KR20100087829A - Interference fringe signal filtering apparatus and method for image extract performance enhancing of white-light interferometer - Google Patents

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KR20100087829A
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Abstract

PURPOSE: An interference fringe signal filtering apparatus for improving image extraction performance and an operating method thereof are provided to uniformly compare noise lever change according to the property of the optical system composition. CONSTITUTION: An interference fringe signal filtering apparatus for improving image extraction performance comprises a weighting value database(101), a weight calculating part(102), a combiner(103), a correction part(104) and a filtering value calculation part(105). The weighting value database stores a weighted value scanned of the pixels based on the target pixel for a fixed time. The weight calculating part respectively copes with the scanned pixels. The following weighting value is multiplied on the scanned pixels and calculates weighted value pixel values.

Description

백색광 주사간섭계의 영상 추출 성능 향상을 위한 간섭 무늬 신호 필터링 장치 및 그 동작 방법{INTERFERENCE FRINGE SIGNAL FILTERING APPARATUS AND METHOD FOR IMAGE EXTRACT PERFORMANCE ENHANCING OF WHITE-LIGHT INTERFEROMETER}Interference fringe signal filtering device for improving image extraction performance of white light scan interferometer and its operation method {INTERFERENCE FRINGE SIGNAL FILTERING APPARATUS AND METHOD FOR IMAGE EXTRACT PERFORMANCE ENHANCING OF WHITE-LIGHT INTERFEROMETER}

본 발명의 일실시예들은 백색광 주사간섭계의 스캔 후 데이터 처리 과정 중 간섭 무늬 검출 과정에 대한 것으로, 필터링할 타겟 픽셀의 일정시간 전후에 스캔 된 픽셀들에 가중치를 부여하고, 상기 가중치가 부여된 픽셀을 기초로 타겟 픽셀을 필터링 함으로써 스캔 간격과 노이즈에 영향을 받지 않고 간섭 무늬를 검출할 수 있는 필터링 장치 및 그 동작 방법에 관한 것이다.One embodiment of the present invention relates to an interference fringe detection process during a data processing process after scanning of a white light scanning interferometer, and weights pixels scanned before and after a predetermined time of a target pixel to be filtered and the weighted pixel The present invention relates to a filtering device capable of detecting interference fringes without being affected by a scan interval and noise by filtering a target pixel based on the method, and an operating method thereof.

종래의 백색광 주사간섭계는 백색광의 넓은 주파수 대역으로 인한 짧은 가간섭 거리를 이용하여 물체의 삼차원 형상을 측정하는 방식이다. Conventional white light scanning interferometer is a method of measuring the three-dimensional shape of the object using a short interference distance due to the wide frequency band of the white light.

구체적으로 기준 거울을 이동하면서 기준 거울에서 반사되는 기준광과 물체에서 반사되는 물체광의 광경로차(Optical Path Difference)가 가간섭 거리 이내일 때 발생하는 간섭 무늬의 정점을 전체 측정 영역에 대하여 검출함으로써 측정 물체의 3차원 형상을 복원하는 방식이다.Specifically, by measuring the peaks of the interference fringes occurring in the entire measurement area when the optical path difference between the reference light reflected from the reference mirror and the object light reflected from the object is within the interference distance while moving the reference mirror. It is a method of restoring the three-dimensional shape of an object.

일반적으로 백색광 주사 간섭계의 측정 시 광학계 구성에 의한 초점심도는 고려하지 않는데, 광학계의 초점심도보다 단차가 큰 물체를 측정하는 경우 광학계의 유한한 초점심도에 의하여 초점이 맞지 않는 스캔 구간이 발생한다. Generally, the depth of focus due to the optical system is not taken into account when measuring the white light scanning interferometer. When measuring an object having a step larger than the depth of focus of the optical system, an unfocused scan interval occurs due to the finite depth of focus of the optical system.

이때, 이 구간에서 측정되는 광의 세기는 간섭 무늬의 세기보다 커지거나 작아지는 경향성이 있는데, 이러한 부분이 노이즈로 작용하여 간섭 무늬의 검출을 어렵게 한다. At this time, the intensity of light measured in this section tends to be larger or smaller than the intensity of the interference fringe, and this part acts as noise, making it difficult to detect the interference fringe.

특히, 초점심도가 작은 렌즈를 사용하는 경우 이러한 노이즈 수준의 변화는 더 심하게 되어 노이즈 레벨을 보정하지 않으면, 간섭 무늬가 측정 되더라도 그 위치를 찾을 수 없으며, 최종 형상 복원 시 노이즈 점으로 작용하게 되므로 추가적인 알고리즘을 적용하여 보정해야 하는 실정이다.In particular, when a lens with a small depth of focus is used, the change of the noise level becomes more severe, and if the noise level is not corrected, the position of the interference fringe can not be found even if the interference fringe is measured, and it becomes a noise point when the final shape is restored. This is a situation that needs to be corrected by applying an algorithm.

따라서 백색광 주사간섭계의 간섭 무늬 측정결과에서 광학계 구성과 측정 대상 물체의 특성에 의한 노이즈 수준 변화를 간단하게 보정할 수 있는 장치나 방법이 필요한 실정이다.Therefore, there is a need for an apparatus or method for easily correcting a noise level change due to the configuration of an optical system and characteristics of an object to be measured in an interference fringe measurement result of a white light scanning interferometer.

본 발명의 일실시예들은 타겟 픽셀을 기준으로 일정시간 전후에 스캔한 픽셀들에 타겟 픽셀과 스캔한 픽셀간의 시간차에 의한 가중치를 부여하고, 상기 가중치를 적용한 픽셀들의 값을 기초로 타겟 픽셀을 필터링 함으로써, 광학계 구성과 측정 대상 물체의 특성에 의한 노이즈 레벨 변화를 일정하게 보상할 수 있는 필터링 장치를 제공한다.According to an exemplary embodiment of the present invention, weights based on a time difference between a target pixel and a scanned pixel are given to pixels scanned before and after a predetermined time based on the target pixel, and the target pixel is filtered based on the values of the pixels to which the weight is applied. The present invention provides a filtering device capable of uniformly compensating for a noise level change due to an optical system configuration and a characteristic of an object to be measured.

본 발명의 일실시예에 따른 백색광 주사간섭계의 영상 추출 성능 향상을 위한 간섭 무늬 신호 필터링 장치는 타겟 픽셀을 기준으로 일정시간 전후에 스캔한 픽셀들의 가중치가 저장되는 가중치 데이터베이스; 상기 스캔한 픽셀들에 각각 대응하는 상기 가중치를 상기 스캔한 픽셀들에 곱하여 가중치 픽셀 값들을 계산하고, 상기 가중치 픽셀 값들을 모두 합산하여 합산 가중치를 계산하는 가중치 계산부; 상기 스캔한 픽셀들의 값을 모두 합산하여 합산 값을 계산하는 합산부; 상기 합산 가중치를 상기 합산 값으로 나누어 보정 값을 계산하는 보정부; 및, 상기 타겟 픽셀에서 상기 보정 값을 빼어 상기 타겟 픽셀의 필터링 값을 계산하는 필터링 값 계산부를 포함한다.An interference fringe signal filtering apparatus for improving image extraction performance of a white light scanning interferometer according to an embodiment of the present invention includes a weight database storing weights of pixels scanned before and after a predetermined time with respect to a target pixel; A weight calculator configured to calculate weighted pixel values by multiplying the weighted pixels corresponding to the scanned pixels by the scanned pixels, and calculating a summed weight by summing all the weighted pixel values; An adder configured to add up the values of the scanned pixels to calculate a sum value; A correction unit which calculates a correction value by dividing the sum weight by the sum value; And a filtering value calculator configured to calculate a filtering value of the target pixel by subtracting the correction value from the target pixel.

또한, 본 발명의 일실시예에 따른 백색광 주사간섭계의 영상 추출 성능 향상을 위한 간섭 무늬 신호 필터링 방법은 타겟 픽셀을 기준으로 일정시간 전후에 스캔한 픽셀들의 가중치가 포함되는 가중치 데이터베이스를 유지하는 단계; 상기 가 중치 데이터베이스에서 상기 스캔한 픽셀들에 대응하는 상기 가중치들을 검색하는 단계; 상기 가중치들을 검색하는 단계에서 검색한 상기 가중치들을 상기 스캔한 픽셀들에 곱하여 각 픽셀들의 가중치 픽셀 값을 계산하는 단계; 상기 가중치 픽셀 값들을 모두 합산하여 합산 가중치를 계산하는 단계; 상기 스캔한 픽셀들의 값을 모두 합산하여 합산 값을 계산하는 단계; 상기 합산 가중치를 상기 합산 값으로 나누어 보정 값을 계산하는 단계; 및, 상기 타겟 픽셀에서 상기 보정 값을 빼어 상기 타겟 픽셀의 필터링 값을 계산하는 단계를 포함한다.In addition, the interference fringe signal filtering method for improving the image extraction performance of the white light scanning interferometer according to an embodiment of the present invention comprises the steps of maintaining a weight database including the weight of the pixels scanned before and after a predetermined time based on the target pixel; Retrieving the weights corresponding to the scanned pixels from the weight database; Calculating the weighted pixel value of each pixel by multiplying the scanned pixels by the searched weights in the step of searching for the weights; Calculating a summed weight by summing all the weighted pixel values; Calculating a sum value by summing all values of the scanned pixels; Calculating a correction value by dividing the sum weight by the sum value; And subtracting the correction value from the target pixel to calculate a filtering value of the target pixel.

본 발명의 일실시예들은 타겟 픽셀을 기준으로 일정시간 전후에 스캔한 픽셀들에 타겟 픽셀과 스캔한 픽셀간의 시간차에 의한 가중치를 부여하고, 상기 가중치를 적용한 픽셀들의 값을 기초로 타겟 픽셀을 필터링 함으로써, 광학계 구성과 측정 대상 물체의 특성에 의한 노이즈 레벨 변화를 일정하게 보상할 수 있다.According to an exemplary embodiment of the present invention, weights based on a time difference between a target pixel and a scanned pixel are given to pixels scanned before and after a predetermined time based on the target pixel, and the target pixel is filtered based on the values of the pixels to which the weight is applied. As a result, the noise level change due to the optical system configuration and the characteristic of the measurement object can be compensated for constantly.

이하 첨부 도면들 및 첨부 도면들에 기재된 내용들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings and the contents described in the accompanying drawings, but the present invention is not limited or limited to the embodiments.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 백색광 주사간섭계의 영상 추출 성능 향상을 위한 간섭 무늬 신호 필터링 장치(100)의 개괄적인 모습을 도시한 도면이다. 1 is a diagram illustrating an overview of an interference fringe signal filtering device 100 for improving image extraction performance of a white light scanning interferometer according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일실시예에 따른 백색광 주사간섭계의 영상 추출 성능 향상을 위한 간섭 무늬 신호 필터링 장치(100)는 도 1에 도시된 바와 같이 타겟 픽셀을 기준 으로 일정시간 전후에 스캔한 픽셀들의 가중치가 저장되는 가중치 데이터베이스(101)와 상기 스캔한 픽셀들에 각각 대응하는 상기 가중치를 상기 스캔한 픽셀들에 곱하여 가중치 픽셀 값들을 계산하고, 상기 가중치 픽셀 값들을 모두 합산하여 합산 가중치를 계산하는 가중치 계산부(102)와 상기 스캔한 픽셀들의 값을 모두 합산하여 합산 값을 계산하는 합산부(103)와 상기 합산 가중치를 상기 합산 값으로 나누어 보정 값을 계산하는 보정부(104) 및, 상기 타겟 픽셀에서 상기 보정 값을 빼어 상기 타겟 픽셀의 필터링 값을 계산하는 필터링 값 계산부(105)를 포함한다. 이때, 상기 스캔한 픽셀은 상기 타겟 픽셀보다 일정시간 전에 스캔한 픽셀들인 전구간 픽셀들과, 상기 타겟 픽셀보다 일정시간 후에 스캔한 픽셀들인 후구간 픽셀들의 집합일 수 있다.As shown in FIG. 1, the interference fringe signal filtering apparatus 100 for improving the image extraction performance of the white light scanning interferometer according to an embodiment of the present invention stores weights of pixels scanned before and after a predetermined time based on the target pixel. A weight calculation unit configured to calculate weighted pixel values by multiplying the weighted pixels corresponding to the weighted database 101 and the scanned pixels by the weighted pixels, and adding up all the weighted pixel values to calculate a summed weight ( 102, a summation unit 103 for summing up the values of the scanned pixels to calculate a summation value, and a correction unit 104 for calculating a correction value by dividing the summation weight by the summation value; And a filtering value calculator 105 to calculate a filtering value of the target pixel by subtracting a correction value. In this case, the scanned pixel may be a set of global pixels, which are pixels scanned a predetermined time before the target pixel, and posterior interval pixels, which are pixels scanned a predetermined time after the target pixel.

또한, 백색광 주사간섭계의 영상 추출 성능 향상을 위한 간섭 무늬 신호 필터링 장치(100)는 하기된 수학식 1을 만족할 수 있다.In addition, the interference fringe signal filtering apparatus 100 for improving the image extraction performance of the white light scanning interferometer may satisfy the following equation (1).

Figure 112009005625821-PAT00001
Figure 112009005625821-PAT00001

이때, k는 필터링을 할 타겟 픽셀의 인덱스이고,

Figure 112009005625821-PAT00002
는 타겟 픽셀에서 측정된 광의 세기이고,
Figure 112009005625821-PAT00003
는 타겟 픽셀의 가중치이며,
Figure 112009005625821-PAT00004
는 상기 타겟 픽셀을 노이즈 보정한 필터링 값일 수 있다. 또한, i는 일정시간의 크기를 의미하여
Figure 112009005625821-PAT00005
는 전구간 픽셀 중에서 가장 먼저 스캔 된 픽셀에서 측정된 광의 세기이고,
Figure 112009005625821-PAT00006
는
Figure 112009005625821-PAT00007
에 대응하는 가중치이며,
Figure 112009005625821-PAT00008
는 후구간 픽셀 중에서 가장 나중에 스캔 된 픽셀에서 측정된 광의 세기일 수 있다.K is an index of a target pixel to be filtered.
Figure 112009005625821-PAT00002
Is the intensity of light measured at the target pixel,
Figure 112009005625821-PAT00003
Is the weight of the target pixel,
Figure 112009005625821-PAT00004
May be a filtering value obtained by noise-correcting the target pixel. In addition, i means the size of a certain time
Figure 112009005625821-PAT00005
Is the intensity of light measured at the first scanned pixel among all pixels
Figure 112009005625821-PAT00006
Is
Figure 112009005625821-PAT00007
Is a weight corresponding to
Figure 112009005625821-PAT00008
May be the intensity of light measured at the last scanned pixel among the posterior interval pixels.

또한, 상기 i는 상기 백색광의 중심 파장과 가간섭 거리에 대응하여 변경되는 값으로 전후 구간의 크기를 의미하며, 광원의 가간섭 거리(lc)와 광원의 중심파장(λ), 스캔 간격(s)에 의하여 결정될 수 있다.In addition, i is a value that changes in correspondence with the center wavelength of the white light and the interference distance, and means the size of the front and rear sections, the interference distance l c of the light source, the center wavelength λ of the light source, and the scan interval ( can be determined by s).

일례로, 가간섭 거리

Figure 112009005625821-PAT00009
일 경우에 상기 i는 하기된 수학식 2를 만족하는 범위 안에서 최적의 크기가 결정될 수 있다.For example, interference distance
Figure 112009005625821-PAT00009
In one case, i may be determined to an optimal size within a range satisfying Equation 2 below.

Figure 112009005625821-PAT00010
Figure 112009005625821-PAT00010

본 발명에 따른 백색광 주사간섭계의 영상 추출 성능 향상을 위한 간섭 무늬 신호 필터링 장치(100)는 필터링할 타겟 픽셀보다 일정시간 전에 스캔한 픽셀들과 일정시간 후에 스캔한 픽셀들에 타겟 픽셀과 스캔한 픽셀간의 시간차에 의한 가중치를 부여하고, 상기 가중치를 적용한 픽셀의 합과 상기 가중치를 적용하지 않은 픽셀의 합을 기초로 타겟 픽셀을 필터링 함으로써, 광학계 구성과 측정 대상 물체의 특성에 의한 노이즈 레벨 변화를 일정하게 보상할 수 있다.The interference fringe signal filtering apparatus 100 for improving the image extraction performance of the white light scanning interferometer according to the present invention includes a target pixel and a scanned pixel in pixels scanned a predetermined time and pixels scanned after a predetermined time. By assigning a weight based on the time difference between the filters and filtering the target pixel based on the sum of the weighted pixels and the sum of the weighted pixels, the noise level change due to the optical system configuration and the characteristic of the object to be measured is fixed. Can compensate.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 백색광 주사간섭계의 영상 추출 성능 향 상을 위한 간섭 무늬 신호 필터링 방법에 대한 흐름도이다.2 is a flowchart illustrating an interference fringe signal filtering method for improving image extraction performance of a white light scanning interferometer according to an exemplary embodiment of the present invention.

먼저, 가중치 계산부(102)는 상기 전구간 픽셀들과 상기 후구간 픽셀들에 각각 대응하는 상기 가중치를 곱하여 가중치 픽셀 값들을 계산한다(S201). 구체적으로, 가중치 계산부(102)는 가중치 데이터베이스(101)에서 상기 전구간 픽셀들과 상기 후구간 픽셀들에 대응하는 상기 가중치들을 검색하고, 검색한 상기 가중치들을 상기 가중치에 대응하는 픽셀들에 곱하여 각 픽셀들의 상기 가중치 픽셀 값을 계산할 수 있다.First, the weight calculator 102 calculates weighted pixel values by multiplying the weights corresponding to the global pixels and the rear pixels, respectively (S201). In detail, the weight calculator 102 searches for the weights corresponding to the front-end pixels and the rear-end pixels in the weighting database 101, and multiplies the searched weights by the pixels corresponding to the weights. The weighted pixel value of the pixels can be calculated.

다음으로 가중치 계산부(102)는 단계(S201)에서 계산된 각 픽셀들의 상기 가중치 픽셀 값을 모두 합산하여 합산 가중치를 계산한다(S202).Next, the weight calculation unit 102 calculates a sum weight by summing all the weight pixel values of the pixels calculated in step S201 (S202).

이때, 합산부(103)는 상기 전구간 픽셀들과 상기 후구간 픽셀들의 값을 모두 합산하여 합산 값을 계산한다(S203).In this case, the adder 103 calculates a sum value by summing all the values of the pre-interval pixels and the post-period pixels.

그리고, 보정부(104)는 단계(S202)에서 계산된 상기 합산 가중치를 단계(S203)에서 계산된 상기 합산 값으로 나누어 보정 값을 계산한다(S204).The correction unit 104 calculates a correction value by dividing the sum weight calculated in step S202 by the sum value calculated in step S203 (S204).

마지막으로 필터링 값 계산부(105)는 상기 타겟 픽셀에서 단계(S204)에서 계산된 상기 보정 값을 빼어 상기 타겟 픽셀의 필터링 값을 계산한다.Finally, the filtering value calculator 105 calculates the filtering value of the target pixel by subtracting the correction value calculated in step S204 from the target pixel.

이와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 백색광 주사간섭계의 영상 추출 성능 향상을 위한 간섭 무늬 신호 필터링 장치는 타겟 픽셀을 기준으로 일정시간 전후에 스캔한 픽셀들에 타겟 픽셀과 스캔한 픽셀간의 시간차에 의한 가중치를 부여하고, 상기 가중치를 적용한 픽셀들의 값을 기초로 타겟 픽셀을 필터링 함으로써, 광학계 구성과 측정 대상 물체의 특성에 의한 노이즈 레벨 변화를 일정하게 보상할 수 있 다.As described above, the interference fringe signal filtering apparatus for improving the image extraction performance of the white light scanning interferometer according to an embodiment of the present invention is based on the time difference between the target pixel and the scanned pixel in the pixels scanned before and after the target pixel. By applying a weight and filtering the target pixel based on the values of the pixels to which the weight is applied, it is possible to constantly compensate for the noise level change due to the optical system configuration and the characteristic of the object to be measured.

이상과 같이 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. As described above, the present invention has been described by way of limited embodiments and drawings, but the present invention is not limited to the above embodiments, and those skilled in the art to which the present invention pertains various modifications and variations from such descriptions. This is possible.

그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.Therefore, the scope of the present invention should not be limited to the described embodiments, but should be determined not only by the claims below but also by the equivalents of the claims.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 백색광 주사간섭계의 영상 추출 성능 향상을 위한 간섭 무늬 신호 필터링 장치의 개괄적인 모습을 도시한 도면이다. 1 is a view showing an overview of an interference fringe signal filtering device for improving image extraction performance of a white light scanning interferometer according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 백색광 주사간섭계의 영상 추출 성능 향상을 위한 간섭 무늬 신호 필터링 방법에 대한 흐름도이다.2 is a flowchart illustrating an interference fringe signal filtering method for improving image extraction performance of a white light scanning interferometer according to an embodiment of the present invention.

Claims (4)

타겟 픽셀을 기준으로 일정시간 전후에 스캔한 픽셀들의 가중치가 저장되는 가중치 데이터베이스;A weight database configured to store weights of pixels scanned before and after a predetermined time with respect to the target pixel; 상기 스캔한 픽셀들에 각각 대응하는 상기 가중치를 상기 스캔한 픽셀들에 곱하여 가중치 픽셀 값들을 계산하고, 상기 가중치 픽셀 값들을 모두 합산하여 합산 가중치를 계산하는 가중치 계산부;A weight calculator configured to calculate weighted pixel values by multiplying the weighted pixels corresponding to the scanned pixels by the scanned pixels, and calculating a summed weight by summing all the weighted pixel values; 상기 스캔한 픽셀들의 값을 모두 합산하여 합산 값을 계산하는 합산부;An adder configured to add up the values of the scanned pixels to calculate a sum value; 상기 합산 가중치를 상기 합산 값으로 나누어 보정 값을 계산하는 보정부; 및,A correction unit which calculates a correction value by dividing the sum weight by the sum value; And, 상기 타겟 픽셀에서 상기 보정 값을 빼어 상기 타겟 픽셀의 필터링 값을 계산하는 필터링 값 계산부A filtering value calculator configured to calculate a filtering value of the target pixel by subtracting the correction value from the target pixel 를 포함하는 백색광 주사간섭계의 영상 추출 성능 향상을 위한 간섭 무늬 신호 필터링 장치. An interference fringe signal filtering device for improving image extraction performance of a white light scanning interferometer comprising a. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 전구간 픽셀의 수와 상기 후구간 픽셀의 수는 상기 백색광의 중심 파장과 가간섭 거리에 대응하여 변경 가능한 값인 것The number of pixels in the front-end and the number of pixels in the back-end are changeable values corresponding to the center wavelength of the white light and the interference distance. 을 특징으로 하는 백색광 주사간섭계의 영상 추출 성능 향상을 위한 간섭 무늬 신호 필터링 장치. An interference fringe signal filtering device for improving image extraction performance of a white light scanning interferometer. 타겟 픽셀을 기준으로 일정시간 전후에 스캔한 픽셀들의 가중치가 포함되는 가중치 데이터베이스를 유지하는 단계;Maintaining a weight database including weights of pixels scanned before and after a predetermined time with respect to the target pixel; 상기 가중치 데이터베이스에서 상기 스캔한 픽셀들에 대응하는 상기 가중치들을 검색하는 단계;Retrieving the weights corresponding to the scanned pixels from the weight database; 상기 가중치들을 검색하는 단계에서 검색한 상기 가중치들을 상기 스캔한 픽셀들에 곱하여 각 픽셀들의 가중치 픽셀 값을 계산하는 단계;Calculating the weighted pixel value of each pixel by multiplying the scanned pixels by the searched weights in the step of searching for the weights; 상기 가중치 픽셀 값들을 모두 합산하여 합산 가중치를 계산하는 단계;Calculating a summed weight by summing all the weighted pixel values; 상기 스캔한 픽셀들의 값을 모두 합산하여 합산 값을 계산하는 단계;Calculating a sum value by summing all values of the scanned pixels; 상기 합산 가중치를 상기 합산 값으로 나누어 보정 값을 계산하는 단계; 및,Calculating a correction value by dividing the sum weight by the sum value; And, 상기 타겟 픽셀에서 상기 보정 값을 빼어 상기 타겟 픽셀의 필터링 값을 계산하는 단계Calculating a filtering value of the target pixel by subtracting the correction value from the target pixel 를 포함하는 백색광 주사간섭계의 영상 추출 성능 향상을 위한 간섭 무늬 신호 필터링 방법. An interference fringe signal filtering method for improving image extraction performance of a white light scanning interferometer comprising a. 제3항에 있어서, The method of claim 3, 상기 전구간 픽셀의 수와 상기 후구간 픽셀의 수는 상기 백색광의 중심 파장과 가간섭 거리에 대응하여 변경 가능한 값인 것The number of pixels in the front-end and the number of pixels in the back-end are changeable values corresponding to the center wavelength of the white light and the interference distance. 을 특징으로 하는 백색광 주사간섭계의 영상 추출 성능 향상을 위한 간섭 무늬 신호 필터링 방법.An interference fringe signal filtering method for improving image extraction performance of a white light scanning interferometer.
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