KR20100096666A - Ｍｅｍｓ구동기를 이용한 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 조립장치, 이를 구비한 수직 정전용량형 마이크로구동기 및 그 제조방법 - Google Patents

Ｍｅｍｓ구동기를 이용한 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 조립장치, 이를 구비한 수직 정전용량형 마이크로구동기 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 MEMS구동기를 이용한 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 조립장치, 이를 구비한 수직 정전용량형 마이크로 구동기 및 그 제조방법에 관한 것으로, MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)구동기(210); 마이크로 구동기의 토션바(torsion bar)(140)의 수직방향 일측부에 편중되게 연결되는 토션바연결빔(240); 및 상기 MEMS구동기(210)에 연결형성되는 구동기연결부(221)와, 상기 토션바연결빔(240)에 연결형성되고 조립에 의해 상기 구동기연결부(221)와 체결되는 빔연결부(222)가 구비되며, 상기 MEMS구동기(210)의 작동에 의해 결정되는 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)간의 상대위치에 따라 상기 토션바연결빔(240)을 당기거나 밀어내며 상기 토션바(140)의 각도를 조정하게 되는 조립연결장치(220);를 포함하여 구성되는 것을 기술적 요지로 하여, 마이크로 가공공정을 거쳐 소자를 제작한 후 간단한 조립에 의해 제작, 완성가능하여, 복잡하고 번거로운 화학적, 열적 처리공정을 추가로 거치지 않고, 보다 간단하게 제작가능하여 높은 제작 수율을 기대할 수 있는 MEMS구동기를 이용한 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 조립장치, 이를 구비한 수직 정전용량형 마이크로 구동기 및 그 제조방법에 관한 것이다.
마이크로 구동기, MEMS구동기, 토션바, 래치

Description

ＭＥＭＳ구동기를 이용한 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 조립장치, 이를 구비한 수직 정전용량형 마이크로 구동기 및 그 제조방법{assembly apparatus of electrostatic vertical micro actuator using MEMS actuator, electrostatic vertical micro actuator having the same and manufacturing method thereof}
본 발명은 MEMS구동기를 이용한 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 조립장치, 이를 구비한 수직 정전용량형 마이크로 구동기 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판 위 조립에 의해 AVC(Angular Vertical Comb-drive) 정전용량형 구동기를 제조가능하도록 하는 MEMS구동기를 이용한 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 조립장치, 이를 구비한 수직 정전용량형 마이크로 구동기 및 그 제조방법에 관한 것이다.
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)는 초소형 전자기계 시스템이라 번역되며, 센서, 밸브, 기어, 반사경, 액츄에이터, 전자 회로 등을 하나의 실리콘 기판 위에 집적화한 장치, 또는 반도체 칩에 내장되는 상기와 같은 마이크로 사이즈 의 극소 기계장치를 컴퓨터와 결합하는 기술을 의미한다.
MEMS 기술은 반도체 칩을 만드는 실리콘 가공기술에서 시작되었으며, 실리콘 기판에 밸브, 모터, 펌프, 기어 등의 미세 기계요소 부품을 3차원 구조로 만들기 위해서, 표면 가공 기술(surface micromachining) 뿐만 아니라, 깊은 식각을 하는 벌크 마이크로머시닝 기술(bulk micromachining)과 LIGA 기술(Lithographie, Galvanoformung, Abformung) 등이 개발되었다.
본 발명의 대상이 되는 정전용량형 마이크로 구동기(electrostatic actuator)는, 이러한 MEMS 기술을 적용하여, 일정한 거리를 떨어져있는 두 전극 사이에 전압차를 발생시켜 전극간에 전하가 모임으로 인해 발생하는 인력을 이용하여 구동하도록 고안된 마이크로 사이즈의 디바이스를 말하며, 고정자(stator)와 구동자(rotor) 전극의 구조에 따라 크게 평행평판형 구동기(parallel plate actuator)와 콤드라이브 구동기(comb-drive actuator)로 구분할 수 있다.
평행평판형 구동기는 전압이 인가된 두 평판 사이의 인력을 이용하여 마이크로 거울을 작동시키는 방식으로, 일반적으로 거울과, 거울 하측에 소정의 거리를 둔 기판에 전위차를 인가하여 작동되며, 콤드라이브 구동기는 콤(comb)형태의 구동자 전극과 고정자 전극이 교대로 엇갈려 있는 구조를 가지며, 양 전극에 전위차를 인가하여 둘 사이의 인력으로 인해 구동자를 고정자측으로 이동시키는 작동을 구현하게 된다.
콤드라이브 구동기는 평행형 콤드라이브 타입과, SVC(Staggered Vertical Comb-drive), AVC(Angular Vertical Comb-drive)의 수직형 콤드라이브 타입으로 구 분할 수 있으며, 평행형 콤드라이브 타입의 구동기는 한 평면상에 구동자 전극과 고정자 전극이 선치되어 전위차에 애해 고동자 전극이 고정자 방향으로 이동되는 평면내 직선운동을 발생시키게 된다.
SVC(Staggered Vertical Comb-drive) 타입의 수직 정전용량형 마이크로 구동기는 고정자와 구동자가 맞물린 형태에서 수직방향으로 일정한 높이차를 가지도록 제작되어, 두 전극 사이에 전위차가 인가될 시, 구동자는 고정자 방향으로 인력을 받게 되고, 토션바에 의해 구속된 상태로 토션바를 기준으로 회전운동을 발생시키게 된다.
AVC(Angular Vertical Comb-drive) 타입의 수직 정전용량형 마이크로 구동기는, 도 1의 (a)에 도시된 바와 같이, 구동자가 토션바를 기준으로 초기 회전각을 가지도록 제작되며, 두 전극 사이에 작동 전압이 가해질 경우, 도 1의 (b)에 도시된 바와 같이, 구동자 전극이 고정자 방향으로 끌어당겨지면서 회전하여 고정자와 구동자 전극이 완전히 겹칠 때까지 회전 운동이 발생하게 된다.
AVC 타입의 수직 정전용량형 마이크로 구동기를 제작함에 있어서는, 일반적으로 먼저 간단한 마이크로 가공 공정을 통하여 구동자 전극과 고정자 전극을 같은 평면 내에서 서로 맞물려 있는 형태로 제작하고, 후 공정을 통해서 구동자 전극이 일정한 초기 회전각을 가지도록 가공하여 완성시키게 된다.
이하에서는 이러한 수직 정전용량형 마이크로 구동기를 제작하기 위해 고안된 종래기술에 대해 간단히 설명하기로 한다.
J. Kim, D. Christensen, and L. W. Lin, "Micro vertical comb actuators by selective stiction process," Sensors and Actuators a-Physical, vol. 127, pp. 248-254, Mar 13 2006. 에서는, 수직형 콤드라이브 구동기를 제작하기 위해서 선택적인 교착 처리(sticktion process)를 적용하고 있다.
해당 연구에서는, SOI(Silicon-On-Insulator) 웨이퍼(wafer)의 소자 실리콘(silicon)층 아래에 있는 산화 실리콘(silicon)층을 식각할 때, 선택적으로 교착(sticktion) 현상이 발생하도록 함으로서, 고정자와 구동자간에 초기 수직 높이 차이를 발생시켜 수직형 콤드라이브 구동기를 제작하는 방식을 개시하고 있다.
D. Lee, U. Krishnamoorthy, K. Yu, and O. Solgaard, "Single-crystalline silicon micromirrors actuated by self-aligned vertical electrostatic combdrives with piston-motion and rotation capability," Sensors and Actuators A: Physical, vol. 114, pp. 423-428, 2004. 는, 수직형 콤드라이브 구동기를 제작하기 위한 다른 방식을 개시하고 있다.
해당 연구에서는, SOI 웨이퍼에 추가적으로 실리콘 웨이퍼를 접합시킨 후, 다수의 실리콘층과 절연층을 선택적으로 식각하는 과정을 거쳐, 전기적으로 상호 절연된 상부 실리콘층과 하부 실리콘층에 고정자와 구동자에 해당되는 구조물이 각각 형성된 구조로 수직형 콤드라이브 구동기를 제작하였다.
J. Kim, H. Choo, L. W. Lin, and R. S. Muller, "Microfabricated torsional actuators using self-aligned plastic deformation of silicon," Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 15, pp. 553-562, Jun 2006. 는, 수직 형 콤드라이브 구동기를 제작하기 위한 또 다른 방식을 제시하고 있다.
해당 연구에서는, 마이크로 가공공정을 통해서 콤 구조물을 제작한 후에, 추가적으로 제작된 지그(jig) 구조물을 이용하여 실리콘 토션바(torsion bar)에 응력(stress)을 가하고, 온도를 높여서 실리콘 토션바를 영구변형시킴으로써, 고정자와 구동자의 초기 수직 위치 차이를 발생시켜 수직형 콤드라이브 구동기를 제작하였다.
종래에 수직 정전용량 형 마이크로 구동기를 제작함에 있어서는, 마이크로 가공공정 이외에, 상기와 같이 선택적으로 교착(sticktion) 현상이 발생하도록 식각하거나, 추가적으로 실리콘 웨이퍼를 접합시킨 후 다수의 실리콘층과 절연층을 선택적으로 식각하거나, 실리콘 토션바를 영구변형시키는 열처리를 거치는 것과 같은 추가적인 공정을 거치고 있다.
수직 정전용량 형 마이크로 구동기는 광통신, 의공학, 영상주사장치 등 다양한 분야에 광범위하게 응용되고 있으나, 이와 같이 복잡한 가공공정을 거쳐야 함에 따라 제작수율을 저하시켜 제작단가를 낮추는데 어려움으로 작용하고 있으며, 특히, 수직 정전용량형 구동기 중 AVC 타입은 소자를 제작하기 위한 마이크로 가공공정이 복잡하여 높은 수율로 제작하는 것이 더욱 어렵다는 문제점이 있었다.
상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명은, 마이크로 가공공정을 거쳐 소자를 제작한 후 간단한 조립에 의해 제작, 완성가능하여, 복잡하고 번거로운 화학적, 열적 처리공정을 추가로 거치지 않고, 보다 간단하게 제작가능하여 높은 제작 수율을 기대할 수 있는 MEMS구동기를 이용한 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 조립장치, 이를 구비한 수직 정전용량형 마이크로 구동기 및 그 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 바와 같은 목적 달성을 위한 본 발명은, MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)구동기(210); 마이크로 구동기의 토션바(torsion bar)(140)의 수직방향 일측부에 편중되게 연결되는 토션바연결빔(240); 및 상기 MEMS구동기(210)에 연결형성되는 구동기연결부(221)와, 상기 토션바연결빔(240)에 연결형성되고 조립에 의해 상기 구동기연결부(221)와 체결되는 빔연결부(222)가 구비되며, 상기 MEMS구동기(210)의 작동에 의해 결정되는 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)간의 상대위치에 따라 상기 토션바연결빔(240)을 당기거나 밀어내며 상기 토션바(140)의 각도를 조정하게 되는 조립연결장치(220);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 MEMS구동기를 이용한 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 조립장치를 기술적 요지로 한다.
여기서, 상기 MEMS구동기(210)는, 저항 발열에 의해 길이가 신장변형되는 소재로 구성되며, 종방향으로의 연장길이를 가지는 다수의 전열선이 횡방향으로 연속하여 배치되고 종방향의 양단부가 고정 설치된 구조에 의해, 상기 전열선의 신장 변화량에 비례하여 상기 전열선의 중간부에서 횡방향으로의 선형 이동변위를 생성하게 되는 쉐브론 전열 구동기(Chevron thermal actuator)인 것이 바람직하다.
그리고, 상기 조립연결장치(220)는, 걸고리부(221b)와 걸림고리부(222b)간의 체결에 의해 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)를 상호 연결, 고정시키는 래치(latch)구조를 가지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 조립연결장치의 구동기연결부(221)는, 상기 MEMS구동기(210)에서 상기 토션바(140)측으로 연장형성되는 수연장부(221a); 및 상기 수연장부(221a)에서 측방향으로 돌출형성되며, 상기 수연장부(221a)의 길이방향을 따라 다수가 이격간격을 두고 연속하여 배치되는 걸고리부(221b);를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 걸고리부(221b)는, 상기 MEMS구동기(210)에 인접한 일단부가 인접한 상기 걸림고리부(222b)측으로 돌출되거나 평탄한 형상을 가지고 상기 걸림고리부(222b)에 가압 접속되며 체결되고, 상기 토션바(140)에 인접한 타단부는 가장자리가 완만하게 라운딩된 형상을 가지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 조립연결장치의 빔연결부(222)는, 상기 구동기연결부(221)의 자유단부가 삽입된 상태로 진퇴 이동가능한 슬릿을 제공하는 암연장부(222a); 및 상기 암연장부(222a)에서 슬릿 내측으로 돌출형성되며, 상기 구동기연결부(221)의 자 유단부가 상기 암연장부(222a)의 길이방향을 따라 임의의 지점에서 선택적으로 체결가능하도록 다수가 이격간격을 두고 연속하여 배치되는 걸림고리부(222b);를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 걸고리부(221b)는, 상기 MEMS구동기(210)에 인접한 일단부는 가장자리가 완만하게 라운딩된 형상을 가지며, 상기 토션바(140)에 인접한 타단부는 인접한 상기 걸고리부(221b)측으로 돌출되거나 평탄한 형상을 가지고 상기 걸고리부(221b)에 가압 접속되며 체결되는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명은, 콤(comb) 형태를 가지는 고정자(stator)(111)와 구동자(rotor)(112)가 수직방향으로 서로 다른 위상을 가지고 맞물린 구조를 가지는 수직형 콤드라이브 구동기(comb-drive actuator)(110); 상기 콤드라이브 구동기(110)의 구동자(112)에 연결형성되어 상기 구동자(112)에 연동하여 회전, 진동되는 주사거울(120); 일측으로의 연장길이를 가지는 선형의 형상으로, 일단부가 상기 주사거울(120)에 연결되고 타단부가 정위치 고정되는 토션바(torsion bar)(140); 선형 이동변위를 생성가능한 구조를 가지고 상기 콤드라이브 구동기(110)와 별도로 구비되는 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)구동기(210); 상기 토션바(torsion bar)(140)의 수직방향 일측부에 편중되게 연결되는 토션바연결빔(240); 및 상기 MEMS구동기(210)에 연결형성되는 구동기연결부(221)와, 상기 토션바연결빔(240)에 연결형성되고 조립에 의해 상기 구동기연결부(221)와 체결되는 빔연결부(222)가 구비되며, 상기 MEMS구동기(210)의 작동에 의해 결정되는 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)간의 상대위치에 따라 상기 토션바연결빔(240)을 당기거나 밀어내며 상기 토션바(140)의 각도를 조정하게 되는 조립연결장치(220);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 수직 정전용량형 마이크로 구동기를 다른 기술적 요지로 한다.
여기서, 상기 토션바(140)는, 상기 주사거울(120)의 좌, 우측단부에 각각 연결되는 한쌍이 구비되고, 상기 토션바연결빔(240)은, 상기 한쌍의 토션바(140) 각각에 결합되고 상호 평행한 한쌍이 구비되며, 상기 한쌍의 토션바연결빔(240)의 단부를 일체로 연결가능한 연장길이를 가지며, 상기 조립연결장치의 빔연결부(222)가 길이방향의 중간부에 연결되는 연결지지구(230);를 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 조립연결장치(220)는, 걸고리부(221b)와 걸림고리부(222b)간의 체결에 의해 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)를 상호 연결, 고정시키는 래치(latch)구조를 가지는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명은, 하나의 웨이퍼(wafer)상에, 상기 콤드라이브 구동기(110), 주사거울(120), 토션바(140), MEMS구동기(210), 토션바연결빔(240), 조립연결장치의 구동기연결부(221), 빔연결부(222)를 함께 형성하는 기판제작단계; 상기 MEMS구동기(210)를 작동시켜 상기 조립연결장치의 구동기연결부(221)를 이동시키며 상기 조립연결장치의 빔연결부(222)와의 상대위치를 조정하고, 상기 MEMS구동기(210)의 작동에 의해 결정되는 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)간의 상대위치에 따라 상기 토션바연결빔(240)을 당기거나 밀어내며 상기 토션바(140)의 각도를 조정하는 각도조정단계; 및 상기 토션바(140)의 각도 조정이 완료된 상태에서 상기 MEMS구동기(210)의 작동을 정지시켜 상기 조립연결장치의 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)간의 체결에 의해 최종 조정상태를 고정, 유지시키는 조립완료단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 제조방법을 또 다른 기술적 요지로 한다.
여기서, 상기 조립연결장치(220)는, 상호 이격되는 방향으로 가압력을 받는 걸고리부(221b)와 걸림고리부(222b)간의 체결에 의해 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)를 상호 연결, 고정시키는 래치(latch)구조를 가지는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 조립연결장치의 구동기연결부(221)는, 상기 MEMS구동기(210)에서 상기 토션바(140)측으로 연장형성되는 수연장부(221a)와, 상기 수연장부(221a)에서 측방향으로 돌출형성되고 상기 수연장부(221a)의 길이방향을 따라 다수가 이격간격을 두고 연속하여 배치되는 걸고리부(221b)를 구비하며, 상기 조립연결장치의 빔연결부(222)는, 상기 구동기연결부(221)의 자유단부가 삽입된 상태로 진퇴 이동가능한 슬릿을 제공하는 암연장부(222a)와, 상기 암연장부(222a)에서 슬릿 내측으로 돌출형성되고 상기 구동기연결부(221)의 자유단부가 상기 암연장부(222a)의 길이방향을 따라 임의의 지점에서 선택적으로 체결가능하도록 다수가 이격간격을 두고 연속하여 배치되는 걸림고리부(222b)를 구비하여, 상기 각도조정단계에서는, 상기 다수의 걸고리부(221b)와 걸림고리부(222b)에 의해 각각의 배치 간격에 대응되는 거리만큼 단계별로 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)간의 상대변위를 이동, 조정하도록 하는 것이 바람직하다.
상기와 같은 구성에 의한 본 발명은, MEMS구동기의 작동에 의해 MEMS구동기에 연결된 구동기연결부의 위상이 연속적으로 변화되며 토션바연결빔에 연결된 빔연결부와의 조립, 체결 위치가 조정되고, 토션바에 편중되게 연결된 토션바연결빔이 이동, 변형되면서 토션바 및 구동자의 각도를 연속적으로 변화, 조정할 수 있다는 효과가 있다.
또한, MEMS구동기를 작동시키는 간단한 조작에 의해 토션바 및 구동자의 각도를 연속적으로 변화, 조정할 수 있을 뿐 아니라, 적정한 각도로 조정한 후에는 MEMS구동기의 작동을 정지시키는 것에 의해 추가적인 이동, 변형 없이 구동기연결부와 빔연결부를 상호 체결, 고정시킴으로써 토션바를 적정 각도로 안정되게 고정, 유지할 수 있다는 다른 효과가 있다.
그리고, 조립연결장치의 구동기연결부와 빔연결부를 다단 래치(latch) 구조로 형성하여, 구동기연결부와 빔연결부간의 조립, 체결 위치를 순차적으로 조정가능하면서도, MEMS구동기에 의한 작용력이 해제되면 자동으로 상호 체결되며 최종 조립상태를 유지, 고정할 수 있다는 다른 효과가 있다.
또한, 마이크로 가공공정에 의해 기판제작을 완료한 후, 조립 공정에서 MEMS구동기를 이용하여 조립연결장치의 구동기연결부와 빔연결부간의 조립, 체결 위치를 선택적으로 적용하는 간단한 조작에 의해, 토션바의 각도 및 구동자의 수직위치 또한 세밀하게 조절가능하며, 적용 목적 등에 따라 토션바 각도를 달리하는 다양한 실시예를 용이하게 구현가능하다는 다른 효과가 있다.
그리고, 마이크로 가공공정을 거쳐 마이크로 구동기를 구성하는 구조물을 기판에 형성한 후, MEMS구동기를 이용한 간단한 조립에 의해 제작, 완성가능하여, 복잡하고 번거로운 화학적, 열적 처리공정을 추가로 거치지 않고, 보다 간단하게 제작가능하여 높은 제작 수율을 기대할 수 있으며, 이에 따라 제작 단가를 낮추어 수직형 마이크로 구동기의 실용화 및 관련 산업의 활성화에 기여한다는 다른 효과가 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 본 발명에 따른 MEMS구동기를 이용한 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 조립장치, 이를 구비한 수직 정전용량형 마이크로 구동기 및 그 제조방법을 다음의 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명에 따른 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 제1실시예를 도시한 요부사시도이고, 도 3은 도 2의 평면도이며, 도 4는 래치구조를 가지는 조립연결장치의 조립, 사용 과정을 설명하고자 도시한 요부평면도이고, 도 5는 토션바 및 구동자의 각도 조정과정을 설명하고자 도시한 요부측단면도이며, 도 6, 7은 각각 본 발명에 따른 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 제조방법에 의해 제작된 마이크로 구동기의 완성사진과, 광간섭 현미경 사진이다.
먼저, 본 발명에 따른 MEMS구동기를 이용한 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 조립장치와, 이를 구비한 수직 정전용량형 마이크로 구동기에 대해 설명하기 로 한다.
도 2, 3에 도시된 수직 정전용량형 마이크로 구동기는, 영상 처리에 적용하기 적합한 수직형 콤드라이브 구동기(comb-drive actuator)(110)를 구비한 스캐너(micro-scanner)에, 본 발명에 따른 MEMS구동기를 이용한 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 조립장치를 적용시킨 구조를 가진다.
상기 스캐너는, 수직형 콤드라이브 구동기(100), 주사거울(micro-mirror)(120), 구동자 고정구(rotor anchor)(130), 토션바(torsion bar)(140)로 구성되며, 상기 콤드라이브 구동기(110)는 콤(comb) 형태를 가지는 고정자(stator)(111)와 구동자(rotor)(112)가 수직방향으로 서로 다른 위상을 가지고 맞물린 구조를 가지는 AVC(Angular Vertical Comb-drive) 타입의 구조를 가진다.
상기 콤드라이브 구동기의 고정자(111)와 구동자(112)에 전위차가 인가되면, 상기 구동자(112)가 상기 고정자(111)방향으로 인력을 받아 이동하게 되며, 상기 구동자(112)에 연결된 상기 주사거울(120)이 상기 토션바(140)를 중심으로 상기 구동자(112)에 연동하여 회전, 진동하는 작동구조를 구현하게 된다.
상기 토션바(140)는, 선형의 형상으로, 일단부가 상기 주사거울(120)에 연결되고 타단부가 상기 구동자 고정구(130)에 의해 정위치 고정되어, 상기 주사거울(120) 및 구동자(112)의 회전 중심축을 제공하게 되며, 상기 토션스프링(140)의 각도에 따라 상기 주사거울(120) 및 구동자(112)의 각도 및 수직위치에 해당되는 위상이 달라지게 된다.
본 발명에 따른 MEMS구동기를 이용한 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 조 립장치는, 크게 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)구동기(210), 토션바연결빔(240), 상기 MEMS구동기(210)에 연결형성되는 구동기연결부(221)와 상기 토션바연결빔(240)에 연결형성되는 빔연결부(222)를 구비한 조립연결장치(220)로 이루어진 구성을 가진다.
상기 MEMS구동기(210)는, 상기 조립연결장치(220), 토션바연결빔(240)의 변위를 명확하게 조정가능한 선형 또는 회전형 이동변위를 생성한다면, 전열 방식, 정전기 방식, 압전 방식, 형상 기억 합금 방식, 유압 방식, 자기력을 응용한 방식 등을 포함한 다양한 실시예 중 보다 적합한 것을 선택 적용하는 것이 바람직하므로, 특정한 구조와 형상, 소재로 한정되지 않는다.
본 발명의 제1실시예에서, 상기 MEMS구동기(210)는 전열 방식의 쉐브론 전열 구동기(Chevron thermal actuator)를 적용한 구조를 가지며, 쉐브론 전열 구동기는, 저항 발열에 의해 길이가 신장변형되는 소재로 구성되는 다수의 전열선을 횡방향으로 연속하여 배치시켜 한 세트를 구성하고, 두 세트를 종방향으로 상호 대칭되게 배치하여, 전원이 공급되면 상기 전열선간의 연결부에서 상기 전열선의 신장 변화량에 비례하여 횡방향으로의 선형 이동변위를 생성하게 된다.
상기 MEMS구동기(210)와 토션바연결빔(240) 사이에 연결형성되는 상기 조립연결장치(220)는, 상기 구동기연결부(221)가 상기 MEMS구동기(210)에 연동하여 상기 토션바연결빔(240)에 근접 또는 이격되는 방향으로 이동되면서, 상기 빔연결부(222)와의 상대위치를 연속적으로 조정가능하며, 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)가 조립에 의해 상호 접속, 체결되거나 이격되는 구조를 가진다.
상기 구동기연결부(221)의 위상이 상기 MEMS구동기(210)의 작동에 의해 결정됨에 따라, 상기 MEMS구동기(210)의 작동상태를 제어하며 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)간의 상대위치 내지 조립위치를 조정할 수 있으며, 이와 동시에 상기 토션바(140)의 수직방향 일측부에 편중되게 연결된 상기 토션바연결빔(240)을 당기거나 밀어내며 상기 토션바(140) 및 주사거울(120)의 각도, 구동자(112)의 수직 위상을 조정할 수 있다.
본 발명의 제1실시예에서, 상기 조립연결장치(220)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 걸고리부(221b)와 걸림고리부(222b)간의 체결에 의해 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)를 상호 연결, 고정시키는 래치 메커니즘(latch mechanism) 구조를 적용하고, 상기 구동기연결부(221)를 수연장부(221a)와 걸고리부(221b)로 구성하고, 상기 빔연결부(222)를 암연장부(222a)와 걸림고리부(222b)로 구성한 구조를 가진다.
상기 구동기연결부의 수연장부(221a)는 상기 MEMS구동기(210)에서 상기 토션바(140)측으로 연장형성되며, 상기 걸고리부(221b)는 상기 수연장부(221a)에서 측방향으로 돌출형성되고 상기 수연장부(221a)의 길이방향을 따라 다수가 이격간격을 두고 연속하여 배치된다.
상기 걸고리부(221b)는, 상기 걸림고리부(222b)에 명확하게 가압 접속되며 체결될 수 있도록 상기 MEMS구동기(210)에 인접한 일단부는 인접한 상기 걸림고리부(222b)측으로 돌출되거나 평탄한 형상을 가지도록 형성하고, 상기 토션바(140)에 인접한 타단부는 상기 걸림고리부(222b)와의 접촉에 의해 상기 걸림고리부(222b)에 쉽게 구속되지 않고 미끄럼 이동될 수 있도록 가장자리가 완만하게 라운딩된 형상을 가진다.
상기 빔연결부의 암연장부(222a)는 상기 구동기연결부(221)의 자유단부가 삽입된 상태로 진퇴 이동가능한 슬릿을 제공하며, 상기 걸림고리부(222b)는 상기 암연장부(222a)에서 슬릿 내측으로 돌출형성되고 상기 구동기연결부(221)의 자유단부가 상기 암연장부(222a)의 길이방향을 따라 임의의 지점에서 선택적으로 체결가능하도록 다수가 이격간격을 두고 연속하여 배치된다.
상기 걸림고리부(222b)는, 상기 MEMS구동기(210)에 인접한 일단부는 상기 걸고리부(221b)와의 접촉에 의해 상기 걸고리부(221b)를 쉽게 구속하지 않도록 가장자리가 완만하게 라운딩된 형상을 가지며, 상기 토션바(140)에 인접한 타단부는 상기 걸고리부(221b)에 명확하게 가압 접속되며 체결될 수 있도록 인접한 상기 걸고리부(221b)측으로 돌출되거나 평탄한 형상을 가진다.
도 4의 (a)는 상기와 같은 래치 메커니즘 구조를 가지는 조립연결장치(220)의 조립 전 초기 상태를 도시한 것으로, 상기 빔연결부의 암연장부(222a)에 상기 구동기연결부의 수연장부(221a)의 자유단부가 삽입되고, 상기 구동기연결부의 다수의 걸고리부(222b)와 빔연결부의 다수의 걸림고리부(222b)가 상호 이격된 구조를 가진다.
도 4의 (a)에 도시된 바와 같은 초기 상태에서, 상기 MEMS구동기(210)를 작동시켜 상기 구동기연결부(221)를 상기 빔연결부(222)측으로 밀어내면, 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이 상기 걸고리부(221b)가 상기 걸림고리부(222b)에 접촉되더라 도, 상기 걸고리부(221b)와 걸림고리부(222b)의 라운딩형상에 의해 상기 걸고리부(221b)가 걸림고리부(222b)에 걸려 구속되지 않고, 도 4의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 토션바연결빔(240)측으로 연속하여 이동될 수 있다.
상기 MEMS구동기(210)의 생성 변위를 연속적으로 증가시키면, 상기 구동기연결부(221)가 도 4의 (b), (c)에 도시된 바와 같은 과정을 반복하면서 상기 토션바연결빔(240)측으로 연속하여 이동하게 되며, 상기 구동기연결부(221)를 적정 위치까지 이동시킨 상태에서 상기 MEMS구동기(210)에 의한 작용력을 해제하면, 상기 구동기연결부(221)의 복원력에 의해, 도 4의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 걸고리부(221b)와 걸림고리부(222b)가 명확하게 가압 접속되며 상호 체결되게 된다.
이에 따라, 상기 MEMS구동기(210)를 이용하여, 상기 다수의 걸림고리부(222b)간의 이격간격에 대응되는 미세 거리만큼, 상기 토션바연결빔(240)을 순차적으로 이동시키면서, 상기 토션바(140) 및 주사거울(120)의 각도, 구동자(112)의 수직 위치를 실시간으로 확인하며 연속적, 순차적으로 조정할 수 있으며, 상기 MEMS구동기(210)의 작동을 해제함으로써 최종 조정상태를 견고하게 유지, 고정할 수 있다.
본 발명의 제1실시예에서, 상기 토션바(140)는 상기 주사거울(120)의 좌, 우측단부에 각각 연결되는 한쌍이 구비되고, 상기 토션바연결빔(240) 또한 상기 한쌍의 토션바(140) 각각에 상호 평행하게 결합되는 한쌍이 구비되는데, 상기 조립연결장치의 빔연결부(222)와 상기 한쌍의 토션바연결빔(240) 사이에, 상기 한쌍의 토션바연결빔(240)의 단부를 일체로 연결가능한 연장길이를 가지며 중간부가 상기 빔연 결부(222)에 연결되는 연결빔지지구(230)를 연결형성하면, 하나의 상기 조립연결장치(220)를 이용해 한쌍의 상기 토션바(140)를 안정적으로 조정할 수 있다.
다음으로, 본 발명에 따른 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 제조방법에 대해 설명하기로 한다.
본 발명에 따른 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 제조방법의 제1실시예는, 상부 실리콘층(AL), 하부 실리콘층(BL), 상기 상부 실리콘층(AL)과 하부 실리콘층(BL)을 상호 절연시키며 일체로 연결하는 절연층(il)을 구비한 하나의 SOI(Silicon-On-Insulator) 웨이퍼(wafer)를 이용하여 구현가능한 제조방법을 제시한 것으로, 크게 기판제작단계, 각도조정단계, 조립완료단계로 이루어진다.
상기 기판제작단계에서는, 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 SOI 웨이퍼에 해당되는 하나의 웨이퍼(wafer)상에, 상기 콤드라이브 구동기(110), 주사거울(120), 토션바(140)로 구성되는 스캐너와, 상기 MEMS구동기(210), 토션바연결빔(240), 조립연결장치(220)로 구성되는 조립장치에 해당되는 구조물을 함께 형성하게 된다.
상기 각도조정단계에서는, 상기 MEMS구동기(210)를 작동시켜, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 조립연결장치의 구동기연결부(221)를 이동시키며 상기 조립연결장치의 빔연결부(222)와의 상대위치를 조정하고, 상기 MEMS구동기(210)의 작동에 의해 결정되는 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)간의 상대위치에 따라 상기 토션바연결빔(240)을 당기거나 밀어내며 상기 토션바(140)의 각도를 조정하게 된다.
상기 각도조정단계에서는, 상기 다수의 걸고리부(221b)와 걸림고리부(222b)에 의해 각각의 배치 간격에 대응되는 거리만큼 단계별로 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)간의 상대변위를 이동, 조정하게 되며, 상기 조립완료단계에서는, 도 5의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 토션바(140)의 각도 조정이 완료된 상태에서 상기 MEMS구동기(210)의 작동을 정지시켜, 상기 조립연결장치의 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)간의 체결에 의해 최종 조정상태를 고정, 유지시키게 된다.
도 6은 상기 각도조정단계를 거쳐 조립 완성된 마이크로 구동기의 주사전자현미경 사진으로, 도 6의 (a)에 의해 상기 래치 메커니즘, 도 6의 (b)에 의해 상기 토션바(140)와 토션바연결빔(240)의 연결구조, 도 6의 (c), (d)에 의해 상기 고정자(111)와 구동자(112)간의 수직 위상차를 확인할 수 있으며, 도 7의 (a), (b)는 AVC 구동기의 광 간섭 현미경 사진으로, 상기 구동자(112)의 경사 구조와, 상기 고정자(111)와의 수직 위상차를 명확하게 확인할 수 있다.
본 발명에 따른 MEMS구동기를 이용한 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 조립장치, 이를 구비한 수직 정전용량형 마이크로 구동기 및 그 제조방법에 의하면, 상기 MEMS구동기(210)의 작동에 의해 상기 MEMS구동기(210)에 연결된 상기 구동기연결부(221)의 위상이 연속적으로 변화되며 상기 토션바연결빔(240)에 연결된 빔연결부(222)와의 조립, 체결 위치가 조정되고, 상기 토션바(140)에 편중되게 연결된 상기 토션바연결빔(240)이 이동, 변형되면서 상기 토션바(140) 및 구동자(112)의 각도를 연속적으로 변화, 조정하게 된다.
상기 MEMS구동기(210)를 작동시키는 간단한 조작에 의해 상기 토션바(140) 및 구동자(112)의 각도를 연속적으로 변화, 조정할 수 있을 뿐 아니라, 적정한 각도로 조정한 후에는 상기 MEMS구동기(210)의 작동을 정지시키는 것에 의해 추가적인 이동, 변형 없이 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)를 상호 체결, 고정시킴으로써 상기 토션바(140)를 적정 각도로 안정되게 고정, 유지할 수 있다.
그리고, 상기 조립연결장치의 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)를 다단 래치(latch) 구조로 형성하여, 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)간의 조립, 체결 위치를 순차적으로 조정가능하면서도, 상기 MEMS구동기(210)에 의한 작용력이 해제되면 자동으로 상호 체결되며 최종 조립상태를 유지, 고정할 수 있다.
이에 따라, 마이크로 가공공정에 의해 기판제작을 완료한 후, 조립 공정에서 MEMS구동기를 이용하여 상기 조립연결장치의 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)간의 조립, 체결 위치를 선택적으로 적용하는 간단한 조작에 의해, 상기 토션바(140)의 각도 및 구동자(112)의 수직위치 또한 세밀하게 조절가능하며, 적용 목적 등에 따라 토션바 각도를 달리하는 다양한 실시예를 용이하게 구현할 수 있다.
이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 들어 설명하였으나, 본 발명은 이러한 실시예에 한정되는 것이 아니고, 상기 실시예들을 기존의 공지기술과 단순히 조합적용한 실시예와 함께 본 발명의 특허청구범위와 상세한 설명에서 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자가 변형하여 이용할 수 있는 기술은 본 발명의 기술범위에 당연히 포함된다고 보아야 할 것이다.
도 1 - AVC 타입 액츄에이터의 작동 메커니즘을 설명하고자 도시한 모식도
도 2 - 본 발명에 따른 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 제1실시예를 도시한 요부사시도
도 3 - 도 2의 평면도
도 4 - 래치구조를 가지는 조립연결장치의 조립, 사용 과정을 설명하고자 도시한 요부평면도
도 5 - 토션바 및 구동자의 각도 조정과정을 설명하고자 도시한 요부측단면도
도 6 - 본 발명에 따른 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 제조방법에 의해 제작된 마이크로 구동기의 완성사진
도 7 - 본 발명에 따른 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 제조방법에 의해 제작, 완성된 콤드라이브 구동기의 광간섭 현미경 사진
<도면에 사용된 주요 부호에 대한 설명>
110 : 콤드라이브 구동기 111 : 고정자
112 : 구동자 120 : 주사거울
130 : 구동자 고정구 140 : 토션바
210 : MEMS구동기 220 : 조립연결장치
221 : 구동기연결부 221a : 수연장부
221b : 걸고리부 222 : 빔연결부
222a : 암연장부 222b : 걸림고리부
230 : 연결빔지지구 240 : 토션바연결빔
AL : 상부 실리콘층 BL : 하부 실리콘층
il : 절연층

Claims (13)

  1. MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)구동기(210);
    마이크로 구동기의 토션바(torsion bar)(140)의 수직방향 일측부에 편중되게 연결되는 토션바연결빔(240); 및
    상기 MEMS구동기(210)에 연결형성되는 구동기연결부(221)와, 상기 토션바연결빔(240)에 연결형성되고 조립에 의해 상기 구동기연결부(221)와 체결되는 빔연결부(222)가 구비되며, 상기 MEMS구동기(210)의 작동에 의해 결정되는 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)간의 상대위치에 따라 상기 토션바연결빔(240)을 당기거나 밀어내며 상기 토션바(140)의 각도를 조정하게 되는 조립연결장치(220);
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 MEMS구동기를 이용한 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 조립장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 MEMS구동기(210)는,
    저항 발열에 의해 길이가 신장변형되는 소재로 구성되며, 종방향으로의 연장길이를 가지는 다수의 전열선이 횡방향으로 연속하여 배치되고 종방향의 양단부가 고정 설치된 구조에 의해, 상기 전열선의 신장 변화량에 비례하여 상기 전열선의 중간부에서 횡방향으로의 선형 이동변위를 생성하게 되는 쉐브론 전열 구동기(Chevron thermal actuator)인 것을 특징으로 하는 MEMS구동기를 이용한 수직 정 전용량형 마이크로 구동기의 조립장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 조립연결장치(220)는,
    걸고리부(221b)와 걸림고리부(222b)간의 체결에 의해 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)를 상호 연결, 고정시키는 래치(latch)구조를 가지는 것을 특징으로 하는 MEMS구동기를 이용한 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 조립장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 조립연결장치의 구동기연결부(221)는,
    상기 MEMS구동기(210)에서 상기 토션바(140)측으로 연장형성되는 수연장부(221a); 및
    상기 수연장부(221a)에서 측방향으로 돌출형성되며, 상기 수연장부(221a)의 길이방향을 따라 다수가 이격간격을 두고 연속하여 배치되는 걸고리부(221b);
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 MEMS구동기를 이용한 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 조립장치.
  5. 제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 걸고리부(221b)는,
    상기 MEMS구동기(210)에 인접한 일단부가 인접한 상기 걸림고리부(222b)측으 로 돌출되거나 평탄한 형상을 가지고 상기 걸림고리부(222b)에 가압 접속되며 체결되고, 상기 토션바(140)에 인접한 타단부는 가장자리가 완만하게 라운딩된 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 MEMS구동기를 이용한 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 조립장치.
  6. 제3항에 있어서, 상기 조립연결장치의 빔연결부(222)는,
    상기 구동기연결부(221)의 자유단부가 삽입된 상태로 진퇴 이동가능한 슬릿을 제공하는 암연장부(222a); 및
    상기 암연장부(222a)에서 슬릿 내측으로 돌출형성되며, 상기 구동기연결부(221)의 자유단부가 상기 암연장부(222a)의 길이방향을 따라 임의의 지점에서 선택적으로 체결가능하도록 다수가 이격간격을 두고 연속하여 배치되는 걸림고리부(222b);
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 MEMS구동기를 이용한 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 조립장치.
  7. 제3항 또는 제6항에 있어서, 상기 걸고리부(221b)는,
    상기 MEMS구동기(210)에 인접한 일단부는 가장자리가 완만하게 라운딩된 형상을 가지며, 상기 토션바(140)에 인접한 타단부는 인접한 상기 걸고리부(221b)측 으로 돌출되거나 평탄한 형상을 가지고 상기 걸고리부(221b)에 가압 접속되며 체결되는 것을 특징으로 하는 MEMS구동기를 이용한 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 조립장치.
  8. 콤(comb) 형태를 가지는 고정자(stator)(111)와 구동자(rotor)(112)가 수직방향으로 서로 다른 위상을 가지고 맞물린 구조를 가지는 수직형 콤드라이브 구동기(comb-drive actuator)(110);
    상기 콤드라이브 구동기(110)의 구동자(112)에 연결형성되어 상기 구동자(112)에 연동하여 회전, 진동되는 주사거울(120);
    일측으로의 연장길이를 가지는 선형의 형상으로, 일단부가 상기 주사거울(120)에 연결되고 타단부가 정위치 고정되는 토션바(torsion bar)(140);
    선형 이동변위를 생성가능한 구조를 가지고 상기 콤드라이브 구동기(110)와 별도로 구비되는 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)구동기(210);
    상기 토션바(torsion bar)(140)의 수직방향 일측부에 편중되게 연결되는 토션바연결빔(240); 및
    상기 MEMS구동기(210)에 연결형성되는 구동기연결부(221)와, 상기 토션바연결빔(240)에 연결형성되고 조립에 의해 상기 구동기연결부(221)와 체결되는 빔연결부(222)가 구비되며, 상기 MEMS구동기(210)의 작동에 의해 결정되는 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)간의 상대위치에 따라 상기 토션바연결빔(240)을 당기거 나 밀어내며 상기 토션바(140)의 각도를 조정하게 되는 조립연결장치(220);
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 수직 정전용량형 마이크로 구동기.
  9. 제8항에 있어서, 상기 토션바(140)는,
    상기 주사거울(120)의 좌, 우측단부에 각각 연결되는 한쌍이 구비되고,
    상기 토션바연결빔(240)은,
    상기 한쌍의 토션바(140) 각각에 결합되고 상호 평행한 한쌍이 구비되며,
    상기 한쌍의 토션바연결빔(240)의 단부를 일체로 연결가능한 연장길이를 가지며, 상기 조립연결장치의 빔연결부(222)가 길이방향의 중간부에 연결되는 연결빔지지구(230);
    를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 수직 정전용량형 마이크로 구동기.
  10. 제8항에 있어서, 상기 조립연결장치(220)는,
    걸고리부(221b)와 걸림고리부(222b)간의 체결에 의해 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)를 상호 연결, 고정시키는 래치(latch)구조를 가지는 것을 특징으로 하는 수직 정전용량형 마이크로 구동기.
  11. 하나의 웨이퍼(wafer)상에, 제8항의 콤드라이브 구동기(110), 주사거울(120), 토션바(140), MEMS구동기(210), 토션바연결빔(240), 조립연결장치의 구동기연결부(221), 빔연결부(222)를 함께 형성하는 기판제작단계;
    상기 MEMS구동기(210)를 작동시켜 상기 조립연결장치의 구동기연결부(221)를 이동시키며 상기 조립연결장치의 빔연결부(222)와의 상대위치를 조정하고, 상기 MEMS구동기(210)의 작동에 의해 결정되는 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)간의 상대위치에 따라 상기 토션바연결빔(240)을 당기거나 밀어내며 상기 토션바(140)의 각도를 조정하는 각도조정단계; 및
    상기 토션바(140)의 각도 조정이 완료된 상태에서 상기 MEMS구동기(210)의 작동을 정지시켜 상기 조립연결장치의 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)간의 체결에 의해 최종 조정상태를 고정, 유지시키는 조립완료단계;
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 제조방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 조립연결장치(220)는,
    상호 이격되는 방향으로 가압력을 받는 걸고리부(221b)와 걸림고리부(222b)간의 체결에 의해 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)를 상호 연결, 고정시키 는 래치(latch)구조를 가지는 것을 특징으로 하는 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 제조방법.
  13. 제11항 또는 제12항에 있어서, 상기 조립연결장치의 구동기연결부(221)는,
    상기 MEMS구동기(210)에서 상기 토션바(140)측으로 연장형성되는 수연장부(221a)와, 상기 수연장부(221a)에서 측방향으로 돌출형성되고 상기 수연장부(221a)의 길이방향을 따라 다수가 이격간격을 두고 연속하여 배치되는 걸고리부(221b)를 구비하며,
    상기 조립연결장치의 빔연결부(222)는,
    상기 구동기연결부(221)의 자유단부가 삽입된 상태로 진퇴 이동가능한 슬릿을 제공하는 암연장부(222a)와, 상기 암연장부(222a)에서 슬릿 내측으로 돌출형성되고 상기 구동기연결부(221)의 자유단부가 상기 암연장부(222a)의 길이방향을 따라 임의의 지점에서 선택적으로 체결가능하도록 다수가 이격간격을 두고 연속하여 배치되는 걸림고리부(222b)를 구비하여,
    상기 각도조정단계에서는,
    상기 다수의 걸고리부(221b)와 걸림고리부(222b)에 의해 각각의 배치 간격에 대응되는 거리만큼 단계별로 상기 구동기연결부(221)와 빔연결부(222)간의 상대변위를 이동, 조정하는 것을 특징으로 하는 수직 정전용량형 마이크로 구동기의 제조방법.
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