KR20100093844A - Apparatus for bonding substrate and apparatus for feeding buffer film - Google Patents

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KR20100093844A
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Abstract

PURPOSE: The substrate bonding equipment and shock-absorbing film supply device keep the tension of the shock-absorbing film with the torque motor. Shock-absorbing between pressor and the stage are proceed efficiently. CONSTITUTION: The substrates is arranged in the stage. Pressor adds pressure to substrate through the shock-absorbing film(210). The supply reel(230) supplies the shock-absorbing film between the stage and pressor. The return reel(250) collects the shock-absorbing film. The supporting part(220) supports the supply reel and return reel in order to be possible to rotate. Controller controls the rotation angle of the supply reel.

Description

기판 본딩 장치 및 완충필름 공급장치{APPARATUS FOR BONDING SUBSTRATE AND APPARATUS FOR FEEDING BUFFER FILM}Substrate Bonding Device and Buffer Film Feeder {APPARATUS FOR BONDING SUBSTRATE AND APPARATUS FOR FEEDING BUFFER FILM}

실시예는 기판 본딩 장치 및 완충필름 공급장치에 관한 것이다.Embodiments relate to a substrate bonding apparatus and a buffer film supply apparatus.

일반적으로 피디피(PDP), 엘시디(LCD), 오엘이디(OLED), 형광표시관(VFD)과 같은 평판표시소자(Flat Panel Display)는 점차 경박단소화 되어 가는 추세에 있으며, 이에 더욱 부합하도록 상기 평판표시소자의 글래스에 구동용 회로기판(예를 들면, PCB, FPC, TCP 등)이 직접 본딩되어 단일화된 물품으로 제조되고 있다.In general, flat panel displays such as PDDP, LCD, OLED, and fluorescent display (VFD) are becoming increasingly thin and short, and are more conducive to the above. A driving circuit board (for example, PCB, FPC, TCP, etc.) is directly bonded to the glass of the flat panel display device to manufacture a single article.

이렇게 회로기판을 글래스에 직접 접착하게 되면 복잡한 배선을 하지 않아도 되므로 조립 및 유지보수가 용이할 뿐만아니라 별도의 배선공간을 확보할 필요가 없으므로 제품의 소형화에 적합하여 더욱 향상된 상품성을 가지게 되며, 상기한 회로기판의 형태는 얇은 박막의 필름 형태로 이루어진다.Thus, if the circuit board is directly bonded to the glass, it is not necessary to make complicated wiring, so it is easy to assemble and maintain, and there is no need to secure a separate wiring space. The circuit board is formed in the form of a thin thin film.

그리고 상기 회로기판은 다양한 배선의 호환성이 유지되므로 평판표시소자의 용도 및 사양에 제한을 받지 않고 폭넓게 활용되고 있으며, 이러한 회로기판은 별도의 칩본딩기에 의해 피접착면에 하나 이상의 칩이 각각 본딩된다.Since the compatibility of various wirings is maintained, the circuit board is widely used without being limited by the use and specification of the flat panel display device. Each of the circuit boards is bonded to one or more chips to be bonded by a separate chip bonding machine. .

이러한 회로기판은 평판표시소자 패널의 일측에 마련된 본딩면에 본딩되어 취부된다. 이 회로기판을 평판표시소자의 패널에 본딩하기 위해서는 고온 고압을 사용하여 회로기판을 패널에 압착하는 본딩장치가 사용된다.The circuit board is bonded to the bonding surface provided on one side of the flat panel display panel. In order to bond this circuit board to the panel of a flat panel display element, the bonding apparatus which crimps a circuit board to a panel using high temperature and high pressure is used.

그런데 종래에는 이 회로기판 본딩장치가 자동화되지 못하여 공정시간이 길어지며, 노동력이 많이 소요되는 문제점이 있다. 특히, 최근에는 평판표시소자의 대면적화가 진행되면서 자동화 및 고정밀도의 필요성이 더욱 크게 요구되고 있다.However, in the related art, the circuit board bonding apparatus may not be automated, and thus, the process time may be long, and labor may be required. In particular, in recent years, as the area of a flat panel display device becomes larger, the necessity for automation and high precision is required.

실시예는 압착부 및 접합 대상물들 사이에 효율적으로 완충필름을 공급하는 완충필름 공급장치 및 효율적으로 기판들 및/또는 패널등과 같은 접합 대상물들을 본딩하는 기판 본딩 장치를 제공하고자 한다.Embodiments provide a buffer film supply device for efficiently supplying a buffer film between a crimp portion and a bonding object, and a substrate bonding device for efficiently bonding bonding objects such as substrates and / or panels.

실시예에 따른 기판 본딩 장치는 접합 대상물들이 배치되는 스테이지; 상기 스테이지 상에 배치되어, 상기 기판에 완충필름을 통하여 압력을 가하는 압착부; 상기 완충필름을 권취하며, 상기 스테이지 및 상기 압착부 사이에 상기 완충필름을 공급하는 공급릴; 및 상기 완충필름을 회수하는 회수릴을 포함한다.The substrate bonding apparatus according to the embodiment includes a stage in which the bonding objects are disposed; A compression unit disposed on the stage to apply pressure to the substrate through a buffer film; A supply reel for winding the buffer film and supplying the buffer film between the stage and the crimping portion; And a recovery reel for recovering the buffer film.

실시예에 따른 완충필름 공급장치는 완충필름을 권취하는 공급릴; 상기 공급릴에 인접하여 배치되며, 상기 공급릴에 권취되는 완충필름의 외주면까지의 거리를 감지하는 센서부; 상기 거리를 기반으로 회전각도를 계산하여, 상기 공급릴을 회전시키는 제어부; 상기 완충필름을 회수하는 회수릴을 포함한다.The buffer film supply apparatus according to the embodiment includes a supply reel for winding the buffer film; A sensor unit disposed adjacent to the supply reel and sensing a distance to an outer circumferential surface of the buffer film wound on the supply reel; A controller for rotating the supply reel by calculating a rotation angle based on the distance; It includes a recovery reel for recovering the buffer film.

실시예에 따른 기판 본딩 장치는 공급릴 및 회수릴에 의해서 효율적으로 기판 및 압착부 사이에 완충필름을 공급할 수 있다. 따라서, 실시예에 따른 기판 본딩 장치는 압착부에 의해서, 상기 접합 대상물들에 압력이 가해질 때, 상기 완충필름에 의해서, 상기 접합 대상물들이 보호된다.In the substrate bonding apparatus according to the embodiment, the buffer film may be efficiently supplied between the substrate and the compressed portion by the supply reel and the reel. Therefore, the substrate bonding apparatus according to the embodiment is protected by the crimping portion, by the buffer film, when the pressure is applied to the bonding objects.

또한, 실시예에 따른 기판 본딩 장치는 공급릴 및 회수릴에 의해서, 효율적 으로 완충필름이 공급되므로, 자동화 공정에 의해서, 효율적으로 접합 대상물들을 본딩할 수 있다.In addition, the substrate bonding apparatus according to the embodiment, since the buffer film is efficiently supplied by the supply reel and the recovery reel, it is possible to efficiently bond the bonding objects by the automated process.

또한, 실시예에 따른 기판 본딩 장치는 공급릴의 중심으로부터, 권취된 완충필름의 외주면까지의 반지름을 측정하는 센서부를 포함하고, 센서부에 의해서 측정된 반지름을 입력받아 공급릴을 원하는 각도로 회전시키는 제어부를 포함할 수 있다.In addition, the substrate bonding apparatus according to the embodiment includes a sensor unit for measuring the radius from the center of the supply reel to the outer peripheral surface of the wound buffer film, and receives the radius measured by the sensor unit to rotate the supply reel to a desired angle It may include a control unit to make.

이에 따라서, 제어부는 접합 대상물들 및 압착부 사이에 공급되는 완충필름의 피치(이동거리)를 정확하게 조절할 수 있다. 즉, 실시예에 따른 기판 본딩 장치는 공급릴 및 권취된 완충필름의 총반지름에 의해서, 권취된 완충필름이 원하는 피치 만큼 풀리기 위한 회전각도를 계산할 수 있다.Accordingly, the controller can accurately adjust the pitch (moving distance) of the buffer film supplied between the bonding objects and the crimping portion. That is, the substrate bonding apparatus according to the embodiment may calculate the rotation angle for releasing the wound buffer film by a desired pitch by the total radius of the supply reel and the wound buffer film.

이에 따라서, 실시예에 따른 기판 본딩 장치 및 완충필름 공급장치는 공급릴을 원하는 각도록 회전시켜서, 정확한 피치 만큼 완충필름을 기판 및 압착부 사이에 공급한다.Accordingly, the substrate bonding apparatus and the buffer film supply apparatus according to the embodiment rotate the feed reel to a desired angle, thereby supplying the buffer film between the substrate and the crimping portion by the exact pitch.

따라서, 실시예에 따른 기판 본딩 장치 및 완충필름 공급장치는 완충필름의 낭비를 줄 일 수 있다.Therefore, the substrate bonding apparatus and the buffer film supply apparatus according to the embodiment can reduce the waste of the buffer film.

또한, 실시예에 따른 기판 본딩 장치 및 완충필름 공급장치는 회수릴에 연결되며, 소정의 부하 이상의 부하가 작용될 때 정지하는 토크모터를 포함할 수 있다.In addition, the substrate bonding apparatus and the buffer film supply apparatus according to the embodiment may be connected to the recovery reel, and may include a torque motor to stop when a load of a predetermined load or more is applied.

이에 따라서, 실시예에 따른 기판 본딩 장치 및 완충필름 공급장치는 토크모터에 의해서 완충필름의 텐션을 유지하고, 스테이지 및 압착부 사이의 완충을 효율적으로 수행할 수 있다.Accordingly, the substrate bonding apparatus and the buffer film supply apparatus according to the embodiment can maintain the tension of the buffer film by the torque motor, and can efficiently perform the buffer between the stage and the crimping portion.

실시 예의 설명에 있어서, 각 기판, 스테이지(100), 부, 필름 또는 릴 등이 각 기판, 부, 필름 또는 릴 등의 "상(on)"에 또는 "하부(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상(on)"과 "하부(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 구성요소를 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 구성요소의 상 또는 하부에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다. 도면에서의 각 구성요소들의 크기는 설명을 위하여 과장될 수 있으며, 실제로 적용되는 크기를 의미하는 것은 아니다.In the description of the embodiments, it is described that each substrate, stage 100, part, film, or reel is formed on or under the "on" of each substrate, part, film, or reel, or the like. In the case of, "on" and "under" include both "directly" or "indirectly" formed through other components. In addition, the upper or lower reference of each component is described with reference to the drawings. The size of each component in the drawings may be exaggerated for the sake of explanation and does not mean the size actually applied.

도 1은 실시예에 따른 기판 본딩 장치를 도시한 측면도이다. 도 2는 완충필름 공급유닛을 도시한 사시도이다. 도 3은 공급릴 및 레이저 변위 센서를 도시한 도면이다. 도 4는 실시예에 따른 기판 본딩 장치를 도시한 블럭도이다. 도 5 내지 도 7은 실시예에 따른 기판 본딩 장치에 의해서, 접합 대상물들이 접합되는 과정을 도시한 도면들이다.1 is a side view illustrating a substrate bonding apparatus according to an embodiment. Figure 2 is a perspective view showing a buffer film supply unit. 3 shows a supply reel and a laser displacement sensor. 4 is a block diagram illustrating a substrate bonding apparatus according to an embodiment. 5 to 7 are views illustrating a process of bonding objects to be bonded by the substrate bonding apparatus according to the embodiment.

도 1을 참조하면, 실시예에 따른 기판 본딩 장치는 스테이지(100), 완충필름 공급유닛(200) 및 압착부(300)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the substrate bonding apparatus according to the embodiment includes a stage 100, a buffer film supply unit 200, and a crimping unit 300.

상기 스테이지(100)는 인쇄회로기판(printed circuit board;PCB), 연성인쇄회로기판(flexible printed circuit board;FPCB), TCP 테이프, TAB 테이프 및 디스플레이 패널 등과 같은 서로 접합되는 접합 대상물들(10)을 지지한다. 도 1 에서는 상기 스테이지(100) 상에 LCD 패널(11), 드라이버IC(13)가 실장된 TAB 테이프(12) 및 인쇄회로기판(14)이 배치된다.The stage 100 bonds the bonding objects 10 bonded to each other, such as a printed circuit board (PCB), a flexible printed circuit board (FPCB), a TCP tape, a TAB tape, and a display panel. I support it. In FIG. 1, an LCD panel 11, a TAB tape 12 on which a driver IC 13 is mounted, and a printed circuit board 14 are disposed on the stage 100.

상기 TAB 테이프(12) 및 상기 LCD 패널(11)은 이방성 도전 필름(anisotropic conductive film;ACF)(15, 16)에 의해서 본딩된다. 또한, 상기 TAB 테이프(12) 및 상기 인쇄회로기판(14) 사이에 이방성 도전 필름(16)이 개재된다.The TAB tape 12 and the LCD panel 11 are bonded by an anisotropic conductive film (ACF) 15, 16. In addition, an anisotropic conductive film 16 is interposed between the TAB tape 12 and the printed circuit board 14.

상기 스테이지(100)는 플레이트 형상을 가진다. 또한, 상기 스테이지(100)에 인접하여, 상기 접합 대상물들(10)을 로딩하는 로딩부 및/또는 상기 대상물들(10)을 언로딩하는 언로딩부가 배치될 수 있다.The stage 100 has a plate shape. In addition, adjacent to the stage 100, a loading unit for loading the bonding objects 10 and / or an unloading unit for unloading the objects 10 may be disposed.

상기 완충필름 공급유닛(200)은 상기 스테이지(100)에 인접하여 배치된다. 예를 들어, 상기 완충필름 공급유닛(200)은 상기 스테이지(100) 상에 고정되어 배치될 수 있다. 이와는 다르게, 상기 완충필름 공급유닛(200)은 상기 스테이지(100) 상에 로딩 및 언로딩 될 수 있다.The buffer film supply unit 200 is disposed adjacent to the stage 100. For example, the buffer film supply unit 200 may be fixedly disposed on the stage 100. Alternatively, the buffer film supply unit 200 may be loaded and unloaded on the stage 100.

도 1 및 2를 참조하면, 상기 완충필름 공급유닛(200)은 완충필름(210), 지지부(220), 공급릴(230), 다수 개의 가이드릴들(241, 242... 245), 회수릴(250), 서보모터(260), 토크모터(270) 및 레이저 변위 센서(280)를 포함한다.1 and 2, the buffer film supply unit 200 includes a buffer film 210, a support 220, a supply reel 230, a plurality of guide reels 241, 242. The reel 250 includes a servo motor 260, a torque motor 270, and a laser displacement sensor 280.

상기 완충필름(210)은 상기 공급릴(230) 및 상기 회수릴(250)에 권취된다. 또한, 상기 완충필름(210)은 상기 압착부(300) 및 상기 스테이지(100) 사이에 개재된다. 더 자세하게, 상기 완충필름(210)은 상기 압착부(300) 및 상기 접합 대상물들(10) 사이에 개재된다.The buffer film 210 is wound around the supply reel 230 and the recovery reel 250. In addition, the buffer film 210 is interposed between the crimping unit 300 and the stage 100. In more detail, the buffer film 210 is interposed between the pressing part 300 and the bonding objects 10.

상기 완충필름(210)은 탄성을 가진다. 상기 완충필름(210)은 상기 압착부(300)에 의한 충격을 흡수하고, 상기 압착부(300)에 의한 압력을 상기 접합 대상물들(10)에 전달한다.The buffer film 210 has elasticity. The buffer film 210 absorbs the shock caused by the crimping unit 300 and transmits the pressure by the crimping unit 300 to the bonding objects 10.

상기 완충필름(210)으로 사용되는 물질의 예로서는 실리콘 러버(silicon rubber), 폴리이미드(polyimide) 수지 및 유리 섬유(glass cloth) 등을 들 수 있다.Examples of the material used as the buffer film 210 may include silicon rubber, polyimide resin, glass cloth, and the like.

또한, 상기 완충필름(210)은 다수 개의 층들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 완충필름(210)은 실리콘 러버층, 폴리이미드 수지층 및 유리 섬유층 등을 포함할 수 있다.In addition, the buffer film 210 may include a plurality of layers. For example, the buffer film 210 may include a silicon rubber layer, a polyimide resin layer, and a glass fiber layer.

상기 완충필름(210)의 두께는 상기 압착부(300)의 압력 및 상기 접합 대상물들(10)의 두께 및 종류 등에 따라서 달라 질 수 있다. 상기 완충필름(210)의 두께는 예를 들어, 약 0.1㎜ 내지 1㎜일 수 있다.The thickness of the buffer film 210 may vary depending on the pressure of the crimping unit 300 and the thickness and type of the bonding objects 10. The thickness of the buffer film 210 may be, for example, about 0.1 mm to 1 mm.

상기 지지부(220)는 상기 공급릴(230), 상기 가이드릴들(241, 242... 245) 및 상기 회수릴(250)이 회전가능하도록 지지한다. 또한, 상기 지지부(220)는 상기 서보모터(260), 상기 토크모터(270) 및 상기 레이저 변위 센서(280)를 지지하며, 고정한다.The support part 220 supports the supply reel 230, the guide reels 241, 242... 245 and the recovery reel 250 to be rotatable. In addition, the support unit 220 supports and fixes the servomotor 260, the torque motor 270, and the laser displacement sensor 280.

상기 지지부(220)는 상기 완충필름 공급유닛(200)을 로딩 및/또는 언로딩하는 제 1 이송 유닛에 고정될 수 있다.The support unit 220 may be fixed to a first transfer unit that loads and / or unloads the buffer film supply unit 200.

도 1 및 도 2 에서는 상기 지지부(220)가 상기 공급릴(230), 상기 가이드릴들(241, 242... 245) 및 상기 회수릴(250)의 한 쪽 끝단에 배치된 것으로 표시되어 있지만, 이는 설명의 편의를 위하여 도시한 것이다.In FIGS. 1 and 2, the support 220 is shown as being disposed at one end of the supply reel 230, the guide reels 241, 242... 245 and the recovery reel 250. This is shown for convenience of description.

따라서, 상기 지지부(220)는 상기 공급릴(230), 상기 가이드릴들(241, 242... 245) 및 상기 회수릴(250)의 다른 쪽 끝단에도 배치될 수 있다. 또한, 상기 지지부(220)는 상기 토크모터(270), 상기 서보모터(260) 및 상기 레이저 변위 센서(280)를 고정하기 위한 부재를 더 포함할 수 있다.Accordingly, the support part 220 may be disposed at the other end of the supply reel 230, the guide reels 241, 242... 245, and the recovery reel 250. In addition, the support unit 220 may further include a member for fixing the torque motor 270, the servo motor 260, and the laser displacement sensor 280.

상기 공급릴(230)은 상기 지지부(220)에 회전 가능하도록 고정된다. 상기 공급릴(230)은 상기 완충필름(210)을 권취한다. 상기 공급릴(230)은 상기 권취된 완충필름(210)을 상기 압착부(300) 및 상기 접합 대상물들(10) 사이에 공급한다.The supply reel 230 is fixed to the support 220 to be rotatable. The supply reel 230 winds up the buffer film 210. The supply reel 230 supplies the wound buffer film 210 between the crimping unit 300 and the bonding objects 10.

상기 가이드릴들(241, 242... 245)은 상기 지지부(220)에 회전 가능하도록 고정된다. 상기 공급릴(230)에 의해서 풀린 완충필름(210)을 상기 회수릴(250)에 가이드한다. 예를 들어, 상기 가이드릴들(241, 242... 245)은 제 1 가이드릴(241), 제 2 가이드릴(242), 제 3 가이드릴(243), 제 4 가이드릴(244) 및 제 5 가이드릴(245)을 포함한다.The guide reels 241, 242... 245 are rotatably fixed to the support 220. The buffer film 210 unwound by the supply reel 230 is guided to the recovery reel 250. For example, the guide reels 241, 242... 245 may include a first guide reel 241, a second guide reel 242, a third guide reel 243, a fourth guide reel 244, and And a fifth guide reel 245.

상기 제 1 가이드릴(241)은 상기 완충필름(210) 상에 배치되고, 상기 제 2 가이드릴(242) 및 제 3 가이드릴(243)은 상기 완충필름(210) 아래에 배치된다. 또한, 상기 제 4 가이드릴(244)은 상기 완충필름(210) 상에 배치되고, 상기 제 5 가이드릴(245)은 상기 완충필름(210) 아래에 배치된다.The first guide reel 241 is disposed on the buffer film 210, and the second guide reel 242 and the third guide reel 243 are disposed below the buffer film 210. In addition, the fourth guide reel 244 is disposed on the buffer film 210, and the fifth guide reel 245 is disposed below the buffer film 210.

도면에서는 5개의 가이드릴들(241, 242... 245)이 도시되어 있지만, 이와는 다르게, 상기 완충필름 공급유닛(200)은 더 많은 수 또는 더 적은 수의 가이드릴들을 포함할 수 있다.Although five guide reels 241, 242... 245 are shown in the figure, alternatively, the buffer film supply unit 200 may include more or fewer guide reels.

상기 회수릴(250)은 상기 지지부(220)에 회전 가능하도록 고정된다. 상기 회수릴(250)은 사용된 완충필름(210)을 권취한다. 즉, 상기 회수릴(250)은 상기 사용된 완충필름(210)을 회수한다.The recovery reel 250 is fixed to the support part 220 to be rotatable. The recovery reel 250 winds up the used buffer film 210. That is, the recovery reel 250 recovers the used buffer film 210.

상기 서보모터(servo motor)(260)는 상기 공급릴(230)에 직접 또는 간접적으로 연결된다. 상기 서보모터(260)는 상기 공급릴(230)을 회전시킨다. 더 자세하게, 상기 서보모터(260)는 상기 공급릴(230)을 원하는 회전각도(θ) 만큼 회전시킨다. 상기 서보모터(260)는 상기 지지부(220)에 고정된다.The servo motor 260 is directly or indirectly connected to the supply reel 230. The servo motor 260 rotates the supply reel 230. More specifically, the servo motor 260 rotates the supply reel 230 by a desired rotation angle θ. The servo motor 260 is fixed to the support 220.

상기 서보모터(260)는 주어진 위치를 추종하고 따를 수 있다. 상기 서보모터(260)의 예로서는 DC 서보모터, AC 서보모터 및 리니어 서보모터 등을 들 수 있다.The servomotor 260 may follow and follow a given position. Examples of the servomotor 260 include a DC servomotor, an AC servomotor, a linear servomotor, and the like.

또한, 상기 서보모터(260)는 입력된 각도로 회전각도(θ)를 조절할 수 있는 시스템을 포함할 수 있다. 또한, 상기 서보모터(260)는 회전각도(θ)를 센싱하는 센서들을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 서보모터(260)는 회전각도(θ)를 측정할 수 있는 가변 저항을 포함할 수 있다.In addition, the servomotor 260 may include a system capable of adjusting the rotation angle θ at an input angle. In addition, the servomotor 260 may include sensors for sensing the rotation angle θ. For example, the servomotor 260 may include a variable resistor capable of measuring the rotation angle θ.

상기 토크모터(270)는 상기 회수릴(250)에 직접 또는 간접적으로 연결된다. 상기 토크모터(270)는 상기 회수릴(250)을 회전시킨다. 상기 토크모터(270)는 상기 지지부(220)에 고정된다.The torque motor 270 is directly or indirectly connected to the recovery reel 250. The torque motor 270 rotates the recovery reel 250. The torque motor 270 is fixed to the support 220.

상기 토크모터(torque motor)(270)는 상기 회수릴(250)에 일정한 방향으로 회전력을 제공하고, 일정 이상의 부하가 걸리면, 회전이 정지된다.The torque motor 270 provides the rotational force to the recovery reel 250 in a predetermined direction, and the rotation is stopped when a predetermined load or more is applied.

예를 들어, 상기 토크모터(270)는 회전되지 않은 상태에서도 회전력을 가지는 인덕션 모터(induction motor)의 한 특수화된 형태이고, 한정된 토크의 모터이다. 즉, 토크모터(270)는 손상을 입지 않고 회전을 막는 로터를 가진다. 상기 토크모터(270)는 부하에 대하여 일정한 토크를 가진다.For example, the torque motor 270 is a specialized type of induction motor having a rotational force even when it is not rotated, and is a limited torque motor. That is, the torque motor 270 has a rotor that prevents rotation without being damaged. The torque motor 270 has a constant torque with respect to the load.

상기 토크모터(270)는 낮은 구동전압에서 상기 회수릴(250)을 통하여, 상대적으로 일정하고 가벼운 텐션을 상기 완충필름(210)에 인가할 수 있다. 또한, 상기 토크모터(270)는 높은 구동전압에서는 기어 또는 클러치와 같은 추가적인 기계 유닛 없이도, 빠른 속도의 회전을 상기 회수릴(250)에 부여할 수 있다.The torque motor 270 may apply a relatively constant and light tension to the buffer film 210 through the recovery reel 250 at a low driving voltage. In addition, the torque motor 270 may provide a high speed rotation to the recovery reel 250 at a high driving voltage without the need for additional mechanical units such as gears or clutches.

도 3을 참조하면, 상기 레이저 변위 센서(laser displacement sensor)(280)는 상기 지지부(220)에 고정된다. 상기 레이저 변위 센서(280)는 상기 공급릴(230)에 권취된 완충필름(210)의 외주면(211)까지의 거리(d)를 측정한다. 더 자세하게, 상기 레이저 변위 센서(280)는 상기 공급릴(230)의 중심으로부터 연장선 상에서, 상기 공급릴(230)에 권취된 완충필름(210)의 외주면(211)까지의 거리(d)를 측정한다.Referring to FIG. 3, the laser displacement sensor 280 is fixed to the support 220. The laser displacement sensor 280 measures the distance d to the outer circumferential surface 211 of the buffer film 210 wound on the supply reel 230. In more detail, the laser displacement sensor 280 measures the distance d from the center of the supply reel 230 to the outer circumferential surface 211 of the buffer film 210 wound on the supply reel 230 on an extension line. do.

상기 레이저 변위 센서(280)는 레이저를 발생시키는 광원을 포함할 수 있으며, 수광 요소로 CCD(charged couple device) 또는 PSD(positon sensitive device)를 포함할 수 있다. 상기 레이저 변위 센서(280)는 상기 수광 요소에 의해서 측정된 광량 분포를 측정하여, 상기 외주면(211)까지의 거리(d)를 측정할 수 있다.The laser displacement sensor 280 may include a light source for generating a laser, and may include a charged couple device (CCD) or a positive sensitive device (PSD) as a light receiving element. The laser displacement sensor 280 may measure a distance d to the outer circumferential surface 211 by measuring a light quantity distribution measured by the light receiving element.

상기 압착부(300)는 상기 스테이지(100) 상에 배치된다. 상기 압착부(300)는 상하로 이동가능하며, 상기 접합 대상물들(10)에 압력을 가한다. 더 자세하게, 상기 압착부(300)는 상기 접합 대상물들(10)이 접합되는 영역에만 선택적으로 압력을 가한다.The crimping unit 300 is disposed on the stage 100. The crimping unit 300 is movable up and down, and applies pressure to the bonding objects 10. In more detail, the crimping unit 300 selectively applies pressure only to a region to which the bonding objects 10 are bonded.

예를 들어, 상기 압착부(300)는 상기 인쇄회로기판(14) 및 상기 TAB 테이프(12)가 본딩되는 영역에 압력을 가한다. 또한, 상기 압착부(300)는 상기 TAB 테 이프(12) 및 상기 LCD 패널(11)이 본딩되는 영역에 압력을 가할 수 있다.For example, the crimping unit 300 exerts pressure on a region where the printed circuit board 14 and the TAB tape 12 are bonded. In addition, the crimping unit 300 may apply pressure to a region where the TAB tape 12 and the LCD panel 11 are bonded.

상기 압착부(300)는 상기 완충필름(210)을 통하여 상기 접합 대상물들(10)에 압력을 가한다. 즉, 상기 압착부(300) 및 상기 접합 대상물들(10) 사이에 완충필름(210)이 배치되고, 상기 완충필름(210)은 상기 압착부(300)에 의한 충격을 흡수한다.The pressing unit 300 applies pressure to the bonding objects 10 through the buffer film 210. That is, a buffer film 210 is disposed between the crimping unit 300 and the bonding objects 10, and the buffer film 210 absorbs the shock caused by the crimping unit 300.

상기 압착부(300)는 상하로 이송시키는 제 2 이송 유닛을 더 포함할 수 있다. 또한, 상기 압착부(300)는 상기 압착 대상물에 열을 가하는 히팅 유닛을 더 포함할 수 있다. 즉, 상기 압착부(300)는 상기 접합 대상물들(10)에 압력 뿐만 아니라, 열도 가할 수 있다.The crimping unit 300 may further include a second transfer unit for transferring up and down. In addition, the pressing part 300 may further include a heating unit for applying heat to the pressing object. That is, the crimping unit 300 may apply heat as well as pressure to the bonding objects 10.

도 4를 참조하면, 상기 제어부(400)는 상기 서보모터(260), 상기 토크모터(270) 및 상기 압착부(300)를 제어한다. 또한, 상기 제어부(400)는 상기 레이저 변위 센서(280)로부터 측정된 상기 공급릴(230)에 권취된 완충필름(210)의 외주면(211)까지의 거리(d)를 입력받는다.Referring to FIG. 4, the controller 400 controls the servo motor 260, the torque motor 270, and the crimping unit 300. In addition, the controller 400 receives a distance d to the outer circumferential surface 211 of the buffer film 210 wound on the supply reel 230 measured by the laser displacement sensor 280.

또한, 도 4에서는 도시되지 않았지만, 상기 제어부(400)는 상기 로딩부, 상기 언로딩부, 제 1 이송 유닛, 제 2 이송 유닛 및 상기 가열부도 제어할 수 있다.In addition, although not shown in FIG. 4, the controller 400 may control the loading unit, the unloading unit, the first transfer unit, the second transfer unit, and the heating unit.

상기 제어부(400)는 자동적인 프로그램에 의해서, 상기 서보모터(260), 상기 토크모터(270) 및 상기 압착부(300)를 제어할 수 있다. 이와는 다르게, 상기 제어부(400)는 수동으로 입력된 수치에 의해서, 상기 서보모터(260), 상기 토크모터(270) 및 상기 압착부(300)가 제어될 수 있다.The control unit 400 may control the servo motor 260, the torque motor 270, and the crimping unit 300 by an automatic program. Unlike this, the control unit 400 may control the servo motor 260, the torque motor 270 and the crimping unit 300 by manually input values.

상기 접합 대상물들(10)은 다음과 같은 과정에 의해서 접합된다.The bonding objects 10 are bonded by the following process.

상기 접합 대상물들(10)이 상기 스테이지(100) 상에 로딩되고, 상기 완충필름 공급유닛(200)이 상기 스테이지(100) 상에 로딩된다.The bonding objects 10 are loaded on the stage 100, and the buffer film supply unit 200 is loaded on the stage 100.

도 5를 참조하면, 이후, 상기 압착부(300)가 하강하고, 상기 완충필름(210)에 추가적인 텐션이 가해진다. 이때, 상기 회수릴(250)은 피동회전하면서, 상기 회수릴(250)에 권취된 완충필름(210)이 풀린다.Referring to FIG. 5, afterwards, the pressing part 300 is lowered and additional tension is applied to the buffer film 210. At this time, while the recovery reel 250 is driven to rotate, the buffer film 210 wound on the recovery reel 250 is released.

이때, 상기 토크모터(270)는 상기 회수릴(250)이 피동회전함에 따라서, 상기 회수릴(250)과 같은 방향으로 피동회전한다. 동시에, 상기 토크모터(270)는 상기 피동회전된 방향과 반대 방향으로 일정한 회전력을 유지하여, 상기 완충필름(210)의 텐션을 유지한다.At this time, the torque motor 270 is driven in the same direction as the recovery reel 250, as the recovery reel 250 is driven. At the same time, the torque motor 270 maintains a constant rotational force in the opposite direction to the driven rotational direction, to maintain the tension of the buffer film (210).

예를 들어, 상기 회수릴(250) 및 상기 토크모터(270)은 모두 반시계방향으로 피동회전될 수 있다.For example, both the recovery reel 250 and the torque motor 270 may be driven in a counterclockwise direction.

이에 따라서, 상기 압착부(300)는 상기 완충필름(210)을 통하여, 상기 접합 대상물들(10)에 압력을 가하고, 상기 접합 대상물들(10)은 접합된다. 예를 들어, 상기 압착부(300)는 상기 완충필름(210)을 통하여, 상기 TAB 테이프(12)에 압력을 가한다. 이에 따라서, 상기 TAB 테이프(12) 및 상기 인쇄회로기판(14) 사이에 개재되는 이방성 도전 필름(16)에 압력이 가해지고, 상기 TAB 테이프(12) 및 상기 인쇄회로기판(14)은 서로 접합된다. 또한, 상기 TAB 테이프(12) 및 상기 인쇄회로기판(14)은 상기 이방성 도전 필름(16)에 의해서 전기적으로 연결된다.Accordingly, the crimping unit 300 applies pressure to the bonding objects 10 through the buffer film 210, and the bonding objects 10 are bonded to each other. For example, the pressing part 300 applies pressure to the TAB tape 12 through the buffer film 210. Accordingly, pressure is applied to the anisotropic conductive film 16 interposed between the TAB tape 12 and the printed circuit board 14, and the TAB tape 12 and the printed circuit board 14 are bonded to each other. do. In addition, the TAB tape 12 and the printed circuit board 14 are electrically connected by the anisotropic conductive film 16.

도 6을 참조하면, 상기 압착부(300)는 상승하고, 상기 접합된 대상물들(10)은 언로딩된다. 이때, 상기 토크모터(270)는 일정한 회전력을 유지하기 때문에, 상 기 압착부(300)가 상승할 때, 상기 토크모터(270)은 상기 회전력에 의해서 상기 회수릴(250)을 회전시킨다. 이에 따라서, 상기 완충필름(210)은 상기 회수릴(250)에 감기며, 일정한 텐션을 유지한다.Referring to FIG. 6, the crimping unit 300 is raised, and the joined objects 10 are unloaded. At this time, since the torque motor 270 maintains a constant rotational force, when the compression unit 300 is raised, the torque motor 270 rotates the recovery reel 250 by the rotational force. Accordingly, the buffer film 210 is wound around the recovery reel 250 and maintains a constant tension.

예를 들어, 상기 회수릴(250) 및 상기 토크모터(270)는 시계방향으로 회전할 수 있다.For example, the recovery reel 250 and the torque motor 270 may rotate in a clockwise direction.

이후, 도 5 및 도 6의 접합 과정은 수 회 반복될 수 있다.Thereafter, the bonding process of FIGS. 5 and 6 may be repeated several times.

이후, 상기 완충필름(210)의 사용된 부분(U)은 탄성을 잃거나, 이물질이 부착되어 더 이상 완충 작용에 사용할 수 없게 된다.Then, the used portion (U) of the buffer film 210 loses elasticity, or foreign matter is attached to it can no longer be used for the buffering action.

따라서, 아래와 같은 방식에 의해서, 상기 압착부(300) 및 상기 스테이지(100) 사이에 사용되지 않은 완충필름(210)이 공급된다.Therefore, the buffer film 210 which is not used between the crimping unit 300 and the stage 100 is supplied by the following method.

도 7을 참조하면, 상기 완충필름(210)의 도 5의 과정에서 사용된 영역(U)은 소정의 피치(P) 만큼 이동한다. 즉, 상기 공급릴(230)에 의해서, 권취된 완충필름이 풀리고, 상기 회수릴(250)에 완충필름이 권취되어 상기 사용된 영역(U)은 상기 피치(P) 만큼 이동한다.Referring to FIG. 7, the region U used in the process of FIG. 5 of the buffer film 210 moves by a predetermined pitch P. FIG. That is, by the supply reel 230, the wound buffer film is released, the buffer film is wound on the recovery reel 250 so that the used area U moves by the pitch P.

이때, 상기 제어부(400)는 상기 레이저 변위 센서(280)로부터 입력받은 거리(d)로부터, 상기 공급릴(230) 및 상기 권취된 완충필름의 총 반지름(r)(상기 공급릴(230)의 반지름 및 상기 권취된 완충필름(210)의 총 두께의 합)을 계산한다. 즉, 상기 레이저 변위 센서(280)로부터 상기 공급릴(230)의 중심까지의 거리(D)는 상기 제어부(400)에 입력되어 있고, 상기 반지름(r)은 상기 중심까지의 거리(D) 및 상기 외주면(211)까지의 거리(d)의 차이다.At this time, the control unit 400 from the distance (d) received from the laser displacement sensor 280, the total radius (r) of the supply reel 230 and the wound buffer film (of the supply reel 230 Radius and the total thickness of the wound buffer film 210) is calculated. That is, the distance D from the laser displacement sensor 280 to the center of the supply reel 230 is input to the controller 400, and the radius r is the distance D to the center and This is the difference of the distance d to the outer circumferential surface 211.

상기 제어부(400)는 원하는 피치(P)와 상기 풀리는 완충필름의 길이가 동일하도록, 상기 공급릴(230)의 회전각도(θ)를 아래의 수식으로 계산한다.The control unit 400 calculates the rotation angle θ of the supply reel 230 by the following formula so that the desired pitch P and the length of the buffer film is the same as the pulley.

풀리는 완충필름(210)의 길이는 반지름(r) 및 회전각도(θ)의 곱이고, 이는 원하는 피치와 같아야 하므로, 아래의 수식이 도출된다.The length of the buffer film 210 to be released is the product of the radius (r) and the rotation angle (θ), which should be equal to the desired pitch, the following equation is derived.

θ = P / ( D - d )θ = P / (D-d)

여기서, P는 상기 완충필름(210)의 1회 공급 시 원하는 피치이고, D는 상기 공급릴(230)의 중심 및 상기 레이저 변위 센서(280) 사이의 거리이고, d는 상기 공급릴(230)에 권취되는 완충필름의 외주면(211) 및 상기 레이저 변위 센서(280) 사이의 거리이다.Here, P is a desired pitch when the buffer film 210 is supplied once, D is a distance between the center of the supply reel 230 and the laser displacement sensor 280, d is the supply reel 230 Distance between the outer circumferential surface 211 of the buffer film wound on the laser displacement sensor 280.

상기 제어부(400)는 상기 회전각도(θ) 만큼 상기 서보모터(260)를 회전시키고, 상기 공급릴(230)에 권취된 완충필름(210)은 상기 피치(P) 만큼 풀린다. 또한, 상기 이동한 완충필름은 상기 토크모터(270)에 의해서, 상기 회수릴(250)에 감긴다.The control unit 400 rotates the servo motor 260 by the rotation angle θ, and the buffer film 210 wound on the supply reel 230 is released by the pitch P. In addition, the moved buffer film is wound on the recovery reel 250 by the torque motor 270.

예를 들어, 상기 회수릴(250) 및 상기 토크모터(270)은 시계방향으로 회전할 수 있다.For example, the recovery reel 250 and the torque motor 270 may rotate in a clockwise direction.

이와 같은 방식으로, 상기 압착부(300) 및 상기 스테이지(100) 사이에 상기 완충필름(210)이 소정의 피치(P) 만큼 공급된다.In this manner, the buffer film 210 is supplied by the predetermined pitch P between the crimping unit 300 and the stage 100.

실시예에 따른 기판 본딩 장치는 상기 공급릴(230) 및 상기 회수릴(250)에 의해서 효율적으로 상기 스테이지(100) 및 상기 압착부(300) 사이에 상기 완충필름(210)을 공급할 수 있다. 따라서, 실시예에 따른 기판 본딩 장치는 상기 압착 부(300)에 의해서, 상기 접합 대상물들(10)에 압력이 가해질 때, 상기 완충필름(210)에 의해서, 상기 접합 대상물들(10)을 보호할 수 있다.The substrate bonding apparatus according to the embodiment may supply the buffer film 210 between the stage 100 and the crimping unit 300 by the supply reel 230 and the recovery reel 250. Therefore, the substrate bonding apparatus according to the embodiment protects the bonding objects 10 by the crimping unit 300 when the pressure is applied to the bonding objects 10 by the buffer film 210. can do.

또한, 실시예에 따른 기판 본딩 장치는 상기 공급릴(230) 및 상기 회수릴(250)에 의해서, 효율적으로 상기 완충필름(210)이 공급되므로, 자동화된 공정에 의해서, 효율적으로 접합 대상물들(10)을 본딩할 수 있다.In addition, in the substrate bonding apparatus according to the embodiment, since the buffer film 210 is efficiently supplied by the supply reel 230 and the recovery reel 250, the object to be bonded efficiently (by an automated process) 10) can be bonded.

또한, 상기 레이저 변위 센서(280)는 상기 외주면(211)까지의 거리(d)를 정확하게 측정할 수 있고, 상기 제어부(400)는 원하는 피치(P)에 따른 정확한 회전각도(θ)를 계산할 수 있다. 이에 따라서, 상기 제어부(400)는 원하는 피치(P)를 정확하게 조절할 수 있다.In addition, the laser displacement sensor 280 may accurately measure the distance d to the outer circumferential surface 211, and the controller 400 may calculate an accurate rotation angle θ according to a desired pitch P. have. Accordingly, the controller 400 can accurately adjust the desired pitch (P).

이에 따라서, 실시예에 따른 기판 본딩 장치는 상기 공급릴(230)을 원하는 각도(θ)로 회전시켜서, 정확한 피치(P) 만큼 상기 완충필름(210)을 상기 스테이지(100) 및 상기 압착부(300) 사이에 공급한다.Accordingly, the substrate bonding apparatus according to the embodiment rotates the supply reel 230 at a desired angle θ, thereby moving the buffer film 210 to the stage 100 and the crimping portion (P) by an exact pitch (P). Between 300).

따라서, 실시예에 따른 기판 본딩 장치는 상기 완충필름(210)의 낭비를 줄 일 수 있다.Therefore, the substrate bonding apparatus according to the embodiment may reduce the waste of the buffer film 210.

또한, 실시예에 따른 기판 본딩 장치는 상기 토크모터(270)에 의해서 상기 완충필름(210)의 텐션을 유지하고, 상기 접합 대상물들(10) 및 상기 압착부(300) 사이의 완충을 효율적으로 수행할 수 있다.In addition, the substrate bonding apparatus according to the embodiment maintains the tension of the buffer film 210 by the torque motor 270, and efficiently buffers between the bonding objects 10 and the crimping portion 300. Can be done.

이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지 의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.Although the above description has been made based on the embodiments, these are merely examples and are not intended to limit the present invention. Those skilled in the art to which the present invention pertains may not have been exemplified above without departing from the essential characteristics of the present embodiments. It will be appreciated that many variations and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiment can be modified. And differences relating to such modifications and applications will have to be construed as being included in the scope of the invention defined in the appended claims.

도 1은 실시예에 따른 기판 본딩 장치를 도시한 측면도이다.1 is a side view illustrating a substrate bonding apparatus according to an embodiment.

도 2는 완충필름 공급유닛을 도시한 사시도이다.Figure 2 is a perspective view showing a buffer film supply unit.

도 3은 공급릴 및 레이저 변위 센서를 도시한 도면이다.3 shows a supply reel and a laser displacement sensor.

도 4는 실시예에 따른 기판 본딩 장치를 도시한 블럭도이다.4 is a block diagram illustrating a substrate bonding apparatus according to an embodiment.

도 5 내지 도 7은 실시예에 따른 기판 본딩 장치에 의해서, 접합 대상물들이 접합되는 과정을 도시한 도면들이다.5 to 7 are views illustrating a process of bonding objects to be bonded by the substrate bonding apparatus according to the embodiment.

Claims (10)

접합 대상물들이 배치되는 스테이지;A stage on which bonding objects are disposed; 상기 스테이지 상에 배치되어, 상기 기판에 완충필름을 통하여 압력을 가하는 압착부;A compression unit disposed on the stage to apply pressure to the substrate through a buffer film; 상기 완충필름을 권취하며, 상기 스테이지 및 상기 압착부 사이에 상기 완충필름을 공급하는 공급릴; 및A supply reel for winding the buffer film and supplying the buffer film between the stage and the crimping portion; And 상기 완충필름을 회수하는 회수릴을 포함하는 기판 본딩 장치.Substrate bonding apparatus comprising a recovery reel for recovering the buffer film. 제 1 항에 있어서, 상기 공급릴에 인접하여 배치되며, 상기 공급릴의 중심으로부터 상기 공급릴에 감겨진 완충필름의 외주면까지의 반지름을 측정하는 센서부를 포함하는 기판 본딩 장치.The substrate bonding apparatus of claim 1, further comprising a sensor unit disposed adjacent to the supply reel to measure a radius from a center of the supply reel to an outer circumferential surface of the buffer film wound around the supply reel. 제 2 항에 있어서, 상기 반지름에 기반하여, 상기 공급릴의 회전각도를 조절하는 제어부를 포함하는 기판 본딩 장치.The substrate bonding apparatus of claim 2, further comprising a controller configured to adjust a rotation angle of the supply reel based on the radius. 제 3 항에 있어서, 상기 공급릴에 연결되며, 상기 제어부로부터 신호를 입력받아, 상기 공급릴을 상기 회전각도 만큼 회전시키는 서보 모터를 포함하는 기판 본딩 장치.The substrate bonding apparatus of claim 3, further comprising a servo motor connected to the supply reel and receiving a signal from the controller to rotate the supply reel by the rotation angle. 제 2 항에 있어서, 상기 센서부는 상기 공급릴에 감겨진 완충필름으로부터의 거리를 센싱하는 변위 센서를 포함하는 기판 본딩 장치.The substrate bonding apparatus of claim 2, wherein the sensor unit comprises a displacement sensor configured to sense a distance from the buffer film wound on the supply reel. 제 1 항에 있어서, 상기 회수릴에 연결되며, 소정의 부하 이상의 부하가 작용될 때 정지하여 상기 완충필름의 텐션을 유지하는 토크모터를 포함하는 기판 본딩 장치.The substrate bonding apparatus of claim 1, further comprising: a torque motor connected to the recovery reel and stopped when a load of a predetermined load or more is applied to maintain the tension of the buffer film. 제 1 항에 있어서, 상기 공급릴 및 상기 회수릴 사이에 배치되며, 상기 완충필름에 접촉하는 가이드릴들을 포함하는 기판 본딩 장치.The substrate bonding apparatus of claim 1, further comprising guide reels disposed between the supply reel and the recovery reel and contacting the buffer film. 제 1 항에 있어서, 상기 접합 대상물들은 디스플레이 패널, 인쇄회로기판, 이방성 도전 필름, TAB 테이프 또는 연성인쇄회로기판을 포함하는 기판 본딩 장치.The substrate bonding apparatus of claim 1, wherein the bonding objects include a display panel, a printed circuit board, an anisotropic conductive film, a TAB tape, or a flexible printed circuit board. 완충필름을 권취하는 공급릴;A supply reel for winding the buffer film; 상기 공급릴에 인접하여 배치되며, 상기 공급릴에 권취되는 완충필름의 외주면까지의 거리를 감지하는 센서부;A sensor unit disposed adjacent to the supply reel and sensing a distance to an outer circumferential surface of the buffer film wound on the supply reel; 상기 거리를 기반으로 회전각도를 계산하여, 상기 공급릴을 회전시키는 제어부;A controller for rotating the supply reel by calculating a rotation angle based on the distance; 상기 완충필름을 회수하는 회수릴을 포함하는 완충필름 공급장치.A buffer film supply device comprising a recovery reel for recovering the buffer film. 제 9 항에 있어서, 상기 회전각도는 아래의 식에 의해서 계산되는 완충필름 공급장치.The buffer film supply apparatus of claim 9, wherein the rotation angle is calculated by the following equation. θ = P / ( D - d )θ = P / (D-d) 여기서, P는 상기 완충필름의 1회 공급 시 피치이고, D는 상기 공급릴의 중심 및 상기 센서부 사이의 거리이고, d는 상기 공급릴에 권취되는 완충필름의 외주면 및 상기 센서부 사이의 거리이다.Here, P is the pitch when the buffer film is supplied once, D is the distance between the center of the supply reel and the sensor unit, d is the distance between the outer peripheral surface of the buffer film wound on the supply reel and the sensor unit to be.
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KR101041845B1 (en) * 2010-11-29 2011-06-17 강정석 Bonding apparatus having cushion member supplying device
KR101255107B1 (en) * 2011-07-07 2013-04-19 에이피시스템 주식회사 Device for fabricating flexible liquid crystal display
CN107973158A (en) * 2017-12-05 2018-05-01 苏州菱欧自动化科技股份有限公司 A kind of compound material collection structure of pole piece

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