KR20100054552A - Substrate transfer apparatus capable of displaying convey speed - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A substrate transport apparatus capable of displaying a conveying speed is provided to measure and display the number of rotation of a shaft in real time. CONSTITUTION: A substrate transport apparatus(1) capable of displaying a conveying speed comprises a rotation measuring member(60) which is placed in one side of a shaft(20) which is rotated with a driving member(50) and measures the number of rotation of the shaft in real time and displays in a display member(70). The rotation measurement member comprises a sensor plate(62) which is inserted into one side of the shaft and includes a plurality of through holes and an optical sensor(63) which measures the number of rotation of the sensor plate by the through hole in the sensor plate.

Description

이송속도의 디스플레이가 가능한 기판이송장치{Substrate transfer apparatus capable of displaying convey speed}Substrate transfer apparatus capable of displaying convey speed

본 발명은 기판이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판을 이송시키는 기판이송장치에 있어서 구동부재에 의해 회전되는 샤프트의 일측에 연결된 샤프트 회전측정부재를 통하여 상기 샤프트의 회전속도를 실시간으로 측정하고 이를 디스플레이수단을 통하여 디스플레이 할 수 있는 이송속도의 디스플레이가 가능한 기판이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, in a substrate transfer apparatus for transferring a substrate, a rotation speed of the shaft is measured in real time through a shaft rotation measuring member connected to one side of a shaft rotated by a driving member. The present invention relates to a substrate transport apparatus capable of displaying a transport speed that can be displayed through a display means.

최근 들어, 핸드폰(Mobile phone), PDA, 노트북 컴퓨터 등과 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 경박단소용의 평판표시장치(FPD)에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 LCD, PDP, FED, VFD 등이 활발히 연구되고 있지만, 양산화 기술, 구동수단의 용이성, 고화질의 구형이라는 이유로 인해 현재에는 LCD 즉, 액정표시소자가 각광을 받고 있다.In recent years, with the development of various portable electronic devices such as mobile phones, PDAs, notebook computers, and the like, there is an increasing demand for a flat panel display device (FPD) for light and small size that can be applied thereto. LCDs, PDPs, FEDs, VFDs, etc. have been actively studied as such flat panel displays. However, LCDs, that is, liquid crystal display devices, have been in the spotlight for the reason of mass production technology, ease of driving means, and high quality spherical shape.

상기와 같은 액정표시소자를 제조하기 위해 기판 상에는 패턴의 형성을 위해 예컨대, 식각, 세정, 또는 건조와 같은 다양한 공정이 수행되어야 한다. 그런데 상기 기판은 각각의 챔버 내에서 기판이송장치에 의해서 이송되면서 상기와 같은 각 각의 공정이 수행되는데, 예를 들어, 기판은 기판이송장치에 의해 이송되면서 식각액에 의해 습식 식각되거나 세정액에 의해 세정되게 된다.In order to manufacture the liquid crystal display device as described above, various processes such as etching, cleaning, or drying must be performed on the substrate to form a pattern. By the way, the substrate is transported by the substrate transfer apparatus in each chamber as described above, each process is carried out, for example, the substrate is transferred by the substrate transfer apparatus wet etching by the etchant or cleaned by the cleaning liquid Will be.

상기와 같이 기판을 이송하는 기판이송장치는 회전력을 제공하는 구동부재와, 상기 구동부재에 의해 회전하고 기판을 이송하는 다수의 롤러가 축방향을 따라 각각 설치되는 다수의 샤프트를 포함한다.The substrate transfer apparatus for transferring a substrate as described above includes a driving member for providing a rotational force, and a plurality of shafts, each of which is rotated by the driving member and a plurality of rollers for feeding the substrate, are installed along the axial direction.

그러나 상기와 같은 기판이송장치는 각 챔버 내에서 각 공정이 수행되는 동작 시간(Tack time)의 지연이 발생하는 경우, 공정 수행을 중지시키고 작업자가 직접 타코미터(Tachometer)를 이용하여 기판이송장치의 RPM을 측정하여 상기 기판이송장치에 문제가 발생하였는지 여부를 체크하여야만 했다. 즉, 기판이송장치가 어느 정도 속도로 진행되는지 실시간으로 알 수 없어 상기와 같이 타코미터를 통하여 기판이송장치의 샤프트의 회전수를 측정하기 전에는 기판이송장치에 어떤 문제가 발생하였는지를 즉각적으로 알 수 없어 공정 수행을 중지시켜야만 했기 때문에, 제품 생산 수율이 떨어지는 문제점이 있다.However, the substrate transfer device as described above stops the process execution when a delay occurs in the operation time (Tack time) that each process is performed in each chamber, the operator directly using the tachometer (Tachometer) RPM of the substrate transfer device It was necessary to check whether or not a problem occurred in the substrate transfer apparatus by measuring. That is, it is not possible to know in real time how fast the substrate transfer device is progressing. Therefore, it is impossible to know immediately what kind of problem has occurred in the substrate transfer device until the rotation speed of the shaft of the substrate transfer device is measured through the tachometer as described above. Since the performance had to be stopped, there is a problem that the yield of product production falls.

또한, 상기와 같이 작업자가 직접 타코미터를 이용하여 기판이송장치의 샤프트를 회전하는 작업은 각 공정을 수행하는데 필요한 약액 등에 작업자가 노출되는 문제점이 있다.In addition, as described above, the operator directly rotates the shaft of the substrate transfer apparatus by using a tachometer, such that the operator is exposed to the chemical liquid required to perform each process.

또한, 상기 기판이송장치의 자동 동작을 위한 정확한 이송속도의 세팅시 한명의 작업자가 타코미터를 이용한 샤프트의 이송속도를 체크하고 다른 한명의 작업자가 기판이송장치의 구동부재를 구동시켜야만 하므로 인력소비가 많이 발생되는 문제점이 있다.In addition, when setting the correct feed rate for the automatic operation of the substrate transfer device, since one operator must check the transfer speed of the shaft using a tachometer and the other operator must drive the drive member of the substrate transfer device, a lot of manpower consumption is generated. There is a problem.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 고려하여 안출된 것으로서, 기판이송장치에 있어서 구동부재에 의해 회전되는 샤프트의 일측에 상기 샤프트의 회전수를 실시간으로 측정하는 회전측정부재를 구비하고 상기 측정된 회전수를 외부의 디스플레이수단을 통해 디스플레이할 수 있는 이송속도의 디스플레이가 가능한 기판이송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made in view of the above problems, in the substrate transfer apparatus having a rotation measuring member for measuring the rotational speed of the shaft in real time on one side of the shaft rotated by the drive member and the measured rotational speed It is an object of the present invention to provide a substrate transfer apparatus capable of displaying a transfer speed that can be displayed through an external display means.

또한, 본 발명은 상기 샤프트의 회전수를 실시간으로 측정하고 이를 디스플레이하여 기판이송장치의 문제점을 신속히 알 수 있고 작업자의 약액에 대한 노출을 방지하고 이와 함께 이송속도 세팅에 따른 인력 소비와 장비 구입비 등을 절약할 수 있는 이송속도의 디스플레이가 가능한 기판이송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. In addition, the present invention by measuring the number of revolutions of the shaft in real time and display it can quickly know the problem of the substrate transfer device, and prevent the exposure of the operator to the chemical liquid and with this, manpower consumption and equipment purchase costs, etc. according to the feed rate setting It is an object of the present invention to provide a substrate transfer apparatus capable of displaying a transfer speed that can save the cost.

한편, 본 발명의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.Meanwhile, the object of the present invention is not limited to the above-mentioned objects, and other objects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판이송장치는, 기판의 이송 방향에 대해 수직한 방향으로 복수개가 평행하게 배열되는 각각의 샤프트에 그 길이방향으로 복수의 롤러들이 결합되고 구동부재에 의해 상기 샤프트와 롤러를 회전시키는 기판이송장치에 있어서 상기 구동부재에 의해 회전되 는 샤프트의 일측에 구비되어 상기 샤프트의 회전수를 실시간으로 측정하여 디스플레이부재에 디스플레이하는 회전측정부재를 포함하며, 상기 회전측정부재는, 상기 샤프트의 일측에 삽입 고정되고 다수개의 통공이 일정 간격으로 구비된 감지판과 이 감지판의 통공에 의해 감지판의 회전수를 측정하는 광센서를 포함한다.In order to achieve the above object, a substrate transfer apparatus according to a preferred embodiment of the present invention, a plurality of rollers are coupled in the longitudinal direction to each shaft is arranged in parallel in a direction perpendicular to the transfer direction of the substrate In the substrate transfer apparatus for rotating the shaft and the roller by a drive member is provided on one side of the shaft rotated by the drive member includes a rotation measuring member for measuring the rotational speed of the shaft in real time to display on the display member The rotation measuring member includes a sensing plate inserted into one side of the shaft and provided with a plurality of through holes at a predetermined interval, and an optical sensor for measuring the number of revolutions of the sensing plate by the through holes of the sensing plate.

본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 회전측정부재는, 상기 샤프트의 일측에 삽입 고정되고 다수개의 감지편이 일정 간격으로 구비된 감지판과 이 감지판의 감지편에 의해 감지판의 회전수를 측정하는 자기센서를 포함한다.According to a preferred embodiment of the present invention, the rotation measuring member is inserted into and fixed to one side of the shaft and a plurality of sensing pieces provided at regular intervals and the number of sensing plates by the sensing piece of the sensing plate to measure the number of revolutions It includes a magnetic sensor.

본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 회전측정부재는, 상기 샤프트의 회전수에 의한 회전속도와 기준 회전속도를 비교하여 그 결과를 작업자에게 알려준다.According to a preferred embodiment of the present invention, the rotation measuring member compares the rotational speed by the rotational speed of the shaft with the reference rotational speed and informs the operator of the result.

본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 회전측정부재는 동작시간(Tact time)을 더 측정하여 디스플레이한다.According to a preferred embodiment of the present invention, the rotation measuring member further measures and displays the operation time (Tact time).

본 발명에 의하면, 구동부재에 의해 회전되는 샤프트의 일측에 상기 샤프트의 회전수를 실시간으로 측정하는 회전측정부재를 구비하고 상기 측정된 회전수를 외부의 디스플레이수단을 통해 디스플레이함으로써, 상기 샤프트의 회전수를 통하여 기판이송장치의 문제점을 신속히 알 수 있고 작업자의 약액에 대한 노출을 방지하고 이와 함께 이송속도 세팅에 따른 인력 소비와 장비 구입비 등을 절약할 수 있다.According to the present invention, the rotation of the shaft is provided on one side of the shaft rotated by a drive member to measure the rotational speed of the shaft in real time and to display the measured rotational speed through an external display means. It is possible to quickly recognize the problem of the substrate transfer apparatus through the number, to prevent the exposure of the operator to the chemical liquid and to reduce the manpower consumption and equipment purchase cost according to the feed rate setting.

한편, 본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.On the other hand, the effects of the present invention is not limited to the effects mentioned above, other effects that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1과 도 2는 각각 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이송속도의 디스플레이가 가능한 기판이송장치를 나타낸 사시도와 평면도이고, 도 3a와 도 3b는 각각 도 1의 기판이송장치에 있어서 샤프트의 회전수를 측정하는 회전측정부재를 나타낸 사시도이다.1 and 2 are respectively a perspective view and a plan view showing a substrate transfer apparatus capable of displaying the transfer speed according to a preferred embodiment of the present invention, Figures 3a and 3b is the rotational speed of the shaft in the substrate transfer apparatus of Figure 1, respectively Is a perspective view showing a rotation measuring member for measuring.

도 1 내지 도 3b에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판이송장치(1)는, 복수의 샤프트(20), 복수의 롤러(30), 구동부재(50), 회전측정부재(60) 및 디스플레이부재(70)를 포함한다.As shown in Figures 1 to 3b, the substrate transfer device 1 according to a preferred embodiment of the present invention, a plurality of shafts 20, a plurality of rollers 30, a drive member 50, a rotation measuring member 60 and the display member 70.

샤프트(20)는 기판(10)의 이송 방향에 대해 수직한 방향으로 복수개가 평행하게 배열되고, 각각의 샤프트(20)에는 그 길이방향으로 복수의 롤러(30)들이 결합된다. 각각의 롤러(30)는 원통형의 형상을 가지고 내부에 샤프트(20)가 삽입되는 관통홀을 가지며, 샤프트(20) 상에서 미끄러지지 않도록 삽입되어 있어 샤프트(20)가 회전할 때 함께 회전된다. 구동부재(50)의 회전력이 각각의 샤프트(20)와 롤러(30)에 전달되고 롤러(30)의 상부에 놓여져 롤러(30)에 직접 맞닿아 접촉하는 기판(10)은 일방향으로 이송된다.A plurality of shafts 20 are arranged in parallel in a direction perpendicular to the transport direction of the substrate 10, a plurality of rollers 30 are coupled to each shaft 20 in the longitudinal direction thereof. Each roller 30 has a cylindrical shape and has a through hole into which the shaft 20 is inserted, and is inserted so as not to slide on the shaft 20 so that the roller 20 rotates together when the shaft 20 rotates. The rotational force of the driving member 50 is transmitted to each shaft 20 and the roller 30, and is placed on the upper portion of the roller 30 to directly contact the roller 30, and the substrate 10 is transferred in one direction.

구동부재(50)는 기판(10)을 이송시키기 위해 샤프트(20)와 롤러(30)를 회전 시킨다. 구동부재(50)는 샤프트(20)에 회전력을 제공하는 구동모터와, 각각의 샤프트(20) 일단에 결합되어 회전력을 전달하는 풀리 및 각각의 샤프트(20)에 결합된 풀리들을 연결하는 벨트를 포함한다. 여기서, 상기 벨트와 풀리 대신에 각각의 샤프트(20)의 양단에 기어(미도시)가 결합되고 인접하는 샤프트(20)들에 설치되는 기어는 서로 맞물리도록 위치하여 회전력을 전달할 수도 있다. 또한, 기계적 마찰에 의해 파티클이 생기지 않도록 자력을 이용하여 회전력을 전달하는 자석부재(미도시)가 사용될 수도 있다.The driving member 50 rotates the shaft 20 and the roller 30 to transfer the substrate 10. The driving member 50 includes a drive motor for providing rotational force to the shaft 20, a pulley coupled to one end of each shaft 20 to transmit rotational force, and a belt connecting pulleys coupled to each shaft 20. Include. Here, gears (not shown) are coupled to both ends of each shaft 20 instead of the belt and the pulley, and the gears installed on the adjacent shafts 20 may be positioned to engage with each other to transmit rotational force. In addition, a magnet member (not shown) for transmitting rotational force by using magnetic force may be used so that particles are not generated by mechanical friction.

기판(10)의 양측에는 한 쌍의 대칭구조를 가지는 샤프트지지부재(40)가 마주보도록 설치되는데, 상기 샤프트지지부재(40)들 사이에는 복수의 샤프트(20)들이 배치되며, 각각의 샤프트(20)는 균일한 간격으로 기판(10)의 이송방향에 대해 수직한 방향으로 서로 평행하게 배치된다. 여기서, 샤프트(20)들은 수평하게 배치되거나, 일단이 타단에 비해 높게 위치되도록 경사지게 배치될 수 있다.On both sides of the substrate 10, a shaft support member 40 having a pair of symmetrical structures is installed to face each other. A plurality of shafts 20 are disposed between the shaft support members 40, and each shaft ( 20 are arranged parallel to each other in a direction perpendicular to the transfer direction of the substrate 10 at uniform intervals. Here, the shafts 20 may be arranged horizontally or inclined so that one end is positioned higher than the other end.

도 1에 도시된 바와 같이, 샤프트지지부재(40)는 복수의 샤프트(20)를 동시에 지지할 수 있도록 일체형으로 구성될 수 있으나, 각각의 샤프트(20)를 별도로 지지할 수 있도록 각 샤프트(20)마다 한 쌍의 지지장치로 구성될 수도 있다.As shown in FIG. 1, the shaft support member 40 may be integrally formed to simultaneously support the plurality of shafts 20, but each shaft 20 may be separately supported for each shaft 20. Each pair may be composed of a pair of supporting devices.

회전측정부재(60)는 구동부재(50)에 의해 회전되는 샤프트(20)의 일측 샤프트지지부재(40)에 구비되어 샤프트(20)의 회전수를 실시간으로 측정하기 위한 것으로, 도 3a에 도시된 바와 같이, 샤프트(20)의 일측에 삽입 고정되고 다수개의 통공(61)이 일정 간격으로 구비된 감지판(62)과 이 감지판(62)의 통공(61)에 의해 감지판(62)의 회전수를 측정하는 광센서(63)를 포함하거나, 도 3b에 도시된 바와 같 이, 샤프트(20)의 일측에 삽입 고정되고 다수개의 감지편(66)이 일정 간격으로 구비된 감지판(67)과 이 감지판(67)의 감지편(66)에 의해 감지판(67)의 회전수를 측정하는 자기센서(68)를 포함한다.The rotation measuring member 60 is provided at one shaft support member 40 of the shaft 20 rotated by the driving member 50 to measure the rotation speed of the shaft 20 in real time, and is illustrated in FIG. 3A. As illustrated, the sensing plate 62 is inserted into and fixed to one side of the shaft 20, and the sensing plate 62 is provided with a plurality of through holes 61 at regular intervals, and the through hole 61 of the sensing plate 62. Including a photosensor 63 for measuring the number of revolutions of, or as shown in Figure 3b, is inserted into one side of the shaft 20 fixed to the sensing plate provided with a plurality of sensing pieces 66 at regular intervals ( 67 and a magnetic sensor 68 for measuring the rotational speed of the sensing plate 67 by the sensing piece 66 of the sensing plate 67.

또한, 회전측정부재(60)는 상기 감지판(62)(67)과 광센서(63) 또는 자기센서(68)를 통해 실시간으로 측정된 샤프트(20) 또는 감지판(62)(67)들의 회전수를 기판이송장치(1)의 외측 예를 들면, 각 공정 챔버의 바디에 구비된 디스플레이부재(70)에 RPM(기판이송장치에 의해 이송되는 기판의 이송속도)을 실시간으로 디스플레이되게 하는 연산모듈(미도시)을 더 포함한다.In addition, the rotation measuring member 60 of the shaft 20 or the sensing plate 62, 67 measured in real time through the sensing plate 62, 67 and the optical sensor 63 or the magnetic sensor 68. Calculation to display the rotational speed in real time on the outside of the substrate transfer device 1, for example, the RPM (feed speed of the substrate transferred by the substrate transfer device) to the display member 70 provided in the body of each process chamber. It further includes a module (not shown).

따라서 회전측정부재(60)에 의하면, 각 챔버 내에서 각 공정이 진행되는 동작시간(Tact time)의 지연이 발생하게 되면 작업자가 실시간으로 인지하도록 하여 상기 디스플레이되는 기판이송장치의 이송속도를 보면서 동작시간의 지연이 발생되기 전에 미리 적절한 조치를 취하도록 할 수 있다. Therefore, according to the rotation measuring member 60, when a delay of the operation time (Tact time) that each process is progressed in each chamber occurs so that the operator recognizes in real time to operate while watching the transport speed of the displayed substrate transfer device Appropriate measures can be taken before a delay occurs.

이를 위하여 회전측정부재(60)는, 상기 연산모듈(미도시)을 통하여 상기 측정된 기판의 이송속도와 미리 정해진 기판의 이송속도를 상호간 비교하여 비교 결과를 디스플레이부재(70) 이외의 별도로 제공될 수 있는 스피커 등을 통하여 알려주도록 할 수 있는 것이 바람직하다.To this end, the rotation measuring member 60 compares the feed rate of the substrate and the feed rate of a predetermined substrate with each other through the calculation module (not shown) to provide a comparison result other than the display member 70. It is desirable to be able to inform through a speaker or the like.

또한, 회전측정부재(60)에 의하면, 작업자가 직접 기판의 이송속도를 측정하지 않아도 됨으로써, 작업자가 약액에 노출되는 것을 방지할 수 있다.In addition, according to the rotation measuring member 60, the operator does not have to directly measure the transfer speed of the substrate, it is possible to prevent the operator from being exposed to the chemical liquid.

또한, 구동부재의 제어를 통한 기판이송장치의 이송속도 세팅시 한명의 작업자가 실시간으로 측정되어 디스플레이되는 기판의 이송속도를 보면서 구동부재를 제어 가능하게 함으로써, 종래에서처럼 2인의 작업자가 필요하지 않아 불필요한 인력 낭비를 막고 타코미터 등과 같은 장비 구입비용을 절약할 수 있다.In addition, when setting the feed rate of the substrate transfer apparatus through the control of the drive member, by allowing one operator to control the drive member while watching the feed rate of the substrate displayed and measured in real time, unnecessary manpower is unnecessary because there is no need for two workers as in the prior art This can prevent waste and reduce the cost of purchasing equipment such as tachometers.

따라서 상기와 같은 본 발명에 의하면, 구동부재에 의해 회전되는 샤프트의 일측에 상기 샤프트의 회전수를 실시간으로 측정하는 회전측정부재를 구비하고 상기 측정된 회전수를 외부의 디스플레이수단을 통해 디스플레이함으로써, 상기 샤프트의 회전수를 통하여 기판이송장치의 문제점을 신속히 알 수 있고 작업자의 약액에 대한 노출과 함께 이송속도 세팅에 따른 인력 소비와 장비 구입비 등을 절약할 수 있다.Therefore, according to the present invention as described above, by having a rotation measuring member for measuring the rotational speed of the shaft in real time on one side of the shaft rotated by the drive member and by displaying the measured rotational speed through an external display means, The rotation speed of the shaft can quickly recognize the problem of the substrate transfer device, and can reduce the labor consumption and equipment purchase cost according to the feed rate setting with the exposure of the operator to the chemical solution.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.While the preferred embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, those skilled in the art to which the present invention pertains have various permutations and modifications without departing from the spirit or essential features of the present invention. It is to be understood that the present invention may be practiced in other specific forms, since modifications may be made. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

도 1과 도 2는 각각 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이송속도의 디스플레이가 가능한 기판이송장치를 나타낸 사시도와 평면도이다.1 and 2 are a perspective view and a plan view showing a substrate transfer apparatus capable of displaying the transfer speed according to a preferred embodiment of the present invention, respectively.

도 3a와 도 3b는 각각 도 1의 기판이송장치에 있어서 샤프트의 회전수를 측정하는 회전측정부재를 나타낸 사시도이다.3A and 3B are perspective views illustrating a rotation measuring member for measuring the rotation speed of the shaft in the substrate transfer device of FIG. 1, respectively.

*도면 부호 설명** Drawing reference Explanation *

10 : 기판 20 : 샤프트10: substrate 20: shaft

30 : 롤러 40 : 샤프트지지부재30: roller 40: shaft support member

50 : 구동부 60 : 회전측정부재50: drive unit 60: rotation measuring member

70 : 디스플레이부재70: display member

Claims (4)

기판의 이송 방향에 대해 수직한 방향으로 복수개가 평행하게 배열되는 각각의 샤프트에 그 길이방향으로 복수의 롤러들이 결합되고 구동부재에 의해 상기 샤프트와 롤러를 회전시키는 기판이송장치에 있어서,In the substrate transfer apparatus for coupling a plurality of rollers in the longitudinal direction to each shaft arranged in parallel in a direction perpendicular to the transfer direction of the substrate and to rotate the shaft and the roller by a drive member, 상기 구동부재에 의해 회전되는 샤프트의 일측에 구비되어 상기 샤프트의 회전수를 실시간으로 측정하여 디스플레이부재에 디스플레이하는 회전측정부재를 포함하며,It is provided on one side of the shaft rotated by the drive member includes a rotation measuring member for displaying in real time by measuring the number of revolutions of the shaft on the display member, 상기 회전측정부재는,The rotation measuring member, 상기 샤프트의 일측에 삽입 고정되고 다수개의 통공이 일정 간격으로 구비된 감지판과 이 감지판의 통공에 의해 감지판의 회전수를 측정하는 광센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송속도의 디스플레이가 가능한 기판이송장치.It is possible to display the feed rate, characterized in that the insertion plate is fixed to one side of the shaft and provided with a plurality of apertures at regular intervals and an optical sensor for measuring the number of revolutions of the sensing plate by the aperture of the sensing plate Substrate transfer device. 제1항에 있어서, 상기 회전측정부재는,The method of claim 1, wherein the rotation measuring member, 상기 샤프트의 일측에 삽입 고정되고 다수개의 감지편이 일정 간격으로 구비된 감지판과 이 감지판의 감지편에 의해 감지판의 회전수를 측정하는 자기센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송속도의 디스플레이가 가능한 기판이송장치.The display of the feed rate is characterized in that it comprises a sensing plate inserted and fixed to one side of the shaft and provided with a plurality of sensing pieces at regular intervals and a magnetic sensor for measuring the rotational speed of the sensing plate by the sensing pieces of the sensing plate. Possible substrate transfer device. 제1항에 있어서, 상기 회전측정부재는,The method of claim 1, wherein the rotation measuring member, 상기 샤프트의 회전수에 의한 회전속도와 기준 회전속도를 비교하여 그 결과 를 작업자에게 알려주는 것을 특징으로 하는 이송속도의 디스플레이가 가능한 기판이송장치.Comparing the rotational speed by the rotational speed of the shaft and the reference rotational speed and the substrate conveying apparatus, characterized in that the operator informs the result of the transfer. 제1항에 있어서, 상기 회전측정부재는 동작시간(Tact time)을 더 측정하여 디스플레이하는 것을 특징으로 하는 이송속도의 디스플레이가 가능한 기판이송장치.The substrate transfer apparatus of claim 1, wherein the rotation measuring member further measures and displays a Tact time.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20150020399A (en) * 2013-08-13 2015-02-26 세메스 주식회사 Substrate treating apparatus and transporting method
KR20190073792A (en) * 2017-12-19 2019-06-27 주식회사 포스코 Apparatus for position measuring of material

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