KR20100102797A - 레이저빔 가공장치 - Google Patents

레이저빔 가공장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20100102797A
KR20100102797A KR1020090021031A KR20090021031A KR20100102797A KR 20100102797 A KR20100102797 A KR 20100102797A KR 1020090021031 A KR1020090021031 A KR 1020090021031A KR 20090021031 A KR20090021031 A KR 20090021031A KR 20100102797 A KR20100102797 A KR 20100102797A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
laser beam
optical fibers
laser
lens
transmission optical
Prior art date
Application number
KR1020090021031A
Other languages
English (en)
Inventor
박홍진
서종현
전광진
이정현
오병훈
이경만
황인학
Original Assignee
주식회사 엘티에스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 엘티에스 filed Critical 주식회사 엘티에스
Priority to KR1020090021031A priority Critical patent/KR20100102797A/ko
Publication of KR20100102797A publication Critical patent/KR20100102797A/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • B23K26/0648—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms comprising lenses
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

본 발명은 레이저빔 가공장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 레이저빔 가공장치는, 레이저빔을 이용하여 가공물을 가공하는 레이저빔 가공장치에 있어서, 레이저빔을 발생시켜 출사하는 레이저발진기; 다수의 전송용 광파이버가 설치되며, 상기 레이저발진기로부터 입력된 레이저빔을 상기 다수의 전송용 광파이버 중 어느 하나로 선택적으로 입력하는 스위칭유닛; 상기 다수의 전송용 광파이버와 각각 결합하여 전송된 레이저빔을 가공해야할 가공물에 조사하는 다수의 헤드유닛;을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따르면, 단일 레이저발진기를 사용하여 가공물에 선택적으로 레이저빔을 조사할 수 있고, 단일 레이저발진기를 사용함으로써 생산효율 및 제조비용을 절감할 수 있는 레이저빔 가공장치가 제공된다.
단일레이저, 스위칭유닛, 광파이버

Description

레이저빔 가공장치{LASER BEAM MACHINING APPARATUS}
본 발명은 레이저빔 가공장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 단일 레이저발진기로부터 생성된 레이저빔을 다수의 광파이버를 통해 선택적으로 조사할 수 있는 레이저빔 가공장치에 관한 것이다.
일반적으로 레이저를 이용한 재료의 가공은 산업 전반에 걸쳐서 적용 분야가 급속히 확대되어 가고 있다.
레이저가 갖고 있는 재료가공에서의 우수한 특성은 레이저 가공이 열처리, 용접, 드릴링 공정 등에서 기존의 공정을 대체하고 있으며, 이를 통한 품질 및 신뢰성 그리고 생산성 향상을 도모하고 있다.
이러한 레이저 가공의 중요한 장점은 정밀성, 공정의 유연성, 비접촉 가공 등을 들 수 있다.
근래에 들어 상술한 바와 같은 레이저 가공의 장점을 기존의 선반 등의 공작기계에 접목시켜, 부품 가공의 효율성과 정밀도 그리고 생산성을 극대화 시키려는 노력이 있었다. 이는 첨단 레이저기술과 기존의 기계가공기술이 상호 융합 보완될 수 있는 기술로서 이러한 기술을 실용화한 복합 가공기의 필요성이 점차 대두되고 있다.
또한, 복합 가공이 예로서 선반에 레이저 빔을 접목시켜 가공의 효율을 향상시키고 국부적 열처리, 마킹, 드릴링, 용접 절단 그리고 그루빙 가공 등을 레이저빔을 이용하여 절삭가공과 동시에 혹은 공작물이 세팅된 상태에서 연속적으로 처리함으로써 정밀도를 향상시키고 가공시간을 단축한다.
이와 같은 레이저를 이용한 종래 레이저빔 가공장치는 도 1에 도시되어 있다. 도 1을 참조하면, 종래 레이저빔 가공장치(100)는 레이저발진기(110), 광파이버(120), 레이저헤드(130)을 포함하여 구성된다.
상기 레이저발진기(110)는 레이저를 발생시킬 수 있는 장치이고, 광파이버(120)는 레이저발진기(110)와 결합되어 레이저발진기(110)로부터 발생된 레이저빔을 전송할 수 있는 도파로를 확보한다.
상기 레이저헤드(130)는 광파이버(120)를 통해 전송된 레이저빔을 가공물에 조사할 수 있도록 다수의 렌즈 등을 포함하여 구성되어 해당 가공물에 레이저빔을 조사하도록 구성된다.
이와 같이 구성된 종래 레이저빔 가공장치는 도 2에 도시된 바와 같이, 가공물이 위치하는 각 작업라인(L)에 각각 하나씩 구비되어 가공물에 레이저가공을 할 수 있도록 구성되어 있다.
그러나, 이 같은 종래 레이저빔 가공장치는 각 가공물에 대해 하나씩 레이저발진기(110)를 배치해야 함으로써 레이저발진기(110)가 매우 고가의 장비인 것을 감안하면 다수 개의 레이저발진기(110)를 사용하는 것에 비해 생산 효율이 낮았었 다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 단일 레이저발진기를 사용하여 가공물에 선택적으로 레이저빔을 조사할 수 있는 레이저빔 가공장치를 제공함에 있다.
또한, 단일 레이저발진기를 사용함으로써 생산효율 및 제조비용을 절감할 수 있는 레이저빔 가공장치를 제공함에 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 레이저빔을 이용하여 가공물을 가공하는 레이저빔 가공장치에 있어서, 레이저빔을 발생시켜 출사하는 레이저발진기; 다수의 전송용 광파이버가 설치되며, 상기 레이저발진기로부터 입력된 레이저빔을 상기 다수의 전송용 광파이버 중 어느 하나로 선택적으로 입력하는 스위칭유닛; 상기 다수의 전송용 광파이버와 각각 결합하여 전송된 레이저빔을 가공해야할 가공물에 조사하는 다수의 헤드유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저빔 가공장치에 의해 달성된다.
여기서, 상기 스위칭유닛은, 상기 다수의 전송용 광파이버가 직선으로 이격되어 배치되며, 상기 레이저발진기로부터 입력된 레이저빔을 출사하는 렌즈부와, 상기 렌즈부로부터 출사되는 레이저빔의 광축 상에 상기 다수의 전송용 광파이버 중 어느 하나가 위치하도록 상기 렌즈부를 직선왕복이동시키는 직선구동부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 스위칭유닛은, 상기 다수의 전송용 광파이버가 원호 형상으로 이격되어 배치되며, 상기 레이저발진기로부터 입력된 레이저빔을 출사하는 렌즈부와, 상기 렌즈부로부터 출사되는 레이저빔의 광축 상에 상기 다수의 전송용 광파이버 중 어느 하나가 위치하도록 상기 렌즈부를 회동시키는 회동구동부를 포함할 수 있다.
이때, 상기 렌즈부는 상기 레이저발진기로부터 출사된 레이저빔을 입력받아 평행하게 출사하는 콜리메이션 렌즈와, 상기 콜리메이션 렌즈로부터 출사된 레이저빔을 상기 다수의 전송용 광파이버 중 어느 하나에 포커스를 맞추는 포커싱렌즈를 포함하는 것이 바람직하다.
한편, 상기 다수의 전송용 광파이버는 상기 렌즈부의 출력단과 상기 다수의 전송용 광파이버의 입력단의 거리가 일정간격으로 이격되어 배치되는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 단일 레이저발진기를 사용하여 가공물에 선택적으로 레이저빔을 조사할 수 있는 레이저빔 가공장치가 제공된다.
또한, 단일 레이저발진기를 사용함으로써 생산효율 및 제조비용을 절감할 수 있는 레이저빔 가공장치가 제공된다.
설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해 서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 레이저빔 가공장치에 대하여 상세하게 설명한다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 레이저빔 가공장치의 개략도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 레이저빔 가공장치(1)는 레이저발진기(10), 스위칭유닛(30), 제어유닛(40), 헤드유닛(50)을 포함하여 구성된다.
상기 레이저발진기(10)는 레이저빔을 발생하여 광파이버(A)를 통해 외부로 출사하도록 구성되며, 그 예로는 고체레이저, 기체레이저, 액체레이저, 반도체레이저의 종류 중 어느 하나일 수 있다.
상기 광파이버(A)는 레이저발진기(10)와 스위칭유닛(20)의 사이에 위치하며 상기 레이저발진기(10)로부터 발생된 레이저빔을 후술할 스위칭유닛(20)에 입력하는 역할을 한다.
도 4는 스위칭유닛의 상세도이다. 도 4를 참조하면, 상기 스위칭유닛(20)은 하우징(21), 전송용 광파이버(22), 직선구동부(23), 렌즈부(24)를 포함하여 구성된다.
상기 하우징(21)은 일 측면이 직선으로 형성되도록 형성되며, 도시된 바는 대략 직사각형의 단면을 가진 것이 도시되어 있다.
아울러, 상기 하우징(21)은 그 단면이 대략 직사각형인 것을 도시하고 있으나, 일 측면이 직선 형태로만 형성되고 다른 측면들은 직선형태로 형성되지 않을 수도 있다.
상기 전송용 광파이버(22)는 레이저빔을 전송할 수 있도록 마련된 파이버(fiber)로서, 하우징(21)의 직선으로 형성된 측면에 일정한 간격으로 다수 개가 설치된다.
이때, 각 전송용 광파이버(22)는 후술할 렌즈부(24)로부터 출사되는 레이저빔의 포커스(focus)가 각 전송용 광파이버(22)의 입력단(22a)과 일치되어 상기 레이저빔이 입력단(22a)에 입력되도록 설치되는 것이 바람직하다.
또한, 다수의 전송용 광파이버(22)는 후술할 렌즈부(24)의 출력단과 각각의 전송용 광파이버(22)의 입력단(22a)이 일정간격(d)으로 이격되어 배치된다.
이를 통해, 후술할 렌즈부(24)가 직선구동부(23)에 의해 이동하였을 때, 렌즈부(24)로부터 출사되는 레이저빔이 각 전송용 광파이버(22)의 입력단(22a)에 입력되도록 포커싱렌즈(24c)를 통해 다시 포커스하지 않아도 된다. 즉, 이동에 따른 소요시간을 절감함으로써 전체 공정시간을 절감할 수 있다.
상기 직선구동부(23)는 하우징(21)의 내부에 배치되며, 후술할 제어유닛(30)에 의해 제어되는 소정의 리니어모터로서 직선왕복운동을 할 수 있도록 구성된다.
즉, 직선구동부(23)는 제어유닛(30)의 소정의 제어신호에 따라 후술할 렌즈부(24)로부터 출사되는 레이저빔의 광축 상에 상술한 다수 개의 전송용 광파이버(22)의 입력단(22a) 중 어느 하나가 배치되도록 제어한다.
다음, 렌즈부(24)는 렌즈하우징(24a), 콜리메이션렌즈(24b), 포커싱렌즈(24c)를 포함하여 구성되며, 직선구동부(23)의 일 측에 결합되어 직선왕복운동하 도록 설치된다.
상기 렌즈하우징(24a)은 직선구동부(23)의 하부 일 측과 결합하여 직선구동부(23)의 구동에 의해 직선왕복운동하도록 설치되며, 일 측부는 레이저발진기(10)로부터 출사된 레이저빔을 전송받도록 광파이버(A)가 결합되고, 타 측부는 레이저빔이 출사될 수 있도록 홀이 형성될 수 있다.
상기 콜리메이션렌즈(24b)는 렌즈하우징(24a)의 내부에 배치되며, 광파이버(A)로부터 입력된 레이저빔을 투과시켜 전송용 광파이버(22)의 방향으로 조사하되 평행하게 조사되도록 볼록렌즈가 사용될 수 있다.
상기 포커싱렌즈(24c)는 콜리메이션 렌즈(24b)의 전방에 배치되며, 콜리메이션 렌즈(24b)를 통해 전달된 레이저빔의 포커스를 상술한 전송용 광파이버(22)의 입력단에 형성되도록 설치된다. 즉, 포커싱렌즈(24c)를 통해 입력된 레이저빔의 광축 상에 다수의 전송용 광파이버(22) 중 어느 하나의 입력단(22a)이 위치하게 된다.
다음, 제어유닛(30)은 상술한 구동부(32)의 구동을 제어하되, 렌즈부(24)로부터 출력되는 레이저빔의 광축 상에 다수의 전송용 광파이버(22) 중 어느 하나의 입력단(22a)이 위치하도록 제어한다.
이 같은 제어유닛(30)을 통해 렌즈부(24)로부터 출사된 레이저빔은 다수의 전송용 광파이버(22) 중 어느 하나에 선택적으로 일치되어 후술할 헤드유닛(40)을 통해 가공물에 레이저빔을 조사할 수 있게 된다.
상기 헤드유닛(40)은 상술한 다수의 전송용 광파이버(22)의 출력단에 결합된 다. 이때, 헤드유닛(40)에는 다수의 렌즈 등을 포함하여 구성되어 해당 가공물에 전송용 광파이버(22)를 통해 전달된 레이저빔을 조사하도록 구성될 수 있다.
또한, 상기 헤드유닛(40)은 소정의 반사경 및 상기 반사경을 구동하는 모터 를 더 포함하는 갈바노미터 스캐너(galvanometer scanner)일 수도 있다.
지금부터는 상술한 레이저빔 가공장치의 제1실시예의 작동에 대하여 설명한다. 도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 레이저빔 가공장치의 작동도이다.
도 5를 참조하면, 레이저발진기로부터 발생된 레이저빔을 광파이버(A)로부터 입력받아 렌즈부(24)를 통해 출사된 레이저빔을 다수의 전송용 광파이버(22) 중 어느 하나의 전송용 광파이버(22A)에 일치시켜 가공을 하다가, 제어유닛(30)의 제어신호에 의해 직선구동부(23)를 통해 "D"방향으로 이동하여 다른 전송용 광파이버(22B)에 상기 렌즈부(24)로부터 출사되는 레이저빔을 입력할 수 있다.
즉, 하나의 레이저발진기(10)로부터 발생된 레이저빔을 다수 개가 설치된 전송용 광파이버(22)에 선택적으로 입사시킬 수 있게 된다.
이는, 다수 개에 설치된 헤드유닛(40)을 공작물의 가공할 부분을 조준하여 소정부에 고정이 되어 있더라도, 선택적으로 헤드유닛(40)을 통해 레이저빔을 조사할 수 있음으로써 단일의 레이저발진기와 단일헤드를 포함하는 경우와 비교하여 작업효율을 향상시킬 수 있다.
다음으로 본 발명의 제2실시예에 따른 레이저빔 가공장치에 대해 설명한다. 제2실시예는 제1실시예와 비교하여 스위칭 유닛이 회동 또는 회전하도록 구성된다.
스위칭 유닛을 제외한 다른 구성은 제1실시예와 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 레이저빔 가공장치의 스위칭유닛의 개략도이다. 도 6을 참조하면, 제2실시예에 따른 스위칭유닛(20)은 하우징(21'), 전송용 광파이버(22), 회동구동부(23'), 렌즈부(24)를 포함하여 구성된다.
상기 전송용 광파이버(22)와 렌즈부(24)는 제1실시예와 동일한 구성으로 구성되므로 상세한 설명은 생략한다.
상기 하우징(21')은 일 측면 또는 전체가 곡면을 포함하도록 형성되고, 이 곡면을 따라 다수 개의 전송용 광파이버(22)가 이격되어 배치된다.
도시된 바는 대략 원호 형상으로 이격된 다수 개의 전송용 광파이버(22)가 도시되어 있다.
또한, 제1실시예에서와 같이, 다수의 전송용 광파이버(22)는 그 각각의 입력단(22a)과 렌즈부(24)의 출력단과의 거리(d')는 일정간격으로 이격되어 배치되는 것이 바람직하다.
이를 통해, 제1실시예에서와 같이, 후술할 회동구동부(23')에 의해 렌즈부(24)가 회동하여 상기 렌즈부(24)로부터 출사되는 광축 상에 전송용 광파이버(22) 중 어느 하나의 입력단이 위치하는 경우 다시 포커싱렌즈(24c)로 포커스를 맞추지 않아도 된다.
상기 회동구동부(23')는 소정각도로 회동하는 구성인 스테핑모터 등이 포함되어 제어유닛(30)에 의해 제어될 수 있다.
또한, 상부 일 측에 렌즈부(24)가 결합되며, 렌즈부(24)로부터 출사되는 레이저빔의 광축 상에 다수 개의 전송용 광파이버(22) 중 어느 하나의 입력단이 위치하도록 렌즈부(24)를 회동시킨다.
제2실시예에서의 작동은 제1실시예와 비교하여 직선이 회동 또는 회전운동으로 변경되는 것일 뿐 다른 작동상태는 모두 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.
상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 제2실시예에 따른 레이저빔 가공장치(1')는, 도 7에 도시된 바와 같이, 제어유닛(30)의 제어신호에 의해 회동구동부(23')가 렌즈부(24)를 반시계방향으로 회동시키면, 전송용 광파이버(22) 중 어느 하나의 입력단(22a)이 렌즈부(24)를 통해 출사되는 레이저빔의 광축 상에 위치하게 되고, 이에 따라 전송용 광파이버(22)를 통해 전송된 레이저빔은 헤드유닛(40)을 통해 가공물에 레이저빔을 조사하게 된다.
이와 같이 설치됨으로써, 단일 레이저발진기를 사용하여 가공물에 선택적으로 레이저빔을 조사할 수 있게 되고, 이를 통해 생산효율 및 제조비용을 절감할 수 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
도 1은 종래 레이저빔 가공장치의 개략도,
도 2는 종래 레이저빔 가공장치의 설치도,
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 레이저빔 가공장치의 개략도,
도 4는 도 3의 레이저빔 가공장치의 스위칭유닛의 상세도,
도 5는 도 3의 레이저빔 가공장치의 작동도,
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 레이저빔 가공장치의 스위칭유닛의 상세도이다.
도 7은 도 6의 레이저빔 가공장치의 작동도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
10 : 레이저발진기 20,20' : 스위칭유닛 21,21' : 하우징
22 : 전송용 광파이버 22a : 전송용 광파이버의 입력단
23 : 직선구동부 23' : 회동구동부 24 : 렌즈부
24a : 렌즈하우징 24b : 콜리메이션렌즈 24c : 포커싱렌즈
30 : 제어유닛 40 : 헤드유닛

Claims (5)

  1. 레이저빔을 이용하여 가공물을 가공하는 레이저빔 가공장치에 있어서,
    레이저빔을 발생시켜 출사하는 레이저발진기;
    다수의 전송용 광파이버가 설치되며, 상기 레이저발진기로부터 입력된 레이저빔을 상기 다수의 전송용 광파이버 중 어느 하나로 선택적으로 입력하는 스위칭유닛;
    상기 다수의 전송용 광파이버와 각각 결합하여 전송된 레이저빔을 가공해야할 가공물에 조사하는 다수의 헤드유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저빔 가공장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 스위칭유닛은, 상기 다수의 전송용 광파이버가 직선으로 이격되어 배치되며, 상기 레이저발진기로부터 입력된 레이저빔을 출사하는 렌즈부와, 상기 렌즈부로부터 출사되는 레이저빔의 광축 상에 상기 다수의 전송용 광파이버 중 어느 하나가 위치하도록 상기 렌즈부를 직선왕복이동시키는 직선구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저빔 가공장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 스위칭유닛은, 상기 다수의 전송용 광파이버가 원호 형상으로 이격되어 배치되며, 상기 레이저발진기로부터 입력된 레이저빔을 출사하는 렌즈부와, 상기 렌즈부로부터 출사되는 레이저빔의 광축 상에 상기 다수의 전송용 광파이버 중 어느 하나가 위치하도록 상기 렌즈부를 회동시키는 회동구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저빔 가공장치.
  4. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,
    상기 렌즈부는 상기 레이저발진기로부터 출사된 레이저빔을 입력받아 평행하게 출사하는 콜리메이션 렌즈와, 상기 콜리메이션 렌즈로부터 출사된 레이저빔을 상기 다수의 전송용 광파이버 중 어느 하나에 포커스를 맞추는 포커싱렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저빔 가공장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 다수의 전송용 광파이버는 상기 렌즈부의 출력단과 상기 다수의 전송용 광파이버의 입력단의 거리가 일정간격으로 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 레이저빔 가공장치.
KR1020090021031A 2009-03-12 2009-03-12 레이저빔 가공장치 KR20100102797A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090021031A KR20100102797A (ko) 2009-03-12 2009-03-12 레이저빔 가공장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020090021031A KR20100102797A (ko) 2009-03-12 2009-03-12 레이저빔 가공장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20100102797A true KR20100102797A (ko) 2010-09-27

Family

ID=43007666

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020090021031A KR20100102797A (ko) 2009-03-12 2009-03-12 레이저빔 가공장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20100102797A (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101244291B1 (ko) * 2011-04-13 2013-03-18 주식회사 엘티에스 연성인쇄회로기판 드릴링 장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101244291B1 (ko) * 2011-04-13 2013-03-18 주식회사 엘티에스 연성인쇄회로기판 드릴링 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1837116B1 (en) Laser welding apparatus for easily adjusting the laser focusing position on a workpiece
CN110181170B (zh) 激光加工装置
WO2018211594A1 (ja) 付加加工用ヘッドおよび加工機械
KR20060100773A (ko) 레이저빔의 초점위치를 임의의 3차원으로 고속이동 시킬 수 있는 광집속장치와 광편향장치를 이용한 반도체웨이퍼의 레이저 다이싱 및 스크라이빙 방법
US20190275609A1 (en) Laser Machining Systems and Methods
KR100597906B1 (ko) 공작기계의 레이저 가공을 위한 장치
JP2009178720A (ja) レーザ加工装置
JP2006281268A (ja) レーザ加工機
JP6002391B2 (ja) レーザ加工装置
CN217370913U (zh) 激光指向改变时校正路径偏离的装置和机床
KR20110129791A (ko) 레이저 가공 시스템 및 이를 이용한 레이저 가공 방법
KR101796198B1 (ko) 레이저 가공장치 및 이를 이용한 레이저 가공방법
EP3556509B1 (en) Combined processing machine with a laser beam splitter
KR20100102797A (ko) 레이저빔 가공장치
WO2021166037A1 (ja) レーザ加工機
JP4632248B2 (ja) レーザ加工装置
KR20180131917A (ko) 레이저 가공 모듈 및 레이저 가공 장치
JP2019005802A (ja) レーザ加工方法及びレーザ加工装置及びレーザ出射ユニット
CN112689785B (zh) 激光扫描装置及激光加工装置
US20210124330A1 (en) Cutting machine and cutting method
JP2015157312A (ja) 複合材料のレーザ加工方法およびレーザ加工装置
CN115041815A (zh) 一种脆性材料的激光加工系统及加工方法
KR101358804B1 (ko) 레이저빔 조사 장치 및 그 동작 방법
JP2001239382A (ja) レーザによる切屑切断方法及び装置
KR100987699B1 (ko) 레이저 빔의 온/오프 제어가 가능한 레이저 가공 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application