하는 단계; 및Forming an active layer on the transparent electrode; And 상기 활성층 상에 대향전극을 형성하는 단계를 포함하고,Forming a counter electrode on the active layer; 상기 투명전극을 형성하는 단계는 상기 기판 상에 버퍼층을 형성하는 단계; 상기 버퍼층 상에 제 1의 막대를 형성하는 단계; 및 상기 제 1의 막대 상에 제 2의 막대를 형성하는 단계를 포함하는 태양전지의 제조방법.The forming of the transparent electrode may include forming a buffer layer on the substrate; Forming a first rod on the buffer layer; And forming a second rod on the first rod. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 투명전극을 형성하는 단계는, 상기 제 1의 막대를 형성하기 위한 물질을 포함하는 용액에 상기 기판 및 상기 버퍼층을 담그는 단계를 포함하는 태양전지의 제조방법.The forming of the transparent electrode may include immersing the substrate and the buffer layer in a solution containing a material for forming the first rod. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 투명전극을 형성하는 단계는, 상기 버퍼층, 상기 제 1의 막대 및 상기 제 2의 막대 상에 전도성 물질을 코팅하여 코팅층을 형성하는 단계를 더 포함하는 태양전지의 제조방법.The forming of the transparent electrode may further include forming a coating layer by coating a conductive material on the buffer layer, the first rod, and the second rod. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 버퍼층, 상기 제 1의 막대 및 상기 제 2의 막대를 형성하는 단계는 연속적인 공정으로 동시에 형성하는 태양전지의 제조방법.Forming the buffer layer, the first rod and the second rod is a method of manufacturing a solar cell simultaneously formed in a continuous process.
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