KR20100068991A - 이미지 센서의 컬러필터의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

실시예는 이미지 센서의 최적화된 컬러필터의 제조 방법에 관한 것이다. 실시예에 따른 이미지 센서의 컬러필터 제조 방법은, 반도체 기판 상에 컬러필터층을 형성하는 공정에 있어서, 녹색 컬러필터 레지스트의 스핀코팅 RPM이 청색 및 적색 컬러필터 레지스트의 각 스핀코팅 RPM보다 높은 조건으로 수행하는 것을 특징으로 한다. 실시예에 따른 이미지 센서의 컬러필터 제조 방법은, 반도체 기판 상에 컬러필터층을 형성하는 공정에 있어서, 적색 컬러필터 레지스트의 사용량이 청색 및 녹색 컬러필터 레지스트의 각 사용량보다 많은 조건으로 수행하는 것을 특징으로 한다. 이미지 센서에 나타나는 사선 불량을 개선하여 제품에 대한 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다.

컬러필터, RPM, 사용량

Description

이미지 센서의 컬러필터의 제조 방법{fabricating method of color filter for image sensor}

실시예는 이미지 센서의 최적화된 컬러필터의 제조 방법에 관한 것이다.

일반적으로, 이미지 센서는 광학적 영상을 전기적 신호로 변환시키는 반도체 소자로 정의된다. 종래 이미지 센서는 전하 결합 소자(CCD), 씨모스 이미지 센서(CMOS image Sensor) 등이 대표적이다.

종래 이미지 소자의 일반적인 제조 방법은 반도체 기판상에 트랜지스터들 및 트랜지스터들에 전기적으로 연결되는 포토 다이오드를 형성한다. 트랜지스터들 및 포토 다이오드 상에 절연막 구조물 및 배선을 형성한다.

이어서, 절연막 구조물 상에는 레드, 그린 및 블루로 이루어진 컬러필터가 형성되고, 컬러필터의 상부면에 평탄화층을 형성한다. 이후, 평탄화층의 상부면에 포토 레지스트 필름을 도포하고 리플로우 공정을 진행하여 포토다이오드로 집광된 광을 제공하는 마이크로 렌즈를 형성한다.

이와 같은 방법으로 제조되는 이미지 센서는 웨이퍼 상에 사선 불량과 같은 문제를 발생한다. 따라서, 제품의 신뢰성 향상을 위한 이와 같은 사선 불량의 원 인을 정밀하게 분석하고 이를 개선하기 위한 연구가 절실히 필요한 실정이다.

실시예는 이미지 센서의 컬러필터를 형성함에 있어 최적화된 디스펜스 RPM(revolution per minute)을 제공하는 데 목적이 있다.

실시예는 이미지 센서의 컬러필터를 형성함에 있어 최적화되며 최소량의 레지스트 사용량을 제공하는 데 목적이 있다.

실시예에 따른 이미지 센서의 컬러필터 제조 방법은, 반도체 기판 상에 컬러필터층을 형성하는 공정에 있어서, 녹색 컬러필터 레지스트의 스핀코팅 RPM이 청색 및 적색 컬러필터 레지스트의 각 스핀코팅 RPM보다 높은 조건으로 수행하는 것을 특징으로 한다.

실시예에 따른 이미지 센서의 컬러필터 제조 방법은, 반도체 기판 상에 컬러필터층을 형성하는 공정에 있어서, 적색 컬러필터 레지스트의 사용량이 청색 및 녹색 컬러필터 레지스트의 각 사용량보다 많은 조건으로 수행하는 것을 특징으로 한다.

실시예에 따른 이미지 센서의 컬러필터 제조 방법은, 기판 상부에 청색 컬러필터 레지스트를 2500~3000RPM으로 스핀코팅하여 청색 컬러필터막을 형성하는 단계, 상기 청색 컬러필터막을 패터닝하여 청색 컬러필터를 형성하는 단계, 상기 청색 컬러필터가 형성된 상기 기판 상부에 녹색 컬러필터 레지스트를 3000~4500RPM으로 스핀코팅하여 녹색 컬러필터막을 형성하는 단계, 상기 녹색 컬러필터막을 패터 닝하여 녹색 컬러필터를 형성하는 단계, 상기 청색 및 녹색 컬러필터가 형성된 상기 기판 상부에 적색 컬러필터 레지스트를 2500~3000RPM으로 스핀코팅하여 적색 컬러필터막을 형성하는 단계 및 상기 적색 컬러필터막을 패터닝하여 적색 컬러필터를 형성하는 단계를 포함한다.

실시예에 따른 이미지 센서의 컬러필터 제조 방법은, 기판 상부에 청색 컬러필터 레지스트의 사용량을 1.5~2.5cc로 하여 청색 컬러필터막을 스핀코팅하는 단계, 상기 청색 컬러필터막을 패터닝하여 청색 컬러필터를 형성하는 단계, 상기 청색 컬러필터가 형성된 상기 기판 상부에 녹색 컬러필터 레지스트의 사용량을 1.5~2.5cc로 하여 녹색 컬러필터막을 스핀코팅하는 단계, 상기 녹색 컬러필터막을 패터닝하여 녹색 컬러필터를 형성하는 단계, 상기 청색 및 녹색 컬러필터가 형성된 상기 기판 상부에 적색 컬러필터 레지스트의 사용량을 2.5~3.0cc로 하여 적색 컬러필터막을 스핀코팅하는 단계 및 상기 적색 컬러필터막을 패터닝하여 적색 컬러필터를 형성하는 단계를 포함한다.

실시예는 이미지 센서의 컬러필터를 형성함에 있어 최적화된 디스펜스 RPM(revolution per minute)을 제공하여 이미지 센서에 나타나는 사선 불량을 개선하여 제품에 대한 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다.

실시예는 이미지 센서의 컬러필터를 형성함에 있어 레지스트 사용량을 최적화하면서 최소량으로 사용할 수 있어 제조 비용이 절감되고 코팅 불량을 개선할 수 있는 효과가 있다.

첨부한 도면을 참조로 하여 실시예들에 따른 이미지 센서의 최적화된 컬러필터의 제조 방법을 구체적으로 설명한다.

실시예는 이미지 센서의 컬러필터를 형성함에 있어서, 반도체 기판 상에 컬러필터막을 스핀코팅할 때 코팅 RPM(revolution per minute) 및 코팅시 레지스트의 사용량 관점에서 사선 불량을 해결하고자 한 것이다. 여러가지 실험 결과를 토대로 최적화된 코팅 RPM 및 최소화된 코팅 사용량을 제공하여, 최소의 레지스트 사용량으로 최적화된 코팅 RPM으로 반도체 기판 상에 컬러필터막을 코팅함으로써 사선 불량이 개선되고 제조 비용도 절감할 수 있다.

도 1은 실시예에 따른 이미지 센서의 컬러필터를 제조하는 공정에 있어서, 각 색별 컬러필터 레지스트의 코팅 RPM에 따른 사선 불량 개수(result)를 측정한 표이다.

도 2는 실시예에 따른 이미지 센서의 컬러필터를 제조하는 공정에 있어서, 컬러필터 레지스트의 코팅 RPM과 그에 따른 사선 불량 개수를 각 색별로 보여주는 그래프이다.

도 3은 실시예에 따른 이미지 센서의 컬러필터를 제조하는 공정에 있어서, 컬러필터 레지스트의 코팅 RPM과 그에 따른 S/N수치를 각 색별로 보여주는 그래프이다.

이미지 센서의 컬러필터층은, 절연막으로 이루어진 보호막 상에 청색 컬러필 터 레지스트를 스핀 코팅하고, 스핀 코팅된 청색 컬러필터 레지스트를 부분 노광하고 현상하여 청색 컬러필터 패턴을 형성한다. 이후, 청색 컬러필터 패턴이 형성된 상기 보호막 상에 녹색 컬러필터 레지스트를 스핀 코팅하고, 스핀 코팅된 녹색 컬러필터 레지스트를 부분 노광하고 현상하여 녹색 컬러필터 패턴을 형성한다. 이후, 상기 청색 컬러필터 패턴 및 녹색 컬러필터 패턴이 형성된 보호막 상에 적색 컬러필터 레지스트를 스핀 코팅하고, 스핀 코팅된 적색 컬러필터 레지스트를 부분 노광하고 현성하여 적색 컬러필터 레지스트 패턴을 형성함으로써, 상기 보호막 상에 적색, 녹색 및 청색 컬러필터 패턴들로 이루어진 컬러필터층을 형성할 수 있다.

상기 컬러필터 레지스트의 패터닝 순서는 어느 색을 먼저 형성하여도 좋다.

본 실시예에서는, 청색 컬러필터, 녹색 컬러필터, 적색 컬러필터의 순으로 공정을 진행하였다.

상기 이미지 센서의 컬러필터층은, 반도체 기판 상에 트랜지스터들, 포토 다이오드들을 형성하고, 상기 트랜지스터들 및 포토 다이오드들과 연결되는 금속배선을 포함하는 금속배선층을 형성한 다음, 상기 금속배선층 상에 형성된 상기 보호막 위에 형성된다.

이후, 상기 컬러필터층 상에 빛을 집광하기 위한 마이크로 렌즈를 형성할 수도 있다.

도 1을 참조하면, 표 상단 가로에 각각의 컬러필터 레지스트 B(blue), G(green), R(red), 결과(result)가 분류되어 있다. 각 분류 항목에 대하여 레지스트 코팅 RPM과, 기재된 RPM으로 컬러필터 레지스트를 코팅하여 이미지 센서를 제조 하였을 때 웨이퍼 상에 발생되는 사선 불량의 개수를 세어 그 결과(result)를 얻을 수 있었다.

청색 컬러필터 레지스트(B)를 2000RPM으로 스핀코팅하고, 녹색 컬러필터 레지스트(G)를 3000RPM으로 스핀코팅하고, 적색 컬러필터 레지스트(R)를 3000RPM으로 스핀코팅하면 웨이퍼 상에 발생되는 사선 불량이 39개가 발생됨을 알 수 있다.

따라서, 상기 각 색별로 시행된 컬러필터 레지스트의 RPM 조합은 적절치 않은 것으로 판단할 수 있다.

청색 컬러필터 레지스트(B)를 3000RPM으로 스핀코팅하고, 녹색 컬러필터 레지스트(G)를 3000RPM으로 스핀코팅하고, 적색 컬러필터 레지스트(R)를 4500RPM으로 스핀코팅하면 웨이퍼 상에 발생되는 사선 불량이 전혀 발생되지 않음을 알 수 있다.

청색 컬러필터 레지스트(B)를 3000RPM으로 스핀코팅하고, 녹색 컬러필터 레지스트(G)를 4500RPM으로 스핀코팅하고, 적색 컬러필터 레지스트(R)를 2000RPM으로 스핀코팅하면 웨이퍼 상에 발생되는 사선 불량이 전혀 발생되지 않음을 알 수 있다.

청색 컬러필터 레지스트(B)를 4500RPM으로 스핀코팅하고, 녹색 컬러필터 레지스트(G)를 3000RPM으로 스핀코팅하고, 적색 컬러필터 레지스트(R)를 2000RPM으로 스핀코팅하면 웨이퍼 상에 발생되는 사선 불량이 전혀 발생되지 않음을 알 수 있다.

청색 컬러필터 레지스트(B)를 4500RPM으로 스핀코팅하고, 녹색 컬러필터 레 지스트(G)를 4500RPM으로 스핀코팅하고, 적색 컬러필터 레지스트(R)를 3000RPM으로 스핀코팅하면 웨이퍼 상에 발생되는 사선 불량이 역시 전혀 발생되지 않음을 알 수 있다.

여기서, 녹색 컬러필터 레지스트의 RPM의 경우 2000RPM으로 하였을 경우 불량의 개수가 많이 발생하고, 4500RPM으로 하였을 경우 불량의 개수가 현저히 줄어드는 것을 알 수 있다.

도 2를 참조하면, 각 색별로 컬러필터레지스트를 스핀 코팅한 다음, 각 색별로 불량 개수를 측정한 결과 그린 컬러필터 레지스트의 경우 RPM에 따라 사선 불량 개수의 변동 폭이 다른 컬러필터 레지스트의 경우보다 크고 선형적임을 알 수 있다.

특히, 도 3을 보면, 녹색 컬러필터 레지스트의 경우 S/N(signal to noise ratio)가 RPM이 3000~4500 범위에서 급격히 상승함을 알 수 있다. 이 S/N 값이 높아질 수록 안정적인 특성을 가지는 것이다.

이와 대조적으로, 청색 및 적색 컬러필터 레지스트의 경우 RPM과 S/N 수치와 큰 연관성이 없는 것을 알 수 있다.

따라서, 도 1 내지 도 3의 실험 결과를 통해, 컬러필터 레지스트의 코팅 RPM에서 녹색 컬러필터 레지스트의 코팅 RPM이 사선 불량과 관련있는 변수임을 알 수 있다.

특히, 녹색 컬러필터 레지스트의 코팅 RPM이 3000~4500 인 경우 최적의 특성을 갖는 이미지 센서를 제조할 수 있다.

또한, 상기 녹색 컬러필터 레지스트의 코팅 RPM이 3000~4500이며, 청색 및 적색 컬러필터 레지스트의 코팅 RPM이 2500~3000일 때 사선 불량이 최소화되면서 최적의 특성을 갖는 이미지 센서를 제조할 수 있다.

또한, 이와 같은 공정 조건에서 S/N특성이 개선되어 이미지 센서 제품의 신뢰성도 향상될 수 있다.

여기서, 반도체 기판 상에 컬러필터층을 형성하는 공정에 있어서, 녹색 컬러필터 레지스트의 스핀코팅 RPM이 청색 및 적색 컬러필터 레지스트의 각 스핀코팅 RPM보다 높은 조건으로 수행하면 상기와 같은 효과를 나타낼 수 있다. 공정 마진을 고려하여 상기 청색 컬러필터 레지스트의 스핀코팅 RPM은 2500~3000, 상기 적색 컬러필터 레지스트의 스핀코팅 RPM은 2500~3000, 상기 녹색 컬러필터 레지스트의 RPM은 3000~4500로 할 수 있다.

도 4는 실시예에 따른 이미지 센서의 컬러필터를 제조하는 공정에 있어서, 각 색별 컬러필터 레지스트의 코팅 사용량을 최적화하기 위한 실험 결과를 보여주는 표이다. 도 5는 일정 사용량으로 색별 컬러필터 레지스트의 코팅 RPM에 따른 사선 불량이 나타난 다이(die)의 카운트 결과를 보여주는 그래프이다.

도 4를 참조하면, 각 슬랏에 대하여 적색, 녹색, 청색 컬러필터 레지스트의 사용량을 달리하여 실험을 하였다.

기존에 적색, 청색, 녹색 컬러필터 레지스트의 사용량은 모두 3.0cc로 동일하였다.

그런데, 도 5를 참조하면, 상기 청색, 녹색 컬러필터 레지스트의 사용량을 1.5cc로 하고, 적색 컬러필터 레지스트의 사용량을 2.5cc로 하여 사선불량을 측정하였다.

이때, 각 슬랏에서 RPM(청색 컬러필터 레지스트 RPM만 2000으로 고정)을 달리하였는데, 녹색 컬러필터 레지스트의 RPM은 4000, 적색 컬러필터 레지스트의 RPM은 각각 2000, 3000, 4000에서 검사 다이 총 120다이 중 2~4개의 다이에서만 사선불량이 발견되는 결과를 얻었다.

기존에 적색, 청색, 녹색 컬러필터 레지스트의 사용량이 모두 3.0cc인 경우와 비교하여 절반 가량 사용량을 줄여도 사선 불량과 같은 공정 불량에 큰 영향을 받지 않는 것을 실험 결과를 통해 확인할 수 있었다.

따라서, 컬러필터 레지스트의 사용량을 절반 가량 줄일 수 있어 컬러필터의 낭비를 막을 수 있으며, 제조 비용이 절감되는 효과가 있다.

여기서, 상기 컬러필터층을 형성하는 공정에 있어서, 상기 적색 컬러필터 레지스트의 사용량이 상기 청색 및 상기 녹색 컬러필터 레지스트의 각 사용량보다 많은 조건으로 수행하면 된다. 공정 마진을 고려하여, 상기 청색 컬러필터 레지스트의 사용량은 1.5~2.5cc, 상기 녹색 컬러필터 레지스트의 사용량은 1.5~2.5cc, 상기 적색 컬러필터 레지스트의 사용량은 2.5~3.0cc을 만족하면 된다.

도 6은 실시예에 따른 이미지 센서의 컬러필터 제조 공정에서, 컬러필터 레지스트의 스핀코팅 RPM 및 사용량을 최적화하여 스플릿한 테이블이다.

도 7은 도 6의 스플릿 테이블에 따른 조건을 적용하여 이미지 센서를 제조하여 수율을 측정한 그래프이다.

도 6 및 도 7을 보면, 기존 청색, 적색 및 녹색 컬러필터 레지스트의 스핀코팅 3000RPM으로 진행하여 컬러필터층을 형성한 것을 1~5 slot에서 표시하고 포토 공정을 진행하였다.

또한, 실시예에 따라 최적화한 스핀코팅 RPM에 따라, 청색 컬러필터 레지스트의 스핀코팅 RPM 3000, 녹색 컬러필터 레지스트의 스핀코팅 RPM 4000, 적색 컬러필터 레지스트의 스핀코팅 RPM을 3000으로 세팅하여 6~10 slot에서 포토 공정을 진행하였다.

기존 청색, 적색 및 녹색 컬러필터 레지스트의 사용량을 각각 3.0cc로 하여 스핀코팅하여 11~15 slot에서 포토 공정을 진행하였다.

실시예에 따라 최적화한 PR 사용량에 따라, 청색 컬러필터 레지스트의 사용량을 1.5cc, 녹색 컬러필터 레지스트의 사용량을 1.5cc, 적색 컬러필터 레지스트의 사용량을 2.5cc로 세팅하여 16~20 slot에서 포토 공정을 진행하였다.

그 결과, 도 7에 도시한 바와 같이, LOT ID에서, 02, 07, 12, 17을 보면 도 6의 테이블에서 세팅한 조건들로 이미지 센서의 컬러필터를 제조하였을 때 수율을 알 수 있다.

그래프에 드러난 바와 같이, 실시예에 따라 최적화된 RPM 조건(LOT ID : 07), PR 사용량(LOT ID : 17)의 경우에 수율이 좋은 것을 알 수 있다.

여기서, 도 7에서 LOT ID가 K1~K40인 것은 기존 공정 조건(3000 RPM, 3.0cc)에서 진행된 컬러필터층의 수율이다.

도 8은 시기별로 기존 방식 및 실시예에 따라 최적화된 조건을 적용하여 시 행한 이미지 센서의 공정에서 생산량, 불량수, 불량률을 보여주는 테이블이다.

7월~9월에 기존 방식, 즉, 적색, 청색, 적색 컬러필터 레지스트 스핀코팅 RPM을 각각 3000으로 하고, 레지스트 사용량을 각각 3.0cc로 하였을 때 사선 불량에 따른 불량률을 측정한 결과, 0.69~7.25%의 결과를 얻었다.

9월에 실시예에 의해 최적화된 조건으로 컬러필터 공정을 진행한 결과, 불량률이 0.08%로 급격히 떨어진 것을 알 수 있다.

실시예는 이미지 센서의 컬러필터를 형성함에 있어 레지스트 사용량을 최적화하면서 최소량으로 사용할 수 있어 제조 비용이 절감되고 코팅 불량을 개선할 수 있는 효과가 있다.

실시예는 이미지 센서의 컬러필터를 형성함에 있어 최적화된 디스펜스 RPM(revolution per minute)을 제공하여 이미지 센서에 나타나는 사선 불량을 개선하여 제품에 대한 신뢰성을 향상시키는 효과가 있다.

이상 상기 실시예를 구체적으로 설명하였으나, 본 발명은 이 실시예에 한정되는 것이 아니라, 그 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능한 것은 당연하다.

도 1은 실시예에 따른 이미지 센서의 컬러필터를 제조하는 공정에 있어서, 각 색별 컬러필터 레지스트의 코팅 RPM에 따른 사선 불량 개수(result)를 측정한 표이다.

도 2는 실시예에 따른 이미지 센서의 컬러필터를 제조하는 공정에 있어서, 컬러필터 레지스트의 코팅 RPM과 그에 따른 사선 불량 개수를 각 색별로 보여주는 그래프이다.

도 3은 실시예에 따른 이미지 센서의 컬러필터를 제조하는 공정에 있어서, 컬러필터 레지스트의 코팅 RPM과 그에 따른 S/N수치를 각 색별로 보여주는 그래프이다.

도 4는 실시예에 따른 이미지 센서의 컬러필터를 제조하는 공정에 있어서, 각 색별 컬러필터 레지스트의 코팅 사용량을 최적화하기 위한 실험 결과를 보여주는 표이다.

도 5는 일정 사용량으로 색별 컬러필터 레지스트의 코팅 RPM에 따른 사선 불량이 나타난 다이(die)의 카운트 결과를 보여주는 그래프이다.

도 6은 실시예에 따른 이미지 센서의 컬러필터 제조 공정에서, 컬러필터 레지스트의 스핀코팅 RPM 및 사용량을 최적화하여 스플릿한 테이블이다.

도 7은 도 6의 스플릿 테이블에 따른 조건을 적용하여 이미지 센서를 제조하여 수율을 측정한 그래프이다.

도 8은 시기별로 기존 방식 및 실시예에 따라 최적화된 조건을 적용하여 시 행한 이미지 센서의 공정에서 생산량, 불량수, 불량률을 보여주는 테이블이다.

Claims (10)

1. 반도체 기판 상에 컬러필터층을 형성하는 공정에 있어서, 녹색 컬러필터 레지스트의 스핀코팅 RPM이 청색 및 적색 컬러필터 레지스트의 각 스핀코팅 RPM보다 높은 조건으로 수행하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 컬러필터 제조 방법.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 청색 컬러필터 레지스트의 스핀코팅 RPM은 2500~3000, 상기 적색 컬러필터 레지스트의 스핀코팅 RPM은 2500~3000, 상기 녹색 컬러필터 레지스트의 RPM은 3000~4500인 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 컬러필터 제조 방법.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 컬러필터층을 형성하는 공정에 있어서, 상기 적색 컬러필터 레지스트의 사용량이 상기 청색 및 상기 녹색 컬러필터 레지스트의 각 사용량보다 많은 조건으로 수행하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 컬러필터 제조 방법.
4. 제 3항에 있어서,

   상기 청색 컬러필터 레지스트의 사용량은 1.5~2.5cc, 상기 녹색 컬러필터 레지스트의 사용량은 1.5~2.5cc, 상기 적색 컬러필터 레지스트의 사용량은 2.5~3.0cc인 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 컬러필터 제조 방법.
5. 제 1항에 있어서,

   상기 컬러필터층을 형성하는 공정 이전에,

   상기 반도체 기판에 포토 다이오드 및 다수의 트랜지스터들을 형성하는 단계;

   상기 반도체 기판 상에 상기 포토 다이오드 및 상기 트랜지스터들과 전기적으로 연결된 금속 배선을 포함하는 금속배선층을 형성하는 단계; 및

   상기 금속배선층 상에 보호막을 형성하는 단계를 포함하는 이미지 센서의 컬러필터 제조 방법.
6. 반도체 기판 상에 컬러필터층을 형성하는 공정에 있어서, 적색 컬러필터 레지스트의 사용량이 청색 및 녹색 컬러필터 레지스트의 각 사용량보다 많은 조건으로 수행하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 컬러필터 제조 방법.
7. 제 6항에 있어서,

   상기 청색 컬러필터 레지스트의 사용량은 1.5~2.5cc, 상기 녹색 컬러필터 레지스트의 사용량은 1.5~2.5cc, 상기 적색 컬러필터 레지스트의 사용량은 2.5~3.0cc인 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 컬러필터 제조 방법.
8. 제 6항에 있어서,

   상기 컬러필터층을 형성하는 공정에 있어서, 상기 녹색 컬러필터 레지스트의 스핀코팅 RPM이 청색 및 적색 컬러필터 레지스트의 스핀코팅 RPM보다 높은 조건으로 수행하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 컬러필터 제조 방법.
9. 제 8항에 있어서,

   상기 청색 컬러필터 레지스트의 스핀코팅 RPM은 2500~3000, 상기 적색 컬러필터 레지스트의 스핀코팅 RPM은 2500~3000, 상기 녹색 컬러필터 레지스트의 RPM은 3000~4500인 것을 특징으로 하는 이미지 센서의 컬러필터 제조 방법.
10. 제 6항에 있어서,

    상기 컬러필터층을 형성하는 공정 이전에,

    상기 반도체 기판에 포토 다이오드 및 다수의 트랜지스터들을 형성하는 단계;

    상기 반도체 기판 상에 상기 포토 다이오드 및 상기 트랜지스터들과 전기적으로 연결된 금속 배선을 포함하는 금속배선층을 형성하는 단계; 및

    상기 금속배선층 상에 보호막을 형성하는 단계를 포함하는 이미지 센서의 컬러필터 제조 방법.

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