KR20100069791A - Nano-crystal silicon layers using plasma deposition technology, methods thereof, non-volatile memory devices having nano-crystal silicon layers and methods of the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A nano crystal silicon layer structure using plasma deposition technology, a nonvolatile memory device including the same, and forming methods thereof are provided to reduce manufacturing processes of the nonvolatile memory device by directly depositing the nano crystal silicon layer on the glass substrate. CONSTITUTION: A gate electrode(55) is formed on a substrate(51). A multilayer insulation layer(63) is formed on a gate electrode. A first nano crystal silicon layer(65) is formed on the multilayer insulation layer using plasma deposition technology using gas containing hydrogen and silicon on the multilayer insulation layer. A metal electrode layer is formed on the first nano crystal silicon layer. A source electrode(69) and a drain electrode(71) are formed by patterning a metal electrode layer.

Description

플라즈마 증착 기술을 이용한 나노결정 실리콘막 구조체, 그의 형성방법, 나노결정 실리콘막 구조체를 구비하는 비휘발성 메모리 소자 및 그의 형성방법 {Nano-crystal silicon layers using plasma deposition technology, methods thereof, non-volatile memory devices having nano-crystal silicon layers and methods of the same}Nano-crystal silicon layers using plasma deposition technology, non-volatile memory devices having a nanocrystalline silicon film structure and method for forming the same having nano-crystal silicon layers and methods of the same}

본 발명은 플라즈마 증착 기술을 이용한 나노결정 실리콘막 구조체, 그의 형성방법, 나노결정 실리콘막 구조체를 구비하는 비휘발성 메모리 소자 및 그의 형성방법에 관한 것으로, 특히 유리 기판 상에 형성된 나노결정 실리콘막 구조체를 구비하는 비휘발성 메모리 소자 및 저온 공정에서 형성되고, 저전압에서 구동할 수 있는 비휘발성 메모리 소자의 형성방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a nanocrystalline silicon film structure, a method of forming the same, a nonvolatile memory device including the nanocrystalline silicon film structure, and a method of forming the same. The present invention relates to a nonvolatile memory device and a method of forming a nonvolatile memory device which can be driven at a low voltage.

일반적으로, 비휘발성 메모리 소자는 셀의 구성 및 동작에 따라 NAND 타입과 NOR 타입으로 구분된다. 또한, 단위셀에 사용되는 전하저장층 물질의 종류에 따라 플로팅 게이트 계열의 메모리 소자, MONOS(Metal Oxide Nitride Oxide Semiconductor) 구조 또는 SONOS(Metal Oxide Nitride Oxide Semiconductor) 구조의 메모리 소자로 나누어진다. 플로팅 게이트 계열의 메모리 소자는 전위우 물(potential well)을 이용하여 기억특성을 구현하는 소자이고, MONOS 또는 SONOS 계열은 유전막인 실리콘 질화막의 벌크(bulk) 내에 존재하는 트랩사이트 또는 유전막과 유전막 사이의 계면 등에 존재하는 트랩사이트를 이용하여 기억특성을 구현한다. 상기 MONOS는 금속으로 이루어진 컨트롤 게이트를 구비하고, 상기 SONOS는 폴리실리콘으로 이루어진 컨트롤 게이트를 구비한다.In general, nonvolatile memory devices are classified into NAND and NOR types according to cell configurations and operations. In addition, according to the type of the charge storage layer material used in the unit cell, it is divided into a memory device of a floating gate series, a metal oxide nitride oxide semiconductor (MONOS) structure, or a metal oxide nitride oxide semiconductor (SONOS) structure. Floating gate-type memory devices are devices that implement memory characteristics using potential wells, and MONOS or SONOS-based devices have a trap site or dielectric layer between the dielectric film and the trap site existing in the bulk of the silicon nitride film. Memory characteristics are implemented using trap sites present at interfaces. The MONOS has a control gate made of metal, and the SONOS has a control gate made of polysilicon.

상기 SONOS 또는 MONOS 계열의 소자는 플로팅 게이트 계열의 비휘발성 메모리 소자에 비해 상대적으로 용이한 스케일링과 개선된 지속성 특성(endurance) 및 고른 문턱전압(threshold voltage) 분포를 갖는다.The SONOS or MONOS series devices have relatively easy scaling, improved endurance, and even threshold voltage distributions compared to floating gate series nonvolatile memory devices.

이하에서, 도 1a 및 도 1b를 참조하여 종래기술의 실시예들에 따른 비휘발성 메모리 소자에 대하여 설명하기로 한다. 도 1a 및 도 1b는 각각 종래기술의 실시예들에 따른 반도체 기판 및 유리기판 상에 형성된 비휘발성 메모리 소자를 개략적으로 도시한 단면도들이다.Hereinafter, a nonvolatile memory device according to example embodiments of the related art will be described with reference to FIGS. 1A and 1B. 1A and 1B are cross-sectional views schematically illustrating nonvolatile memory devices formed on a semiconductor substrate and a glass substrate, respectively, according to embodiments of the prior art.

도 1a를 참조하면, 종래기술의 일 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자는 반도체 기판(1) 상에 차례로 제1산화막(2), 질화막(3) 및 제2산화막(4)이 형성된다. 상기 제2산화막(4) 상에 게이트 전극(5)이 형성되고, 상기 게이트 전극(5) 양측의 반도체 기판(1) 표면에 소오스영역(6) 및 드레인영역(7)이 형성된다.Referring to FIG. 1A, in the nonvolatile memory device according to the exemplary embodiment, the first oxide film 2, the nitride film 3, and the second oxide film 4 are sequentially formed on the semiconductor substrate 1. A gate electrode 5 is formed on the second oxide film 4, and a source region 6 and a drain region 7 are formed on the surface of the semiconductor substrate 1 on both sides of the gate electrode 5.

상기 제1산화막(2)은 비휘발성 메모리에서 질화막(3) 내의 트랩 영역이나 질화막(4) 계면의 트랩 영역으로 전자들이 터널링할 수 있는 역할을 수행한다. 상기 제2산화막(4)은 질화막(4)과 게이트 전극(5) 간의 전하 이동을 막는 블로킹 역할을 수행한다. 상기 질화막(4)은 질화막(4) 내부의 트랩 영역이나 질화막(4) 계면의 트 랩 영역에 전하를 저장하는 역할을 수행한다.The first oxide film 2 plays a role in which electrons can tunnel to a trap area in the nitride film 3 or a trap area at the interface of the nitride film 4 in the nonvolatile memory. The second oxide film 4 serves as a blocking function to prevent charge transfer between the nitride film 4 and the gate electrode 5. The nitride film 4 stores charge in a trap area inside the nitride film 4 or in a trap area at the interface of the nitride film 4.

도 1b를 참조하면, 종래기술의 다른 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자는 유리기판(8) 상에 유리기판(8)을 보호하는 완충 산화막(9)이 형성되고, 상기 완충 산화막(9) 상에 플라즈마 CVD(Chemical Vapoer Deposition) 방법을 사용하여 비정절 실리콘 층을 형성한다. 상기 비정질 실리콘 층을 폴리실리콘 층(10)으로 변화시키기 위하여 상기 비정질 실리콘 층에 레이저를 조사하여 다결정화 시킨다.Referring to FIG. 1B, in the nonvolatile memory device according to another embodiment of the related art, a buffer oxide film 9 is formed on the glass substrate 8 to protect the glass substrate 8. An amorphous silicon layer is formed using a plasma chemical vapor deposition (CVD) method. In order to change the amorphous silicon layer into the polysilicon layer 10, the amorphous silicon layer is irradiated with laser to polycrystallize.

또한, 상기 폴리실리콘 층(10) 상에 차례로 제1산화막(11), 질화막(12), 제2산화막(13) 및 게이트 전극(14)을 형성한다. 상기 게이트 전극(14) 양측의 폴리실리콘 층(10) 표면에 고농도 불순물을 도핑함으로써 소오스영역(15) 및 드레인영역(16)을 형성한다. 그러나, 상기 폴리실리콘 층(10)의 표면은 매우 거칠고, 불균일하여 유리기판 상에 비휘발성 메모리 제작시에 누설전류 특성이 열화된다는 문제가 있었다. 따라서, 상기 비휘발성 메모리 소자는 프로그래밍/소거 시에 정상적인 기능이 수행되지 않는다는 문제점을 갖는다. In addition, a first oxide film 11, a nitride film 12, a second oxide film 13, and a gate electrode 14 are sequentially formed on the polysilicon layer 10. The source region 15 and the drain region 16 are formed by doping a high concentration of impurities to the surface of the polysilicon layer 10 on both sides of the gate electrode 14. However, there is a problem that the surface of the polysilicon layer 10 is very rough and uneven, so that leakage current characteristics deteriorate when a nonvolatile memory is fabricated on a glass substrate. Therefore, the nonvolatile memory device has a problem that a normal function is not performed during programming / erase.

이러한 문제점을 해결하기 위한 기술이 일례가 최병덕 등에 의하여 등록된 한국등록특허 제0719680호(2007.05.11 등록)에 개시되어 있다. 상기 한국등록특허 제0719680호에 개시된 비휘발성 메모리 소자는 유기기판 상에 차례로 적층된 완충 산화막, 폴리실리콘층, 실리콘 산질화층, 제1절연막, 질화막, 제2절연막 및 금속 전극을 포함하여 구성된다. 상기 실리콘 산질화층은 아산화질소(N2O) 플라즈마를 사용하여 표면이 거친 폴리실리콘 층의 상부를 개질시켜 형성된다. 따라서, 상기 비 휘발성 메모리 소자는 비정질 실리콘 층의 레이저 조사에 의해 발생되는 폴리실리콘 층의 표면 불균일과 거칠기에 의해 야기되는 과도한 누설 전류를 방지할 수 있다.A technique for solving this problem is disclosed in Korean Patent Registration No. 0719680 (registered May 11, 2007) registered by Choi Byung-deok et al. The nonvolatile memory device disclosed in Korean Patent No. 0719680 includes a buffer oxide film, a polysilicon layer, a silicon oxynitride layer, a first insulating film, a nitride film, a second insulating film, and a metal electrode sequentially stacked on an organic substrate. . The silicon oxynitride layer is formed by modifying an upper surface of the coarse polysilicon layer using nitrous oxide (N 2 O) plasma. Accordingly, the nonvolatile memory device can prevent excessive leakage current caused by surface irregularities and roughness of the polysilicon layer generated by laser irradiation of the amorphous silicon layer.

그러나, 상기 한국등록특허 제0719680호에 개시된 비휘발성 메모리 소자에서 상기 폴리실리콘층은 완충산화막 상에 비정질 실리콘층을 형성하고, 상기 비정질 실리콘층 상에 엑시머 레이저 결정화 또는 고상 결정화를 수행함으로써 결정화된다(crystallized). 따라서, 비휘발성 메모리 소자의 제조공정이 복잡해지고, 이에 따른 비휘발성 메모리 소자의 제조단가가 상승된다는 문제점이 있다.However, in the nonvolatile memory device disclosed in Korean Patent No. 0727680, the polysilicon layer is crystallized by forming an amorphous silicon layer on the buffer oxide film and performing excimer laser crystallization or solid phase crystallization on the amorphous silicon layer ( crystallized). Therefore, there is a problem that the manufacturing process of the nonvolatile memory device is complicated, and thus the manufacturing cost of the nonvolatile memory device is increased.

본 발명의 목적은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 기판 상에 비정질 실리콘을 증착하고 후처리 공정으로 다결정 실리콘막을 형성하는 종래기술 대신에 플라즈마 기상 증착법으로 유리기판 상에 나노결정 실리콘막을 직접 증착할 수 있는 플라즈마 증착 기술을 이용한 나노결정 실리콘막 구조체, 그의 형성방법, 나노결정 실리콘막 구조체를 구비하는 비휘발성 메모리 소자 및 그의 형성방법을 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the problems described above, and instead of the conventional technique of depositing amorphous silicon on a substrate and forming a polycrystalline silicon film by a post-treatment process, a nanocrystalline silicon film is formed on a glass substrate by plasma vapor deposition. The present invention provides a nanocrystalline silicon film structure, a method of forming the same, a nonvolatile memory device including the nanocrystalline silicon film structure, and a method of forming the same.

또한, 본 발명의 목적은 유리기판 상에 나노결정 실리콘막을 직접 증착함으로써 종래의 다결정 실리콘막에 비하여 누설전류 특성을 향상시킬 수 있는 플라즈마 증착 기술을 이용한 나노결정 실리콘막 구조체, 그의 형성방법, 나노결정 실리콘막 구조체를 구비하는 비휘발성 메모리 소자 및 그의 형성방법을 제공하는 것이다.In addition, an object of the present invention is a nanocrystalline silicon film structure, a method of forming the nanocrystalline silicon using a plasma deposition technology that can improve the leakage current characteristics compared to a conventional polycrystalline silicon film by directly depositing a nanocrystalline silicon film on a glass substrate A nonvolatile memory device having a silicon film structure and a method of forming the same are provided.

또한, 본 발명의 목적은 플라즈마 증착 장비 내에서 진공 상태를 깨뜨리지 않고 나노결정 실리콘 박막과 다층 절연막을 연속적으로 직접 증착할 수 있는 플라즈마 증착 기술을 이용한 나노결정 실리콘막 구조체, 그의 형성방법, 나노결정 실리콘막 구조체를 구비하는 비휘발성 메모리 소자 및 그의 형성방법을 제공하는 것이다.In addition, an object of the present invention is a nanocrystalline silicon film structure, a method of forming the nanocrystalline silicon using plasma deposition technology that can directly and directly deposit a nanocrystalline silicon thin film and a multilayer insulating film without breaking the vacuum in the plasma deposition equipment A nonvolatile memory device having a film structure and a method of forming the same are provided.

또한, 본 발명의 목적은 후처리 공정을 수행하지 않음으로써 비휘발성 메모리 소자의 제조공정을 줄여 제조단가를 낮출 수 있는 플라즈마 증착 기술을 이용한 나노결정 실리콘막 구조체, 그의 형성방법, 나노결정 실리콘막 구조체를 구비하는 비휘발성 메모리 소자 및 그의 형성방법을 제공하는 것이다.In addition, an object of the present invention, the nanocrystalline silicon film structure using the plasma deposition technology that can reduce the manufacturing cost by reducing the manufacturing process of the non-volatile memory device by not performing a post-treatment process, its formation method, nanocrystalline silicon film structure It provides a nonvolatile memory device and a method of forming the same.

또한, 본 발명의 목적은 종래기술보다 낮은 온도 분위기의 플라즈마 증착 장치 내에서 나노결정 실리콘막 구조체 및 다층 절연막을 형성함으로서 비휘발성 메모리 소자에 가해지는 손상을 줄일 수 있는 플라즈마 증착 기술을 이용한 나노결정 실리콘막 구조체, 그의 형성방법, 나노결정 실리콘막 구조체를 구비하는 비휘발성 메모리 소자 및 그의 형성방법을 제공하는 것이다.In addition, an object of the present invention is to form a nanocrystalline silicon film structure and a multi-layer insulating film in a plasma deposition apparatus of a lower temperature atmosphere than the prior art nanocrystalline silicon using a plasma deposition technology that can reduce damage to nonvolatile memory devices A film structure, a method for forming the same, a nonvolatile memory device having a nanocrystalline silicon film structure, and a method for forming the same are provided.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명의 일 실시예에 따른 나노결정 실리콘막 구조체를 구비하는 비휘발성 메모리 소자의 형성방법은 기판 상에 게이트 전극을 형성하는 단계, 상기 게이트 전극을 갖는 상기 기판 상에 다층절연막을 형성하는 단계, 상기 다층절연막 상에 실리콘과 수소의 각각을 함유하는 가스를 이용한 플라즈마 증착 기술로 제1나노결정 실리콘막을 형성하는 단계, 상기 제1나노결정 실리콘막 상에 금속전극막을 형성하는 단계 및 상기 금속전극막을 패터닝하여 소오스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a method of forming a nonvolatile memory device having a nanocrystalline silicon film structure according to an embodiment of the present invention includes forming a gate electrode on a substrate, and forming a multilayer on the substrate having the gate electrode. Forming an insulating film, forming a first nanocrystalline silicon film using a plasma deposition technique using a gas containing silicon and hydrogen on the multilayer insulating film, and forming a metal electrode film on the first nanocrystalline silicon film And patterning the metal electrode film to form a source electrode and a drain electrode.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자의 형성방법에서 상기 제1나노결정 실리콘막은 40nm 내지 60nm의 두께로 형성되는 것을 특징으로 한다.In the method of forming a nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention, the first nanocrystalline silicon film is formed to a thickness of 40 nm to 60 nm.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자의 형성방법에서 상 기 다층절연막을 형성하는 단계는 상기 게이트 전극을 갖는 상기 기판 상에 블로킹 절연막을 형성하는 단계, 상기 블로킹 절연막 상에 전하저장막을 형성하는 단계 및 상기 전하저장막 상에 터널링 절연막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the method for forming a nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention, the forming of the multilayer insulating film may include forming a blocking insulating film on the substrate having the gate electrode, and storing charge on the blocking insulating film. Forming a film and forming a tunneling insulating film on the charge storage film.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자의 형성방법에서 상기 터널링 절연막을 형성하는 단계는 상기 전하저장막 상에 제2나노결정 실리콘막을 형성하는 단계 및 상기 제2나노결정 실리콘막에 플라즈마 처리공정을 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the method of forming a nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention, the forming of the tunneling insulating film may include forming a second nanocrystalline silicon film on the charge storage film and forming a second nanocrystalline silicon film on the second nanocrystalline silicon film. And performing a plasma treatment process.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자의 형성방법에서 상기 터널링 절연막은 실리콘 산질화막으로 형성하는 것을 특징으로 한다.In the method of forming a nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention, the tunneling insulating layer may be formed of a silicon oxynitride layer.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자의 형성방법에서 상기 실리콘 산질화막은 아산화질소(N2O) 가스 1.5sccm 내지 5sccm의 유량 및 RF 파워 50W 내지 550W의 범위에서 수행되는 플라즈마 처리공정으로부터 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, in the method of forming a nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention, the silicon oxynitride layer is a plasma treatment performed at a flow rate of 1.5 sccm to 5 sccm of nitrous oxide (N 2 O) gas and RF power of 50 W to 550 W. It is formed from a process.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자의 형성방법에서 실리콘 산질화막은 상기 나노결정 실리콘막과 동일한 온도에서 형성되는 것을 특징으로 한다.In the method of forming a nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention, the silicon oxynitride film is formed at the same temperature as the nanocrystalline silicon film.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자의 형성방법에서 상기 실리콘 산질화막은 2.0nm 내지 3.0nm의 두께로 형성되는 것을 특징으로 한다.Further, in the method of forming a nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention, the silicon oxynitride layer is formed to a thickness of 2.0 nm to 3.0 nm.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명의 일 실시예에 따른 나노결정 실리콘막 구조체를 구비하는 비휘발성 메모리 소자는 기판 상에 배치된 버퍼막, 상기 버퍼막 상에 배치된 게이트 전극, 상기 기판 상에 배치되어 상기 게이트 전극을 덮는 다층절연막, 실리콘과 수소의 각각을 함유하는 가스를 이용한 플라즈마 증착 기술로 상기 다층절연막 상에 배치된 제1나노결정 실리콘막 및 상기 게이트 전극 상부에 배치된 상기 제1나노결정 실리콘막의 일부를 노출시키도록 상기 제1나노결정 실리콘막 상에 이격하여 배치된 소오스 전극 및 드레인 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a nonvolatile memory device including a nanocrystalline silicon film structure according to an embodiment of the present invention includes a buffer film disposed on a substrate, a gate electrode disposed on the buffer film, and disposed on the substrate. To cover the gate electrode, a first nanocrystalline silicon film disposed on the multilayer insulating film and a first nanocrystal disposed on the gate electrode by a plasma deposition technique using a gas containing silicon and hydrogen, respectively. And source and drain electrodes spaced apart from each other on the first nanocrystalline silicon film to expose a portion of the silicon film.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자에서 상기 제1나노결정 실리콘막의 두께는 40nm 내지 60nm인 것을 특징으로 한다.In addition, the thickness of the first nanocrystalline silicon film in the nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention is characterized in that the 40nm to 60nm.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자에서 상기 다층절연막은 상기 게이트 전극을 갖는 상기 기판 상에 배치된 블로킹 절연막, 상기 블로킹 절연막 상에 배치된 전하저장막 및 상기 전하저장막 상에 배치된 터널링 절연막을 포함하는 것을 특징으로 한다.Further, in the nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention, the multilayer insulating film may include a blocking insulating film disposed on the substrate having the gate electrode, a charge storage film disposed on the blocking insulating film, and the charge storage film. It characterized in that it comprises a tunneling insulating film disposed.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자에서 상기 블로킹 절연막 및 상기 전하저장막의 각각은 실리콘 산화막 또는 실리콘 질화막인 것을 특징으로 한다.In the nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention, each of the blocking insulating film and the charge storage film is a silicon oxide film or a silicon nitride film.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자에서 상기 실리콘 질화막의 두께는 15nm 내지 25nm의 범위이고, 상기 실리콘 산화막의 두께는 5nm 내지 15nm인 것을 특징으로 한다.In addition, the thickness of the silicon nitride film in the nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention is in the range of 15nm to 25nm, the thickness of the silicon oxide film is characterized in that 5nm to 15nm.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자에서 상기 터널링 절연막은 실리콘 산질화막인 것을 특징으로 한다.Further, in the nonvolatile memory device according to the embodiment of the present invention, the tunneling insulating film is characterized in that the silicon oxynitride film.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자에서 상기 실리콘 산질화막의 두께는 2.0nm 내지 3.0nm인 것을 특징으로 한다.In addition, the thickness of the silicon oxynitride layer in the nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention is characterized in that the 2.0nm to 3.0nm.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 플라즈마 증착 기술을 이용한 나노결정 실리콘막 구조체, 그의 형성방법, 나노결정 실리콘막 구조체를 구비하는 비휘발성 메모리 소자 및 그의 형성방법에 의하면, 종래기술에서와 같은 후처리 공정을 수행하지 않고 플라즈마 기상 증착법으로 유리기판 상에 나노결정 실리콘막을 직접 증착함으로써 비휘발성 메모리 소자의 제조공정을 줄여 제조단가를 낮출 수 있다는 효과가 얻어진다.As described above, the nanocrystalline silicon film structure using the plasma deposition technique according to the present invention, a method for forming the same, a nonvolatile memory device having the nanocrystalline silicon film structure and the method for forming the same, according to the post-treatment as in the prior art By directly depositing the nanocrystalline silicon film on the glass substrate by the plasma vapor deposition without performing the process, the manufacturing cost of the nonvolatile memory device can be reduced, thereby reducing the manufacturing cost.

또한, 본 발명에 따른 플라즈마 증착 기술을 이용한 나노결정 실리콘막 구조체, 그의 형성방법, 나노결정 실리콘막 구조체를 구비하는 비휘발성 메모리 소자 및 그의 형성방법에 의하면, 플라즈마 증착 장비 내에서 진공 상태를 깨뜨리지 않고 나노결정 실리콘 박막과 다층 절연막을 연속적으로 직접 증착할 수 있다는 효과가 있다.Further, according to the present invention, the nanocrystalline silicon film structure, the method of forming the same, the nonvolatile memory device including the nanocrystalline silicon film structure, and the method of forming the same, without breaking the vacuum state in the plasma deposition equipment There is an effect that can directly and directly deposit the nanocrystalline silicon thin film and the multilayer insulating film.

또한, 본 발명에 따른 플라즈마 증착 기술을 이용한 나노결정 실리콘막 구조체, 그의 형성방법, 나노결정 실리콘막 구조체를 구비하는 비휘발성 메모리 소자 및 그의 형성방법에 의하면, 종래기술보다 낮은 온도 분위기의 플라즈마 증착 장치 내에서 나노결정 실리콘막 구조체 및 다층 절연막을 형성함으로서 비휘발성 메모리 소자에 가해지는 손상을 줄일 수 있다는 효과가 있다.Further, according to the present invention, the nanocrystalline silicon film structure, the method of forming the same, the nonvolatile memory device including the nanocrystalline silicon film structure, and the method of forming the same, the plasma deposition apparatus of a lower temperature atmosphere than the prior art By forming the nanocrystalline silicon film structure and the multilayer insulating film therein, there is an effect that damage to the nonvolatile memory device can be reduced.

본 발명의 상기 및 그 밖의 목적과 새로운 특징은 본 명세서의 기술 및 첨부 도면에 의해 더욱 명확하게 될 것이다.These and other objects and novel features of the present invention will become more apparent from the description of the present specification and the accompanying drawings.

이하, 도 2a 내지 2e를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자의 형성방법을 상세하게 설명하기로 한다. 도 2a 내지 2e는 본 발명의 일 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자의 형성방법을 도시한 단면도들이다.Hereinafter, a method of forming a nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 2A to 2E. 2A through 2E are cross-sectional views illustrating a method of forming a nonvolatile memory device in accordance with an embodiment of the present invention.

도 2a를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자의 형성방법은 기판(21) 상에 차례로 버퍼막(23) 및 나노결정 실리콘막(25a)을 형성하는 것을 포함한다. 상기 기판(21)은 유리기판인 것이 바람직하다. 상기 버퍼막(23)은 실리콘 질화막 및 실리콘 산화막 중에서 선택된 어느 하나의 막으로 형성되거나, 이들의 적층막으로 형성될 수 있다. 상기 버퍼막(23)은 열팽창 및 다른 박막과의 계면 상태 등을 고려하여 기판(21)상에 실리콘 질화막 및 실리콘 산화막이 차례로 형성된 적층막인 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 실리콘 질화막은 170nm 내지 230nm로 형성되고, 상기 실리콘 산화막은 70nm 내지 130nm로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 2A, a method of forming a nonvolatile memory device according to an exemplary embodiment of the present invention includes forming a buffer layer 23 and a nanocrystalline silicon layer 25a on a substrate 21 in order. The substrate 21 is preferably a glass substrate. The buffer film 23 may be formed of any one selected from a silicon nitride film and a silicon oxide film, or may be formed of a stacked film thereof. The buffer film 23 is preferably a laminated film in which a silicon nitride film and a silicon oxide film are sequentially formed on the substrate 21 in consideration of thermal expansion and an interface state with another thin film. In this case, the silicon nitride film may be formed of 170 nm to 230 nm, and the silicon oxide film may be formed of 70 nm to 130 nm.

상기 나노결정 실리콘막(25a)은 플라즈마 증착방법, 예를 들어 PECVD(Plasma Enhanced Chemcial Vapor Deposition) 또는 ICP-CVD(Inductively coupled plasma CVD) 방법으로 형성할 수 있다. 이 경우, 상기 나노결정 실리콘막(25a)은 실 란(SiH4) 가스 및 수소(H2) 가스를 이용하여 형성될 수 있다. 상기 수소의 함량이 증가할수록 나노결정 실리콘막(25a)의 결정화 특성은 향상되나 버퍼막(23)에 증착되는 비율이 줄어드는 단점을 갖는다. 따라서, 상기 나노결정 실리콘막(25a)은 실란(SiH4) 가스 1sccm 내지 10sccm 및 수소(H2) 가스 90sccm 내지 99sccm에서 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 나노결정 실리콘막(25a)은 250℃ 내지 350℃의 온도범위에서 형성되는 것이 바람직하다.The nanocrystalline silicon film 25a may be formed by a plasma deposition method, for example, plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) or inductively coupled plasma CVD (ICP-CVD). In this case, the nanocrystalline silicon film 25a may be formed using a silane (SiH 4 ) gas and a hydrogen (H 2 ) gas. As the hydrogen content increases, the crystallization characteristic of the nanocrystalline silicon film 25a is improved, but the ratio of deposition on the buffer film 23 decreases. Therefore, the nanocrystalline silicon film 25a is preferably formed at 1 sccm to 10 sccm of silane (SiH 4 ) gas and 90 sccm to 99 sccm of hydrogen (H 2 ) gas. In addition, the nanocrystalline silicon film 25a is preferably formed in a temperature range of 250 ℃ to 350 ℃.

상기 비휘발성 메모리 소자가 평판형 디스플레이의 구동소자로 사용되는 경우에, 상기 나노결정 실리콘막(25a)의 두께가 두꺼울수록 구동전류의 밀도 및 누설전류는 증가하게 된다. 따라서, 상기 나노결정 실리콘막(25a)은 구동전류 및 누설전류 특성을 고려하여 40nm 내지 60nm의 두께로 형성될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서 상기 나노결정 실리콘막(25a)은 50nm의 두께를 갖는 것이 바람직하다.When the nonvolatile memory device is used as a driving device of a flat panel display, the thicker the nanocrystalline silicon film 25a is, the higher the density and leakage current of the driving current is. Therefore, the nanocrystalline silicon film 25a may be formed to a thickness of 40 nm to 60 nm in consideration of driving current and leakage current characteristics. In one embodiment of the present invention, the nanocrystalline silicon film 25a preferably has a thickness of 50 nm.

도 2b를 참조하면, 상기 나노결정 실리콘막(25a) 상에 터널링 절연막(27a)을 형성한다. 상기 터널링 절연막(27a)은 실리콘 산질화막인 것이 바람직하다. 상기 실리콘 산질화막은 나노결정 실리콘막(25a)을 갖는 기판(21)에 아산화질소(N2O) 가스를 침투시켜 나노결정 실리콘막(25a)의 표면을 개질시키는 것으로 형성될 수 있다. 상기 실리콘 산질화막은 나노결정 실리콘막(25a)을 형성하는 플라즈마 장치와 동일한 장치 내에서 형성될 수 있다. 상기 실리콘 산질화막은 1.5sccm 내지 5sccm 유량의 아산화질소 가스, 50W 내지 550W의 RF파워 및 250℃ 내지 350℃의 온도에서 형성될 수 있다.Referring to FIG. 2B, a tunneling insulating layer 27a is formed on the nanocrystalline silicon film 25a. The tunneling insulating film 27a is preferably a silicon oxynitride film. The silicon oxynitride film may be formed by modifying the surface of the nanocrystalline silicon film 25a by infiltrating nitrous oxide (N 2 O) gas into the substrate 21 having the nanocrystalline silicon film 25a. The silicon oxynitride film may be formed in the same device as the plasma device forming the nanocrystalline silicon film 25a. The silicon oxynitride film may be formed at a nitrous oxide gas at a flow rate of 1.5 sccm to 5 sccm, an RF power of 50 W to 550 W, and a temperature of 250 ° C. to 350 ° C.

이 경우, 상기 실리콘 산질화막은 박막의 광학적 및 전기적 특성에 따라 2.5sccm 유량의 아산화질소 가스 및 150W의 RF파워에서 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 실리콘 산질화막은 나노결정 실리콘막(25a)이 형성된 온도와 동일한 온도에서 형성되는 것이 바람직하다. 상기 터널링 절연막(27a)은 막의 두께가 얇을수록 작동전압이 낮아진다는 장점이 있으나, 기억유지 특성이 열화되는 단점 또한 갖는다. 따라서, 상기 터널링 절연막(27a)은 낮은 작동전압 및 기억유지 특성을 향상시키기 위해 2.0nm 내지 3.0nm 사이의 두께로 형성되는 것이 바람직하다.In this case, the silicon oxynitride film is preferably formed in a nitrous oxide gas at a flow rate of 2.5sccm and RF power of 150W according to the optical and electrical properties of the thin film. In addition, the silicon oxynitride film is preferably formed at the same temperature as the temperature at which the nanocrystalline silicon film 25a is formed. The tunneling insulating layer 27a has the advantage that the operating voltage is lower as the thickness of the film is thinner, but also has the disadvantage that the memory holding characteristic is degraded. Therefore, the tunneling insulating layer 27a is preferably formed to have a thickness between 2.0 nm and 3.0 nm to improve low operating voltage and memory retention characteristics.

그 결과, 상기 기판(21), 버퍼막(23), 나노결정 실리콘막(25a) 및 터널링 절연막(27a)은 나노결정 실리콘막 구조체(29)를 형성할 수 있다.As a result, the substrate 21, the buffer layer 23, the nanocrystalline silicon layer 25a and the tunneling insulating layer 27a may form the nanocrystalline silicon layer structure 29.

도 2c를 참조하면, 상기 터널링 절연막(27a) 상에 차례로 전하저장막(31a) 및 블로킹 절연막(33a)을 형성한다. 상기 전하저장막(31a) 및 블로킹 절연막(33a)의 각각은 실리콘 질화막 또는 실리콘 산화막으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 전하저장막(31a)이 실리콘 질화막으로 형성되는 경우에 블로킹 절연막(33a)은 실리콘 산화막으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 전하저장막(31a)이 실리콘 산화막으로 형성되는 경우에 블로킹 절연막(33a)은 실리콘 질화막으로 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 실리콘 질화막은 실란 가스(SiH4):암모니아 가스(NH3)의 유량비가 6:4, 300℃의 온도 및 200W의 RF 파워에서 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 실리콘 산화막은 실란 가스(SiH4):아산화질소 가스(N2O)의 유량비가 6:4, 300℃의 온도 및 250W의 RF 파워에서 형성되는 것이 바람직하다. 상기 실리콘 질화막은 15nm 내지 25nm의 두께로 형성되고, 상기 실리콘 산화막은 5nm 내지 15nm의 두께로 형성되는 것이 바람직하다.Referring to FIG. 2C, the charge storage layer 31a and the blocking insulating layer 33a are sequentially formed on the tunneling insulating layer 27a. Each of the charge storage layer 31a and the blocking insulating layer 33a may be formed of a silicon nitride layer or a silicon oxide layer. For example, when the charge storage layer 31a is formed of a silicon nitride layer, the blocking insulating layer 33a may be formed of a silicon oxide layer. In addition, when the charge storage layer 31a is formed of a silicon oxide layer, the blocking insulating layer 33a may be formed of a silicon nitride layer. In this case, the silicon nitride film is preferably formed at a flow rate ratio of silane gas (SiH 4 ) to ammonia gas (NH 3 ) at a temperature of 6: 4, 300 ° C. and an RF power of 200 W. In addition, the silicon oxide film is preferably formed at a flow rate ratio of silane gas (SiH 4 ) to nitrous oxide gas (N 2 O) at a temperature of 6: 4, 300 ° C. and an RF power of 250 W. The silicon nitride film is formed to a thickness of 15nm to 25nm, the silicon oxide film is preferably formed to a thickness of 5nm to 15nm.

상기 전하저장막(31a)은 블로킹 절연막(33a)과는 다른 물질막인 것이 바람직하다. 상기 블로킹 절연막(33a) 상에 게이트 전극막(35a)이 형성된다. 상기 게이트 전극막(35a)은 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 은(Ag) 및 금(Au) 중에서 선택된 물질로 형성될 수 있다. 또한, 상기 게이트 전극막(35a)은 비정질 실리콘 상에 레이저를 조사하여 상기 비정질 실리콘을 결정화시킴으로써 형성될 수도 있다.The charge storage layer 31a is preferably a material layer different from the blocking insulating layer 33a. A gate electrode film 35a is formed on the blocking insulating film 33a. The gate electrode layer 35a may be formed of a material selected from aluminum (Al), chromium (Cr), silver (Ag), and gold (Au). The gate electrode film 35a may be formed by crystallizing the amorphous silicon by irradiating a laser onto the amorphous silicon.

도 2d 및 2e를 참조하면, 상기 게이트 전극막(35a), 블로킹 절연막(33a), 전하저장막(31a) 및 터널링 절연막(27a)을 차례로 패터닝하여 나노결정 실리콘막(25a)의 상부 일부를 노출시킨다. 상기 패터닝 공정은 당업자에게 잘 알려져 있으므로 그 자세한 설명을 생략하기로 한다.2D and 2E, the gate electrode layer 35a, the blocking insulating layer 33a, the charge storage layer 31a, and the tunneling insulating layer 27a are sequentially patterned to expose a portion of the upper portion of the nanocrystalline silicon layer 25a. Let's do it. Since the patterning process is well known to those skilled in the art, a detailed description thereof will be omitted.

따라서, 상기 게이트 전극막(35a), 블로킹 절연막(33a), 전하저장막(31a) 및 터널링 절연막(27a)은 각각 게이트 전극막 패턴(35), 블로킹 절연막 패턴(33), 전하저장막 패턴(31) 및 터널링 절연막 패턴(27)으로 형성될 수 있다. 그 결과, 상기 게이트 전극막 패턴(35), 블로킹 절연막 패턴(33), 전하저장막 패턴(31) 및 터널링 절연막 패턴(27)은 게이트 패턴(37)을 형성한다.Therefore, the gate electrode film 35a, the blocking insulating film 33a, the charge storage film 31a, and the tunneling insulating film 27a are respectively formed by the gate electrode film pattern 35, the blocking insulating film pattern 33, and the charge storage film pattern ( 31) and the tunneling insulating layer pattern 27. As a result, the gate electrode film pattern 35, the blocking insulating film pattern 33, the charge storage film pattern 31, and the tunneling insulating film pattern 27 form a gate pattern 37.

상기 게이트 패턴(37) 하부의 나노결정 실리콘막(25a)을 채널 영역(25)으로 한정하고, 상기 게이트 패턴(37)을 마스크로 하여 노출된 나노결정 실리콘막(25a)에 이온주입 공정을 수행하여 소오스 영역(39) 및 드레인 영역(41)을 형성한다. 그 결과, 본 발명의 일 실시예에 따른 톱 게이트형(top gate type) 비휘발성 메모리 소자(50)를 형성할 수 있다.The nanocrystalline silicon film 25a under the gate pattern 37 is limited to the channel region 25, and an ion implantation process is performed on the exposed nanocrystalline silicon film 25a using the gate pattern 37 as a mask. The source region 39 and the drain region 41 are formed. As a result, a top gate type nonvolatile memory device 50 according to an embodiment of the present invention can be formed.

다음으로, 도 3a 내지 도 3f는 본 발명의 다른 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자의 형성방법을 설명하기로 한다. 도 3a 내지 도 3f는 본 발명의 다른 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자의 형성방법을 도시한 단면도들이다.Next, FIGS. 3A to 3F illustrate a method of forming a nonvolatile memory device according to another exemplary embodiment of the present invention. 3A to 3F are cross-sectional views illustrating a method of forming a nonvolatile memory device according to another exemplary embodiment of the present invention.

도 3a 및 도3b를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자의 형성방법은 기판(51) 상에 버퍼막(53)을 형성하는 것을 포함한다. 상기 기판(51)은 유리기판인 것이 바람직하다. 상기 버퍼막(53)은 실리콘 질화막 및 실리콘 산화막 중에서 선택된 어느 하나의 막으로 형성되거나, 이들의 적층막으로 형성될 수 있다. 상기 버퍼막(53)은 열팽창 및 다른 박막과의 계면 상태 등을 고려하여 기판(51)상에 실리콘 질화막 및 실리콘 산화막이 차례로 형성되는 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 실리콘 질화막은 170nm 내지 230nm로 형성되고, 상기 실리콘 산화막은 70nm 내지 130nm로 형성될 수 있다.3A and 3B, a method of forming a nonvolatile memory device according to another embodiment of the present invention includes forming a buffer film 53 on a substrate 51. The substrate 51 is preferably a glass substrate. The buffer film 53 may be formed of any one selected from a silicon nitride film and a silicon oxide film, or a stacked film thereof. In the buffer film 53, a silicon nitride film and a silicon oxide film are sequentially formed on the substrate 51 in consideration of thermal expansion and an interface state with another thin film. In this case, the silicon nitride film may be formed of 170 nm to 230 nm, and the silicon oxide film may be formed of 70 nm to 130 nm.

상기 버퍼막(53) 상에 게이트 전극막(55a)이 형성되고, 상기 게이트 전극막(55a)을 패터닝하여 게이트 전극(55)을 형성한다. 상기 게이트 전극(55)은 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 은(Ag) 및 금(Au) 중에서 선택된 어느 하나의 물질로 형성될 수 있다. 또한, 상기 게이트 전극막(55a)은 비정질 실리콘 상에 레이저를 조사하여 상기 비정질 실리콘을 결정화시킴으로써 형성될 수도 있다.A gate electrode film 55a is formed on the buffer film 53, and the gate electrode film 55a is patterned to form a gate electrode 55. The gate electrode 55 may be formed of any one material selected from aluminum (Al), chromium (Cr), silver (Ag), and gold (Au). In addition, the gate electrode film 55a may be formed by crystallizing the amorphous silicon by irradiating a laser onto the amorphous silicon.

도 3c 및 도 3d를 참조하면, 상기 게이트 전극(55)을 갖는 기판(51) 상에 블로킹 절연막(57) 및 전하저장막(59)이 차례로 적층되어 형성된다. 상기 블로킹 절연막(57) 및 전하저장막(59)의 각각은 실리콘 질화막 또는 실리콘 산화막으로 형성 될 수 있다. 예를 들어, 상기 블로킹 절연막(57)이 실리콘 질화막으로 형성되는 경우에 전하저장막(59)은 실리콘 산화막으로 형성될 수 있다. 또한, 상기 블로킹 절연막(57)이 실리콘 산화막으로 형성되는 경우에 전하저장막(59)은 실리콘 질화막으로 형성될 수 있다. Referring to FIGS. 3C and 3D, a blocking insulating layer 57 and a charge storage layer 59 are sequentially stacked on the substrate 51 having the gate electrode 55. Each of the blocking insulating layer 57 and the charge storage layer 59 may be formed of a silicon nitride layer or a silicon oxide layer. For example, when the blocking insulating layer 57 is formed of a silicon nitride layer, the charge storage layer 59 may be formed of a silicon oxide layer. In addition, when the blocking insulating layer 57 is formed of a silicon oxide layer, the charge storage layer 59 may be formed of a silicon nitride layer.

이 경우, 상기 실리콘 질화막은 실란 가스(SiH4):암모니아 가스(NH3)의 유량비가 6:4, 300℃의 온도 및 200W의 RF 파워에서 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 실리콘 산화막은 실란 가스(SiH4):아산화질소 가스(N2O)의 유량비가 6:4, 300℃의 온도 및 250W의 RF 파워에서 형성되는 것이 바람직하다. 상기 실리콘 질화막은 15nm 내지 25nm의 두께로 형성되고, 상기 실리콘 산화막은 5nm 내지 15nm의 두께로 형성되는 것이 바람직하다. 상기 전하저장막(59)은 블로킹 절연막(57)과는 다른 물질막인 것이 바람직하다.In this case, the silicon nitride film is preferably formed at a flow rate ratio of silane gas (SiH 4 ) to ammonia gas (NH 3 ) at a temperature of 6: 4, 300 ° C. and an RF power of 200 W. In addition, the silicon oxide film is preferably formed at a flow rate ratio of silane gas (SiH 4 ) to nitrous oxide gas (N 2 O) at a temperature of 6: 4, 300 ° C. and an RF power of 250 W. The silicon nitride film is formed to a thickness of 15nm to 25nm, the silicon oxide film is preferably formed to a thickness of 5nm to 15nm. The charge storage film 59 is preferably a material film different from the blocking insulating film 57.

상기 전하저장막(59) 상에 초미세 나노결정 실리콘막(61a)이 형성된다. 상기 초미세 나노결정 실리콘막(61a)은 플라즈마 증착방법, 예를 들어 PECVD(Plasma Enhanced Chemcial Vapor Deposition) 또는 ICP-CVD(Inductively coupled plasma CVD) 방법으로 형성할 수 있다. 이 경우, 상기 초미세 나노결정 실리콘막(61a)은 실란(SiH4) 가스 및 수소(H2) 가스를 이용하여 형성될 수 있다. 상기 초미세 나노결정 실리콘막(61a)은 실란(SiH4) 가스 1sccm 내지 10sccm 및 수소(H2) 가스 90sccm 내지 99sccm에서 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 초미세 나노결정 실리콘막(61a)은 250℃ 내지 350℃의 온도범위에서 형성되는 것이 바람직히다. 상기 초미 세 나노결정 실리콘막(61a)은 2.0nm 내지 3.0nm의 두께로 형성될 수 있다.An ultrafine nanocrystalline silicon film 61a is formed on the charge storage layer 59. The ultrafine nanocrystalline silicon film 61a may be formed by a plasma deposition method, for example, a plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) method or an inductively coupled plasma CVD (ICP-CVD) method. In this case, the ultrafine nanocrystalline silicon film 61a may be formed using a silane (SiH 4 ) gas and a hydrogen (H 2 ) gas. The ultrafine nanocrystalline silicon film 61a may be formed of 1 sccm to 10 sccm of silane (SiH 4 ) gas and 90 sccm to 99 sccm of hydrogen (H 2 ) gas. In addition, the ultra-fine nanocrystalline silicon film 61a is preferably formed in a temperature range of 250 ℃ to 350 ℃. The ultrafine nanocrystalline silicon film 61a may be formed to a thickness of 2.0 nm to 3.0 nm.

상기 초미세 나노결정 실리콘막(61a)을 개질하여 터널링 절연막(61)을 형성하기 위하여 상기 초미세 나노결정 실리콘막(61a) 상에 플라즈마 처리공정이 수행된다. 상기 플라즈마 처리공정은 1.5sccm 내지 5.0sccm 유량의 아산화질소(N2O), 50W 내지 550W의 RF파워 및 250℃ 내지 350℃의 온도범위 내에서 수행될 수 있다. 이 경우, 상기 플라즈마 처리공정은 2.5sccm 유량의 아산화질소(N2O), 150W의 RF파워 및 300℃의 온도에서 수행되는 것이 바람직하다. 그 결과, 상기 터널링 절연막(61)은 초미세 나노결정 실리콘막(61a)과 동일한 두께를 갖는 실리콘 산질화막으로 형성될 수 있다.Plasma treatment is performed on the ultrafine nanocrystalline silicon film 61a to modify the ultrafine nanocrystalline silicon film 61a to form a tunneling insulating layer 61. The plasma treatment process may be performed in a range of 1.5 sccm to 5.0 sccm of nitrous oxide (N 2 O), RF power of 50W to 550W, and a temperature range of 250 ° C to 350 ° C. In this case, the plasma treatment process is preferably carried out at nitrous oxide (N 2 O) at a flow rate of 2.5sccm, RF power of 150W and a temperature of 300 ℃. As a result, the tunneling insulating layer 61 may be formed of a silicon oxynitride layer having the same thickness as the ultrafine nanocrystalline silicon layer 61a.

이하에서, 상기 게이트 전극(55)을 갖는 기판(51) 상에 차례로 적층된 블로킹 절연막(57), 전하저장막(59) 및 터널링 절연막(61)을 다층절연막(63)이라 칭한다.Hereinafter, the blocking insulating layer 57, the charge storage layer 59, and the tunneling insulating layer 61 that are sequentially stacked on the substrate 51 having the gate electrode 55 will be referred to as a multilayer insulating layer 63.

도 3e 및 도 3f를 참조하면, 상기 다층절연막(63) 상에 제1나노결정 실리콘막(65)을 형성한다. 상기 제1나노결정 실리콘막(65)은 초미세 나노결정 실리콘막(61a, 이하에서 제2나노결정 실리콘막이라 칭함.)과 동일한 증착장비에서 형성될 수 있다. 상기 제1나노결정 실리콘막(65)은 제2나노결정 실리콘막(61a)이 형성된 온도와 동일한 온도에서 형성되는 것이 바람직하다. 상기 제1나노결정 실리콘막(65)은 40nm 내지 60nm의 범위내에서 형성될 수 있다. 상기 비휘발성 메모리 소자가 평판형 디스플레이의 구동소자로 사용되는 경우에, 상기 제1나노결정 실리콘 막(65)의 두께가 두꺼울수록 구동전류의 밀도가 증가한다는 장점이 있으나, 이에 따른 누설전류 특성 역시 열화된다는 단점도 있다. 따라서, 상기 제1나노결정 실리콘막(65)은 구동전류 및 누설전류 특성을 고려하여 50nm의 두께를 갖는 것이 바람직하다.3E and 3F, a first nanocrystalline silicon film 65 is formed on the multilayer insulating film 63. The first nanocrystalline silicon film 65 may be formed in the same deposition apparatus as the ultrafine nanocrystalline silicon film 61a (hereinafter referred to as a second nanocrystalline silicon film). The first nanocrystalline silicon film 65 is preferably formed at the same temperature as the temperature at which the second nanocrystalline silicon film 61a is formed. The first nanocrystalline silicon film 65 may be formed within a range of 40 nm to 60 nm. When the nonvolatile memory device is used as a driving device of a flat panel display, the thicker the first nanocrystalline silicon film 65 has the advantage that the driving current density increases, but the leakage current characteristics are also increased. There is also a disadvantage of deterioration. Therefore, the first nanocrystalline silicon film 65 preferably has a thickness of 50 nm in consideration of driving current and leakage current characteristics.

상기 제1나노결정 실리콘막(65) 상에 금속전극막(67)을 형성한다. 상기 금속전극막(67)은 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 은(Ag) 및 금(Au) 중에서 선택된 어느 하나의 물질로 형성될 수 있다. 또한, 상기 게이트 전극막(55a)은 비정질 실리콘 상에 레이저를 조사하여 상기 비정질 실리콘을 결정화시킴으로써 형성될 수도 있다. 상기 금속전극막(67)에 당업자에게 잘 알려진 패터닝 공정을 수행함으로써 소오스 전극(69) 및 드레인 전극(71)을 형성한다. 그 결과, 본 발명의 다른 실시예에 따라 바텀 게이트형(bottom gate type) 비휘발성 메모리 소자(100)를 형성할 수 있다.A metal electrode film 67 is formed on the first nanocrystalline silicon film 65. The metal electrode layer 67 may be formed of any one material selected from aluminum (Al), chromium (Cr), silver (Ag), and gold (Au). In addition, the gate electrode film 55a may be formed by crystallizing the amorphous silicon by irradiating a laser onto the amorphous silicon. The source electrode 69 and the drain electrode 71 are formed by performing a patterning process well known to those skilled in the art on the metal electrode film 67. As a result, a bottom gate type nonvolatile memory device 100 may be formed in accordance with another embodiment of the present invention.

다음으로, 도 2e를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자의 구조에 대하여 설명하기로 한다.Next, a structure of a nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 2E.

도 2e를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 톱 게이트형 비휘발성 메모리 소자(50)는 기판(21) 상에 배치된 버퍼막(23)을 포함한다. 상기 기판(21)은 유기기판인 것이 바람직하다. 상기 버퍼막(23)은 실리콘 질화막 및 실리콘 산화막 중에서 선택된 어느 하나의 막이거나, 이들의 적층막일 수 있다. 상기 버퍼막(23)은 열팽창 및 다른 박막과의 계면 상태 등을 고려하여 기판(21)상에 실리콘 질화막 및 실리콘 산화막이 차례로 적층된 이중막인 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 실리콘 질화막은 170nm 내지 230nm로 형성되고, 상기 실리콘 산화막은 70nm 내지 130nm로 형성될 수 있다. 상기 버퍼막(23) 상에 실리콘과 수소의 각각을 함유하는 가스를 이용한 플라즈마 증착 기술로 나노결정 실리콘막(25a)이 배치된다. 상기 나노결정 실리콘막(25a)은 40nm 내지 60nm의 두께로 형성될 수 있다.Referring to FIG. 2E, the top gate type nonvolatile memory device 50 according to the exemplary embodiment of the present invention includes a buffer layer 23 disposed on the substrate 21. The substrate 21 is preferably an organic substrate. The buffer film 23 may be any one selected from a silicon nitride film and a silicon oxide film, or a stacked film thereof. The buffer film 23 is preferably a double film in which a silicon nitride film and a silicon oxide film are sequentially stacked on the substrate 21 in consideration of thermal expansion and an interface state with another thin film. In this case, the silicon nitride film may be formed of 170 nm to 230 nm, and the silicon oxide film may be formed of 70 nm to 130 nm. The nanocrystalline silicon film 25a is disposed on the buffer film 23 by a plasma deposition technique using a gas containing silicon and hydrogen. The nanocrystalline silicon film 25a may be formed to a thickness of 40nm to 60nm.

상기 비휘발성 메모리 소자(50)가 평판형 디스플레이의 구동소자로 사용되는 경우에, 상기 나노결정 실리콘막(25a)의 두께가 두꺼울수록 구동전류의 밀도가 증가한다는 장점이 있으나, 이에 따른 누설전류 특성이 열화된다는 단점도 있다. 따라서, 상기 나노결정 실리콘막(25a)은 구동전류 및 누설전류 특성을 고려하여 50nm의 두께를 갖는 것이 바람직하다.When the nonvolatile memory device 50 is used as a driving device of a flat panel display, the thicker the nanocrystalline silicon film 25a has the advantage that the density of the driving current increases. There is also a disadvantage of this deterioration. Therefore, the nanocrystalline silicon film 25a preferably has a thickness of 50 nm in consideration of driving current and leakage current characteristics.

상기 나노결정 실리콘막(25a) 상에 차례로 적층된 터널링 절연막 패턴(27), 전하저장막 패턴(31), 블로킹 절연막 패턴(33) 및 게이트 전극막 패턴(35)을 갖는 게이트 패턴(37)이 배치된다. 상기 터널링 절연막 패턴(27)은 실리콘 산질화막인 것이 바람직하다. 상기 터널링 절연막(27a)은 막의 두께가 얇을수록 작동전압이 낮아진다는 장점이 있으나, 기억유지 특성이 열화된다는 단점도 있다. 따라서, 상기 터널링 절연막(27a)은 낮은 작동전압 및 기억유지 특성을 향상시키기 위해 2.0nm 내지 3.0nm 사이의 두께를 갖는 것이 바람직하다.A gate pattern 37 having a tunneling insulating film pattern 27, a charge storage film pattern 31, a blocking insulating film pattern 33, and a gate electrode film pattern 35 stacked on the nanocrystalline silicon film 25a in turn may be formed. Is placed. The tunneling insulating film pattern 27 is preferably a silicon oxynitride film. The tunneling insulating layer 27a has the advantage that the operating voltage is lower as the thickness of the film is thinner. However, the tunneling insulating layer 27a has a disadvantage that the memory holding characteristic is deteriorated. Therefore, the tunneling insulating layer 27a preferably has a thickness between 2.0 nm and 3.0 nm in order to improve low operating voltage and memory retention characteristics.

상기 터널링 절연막 패턴(27) 상에 전하저장막 패턴(31) 및 블로킹 절연막 패턴(33)이 차례로 적층되어 배치되어 있다. 상기 전하저장막 패턴(31) 및 블로킹 절연막 패턴(33)의 각각은 실리콘 질화막 또는 실리콘 산화막일 수 있다. 예를 들어, 상기 전하저장막 패턴(31)이 실리콘 질화막인 경우에 블로킹 절연막 패턴(33)은 실리콘 산화막일 수 있다. 또한, 상기 전하저장막 패턴(31)이 실리콘 산화막인 경우에 블로킹 절연막 패턴(33)은 실리콘 질화막일 수 있다. 상기 실리콘 질화막의 두께는 15nm 내지 25nm이고, 상기 실리콘 산화막의 두께는 5nm 내지 15nm인 것이 바람직하다. 상기 전하저장막 패턴(31)은 블로킹 절연막 패턴(33)과는 다른 물질막인 것이 바람직하다. 상기 게이트 전극막 패턴(35)은 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 은(Ag) 및 금(Au) 중에서 선택된 물질일 수 있다. 또한, 상기 게이트 전극막 패턴(35)은 다결정 실리콘막으로 배치될 수 있다.The charge storage layer pattern 31 and the blocking insulation layer pattern 33 are sequentially stacked on the tunneling insulation layer pattern 27. Each of the charge storage layer pattern 31 and the blocking insulating layer pattern 33 may be a silicon nitride layer or a silicon oxide layer. For example, when the charge storage layer pattern 31 is a silicon nitride layer, the blocking insulating layer pattern 33 may be a silicon oxide layer. In addition, when the charge storage layer pattern 31 is a silicon oxide layer, the blocking insulating layer pattern 33 may be a silicon nitride layer. The silicon nitride film has a thickness of 15 nm to 25 nm, and the silicon oxide film has a thickness of 5 nm to 15 nm. The charge storage layer pattern 31 may be a material layer different from that of the blocking insulation layer pattern 33. The gate electrode layer pattern 35 may be a material selected from aluminum (Al), chromium (Cr), silver (Ag), and gold (Au). In addition, the gate electrode layer pattern 35 may be arranged as a polycrystalline silicon layer.

상기 게이트 패턴(37) 하부의 나노결정 실리콘막(25a)을 채널 영역(25)으로 한정하고, 상기 채널 영역(25)의 외측에 배치된 나노결정 실리콘막(25a) 상에 불순물이 주입된 소오스 영역(39) 및 드레인 영역(41)이 배치된다.A source in which the nanocrystalline silicon film 25a under the gate pattern 37 is limited to the channel region 25 and impurities are implanted on the nanocrystalline silicon film 25a disposed outside the channel region 25. The region 39 and the drain region 41 are disposed.

다음으로, 도 3f를 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자의 구조에 대하여 설명하기로 한다.Next, a structure of a nonvolatile memory device according to another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 3F.

도 3f에 도시한 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자(100)은 기판(51) 상에 배치된 버퍼막(53)을 포함한다. 상기 기판(51)은 유리기판인 것이 바람직하다. 상기 버퍼막(53)은 실리콘 질화막 및 실리콘 산화막 중에서 선택된 어느 하나의 막이거나, 이들의 적층막일 수 있다. 상기 버퍼막(53)은 열팽창 및 다른 박막과의 계면 상태 등을 고려하여 기판(51)상에 실리콘 질화막 및 실리콘 산화막이 차례로 적층된 이중막인 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 실리콘 질화막은 170nm 내지 230nm로 형성되고, 상기 실리콘 산화막은 70nm 내지 130nm로 형성될 수 있다.As shown in FIG. 3F, the nonvolatile memory device 100 according to another embodiment of the present invention includes a buffer film 53 disposed on the substrate 51. The substrate 51 is preferably a glass substrate. The buffer film 53 may be any one selected from a silicon nitride film and a silicon oxide film, or a stacked film thereof. The buffer film 53 is preferably a double film in which a silicon nitride film and a silicon oxide film are sequentially stacked on the substrate 51 in consideration of thermal expansion and an interface state with another thin film. In this case, the silicon nitride film may be formed of 170 nm to 230 nm, and the silicon oxide film may be formed of 70 nm to 130 nm.

상기 버퍼막(53) 상에 게이트 전극(55)이 배치된다. 상기 게이트 전극(55)은 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 은(Ag) 및 금(Au) 중에서 선택된 어느 하나의 물질일 수 있다. 또한, 상기 게이트 전극막(55a)은 비정질 실리콘 상에 레이저를 조사하여 형성된 다결정 실리콘막일 수 있다.The gate electrode 55 is disposed on the buffer layer 53. The gate electrode 55 may be any one material selected from aluminum (Al), chromium (Cr), silver (Ag), and gold (Au). In addition, the gate electrode film 55a may be a polycrystalline silicon film formed by irradiating a laser on amorphous silicon.

상기 게이트 전극(55)을 갖는 기판(51) 상에 블로킹 절연막(57) 및 전하저장막(59)이 차례로 적층되어 배치된다. 상기 블로킹 절연막(57) 및 전하저장막(59)의 각각은 실리콘 질화막 또는 실리콘 산화막으로 배치될 수 있다. 예를 들어, 상기 블로킹 절연막(57)이 실리콘 질화막인 경우에 전하저장막(59)은 실리콘 산화막일 수 있다. 또한, 상기 블로킹 절연막(57)이 실리콘 산화막인 경우에 전하저장막(59)은 실리콘 질화막일 수 있다. 상기 실리콘 질화막의 두께는 15nm 내지 25nm의 범위이고, 상기 실리콘 산화막의 두께는 5nm 내지 15nm인 것이 바람직하다. 상기 전하저장막(59)은 블로킹 절연막(57)과는 다른 물질막인 것이 바람직하다.The blocking insulating film 57 and the charge storage film 59 are sequentially stacked on the substrate 51 having the gate electrode 55. Each of the blocking insulating layer 57 and the charge storage layer 59 may be formed of a silicon nitride layer or a silicon oxide layer. For example, when the blocking insulating layer 57 is a silicon nitride layer, the charge storage layer 59 may be a silicon oxide layer. In addition, when the blocking insulating layer 57 is a silicon oxide layer, the charge storage layer 59 may be a silicon nitride layer. The thickness of the silicon nitride film is in the range of 15nm to 25nm, the thickness of the silicon oxide film is preferably 5nm to 15nm. The charge storage film 59 is preferably a material film different from the blocking insulating film 57.

상기 전하저장막(59) 상에 제1나노결정 실리콘막(65)이 배치된다. 상기 제1나노결정 실리콘막(65)의 두께는 40nm 내지 60nm의 범위 내일 수 있다. 상기 비휘발성 메모리 소자(100)가 평판형 디스플레이의 구동소자로 사용되는 경우에, 상기 제1나노결정 실리콘막(65)의 두께가 두꺼울수록 구동전류의 밀도는 증가하나 이에 따른 누설전류 특성이 열화된다. 따라서, 상기 제1나노결정 실리콘막(65)은 구동전류 및 누설전류 특성을 고려하여 50nm의 두께를 갖는 것이 바람직하다.The first nanocrystalline silicon film 65 is disposed on the charge storage film 59. The thickness of the first nanocrystalline silicon film 65 may be in the range of 40 nm to 60 nm. When the nonvolatile memory device 100 is used as a driving device of a flat panel display, as the thickness of the first nanocrystalline silicon film 65 increases, the density of driving current increases, but the leakage current characteristic deteriorates accordingly. do. Therefore, the first nanocrystalline silicon film 65 preferably has a thickness of 50 nm in consideration of driving current and leakage current characteristics.

상기 전하저장막(59) 및 제1나노결정 실리콘막(65) 사이에 터널링 절연막(61)이 배치된다. 상기 터널링 절연막(61)은 실리콘 산질화막으로 배치될 수 있다. 상기 실리콘 산질화막의 두께는 2.0nm 내지 3.0nm일 수 있다. 상기 실리콘 산 질화막은 전하저장막(59) 및 제1나노결정 실리콘막(65) 사이에 배치된 초미세 나노결정 실리콘막(61a)을 개질하여 배치된 것이 바람직하다. 상기 터널링 절연막(61)의 두께는 초미세 나노결정 실리콘막(61a)의 두께와 동일한 것이 바람직하다.A tunneling insulating layer 61 is disposed between the charge storage layer 59 and the first nanocrystalline silicon layer 65. The tunneling insulating layer 61 may be disposed as a silicon oxynitride layer. The silicon oxynitride layer may have a thickness of about 2.0 nm to about 3.0 nm. The silicon oxynitride film is preferably disposed by modifying the ultrafine nanocrystalline silicon film 61a disposed between the charge storage film 59 and the first nanocrystalline silicon film 65. The thickness of the tunneling insulating layer 61 is preferably the same as the thickness of the ultra-fine nanocrystalline silicon film 61a.

상기 제1나노결정 실리콘막(65) 상에 서로 이격하여 소오스 전극(69) 및 드레인 전극(71)이 배치된다. 상기 소오스 전극(69) 및 드레인 전극(71)의 각각은 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 은(Ag) 및 금(Au) 중에서 선택된 어느 하나의 물질로 배치될 수 있다. 또한, 상기 게이트 전극막(55a)은 비정질 실리콘 상에 레이저를 조사하여 결정화된 다결정 실리콘막으로 배치될 수 있다.The source electrode 69 and the drain electrode 71 are disposed on the first nanocrystalline silicon film 65 to be spaced apart from each other. Each of the source electrode 69 and the drain electrode 71 may be formed of any one material selected from aluminum (Al), chromium (Cr), silver (Ag), and gold (Au). In addition, the gate electrode film 55a may be disposed as a polycrystalline silicon film crystallized by irradiating a laser onto amorphous silicon.

이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시 예들에서는 반도체 소자의 제조를 일예로 하여 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 예들에 한정되는 것은 아니고 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 자기조립 특성을 갖는 나노구조체를 이용한 나노 소자의 제조와 같이 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.Although the invention made by the present inventors has been described in detail with reference to the manufacture of a semiconductor device as an example, the present invention is not limited to the above embodiments and has a self-assembly characteristic in a range that does not depart from the gist thereof. Of course, it can be changed in various ways, such as the production of nano devices using the structure.

도면들에 있어서, 층 및 영역들의 두께는 명확성을 기하기 위하여 과장된 것이다. 또한, 소자(element) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위 뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다.In the drawings, the thicknesses of layers and regions are exaggerated for clarity. Also, an element or layer is referred to as "on" or "on" of another element or layer by interposing another layer or other element in the middle as well as directly above the other element or layer. Include all cases.

본 발명은 플라즈마 증착 기술을 이용한 나노결정 실리콘막 구조체, 그의 형 성방법, 나노결정 실리콘막 구조체를 구비하는 비휘발성 메모리 소자 및 그의 형성방법에 관한 것이다. 본 발명의 나노결정 실리콘막 구조체 및 그의 형성방법은 비휘발성 메모리 소자를 제조하는 데에 폭넓게 응용될 수 있다. 또한, 나노결정 실리콘막을 구비하는 비휘발성 메모리 소자 및 그의 형성방법은 평판형 디스플레이를 포함하는 디스플레이 분야 및 이를 활용한 반도체 소자의 제조에 응용될 수 있다.The present invention relates to a nanocrystalline silicon film structure using a plasma deposition technique, a method for forming the same, a nonvolatile memory device having the nanocrystalline silicon film structure and a method of forming the same. The nanocrystalline silicon film structure and the method of forming the same of the present invention can be widely applied to fabricate nonvolatile memory devices. In addition, a nonvolatile memory device having a nanocrystalline silicon film and a method of forming the same may be applied to a display field including a flat panel display and to manufacturing a semiconductor device using the same.

도 1a는 종래기술에 따른 반도체 기판 상에 형성된 비휘발성 메모리 소자를 개략적으로 도시한 단면도이다.1A is a schematic cross-sectional view of a nonvolatile memory device formed on a semiconductor substrate according to the prior art.

도 1b는 종래기술에 따른 유리기판 상에 형성된 비휘발성 메모리 소자를 개략적으로 도시한 단면도이다.1B is a schematic cross-sectional view of a nonvolatile memory device formed on a glass substrate according to the prior art.

도 2a 내지 2e는 본 발명의 일 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자의 형성방법을 도시한 단면도들이다.2A through 2E are cross-sectional views illustrating a method of forming a nonvolatile memory device in accordance with an embodiment of the present invention.

도 3a 내지 도 3f는 본 발명의 다른 실시예에 따른 비휘발성 메모리 소자의 형성방법을 도시한 단면도들이다.3A to 3F are cross-sectional views illustrating a method of forming a nonvolatile memory device according to another exemplary embodiment of the present invention.

Claims (18)

기판 상에 게이트 전극을 형성하는 단계;Forming a gate electrode on the substrate; 상기 게이트 전극을 갖는 상기 기판 상에 다층절연막을 형성하는 단계;Forming a multilayer insulating film on the substrate having the gate electrode; 상기 다층절연막 상에 실리콘과 수소의 각각을 함유하는 가스를 이용한 플라즈마 증착 기술로 제1나노결정 실리콘막을 형성하는 단계;Forming a first nanocrystalline silicon film on the multilayer insulating film by plasma deposition using a gas containing silicon and hydrogen; 상기 제1나노결정 실리콘막 상에 금속전극막을 형성하는 단계; 및Forming a metal electrode film on the first nanocrystalline silicon film; And 상기 금속전극막을 패터닝하여 소오스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 소자의 형성방법.Patterning the metal electrode film to form a source electrode and a drain electrode. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1나노결정 실리콘막은 PECVD(Plasma Enhanced Chemcial Vapor Deposition) 또는 ICP-CVD(Inductively coupled plasma CVD) 방법으로 형성되는 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 소자의 형성방법.The first nanocrystalline silicon film is formed by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) or inductively coupled plasma CVD (ICP-CVD). 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제1나노결정 실리콘막은 실란(SiH4) 가스 1sccm 내지 10sccm 및 수소(H2) 가스 90sccm 내지 99sccm에서 형성되는 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 소자의 형성방법.The first nanocrystalline silicon film is formed of 1 sccm to 10 sccm of silane (SiH 4 ) gas and 90 sccm to 99 sccm of hydrogen (H 2 ) gas. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 제1나노결정 실리콘막은 250℃ 내지 350℃의 온도범위에서 형성되는 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 소자의 형성방법.The first nanocrystalline silicon film is a method of forming a nonvolatile memory device, characterized in that formed in the temperature range of 250 ℃ to 350 ℃. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 제1나노결정 실리콘막은 40nm 내지 60nm의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 소자의 형성방법.The first nanocrystalline silicon film is formed in a thickness of 40nm to 60nm method of forming a nonvolatile memory device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 다층절연막을 형성하는 단계는 Forming the multilayer insulating film 상기 게이트 전극을 갖는 상기 기판 상에 블로킹 절연막을 형성하는 단계;Forming a blocking insulating film on the substrate having the gate electrode; 상기 블로킹 절연막 상에 전하저장막을 형성하는 단계; 및Forming a charge storage layer on the blocking insulating layer; And 상기 전하저장막 상에 터널링 절연막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 소자의 형성방법.And forming a tunneling insulating layer on the charge storage layer. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 터널링 절연막을 형성하는 단계는Forming the tunneling insulating film is 상기 전하저장막 상에 제2나노결정 실리콘막을 형성하는 단계; 및Forming a second nanocrystalline silicon film on the charge storage film; And 상기 제2나노결정 실리콘막에 플라즈마 처리공정을 수행하는 단계를 포함하 는 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 소자의 형성방법.And performing a plasma treatment process on the second nanocrystalline silicon film. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 터널링 절연막은 실리콘 산질화막으로 형성하는 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 소자의 형성방법.And the tunneling insulating film is formed of a silicon oxynitride film. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 실리콘 산질화막은 아산화질소(N2O) 가스 1.5sccm 내지 5sccm의 유량 및 RF 파워 50W 내지 550W의 범위에서 수행되는 플라즈마 처리공정으로부터 형성되는 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 소자의 형성방법.And the silicon oxynitride film is formed from a plasma treatment process performed at a flow rate of 1.5 sccm to 5 sccm of nitrous oxide (N 2 O) gas and at a range of RF power of 50 W to 550 W. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 실리콘 산질화막은 상기 나노결정 실리콘막과 동일한 온도에서 형성되는 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 소자의 형성방법.And the silicon oxynitride film is formed at the same temperature as the nanocrystalline silicon film. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 실리콘 산질화막은 2.0nm 내지 3.0nm의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 소자의 형성방법.The silicon oxynitride film is a method of forming a nonvolatile memory device, characterized in that formed in a thickness of 2.0nm to 3.0nm. 기판 상에 배치된 버퍼막;A buffer film disposed on the substrate; 상기 버퍼막 상에 배치된 게이트 전극;A gate electrode on the buffer layer; 상기 기판 상에 배치되어 상기 게이트 전극을 덮는 다층절연막;A multilayer insulating film disposed on the substrate and covering the gate electrode; 실리콘과 수소의 각각을 함유하는 가스를 이용한 플라즈마 증착 기술로 상기 다층절연막 상에 배치된 제1나노결정 실리콘막; 및A first nanocrystalline silicon film disposed on the multilayer insulating film by a plasma deposition technique using a gas containing silicon and hydrogen; And 상기 게이트 전극 상부에 배치된 상기 제1나노결정 실리콘막의 일부를 노출시키도록 상기 제1나노결정 실리콘막 상에 이격하여 배치된 소오스 전극 및 드레인 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 소자.And a source electrode and a drain electrode spaced apart from each other on the first nanocrystalline silicon film to expose a portion of the first nanocrystalline silicon film disposed on the gate electrode. 제 12 항에 있어서,13. The method of claim 12, 상기 제1나노결정 실리콘막의 두께는 40nm 내지 60nm인 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 소자.The thickness of the first nanocrystalline silicon film is a nonvolatile memory device, characterized in that 40nm to 60nm. 제 12 항에 있어서,13. The method of claim 12, 상기 다층절연막은The multilayer insulating film 상기 게이트 전극을 갖는 상기 기판 상에 배치된 블로킹 절연막;A blocking insulating film disposed on the substrate having the gate electrode; 상기 블로킹 절연막 상에 배치된 전하저장막; 및A charge storage layer disposed on the blocking insulating layer; And 상기 전하저장막 상에 배치된 터널링 절연막을 포함하는 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 소자.And a tunneling insulating layer disposed on the charge storage layer. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 상기 블로킹 절연막 및 상기 전하저장막의 각각은 실리콘 산화막 또는 실리콘 질화막인 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 소자.And each of the blocking insulating film and the charge storage film is a silicon oxide film or a silicon nitride film. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 상기 실리콘 질화막의 두께는 15nm 내지 25nm의 범위이고, 상기 실리콘 산화막의 두께는 5nm 내지 15nm인 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 소자.The thickness of the silicon nitride film is in the range of 15nm to 25nm, the thickness of the silicon oxide film is a nonvolatile memory device, characterized in that 5nm to 15nm. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 상기 터널링 절연막은 실리콘 산질화막인 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 소자.And the tunneling insulating film is a silicon oxynitride film. 제 17 항에 있어서,The method of claim 17, 상기 실리콘 산질화막의 두께는 2.0nm 내지 3.0nm인 것을 특징으로 하는 비휘발성 메모리 소자.The thickness of the silicon oxynitride film is a nonvolatile memory device, characterized in that 2.0nm to 3.0nm.
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