KR20100129601A

KR20100129601A - Cluster tool

Info

Publication number: KR20100129601A
Application number: KR1020090048248A
Authority: KR
Inventors: 박영남; 고대운
Original assignee: (주)엘티엘
Priority date: 2009-06-01
Filing date: 2009-06-01
Publication date: 2010-12-09

Abstract

PURPOSE: A cluster tool is provided to efficiently use a plant site by decreasing an area occupied by the cluster tool. CONSTITUTION: A plurality of chambers are connected to a cluster tool. The roller unit is arranged in a chamber. A plurality of rollers are regularly positioned on the same plane of the roller unit. The cluster tool includes a first chamber module(100), a second chamber module(200), a third chamber module(300), and a fourth chamber module. The third chamber has a pair of transfer paths to make the height of a substrate(600) different.

Description

Cluster tool {Cluster tool}

본 발명은 장비가 차지하는 면적을 줄임으로써, 공장 부지를 효율적으로 사용할 수 있을 뿐만 아니라, 기판 이송을 위한 장치의 소요 비용을 절감할 수 있는 클러스터 장비에 관한 것이다.The present invention relates to a cluster equipment that can reduce the area occupied by the equipment, which can efficiently use the factory site, as well as reduce the cost of the apparatus for transferring the substrate.

일반적으로, 태양전지는 태양으로부터 발생되는 빛 에너지를 직접 전기 에너지로 변환시키는 장치이다. 상기와 같은 태양 전지를 제조하려면, 반도체 제조설비 혹은 영상표시장치 제조설비와 같이 저진공으로부터 초고진공에 이르는 넓은 진공 영역에서 작업이 가능한 클러스터 장비를 필요로 한다.In general, solar cells are devices that convert light energy generated from the sun directly into electrical energy. In order to manufacture such a solar cell, a cluster equipment capable of working in a wide vacuum region ranging from low vacuum to ultra high vacuum, such as a semiconductor manufacturing facility or an image display device manufacturing facility, is required.

그리고, 상기 클러스터 장비는, 로드락 챔버, 트랜스퍼 챔버, 진공차단 도어밸브를 가지는 프로세스 챔버 등을 포함한다.The cluster equipment includes a load lock chamber, a transfer chamber, a process chamber having a vacuum blocking door valve, and the like.

일반적으로, 로드락 챔버는 보통 유리 패널 등과 같은 기판이 로딩되거나 언로딩되는 곳으로, 로딩되는 경우에는 대기압으로부터 저 진공 또는 고 진공으로 만들고, 반대로 기판 언로딩되는 경우에는 모든 증착 공정이 끝난 기판 상에 증착된 박막을 열처리하거나, 고온 상태의 기판을 냉각시키며, 고 진공의 상태로부터 대기압 상태로 만드는 곳이다.In general, the load lock chamber is usually where a substrate, such as a glass panel, is loaded or unloaded, from low pressure to high or low vacuum when loaded, and vice versa on the substrate after all deposition processes have been completed. It is a place where the thin film deposited on the substrate is heat-treated, or the substrate is cooled in a high temperature state and made from a high vacuum state to an atmospheric pressure state.

또한, 트랜스퍼 챔버는 고 진공 상태를 유지하며 내부에 로봇 주축 및 감지기 등을 구비하고 있으며, 로봇의 주축을 중심으로 하는 로봇 암에 의해 증착, 식각 등의 여러 공정이 수행되는 프로세스 챔버 또는 상기 로드락 챔버들 간에 기판 등의 이동을 담당한다.In addition, the transfer chamber maintains a high vacuum state and includes a robot spindle and a sensor therein, and a process chamber or the load lock in which various processes such as deposition and etching are performed by a robot arm around the robot's spindle. It is responsible for the movement of the substrate and the like between the chambers.

따라서, 평면도를 기준으로 살펴볼 때, 기판을 이송하기 위한 로봇이 상기 기판의 측면 방향에 배치된 상태에서 상기 기판을 다루게 되므로, 상기 트랜스퍼 챔버 내부 공간에는 로봇이 놓여지는 별도의 공간이 더 필요하므로, 보다 더 넓은 면적이 소요됨으로써, 공장 부지를 효율적으로 사용할 수 없을 뿐만 아니라, 로봇의 비용이 고가여서 기판 이송에 필요한 장치의 소요 비용이 상승되는 문제점이 있었다.Therefore, when considering the plan view, since the robot for transporting the substrate handles the substrate in a state in which the robot is disposed in the lateral direction of the substrate, an additional space in which the robot is placed is needed in the space inside the transfer chamber. By using a larger area, not only can not use the factory site efficiently, but also the cost of the robot is expensive, there is a problem that the required cost of the device required for substrate transfer increases.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 장비가 차지하는 면적을 줄임으로써, 공장 부지를 효율적으로 사용할 수 있을 뿐만 아니라, 기판 이송에 필요한 장치의 소요 비용을 절감할 수 있도록 하는 클러스터 장비를 제공하는 것이다.The problem to be solved by the present invention, by reducing the area occupied by the equipment, not only can efficiently use the factory site, but also to provide a cluster equipment that can reduce the required cost of the device required for substrate transfer.

본 발명의 한 실시예에 따른 클러스터 장비는, 복수의 챔버가 연결되어 있는 클러스터 장비에서, 상기 챔버 내부에 배치되어 있고 복수의 롤러가 동일 평면상에 기설정된 간격으로 위치하는 롤러부, 그리고 상기 복수의 롤러와 연결되어 있으며, 상기 복수의 롤러를 회전시키는 롤러 구동부를 포함한다.Cluster apparatus according to an embodiment of the present invention, in the cluster equipment to which a plurality of chambers are connected, the roller unit disposed in the chamber and the plurality of rollers are located at a predetermined interval on the same plane, and the plurality of Is connected to the roller of, and comprises a roller driving unit for rotating the plurality of rollers.

상기 롤러 구동부는, 제1 구동 모터에 연결되어 있는 동력전달수단, 상기 동력전달수단에 결합되어 있으며, 기설정된 간격으로 배열되어 있는 복수의 구동 마그네틱, 그리고 상기 복수의 롤러의 끝에 각기 결합되어 있으며, 상기 복수의 구동 마그네틱과 중첩하는 복수의 피동 마그네틱을 포함한다.The roller driving unit is coupled to a power transmission means connected to the first drive motor, the power transmission means, a plurality of drive magnetics are arranged at a predetermined interval, and are respectively coupled to the ends of the plurality of rollers, And a plurality of driven magnetics overlapping the plurality of driving magnetics.

상기 롤러부에 연결되어 있으며, 상기 롤러부를 회전시키는 회전부, 그리고 상기 롤러부에 연결되어 있으며, 상기 롤러부를 승강시키는 승강부를 더 포함할 수 있다.It may further include a lifting unit connected to the roller unit, a rotating unit for rotating the roller unit, and a lifting unit connected to the roller unit, and lifting the roller unit.

상기 회전부는, 상기 롤러부와 연결되어 있는 회전축, 상기 회전축과 연결되어 있는 연결축 및 상기 연결축에 연결되어 있는 제1 회전모터를 포함할 수 있다.The rotating unit may include a rotating shaft connected to the roller unit, a connecting shaft connected to the rotating shaft, and a first rotating motor connected to the connecting shaft.

상기 회전축은 상기 챔버의 일면에 형성된 구멍을 관통하여 상기 연결축의 내부에 연결되어 있고 상기 연결축 내부에서 기설정된 거리를 움직일 수 있으며, 상기 제1 회전모터는 상기 챔버의 외측에 배치되어 있으며, 상기 회전부는 상기 챔버의 일면에 형성된 구멍 주위에 형성되어 있는 커버를 더 포함할 수 있다.The rotating shaft is connected to the inside of the connecting shaft through a hole formed in one surface of the chamber and can move a predetermined distance inside the connecting shaft, the first rotating motor is disposed outside the chamber, The rotating part may further include a cover formed around a hole formed in one surface of the chamber.

상기 승강부는, 상기 회전축에 연결되어 있으며 상기 챔버의 외측에 위치하는 지지패널 및 상기 지지패널에 연결되어 있고 상기 지지패널을 승강시키는 승강 장치를 포함할 수 있다.The lifting unit may include a support panel connected to the rotating shaft and positioned outside the chamber, and a lifting device connected to the support panel and lifting the support panel.

상기 승강 장치는, 상기 지지패널에 연결되어 있는 복수의 너트부, 상기 복수의 너트부에 연결되어 있는 복수의 나사축, 그리고 상기 복수의 나사축에 동력을 전달하는 제2 회전모터를 포함하며, 상기 너트부는 상기 나사축의 회전에 따라 승강할 수 있다.The elevating device includes a plurality of nut parts connected to the support panel, a plurality of screw shafts connected to the plurality of nut parts, and a second rotating motor transmitting power to the plurality of screw shafts, The nut part may be elevated according to the rotation of the screw shaft.

상기 롤러부가 놓여지는 롤러부 프레임, 일측이 상기 롤러부 프레임과 연결되어 있고 타측이 상기 지지패널에 연결되어 있으며, 상기 지지패널과 함께 움직일 수 있는 지지축을 더 포함하며, 상기 회전축의 일측은 상기 롤러부 프레임에 연결되어 있고 타측은 상기 연결축의 내측에 키 결합되어 있고, 상기 회전축은 상기 롤러부 프레임이 상기 지지축을 따라 승강하면 상기 연결축과 상기 회전축의 키홈을 따라 승강할 수 있다.The roller unit frame on which the roller unit is placed, one side is connected to the roller unit frame and the other side is connected to the support panel, and further includes a support shaft that can move with the support panel, one side of the rotary shaft It is connected to the sub-frame and the other side is key coupled to the inside of the connecting shaft, the rotary shaft can be moved along the key groove of the connecting shaft and the rotary shaft when the roller unit frame is elevated along the support shaft.

상기 롤러부가 놓여지는 롤러부 프레임, 상기 롤러부 프레임과 연결되어 있는 베어링 하우징, 상기 베어링 하우징 내부에 형성되어 있는 베어링, 그리고 상기 베어링 하우징에 관통 형성되어 있는 냉각수 유로를 더 포함할 수 있다.The roller unit frame on which the roller unit is placed may further include a bearing housing connected to the roller unit frame, a bearing formed inside the bearing housing, and a cooling water flow passage formed through the bearing housing.

상기 롤러부 및 상기 롤러 구동부는 상기 복수의 챔버 각각에 설치되어 있으며, 상기 챔버 내부로 유입되는 대상물은 상기 롤러부에 안착되어 상기 롤러부의 회전에 따라 움직이면서 어느 한 챔버에서 다른 챔버로 이동할 수 있다.The roller unit and the roller driving unit are installed in each of the plurality of chambers, and an object introduced into the chamber may be seated on the roller unit and move according to the rotation of the roller unit to move from one chamber to another chamber.

본 발명의 한 실시예에 따른 클러스터 장비는, 제1 챔버 및 제2 챔버가 연결되어 있는 클러스터 장비에서, 상기 제1 챔버 내부에 배치되어 있으며, 복수의 제1 롤러가 동일 평면상에 기설정된 간격으로 위치하는 제1 롤러부, 상기 복수의 제1 롤러와 연결되어 있으며, 상기 복수의 롤러를 회전시키는 제1 롤러 구동부, 상기 제1 롤러부에 연결되어 있으며, 상기 제1 롤러부를 회전시키는 회전부, 상기 제1 롤러부에 연결되어 있으며, 상기 제1 롤러부를 승강시키는 승강부, 상기 제2 챔버 내부에 배치되어 있으며, 복수의 제2 롤러가 동일 평면상에 기설정된 간격으로 위치하는 제2 롤러부, 그리고 상기 제2 롤러부와 기설정된 간격 떨어져 하측에 배치 되고, 복수의 제3 롤러가 동일 평면상에 기설정된 간격으로 위치하는 제3 롤러부를 포함하며, 상기 제1 롤러부는 승강부에 의해 상하로 움직여 상기 제2 롤러부 또는 상기 제3 롤러부와 동일 평면에 위치할 수 있다.Cluster apparatus according to an embodiment of the present invention, in the cluster equipment is connected to the first chamber and the second chamber, is disposed inside the first chamber, the plurality of first rollers are a predetermined interval on the same plane A first roller unit positioned in the first roller unit, connected to the plurality of first rollers, a first roller driving unit rotating the plurality of rollers, a rotating unit connected to the first roller unit, and rotating the first roller unit, A second roller part connected to the first roller part, the lifting part for elevating the first roller part, disposed in the second chamber, and having a plurality of second rollers positioned at predetermined intervals on the same plane; And a third roller part disposed below the second roller part at a predetermined distance from each other, and having a plurality of third rollers positioned at predetermined intervals on the same plane. By moving up and down by the lifting unit, it may be located on the same plane as the second roller unit or the third roller unit.

본 발명의 실시예에 따르면, 클러스터 장비가 차지하는 면적을 줄임으로써, 공장 부지를 효율적으로 사용할 수 있을 뿐만 아니라, 기판 이송에 필요한 장치의 소요 비용을 절감할 수 있다.According to the embodiment of the present invention, by reducing the area occupied by the cluster equipment, not only can the factory site be efficiently used, but also the required cost of the apparatus required for transferring the substrate can be reduced.

이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록, 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention.

그러나, 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한도면 부호를 붙였다.As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. Like parts are designated by like reference numerals throughout the specification.

그러면, 도 1 내지 도 6을 참고하여 본 발명의 한 실시예에 따른 클러스터 장비에 대하여 설명한다. 클러스터 장비는 제1 챔버모듈(100), 제2 챔버모듈(200), 제3 챔버모듈(300) 및 제4 챔버모듈(400)을 포함한다. Next, the cluster equipment according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 6. The cluster equipment includes a first chamber module 100, a second chamber module 200, a third chamber module 300, and a fourth chamber module 400.

본 실시예에 따른 클러스터 장비는 태양전지 제조설비에 적용된 것을 기초로 하여 설명하였으나, 이는 한 실시예에 불과하며 각 공정 사이에서 이송 대상물을 목표지점까지 이동시키는 장비라면, 어떠한 제조 설비에도 적용할 수 있다.The cluster equipment according to the present embodiment has been described on the basis of being applied to a solar cell manufacturing facility. However, this is only an example, and any equipment may be applied to any manufacturing facility as long as the equipment moves the object to be transferred between the processes. have.

도 1 내지 도 6에서, 각 챔버(1, 2a~2b 및 3)의 외관을 구성하는 하우징은 설명의 편의상 도시하지 않았다. 그리고, 도 1에 도시한 바와 같이 제1 롤러부의 상측에는 기판 또는 히팅부 따위가 놓여질 수 있다.1 to 6, the housings constituting the external appearance of each of the chambers 1, 2a to 2b and 3 are not shown for convenience of description. As shown in FIG. 1, a substrate or a heating unit may be placed on the upper side of the first roller unit.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 클러스터 장비를 나타낸 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시한 클러스터 장비를 나타낸 정면도이고, 도 3은 도 1에 도시한 클러스터 장비의 롤러부 및 롤러구동부를 나타낸 것으로서, (a)는 평면도이고, (b)는 정면도이고, (c)는 부분적으로 나타낸 사시도이다.1 is a plan view showing the cluster equipment according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a front view showing the cluster equipment shown in Figure 1, Figure 3 is a roller and a roller driving portion of the cluster equipment shown in Figure 1 As shown, (a) is a top view, (b) is a front view, and (c) is a perspective view partially shown.

그리고, 도 4는 도 2에 도시한 제2 챔버모듈의 승강부 및 회전부를 나타낸 것으로서, (a)는 평면도이고, (b)는 정면도이고, 도 5는 도2에 도시한 제2 챔버모듈에서 승강부를 나타낸 것으로서, (a)는 부분평면도이고, (b)는 정면도이고, (C)는 부분저면도이고, (d)는 너트부가 하강된 것을 나타낸 정면도이고, 도 6은 도2에 도시한 제2 챔버모듈에서 회전부를 나타낸 것으로서, (a)는 평면도이고, (b)는 정면도이다.And, Figure 4 shows the lifting and rotating portion of the second chamber module shown in Figure 2, (a) is a plan view, (b) is a front view, Figure 5 is a second chamber module shown in Figure 2 (A) is a partial plan view, (b) is a front view, (C) is a partial bottom view, (d) is a front view showing that the nut portion is lowered, and FIG. 6 is shown in FIG. As shown in the rotating unit in the second chamber module, (a) is a plan view, (b) is a front view.

우선, 도 1 내지 도 6을 참고하여 제2 챔버모듈(200)에 대해 설명한다. First, the second chamber module 200 will be described with reference to FIGS. 1 to 6.

도 1 내지 도 6을 참고하면, 제2 챔버모듈(200)은, 제1 롤러부(10), 제1 롤러구동부(20), 제1 프레임부(30), 제1 롤러부(10)에 연결되어 있으며, 제1 롤러부(10)를 동일 평면상에서 회전시키는 회전부(60), 그리고 제1 롤러부(10)를 기설정된 구간에서 승강시키는 승강부(70)를 포함한다.1 to 6, the second chamber module 200 may include the first roller part 10, the first roller driving part 20, the first frame part 30, and the first roller part 10. It is connected, and includes a rotating portion 60 for rotating the first roller portion 10 on the same plane, and the lifting portion 70 for lifting the first roller portion 10 in a predetermined section.

제1 롤러부(10)는, 본 발명의 한 실시예에 따른 클러스터 장비에서 인접하는 다른 챔버모듈로부터 기판(600)을 전달받거나, 증착, 식각 등의 해당 공정의 처리 가 완료된 기판(600)을 다시 다른 챔버모듈로 전달하기 위하여, 기판(600)을 이송시키는 구성요소이다. The first roller unit 10 receives the substrate 600 from another chamber module adjacent to each other in the cluster equipment according to the exemplary embodiment of the present invention, or receives the substrate 600 on which processing of a corresponding process such as deposition and etching is completed. In order to transfer to another chamber module, the substrate 600 is a component for transferring.

여기서, 제1 롤러부(10)는 제1 롤러부프레임(11)에 다수의 제1 롤러(12)가 회전될 수 있도록 결합되어 있으며, 특히 다수의 제1 롤러(12)는 동일 방향을 향하도록 나란하게 배치되고, 이들 다수의 제1 롤러(12)의 중심은 동일 평면을 이루며, 다수의 제1 롤러(12)의 한쪽 끝부분에는 각각 피동 마그네틱(13)이 결합되어 있다.Here, the first roller unit 10 is coupled to the first roller unit frame 11 so that the plurality of first rollers 12 can be rotated, in particular, the plurality of first rollers 12 face in the same direction. They are arranged side by side, and the centers of the plurality of first rollers 12 form the same plane, and the driven magnetic 13 is coupled to one end of the plurality of first rollers 12, respectively.

그리고, 제1 롤러구동부(20)는, 제1 롤러부(10)에 포함되어 있는 다수의 제1 롤러(12)를 동일 방향 및 동일 속도로 회전시킬 수 있는 구성요소이다.The first roller driving unit 20 is a component capable of rotating the plurality of first rollers 12 included in the first roller unit 10 at the same direction and at the same speed.

여기서, 제1 롤러구동부(20)는 제1 롤러부프레임(11)에 연결되어 있으며, 각각의 피동 마그네틱(13)과 중첩되어 있는 다수의 구동 마그네틱(21), 다수의 구동 마그네틱(21)를 구동시키는 제1 롤러구동모터(22), 그리고 제1 롤러구동모터(22)의 동력을 다수의 구동 마그네틱(21)에 동시에 전달하는 제1 동력전달수단(23)을 포함한다.Here, the first roller driving unit 20 is connected to the first roller unit frame 11, and the plurality of driving magnetics 21 and the plurality of driving magnetics 21 overlapping the driven magnetic 13, respectively. The first roller driving motor 22 to drive, and the first power transmission means 23 for simultaneously transmitting the power of the first roller driving motor 22 to the plurality of driving magnetic 21.

상기와 같이 구성되는 제1 롤러부(10) 및 제1 롤러구동부(20)에 따른, 다수의 제1 롤러(12)의 작동을 살펴보면, 제1 롤러구동모터(22)가 회전하면 이에 연동되는 제1 동력전달수단(23)이 회전되고, 제1 동력전달수단(23)에 연결되어 있는 다수의 구동 마그네틱(21)이 동시에 동일한 속도로써 동일한 방향으로 회전된다.Looking at the operation of the plurality of first rollers 12 according to the first roller unit 10 and the first roller driving unit 20 is configured as described above, when the first roller driving motor 22 is rotated is linked to this The first power transmission means 23 is rotated, and the plurality of drive magnetics 21 connected to the first power transmission means 23 are simultaneously rotated in the same direction at the same speed.

이때, 다수의 구동 마그네틱(21)과 피동 마그네틱(13)은 중첩되어 있으므로, 회전하는 구동 마그네틱(21)과 피동 마그네틱(13) 사이에서 작용하는 인력(引力)에 의하여 피동 마그네틱(13)이 구동 마그네틱(21)과 함께 회전됨으로써, 다수의 제1 롤러(12)가 동시에 동일한 속도로써 동일한 방향으로 회전되고, 제1 롤러(12) 상측에 놓여져 있는 기판(600)은 이송된다.At this time, since the plurality of driving magnetic 21 and the driven magnetic 13 are overlapped, the driven magnetic 13 is driven by the attractive force acting between the rotating driving magnetic 21 and the driven magnetic 13. By rotating together with the magnetic 21, the plurality of first rollers 12 are rotated in the same direction at the same speed at the same time, and the substrate 600 placed on the upper side of the first roller 12 is transferred.

따라서, 기어결합에 의하여 동력이 전달되던 종래기술과 달리, 구동 마그네틱(21)과 피동 마그네틱(13)이 직접 맞물리지 않은 상태에서 동력이 전달됨으로써, 구동 마그네틱(21)또는 피동 마그네틱(13)이 마모되는 현상이 발생되지 않는 바, 파티클(particle)이 발생되지 않는다.Therefore, unlike the prior art in which power is transmitted by gear coupling, power is transmitted in a state where the driving magnetic 21 and the driven magnetic 13 are not directly engaged, whereby the driving magnetic 21 or the driven magnetic 13 is worn. In this case, particles are not generated.

이때, 다수의 제1 롤러(12)의 외주면에 고무 따위로 이루어진 복수개의 제1 바퀴(14)가 기설정된 간격으로 결합되어 있으므로, 이송중인 기판(600)은 금속재질의 제1 롤러(12)의 외주면에 직접 접촉되지 아니하고, 고무 따위와 같은 연질의 제1 바퀴(14)의 외주면에 접촉되면서 이송된다. 따라서, 기판(600)은 이송 도중 발생되는 충격으로부터 보호받을 수 있다. At this time, since the plurality of first wheels 14 made of rubber or the like is coupled to the outer circumferential surfaces of the plurality of first rollers 12 at predetermined intervals, the substrate 600 being transferred is made of metal first rollers 12. It is not directly in contact with the outer circumferential surface of, but is transported while contacting the outer circumferential surface of the soft first wheels 14, such as rubber. Thus, the substrate 600 may be protected from the impact generated during the transfer.

그리고, 복수개의 제1 바퀴(14) 대신 다수의 제1 롤러(12) 전체를 감싸도록 연질의 벨트(도시하지 않음)를 무한궤도 방식으로 구성함으로써, 다수의 제1 롤러(12)가 회전함에 따라 기판(600)은 상기 벨트에 놓여진 상태로 이송된다. 따라서, 기판(600)은 이송 도중 발생되는 충격으로부터 보호받을 수 있다.In addition, by configuring a flexible belt (not shown) in a caterpillar manner so as to surround the entirety of the plurality of first rollers 12 instead of the plurality of first wheels 14, the plurality of first rollers 12 may rotate. Accordingly, the substrate 600 is transferred while being placed on the belt. Thus, the substrate 600 may be protected from the impact generated during the transfer.

제1 프레임부(30)는, 본 발명의 한 실시예에 따른 클러스터 장비에 있어서, 제2 챔버모듈(200)의 제1 롤러부(10) 및 제1 롤러구동부(20)가 결합되도록 지지함과 동시에, 바닥면에 놓여지도록 하는 구성요소이다.The first frame part 30 supports the first roller part 10 and the first roller driving part 20 of the second chamber module 200 to be coupled in the cluster equipment according to the exemplary embodiment of the present invention. At the same time, it is a component to be placed on the floor.

그리고, 제1 프레임부(30)의 최 하측에는 제2 챔버모듈(200)이 용이하게 이동되도록 복수의 바퀴(40)가 설치될 수도 있고, 이동 후 설치 위치를 확정하여 확 실하게 유지하도록 지지부재(50)가 결합될 수도 있다.In addition, a plurality of wheels 40 may be installed at the lowermost side of the first frame part 30 so that the second chamber module 200 can be easily moved. 50 may be combined.

그러므로, 발명의 한 실시예에 따른 클러스터 장비에 있어서, 제2 챔버모듈(200)의 제1 롤러구동모터(22)가 회전하면 이에 연결되어 있는 제1 동력전달수단(23)이 회전되고, 다수의 구동 마그네틱(21) 및 다수의 피동 마그네틱(13)이 회전됨으로써, 다수의 제1 롤러(12)가 동시에 동일한 속도로써 동일한 방향으로 회전한다.Therefore, in the cluster equipment according to an embodiment of the present invention, when the first roller drive motor 22 of the second chamber module 200 rotates, the first power transmission means 23 connected thereto is rotated, By rotating the driving magnetic 21 and the plurality of driven magnetic 13, the plurality of first rollers 12 simultaneously rotate in the same direction at the same speed.

따라서, 제2 챔버모듈(200)의 다수의 제1 롤러(12) 상측에 놓여져 있는 기판(60 0)은 정해진 속도로 움직이게 되고, 이에 따라서 인접하는 또 다른 챔버모듈에 기판(600)을 전달하거나, 또 다른 챔버모듈로부터 기판(600)을 전달받을 수 있다.Accordingly, the substrate 600 positioned on the plurality of first rollers 12 of the second chamber module 200 moves at a predetermined speed, thereby transferring the substrate 600 to another adjacent chamber module. In addition, the substrate 600 may be received from another chamber module.

그리고, 도면부호 410은 상부히팅부이고, 420은 하부히팅부이며, 이들의 양측 끝부분은 각기 발열체프레임(F)에 고정되어 있다.Reference numeral 410 denotes an upper heating portion, 420 denotes a lower heating portion, and both ends thereof are fixed to the heating element frame F, respectively.

회전부(60)는, 제1 롤러부(10)와 연결되어 있어, 제1 롤러부(10)를 동일 평면상에서 회전시켜, 기판(600)의 이송 방향을 전환시키는 구성요소이다.The rotating part 60 is connected with the 1st roller part 10, is a component which rotates the 1st roller part 10 on the same plane, and changes the conveyance direction of the board | substrate 600. FIG.

그리고, 받침축(78)에 연결되어 있는 제1 롤러부프레임(15)의 일측에는 제1 롤러부(10)가 결합되어 있다.The first roller part 10 is coupled to one side of the first roller part frame 15 connected to the support shaft 78.

또한, 회전부(60)는 제1 프레임부(30)에 연결되어 있는 제1 롤러부회전모터(61), 그리고 한쪽 끝부분이 커버(64) 일면의 중앙부와 키(K)에 의하여 슬라이딩 가능하게 연결되어 있어(도 6b 참고), 상기 제1 롤러부회전모터(61)로부터 회전력을 전달받으며, 다른 쪽 끝부분은 제1 롤러부프레임(11)에 연결되어 있는 회전모터 회전축(62), 양단부가 상기 회전축(62) 및 제1 롤러부회전모터(61)에 결합되어 있는 연결축(65)을 포함한다. 회전축(62)은 챔버(3)를 관통하고 있으며, 그 주위를 커버(64)가 막고 있다. In addition, the rotation part 60 is a first roller part rotation motor 61 connected to the first frame part 30, and one end portion is slidably by the central part and the key K on one surface of the cover 64. It is connected (see Fig. 6b), and receives the rotational force from the first roller motor rotational motor 61, the other end of the rotary motor rotary shaft 62, both ends connected to the first roller unit frame 11 Includes a connecting shaft 65 coupled to the rotating shaft 62 and the first roller rotating motor 61. The rotating shaft 62 penetrates the chamber 3, and the cover 64 is blocking the circumference | surroundings.

이와 같이 구성되는 회전부(60)에 따르면, 제1 롤러부회전모터(61)가 회전함에 따라, 제1 롤러부회전모터(61)의 회전력이 연결축(65)을 통하여 회전모터 회전축(62)에 전달됨으로써, 제1 롤러부(10)는 동일 평면상에서 기설정된 각도만큼 회전된다.According to the rotating part 60 configured as described above, as the first roller part rotating motor 61 rotates, the rotational force of the first roller part rotating motor 61 is rotated through the connecting shaft 65. By being transmitted to the first roller portion 10 is rotated by a predetermined angle on the same plane.

따라서, 제2 챔버모듈(200)은 제1 롤러부회전모터(61)를 작동시킴으로써, 제3 챔버모듈(300)로부터 전달받은 기판(600)을 제1 챔버모듈(100) 또는 제4 챔버모듈(400)로 이송시킬 수 있다.Therefore, the second chamber module 200 operates the first roller unit rotating motor 61 to transfer the substrate 600 received from the third chamber module 300 to the first chamber module 100 or the fourth chamber module. Can be transferred to 400.

승강부(70)는 제1 롤러부(10)와 연결되어 있어, 제1 롤러부(10)를 기설정된 구간에서 승강시키는 구성요소이다.The lifting unit 70 is connected to the first roller unit 10 and is a component that lifts the first roller unit 10 in a predetermined section.

그리고, 승강부(70)는 제1 프레임부(30)에 연결되어 있는 제2 회전모터지지패널(71), 제2 회전모터지지패널(71)에 연결되어 있으며, 회전력을 발생시키는 제2 롤러부회전모터(72), 그리고 제2 롤러부회전모터(72)가 회전함에 따라 나사축(74a)이 회전함으로써, 이에 연결되어 있는 너트부(74b)가 승강할 수 있는 하나 이상의 승강 장치(74)를 포함한다.In addition, the lifting unit 70 is connected to the second rotation motor support panel 71 and the second rotation motor support panel 71 connected to the first frame part 30 and generates a second roller. At least one elevating device 74 capable of elevating the nut 74b connected thereto by rotating the screw shaft 74a as the sub-rotation motor 72 and the second roller sub-rotation motor 72 rotate. ).

승강 장치(74)는 나사산이 형성되어 있는 나사축(74a) 및 상기 나사축(74a)과 나사 결합되는 너트부(74b)로 이루어진다.The elevating device 74 is composed of a screw shaft 74a in which a thread is formed and a nut portion 74b screwed with the screw shaft 74a.

그리고, 나사축(74a)의 한쪽 끝부분은 제1 롤러부(10)와 연결되어 있으며, 다른 쪽 끝부분은 제2 회전모터지지패널(71)에 연결되어 있고, 상기 다른 쪽 끝부분에 벨트(73) 및 풀리(76)가 연결되어 있다.One end of the screw shaft 74a is connected to the first roller part 10, and the other end is connected to the second rotary motor support panel 71. The belt is connected to the other end. 73 and pulley 76 are connected.

여기서, 나사축(74a) 아래 끝부분은 베어링(B)에 의하여 회전 가능하게 제2 회전모터지지패널(71)에 연결되어 있고, 나사축(74a)에 회전가능하게 결합되어 있는 너트부(74b)는 제2 회전모터지지패널(71)과 기설정된 간격으로 이격되어 있는 받침패널(77)에 결합되어 있다.Here, the lower end of the screw shaft (74a) is connected to the second rotation motor support panel 71 to be rotatable by the bearing (B), the nut portion 74b is rotatably coupled to the screw shaft (74a) ) Is coupled to the support panel 77 spaced apart from the second rotary motor support panel 71 at a predetermined interval.

상기와 같이 구성되는 승강부(70)에 따르면, 제2 롤러부회전모터(72)의 회전력이 벨트(73) 및 풀리(76)를 거쳐서 하나 이상의 승강 장치(74)로 전달됨으로써, 제2 회전모터지지패널(71)에 연결되어 있는 나사축(74a)이 회전되고, 받침패널(77)에 결합되어 있는 너트부(74b)는 나사축(74a)에 대하여 상대 운동함으로써 승강된다.According to the lifting unit 70 configured as described above, the rotational force of the second roller unit rotation motor 72 is transmitted to the at least one lifting device 74 via the belt 73 and the pulley 76, thereby causing a second rotation. The screw shaft 74a connected to the motor support panel 71 is rotated, and the nut portion 74b coupled to the support panel 77 is lifted by relative movement with respect to the screw shaft 74a.

따라서, 너트부(74b)에 연결되어 있는 받침패널(77)이 함께 승강됨에 따라, 받침패널(77)과 연결되어 있는 제1 롤러부(10)도 승강됨으로써, 다수의 제1롤러(12) 상측에 놓여져 있는 기판(600)의 높낮이가 변경된다.Therefore, as the supporting panel 77 connected to the nut part 74b is lifted together, the first roller part 10 connected to the supporting panel 77 is also lifted, thereby providing a plurality of first rollers 12. The height of the substrate 600 placed on the upper side is changed.

그리고, 승강 장치(74)는, 나사산이 형성되어 있는 나사축(74a) 및 상기 나사축(74a)과 나사 결합되는 너트부(74b)로 이루어질 수도 있으나, 제1 롤러부(10)를 승강시킬 수 있는 것이라면 어떠한 장치도 가능할 것이며, 예를 들면 실린더 따위일 수도 있다.In addition, the elevating device 74 may include a screw shaft 74a having a screw thread formed therein and a nut portion 74b screwed with the screw shaft 74a. Any device would be possible if it could, for example a cylinder.

그러므로, 기판(600)이 놓여져 있는 제1 롤러부(10)를 기설정된 구간에서 승강시킴으로써, 서로 다른 높이에 배치되어 있는 제1 챔버모듈(100)의 제1 롤러 부(10,10a)에 기판(600)을 공급할 수 있게 된다.Therefore, the first roller unit 10 on which the substrate 600 is placed is lifted in a predetermined section so that the substrate is placed on the first roller units 10 and 10a of the first chamber module 100 arranged at different heights. 600 can be supplied.

그리고, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 제2 챔버모듈(200)의 제1 롤러부(10)의 전방, 좌측, 우측에 보조 롤러부(210)가 각기 배치되어 있어서, 제2 챔버모듈(200)의 제1 롤러부(10)를 벗어나려는 각 기판(600)은 바닥으로 낙하되지 아니하고, 보조 롤러부(210)에서 지지된 다음, 제1 챔버모듈(100) 또는 제4 챔버모듈(400)의 제1 롤러부(10)에 이송된다.1 and 2, the auxiliary rollers 210 are disposed in front, left, and right sides of the first roller part 10 of the second chamber module 200, respectively, so that the second chamber Each substrate 600 which is intended to escape from the first roller portion 10 of the module 200 does not fall to the bottom but is supported by the auxiliary roller portion 210 and then the first chamber module 100 or the fourth chamber module. It is conveyed to the 1st roller part 10 of 400. FIG.

특히, 본 발명에 따른 제2 챔버모듈(200)는 벨로우즈를 채택하지 않고서도, 제1 롤러부(10)를 전체적으로 승 하강 및 회전시킬 수 있을 뿐만 아니라, 도 4b에 도시된 바와 같이, 챔버의 바닥면(3b)을 최저점으로 트랜스퍼 챔버(3) 내 외부는 상호간에 차단되어 있어서, 진공이 유지된다.In particular, the second chamber module 200 according to the present invention can not only lift and rotate the first roller portion 10 as a whole, but also adopt a bellows, as shown in Figure 4b, The outside inside the transfer chamber 3 is cut off from each other with the bottom surface 3b as the lowest point, so that vacuum is maintained.

본 발명의 한실시예에 따른 클러스터 장비에서, 제1 챔버모듈(100)은, 복수의 제1 롤러(12)가 동일 평면상에 기설정된 간격으로 배치되어 있는 제1 롤러부(10), 상기 제1 롤러부(10)에 연결되어 있으며, 상기 복수의 제1 롤러(12)를 회전시키는 제1 롤러구동부(20), 그리고 상기 제1 롤러구동부(20)에 연결되어 있으며, 바닥면에 지지될 수 있는 제1 프레임부(30)를 포함한다.In the cluster equipment according to the exemplary embodiment of the present invention, the first chamber module 100 may include a first roller part 10 having a plurality of first rollers 12 arranged at predetermined intervals on the same plane. It is connected to the first roller unit 10, is connected to the first roller driving unit 20 for rotating the plurality of first rollers 12, and the first roller driving unit 20, and is supported on the bottom surface It includes a first frame portion 30 that can be.

즉, 상기에서 설명한 제2 챔버모듈(200)과 대비할 때, 제1 챔버모듈(100)은 회전부(60) 및 승강부(70)를 포함하지 않을 수 있다. 그러나, 기판(600)에 소정의 공정을 진행하기 위해 기판(600)을 고속(또는 저속)으로 회전시키는 구성이 형성될 수도 있다.That is, in contrast to the second chamber module 200 described above, the first chamber module 100 may not include the rotating part 60 and the lifting part 70. However, a configuration may be formed in which the substrate 600 is rotated at high speed (or low speed) in order to perform a predetermined process on the substrate 600.

그리고, 도 3b에 도시된 바와 같이 제1 롤러(12)의 양쪽 끝부분은 베어링하 우징(H) 내측에 배치되어 있는 베어링(B)에 연결된 상태에서 회전된다.And, as shown in Figure 3b both ends of the first roller 12 is rotated in a state connected to the bearing (B) disposed inside the bearing housing (H).

또한, 도 1 내지 도 3을 참고하면, 클러스터 장비에 있어서, 제4 챔버모듈(400)은, 실질적으로 제1 챔버모듈(100)과 동일하게 구성되되, 챔버의 배치되어 있는 방향이 다른 것으로서, 이때 제1 챔버모듈(100)의 기판(600)의 이송방향과 제4 챔버모듈(400)에서의 기판(600)의 이송방향은 각각 제2 챔버모듈(200)을 향한다.In addition, referring to Figures 1 to 3, in the cluster equipment, the fourth chamber module 400 is configured substantially the same as the first chamber module 100, as the arrangement direction of the chamber is different, At this time, the transfer direction of the substrate 600 of the first chamber module 100 and the transfer direction of the substrate 600 in the fourth chamber module 400 are directed toward the second chamber module 200, respectively.

그러면, 도 7을 참고하여, 본 발명의 한실시예에 따른 클러스터 장비에 있어서, 제3 챔버모듈(300)에 대하여 설명한다.Then, with reference to Figure 7, in the cluster equipment according to an embodiment of the present invention, a third chamber module 300 will be described.

도 7은 도 2에 도시한 제3 챔버모듈을 나타낸 것으로서, (a)는 평면도이고, (b)는 정면도이다.FIG. 7 illustrates a third chamber module shown in FIG. 2, wherein (a) is a plan view and (b) is a front view.

도 7을 참고하면, 제3 챔버모듈(300)은, 기판(600)의 높낮이를 달리하는 한 쌍의 이송경로를 가짐으로써, 기판(600)의 공급 경로 또는 회수경로를 한쌍 가질 수 있다.Referring to FIG. 7, the third chamber module 300 may have a pair of supply paths or recovery paths of the substrate 600 by having a pair of transfer paths that vary the height of the substrate 600.

그리고, 제3 챔버모듈(300)은, 제1 챔버모듈(100)의 구성요소인 제1 롤러부(10), 제1 롤러구동부(20) 및 제1 프레임부(30)를 비롯하여, 그 밖에도 제1 롤러부(10)와 기설정된 간격으로 연직 방향으로 배치되어 있는 인접 롤러부(10a), 그리고 인접 롤러부(10a)의 복수의 인접롤러(12a)를 구동시키기 위한 인접 롤러구동부(20a)를 더 포함한다.In addition, the third chamber module 300 may include a first roller part 10, a first roller driving part 20, and a first frame part 30, which are components of the first chamber module 100, as well as other components. The adjacent roller part 10a which is arrange | positioned in the perpendicular direction at the predetermined interval with the 1st roller part 10, and the adjacent roller drive part 20a for driving the some adjacent roller 12a of the adjacent roller part 10a. It further includes.

본 발명의 한실시예에 따른 클러스터장비의 제3 챔버모듈(300)에 있어서, 인접 롤러부(10a)는 제1 롤러부(10)와 함께 기판(600)을 이송시키는 또 하나의 장치이다. In the third chamber module 300 of the cluster equipment according to an embodiment of the present invention, the adjacent roller portion 10a is another device for transferring the substrate 600 together with the first roller portion 10.

그리고, 다수의 인접 롤러(12a)는 전체 틀을 이루는 제1 프레임부(30)에 회전 가능하게 결합되어 있으며, 동일 방향을 향하도록 나란하게 배치되고, 이들 인접 롤러(12a)의 중심축은 동일 평면을 이루며, 다수의 인접 롤러(12a)의 한쪽 끝부분에는 각각 인접 피동마그네틱(13a)이 연결되어 있다.The plurality of adjacent rollers 12a are rotatably coupled to the first frame portion 30 forming the entire frame, and are arranged side by side to face the same direction, and the central axes of the adjacent rollers 12a are coplanar. Adjacent driven magnetic 13a is connected to one end of the plurality of adjacent rollers 12a, respectively.

그리고, 인접 롤러구동부(20a)는, 제1 프레임부(30)에 지지되며, 자석간에 발생하는 인력(引力)에 의하여 각기 인접 피동마그네틱(13a)과 연동되는 다수의 인접 구동마그네틱(21a), 다수의 인접 구동마그네틱(21a)을 구동시키는 인접 롤러구동모터(22a), 그리고 인접 롤러구동모터(22a)의 동력을 다수의 인접 구동기어(21a)에 동시에 전달하는 인접 동력전달수단(23a)으로 이루어진다.In addition, the adjacent roller driving portion 20a is supported by the first frame portion 30, and a plurality of adjacent driving magnetics 21a, which are interlocked with the adjacent driven magnetic 13a by the attraction force generated between the magnets, The adjacent roller drive motor 22a for driving the plurality of adjacent drive magnetics 21a, and the adjacent power transmission means 23a for simultaneously transmitting the power of the adjacent roller drive motor 22a to the plurality of adjacent drive gears 21a. Is done.

여기서, 인접 롤러부(10a)를 별도의 구동수단인 인접 롤러구동부(20a)에 의하여 구동시키지 아니하고, 제1 롤러구동모터(22)로써 구동시킬 수도 있다.Here, the adjacent roller portion 10a may be driven by the first roller driving motor 22 without being driven by the adjacent roller driving portion 20a which is a separate driving means.

그러면, 본 발명의 각 클러스터 장비에 따른 기판의 이송과정에 대하여 도 5 및 도 6을 참고하여 설명한다. 그리고, 각기 제1 롤러(12)의 한쪽 끝부분은 베어링하우징(H) 내측에 배치되어 있는 베어링(B)에 연결된 상태에서 회전한다.Next, the transfer process of the substrate according to each cluster device of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 and 6. One end of each of the first rollers 12 rotates in a state connected to the bearing B disposed inside the bearing housing H. As shown in FIG.

우선, 제3 챔버모듈(300)의 다수의 제1 롤러(12)에 얹혀있는 기판(600)을, 보다 낮은 위치의 제1 클러스터 장비의 다수의 제1 롤러(12)에 전달하기까지의 과정을 살펴본다.First, a process of transferring the substrate 600 mounted on the plurality of first rollers 12 of the third chamber module 300 to the plurality of first rollers 12 of the first cluster equipment at a lower position. Take a look.

우선, 기판(600)이 얹혀진 상태에서 제3 챔버모듈(300)의 제1 롤러구동모터(22)를 회전시켜 다수의 제1 롤러(12)를 회전시키고, 이에 따라 이송되는 기판(600)이 제2 챔버모듈(200)의 제1 롤러부(10)의 다수의 제1 롤러(12)에 전달되 고, 기판(600)의 이송이 진행된다.First, a plurality of first rollers 12 are rotated by rotating the first roller driving motor 22 of the third chamber module 300 while the substrate 600 is placed thereon, and thus the substrate 600 is transferred. The plurality of first rollers 12 of the first roller unit 10 of the second chamber module 200 is transferred to the substrate 600, and the transfer of the substrate 600 is performed.

그 다음, 제2 챔버모듈(200)의 제2 롤러부회전모터(72)가 회전됨에 따라 제2 챔버모듈(200)의 제1 롤러부(10)가 하강하여 제1 챔버모듈(100)의 다수의 제1 롤러(12)가 놓여져 있는 위치까지 하강한다.Then, as the second roller unit rotation motor 72 of the second chamber module 200 is rotated, the first roller unit 10 of the second chamber module 200 is lowered so that the first chamber module 100 of the first chamber module 100 is rotated. The number of first rollers 12 is lowered to the position where they are placed.

이후, 기판(600)은 하강된 위치에서 제2 챔버모듈(200)의 제1 롤러부(10)에서 계속 이송되어 보조 롤러부(210)를 지나서, 제1 챔버모듈(100)의 다수의 제1 롤러(12)에 전달된다.Subsequently, the substrate 600 is continuously transferred from the first roller portion 10 of the second chamber module 200 in the lowered position to pass the auxiliary roller portion 210, and thus, the plurality of substrates of the first chamber module 100 may be removed. 1 is transmitted to the roller 12.

이때, 로드락 슬롯밸브(4) 및 프로세스 슬롯밸브(5)는, 제3 챔버모듈(300), 제2 챔버모듈(200) 및 제1 챔버모듈(100)이 작동되는 과정 중에 각각 순차적으로 열리거나 닫힘으로써, 로드락 챔버(1), 트랜스퍼 챔버(3) 및 트랜스퍼 챔버(2a~2b)는 밀폐되거나, 진공을 유지할 수 있다.In this case, the load lock slot valve 4 and the process slot valve 5 are sequentially opened during the operation of the third chamber module 300, the second chamber module 200, and the first chamber module 100, respectively. The load lock chamber 1, the transfer chamber 3 and the transfer chambers 2a to 2b can be sealed or kept in a vacuum by closing or closing.

그리고, 도 1, 도 2도, 도 5 및 도 6을 참고하여, 제3 챔버모듈(300)의 복수의 인접롤러(21a) 상측에 얹혀져 있는 기판(600)을 제4 챔버모듈(400)의 동일한 높이의 다수의 제1 롤러(12)로 전달하는 과정을 살펴본다.1, 2, 5, and 6, the substrate 600 mounted on the upper side of the plurality of adjacent rollers 21a of the third chamber module 300 is placed on the fourth chamber module 400. It looks at the process of transferring to a plurality of first rollers 12 of the same height.

여기서, 제4 챔버모듈(400)은, 제2 챔버모듈(200)을 기준으로 제1 챔버모듈(100)과 기설정된 각도를 이루며 배치되어 있다. Here, the fourth chamber module 400 is disposed at a predetermined angle with the first chamber module 100 based on the second chamber module 200.

우선, 제3 챔버모듈(300)의 제1 롤러구동모터(22)를 회전시켜, 다수의 제1 롤러(12)를 동일 방향 및 동일 속도로 회전시켜 기판(600)을 이송시키고, 이송되는 기판(600)을 제2 챔버모듈(200)의 다수의 제1 롤러(12)에 전달하면, 기판(600)의 이송이 1차 완료된다.First, the first roller driving motor 22 of the third chamber module 300 is rotated, and the plurality of first rollers 12 are rotated at the same direction and at the same speed to transfer the substrate 600, and the substrate to be transferred. When 600 is transferred to the plurality of first rollers 12 of the second chamber module 200, the transfer of the substrate 600 is first completed.

그 다음, 제2 챔버모듈(200)의 제1 회전모터지지패널(63)에 결합되어 있는 제1 롤러부회전모터(61)를 회전시켜, 제2 챔버모듈(200)의 제1 롤러부(10)를 동일 평면상에서 기설정된 각도만큼 회전시킨 후, 제4 챔버모듈(400)를 향하도록 한다.Next, the first roller part rotation motor 61 coupled to the first rotation motor support panel 63 of the second chamber module 200 is rotated, so that the first roller part of the second chamber module 200 ( 10) is rotated by a predetermined angle on the same plane, so as to face the fourth chamber module 400.

이후, 기판(600)은 회전된 위치에서 제2 챔버모듈(200)의 제1 롤러부(10)에서 계속 이송되어 보조 롤러부(210)를 지나서, 제4 챔버모듈(400)의 다수의 제1 롤러(12)에 전달된다.Subsequently, the substrate 600 is continuously transported from the first roller portion 10 of the second chamber module 200 in the rotated position and passes through the auxiliary roller portion 210 to form a plurality of substrates of the fourth chamber module 400. 1 is transmitted to the roller 12.

또한, 도 8a 및 도 8b에 도시한 바와 같이, 제2 챔버모듈(200)에는 베어링 냉각구조가 형성되어 있다.8A and 8B, the bearing cooling structure is formed in the second chamber module 200.

이를 좀더 살펴보면, 제1 롤러부프레임(11)의 일측에는 베어링 하우징(H)이 결합되어 있고, 베어링 하우징(H) 내측에는 베어링(B)이 배치되어 있으며, 베어링(B)에 의하여 제1 롤러(12)가 회전 가능하도록 연결되어 있다.Looking at this more, the bearing housing (H) is coupled to one side of the first roller unit frame (11), the bearing (B) is disposed inside the bearing housing (H), the first roller by the bearing (B) 12 is rotatably connected.

따라서, 장시간 작동에 의하여 베어링(B)이 과열되는 것을 방지하도록, 상기 베어링(B)에 인접한 곳에 냉각수 유로(C)를 관통 형성시키고, 냉각수 유로(C)를 따라 냉각수를 순환시킴으로써, 베어링(B)이 안전하게 작동될 수 있다.Therefore, in order to prevent the bearing B from overheating by a long time operation, the cooling water flow path C is formed in the vicinity of the bearing B, and the cooling water is circulated along the cooling water flow path C so as to circulate the bearing B. ) Can be operated safely.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고, 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, the scope of the present invention is not limited thereto, and various modifications and improvements of those skilled in the art using the basic concepts of the present invention defined in the following claims are also provided. It belongs to the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 클러스터 장비를 나타낸 평면도이고,1 is a plan view showing the cluster equipment according to an embodiment of the present invention,

도 2는 도1에 도시한 클러스터 장비를 나타낸 정면도이고,2 is a front view showing the cluster equipment shown in FIG.

도 3은 도1에 도시한 클러스터 장비의 롤러부 및 롤러구동부를 나타낸 것으로서, (a)는 평면도이고, (b)는 정면도이고, (c)는 부분적으로 나타낸 사시도이고,Figure 3 shows the roller portion and the roller driving portion of the cluster equipment shown in Figure 1, (a) is a plan view, (b) is a front view, (c) is a perspective view partially shown,

도 4는 도2에 도시한 제2 챔버모듈의 승강부 및 회전부를 나타낸 것으로서, (a)는 평면도이고, (b)는 정면도이고,4 is a view showing the lifting and rotating portions of the second chamber module shown in FIG. 2, (a) is a plan view, (b) is a front view,

도 5는 도2에 도시한 제2 챔버모듈에서 승강부를 나타낸 것으로서, (a)는 평면도이고, (b)는 정면도이고, (C)는 저면도이고, (d)는 너트부가 하강된 것을 나타낸 정면도이고,Figure 5 shows the lifting portion in the second chamber module shown in Figure 2, (a) is a plan view, (b) is a front view, (C) is a bottom view, (d) shows that the nut portion is lowered Front view,

도 6은 도2에 도시한 제2 챔버모듈에서 회전부를 나타낸 것으로서, (a)는 평면도이고, (b)는 정면도이고,6 is a view showing a rotating part in the second chamber module shown in FIG. 2, (a) is a plan view, (b) is a front view,

도 7은 도2에 도시한 제3 챔버모듈을 나타낸 것으로서, (a)는 평면도이고, (b)는 정면도이고,7 is a view showing the third chamber module shown in FIG. 2, (a) is a plan view, (b) is a front view,

도 8은 냉각수 유로가 형성된 것을 부분적으로 나타낸 것으로서, (a)는 평면도이고, (b)는 정면도이다.8 is a partial view showing that a cooling water flow path is formed, (a) is a plan view, and (b) is a front view.

<도면에 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts in the drawings>

1 : 로드락 챔버 2a~2b : 프로세스 챔버1: Load lock chamber 2a-2b: Process chamber

3 : 트랜스퍼 챔버 4 : 로드락 슬롯밸브3: transfer chamber 4: load lock slot valve

5 : 프로세스 슬로밸브 10 : 제1 롤러부5: process slow valve 10: first roller part

10a : 인접롤러부 11 : 제1 롤러부프레임10a: adjoining roller part 11: first roller part frame

11a : 인접 롤러부프레임 12 : 제1 롤러11a: adjoining roller part frame 12: first roller

12a : 인접롤러 13 : 피동 마그네틱12a: Adjacent roller 13: Driven magnetic

13a : 인접피동마그네틱 14 : 제1 바퀴 13a: adjacent driven magnetic 14: first wheel

15 : 제1 롤러부프레임 20 : 제1 롤러구동부15: first roller part frame 20: first roller drive part

20a : 인접 롤러구동부 21 : 구동 마그네틱20a: Adjacent Roller Drive 21: Driving Magnetics

21a : 인접 구동마그네틱 22 : 제1 롤러구동모터21a: adjacent driving magnetic 22: first roller drive motor

23 : 제1 동력전달수단 30 : 제1 프레임부23: first power transmission means 30: first frame portion

40 : 바퀴 50 : 지지부재40: wheel 50: support member

60 : 회전부 61 : 제1 롤러부회전모터60: rotating portion 61: first roller rotating motor

62 : 회전모터 회전축 63 : 지지패널62: rotation motor rotation axis 63: support panel

64 : 커버 65 : 연결축64: cover 65: connecting shaft

70 : 승강부 71 : 제2 회전모터지지패널70: lifting unit 71: second rotation motor support panel

73 : 벨트 74 : 승강장치 73: belt 74: lifting device

74a : 나사축 74b : 너트부74a: screw shaft 74b: nut part

75 : 제2 회전모터보조패널 76 : 풀리75: second rotation motor auxiliary panel 76: pulley

77 : 받침패널 78 : 받침축77: support panel 78: support shaft

78a : 축받침 80 : 제1롤러부 구동부78a: bearing support 80: first roller drive unit

100 : 제1 챔버모듈 200 : 제2 챔버모듈100: first chamber module 200: second chamber module

210 : 보조 롤러부 300 : 제3 챔버모듈210: auxiliary roller 300: third chamber module

400 : 제4 챔버모듈 600 : 기판400: fourth chamber module 600: substrate

B : 베어링 C : 냉각수유로B: bearing C: cooling water flow path

F : 발열체프레임 H : 베어링 하우징F: Heating element frame H: Bearing housing

K : 키결합부K: key joint

Claims

In cluster equipment in which a plurality of chambers are connected,

A roller unit disposed in the chamber and having a plurality of rollers positioned at predetermined intervals on the same plane; and

A roller driving part connected to the plurality of rollers and rotating the plurality of rollers

Cluster equipment comprising a.

In claim 1,

The roller drive unit,

Power transmission means connected to the first drive motor,

A plurality of driving magnetics coupled to the power transmission means and arranged at predetermined intervals; and

A plurality of driven magnetics respectively coupled to ends of the plurality of rollers and overlapping the plurality of driving magnetics.

Containing

Cluster equipment.

In claim 2,

A rotating part connected to the roller part and rotating the roller part; and

An elevating portion connected to the roller portion and elevating the roller portion;

Cluster equipment comprising more.

4. The method of claim 3,

The rotating unit includes a rotating shaft connected to the roller unit, a connecting shaft connected to the rotating shaft and a first rotating motor connected to the connecting shaft.

In claim 4,

The rotating shaft is connected to the inside of the connecting shaft through a hole formed in one surface of the chamber and can move a predetermined distance inside the connecting shaft, the first rotating motor is disposed outside the chamber, The rotating unit further comprises a cover formed around a hole formed in one surface of the chamber.

The method of claim 4 or 5,

The elevating unit includes a support panel which is connected to the rotating shaft and positioned outside the chamber, and an elevating device connected to the support panel and elevating the support panel.

In claim 6,

The lifting device,

A plurality of nut parts connected to the support panel;

A plurality of screw shafts connected to the plurality of nut parts, and

A second rotary motor for transmitting power to the plurality of screw shafts

Including;

The nut portion is elevated by the rotation of the screw shaft

Cluster equipment.

In claim 7,

Roller part frame on which the roller part is placed,

One side is connected to the roller frame and the other side is connected to the support panel, the support shaft that can move with the support panel

More,

One side of the rotating shaft is connected to the roller frame and the other side is keyed to the inside of the connecting shaft, the rotating shaft is elevated along the key groove of the connecting shaft and the rotating shaft when the roller frame frame is elevated along the support shaft doing

Cluster equipment.

The method according to any one of claims 1 to 5,

Roller part frame on which the roller part is placed,

A bearing housing connected to the roller frame;

A bearing formed in the bearing housing, and

Cooling water flow path formed through the bearing housing

Cluster equipment comprising more.

The method according to any one of claims 1 to 5,

The roller unit and the roller driving unit are installed in each of the plurality of chambers, and the object flowing into the chamber is mounted on the roller unit and moves in accordance with the rotation of the roller unit, the cluster equipment to move from one chamber to another chamber .

In the cluster equipment in which the first chamber and the second chamber are connected,

A first roller part disposed in the first chamber and having a plurality of first rollers positioned at predetermined intervals on the same plane;

A first roller driver connected to the plurality of first rollers to rotate the plurality of rollers;

A rotating part connected to the first roller part and rotating the first roller part;

An elevating part connected to the first roller part and configured to elevate the first roller part;

A second roller part disposed in the second chamber and having a plurality of second rollers positioned at predetermined intervals on the same plane; and

A third roller portion disposed below the second roller portion at a predetermined interval and having a plurality of third rollers positioned at a predetermined interval on the same plane;

Include,

The first roller portion is moved up and down by the elevating portion may be located on the same plane as the second roller portion or the third roller portion.

Cluster equipment.