KR20100047559A - 화학기계적 연마장치의 컨디셔너 - Google Patents

화학기계적 연마장치의 컨디셔너 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 화학기계적 연마장치의 컨디셔너는 메인 하우징; 상기 메인 하우징에 회전 가능하게 설치된 실린더부; 상기 실린더부에 상하 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치되며, 상기 실린더부와 함께 회전하는 피스톤부; 및 상기 실린더부와 상기 메인 하우징의 사이에 상기 실린더부와 함께 회전하도록 설치되어 상기 실린더부와 함께 회전하면서 상기 실린더부와 상기 메인 하우징 사이의 공기를 상기 메인 하우징의 외부로 배출하는 유체 유동부재를 포함한다.
컨디셔너, 실린더부, 피스톤부, 연마액, 이물질, 침투, 유체 유동부재, 이물질 방지부재

Description

화학기계적 연마장치의 컨디셔너{CONDITIONER FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING APPARATUS}
본 발명은 반도체 소자의 제조장치에 관한 것으로서, 특히 화학기계적 연마장치에 사용되는 연마패드의 표면상태를 일정하게 유지하기 위한 컨디셔너에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제조공정에는, 반도체 디바이스의 고밀도화를 실현하기 위하여 웨이퍼 표면에 유전체나 도체로 작용할 수 있는 배선층을 여러 층으로 적층 하기 위한 화학기상증착(CVD ; Chemical Vaporization Deposition) 공정과, 기계적 연마 및 화학적 반응작용을 통해 웨이퍼 표면의 다수 배선층 간의 단차를 제거하기 위한 기계-화학적 연마(CMP ; Chemical Mechanical Polishing) 공정이 포함된다.
상기 CMP 공정은 이러한 반도체 디바이스의 고밀도화, 미세화 및 배선구조의 다층화에 따라 웨이퍼 표면상에 발생된 표면 단차를 제거하기 위한 고정밀성을 요하는 평탄화 방법 중의 하나로서, 근자에 개발된 보편화된 미세 가공기술이며, 현재까지 이에 관한 기술 개발이 활발히 이루어지고 있다.
이러한 CMP 공정은 CMP 장비에 의해 진행되며, 상기 CMP 장비는 상면에 연마 패드가 부착된 플래튼과, 하면에 웨이퍼가 선택적으로 부착되는 연마헤드를 포함한다. 상기 연마헤드는 그 하면에 부착된 웨이퍼를 상기 연마패드에 압착시킨 상태에서 회전시킨다. 반면, 상기 연마패드가 마련된 플래튼은 상기 연마헤드와 다른 중심축을 중심으로 회전하게 되며, 상기 연마패드와 웨이퍼의 사이에는 연마액이 공급된다. 즉, 상기 연마헤드에 부착된 웨이퍼는 상기 연마헤드에 의해 연마패드에 가압되면서 연마패드와의 상대 마찰운동을 하게 되고, 이에 의해 웨이퍼가 평탄화된다.
한편, 연마공정을 진행하면서 연마패드는 그 표면 상태가 연마 공정에 부적합 상태로 변하게 되어 연마 능력이 떨어지게 된다. 이러한 이유로, 연마패드를 다시 연마공정에 적합한 상태로 유지시키기 위한 컨디셔닝 작업이 수행된다. 컨디셔닝 작업은 컨디셔너에 의해 수행된다.
일반적인 컨디셔너는 디스크를 연마패드에 가압한 상태에서 회전시켜 연마패드의 거칠기를 일정하게 유지시킨다. 이러한 기능을 위한 컨디셔너는 메인 하우징과, 상기 메인 하우징의 내부에 베어링을 매개로 회전가능하게 설치되는 실린더부와, 상기 실린더부에 상하 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치된 피스톤부를 포함한다. 상기 피스톤부의 하단에는 디스크가 부착된다. 이와 같은 구성을 가지는 컨디셔너는 실린더부의 내부에 선택적으로 압력을 형성함으로써, 피스톤부를 하부로 이동시켜 디스크가 연마패드를 가압하게 되고, 이와 같은 상태에서 피스톤부를 실린더부와 함께 회전시킴으로써, 디스크를 연마패드의 표면에 마찰운동시킬 수 있게 된다.
그러나 상기 컨디셔너는 연마 공정시 연마액의 기화에 의해 발생한 가스에 노출되어 있다. 통상적으로, 웨이퍼와 연마패드의 마찰에 의해 연마액의 온도는 50~80℃까지 상승한다. 따라서 연마액은 기화된 가스의 형태로 공기 중에 떠돌아다니고, 이와 같은 연마액 가스는 메인 하우징과 실린더부의 사이에 설치되는 베어링이나 실린더부와 피스톤부 사이의 습동부에 침투하게 된다. 이와 같이 침투된 연마액 가스는 고화되어 베어링의 성능이나 수명을 저하시키거나 실린더부에 대한 피스톤의 왕복 운동에 장애 요소로 작용하고, 특히 실린더부와 피스톤부 사이에 기밀을 유지하기 위한 기밀링이 손상되어 리크가 발생하기도 한다.
또한, 실린더부와 피스톤부 사이에서 또는 베어링에서 고화된 연마액은 파티클의 형태로 외부로 배출되어 웨이퍼를 손상시키기는 요인이 되기도 한다.
한편, 컨디셔닝 작업 수행시 또는 컨디셔너를 세척하기 위해 사용되는 DIW(Deionized Water)도 메인 하우징과 실린더부 또는 실린더부와 피스톤부의 사이로 침투하여 베어링의 수명을 줄이거나 피스톤부의 왕복 이동을 방해하는 요소로 작용하게 된다.
본 발명은 전술한 바와 같은 점을 감안하여 안출된 것으로서, 내부로 DIW나 연마액 가스가 침입되지 않도록 하여 수명을 연장시킬 수 있을 뿐만 아니라 웨이퍼가 손상되는 것을 미연에 방지할 수 있는 화학기계적 연마장치의 컨디셔너를 제공하는데 그 목적이 있다.
상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 화학기계적 연마장치의 컨디셔너는 메인 하우징; 상기 메인 하우징에 회전 가능하게 설치된 실린더부; 상기 실린더부에 상하 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치되며, 상기 실린더부와 함께 회전하는 피스톤부; 및 상기 실린더부와 상기 메인 하우징의 사이에 상기 실린더부와 함께 회전하도록 설치되어 상기 실린더부와 함께 회전하면서 상기 실린더부와 상기 메인 하우징 사이의 공기를 상기 메인 하우징의 외부로 배출하는 유체 유동부재를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 컨디셔너는 일단이 상기 실린더부에 설치되고 타단은 상기 피스톤부에 설치되어 상기 실린더부와 상기 피스톤부 사이의 습동부에 이물질이 침입하는 것을 방지하는 신축성 재질의 이물질 방지부재를 더 포함할 수 있다.
상기 실린더부는 상기 피스톤부가 내부에 삽입되며, 상기 메인 하우징에 회전 가능하게 지지되는 챔버 하우징; 및 상기 챔버 하우징의 하단부에 설치되며, 상 기 챔버 하우징의 외측 반경방향으로 연장되게 형성되어, 상기 챔버 하우징과 상기 메인 하우징의 사이로 이물질이 침투하는 것을 방지하는 이물질 방지커버를 포함한다.
상기 피스톤부는 상기 챔버 하우징의 내부에 왕복이동가능하게 삽입되는 피스톤 블록; 및 하면에 연마패드와 접촉되는 디스크가 부착되고, 상기 실린더부의 외부에 배치되도록 상기 피스톤 블록의 하단부에 설치되며, 상기 피스톤 블록으로부터 외측 반경방향으로 연장되게 형성된 디스크 홀더를 포함하며, 상기 이물질 방지부재는 그 일단이 상기 이물질 방지커버에 설치되고, 그 타단이 상기 디스크 홀더에 설치된다.
상기 유체 유동부재에 의해 유동되는 공기는 상기 메인 하우징과 상기 이물질 방지커버의 사이로 배출된다.
상기 실린더부는 상기 챔버 하우징으로부터 외측 반경방향으로 연장되어 형성된 제 1 챔버 연장부; 및 상기 제 1 챔버 연장부의 끝단으로부터 하부로 연장되어 형성된 제 2 챔버 연장부를 더 포함하며, 상기 메인 하우징에는 내측 반경방향으로 연장되는 제 1 메인 연장부와, 상기 제 2 챔버 연장부와 상기 챔버 하우징의 사이에 배치되도록 상기 제 1 메인 연장부의 끝단으로부터 상부로 연장된 제 2 메인 연장부가 형성되고, 상기 제 2 챔버 연장부와 상기 메인 하우징의 사이에는 베어링이 개재된다. 상기 유체 유동부재는 상기 제 2 메인 연장부와 상기 챔버 하우징의 사이에 배치된다.
한편, 전술한 바와 같은 목적은 메인 하우징; 상기 메인 하우징에 회전 가능 하게 설치된 실린더부; 상기 실린더부에 상하 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치되며, 상기 실린더부와 함께 회전하는 피스톤부; 및 일단이 상기 실린더부에 설치되고 타단은 상기 피스톤부에 설치되어 상기 실린더부와 상기 피스톤부 사이의 습동부에 이물질이 침입하는 것을 방지하는 신축성 재질의 이물질 방지부재를 포함하는 화학기계적 연마장치의 컨디셔너에 의해 달성될 수도 있다.
전술한 바와 같은 과제 해결 수단에 의하면, 유체 유동부재에 의해 메인 하우징 내부의 공기를 메인 하우징 외부로 배출함으로써 메인 하우징의 내부로 DIW나 연마액 가스 등의 이물질이 침투하는 것을 방지할 수 있게 된다. 따라서, 기존에 연마액 가스 등의 이물질이 메인 하우징과 실린더부 사이의 베어링에 침투하여 컨디셔너의 수명이 단축되는 현상이나 고화된 연마액에 의해 웨이퍼가 손상되는 현상을 미연에 방지할 수 있게 된다.
또한, 유체 유동부재를 실린더부와 함께 회전하도록 함으로써, 유체 유동부재를 구동시키기 위한 별도의 구동원을 필요로 하지 않게 되고, 이로 인해 컨디셔너의 구조를 간소화할 수 있게 된다.
또한, 이물질 방지부재에 의해 DIW나 연마액 또는 연마액 가스 등의 이물질이 실린더부와 피스톤부 사이의 습동부에 침투하는 것을 방지함으로써, 컨디셔너의 수명을 더욱 연장시킬 수 있을 뿐만 아니라 고화된 연마액에 의해 웨이퍼가 손상되는 것을 더욱 완전하게 방지할 수 있게 된다.
한편, 제 1 및 제 2 메인 연장부와 제 1 및 제 2 챔버 연장부에 의해 이물질 이 침투되는 경로를 최대화하여 이물질이 메인 하우징 내부의 베어링에 침투되는 것을 더욱 완벽하게 방지할 수 있게 된다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 화학기계적 연마장치의 컨디셔너에 대하여 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 화학기계적 연마장치의 컨디셔너는, 메인 하우징(10)과, 상기 메인 하우징(10)에 회전 가능하게 설치된 실린더부(30)와, 상기 실린더부(30)에 상하 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치되며 상기 실린더부(30)와 함께 회전하는 피스톤부(40)와, 상기 실린더부(30)에 설치되어 상기 실린더부(30)와 함께 회전하는 유체 유동부재(50)와, 상기 실린더부(30)와 상기 피스톤부(40) 각각에 양단이 설치되는 이물질 방지부재(60)를 포함한다.
상기 메인 하우징(10)은 상기 실린더부(30)와 상기 피스톤부(40)를 회전 가능하게 지지하기 위한 것으로서, 상기 메인 하우징(10)과 상기 실린더부(30)의 챔버 하우징(31) 사이에는 베어링(20)이 개재된다. 한편, 상기 메인 하우징(10)에는 상기 챔버 하우징(31)과의 사이로 상기 베어링(20)으로 연마액 가스나 DIW가 침투하는 경로를 최대화하기 위한 제 1 메인 연장부(11)와 제 2 메인 연장부(12)가 마련된다.
상기 제 1 메인 연장부(11)는 상기 베어링(20)의 하부를 가리도록 상기 메인 하우징(10)으로부터 내측 반경 방향으로 연장되어 형성된다. 상기 제 2 메인 연장 부(12)는 상기 제 1 메인 연장부(11)의 끝단으로부터 상부로 연장되게 형성되어 상기 베어링(20)의 내측면과 마주하게 배치된다. 이와 같이, 제 1 및 제 2 메인 연장부(11)(12)에 의해 상기 베어링(20)으로 연마액 가스나 DIW 등의 이물질이 침투하기 위해서는 제 1 메인 연장부(11)의 하부와 제 2 연장부의 측면을 따라 베어링(20)으로 이동하여야 한다. 따라서, 이물질이 베어링(20)에 침투하기 위한 경로가 길어지기 때문에 이물질의 침투를 방지하는 효과가 있다.
상기 실린더부(30)는 상기 메인 하우징(10)에 베어링(20)을 매개로 회전 가능하게 설치되며, 상기 피스톤부(40)의 상하 방향 왕복 운동을 가이드하는 역할을 한다. 보다 구체적으로, 상기 실린더부(30)는 챔버 하우징(31)과, 이물질 방지커버(33)와, 제 1 챔버 연장부(34) 및 제 2 챔버 연장부(35)를 포함한다.
상기 챔버 하우징(31)은 그 내부의 챔버에 상기 피스톤부(40)가 삽입되며, 상기 챔버 하우징(31)의 상부에는 챔버 캡(36)이 결합된다. 상기 챔버 캡(36)은 유체를 챔버 하우징(31) 내로 공급하거나 외부로 배출시키기 위한 것으로서, 공급되는 유체의 압력에 의해 상기 피스톤부(40)가 하강 운동하게 되고, 공급된 유체를 배출함으로써 상기 피스톤부(40)가 상승 운동하게 된다. 한편, 상기 챔버 하우징(31)의 상부에는 구동 모터(미 도시)의 회전력이 전달되는 풀리(32)가 마련된다.
상기 이물질 방지커버(33)는 상기 챔버 하우징(31)의 하단부에 설치되며, 베어링(20)의 하부에 배치될 수 있도록 외측 반경 방향으로 연장되게 형성된다. 상기 이물질 방지커버(33)는 메인 하우징(10)에 대해 회전 운동을 하여야 하기 때문에 메인 하우징(10)의 하단부와 작은 간극만큼 이격된다. 상기 이물질 방지커버(33)는 DIW나 연마액 등의 이물질이 직접적으로 메인 하우징(10)의 내부로 유입되는 것을 방지하기 위한 것이다. 그러나 이물질 방지커버(33)와 상기 메인 하우징(10)의 사이에는 간극이 형성되어야 하기 때문에 가스 형태의 이물질이 메인 하우징(10)의 내부로 유입되는 것까지는 방지할 수 없게 된다. 이러한 이유로 유체 유동부재(50)가 별도로 설치되며, 이에 대한 상세한 설명은 후술한다.
상기 제 1 챔버 연장부(34)는 상기 챔버 하우징(31)으로부터 외측 반경방향으로 연장되어 형성되며, 상기 제 2 챔버 연장부(35)는 상기 제 1 챔버 연장부(34)의 끝단으로부터 하부로 연장된다. 특히, 상기 제 2 챔버 연장부(35)는 베어링(20)의 내륜에 고정되게 설치되며, 상기 제 2 메인 연장부(12)와 이격된다. 이는 제 2 메인 연장부(12)는 고정되어 있는 반면 제 2 챔버 연장부(35)는 회전하기 때문이다. 이와 같이, 제 1 및 제 2 챔버 연장부(34)(35)를 형성함으로써, 제 1 및 제 2 메인 연장부(11)(12)와 함께 이물질이 메인 하우징(10)의 내부, 즉 베어링(20)으로 유입되는 것을 최소화할 수 있게 된다. 보다 구체적으로, 이물질이 베어링(20)에 도달하기 위해서는 메인 하우징(10)의 하단과 이물질 방지커버(33)의 사이로 유입되어 제 1 메인 연장부(11)와 제 2 메인 연장부(12)를 따라 상승한 후에, 다시, 제 2 메인 연장부(12)와 제 2 챔버 연장부(35)의 사이로 하강해야 한다. 따라서, 이물질이 직접적으로 베어링(20)에 도달하는 것이 어렵게 되고, 이에 의해 컨디셔너의 수명을 연장할 수 있을 뿐만 아니라 연마공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있게 된다.
상기 피스톤부(40)는 상기 챔버 하우징(31)의 내부에 상하 방향으로 이동 가능하게 설치되어 하면에 부착된 디스크(43)를 연마패드에 가압하기 위한 것으로서, 상기 챔버 하우징(31)과 함께 회전할 수 있도록 상기 챔버 하우징(31)에 결합된다. 이러한 피스톤부(40)는 피스톤 블록(41)과, 디스크 홀더(42)를 포함한다.
상기 피스톤 블록(41)은 상하 방향 왕복 이동이 가이드될 수 있도록 상기 챔버 하우징(31)의 내부에 삽입된다. 상기 피스톤 블록(41)과 상기 챔버 하우징(31)은 상하 방향으로 형성된 가이드 홈 및 가이드 레일 등의 매개 수단으로 연결될 수 있다. 이와 같은 구성에 의해 상기 피스톤 블록(41)은 상기 챔버 하우징(31) 내에서 상하 방향으로 이동 가능하면서도, 상기 챔버 하우징(31)과 함께 상하 방향 축을 중심으로 회전할 수 있게 된다. 한편, 상기 피스톤 블록(41)의 상부의 상기 챔버 하우징(31)에는 상기 피스톤 블록(41)의 상하 방향을 이동을 위한 압력이 생성되는 챔버가 형성된다. 또한, 상기 피스톤 블록(41)에는 기밀링(44)이 설치되어 상기 챔버 하우징(31)과 피스톤 블록(41)의 사이에 기밀을 유지할 수 있게 된다. 본 실시예에서는 상기 기밀링(44)으로 퀘드링(QUAD RING)이 이용된다.
상기 디스크 홀더(42)는 디스크(43)를 파지하기 위한 것으로서, 상기 피스톤 블록(41)의 하단부에 결합된다.
상기 유체 유동부재(50)는 상기 메인 하우징(10)과 챔버 하우징(31) 사이에 이물질 특히 연마액 가스와 같은 기화된 이물질이 침투하는 것을 방지하기 위한 것으로서, 상기 챔버 하우징(31)에 키 등으로 결합되어 상기 챔버 하우징(31)과 함께 회전한다. 보다 구체적으로, 상기 유체 유동부재(50)는 챔버 하우징(31)과 메인 하우징(10)의 제 2 메인 연장부(12) 사이의 공간(S)에 배치된다. 따라서, 전술한 바와 같이, 제 1 및 제 2 메인 연장부(11)(12)와 제 1 및 제 2 챔버 연장부(34)(35) 에 의해 이물질이 침투되는 경로를 최대화하여 이물질이 침투되는 것을 최소화함과 아울러, 상기 유체 유동부재(50)에 의해 내부의 공기를 외부로 배출시킴으로써, 이물질이 전혀 유입될 수 없는 구조가 된다. 상기 유체 유동부재(50)는, 도 4에 도시된 바와 같은, 임펠러 등으로 구성될 수 있을 뿐만 아니라 챔버 하우징(31)과 함께 회전하면서 메인 하우징(10) 내부의 공기가 외부로 배출될 수 있도록 유체를 유동시킬 수 있는 한 팬 등 다양한 공지의 유체 유동부재(50)가 이용될 수 있다.
상기 이물질 방지부재(60)는 챔버 하우징(31)과 피스톤부(40) 사이의 습동부에 이물질이 침입하는 것을 방지하기 위한 것이다. 상기 이물질 방지부재(60)는 그 일단이 상기 피스톤부(40)의 디스크 홀더(42)에 설치되고, 그 타단은 상기 챔버 하우징(31)의 이물질 방지커버(33)에 설치된다. 상기 이물질 방지부재(60)는 상기 실린더부(30)와 상기 피스톤부(40)가 상하 방향으로 상대 이동할 경우 신장 또는 수축되어야 한다. 따라서, 상기 이물질 방지부재(60)는 고무나 실리콘 등 신축 가능한 재질로 형성된다.
보다 구체적으로, 상기 이물질 방지부재(60)의 일단은 제 1 결합블록(61)에 의해 디스크 홀더(42)의 상면에 고정되게 설치되고, 상기 이물질 방지부재(60)의 타단은 제 2 결합블록(62)에 의해 상기 이물질 방지커버(33)의 하면에 고정되게 설치된다. 그러나 본 실시예와 달리 상기 이물질 방지부재(60)는 상기 실린더부(30)와 상기 피스톤부(40) 사이를 외부로부터 밀폐시킬 수 있는 한 그 설치 위치는 다양한게 변경될 수 있다.
이와 같은 이물질 방지부재(60)에 의해 DIW나 연마액 또는 연마액 가스가 챔 버 하우징(31)과 피스톤 블록(41)의 습동부로 침입하는 것을 미연에 방지할 수 있게 되고, 이에 의해 컨디셔너의 수명을 연장할 수 있을 뿐만 아니라 챔버 하우징(31)과 피스톤 블록(41)의 사이에 침투되어 고화된 연마액에 의해 웨이퍼가 손상되는 것을 미연에 방지할 수 있게 된다.
이하, 상술한 바와 같은 구성을 가지는 컨디셔너의 내부에 이물질의 침투를 방지하는 과정을 보다 상세히 설명한다.
도 2를 참조하면, 풀리(32)를 통해 전달된 회전력에 의해 챔버 하우징(31)이 회전하면, 유체 유동부재(50)가 상기 챔버 하우징(31)과 함께 회전한다. 물론, 상기 피스톤 블록(41)과 디스크 홀더(42) 및 디스크(43) 그리고 이물질 방지부재(60)도 함께 회전한다. 유체 유동부재(50)가 회전하면, 메인 하우징(10)과 챔버 하우징(31) 및 이물질 방지커버(33)로 둘러싸인 공간(S)의 압력이 상승하게 된다. 따라서, 상기 공간(S)의 공기는 메인 하우징(10)과 이물질 방지커버(33) 사이를 통해 외부로 배출되게 된다. 이와 같은 동작은 챔버 하우징(31)이 회전하는 한 계속된다. 따라서, 연마액 가스나 DIW 등의 이물질은 전혀 메인 하우징(10)의 내부로 유입될 수 없게 된다.
한편, 챔버 하우징(31)이 회전하면서 피스톤부(40)는 하강하고, 이에 의해 디스크(43)가 연마패드를 가압하면서 상대 마찰운동을 하게 된다. 이에 의해 연마 패드의 표면 상태가 개질된다. 이때, 상기 피스톤부(40)가 하강하면 이물질 방지부재(60)는 신장하면서, 여전히 챔버 하우징(31)과 피스톤부(40) 사이를 외부로부터 밀폐시킨다. 이에 의해 챔버 하우징(31)과 피스톤부(40) 사이에 이물질이 침입하는 것을 원천적으로 차단할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 화학기계적 연마장치의 컨디셔너의 단면 사시도,
도 2는 도 1에 도시된 컨디셔너의 분해 단면도,
도 3은 도 1에 도시된 컨디셔너의 결합 단면도,
도 4는 도 1에 도시된 유체 유동부재를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
<도면의 주요 참조부호에 대한 설명>
10; 메인 하우징 11, 12; 제 1 및 제 2 메인 연장부
20; 베어링 30; 실린더부
31; 챔버 하우징 33; 이물질 방지커버
34, 35; 제 1 및 제 2 챔버 연장부 40; 피스톤부
41; 피스톤 블록 42; 디스크 홀더
50; 유체 유동부재 60; 이물질 방지부재

Claims (11)

  1. 메인 하우징;
    상기 메인 하우징에 회전 가능하게 설치된 실린더부;
    상기 실린더부에 상하 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치되며, 상기 실린더부와 함께 회전하는 피스톤부; 및
    상기 실린더부와 상기 메인 하우징의 사이에 상기 실린더부와 함께 회전하도록 설치되어 상기 실린더부와 함께 회전하면서 상기 실린더부와 상기 메인 하우징 사이의 공기를 상기 메인 하우징의 외부로 배출하는 유체 유동부재를 포함하는 화학기계적 연마장치의 컨티셔너.
  2. 제1항에 있어서,
    일단이 상기 실린더부에 설치되고 타단은 상기 피스톤부에 설치되어 상기 실린더부와 상기 피스톤부 사이의 습동부에 이물질이 침입하는 것을 방지하는 신축성 재질의 이물질 방지부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치의 컨디셔너.
  3. 제2항에 있어서, 상기 실린더부는,
    상기 피스톤부가 내부에 삽입되며, 상기 메인 하우징에 회전 가능하게 지지되는 챔버 하우징; 및
    상기 챔버 하우징의 하단부에 설치되며, 상기 챔버 하우징의 외측 반경방향으로 연장되게 형성되어, 상기 챔버 하우징과 상기 메인 하우징의 사이로 이물질이 침투하는 것을 방지하는 이물질 방지커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치의 컨디셔너.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 피스톤부는,
    상기 챔버 하우징의 내부에 왕복이동가능하게 삽입되는 피스톤 블록; 및
    하면에 연마패드와 접촉되는 디스크가 부착되고, 상기 실린더부의 외부에 배치되도록 상기 피스톤 블록의 하단부에 설치되며, 상기 피스톤 블록으로부터 외측 반경방향으로 연장되게 형성된 디스크 홀더를 포함하며,
    상기 이물질 방지부재는 그 일단이 상기 이물질 방지커버에 설치되고, 그 타단이 상기 디스크 홀더에 설치되는 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치의 컨디셔너.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 유체 유동부재에 의해 유동되는 공기는 상기 메인 하우징과 상기 이물질 방지커버의 사이로 배출되는 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치의 컨디셔너.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 실린더부는,
    상기 피스톤부가 내부에 삽입되며, 상기 메인 하우징에 회전 가능하게 지지되는 챔버 하우징;
    상기 챔버 하우징으로부터 외측 반경방향으로 연장되어 형성된 제 1 챔버 연장부; 및
    상기 제 1 챔버 연장부의 끝단으로부터 하부로 연장되어 형성된 제 2 챔버 연장부를 포함하며,
    상기 메인 하우징에는 내측 반경방향으로 연장되는 제 1 메인 연장부와, 상기 제 2 챔버 연장부와 상기 챔버 하우징의 사이에 배치되도록 상기 제 1 메인 연장부의 끝단으로부터 상부로 연장된 제 2 메인 연장부가 형성되고,
    상기 제 2 챔버 연장부와 상기 메인 하우징의 사이에는 베어링이 개재되는 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치의 컨디셔너.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 유체 유동부재는 상기 제 2 메인 연장부와 상기 챔버 하우징의 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치의 컨디셔너.
  8. 메인 하우징;
    상기 메인 하우징에 회전 가능하게 설치된 실린더부;
    상기 실린더부에 상하 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치되며, 상기 실린더부와 함께 회전하는 피스톤부; 및
    일단이 상기 실린더부에 설치되고 타단은 상기 피스톤부에 설치되어 상기 실린더부와 상기 피스톤부 사이의 습동부에 이물질이 침입하는 것을 방지하는 신축성 재질의 이물질 방지부재를 포함하는 화학기계적 연마장치의 컨디셔너.
  9. 제8항에 있어서, 상기 실린더부는,
    상기 피스톤부가 내부에 삽입되며, 상기 메인 하우징에 회전 가능하게 지지되는 챔버 하우징; 및
    상기 챔버 하우징의 하단부에 설치되며, 상기 챔버 하우징의 외측 반경방향으로 연장되게 형성되어, 상기 챔버 하우징과 상기 메인 하우징의 사이로 이물질이 침투하는 것을 방지하는 이물질 방지커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치의 컨디셔너.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 피스톤부는,
    상기 챔버 하우징의 내부에 상하 방향으로 왕복 이동 가능하게 설치되는 피스톤 블록; 및
    하면에 디스크가 부착되고, 상기 실린더부의 외부에 배치되도록 상기 피스톤 블록의 하단부에 설치되며, 상기 피스톤 블록으로부터 외측 반경방향으로 연장되게 형성된 디스크 홀더를 포함하며,
    상기 이물질 방지부재는 그 일단이 상기 이물질 방지커버에 설치되고, 그 타단이 상기 디스크 홀더에 설치되는 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치의 컨디셔너.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 실린더부는,
    상기 피스톤부가 내부에 삽입되며, 상기 메인 하우징에 회전 가능하게 지지되는 챔버 하우징;
    상기 챔버 하우징으로부터 외측 반경방향으로 연장되게 형성되는 제 1 챔버 연장부; 및
    상기 제 1 연장부의 끝단으로부터 하부로 연장되게 형성되는 제 2 챔버 연장부를 포함하며,
    상기 메인 하우징에는 내측 반경방향으로 연장되는 제 1 메인 연장부와, 상기 제 2 챔버 연장부와 상기 챔버 하우징의 사이에 배치되도록 상기 제 1 메인 연장부의 끝단으로부터 상부로 연장되는 제 2 메인 연장부가 형성되고,
    상기 제 2 챔버 연장부와 상기 메인 하우징의 사이에는 베어링이 개재되는 것을 특징으로 하는 화학기계적 연마장치의 컨디셔너.
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