KR20100116299A - Multi- substrate continuous coating apparatus with double-face coating jig - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An apparatus for continuously coating a multi-substrate is provided to improve productivity and benefit. CONSTITUTION: An apparatus for continuously coating a multi-substrate comprises: at least one or more jig(100) which fixes the substrate to coat both sides of the substrate(10); a pair of rotation body(200) which rotates the jig; a pair or coating bath(300) containing a coating solution to coat the substrate; a lifting unit(400) for selectively coating; a flow control part(500a) which is able to control coating liquid of the coating bath; and a pair of drying device(600) for drying the coated substrate.

Description

양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치{MULTI- SUBSTRATE CONTINUOUS COATING APPARATUS WITH DOUBLE-FACE COATING JIG}Multi-substrate continuous coating device with double-side coating jig {MULTI- SUBSTRATE CONTINUOUS COATING APPARATUS WITH DOUBLE-FACE COATING JIG}

본 발명은 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치에 관한 것으로, 한 쌍의 회전체에 다수개의 기판을 각각 고정시키고 한 쌍의 코팅욕조에서 상기 기판을 각각 코팅 후 코팅된 기판이 한 쌍의 건조장치에서 각각 건조하여 대량의 기판을 연속적으로 코팅 및 건조할 수 있는 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치에 관한 것이다.The present invention relates to a multi-substrate continuous coating apparatus having a double-side coating jig, each of which fixed a plurality of substrates to a pair of rotating bodies and coated the substrates in a pair of coating baths, respectively, the coated substrate is a pair of drying The present invention relates to a multi-substrate continuous coating apparatus having a double-sided coating jig which can be dried in the apparatus and can continuously coat and dry a large amount of substrates.

일반적으로 코팅장치는, 기판을 기판 고정장치를 통해 코팅욕조에 침지 후 기판을 일정 속도로 인상(引上) 시켜 기판을 코팅 후 코팅된 기판을 기판 고정장치에서 분리하여 별도의 건조장치에서 건조하여 기판의 코팅을 완료하였다.In general, the coating apparatus, after immersing the substrate in the coating bath through the substrate fixing device to raise the substrate at a constant speed (coupling) the substrate after coating the coated substrate is separated from the substrate fixing device and dried in a separate drying device Coating of the substrate was completed.

상기와 같은 방법으로 기판을 코팅시에는, 기판의 코팅의 생산수율 및 코팅면적 증가에 따른 코팅막의 두께편차 및 기판의 무게의 증가에 따른 코팅장치의 진 동이 발생하여 코팅막의 품질 저하가 발생하며, 대량의 기판을 연속적으로 코팅할 수 없으므로, 낮은 생산수율로 인하여 수익성이 저감되는 문제점이 있었다.When coating the substrate in the same manner as above, the coating film thickness variation and the weight of the substrate increase due to the production yield and the coating area of the coating of the substrate, the vibration of the coating device occurs, the quality of the coating film occurs, Since it is not possible to continuously coat a large number of substrates, there was a problem that the profitability is reduced due to low production yield.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 한 쌍의 회전체에 다수개의 기판을 각각 고정시키고 한 쌍의 코팅욕조에서 상기 기판을 각각 코팅 후 코팅된 기판이 한 쌍의 건조장치에서 각각 건조되어 대량의 기판을 연속적으로 코팅 및 건조하여 코팅의 공정시간 단축, 코팅막의 품질향상, 기판 코팅에 수익성을 향상시킬 수 있는 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.The present invention has been made in order to solve the above problems, the plurality of substrates are fixed to a pair of rotating bodies, respectively, after coating the substrates in a pair of coating baths respectively coated substrates in a pair of drying apparatus, respectively The purpose of the present invention is to provide a multi-substrate continuous coating apparatus having a double-sided coating jig that can be dried and continuously coated and dried a large number of substrates to shorten the process time of the coating, improve the quality of the coating film, and improve the profitability of the substrate coating. .

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른, 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치는, 기판의 양면이 코팅되도록 상기 기판을 고정하는 적어도 하나 이상의 지그; 상기 지그를 회전시키는 한 쌍의 회전체; 상기 기판이 코팅되도록 코팅액이 수용된 한 쌍의 코팅욕조; 상기 코팅욕조를 선택적으로 승강시켜 상기 지그에 고정된 기판을 선택적으로 코팅시키는 승강수단; 상기 코팅욕조 중 어느 하나가 승강시 상기 코팅욕조의 코팅액을 조절하는 유량조절부; 상기 코팅욕조에서 코팅된 기판을 건조하는 한 쌍의 건조장치; 및 상기 회전체, 승강수단, 유량조절부 및 상기 건조장치를 제어하는 제어부; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the multi-substrate continuous coating apparatus having a double-sided coating jig, at least one jig for fixing the substrate so that both sides of the substrate is coated; A pair of rotating bodies for rotating the jig; A pair of coating baths in which a coating liquid is accommodated such that the substrate is coated; Elevating means for selectively elevating the coating bath to selectively coat the substrate fixed to the jig; Flow control unit for adjusting the coating liquid of the coating bath when any one of the coating bath is elevated; A pair of drying devices for drying the substrate coated in the coating bath; And a control unit for controlling the rotating body, the lifting means, the flow rate control unit and the drying apparatus; Characterized in that comprises a.

또한, 상기 지그는, 상기 기판의 일측이 고정되는 고정홈이 형성된 고정부; 및 상기 고정부에는, 상기 고정홈에 고정된 기판의 이탈을 방지하는 이탈방지수단; 이 더 구비되는 것을 특징으로 한다.The jig may further include: a fixing part having a fixing groove in which one side of the substrate is fixed; And the fixing portion, the separation preventing means for preventing the separation of the substrate fixed to the fixing groove; It is characterized in that it is further provided.

또한, 상기 이탈방지수단은, 상기 고정홈에 삽입된 기판의 이탈을 방지하도록 상기 고정홈의 상단에 삽입되어 상기 기판의 일측을 압착 고정시켜 상기 기판의 이탈을 방지하는 다수 개의 압축나사; 및 상기 압축나사의 상단에 결합되어 상기 압축나사의 높이를 조정하는 높이조절나사; 로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, the separation preventing means, a plurality of compression screws inserted into the upper end of the fixing groove to prevent the separation of the substrate inserted into the fixing grooves by pressing one side of the substrate to prevent the separation of the substrate; A height adjusting screw coupled to an upper end of the compression screw to adjust a height of the compression screw; Characterized in that consists of.

또한, 상기 압축나사는, 상기 고정홈에 삽입된 기판을 압착 고정시 압착이 용이하며, 상기 기판의 손상을 최소화시키기 위하여 압착판이 더 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the compression screw, it is easy to crimp when fixing the substrate inserted into the fixing groove, characterized in that the pressing plate is further provided to minimize the damage of the substrate.

또한, 상기 코팅욕조에 수용되는 코팅액은, 휘발성의 점도가 낮은 유/무기성 용매인 물, 알코올, 아세톤, 에테르, 벤젠 중 어느 하나인 것을 특징으로 한다.In addition, the coating solution accommodated in the coating bath is characterized in that any one of water, alcohol, acetone, ether, benzene, which is an organic / inorganic solvent having a low volatile viscosity.

또한, 상기 회전체는, 지면에 수직으로 고정되는 고정몸체; 상기 고정몸체에서 수평으로 형성되어 상기 지그를 회전시키는 회전몸체; 상기 회전몸체에 연이여 형성되어 상기 지그와 연결되는 다수 개의 지그연결부; 및 상기 제어부에 의하여 상기 회전몸체를 회전시키는 회전모터; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, the rotating body, the fixed body which is fixed perpendicular to the ground; A rotating body formed horizontally from the fixed body to rotate the jig; A plurality of jig connecting portions formed by connecting the rotatable body and connected to the jig; And a rotating motor for rotating the rotating body by the controller. Characterized in that comprises a.

또한, 상기 승강수단은, 상기 코팅욕조 하부에 형성되는 제1,2수직프레임; 상기 제1,2수직프레임과 연이여 형성된 수평프레임; 상기 수평프레임의 중심부에는 상기 코팅욕조의 승강에 따라 상기 수평프레임이 소정각도로 회동되는 중심축;으로 구성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the lifting means, the first and the second vertical frame formed in the coating bath; A horizontal frame formed by connecting the first and second vertical frames; And a central axis in the center of the horizontal frame in which the horizontal frame is rotated at a predetermined angle in accordance with the elevation of the coating bath.

또한, 상기 제1,2수직프레임 하단에는, 상기 코팅욕조가 승강시 상기 코팅욕조의 수평을 유지하도록 베어링이 각각 형성되고; 상기 베어링의 과도한 유동을 방지하도록 실린더 또는 스크류 중 어느 하나가 상기 제1,2수직프레임 및 상기 수평프레임에 연결형성되며; 상기 실린더 및 스크류를 구동시키기 위하여 제어부의 제어를 받는 구동펌프가 더 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, bearings are formed at lower ends of the first and second vertical frames so that the coating bath maintains the horizontal level of the coating bath when the coating bath is elevated. One of a cylinder or a screw is connected to the first and second vertical frames and the horizontal frame to prevent excessive flow of the bearing; In order to drive the cylinder and the screw is characterized in that the drive pump under the control of the control unit is further provided.

또한, 상기 중심축의 일측에는, 상기 코팅욕조를 승강시키는 실린더 또는 스크류 중 어느 하나가 상기 수평프레임의 하단부에 연이여 이루어지며; 상기 실린더 및 스크류를 구동시키기 위하여 제어부의 제어를 받는 구동펌프가 더 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, at one side of the central axis, any one of the cylinder or screw for elevating the coating bath is connected to the lower end of the horizontal frame; In order to drive the cylinder and the screw is characterized in that the drive pump under the control of the control unit is further provided.

또한, 상기 실린더는, 유압 또는 기압으로 구동되는 것을 특징으로 한다.In addition, the cylinder is characterized in that driven by hydraulic pressure or air pressure.

또한, 상기 중심축은, 상기 수평프레임이 회동 가능하도록 상기 수평프레임의 하부에 형성되는 베어링; 상기 베어링이 안착되는 안착부; 상기 안착부에 안착된 베어링을 고정하는 고정핀; 및 상기 안착부 하부에 연이여 형성되어 안착부를 지지하는 지지부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the central axis, the bearing formed in the lower portion of the horizontal frame so that the horizontal frame is rotatable; A seating part on which the bearing is seated; A fixing pin for fixing the bearing seated on the seating part; It is characterized in that it comprises a; and the support portion is formed in the lower portion of the seating portion to support the seating portion.

또한, 상기 유량조절부는, 상기 코팅욕조 중 어느 하나가 승강시 상기 코팅욕조에서 코팅액을 배출시키도록 제어부의 제어를 받는 개폐밸브와, 상기 개폐밸브에서 배출되는 코팅액의 배출 유속을 일정하게 조절하기 위하여 밸브의 개방면적을 조절하여 코팅액을 배출하도록 제어부의 제어를 받는 가변조절밸브 이루어진 유량조절부; 및 상기 코팅욕조가 승강시 상기 코팅욕조에서 코팅액을 배출시키는 배출펌프와, 상기 코팅욕조에서 코팅액을 흡입하는 흡입펌프로 이루어지며, 상기 배출 펌프와 흡입펌프의 속도를 조절하여 상기 코팅액의 배출량을 제어하여 코팅액의 배출 유속을 일정하게 조절하도록 상기 제어부의 제어를 받는 감속기로 이루어진 유량조절부; 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, the flow rate control unit, in order to constantly adjust the discharge flow rate of the coating liquid discharged from the opening and closing valve and the control of the control unit to discharge the coating liquid from the coating bath when any one of the coating bath is elevated. A flow rate control unit made of a variable control valve controlled by the control unit to discharge the coating liquid by adjusting the opening area of the valve; And a discharge pump for discharging the coating liquid from the coating bath when the coating bath is elevated, and a suction pump for sucking the coating liquid from the coating bath, and controlling the discharge rate of the coating liquid by controlling the speed of the discharge pump and the suction pump. A flow rate control unit made of a reducer under the control of the control unit to constantly adjust the discharge flow rate of the coating liquid; It is characterized by consisting of any one of.

또한, 상기 건조장치는, 상기 코팅욕조에서 코팅이 완료된 기판이 상기 회전체에 회전에 의하여 진입되는 건조몸체부; 상기 전조몸체부 내부에는, 상기 기판이 진입시 상기 기판에 코팅된 코팅액을 건조하도록 열선이 형성되며; 상기 제어부에 의하여 상기 열선에 전원을 공급하는 전원공급부;로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, the drying apparatus, the drying body portion is entered into the substrate by the coating is completed in the coating bath by rotating the rotating body; Inside the precursor body portion, a hot wire is formed to dry the coating liquid coated on the substrate when the substrate enters; And a power supply unit supplying power to the heating wire by the control unit.

또한, 상기 열선은, 상기 기판에 코팅된 코팅액의 건조가 용이하도록 100℃ ~ 200℃로 발열되는 것을 특징으로 한다.In addition, the hot wire is characterized in that it is heated to 100 ℃ ~ 200 ℃ to facilitate the drying of the coating liquid coated on the substrate.

또한, 상기 건조몸체부는, 상기 기판의 효율적인 건조를 위하여 상기 기판이 각각 진입되도록 다수개의 건조칸이 구획되어 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, the drying body portion, characterized in that a plurality of drying compartments are partitioned so that each of the substrate enters for efficient drying of the substrate.

본 발명에 따르면, 대량의 기판을 코팅 및 건조를 연속적으로 가능하므로, 대량 코팅에 따른 생산성 향상과 수익성 향상 효과가 있으며, 코팅과 건조를 동시에 연속적 실시함으로 기판의 코팅에 따른 공정시간이 단축될 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, since the coating and drying of a large number of substrates can be performed continuously, there is an improvement in productivity and profitability of the bulk coating, and the process time according to the coating of the substrate can be shortened by performing the coating and drying continuously. It has an effect.

이하, 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 구성을 상세히 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, the configuration of the present invention with reference to the accompanying drawings in detail as follows.

도 1 내지 2는 본 발명에 따른 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 사용상태를 나타낸 정도면이고, 도 3 내지 4는 본 발명에 따른 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 실시예의 사용상태를 나타낸 정도면이며, 도 5는 본 발명에 따른 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 측면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 지그를 나타낸 사시도이며, 도 7 본 발명에 따른 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 지그를 나타낸 단면도이고, 도 8은 본 발명에 따른 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 제어부를 나타낸 도면이며, 도 9는 본 발명에 따른 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치 제1,2수직프레임을 나타낸 도면이고, 도 10은 본 발명에 따른 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 수직프레임을 나타낸 도면이다.1 to 2 is a view showing the state of use of the multi-substrate continuous coating apparatus having a double-side coating jig according to the present invention, Figures 3 to 4 is an embodiment of the multi-substrate continuous coating apparatus having a double-side coating jig according to the present invention 5 is a side view of a multi-substrate continuous coating apparatus having a double-side coating jig according to the present invention, and FIG. 6 is a jig of a multi-substrate continuous coating apparatus having a double-side coating jig according to the present invention. 7 is a cross-sectional view illustrating a jig of a multi-substrate continuous coating apparatus having a double-side coating jig according to the present invention, and FIG. 8 is a view showing a controller of the multi-substrate continuous coating apparatus having a double-side coating jig according to the present invention. 9 is a view showing a multi-substrate continuous coating apparatus first and second vertical frames having a double-side coating jig according to the present invention, Figure 10 is a double-sided coating according to the present invention That comprises him a view showing the vertical frame of the continuous substrate coating apparatus.

도 1 내지 도 10에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 구성은, 기판(10)의 양면이 코팅되도록 상기 기판(10)을 고정하는 적어도 하나 이상의 지그(100)와, 상기 지그(100)를 회전시키는 한 쌍의 회전체(200), 상기 기판(10)이 코팅되도록 코팅액이 수용된 한 쌍의 코팅욕조(300), 상기 코팅욕조(300)를 선택적으로 승강시켜 상기 지그(100)에 고정된 기판(10)을 선택적으로 코팅시키는 승강수단(400), 상기 코팅욕조(300) 중 어느 하나 가 승강시 상기 코팅욕조(300)의 코팅액을 조절하는 유량조절부(500a,500b), 그리고 상기 코팅욕조(300)에서 코팅된 기판(10)을 건조하는 한 쌍의 건조장치(600) 및상기 회전체(200), 승강수단(400), 유량조절부(500a,500b) 및 상기 건조장치(600) 를 제어하는 제어부(700)를 포함하여 이루어진다.1 to 10, a multi-substrate continuous coating apparatus having a double-side coating jig according to the present invention, at least one jig for fixing the substrate 10 so that both sides of the substrate 10 is coated ( 100), a pair of rotating bodies 200 for rotating the jig 100, a pair of coating bath 300, the coating bath 300, the coating bath is accommodated so that the substrate 10 is coated selectively Lifting means 400 for selectively coating the substrate 10 fixed to the jig 100 by elevating, the flow rate control to adjust the coating liquid of the coating bath 300 when one of the coating bath 300 is elevated Part 500a, 500b, and a pair of drying apparatus 600 for drying the substrate 10 coated in the coating bath 300 and the rotating body 200, elevating means 400, flow control unit ( 500a and 500b and a control unit 700 for controlling the drying apparatus 600 is made.

상기 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.The multi-substrate continuous coating apparatus having the double-sided coating jig will be described in detail as follows.

1) 지그(100)1) Jig (100)

상기 지그(100)는, 상기 기판(10)의 양면이 코팅되도록 상기 기판(10)을 고정하는 것으로, 상기 기판(10)의 일측이 고정되는 고정홈(115)이 형성된 고정부(110)와, 상기 고정부(110)에는, 상기 고정홈(115)에 고정된 기판(10)의 이탈을 방지하는 이탈방지수단(120)이 구비된다.The jig 100 is to fix the substrate 10 so that both sides of the substrate 10 are coated, the fixing portion 110 is formed with a fixing groove 115 is fixed to one side of the substrate 10 and In addition, the fixing unit 110, the separation preventing means 120 for preventing the separation of the substrate 10 fixed to the fixing groove 115 is provided.

특히, 상기 이탈방지수단(120)은, 상기 고정홈(115)에 삽입된 기판(10)의 이탈을 방지하도록 상기 고정홈(115)의 상단에 삽입되어 상기 기판(10)의 일측을 압착 고정시켜 상기 기판(10)의 이탈을 방지하는 다수 개의 압축나사(121)와 상기 압축나사(121)의 상단에 결합되어 상기 압축나사(121)의 높이를 조정하는 높이조절나사(125)로 이루어진다.In particular, the separation preventing means 120 is inserted into the upper end of the fixing groove 115 to prevent the separation of the substrate 10 inserted into the fixing groove 115 to crimp one side of the substrate 10 It consists of a plurality of compression screw 121 to prevent the separation of the substrate 10 and the height adjustment screw 125 is coupled to the upper end of the compression screw 121 to adjust the height of the compression screw 121.

또한, 상기 압축나사(121)는, 상기 고정홈(115)에 삽입된 기판(10)을 압착 고정시 압착이 용이하며, 상기 기판(10)의 손상을 최소화시키기 위하여 압착판(122)이 더 구비된다.In addition, the compression screw 121 is easy to crimp when fixing the substrate 10 inserted into the fixing groove 115, the pressing plate 122 is further to minimize the damage of the substrate (10) It is provided.

2) 회전체(200)2) rotating body 200

상기 회전체(200)는, 상기 지그(100)와 연이여 형성되는 것으로, 상기 지그(100)에 결합되는 다수개의 기판(10)을 회전시켜 상기 코팅욕조(300)에서 기판(10)을 코팅시키고, 코팅된 상기 기판(10)을 상기 건조장치(600)에서 기판(10)을 건조시키는 것으로, 상기 회전체(200)는, 지면에 수직으로 고정되는 고정몸체(210)와 상기 고정몸체(210)에서 수평으로 형성되어 상기 지그(100)를 회전시키는 회전몸체(220), 그리고 상기 회전몸체(220)에 연이여 형성되어 상기 지그(100)와 연결되는 다수 개의 지그연결부(210) 및 상기 제어부(700)에 의하여 상기 회전몸체(220)를 회전시키는 회전모터(230)를 포함하여 이루어진다.The rotating body 200 is formed to be connected to the jig 100 and rotates a plurality of substrates 10 coupled to the jig 100 to coat the substrate 10 in the coating bath 300. And, by drying the substrate 10 in the drying apparatus 600 coated the substrate 10, the rotating body 200, the fixed body 210 and the fixed body (fixed perpendicularly to the ground) Rotating body 220 is formed horizontally in the 210 to rotate the jig 100, and a plurality of jig connection portion 210 and the plurality of jig connecting portion 210 is formed connected to the rotating body 220 and the jig 100 It comprises a rotary motor 230 for rotating the rotary body 220 by a control unit 700.

3) 상기 코팅욕조(300)는, 상기 승강수단(400)에 의하여 상기 코팅욕조(300)중 어느 하나가 선택적으로 승강되어 상기 지그(100)에 고정된 상기 기판(10)을 코팅하는 것으로, 상기 코팅욕조(300)에 수용되는 코팅액은, 휘발성의 점도가 낮은 유/무기성 용매인 물, 알코올, 아세톤, 에테르, 벤젠 중 어느 하나가 수용되게 된다.3) The coating bath 300, by any one of the coating bath 300 is selectively elevated by the lifting means 400 to coat the substrate 10 fixed to the jig 100, The coating solution accommodated in the coating bath 300 is any one of water, alcohol, acetone, ether, benzene, which is an organic / inorganic solvent having a low volatile viscosity.

4) 승강수단(400)4) lifting means (400)

상기 승강수단(400)은, 상기 코팅욕조(300)의 하부에 형성되어 상기 코팅욕조(300)중 어느 하나를 선택적으로 승강시키는 것으로, 상기 승강수단(400)의 구성 은, 상기 코팅욕조(300) 하부에 형성되는 제1,2수직프레임(410,420)과 상기 제1,2수직프레임(410,420)과 연이여 형성된 수평프레임(430) 그리고 상기 수평프레임(430)의 중심부에는 상기 코팅욕조(300)의 승강에 따라 상기 수평프레임(430)이 소정각도로 회동되는 중심축(440)으로 구성된다.The lifting means 400 is formed in the lower portion of the coating bath 300 to selectively lift any one of the coating bath 300, the configuration of the lifting means 400, the coating bath 300 The first and second vertical frames 410 and 420 formed at a lower portion thereof, the horizontal frame 430 formed by connecting the first and second vertical frames 410 and 420, and the coating bath 300 at the center of the horizontal frame 430. In accordance with the elevation of the horizontal frame 430 is composed of a central axis 440 is rotated at a predetermined angle.

또한, 상기 제1,2수직프레임(410,420) 하단에는, 상기 코팅욕조(300)가 승강시 상기 코팅욕조(300)의 수평을 유지하도록 베어링(BE)이 각각 형성되고, 상기 베어링(BE)의 과도한 유동을 방지하도록 실린더(CY) 또는 스크류(SC) 중 어느 하나가 상기 제1,2수직프레임(410,420)과 상기 수평프레임(430)에 연결형성된다.In addition, bearing BEs are formed at lower ends of the first and second vertical frames 410 and 420 so as to maintain horizontality of the coating bath 300 when the coating bath 300 is elevated. One of the cylinders CY or the screws SC is connected to the first and second vertical frames 410 and 420 and the horizontal frame 430 to prevent excessive flow.

또한, 상기 실린더(CY) 및 스크류(SC)를 구동시키기 위하여 상기 제어부(700)의 제어를 받는 구동펌프(450)가 더 구비된다.In addition, a driving pump 450 under the control of the controller 700 is further provided to drive the cylinder CY and the screw SC.

또한, 상기 중심축(440)의 일측 에는, 상기 코팅욕조(300)를 승강시키는 실린더(CY) 또는 스크류(SC) 중 어느 하나가 상기 수평프레임(430)의 하단부에 연이여 이루어지며, 상기 실린더(CY) 및 스크류(SC)를 구동시키기 위하여 제어부(700)의 제어를 받는 구동펌프(450)가 더 구비된다.In addition, one side of the central axis 440, one of the cylinder (CY) or screw (SC) for elevating the coating bath 300 is made in the lower end of the horizontal frame 430, the cylinder A driving pump 450 under the control of the controller 700 is further provided to drive the cy and the screw SC.

그리고, 상기 실린더(CY)는, 유압 또는 기압으로 구동된다.The cylinder CY is driven by hydraulic pressure or air pressure.

또한, 상기 중심축(400)은, 상기 수평프레임(430)이 회동 가능하도록 상기 수평프레임(430)의 하부에 형성되는 베어링(BE)과 상기 베어링(BE)이 안착되는 안착부(441) 그리고 상기 안착부(441)에 안착된 베어링(BE)을 고정하는 고정핀(442) 및 상기 안착부(441) 하부에 연이여 형성되어 안착부(441)를 지지하는 지지부(443)를 포함하여 이루어진다.In addition, the central axis 400 is a bearing (BE) formed in the lower portion of the horizontal frame 430 so that the horizontal frame 430 is rotatable and the seating portion (441) on which the bearing (BE) is seated; It comprises a fixing pin 442 for fixing the bearing (BE) seated on the seating portion 441 and the support portion 443 is formed in the lower portion of the seating portion 441 to support the seating portion 441. .

특히, 상기 수평프레임(430)은 베어링(BE)에 의하여 소정각도 회동되어 상기 제 코팅욕조(300)의 승강을 유도하며 상기 코팅욕조(300)에는 승강시 수평을 유지하도록 실린더(CY) 또는 스크류(SC)가 형성되어 상기 코팅욕조(300)에서 코팅액의 외부 유출을 방지할 수 있게 된다.In particular, the horizontal frame 430 is rotated by a predetermined angle by a bearing (BE) to induce the lifting of the coating bath 300, the cylinder (CY) or screw to maintain the horizontal when the lifting in the coating bath (300) (SC) is formed to prevent the outflow of the coating liquid in the coating bath 300.

5) 유량조절부(500a,500b)5) Flow control part (500a, 500b)

상기 유량조절부(500a,500b)는, 상기 승강수단(400)에 의하여 상기 코팅욕조(300) 중 어느 하나가 승강하여 상기 지그(100)에 고정된 기판을 코팅시 상기 코팅욕조(300)중 하강된 상기 코팅욕조(300)로 코팅액을 배출하여, 배출되는 유속 및 유량에 의하여 상기 코팅욕조(300) 중 상승된 코팅욕조(300) 내의 코팅용액의 액면 하강에 의하여 상기 기판(10)을 코팅시키는 것으로, 상기 유량조절부(500a,500b)의 구성은, 상기 승강수단(400)에 의하여 상기 코팅욕조(300) 중 어느 하나가 승강되어 상기 기판(10)을 코팅시 상기 코팅욕조(300)에서 코팅액을 배출시키도록 제어부(700)의 제어를 받는 개폐밸브(510a)와, 상기 개폐밸브(510a)에서 배출되는 코팅액의 배출유속을 일정하게 조절하기 위하여 밸브의 개방면적을 조절하여 코팅액을 배출하도록 제어부(700)의 제어를 받는 가변조절밸브(520a)로 이루어진 유량조절부(500a)가 구성된다.The flow control unit (500a, 500b), the one of the coating bath 300 by the elevating means 400 is elevated to coat the substrate fixed to the jig 100 of the coating bath (300) The coating solution is discharged to the lowered coating bath 300 to coat the substrate 10 by the liquid level of the coating solution in the coating bath 300 which is raised in the coating bath 300 by the discharged flow rate and flow rate. By the configuration, the flow rate control unit (500a, 500b), any one of the coating bath 300 is elevated by the lifting means 400 when the coating bath 300 when coating the substrate (10) The opening and closing valve 510a under the control of the control unit 700 to discharge the coating liquid from the control valve 700, and controlling the opening area of the valve to constantly control the discharge flow rate of the coating liquid discharged from the opening and closing valve 510a to discharge the coating liquid. Variable tank under the control of the control unit 700 to The flow rate adjusting section (500a) made of a valve (520a) is configured.

또한, 상기 유량조절부(500a,500b)는, 상기 승강수단(400)에 의하여 상기 코팅욕조(300) 중 어느 하나가 승강되어 상기 기판(10)을 코팅시 상기 코팅욕조(300)가 승강시 상기 코팅욕조(300)에서 코팅액을 배출시키는 배출펌프(510b)와, 상기 코팅욕조(300)에서 코팅액을 흡입하는 흡입펌프(520b)로 이루어지며, 상기 배출펌프(510b)와 흡입펌프(520b)의 속도를 조절하여 상기 코팅액의 배출량을 제어하여 코팅액의 배출 유속을 일정하게 조절하도록 상기 제어부(700)의 제어를 받는 감속기(530b)로 이루어진 유량조절부(500b)가 구성되며, 상기 밸브를 통한 코팅액의 유량 조절 또는 펌프의 감속을 통한 코팅액의 유량 조절은 사용자가 선택적으로 사용하게 되고, 특히, 상기 유량조절부(500a,500b)에서 상기 코팅욕조(300)에서 배출되는 코팅액의 유속과 최종 배출유속을 일정하게 조절하므로, 상기 기판(10)의 코팅시 코팅막의 일정 두께 유지와 고팅막의 품질이 향상되게 된다.In addition, the flow rate control unit (500a, 500b), when the one of the coating bath 300 is elevated by the lifting means 400 when coating the substrate 10 when the coating bath 300 is elevated It consists of a discharge pump (510b) for discharging the coating liquid from the coating bath 300, a suction pump (520b) for sucking the coating liquid in the coating bath 300, the discharge pump (510b) and the suction pump (520b) Flow rate control unit 500b is composed of a reducer 530b under the control of the control unit 700 to control the discharge of the coating liquid by controlling the discharge rate of the coating liquid by adjusting the speed of the, through the valve The flow rate control of the coating liquid through the control of the flow rate of the coating liquid or the deceleration of the pump is selectively used by the user, in particular, the flow rate and final discharge of the coating liquid discharged from the coating bath 300 in the flow control unit (500a, 500b) Constant flow rate Because of the adjustment, the coating film is maintained at a constant thickness of the coating film and the quality of the coating film is improved.

6) 건조장치(600)6) Drying device (600)

상기 건조장치(600)는, 상기 코팅욕조(300)에서 코팅된 기판을 건조하는 것으로, 상기 건조장치(600)의 구성은, 상기 코팅욕조(300)에서 코팅이 완료된 기판(10)이 상기 회전체(200)에 회전에 의하여 진입되는 건조몸체부(610)와, 상기 전조몸체부(610) 내부에는, 상기 기판(10)이 진입시 상기 기판(10)에 코팅된 코팅액을 건조하도록 열선(620)이 형성되며 상기 제어부(700)에 의하여 상기 열선(620)에 전원을 공급하는 전원공급부(630)로 이루어진다.The drying device 600 is to dry the substrate coated in the coating bath 300, the configuration of the drying device 600, the substrate 10, the coating is completed in the coating bath 300 is In the drying body 610 and the precursor body 610 inside the whole body 200 by rotation, the heating wire 620 to dry the coating liquid coated on the substrate 10 when the substrate 10 enters the inside. And a power supply unit 630 for supplying power to the heating wire 620 by the control unit 700.

또한, 상기 열선(620)은, 상기 기판(10)에 코팅된 코팅액의 건조가 용이하도록 100℃ ~ 200℃로 발열되며, 상기 건조몸체부(610)는, 상기 기판(10)의 효율적인 건조를 위하여 상기 기판(10)이 각각 진입되도록 다수개의 건조칸(615)이 구획되어 구성되게 된다.In addition, the heating wire 620 is heated to 100 ℃ ~ 200 ℃ to facilitate the drying of the coating liquid coated on the substrate 10, the drying body 610, the efficient drying of the substrate 10 In order to enter the substrate 10, a plurality of drying compartments 615 are configured to be partitioned.

이상 본 발명의 구성에 대하여 살펴 보았다. 다음으로 본 발명의 실시예를 설명하면 다음과 같다.The configuration of the present invention has been described above. Next, an embodiment of the present invention will be described.

상기와 같은 구성으로 본 발명의 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 작동 상태를 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operating state of the multi-substrate continuous coating apparatus having a double-side coating jig of the present invention with the configuration as described above are as follows.

①. 지그(100)의 고정홈(115)에 기판(10)을 부착한다.①. The substrate 10 is attached to the fixing groove 115 of the jig 100.

이때, 상기 기판(10)은 상술한 바와 같이 상기 고정홈(115)의 이탈방지수단(120)에 의하여 고정되게 된다.At this time, the substrate 10 is fixed by the separation preventing means 120 of the fixing groove 115 as described above.

②. 회전체(200)에 의하여 상기 지그(100)가 회전된다.②. The jig 100 is rotated by the rotor 200.

이때, 제어부(700)의 제어에 의하여 상기 회전체(200)가 회전되게 된다.At this time, the rotating body 200 is rotated under the control of the control unit 700.

③. 코팅욕조(300a) 중 어느 하나가 선택적으로 승강된다.③. Any one of the coating baths 300a is selectively lifted.

상기 코팅욕조(300)가 제어부(700)의 제어를 통해 기판(10)이 고정된 지그(100)로 승강되어 상기 기판(10)을 코팅한다.The coating bath 300 is elevated to the jig 100 to which the substrate 10 is fixed through the control of the controller 700 to coat the substrate 10.

이때, 상기 유량조절부(500a,500b)가 상술한 바와 같이 코팅액을 배출한다.At this time, the flow control unit 500a, 500b discharges the coating liquid as described above.

④. 코팅이 완료된 기판(10)은 회전체(200)를 통해 건조장치(600)로 진입된다.④. The substrate 10 having completed the coating enters the drying apparatus 600 through the rotating body 200.

⑤. 상기 회전체(200)에서 건조가 완료된 기판(10)을 지그(100)에서 제거한다.⑤. The substrate 10, which has been dried in the rotor 200, is removed from the jig 100.

이때, 상기 기판(10)은 상기 고정홈(115)의 이탈방지수단(120)의 높이조절나사(125)의 높이를 조절하여 상기 고정홈(110)에서 상기 기판(10)을 손쉽게 제거할 수 있게 된다.In this case, the substrate 10 can easily remove the substrate 10 from the fixing groove 110 by adjusting the height of the height adjusting screw 125 of the separation preventing means 120 of the fixing groove 115. Will be.

그리고, 상기 고정홈(110)에 부착된 기판(10)은 양면의 코팅이 가능하며, 코팅 및 건조가 완료 후 상기 기판(10)을 상기 고정홈(110)에서 제거시 상기 고정홈(110)에 고정된 기판(10)의 일측은 별도의 제거가공을 실시하는 것이 바람직하다.In addition, the substrate 10 attached to the fixing groove 110 may be coated on both sides, and the fixing groove 110 may be removed when the substrate 10 is removed from the fixing groove 110 after coating and drying are completed. One side of the substrate 10 fixed to it is preferable to perform a separate removal process.

이상에서 본 발명의 특정한 실시예에 설명 및 도시하였지만 본 발명은 당업자에 의하여 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것이 자명한 일이다. 이와 같이 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 이와 같이 변형된 실시예들은 첨부된 특허청구범위 안에 속한다 해야 할 것이다.Although specific embodiments of the present invention have been described and illustrated above, it is obvious that the present invention may be embodied in various modifications by those skilled in the art. Such modified embodiments should not be individually understood from the technical spirit or the prospect of the present invention, and such modified embodiments should fall within the scope of the appended claims.

도 1 내지 2는 본 발명에 따른 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 사용상태를 나타낸 정도면,1 to 2 is a view showing the state of use of the multi-substrate continuous coating apparatus having a double-side coating jig according to the present invention,

도 3 내지 4는 본 발명에 따른 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 실시예의 사용상태를 나타낸 정도면,3 to 4 is a view showing the state of use of the embodiment of the multi-substrate continuous coating apparatus having a double-side coating jig according to the present invention,

도 5는 본 발명에 따른 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 측면도,5 is a side view of a multi-substrate continuous coating apparatus having a double-side coating jig according to the present invention,

도 6은 본 발명에 따른 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 지그를 나타낸 사시도,6 is a perspective view showing a jig of a multi-substrate continuous coating apparatus having a double-side coating jig according to the present invention,

도 7 본 발명에 따른 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 지그를 나타낸 단면도,7 is a cross-sectional view showing a jig of a multi-substrate continuous coating apparatus having a double-side coating jig according to the present invention,

도 8은 본 발명에 따른 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 제어부를 나타낸 도면,8 is a view showing a control unit of a multi-substrate continuous coating apparatus having a double-side coating jig according to the present invention,

도 9는 본 발명에 따른 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치 제1,2수직프레임을 나타낸 도면,9 is a view showing a multi-substrate continuous coating apparatus first and second vertical frames having a double-side coating jig according to the present invention,

도 10은 본 발명에 따른 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치의 수직프레임을 나타낸 도면.10 is a view showing a vertical frame of a multi-substrate continuous coating apparatus having a double-side coating jig according to the present invention.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

10 : 기판10: substrate

100 : 지그100: jig

110 : 고정부110: fixed part

115: 고정홈115: fixing groove

120 : 이탈방지수단120: departure prevention means

121 : 압축나사121: compression screw

122 : 압착판122: pressing plate

125 : 높이조절나사125: height adjustment screw

200 : 회전체200: rotating body

210 : 고정몸체210: fixed body

220 : 회전몸체220: rotating body

230 : 지그연결부230: jig connection

240 : 회전모터240: rotating motor

300 : 코팅욕조300: coating bath

400 : 승강수단400: lifting means

410 : 제1수직프레임410: first vertical frame

420 : 제2수직프레임420: second vertical frame

430 : 수평프레임430 horizontal frame

440 : 중심축440: central axis

441 : 안착부441: seating part

442 : 고정핀442: fixed pin

443 : 지지부443: support

450 : 구동펌프450: drive pump

500a : 유량조절부500a: Flow control part

510a : 개폐밸브510a: on-off valve

520a : 가변조절밸브520a: variable control valve

500b : 유량조절부500b: Flow control part

510b : 배출펌프510b: discharge pump

520b : 흡입펌프520b: suction pump

530b : 감속기530b: reducer

600 :건조장치600: drying device

610 : 건조몸체부610: dry body

615 : 건조칸615: dry cell

620 : 열선620: hot wire

630 : 전원공급부630: power supply

700 : 제어부700: control unit

BE : 베어링BE: Bearing

CY : 실린더CY: Cylinder

SC : 스크류SC: Screw

Claims (15)

기판(10)의 양면이 코팅되도록 상기 기판(10)을 고정하는 적어도 하나 이상의 지그(100);At least one jig (100) fixing the substrate (10) to coat both sides of the substrate (10); 상기 지그(100)를 회전시키는 한 쌍의 회전체(200);A pair of rotors 200 for rotating the jig 100; 상기 기판(10)이 코팅되도록 코팅액이 수용된 한 쌍의 코팅욕조(300);A pair of coating baths 300 in which a coating solution is accommodated such that the substrate 10 is coated; 상기 코팅욕조(300)를 선택적으로 승강시켜 상기 지그(100)에 고정된 기판(10)을 선택적으로 코팅시키는 승강수단(400);Elevating means 400 for selectively elevating the coating bath 300 to selectively coat the substrate 10 fixed to the jig 100; 상기 코팅욕조(300) 중 어느 하나가 승강시 상기 코팅욕조(300)의 코팅액을 조절하는 유량조절부(500a,500b);Flow control unit 500a, 500b for adjusting the coating liquid of the coating bath 300 when any one of the coating bath 300 is elevated; 상기 코팅욕조(300)에서 코팅된 기판(10)을 건조하는 한 쌍의 건조장치(600); 및A pair of drying apparatuses 600 for drying the substrate 10 coated in the coating bath 300; And 상기 회전체(200), 승강수단(400), 유량조절부(500a,500b) 및 상기 건조장치(600) 를 제어하는 제어부(700);A control unit 700 for controlling the rotating body 200, the lifting means 400, the flow control unit 500a, 500b and the drying apparatus 600; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.Multi-substrate continuous coating apparatus having a double-sided coating jig, characterized in that comprises a. 제 1항에 있어서, 상기 지그(100)는, The method of claim 1, wherein the jig 100, 상기 기판(10)의 일측이 고정되는 고정홈(115)이 형성된 고정부(110); 및A fixing part 110 having a fixing groove 115 to which one side of the substrate 10 is fixed; And 상기 고정부(110)에는, 상기 고정홈(115)에 고정된 기판(10)의 이탈을 방지하는 이탈방지수단(120);The fixing part 110, the separation preventing means 120 for preventing the separation of the substrate 10 fixed to the fixing groove 115; 이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.Multi-substrate continuous coating apparatus having a double-side coating jig characterized in that it is further provided. 제 2항에 있어서, 상기 이탈방지수단(120)은,According to claim 2, The separation preventing means 120, 상기 고정홈(115)에 삽입된 기판(10)의 이탈을 방지하도록 상기 고정홈(115)의 상단에 삽입되어 상기 기판(10)의 일측을 압착 고정시켜 상기 기판(10)의 이탈을 방지하는 다수 개의 압축나사(121); 및Is inserted into the upper end of the fixing groove 115 to prevent the separation of the substrate 10 inserted into the fixing groove 115 is pressed to fix one side of the substrate 10 to prevent the separation of the substrate 10 A plurality of compression screws 121; And 상기 압축나사(121)의 상단에 결합되어 상기 압축나사(121)의 높이를 조정하는 높이조절나사(125);A height adjusting screw 125 coupled to an upper end of the compression screw 121 to adjust a height of the compression screw 121; 로 이루어지는 것을 특징으로 하는 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.Multi-substrate continuous coating apparatus having a double-sided coating jig, characterized in that consisting of. 제 3항에 있어서, 상기 압축나사(121)는,The method of claim 3, wherein the compression screw 121, 상기 고정홈(115)에 삽입된 기판(10)을 압착 고정시 압착이 용이하며, 상기 기판(10)의 손상을 최소화시키기 위하여 압착판(122)이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.When pressing and fixing the substrate 10 inserted into the fixing groove 115, the pressing is easy, and both sides of the coating jig, characterized in that the pressing plate 122 is further provided to minimize the damage of the substrate (10) Having the substrate continuous coating apparatus. 제 1항에 있어서, 상기 코팅욕조(300)에 수용되는 코팅액은,According to claim 1, The coating liquid accommodated in the coating bath 300, 휘발성의 점도가 낮은 유/무기성 용매인 물, 알코올, 아세톤, 에테르, 벤젠 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.A multi-substrate continuous coating apparatus having a double-sided coating jig, characterized in that any one of water, alcohol, acetone, ether, benzene which is a low volatile organic / inorganic solvent. 제 1항에 있어서, 상기 회전체(200)는,The method of claim 1, wherein the rotating body 200, 지면에 수직으로 고정되는 고정몸체(210);A fixed body 210 fixed perpendicularly to the ground; 상기 고정몸체(210)에서 수평으로 형성되어 상기 지그(100)를 회전시키는 회전몸체(220);A rotating body 220 formed horizontally in the fixed body 210 to rotate the jig 100; 상기 회전몸체(220)에 연이여 형성되어 상기 지그(100)와 연결되는 다수 개의 지그연결부(210); 및A plurality of jig connecting portions 210 formed on the rotating body 220 and connected to the jig 100; And 상기 제어부(700)에 의하여 상기 회전몸체(220)를 회전시키는 회전모터(230);A rotating motor 230 for rotating the rotating body 220 by the controller 700; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.Multi-substrate continuous coating apparatus having a double-sided coating jig, characterized in that comprises a. 제 1항에 있어서, 상기 승강수단(400)은,The method of claim 1, wherein the lifting means 400, 상기 코팅욕조(300) 하부에 형성되는 제1,2수직프레임(410,420);First and second vertical frames 410 and 420 formed under the coating bath 300; 상기 제1,2수직프레임(410,420)과 연이여 형성된 수평프레임(430);A horizontal frame 430 formed in series with the first and second vertical frames 410 and 420; 상기 수평프레임(430)의 중심부에는 상기 코팅욕조(300)의 승강에 따라 상기 수평프레임(430)이 소정각도로 회동되는 중심축(440);A central axis 440 in the center of the horizontal frame 430, the horizontal frame 430 is rotated by a predetermined angle in accordance with the lifting and lowering of the coating bath (300); 으로 구성되는 것을 특징으로 하는 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.Multi-substrate continuous coating apparatus having a double-sided coating jig, characterized in that consisting of. 제 7항에 있어서, 상기 제1,2수직프레임(410,420) 하단에는,8. The lower surface of the first and second vertical frames 410 and 420. 상기 코팅욕조(300)가 승강시 상기 코팅욕조(300)의 수평을 유지하도록 베어링(BE)이 각각 형성되고;Bearings BE are respectively formed to maintain horizontality of the coating bath 300 when the coating bath 300 is elevated; 상기 베어링(BE)의 과도한 유동을 방지하도록 실린더(CY) 또는 스크류(SC) 중 어느 하나가 상기 제1,2수직프레임(410,420)과 상기 수평프레임(430)에 연결형성되며;One of a cylinder (CY) or a screw (SC) is connected to the first and second vertical frames (410,420) and the horizontal frame (430) to prevent excessive flow of the bearing (BE); 상기 실린더(CY) 및 스크류(SC)를 구동시키기 위하여 제어부(700)의 제어를 받는 구동펌프(450)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.Multi-coated continuous coating apparatus having a double-sided coating jig, characterized in that the drive pump 450 is further controlled by the control unit 700 to drive the cylinder (CY) and the screw (SC). 제 7항에 있어서, 상기 중심축(440)의 일측 에는,The method of claim 7, wherein one side of the central axis 440, 상기 코팅욕조(300)를 승강시키는 실린더(CY) 또는 스크류(SC) 중 어느 하나가 상기 수평프레임(430)의 하단부에 연이여 이루어지며;Any one of a cylinder (CY) or a screw (SC) for elevating the coating bath 300 is connected to the lower end of the horizontal frame (430); 상기 실린더(CY) 및 스크류(SC)를 구동시키기 위하여 제어부(700)의 제어를 받는 구동펌프(450)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.Multi-coated continuous coating apparatus having a double-sided coating jig, characterized in that the drive pump 450 is further controlled by the control unit 700 to drive the cylinder (CY) and the screw (SC). 제 8항 또는 제 9항에 있어서, 상기 실린더(CY)는,The cylinder CY according to claim 8 or 9, 유압 또는 기압으로 구동되는 것을 특징으로 하는 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.Multi-substrate continuous coating apparatus having a double-side coating jig, characterized in that driven by hydraulic or air pressure. 제 7항에 있어서, 상기 중심축(400)은,The method of claim 7, wherein the central axis 400, 상기 수평프레임(430)이 회동 가능하도록 상기 수평프레임(430)의 하부에 형성되는 베어링(BE);A bearing (BE) formed at a lower portion of the horizontal frame 430 such that the horizontal frame 430 is rotatable; 상기 베어링(BE)이 안착되는 안착부(441);A seating portion 441 on which the bearing BE is seated; 상기 안착부(441)에 안착된 베어링(BE)을 고정하는 고정핀(442); 및A fixing pin 442 for fixing a bearing BE seated on the seating portion 441; And 상기 안착부(441) 하부에 연이여 형성되어 안착부(441)를 지지하는 지지부(443);A support portion 443 which is formed in the lower portion of the seating portion 441 to support the seating portion 441; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.Multi-substrate continuous coating apparatus having a double-sided coating jig comprising a. 제 1항에 있어서, 상기 유량조절부(500a,500b)는,According to claim 1, wherein the flow rate control unit (500a, 500b), 상기 코팅욕조(300)가 승강시 상기 코팅욕조(300)에서 코팅액을 배출시키도록 제어부(700)의 제어를 받는 개폐밸브(510a)와, 상기 개폐밸브(510a)에서 배출되는 코팅액의 배출 유속을 일정하게 조절하기 위하여 밸브의 개방면적을 조절하여 코팅액을 배출하도록 제어부(700)의 제어를 받는 가변조절밸브(520b) 이루어진 유량조절부(500a); 및Opening and closing valve 510a under the control of the control unit 700 to discharge the coating liquid from the coating bath 300 when the coating bath 300 is elevated, and the discharge flow rate of the coating liquid discharged from the opening and closing valve 510a Flow control unit 500a made of a variable control valve 520b under the control of the control unit 700 to discharge the coating liquid by adjusting the opening area of the valve to constantly adjust; And 상기 코팅욕조(300)가 승강시 상기 코팅욕조(300)에서 코팅액을 배출시키는 배출펌프(510b)와, 상기 코팅욕조(300)에서 코팅액을 흡입하는 흡입펌프(520b)로 이루어지며, 상기 배출펌프(510b)와 흡입펌프(520b)의 속도를 조절하여 상기 코팅액의 배출량을 제어하여 코팅액의 배출 유속을 일정하게 조절하도록 상기 제어부(700)의 제어를 받는 감속기(530b)로 이루어진 유량조절부(500b); 중 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.The coating bath 300 is composed of a discharge pump (510b) for discharging the coating liquid from the coating bath 300 when the lifting and lifting, and a suction pump (520b) for sucking the coating liquid in the coating bath 300, the discharge pump Flow control unit 500b consisting of a reducer 530b under the control of the control unit 700 to control the discharge flow rate of the coating liquid by controlling the discharge of the coating liquid by controlling the speed of the (510b) and the suction pump (520b) ); Multi-substrate continuous coating apparatus having a double-sided coating jig, characterized in that any one of. 제 1항에 있어서, 상기 건조장치(600)는,The method of claim 1, wherein the drying apparatus 600, 상기 코팅욕조(300)에서 코팅이 완료된 기판(10)이 상기 회전체(200)에 회전 에 의하여 진입되는 건조몸체부(610);A dry body part 610 into which the substrate 10 coated in the coating bath 300 enters the rotating body 200 by rotation; 상기 전조몸체부(610) 내부에는, 상기 기판(10)이 진입시 상기 기판(10)에 코팅된 코팅액을 건조하도록 열선(620)이 형성되며;Inside the precursor body 610, a heating wire 620 is formed to dry the coating liquid coated on the substrate 10 when the substrate 10 enters; 상기 제어부(700)에 의하여 상기 열선(620)에 전원을 공급하는 전원공급부(630);A power supply unit 630 for supplying power to the heating wire 620 by the control unit 700; 로 이루어지는 것을 특징으로 하는 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.Multi-substrate continuous coating apparatus having a double-sided coating jig, characterized in that consisting of. 제 13항에 있어서, 상기 열선(620)은,The method of claim 13, wherein the hot wire 620, 상기 기판(10)에 코팅된 코팅액의 건조가 용이하도록 100℃ ~ 200℃로 발열되는 것을 특징으로 하는 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.Multi-substrate continuous coating apparatus having a double-sided coating jig, characterized in that the heating to 100 ℃ ~ 200 ℃ to facilitate the drying of the coating liquid coated on the substrate (10). 제 13항에 있어서, 상기 건조몸체부(610)는,The method of claim 13, wherein the dry body portion 610, 상기 기판(10)의 효율적인 건조를 위하여 상기 기판(10)이 각각 진입되도록 다수개의 건조칸(615)이 구획되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 양면 코팅 지그를 갖는 다 기판 연속 코팅장치.Multi-substrate continuous coating apparatus having a double-sided coating jig, characterized in that the plurality of drying compartments 615 are partitioned so that the substrate 10 enters each for efficient drying of the substrate (10).
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