KR20100054513A - Wafer transfer device - Google Patents

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KR20100054513A
KR20100054513A KR1020080113470A KR20080113470A KR20100054513A KR 20100054513 A KR20100054513 A KR 20100054513A KR 1020080113470 A KR1020080113470 A KR 1020080113470A KR 20080113470 A KR20080113470 A KR 20080113470A KR 20100054513 A KR20100054513 A KR 20100054513A
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KR1020080113470A
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김시은
구교욱
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세메스 주식회사
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Abstract

PURPOSE: A wafer transfer device is provided to allow a user to manage a transfer device supplying a substrate to a process chamber by reducing a wait time of an RIMS loader. CONSTITUTION: A housing(4) includes a gate so that a cassette is inputted into or drawn input and has one side which is connected to a process chamber. A loading stoker supplies cassette supplied to a load port from OHT in order. An unloading stoker(6) draws out the completed cassette from the process chamber. The FIMS loader(7) is interposed between the loading stocker and the unloading stoker and inputs the cassette into the process chamber.

Description

기판 이송 장치{Wafer transfer device} Board transfer device

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 프로세스 챔버에 기판을 공급할 때 연속적인 기판 공급이 가능한 기판 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus, and more particularly, to a substrate transfer apparatus capable of supplying a continuous substrate when supplying a substrate to a process chamber.

일반적으로, 반도체 제조장치는 증착, 포토리소그래피, 식각, 화학적 기계적 연마, 세정, 건조등과 같은 단위공정들의 반복적인 수행에 의해 제조된다.In general, a semiconductor manufacturing apparatus is manufactured by repetitive performance of unit processes such as deposition, photolithography, etching, chemical mechanical polishing, cleaning, drying, and the like.

상기 단위 공정들중 세정 및 건조공정은 각각의 단위공정들을 수행하는 동안 반도체 기판 표면에 잔류하는 이물질 또는 불필요한 막을 제거하는 공정이다.Among the unit processes, the cleaning and drying processes are for removing foreign substances or unnecessary films remaining on the surface of the semiconductor substrate during the respective unit processes.

상기 세정 및 건조공정을 수행하는 장치는 다수의 기판을 동시에 세정하는배치식 세정장치와 낱장단위로 기판을 세정하는 매엽식 세정장치로 구분되는 바, 상기 세정장치와 같은 프로세스 챔버에 기판을 공급하기 위해 기판 이송 장치가 필요하게 된다.The apparatus for performing the cleaning and drying process is divided into a batch type cleaning apparatus for simultaneously cleaning a plurality of substrates and a sheet type cleaning apparatus for cleaning the substrate in a sheet unit, to supply a substrate to a process chamber such as the cleaning apparatus. In order to achieve this, a substrate transfer device is required.

이는 도3에 도시된 바와 같이 로딩/언로딩부(50), 카세트 이송장치(51), FOUP(Front open unified pod)등과 같은 카세트(52)를 안착시키는 테이블(53), 이송통로 및 기판이송로봇(54) 그리고 세정챔버와 같은 프로세서 챔버(PM)들을 포함하여 구성된다. As shown in Fig. 3, this is a table 53 for seating a cassette 52 such as a loading / unloading unit 50, a cassette transfer device 51, a front open unified pod (FOUP), a transfer path and a substrate transfer. Robot 54 and processor chambers PM, such as a cleaning chamber.

기판들이 담겨진 카세트(52)는 자동반송장치(AGV(Automated Guided Vehicle)나 RGV(Rail Guided Vehicle)등에 의해 로딩/언로딩부(50)의 인/아웃 포트에 놓여지고, 카세트(52)에는 25매의 기판이 하나씩 카세트(52) 내에 수평하게 수납되어 있다. The cassette 52 containing the substrates is placed in the in / out port of the loading / unloading unit 50 by an automated conveying apparatus (AGV (Automated Guided Vehicle) or RGV (Rail Guided Vehicle). Each board | substrate is accommodated horizontally in the cassette 52 one by one.

로딩/언로딩부(50)는 카세트(52)가 로딩/언로딩되는 2개의 인/아웃 포트를 갖고, 로딩/언로딩부(50)와 인접한 곳에는 세정공정을 위해 운반되어진 카세트(52) 또는 다음 공정으로 운반되기 위한 카세트들이 대기상태로 보관되는 스톡커(미 도시)가 제공될 수 있다. The loading / unloading unit 50 has two in / out ports through which the cassette 52 is loaded / unloaded, and the cassette 52 transported for the cleaning process in the vicinity of the loading / unloading unit 50. Alternatively, a stocker (not shown) may be provided in which cassettes are stored on standby for transport to the next process.

한편, 로딩/언로딩부(50)와 이송통로 사이에는 카세트(52)의 도어를 개방하기 위한 오프너를 갖는 카세트 테이블이 배치되며, 카세트 테이블(53)과 로딩/언로딩부(50) 사이에는 카세트 이송을 위한 카세트 이송 로봇(51)이 배치된다. Meanwhile, a cassette table having an opener for opening the door of the cassette 52 is disposed between the loading / unloading unit 50 and the transfer passage, and between the cassette table 53 and the loading / unloading unit 50. A cassette transfer robot 51 for cassette transfer is arranged.

상기한 바와 같이 기판을 프로세스챔버(PM)로 이송하는 장치는 우선 로딩/언로딩부(50)의 인/아웃 포트에 카세트를 놓은 후, 카세트 이송장치(51)에 의해 스톡커(미 도시)로 옮겨지게 된다. As described above, the apparatus for transferring the substrate to the process chamber PM first places a cassette in the in / out port of the loading / unloading unit 50, and then the stocker (not shown) by the cassette conveying apparatus 51. Will be moved to.

스토커로 이송된 카세트(52)는 기판이송장치에 의해 순차적으로 세정챔버와 같은 프로세스 챔버(PM)에 투입되면서 세정 공정을 진행하게 된다.The cassette 52 transferred to the stocker is sequentially introduced into the process chamber PM such as the cleaning chamber by the substrate transfer device to perform the cleaning process.

그러나, 상기한 바와 같이 로딩/언로딩부에 카세트를 안착시키고 이를 이송로봇을 통해 카세트테이블 및 프로세스 챔버로 이송시키게 되면, 카세트를 프로세스 챔버로 투입한 후 로딩 및 언로딩 시 다른 카세트가 대기하는 시간이 길어지게 되고, 이로 인해 작업 효율이 저하되는 문제점이 있다.However, when the cassette is seated in the loading / unloading unit as described above and transferred to the cassette table and the process chamber through the transfer robot, the cassette waits for loading and unloading after the cassette is inserted into the process chamber. This becomes long, and there is a problem that the work efficiency is lowered.

따라서, 본 발명의 목적은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판을 FOUP등과 같은 카세트로 이송시켜 프로세스 챔버에 공급할 때 카세트의 대기 시간을 감소시키고 연속적으로 공급할 수 있도록 하여 작업 효율을 향상시킬 수 있는 기판이송장치를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to solve the above problems, the substrate is transferred to a cassette such as a FOUP, such as a substrate that can improve the work efficiency by reducing the standby time of the cassette when continuously supplied to the process chamber In providing a transfer device.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 로드포트가 전면에 노출되어 있고 기판이 수납, 취출되도록 구성된 카세트가 투입 및 인출되도록 게이트가 형성되고 일측이 프로세스 챔버와 연결되어 있는 하우징과, 상기 하우징의 내부에 설치됨과 아울러 OHT로부터 로드포트에 공급된 카세트가 순차 공급되는 로딩스토커 및 프로세스 챔버에서 공정이 완료된 카세트를 인출하는 언로딩스토커와, 상기 로딩스토커와 언로딩스토커의 사이에 배치되어 프로세스 챔버로 카세트 내부의 기판을 투입하는 FIMS로더를 포함한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a housing having a load port exposed to a front surface thereof, a gate formed to insert and withdraw a cassette configured to receive and withdraw a substrate, and having one side connected to a process chamber, and an interior of the housing. A loading stocker, which is installed at the same time and a cassette supplied to the load port from the OHT, and an unloading stocker which draws out the completed cassette in the process chamber, and a cassette disposed between the loading stocker and the unloading stocker in the process chamber It includes a FIMS loader for injecting the internal substrate.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발 명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the drawings. Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various different forms, only the embodiments are to make the disclosure of the present invention complete, and common knowledge in the art to which the present invention belongs It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, which is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

이상과 같이 본 발명은 프로세스 챔버에 FIMS로더로 기판을 공급할 때 로딩/언로딩 스토커에 카세트가 대기하고 있기 때문에, 카세트의 교체등을 위해 FIMS로더가 대기하면서 낭비하는 시간을 단축함으로써, 프로세스 챔버에 기판을 공급하는 이송 장치를 효율적으로 운용할 수 있게 되는 것이다.As described above, according to the present invention, since the cassette is waiting for the loading / unloading stocker when the substrate is supplied to the process chamber by the FIMS loader, the FIMS loader waits for the replacement of the cassette. The transfer apparatus for supplying the substrate can be efficiently operated.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and other effects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and the drawings. Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but can be implemented in various different forms, and only the embodiments make the disclosure of the present invention complete, and the general knowledge in the art to which the present invention belongs. It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, which is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 기판 이송 장치를 도시한 개략 사시도이고, 도 2는 도1의 개략 평면도로서, 로드포트(1)가 전면에 노출되어 있고 FOUP(Front open unified pod)등과 같은 카세트(2)가 인출되도록 게이트(3)가 형성되며 일측이 프로세스 챔버(PM)와 연결되어 있는 하우징(4)과, 상기 하우징(4)의 내부에 설치됨과 아울러 상하 2열로 배치되어 있는 로딩스토커(Loading stocker)(5) 및 언로딩스토커(Unoading stocker)(6)와, 상기 로딩스토커(5)와 언로딩스토커(6)의 사이에 배치되고 상하 2열로 설치된 FIMS(Front opening interface mechanical standard)로더(7)로 이루어져 있다.1 is a schematic perspective view showing a substrate transfer apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is a schematic plan view of FIG. 1, in which a load port 1 is exposed on the front surface and a cassette 2 such as a front open unified pod (FOUP) or the like. ) Is formed so that the gate 3 is drawn out, and one side of the housing 4 is connected to the process chamber PM, and a loading stocker installed in the housing 4 and arranged in two rows above and below. (5) and unoading stocker (6), and a front opening interface mechanical standard (FIMS) loader disposed between the loading stocker (5) and the unloading stocker (6) and installed in two rows above and below (7). )

물론, 상기 로딩스토커(5)/언로딩스토커(6) 및 FIMS로더(7)를 1열로 설치해도 되지만, 2열로 설치하는 것이 보다 효율적으로 카세트(2)를 공급 및 취출할 수 있게 된다.Of course, although the loading stocker 5 / unloading stocker 6 and the FIMS loader 7 may be provided in one row, the two rows of rows can supply and take out the cassette 2 more efficiently.

즉, 1열의 FIMS로더(7)로부터 기판이 프로세스 챔버(PM)으로 공급되어 소진되면, 즉시 다른 1열의 FIMS로더(7)에서 기판(W)을 공급하기 때문에 대기 지연시간이 없는 것이다.That is, when the substrate is supplied to the process chamber PM from the FIMS loader 7 in one row and exhausted, there is no waiting time because the substrate W is supplied from the other FIMS loader 7 in one row.

또한, 로딩 스토커(5)에 카세트(2)가 적재된 상태이기 때문에, 2열의 FIMS로더(7)에서 기판(W)을 모두 프로세스 챔버(PM)으로 공급하여 언로딩시키게 되면, 즉 시 로딩스토커(5)에서 카세트(2)를 공급할 수 있게 되어 대기 지연시간이 없게 되는 것이다.In addition, since the cassette 2 is loaded in the loading stocker 5, when the substrate W is supplied and unloaded from the two-row FIMS loader 7 to the process chamber PM, the loading stocker immediately. In (5), the cassette 2 can be supplied so that there is no waiting delay time.

상기 로드포트(1)에 안착된 카세트(2)는 하우징(4)에 설치되어 있는 공급로봇(8)에 의해 로딩/언로딩 스토커(5, 6) 및 FIMS 로더(7)에 공급되고 취출된다.The cassette 2 seated on the load port 1 is supplied to and taken out of the loading / unloading stockers 5 and 6 and the FIMS loader 7 by a supply robot 8 installed in the housing 4. .

상기 공급로봇은 통상적으로 매엽식 기판 처리 장치에서 적용되는 인덱스 반송 시스템으로 이루어지게 되는 바, 상기 인덱스 반송 시스템이 카세트(2)를 순차적으로 로딩 및 언로딩하는 것이다.The supply robot typically consists of an index conveying system applied in a sheet type substrate processing apparatus, in which the index conveying system sequentially loads and unloads the cassette 2.

또한, FIMS로더(7)에 공급된 카세트(2)의 내부에 적재된 기판(W)을 프로세스 챔버(PM)에 공급하는 것은, 일반적인 구성의 로딩/언로딩 로봇(9)으로서, FIMS로더(7)의 도어가 오픈되면 내부에 적재되어 있는 기판(W)을 하나씩 프로세스 챔버(PM)로 공급하도록 구성된 것이다.In addition, supplying the substrate W loaded in the cassette 2 supplied to the FIMS loader 7 to the process chamber PM is a loading / unloading robot 9 having a general configuration. When the door of 7) is opened, the substrate W loaded therein is configured to be supplied to the process chamber PM one by one.

상기 로드포트(1)에 카세트(2)를 이송시키는 것은 OHT(Overhead hoist transfer)(미도시)와 같은 이송장치인 바, 이는 매엽식 기판 세정 장치에서 통상적으로 사용하는 장치로서 자세하게 설명하지 않는다.Transferring the cassette 2 to the load port 1 is a transfer device such as an overhead hoist transfer (OHT) (not shown), which is not described in detail as a device commonly used in a sheet type substrate cleaning device.

특히, 하우징(4)의 내부에는 미세먼지로부터 각 장치들을 보호하기 위하여 도시되지 않은 일반적인 오염발생제거장치(FFU)가 설치된다.In particular, a general decontamination apparatus (FFU), not shown, is installed inside the housing 4 to protect the devices from fine dust.

상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 작동 및 그 작용모드에 대해 설명하면 다음과 같다. Referring to the operation and mode of operation of the substrate transfer apparatus according to the present invention configured as described above are as follows.

세정 챔버등과 같은 프로세스 챔버(PM)에 기판을 연속 공급하기 위하여, 먼저 OHT와 같은 이송 장치에 의해 FOUP카세트(2)가 로드포트(1)에 위치되는 바, 2개 의 FOUP 카세트(2)가 일렬로 로드포트(1)에 위치된다.In order to continuously supply a substrate to a process chamber PM such as a cleaning chamber or the like, first, the FOUP cassette 2 is positioned at the load port 1 by a transfer device such as OHT. Are positioned in the load port 1 in a row.

이 상태에서 인덱스 반송 시스템으로 이루어진 공급로봇(8)이 FOUP카세트(2)를 취출하여 순차적으로 로딩스토커(5), 언로딩스토커(6), FIMS 로더(7)에 공급하게 되는 바, 6개의 카세트가 로딩스토커(5), 언로딩스토커(6), FIMS로더(7)에 각각 삽입되어 대기하고 있는 상태가 된다.In this state, the supply robot 8 composed of the index conveying system takes out the FOUP cassette 2 and sequentially supplies it to the loading stocker 5, the unloading stocker 6, and the FIMS loader 7. The cassette is inserted into the loading stocker 5, the unloading stocker 6, and the FIMS loader 7, respectively, and is in a waiting state.

로딩스토커(5), 언로딩스토커(6), FIMS로더(7)에 카세트(2)가 삽입되어 있는 상태에서 로딩/언로딩 로봇(9)이 FIMS로더(7)에서 순차적으로 카세트(2) 내부의 기판(W)을 취출하여 프로세스챔버(PM)로 공급하게 된다.In the state where the cassette 2 is inserted into the loading stocker 5, the unloading stocker 6, and the FIMS loader 7, the loading / unloading robot 9 sequentially processes the cassette 2 at the FIMS loader 7. The substrate W therein is taken out and supplied to the process chamber PM.

이때, 상기 FIMS 로더(7)의 카세트(2) 내부에 수납되어 있는 기판(W)이 프로세스 챔버(PM)로 순차 공급된 후 카세트(2)의 기판(W)이 소진되면, 카세트(2)를 교체해야 하는 바, 그 측면에 설치된 로딩 스토커(5)의 카세트(2)를 공급로봇(8)이 취출하여 공급하게 됨과 아울러 다시 로드포트(1)에 공급되어 있는 카세트(2)를 로딩 스토커(5)에 투입하게 된다.At this time, when the substrate W stored in the cassette 2 of the FIMS loader 7 is sequentially supplied to the process chamber PM and the substrate W of the cassette 2 is exhausted, the cassette 2 The supply robot 8 takes out and supplies the cassette 2 of the loading stocker 5 installed on the side thereof, and the cassette 2 supplied to the load port 1 is loaded again. It is put in (5).

즉, 로딩스토커(5)가 버퍼(Buffer)의 역할을 하게 되는 것으로서, 로딩 스토커(5)에 항상 카세트가 대기하고 있게 되면 대기시간이 필요없이 즉시 프로세스 챔버(PM)에 카세트(2)를 공급할 수 있게 되는 것이다.That is, as the loading stocker 5 serves as a buffer, when the cassette is always waiting in the loading stocker 5, the cassette 2 may be immediately supplied to the process chamber PM without requiring a waiting time. It will be possible.

또한, FIMS로더(7)에 공급된 카세트(2)의 기판(W)이 프로세스 챔버(PM)로 모두 공급되어 소진되면, 로딩/언로딩 로봇(9)이 카세트(2)를 취출하여 언로딩스토커(6)에 투입하게 되고, 이를 공급로봇(8)이 취출하여 로드포트(1)를 통해 외부로 배출하게 된다.In addition, when the substrate W of the cassette 2 supplied to the FIMS loader 7 is supplied to the process chamber PM and exhausted, the loading / unloading robot 9 takes out and unloads the cassette 2. It is put into the stocker (6), the supply robot 8 is taken out and discharged to the outside through the load port (1).

물론, 상기 FIMS로더(7)에서 카세트(2)를 취출하는 것과 동시에 FIMS 로더(7)에 다시 카세트(2)를 공급하게 된다.Of course, the cassette 2 is supplied to the FIMS loader 7 at the same time as the cassette 2 is taken out of the FIMS loader 7.

상기한 바와 같이 일련의 카세트 공급 및 배출이 이루어지게 되면 다시 OHT로부터 로드포트(1)에 기판(W)이 적재되어 있는 카세트(2)가 공급되는 바, 이때 로딩 스토커(5)에는 카세트(2)가 들어 있는 상태이기 때문에 FIMS로더(7)에서 카세트(2)를 취출한 후 즉시 새로운 카세트(기판이 적재된)의 공급이 가능하게 되는 것이다.As described above, when a series of cassettes are supplied and discharged, the cassette 2 having the substrate W loaded thereon is supplied from the OHT to the load port 1 again, and the cassette 2 is supplied to the loading stocker 5. ), The cassette 2 is taken out of the FIMS loader 7, and a new cassette (substrate loaded) can be supplied immediately.

상기 OHT가 로드포트(1)에 카세트(2)를 공급하는 시점은 FIMS로더(7)의 카세트(2)가 프로세스 챔버(PM)로 공급되어 로딩 스토커(5)의 카세트를 이송시켜야 할 필요가 있는 시점이 된다.When the OHT supplies the cassette 2 to the load port 1, the cassette 2 of the FIMS loader 7 needs to be supplied to the process chamber PM to transfer the cassette of the loading stocker 5. It is a point in time.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, those skilled in the art to which the present invention pertains have various permutations, modifications, and modifications without departing from the spirit or essential features of the present invention. It is to be understood that modifications may be made and other embodiments may be embodied. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive.

도 1은 본 발명에 따른 기판 이송 장치를 도시한 개략 사시도이다.1 is a schematic perspective view showing a substrate transfer apparatus according to the present invention.

도 2는 도1에 따른 기판 이송 장치의 개략 평면도이다.2 is a schematic plan view of the substrate transfer apparatus according to FIG. 1.

도 3은 일반적인 기판 이송 장치를 도시한 평면도이다.3 is a plan view illustrating a general substrate transfer apparatus.

*도면의 주요 부분에 대한 설명** Description of the main parts of the drawings *

1: 로드포트 2: 카세트1: load port 2: cassette

3: 게이트 4: 하우징3: gate 4: housing

5: 로딩 스토커 6: 언로딩스토커5: Loading Stocker 6: Unloading Stocker

7: FIMS로더 8: 공급로봇7: FIMS Loader 8: Supply Robot

9: 로딩/언로딩로봇9: Loading / Unloading Robot

Claims (2)

기판 이송장치에 있어서, In the substrate transfer apparatus, 로드포트가 전면에 노출되어 있고 기판이 수납, 취출되도록 구성된 카세트가 투입 및 인출되도록 게이트가 형성되고 일측이 프로세스 챔버와 연결되어 있는 하우징과, A housing in which a load port is exposed on the front surface and a gate is formed to input and withdraw a cassette configured to receive and withdraw a substrate, and one side is connected to a process chamber; 상기 하우징의 내부에 설치됨과 아울러 OHT로부터 로드포트에 공급된 카세트가 순차 공급되는 로딩스토커 및 프로세스 챔버에서 공정이 완료된 카세트를 인출하는 언로딩스토커와, A loading stocker which is installed inside the housing and is sequentially supplied with a cassette supplied from the OHT to the load port, and an unloading stocker which draws out the cassette having been completed in the process chamber; 상기 로딩스토커와 언로딩스토커의 사이에 배치되어 프로세스 챔버로 카세트 내부의 기판을 투입하는 FIMS로더를 포함하는 기판 이송 장치.And a FIMS loader disposed between the loading stocker and the unloading stocker to feed the substrate inside the cassette into the process chamber. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 로딩스토커와 언로딩 스토커 및 FIMS로더는 상하 2열로 배치되는 기판 이송 장치.And the loading stocker, the unloading stocker, and the FIMS loader are arranged in two rows.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101283312B1 (en) * 2011-12-29 2013-07-09 로체 시스템즈(주) Auto loading system for front opening shipping box
KR20160004583A (en) * 2014-07-03 2016-01-13 세메스 주식회사 Apparatus for transferring a wafer

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