KR20100023580A - Slit nozzle - Google Patents

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KR20100023580A
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이승준
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주식회사 디엠에스
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Abstract

PURPOSE: A slit nozzle is provided to reduce a cost by simplifying a process of controlling a gap of an outlet, and to ease a setting operating by accurately expanding or reducing the gap from all areas. CONSTITUTION: A slit nozzle comprises the following: a first plate(9); a second plate combined with the first plate; a main body including an outlet; and a gap controller including a gap reducing controller located in one side of the body to reduce the gap of the outlet, and a gap expander expanding the gap of the outlet. The gap reducing controller comprises: a nut member(17) with a taper part(17a) while inserted to a first guide groove installed in the main body; a gap clamping member(19) screwed to the nut member; and a taper block(21) for the gap reduction attached to the taper part in the nut member while combined to the outer circumference of the gap clamping member.

Description

슬릿 노즐{Slit nozzle}Slit nozzle

본 발명은 슬릿 노즐에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 슬릿 노즐의 토출구의 갭(Gap)을 확장하거나 축소하는 장치가 하나의 세트로 이루어진 갭 조절장치를 구비하여 작업자가 용이하게 갭 조절을 수행할 수 있으며 슬릿 노즐의 토출구 전체 영역에서 정밀하게 갭을 확장하거나 축소할 수 있는 슬릿 노즐에 관한 것이다.The present invention relates to a slit nozzle, and more particularly, a device for expanding or contracting a gap (Gap) of a discharge port of the slit nozzle is provided with a gap adjusting device consisting of a set, the operator can easily perform the gap adjustment. The present invention relates to a slit nozzle capable of precisely expanding or contracting a gap in an entire area of an outlet of the slit nozzle.

일반적으로 평판표시소자용 기판에는 포토리소그라피(Photolithography) 작업을 거치면서 회로 패턴이 형성된다. 포토리소그라피 작업은 기판 위에 일정한 두께로 감광액(포토레지스트)을 도포한 다음 감광층을 노광, 현상하고 에칭하는 공정들을 진행하면서 기판에 회로 패턴이 형성되도록 하는 것이다.In general, a circuit pattern is formed on a substrate for a flat panel display by performing photolithography. Photolithography is a process of applying a photoresist (photoresist) to a predetermined thickness on a substrate and then exposing, developing and etching the photosensitive layer to form a circuit pattern on the substrate.

이러한 포토리소그라피 작업은 특히 감광액을 도포하는 공정에서 기판의 박막 위에 일정한 두께로 균일하게 감광층을 형성하는 것이 중요하다. 감광층은 기준치보다 두께가 두껍거나 얇게 이루어지면 식각이 불균일하게 형성될 수 있다.In such a photolithography operation, it is particularly important to form a photosensitive layer uniformly to a certain thickness on a thin film of a substrate in a process of applying a photosensitive liquid. If the photosensitive layer is thicker or thinner than the reference value, the etching may be uneven.

이와 같이 기판에 감광액을 도포하는 작업은 스핀코터(spin coater)를 이용한 스핀코팅방식과 슬릿코터(Slit coater)를 이용한 스핀레스 코팅방식이 알려져 있다.As described above, the coating of the photoresist on the substrate is known as a spin coating method using a spin coater and a spinless coating method using a slit coater.

이러한 두가지의 코팅 방식 중에서 스핀코팅방식은 작업 여건(기판의 회전속도와 용제 증발)에 따라 표면이 불규칙하게 형성되므로 슬릿 코터를 이용한 스핀레스 코팅방식이 주로 이용된다. 스핀레스 코팅방식은 슬릿 코터의 슬릿 노즐로 감광액을 도포하면서 기판의 박막 위에 일정 두께로 포토리소그라피용 감광층(포토레지스트층)을 형성하는 것이다.Among these two coating methods, the spin coating method is mainly used in the spinless coating method using a slit coater because the surface is irregularly formed according to the working conditions (substrate rotation speed and solvent evaporation). The spinless coating method is to form a photolithography photosensitive layer (photoresist layer) on a thin film of a substrate while applying a photoresist with a slit nozzle of a slit coater.

이러한 스핀레스 코팅방식에 있어서, 감광액을 기판에 균일하게 도포하기 위하여 슬릿 노즐의 토출구의 갭을 일정하게 유지할 필요가 있다. 그러나 슬릿 노즐의 길이가 길어질 경우에 면 전체에 기울기를 주어 정밀하게 가공해야 하기 때문에 가공의 어려움이 있고, 토출구의 갭을 전체 영역에서 정밀하게 세팅하기가 용이하지 않은 문제점이 있다.In such a spinless coating method, it is necessary to keep the gap of the discharge port of the slit nozzle constant so as to uniformly apply the photosensitive liquid to the substrate. However, when the length of the slit nozzle is lengthened, the entire surface is inclined to be precisely processed, which is difficult to process and there is a problem that it is not easy to precisely set the gap of the discharge port in the entire area.

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로써, 본 발명의 목적은 토출구의 갭을 조절하기 위한 가공 작업을 간단하게 하여 생산비용을 줄임과 동시에 작업자가 간단한 조작을 통하여 슬릿 노즐의 토출구의 갭을 전 영역에서 확대 또는 축소시켜 일정하게 조절할 수 있어 세팅 작업이 용이한 슬릿 노즐을 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been proposed to solve the above problems, and an object of the present invention is to simplify the machining operation for adjusting the gap of the discharge port, thereby reducing the production cost and simultaneously operating the slit nozzle by the operator. The present invention provides a slit nozzle that can be easily adjusted by expanding or reducing the gap of the discharge port in all areas.

또한, 본 발명은 슬릿 노즐의 토출구의 갭을 확대하거나 축소할 수 있는 갭 조절 장치를 이용하여 슬릿 노즐의 길이 방향을 따라 이동시키면서 작업자가 원하는 부분의 토출구의 갭을 조절할 수 있는 슬릿 노즐을 제공하는데 있다.In addition, the present invention provides a slit nozzle that allows the operator to adjust the gap of the discharge port of the desired portion while moving along the longitudinal direction of the slit nozzle using a gap adjusting device that can enlarge or reduce the gap of the discharge port of the slit nozzle. have.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 제1 플레이트, 상기 제1 플레이트와 결합되는 제2 플레이트로 이루어지며 토출구가 제공된 본체, 상기 본체의 일측에 배치되며 상기 토출구의 갭을 축소시키는 갭 축소 조절부와 상기 토출구의 갭을 확장시키는 갭 확장 조절부가 하나의 세트로 이루어진 갭 조절장치를 포함하는 슬릿 노즐을 제공한다.In order to achieve the object as described above, the present invention, the first plate, the second plate coupled to the first plate and is provided with a discharge port, disposed on one side of the main body to reduce the gap of the discharge port Provided is a slit nozzle including a gap reduction control unit and a gap expansion control unit for expanding a gap of the discharge port.

상기 갭 축소 조절부는 상기 본체에 제공되는 제1 안내홈에 끼워지며 테이퍼부를 구비한 기준 너트부재, 상기 기준 너트부재에 나사 결합되는 갭 축소 조임부재, 상기 갭 축소 조임부재의 외주에 결합되어 상기 갭 축소 조임부재의 가압에 따라 상기 기준 너트부재의 테이퍼부에 밀착되는 갭 축소용 테이퍼 블럭을 포함하는 것이 바람직하다.The gap reduction adjusting part is fitted into a first guide groove provided in the main body and is coupled to a reference nut member having a tapered portion, a gap reducing fastening member screwed to the reference nut member, and an outer circumference of the gap reducing fastening member. It is preferable to include a taper block for narrowing the gap in close contact with the tapered portion of the reference nut member according to the pressure of the contracting tightening member.

상기 갭 확장 조절부는 상기 갭 축소 조절부의 갭 축소 조임부재의 외주에 나사 결합되는 갭 확대 조임부재, 상기 갭 확대 조임부재의 외주에 나사 결합되며 상기 본체에 제공되는 제2 안내홈에 끼워져 상기 토출구의 갭을 확장하는 갭 확대용 테이퍼 블럭을 포함하는 것이 바람직하다.The gap expansion control part is a gap expansion tightening member screwed to the outer circumference of the gap reduction tightening member of the gap reduction adjustment portion, screwed to the outer circumference of the gap expansion tightening member is fitted into the second guide groove provided in the main body of the discharge port It is preferable to include a taper block for gap expansion that extends the gap.

상기 제1 안내홈은 상기 본체의 측면에 길이 방향으로 제공되고, 상기 기준 너트부재가 이탈되는 것을 방지하는 이동 제한턱이 제공되는 것이 바람직하다.The first guide groove is provided in the longitudinal direction on the side of the main body, it is preferable that the movement limiting jaw to prevent the reference nut member is separated.

상기 제2 안내홈은 상기 본체의 측면에 길이 방향으로 제공되고, 상기 갭 확장용 테이퍼 블럭이 이탈되는 것을 방지하는 또 다른 이동 제한턱이 제공되는 것이 바람직하다.The second guide groove is provided in the longitudinal direction on the side of the main body, it is preferable that another movement limiting jaw to prevent the gap expansion taper block is separated.

상기 기준 너트부재의 테이퍼부는 상기 갭 축소 조임부재의 길이 방향을 향하여 경사지게 이루어지는 것이 바람직하다.Preferably, the tapered portion of the reference nut member is inclined toward the longitudinal direction of the gap reducing tightening member.

상기 갭 축소 조임부재는 상기 갭 축소용 테이퍼 블럭을 가압할 수 있는 가압부가 제공되는 것이 바람직하다.Preferably, the gap reduction fastening member is provided with a pressing unit capable of pressing the taper block for gap reduction.

상기 갭 확대 조임부재는 상기 갭 확대용 테이퍼 블럭을 가압할 수 있도록 또 다른 가압부가 제공되는 것이 바람직하다.Preferably, the gap expanding fastening member is provided with another pressing portion to press the tapered block for expanding the gap.

상기 갭 축소 조임부재는 그 외주면에 상기 갭 확대 조임부재의 이동을 제한하는 록킹부재가 제공되는 것이 바람직하다.Preferably, the gap reducing fastening member is provided with a locking member on its outer circumferential surface to limit the movement of the gap expanding fastening member.

상기 갭 확대용 테이퍼 블럭은 상기 갭 확대 조임부재의 외주에 결합지는 결합부, 상기 결합부에서 연장되며 상기 제2 안내홈에 끼워져 길이 방향을 따라 이동하는 안내부, 상기 결합부에서 연장되어 본체의 저면에 제공된 테이퍼부와 밀착되는 또 다른 테이퍼부를 포함하는 것이 바람직하다.The gap-tapping taper block includes a coupling portion coupled to an outer circumference of the gap expansion tightening member, a guide portion extending from the coupling portion and inserted into the second guide groove and moving along a longitudinal direction, and extending from the coupling portion to extend the body. It is preferable to include another taper part in close contact with the taper part provided on the bottom surface.

상기 갭 조절장치는 상기 본체의 길이 방향으로 이동되는 것이 바람직하다.The gap adjusting device is preferably moved in the longitudinal direction of the main body.

이와 같은 본 발명은 슬릿 노즐의 토출구의 갭을 확대하거나 축소할 수 있는 한 세트의 갭 조절 장치를 이용하여 슬릿 노즐의 길이 방향을 따라 이동시키면서 작업자가 원하는 부분의 토출구의 갭을 확대하거나 축소하여 갭의 균일성을 조절하는 작업을 용이하고 정밀하게 할 수 있는 효과가 있다.As described above, the present invention uses a set of gap adjusting devices capable of enlarging or reducing the gap of the outlet of the slit nozzle to move along the longitudinal direction of the slit nozzle, thereby expanding or reducing the gap of the outlet of the desired part by the operator. There is an effect that can easily and precisely control the uniformity of the.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명 하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위한 도면으로, 슬릿 코터를 도시하고 있다. 슬릿 코터는 기판(G)이 놓여지는 작업대(1), 작업대(1)의 상부 양측에 설치되는 구동부(3, 도 1에서는 보이는 부분에만 부호를 부여함)들, 구동부(3)들에 결합되는 이동부(4), 이동부(4)에 결합되는 노즐지지부재(5), 노즐지지부재(5)에 결합되는 슬릿 노즐(7), 그리고 슬릿 노즐(7)에 결합되어 슬릿 노즐(7)의 토출구의 갭(Gap)을 확장하거나 축소하는 갭 조절장치를 포함한다.1 is a view for explaining an embodiment of the present invention, it shows a slit coater. The slit coater is coupled to the worktable 1 on which the substrate G is placed, the driving portions 3 (shown only in the visible part in FIG. 1) installed on both sides of the upper surface of the worktable 1, and the driving portions 3. The slit nozzle 7 coupled to the moving part 4, the nozzle support member 5 coupled to the moving part 4, the slit nozzle 7 coupled to the nozzle support member 5, and the slit nozzle 7. It includes a gap adjusting device for expanding or contracting the gap (Gap) of the discharge port of.

작업대(1)는 기판(G)에 포토레지스트를 도포하기 위한 작업면이 제공된다. 구동부(3)는 작업대(1)의 양측 윗면에 쌍을 이루며 서로 나란하게 배치되는 것이 바람직하다. The work table 1 is provided with a working surface for applying the photoresist to the substrate G. The drive unit 3 is preferably arranged in parallel to each other in pairs on the upper surface of both sides of the worktable (1).

본 발명의 실시 예의 구동부(3)는 리니어 모터(Linear motor)로 이루어지는 것이 바람직하다. 구동부(3)에는 이동부(4)가 결합된다. 구동부(3)는 이동부(4)를 선형 이동시킬 수 있는 구조로 이루어지는 것이 바람직하다. 이러한 구동부(3)는 이동부(4)를 이동시킬 때 진동을 최소화시키면서 균일한 속도로 이동할 수 있는 구조로 이루어지는 것이면 어느 것이나 적용이 가능하다.The driving unit 3 of the embodiment of the present invention is preferably made of a linear motor. The moving part 4 is coupled to the drive part 3. The drive unit 3 preferably has a structure capable of linearly moving the moving unit 4. The driving unit 3 may be applied to any one as long as it has a structure capable of moving at a uniform speed while minimizing vibration when moving the moving unit 4.

노즐지지부재(5)는 이동부(4)에 기판(G)을 가로지르는 방향으로 설치된다. 노즐 지지부재(5)는 이동부(4)가 이동함에 따라서 구동부(3)에 의하여 선형적으로 이동이 가능하게 설치된다. 또한, 노즐지지부재(5)는 이동부(4)에 설치된 모터(M)에 의하여 승, 하강 할 수 있는 구조로 배치된다.The nozzle support member 5 is installed in the moving part 4 in the direction crossing the substrate G. The nozzle support member 5 is installed to be linearly movable by the driving unit 3 as the moving unit 4 moves. In addition, the nozzle support member 5 is arranged in a structure that can be raised and lowered by the motor (M) provided in the moving part (4).

따라서 노즐지지부재(5)는 구동부(3)에 의하여 선형이동하면서 동시에 모 터(M)의 구동에 의하여 승, 하강 할 수 있는 구조로 이동부(4)에 결합되는 것이다. 경우에 따라서는 노즐지지부재(5)가 겐트리를 이루어 이동부(4)를 포함하는 하나의 부재로 이루어지는 것도 가능하다.Therefore, the nozzle support member 5 is coupled to the moving part 4 in a structure capable of moving up and down by driving the motor M while moving linearly by the driving part 3. In some cases, the nozzle support member 5 may be made of a single member including a moving part 4 by forming a gantry.

노즐지지부재(5)는 그 가운데 부분에 포토레지스트를 기판(G)에 도포할 수 있는 슬릿 노즐(7)이 결합된다. 즉, 본 발명의 실시 예에서는 기판(G)이 작업대(1)에 고정된 상태에서 슬릿 노즐(7)이 이동되면서 기판(G)에 포토레지스트가 도포되는 예를 설명한다.The nozzle support member 5 is coupled to a slit nozzle 7 capable of applying photoresist to the substrate G at the center thereof. That is, in the embodiment of the present invention, an example in which the photoresist is applied to the substrate G while the slit nozzle 7 is moved while the substrate G is fixed to the work table 1 will be described.

본 발명의 실시 예에서는 기판(G)이 고정되어 있는 상태에서 슬릿 노즐(7)이 이동되는 구조를 설명하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 기판(G)이 이동되고 슬릿 노즐이 고정된 타입에도 적용이 가능하다.In the embodiment of the present invention, the structure in which the slit nozzle 7 is moved while the substrate G is fixed is described. However, the present invention is not limited thereto. The present invention is also applicable to a type in which the substrate G is moved and the slit nozzle is fixed. This is possible.

슬릿 노즐(7)의 일측에는 갭 조절장치가 결합된다. 갭 조절장치는 갭을 확장하거나 축소시키는 장치가 하나의 세트로 이루어지며, 슬릿 노즐(7)의 토출구의 갭(Gap)을 확장하거나 또는 축소시켜 슬릿 노즐(7)의 갭을 일정하게 하기 위한 것이다.One side of the slit nozzle 7 is coupled to the gap adjusting device. The gap adjusting device is a set of devices for expanding or contracting the gap, and is intended to make the gap of the slit nozzle 7 constant by expanding or contracting the gap Gap of the discharge port of the slit nozzle 7. .

슬릿 노즐(7)은 제1 플레이트(9), 이 제1 플레이트(9)에 결합되는 제2 플레이트(11)로 이루어진 본체(13)를 포함한다. 상술한 제2 플레이트(11)에는 약액 챔버(15)가 제공될 수 있다. 제1 플레이트(9)와 제2 플레이트(11)는 서로 결합하여 약액 챔버(15)에 수용된 약액을 토출하는 토출구(13a)가 제공된다.The slit nozzle 7 comprises a main body 13 consisting of a first plate 9 and a second plate 11 coupled to the first plate 9. The chemical plate 15 may be provided in the above-described second plate 11. The first plate 9 and the second plate 11 are provided with a discharge port 13a which is coupled to each other to discharge the chemical liquid contained in the chemical chamber 15.

갭 조절장치는, 도 2와 도 3에 도시하고 있는 바와 같이, 제1 플레이트(9)의 측면에 제공되는 제1 안내홈(9a)과 제2 안내홈(9b), 제1 안내홈(9a)에 삽입되는 기 준 너트부재(17), 이 기준 너트부재(17)에 나사 결합되는 갭 축소 조임부재(19), 갭 축소 조임부재(19)의 외주에 결합되는 갭 축소용 테이퍼 블럭(21), 갭 축소 조임부재(19)의 외주에 결합되는 갭 확대 조임부재(23), 갭 확대 조임부재(23)의 외주에 결합되어 토출구(13a)의 갭을 확대시키는 갭 확대용 테이퍼 블럭(25)을 포함한다.As shown in FIGS. 2 and 3, the gap adjusting device includes a first guide groove 9a, a second guide groove 9b, and a first guide groove 9a provided on the side surface of the first plate 9. Reference nut member 17 inserted into the reference nut, gap reducing tightening member 19 screwed to the reference nut member 17, gap reducing taper block 21 coupled to the outer periphery of the gap reducing tightening member 19; ), The gap expanding tightening member 23 coupled to the outer circumference of the gap reducing tightening member 19, the gap expanding taper block 25 coupled to the outer circumference of the gap expanding tightening member 23 to enlarge the gap of the discharge port 13a. ).

제1 안내홈(9a)은 제1 플레이트(9)의 측면에 길이 방향으로 배치되며 기준 너트부재(17)가 이 제1 안내홈(9a)을 따라 이동될 수 있다. 그리고 제1 안내홈(9a)은 제1 플레이트(9)의 측면에 수직인 방향으로 이동 제한턱(9c)이 제공된다. 이러한 이동 제한턱(9c)은 기준 너트부재(17)가 제1 안내홈(9a)을 따라 이동할 수 있으며 동시에 수직 방향으로는 이탈되지 않도록 하는 것이다.The first guide groove 9a is disposed in the longitudinal direction on the side of the first plate 9 and the reference nut member 17 can be moved along the first guide groove 9a. And the first guide groove (9a) is provided with a movement limiting jaw (9c) in a direction perpendicular to the side of the first plate (9). This movement limiting jaw (9c) is such that the reference nut member 17 can move along the first guide groove (9a) and at the same time does not escape in the vertical direction.

제2 안내홈(9b)은 제1 안내홈(9a)과 일정한 간격이 띄워지는 위치에 배치된다. 제2 안내홈(9b)은 하단부가 경사면을 이루는 또 다른 이동 제한턱(9d)이 제공된다. 제2 안내홈(9b)에 제공된 경사진 이동 제한턱(9d)은 외측면으로 이탈되지 않으면서 갭 확대용 테이퍼 블럭(25)이 홈을 따라 이동될 수 있도록 하는 것이다.The second guide groove 9b is disposed at a position spaced apart from the first guide groove 9a by a predetermined distance. The second guide groove 9b is provided with another movement limiting jaw 9d whose lower end forms an inclined surface. The inclined movement limiting jaw 9d provided in the second guide groove 9b allows the gap enlargement taper block 25 to be moved along the groove without being separated to the outer surface.

기준 너트부재(17)는 중앙부에 갭 축소 조임부재(19)가 결합되는 나사홈(18)이 제공되고, 일부가 연장되어 갭 축소 조임부재(19)의 길이 방향으로 일측이 경사진 테이퍼부(17a)가 제공된다. 이러한 테이퍼부(17a)는 기준 너트부재(17)의 하부에 배치되는 것이 바람직하다.The reference nut member 17 is provided with a screw groove 18 to which the gap reducing tightening member 19 is coupled to a central portion thereof, and a part of the reference nut member 17 is inclined so that one side thereof is inclined in the longitudinal direction of the gap reducing tightening member 19. 17a) is provided. The tapered portion 17a is preferably disposed below the reference nut member 17.

갭 축소 조임부재(19)는 제1 플레이트(9)의 측면으로 돌출되는 모양으로 배치되며 일측이 상술한 기준 너트부재(17)의 나사홈에 나사 결합된다. 이러한 갭 축 소 조임부재(19)는 기준 너트부재(17)가 고정된 상태에서 축 방향(제1 플레이트의 측면 방향)으로 전진 및 후진할 수 있다. 그리고 갭 축소 조임부재(19)는 중간부에 갭 축소용 테이퍼 블럭(21)을 기준 너트부재(17) 방향으로 가압할 수 있는 걸림턱으로 이루어진 가압부(19a)가 제공된다. The gap reducing fastening member 19 is arranged in a shape protruding to the side of the first plate 9 and one side is screwed into the screw groove of the reference nut member 17 described above. The gap reduction fastening member 19 may move forward and backward in the axial direction (lateral direction of the first plate) while the reference nut member 17 is fixed. And the gap reduction tightening member 19 is provided with a pressing portion (19a) consisting of a locking step that can press the gap reducing taper block 21 in the direction of the reference nut member 17 in the middle portion.

갭 축소용 테이퍼 블럭(21)은 갭 축소 조임부재의 외주에 나사 결합으로 배치되며 가압부(19a)에 의하여 기준 너트부재(17) 방향으로 이동될 수 있다. 그리고 갭 축소용 테이퍼 블럭(21)은 상술한 기준 너트부재(17)의 테이퍼부(17a)에 대응하는 면이 경사진 테이퍼면으로 이루어진다. 이러한 갭 축소용 테이퍼 블럭(21)은 갭 축소 조임부재(19)에 의하여 기준 너트부재(17) 방향으로 이동하게 되면 기준 너트부재(17)의 테이퍼부(17a)를 가압하여 갭이 축소되는 방향으로 제1 플레이트(9)의 끝 부분을 이동시키게 된다.The gap reduction taper block 21 is disposed on the outer circumference of the gap reduction tightening member by screwing and may be moved toward the reference nut member 17 by the pressing portion 19a. And the taper block 21 for gap reduction consists of the taper surface in which the surface corresponding to the taper part 17a of the reference nut member 17 mentioned above was inclined. When the gap reduction taper block 21 moves in the direction of the reference nut member 17 by the gap reduction tightening member 19, the taper portion 17a of the reference nut member 17 is urged to reduce the gap. To move the end of the first plate (9).

갭 확대 조임부재(23)는 갭 축소 조임부재의 외주에 나사 결합되며 갭 확대용 테이퍼 블럭을 가압하기 위한 또 다른 걸림턱으로 이루어진 가압부(23a)가 제공된다. 또한 갭 축소 조임부재(19)의 외주에는 갭 확대 조임부재(23)가 풀리는 것을 방지하거나 이동을 제한하는 록킹부재(27)가 결합될 수 있다. 이러한 록킹부재(27)는 갭 확대 조임부재(23)를 조인 후에 미세한 진동 등에 의하여 갭 확대 조임부재(23)가 풀리는 것을 방지하기 위한 것이다.The gap expanding tightening member 23 is screwed to the outer circumference of the gap reducing tightening member and is provided with a pressurizing portion 23a formed of another locking step for pressing the tapered block for expanding the gap. In addition, a locking member 27 may be coupled to the outer circumference of the gap reducing tightening member 19 to prevent the gap expanding tightening member 23 from being loosened or limit movement. The locking member 27 is for preventing the gap expanding tightening member 23 from being loosened by minute vibration after tightening the gap expanding tightening member 23.

갭 확대용 테이퍼 블럭(25)은, 갭 확대 조임부재의 외주면에 나사 결합되는 결합부(25a), 이 결합부(25a)에서 연장되어 제2 안내홈(9b)에 끼워지는 안내부(25b), 그리고 결합부(25a)에서 연장되어 제1 플레이트(9)의 하단부에 밀착되는 테이퍼부(25c)를 포함한다. 상술한 갭 확대용 테이퍼 블럭(25)의 결합부(25a)는 갭 확대 조임부재(23)의 가압부(23a)에 가압될 수 있으며 제1 플레이트(9)와 일정한 거리가 띄워지는 위치에 배치되는 것이 바람직하다. 그리고 갭 확대용 테이퍼 블럭(25)의 안내부(25b)는 제2 안내홈(9b)에 끼워져 이탈되지 않으면서 홈을 따라 이동할 수 있다. 갭 확대용 테이퍼 블럭(25)의 테이퍼부(25c)는 제1 플레이트(9)의 저면이 테이퍼지고 이 부분과 서로 밀착되어 배치된다. 갭 확대용 테이퍼 블럭(25)의 테이퍼부(25c)는 갭 확대용 테이퍼 블럭(25)이 토출구 방향으로 이동하게 될 때 제1 플레이트(9)의 하부의 테이퍼 진 부분에 밀착되어 제1 플레이트(9)의 하부를 위쪽으로 당겨 토출구(13a)를 확대시키게 역할을 한다.The gap enlargement taper block 25 includes a coupling portion 25a screwed to the outer circumferential surface of the gap expansion tightening member, and a guide portion 25b extending from the coupling portion 25a and fitted into the second guide groove 9b. And a taper portion 25c extending from the coupling portion 25a to be in close contact with the lower end portion of the first plate 9. The engaging portion 25a of the gap expanding taper block 25 may be pressed against the pressing portion 23a of the gap expanding tightening member 23 and disposed at a position where a predetermined distance from the first plate 9 is lifted. It is preferable to be. The guide portion 25b of the tapered block 25 for expanding the gap may be inserted into the second guide groove 9b and move along the groove without being separated. The tapered portion 25c of the tapered block 25 for expanding the gap is disposed in such a manner that the bottom surface of the first plate 9 is tapered and in close contact with this portion. The taper portion 25c of the gap enlargement taper block 25 is in close contact with the tapered portion of the lower portion of the first plate 9 when the gap enlargement taper block 25 is moved in the discharge port direction. The lower part of 9) serves to enlarge the discharge port 13a.

이와 같이 이루어지는 본 발명의 갭 조절 장치를 통하여 슬릿 노즐(7)의 토출구(13a)의 갭을 축소시키는 과정을 도 4를 통하여 설명하면 다음과 같다.A process of reducing the gap of the discharge port 13a of the slit nozzle 7 through the gap adjusting device of the present invention made as described above will be described below with reference to FIG. 4.

먼저 작업자가 갭을 축소시키기 위한 부분으로 제1 안내홈(9a)과 제2 안내홈(9b)을 따라 갭 조절장치를 이동시킨다. First, the operator moves the gap adjusting device along the first guide groove 9a and the second guide groove 9b as a part for reducing the gap.

그리고 갭 확대용 조임부재(23)와 록킹부재(27)를 풀어 갭 확대용 테이퍼 블럭(25)이 자유로운 상태가 되도록 한다. Then, the gap expanding tightening member 23 and the locking member 27 are released to free the gap expanding taper block 25.

갭 축소 조임부재(19)를 기준 너트부재(17) 측으로 이동하는 방향을 회전시킨다. 그리면 갭 축소 조임부재(19)의 가압부(19a)가 갭 축소용 테이퍼 블럭(21)을 가압하여 기준 너트부재(17) 방향으로 이동시킨다(도 4에서 점선 화살표 방향). The direction in which the gap reduction fastening member 19 is moved toward the reference nut member 17 is rotated. Then, the pressing portion 19a of the gap reduction tightening member 19 presses the gap reduction taper block 21 to move in the direction of the reference nut member 17 (in the direction of the dashed arrow in FIG. 4).

이때 갭 축소용 테이퍼 블럭(21)의 테이퍼진 면이 기준 너트부재(17)의 테이퍼부(7a)를 따라 이동하면서 제1 플레이트(9)의 하단부 측면을 하측(도 4 기준)방 향으로 이동시킨다(도 4에서 실선 화살표 방향). 따라서 토출구(13a)의 간격은 좁아지게 되는 것이다.At this time, the tapered surface of the gap reduction taper block 21 moves along the tapered portion 7a of the reference nut member 17 and moves the lower side surface of the first plate 9 downward (see FIG. 4). (Solid arrow direction in Fig. 4). Therefore, the space | interval of the discharge port 13a becomes narrow.

계속해서 작업자가 갭을 확장할 필요가 있는 부분으로 제1 안내홈(9a)과 제2 안내홈(9b)을 따라 갭 조절장치를 이동시킨다. 그리고 갭 축소 조임부재(19)를 풀어 갭 축소용 테이퍼 블럭(21)을 기준 너트부재(17) 반대 방향으로 이동시킨다.Subsequently, the gap adjusting device is moved along the first guide groove 9a and the second guide groove 9b to the portion where the operator needs to expand the gap. Then, the gap reducing tightening member 19 is released to move the gap reducing taper block 21 in the direction opposite to the reference nut member 17.

그리고 도 5에 도시하고 있는 바와 같이, 갭 확대용 조임부재(23)를 회전시켜 갭 확대용 테이퍼 블럭(25)을 기준 너트부재(17) 방향으로 이동시킨다(도 5에서 점선 화살표 방향). 그러면 갭 확대용 테이퍼 블럭(25)의 테이퍼부(25c)가 제1 플레이트(9)의 저면 일측에 밀착되면서 제1 플레이트(9)의 저면 일부를 위쪽(도 5에서 실선 화살표 방향)으로 밀어낸다. 따라서 토출구(13a)가 확장되는 것이다.As shown in FIG. 5, the gap enlargement tightening member 23 is rotated to move the gap enlargement taper block 25 in the direction of the reference nut member 17 (in the direction of the dashed arrow in FIG. 5). Then, the tapered portion 25c of the gap enlargement taper block 25 is in close contact with one side of the bottom surface of the first plate 9 and pushes a portion of the bottom surface of the first plate 9 upward (in the direction of the solid arrow in FIG. 5). . Therefore, the discharge port 13a is expanded.

따라서 본 발명의 실시 예인 한 세트의 갭 조절장치로 슬릿 노즐의 어느 위치에서도 토출구의 갭을 확장하거나 축소시킬 수 있다. 그러므로 본 발명의 실시 예의 갭 조절 장치를 이용하여 슬릿 노즐의 길이 방향을 따라 이동시키면서 작업자가 원하는 부분의 토출구의 갭을 확대하거나 축소하여 갭의 균일성을 조절하는 작업을 용이하고 정밀하게 할 수 있다.Accordingly, the gap of the discharge port can be expanded or reduced at any position of the slit nozzle with a set of gap adjusting devices according to an embodiment of the present invention. Therefore, the operator can easily and precisely control the uniformity of the gap by expanding or contracting the gap of the discharge port of the desired part while moving along the longitudinal direction of the slit nozzle using the gap adjusting device of the embodiment of the present invention. .

도 6은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 슬릿 노즐의 토출구의 갭 조절 장치가 다수로 배치된 상태를 도시하고 있다. 즉, 본 발명은 다수의 갭 조절장치가 슬릿 노즐의 길이 방향을 따라 이동되면서 토출구의 갭을 조절할 수 있다. 이러한 본 발명의 실시 예는 여러 개의 갭 조절장치가 간격이 띄워져 배치되어 슬릿 노즐의 토출구의 갭을 전체 영역에서 조절할 수 있다.FIG. 6 illustrates a state in which a plurality of gap adjusting devices of discharge ports of the slit nozzles are arranged to explain an embodiment of the present invention. That is, the present invention can adjust the gap of the discharge port while the plurality of gap adjusting device is moved along the longitudinal direction of the slit nozzle. In this embodiment of the present invention, a plurality of gap adjusting devices are arranged to be spaced apart to adjust the gap of the discharge port of the slit nozzle in the entire area.

도 1은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 슬릿 코터의 전체 형상을 개략적으로 도시한 구성도이다.1 is a configuration diagram schematically showing the overall shape of the slit coater in order to explain the embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 슬릿 노즐에 갭 조절 장치가 제공된 상태를 도시한 도면이다.2 is a view illustrating a state in which a gap adjusting device is provided in the slit nozzle to explain an embodiment of the present invention.

도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ부를 잘라서 본 단면도이다.3 is a cross-sectional view taken along the line III-III of FIG. 2.

도 4는 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 슬릿 노즐의 토출구를 축소시키는 과정을 설명하기 위한 도면이다.4 is a view for explaining a process of reducing the discharge port of the slit nozzle in order to explain an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 슬릿 노즐의 토출구를 확장시키는 과정을 설명하기 위한 도면이다.5 is a view for explaining a process of expanding the discharge port of the slit nozzle in order to explain an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 갭 조절 장치가 간격을 두고 설치되는 예를 도시한 도면이다.6 is a view showing an example in which the gap adjusting device is installed at intervals to explain the embodiment of the present invention.

Claims (11)

제1 플레이트, 상기 제1 플레이트와 결합되는 제2 플레이트로 이루어지며 토출구가 제공된 본체,A main body comprising a first plate and a second plate coupled to the first plate and provided with a discharge port; 상기 본체의 일측에 배치되며 상기 토출구의 갭을 축소시키는 갭 축소 조절부와 상기 토출구의 갭을 확장시키는 갭 확장 조절부가 하나의 세트로 이루어진 갭 조절장치A gap adjusting device disposed on one side of the main body, the gap reducing adjusting unit reducing the gap of the discharge port and the gap expanding adjusting unit extending the gap of the discharge hole; 를 포함하는 슬릿 노즐.Slit nozzle comprising a. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 갭 축소 조절부는The gap reduction control unit 상기 본체에 제공되는 제1 안내홈에 끼워지며 테이퍼부를 구비한 기준 너트부재,A reference nut member inserted into a first guide groove provided in the main body and having a tapered portion; 상기 기준 너트부재에 나사 결합되는 갭 축소 조임부재,A gap reducing fastening member screwed to the reference nut member, 상기 갭 축소 조임부재의 외주에 결합되어 상기 갭 축소 조임부재의 가압에 따라 상기 기준 너트부재의 테이퍼부에 밀착되는 갭 축소용 테이퍼 블럭Tapered block for gap reduction coupled to the outer periphery of the gap reducing tightening member is in close contact with the tapered portion of the reference nut member in accordance with the pressure of the gap reducing tightening member 을 포함하는 슬릿 노즐.Slit nozzle comprising a. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 갭 확장 조절부는The gap expansion control unit 상기 갭 축소 조절부의 갭 축소 조임부재의 외주에 나사 결합되는 갭 확대 조임부재,A gap expansion tightening member screwed to an outer circumference of the gap reduction tightening member of the gap reduction adjusting unit; 상기 갭 확대 조임부재의 외주에 나사 결합되며 상기 본체에 제공되는 제2 안내홈에 끼워져 상기 토출구의 갭을 확장하는 갭 확대용 테이퍼 블럭,A gap expansion taper block screwed to an outer circumference of the gap expansion fastening member and fitted into a second guide groove provided in the main body to expand a gap of the discharge port; 을 포함하는 슬릿 노즐.Slit nozzle comprising a. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 제1 안내홈은 The first guide groove 상기 본체의 측면에 길이 방향으로 제공되고, 상기 기준 너트부재가 이탈되는 것을 방지하는 이동 제한턱이 제공되는 슬릿 노즐. Slit nozzle provided in the longitudinal direction on the main body, the movement limiting jaw is provided to prevent the reference nut member is separated. 청구항 3에 있어서,The method according to claim 3, 상기 제2 안내홈은 The second guide groove 상기 본체의 측면에 길이 방향으로 제공되고, 상기 갭 확장용 테이퍼 블럭이 이탈되는 것을 방지하는 또 다른 이동 제한턱이 제공되는 슬릿 노즐. Slit nozzle provided in the side of the body in the longitudinal direction, and provided with another movement limiting jaw to prevent the gap expansion taper block is separated. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 기준 너트부재의 테이퍼부는Taper portion of the reference nut member 상기 갭 축소 조임부재의 길이 방향을 향하여 경사지게 이루어지는 슬릿 노 즐.Slit nozzle made to be inclined toward the longitudinal direction of the gap reducing tightening member. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 갭 축소 조임부재는The gap reducing fastening member 상기 갭 축소용 테이퍼 블럭을 가압할 수 있는 가압부가 제공되는 슬릿 노즐.A slit nozzle provided with a pressing portion capable of pressing the tapered block for reducing the gap. 청구항 3에 있어서,The method according to claim 3, 상기 갭 확대 조임부재는The gap expanding fastening member 상기 갭 확대용 테이퍼 블럭을 가압할 수 있도록 또 다른 가압부가 제공되는 슬릿 노즐.And a slit nozzle provided with another pressing portion to pressurize the tapered block for expanding the gap. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,The method according to claim 2 or 3, 상기 갭 축소 조임부재는The gap reducing fastening member 그 외주면에 상기 갭 확대 조임부재의 이동을 제한하는 록킹부재가 제공되는 슬릿 노즐.A slit nozzle provided with a locking member for restricting the movement of the gap expanding tightening member on the outer peripheral surface. 청구항 3에 있어서,The method according to claim 3, 상기 갭 확대용 테이퍼 블럭은The gap taper block is 상기 갭 확대 조임부재의 외주에 결합지는 결합부,Coupling portion coupled to the outer circumference of the gap expanding tightening member, 상기 결합부에서 연장되며 상기 제2 안내홈에 끼워져 길이 방향을 따라 이동하는 안내부,A guide part extending from the coupling part and inserted into the second guide groove and moving along the length direction; 상기 결합부에서 연장되어 본체의 저면에 제공된 테이퍼부와 밀착되는 또 다른 테이퍼부,Another tapered portion extending from the coupling portion and in close contact with the tapered portion provided on the bottom of the main body, 를 포함하는 슬릿 노즐.Slit nozzle comprising a. 청구항 1에 있어서,The method according to claim 1, 상기 갭 조절장치는 The gap adjusting device 상기 본체의 길이 방향으로 이동되거나 또는 복수로 설치되는 슬릿 노즐.Slit nozzle moved in the longitudinal direction of the main body or installed in plurality.
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