KR20100049880A - Microarray with micro-well pattern and manufacturing method of the same - Google Patents

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김영남
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C1/00Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate

Abstract

PURPOSE: A micro array substrate and manufacturing method thereof is provided to quantitatively achieve a detection result from the information of an amount of target DNA which is combined with a fixed amount of a complementary DNA. CONSTITUTION: A micro array substrate comprises: a base substrate(200) which is composed of glass, silicon, and silicone oxide; a self-assembled thin film(210) which is composed of one among thiol group, silanol group, phosphine, L-lysine, amine, aldehyde, epoxy and polylysine and coated on the base substrate; and a polymer substrate(100) which is composed of one among poly- dimethyl siloxane, poly- methyl methacrylate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene and polystyrene and wherein a microwell(110) is formed.

Description

마이크로 어레이 기판 및 그 제조방법{Microarray with micro-well pattern and Manufacturing method of the same}Microarray substrate and its manufacturing method {Microarray with micro-well pattern and Manufacturing method of the same}

본 발명은 마이크로 어레이 기판 및 그 제조방법에 관한 것으로, 구체적으로는 마이크로 어레이 기판 제조시 베이스 기판에 천공된 고분자 기판을 결합하여, 일정한 마이크로 웰 패턴을 가진 마이크로 어레이 기판을 제작함으로써, 그 각각의 마이크로웰 안에 상보 DNA (cDNA)를 적하할 수 있는 마이크로어레이 기판을 제공하는 것에 관한 것이다.The present invention relates to a micro array substrate and a method of manufacturing the same, and specifically, to fabricating a micro array substrate having a predetermined micro well pattern by combining a perforated polymer substrate to a base substrate during the manufacture of the micro array substrate. The present invention relates to providing a microarray substrate capable of loading complementary DNA (cDNA) into a well.

바이오칩(bio chip)이란 기질 상에 분석하고자 하는 DNA, 단백질 등의 생분자(biomolecules) 프로브를 고밀도로 부착시킨 칩으로서, 샘플 내 유전자 발현 양상, 유전자 결함, 단백질 분포, 반응 양상 등을 분석해낼 수 있다. 바이오칩은 프로브의 부착형태에 따라 고체 기질 상에 부착된 마이크로 어레이 칩(microarray chip)과 미세 채널 상에 부착된 랩온어칩(lab-on-a-chip)으로 나눌 수 있다. 즉, 바이오칩은 핵산 등 생물학적 물질이 기판(substrate) 위에 고정되어 있는 것으로, 잘 알려진 바이오칩으로 DNA 칩이 있는데 이는 기판에 DNA가 고정되어 있는 경우라 할 수 있고, 단백질 칩은 기판에 단백질이 고정되어 있는 경우라 할 수 있다.Biochip is a chip that attaches high density biomolecules probe such as DNA and protein to be analyzed on the substrate, and can analyze gene expression patterns, gene defects, protein distribution, reaction patterns, etc. in the sample. have. Biochips may be divided into microarray chips attached to a solid substrate and lab-on-a-chips attached to microchannels according to the attachment form of the probe. In other words, the biochip is a biological material such as nucleic acid is fixed on the substrate (substrate), a well-known biochip is a DNA chip, which can be said that the DNA is fixed on the substrate, the protein chip is a protein fixed to the substrate It can be said that there is.

DNA 마이크로 어레이란 실리콘, 표면개질유리,폴리프로필렌, 활성화 폴리아크릴아미드와 같은 고체 표면에 염기서열이 알려진 작게는 수 개, 크게는 수백 개의 염기 크기의 올리고뉴클레오티드(oligonucleotide) 프로브(probe)를 수백 내지 수십만 개의 정해진 위치에 부착시켜 미세집적(microarray)시킨 것을 통칭한다. DNA microarrays can be used to create hundreds or hundreds of baseline oligonucleotide probes with known base sequences on solid surfaces such as silicon, surface modified glass, polypropylene, and activated polyacrylamides. It is commonly referred to as microarray by attaching to hundreds of thousands of fixed positions.

이러한 DNA 마이크로 어레이에 분석하고자 하는 표적 DNA(target DNA) 단편을 결합시키면, DNA 마이크로 어레이에 부착되어 있는 프로브들과 표적 DNA 단편상의 염기서열의 상보적인 정도에 따라 각기 다른 혼성화 결합(hybridization) 상태를 이루게 되는데, 이를 광학적인 방법 또는 방사능 화학적 방법 등을 통해 관찰 해석함으로써 표적 DNA의 염기서열을 분석할 수 있다(sequencing by hybridization; SBH).DNA 마이크로 어레이를 이용하여 제조한 DNA칩은 DNA 분석 시스템의 소형화를 이루어 극미량의 시료만으로도 유전자 분석이 가능하며 표적 DNA 상의 여러 군데의 염기서열을 동시에 규명할 수 있어 저렴할 뿐만 아니라 신속하게 유전 정보를 제공할 수 있다. When the target DNA fragment to be analyzed is bound to the DNA microarray, the hybridization state is different depending on the complementary degree of the nucleotide sequences on the target DNA fragment and the probes attached to the DNA microarray. The sequencing of the target DNA can be analyzed by observing and interpreting the optical method or radiochemical method (sequencing by hybridization; SBH). DNA chips manufactured using DNA microarrays can be genetically analyzed with only a small amount of sample by miniaturizing the DNA analysis system, and can simultaneously identify several base sequences on the target DNA. Information can be provided.

또한,DNA 마이크로 어레이를 이용하여 제조한 DNA칩은 방대한 양의 유전 정보를 단시간 내에 동시에 분석할 수 있을 뿐만 아니라, 유전자 간의 상호 연관성까지 규정할 수 있게 되어 앞으로는 유전병 및 암의 진단, 돌연변이의 탐색, 병원균의 검출, 유전자 발현 분석 및 신약 개발 등 폭넓은 분야에서 응용될 수 있으리라고 예상된다. 또한, 미생물이나 환경오염의 감지기로 이용하여, 해독물질에 대한 유전자를 찾아내어 유전자 재조합 기술을 적용함으로써, 해독물질을 대량 생산하거나 의약용 농작물, 저지방 함유 육류의 생산에도 응용할 수 있는 등 거의 대부분의 생물관련 산업에 이용되어 혁명적인 발전을 가져다줄 수 있다.In addition, DNA chips manufactured using DNA microarrays can not only simultaneously analyze a large amount of genetic information in a short time, but also define correlations between genes. It is expected to be applied to a wide range of fields such as pathogen detection, gene expression analysis and drug development. In addition, by detecting genes for detoxifying substances and applying genetic recombination technology by using them as detectors for microorganisms or environmental pollution, they can be applied to mass production of detoxifying substances, medicinal crops and low-fat meats. It can be used in the biological industry, leading to revolutionary development.

DNA 마이크로 어레이는 사용된 프로브의 종류에 따라 올리고칩(oligo chip)과 cDNA 칩으로 구분하기도 하고, 제작된 방법에 따라 포토리소그래피 칩과 핀 방식의 스폿팅 칩(spotting chip), 잉크젯 방식의 스폿팅 칩으로 분류하기도 한다.DNA microarrays are divided into oligo chips and cDNA chips according to the type of probes used, and photolithography chips, spotting chips, and inkjet spotting depending on the fabricated method. Sometimes classified as a chip.

구체적으로는 이 분야를 제조하는 방법으로 나눌 경우에는 크게, 기판상에서 올리고 뉴클레오티드(oligo nucleotide)를 합성하는 방법과, 미리 조제한 DNA프로브(Probe)를 기판상에 고정하는 2개의 방법이 일반적으로 사용된다. 전자의 방법은 포토리소그래피(photo lithography)를 주로 활용하여 반도체 기판상에서 DNA 프로브를 합성 신장시킨 것이고, 후자의 방법은 조제한 DNA 프로브를 기판상에 고정하기 위해 기판 표면을 플러스 전하를 가지도록 처리를 하거나, 반응성기를 표면 처리하는 방법 등이 활용되고 있다.Specifically, when divided into methods for manufacturing this field, two methods of synthesizing oligonucleotides on a substrate and a method of fixing a pre-prepared DNA probe on a substrate are generally used. . The former method mainly uses photo lithography to extend and stretch DNA probes on a semiconductor substrate. The latter method processes the substrate surface with a positive charge to fix the prepared DNA probe on the substrate. And a method of surface treatment of a reactive group are utilized.

각각의 방법은 장단점을 보유하고 있다. 기판상에서 합성하는 방법은 재현성이 우수한 반면, 후자의 방법은 비교적 저비용으로 제조할 수 있다는 이점이 있다. 마이크로 어레이 제조의 가장 중요한 점은 DNA프로브를 기판에 고밀도이면서 안정적으로 고정화시키는 것이다. Each method has advantages and disadvantages. While the method of synthesizing on a substrate is excellent in reproducibility, the latter method has the advantage that it can be manufactured at a relatively low cost. The most important aspect of microarray fabrication is the high density and stable immobilization of DNA probes on the substrate.

그러나 일반적으로 슬라이드 글라스나 기판에 프로브 DNA를 스폿 하는 방법인 잉크젯, 디스펜서(dispenser), 표면을 가공한 슬라이드 글라스를 이용하는 방식 들은, 용액을 적하하면 스폿 형상이 비뚤어지거나, 이웃한 프로브 DNA와 혼합되어버리는 문제점 등이 발생하기도 한다. However, in general, methods of using inkjet, dispenser, or surface processed slide glass, which is a method of spotting probe DNA on a slide glass or a substrate, have a spot shape when the solution is dropped, or are mixed with neighboring probe DNA. Discarding problems may occur.

이런 문제점을 해결하기 위해 다양한 방법들이 시도되고 있다.Various methods have been tried to solve this problem.

예를 들면, 마이크로 어레이 기판상에서, 핵산 프로브를 형성화 시키는 부분에 요철(frost)면을 형성시켜, 스폿당 프로브 DNA의 고체 상태화량을 증가시켜 검출 감도를 향상시키려는 시도가 있었다.  For example, attempts have been made to improve detection sensitivity by forming an uneven surface on a micro array substrate to form a nucleic acid probe, thereby increasing the amount of solid state of probe DNA per spot.

또한, 도 1a에 도시된 것처럼, 마이크로 어레이(2)에서는 광촉매 기술을 이용하여 프로브(probe) 생체 고분자가 고정되어 있는 친수성 영역(3)과 프로브 생체 고분자가 고정되어 있지 않은 소수성 영역(4)을 구분하여, DNA의 스폿 수를 향상시키고 원하는 위치에 프로브가 명확히 결합하도록 하는 시도가 있었다. 물론 검출물질은 스포터장치(5)을 이용하여 적하시키는 방식을 활용하였다. In addition, as shown in FIG. 1A, in the micro array 2, a hydrophilic region 3 to which a probe biopolymer is immobilized and a hydrophobic region 4 to which the probe biopolymer is not immobilized are formed using a photocatalytic technique. Separately, attempts have been made to improve the number of spots of DNA and to ensure that the probes are specifically bound to the desired location. Of course, the detection material used a dropping method using the spotter device (5).

아울러, 도 1b에 도시된 것처럼, 이러한 방식으로 기판 제작시 정밀도를 높이는 방법 외에, 여러 개의 블록(1b) 내에 네거티브·컨트롤(control)(1d)로 둘러싸인 포지티브·컨트롤(control)(1c)의 패턴(pattern)의 배치로 이루어지는 DNA 마이크로 어레이에 대한, 검출 판정처리에서 정량적, 정밀도를 향상시키기 위해 기판상에 복수의 이종의 위치마크(1c)로 되는 기준패턴을 구비하는 방법이 제시되기도 하였다.In addition, as shown in FIG. 1B, in addition to the method of increasing the precision in manufacturing the substrate in this manner, the pattern of the positive control 1c surrounded by the negative control 1d in the several blocks 1b. In order to improve the quantitative and precision in the detection determination process with respect to the DNA microarray which consists of (pattern) arrangement | positioning, the method of providing the reference pattern which consists of several heterogeneous position marks 1c on the board | substrate has been proposed.

그러나 이러한 종래의 방법들은 선택 영역에 정확히 원하는 양만큼 DNA 프로브를 위치시키기 어렵고, 스캐너 장치에 입력 시 표면처리만 한 경우에는 검출영역의 위치 결정 및 화상의 보정 실행시 화상 해석의 정밀도를 향상시키기 어렵다는 문제점이 있다.However, these conventional methods are difficult to position the DNA probe exactly the desired amount in the selected area, and it is difficult to improve the accuracy of image analysis when positioning the detection area and correcting the image when only the surface treatment is performed upon input to the scanner device. There is a problem.

본 발명은 상술한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 마이크로 어레이 기판 제조시 베이스 기판에 천공된 고분자 기판을 결합하여, 일정한 마이크로 웰 패턴을 가진 마이크로 어레이 기판을 제작함으로써, 그 각각의 마이크로웰 안에 상보 DNA (cDNA)를 적하할 수 있는 마이크로어레이 기판을 제공하는 데 있다.The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, an object of the present invention is to combine the perforated polymer substrate with the base substrate in the manufacture of the micro array substrate, by producing a micro array substrate having a constant micro well pattern, respectively The present invention provides a microarray substrate capable of loading complementary DNA (cDNA) into a microwell.

또한, 본 발명은 일정한 모양과 크기를 가지는 마이크로 웰이 있는 마이크로 기판을 재제작함에 있어 재현성과 정밀도를 향상시키고, 고집적화를 가능하게하여 감도를 향상시킬 수 있으며, 다항목 검사가 가능한 마이크로 어레이 기판을 제공하는데 그 구체적인 목적이 있다.In addition, the present invention can improve the reproducibility and precision in remanufacturing a micro-substrate having a microwell having a certain shape and size, to enable high integration, to improve the sensitivity, and to provide a multi-array inspection microarray substrate. The specific purpose is to provide.

본 발명은 상술한 과제를 해결하기 위한 구성으로, 베이스기판상에 마이크로웰(micro-well)이 형성되는 고분자 기판이 결합한 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판을 제공할 수 있도록 한다. 이러한 본 발명에 따른 마이크로 어레이는 각각의 스팟끼리 명확히 구분이 되므로 제조시 발생하는 에러율을 없앨 수 있고, 타겟 DNA와 반응하는 양이 일정하므로 검출감도를 높일 수 있으며, 패턴 위치는 항상 일정하므로 이를 얼라인 키로 활용하여, 분석의 명확성을 향상시킬 수 있다는 장점이 있다. 또한 적하시키는 일정한 상보 DNA 양과 결합하는 타겟 DNA양에 대한 정보를 통해, 검출 결과를 정량적으로 파악할 수 있다.The present invention is to provide a micro-array substrate, characterized in that the polymer substrate to form a micro-well on the base substrate is combined with the configuration for solving the above problems. Since the micro array according to the present invention is clearly distinguished between each spot, it is possible to eliminate the error rate generated during manufacturing, and the amount of reaction with the target DNA is constant, so that the detection sensitivity can be increased, and the pattern position is always constant, so freeze it. It can be used as an key to improve the clarity of the analysis. In addition, the detection result can be quantitatively grasped through the information on the target DNA amount bound to the constant complementary DNA amount dropped.

상술한 본 발명에 따른 구성 중 상기 베이스 기판은 자기조립박막(Self-assembled monolayer: SAM)이 코팅된 것을 특징으로 한다.In the above-described configuration according to the present invention, the base substrate is characterized in that a self-assembled monolayer (SAM) is coated.

아울러, 상기 베이스기판은 유리, 실리콘, 실리콘 옥사이드(slicon oxide)로 이루어질 수 있다.In addition, the base substrate may be made of glass, silicon, silicon oxide (slicon oxide).

또한, 본 발명에 따른 마이크로 어레이의 상기 자기조립박막은 티올기, 실라놀기 ,포스핀기, L-라이신, 아민, 알데히드, 에폭시, 폴리리신(poly-L-lysine) 중 선택된 어느 하나의 작용기를 포함한 물질로 형성될 수도 있다.In addition, the self-assembled thin film of the microarray according to the present invention includes a functional group selected from thiol group, silanol group, phosphine group, L-lysine, amine, aldehyde, epoxy, and poly-L-lysine. It may be formed of a material.

또한, 본 발명의 마이크로 어레이를 구성하는 상기 고분자 기판은, 폴리-디메틸실록산(poly-dimethylsiloxane;PDMS), 폴리-메틸메타아크릴레이트(poly methylmethacrylate), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리프로필렌(polypropylene), 폴리스틸렌(polystyrene) 중 선택되는 어느 하나로 형성될 수 있다.In addition, the polymer substrate constituting the micro array of the present invention, poly-dimethylsiloxane (PDMS), poly-methyl methacrylate (poly methylmethacrylate), polycarbonate, polyethylene (polyethylene), poly It may be formed of any one selected from propylene (polypropylene), polystyrene (polystyrene).

본 발명에서 베이스 기판과 고분자 기판의 결합력 및 제작의 효율성을 향상시킬 수 있도록 하기 위해서는, 상기 고분자 기판은 표면을 소수성 처리하여 표면을 개질시키는 것이 바람직하다.In order to improve the bonding strength of the base substrate and the polymer substrate and the production efficiency in the present invention, it is preferable that the polymer substrate is hydrophobically treated to modify the surface.

상술한 구조를 구비하는 본 발명에 따른 마이크로 어레이의 제조공정은 자기조립 박막이 코팅된 베이스 기판에 마이크로웰(micro-well)이 형성된 고분자 기판을 접합하여 제조될 수 있다.The microarray manufacturing process according to the present invention having the above-described structure may be manufactured by bonding a polymer substrate having a micro-well to a base substrate coated with a self-assembled thin film.

이러한 제조공정 중, 상기 마이크로웰은 상기 고분자기판에 펀칭을 통해 천공하여 형성되거나, 상기 고분자 기판을 몰딩(molding)하여 형성될 수 있다.In this manufacturing process, the microwells may be formed by punching the polymer substrate through punching, or may be formed by molding the polymer substrate.

특히, 상술한 마이크로웰을 몰딩하여 형성하는 공정은,In particular, the process of molding and forming the microwells described above,

1) 실리콘웨이퍼에 감광물질을 코팅하고 노광 및 현상을 통해 몰딩용 패턴을 형성하는 단계;1) coating a photosensitive material on the silicon wafer and forming a molding pattern through exposure and development;

2) 상기 패턴을 형성한 후, 진공상태에서 트리플루오로프로필 트리메톡시 실란(tirchloro(3,3,3-trifluoropropyl)-silane), 3-aminopropylmethyldiethoxysilane(APDES), 3-aminopropyltriethoxysilane(APTES), 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane(MPDMS), 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane 등을 이용하여 실리콘 웨이퍼 표면을 실란화(silanization)하는 단계;2) After forming the pattern, trifluoropropyl trimethoxy silane (tirchloro (3,3,3-trifluoropropyl) -silane), 3-aminopropylmethyldiethoxysilane (APDES), 3-aminopropyltriethoxysilane (APTES), 3 in a vacuum silanizing a silicon wafer surface using -methacryloxypropyltrimethoxysilane (MPDMS), 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, or the like;

3) 액상의 고분자물질을 상기 실란화된 패턴에 투입하여 마이크로 웰이 형성된 고분자 기판을 형성하는 단계;를 포함하여 이루어질 수 있다.3) forming a polymer substrate in which a micro well is formed by injecting a liquid polymer material into the silanized pattern.

또한, 이러한 공정에서 본 발명은 상기 3) 단계 이후에, 상기 고분자 기판에 소수성 표면처리를 수행하는 단계를 더 포함하여, 기판과의 결합력과 제작의 효율성을 도모할 수 있도록 한다.In addition, in this process, the present invention may further include a step of performing hydrophobic surface treatment on the polymer substrate after step 3), so that the bonding force with the substrate and the production efficiency can be achieved.

또한, 본 발명에 따른 제조공정은 상기 3)단계 이후에, 상기 고분자 기판에 플라즈마 처리를 하고, 상기 베이스 기판에 접합하는 단계를 더 포함할 수 있다.In addition, the manufacturing process according to the present invention may further include the step of performing a plasma treatment on the polymer substrate, and bonding to the base substrate after the step 3).

아울러 상술한 제조공정에서 상기 1) 단계의 감광물질은 음성감광제로 형성될 수 있다.In addition, in the above-described manufacturing process, the photosensitive material of step 1) may be formed of a negative photosensitive agent.

또한, 상기 고분자 물질은 폴리-디메틸실록산(poly-dimethylsiloxane;PDMS), 폴리-메틸메타아크릴레이트(poly methylmethacrylate), 폴리카보네이 트(polycarbonate), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리프로필렌(polypropylene), 폴리스틸렌(polystyrene) 중 선택되는 어느 하나로 형성될 수 있다.In addition, the polymer material is poly-dimethylsiloxane (PDMS), poly-methyl methacrylate (poly methylmethacrylate), polycarbonate (polycarbonate), polyethylene (polyethylene), polypropylene (polypropylene), polystyrene ( polystyrene).

본 발명에 따르면, 마이크로 어레이 기판 제조시 베이스 기판에 천공된 고분자 기판을 결합하여, 일정한 마이크로 웰 패턴을 가진 마이크로 어레이 기판을 제작함으로써, 그 각각의 마이크로웰 안에 상보 DNA (cDNA)를 적하할 수 있는 마이크로어레이 기판을 제공한다.According to the present invention, when a microarray substrate is manufactured, a perforated polymer substrate is bonded to a base substrate to prepare a microarray substrate having a predetermined microwell pattern, and thus, complementary DNA (cDNA) can be loaded into each microwell. Provided is a microarray substrate.

이러한 본 발명에 따른 마이크로 어레이 기판은, 각각의 스팟끼리 명확히 구분이 되므로 제조시 발생하는 에러율을 없앨 수 있고, 타겟 DNA와 반응하는 양이 일정하므로 검출감도를 높일 수 있으며, 패턴 위치는 항상 일정하므로 이를 얼라인 키로 활용하여, 분석의 명확성을 향상시킬 수 있다는 장점이 있다. 또한 적하시키는 일정한 상보 DNA 양과 결합하는 타겟 DNA양에 대한 정보를 통해, 검출 결과를 정량적으로 파악할 수 있다. Since the microarray substrate according to the present invention can be clearly distinguished from each spot, it is possible to eliminate the error rate generated during manufacturing, and because the amount of reaction with the target DNA is constant, the detection sensitivity can be increased, and the pattern position is always constant. This can be used as an align key to improve the clarity of the analysis. In addition, the detection result can be quantitatively grasped through the information on the target DNA amount bound to the constant complementary DNA amount dropped.

천공된 고분자 기판은 표면 성질을 변화시킨 후에 유리 기판과 결합할 수 있으며, 나아가 고분자 기판의 표면 처리를 소수성으로 처리하여 스팟 제작의 효율성을 극대화 시킬 수 있는 효과도 있다.The perforated polymer substrate may be combined with the glass substrate after changing the surface properties, and furthermore, the surface treatment of the polymer substrate may be hydrophobic to maximize the efficiency of spot fabrication.

특히, 본 발명에 따른 마이크로 어레이 기판은, 일정한 패턴을 구역별로 구성하여, 다항목 검사가 가능한 어레이 기판 또한 용이하게 제작할 수 있다는 장점도 함께 가지고 있다.In particular, the micro array substrate according to the present invention has an advantage that an array substrate capable of multi-item inspection can also be easily manufactured by configuring a predetermined pattern for each zone.

본 발명은 일정한 모양과 크기를 가지는 마이크로 웰이 있는 마이크로 기판 을 제작함에 있어 재현성과 정밀도를 향상시키고, 고집적화를 가능하게 하여 감도를 향상시킬 수 있는 장점도 아울러 구현할 수 있다.The present invention can be implemented in addition to the advantages of improving the reproducibility and precision in the manufacture of a micro-substrate having a micro well having a certain shape and size, and to improve the sensitivity by enabling high integration.

특히, 포토리소그래피로 패턴을 만드는 경우에 비하여 몰딩이나 펀칭을 이용하여 천공된 고분자 기판을 제작하기 때문에 가격이 저렴한 장점을 가지고 있으며, 유리와 천공된 고분자 기판 결합 후에 용도에 따라 아민, 알데히드, 에폭시, 폴리리신(poly-L-lysine) 등의 자기조립박막(self assembled monolayers)을 이용한 표면처리를 함으로써 다양한 종류의 마이크로어레이 기판을 경제적으로 제작할 수 있다.In particular, compared to the case of making a pattern by photolithography, a perforated polymer substrate is produced by molding or punching, and thus has a low cost. After combining glass and perforated polymer substrate, amine, aldehyde, epoxy, By surface treatment using self assembled monolayers such as poly-L-lysine, various types of microarray substrates can be economically manufactured.

이하에서는 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명에 따른 마이크로 어레이 기판의 구성 및 그 제조공정을 구체적으로 설명하기로 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, it will be described in detail the configuration and manufacturing process of the micro array substrate according to the present invention.

도 2 및 도 3을 참조하면, 도시된 것은 본 발명에 따른 마이크로 어레이 기판의 제조공정의 개념도이다.Referring to Figures 2 and 3, shown is a conceptual diagram of a manufacturing process of a micro array substrate according to the present invention.

본 발명에 따른 마이크로 어레이 기판은 기본적으로 마이크로웰(110)이 형성된 고분자 기판(100)과 베이스 기판(200)을 접합하여 형성하는 것을 그 요지로 한다.The micro array substrate according to the present invention is basically formed by bonding the polymer substrate 100 and the base substrate 200 on which the microwells 110 are formed.

구체적으로는, 마이크로웰(micro well)을 구비한 고분자 기판을 준비한다(S1). 이 경우 마이크로 웰(110)은 기본적으로 고분자 기판(100)에 형성되는 미세 천공패턴을 의미한다. 이후에 베이스기판(200)에 글라스 기판을 접합한다(S2). 그리고 티올기, 실라놀기 ,포스핀기, L-라이신, 아민, 알데히드, 에폭시, 폴리리 신(poly-L-lysine) 등의 자기조립박막(210)을 기판에 코팅하는 등의 방법으로 표면처리를 형성하여 마이크로 어레이 기판을 완성할 수 있다(S3).Specifically, a polymer substrate having micro wells is prepared (S1). In this case, the micro well 110 basically means a fine perforation pattern formed on the polymer substrate 100. After that, the glass substrate is bonded to the base substrate 200 (S2). The surface treatment may be performed by coating a self-assembled thin film 210 such as a thiol group, silanol group, phosphine group, L-lysine, amine, aldehyde, epoxy, poly-L-lysine, or the like on a substrate. By forming the micro array substrate can be completed (S3).

이러한 제조공정에서 사용되는 베이스 기판(200)은 유리기판이 사용될 수 있다. 또한 베이스 기판은 실리콘, 실리콘 옥사이드(slicon oxide) 등이 사용될 수 있으며, 굳이 기판의 종류를 여기에 한정하지 않는다.As the base substrate 200 used in such a manufacturing process, a glass substrate may be used. In addition, the base substrate may be used, such as silicon, silicon oxide (slicon oxide), and not necessarily limited to the type of substrate.

상기 고분자 기판(100)을 형성하는 고분자 물질은 폴리-디메틸실록산(poly-dimethylsiloxane;PDMS), 폴리-메틸메타아크릴레이트(poly methylmethacrylate), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리프로필렌(polypropylene), 폴리스틸렌(polystyrene) 중 선택되는 어느 하나로 이루어질 수 있으며, 특히 바람직하게는 PDMS를 사용할 수 있다. PDMS는 그 자체로 무독하며, 액상으로 소수성을 가지고 있는 생체 친화적인 소재인바, 그 효율성 면에서도 매우 뛰어난 장점이 있다.The polymer material forming the polymer substrate 100 may be poly-dimethylsiloxane (PDMS), poly-methylmethacrylate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene, or polypropylene. ), Polystyrene (polystyrene) can be made of any one, and particularly preferably PDMS can be used. PDMS is itself a non-toxic, bio-friendly material that has a hydrophobicity in the liquid phase, and has an excellent advantage in terms of efficiency.

또한, 상기 자기조립박막(210)은 티올기, 실라놀기 ,포스핀기, L-라이신, 아민, 알데히드, 에폭시, 폴리리신(poly-L-lysine) 중 선택된 어느 하나의 작용기를 포함하여 형성될 수 있다.In addition, the self-assembled thin film 210 may be formed by including any functional group selected from thiol group, silanol group, phosphine group, L-lysine, amine, aldehyde, epoxy, poly-L-lysine. have.

아울러 상술한 마이크로 웰이 형성된 고분자 기판은 표면을 소수성 처리를 하여 마이크로 어레이 기판의 성능을 향상시킬 수 있도록 함이 더욱 바람직하다.In addition, the above-described polymer substrate on which the micro well is formed is more preferable to improve the performance of the micro array substrate by hydrophobic treatment of the surface.

이하에서는 상술한 고분자 기판에 마이크로 웰을 형성하는 방법으로서의 일례를 설명하기로 한다. 상기 마이크로 웰은 펀칭방법이나 몰딩방법등을 이용하여 다양하게 제작이 가능하다.Hereinafter, an example as a method of forming a micro well in the above-described polymer substrate will be described. The micro well may be manufactured in various ways using a punching method or a molding method.

1. 펀칭방법1. Punching method

우선, 평평한 구조의 페트리 디시에 액상의 고분자 물질(예를 들면,PDMS 등)를 천천히 붓고 기포를 제거한 뒤, 60℃에서 3시간 건조시켜 얇은 고분자 판을 만든다. 이후, 페트리디시에 떼어낸 PDMS 판에 펀치를 이용하여 구멍을 뚫어주어 마이크로 웰을 형성할 수 있다.First, a liquid polymer material (for example, PDMS, etc.) of a flat structure is poured slowly, bubbles are removed, and dried at 60 ° C. for 3 hours to form a thin polymer plate. Subsequently, a microwell may be formed by punching a PDMS plate removed from the Petri dish using a punch.

이후, 이러한 고부낮 기판을 플라즈마 처리를 한 후, 유리기판위에 붙힌 다음 오븐에 넣어 접합을 시켜준다.Subsequently, after the plasma treatment of the high-level substrate, the glass substrate is attached to the oven and then bonded.

2. 몰딩방법2. Molding method

우선, 실리콘 웨이퍼 위에 음성감광제(예를 들면, SU-8 등)를 코팅하고, 원하는 크기의 패턴이 있는 마스크로 노광을 한 후에 현상액으로 현상하여 몰딩에 필요한 패턴이 마련된 틀을 제작한다.First, a negative photosensitive agent (eg, SU-8, etc.) is coated on a silicon wafer, exposed with a mask having a pattern having a desired size, and then developed with a developer to prepare a mold having a pattern for molding.

그리고 상술한 음성감광재 패턴을 형성한 후에, 진공상태에서 트리플루오로프로필 트리메톡시 실란(tirchloro(3,3,3-trifluoropropyl)-silane), 3-aminopropylmethyldiethoxysilane(APDES), 3-aminopropyltriethoxysilane(APTES), 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane(MPDMS), 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane 등의 실란화 커플링제를 이용하여 실란화(silanization)를 한다.After forming the negative photosensitive material pattern, trifluoropropyl trimethoxy silane (tirchloro (3,3,3-trifluoropropyl) -silane), 3-aminopropylmethyldiethoxysilane (APDES), and 3-aminopropyltriethoxysilane (APTES) in a vacuum state ), Silanization is performed using a silanization coupling agent such as 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane (MPDMS) and 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane.

이후에, 고분자 물질(예를 들면, PDMS 등)을 천천히 붓고 기포를 제거한 뒤, 60℃에서 3시간 건조시켜 얇은 마이크로 웰이 형성된 고분자 기판을 형성한다.Thereafter, the polymer material (eg, PDMS, etc.) is poured slowly, bubbles are removed, and dried at 60 ° C. for 3 hours to form a polymer substrate on which thin microwells are formed.

물론 이후에는 고분자 기판에 플라즈마 처리하고, 베이스 기판에 붙힌 다음 오븐에 넣어서 접합시킬 수 있다.Of course, after the plasma treatment to the polymer substrate, it can be bonded to the base substrate and then put in an oven.

이처럼 본 발명에 따른 마이크로 웰이 구현된 마이크로 어레이는, 포토리소그래피로 패턴을 만드는 경우에 비하여 몰딩이나 펀칭을 이용하여 천공된 고분자 기판을 제작하기 때문에 가격이 저렴한 장점을 가지고 있으며, 유리와 천공된 고분자 기판 결합 후에 용도에 따라 아민, 알데히드, 에폭시, 폴리리신(poly-L-lysine) 등의 자기조립박막(self assembled monolayers)을 이용한 표면처리를 함으로써 다양한 종류의 마이크로어레이 기판을 경제적으로 제작할 수 있다.As described above, the micro array in which the micro well is implemented has an advantage of being inexpensive because it manufactures a perforated polymer substrate using molding or punching, compared to the case of making a pattern by photolithography, and has a glass and a perforated polymer. After substrate bonding, various types of microarray substrates can be economically produced by surface treatment using self assembled monolayers such as amine, aldehyde, epoxy, poly-L-lysine, etc., depending on the application.

이상과 같은 방법으로 제작된 마이크로 어레이를 이용하여 검출하는 사용례를 도 4를 통해 설명하기로 한다.An example of detection using the microarray manufactured by the above method will be described with reference to FIG. 4.

도 4를 참조하면, 제작된 본 발명에 따른 마이크로 어레이에 핀 스팟팅(pin spotting)이나 잉크젯(inkjet)장비(130)을 사용하여 상보 DNA(140)를 어레이 시킨다. 그 후 형광물질(P)이 결합된 타켓 DNA(T)를 상보 DNA(120;C)와 결합시킨다.Referring to FIG. 4, the complementary DNA 140 is arrayed using a pin spotting or inkjet device 130 in a manufactured micro array. Thereafter, the target DNA (T) to which the fluorescent material (P) is bound is combined with the complementary DNA (120; C).

그 후 솔루션 상태의 타켓 DNA(T)(형광물질과 결합되어 있음)를 기판상에 적시고, 반응이 일어난 후 결합되지 않은 것을 와싱(washing)하면, 결합이 일어난 부분에만 형광을 발현하게 되므로, 스캐너를 통해 특정 DNA에 대한 검출결과를 확인 할 수 있게 된다.Then, wet the target DNA (T) (which is bound to the fluorophore) in solution and wash the unbound after the reaction. Through it, you can check the detection result of specific DNA.

본 발명에 따른 마이크로 어레이는 베이스 기판에 천공된 고분자 기판을 결합하여, 일정한 마이크로 웰 패턴을 가진 마이크로 어레이 기판을 제작함으로써, 그 각각의 마이크로웰 안에 상보 DNA (cDNA)를 적하할 수 있게 된다.The microarray according to the present invention combines a perforated polymer substrate with a base substrate, and manufactures a microarray substrate having a constant microwell pattern, thereby allowing complementary DNA (cDNA) to be loaded into each microwell.

이러한 구조는 일정한 모양과 크기를 가지는 마이크로 웰이 있는 마이크로 기판을 제작함에 있어 재현성과 정밀도를 향상시키고, 고집적화를 가능하게 하여 감도를 향상시킬 수 있게 된다. 특히 구체적으로는 각각의 스팟끼리 명확히 구분이 되므로 제조시 발생하는 에러율을 없앨 수 있고, 타겟 DNA와 반응하는 양이 일정하므로 검출감도를 높일 수 있으며, 패턴 위치는 항상 일정하므로 이를 얼라인 키로 활용하여, 분석의 명확성을 향상시킬 수 있다는 장점이 있다. 또한 적하시키는 일정한 상보 DNA 양과 결합하는 타겟 DNA양에 대한 정보를 통해, 검출 결과를 정량적으로 파악할 수 있게 되는 것이다. 아울러 일정한 패턴을 구역별로 구성하여, 다항목 검사가 가능한 어레이 기판 또한 용이하게 제작할 수도 있게 된다.Such a structure improves reproducibility and precision in manufacturing a micro substrate having a micro well having a certain shape and size, and enables high integration to improve sensitivity. In particular, since each spot is clearly distinguished, it is possible to eliminate the error rate generated during manufacturing, and because the amount of reaction with the target DNA is constant, the detection sensitivity can be increased, and since the pattern position is always constant, it is used as an align key. This has the advantage of improving the clarity of the analysis. In addition, it is possible to grasp the detection result quantitatively through information on the target DNA amount bound to the constant complementary DNA amount loaded. In addition, by configuring a predetermined pattern for each zone, an array substrate capable of multi-item inspection can also be easily manufactured.

전술한 바와 같은 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시예에 관해 설명하였다. 그러나 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서는 여러 가지 변형이 가능하다. 본 발명의 기술적 사상은 본 발명의 기술한 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.In the foregoing detailed description of the present invention, specific examples have been described. However, various modifications are possible within the scope of the present invention. The technical idea of the present invention should not be limited to the embodiments of the present invention but should be determined by the equivalents of the claims and the claims.

도 1a 및 도 1b는 종래의 기술에 따른 마이크로 어레이의 제조방식에서 기판제작에 대한 정밀도 향상방법의 일 예를 도시한 것이다.1A and 1B illustrate an example of a method for improving precision for manufacturing a substrate in a method of manufacturing a micro array according to the related art.

도 2 내지 도 3은 본 발명에 따른 마이크로 어레이 기판의 구성 및 제조방법을 나타낸 개략도이다.2 to 3 is a schematic view showing the configuration and manufacturing method of a micro array substrate according to the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 마이크로 어레이 기판의 사용방법을 도시한 도면이다.4 is a view showing a method of using a micro array substrate according to the present invention.

Claims (14)

베이스기판 상에 마이크로웰(micro-well)이 형성되는 고분자 기판이 결합한 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판.A micro array substrate, characterized in that the polymer substrate is bonded to form a micro-well on the base substrate. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 베이스기판은 자기조립박막(Self-assembled monolayer: SAM)이 코팅된 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판.The base substrate is a micro-array substrate, characterized in that the self-assembled monolayer (SAM) is coated. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 베이스기판은 유리, 실리콘, 실리콘 옥사이드(slicon oxide)로 이루어진 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판.The base substrate is a micro array substrate, characterized in that made of glass, silicon, silicon oxide (slicon oxide). 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 자기조립박막은 티올기, 실라놀기, 포스핀기, L-라이신, 아민, 알데히드, 에폭시, 폴리리신(poly-L-lysine) 중 선택된 어느 하나의 작용기를 포함하는 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판.The self-assembled thin film is formed of a material containing any one of functional groups selected from thiol group, silanol group, phosphine group, L-lysine, amine, aldehyde, epoxy, poly-L-lysine Micro array substrate. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 고분자 기판은, 폴리-디메틸실록산(poly-dimethylsiloxane;PDMS), 폴리-메틸메타아크릴레이트(polymethylmethacrylate), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리프로필렌(polypropylene), 폴리스틸렌(polystyrene) 중 선택되는 어느 하나로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판.The polymer substrate may be selected from poly-dimethylsiloxane (PDMS), polymethylmethacrylate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene, and polystyrene. Micro array substrate, characterized in that made of any one. 청구항 1 내지 5 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 5, 상기 고분자 기판은 표면이 소수성 처리된 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판.The polymer substrate is a micro array substrate, characterized in that the surface is hydrophobic treatment. 자기조립 박막이 코팅된 베이스 기판에 마이크로웰(micro-well)이 형성된 고분자 기판을 접합하는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판의 제조방법.A method of manufacturing a micro array substrate, comprising bonding a polymer substrate having a micro-well to a base substrate coated with a self-assembled thin film. 청구항 7에 있어서,The method of claim 7, 상기 마이크로웰은 상기 고분자기판에 펀칭을 통해 천공하여 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판의 제조방법.The microwell is a method of manufacturing a micro-array substrate, characterized in that formed by punching the polymer substrate through punching. 청구항 7에 있어서,The method of claim 7, 상기 마이크로웰은 상기 고분자 기판을 몰딩(molding)하여 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판의 제조방법.The microwell is formed by molding the polymer substrate. 청구항 9에 있어서,The method according to claim 9, 상기 마이크로웰을 몰딩하여 형성하는 공정은,The process of forming the microwell by molding, 1) 실리콘웨이퍼에 감광물질을 코팅하고 노광 및 현상을 통해 몰딩용 패턴을 형성하는 단계;1) coating a photosensitive material on the silicon wafer and forming a molding pattern through exposure and development; 2) 상기 패턴을 형성한 후, 진공상태에서 상기 실리콘 웨이퍼 표면을 실란화(silanization)하는 단계;2) after forming the pattern, silanizing the silicon wafer surface in vacuum; 3) 액상의 고분자물질을 실란화 웨이퍼와 패턴에 투입하여 마이크로 웰이 형성된 고분자 기판을 형성하는단계;3) forming a polymer substrate on which microwells are formed by injecting a liquid polymer material into the silanized wafer and the pattern; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판의 제조방법.Method of producing a micro array substrate comprising a. 청구항 10에 있어서, 상기 2)단계는, The method of claim 10, wherein step 2) 트리플루오로프로필 트리메톡시 실란(tirchloro(3,3,3-trifluoropropyl)-silane), 3-aminopropylmethyldiethoxysilane(APDES), 3-aminopropyltriethoxysilane(APTES), 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane(MPDMS), 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane 중에 선택되는 어느 하나를 이용하여 실란화가 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판의 제조방법.Trifluoropropyl trimethoxy silane (tirchloro (3,3,3-trifluoropropyl) -silane), 3-aminopropylmethyldiethoxysilane (APDES), 3-aminopropyltriethoxysilane (APTES), 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane (MPDMS), 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane Method for producing a micro array substrate, characterized in that the silanization is carried out using any one. 청구항 10에 있어서,The method according to claim 10, 상기 3) 단계 이후에, After step 3) above, 상기 고분자 기판에 소수성 표면처리를 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판의 제조방법.The method of manufacturing a micro array substrate further comprising the step of performing a hydrophobic surface treatment on the polymer substrate. 청구항 10에 있어서,The method according to claim 10, 상기 3)단계 이후에, After the step 3), 상기 고분자 기판에 플라즈마 처리를 하고, 상기 베이스 기판에 접합하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판의 제조방법.Plasma treatment on the polymer substrate, and further comprising the step of bonding to the base substrate. 청구항 10에 있어서,The method according to claim 10, 상기 고분자 물질은 폴리-디메틸실록산(poly-dimethylsiloxane;PDMS), 폴리-메틸메타아크릴레이트(poly methylmethacrylate), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리프로필렌(polypropylene), 폴리스틸렌(polystyrene) 중 선택되는 어느 하나로 이루어지는 특징으로 하는 마이크로 어레이 기판의 제조방법.The polymer material is selected from poly-dimethylsiloxane (PDMS), poly-methylmethacrylate, polycarbonate, polycarbonate, polyethylene, polypropylene, and polystyrene. Method for producing a micro array substrate, characterized in that made of any one.
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