KR20100128540A - 카본나노튜브 기반 엑스선관 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

카본나노튜브 기반의 엑스선관(X-ray tube) 및 그 제조방법에 관련하여 기술된다. 전자방출물질인 카본나노튜브는 천연 바이오물질인 핵산(nucleic acid)에 의해 기능화되며 스프레이가 가능한 현탁액 상태로 전자방출층의 제조공정에 이용되므로 캐소드 전극의 형태에 무관하게 도포될 수 있다. 이러한 제조방법은 고가의 제조장치를 요구하지 않으며, 산업용 비파과 검사 및 의료용 방사선 진단 장치의 제조에 적합하다.

Description

카본나노튜브 기반 엑스선관 및 그 제조방법{Carbon nano tube based X-RAY TUBE and method for fabricating the same}

본 발명은 카본나노튜브 기반의 엑스선관 장치에 관련한 것으로 제작이 용이하고 높은 전류밀도를 가지는 카본나노튜브 기반의 전자방출물질을 이용한 엑스선관 및 그 제조 방법에 관련된다.

본 발명은 (재)서울특별시시정개발연구원, 정보통신기술연구소, 고려대학교산학협력단 및 경희대학교산학협력단의 신기술 연구개발 지원사업의 일환으로 수행한 연구로부터 도출된 것이다. [과제고유번호: CR070054C0211612, 과제명: 나노 기반 차세대 방사선 진단기 연구단(2차년도)]

엑스선관(X-ray tube)은 진공벌브(용기) 내에 전자방출원인 음극과 고전압의 양극이 마주 보게 위치하여 음극으로 부터 전자가 고속으로 양극에 충돌함으로써 엑스선을 발생하는 구조를 가진다. 음극으로서 일반적으로 열전자를 방출하는 텅스텐 필라멘트가 이용된다.

이러한 엑스선관은, 지속적으로 사용되면서 경시 현상, 예를 들어 음극의 열화, 양극의 손상이 진행되고, 이에 따라서 열전자 방출특성 저하 및 엑스선 방출량 의 감소가 나타나게 된다. 음극으로 사용되는 텅스텐 필라멘트는 자체 고온 발열에 의해 증발되어 탈가스(outgas)에 의한 내부 진공도의 저하를 유발하며 양극은 증발된 음극물질의 피착 및 전자의 고속충돌로 인한 손상을 입음으로써 엑스선 방출량을 점진적인 감소를 일으킨다.

이러한 열전자의 고속충돌에 의한 엑스선 방출을 유도하는 엑스선관은 상당한 규모의 기반 시스템을 요구하여 거대한 엑스선 장치를 낳는다. 따라서 엑스선 장치는 결과적으로 제작비용이 높을 뿐 아니라 설치 장소나 이용에 제한이 뒤따른다.

카본나노튜브는 우수한 물리적 화학적 내구성, 높은 전도성을 가지는 것으로 다양한 분야에서 그 응용이 연구되고 있으며, 엑스선 장치 분야에서도 전자방출원으로서 연구되고 있다. 카본나노튜브 전자방출원, 즉 에미터(emitter)의 제조방법에는 기판 상에 카본나노튜브를 직접 성장시키는 화학기상증착법(Chemical Vapor Deposition; CVD)과 분말상의 카본나노튜브를 함유하는 페이스트(paste)를 이용한 스크린 인쇄법(Screen Printing)등이 이용될 수 있다. CVD는 500℃ 이상의 고온 공정을 수반하기 때문에 기판(전극)의 형상 및 재료 선택에 제한이 뒤따른다. 또한, CVD 장비는 대량 생산에 한계가 있고 고가이기 때문에 생산비용면에서 불리하다. 인쇄법에 이용되는 페이스트는 카본나노튜브 외에도 금속입자, 무기물 및 유기물을 포함하기 때문에 일반적으로 300~400℃ 범위의 열처리를 요구한다. 이러한 열처리는 페이스트에 함유된 카본나노튜브의 손상을 초래하여 높은 밀도의 전자방출에 악영향을 미치며, 역시 기판이나 전극 물질의 선택을 제한한다.

본 발명의 예시적 실시 예(example embodiment)는 제작이 용이하고 제조단가를 낮출 수 있는 엑스선관과 그 제조 방법을 제시한다.

또한, 본 발명의 예시적 실시 예는 음극 베이스의 형상에 무관하게 카본나노튜브의 피착이 가능하고, 카본나노튜브의 손상을 감소시킬 수 있는 엑스선관 및 그 제조방법을 제시한다.

본 발명의 한 유형에 따르면,

진공 용기;

상기 진공 용기 내에서 상호 마주 대하게 배치되는 음극과 양극; 그리고

상기 음극과 양극를 각각 지지하는 홀더;를 구비하며,

상기 음극은, 상기 홀더에 지지되는 선형 음극 베이스와 음극 베이스의 표면에 형성되는 카본나노튜브 전자방출물질을 구비하는 엑스선관이 제공된다.

본 발명의 다른 유형에 따르면,

전자방출물질인 카본나노튜브를 포함하는 현탁액을 제조하는 단계;

음극 베이스를 준비하는 단계;

상기 음극 베이스에 상기 현탁액을 도포하는 단계;

상기 음극 베이스에 도포된 현탁액을 건조시켜 상기 카본나노튜브에 의한 전자방출층을 형성하여 상기 음극 베이스와 음극 베이스에 형성되는 전자방출층을 포함하는 음극을 얻는 단계;

엑스선 발생원인 금속 타깃을 포함하는 양극을 제조하는 단계; 그리고

상기 음극과 양극을 진공 용기 내에 결합하는 단계;를 포함하는 엑스선관의 제조방법이 제공된다.

구체적인 실시 예들에 따르면, 상기 카본나노튜브는 기능화물질에 의해 기능화됨으로써 현탁액에서 고르게 분사됨과 아울러 피착대상에 대한 강한 접착력을 가지게 된다. 상기 현탁액은 상기 카본나노튜브가 분산되는 물, 상기 카본나노튜브를 기능화하는 물질을 더 포함할 수 있다. 상기 기능화물질은 RNA, DNA, 프로테인(Protein), 펩타이드(Peptide), 엔자임(Enzyme) 으로 이루어지는 그룹에서 선택된 어느 하나이다.

다른 실시 예에 따르면, 상기 음극 베이스는 Au, Ag, Cu, Al, W, Mo, Ti, Ni 및 스테인리스 스틸에서 선택된 어느 하나의 전도성 물질로 형성될 수 있다.

또 다른 실시 예에 따르면, 상기 음극 베이스에 전기적으로 연결되는 홀더와 홀더에 전기적으로 연결되는 외부 연결핀을 더 구비할 수 있으며, 상기 연결핀은 K94610, 구리, 스테인리스 스틸, 알루미늄 중 어느 하나로 형성될 수 있다.

또 다른 실시 예에 따르면, 상기 홀더는 구리, 알루미늄, 스테인리스 스틸 중 어느 하나로 형성될 수 있다.

또 다른 실시 예에 따르면, 상기 타깃은 W, Mo, Cu, Ni, Ti 중에 어느 하나로 형성될 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 다양한 실시 예들에 따른 엑스선관 및 그 제조방법에 대해 설명한다.

도 1은 일 실시 예에 따른 엑스선관의 개략적 단면도이다.

밀폐된 진공용기(벌브, 10)내에 음극(20)과 양극(30)이 배치된다. 양극(30)은 경사진 전자충돌 면(31a)을 가지는 타깃(31)과 이를 지지하는 것으로 진공용기(10)를 관통하는 관상 홀더(32)를 구비한다. 음극(20)은 카본나노튜브가 그 표면에 코팅된 선형 음극 베이스(21)와 이를 지지하는 홀더(22)를 구비한다. 홀더(22)는 진공용기(10) 외부 연결핀(23)에 전기적으로 연결된다.

상기 선형 음극 베이스(21)는 얇고 긴 리본 형태 또는 가는 직경의 와이어의 형태를 가질 수 있다. 이러한 선형 음극 베이스(21)는 홀더(22)에 대해 아아치 형, 달리 표현하여, 궁(弓)형 또는 "C" 형으로 결합되어 있다. 이러한 음극 베이스는 Au, Ag, Cu, Al, W, Mo, Ti, Ni 및 스테인리스 스틸에서 선택된 어느 하나의 전도성 물질로 형성될 수 있다. 그리고 상기 홀더(22)는 원통형으로서 구리, 알루미늄, 스테인리스 스틸 중의 어느 하나로 형성될 수 있다. 한편, 상기 음극 베이스(21)를 아아치 형으로 지지하는 원통형 홀더(22)는, 다른 실시 예에 따라 음극 베이스의 양단을 고정하는 두 개의 지지체(미도시)로 대체될 수도 있다.

한편, 상기 홀더(22)에 접합 되는 것으로 외부로의 전기적 연결을 위한 연결핀(23)은 유리와 열팽창률이 비슷한 재료, 예를 들어 Kovar(코바)라 불리는 K94610(Ni : 29.5%, Fe: 53%, Co: 17%)이 사용될 수 있다. 다른 재료로서는 구리, SUS 304 와 같은 스테인리스 스틸, 알루미늄 중에서 선택될 수 있다.

한편, 타깃(31)은 W, Mo, Cu, Ni, Ti 중에 어느 하나로 형성된 봉상체로서 원통형 또는 캡형 홀더(32)에 끼워진 채 접합 될 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같 은 구조는 캡형 홀더(32)의 허리 부분이 진공용기(10)에 매립된 구조를 가지는데, 이 경우에 있어서도 홀더(32)는 상기 연결핀(23)과 같은 재료로 형성될 수 있다.

다른 실시 예에 따르면, 상기 타깃(31)용 홀더(32)는 진공 용기(10) 내에 위치하고 상기 음극(20)의 홀더(22)와 같이 연결핀에 의해 지지 될 수 있다. 도 1에서 타깃(31)과 음극 베이스(21) 사이의 점선은 전자방출을 제어하는 그리드(grid)를 상징적으로 도시한다.

도 2는 다른 실시 예에 따른 엑스선관을 도시한다.

도 2에 도시된 엑스선관에서, 양극(30a)에서 타깃(31a)이 고정된 홀더(32a)는 진공용기(10) 내에 위치하며, 연결핀(33a)에 의해 진공용기(10) 내측 일단(도면에서 좌측단부)에 고정된다. 이 연결핀(33a)은 전술한 음극(20)의 연결핀(23)과 같은 재료로 형성될 수 있다. 한편, 음극(20a)은, 핀(침상) 구조 음극 베이스(21a)를 가지며 홀더(22a)는 일단 부에 상기 침상 음극 베이스(21a)가 결합된다. 그리고 이러한 홀더(22a)는 외부 연결핀(23a)의 일단에 고정된다.

위에서 설명된 연결구조들은 예시적인 것들로서 본 실시 예의 기술적 범위를 제한하지 않는다.

한편, 상기 음극 베이스(21, 21a)는 진정한 의미에서 음극의 본체로서 그 표면에 전자방출물질이 코팅되어 있다. 이 전자방출물질은 카본나노튜브이며, 기능화 물질에 의해 기능화 처리될 수 있다. 여기에서 기능화는 카본나노튜브의 음극 베이스에 대해 매우 강한 결합력을 제공하고 후술되는 현탁액에서 카본나노튜브의 고른 분산을 유도한다. 카본나노튜브를 기능화하기 위한 물질로서는 RNA, DNA, 프로테인 (Protein), 펩타이드(Peptide), 엔자임(Enzyme) 으로 이루어지는 그룹에서 선택된 어느 하나이다.

이하, 음극의 제조 과정을 통해서 실시 예에 따른 엑스선관의 제조방법이 이해될 수 있다.

도 9는 일 실시 예에 따른 엑스선관의 제조공정을 나타내 보이는 개략적 공정흐름도이다.

도 9를 참조하며, 먼저 음극 베이스와 현탁액을 준비한다(901). 그리고 현탁액을 스프레이법으로 음극 베이스에 도포한다(902). 음극 베이스에 도포된 현탁액을 건조시켜 음극 베이스의 표면에 전자 방출층을 형성한다(904). 상기 음극 베이스를 홀더와 이를 지지하는 구조물에 조립하고 그리고 양극 구조체를 제조한다. 이에 이어 최종적으로 미리 준비된 진공용기에 음극 구조체와 양극 구조체를 조립/밀봉하여 목적하는 엑스선관을 얻는다.

위의 과정을 구체적으로 살펴보면, 상기 음극 베이스는 얇고 긴 리본 형태 또는 원형 단면을 가지는 와이어가 될 수 있다. 리본 형태의 음극 베이스는 폭 0.3mm, 두께 0.05mm을 가진 SUS304(스테인리스 스틸), 또는 0.2mm 직경을 가진 텅스텐 선으로부터 얻을 수 있다.

이러한 음극 베이스의 재료는 Au, Ag, Cu, Al, W, Mo, Ti, Ni 및 스테인리스 스틸 중에서 선택될 수 있다.

다음에 음극 베이스에 전자방출물질을 코팅하기 위한 현탁액을 준비한다. 현탁액은 물과 카본나노튜브를 포함한다. 여기에서는 기능화물질로서는 전술한 바와 같이, RNA, DNA, 프로테인(Protein), 펩타이드(Peptide), 엔자임(Enzyme) 으로 이루어지는 그룹에서 선택된 어느 하나가 이용될 수 있다. 카본나노튜브 현탁액은, 물에 RNA를 넣어 용해시킨 후 카본나노튜브, 예를 들어 다중벽 카본나노튜브를 적절량 넣어 초음파로 분산 및 혼합 시킨 후, 원심분리기로 안정화시킨다. 현탁액의 조성의 일례는 물 100ml에 대해 다중벽 카본나노튜브 20mg, RNA 7mg이다.

상기와 같이 얻어진 현탁액을 스프레이 법에 의해 상기 음극베이스에 도포한다. 이때에 음극 베이스에 대한 카본나노튜브의 강한 결합을 유도하기 위해 스프레이는 130~150℃, 구체적으로 약 140℃의 핫플레이트 상 음극 베이스를 올린 상태에서 진행하며, 건조는 약 60~95℃, 구체적으로 70℃의 분위기, 예를 들어 내부 온도가 70℃인 오븐 내에서 진행한다.

이에 이어 전자방출원인 카본나노튜브의 전자방출층을 활성화하는 단계로서, 점착 테이핑법이나 폴리머몰딩에 의해 음극베이스에 코팅된 카본나노튜브를 일으켜 세운다. 즉, 카본나노튜브 코팅면에 점착테이프를 부탁하거나 폴리머층을 형성/건조 한 후 이들을 코팅면으로부터 분리시킴으로써 음극 베이스에 대해 누워있는 카본나노튜브를 일으켜 세워, 전자방출에 기여하는 방출단(emission end)을 증가시킨다.

이와 같이 표면처리가 완료된 후 이를 홀더에 부착한 후 일반적인 공정에 따라 도 1 또는 도 2에 도시된 바와 같이 엑스선관을 제조한다.

도 3은 구리로 된 타깃(31)에 마주 대하는 SUS 304 음극 베이스(21)에 스프레이법에 의해 형성된 전자방출층(카본나노튜브-헥산(예를 들어, RNA))을 형성한 후 이를 홀더(22)에 아아치형으로 구부려 고정시킨 음극 구조를 보인다. 도 4는 음극 베이스(21)에 형성된 카본나노튜브-RNA 전자방출물질층의 SEM 이미지이다. 도 4에 도시된 바와 같이 카본나노튜브는 매우 치밀한 망상구조를 가지며 적절한 량의 방출단이 형성되어 있음을 알 수 있다.

도 5는 도 3에 도시된 음극 및 양극 구조를 가지는 엑스선관의 전압변화에 따른 전자방출 특성을 보여주는 그래프이다. 약 20 kV에서 1mA 전류을 얻었는데, 이는 5x10^-6 Torr 진공압력에서 측정하였다.

도 6a는 상기 엑스선관을 이용하여 실리콘 반도체 소자가 장착된 인쇄회로기판의 앞면(왼쪽))과 뒷면의 실제 사진(중앙)과 엑스-선 투과 영상사진(오른쪽)을 보여 주고 있다.

도 6b는 두께 1mm 알루미늄 판을 7층으로 구성된 샘플 사진과 전술한 엑스선관을 이용한 엑스선 투과 영상사진을 보여 주고 있다. 이때에 음극-양극에 대한 전압은 20kV로서 약 30초 동안 엑스선을 방출하였다. 도 6b의 우측 사진에 나타난 숫자는 엑스선이 투과한 알루미늄 판의 수를 나타낸다. 도 6b의 오른쪽의 그림에 나타난 바와 같이, 엑스선은 4 장의 알루미늄 판을 투과한 것을 알 수 있다.

도 7은 도 2에 도시된 음극의 구조를 가지는 것으로 구리 타깃(31)에 대향하여 핀(침상) 구조의 음극 베이스(21a)가 배치되며 음극 베이스는 긴 원통 상의 홀더(22a)에 고정되어 있다.

도 7에 도시된 구조의 음극을 이용한 엑스선관을 제조한 후 엑스선방출을 테 스트하였다. 도 8의 왼쪽 사진은 방사선 투과 테스트에 적용된 노출물로서 원형 관통공이 다수 형성되는 SUS 304 메쉬의 사진이며, 그 오른쪽 사진은 SUS 304 메쉬에 대한 엑스선투과 영상을 보인다.

본 발명의 실시 예들에 따르면, 기능화 물질을 포함하는 것으로 스프레이가 가능한 카본나노튜브 현탁액을 사용해서 전자방출층을 형성하기 때문에 음극 베이스의 구조나 형상 및 재료에 상관없이 양질의 전자방출층을 얻을 수 있다. 이러한 전자방출층은 낮은 온도에서의 건조를 요구할 뿐 기존의 고온하에서의 열처리를 요구하지 않으며 따라서 이로 인한 카본나노튜브의 손상의 염려가 없다. 따라서, 양질의 전자방출구조를 가지는 엑스선관을 낮은 제조비용으로 얻을 수 있따.

이상에서 여러 실시 예를 통해서 본 발명이 제안하는 엑스선관 및 이의 제조방법이 설명되었으나 이는 본 발명의 넓은 기술적 범위를 제한하지 않으며, 나아가서는 전술한 실시 예의 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이며 이 역시 본원 발명의 기술적 범위에 포함될 것이다. 따라서, 첨부된 청구범위는 발명의 진정한 범위 내에 속하는 이러한 수정과 변형을 포함할 것으로 예상된다.

도 1은 일 실시 예에 따른 엑스선관의 개략적 단면도이다.

도 2는 다른 실시 예에 따른 엑스선관의 개략적 단면도이다.

도 3은 도 1에 도시된 엑스선관의 실제 제작된 샘플의 일부 구조를 보인다.

도 4는 실시 예에 따라 음극 베이스에 형성된 카본나노튜브 전자방출층을 보이는 SEM 이미지이다.

도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 엑스선관의 전압-전류 특성을 보이는 그래프이다.

도 6a, 6b는 본 발명의 일 실시 예에 따른 엑스선관을 이용한 엑스선 방출을 테스트하기 위하여 사용된 샘플 및 엑스선 투과 영상을 각각 보인다.

도 7은 도 2에 도시된 엑스선관의 실제 제작된 샘플의 일부 구조를 보인다.

도 8은 도 7에 도시된 엑스선관 샘플을 이용한 엑스선 방출을 테스트하기 위하여 사용된 샘플과 엑스선 투과 영상을 각각 보인다.

도 9은 본 발명의 일 실시 예에 따른 엑스선관의 제조 공정 흐름도이다.

Claims (20)

1. 전자방출물질인 카본나노튜브를 포함하는 현탁액을 제조하는 단계;

   음극 베이스를 준비하는 단계;

   상기 음극 베이스에 상기 현탁액을 도포하는 단계;

   상기 음극 베이스에 도포된 현탁액을 건조시켜 상기 카본나노튜브에 의한 전자방출층을 형성하여 상기 음극 베이스와 음극 베이스에 형성되는 전자방출층을 포함하는 음극을 얻는 단계;

   엑스선 발생원인 금속 타깃을 포함하는 양극을 제조하는 단계; 그리고

   상기 음극과 양극을 진공 용기 내에 결합하는 단계;를 포함하는 카본나노튜브 기반 엑스선관의 제조방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 현탁액은 상기 카본나노튜브가 분산되는 물, 상기 카본나노튜브의 현탁액에서의 고른 분산을 유도하고 음극 베이스에 대한 접착력을 강화하는 기능화 물질을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카본나노튜브 기반 엑스선관의 제조방법.
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 기능화물질은 RNA, DNA, 프로테인(Protein), 펩타이드(Peptide), 엔자임(Enzyme) 으로 이루어지는 그룹에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 카 본나노튜브 기반 엑스선관의 제조방법.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 현탁액을 상기 음극 베이스에 스프레이법으로 도포하는 것을 특징으로 하는 카본나노튜브 기반 엑스선관의 제조방법.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 음극 베이스는 Au, Ag, Cu, Al, W, Mo, Ti, Ni 및 스테인리스 스틸에서 선택된 어느 하나의 전도성 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 카본나노튜브 기반 엑스선관의 제조방법.
6. 제 4 항에 있어서,

   상기 스프레이법은 120~160℃ 핫플레이트 상에서 진행하는 것을 특징으로 하는 카본나노튜브 기반 엑스선관의 제조방법.
7. 제 6 항에 있어서,

   상기 스프레이법을 약 140℃의 분위기에서 진행하는 것을 특징으로 하는 카본 나노튜브 기반 엑스선관의 제조방법.
8. 제 6 항에 있어서,

   상기 스프레이법에 의해 전자방출층을 형성한 후, 약 40~90 ℃의 분위기에서 상기 전자방출층을 건조시키는 것을 특징으로 하는 카본나노튜브 기반 엑스선관의 제조방법.
9. 제 8 항에 있어서,

   상기 전자방출층을 70℃의 분위기에서 건조하는 것을 특징으로 하는 카본나노튜브 기반 엑스선관의 제조방법.
10. 제 1 항 내지 제 9 항 중의 어느 한 항에 있어서,

    상기 전자방출층을 건조한 후, 전자방출층의 표면을 활성화하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 카본나노튜브 기반 엑스선관의 제조방법.
11. 진공 용기;

    상기 진공 용기 내에서 상호 마주 대하게 배치되는 음극과 양극; 그리고

    상기 음극과 양극를 각각 지지하는 홀더;를 구비하며,

    상기 음극은, 상기 홀더에 지지되는 선형 음극 베이스와 음극 베이스의 표면에 형성되는 카본나노튜브 전자방출물질을 구비하는 카본나노튜브 기반 엑스선관.
12. 제 11 항에 있어서,

    상기 음극 베이스는 상기 양극을 향하여 연장되는 핀(침상) 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 카본나노튜브 기반 엑스선관.
13. 제 11 항에 있어서

    상기 음극 베이스는 아아치형으로 휘어진 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 카본나노튜브 기반 엑스선관.
14. 제 13 항에 있어서,

    상기 홀더는 음극 베이스가 아아치형으로 결합되는 관상체인 것을 특징으로 하는 카본나노튜브 기반 엑스선관.
15. 제 11 항 내지 제 14 항 중의 어느 한 항에 있어서,

    상기 카본나노튜브는 RNA, DNA, 프로테인(Protein), 펩타이드(Peptide), 엔자임(Enzyme)으로 이루어지는 그룹에서 선택된 어느 하나의 물질에 의해 기능화되어 있는 것을 특징으로 하는 카본나노튜브 기반 엑스선관.
16. 제 11 항 내지 제 14 항 중의 어느 한 항에 있어서,

    상기 음극 베이스는 Au, Ag, Cu, Al, W, Mo, Ti, Ni 및 스테인리스 스틸에서 선택된 어느 하나의 전도성 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 카본나노튜브 기반 엑스선관.
17. 제 11 항 내지 제 14 항 중의 어느 한 항에 있어서,

    상기 홀더에 전기적으로 연결되는 외부 연결핀을 더 구비하는 특징으로 하는 카본나노튜브 기반 엑스선관.
18. 제 17 항에 있어서,

    상기 연결핀은 K94610, 구리, 스테인리스 스틸, 알루미늄 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 엑스선관의 카본나노튜브 기반 엑스선관.
19. 제 11 항 내지 제 14 항 중의 어느 한 항에 있어서,

    상기 홀더는 구리, 알루미늄, 스테인리스 스틸 중 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 카본나노튜브 기반 엑스선관.
20. 제 11 항 내지 제 14 항 중의 어느 한 항에 있어서,

    상기 양극은 W, Mo, Cu, Ni, Ti 중에 어느 하나로 형성되는 것을 특징으로 하는 카본나노튜브 기반 엑스선관.

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