KR20100004598A - Plastic article having a parylene polymer layer and method of the same - Google Patents

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parylene polymer
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김영훈
신성철
김준규
김용건
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주식회사 엠시드텍
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Abstract

PURPOSE: A plastic molding product and a manufacturing method thereof are provided to prevent a parylene polymer layer from being exfoliated by forming a transparent conductive layer whose surface is modified by a primer coating layer or plasma etching. CONSTITUTION: A plastic molding product is composed of a plastic base material(10) made of thermoplastic resin, a primer coating layer(20) in which the primer composition including the epoxy resin and acrylic monomer is coated and which is formed, and a parylene polymer layer(30) formed on the primer coating layer. The primer composition is composed of Epoxy resin of 20 ~ 60 weight%, Acrylic monomer of 2 ~ 20 weight%, hardener of 0.1 ~ 5 weight%, and extra organic solvent.

Description

파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품 및 그 제조방법 {Plastic Article Having a Parylene Polymer layer and Method of the Same}Plastic article having a parylene polymer layer and a method for manufacturing the same

도 1은 본 발명의 하나의 구체예에 따른 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품의 부분 단면도이다.1 is a partial cross-sectional view of a plastic molded article formed with a parylene polymer layer according to one embodiment of the present invention.

도 2는 파릴렌 중합체층를 형성하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.2 is a view for explaining a method of forming a parylene polymer layer.

도 3은 본 발명의 다른 구체예에 따른 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품의 부분 단면도이다.3 is a partial cross-sectional view of a plastic molded article formed with a parylene polymer layer according to another embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 구체예에 사용되는 RIE 타입의 건식식각 장치를 도시한 단면도이다.Figure 4 is a cross-sectional view showing a dry etching apparatus of the RIE type used in the embodiment of the present invention.

* 도면의 주요한 부호에 대한 간단한 설명 *Brief description of the main symbols in the drawings

10: 플라스틱 기재 40: 투명 도전층10: plastic substrate 40: transparent conductive layer

20: 프라이머 코팅층 50: RIE 타입의 건식식각 장치20: primer coating layer 50: dry etching apparatus of the RIE type

30: 파릴렌 중합체층30: parylene polymer layer

발명의 분야Field of invention

본 발명은 중합체 보호막이 형성된 플라스틱 성형품 및 그 제조방법에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 파릴렌 중합체층이 형성되어 우수한 내화학성, 내식성, 내열성 및 방수성을 갖는 플라스틱 성형품 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a plastic molded article having a polymer protective film and a method of manufacturing the same. More specifically, the present invention relates to a plastic molded article having a parylene polymer layer formed thereon and having excellent chemical resistance, corrosion resistance, heat resistance and water resistance, and a manufacturing method thereof.

발명의 배경Background of the Invention

플라스틱은 가공성이 뛰어나고, 금속이나 유리에 비해 가벼우며, 경도가 우수하고, 가격이 저렴하여, 각종 산업 분야에서 널리 사용되고 있으며, 전통적으로 유리 또는 금속으로 만들어지던 제품들이 플라스틱 성형품으로 빠르게 교체되고 있다.Plastics have excellent processability, are lighter than metals or glass, have excellent hardness, and are inexpensive, and are widely used in various industrial fields. Products, which have traditionally been made of glass or metal, are rapidly being replaced by plastic moldings.

예를 들어, 유리로 제작된 이화학 실험기구는 무겁고, 강도가 약해 깨지기 쉬우며, 사용이 불편한 문제점 등이 있어서, 이를 플라스틱 소재로 대체하려는 시도가 오래전부터 있어 왔다. 그리고 최근에는 많은 이화학 실험기구가 플라스틱 수지로 제조되고 있다.For example, the physicochemical test apparatus made of glass is heavy, weak in strength, fragile, and inconvenient to use, and there have been attempts to replace it with plastic materials for a long time. In recent years, many physicochemical apparatuses have been manufactured from plastic resins.

그런데 플라스틱은 유리와 비교할 때 내화학성, 내식성 및 내열성이 떨어지기 때문에, 플라스틱 이화학 실험기구와 같이 강한 산이나 알칼리 또는 유기용매에 노출되는 플라스틱 성형품의 내화학성, 내식성 및 내열성을 향상시킬 수 있는 수단 이 필요하다.However, since plastic is inferior in chemical resistance, corrosion resistance and heat resistance compared to glass, it is a means to improve the chemical resistance, corrosion resistance and heat resistance of plastic molded products exposed to strong acids, alkalis or organic solvents, such as plastic physicochemical apparatus. need.

플라스틱 성형품의 내화학성을 증가시키는 방법의 하나로 플라스틱 성형품의 표면을 테프론(Teflon)으로 코팅하는 방법이 있다. 테프론은 불소와 탄소의 강력한 화학 결합을 통해 안정된 화합물을 형성함으로써 화학적으로 비활성인 특성을 가지므로, 플라스틱 성형품의 내화학성을 향상시킬 수 있다. 하지만, 테프론은 수명이 짧고, 균일한 코팅이 어려워 성형품의 모서리 부분에서는 다른 부분에 비해 상대적으로 얇게 코팅되므로 플라스틱 성형품을 완벽하게 보호할 수 없다.One method of increasing the chemical resistance of a plastic molded article is to coat the surface of the plastic molded article with Teflon (Teflon). Teflon has a chemically inert property by forming a stable compound through a strong chemical bond of fluorine and carbon, thereby improving the chemical resistance of the plastic molded article. However, Teflon has a short lifespan and is difficult to uniformly coat, and thus the edge of the molded part is relatively thinner than other parts, so that the plastic molded part cannot be completely protected.

이러한 테프론 코팅법을 대체할 수 있는 다른 수단으로는 파릴렌 (Parylene: poly(para-xylylene)) 코팅법이 있다. 파릴렌 코팅은 내화학성 및 내식성이 매우 우수하여 산, 알칼리 또는 유기용매 등의 화학 약품에 거의 영향을 받지 않으며, 화학용제에 용해되지 않는 것으로 알려져 있다.Another means to replace the Teflon coating method is Parylene (poly (para-xylylene)) coating method. Parylene coatings are known to be very resistant to chemicals such as acids, alkalis, or organic solvents because they have excellent chemical and corrosion resistance, and are insoluble in chemical solvents.

또한, 파릴렌 코팅은 뛰어난 방수성으로 인해 수분을 거의 흡수하지 않으며, 열 안정성이 우수하여 -200∼150℃ 사이에서 열적, 기계적 변형이나 특성 변화가 발생하지 않고, 핀홀(pin-hole)이나 기공(air bubble)을 발생시키지 않으면서 코팅할 수 있는 장점이 있다.In addition, the parylene coating absorbs almost no moisture due to its excellent water resistance, and has excellent thermal stability, so that no thermal, mechanical deformation or property change occurs between -200 and 150 ° C., and pin-holes or pores ( There is an advantage that can be coated without generating air bubbles.

그러나 파릴렌 코팅은 플라스틱 표면에 대한 접착력이 약해 파릴렌 코팅이 쉽게 벗겨지는 문제점이 있다. 이를 해결하기 위하여, 플라스틱 표면에 파릴렌 코팅을 형성하기 전에 플라스틱 표면을 실란계 화합물로 처리하는 방법이 시도되었으나 만족할만한 효과를 얻지 못하였고, 아직까지 파릴렌 코팅은 플라스틱 성형품에 널리 적용되지 못하고 있다.However, the parylene coating has a problem in that the parylene coating is easily peeled off due to weak adhesion to the plastic surface. In order to solve this problem, a method of treating a plastic surface with a silane-based compound before attempting to form a parylene coating on the plastic surface has been attempted, but a satisfactory effect has not been obtained, and the parylene coating has not been widely applied to plastic molded products. .

이에 본 발명자들은 이러한 문제점을 해결하기 위하여, 플라스틱 기재(substrate)의 표면과 파릴렌 중합체층 사이에 플라스틱 기재에 대한 파릴렌 중합체층의 접착력을 향상시킬 수 있는 프라이머 코팅층 또는 표면 개질된 투명 도전층을 형성함으로써 파릴렌 중합체층이 벗겨지는 것을 방지하고, 내화학성, 내식성, 열 안정성, 방수성 등이 우수한 플라스틱 성형품 및 그 제조방법을 개발하게 되었다.In order to solve this problem, the inventors have proposed a primer coating layer or a surface modified transparent conductive layer which can improve the adhesion of the parylene polymer layer to the plastic substrate between the surface of the plastic substrate and the parylene polymer layer. Forming prevents the parylene polymer layer from peeling off and develops a plastic molded article excellent in chemical resistance, corrosion resistance, thermal stability, waterproofness, and the like and a method of manufacturing the same.

본 발명의 목적은 파릴렌 중합체층이 형성되어 내화학성, 내식성, 내열성 및 방수성이 우수한 플라스틱 성형품을 제공하기 위한 것이다.An object of the present invention is to provide a plastic molded article having a parylene polymer layer is formed excellent in chemical resistance, corrosion resistance, heat resistance and waterproof.

본 발명의 다른 목적은 쉽게 벗겨지지 않는 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품을 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to provide a plastic molded article having a parylene polymer layer which is not easily peeled off.

본 발명의 또 다른 목적은 상기와 같은 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품의 제조방법을 제공하기 위한 것이다.Another object of the present invention is to provide a method for producing a plastic molded article formed with the parylene polymer layer as described above.

본 발명의 상기 및 기타 목적들은 하기 상세히 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다.The above and other objects of the present invention can be achieved by the present invention described in detail below.

발명의 요약Summary of the Invention

본 발명에 따른 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품은 플라스틱 기재 와 파릴렌 중합체층 사이에 플라스틱 기재에 대한 파릴렌 중합체층의 접착력을 향상시키는 프라이머 코팅층 또는 투명 도전층을 포함함으로써, 파릴렌 중합체층이 박리되는 것을 방지하며, 파릴렌 중합체층의 보호에 의해 우수한 내화학성, 내식성, 내열성 및 방수성을 갖는다.The plastic molded article formed with the parylene polymer layer according to the present invention comprises a primer coating layer or a transparent conductive layer which improves the adhesion of the parylene polymer layer to the plastic substrate between the plastic substrate and the parylene polymer layer, whereby the parylene polymer layer is It prevents peeling and has excellent chemical resistance, corrosion resistance, heat resistance and water resistance by protection of the parylene polymer layer.

본 발명의 하나의 구체예에 따른, 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품은 열가소성 수지로 이루어진 플라스틱 기재(substrate)(10), 플라스틱 기재(10)의 표면상에 에폭시 수지 및 (메타)아크릴계 단량체를 포함하는 프라이머 조성물이 코팅되어 형성된 프라이머 코팅층(20) 및 프라이머 코팅층(20) 상에 형성된 파릴렌 중합체층(30)을 포함한다.According to one embodiment of the present invention, a plastic molded article having a parylene polymer layer is formed of a plastic substrate (10) made of thermoplastic resin, an epoxy resin and a (meth) acrylic monomer on the surface of the plastic substrate (10). It comprises a primer coating layer 20 formed by coating a primer composition comprising a and a parylene polymer layer 30 formed on the primer coating layer (20).

상기 프라이머 조성물은 바람직하게 상기 에폭시 수지 20 ∼ 60 중량%, 상기 (메타)아크릴계 단량체 2 ∼ 20 중량%, 경화제 0.1 ∼ 5 중량% 및 여분의 유기용매를 포함한다.The primer composition preferably comprises 20 to 60% by weight of the epoxy resin, 2 to 20% by weight of the (meth) acrylic monomer, 0.1 to 5% by weight of a curing agent and an extra organic solvent.

상기 (메타)아크릴계 단량체는 에폭시기를 갖는 (메타)아크릴계 단량체인 것이 바람직하다.It is preferable that the said (meth) acrylic-type monomer is the (meth) acrylic-type monomer which has an epoxy group.

본 발명의 다른 구체예에 따른, 플라스틱 성형품은 열가소성 수지로 이루어진 플라스틱 기재(10), 플라스틱 기재(10)의 표면상에 형성되고, 플라즈마 에칭에 의해 표면 개질된 투명 도전층(40) 및 표면 개질된 투명 도전층 상(40)에 형성된 파릴렌 중합체층(30)을 포함한다.According to another embodiment of the present invention, the plastic molded article is formed on the surface of the plastic substrate 10 made of thermoplastic resin, the plastic substrate 10, and the surface-modified transparent conductive layer 40 and the surface modification by plasma etching And a parylene polymer layer 30 formed on the transparent conductive layer 40.

투명 도전층(40)은 바람직하게 ITO(indium tin oxide), TiO2 또는 ZnO로 이 루어진다.The transparent conductive layer 40 is preferably made of indium tin oxide (ITO), TiO 2 or ZnO.

상기 플라즈마 에칭은 CF3, Cl2, Ar, O2 또는 이들의 혼합물로 이루어진 반응가스를 이용하는 RIE(Reactive Ion Etching) 타입의 건식식각 장치에 의해 수행되는 것이 바람직하다.The plasma etching is preferably performed by a dry ion etching apparatus of a reactive ion etching (RIE) type using a reaction gas composed of CF 3 , Cl 2 , Ar, O 2, or a mixture thereof.

플라스틱 기재(10)를 이루는 열가소성 수지는 폴리프로필렌(PP) 수지, 폴리에틸렌(PE) 수지 또는 이들의 혼합물인 것이 바람직하며, 플라스틱 기재(10)는 이화학 실험기구인 것이 바람직하다.It is preferable that the thermoplastic resin which comprises the plastic base material 10 is a polypropylene (PP) resin, a polyethylene (PE) resin, or a mixture thereof, and it is preferable that the plastic base material 10 is a physics experiment apparatus.

본 발명은 또한 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품의 제조방법을 제공한다.The present invention also provides a method for producing a plastic molded article having a parylene polymer layer.

본 발명의 하나의 구체예에 따른, 플라스틱 성형품의 제조방법은 열가소성 수지로 이루어진 플라스틱 기재(substrate)(10)를 알코올 및 물을 사용하여 세척하고; 세척된 플라스틱 기재(10)의 표면상에 에폭시 수지 및 (메타)아크릴계 단량체를 포함하는 프라이머 조성물을 코팅하여 프라이머 코팅층(20)을 형성하고; 그리고 기상의 파릴렌 단량체를 프라이머 코팅층(20) 상에 응축시켜 파릴렌 중합체층(30)을 형성하는; 단계를 포함한다.According to one embodiment of the present invention, a method for producing a plastic molded article includes washing a plastic substrate (10) made of a thermoplastic resin with alcohol and water; Coating a primer composition comprising an epoxy resin and a (meth) acrylic monomer on the surface of the washed plastic substrate 10 to form a primer coating layer 20; And condensing the gaseous parylene monomer on the primer coating layer 20 to form the parylene polymer layer 30; Steps.

상기 프라이머 코팅층(30)을 형성하는 단계는, 세척된 플라스틱 기재(10)의 표면에 상기 에폭시 수지 및 (메타)아크릴계 단량체를 포함하는 프라이머 조성물을 분사하여 도포한 후, 4∼10분 동안 정치하고; 그리고 상기 도포된 프라이머 조성물을 20∼80℃에서 경화시키는; 단계를 포함하는 것이 바람직하다.In the forming of the primer coating layer 30, after spraying and applying the primer composition including the epoxy resin and the (meth) acrylic monomer on the surface of the washed plastic substrate 10, it is allowed to stand for 4 to 10 minutes ; And curing the applied primer composition at 20 to 80 ° C .; It is preferred to include the step.

본 발명의 다른 구체예에 따른, 플라스틱 성형품의 제조방법은 열가소성 수지로 이루어진 플라스틱 기재(10)를 알코올 및 물을 사용하여 세척하고; 진공증착법을 사용하여 세척된 플라스틱 기재(10)의 표면상에 ITO, TiO2 또는 ZnO를 증착하여 투명 도전층(40)을 형성하고; CF3, Cl2, Ar, O2 또는 이들의 혼합물로 이루어진 반응가스를 이용하는 RIE(Reactive Ion Etching) 타입의 건식식각 장치를 사용하여 투명 도전층(40)을 플라즈마 에칭하여 투명 도전층(40)의 표면을 개질하고; 그리고 기상의 파릴렌 단량체를 표면 개질된 투명 도전층(40) 상에 응축시켜 파릴렌 중합체층(30)을 형성하는; 단계를 포함한다.According to another embodiment of the present invention, a method for producing a plastic molded article includes washing the plastic substrate 10 made of a thermoplastic resin using alcohol and water; Depositing ITO, TiO 2 or ZnO on the surface of the cleaned plastic substrate 10 using vacuum deposition to form a transparent conductive layer 40; The transparent conductive layer 40 is plasma-etched by using a reactive ion etching (RIE) type dry etching apparatus using a reaction gas composed of CF 3 , Cl 2 , Ar, O 2, or a mixture thereof. Modifying the surface of; And condensing the gaseous parylene monomer on the surface-modified transparent conductive layer 40 to form the parylene polymer layer 30; Steps.

상기 진공증착법은 열증착법, 전자빔 증착법 또는 스퍼터링법인 것이 바람직하다.The vacuum deposition method is preferably a thermal deposition method, an electron beam deposition method or a sputtering method.

투명 도전층(40)의 표면을 개질하는 단계는, 투명 도전층(40)이 형성된 플라스틱 기재(10)를 RIE 타입의 건식 식각 장치(50)의 공정챔버(51) 내에 투입하고; 공정챔버(51)의 내부압력을 0.1∼30 mTorr로 조절하고; 공정챔버(51) 내에 CF3, Cl2, Ar, O2 또는 이들의 혼합물로 이루어진 반응가스를 공급하고; 그리고 공정챔버의 전극에 100∼500 W의 RF 전력을 인가하여 상기 반응가스를 플라즈마 상태로 전환하는; 단계를 포함하는 것이 바람직하다.The modifying of the surface of the transparent conductive layer 40 may include putting the plastic substrate 10 on which the transparent conductive layer 40 is formed into the process chamber 51 of the dry etching apparatus 50 of the RIE type; The internal pressure of the process chamber 51 is adjusted to 0.1-30 mTorr; Supplying a reaction gas composed of CF 3 , Cl 2 , Ar, O 2, or a mixture thereof into the process chamber 51; And converting the reaction gas into a plasma state by applying an RF power of 100 to 500 W to an electrode of the process chamber; It is preferred to include the step.

플라스틱 기재(10)를 세척하는 단계는 플라스틱 기재(10)를 이소프로필알코올 및 메탄올의 혼합물을 사용하여 초음파 세척하고; 그리고 초음파 세척된 플라스틱 기재(10)를 증류수를 사용하여 세척한 후 건조하는; 단계를 포함하는 것이 바람 직하다.Washing the plastic substrate 10 comprises ultrasonic cleaning the plastic substrate 10 using a mixture of isopropyl alcohol and methanol; And the ultrasonically cleaned plastic substrate 10 is washed with distilled water and then dried; It is preferable to include the step.

이하, 첨부된 도면들을 참조로 하여 본 발명의 구체적인 내용을 하기에 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail the present invention in detail.

발명의 구체예에 대한 상세한 설명Detailed Description of the Invention

파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품Plastic molded article with parylene polymer layer

도 1은 본 발명의 하나의 구체예에 따른 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품의 부분 단면도이다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 하나의 구체예에 따른 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품은, 플라스틱 기재(substrate)(10), 플라스틱 기재(10)의 표면상에 형성된 프라이머 코팅층(20) 및 프라이머 코팅층(20) 상에 형성된 파릴렌 중합체(parylene: poly(para-xylylene))층(30)을 포함한다.1 is a partial cross-sectional view of a plastic molded article formed with a parylene polymer layer according to one embodiment of the present invention. 1, the plastic molded article formed with the parylene polymer layer according to one embodiment of the present invention, the plastic substrate (10), the primer coating layer 20 formed on the surface of the plastic substrate 10 and A parylene polymer (parylene: poly (para-xylylene)) layer 30 formed on the primer coating layer 20 is included.

플라스틱 기재(10)의 범위에 특별한 제한은 없지만, 파릴렌 중합체층(30)의 내화학성, 내식성, 내열성 및 방수성을 충분히 활용할 수 있는 이화학 실험기구인 것이 바람직하다. 상기 이화학 실험기구의 예로는 비커, 플라스크, 메스실린더, 샘플병, 깔때기, 스푼, 핀셋, 피펫, 스포이트, 뷰렛, 샬레, 시험관, 바이알, 데시케이터 등을 들 수 있다.Although there is no particular limitation on the range of the plastic base material 10, it is preferable that the physical and chemical experiment apparatus that can fully utilize the chemical resistance, corrosion resistance, heat resistance and water resistance of the parylene polymer layer 30. Examples of the physicochemical laboratory apparatus include beakers, flasks, measuring cylinders, sample bottles, funnels, spoons, tweezers, pipettes, droppers, burettes, chalets, test tubes, vials, desiccators and the like.

플라스틱 기재(10)는 바람직하게 열가소성 수지로 이루어진다. 상기 열가소성 수지로는 폴리염화비닐(polyvinyl chloride, PVC) 수지, 폴리스티렌(polystyrene, PS) 수지, 폴리에틸렌(polyethylene, PE) 수지, 폴리프로필렌(polypropylene, PP) 수지, 폴리(메타)아크릴레이트(poly(meth)acrylate) 수지, ABS 수지 등을 사용할 수 있으며, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다. 이 중에서 상기 열가소성 수지는 폴리에틸렌 수지, 폴리프로필렌 수지 또는 이들의 혼합물인 것이 바람직하다.The plastic substrate 10 is preferably made of thermoplastic resin. The thermoplastic resin may be a polyvinyl chloride (PVC) resin, a polystyrene (PS) resin, a polyethylene (PE) resin, a polypropylene (PP) resin, a poly (meth) acrylate (poly ( meth) acrylate) resin, ABS resin, etc. may be used, but is not necessarily limited thereto. Among these, the thermoplastic resin is preferably a polyethylene resin, a polypropylene resin, or a mixture thereof.

상기 열가소성 수지로 플라스틱 기재(10)를 성형하는 방법에는 특별한 제한이 없으며, 예를 들어, 압출성형, 사출성형, 중공성형, 진공성형 등이 모두 적용될 수 있으며, 이는 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 용이하게 실시될 수 있다.There is no particular limitation on the method of molding the plastic substrate 10 with the thermoplastic resin, and for example, extrusion molding, injection molding, blow molding, vacuum molding, etc. may all be applied, which is common in the field of the present invention. It can be easily carried out by a person of knowledge.

프라이머 코팅층(20)은 에폭시 수지, (메타)아크릴계 단량체, 경화제 및 유기용매를 포함하는 프라이머 조성물을 플라스틱 기재(10)의 표면상에 코팅하여 형성한다.The primer coating layer 20 is formed by coating a primer composition including an epoxy resin, a (meth) acrylic monomer, a curing agent, and an organic solvent on the surface of the plastic substrate 10.

상기 에폭시 수지로는 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 노볼락 에폭시 수지, 페녹시 수지 또는 이들의 혼합물을 사용할 수 있다. 상기 에폭시 수지는 상기 프라이머 조성물이 분무 코팅될 수 있도록, 25 ℃에서의 점도가 약 10,000∼100,000 cps이거나, 연화점이 약 상온∼100 ℃인 것이 바람직하다.As the epoxy resin, a bisphenol A type epoxy resin, a bisphenol F type epoxy resin, a novolak epoxy resin, a phenoxy resin, or a mixture thereof may be used. The epoxy resin may have a viscosity at 25 ° C. of about 10,000 to 100,000 cps or a softening point of about room temperature to 100 ° C. so that the primer composition may be spray coated.

상기 에폭시 수지의 함량은 상기 프라이머 조성물 총 중량의 20 내지 60 중량%인 것이 바람직하다. 상기 에폭시 수지의 함량이 20 중량% 미만이거나, 60 중량%를 초과하면 프라이머 코팅층(20)의 접착력이 저하되어, 플라스틱 기재(10)와 파릴렌 중합체층(30)의 밀착성이 떨어질 수 있으므로 바람직하지 않다.The content of the epoxy resin is preferably 20 to 60% by weight of the total weight of the primer composition. When the content of the epoxy resin is less than 20% by weight or more than 60% by weight, the adhesion of the primer coating layer 20 is lowered, and thus the adhesion between the plastic substrate 10 and the parylene polymer layer 30 may be deteriorated. not.

상기 (메타)아크릴계 단량체로는 에폭시기를 갖는 (메타)아크릴계 단량체를 사용하는 것이 바람직하다. 상기 에폭시기를 갖는 (메타)아크릴계 단량체에서 에폭 시기는 에폭시 개환 반응에 의해 프라이머 코팅층(20)의 형성에 참여할 수 있고, (메타)아크릴레이트기는 파릴렌 중합체층(30)에 대한 접착력을 향상시키는 역할을 할 수 있다.It is preferable to use the (meth) acrylic-type monomer which has an epoxy group as said (meth) acrylic-type monomer. Epoxy phase in the (meth) acrylic monomer having the epoxy group may participate in the formation of the primer coating layer 20 by the epoxy ring-opening reaction, the (meth) acrylate group serves to improve the adhesion to the parylene polymer layer 30 can do.

상기 에폭시기를 갖는 (메타)아크릴계 단량체의 예로는 글리시딜 아크릴레이트, 글리시딜 메타크릴레이트, 3,4-에폭시부틸 아크릴레이트, 3,4-에폭시부틸 메타크릴레이트, 6,7-에폭시헵틸 아크릴레이트, 6,7-에폭시헵틸 메타크릴레이트 또는 이들의 혼합물이 있으며, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.Examples of the (meth) acrylic monomer having the epoxy group include glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, 3,4-epoxybutyl acrylate, 3,4-epoxybutyl methacrylate, 6,7-epoxyheptyl Acrylate, 6,7-epoxyheptyl methacrylate or mixtures thereof, but is not necessarily limited thereto.

상기 (메타)아크릴계 단량체는 조성물의 전체 중량 중 2 내지 20 중량%로 포함되는 것이 바람직하다. 상기 (메타)아크릴계 단량체의 함량이 2 중량% 미만이면 (메타)아크릴레이트기에 의한 접착력 증대 효과를 얻기 어렵고, 20 중량%를 초과하면 프라이머 조성물의 도막성이 저하될 수 있어 바람직하지 않다.The (meth) acrylic monomer is preferably included in 2 to 20% by weight of the total weight of the composition. When the content of the (meth) acrylic monomer is less than 2% by weight, it is difficult to obtain an effect of increasing the adhesion by the (meth) acrylate group, and when the amount of the (meth) acrylic monomer is more than 20% by weight, the coating property of the primer composition may be lowered, which is not preferable.

상기 경화제로는 알킬페놀, 다가의 폴리아민, 포름알데히드, 디에틸톨루엔디아민, 메틸에틸케톤 퍼옥사이드, 벤조일 퍼옥사이드, t-부틸 하이드록시 퍼옥사이드, 큐멘 하이드록시 퍼옥사이드, 라우릴 퍼옥사이드, 아세틸 퍼옥사이드 또는 이들의 혼합물을 사용할 수 있으며, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 경화제는 조성물 총 중량의 0.1 내지 5 중량%로 포함되는 것이 바람직하다.Examples of the curing agent include alkylphenols, polyvalent polyamines, formaldehyde, diethyltoluenediamine, methylethylketone peroxide, benzoyl peroxide, t-butyl hydroxy peroxide, cumene hydroxy peroxide, lauryl peroxide, and acetyl peroxide. Oxides or mixtures thereof may be used, but are not necessarily limited thereto. The curing agent is preferably included in 0.1 to 5% by weight of the total weight of the composition.

상기 유기용매로는 상기 에폭시 수지 및 (메타)아크릴계 단량체와 상용성이 좋은 용매를 사용하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 아세톤, 메틸에틸케톤, 메틸 이소부틸 케톤, 사이클로헥사논, 톨루엔, 크실렌, 에틸 아세테이트, 부틸 아세테이트, 셀로솔브, 셀로솔브 아세테이트, 메틸셀로솔브, 에틸셀로솔브 또는 부틸셀로솔 브를 사용하는 것이 바람직하다. 이들은 단독으로 또는 2종 이상 혼합하여 사용될 수 있다.It is preferable to use a solvent having good compatibility with the epoxy resin and the (meth) acrylic monomer as the organic solvent. For example, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, toluene, xylene, ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve, cellosolve acetate, methyl cellosolve, ethyl cellosolve or butyl cellosol It is preferable to use a bro. These can be used individually or in mixture of 2 or more types.

상기 프라이머 조성물은 실란계 화합물에 비해 플라스틱과 파릴렌 중합체에 대한 접착력이 우수하여 파릴렌 중합체층(30)을 플라스틱 기재(10)의 표면에 강하게 접착시킬 수 있다. 또한 상기 프라이머 조성물은 분무 코팅이 가능하고, 약 20∼80℃, 바람직하게 약 60∼80℃의 비교적 저온에서 경화되기 때문에 작업성이 우수하다.The primer composition has superior adhesion to plastic and parylene polymers compared to the silane-based compound, so that the parylene polymer layer 30 can be strongly adhered to the surface of the plastic substrate 10. The primer composition is also excellent in workability because it can be spray coated and cured at a relatively low temperature of about 20 to 80 ° C., preferably about 60 to 80 ° C.

파릴렌 중합체층(30)은 화학 기상 증착(chemical vapor deposition, CVD)법에 의해 형성된다. 도 2는 파릴렌 중합체층를 형성하는 방법을 설명하기 위한 도면이다.The parylene polymer layer 30 is formed by chemical vapor deposition (CVD). 2 is a view for explaining a method of forming a parylene polymer layer.

도 2를 참조하면, 먼저, 파릴렌 중합체층를 제조하기 위한 출발물질로서 분말 또는 과립형태로 존재하는 파릴렌 이량체(dimer), 디-파라-크실릴렌(di-para-xylylene)을 약 120∼180 ℃의 증발기 내에서 기체상으로 승화시킨다. 승화된 이량체 기체를 약 650∼700 ℃로 유지되는 열분해기로 공급하고, 열분해기 내에서 파릴렌 단량체(monomer), 파라-크실릴렌(para-xylylene)으로 열분해한다. 이어서 기상의 파릴렌 단량체를 약 상온으로 유지되는 증착챔버로 유입하여 증착챔버 내에 위치하는 피증착물 상에 응축시킴으로써 피증착물의 표면에 파릴렌 중합체층을 형성하게 된다.Referring to FIG. 2, first, about 120 of parylene dimer and di-para-xylylene present in powder or granule form as starting materials for preparing the parylene polymer layer. Sublimate to gas phase in an evaporator at ˜180 ° C. Sublimed dimer gas is fed to a pyrolyzer maintained at about 650-700 ° C. and pyrolyzed into parylene monomers, para-xylylene in the pyrolyzer. Subsequently, the gaseous parylene monomer is introduced into the deposition chamber maintained at about room temperature and condensed on the deposits positioned in the deposition chamber to form a parylene polymer layer on the surface of the deposit.

도 2에서 n은 반복 단위의 수를 나타내며, 1을 초과한다. 도 2는 염소원자를 갖지 않는 파릴렌 N의 예를 도시한 것이지만, 본 발명에서 파릴렌 중합체층으로는 파릴렌 N, 방향족 고리의 수소원자 1개가 염소원자 1개로 치환된 파릴렌 C 및 방향족 고리의 수소원자 2개가 염소원자 2개로 치환된 파릴렌 D 중 어느 것이라도 사용할 수 있다.In FIG. 2, n represents the number of repeating units and exceeds one. FIG. 2 illustrates an example of parylene N having no chlorine atom, but in the present invention, parylene N, parylene C in which one hydrogen atom of an aromatic ring is substituted with one chlorine atom, and an aromatic ring in the parylene polymer layer Any of parylene D in which two hydrogen atoms of are substituted with two chlorine atoms can be used.

이와 같이, 증발, 열분해 및 증착 과정을 통해 형성된 파릴렌 중합체층은 프라이머 코팅층(20)에 의해 플라스틱 기재(10)에 강하게 접착됨으로써 벗겨질 염려가 없으며, 플라스틱 성형품에 우수한 내화학성, 내식성, 내열성 및 방수성을 부여하게 된다.In this way, the parylene polymer layer formed through the evaporation, pyrolysis and deposition process is strongly adhered to the plastic substrate 10 by the primer coating layer 20, so that there is no fear of peeling, and excellent chemical resistance, corrosion resistance, heat resistance and It gives waterproofness.

한편, 본 발명의 다른 구체예에 따른 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품은 파릴렌 중합체층(30)과 플라스틱 기재(10) 사이의 접착력을 향상시키기 위하여, 상술한 프라이머 코팅층(20) 대신 플라즈마 에칭에 의해 표면 개질된 투명 도전층(40)을 포함할 수 있다.On the other hand, the plastic molded article formed with the parylene polymer layer according to another embodiment of the present invention, in order to improve the adhesion between the parylene polymer layer 30 and the plastic substrate 10, plasma etching instead of the above-described primer coating layer 20 It may include a transparent conductive layer 40 surface-modified by.

도 3은 본 발명의 다른 구체예에 따른 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품의 부분 단면도이다. 도 3을 참조하면, 본 발명의 다른 구체예에 따른 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품은 플라스틱 기재(10), 플라스틱 기재(10)의 표면상에 형성되고, 플라즈마 에칭에 의해 표면 개질된 투명 도전층(40) 및 투명 도전층(40) 상에 형성된 파릴렌 중합체층(30)을 포함한다. 플라스틱 기재(10)와 파릴렌 중합체층(30)에 관한 자세한 내용은 상술한 바와 동일하다.3 is a partial cross-sectional view of a plastic molded article formed with a parylene polymer layer according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 3, the plastic molded article having the parylene polymer layer according to another embodiment of the present invention is formed on the surface of the plastic substrate 10 and the plastic substrate 10, and the surface-modified transparent conductive material by plasma etching. And a parylene polymer layer 30 formed on the layer 40 and the transparent conductive layer 40. Details of the plastic substrate 10 and the parylene polymer layer 30 are the same as described above.

투명 도전층(40)은 ITO(indium tin oxide), TiO2 또는 ZnO로 이루어지며, 진공증착법을 사용하여 플라스틱 기재(10)의 표면상에 ITO, TiO2 또는 ZnO을 증착함으 로써 형성된다. 상기 진공증착법에는 열증착법, 전자빔 증착법, 스퍼터링법 등이 있다.The transparent conductive layer 40 is made of indium tin oxide (ITO), TiO 2 or ZnO, and is formed by depositing ITO, TiO 2 or ZnO on the surface of the plastic substrate 10 using a vacuum deposition method. The vacuum deposition method includes a thermal deposition method, an electron beam deposition method, a sputtering method and the like.

투명 도전층(40)을 표면 개질시키는 플라즈마 에칭은 RIE(Reactive Ion Etching) 타입의 건식식각 장치에 의해 수행된다. 상기 RIE 타입의 건식식각 장치는 CF3, Cl2, Ar, O2 또는 이들의 혼합물로 이루어진 반응가스를 이용한다.Plasma etching for surface modification of the transparent conductive layer 40 is performed by a dry etching apparatus of the reactive ion etching (RIE) type. The dry etching apparatus of the RIE type uses a reaction gas consisting of CF 3 , Cl 2 , Ar, O 2 or a mixture thereof.

투명 도전층(10)은 도전성을 갖기 때문에 플라즈마 상태로 전환된 반응가스가 투명 도전층(10)에 집중될 수 있도록 유도할 수다. Since the transparent conductive layer 10 is conductive, the reaction gas converted into a plasma state can be induced to be concentrated in the transparent conductive layer 10.

투명 도전층(40)이 플라즈마 에칭 처리되면 표면이 거칠어지고, 물리, 화학적으로 개질되다. 그리고 이렇게 표면 개질된 투명 도전층(40)은 파릴렌 중합체층(30)이 강하게 접착될 수 있는 거친 표면을 제공하며, 파릴렌 단량체, 파릴렌 중합체 또는 이들 모두와 반응하여 파릴렌 중합체층(30)에 증가된 부착력을 부여한다. 이 결과, 투명 도전층(40)은 프라이머 코팅층(20)처럼 파릴렌 중합체층(30)의 접착력을 증가시켜 플라스틱 기재(10)로부터 파릴렌 중합체층(30)이 벗겨지는 것을 방지한다.When the transparent conductive layer 40 is plasma etched, the surface is roughened and physically and chemically modified. The surface modified transparent conductive layer 40 provides a rough surface to which the parylene polymer layer 30 can be strongly adhered, and reacts with a parylene monomer, a parylene polymer, or both. ) Gives increased adhesion. As a result, the transparent conductive layer 40 increases the adhesion of the parylene polymer layer 30 like the primer coating layer 20 to prevent the parylene polymer layer 30 from being peeled off from the plastic substrate 10.

파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품의 제조방법Method for producing plastic molded article having a parylene polymer layer

본 발명의 하나의 구체예에 따른 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품의 제조방법은 열가소성 수지로 이루어진 플라스틱 기재(10)를 알코올 및 물을 사용하여 세척하는 단계, 세척된 플라스틱 기재(10)의 표면상에 프라이머 조성물을 코팅하여 프라이머 코팅층(20)을 형성하는 단계 및 기상의 파릴렌 단량체를 프라이머 코팅층(20) 상에 응축시켜 파릴렌 중합체층(30)을 형성하는 단계를 포함한다. 플라스틱 기재(10), 프라이머 조성물, 프라이머 코팅층(20) 및 파릴렌 중합체층(30)에 관한 자세한 내용은 상술한 바와 같으며, 중복을 피하기 위하여 생략한다.Method for producing a plastic molded article formed with a parylene polymer layer according to an embodiment of the present invention comprises the steps of washing the plastic substrate 10 made of a thermoplastic resin using alcohol and water, the surface of the washed plastic substrate 10 Coating the primer composition onto the primer coating layer 20 and condensing the gaseous parylene monomer on the primer coating layer 20 to form the parylene polymer layer 30. Details of the plastic substrate 10, the primer composition, the primer coating layer 20 and the parylene polymer layer 30 are as described above, and will be omitted to avoid duplication.

플라스틱 기재(10)를 세척하는 단계는 다음과 같이 이루어진다. 먼저, 플라스틱 기재(10)의 표면에 부착된 유분과 이물질을 제거하기 위하여, 플라스틱 기재(10)를 알코올을 사용하여 초음파 세척한다. 이때 상기 알코올은 이소프로필알코올 및 메탄올의 혼합물인 것이 바람직하며, 상기 초음파 세척은 약 1∼5분 동안 수행되는 것이 바람직하다.The cleaning of the plastic substrate 10 is performed as follows. First, in order to remove the oil and foreign matter adhering to the surface of the plastic substrate 10, the plastic substrate 10 is ultrasonically cleaned using alcohol. In this case, the alcohol is preferably a mixture of isopropyl alcohol and methanol, and the ultrasonic cleaning is preferably performed for about 1 to 5 minutes.

이후, 초음파 세척된 플라스틱 기재(10)를 증류수에 담그거나, 증류수를 분사하여 플라스틱 기재(10)를 다시 세척한 후, 오븐이나 건조기를 사용하여 완전히 건조시킨다.Thereafter, the ultrasonically cleaned plastic substrate 10 is immersed in distilled water or the distilled water is sprayed to wash the plastic substrate 10 again, and then completely dried using an oven or a dryer.

상기 세척 단계를 거친 플라스틱 기재(10)의 표면상에 프라이머 조성물을 코팅하는 방법으로는 딥 코팅, 플로우 코팅, 스핀 코팅, 분무 코팅 등의 방법을 이용할 수 있으며, 이 중에서 분무 코팅법을 사용하는 것이 바람직하다.As a method of coating the primer composition on the surface of the plastic substrate 10 subjected to the washing step, dip coating, flow coating, spin coating, spray coating, or the like may be used, and among these, spray coating may be used. desirable.

구체적으로, 세척된 플라스틱 기재(10)의 표면에 상기 프라이머 조성물을 분사하여 상기 프라이머 조성물을 도포한 후, 약 4∼5분 동안 정치시킨다. 이때, 분사 압력은 약 4∼5 kgf/㎠인 것이 바람직하며, 도포 회수는 약 2∼4회인 것이 바람직하다.Specifically, after spraying the primer composition on the surface of the washed plastic substrate 10 to apply the primer composition, it is allowed to stand for about 4 to 5 minutes. At this time, the injection pressure is preferably about 4 to 5 kgf / cm 2, and the number of application is preferably about 2 to 4 times.

이어서, 도포된 프라이머 조성물을 약 20∼80℃, 바람직하게 약 60∼80℃에서 경화시켜 플라스틱 기재(10)의 표면상에 프라이머 코팅층(20)을 형성한다. 상기 프라이머 조성물을 경화시킬 때, 오븐 또는 건조기를 사용할 수 있다.The applied primer composition is then cured at about 20-80 ° C., preferably at about 60-80 ° C. to form the primer coating layer 20 on the surface of the plastic substrate 10. When curing the primer composition, an oven or a dryer can be used.

상기 세척 단계 및 프라이머 코팅층(20) 형성 단계를 통해, 표면상에 프라이머 코팅층(20)이 형성된 플라스틱 기재(10)를 도 2에 도시된 것과 같은 증착챔버에 투입하고, 상술한 화학 기상 증착법을 사용하여 기상의 파릴렌 단량체를 프라이머 코팅층(20) 상에 응축시킴으로써 파릴렌 중합체층(30)을 형성한다.Through the washing step and the primer coating layer 20 forming step, the plastic substrate 10 having the primer coating layer 20 formed thereon is put into a deposition chamber as shown in FIG. 2, and the above-described chemical vapor deposition method is used. By condensing the gaseous parylene monomer on the primer coating layer 20 to form the parylene polymer layer 30.

본 발명의 다른 구체예에 따른, 플라스틱 성형품의 제조방법은 열가소성 수지로 이루어진 플라스틱 기재(10)를 알코올 및 물을 사용하여 세척하는 단계, 진공증착법을 사용하여 플라스틱 기재(10)의 표면상에 투명 도전층(40)을 형성하는 단계, RIE 타입의 건식식각 장치를 사용하여 상기 투명 도전층(40)을 플라즈마 에칭하여 투명 도전층(40)의 표면을 개질하는 단계, 및 기상의 파릴렌 단량체를 표면 개질된 투명 도전층(40) 상에 응축시켜 파릴렌 중합체층(30)을 형성하는 단계를 포함한다. According to another embodiment of the present invention, a method for manufacturing a plastic molded article includes washing a plastic substrate 10 made of a thermoplastic resin with alcohol and water, and transparent on the surface of the plastic substrate 10 using a vacuum deposition method. Forming a conductive layer 40, plasma etching the transparent conductive layer 40 using a dry etching apparatus of a RIE type, and modifying the surface of the transparent conductive layer 40; Condensing on the surface modified transparent conductive layer 40 to form the parylene polymer layer 30.

플라스틱 기재(10)를 세척하는 단계와 파릴렌 중합체층(30)을 형성하는 단계는 상술한 바와 같으며, 이하에서는 투명 도전층(40)을 형성하는 단계 및 투명 도전층(40)의 표면을 개질하는 단계에 대하여 설명한다.The steps of washing the plastic substrate 10 and forming the parylene polymer layer 30 are as described above. Hereinafter, the steps of forming the transparent conductive layer 40 and the surface of the transparent conductive layer 40 are performed. The modification step will be described.

세척 단계를 통해 세척된 플라스틱 기재(10)를 진공증착법을 수행할 수 있는 증착챔버 내에 투입하고, 세척된 플라스틱 기재(10)의 표면상에 금속산화물을 증착 하여 투명 도전층(40)을 형성한다. 바람직하게, 상기 금속 산화물로는 ITO, TiO2 또는 ZnO을 사용한다. 투명 도전층(40)을 형성하기 위해 사용되는 진공증착법에는 열증착법, 전자빔 증착법, 스퍼터링법 등이 있다. 상기 진공증착 공정이 수행되는 증착챔버의 내부압력은 약 0.1∼10 mTorr인 것이 바람직하다. 상기 증착챔버 및 진공증착법은 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 용이하게 실시될 수 있다.The plastic substrate 10 washed through the washing step is placed in a deposition chamber capable of performing a vacuum deposition method, and a metal oxide is deposited on the surface of the cleaned plastic substrate 10 to form a transparent conductive layer 40. . Preferably, the metal oxide is ITO, TiO 2 or ZnO. Vacuum deposition methods used to form the transparent conductive layer 40 include thermal deposition, electron beam deposition, sputtering, and the like. The internal pressure of the deposition chamber in which the vacuum deposition process is performed is preferably about 0.1 to 10 mTorr. The deposition chamber and vacuum deposition method can be easily carried out by those skilled in the art.

상기와 같이, 상기 금속 산화물을 플라스틱 기재(10)의 표면상에 증착하여 투명 도전층(40)을 형성한 후에는, 반응가스를 이용하는 RIE(Reactive Ion Etching) 타입의 건식식각 장치를 사용하여 투명 도전층(40)을 플라즈마 에칭함으로써 투명 도전층(40)의 표면을 개질시킨다.As described above, after the metal oxide is deposited on the surface of the plastic substrate 10 to form the transparent conductive layer 40, the transparent oxide layer is transparent using a reactive ion etching (RIE) type dry etching apparatus using a reaction gas. The surface of the transparent conductive layer 40 is modified by plasma etching the conductive layer 40.

도 4는 본 발명의 구체예에 사용되는 RIE 타입의 건식식각 장치를 도시한 단면도이다. 도 4를 참조하면, RIE 타입의 건식식각 장치(50)는 반응가스를 플라즈마 상태로 전환시켜 피식각물을 에칭할 수 공정챔버(51)를 구비한다. 공정챔버(51) 내부에는 소정의 간격으로 이격된 상부전극(52) 및 하부전극(53)이 구비되고, 상부전극(52)은 접지되어 있으며, 하부전극(53)은 전원(54)과 연결된다.Figure 4 is a cross-sectional view showing a dry etching apparatus of the RIE type used in the embodiment of the present invention. Referring to FIG. 4, the RIE type dry etching apparatus 50 includes a process chamber 51 capable of converting a reaction gas into a plasma state to etch an etchant. An upper electrode 52 and a lower electrode 53 spaced at predetermined intervals are provided in the process chamber 51, the upper electrode 52 is grounded, and the lower electrode 53 is connected to the power source 54. do.

또한, RIE 타입의 건식식각 장치(50)는 반응가스를 공정챔버(51)로 공급하는 반응가스 공급원(55)을 구비하여, 반응가스 공급원(55)은 공급 파이프(56)를 통해 공정챔버(51)와 연결된다. 그리고 공정챔버(51)에는 진공펌프(57)와 연결된 진공 파이프(58)가 형성되어 있다.In addition, the dry etching apparatus 50 of the RIE type has a reaction gas supply source 55 for supplying the reaction gas to the process chamber 51, so that the reaction gas supply source 55 is connected to the process chamber through the supply pipe 56. 51). In the process chamber 51, a vacuum pipe 58 connected to the vacuum pump 57 is formed.

투명 도전층(40)의 표면을 개질하는 방법은 다음과 같다. 먼저, 투명 도전층(40)이 형성된 플라스틱 기재(10)를 공정챔버(51)의 하부전극(53) 위에 위치시킨다. 그리고 진공펌프(57)를 작동시켜 공정챔버(51)의 내부압력을 약 0.1∼30 mTorr로 조절한다.The method of modifying the surface of the transparent conductive layer 40 is as follows. First, the plastic substrate 10 having the transparent conductive layer 40 formed thereon is positioned on the lower electrode 53 of the process chamber 51. The vacuum pump 57 is operated to adjust the internal pressure of the process chamber 51 to about 0.1 to 30 mTorr.

이어서, 진공 파이프(58)를 통해 CF3, Cl2, Ar, O2 또는 이들의 혼합물로 이루어진 반응가스를 공정챔버(51) 내로 공급한다. 이후, 전원(54)을 가동하여 하부전극(53)에 약 100∼500 W의 RF전력을 인가하여 상부전극(52)과 하부전극(53) 사이에 전기장을 형성함으로써 반응가스를 플라즈마 상태로 전환시킨다.Subsequently, a reaction gas made of CF 3 , Cl 2 , Ar, O 2, or a mixture thereof is supplied into the process chamber 51 through the vacuum pipe 58. Thereafter, the power source 54 is operated to apply RF power of about 100 to 500 W to the lower electrode 53 to form an electric field between the upper electrode 52 and the lower electrode 53 to convert the reaction gas into a plasma state. Let's do it.

플라즈마 상태로 전환된 반응가스는 플라스틱 기재(10)의 표면상에 형성된 투명 도전층(40)에 입사되어 투명 도전층(40)을 약하게 에칭함으로써 투명 도전층(40)의 표면을 거칠게 하고, 개질시킨다.The reaction gas converted to the plasma state is incident on the transparent conductive layer 40 formed on the surface of the plastic substrate 10 to roughly etch the transparent conductive layer 40 to roughen the surface of the transparent conductive layer 40, and to modify it. Let's do it.

본 발명의 구체예에 따른 플라스틱 성형품은 파릴렌 중합체층에 의해 보호되므로 내화학성, 내식성, 내열성 및 방수성이 우수하여, 유기용매, 산 또는 알칼리에 노출되는 플라스틱 이화학 실험기구로서 널리 활용될 수 있다. 또한 상기 플라스틱 성형품은 플라스틱 기재에 대한 파릴렌 중합체층의 접착성을 향상시키는 프라이머 코팅층 또는 플라즈마 에칭에 의해 표면 개질된 투명 도전층을 구비하므로, 플라스틱 기재로부터 파릴렌 중합체층이 벗겨지는 것을 방지할 수 있다.Since the plastic molded article according to the embodiment of the present invention is protected by the parylene polymer layer, it is excellent in chemical resistance, corrosion resistance, heat resistance, and water resistance, and thus can be widely used as a plastic physicochemical test apparatus exposed to an organic solvent, an acid, or an alkali. In addition, the plastic molded article includes a primer coating layer or a transparent conductive layer surface-modified by plasma etching to improve the adhesion of the parylene polymer layer to the plastic substrate, thereby preventing the parylene polymer layer from being peeled off from the plastic substrate. have.

본 발명은 하기의 실시예에 의하여 보다 더 잘 이해될 수 있으며, 하기의 실 시예는 본 발명의 예시 목적을 위한 것이고 첨부된 특허청구범위에 의하여 한정되는 보호범위를 제한하고자 하는 것은 아니다.The invention may be better understood by the following examples, which are intended for purposes of illustration of the invention and are not intended to limit the scope of protection defined by the appended claims.

실시예 1Example 1

폴리에틸렌 수지를 사출성형하여 비커 형상의 플라스틱 기재를 마련하고, 상기 플라스틱 기재를 이소프로필알코올과 메탄올을 1:1의 부피비로 혼합한 알코올 혼합액에 담그고 약 3분 동안 초음파 세척하였다. 이어서 상기 플라스틱 기재를 증류수에 담가 세척한 후 오븐에서 완전히 건조하였다.The polyethylene resin was injection molded to prepare a beaker-shaped plastic substrate, and the plastic substrate was immersed in an alcohol mixture mixed with isopropyl alcohol and methanol in a volume ratio of 1: 1 and ultrasonically cleaned for about 3 minutes. Subsequently, the plastic substrate was immersed in distilled water, washed, and then completely dried in an oven.

비스페놀 A형 에폭시 수지(YD-017, 국도화학) 40 중량%, 글리시딜 메타크릴레이트 10 중량%, 벤조일 퍼옥사이드 3 중량%, 메틸에틸케톤 35 중량% 및 톨루엔 12 중량%를 혼합하여 프라이머 조성물을 제조하고, 이를 약 4.5 kgf/㎠의 압력으로 상기 세척된 플라스틱 기재에 분무한 후 약 5분 동안 정치시켰다.Primer composition by mixing 40% by weight of bisphenol A epoxy resin (YD-017, Kukdo Chemical), 10% by weight of glycidyl methacrylate, 3% by weight of benzoyl peroxide, 35% by weight of methyl ethyl ketone and 12% by weight of toluene Was prepared and sprayed onto the washed plastic substrate at a pressure of about 4.5 kgf / cm 2 and then left for about 5 minutes.

이어서, 약 70℃로 유지되는 오븐에 상기 프라이머 조성물이 도포된 플라스틱 기재를 넣고 약 50분간 경화시켜서, 프라이머 코팅층이 형성된 플라스틱 기재를 제조하였다.Subsequently, the plastic substrate coated with the primer composition was placed in an oven maintained at about 70 ° C. and cured for about 50 minutes to prepare a plastic substrate on which a primer coating layer was formed.

상기 프라이머 코팅층이 형성된 플라스틱 기재를 도 2에 도시된 것과 같은 파릴렌 중합체 코팅장치의 증착챔버 내에 투입하고 파릴렌 단량체 가스를 증착하여 상기 프라이머 코팅층 상에 파릴렌 중합체층을 형성하여 시편을 제조하였다.The plastic substrate on which the primer coating layer was formed was introduced into a deposition chamber of a parylene polymer coating apparatus as shown in FIG. 2, and parylene monomer gas was deposited to form a parylene polymer layer on the primer coating layer to prepare a specimen.

실시예 2Example 2

상기 실시예 1에서 마련한 세척된 플라스틱 기재를 스퍼터링 증착챔버에 투입하고, 상기 플라스틱 기재의 표면상에 ITO를 증착하여 ITO층을 형성하였다.The washed plastic substrate prepared in Example 1 was placed in a sputtering deposition chamber, and ITO was deposited on the surface of the plastic substrate to form an ITO layer.

상기 투명한 ITO층이 형성된 플라스틱 기재를 도 4에 도시된 것과 같은 RIE 타입의 건식식각 장치의 공정챔버 내에 투입하고, 플라즈마 에칭하여 상기 ITO층의 표면을 개질시켰다. 이때, 공정챔버의 내부압력은 약 3 mTorr이었고, 반응가스로는 CF3 가스를 사용했으며, RF 전력은 약 300 W였다.The plastic substrate on which the transparent ITO layer was formed was introduced into a process chamber of a dry etching apparatus of the RIE type as shown in FIG. 4 and plasma-etched to modify the surface of the ITO layer. At this time, the internal pressure of the process chamber was about 3 mTorr, CF 3 gas was used as the reaction gas, RF power was about 300 W.

이어서, 실시예 1과 같이 표면 개질된 ITO층상에 파릴렌 중합체층을 형성하여 시편을 제조하였다.Subsequently, a parylene polymer layer was formed on the surface-modified ITO layer as in Example 1 to prepare a specimen.

비교실시예 1Comparative Example 1

상기 실시예 1에서 마련한 플라스틱 기재를 아무런 처리도 하지 않고, 파릴렌 중합체 코팅장치의 증착챔버 내에 투입하여 플라스틱 기재의 표면상에 직접 파릴렌 중합체층을 형성함으로써 시편을 제조하였다.The specimen was prepared by injecting the plastic substrate prepared in Example 1 into the deposition chamber of the parylene polymer coating apparatus and forming a parylene polymer layer directly on the surface of the plastic substrate without any treatment.

비교실시예 2Comparative Example 2

상기 실시예 1에서 마련한 플라스틱 기재를 세척하지 않고, 자일렌 97 중량%와 트리클로로비닐실란 3 중량%의 혼합용액에 담갔다가 빼내어 건조시켰다. 상기 혼합용액으로 처리한 플라스틱 기재를 파릴렌 중합체 코팅장치의 증착챔버 내에 투입하여 파릴렌 중합체층을 형성하여 시편을 제조하였다.The plastic substrate prepared in Example 1 was not washed, but was immersed in a mixed solution of 97% by weight of xylene and 3% by weight of trichlorovinylsilane, followed by drying out. The plastic substrate treated with the mixed solution was introduced into a deposition chamber of a parylene polymer coating apparatus to form a parylene polymer layer to prepare a specimen.

상기 실시예 1∼2 및 비교실시예 1∼2에 의해 제조된 시편에 대하여 파릴렌 중합체층의 접착력을 평가하였다. 상기 접착력 평가는 접착력 테스트용 테이프를 사용하여 ASTM D3359의 시험법 B 규정에 따라 실시하였고, 접착력 테스트용 테이프에 의해 박리된 면의 개수를 하기 표 1에 나타내었다.The adhesion of the parylene polymer layer was evaluated for the specimens prepared in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2. The adhesion evaluation was performed in accordance with Test Method B of ASTM D3359 using the adhesive test tape, the number of the surfaces peeled off by the adhesive test tape is shown in Table 1 below.

Figure 112008048436355-PAT00001
Figure 112008048436355-PAT00001

상기 표 1에 나타난 바와 같이, 프라이머 코팅층을 구비하는 실시예 1과 플라즈마 에칭에 의해 표면 개질된 ITO층을 구비하는 실시예 2는, 아무런 처리도 하지 않은 비교실시예 1은 물론 실란계 화합물로 처리된 비교실시예 2에 비해, 파릴렌 중합체층의 접착력이 매우 우수한 것을 알 수 있었다.As shown in Table 1, Example 1 having a primer coating layer and Example 2 having an ITO layer surface-modified by plasma etching were treated with a silane-based compound as well as Comparative Example 1 without any treatment. Compared with Comparative Example 2, it was found that the adhesion of the parylene polymer layer is very excellent.

본 발명은 플라스틱 기재와 파릴렌 중합체층 사이에 플라스틱 기재에 대한 파릴렌 중합체층의 접착력을 향상시키는 프라이머 코팅층 또는 플라즈마 에칭에 의해 표면 개질된 투명 도전층을 구비함으로써 파릴렌 중합체층이 박리되는 것을 방지하며, 내화학성, 내식각성, 내열성 및 방수성이 우수한 플라스틱 성형품 및 그 제조방법을 제공하는 효과를 갖는다.The present invention prevents the parylene polymer layer from peeling by providing a primer coating layer or a transparent conductive layer surface-modified by plasma etching to improve the adhesion of the parylene polymer layer to the plastic substrate between the plastic substrate and the parylene polymer layer. And, it has the effect of providing a plastic molded article excellent in chemical resistance, etching resistance, heat resistance and waterproof and a method of manufacturing the same.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 실시될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.Simple modifications or changes of the present invention can be easily carried out by those skilled in the art, and all such modifications or changes can be seen to be included in the scope of the present invention.

Claims (15)

열가소성 수지로 이루어진 플라스틱 기재(substrate)(10);A plastic substrate 10 made of a thermoplastic resin; 상기 플라스틱 기재의 표면상에 에폭시 수지 및 (메타)아크릴계 단량체를 포함하는 프라이머 조성물이 코팅되어 형성된 프라이머 코팅층(20); 및A primer coating layer 20 formed by coating a primer composition comprising an epoxy resin and a (meth) acrylic monomer on a surface of the plastic substrate; And 상기 프라이머 코팅층 상에 형성된 파릴렌 중합체층(30);A parylene polymer layer 30 formed on the primer coating layer; 을 포함하는 것을 특징으로 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품.Plastic molded article, characterized in that it comprises a parylene polymer layer. 제1항에 있어서, 상기 프라이머 조성물은,The method of claim 1, wherein the primer composition, 상기 에폭시 수지 20 ∼ 60 중량%;20 to 60 wt% of the epoxy resin; 상기 (메타)아크릴계 단량체 2 ∼ 20 중량%;2 to 20 wt% of the (meth) acrylic monomer; 경화제 0.1 ∼ 5 중량%; 및0.1 to 5 wt% of a curing agent; And 여분의 유기용매를 포함하는 것을 특징으로 하는 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품.A plastic molded article formed with a parylene polymer layer, comprising an extra organic solvent. 제1항에 있어서, 상기 (메타)아크릴계 단량체는 에폭시기를 갖는 (메타)아크릴계 단량체이고, 상기 에폭시기를 갖는 (메타)아크릴계 단량체는 글리시딜 아크릴레이트, 글리시딜 메타크릴레이트, 3,4-에폭시부틸 아크릴레이트, 3,4-에폭시부틸 메타크릴레이트, 6,7-에폭시헵틸 아크릴레이트, 6,7-에폭시헵틸 메타크릴레이트 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품.The method of claim 1, wherein the (meth) acrylic monomer is a (meth) acrylic monomer having an epoxy group, and the (meth) acrylic monomer having the epoxy group is glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, 3,4- Parylene polymers selected from the group consisting of epoxybutyl acrylate, 3,4-epoxybutyl methacrylate, 6,7-epoxyheptyl acrylate, 6,7-epoxyheptyl methacrylate and mixtures thereof Layered plastic moldings. 열가소성 수지로 이루어진 플라스틱 기재(10);Plastic substrate 10 made of a thermoplastic resin; 상기 플라스틱 기재의 표면상에 형성되고, 플라즈마 에칭에 의해 표면 개질된 투명 도전층(40); 및A transparent conductive layer 40 formed on the surface of the plastic substrate and surface-modified by plasma etching; And 상기 표면 개질된 투명 도전층 상에 형성된 파릴렌 중합체층(30);A parylene polymer layer 30 formed on the surface modified transparent conductive layer; 을 포함하는 것을 특징으로 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품.Plastic molded article, characterized in that it comprises a parylene polymer layer. 제4항에 있어서, 상기 투명 도전층은 ITO(indium tin oxide), TiO2 또는 ZnO로 이루어지는 것을 특징으로 하는 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품.The plastic molded article according to claim 4, wherein the transparent conductive layer is made of indium tin oxide (ITO), TiO 2 or ZnO. 제4항에 있어서, 상기 플라즈마 에칭은 CF3, Cl2, Ar, O2 또는 이들의 혼합물로 이루어진 반응가스를 이용하는 RIE(Reactive Ion Etching) 타입의 건식식각 장치에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형 품. The method of claim 4, wherein the plasma etching is Paryl characterized in that performed by a dry etching apparatus of the reactive ion etching (RIE) type using a reaction gas consisting of CF 3 , Cl 2 , Ar, O 2 or a mixture thereof. Plastic molded article formed with a styrene polymer layer. 제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 열가소성 수지는 폴리프로필렌(PP) 수지, 폴리에틸렌(PE) 수지 또는 이들의 혼합물인 것을 특징으로 하는 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품.The plastic molded article according to claim 1 or 4, wherein the thermoplastic resin is a polypropylene (PP) resin, a polyethylene (PE) resin or a mixture thereof. 제1항 또는 제4항에 있어서, 상기 플라스틱 기재는 이화학 실험기구이고, 상기 이화학 실험기구는 비커, 플라스크, 메스실린더, 샘플병, 깔때기, 스푼, 핀셋, 피펫, 스포이트, 뷰렛, 샬레, 시험관, 바이알 및 데시케이터로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품.The method of claim 1 or 4, wherein the plastic substrate is a physicochemical apparatus, the physicochemical apparatus is a beaker, flask, measuring cylinder, sample bottle, funnel, spoon, tweezers, pipette, dropper, burette, chalet, test tube, Plastic molded article formed with a parylene polymer layer, characterized in that it is selected from the group consisting of a vial and a desiccator. 열가소성 수지로 이루어진 플라스틱 기재(substrate)(10)를 알코올 및 물을 사용하여 세척하고;Washing the plastic substrate 10 made of thermoplastic resin with alcohol and water; 상기 세척된 플라스틱 기재의 표면상에 에폭시 수지 및 (메타)아크릴계 단량체를 포함하는 프라이머 조성물을 코팅하여 프라이머 코팅층(20)을 형성하고; 그리고Coating a primer composition comprising an epoxy resin and a (meth) acrylic monomer on the surface of the washed plastic substrate to form a primer coating layer 20; And 기상의 파릴렌 단량체를 상기 프라이머 코팅층 상에 응축시켜 파릴렌 중합체 층(30)을 형성하는;Condensing a gaseous parylene monomer on the primer coating layer to form a parylene polymer layer 30; 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품의 제조방법.Method for producing a plastic molded article formed with a parylene polymer layer comprising the step. 제9항에 있어서, 상기 프라이머 코팅층을 형성하는 단계는,The method of claim 9, wherein the forming of the primer coating layer, 상기 세척된 플라스틱 기재의 표면에 상기 에폭시 수지 및 (메타)아크릴계 단량체를 포함하는 프라이머 조성물을 분사하여 도포한 후, 4∼10분 동안 정치하고; 그리고Spraying and applying a primer composition comprising the epoxy resin and the (meth) acrylic monomer onto the surface of the washed plastic substrate, and then standing for 4 to 10 minutes; And 상기 도포된 프라이머 조성물을 20∼80℃에서 경화시키는;Curing the applied primer composition at 20-80 ° C .; 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 파릴렌 중합체층(30)이 형성된 플라스틱 성형품의 제조방법.Method for producing a plastic molded article formed with a parylene polymer layer (30) characterized in that it comprises a step. 열가소성 수지로 이루어진 플라스틱 기재(10)를 알코올 및 물을 사용하여 세척하고;Washing the plastic substrate 10 made of the thermoplastic resin with alcohol and water; 진공증착법을 사용하여 상기 세척된 플라스틱 기재의 표면상에 ITO, TiO2 또는 ZnO를 증착하여 투명 도전층(40)을 형성하고;Depositing ITO, TiO 2 or ZnO on the surface of the cleaned plastic substrate using vacuum deposition to form a transparent conductive layer 40; CF3, Cl2, Ar, O2 또는 이들의 혼합물로 이루어진 반응가스를 이용하는 RIE 타입의 건식식각 장치를 사용하여 상기 투명 도전층을 플라즈마 에칭하여 상기 투명 도전층의 표면을 개질하고; 그리고Modifying the surface of the transparent conductive layer by plasma etching the transparent conductive layer using a dry etching apparatus of a RIE type using a reaction gas composed of CF 3 , Cl 2 , Ar, O 2 or a mixture thereof; And 기상의 파릴렌 단량체를 상기 표면 개질된 투명 도전층 상에 응축시켜 파릴렌 중합체층(30)을 형성하는;Condensing a gaseous parylene monomer on the surface modified transparent conductive layer to form a parylene polymer layer 30; 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품의 제조방법.Method for producing a plastic molded article formed with a parylene polymer layer comprising the step. 제11항에 있어서, 상기 진공증착법은 열증착법, 전자빔 증착법 또는 스퍼터링법인 것을 특징으로 하는 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품의 제조방법.The method of manufacturing a plastic molded article having a parylene polymer layer according to claim 11, wherein the vacuum deposition method is thermal deposition, electron beam deposition, or sputtering. 제11항에 있어서, 상기 투명 도전층의 표면을 개질하는 단계는,The method of claim 11, wherein the modifying the surface of the transparent conductive layer, 상기 투명 도전층이 형성된 플라스틱 기재를 RIE 타입의 건식식각 장치(50)의 공정챔버(51) 내에 투입하고;Inserting the plastic substrate on which the transparent conductive layer is formed into the process chamber (51) of the RIE type dry etching apparatus (50); 상기 공정챔버의 내부압력을 0.1∼30 mTorr로 조절하고;Adjusting the internal pressure of the process chamber to 0.1-30 mTorr; 상기 공정챔버 내에 CF3, Cl2, Ar, O2 또는 이들의 혼합물로 이루어진 반응가스를 공급하고; 그리고Supplying a reaction gas consisting of CF 3 , Cl 2 , Ar, O 2, or a mixture thereof into the process chamber; And 상기 공정챔버의 전극에 100∼500 W의 RF 전력을 인가하여 상기 반응가스를 플라즈마 상태로 전환하는;Converting the reaction gas into a plasma state by applying RF power of 100 to 500 W to an electrode of the process chamber; 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품의 제조방법.Method for producing a plastic molded article formed with a parylene polymer layer comprising the step. 제9항 또는 제11항에 있어서, 상기 세척하는 단계는,The method of claim 9 or 11, wherein the washing step, 상기 열가소성 수지로 이루어진 플라스틱 기재를 이소프로필알코올 및 메탄올의 혼합물을 사용하여 초음파 세척하고; 그리고Ultrasonically cleaning the plastic substrate made of the thermoplastic resin using a mixture of isopropyl alcohol and methanol; And 상기 초음파 세척된 플라스틱 기재를 증류수를 사용하여 세척한 후 건조하는;Washing the ultrasonically cleaned plastic substrate with distilled water and then drying it; 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품의 제조방법.Method for producing a plastic molded article formed with a parylene polymer layer comprising the step. 제9항 또는 제11항에 있어서, 상기 열가소성 수지는 폴리프로필렌(PP) 수지, 폴리에틸렌(PE) 수지 또는 이들의 혼합물인 것을 특징으로 하는 파릴렌 중합체층이 형성된 플라스틱 성형품의 제조방법.The method of claim 9 or 11, wherein the thermoplastic resin is a polypropylene (PP) resin, a polyethylene (PE) resin, or a mixture thereof.
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KR20160039815A (en) * 2014-10-02 2016-04-12 장태순 LED lighting fixture with waterproof and chemical resistance enhanced by chemical vapor deposition coating of para-xylene dimer and coating method thereof
KR20220015005A (en) * 2020-07-30 2022-02-08 연세대학교 산학협력단 Polymer deposition apparatus and polymer deposition method
US11380753B2 (en) 2019-07-09 2022-07-05 Samsung Display Co., Ltd. Display device
KR20220139585A (en) * 2021-04-08 2022-10-17 (주)세경하이테크 Decoration sheet with shadow hidden effect and preparation method thereof

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