KR20100093844A - Apparatus for bonding substrate and apparatus for feeding buffer film - Google Patents
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Abstract
Description
실시예는 기판 본딩 장치 및 완충필름 공급장치에 관한 것이다.Embodiments relate to a substrate bonding apparatus and a buffer film supply apparatus.
일반적으로 피디피(PDP), 엘시디(LCD), 오엘이디(OLED), 형광표시관(VFD)과 같은 평판표시소자(Flat Panel Display)는 점차 경박단소화 되어 가는 추세에 있으며, 이에 더욱 부합하도록 상기 평판표시소자의 글래스에 구동용 회로기판(예를 들면, PCB, FPC, TCP 등)이 직접 본딩되어 단일화된 물품으로 제조되고 있다.In general, flat panel displays such as PDDP, LCD, OLED, and fluorescent display (VFD) are becoming increasingly thin and short, and are more conducive to the above. A driving circuit board (for example, PCB, FPC, TCP, etc.) is directly bonded to the glass of the flat panel display device to manufacture a single article.
이렇게 회로기판을 글래스에 직접 접착하게 되면 복잡한 배선을 하지 않아도 되므로 조립 및 유지보수가 용이할 뿐만아니라 별도의 배선공간을 확보할 필요가 없으므로 제품의 소형화에 적합하여 더욱 향상된 상품성을 가지게 되며, 상기한 회로기판의 형태는 얇은 박막의 필름 형태로 이루어진다.Thus, if the circuit board is directly bonded to the glass, it is not necessary to make complicated wiring, so it is easy to assemble and maintain, and there is no need to secure a separate wiring space. The circuit board is formed in the form of a thin thin film.
그리고 상기 회로기판은 다양한 배선의 호환성이 유지되므로 평판표시소자의 용도 및 사양에 제한을 받지 않고 폭넓게 활용되고 있으며, 이러한 회로기판은 별도의 칩본딩기에 의해 피접착면에 하나 이상의 칩이 각각 본딩된다.Since the compatibility of various wirings is maintained, the circuit board is widely used without being limited by the use and specification of the flat panel display device. Each of the circuit boards is bonded to one or more chips to be bonded by a separate chip bonding machine. .
이러한 회로기판은 평판표시소자 패널의 일측에 마련된 본딩면에 본딩되어 취부된다. 이 회로기판을 평판표시소자의 패널에 본딩하기 위해서는 고온 고압을 사용하여 회로기판을 패널에 압착하는 본딩장치가 사용된다.The circuit board is bonded to the bonding surface provided on one side of the flat panel display panel. In order to bond this circuit board to the panel of a flat panel display element, the bonding apparatus which crimps a circuit board to a panel using high temperature and high pressure is used.
그런데 종래에는 이 회로기판 본딩장치가 자동화되지 못하여 공정시간이 길어지며, 노동력이 많이 소요되는 문제점이 있다. 특히, 최근에는 평판표시소자의 대면적화가 진행되면서 자동화 및 고정밀도의 필요성이 더욱 크게 요구되고 있다.However, in the related art, the circuit board bonding apparatus may not be automated, and thus, the process time may be long, and labor may be required. In particular, in recent years, as the area of a flat panel display device becomes larger, the necessity for automation and high precision is required.
실시예는 압착부 및 접합 대상물들 사이에 효율적으로 완충필름을 공급하는 완충필름 공급장치 및 효율적으로 기판들 및/또는 패널등과 같은 접합 대상물들을 본딩하는 기판 본딩 장치를 제공하고자 한다.Embodiments provide a buffer film supply device for efficiently supplying a buffer film between a crimp portion and a bonding object, and a substrate bonding device for efficiently bonding bonding objects such as substrates and / or panels.
실시예에 따른 기판 본딩 장치는 접합 대상물들이 배치되는 스테이지; 상기 스테이지 상에 배치되어, 상기 기판에 완충필름을 통하여 압력을 가하는 압착부; 상기 완충필름을 권취하며, 상기 스테이지 및 상기 압착부 사이에 상기 완충필름을 공급하는 공급릴; 및 상기 완충필름을 회수하는 회수릴을 포함한다.The substrate bonding apparatus according to the embodiment includes a stage in which the bonding objects are disposed; A compression unit disposed on the stage to apply pressure to the substrate through a buffer film; A supply reel for winding the buffer film and supplying the buffer film between the stage and the crimping portion; And a recovery reel for recovering the buffer film.
실시예에 따른 완충필름 공급장치는 완충필름을 권취하는 공급릴; 상기 공급릴에 인접하여 배치되며, 상기 공급릴에 권취되는 완충필름의 외주면까지의 거리를 감지하는 센서부; 상기 거리를 기반으로 회전각도를 계산하여, 상기 공급릴을 회전시키는 제어부; 상기 완충필름을 회수하는 회수릴을 포함한다.The buffer film supply apparatus according to the embodiment includes a supply reel for winding the buffer film; A sensor unit disposed adjacent to the supply reel and sensing a distance to an outer circumferential surface of the buffer film wound on the supply reel; A controller for rotating the supply reel by calculating a rotation angle based on the distance; It includes a recovery reel for recovering the buffer film.
실시예에 따른 기판 본딩 장치는 공급릴 및 회수릴에 의해서 효율적으로 기판 및 압착부 사이에 완충필름을 공급할 수 있다. 따라서, 실시예에 따른 기판 본딩 장치는 압착부에 의해서, 상기 접합 대상물들에 압력이 가해질 때, 상기 완충필름에 의해서, 상기 접합 대상물들이 보호된다.In the substrate bonding apparatus according to the embodiment, the buffer film may be efficiently supplied between the substrate and the compressed portion by the supply reel and the reel. Therefore, the substrate bonding apparatus according to the embodiment is protected by the crimping portion, by the buffer film, when the pressure is applied to the bonding objects.
또한, 실시예에 따른 기판 본딩 장치는 공급릴 및 회수릴에 의해서, 효율적 으로 완충필름이 공급되므로, 자동화 공정에 의해서, 효율적으로 접합 대상물들을 본딩할 수 있다.In addition, the substrate bonding apparatus according to the embodiment, since the buffer film is efficiently supplied by the supply reel and the recovery reel, it is possible to efficiently bond the bonding objects by the automated process.
또한, 실시예에 따른 기판 본딩 장치는 공급릴의 중심으로부터, 권취된 완충필름의 외주면까지의 반지름을 측정하는 센서부를 포함하고, 센서부에 의해서 측정된 반지름을 입력받아 공급릴을 원하는 각도로 회전시키는 제어부를 포함할 수 있다.In addition, the substrate bonding apparatus according to the embodiment includes a sensor unit for measuring the radius from the center of the supply reel to the outer peripheral surface of the wound buffer film, and receives the radius measured by the sensor unit to rotate the supply reel to a desired angle It may include a control unit to make.
이에 따라서, 제어부는 접합 대상물들 및 압착부 사이에 공급되는 완충필름의 피치(이동거리)를 정확하게 조절할 수 있다. 즉, 실시예에 따른 기판 본딩 장치는 공급릴 및 권취된 완충필름의 총반지름에 의해서, 권취된 완충필름이 원하는 피치 만큼 풀리기 위한 회전각도를 계산할 수 있다.Accordingly, the controller can accurately adjust the pitch (moving distance) of the buffer film supplied between the bonding objects and the crimping portion. That is, the substrate bonding apparatus according to the embodiment may calculate the rotation angle for releasing the wound buffer film by a desired pitch by the total radius of the supply reel and the wound buffer film.
이에 따라서, 실시예에 따른 기판 본딩 장치 및 완충필름 공급장치는 공급릴을 원하는 각도록 회전시켜서, 정확한 피치 만큼 완충필름을 기판 및 압착부 사이에 공급한다.Accordingly, the substrate bonding apparatus and the buffer film supply apparatus according to the embodiment rotate the feed reel to a desired angle, thereby supplying the buffer film between the substrate and the crimping portion by the exact pitch.
따라서, 실시예에 따른 기판 본딩 장치 및 완충필름 공급장치는 완충필름의 낭비를 줄 일 수 있다.Therefore, the substrate bonding apparatus and the buffer film supply apparatus according to the embodiment can reduce the waste of the buffer film.
또한, 실시예에 따른 기판 본딩 장치 및 완충필름 공급장치는 회수릴에 연결되며, 소정의 부하 이상의 부하가 작용될 때 정지하는 토크모터를 포함할 수 있다.In addition, the substrate bonding apparatus and the buffer film supply apparatus according to the embodiment may be connected to the recovery reel, and may include a torque motor to stop when a load of a predetermined load or more is applied.
이에 따라서, 실시예에 따른 기판 본딩 장치 및 완충필름 공급장치는 토크모터에 의해서 완충필름의 텐션을 유지하고, 스테이지 및 압착부 사이의 완충을 효율적으로 수행할 수 있다.Accordingly, the substrate bonding apparatus and the buffer film supply apparatus according to the embodiment can maintain the tension of the buffer film by the torque motor, and can efficiently perform the buffer between the stage and the crimping portion.
실시 예의 설명에 있어서, 각 기판, 스테이지(100), 부, 필름 또는 릴 등이 각 기판, 부, 필름 또는 릴 등의 "상(on)"에 또는 "하부(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상(on)"과 "하부(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 구성요소를 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 구성요소의 상 또는 하부에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다. 도면에서의 각 구성요소들의 크기는 설명을 위하여 과장될 수 있으며, 실제로 적용되는 크기를 의미하는 것은 아니다.In the description of the embodiments, it is described that each substrate,
도 1은 실시예에 따른 기판 본딩 장치를 도시한 측면도이다. 도 2는 완충필름 공급유닛을 도시한 사시도이다. 도 3은 공급릴 및 레이저 변위 센서를 도시한 도면이다. 도 4는 실시예에 따른 기판 본딩 장치를 도시한 블럭도이다. 도 5 내지 도 7은 실시예에 따른 기판 본딩 장치에 의해서, 접합 대상물들이 접합되는 과정을 도시한 도면들이다.1 is a side view illustrating a substrate bonding apparatus according to an embodiment. Figure 2 is a perspective view showing a buffer film supply unit. 3 shows a supply reel and a laser displacement sensor. 4 is a block diagram illustrating a substrate bonding apparatus according to an embodiment. 5 to 7 are views illustrating a process of bonding objects to be bonded by the substrate bonding apparatus according to the embodiment.
도 1을 참조하면, 실시예에 따른 기판 본딩 장치는 스테이지(100), 완충필름 공급유닛(200) 및 압착부(300)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the substrate bonding apparatus according to the embodiment includes a
상기 스테이지(100)는 인쇄회로기판(printed circuit board;PCB), 연성인쇄회로기판(flexible printed circuit board;FPCB), TCP 테이프, TAB 테이프 및 디스플레이 패널 등과 같은 서로 접합되는 접합 대상물들(10)을 지지한다. 도 1 에서는 상기 스테이지(100) 상에 LCD 패널(11), 드라이버IC(13)가 실장된 TAB 테이프(12) 및 인쇄회로기판(14)이 배치된다.The
상기 TAB 테이프(12) 및 상기 LCD 패널(11)은 이방성 도전 필름(anisotropic conductive film;ACF)(15, 16)에 의해서 본딩된다. 또한, 상기 TAB 테이프(12) 및 상기 인쇄회로기판(14) 사이에 이방성 도전 필름(16)이 개재된다.The
상기 스테이지(100)는 플레이트 형상을 가진다. 또한, 상기 스테이지(100)에 인접하여, 상기 접합 대상물들(10)을 로딩하는 로딩부 및/또는 상기 대상물들(10)을 언로딩하는 언로딩부가 배치될 수 있다.The
상기 완충필름 공급유닛(200)은 상기 스테이지(100)에 인접하여 배치된다. 예를 들어, 상기 완충필름 공급유닛(200)은 상기 스테이지(100) 상에 고정되어 배치될 수 있다. 이와는 다르게, 상기 완충필름 공급유닛(200)은 상기 스테이지(100) 상에 로딩 및 언로딩 될 수 있다.The buffer
도 1 및 2를 참조하면, 상기 완충필름 공급유닛(200)은 완충필름(210), 지지부(220), 공급릴(230), 다수 개의 가이드릴들(241, 242... 245), 회수릴(250), 서보모터(260), 토크모터(270) 및 레이저 변위 센서(280)를 포함한다.1 and 2, the buffer
상기 완충필름(210)은 상기 공급릴(230) 및 상기 회수릴(250)에 권취된다. 또한, 상기 완충필름(210)은 상기 압착부(300) 및 상기 스테이지(100) 사이에 개재된다. 더 자세하게, 상기 완충필름(210)은 상기 압착부(300) 및 상기 접합 대상물들(10) 사이에 개재된다.The
상기 완충필름(210)은 탄성을 가진다. 상기 완충필름(210)은 상기 압착부(300)에 의한 충격을 흡수하고, 상기 압착부(300)에 의한 압력을 상기 접합 대상물들(10)에 전달한다.The
상기 완충필름(210)으로 사용되는 물질의 예로서는 실리콘 러버(silicon rubber), 폴리이미드(polyimide) 수지 및 유리 섬유(glass cloth) 등을 들 수 있다.Examples of the material used as the
또한, 상기 완충필름(210)은 다수 개의 층들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 완충필름(210)은 실리콘 러버층, 폴리이미드 수지층 및 유리 섬유층 등을 포함할 수 있다.In addition, the
상기 완충필름(210)의 두께는 상기 압착부(300)의 압력 및 상기 접합 대상물들(10)의 두께 및 종류 등에 따라서 달라 질 수 있다. 상기 완충필름(210)의 두께는 예를 들어, 약 0.1㎜ 내지 1㎜일 수 있다.The thickness of the
상기 지지부(220)는 상기 공급릴(230), 상기 가이드릴들(241, 242... 245) 및 상기 회수릴(250)이 회전가능하도록 지지한다. 또한, 상기 지지부(220)는 상기 서보모터(260), 상기 토크모터(270) 및 상기 레이저 변위 센서(280)를 지지하며, 고정한다.The
상기 지지부(220)는 상기 완충필름 공급유닛(200)을 로딩 및/또는 언로딩하는 제 1 이송 유닛에 고정될 수 있다.The
도 1 및 도 2 에서는 상기 지지부(220)가 상기 공급릴(230), 상기 가이드릴들(241, 242... 245) 및 상기 회수릴(250)의 한 쪽 끝단에 배치된 것으로 표시되어 있지만, 이는 설명의 편의를 위하여 도시한 것이다.In FIGS. 1 and 2, the
따라서, 상기 지지부(220)는 상기 공급릴(230), 상기 가이드릴들(241, 242... 245) 및 상기 회수릴(250)의 다른 쪽 끝단에도 배치될 수 있다. 또한, 상기 지지부(220)는 상기 토크모터(270), 상기 서보모터(260) 및 상기 레이저 변위 센서(280)를 고정하기 위한 부재를 더 포함할 수 있다.Accordingly, the
상기 공급릴(230)은 상기 지지부(220)에 회전 가능하도록 고정된다. 상기 공급릴(230)은 상기 완충필름(210)을 권취한다. 상기 공급릴(230)은 상기 권취된 완충필름(210)을 상기 압착부(300) 및 상기 접합 대상물들(10) 사이에 공급한다.The
상기 가이드릴들(241, 242... 245)은 상기 지지부(220)에 회전 가능하도록 고정된다. 상기 공급릴(230)에 의해서 풀린 완충필름(210)을 상기 회수릴(250)에 가이드한다. 예를 들어, 상기 가이드릴들(241, 242... 245)은 제 1 가이드릴(241), 제 2 가이드릴(242), 제 3 가이드릴(243), 제 4 가이드릴(244) 및 제 5 가이드릴(245)을 포함한다.The
상기 제 1 가이드릴(241)은 상기 완충필름(210) 상에 배치되고, 상기 제 2 가이드릴(242) 및 제 3 가이드릴(243)은 상기 완충필름(210) 아래에 배치된다. 또한, 상기 제 4 가이드릴(244)은 상기 완충필름(210) 상에 배치되고, 상기 제 5 가이드릴(245)은 상기 완충필름(210) 아래에 배치된다.The
도면에서는 5개의 가이드릴들(241, 242... 245)이 도시되어 있지만, 이와는 다르게, 상기 완충필름 공급유닛(200)은 더 많은 수 또는 더 적은 수의 가이드릴들을 포함할 수 있다.Although five
상기 회수릴(250)은 상기 지지부(220)에 회전 가능하도록 고정된다. 상기 회수릴(250)은 사용된 완충필름(210)을 권취한다. 즉, 상기 회수릴(250)은 상기 사용된 완충필름(210)을 회수한다.The
상기 서보모터(servo motor)(260)는 상기 공급릴(230)에 직접 또는 간접적으로 연결된다. 상기 서보모터(260)는 상기 공급릴(230)을 회전시킨다. 더 자세하게, 상기 서보모터(260)는 상기 공급릴(230)을 원하는 회전각도(θ) 만큼 회전시킨다. 상기 서보모터(260)는 상기 지지부(220)에 고정된다.The
상기 서보모터(260)는 주어진 위치를 추종하고 따를 수 있다. 상기 서보모터(260)의 예로서는 DC 서보모터, AC 서보모터 및 리니어 서보모터 등을 들 수 있다.The
또한, 상기 서보모터(260)는 입력된 각도로 회전각도(θ)를 조절할 수 있는 시스템을 포함할 수 있다. 또한, 상기 서보모터(260)는 회전각도(θ)를 센싱하는 센서들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 서보모터(260)는 회전각도(θ)를 측정할 수 있는 가변 저항을 포함할 수 있다.In addition, the
상기 토크모터(270)는 상기 회수릴(250)에 직접 또는 간접적으로 연결된다. 상기 토크모터(270)는 상기 회수릴(250)을 회전시킨다. 상기 토크모터(270)는 상기 지지부(220)에 고정된다.The
상기 토크모터(torque motor)(270)는 상기 회수릴(250)에 일정한 방향으로 회전력을 제공하고, 일정 이상의 부하가 걸리면, 회전이 정지된다.The
예를 들어, 상기 토크모터(270)는 회전되지 않은 상태에서도 회전력을 가지는 인덕션 모터(induction motor)의 한 특수화된 형태이고, 한정된 토크의 모터이다. 즉, 토크모터(270)는 손상을 입지 않고 회전을 막는 로터를 가진다. 상기 토크모터(270)는 부하에 대하여 일정한 토크를 가진다.For example, the
상기 토크모터(270)는 낮은 구동전압에서 상기 회수릴(250)을 통하여, 상대적으로 일정하고 가벼운 텐션을 상기 완충필름(210)에 인가할 수 있다. 또한, 상기 토크모터(270)는 높은 구동전압에서는 기어 또는 클러치와 같은 추가적인 기계 유닛 없이도, 빠른 속도의 회전을 상기 회수릴(250)에 부여할 수 있다.The
도 3을 참조하면, 상기 레이저 변위 센서(laser displacement sensor)(280)는 상기 지지부(220)에 고정된다. 상기 레이저 변위 센서(280)는 상기 공급릴(230)에 권취된 완충필름(210)의 외주면(211)까지의 거리(d)를 측정한다. 더 자세하게, 상기 레이저 변위 센서(280)는 상기 공급릴(230)의 중심으로부터 연장선 상에서, 상기 공급릴(230)에 권취된 완충필름(210)의 외주면(211)까지의 거리(d)를 측정한다.Referring to FIG. 3, the
상기 레이저 변위 센서(280)는 레이저를 발생시키는 광원을 포함할 수 있으며, 수광 요소로 CCD(charged couple device) 또는 PSD(positon sensitive device)를 포함할 수 있다. 상기 레이저 변위 센서(280)는 상기 수광 요소에 의해서 측정된 광량 분포를 측정하여, 상기 외주면(211)까지의 거리(d)를 측정할 수 있다.The
상기 압착부(300)는 상기 스테이지(100) 상에 배치된다. 상기 압착부(300)는 상하로 이동가능하며, 상기 접합 대상물들(10)에 압력을 가한다. 더 자세하게, 상기 압착부(300)는 상기 접합 대상물들(10)이 접합되는 영역에만 선택적으로 압력을 가한다.The crimping
예를 들어, 상기 압착부(300)는 상기 인쇄회로기판(14) 및 상기 TAB 테이프(12)가 본딩되는 영역에 압력을 가한다. 또한, 상기 압착부(300)는 상기 TAB 테 이프(12) 및 상기 LCD 패널(11)이 본딩되는 영역에 압력을 가할 수 있다.For example, the crimping
상기 압착부(300)는 상기 완충필름(210)을 통하여 상기 접합 대상물들(10)에 압력을 가한다. 즉, 상기 압착부(300) 및 상기 접합 대상물들(10) 사이에 완충필름(210)이 배치되고, 상기 완충필름(210)은 상기 압착부(300)에 의한 충격을 흡수한다.The
상기 압착부(300)는 상하로 이송시키는 제 2 이송 유닛을 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 압착부(300)는 상기 압착 대상물에 열을 가하는 히팅 유닛을 더 포함할 수 있다. 즉, 상기 압착부(300)는 상기 접합 대상물들(10)에 압력 뿐만 아니라, 열도 가할 수 있다.The crimping
도 4를 참조하면, 상기 제어부(400)는 상기 서보모터(260), 상기 토크모터(270) 및 상기 압착부(300)를 제어한다. 또한, 상기 제어부(400)는 상기 레이저 변위 센서(280)로부터 측정된 상기 공급릴(230)에 권취된 완충필름(210)의 외주면(211)까지의 거리(d)를 입력받는다.Referring to FIG. 4, the
또한, 도 4에서는 도시되지 않았지만, 상기 제어부(400)는 상기 로딩부, 상기 언로딩부, 제 1 이송 유닛, 제 2 이송 유닛 및 상기 가열부도 제어할 수 있다.In addition, although not shown in FIG. 4, the
상기 제어부(400)는 자동적인 프로그램에 의해서, 상기 서보모터(260), 상기 토크모터(270) 및 상기 압착부(300)를 제어할 수 있다. 이와는 다르게, 상기 제어부(400)는 수동으로 입력된 수치에 의해서, 상기 서보모터(260), 상기 토크모터(270) 및 상기 압착부(300)가 제어될 수 있다.The
상기 접합 대상물들(10)은 다음과 같은 과정에 의해서 접합된다.The bonding objects 10 are bonded by the following process.
상기 접합 대상물들(10)이 상기 스테이지(100) 상에 로딩되고, 상기 완충필름 공급유닛(200)이 상기 스테이지(100) 상에 로딩된다.The bonding objects 10 are loaded on the
도 5를 참조하면, 이후, 상기 압착부(300)가 하강하고, 상기 완충필름(210)에 추가적인 텐션이 가해진다. 이때, 상기 회수릴(250)은 피동회전하면서, 상기 회수릴(250)에 권취된 완충필름(210)이 풀린다.Referring to FIG. 5, afterwards, the
이때, 상기 토크모터(270)는 상기 회수릴(250)이 피동회전함에 따라서, 상기 회수릴(250)과 같은 방향으로 피동회전한다. 동시에, 상기 토크모터(270)는 상기 피동회전된 방향과 반대 방향으로 일정한 회전력을 유지하여, 상기 완충필름(210)의 텐션을 유지한다.At this time, the
예를 들어, 상기 회수릴(250) 및 상기 토크모터(270)은 모두 반시계방향으로 피동회전될 수 있다.For example, both the
이에 따라서, 상기 압착부(300)는 상기 완충필름(210)을 통하여, 상기 접합 대상물들(10)에 압력을 가하고, 상기 접합 대상물들(10)은 접합된다. 예를 들어, 상기 압착부(300)는 상기 완충필름(210)을 통하여, 상기 TAB 테이프(12)에 압력을 가한다. 이에 따라서, 상기 TAB 테이프(12) 및 상기 인쇄회로기판(14) 사이에 개재되는 이방성 도전 필름(16)에 압력이 가해지고, 상기 TAB 테이프(12) 및 상기 인쇄회로기판(14)은 서로 접합된다. 또한, 상기 TAB 테이프(12) 및 상기 인쇄회로기판(14)은 상기 이방성 도전 필름(16)에 의해서 전기적으로 연결된다.Accordingly, the crimping
도 6을 참조하면, 상기 압착부(300)는 상승하고, 상기 접합된 대상물들(10)은 언로딩된다. 이때, 상기 토크모터(270)는 일정한 회전력을 유지하기 때문에, 상 기 압착부(300)가 상승할 때, 상기 토크모터(270)은 상기 회전력에 의해서 상기 회수릴(250)을 회전시킨다. 이에 따라서, 상기 완충필름(210)은 상기 회수릴(250)에 감기며, 일정한 텐션을 유지한다.Referring to FIG. 6, the crimping
예를 들어, 상기 회수릴(250) 및 상기 토크모터(270)는 시계방향으로 회전할 수 있다.For example, the
이후, 도 5 및 도 6의 접합 과정은 수 회 반복될 수 있다.Thereafter, the bonding process of FIGS. 5 and 6 may be repeated several times.
이후, 상기 완충필름(210)의 사용된 부분(U)은 탄성을 잃거나, 이물질이 부착되어 더 이상 완충 작용에 사용할 수 없게 된다.Then, the used portion (U) of the
따라서, 아래와 같은 방식에 의해서, 상기 압착부(300) 및 상기 스테이지(100) 사이에 사용되지 않은 완충필름(210)이 공급된다.Therefore, the
도 7을 참조하면, 상기 완충필름(210)의 도 5의 과정에서 사용된 영역(U)은 소정의 피치(P) 만큼 이동한다. 즉, 상기 공급릴(230)에 의해서, 권취된 완충필름이 풀리고, 상기 회수릴(250)에 완충필름이 권취되어 상기 사용된 영역(U)은 상기 피치(P) 만큼 이동한다.Referring to FIG. 7, the region U used in the process of FIG. 5 of the
이때, 상기 제어부(400)는 상기 레이저 변위 센서(280)로부터 입력받은 거리(d)로부터, 상기 공급릴(230) 및 상기 권취된 완충필름의 총 반지름(r)(상기 공급릴(230)의 반지름 및 상기 권취된 완충필름(210)의 총 두께의 합)을 계산한다. 즉, 상기 레이저 변위 센서(280)로부터 상기 공급릴(230)의 중심까지의 거리(D)는 상기 제어부(400)에 입력되어 있고, 상기 반지름(r)은 상기 중심까지의 거리(D) 및 상기 외주면(211)까지의 거리(d)의 차이다.At this time, the
상기 제어부(400)는 원하는 피치(P)와 상기 풀리는 완충필름의 길이가 동일하도록, 상기 공급릴(230)의 회전각도(θ)를 아래의 수식으로 계산한다.The
풀리는 완충필름(210)의 길이는 반지름(r) 및 회전각도(θ)의 곱이고, 이는 원하는 피치와 같아야 하므로, 아래의 수식이 도출된다.The length of the
θ = P / ( D - d )θ = P / (D-d)
여기서, P는 상기 완충필름(210)의 1회 공급 시 원하는 피치이고, D는 상기 공급릴(230)의 중심 및 상기 레이저 변위 센서(280) 사이의 거리이고, d는 상기 공급릴(230)에 권취되는 완충필름의 외주면(211) 및 상기 레이저 변위 센서(280) 사이의 거리이다.Here, P is a desired pitch when the
상기 제어부(400)는 상기 회전각도(θ) 만큼 상기 서보모터(260)를 회전시키고, 상기 공급릴(230)에 권취된 완충필름(210)은 상기 피치(P) 만큼 풀린다. 또한, 상기 이동한 완충필름은 상기 토크모터(270)에 의해서, 상기 회수릴(250)에 감긴다.The
예를 들어, 상기 회수릴(250) 및 상기 토크모터(270)은 시계방향으로 회전할 수 있다.For example, the
이와 같은 방식으로, 상기 압착부(300) 및 상기 스테이지(100) 사이에 상기 완충필름(210)이 소정의 피치(P) 만큼 공급된다.In this manner, the
실시예에 따른 기판 본딩 장치는 상기 공급릴(230) 및 상기 회수릴(250)에 의해서 효율적으로 상기 스테이지(100) 및 상기 압착부(300) 사이에 상기 완충필름(210)을 공급할 수 있다. 따라서, 실시예에 따른 기판 본딩 장치는 상기 압착 부(300)에 의해서, 상기 접합 대상물들(10)에 압력이 가해질 때, 상기 완충필름(210)에 의해서, 상기 접합 대상물들(10)을 보호할 수 있다.The substrate bonding apparatus according to the embodiment may supply the
또한, 실시예에 따른 기판 본딩 장치는 상기 공급릴(230) 및 상기 회수릴(250)에 의해서, 효율적으로 상기 완충필름(210)이 공급되므로, 자동화된 공정에 의해서, 효율적으로 접합 대상물들(10)을 본딩할 수 있다.In addition, in the substrate bonding apparatus according to the embodiment, since the
또한, 상기 레이저 변위 센서(280)는 상기 외주면(211)까지의 거리(d)를 정확하게 측정할 수 있고, 상기 제어부(400)는 원하는 피치(P)에 따른 정확한 회전각도(θ)를 계산할 수 있다. 이에 따라서, 상기 제어부(400)는 원하는 피치(P)를 정확하게 조절할 수 있다.In addition, the
이에 따라서, 실시예에 따른 기판 본딩 장치는 상기 공급릴(230)을 원하는 각도(θ)로 회전시켜서, 정확한 피치(P) 만큼 상기 완충필름(210)을 상기 스테이지(100) 및 상기 압착부(300) 사이에 공급한다.Accordingly, the substrate bonding apparatus according to the embodiment rotates the
따라서, 실시예에 따른 기판 본딩 장치는 상기 완충필름(210)의 낭비를 줄 일 수 있다.Therefore, the substrate bonding apparatus according to the embodiment may reduce the waste of the
또한, 실시예에 따른 기판 본딩 장치는 상기 토크모터(270)에 의해서 상기 완충필름(210)의 텐션을 유지하고, 상기 접합 대상물들(10) 및 상기 압착부(300) 사이의 완충을 효율적으로 수행할 수 있다.In addition, the substrate bonding apparatus according to the embodiment maintains the tension of the
이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지 의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although the above description has been made based on the embodiments, these are merely examples and are not intended to limit the present invention. Those skilled in the art to which the present invention pertains may not have been exemplified above without departing from the essential characteristics of the present embodiments. It will be appreciated that many variations and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiment can be modified. And differences relating to such modifications and applications will have to be construed as being included in the scope of the invention defined in the appended claims.
도 1은 실시예에 따른 기판 본딩 장치를 도시한 측면도이다.1 is a side view illustrating a substrate bonding apparatus according to an embodiment.
도 2는 완충필름 공급유닛을 도시한 사시도이다.Figure 2 is a perspective view showing a buffer film supply unit.
도 3은 공급릴 및 레이저 변위 센서를 도시한 도면이다.3 shows a supply reel and a laser displacement sensor.
도 4는 실시예에 따른 기판 본딩 장치를 도시한 블럭도이다.4 is a block diagram illustrating a substrate bonding apparatus according to an embodiment.
도 5 내지 도 7은 실시예에 따른 기판 본딩 장치에 의해서, 접합 대상물들이 접합되는 과정을 도시한 도면들이다.5 to 7 are views illustrating a process of bonding objects to be bonded by the substrate bonding apparatus according to the embodiment.
Claims (10)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090012955A KR20100093844A (en) | 2009-02-17 | 2009-02-17 | Apparatus for bonding substrate and apparatus for feeding buffer film |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020090012955A KR20100093844A (en) | 2009-02-17 | 2009-02-17 | Apparatus for bonding substrate and apparatus for feeding buffer film |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20100093844A true KR20100093844A (en) | 2010-08-26 |
Family
ID=42758101
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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KR1020090012955A KR20100093844A (en) | 2009-02-17 | 2009-02-17 | Apparatus for bonding substrate and apparatus for feeding buffer film |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR20100093844A (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101041845B1 (en) * | 2010-11-29 | 2011-06-17 | 강정석 | Bonding apparatus having cushion member supplying device |
KR101255107B1 (en) * | 2011-07-07 | 2013-04-19 | 에이피시스템 주식회사 | Device for fabricating flexible liquid crystal display |
CN107973158A (en) * | 2017-12-05 | 2018-05-01 | 苏州菱欧自动化科技股份有限公司 | A kind of compound material collection structure of pole piece |
-
2009
- 2009-02-17 KR KR1020090012955A patent/KR20100093844A/en not_active Application Discontinuation
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