KR20110000399U - Vacuum pump - Google Patents

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KR20110000399U
KR20110000399U KR2020107000027U KR20107000027U KR20110000399U KR 20110000399 U KR20110000399 U KR 20110000399U KR 2020107000027 U KR2020107000027 U KR 2020107000027U KR 20107000027 U KR20107000027 U KR 20107000027U KR 20110000399 U KR20110000399 U KR 20110000399U
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vacuum pump
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KR2020107000027U
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Inventor
데이빗 폴 맨슨
스티븐 에드워드 다운햄
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에드워즈 리미티드
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    • F05C2225/00—Synthetic polymers, e.g. plastics; Rubber
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Abstract

신속 연결 이음쇠를 이용하는 유체 분배 시스템을 포함하는 진공 펌프가 제공된다.A vacuum pump is provided that includes a fluid distribution system that utilizes quick connect fittings.

Description

진공 펌프{VACUUM PUMP}Vacuum pump {VACUUM PUMP}

본 고안은 진공 펌프용 유체 분배 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a fluid distribution system for a vacuum pump.

냉각수 및 퍼지 가스 시스템과 같은, 펌프 성능 제어를 위해 사용되는 보조 시스템은 통상적으로 금속 부품의 조립체를 사용하여 제조된다.Auxiliary systems used for pump performance control, such as cooling water and purge gas systems, are typically manufactured using assemblies of metal parts.

이들 부품은 다음과 같다.These parts are as follows.

● 밸브 매니폴드 조립체 - 유체 제어● Valve Manifold Assembly-Fluid Control

● 파이프 - 유체 이송● Pipe-Fluid Transport

● 이음쇠 - 시스템 접속● Fittings-System Connection

이들 시스템은, 재료 비용이 높고 시스템의 조립에 필요한 노동이 시간 소모적이기 때문에 가격이 높을 수 있다.These systems can be expensive because of the high cost of materials and the time-consuming labor required to assemble the system.

본 고안의 목적은 저렴하면서 시스템 조립에 필요한 시간을 감소시킬 수 있는 유체 분배 시스템을 포함하는 진공 펌프를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a vacuum pump comprising a fluid distribution system which is inexpensive and can reduce the time required for system assembly.

본 고안은, 용기로부터 가스를 펌핑하도록 배치된 스테이터 구성요소 및 로터 구성요소와, 펌프의 작동 동안, 펌프의 적어도 일부를 소정의 온도로 유지시키도록 배치된 냉각 시스템을 포함하며, 상기 냉각 시스템은, 펌프와 접촉되어 있는 제 1 부분과 제 2 부분을 갖는 냉각 회로를 포함하고, 상기 제 1 부분은 펌프로부터 열 에너지를 전달하도록 배치되며 신속 연결 이음쇠(quick connect fittings)에 의해 제 2 부분에 결합되는 진공 펌프를 제공한다.The present invention includes a stator component and a rotor component arranged to pump gas from a container, and a cooling system arranged to maintain at least a portion of the pump at a predetermined temperature during operation of the pump, wherein the cooling system comprises And a cooling circuit having a first portion and a second portion in contact with the pump, the first portion arranged to transfer thermal energy from the pump and coupled to the second portion by quick connect fittings. To provide a vacuum pump.

또한, 본 고안은, 용기로부터 가스를 펌핑하도록 배치된 스테이터 구성요소 및 로터 구성요소와, 펌프의 작동 동안, 펌프의 적어도 일부에 가스를 공급하도록 배치된 가스 분배 시스템과, 상기 가스 분배 시스템은, 펌프와 연통되어 있는 제 1 부분과 제 2 부분을 갖는 분배 회로를 포함하고, 상기 제 1 부분은 펌프에 가스를 공급하도록 배치되며 신속 연결 이음쇠에 의해 제 2 부분에 결합되는 진공 펌프를 제공한다.In addition, the present invention provides a stator component and a rotor component arranged to pump gas from a container, a gas distribution system arranged to supply gas to at least a portion of the pump during operation of the pump, and the gas distribution system includes: A distribution circuit having a first portion and a second portion in communication with the pump, wherein the first portion is arranged to supply gas to the pump and is coupled to the second portion by quick connect fittings.

제 1 및 제 2 부분은 바람직하게는 폴리아미드로부터 형성된다.The first and second portions are preferably formed from polyamides.

제 1 및 제 2 부분은 바람직하게는 스테이터 본체에 근접하게 배치된다.The first and second portions are preferably arranged in close proximity to the stator body.

또한, 본 고안은, 적어도 하나의 매니폴드 밸브 조립체에 연결된 적어도 하나의 도관을 포함하며, 도관 및/또는 매니폴드 밸브 조립체는 폴리아미드로부터 형성되고, 신속 연결 이음쇠를 거쳐 연결되는 진공 펌프 유체 분배 시스템을 제공한다.The invention also includes a vacuum pump fluid distribution system comprising at least one conduit connected to at least one manifold valve assembly, wherein the conduit and / or manifold valve assembly is formed from polyamide and connected via quick connect fittings. To provide.

본 고안에 의하면, 종래의 황동 또는 스테인레스 강 매니폴드에 비하여 경량이면서 저렴한 폴리아미드 밸브 매니폴드를 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide a polyamide valve manifold that is lighter and cheaper than conventional brass or stainless steel manifolds.

도 1은 본 고안의 일 실시예를 도시하는 도면.1 is a view showing an embodiment of the present invention.

종래의 금속 유체 시스템에 사용된 구성요소를 대체하기 위해 폴리아미드 구성요소를 사용하는 것은 유익할 것이다. 이하, 그러한 시스템의 구성요소 및 그에 의해 제공되는 장점에 대하여 간략하게 설명한다.It would be beneficial to use polyamide components to replace components used in conventional metal fluid systems. Hereinafter, the components of such a system and the advantages provided by them will be briefly described.

폴리아미드 관류는 이미 부착된 신속 연결 이음쇠를 사용하여 사전 형성되어 공급될 수 있다. 이는 관 및 이음쇠가 생산 라인 조립을 필요로 하기보다는 하청업자에 의해 공급될 수 있음을 의미한다. 폴리아미드 관은 가요성을 가지며, 이는 둘 이상의 기하학적 구조를 수용할 수 있는 하나의 관 설계를 만들어 낼 수도 있음을 의미한다.Polyamide perfusion can be supplied preformed using quick connect fittings already attached. This means that pipes and fittings can be supplied by subcontractors rather than requiring production line assembly. Polyamide tubes are flexible, which means that they may produce one tube design that can accommodate more than one geometry.

신속 연결 이음쇠는 파이프/관 시스템의 조립을 보다 효율적으로 수행하기 위해 개량되어 왔다. 2가지 종류의 신속 연결 이음쇠가 진공 펌프 유체 시스템에 사용될 수 있다.Quick connect fittings have been refined to more efficiently assemble pipe / pipe systems. Two types of quick connect fittings can be used in the vacuum pump fluid system.

1) 관 대 관 연결구 이음쇠(tube to tube connector fittings)는 정합 반부(mating halves)를 서로 압박함으로써 개별 파이프가 서로 연결될 수 있기 때문에 시스템 조립을 단순화한다. 이는 스웨이징된 연결부(swaged connections)를 형성하는데 필요한 시간을 줄인다.1) Tube to tube connector fittings simplify system assembly because the individual pipes can be connected to each other by pressing the mating halves together. This reduces the time required to form swaged connections.

2) 관 대 밸브 매니폴드 연결구 이음쇠(tube to valve manifold connector fittings)는 관을 유체 제어 매니폴드에 연결시키는 메커니즘을 제공한다. 적절한 단부 형태를 갖는 관이 이음쇠 내로 압착되며, 연결구는 유체 제어 매니폴드 내에 사전 조립되어 공급될 수 있다. 이는 스웨이징된 연결부를 형성하는데 걸리는 시간이 경감됨을 의미한다.2) Tube to valve manifold connector fittings provide a mechanism for connecting the tube to the fluid control manifold. A tube with a suitable end shape is pressed into the fitting, and the connector can be supplied preassembled in the fluid control manifold. This means that the time it takes to form a swaged connection is reduced.

폴리아미드 밸브 매니폴드는 종래의 황동 또는 스테인레스 강 매니폴드에 대한 경량이면서 저렴한 대안이 된다. 이 매니폴드는 고체로부터 기계 가공되거나 또는 사출 성형될 수 있는데, 이는 추가의 비용 절감을 초래할 수도 있다. 관 대 매니폴드 연결구는 매니폴드에 사전 끼워 맞춤되어 공급될 수 있는데, 이는 페룰 타입 연결부(ferrule type connections)가 감소될 수 있음을 의미한다.Polyamide valve manifolds are a lightweight and inexpensive alternative to conventional brass or stainless steel manifolds. This manifold may be machined or injection molded from a solid, which may result in further cost savings. The tube to manifold connector can be supplied pre-fitted to the manifold, which means that ferrule type connections can be reduced.

도 1에서, 도면부호(1)는 펌프의 일부이며, 도면부호(2)는 냉각/가스 분배 시스템의 제 1 부분이며, 도면부호(4)는 신속 연결 이음쇠이며, 도면부호(3)는 냉각/가스 분배 시스템의 제 2 부분이며, 도면부호(5)는 열 교환기 또는 퍼지 가스 공급부 중 하나이다.In FIG. 1, reference numeral 1 is part of a pump, reference number 2 is a first part of a cooling / gas distribution system, reference number 4 is a quick connect fitting, and reference number 3 is cooling. A second part of the gas distribution system, 5 being either a heat exchanger or a purge gas supply.

Claims (5)

진공 펌프에 있어서,
용기로부터 가스를 펌핑하도록 배치된 스테이터 구성요소 및 로터 구성요소와,
상기 펌프의 작동 동안, 상기 펌프의 적어도 일부를 소정의 온도로 유지시키도록 배치된 냉각 시스템을 포함하며,
상기 냉각 시스템은, 상기 펌프와 접촉되어 있는 제 1 부분과 제 2 부분을 갖는 냉각 회로를 포함하고, 상기 제 1 부분은 상기 펌프로부터 열 에너지를 전달하도록 배치되며 신속 연결 이음쇠(quick connect fittings)에 의해 상기 제 2 부분에 결합되는
진공 펌프.In a vacuum pump,
A stator component and a rotor component arranged to pump gas from the vessel,
A cooling system arranged to maintain at least a portion of the pump at a predetermined temperature during operation of the pump,
The cooling system includes a cooling circuit having a first portion and a second portion in contact with the pump, the first portion being arranged to transfer thermal energy from the pump and to quick connect fittings. Coupled to the second portion by
Vacuum pump. 진공 펌프에 있어서,
용기로부터 가스를 펌핑하도록 배치된 스테이터 구성요소 및 로터 구성요소와,
상기 펌프의 작동 동안, 상기 펌프의 적어도 일부에 가스를 공급하도록 배치된 가스 분배 시스템과,
상기 가스 분배 시스템은, 상기 펌프와 연통되어 있는 제 1 부분과 제 2 부분을 갖는 분배 회로를 포함하고, 상기 제 1 부분은 상기 펌프에 가스를 공급하도록 배치되며 신속 연결 이음쇠에 의해 상기 제 2 부분에 결합되는
진공 펌프.In a vacuum pump,
A stator component and a rotor component arranged to pump gas from the vessel,
A gas distribution system arranged to supply gas to at least a portion of the pump during operation of the pump;
The gas distribution system includes a distribution circuit having a first portion and a second portion in communication with the pump, the first portion being arranged to supply gas to the pump and the second portion by quick connect fittings. Coupled to
Vacuum pump. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 제 1 및 제 2 부분은 바람직하게는 폴리아미드로부터 형성되는
진공 펌프.The method according to claim 1 or 2,
The first and second portions are preferably formed from polyamide
Vacuum pump. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 부분 및 제 2 부분은 바람직하게는 스테이터 본체에 근접하게 배치되는
진공 펌프.The method according to any one of claims 1 to 3,
The first portion and the second portion are preferably arranged in proximity to the stator body
Vacuum pump. 진공 펌프 유체 분배 시스템에 있어서,
적어도 하나의 매니폴드 밸브 조립체에 연결된 적어도 하나의 도관을 포함하며,
상기 도관 및/또는 상기 매니폴드 밸브 조립체는 폴리아미드로부터 형성되며, 신속 연결 이음쇠를 거쳐 연결되는
진공 펌프 유체 분배 시스템.A vacuum pump fluid dispensing system,
At least one conduit connected to at least one manifold valve assembly,
The conduit and / or the manifold valve assembly are formed from polyamide and are connected via quick connect fittings.
Vacuum pump fluid distribution system.
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PCT/GB2009/050431 WO2009133394A1 (en) 2008-05-02 2009-04-28 Vacuum pump

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