KR20100014706A

KR20100014706A - Light source device

Info

Publication number: KR20100014706A
Application number: KR1020097020474A
Authority: KR
Inventors: 히로시 가와타
Original assignee: 가부시키가이샤 지에스 유아사 코포레이션
Priority date: 2007-04-25
Filing date: 2008-04-24
Publication date: 2010-02-10
Also published as: JPWO2008133304A1; CN101689473A; TW200903564A; WO2008133304A1; JP5195750B2; KR101416786B1; TWI416582B

Abstract

The whole light-emitting tube is cooled effectively while minimizing the increase of costs for the device. A light source device is provided with the light-emitting tube (1) and a cooling member (CM) which is disposed surrounding the light-emitting tube (1) to cool the light-emitting tube (1). The light-emitting tube (1) is provided with lead wire sealing and fixing parts (RH) for sealing and fixing lead wires (3a) for electrodes, and provided with ventilation courses of cooling air for cooling the lead wire sealing and fixing parts (RH). On the upstream sides of the lead wire sealing and fixing parts (RH) in the ventilation courses, the disposing places of the cooling member (CM) are positioned. Moreover, on the upstream sides of the ventilation courses compared with the lead wire sealing and fixing parts (RH), the other parts of the light-emitting tube (1) are never positioned. Therefore, the cooling air cooled by the cooling member (CM) passes through the locations of the lead wire sealing and fixing parts (RH).

Description

Light source device {LIGHT SOURCE DEVICE}

본 발명은, 발광관과, 이 발광관의 주위를 둘러싼 상태로 배치되어 상기 발광관을 냉각시키는 냉각용 부재가 구비된 광원 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a light source device including a light emitting tube and a cooling member arranged in a state surrounding the light emitting tube to cool the light emitting tube.

전술한 광원 장치는, 예를 들면 자외선 램프 등의 발광관으로부터 출사된 광을 각종 처리 대상물에 조사하여, 수지의 경화 등의 소정의 처리를 행하기 위한 장치이다.The above-described light source device is, for example, a device for irradiating light emitted from a light emitting tube such as an ultraviolet lamp to various processing objects to perform a predetermined process such as curing of a resin.

이와 같은 광원 장치는 발광 동작 시에 발광관이 고온으로 되므로, 발광관의과도한 온도 상승을 억제할 수 있도록 냉각시키는 수단이 구비되어 있다.Such a light source device is provided with a means for cooling the light emitting tube at a high temperature during the light emission operation so as to suppress excessive temperature rise of the light emitting tube.

이 냉각 수단의 구성으로서는, 예를 들면, 하기 특허 문헌 1에도 기재된 바와 같이, 발광관의 주위를 둘러싼 상태로 수냉 쟈켓 등의 냉각용 부재를 배치하는 것을 고려할 수 있다.As a structure of this cooling means, for example, as described also in following patent document 1, arrange | positioning cooling members, such as a water cooling jacket, in the state surrounding the light-emitting tube, can be considered.

하기 특허 문헌 1의 수냉 쟈켓은, 발광관으로부터 출사된 광을 투과시키기 위해 석영으로 된 이중관에 의해 구성되며, 이 이중관의 내관과 외관 사이의 공간에 냉각수를 흐르게 하는 구성으로 하고 있다.The water cooling jacket of the following patent document 1 is comprised by the quartz double tube which permeate | transmits the light radiate | emitted from the light emitting tube, and it is set as the structure which makes cooling water flow in the space between the inner tube and external appearance of this double tube.

[특허 문헌 1] 일본 특허출원 공개번호 2004-39511호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Application Publication No. 2004-39511

[발명이 해결하고자 하는 과제][Problem to Solve Invention]

그러나, 전술한 종래 구성에서는, 발광관 자체는 냉각용 부재의 냉각 작용에 의해 과도한 온도 상승을 방지할 수는 있지만, 발광관에 있어서의 전극용 리드선의 밀봉 개소의 온도 상승에 대한 억제 효과는 충분하지 않았다. 특히 최근의 램프 출력의 증대에 의해, 전극용 리드선의 밀봉 개소의 온도 상승으로 발광관이 손상되어, 발광관의 수명을 단축시킬 염려도 있다.However, in the above-described conventional configuration, the light emitting tube itself can prevent excessive temperature rise by the cooling action of the cooling member, but the effect of suppressing the temperature rise of the sealing point of the electrode lead wire in the light emitting tube is sufficient. Did not do it. In particular, the recent increase in lamp output may damage the light emitting tube due to a rise in the temperature of the sealing portion of the electrode lead wire, which may shorten the life of the light emitting tube.

이 전극의 밀봉 개소를 적절하게 냉각시키기 위해서는, 전용 냉각 수단을 구비하면 되지만, 충분한 냉각 효과를 가지게 하려면, 그만큼 장치 비용의 상승을 초래하게 된다.In order to cool the sealing part of this electrode suitably, you may provide exclusive cooling means, but if it has sufficient cooling effect, it will raise the apparatus cost by that much.

본 발명은, 전술한 실정을 감안하여 행해진 것으로서, 그 목적은, 장치 비용의 상승을 가급적 억제하면서, 발광관 전체를 효과적으로 냉각시키는 점에 있다.The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and an object thereof is to effectively cool the entire light emitting tube while suppressing an increase in device cost as much as possible.

[과제를 해결하기 위한 수단][Means for solving the problem]

본 출원의 제1 발명은, 발광관과, 이 발광관의 주위를 둘러싼 상태로 배치되어 상기 발광관을 냉각시키는 냉각용 부재가 구비된 광원 장치에 있어서, 상기 발광관에, 전극용 리드선을 밀봉 상태로 장착하는 리드선 밀봉 장착부가 구비되고, 상기 리드선 밀봉 장착부를 냉각 대상으로 하는 냉각풍의 통풍 경로가 형성되고, 이 통풍 경로에 있어서의 상기 리드선 밀봉 장착부의 적어도 상류 측에 상기 냉각용 부재의 배치 개소가 위치하고, 또한 상기 리드선 밀봉 장착부보다 상기 통풍 경로의 상류 측에 상기 발광관의 다른 부분이 위치하지 않도록 배치되어, 상기 냉각용 부재에 의해 냉각된 상태의 냉각풍이 상기 리드선 밀봉 장착부의 존재 위치를 통과하도록 구성되어 있다.1st invention of this application is a light source apparatus provided with the light emitting tube and the cooling member arrange | positioned in the state surrounding the said light emitting tube, and cools the said light emitting tube, Comprising: Sealing the lead wire for electrodes in the said light emitting tube A lead wire seal mounting portion for mounting in a state is provided, and a ventilation path of a cooling wind for cooling the lead wire seal mounting portion is formed, and an arrangement point of the cooling member on at least an upstream side of the lead wire seal mounting portion in this ventilation path. Is positioned so that no other part of the light emitting tube is located on the upstream side of the ventilation path than the lead wire seal mounting portion, and the cooling wind cooled by the cooling member passes through the presence position of the lead wire sealing mounting portion. It is configured to.

즉, 발광관의 전극용 리드선의 밀봉 개소인 상기 리드선 밀봉 장착부를 냉각풍의 통풍 경로 내에 위치시킴으로써 해당 개소를 냉각시킨다.That is, the said lead wire sealing mounting part which is a sealing point of the lead wire for electrodes of a light emitting tube is located in the ventilation path of cooling wind, and this location is cooled.

상기 리드선 밀봉 장착부를 냉각시키는 냉각풍은, 발광관에 대하여 보면, 발광관의 다른 부분(상기 리드선 밀봉 장착부 이외의 부분)이 상기 리드선 밀봉 장착부보다 통풍 경로 상류 측에 존재하지 않고, 고온으로 되는 광 출사 영역의 근방을 통과하여 냉각풍의 냉각 효과가 저하되는 것을 회피할 수 있다.The cooling wind for cooling the lead wire seal mounting portion is light that becomes different from other parts of the light emitting tube (parts other than the lead wire seal mounting portion) on the ventilation path upstream side rather than the lead wire seal mounting portion. It can avoid that the cooling effect of a cooling wind falls through the vicinity of an emission area | region.

다만, 단지 상기 리드선 밀봉 장착부를 냉각풍의 통풍 경로에 위치시키는 것 만으로는, 반드시 충분한 냉각 효과를 얻는다고는 볼 수 없다. 또한, 이와 반대로 충분한 냉각 효과를 확보하기 위해 이 냉각풍의 온도를 저하시키는 수단을 별도로 구비하는 구성으로 하면 장치 비용의 상승을 초래하게 된다.However, merely placing the lead wire seal mounting portion in the ventilation path of the cooling wind does not necessarily provide sufficient cooling effect. On the contrary, in order to ensure a sufficient cooling effect, a configuration having a means for lowering the temperature of the cooling wind is provided to increase the apparatus cost.

그래서, 상기 리드선 밀봉 장착부를 냉각시키는 냉각풍의 통풍 경로에 있어서의 상기 리드선 밀봉 장착부의 상류 측에, 발광관을 냉각시키는 냉각용 부재의 배치 개소가 위치하도록 구성한다.Therefore, the arrangement | positioning location of the cooling member which cools a light emitting tube is located in the upstream side of the said lead wire sealing mounting part in the ventilation path of the cooling wind which cools the said lead wire sealing mounting part.

즉, 발광관을 냉각시키는 냉각용 부재라 하더라도, 예를 들면 그 냉각용 부재가 수냉 등의 액체 냉각 방식이면 액체 냉각용 냉매의 배관 부분이나, 또는 발광관에 대해서 냉각 작용하는 부분의 끝주위 부근 등에서는, 발광관의 고온 부분으로부터도 이격되어 있고, 냉각풍에 대해서 냉각 효과를 가진다.That is, even if it is a cooling member which cools a light emitting tube, for example, if the cooling member is a liquid cooling system, such as water cooling, it is the vicinity of the edge part of the piping part of a liquid cooling refrigerant | coolant, or the part which acts cooling with respect to a light emitting tube. Etc., it is also spaced apart from the high temperature part of a light emitting tube, and has a cooling effect with respect to cooling wind.

따라서, 발광관을 냉각시키기 위해 구비되어 있는 냉각용 부재를 이용하여, 상기 리드선 밀봉 장착부의 냉각을 위한 냉각풍을 냉각시켜서, 상기 리드선 밀봉 장착부에 대한 냉각 효과를 증대시키고 있다.Therefore, the cooling wind for cooling the said lead wire sealing mounting part is cooled using the cooling member provided in order to cool a light emitting tube, and the cooling effect to the said lead wire sealing mounting part is increased.

또한, 본 출원의 제2 발명은, 상기 제1 발명의 구성에 대하여, 상기 냉각풍은, 상기 발광관에 대해서는, 상기 발광관에 있어서의 상기 리드선 밀봉 장착부만을 냉각 대상으로 하도록 통풍 경로가 형성되어 있다.In the second aspect of the present application, in the configuration of the first aspect, the cooling air is provided with a ventilation path such that only the lead wire sealing mounting portion in the light emitting tube is a cooling target for the light emitting tube. have.

즉, 발광관의 다른 부분(상기 리드선 밀봉 장착부 이외의 부분)이 상기 리드선 밀봉 장착부보다 통풍 경로 상류 측에 존재하지 않도록 하는 구성으로서는, 예를 들면, 발광관의 각 부 중에서 상기 리드선 밀봉 장착부가 가장 통풍 경로 상류 측에 위치하도록 배치하여, 냉각풍이 상기 리드선 밀봉 장착부 뿐만아니라 발광관에 있어서의 발광 영역의 냉각도 행하도록 구성할 수 있다. 그러나, 냉각풍에 의한 냉각 대상을 상기 리드선 밀봉 장착부로 한정함으로써, 냉각 부하를 경감시키는 것이 바람직하다.That is, as a structure in which the other part (parts other than the said lead wire sealing mounting part) of a light emitting tube does not exist in a ventilation path upstream rather than the said lead wire sealing mounting part, for example, the said lead wire sealing mounting part is the most among each part of a light emitting tube. It is arrange | positioned so that it may be located upstream of a ventilation path, and it can comprise so that cooling wind may cool not only the said lead wire sealing mounting part but the light emitting area | region in a light emitting tube. However, it is preferable to reduce the cooling load by limiting the cooling target by the cooling wind to the lead wire sealing mounting portion.

또한, 본 출원의 제3 발명은, 상기 제1 또는 제2 발명의 구성에 대하여, 상기 발광관은, 길이 방향의 양 단부(端部)에 한쌍으로 상기 리드선 밀봉 장착부가 구비된 직관(直管) 형상으로 형성되고, 상기 냉각용 부재는, 상기 발광관의 주위를 둘러싼 상태로 배치된 수냉 쟈켓에 의해 구성되며, 상기 수냉 쟈켓에 있어서의 상기 리드선 밀봉 장착부 부근의 부재에, 상기 냉각풍의 통풍 경로를 구성하는 통풍구멍이 형성되어 있다.Moreover, in the 3rd invention of this application, with respect to the structure of the said 1st or 2nd invention, the said light emitting tube is a straight pipe provided with the said lead wire sealing mounting part in pair in the both ends of a longitudinal direction. ), The cooling member is constituted by a water cooling jacket arranged in a state surrounding the light emitting tube, and a ventilation path of the cooling wind is provided to a member near the lead wire seal mounting portion in the water cooling jacket. Ventilation holes are formed.

즉, 수냉 쟈켓을 구성하는 부재에 냉각풍의 통풍 경로로 되는 통풍 구멍을 형성하여, 이 통풍 구멍을 통과하는 냉각풍에 의해 리드선 밀봉 장착부를 냉각시킨다.That is, the ventilation hole which becomes a ventilation path of cooling wind is formed in the member which comprises a water cooling jacket, and the lead wire sealing mounting part is cooled by the cooling wind which passes this ventilation hole.

[발명의 효과][Effects of the Invention]

상기 제1 발명에 의하면, 발광관을 냉각시키기 위해 구비되어 있는 냉각용 부재를 이용하여, 상기 리드선 밀봉 장착부의 냉각을 위한 냉각풍을 냉각시켜서, 상기 리드선 밀봉 장착부에 대한 냉각 효과를 증대시키고 있으므로, 장치 비용의 상승을 가급적 억제하면서, 발광관 전체를 효과적으로 냉각시킬 수 있다.According to the first aspect of the invention, since the cooling air for cooling the lead wire seal mounting portion is cooled by using the cooling member provided to cool the light emitting tube, the cooling effect on the lead wire seal mounting portion is increased. The entire light emitting tube can be cooled effectively while suppressing an increase in device cost as much as possible.

또한, 상기 제2 발명에 의하면, 냉각풍에 의한 냉각 대상을 상기 리드선 밀봉 장착부로 한정함으로써, 냉각 부하를 경감할 수 있고, 장치 비용의 상승을 더욱 억제할 수 있다.Moreover, according to the said 2nd invention, by limiting the cooling object by cooling wind to the said lead wire sealing mounting part, a cooling load can be reduced and a raise of apparatus cost can further be suppressed.

또한, 상기 제3 발명에 의하면, 수냉 쟈켓을 구성하는 부재에 통풍 구멍을 형성할 뿐인 간단한 구성으로, 리드선 밀봉 장착부를 정확하게 냉각시킬 수 있다.In addition, according to the third invention, the lead wire seal mounting portion can be accurately cooled with a simple configuration that merely forms a ventilation hole in the member constituting the water cooling jacket.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 광원 장치의 부분 단면도이다.1 is a partial cross-sectional view of a light source device according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 광원 장치의 주요부의 부분 단면도이다.2 is a partial cross-sectional view of an essential part of a light source device according to an embodiment of the present invention.

[부호의 설명][Description of the code]

1: 발광관1: light tube

CM: 냉각용 부재CM: cooling member

RH: 리드선 밀봉 장착부RH: Lead wire seal mount

이하, 본 발명의 광원 장치의 실시예를 도면을 참조하여 설명한다.An embodiment of a light source device of the present invention will be described below with reference to the drawings.

본 실시예의 광원 장치 UL은, 도 1의 부분 단면도에 나타낸 바와 같이, 발광 관(1)과, 발광관(1)을 냉각시키는 냉각용 부재 CM인 수냉 쟈켓(2)을 주요부로 하여 구성되어 있다.As shown in the partial sectional view of FIG. 1, the light source device UL of this embodiment is comprised from the light emitting tube 1 and the water cooling jacket 2 which is a cooling member CM which cools the light emitting tube 1 as a main part. .

그리고, 도 1에서는, 도면을 쉽게 볼 수 있도록 하기 위해, 발광관(1) 이외의 부분에 대해서는 단면시(斷面視)로 나타내며, 또한 더 세부에 있어서는 단면임을 나타내는 빗금에 의한 도시를 적절하게 생략하고 있다.In addition, in FIG. 1, in order to make a drawing easy to see, the part by the hatching which shows the part other than the light emitting tube 1 by the cross section is shown, and in more detail is shown the cross section suitably. Omitted.

본 실시예의 발광관(1)은 자외선 램프이며, 전체적으로 봉형의 직관 형상으로 형성되고, 이것의 길이 방향의 양 단부에 있어서, 발광관(1) 내부의 방전용 전극(3)에 접속되는 전극용 리드선(3a)이 밀봉되고, 외부 전극으로서 인출되고 있다.The light emitting tube 1 of the present embodiment is an ultraviolet lamp, and is formed in a rod-like straight tube shape as a whole, and is connected to the discharge electrode 3 inside the light emitting tube 1 at both ends in the longitudinal direction thereof. The lead wire 3a is sealed and drawn out as an external electrode.

전극용 리드선(3a)의 밀봉 개소는 꼭지쇠(4)에 의해 보호되고, 발광관(1)의 길이 방향의 양 단부에 한쌍으로 구비되는 꼭지쇠(4)의 존재 개소가, 전극용 리드선(3a)을 밀봉 상태로 장착하는 리드선 밀봉 장착부 RH로 되어 있다.The sealing point of the electrode lead wire 3a is protected by the clasp 4, and the presence point of the clasp 4 provided in pairs in the both ends of the light-emitting tube 1 in the longitudinal direction is a lead wire for electrodes ( Lead wire seal mounting portion RH for mounting 3a) in a sealed state.

수냉 쟈켓(2)은, 원통형의 내관(21)과, 마찬가지로 원통형이면서 내관(21)보다 직경이 큰 외관(22)과, 이들을 유지하기 위한 부재에 의해 구성되며, 발광관(1)의 주위를 둘러싼 상태로 배치되어 있다.The water-cooled jacket 2 is constituted by a cylindrical inner tube 21, an outer cylinder 22 which is similarly cylindrical and larger in diameter than the inner tube 21, and a member for retaining them. It is arranged in an enclosed state.

내관(21)과 외관(22)은 모두 석영으로 되어 있으며, 이들이 동일 축 상태로 배치되어, 내관(21)과 외관(22) 사이의 공간이 냉각수의 통로로 되어 있다.The inner tube 21 and the outer tube 22 are all made of quartz, and they are arranged in the same axial state, and the space between the inner tube 21 and the outer tube 22 serves as a passage for cooling water.

내관(21)은 외관(22)보다 약간 길게 형성되어 있고, 동일 축 상태로 배치된 내관(21) 및 외관(22)의 길이 방향 양 단부가 실링용 링(23)에 끼워져서, 내관(21)과 외관(22) 사이의 간격을 일정하게 유지하고 있다.The inner tube 21 is formed slightly longer than the outer tube 22, and both ends of the inner tube 21 and the outer tube 22 disposed in the same axial state are fitted into the sealing ring 23, so that the inner tube 21 is closed. ) And the appearance 22 are kept constant.

실링용 링(23)에는 냉각수를 도입 또는 배출하기 위한 급배수 구멍(23a)이 구비되어 있고, 도 1에서는, 우측의 실링용 링(23)의 급배수 구멍(23a)에 급수 호스(24)를 접속하여 급수 측으로 하고, 또한, 좌측의 실링용 링(23)의 급배수 구멍(23a)에 배수 호스(25)를 접속하여 배수 측으로 하고 있다.The sealing ring 23 is provided with a water supply and drainage hole 23a for introducing or discharging the cooling water. In FIG. 1, the water supply hose 24 is provided in the water supply and drainage hole 23a of the sealing ring 23 on the right side. Is connected to the water supply side, and the drain hose 25 is connected to the water supply and drain hole 23a of the sealing ring 23 on the left side to be the drain side.

한쌍의 실링용 링(23)은, 각각 링형의 지지 부재(26)에 의해 유지되어 위치결정되고, 외관(22)과 실링용 링(23) 사이, 및, 내관(21)과 실링용 링(23) 및 지지 부재(26) 사이가 O링(오링)으로 실링되어 있다.The pair of sealing rings 23 are held and positioned by a ring-shaped support member 26, respectively, between the outer surface 22 and the sealing ring 23, and the inner tube 21 and the sealing ring ( 23) and the support member 26 are sealed with an O-ring (O-ring).

급수 호스(24)로부터 급수된 냉각수는, 실링용 링(23)의 내면 측과 내관(21)의 외면으로 형성되는 공간을 거쳐, 내관(21)과 외관(22) 사이의 공간에 흘러들고, 또한 반대 측(배수 측)의 실링용 링(23)의 내면과 내관(21)의 외면으로 형성되는 공간을 거쳐 배수 호스(25)로 배출된다.The cooling water supplied from the water supply hose 24 flows into the space between the inner tube 21 and the exterior 22 through a space formed by the inner surface side of the sealing ring 23 and the outer surface of the inner tube 21, In addition, it is discharged to the drain hose 25 via a space formed by the inner surface of the sealing ring 23 on the opposite side (drainage side) and the outer surface of the inner tube 21.

발광관(1)은, 길이 방향 양 단부의 꼭지쇠(4)에 외측에서 결합하는 실질적으로 원판형의 홀더(11)에 의해 지지되어 있고, 홀더(11)는, 내관(21)의 길이 방향의 끝주위에 접하고, 또한 지지 부재(26)에 내측에 결합하는 상태로 위치 결정되어 있다.The light emitting tube 1 is supported by the substantially disk-shaped holder 11 which couples to the clasp 4 of the both ends of a longitudinal direction from the outside, The holder 11 is the longitudinal direction of the inner tube 21. It is in contact with the edge of the edge, and is positioned in the state couple | bonded with the support member 26 inside.

이로써, 발광관(1)은, 내관(21) 내에 있어서 내관(21)과 실질적으로 동일 축 상태로 배치되고, 또한, 발광관(1)의 꼭지쇠(4)(즉, 리드선 밀봉 장착부 RH)가 지지 부재(26)의 존재 위치까지 들어가는 배치 상태로 되어 있다.Thereby, the light emitting tube 1 is arrange | positioned substantially in the same-axis state as the inner tube 21 in the inner tube 21, and also the clasp 4 (namely, lead wire sealing mounting part RH) of the light emitting tube 1 is carried out. Is in an arrangement state where the support member 26 enters the present position.

본 발명의 광원 장치 UL는, 전술한 구성에 의해 발광관(1)을 냉각시키고, 또한 발광관(1)의 리드선 밀봉 장착부 RH[꼭지쇠(4)의 존재 개소]를 냉각시키는 수단도 구비하고 있으며, 이 리드선 밀봉 장착부 RH의 냉각을 위하여, 발광관(1)을 냉 각시키기 위한 장치 구성의 일부를 이용하고 있다.The light source device UL of this invention is equipped with the means which cools the light emitting tube 1 by the structure mentioned above, and also cools the lead wire sealing mounting part RH (the presence location of the clasp 4) of the light emitting tube 1; In order to cool this lead wire sealing mounting part RH, a part of the apparatus structure for cooling the light emitting tube 1 is used.

이하에서, 수냉 쟈켓(2)의 길이 방향 단부(端部) 부근을 확대하여 부분 단면도로서 나타낸 도 2에 따라 설명한다.Hereinafter, the vicinity of the longitudinal end part of the water cooling jacket 2 is expanded and demonstrated as FIG. 2 shown as a partial sectional drawing.

도 2는, 도 1에 있어서의 우측 단부(급수 측의 단부)를 나타낸 것이며, 반대 측의 좌측 단부(배수 측의 단부)의 구성도 동일한 구성으로 대칭으로 구성되어 있다.FIG. 2: shows the right end part (end part of the water supply side) in FIG. 1, and the structure of the left end part (end part of the drain side) on the opposite side is also comprised symmetrically by the same structure.

그리고, 이 도 2에 있어서도, 도 1과 마찬가지로, 발광관(1) 이외의 부분에 대하여 단면시로 나타내고, 또한 더 세부에 있어서는 단면임을 나타내는 빗금의 도시는 적절하게 생략하고 있다.In addition, in this FIG. 2, similarly to FIG. 1, the hatching which shows the part other than the light emitting tube 1 by the cross-sectional view, and shows the cross section in detail is abbreviate | omitted suitably.

리드선 밀봉 장착부 RH의 냉각은, 리드선 밀봉 장착부 RH를 냉각 대상으로 하는 냉각풍의 통풍 경로를 형성함으로써 행한다.Cooling of the lead wire sealing mounting part RH is performed by forming the ventilation path of the cooling wind which makes lead wire sealing mounting part RH a cooling object.

보다 구체적으로는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 링형의 지지 부재(26)의 일단부에, 측면(26b)으로부터 내면(26a)으로 관통하는 다수의 가는 구멍(26c)을 형성하고, 이 다수의 가는 구멍(26c)의 존재 위치의 반대 측의 단부에 내면(26a)으로부터 측면(26b)으로 관통하는 관통 구멍(26d)을 형성하여, 가는 구멍(26c) 및 관통 구멍(26d)으로 이루어지는 통풍 구멍으로 냉각풍의 통풍 경로를 구성하고 있다.More specifically, as shown in FIG. 2, at one end of the ring-shaped support member 26, a plurality of thin holes 26c penetrating from the side surface 26b to the inner surface 26a are formed. The through hole 26d which penetrates from the inner surface 26a to the side surface 26b is formed in the edge part on the opposite side to the presence position of the thin hole 26c, and the ventilation hole which consists of a thin hole 26c and a through hole 26d This constitutes a ventilation path for the cooling wind.

이 통풍 구멍[가는 구멍(26c) 및 관통 구멍(26d)]과 리드선 밀봉 장착부 RH의 위치 관계는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 발광관(1)의 길이 방향과 직교하는 면 상에 나란한 위치 관계로 되고, 수냉 쟈켓(2)에 있어서의 리드선 밀봉 장착부 RH에 가장 가까운 부재[지지 부재(26)]에 상기 통풍 구멍을 형성하고 있다.The positional relationship between the ventilation hole (thin hole 26c and the through hole 26d) and the lead wire seal mounting portion RH is, as shown in FIG. 2, a positional relationship parallel to the surface perpendicular to the longitudinal direction of the light emitting tube 1. The ventilation hole is formed in the member (support member 26) closest to the lead wire seal mounting portion RH in the water-cooled jacket 2.

관통 구멍(26d)에는, 흡기 펌프 또는 클린 룸의 흡기 배관 등의 흡기 수단으로부터의 호스(12)가 접속되어 있다.A hose 12 from an intake means such as an intake pump or an intake pipe in a clean room is connected to the through hole 26d.

지지 부재(26)의 일측은, 호스(12)로부터 흡기될 때, 가는 구멍(26c)으로부터 관통 구멍(26d)에 도달하는 통풍 경로가 양호한 효율로 형성되도록, 정풍판(整風板)(13)을 구비하여 유지 부재(26)의 내면(26a) 측의 공간을 폐색하고 있다.One side of the support member 26 is a fan plate 13 so that a ventilation path from the thin hole 26c to the through hole 26d is formed with good efficiency when the air intakes from the hose 12. And the space on the inner surface 26a side of the holding member 26 is closed.

실링용 링(23) 및 지지 부재(26)는, 둘 다 열 전도가 양호한 금속으로 형성되어 서로 접하고 있고, 급수 호스(24)로부터의 냉각수의 공급에 의해 냉각되어 비교적 저온으로 되어 있다.The sealing ring 23 and the support member 26 are both made of a metal having good thermal conduction and are in contact with each other, and are cooled by supply of cooling water from the water supply hose 24 to be relatively low temperature.

그러므로, 호스(12)로부터 흡기되면, 지지 부재(26)의 가는 구멍(26c)에 빨려 들여간 공기는 가는 구멍(26c)을 통과하는 동안에 가는 구멍(26c)의 벽면과의 상호 작용에 의해 냉각되고, 꼭지쇠(4)의 존재 개소(리드선 밀봉 장착부 RH)를 통과하여 관통 구멍(26d)에 도달하여 배출된다.Therefore, upon inhalation from the hose 12, the air sucked into the fine hole 26c of the support member 26 is cooled by interaction with the wall surface of the fine hole 26c while passing through the fine hole 26c. Then, it passes through the presence point of the clasp 4 (lead wire sealing mounting part RH), reaches | attains through-hole 26d, and is discharged | emitted.

이와 같이 형성되는 통풍 경로에 있어서, 리드선 밀봉 장착부 RH의 상류 측에 냉각용 부재 CM[보다 구체적으로는, 냉각용 부재 CM인 수냉 쟈켓(2)의 일부를 구성하여, 내관(21) 및 외관(22)의 길이 방향 단부를 유지하는 지지 부재(26)]의 배치 개소가 위치하고, 또한, 리드선 밀봉 장착부 RH보다 통풍 경로의 상류 측에 발광관(1)의 다른 부분이 위치하지 않도록 배치됨으로써, 지지 부재(26)의 가는 구멍(26c)을 통과하여 냉각된 상태의 냉각풍이 리드선 밀봉 장착부 RH의 존재 위치를 통과하여, 양호한 효율로 리드선 밀봉 장착부 RH를 냉각시킨다.In the ventilation path formed in this way, a part of the water cooling jacket 2 that is the cooling member CM (more specifically, the cooling member CM) is formed on the upstream side of the lead wire sealing mounting portion RH, and the inner tube 21 and the external appearance ( The support member 26 which holds the longitudinal end part of 22) is located, and it arrange | positions so that the other part of the light emitting tube 1 may not be located in the upstream side of a ventilation path rather than a lead wire sealing mounting part RH, and it supports it. The cooling wind of the state cooled by passing through the thin hole 26c of the member 26 passes through the presence position of the lead wire sealing mounting part RH, and cools the lead wire sealing mounting part RH with favorable efficiency.

이 냉각풍은 발광관(1)의 리드선 밀봉 장착부 RH 만을 냉각 대상으로 하도록 통풍 경로가 형성되어 있고, 국소적인 공간에서의 통풍이므로, 상기 흡기 수단의 흡기 능력으로서는 그다지 우수한 능력을 요구하지 않는다.This cooling wind is provided with a ventilation path so that only the lead wire sealing mounting portion RH of the light emitting tube 1 is a cooling target, and since it is ventilation in a local space, it does not require very excellent ability as the intake capacity of the intake means.

또한, 리드선 밀봉 장착부 RH에 냉각풍을 공급하는 것에 대해서는, 리드선 밀봉 장착부 RH에 냉각풍을 분사시켜서 냉각시키는 구성도 고려할 수 있지만, 이와 같은 구성에서는, 광을 조사하는 대상물 등으로부터 비산되어 부유하는 미소한 먼지를 주위의 공간에 흩뿌리게 된다. 이는, 광원 장치 UL이 클린 룸 등의 먼지의 비산이 특히 문제로 되는 환경 하에서는, 가능한 회피할 필요가 있다.In addition, about supplying cooling air to lead wire sealing mounting part RH, the structure which sprays cooling air to lead wire sealing mounting part RH and also cools can be considered, but in such a structure, it floats and floats from the object to which light is irradiated. Dust is scattered in the surrounding space. This needs to be avoided as far as possible under the environment where the scattering of dust such as a clean room is particularly problematic for the light source device UL.

그래서, 전술한 바와 같이, 리드선 밀봉 장착부 RH를 냉각시키는 냉각풍을 상기 흡기 수단에 의한 흡기에 의해 형성하여, 전술한 미소한 먼지도 포함하여 흡인함으로써, 광원 장치 UL의 주위 공간에의 미소한 먼지의 비산을 방지하고 있다.Therefore, as described above, the cooling air for cooling the lead wire seal mounting portion RH is formed by the intake air by the intake means and aspirated including the above-described fine dust, thereby allowing the minute dust to the surrounding space of the light source device UL. To prevent scattering.

[다른 실시예][Other Embodiments]

이하, 본 발명의 다른 실시예를 열기(列記)한다.Hereinafter, another embodiment of the present invention is opened.

(1) 상기 실시예에서는, 리드선 밀봉 장착부 RH를 냉각시키는 냉각풍은 발광관(1) 내의 리드선 밀봉 장착부 RH 만을 냉각 대상으로 하도록 통풍 경로가 형성되어 있는 경우를 예시하고 있지만, 이 냉각풍의 통풍 경로에 있어서, 리드선 밀봉 장착부 RH의 하류 측에 발광관(1)의 광(자외선) 출사 영역을 위치시키고, 그 부분도 병행하여 냉각 대상으로 할 수도 있다.(1) In the above embodiment, the cooling wind for cooling the lead wire seal mounting portion RH is exemplified in the case where the ventilation path is formed so that only the lead wire seal mounting portion RH in the light emitting tube 1 is to be cooled. WHEREIN: The light (ultraviolet) emission area | region of the light emitting tube 1 is located in the downstream of lead wire sealing mounting part RH, and that part can also be made into a cooling object.

(2) 상기 실시예에서는, 냉각 대상인 리드선 밀봉 장착부 RH의 통풍 경로 상류 측에 냉각용 부재 CM의 배치 개소를 위치시킴에 있어서, 지지 부재(26)의 가는 구멍(26c)을 통풍 경로로서 구성하는 경우를 예시하고 있지만, 예를 들면 지지 부 재(26) 내의 통풍 경로를 나선형으로 형성하여, 냉각용 부재 CM 내에서 보다 긴 통풍 경로를 형성하여, 냉각풍에 대한 냉각 효과를 더욱 향상시킬 수도 있다.(2) In the said Example, when arrange | positioning the location of the cooling member CM on the ventilation path upstream of the lead wire sealing mounting part RH which is cooling object, the thin hole 26c of the support member 26 is comprised as a ventilation path. Although the case is illustrated, for example, the ventilation path in the support member 26 may be spirally formed to form a longer ventilation path in the cooling member CM, thereby further improving the cooling effect on the cooling wind. .

(3) 상기 실시예에서는, 발광관(1)으로서 자외선 램프를 예시하고 있지만, 자외선 이외의 각종 파장을 가지는 발광관(1)에 대해서도 본 발명을 적용할 수 있다.(3) Although the ultraviolet ray lamp is illustrated as the light emitting tube 1 in the said Example, this invention is applicable also to the light emitting tube 1 which has various wavelengths other than an ultraviolet-ray.

본 출원은, 2007년 4월 25일 출원된 일본 특허 출원(일본 특허 출원번호 2007-115416)에 기초한 것이며, 그 전체적인 내용은 참조로서 본 발명에 원용된다.This application is based on the JP Patent application (Japanese Patent Application No. 2007-115416) of an application on April 25, 2007, The whole content is integrated in this invention as a reference.

Claims

A light source device having a light emitting tube and a cooling member arranged in a state surrounding the light emitting tube to cool the light emitting tube,

A lead wire seal mounting portion for mounting an electrode lead wire in a sealed state to the light emitting tube;

A ventilation path of cooling air for cooling the lead wire seal mounting portion is formed;

The arrangement point of the said cooling member is located at least upstream of the said lead wire sealing mounting part in the said ventilation path, and arrange | positioned so that the other part of the said light emitting tube may not be located upstream of the said ventilation path rather than the said lead wire sealing mounting part. And a cooling wind cooled in the state cooled by the cooling member passes through the presence position of the lead wire sealing mounting portion.

The method of claim 1,

A ventilation path is formed so that the cooling wind targets only the lead wire sealing mounting portion in the light emitting tube with respect to the light emitting tube.

The method according to claim 1 or 2,

The light emitting tube is formed in a straight tube shape having the lead wire sealing mounting portion provided in pairs at both ends in the longitudinal direction,

The said cooling member is comprised by the water cooling jacket arrange | positioned in the state surrounding the said light emitting tube,

The light source device in which the ventilation hole which comprises the ventilation path of the said cooling wind is formed in the member near the said lead wire sealing mounting part in the said water cooling jacket.