KR20110011099A - 고속측정이 가능한 융합현미경 - Google Patents

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박기환
정종규
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광주과학기술원
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Abstract

본 발명은 고속측정이 가능한 융합현미경에 관한 것으로서, 시료가 고정되고, 평면상으로 이동가능한 XY스캐너; 상기 시료의 전체이미지를 획득하는 공초점 현미경 모듈; 상기 시료의 정밀이미지를 획득하는 원자현미경 모듈; 상기 공초점 현미경 모듈과 원자현미경 모듈로 받은 광신호를 입력 받아 XY좌표로 연산하고, 상기 광신호를 바탕으로 상기 XY스캐너를 조정하는 컨트롤러; 상기 컨트롤러로부터 신호를 받아 이미지를 출력하는 디스플레이부를 포함하여, 측정속도가 빠른 공초점 현미경 모듈로 고속 2차원 이미지를 획득하고, 관심부위로 원자현미경 모듈을 이동시켜 관심부위만 3차원 정밀이미지를 획득하게 함으로써, 종래에 원자현미경만 사용하여 측정하는 것보다 수 백배 정도의 속도향상을 기대할 수 있고, 측정속도가 향상되더라도 관심부위의 3차원 정밀이미지 획득에는 전혀 문제가 없게 된다.
원자현미경, 공초점현미경, 융합현미경

Description

고속측정이 가능한 융합현미경{Fusion microscope for rapid measurement}
본 발명은 현미경에 관한 것으로서, 좀더 상세하게는 원자현미경 모듈과 공초점 현미경 모듈을 서로 좌표 연동시키면서 융합하여 고속 정밀의 3차원 이미지를 얻을 수 있는 고속측정이 가능한 융합현미경에 관한 것이다.
일반적으로, 나노기술(NT)은 원자나 분자 크기의 극미세 세계에서 물질의 구조와 특성을 규명하고 이를 조작·제어하는 기술로서, IT 또는 BT와 더불어 21C의 핵심기술로 주목 받고 있다.
불과 얼마 전까지만 해도 원자나 분자 단위의 나노(nano)세계는 너무나 미세하여 아무리 좋은 현미경으로도 볼 수 없는 미지의 영역이었다. 이러한 나노세계를 열 수 있는 열쇠가 물질의 표면 특성을 원자 단위까지 측정할 수 있는 새로운 개념의 원자 현미경이다.
이러한 원자 현미경은 주로 연구용과 산업용 분석 또는 측정기기로 사용되고 있으며, 연마된 광학렌즈나 증착막의 두께 정밀도 측정에서부터 천연광석의 표면 분석에 이르기까지 종래보다 더 작은 단위로 측정하려는 여러 다양한 분야에 활용되고 있다. 특히, 산업용으로는 반도체의 표면 계측, defect 분석, 컴팩트 디스크, 자기 디스크 등에 쓰인 비트(bit)의 모양새 조사 등에 쓰이고 있으며, 최근 괄목할만한 성장을 보이고 있는 평판표시장치(Flat Panel Display)의 제조공정 분석장비로도 활용되고 있다.
그로 인해, 원자 현미경은 제1세대인 광학 현미경, 제2세대인 전자 현미경 다음의 제3세대 현미경으로 자리 잡아가고 있는 실정이다. 원자 현미경의 효시는 STM(Scanning Tunneling Microscope)이며, 가장 널리 사용되고 있는 원자 현미경은 원자간력 현미경이라고 불리는 AFM(Atomic Force Microscope)이다.
공초점현미경은 점상 광원에 의하여 관찰시료(이하 시료라 부른다)의 표면을 점상으로 조명하고, 이 조명된 시료표면으로부터의 투과광 또는 반사광을 다시 점상으로 집광하여 핀홀개구를 갖는 검출기에 결상시키고, 이 검출기에 의해 결상의 휘도정보를 얻는다는 공초점작용을 이용한 현미경이다.
다만, 원자현미경은 나노 수준으로 정밀 3차원 측정이 가능한 장점이 있지만, 그 측정속도가 광학현미경의 수 천분의 일 수준으로 현저히 낮아서 측정시간이 오래 걸리는 단점이 있다.
또한, 공초점현미경은 측정속도는 빠르지만, 나노 수준의 정밀한 이미지를 얻을 수 없고, 2차원 이미지만 얻을 수 있는 문제점이 있다.
상기한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 공초점 현미경 모듈을 사용하여 시료 전체의 개략적인 2차원 이미지와 좌표를 획득하고, 원자현미경 모듈을 사용하여 관심부위만 3차원 나노미터 스케일 이미지를 획득하여 측정시간을 현저히 단축할 수 있는 융합현미경을 제공하는 것이다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 고속측정이 가능한 융합현미경은 시료가 고정되고, 평면상으로 이동가능한 XY스캐너; 상기 시료의 전체이미지를 획득하는 공초점 현미경 모듈; 상기 시료의 정밀이미지를 획득하는 원자현미경 모듈; 상기 공초점 현미경 모듈로 받은 2D 이미지로부터 특정 관심부위의 XY좌표를 연산하여 상기 원자현미경 모듈을 상기 특정관심부위로 이동시키는 컨트롤러; 및 상기 특정관심부위로 이동된 원자현미경 모듈로부터 신호를 받아 이미지를 출력하는 디스플레이부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 공초점 현미경 모듈과 원자현미경 모듈은 회전용 터렛에 연결되어 서로 교체될 수 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 융합현미경을 사용하는 방법은 융합현미경을 사용하는 방법에 있어서,공초점 현미경 모듈을 사용하여 시료의 전체적 이미지를 획득하고, 특정관심부위의 위치를 XY좌표로 연산하는 단계; 상기 공초점 현미경 모듈을 원자현미경 모듈로 교 체하는 단계; 상기 원자현미경 모듈의 측정원점과 상기 공초점 현미경의 모듈의 측정원점의 일치여부를 판단하는 단계; 상기 원자현미경 모듈과 공초점 현미경 모듈의 측정원점이 일치되는 경우 원자현미경 모듈이 시료의 관심부위를 관찰할 수 있도록 XY스캐너를 이동시키는 단계; 및 시료의 관심부위를 원자현미경 모듈을 사용하여 3차원의 나노미터 스케일의 이미지를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 원자현미경 모듈과 공초점 현미경 모듈의 측정원점이 일치되지 않는 경우, 상기 원자현미경 모듈과 공초점 현미경 모듈의 측정원점의 불일치에 대한 XY좌표보정 값을 연산하는 단계; 상기 XY좌표보정 값을 바탕으로 원자현미경 모듈이 시료의 관심부위를 관찰할 수 있도록 XY스캐너를 이동시키는 단계; 및 시료의 관심부위를 원자현미경 모듈을 사용하여 이미지를 획득하는 단계를 포함할 수 있다.
측정 속도는 빠르지만, 해상도가 원자현미경에 비해 현저히 낮아 정밀 측정이 불가능하고, 2차원 이미지만을 제공하는 공초점 현미경과, 나노 스케일 단위로 정밀 측정이 가능하고, 3차원 이미지를 획득할 수 있지만, 측정속도가 현저히 느린 원자현미경을 단순히 융합시킨 것이 아니고 XY좌표를 연동시켜서 융합하여 측정속도가 빠른 공초점 현미경 모듈로 고속 2차원 이미지를 획득하고, 관심부위로 원자현미경 모듈을 이동시켜 관심부위만 3차원 정밀이미지를 획득하게 함으로써, 종래 에 원자현미경만 사용하여 측정하는 것보다 수 백배 정도의 속도향상을 기대할 수 있고, 측정속도가 향상되더라도 관심부위의 3차원 정밀이미지 획득에는 전혀 문제가 없게 된다.
또한, 검사 및 측정시간의 단축이 가능하여 LCD 검사 공정을 비롯하여 웨이퍼 검사 공정 등 다양한 응용분야에서 새로운 기술개발의 가속화 및 생산성을 향상 시킬 것으로 예상된다.
또한 나노 재료 생체 시료, 단분자, 나노 바이오 복합체 연구 등 초 고해상도 광학 현미경 기술과, 3차원 나노 형상 분석 기술이 동시에 필요한 응용 범위에 활용되었을 경우 막대한 파급효과가 기대된다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 고속측정이 가능한 융합현미경을 도시한 개략적인 구성도이고, 도 2는 본 발명의 융합현미경의 사용방법의 흐름도이며, 도 3 은 원자현미경 모듈과 공초점 현미경 모듈의 측정원점의 불일치에 대한 XY좌표를 보정하는 방법을 도시한 개략도이고, 도 4는 본 발명의 고속측정이 가능한 융합현미경을 사용하여 획득한 이미지를 나타내는 평면도이다.
도 1을 참조하여 설명하면, 본 발명의 고속측정이 가능한 융합현미경은, XY스캐너(100), 공초점 현미경 모듈(200), 원자현미경 모듈(300), 컨트롤러(400) 및 디스플레이부(500)를 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 XY스캐너(100)는 시료(10)가 고정되고, 평면상(XY방향)으로 이동가능하다.
그리고, XY스캐너(100)는 필요에 따라 다양한 종류의 것을 선택적으로 사용할 수 있다. 이러한 XY스캐너(100)의 x,y방향 주사범위는 대체로 100×100㎛ 정도이다.
즉, XY스캐너(100)는 시료를 이동시켜 시료 전체를 스캐닝할 수 있게 하고, 현미경 모듈을 원하는 위치로 이동시켜준다.
상기 공초점 현미경 모듈(200)은 상기 시료(10)의 이미지를 획득하는 장치이다. 즉 시료의 전체이미지를 신속하게 획득한다.
일반적으로 공초점 현미경 모듈은 점상 광원에 의하여 시료의 표면을 점상으로 조명하고, 이 조명된 시료표면으로부터의 투과광 또는 반사광을 다시 점상으로 집광하여 핀홀개구를 갖는 검출기에 결상시키고, 이 검출기에 의해 결상의 휘도정보를 얻는다는 공초점작용을 이용한 현미경이다.
그리고, 상기 공초점 현미경 모듈(200)은 다양한 방식이 사용될 수 있으나, 본 실시예에서는 다음과 같은 방식으로 구성될 수 있다.
광원(250)으로부터 출사된 점상 광은 하프밀러(220)를 통과한 후 수차가 보정된 대물렌즈(210)에 의하여 시료(10)의 표면에 점상결상된다.
또한, 상기 광원(250)은 레이저(laser)를 비롯한 여러 종류의 것을 적용할 수 있다.
그리고 이 점상 조명의 시료(10)에 의한 반사광은 다시 대물렌즈(210)를 통과한 후 하프밀러(220)에서 반사되어 집광한다. 이 집광위치에는 핀홀(240)이 배치되어 있으며, 이 핀홀(240)을 통과한 상기 반사광은 제1광검출기(230)에 의하여 검출된다.
이와 같은 점상 조명을 래스터주사함으로써 시료(10)표면의 측정영역 전체에 걸쳐서 2차원주사를 실시하고, 그 반사광의 제1광검출기(230)에 의한 검출신호를 컨트롤러(400)를 통해 디스플레이부(500)로 보내 화상표시함으로써 시료(10)표면의 2차원화상을 얻을 수 있게 구성된다.
또한, 상기 2차원주사는 XY스캐너(100) 또는 갈바노스캐너(미도시)에 의해 이루어 질 수 있다.
따라서, 공초점 현미경 모듈(200)을 사용하여 시료 전체에 대한 2차원이미지를 빠르게 획득할 수 있다.
상기 원자현미경 모듈(300)은 상기 시료(10)의 이미지를 획득하는 장치이다. 즉, 시료(10)의 국소 부위의 3차원 이미지를 획득하는 장치이다.
상기 원자현미경 모듈(300)의 작동 방식에는 제한이 없고, STM(Scanning Tunneling Microscope)방식과 원자간력 현미경이라고 불리는 AFM(Atomic Force Microscope)방식 등이 사용될 수 있다.
본 실시예에서는 원자현미경 모듈(300)의 구성은 다음과 같이 이루어질 수 있다.
Z방향(상항방향)으로 움직일 수 있는 Z스캐너(310)와, 상기 Z스캐너(310)에 일단부가 연결된 캔틸레버(cantilever)(320)와, 상기 캔틸레버(320)일단부에 시료방향으로 연결된 탐침(probe)(330)과, 상기 캔틸레버(320)의 상단에 광을 조사하는 광원(340)과, 상기 캔틸레버(320)에서 반사되는 광을 검출하는 제2광검출기(350)를 포함하여 이루어질 수 있다.
상기 Z스캐너(310)는 캔틸레버(320)를 지지한다.
상기 캔틸레버(320)) 및 탐침(330)은 시료(10)의 표면에 적용되는 힘이나 궁극적인 AFM의 수평분해능(lateral resolution)을 결정하기 때문에 AFM의 가장 중요한 요소 중의 하나이다. 캔틸레버(320)는 마이크로머시닝으로 정밀하게 제작되며, 그 길이가 100㎛, 폭 10㎛, 두께 1㎛로서 아주 작아 미세한 힘에 의해서도 상하로 쉽게 휘어지도록 만들었다.
그리고 캔틸레버(320)의 단부에 부착되어 있는 탐침(330)의 끝은 원자 몇 개 정도의 크기로 매우 첨예하며, 이러한 탐침(330)을 시료(10) 표면에 접근시키면 탐침(330) 끝의 원자와 시료(10)) 표면의 원자 사이의 간격에 따라 서로 당기는 힘(인력) 또는 서로 미는 힘(척력)이 작용한다. 캔틸레버(320) 및 탐침(330)은 광식 각(Photolithography) 기술을 이용하여 실리콘(silicone)이나 실리콘 질화물(silicone nitride) 등으로 만들어진다.
특히, V모양의 캔틸레버(320)가 수직방향의 변화에 대해서 물리적인 힘을 적게 받으므로 가장 널리 이용된다.
상기 광원(340)은 레이저(laser)를 비롯한 여러 종류의 것을 적용할 수 있으며, 광원(340)으로부터 방출되는 광은 캔틸레버(320)에 의해 반사되며, 캔틸레버(320)에 의해 반사된 광은 제2광검출기(350)를 통해 검출된다. 제2광검출기(350)는 2차원 광다이오드(photodiode)로 구성된다. 이 경우, 광원(340)으로부터 발출되는 광의 경로는 캔틸레버(320)에 발생된 응력의 양 또는 캔틸레버(320)의 변형 정도에 의해 결정되며, 따라서 제2광검출기(350)는 캔틸레버(320)의 응력의 양 내지 변형 정도를 검출할 수 있다.
상기 광원(340)은 컨트롤러(400)로부터 인가되는 신호에 따라 구동하고, 제2광검출기(350)로부터 출력되는 광신호는 컨트롤러(400)로 입력되며, 컨트롤러(400)는 디스플레이부(500)를 통하여 시료(10)의 표면 형상을 디스플레이하게 된다.
이상에서 설명한 원자 현미경모듈(300)의 작동상태를 간단히 살펴보면 하기와 같다.
먼저, 캔틸레버(320) 단부에 부착된 탐침(330)을 시료(10)의 표면에 근접시키면 탐침(330) 끝의 원자와 시료(10) 표면의 원자들 사이에 상호 작용력이 생긴다. 이 상호 작용력은 반데르발스의 힘(Van Der Waals Force)이며, 그 크기는 nN(nano Newton)이하로 미약하나 이렇게 미약한 힘에 의해서도 캔틸레버(320)의 변 위 또는 공명진동수가 변화하며 캔틸레버(320)의 휘는 정도나 공명진동수 변화는 광원(340) 및 제2광검출기(350)로 측정된다.
이렇게 감지된 원자 사이의 힘이 일정하게 유지되도록 피드백(feedback) 제어를 하면서 XY스캐너(100)를 x-y 방향으로 움직이면 탐침(330)은 시료(10) 표면의 높낮이를 따라 움직이게 되며, 이 때 기록된 각 위치의 높낮이가 바로 시료(10)의 형상을 나타내는 3차원 영상이 된다.
상기 공초점 현미경 모듈(200)과 원자현미경 모듈(300)은 회전용 터렛(미도시)에 연결되어 서로 교체될 수도 있다.
상기 컨트롤러(400)는 상기 공초점 현미경 모듈(200)과 원자현미경 모듈(300)로 받은 광신호를 입력 받아 XY좌표로 연산하고, 상기 광신호를 바탕으로 상기 XY스캐너(100)를 조정한다.
다시 설명하면 컨트롤러(400)는 공초점 현미경 모듈(200)에 의하여 측정된 2차원 이미지를 바탕으로 XY좌표를 연산하게 되고, 2차원 이미지를 디스플레이부(500)로 전달한다.
또한, 컨트롤러(400)는 원자현미경 모듈(300)로 교체하여 시료(10)를 측정할 때, 공초점 현미경 모듈(200)과 원자현미경 모듈(300)의 측정원점이 일치하지 않는 경우 도 3에서 도시하는 바와 같이 상기에서 측정한 XY좌표에 의해 측정원점 불일치에 대한 좌표보정 값을 연산하고, 상기 보정 값을 바탕으로 하여 공초점 현미경 모듈(200)에서 관측한 관심 부위로 XY스캐너(100)를 이동시켜 원자현미경 모듈(300)을 사용하여 3차원 정밀이미지를 획득하게 한다.
상기 디스플레이부(500)는 상기 컨트롤러(400)로부터 신호를 받아 이미지를 출력한다.
따라서, 측정 속도는 빠르지만, 해상도가 원자현미경에 비해 현저히 맞아 정밀 측정이 불가능하고, 2차원 이미지만을 제공하는 공초점 현미경과, 나노 스케일 단위로 정밀 측정이 가능하고, 3차원 이미지를 획득할 수 있지만, 측정속도가 현저히 느린 원자현미경을 단순히 융합시킨 것이 아니고 XY좌표를 연동시켜서 융합하여 측정속도가 빠른 공초점 현미경 모듈로 고속 2차원 이미지를 획득하고, 관심부위로 원자현미경 모듈을 이동시켜 관심부위만 3차원 정밀이미지를 획득하게 함으로써, 종래에 원자현미경만 사용하여 측정하는 것보다 수 백배 정도의 속도향상을 기대할 수 있고, 측정속도가 향상되더라도 관심부위의 3차원 정밀이미지 획득에는 전혀 문제가 없게 된다.
또한, 검사 및 측정시간의 단축이 가능하여 LCD 검사 공정을 비롯하여 웨이퍼 검사 공정 등 다양한 응용분야에서 새로운 기술개발의 가속화 및 생산성을 향상 시킬 것으로 예상된다.
또한 나노 재료 생체 시료, 단분자, 나노 바이오 복합체 연구 등 초 고해상도 광학 현미경 기술과, 3차원 나노 형상 분석 기술이 동시에 필요한 응용 범위에 활용되었을 경우 막대한 파급효과가 기대된다.
또한, 본 발명의 융합현미경의 사용방법은, 융합현미경을 사용하는 방법에 있어서, 공초점 현미경 모듈(200)을 사용하여 시료의 이미지를 획득하고, XY좌표로 연산하는 단계; 상기 공초점 현미경 모듈(200)을 원자현미경 모듈(300)로 교체하는 단계; 상기 원자현미경 모듈(300)의 측정원점과 상기 공초점 현미경의 모듈(200)의 측정원점의 일치여부를 판단하는 단계; 상기 원자현미경 모듈(300)과 공초점 현미경 모듈(200)의 측정원점이 일치되는 경우 원자현미경 모듈(300)이 시료의 관심부위를 관찰할 수 있도록 XY스캐너(100)를 이동시키는 단계; 및 시료의 관심부위를 원자현미경 모듈(300)을 사용하여 이미지를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
도 2에서 상기 융합현미경 사용방법의 흐름도가 도시되어 있다.
또한, 상기 융합현미경 사용방법은, 상기 원자현미경 모듈(300)과 공초점 현미경 모듈(200)의 측정원점이 일치되지 않는 경우, 상기 원자현미경 모듈(300)과 공초점 현미경 모듈(200)의 측정원점의 불일치에 대한 XY좌표보정 값을 연산하는 단계; 상기 XY좌표보정 값을 바탕으로 원자현미경 모듈(300)이 시료의 관심부위를 관찰할 수 있도록 XY스캐너(100)를 이동시키는 단계; 및 시료의 관심부위를 원자현미경 모듈(300)을 사용하여 3차원의 나노미터 스케일의 이미지를 획득하는 단계를 포함할 수 있다.
이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형 또는 변경하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 고속측정이 가능한 융합현미경을 도시한 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명의 융합현미경의 사용방법의 흐름도이다.
도 3은 원자현미경 모듈과 공초점 현미경 모듈의 측정원점의 불일치에 대한 XY좌표를 보정하는 방법을 도시한 개략도이다.
도 4는 본 발명의 고속측정이 가능한 융합현미경을 사용하여 획득한 이미지를 나타내는 평면도이다.
<주요 도면 부호의 설명>
10: 시료 100: XY스캐너
200: 공초점 현미경 모듈 210: 대물렌즈
220: 하프밀러 230: 제1광검출기
240: 핀홀 250,340: 광원
300: 원자현미경 모듈 310: Z스캐너
320: 캔틸레버 330: 탐침
350: 제2광검출기 400: 컨트롤러
500: 디스플레이부

Claims (4)

  1. 시료가 고정되고, 평면상으로 이동가능한 XY스캐너;
    상기 시료의 전체이미지를 획득하는 공초점 현미경 모듈;
    상기 시료의 정밀이미지를 획득하는 원자현미경 모듈;
    상기 공초점 현미경 모듈로 받은 2D 이미지로부터 특정 관심부위의 XY좌표를 연산하여 상기 원자현미경 모듈을 상기 특정관심부위로 이동시키는 컨트롤러; 및
    상기 특정관심부위로 이동된 원자현미경 모듈로부터 신호를 받아 이미지를 출력하는 디스플레이부를 포함하는 나노미터 스케일 이미지의 고속측정이 가능한 융합현미경.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 공초점 현미경 모듈과 원자현미경 모듈은 회전용 터렛에 연결되어 서로 교체될 수 있는 것을 특징으로 하는 고속측정이 가능한 융합현미경.
  3. 제 1 항의 융합현미경을 사용하는 방법에 있어서,
    공초점 현미경 모듈을 사용하여 시료의 전체적 이미지를 획득하고, 특정관심부위의 위치를 XY좌표로 연산하는 단계;
    상기 공초점 현미경 모듈을 원자현미경 모듈로 교체하는 단계; 상기 원자현미경 모듈의 측정원점과 상기 공초점 현미경의 모듈의 측정원점의 일치여부를 판단하는 단계;
    상기 원자현미경 모듈과 공초점 현미경 모듈의 측정원점이 일치되는 경우 원자현미경 모듈이 시료의 관심부위를 관찰할 수 있도록 XY스캐너를 이동시키는 단계; 및
    시료의 관심부위를 원자현미경 모듈을 사용하여 3차원의 나노미터 스케일의 이미지를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 융합현미경의 사용방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 원자현미경 모듈과 공초점 현미경 모듈의 측정원점이 일치되지 않는 경우,
    상기 원자현미경 모듈과 공초점 현미경 모듈의 측정원점의 불일치에 대한 XY좌표보정 값을 연산하는 단계;
    상기 XY좌표보정 값을 바탕으로 원자현미경 모듈이 시료의 관심부위를 관찰할 수 있도록 XY스캐너를 이동시키는 단계; 및
    시료의 관심부위를 원자현미경 모듈을 사용하여 이미지를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 융합현미경의 사용방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101818406B1 (ko) * 2017-12-05 2018-01-15 한국기초과학지원연구원 복합현미경 장치
KR20180001526U (ko) * 2016-11-14 2018-05-24 친산 시에 고리 개량구조

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