KR20100060078A - System for controlling semiconductor manufacturing equipment and method for managing recipe thereof - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A system for controlling a semiconductor manufacturing facility and a method for managing a recipe thereof are provided to easily manage a control system by separating a plurality of recipes into groups according to a user level, purpose and use. CONSTITUTION: A plurality of recipe data is provided. A data processing unit(142) gives a specific identification number to the recipe data respectively. The data processing unit generates one or more recipe groups corresponding to the identification number. The recipe data is displayed according to the group of the recipe by a display data processing unit(144). A recipe list(160) manages the recipe groups generated by the data processing unit with a group unit.

Description

반도체 제조 설비의 제어 시스템 및 그의 레시피 관리 방법{SYSTEM FOR CONTROLLING SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT AND METHOD FOR MANAGING RECIPE THEREOF}SYSTEM FOR CONTROLLING SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT AND METHOD FOR MANAGING RECIPE THEREOF

본 발명은 반도체 제조 설비에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 다수의 레시피들을 분리 운용 가능한 반도체 제조 설비의 제어 시스템 및 그의 레시피 관리 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor manufacturing facility, and more particularly, to a control system of a semiconductor manufacturing facility capable of separating and operating a plurality of recipes and a method for managing the recipe thereof.

일반적으로 반도체 제품을 생산하기 위해서 많은 제조 공정이 필요하며, 이러한 제조 공정을 처리하기 위하여, 생산 라인에는 다양한 반도체 제조 설비들을 구축한다. 반도체 제조 설비는 다양한 공정을 처리하기 위하여, 네트워크를 통해 연결되는 제어 시스템을 구비한다. 예를 들어, 제어 시스템은 프로그램어블로직 컨트롤러나 컴퓨터 등으로 구비된다. 제어 시스템은 공정 조건, 공정 플로우 등을 포함하는 공정 레시피 등을 설정하여 반도체 제조 설비들을 제어한다. 제어 시스템은 공정 레시피의 처리 과정에 따른 각 구성 요소들을 모니터링하여 공정 제반에 대한 정보를 관리한다. 반도체 제조 설비의 구성 요소들은 공정에 따라 다양하지만, 일반적으로 기판을 처리하는 공정 유닛과, 기판을 이송하는 이송 유닛 등을 포함한다.In general, many manufacturing processes are required to produce semiconductor products, and in order to deal with such manufacturing processes, various semiconductor manufacturing facilities are built in the production line. Semiconductor manufacturing facilities have control systems that are connected through a network to handle various processes. For example, the control system is provided with a program block controller or a computer. The control system controls the semiconductor manufacturing facilities by setting process recipes, including process conditions, process flows, and the like. The control system manages information on the overall process by monitoring each component of the process recipe. The components of a semiconductor manufacturing facility vary depending on the process, but generally include a processing unit for processing a substrate, a transfer unit for transferring a substrate, and the like.

이러한 반도체 제조 설비의 제어 시스템은 공정이 정상적으로 수행될 수 있도록 상호 네트워크를 통해 데이터 통신하고, 이를 통해 반도체 제조 설비의 각 공정들을 제어, 모니터링 및 관리한다. 제어 시스템은 제어 프로그램이 구비된다. 제어 프로그램은 유저 인터페이스를 이용하여 사용자가 반도체 제조 설비들을 제어, 모니터링 및 관리한다. 이를 위해 제어 시스템은 유저 인터페이스를 이용하여 다양한 플로우 레시피를 작성한다. 예를 들어, 플로우 레시피는 반도체 제조 설비마다 다르게 구비되지만, 하나의 반도체 제조 설비에 대해 약 200 ~ 300 여개의 플로우 레시피가 제공된다. 플로우 레시피는 유저 인터페이스에서 공정 진행에 따라 순차적으로 표시된다. 이렇게 많은 량의 플로우 레시피는 그 목적 및 사용 용도에 따라 제공되지 않는다.The control system of such a semiconductor manufacturing facility communicates data through a mutual network so that processes can be normally performed, thereby controlling, monitoring and managing each process of the semiconductor manufacturing facility. The control system is equipped with a control program. The control program uses a user interface to allow the user to control, monitor and manage semiconductor manufacturing facilities. To do this, the control system creates various flow recipes using the user interface. For example, flow recipes are provided differently for each semiconductor manufacturing facility, but about 200 to 300 flow recipes are provided for one semiconductor manufacturing facility. Flow recipes are displayed sequentially as the process progresses in the user interface. Such large amounts of flow recipes are not provided depending on their purpose and use.

본 발명의 목적은 플로우 레시피를 목적 및 사용 용도에 따라 분리 운용하기 위한 반도체 제조 설비의 제어 시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a control system and method for a semiconductor manufacturing facility for separating and operating a flow recipe according to the purpose and use.

본 발명의 다른 목적은 플로우 레시피를 사용자 레벨에 따라 분리 운용하기 위한 반도체 제조 설비의 제어 시스템 및 그 방법을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a control system and method of a semiconductor manufacturing facility for separating and operating a flow recipe at a user level.

본 발명의 또 다른 목적은 다양한 플로우 레시피들의 관리가 용이하도록 하는 반도체 제조 설비의 제어 시스템 및 그의 레시피 관리 방법을 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a control system of a semiconductor manufacturing facility and a recipe management method thereof for facilitating management of various flow recipes.

상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 반도체 제조 설비의 제어 시스템은 다양한 플로우 레시피들을 분리 운용하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같이 제어 시스템은 플로우 레시피의 관리가 용이하다.In order to achieve the above objects, the control system of the semiconductor manufacturing equipment of the present invention is characterized by separate operation of various flow recipes. In this way, the control system can easily manage the flow recipe.

이 특징에 따른 본 발명의 제어 시스템은, 복수 개의 레시피 데이터와; 상기 레시피 데이터들 각각에 고유의 식별 번호를 부여하고, 상기 식별 번호에 대응하여 적어도 하나의 레시피 그룹을 생성하는 데이터 처리부 및; 상기 데이터 처리부에 의해 상기 레시피 그룹별로 상기 레시피 데이터를 표시하도록 처리하는 디스플레이 구동부를 포함한다.A control system of the present invention according to this aspect includes a plurality of recipe data; A data processor for assigning a unique identification number to each of the recipe data and generating at least one recipe group corresponding to the identification number; And a display driver configured to display the recipe data for each recipe group by the data processor.

한 실시예에 있어서, 상기 제어 시스템은; 상기 레시피 그룹별로 관리하는 레시피 리스트를 더 포함한다. 여기서 상기 데이터 처리부는 상기 레시피 그룹들을 상기 레시피 리스트에 등록하도록 처리한다.In one embodiment, the control system; It further includes a recipe list managed for each recipe group. Here, the data processor processes the recipe groups to be registered in the recipe list.

다른 실시예에 있어서, 상기 레시피 데이터는 헤더에 상기 식별 번호를 구비한다.In another embodiment, the recipe data includes the identification number in a header.

또 다른 실시예에 있어서, 상기 데이터 처리부는 상기 레시피 그룹에 사용자 레벨에 따라 레시피의 권한을 더 정의한다.In another embodiment, the data processor further defines the authority of a recipe according to a user level in the recipe group.

또 다른 실시예에 있어서, 상기 식별 번호는 사용자 레벨, 레시피의 목적 및 레시피의 사용 용도에 따라 정의된다.In another embodiment, the identification number is defined according to the user level, the purpose of the recipe and the intended use of the recipe.

또 다른 실시예에 있어서, 상기 제어 시스템은 상기 반도체 제조 설비와 연결되는 하위 제어부와 상기 하위 제어부와 연결되는 상위 제어부를 포함한다. 이 때, 상기 레시피 데이터와, 상기 데이터 처리부 및 상기 디스플레이 구동부는 상기 하위 및 상기 상위 제어부 중 적어도 하나에 구비된다.In another embodiment, the control system includes a lower controller connected to the semiconductor manufacturing facility and an upper controller connected to the lower controller. In this case, the recipe data, the data processor and the display driver are provided in at least one of the lower and upper controllers.

또 다른 실시예에 있어서, 상기 하위 제어부는 상기 반도체 제조 설비와 네트워크를 통해 연결되는 클라이언트 툴 컨트롤러로 구비된다.In another embodiment, the lower controller includes a client tool controller connected to the semiconductor manufacturing facility through a network.

본 발명의 다른 특징에 따르면, 다수의 레시피 데이터들을 구비하는 반도체 제조 설비를 제어하는 제어 시스템의 레시피 관리 방법이 제공된다. 이 방법에 의하면, 사용자에 의해 상기 레시피 데이터들을 분류하기 위한 적어도 하나의 레시피 그룹을 정의한다. 상기 레시피 데이터들 각각에 고유의 식별 번호를 부여한다. 상기 식별 번호를 판별하여 상기 적어도 하나의 레시피 그룹으로 분류한다. 이어서 상기 분류된 레시피 그룹들을 그룹 단위로 복수 개의 레시피 데이터들을 표시한다.According to another feature of the invention, a recipe management method of a control system for controlling a semiconductor manufacturing facility having a plurality of recipe data is provided. According to this method, at least one recipe group for classifying the recipe data by a user is defined. A unique identification number is assigned to each of the recipe data. The identification number is determined and classified into the at least one recipe group. Subsequently, a plurality of recipe data are displayed in grouped recipe groups.

한 실시예에 있어서, 상기 적어도 하나의 레시피 그룹을 정의하는 것은; 상기 레시피 데이터들을 레시피의 목적 및 용도별로 정의한다.In one embodiment, defining the at least one recipe group; The recipe data is defined according to the purpose and use of the recipe.

다른 실시예에 있어서, 상기 적어도 하나의 레시피 그룹을 정의하는 것은; 사용자 레벨에 따라 레시피의 권한을 더 정의한다.In another embodiment, defining the at least one recipe group; Further define the permissions of the recipe according to the user level.

또 다른 실시예에 있어서, 상기 식별 번호를 부여하는 것은; 상기 레시피 데이터들 각각의 헤더에 설정한다.In yet another embodiment, assigning the identification number; It is set in the header of each of the recipe data.

또 다른 실시예에 있어서, 상기 레시피 관리 방법은; 상기 분류된 레시피 그룹들을 그룹 단위로 복수 개의 레시피 데이터들로 리스트를 생성하는 것을 더 포함한다.In another embodiment, the recipe management method; The method may further include generating a list of the plurality of recipe data in grouped recipe groups.

또 다른 실시예에 있어서, 상기 레시피 데이터들을 표시하는 것은; 사용자에 의해 어느 하나의 레시피 그룹이 선택되면, 상기 리스트로부터 추출하여 레시피 그룹 단위로 상기 레시피 데이터들을 표시한다.In yet another embodiment, displaying the recipe data; When one recipe group is selected by the user, the recipe data is displayed in the recipe group unit by extracting from the list.

상술한 바와 같이, 본 발명의 반도체 제조 설비의 제어 시스템은 다양한 플로우 레시피들을 사용자 레벨, 목적 및 사용 용도에 따라 복수 개의 그룹들로 분리 운용함으로써, 관리가 용이하다.As described above, the control system of the semiconductor manufacturing facility of the present invention is easy to manage by separating and operating various flow recipes into a plurality of groups according to the user level, purpose and use.

본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.The embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be interpreted as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Therefore, the shapes and the like of the components in the drawings are exaggerated in order to emphasize a clearer explanation.

이하 첨부된 도 1 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 7.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조 설비의 제어 시스템의 구성을 도시한 블럭도이다.1 is a block diagram showing the configuration of a control system of a semiconductor manufacturing facility according to the present invention.

도 1을 참조하면, 제어 시스템(100)은 유저 인터페이스를 이용하여 반도체 제조 설비(130)를 제어, 모니터링 및, 관리한다. 제어 시스템(100)은 복수 개의 반도체 제조 설비(130)들이 네트워크를 통해 적어도 하나의 제어부(110, 120)와 연결된다. 반도체 제조 설비(130)들은 동일한 공정을 처리하거나 또는 서로 다른 공정을 처리할 수 있다. 예를 들어, 반도체 제조 설비(130)는 도면에는 도시되지 않았지만, 웨이퍼(또는 기판)을 처리하는 공정 유닛들과, 웨이퍼를 각 유닛들 간에 이송하는 이송 유닛 등 다양한 유닛들을 포함한다.Referring to FIG. 1, the control system 100 controls, monitors, and manages a semiconductor manufacturing facility 130 using a user interface. In the control system 100, a plurality of semiconductor manufacturing facilities 130 are connected to at least one control unit 110 and 120 through a network. The semiconductor manufacturing facilities 130 may process the same process or different processes. For example, the semiconductor manufacturing facility 130 includes various units, such as processing units for processing a wafer (or substrate), and a transfer unit for transferring a wafer between the units, although not shown in the drawing.

제어부(110, 120)는 상위 제어부(110)와 하위 제어부(120)로 구분된다. 제어부(110, 120)는 반도체 제조 설비(130)들을 제어하기 위하여, 유저 인터페이스를 이용하여 제어, 모니터링 및 관리한다.The controllers 110 and 120 are divided into an upper controller 110 and a lower controller 120. The controllers 110 and 120 control, monitor and manage the semiconductor manufacturing facilities 130 using a user interface.

예를 들어, 상위 제어부(110)는 호스트(host)로 구비되며, 외부 네트워크(102)를 통해 다수의 하위 제어부(120)와 연결된다. 외부 네트워크(102)는 TCP/IP 등과 같은 프로토콜을 이용하는 통신망으로 구비된다. 상위 제어부(110)는 외부 네트워크(102)를 통해 하위 제어부(120)와 상호 정보를 제공하여 반도체 제조 설비(130)를 원격 제어한다.For example, the upper controller 110 is provided as a host, and is connected to the plurality of lower controllers 120 through the external network 102. The external network 102 is provided as a communication network using a protocol such as TCP / IP. The upper control unit 110 provides mutual information with the lower control unit 120 through the external network 102 to remotely control the semiconductor manufacturing facility 130.

하위 제어부(120)는 컨트롤러, 프로그램어블 로직 컨트롤러 및 퍼스널 컴퓨 터 등으로 구비되어 반도체 제조 설비(130)와 내부 네트워크(104)를 통해 연결된다. 내부 네트워크(104)는 직렬 통신 인터페이스, 근거리 통신망(LAN) 등과 같은 통신망으로 구비된다. 상위 및 하위 제어부(110, 120)는 서로 다른 클러스터 툴 컨트롤러(Cluster Tool Control : CTC)들로 구비될 수 있다. 또 상위 제어부(110)는 설비 분석 시스템(Fault Detection and Classification : FDC)으로 구비되고, 하위 제어부(120)는 클러스터 툴 컨트롤러(CTC)로 구비될 수 있다. 이러한 상위 및 하위 제어부(110, 120)는 반도체 제조 설비(130)를 제어, 모니터링 및 관리하기 위해, 유저 인터페이스를 이용하여 반도체 제조 설비(130)에 대한 정보를 상호 제공한다.The lower controller 120 includes a controller, a programmable logic controller, a personal computer, and the like, and is connected to the semiconductor manufacturing facility 130 through an internal network 104. The internal network 104 is provided with a communication network such as a serial communication interface, a local area network (LAN), or the like. The upper and lower controllers 110 and 120 may be provided with different cluster tool controllers (CTCs). In addition, the upper control unit 110 may be provided as a facility analysis system (Fault Detection and Classification (FDC)), the lower control unit 120 may be provided as a cluster tool controller (CTC). The upper and lower controllers 110 and 120 mutually provide information about the semiconductor manufacturing facility 130 using a user interface to control, monitor, and manage the semiconductor manufacturing facility 130.

구체적으로 도 2를 참조하면, 상위 또는 하위 제어부(110 또는 120)는 전형적인 컴퓨터 장치의 구성 요소들을 포함한다. 예를 들어, 상위 또는 하위 제어부(110 또는 120)는 프로세서(112), 메모리(114), 저장 장치(116), 네트워크 어댑터(118), 입력 장치(122) 및 디스플레이 장치(124) 등을 포함한다. 그리고 이들 구성 요소(112 ~ 124)들은 내부 버스에 각각 연결된다. 네트워크 어댑터(118)는 내부 또는 외부 네트워크(도 1의 104 또는 102)와 연결된다. 여기서는 하위 제어부(120)를 이용하여 본 발명의 기술적인 특징들을 상세히 설명한다.Specifically, referring to FIG. 2, the upper or lower controller 110 or 120 includes the components of a typical computer device. For example, the upper or lower controller 110 or 120 includes a processor 112, a memory 114, a storage device 116, a network adapter 118, an input device 122, a display device 124, and the like. do. These components 112-124 are each connected to an internal bus. The network adapter 118 is connected with an internal or external network (104 or 102 of FIG. 1). Here, the technical features of the present invention will be described in detail using the lower controller 120.

즉, 하위 제어부(120)는 클러스터 툴 컨트롤러(CTC)로 구비된다. 이 경우, 상위 제어부(110)는 다른 클러스터 툴 컨트롤러(CTC)로 구비되거나 호스트(host)로 구비될 수 있다.That is, the lower controller 120 is provided as a cluster tool controller (CTC). In this case, the upper controller 110 may be provided as another cluster tool controller (CTC) or may be provided as a host.

저장 장치(116)는 본 발명에 따른 제어 프로그램(140)을 구비한다. 구체적으 로 도 3을 참조하면, 제어 프로그램(140)은 복수 개의 레시피 데이터(150)와, 레시피 데이터를 그룹별로 구분하는 레시피 리스트(160)와, 유저 인터페이스 제반 동작을 처리하는 데이터 처리부(142) 및, 데이터 처리부(142)에 의해 사용자 레벨, 레시피 목적 및 사용 용도에 따라 유저 인터페이스 화면에 표시하는 디스플레이 구동부(144)를 포함한다.The storage device 116 has a control program 140 according to the invention. Specifically, referring to FIG. 3, the control program 140 includes a plurality of recipe data 150, a recipe list 160 for classifying recipe data into groups, and a data processor 142 for processing various user interface operations. And a display driver 144 displayed on the user interface screen by the data processor 142 according to the user level, the recipe purpose, and the usage purpose.

여기서 사용자 레벨에 대해 설명한다.This section describes the user level.

즉, 사용자 레벨(User Level)은 사용자 각각이 로그온(login)하도록 제공하여 유저별로 등록된 인증 절차를 처리한다. 인증절차는 사용자 ID와 패스워드(password)로 이루어진다. 이 사용자 레벨은 유저 인터페이스의 모든 메뉴에 설정된다. 구체적으로 유저 레벨은 로그아웃(logout) 상태에서 작업 가능한 오퍼레이터(Operator) 레벨과, 로그인(login) 상태의 엔지니어(Engineer) 레벨, 관리자(Administrator) 레벨, 셋업 엔지니어(Setup Engineer) 레벨 및, 소프트웨어 엔지니어(SW Engineer) 레벨 등을 포함한다. 사용자 레벨 중 최상위의 레벨의 경우, 사용자 인증 절차를 일정 규칙으로 랜덤(random)하게 변경하여 계정을 보호한다. 여기서 엔지니어(Engineer) 레벨, 관리자(Administrator) 레벨, 셋업 엔지니어(Setup Engineer) 레벨 및, 소프트웨어 엔지니어(SW Engineer) 레벨 순으로 상위 레벨이다.That is, the user level provides each user to log in to process an authentication procedure registered for each user. The authentication process consists of a user ID and a password. This user level is set in every menu of the user interface. Specifically, the user level includes an operator level capable of working in a logged out state, an engineer level in a logged in state, an administrator level, a setup engineer level, and a software engineer. (SW Engineer) level and the like. At the highest level of the user level, the user authentication process is randomly changed to a certain rule to protect the account. Here, the level is higher in the order of the Engineer level, the Administrator level, the Setup Engineer level, and the Software Engineer level.

사용자 레벨은 선택 메뉴가 사용자 레벨을 만족하지 못할 경우, 메뉴 접근은 물론 선택조차 할 수 없도록 표시하지 않는다(hidden). 또 다른 사용자 레벨은 선택 메뉴가 그에 정의된 사용자 레벨을 만족 못하더라도 해당 메뉴의 데이터 모니터 링은 가능하게 하고, 데이터의 접근 예를 들어, 편집, 저장, 입력(import) 등과 같은 이벤트 항목에 대해서는 데이터 취급을 제한하도록 처리한다.The user level does not indicate that the menu cannot be accessed as well as selectable if the selection menu does not satisfy the user level. Another user level enables data monitoring of the menu even if the selection menu does not meet the user level defined for it, and access to the data, for example, for event items such as edit, save, import, etc. Handle to limit handling.

또 사용자 레벨에서의 계정 노출로 인하여, 예를 들어, 설비 구성에 대한 설정 메뉴로 일반 사용자에게는 감춰야(hidden) 할 데이터를 처리하는 메뉴들 및, 설정 변경시 시스템에 치명적인 영향을 주는 데이터 취급을 제공하는 메뉴들은 유저 레벨의 최상위 계정에서만 선택할 수 있도록 접근을 제한한다. 이에 이 계정의 사용자 인증 절차는 계정을 랜덤하게 변경함으로써, 치명적인 데이터로의 접근을 제한한다.In addition, due to account exposure at the user level, menus for handling data that should be hidden to the general user, for example, a setup menu for a plant configuration, and handling of data that have a fatal effect on the system when the settings are changed. The provided menus restrict access so that they can only be selected at the user level top level account. This account's user authentication procedure changes the account randomly, restricting access to critical data.

다시 도 3을 참조하면, 레시피 데이터(150)는 도 4에 도시된 바와 같이, 레시피 데이터(150)의 헤더(header)를 포함한다. 헤더는 레시피 그룹 정보를 저장한다. 헤더는 각각의 레시피 별로 고유의 식별 번호(ID)(152)와 레시피명(154) 및 커맨드(156) 등을 포함한다.Referring back to FIG. 3, the recipe data 150 includes a header of the recipe data 150, as shown in FIG. 4. The header stores recipe group information. The header includes a unique identification number (ID) 152, a recipe name 154, a command 156, and the like for each recipe.

식별 번호(ID)는 사용자 레벨, 목적 및 사용 용도에 따라 여러 가지로 정의된 다. 예를 들어, 제 1 식별 번호(도 5의 ID0)는 엔지니어 레벨의 사용자 접근을 제한하고, 동시에 처리중인 레시피의 편집을 제한한다. 제 2 식별 번호(도 5의 ID1)는 유저 레벨의 접근에 대하여 제한이 없고, 처리중인 레시피의 편집을 허용한다.Identification numbers are defined in various ways depending on the user level, purpose and purpose of use. For example, the first identification number (ID0 in FIG. 5) restricts engineer level user access and simultaneously limits editing of the recipe being processed. The second identification number (ID1 in Fig. 5) has no restriction on user level access and allows editing of the recipe being processed.

데이터 처리부(142)는 레시피 데이터(150)들 각각에 고유의 식별 번호(도 4의 152)를 부여하고, 식별 번호(152)에 대응하여 레시피 그룹(162 ~ 166)을 생성하며, 그리고 레시피 그룹(162 ~ 166)들을 레시피 리스트(160)에 등록하도록 처리한 다.The data processing unit 142 assigns a unique identification number (152 in FIG. 4) to each of the recipe data 150, generates recipe groups 162 ˜ 166 in response to the identification number 152, and recipe group Processes 162 to 166 to register in the recipe list 160.

레시피 리스트(160)는 데이터 처리부(142)에 의해 생성된 레시피 그룹(162 ~ 166)들을 그룹 단위로 관리한다. 예를 들어, 레시피 리스트는 도 5에 도시된 바와 같이, 새로운 레시피 데이터가 생성될 때 순차적으로 생성되는 일련 번호(160a)와, 각 레시피 데이터(150)의 고유 식별 번호(160b) 및 레시피 명(160c) 등을 리스트화한다. 또 레시피 그룹(162 ~ 166)들은 각각의 레시피 데이터(150)에 부여된 고유 식별 번호(160c)를 확인하여 각각의 해당 레시피 그룹(162 ~ 166)에 포함되도록 리스트화한다.The recipe list 160 manages the recipe groups 162 ˜ 166 generated by the data processor 142 in group units. For example, the recipe list includes a serial number 160a sequentially generated when new recipe data is generated, a unique identification number 160b and a recipe name of each recipe data 150, as shown in FIG. 160c) and the like. In addition, the recipe groups 162 to 166 identify the unique identification number 160c assigned to each recipe data 150 and list the recipe groups 162 to 166 to be included in each corresponding recipe group 162 to 166.

그리고 디스플레이 구동부(144)는 데이터 처리부(142)에 의해 어느 하나의 레시피 그룹(162 ~ 166)이 선택되면, 도 6에 도시된 바와 같이, 레시피 그룹 단위로 유저 인터페이스 화면(170)에 출력되도록 처리한다. 이 실시예에서는 2 개의 레시피 그룹(172, 174)으로 정의되어 있다. 즉, 레시피 그룹(172, 174)들은 프로세스 그룹(172)과 테스트 그룹(174)을 포함한다. 각각의 레시피 그룹에는 사용자 레벨(176)과 레시피 명 및 레시피에 대한 처리 내용(커맨드)가 포함된다. 그러므로 레시피 그룹에 포함되는 어느 하나의 레시피에 대하여, 사용자 레벨에 따라 처리 가능하거나, 모니터링 가능하는 등의 권한을 설정할 수 있다.In addition, when any one recipe group 162 ˜ 166 is selected by the data processor 142, the display driver 144 processes the output unit 144 to be output to the user interface screen 170 in units of recipe groups as illustrated in FIG. 6. do. In this embodiment, two recipe groups 172 and 174 are defined. That is, recipe groups 172 and 174 include process group 172 and test group 174. Each recipe group includes user level 176, recipe name, and processing content (command) for the recipe. Therefore, one of the recipes included in the recipe group can be set according to the user level, such as processable or monitorable.

그리고 도 7은 본 발명에 따른 반도체 제조 설비의 제어 시스템의 복수 개의 레시피들을 운영하기 위한 처리 수순을 도시한 흐름도이다.7 is a flowchart illustrating a processing procedure for operating a plurality of recipes of a control system of a semiconductor manufacturing facility according to the present invention.

도 7을 참조하면, 단계 S180에서 레시피 그룹(162 ~ 166)을 정의한다. 이는 사용자에 의해서 다양하게 정의된다. 예를 들어, 각각의 레시피 그룹(162 ~ 166)에 대하여, 레시피 그룹명(172, 174), 레시피 사용 권한(176) 및, 레시피 내용 등을 정의할 수 있다. 단계 S182에서 레시피 마다 식별 번호(160b)를 부여한다. 이 식별 번호(160b)는 레시피 그룹(162 ~ 166)을 분류하는데 이용된다. 즉, 데이터 처리부(142)는 각 레시피 데이터(150)의 헤더에 설정된 식별 번호(152)를 판별하여 적어도 하나의 레시피 그룹(162 ~ 166)으로 분류한다.Referring to FIG. 7, recipe groups 162 to 166 are defined in step S180. This is variously defined by the user. For example, recipe group names 172 and 174, recipe permission 176, recipe contents, and the like may be defined for each recipe group 162 to 166. In step S182, an identification number 160b is assigned to each recipe. This identification number 160b is used to classify recipe groups 162-166. That is, the data processor 142 determines the identification number 152 set in the header of each recipe data 150 and classifies it into at least one recipe group 162 ˜ 166.

단계 S184에서 분류된 레시피 그룹(162 ~ 166)들의 그룹별로 레시피 데이터를 분류하여 레시피 리스트(160)를 생성한다. 이어서 단계 S186에서 어느 하나의 레시피 그룹이 선택되면, 레시피 리스트(160)에서 추출하여 레시피 그룹별로 레시피 데이터(150)들을 표시한다.The recipe list 160 is generated by classifying recipe data for each group of the recipe groups 162 ˜ 166 classified in step S184. Subsequently, if any one recipe group is selected in step S186, the recipe data 160 is extracted from the recipe list 160 to display recipe data 150 for each recipe group.

상술한 바와 같이, 본 발명의 제어 시스템(100)은 플로우 레시피를 사용자 레벨과, 레시피 그룹에 따라 분리 운용이 가능하다．레시피 그룹은 사용자의 정의에 따라 달라질 수 있다.As described above, the control system 100 of the present invention can separate and operate a flow recipe according to a user level and a recipe group. The recipe group may vary according to a user's definition.

이는 유저 인터페이스에서 플로우 레시피들을 어떤 기준에 따라 구분하여 표시할 수 있도록 한다. 예를 들어, 도 6에 도시된 바와 같이, 플로우 레시피의 레시피 그룹(172, 174)은 프로세스 그룹(172)과, 테스트 그룹(174)으로 정의한다. 여기서 프로세스 그룹(172)은 반도체 제조 설비(130)에서 실제로 런(Run) 진행시 사용하는 플로우 레시피들이고, 테스트 그룹(174)은 테스트 런 진행시 사용하는 플로우 레시피들이다.This allows the user interface to display flow recipes according to some criteria. For example, as shown in FIG. 6, the recipe groups 172 and 174 of the flow recipe are defined as the process group 172 and the test group 174. Here, the process group 172 is a flow recipe used in the actual run run in the semiconductor manufacturing facility 130, the test group 174 is a flow recipe used in the progress of the test run.

따라서 런을 진행할 때, 레시피 리스트에서 해당 플로우 레시피를 선택하여, 플로우 레시피를 목적 및 사용 용도에 따라 작성할 수 있다. 다른 예로서 레시피 그룹은 공정 스텝별, 사용자별로 정의할 수도 있다.Therefore, when proceeding with the run, the flow recipe can be selected from the recipe list and the flow recipe can be created according to the purpose and use. As another example, a recipe group may be defined for each process step or user.

또 레시피 그룹을 정의하기 위하여, 레시피 데이터(150)의 헤더에 식별 번호(152)를 부여하고, 각각의 레시피 그룹(172, 174)에 대해 사용자 레벨(176)을 설정한다. 이는 사용자 레벨에 따라 레시피 그룹을 유저 인터페이스의 화면으로 표시하는지의 여부와, 런 중인 레시피의 편집 여부 등을 설정할 수 있다.In order to define a recipe group, an identification number 152 is assigned to a header of the recipe data 150, and a user level 176 is set for each recipe group 172,174. According to the user level, it is possible to set whether to display a recipe group on the screen of the user interface, whether to edit a recipe that is running, and the like.

이상에서, 본 발명에 따른 반도체 제조 설비의 제어 시스템의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.In the above, the configuration and operation of the control system of the semiconductor manufacturing equipment according to the present invention has been shown in accordance with the detailed description and drawings, but this is merely described by way of example, and various changes without departing from the spirit of the present invention. And changes are possible.

도 1은 본 발명에 따른 반도체 제조 설비의 제어 시스템의 구성을 도시한 블럭도;1 is a block diagram showing a configuration of a control system of a semiconductor manufacturing facility according to the present invention;

도 2는 도 1에 도시된 상위 또는 하위 제어부의 구성을 도시한 블럭도;FIG. 2 is a block diagram showing the configuration of the upper or lower controller shown in FIG. 1; FIG.

도 3은 도 2에 도시된 제어 프로그램의 구성을 도시한 블럭도;3 is a block diagram showing the configuration of the control program shown in FIG. 2;

도 4는 도 3에 도시된 레시피 데이터의 구성을 도시한 도면;4 is a diagram showing the configuration of the recipe data shown in FIG. 3;

도 5는 도 2에 도시된 레시피 데이터를 그룹으로 분류한 도면;FIG. 5 is a diagram sorting recipe data shown in FIG. 2 into groups; FIG.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 그룹별로 레시피를 나타내는 유저 인터페이스의 구성을 도시한 도면; 그리고6 is a diagram illustrating a configuration of a user interface representing a recipe for each group according to an embodiment of the present invention; And

도 7은 본 발명에 따른 반도체 제조 설비의 제어 시스템의 복수 개의 레시피들을 운영하기 위한 처리 수순을 도시한 흐름도이다.7 is a flowchart illustrating a processing procedure for operating a plurality of recipes of a control system of a semiconductor manufacturing facility according to the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100 : 제어 시스템 102, 104 : 네트워크100: control system 102, 104: network

110, 120 : 제어부 130 : 반도체 제조 설비110, 120: control unit 130: semiconductor manufacturing equipment

140 : 제어 프로그램 142 : 데이터 처리부140: control program 142: data processing unit

150 : 레시피 데이터 160 : 레시피 리스트150: recipe data 160: recipe list

162 ~ 166 : 레시피 그룹162 ~ 166: Recipe Group

Claims (13)

반도체 제조 설비의 제어 시스템에 있어서:In the control system of a semiconductor manufacturing facility: 복수 개의 레시피 데이터와;A plurality of recipe data; 상기 레시피 데이터들 각각에 고유의 식별 번호를 부여하고, 상기 식별 번호에 대응하여 적어도 하나의 레시피 그룹을 생성하는 데이터 처리부 및;A data processor for assigning a unique identification number to each of the recipe data and generating at least one recipe group corresponding to the identification number; 상기 데이터 처리부에 의해 상기 레시피 그룹별로 상기 레시피 데이터를 표시하도록 처리하는 디스플레이 구동부를 포함하는 반도체 제조 설비의 제어 시스템.And a display driver configured to process the recipe data to be displayed for each recipe group by the data processor. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제어 시스템은;The control system; 상기 레시피 그룹별로 관리하는 레시피 리스트를 더 포함하되;A recipe list managed for each recipe group; 상기 데이터 처리부는 상기 레시피 그룹들을 상기 레시피 리스트에 등록하도록 처리하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 제어 시스템.And the data processing unit processes the recipe groups to be registered in the recipe list. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 레시피 데이터는 헤더에 상기 식별 번호를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 제어 시스템.And the recipe data includes the identification number in a header. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 데이터 처리부는 상기 레시피 그룹에 사용자 레벨에 따라 레시피의 권한을 더 정의하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 제어 시스템.The data processing unit further defines a control authority of a recipe according to a user level in the recipe group. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,6. The method according to any one of claims 1 to 5, 상기 식별 번호는 사용자 레벨, 레시피의 목적 및 레시피의 사용 용도에 따라 정의되는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 제어 시스템.The identification number is defined according to the user level, the purpose of the recipe and the intended use of the recipe. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제어 시스템은 상기 반도체 제조 설비와 연결되는 하위 제어부와 상기 하위 제어부와 연결되는 상위 제어부를 포함하되;The control system includes a lower controller connected to the semiconductor manufacturing facility and an upper controller connected to the lower controller; 상기 레시피 데이터와, 상기 데이터 처리부 및 상기 디스플레이 구동부는 상기 하위 및 상기 상위 제어부 중 적어도 하나에 구비되는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.And the recipe data, the data processor and the display driver are provided in at least one of the lower and upper controllers. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 하위 제어부는 상기 반도체 제조 설비와 네트워크를 통해 연결되는 클라이언트 툴 컨트롤러로 구비되는 것을 특징으로 하는 제어 시스템.And the lower controller is provided as a client tool controller connected to the semiconductor manufacturing equipment through a network. 다수의 레시피 데이터들을 구비하는 반도체 제조 설비를 제어하는 제어 시스 템의 레시피 관리 방법에 있어서;A recipe management method of a control system for controlling a semiconductor manufacturing facility having a plurality of recipe data; 사용자에 의해 상기 레시피 데이터들을 분류하기 위한 적어도 하나의 레시피 그룹을 정의하고;Define at least one recipe group for classifying the recipe data by a user; 상기 레시피 데이터들 각각에 고유의 식별 번호를 부여하고;Assign a unique identification number to each of said recipe data; 상기 식별 번호를 판별하여 상기 적어도 하나의 레시피 그룹으로 분류하고; 이어서Determine the identification number and classify it into the at least one recipe group; next 상기 분류된 레시피 그룹들을 그룹 단위로 복수 개의 레시피 데이터들을 표시하는 것을 특징으로 하는 레시피 관리 방법.The recipe management method characterized in that for displaying the plurality of recipe data grouped by the group recipe. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 적어도 하나의 레시피 그룹을 정의하는 것은;Defining the at least one recipe group; 상기 레시피 데이터들을 레시피의 목적 및 용도별로 정의하는 것을 특징으로 하는 레시피 관리 방법.Recipe management method, characterized in that for defining the recipe data for each purpose and purpose of the recipe. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 적어도 하나의 레시피 그룹을 정의하는 것은;Defining the at least one recipe group; 사용자 레벨에 따라 레시피의 권한을 더 정의하는 것을 특징으로 하는 레시피 관리 방법.Recipe management method characterized by further defining the authority of the recipe according to the user level. 제 8 항 또는 제 10 항에 있어서,The method according to claim 8 or 10, 상기 식별 번호를 부여하는 것은;Assigning the identification number; 상기 레시피 데이터들 각각의 헤더에 설정하는 것을 특징으로 하는 레시피 관리 방법.Recipe management method characterized in that the setting in the header of each of the recipe data. 제 11 항에 있어서,The method of claim 11, 상기 레시피 관리 방법은;The recipe management method; 상기 분류된 레시피 그룹들을 그룹 단위로 복수 개의 레시피 데이터들로 리스트를 생성하는 것을 더 포함하는 레시피 관리 방법.The method of claim 1, further comprising generating a list of the plurality of recipe data grouped recipe groups in groups. 제 12 항에 있어서,13. The method of claim 12, 상기 레시피 데이터들을 표시하는 것은;Displaying the recipe data; 사용자에 의해 어느 하나의 레시피 그룹이 선택되면, 상기 리스트로부터 추출하여 레시피 그룹 단위로 상기 레시피 데이터들을 표시하는 것을 특징으로 하는 레시피 관리 방법.When one recipe group is selected by a user, the recipe data is extracted from the list to display the recipe data in recipe group units.
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