KR20100046955A - 아웃 가스 자동 분석 장치 및 아웃 가스 자동 분석 방법 - Google Patents
아웃 가스 자동 분석 장치 및 아웃 가스 자동 분석 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20100046955A KR20100046955A KR1020080106014A KR20080106014A KR20100046955A KR 20100046955 A KR20100046955 A KR 20100046955A KR 1020080106014 A KR1020080106014 A KR 1020080106014A KR 20080106014 A KR20080106014 A KR 20080106014A KR 20100046955 A KR20100046955 A KR 20100046955A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- gas
- port
- moving gas
- moving
- unit
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims abstract description 41
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 227
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims description 25
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 238000004817 gas chromatography Methods 0.000 claims description 11
- 238000004868 gas analysis Methods 0.000 claims description 10
- 238000010943 off-gassing Methods 0.000 claims description 10
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 9
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 9
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 7
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 claims description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 2
- BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N hydridophosphorus(.) (triplet) Chemical compound [PH] BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 claims description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000008719 thickening Effects 0.000 claims 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 abstract description 3
- 238000004451 qualitative analysis Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 8
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 6
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 5
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000012788 optical film Substances 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YUWBVKYVJWNVLE-UHFFFAOYSA-N [N].[P] Chemical compound [N].[P] YUWBVKYVJWNVLE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 1
- -1 color filter Substances 0.000 description 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 1
- 238000002716 delivery method Methods 0.000 description 1
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 231100000676 disease causative agent Toxicity 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000004445 quantitative analysis Methods 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 150000003384 small molecules Chemical class 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
- G01N21/71—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited
- G01N21/718—Laser microanalysis, i.e. with formation of sample plasma
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
본 발명은 아웃 가스 자동 분석 장치 및 아웃 가스 자동 분석 방법에 관한 것으로, 빛 에너지에 의해 유기발광다이오드, 실런트, 컬러필터, 태양 전지, 광학필름, 점착층, 접착층 등과 같은 시료로부터 발생하는 미량의 아웃 가스를 농축하여 정량 및 정석 분석하는데 있다.
이를 위해 본 발명은 시료가 수납되는 수납부와, 수납부에 설치되어, 시료에 빛을 조사하는 광원부와, 수납부에 연결되어, 빛에 의해 발생하는 시료의 아웃 가스를 배송하는 배송관과, 배송관에서 발생하는 아웃 가스를 농축시키는 농축부와, 농축부에 연결되어 농축된 아웃 가스를 분석하는 분석부를 포함하는 아웃 가스 자동 분석 장치를 개시한다.
이와 같이 하여 본 발명은 농축부에 의해 아웃 가스를 농축한 후 분석을 수행함으로써, 미량의 아웃 가스 성분에 대해서도 정성 및 정량의 재현성과 직선성이 모두 우수한 분석 장치 및 분석 방법을 제공한다.
빛 에너지, 아웃 가스, 기체크로마토그래피, 농축
Description
본 발명은 농축부가 구비된, 빛 에너지에 의해 발생하는 아웃 가스 자동 분석 장치 및 방법에 관한 것으로, 특히 태양 전지 원료나 실런트(sealant) 및 표시 장치 부품 시료에서 발생하는 아웃 가스를 자동으로 분석하는 장치 및 방법에 대한 것이다. 더욱 상세하게는 광원에서 나온 여러 파장의 빛을 광학 필터(filter)를 통해 원하는 파장만을 선택하고 광학 필터에 의해 선택된 파장의 빛 에너지에 의해 발생한 아웃 가스를 소정 농도 이상으로 농축시킨 후 분석을 수행하는 아웃 가스 자동 분석 장치 및 방법에 관한 것이다.
평판 또는 플렉서블 표시 장치(flexible display device)에 포함된 부품은 매우 다양하다. 보통의 표시 장치 제품의 경우 광원에 의해 나온 빛을 편광, 차단 등의 다중 작업을 통하여 우리에게 원하는 영상을 제공한다. 이러한 빛을 이용하다 보면 표시 장치에 이용된 부품 역시 이러한 빛에 의하여 분해 또는 반응하게 되며 또한 외부 빛에 의해서도 이러한 여러 물리, 화학적 반응에 의해 아웃 가스가 생성된다. 이러한 아웃 가스의 경우 매우 미량이므로 기존 열분석이나 기타 여러 분석 법으로 확인하기 어려운 경우가 많다.
평판 또는 플렉서블 표시 장치의 제조 공정 이외에 태양광을 이용한 태양전지, 태양열 발전기, 보일러 또는 기타 빛을 이용하는 모든 원자재 및 제품에 대한 평가 및 불량 발생시 원인 파악을 위해서는 원인 물질의 정성, 정량 분석이 필요하다.
상기 여러 종류의 원료 및 제품에서 발생하는 아웃 가스의 성분은 매우 다양하다. 또한 발생의 원인 역시 빛 에너지에 반응하는 것과 열 에너지에 반응하여 발생하는 성분 역시 다를 것이다. 이러한 여러 종류의 각기 다른 성질을 지닌 아웃 가스의 정확한 분석을 위해서는 일정한 아웃 가스의 포집률을 유지하여야 한다.
그러나 종래의 분석 방법은 시료를 시험관이나 오븐에 넣어 빛 또는 열 에너지를 주며 이때 발생하는 아웃 가스를 펌프로 흡착제가 충진된 흡착관에 흡입하여 수집한 뒤 이를 다시 가열하여 탈착된 아웃 가스를 분석하였다. 그런데 빛 에너지에 의해 발생한 성분은 열 에너지에 의해 발생한 성분에 비하여 매우 미량이며 또한 저분자 화합물로 흡착제의 선택에 어려움이 있다. 따라서, 종래에는 재현성과 직선성 있는 분석 결과를 얻기 어려웠다.
본 발명의 목적은 빛 에너지에 의해 시료로부터 발생하는 미량의 아웃 가스를 자동적으로 분석함으로써, 빛에 따른 아웃 가스의 성분 및 함량 등을 재현성 및 직선성이 우수하게 정량 및 정성 분석할 수 있는 아웃 가스 자동 분석 장치 및 방 법을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 다양한 파장대의 빛을 시료에 조사함으로써, 시료로부터 발생하는 아웃 가스의 성분 및 함량을 더욱 정확하고 다양하게 분석할 수 있는 아웃 가스 자동 분석 장치 및 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 시료로부터 발생하는 미량의 아웃 가스를 고농도로 농축한 후 분석함으로써, 더욱 정밀한 아웃 가스의 분석이 가능한 아웃 가스 자동 분석 장치 및 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 시료로부터 발생하는 아웃 가스를 원하는 시간에 원하는 농도만큼 신속하게 획득하여 분석할 수 있는 아웃 가스 자동 분석 장치 및 방법을 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 시료가 수납되는 수납부 내측의 불순물 가스를 제거한 후 분석을 수행함으로써, 시료의 아웃 가스를 더욱 정확하게 분석할 수 있는 아웃 가스 자동 분석 장치 및 방법을 제공하는데 있다.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 의한 아웃 가스 자동 분석 장치는 시료가 수납되는 수납부와, 상기 수납부에 설치되어, 상기 시료에 빛을 조사하는 광원부와, 상기 수납부에 연결되어, 상기 빛에 의해 발생되는 상기 시료의 아웃 가스를 배송하는 배송관과, 상기 배송되는 아웃 가스를 농축시키는 농축부와, 상기 농축부에 연결되어 상기 농축된 아웃 가스를 분석하는 분석부를 포함한다.
상기 수납부는 상기 시료를 특정 온도까지 가열할 수 있는 오븐을 포함할 수 있다.
상기 광원부는 광원 및 상기 광원으로부터의 빛중 특정 파장의 빛만을 통과시키는 광학 필터를 포함할 수 있다.
상기 농축부에는 상기 배송관을 통과하는 아웃 가스를 냉각하는 냉매 공급부가 더 연결될 수 있다.
상기 냉매 공급부는 냉매를 수납하는 냉매 수납 용기와, 상기 냉매 수납 용기로부터 냉매의 배출량을 제어하여 배출하는 밸브와, 상기 밸브로부터의 냉매를 냉각하여 상기 농축부에 공급하는 냉각 코일을 포함할 수 있다.
상기 수납부에는 상기 수납부의 아웃 가스를 상기 배송관으로 강제 배송하는 이동 기체 공급부가 더 연결될 수 있다.
상기 이동 기체 공급부는 이동 기체를 수납하는 이동 기체 수납 용기와, 상기 이동 기체 수납 용기로부터 이동 기체의 배출량을 제어하여 상기 수납부에 공급하는 밸브를 포함할 수 있다.
상기 이동 기체 공급부는 상기 이동 기체 수납 용기로부터 이동 기체를 운송하는 이동 기체 운송관과, 상기 이동 기체 운송관으로부터 분기(分岐)되어 상기 이동 기체의 양을 조절하는 이동 기체 조절관과, 상기 이동 기체 조절관에 설치되어 상기 이동 기체의 유량을 조절하는 유량 조절 밸브와, 상기 이동 기체 운송관, 상기 이동 기체 조절관, 상기 수납부 및 상기 농축부 사이에 설치되어, 상기 이동 기체 또는 상기 이동 기체와 아웃 가스의 흐름 방향을 제어하는 멀티 포트 밸브를 포 함할 수 있다.
상기 멀티 포트 밸브는 상기 이동 기체 조절관으로부터 이동 기체를 유입하는 제1포트와, 상기 수납부로 이동 기체를 방출하는 제2포트와, 상기 이동 기체 운송관으로부터 이동 기체를 유입하는 제3포트와, 상기 농축부로 이동 기체 또는 이동 기체와 아웃 가스를 함께 방출하는 제4포트와, 상기 수납부로부터 이동 기체 또는 이동 기체와 아웃 가스를 함께 유입하는 제5포트와, 상기 이동 기체 또는 이동 기체와 아웃 가스를 함께 외부로 방출하는 제6포트를 포함할 수 있다.
상기 멀티 포트 밸브는 대기 상태에서, 상기 제3포트로부터 이동 기체를 유입하여 제4포트로 전송하고, 상기 제1포트로부터 이동 기체를 유입하여 제2포트로 전송한 뒤, 수납부를 거쳐 상기 제5포트로 유입되는 이동 기체 또는 이동 기체와 아웃 가스를 함께 제6포트를 통하여 외부로 방출하며, 아웃 가스의 발생 상태에서, 상기 제1포트로부터 이동 기체를 유입하여 제6포트로 배출하고, 상기 제3포트로부터 이동 기체를 유입하여 제2포트로 전송한 뒤, 상기 수납부를 거쳐 상기 제5포트로 유입되는 이동 기체 및 아웃 가스를 함께 제4포트를 통하여 상기 농축부로 방출하며, 상기 대기 상태와 상기 아웃 가스 발생 상태는 선택적으로 이루어질 수 있다.
상기 분석부는 농축된 아웃 가스를 성분별로 분리하기 위해 칼럼이 구비된 가스크로마토그래피와, 상기 가스크로마토그래피에 의해 분리된 각 성분을 원소별로 분석하기 위한 성분 분석기를 포함하고, 상기 배송관은 상기 농축기를 통하여 상기 가스크로마토그래피와 연통될 수 있다.
상기 성분 분석기는 불꽃 이온화 검출기(Flame Ionization Detector, FID), 주기적 방전 이온화 검출기(Pulsed Discharge Ionization Detector, PDID), 질소인 검출기(Nitrogen Phosphorous Detector, NPD), 불꽃 광도형 검출기(Flame Photometric Detector, FPD) 및 질량 분석기(Mass Spectrometry, MS) 중에서 선택된 적어도 어느 하나일 수 있다.
상기 분석부에는 아웃 가스의 발생으로부터 특정 시간이 경과한 후 상기 분석부가 동작하도록 상기 분석부를 제어하는 제어부가 더 연결될 수 있다.
상기 수납부 또는 상기 배송관 중에서 적어도 어느 하나에는 상기 아웃 가스가 흡착되지 않도록 하는 흡착 방지막이 더 형성될 수 있다.
상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 의한 아웃 가스 자동 분석 방법은 시료를 수납하는 단계, 상기 시료에 빛을 조사하는 단계, 상기 빛에 의해 발생되는 상기 시료의 아웃 가스를 배송하는 단계, 상기 배송되는 아웃 가스를 농축시키는 단계, 상기 농축된 아웃 가스를 분석하는 단계를 포함한다.
상술한 바와 같이 하여, 본 발명은 빛 에너지에 의해 시료로부터 발생하는 미량의 아웃 가스를 자동적으로 분석함으로써, 빛에 따른 아웃 가스의 성분, 함량 등을 재현성, 직선성이 우수하게 정량 및 정성 분석할 수 있다.
또한, 본 발명은 다양한 파장대의 빛을 시료에 조사하여 아웃 가스를 발생시킬 수 있음으로써, 시료로부터 발생하는 다양한 아웃 가스의 성분 및 함량 등을 더욱 정확하게 분석할 수 있다.
또한, 본 발명은 빛 에너지에 의해 시료로부터 발생하는 미량의 아웃 가스를 고농도로 농축하여 분석함으로써, 빛에 따른 아웃 가스의 성분 및 함량 등을 더욱 정밀하게 분석할 수 있다.
또한, 본 발명은 이동 기체를 이용하여 시료로부터의 아웃 가스가 강제로 이동되도록 함으로써, 원하는 시간에 원하는 농도로 아웃 가스를 분석할 수 있다..
또한, 본 발명은 이동 기체를 이용하여 수납부 내측의 불순물을 미리 배출함으로써, 아웃 가스의 분석 정확도를 향상시킬 수 있다.
결론적으로, 본 발명은 빛을 이용한 광경화 또는 빛 안정성에 대한 평가가 필요한 시료에 대하여 다양한 파장의 빛을 선택하여 이 빛 에너지에 의해 발생하는 아웃 가스를 소정 농도 이상으로 농축시킨 후 자동으로 분석할 수 있다. 따라서, 본 발명은 예를 들면, 평판 표시 장치 등에 사용되는 유기발광다이오드, 실런트, 컬러필터, 태양 전지, 광학필름, 점착층, 접착층 등 여러 재료에서 발생하는 아웃 가스를 효과적으로 관리할 수 있으며, 아웃 가스에 의한 불량 원인 파악과 신규 재료 선정에 있어 신뢰성 있는 결과를 제공할 수 있다. 이에 따라 미량의 아웃 가스 및 많은 양의 아웃 가스 성분까지 효과적으로 관리함으로써, 전자 부품 소재의 질을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형 태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조로 하여 구체적으로 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 광원부와 농축부가 구비된 아웃 가스 자동 분석 장치의 구성을 설명하기 위한 모식도이다.
도 1에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 아웃 가스 자동 분석 장치(100)는 수납부(110)와, 광원부(120)와, 배송관(130)과, 농축부(140)와, 분석부(150)를 포함하여 이루어진다.
상기 수납부(110)는 대략 밀폐된 형태를 하며, 분석하고자 하는 아웃 가스가 발생하는 시료(111)가 위치된다. 여기서, 상기 수납부(110)는 온도 조절 기능이 없는 통상의 밀폐 케이스이거나 또는 온도 조절 기능이 있는 오븐일 수 있다. 물론, 온도 조절 기능이 있는 오븐의 경우 상기 시료(111)는 빛 에너지뿐만 아니라 열 에너지에 의해서도 아웃 가스를 발생하게 된다.
더불어, 상기 수납부(110)에 시료(111)를 주입하기 위해서는, 가스 실린더를 이용하는 카트리지 방식의 자동 시료 주입장치(도시하지 않음)를 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 자동 시료 주입 장치의 도포 층 보호를 위하여 상기 자동 시료 주입 장치는 상기 수납부(110) 중 예를 들어 가열 부분이 있다면 그러한 가열 부분과 일정한 거리를 두어 위치시키는 것이 바람직하다. 또한, 아웃 가스 발생을 마친 시료(111)는 진공 흡착판(도시하지 않음)을 이용하여 제거하는 것이 바람직하다.
상기 시료(111)는 평판 표시 장치 또는 플렉서블(flexible) 표시 장치 등에 사용되는 형광체, 유전체, 유기발광다이오드, 실런트, 컬러필터, 태양 전지, 광학필름, 점착층, 접착층, 확산판 등이 가능하고, 이밖에도 태양전지, 태양열 발전기, 태양열 보일러 등 빛에 영향을 받는 다양한 재료가 가능하다. 즉, 본 발명에 이용된 시료(111)는 빛을 이용하는 모든 원자재 및 제품이 가능하며, 특정 재료나 물질로 한정하는 것은 아니다. 더욱이, 본 발명에 이용된 시료(111)는 빛뿐만 아니라 열을 이용하는 모든 원자재 및 제품일 수도 있다.
상기 광원부(120)는 상기 수납부(110)에 연결된 광원(121)과, 상기 광원(121)으로부터 특정 파장대의 빛만을 투과시키는 광학 필터(122)로 이루어져 있다. 여기서, 상기 광원(121)은 제논 램프, UV 램프 및 그 등가물 중에서 선택된 어느 하나일 수 있으며, 여기서 그 종류를 한정하는 것은 아니다. 또한, 상기 광학 필터(122)는 다양한 파장대 빛만을 투과시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 광학 필터(122)는 자외선만 투과시키거나 또는 적외선만 투과시킬 수 있다. 도면에서 상기 광원(121)은 튜브를 통하여 상기 수납부(110)에 연결된 것으로 도시되어 있으나, 반드시 이러한 구성으로 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 즉, 상기 광원(121)은 상기 광학 필터(122)의 바로 상부에 설치될 수도 있다. 더불어, 도면에서와 같이 광원(121)이 파이프 등을 통하여 수납부(110)에 연결된 경우, 상기 파이프의 내측 표면은 반사도가 우수한 재료가 코팅될 수 있다.
상기 배송관(130)은 일단이 상기 수납부(110)에 연결되어 있으며, 타단이 분석부(150)에 연결되어 있다. 이러한 배송관(130)은 상기 시료(111)로부터 발생하는 아웃 가스를 상기 분석부(150)까지 배송하는 역할을 한다. 물론, 상기 배송중에 상기 농축부(140)에 의해 소정 농도로 농축된다.
상기 농축부(140)는 상기 배송관(130)을 감싸는 형태로 형성되어 있다. 이러한 농축부(140)는 상기 수납부(110)로부터의 아웃 가스를 농축하는 역할을 한다. 더불어, 상기 농축부(140)에 의한 아웃 가스의 농축 효율을 향상시키기 위해 상기 농축부(140)에는 냉매(141)가 위치될 수 있다. 즉, 종래에는 시료(111)로부터 발생한 아웃 가스를 여러 종류의 흡착제로 흡착 및 탈착시켜서 수집한 후 이것을 분석하였는데, 이 경우 기타 유기물의 흡착에 의해 상이한 결과를 얻을 수 밖에 없었다. 그러나, 본 발명은 배송관(130)을 통해 이송되는 아웃 가스를 농축부(140)의 냉매(141)를 이용하여 농축시킴으로써, 미량의 아웃 가스 성분에 대해서도 정성 및 정량의 재현성과 직선성이 모두 우수한 분석 결과를 얻을 수 있다. 여기서, 상기 농축부(140)의 냉매(141)는 냉동 사이클의 작동 유체로서 저온의 물체에서 열을 빼앗아 고온의 물체에 열을 운반해주는 매체를 총칭하는 것으로, 특별히 제한되는 일이 없이 이 기술분야에서 널리 알려진 다양한 냉매(141)가 사용될 수 있다.
상기 분석부(150)는 상기 배송관(130)에 연결되어 있으며, 이는 상기 시료(111)로부터 발생하는 아웃 가스를 실제로 정량 및 정성 분석하는 역할을 한다. 상기 분석부(150)는 칼럼(152)을 갖는 가스크로마토그래피(151)와 성분 분석 기(153)로 이루어질 수 있다. 상기 가스크로마토그래피(151)는 칼럼(152)을 이용하여 농축된 아웃 가스를 성분 별로 분리한다. 또한, 상기 성분 분석기(153)는 상기와 같이 분리된 아웃 가스를 정량 및 정성 분석한다.
이와 같이 본 발명은 농축된 아웃 가스의 성분 분리와 성분 분석이 차례로 연속적으로 이루어지며, 배송관(130)과 가스크로마토그래피(151)가 연통됨으로써, 아웃 가스가 발생된 상태를 최대한 유지하면서 외부의 영향 없이 분석 공정에까지 전달된다.
상기 성분 분석기(153)는 유기화합물을 포함하는 아웃 가스 분석에 적합한 불꽃 이온화 검출기(Flame Ionization Detector, FID), 무기 및 유기 화합물과 저비점 가스를 포함한 아웃 가스 분석에 적합한 주기적 방전 이온화 검출기(Pulsed Discharge Ionization Detector, PDID), 질소와 인이 포함된 아웃 가스 분석에 적합한 질소인 검출기(Nitrogen Phosphorous Detector, NPD), 황이나 인이 포함된 아웃 가스 분석에 적합한 불꽃 광도형 검출기(Flame Photometric Detector, FPD), 질량 분석에 적합한 질량 분석기(Mass Spectrometry, MS) 및 그 등가물 중에서 선택된 적어도 어느 하나일 수 있다.
이러한 검출기 및 분석기는 각각 따로 구비되어 사용될 수도 있지만, 본 발명에서는 상기 각 검출기와 다수의 분석기가 병렬로 연결되어 상기 가스크로마토그래피(151)의 칼럼(152)을 통해 분리된 아웃 가스 성분을 동시에 분석할 수 있고, 특히 분리된 각 성분에 따라 적합한 성분 분석기(153)를 적용시킬 수 있다.
한편, 본 발명은 상술한 바와 같이 시료(111)에서 발생한 아웃 가스가 배송 관(130)을 통해 농축부(140)를 거쳐 분석부(150)까지 이송되어야 하는바, 아웃 가스가 형성되는 수납부(110), 아웃 가스가 이동하는 배송관(130), 농축부(140) 및 분석부(150)의 내부에는 상기 아웃 가스가 잘 흡착되지 않도록 하는 흡착 방지막이 형성됨이 바람직하다. 그 중에서도 상기 시료(111)를 포함하는 수납부(110) 및 상기 시료(111)에서 발생한 아웃 가스를 이송하는 배송관(130)중에서 적어도 어느 하나는 내부 표면에 아웃 가스가 흡착되지 않도록 하는 흡착 방지막이 더 형성됨이 더욱 바람직하다. 이외에 상기한 흡착 방지막은 아웃 가스가 발생하고 이동하는 모든 이송관 내부에 도포될 수 있다.
또한, 상기 배송관(130)은 일정한 온도를 유지하도록 하여 아웃 가스의 회수율 및 재현성을 극대화함이 좋다.
도 2는 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따라 냉매 공급부를 포함하는 농축부가 구비된 아웃 가스 자동 분석 장치의 구성을 설명하기 위한 모식도이다.
도 2에 도시된 바와 같이 본 발명의 다른 실시예에 따른 아웃 가스 자동 분석 장치(200)는 도 1에 도시된 아웃 가스 자동 분석 장치(100)와 다르게 냉매 공급부(260)가 농축부(140)에 추가적으로 더 연결되어 있다.
이러한 냉매 공급부(260)는 기체 질소와 같은 냉매를 수납하는 수납 용기(261)와, 상기 수납 용기(261)로부터 냉매의 배출량을 제어하여 배출하는 밸브(262)와, 상기 밸브(262)로부터 이송된 냉매를 냉각하여 농축부(140)로 이송하는 냉각 코일(263)을 포함하여 이루어진다.
즉, 상기 냉각 코일(263)은 예를 들면 기체 질소를 대략 -196℃의 액체 질소(liquid nitrogen)로 냉각하여 상기 농축부(140)에 이송한다.
물론, 상기 농축부(140)를 통해서는 아웃 가스를 이송하는 배송관(130)이 관통되어 있으므로, 상기 냉매 공급부(260)에 의한 액체 질소와 같은 냉매는 상기 배송관(130)에 직접 작용하게 된다. 따라서, 분석부(150)로 향하는 아웃 가스는 이송중에 바로 고농도로 신속하게 농축된다.
도 3은 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따라 이동 기체 공급부를 포함하는 농축부가 구비된 아웃 가스 자동 분석 장치의 구성을 설명하기 위한 모식도이다.
도 3에 도시된 바와 같이 본 발명의 다른 실시예에 따른 아웃 가스 자동 분석 장치(300)는 도 2에 도시된 아웃 가스 자동 분석 장치(200)와 다르게 이동 기체 공급부(370)가 수납부(110)에 추가적으로 더 연결되어 있다.
이러한 이동 기체 공급부(370)는 불활성 가스(예를 들면, 헬륨)와 같은 이동 기체를 수납하는 수납 용기(371)와, 상기 수납 용기(371)로부터 이동 기체의 배출량을 제어하여 상기 수납부(110)에 강제로 공급하는 밸브(372)를 포함한다. 물론, 상기 이동 기체 공급부(370)와 상기 수납부(110) 사이에는 이동 기체를 운반하기 위한 이동 기체 운송관(373)이 더 설치되어 있다.
이와 같이 하여, 본 발명은 시료(111)에서 발생하는 아웃 가스를 고압의 이동 기체에 의해 배송관(130)으로 신속하게 이송시킬 수 있다. 따라서, 사용자는 원 하는 시간에 원하는 농도의 아웃 가스를 획득하여 분석을 수행할 수 있게 된다.
또한, 수납부(110)를 소정 온도로 가열하는 경우 상기와 같은 강제 배송 방식의 이동 기체가 없다면 아웃 가스의 유속 변화에 따라 온도 편차가 심해질 수 있다. 그러나, 본 발명에서는 수납부(110)를 소정 온도로 가열한다고 해도, 상기와 같이 이동 기체를 일정한 압력 및 유속으로 강제 압송함으로써, 수납부(110)에서 발생하는 아웃 가스를 온도 편차없이 바로 농축부(140)로 이송시킬 수 있게 된다.
도 4는 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따라 멀티 포트 밸브를 포함하는 농축부가 구비된 아웃 가스 자동 분석 장치의 구성을 설명하기 위한 모식도이다.
도 4에 도시된 농축부가 구비된 아웃 가스 자동 분석 장치(400)는 도 3에 도시된 아웃 가스 자동 분석 장치(300)와 이동 기체 공급부(470)의 구성에 있어 약간 다르다.
즉, 도 4에 도시된 이동 기체 공급부(470)는 이동 기체 운송관(473), 이동 기체 조절관(474), 유량 조절 밸브(475) 및 멀티 포트 밸브(476) 등을 더 포함하여 이루어져 있다.
상기 이동 기체 운송관(473)은 밸브(472)와 멀티 포트 밸브(476) 사이에 결합되어, 밸브(472)로부터 이동 기체를 멀티 포트 밸브(476)로 운송하는 역할을 한다.
상기 이동 기체 조절관(474)은 일단이 상기 이동 기체 운송관(473)에 연결되 고, 타단이 상기 멀티 포트 밸브(476)에 연결됨으로써, 상기 이동 기체의 양을 조절하는 역할을 한다.
상기 유량 조절 밸브(475)는 상기 이동 기체 조절관(474)에 설치되어 상기 이동 기체의 유량을 조절하는 역할을 한다.
또한, 상기 멀티 포트 밸브(476)는 이동 기체 운송관(473), 이동 기체 조절관(474), 수납부(110) 및 농축부(140) 사이에 설치되어, 상기 이동 기체 또는 상기 이동 기체와 아웃 가스의 흐름 방향을 원하는 방향으로 제어하는 역할을 한다.
즉, 상기 멀티 포트 밸브(476)는 상기 이동 기체 조절관(474)으로부터의 이동 기체가 상기 수납부(110)에 공급되는 동시에, 상기 수납부(110)로부터의 이동 기체와 아웃 가스가 외부로 배출되도록 제어할 수 있다. 또한, 상기 멀티 포트 밸브(476)는 상기 이동 기체 운송관(473)으로부터 이동 기체가 상기 농축부(140)로 공급되도록 제어할 수 있다.
또한, 상기 멀티 포트 밸브(476)는 상기 이동 기체 운송관(473)으로부터의 이동 기체가 상기 수납부(110)에 공급되는 동시에, 상기 수납부(110)로부터의 이동 기체와 아웃 가스가 상기 농축부(140)로 공급되도록 제어할 수 있다. 또한, 상기 멀티 포트 밸브(476)는 상기 이동 기체 조절관(474)으로부터 이동 기체가 외부로 배출되도록 제어할 수도 있다.
상기 멀티 포트 밸브(476)의 구성 및 기능을 좀더 자세히 설명한다.
상기 멀티 포트 밸브(476)는 제1포트(481), 제2포트(482), 제3포트(483), 제4포트(484), 제5포트(485) 및 제6포트(486)를 갖는 6-포트 밸브일 수 있다. 여기 서, 상기 제1포트(481)는 제2포트(482) 또는 제6포트(486)와 선택적으로 연통될 수 있다. 상기 제2포트(482)는 제1포트(481) 또는 제3포트(483)와 선택적으로 연통될 수 있다. 상기 제3포트(483)는 제4포트(484) 또는 제2포트(482)와 선택적으로 연통될 수 있다. 상기 제4포트(484)는 제3포트(483) 또는 제5포트(485)와 선택적으로 연통될 수 있다. 상기 제5포트(485)는 제6포트(486) 또는 제4포트(484)와 선택적으로 연통될 수 있다. 상기 제6포트(486)는 제5포트(485) 또는 제1포트(481)와 선택적으로 연통될 수 있다.
한편, 상기 제1포트(481)는 상기 이동 기체 조절관(474)으로부터 이동 기체가 유입되는 기능을 갖는다. 상기 제2포트(482)는 상기 수납부(110)로 이동 기체를 방출하는 기능을 갖는다. 상기 제3포트(483)는 상기 이동 기체 운송관(473)으로부터 이동 기체를 유입하는 기능을 갖는다. 상기 제4포트(484)는 배송관(478)을 통하여 농축부(140)로 이동 기체 또는 이동 기체와 아웃 가스를 함께 방출하는 기능을 한다. 상기 제5포트(485)는 상기 수납부(110)로부터 이동 기체 또는 이동 기체와 아웃 가스를 함께 유입하는 기능을 갖는다. 상기 제6포트(486)는 상기 이동 기체 또는 이동 기체와 아웃 가스를 함께 외부로 방출하는 기능을 갖는다.
도면중 미설명 부호 487은 멀티 포트 밸브(476)가 대기 상태로 동작할 때 각 포트에 의해 형성되는 유로를 나타낸 것이고, 미설명 부호 488은 멀티 포트 밸브(476)가 아웃 가스 발생 상태로 동작할 때 각 포트에 의해 형성되는 유로를 나타낸 것이다.
도 5a 및 도 5b는 각각 본 발명에 따른 멀티 포트 밸브의 대기 상태와 아웃 가스 발생 상태에서의 이동 기체 및 아웃 가스 이동 경로를 설명하기 위한 모식도이다.
먼저 도 5a에 도시된 바와 같이 대기 상태에서는 멀티 포트 밸브(476)가 이동 기체 조절관(474)으로부터의 이동 기체가 상기 수납부(110)에 공급되도록 하는 동시에, 상기 수납부(110)로부터의 이동 기체와 아웃 가스를 함께 외부로 배출되도록 하고, 또한, 상기 이동 기체 운송관(473)으로부터 이동 기체는 배송관(478)으로 공급되도록 한다.
즉, 상기 멀티 포트 밸브(476)는 상기 제3포트(483)로부터 이동 기체를 유입하여 제4포트(484)로 전송하고, 상기 제1포트(481)로부터 이동 기체를 유입하여 제2포트(482)로 전송한 뒤, 수납부(110)를 거쳐 상기 제5포트(485)로 유입되는 이동 기체 또는 이동 기체와 아웃 가스를 제6포트(486)를 통하여 다시 외부로 방출할 수 있다. 이와 같이 하여 분석부(150)의 내측 분위기를 아웃 가스가 없는 초기 상태로 만들고, 또한 수납부(110)의 내측에 존재할 수 있는 각종 불순물 가스도 미리 외부로 방출하여 제거할 수 있게 된다.
다음으로 도 5b에 도시된 바와 같이 아웃 가스 발생 상태에서는 멀티 포트 밸브(476)가 이동 기체 운송관(473)으로부터의 이동 기체를 상기 수납부(110)에 공급되도록 하는 동시에, 상기 수납부(110)로부터의 이동 기체와 아웃 가스가 상기 배송관(478)으로 공급되도록 하고, 또한 상기 이동 기체 조절관(474)으로부터 이동 기체가 외부로 배출되도록 한다.
즉, 상기 멀티 포트 밸브(476)는 상기 제1포트(481)로부터 이동 기체를 유입하여 제6포트(486)로 배출하고, 상기 제3포트(483)로부터 이동 기체를 유입하여 제2포트(482)로 전송한 뒤, 상기 수납부(110)를 거쳐 상기 제5포트(485)로 유입되는 이동 기체 및 아웃 가스를 제4포트(484)를 통하여 상기 농축부(140)로 공급한다. 이와 같이 하여 수납부(110)에서 발생하는 아웃 가스는 이동 기체와 함께 배송관(478)을 통하여 농축부(140) 및 분석부(150)로 신속하게 공급된다.
한편, 상기와 같은 대기 상태와 상기 아웃 가스 발생 상태는 선택적으로 이루어지며, 멀티 포트의 구성상 동시에 이루어질 수는 없다.
도 6은 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따라 제어부를 포함하는 농축부가 구비된 아웃 가스 자동 분석 장치의 구성을 설명하기 위한 모식도이다.
도 6에 도시된 바와 같이 본 발명의 아웃 가스 자동 분석 장치는 도 4에 도시된 아웃 가스 자동 분석 장치와 다르게 제어부(690)가 더 포함될 수 있다.
상기 제어부(690)는 아웃 가스의 발생으로부터 특정 시간이 경과한 후 분석부(150)가 동작하도록 하는 역할을 한다. 즉, 농축부(140)와 분석부(150) 사이에는 PLC(Programmable Logic Controller)와 같은 제어부(690)가 설치되고, 이러한 제어부(690)는 자체적으로 구비된 타이머를 이용하여 아웃 가스의 발생으로부터 특정 시간이 지나면 자동적으로 상기 분석부(150)가 동작하도록 한다.
더불어, 상기 농축부(140)에는 농도 센서를 두어 상기 아웃 가스의 농도 정보를 실시간으로 제어부(690)에 알려주도록 할 수 있다. 또한, 제어부(690)는 상기 농축부(140)의 농도가 소정 농도 이상이 되면, 자동적으로 상기 분석부(150)가 동작하도록 제어할 수도 있다.
또한, 상기 제어부(690)는 상기 수납부(110), 상기 광원부(120), 상기 농축부(140), 상기 분석부(150), 상기 냉매 공급부(260) 및 상기 이동 기체 공급부(370 또는 470)를 자동적으로 제어할 수 있도록 구성 및 프로그램될 수도 있다.
이와 같이 하여 본 발명에 따르면, 빛을 이용하는 광경화 또는 빛 안정성에 대한 평가가 필요한 부품 시료에 대하여 다양한 파장의 빛을 선택하여 이 빛 에너지에 의해 발생하는 아웃가스를 소정의 농도 이상으로 농축시킨 후 자동으로 분석하는 장치를 제공할 수 있다. 이러한 본 발명은 배송관을 통해 이송되는 아웃 가스를 액체 질소와 같은 냉매에 의해 농축시키는 농축부를 구비함으로써, 미량의 아웃가스 성분에 대해서도 정성 및 정량의 재현성과 분석이 가능하다. 즉, 본 발명에 의하는 경우, 미량의 아웃가스를 정확하고 재현성 있게 자동으로 분석하여, 평판 표시 장치에 사용되는 광학필름, 점착층, 접착층, 컬러필터, 실런트 등 여러 재료에서 발생하는 아웃 가스를 효과적으로 관리할 수 있으며, 아웃 가스에 의한 불량의 원인 파악과 신규 재료 선정에 있어 신뢰성 있는 결과를 제공할 수 있다. 이에 따라, 미량의 아웃 가스 및 많은 양의 아웃 가스 성분까지 효과적으로 관리함으로써 전자 부품 소재의 질을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 광원부와 농축부가 구비된 아웃 가스 자동 분석 장치의 구성을 설명하기 위한 모식도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따라 냉매 공급부를 포함하는 농축부가 구비된 아웃 가스 자동 분석 장치의 구성을 설명하기 위한 모식도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따라 이동 기체 공급부를 포함하는 농축부가 구비된 아웃 가스 자동 분석 장치의 구성을 설명하기 위한 모식도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따라 멀티 포트 밸브를 포함하는 농축부가 구비된 아웃 가스 자동 분석 장치의 구성을 설명하기 위한 모식도이다.
도 5a 및 도 5b는 각각 본 발명에 따른 멀티 포트 밸브의 대기 상태와 아웃 가스 발생 상태에서의 이동 기체 및 아웃 가스 이동 경로를 설명하기 위한 모식도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 또 다른 실시예에 따라 제어부를 포함하는 농축부가 구비된 아웃 가스 자동 분석 장치의 구성을 설명하기 위한 모식도이다.
**도면의 주요부분에 대한 기호의 간단한 설명**
100; 아웃 가스 자동 분석 장치
110; 수납부 111; 시료
120; 광원부 121; 광원
122; 광학 필터 130; 배송관
140; 농축부 141; 냉매
150; 분석부 151; 가스크로마토그래피
152; 칼럼 153; 성분 분석기
260: 냉매 공급부 261; 수납 용기
262; 밸브 263; 냉각 코일
370; 이동 기체 공급부 371; 수납 용기
372; 밸브 470; 이동 기체 공급부
471; 수납 용기 472; 밸브
473; 이동 기체 운송관 474; 이동 기체 조절관
475; 유량 조절 밸브 476; 멀티 포트 밸브
481; 제1포트 482; 제2포트
483; 제3포트 484; 제4포트
485; 제5포트 486; 제6포트
690; 제어부
Claims (15)
- 시료가 수납되는 수납부;상기 수납부에 설치되어, 상기 시료에 빛을 조사하는 광원부;상기 수납부에 연결되어, 상기 빛에 의해 발생되는 상기 시료의 아웃 가스를 배송하는 배송관;상기 배송되는 아웃 가스를 농축시키는 농축부; 및,상기 농축부에 연결되어 상기 농축된 아웃 가스를 분석하는 분석부를 포함하는 것을 특징으로 하는 아웃 가스 자동 분석 장치.
- 제1항에 있어서,상기 수납부는상기 시료를 특정 온도까지 가열할 수 있는 오븐을 포함하는 것을 특징으로 하는 아웃 가스 자동 분석 장치.
- 제1항에 있어서,상기 광원부는광원; 및,상기 광원으로부터의 빛 중 특정 파장의 빛만을 통과시키는 광학 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 아웃 가스 자동 분석 장치.
- 제1항에 있어서,상기 농축부에는상기 배송관을 통과하는 아웃 가스를 냉각하는 냉매 공급부가 더 연결된 것을 특징으로 하는 아웃 가스 자동 분석 장치.
- 제4항에 있어서,상기 냉매 공급부는냉매를 수납하는 냉매 수납 용기;상기 냉매 수납 용기로부터 냉매의 배출량을 제어하여 배출하는 밸브; 및,상기 밸브로부터의 냉매를 냉각하여 상기 농축부에 공급하는 냉각 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 아웃 가스 자동 분석 장치.
- 제1항에 있어서,상기 수납부에는상기 수납부의 아웃 가스를 상기 배송관으로 강제 배송하는 이동 기체 공급부가 더 연결된 것을 특징으로 하는 아웃 가스 자동 분석 장치.
- 제6항에 있어서,상기 이동 기체 공급부는이동 기체를 수납하는 이동 기체 수납 용기; 및,상기 이동 기체 수납 용기로부터 이동 기체의 배출량을 제어하여 상기 수납부에 공급하는 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 아웃 가스 자동 분석 장치.
- 제6항에 있어서,상기 이동 기체 공급부는상기 이동 기체 수납 용기로부터 이동 기체를 운송하는 이동 기체 운송관;상기 이동 기체 운송관으로부터 분기(分岐)되어 상기 이동 기체의 양을 조절하는 이동 기체 조절관;상기 이동 기체 조절관에 설치되어 상기 이동 기체의 유량을 조절하는 유량 조절 밸브; 및,상기 이동 기체 운송관, 상기 이동 기체 조절관, 상기 수납부 및 상기 농축부 사이에 설치되어, 상기 이동 기체 또는 상기 이동 기체와 아웃 가스의 흐름 방 향을 제어하는 멀티 포트 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 아웃 가스 자동 분석 장치.
- 제8항에 있어서,상기 멀티 포트 밸브는상기 이동 기체 조절관으로부터 이동 기체를 유입하는 제1포트;상기 수납부로 이동 기체를 방출하는 제2포트;상기 이동 기체 운송관으로부터 이동 기체를 유입하는 제3포트;상기 농축부로 이동 기체 또는 이동 기체와 아웃 가스를 함께 방출하는 제4포트;상기 수납부로부터 이동 기체 또는 이동 기체와 아웃 가스를 함께 유입하는 제5포트; 및,상기 이동 기체 또는 이동 기체와 아웃 가스를 함께 외부로 방출하는 제6포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 아웃 가스 자동 분석 장치.
- 제9항에 있어서,상기 멀티 포트 밸브는대기 상태에서, 상기 제3포트로부터 이동 기체를 유입하여 제4포트로 전송하 고,상기 제1포트로부터 이동 기체를 유입하여 제2포트로 전송한 뒤, 수납부를 거쳐 상기 제5포트로 유입되는 이동 기체 또는 이동 기체와 아웃 가스를 함께 제6포트를 통하여 외부로 방출하며,아웃 가스의 발생 상태에서, 상기 제1포트로부터 이동 기체를 유입하여 제6포트로 배출하고,상기 제3포트로부터 이동 기체를 유입하여 제2포트로 전송한 뒤, 상기 수납부를 거쳐 상기 제5포트로 유입되는 이동 기체 및 아웃 가스를 함께 제4포트를 통하여 상기 농축부로 방출하며,상기 대기 상태와 상기 아웃 가스 발생 상태는 선택적으로 이루어짐을 특징으로 하는 아웃 가스 자동 분석 장치.
- 제1항에 있어서,상기 분석부는농축된 아웃 가스를 성분별로 분리하기 위해 칼럼이 구비된 가스크로마토그래피; 및,상기 가스크로마토그래피에 의해 분리된 각 성분을 원소별로 분석하기 위한 성분 분석기를 포함하고,상기 배송관은 상기 농축기를 통하여 상기 가스크로마토그래피와 연통된 것 을 특징으로 하는 아웃 가스 자동 분석 장치.
- 제11항에 있어서,상기 성분 분석기는불꽃 이온화 검출기(Flame Ionization Detector, FID), 주기적 방전 이온화 검출기(Pulsed Discharge Ionization Detector, PDID), 질소인 검출기(Nitrogen Phosphorous Detector, NPD), 불꽃 광도형 검출기(Flame Photometric Detector, FPD) 및 질량 분석기(Mass Spectrometry, MS) 중에서 선택된 적어도 어느 하나인 것을 특징으로 하는 아웃 가스 자동 분석 장치.
- 제1항에 있어서,상기 분석부에는아웃 가스의 발생으로부터 특정 시간이 경과한 후 상기 분석부가 동작하도록 상기 분석부를 제어하는 제어부가 더 연결된 것을 특징으로 하는 아웃 가스 자동 분석 장치.
- 제1항에 있어서,상기 수납부 또는 상기 배송관 중에서 적어도 어느 하나에는상기 아웃 가스가 흡착되지 않도록 하는 흡착 방지막이 더 형성된 것을 특징으로 하는 아웃 가스 자동 분석 장치.
- 시료를 수납하는 단계;상기 시료에 빛을 조사하는 단계;상기 빛에 의해 발생되는 상기 시료의 아웃 가스를 배송하는 단계;상기 배송되는 아웃 가스를 농축시키는 단계; 및,상기 농축된 아웃 가스를 분석하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 아웃 가스 자동 분석 방법.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020080106014A KR20100046955A (ko) | 2008-10-28 | 2008-10-28 | 아웃 가스 자동 분석 장치 및 아웃 가스 자동 분석 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020080106014A KR20100046955A (ko) | 2008-10-28 | 2008-10-28 | 아웃 가스 자동 분석 장치 및 아웃 가스 자동 분석 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20100046955A true KR20100046955A (ko) | 2010-05-07 |
Family
ID=42274139
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020080106014A KR20100046955A (ko) | 2008-10-28 | 2008-10-28 | 아웃 가스 자동 분석 장치 및 아웃 가스 자동 분석 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20100046955A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20120050667A (ko) * | 2010-11-11 | 2012-05-21 | 주식회사 엘지화학 | 이차전지 내부 발생 가스의 실시간 분석 장치 |
-
2008
- 2008-10-28 KR KR1020080106014A patent/KR20100046955A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20120050667A (ko) * | 2010-11-11 | 2012-05-21 | 주식회사 엘지화학 | 이차전지 내부 발생 가스의 실시간 분석 장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6267856B2 (ja) | 質量分析計システムにおける現場調整 | |
| US7284410B2 (en) | Chromatographic interface for thermal desorption systems | |
| US8866075B2 (en) | Apparatus preparing samples to be supplied to an ion mobility sensor | |
| US11852617B2 (en) | Thermal desorption tube collection system and method | |
| US7244288B2 (en) | Pulsed vapor desorber | |
| TWI532984B (zh) | 預濃縮器件、在氣體分析系統中的預濃縮之方法、氣體分析系統及分析氣體的方法 | |
| KR102015227B1 (ko) | 열탈착부와 ndir부를 갖는 콤팩트형 배출가스 분석장치 및 그 분석방법 | |
| JP2006162515A (ja) | ガスクロマトグラフ質量分析システム | |
| KR20100046955A (ko) | 아웃 가스 자동 분석 장치 및 아웃 가스 자동 분석 방법 | |
| KR100487896B1 (ko) | 악취 및 휘발성 유기화합물의 신속분석을 위한 시료주입장치 | |
| KR101348540B1 (ko) | 농축기가 구비된 아웃가스 분석 장치 | |
| Fleury et al. | Organic chemistry in a CO2 rich early Earth atmosphere | |
| CA3107338C (en) | System for introducing particle-containing samples to an analytical instrument and methods of use | |
| US10739199B1 (en) | Chromatographic offline sample preparation and storage for sample analysis | |
| US10955389B2 (en) | Sample introduction device for gas chromatograph | |
| KR200293795Y1 (ko) | 휘발성 유기화합물 분석장치의 시료주입장치 | |
| JP7157869B2 (ja) | ハイブリッドキャピラリ／充填トラップ及び使用方法 | |
| US11499947B2 (en) | Sample introduction device | |
| US11754583B2 (en) | Methods and apparatuses for generating trace vapors | |
| KR20160023039A (ko) | 냉각부가 구비된 아웃가스 분석 장치 | |
| KR20190098601A (ko) | 기체 시료의 분석 방법, 이의 분석 장치 및 이의 농축 장치 | |
| US11441978B1 (en) | Automatic evaporative sample preparation | |
| US20240011877A1 (en) | Device and method for detecting benzene | |
| KR20110076545A (ko) | 이온 성분 분석장치 | |
| US20070271998A1 (en) | Apparatus for testing the emissions, content or permeability of materials |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E601 | Decision to refuse application |