KR20090127802A - Discharge lamp apparatus - Google Patents

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KR20090127802A
KR20090127802A KR1020090030279A KR20090030279A KR20090127802A KR 20090127802 A KR20090127802 A KR 20090127802A KR 1020090030279 A KR1020090030279 A KR 1020090030279A KR 20090030279 A KR20090030279 A KR 20090030279A KR 20090127802 A KR20090127802 A KR 20090127802A
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시게요시 마츠모토
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우시오덴키 가부시키가이샤
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Abstract

PURPOSE: A discharge lamp device is provided to distinguish the no-load and the lighting by making the inert gas correspond to the discharge gas. CONSTITUTION: A discharge lamp device includes a detection unit(51), an averaging circuit(53), and a no load detection circuit(5). The detection unit detects the current flowing for the half cycle of the AC voltage. The AC voltage includes the on period of a first switching device and the off period of the second switching device. The averaging circuit averages the detected current. The no load detection circuit includes a comparison circuit(54) comparing the output value of the averaging circuit with the reference value.

Description

방전 램프 장치{DISCHARGE LAMP APPARATUS}Discharge lamp device {DISCHARGE LAMP APPARATUS}

본 발명은, 방전 램프 장치에 관한 것이며, 특히, 방전 램프로서 희가스 형광 램프를 이용한, 액정 디스플레이 패널의 백 라이트 광원이나 조명용 광원 등에 이용되는 방전 램프 장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to a discharge lamp apparatus. Specifically, It is related with the discharge lamp apparatus used for the backlight light source of a liquid crystal display panel, the light source for illumination, etc. using a rare gas fluorescent lamp as a discharge lamp.

종래, 액정 디스플레이 패널의 백 라이트 광원이나 조명용 광원으로서, 냉음극 형광 램프나 열음극 형광 램프가 많이 이용되고 있다. 이러한 램프는, 내부에 미량의 수은이 봉입되어 있고, 방전에 의해 여기(勵起)된 수은으로부터 발생하는 자외선에 의해 형광체를 발광시키는 것이며, 고휘도이고, 또한 효율적인 발광이 얻어지는 점에서 우수하다.Conventionally, a cold cathode fluorescent lamp and a hot cathode fluorescent lamp are used as a backlight light source and a lighting light source of a liquid crystal display panel. Such a lamp is excellent in the point that a small amount of mercury is enclosed inside, and makes a fluorescent substance light by the ultraviolet-ray generate | occur | produced from the mercury excited by discharge, and is high brightness and efficient light emission is obtained.

그러나, 최근, 환경오염의 방지의 관점에서, 수은을 포함하지 않는 새로운 광원이 요구되고 있다. 수은을 포함하지 않는 형광 램프로서는, 유리관의 외면에 띠형상의 복수개의 전극을 설치하고, 이들 전극에, 예를 들면, 트랜스로 승압된 고주파의 고전압을 인가해 점등하는 희가스 형광 램프가 제안되어 있다.However, in recent years, in view of prevention of environmental pollution, a new light source containing no mercury has been required. As a fluorescent lamp which does not contain mercury, a rare gas fluorescent lamp has been proposed in which a plurality of strip-shaped electrodes are provided on the outer surface of a glass tube, and light is applied to these electrodes by applying, for example, a high-voltage high voltage boosted by a transformer. .

그런데, 희가스 형광 램프는, 하등의 사정으로 배선이 빠지거나 발광관의 파손으로 가스 리크가 발생해, 점등을 할 수 없게 되는 것과 같은, 이른바 무부하 상 태가 되는 경우도 상정해 놓지 않으면 안 된다. 무부하 상태가 되면, 회로 중의 기생 용량, 기생 인덕턴스에 의한 공진으로 고전압이 발생하고 장치 내의 고주파 전원이 파손하거나, 장치 내의 회로의 절연부를 파괴하는 것과 같은 이상 사태가 일으켜질 우려가 있다. 그 때문에, 이와 같은 무부하 상태를 신속히 검지하여 장치를 정지시키는 등의 처치가 필요하다.By the way, the rare gas fluorescent lamp must also be assumed to be in a so-called no-load state, such as the wiring is disconnected due to some circumstances or the gas leak occurs due to the breakage of the light emitting tube, so that the lamp cannot be turned on. In the no-load state, there is a possibility that an abnormality such as high voltage is generated due to resonance due to parasitic capacitance and parasitic inductance in the circuit and the high frequency power supply in the apparatus is broken or the insulation of the circuit in the apparatus is broken. Therefore, it is necessary to quickly detect such a no-load state and to stop the device.

특허 문헌 1에는, 출력 트랜스의 2차측에 희가스 형광 램프를 접속하고, 출력 트랜스의 2차측에 흐르는 전류를 검출해, 무부하 상태를 검출하는 방전 램프 점등 장치가 기재되어 있다. 그러나, 특허 문헌 1에 기재된 무부하 검지 수단은, 희가스 형광 램프의 하니스, 트랜스 등 부유 용량을 흐르는 고주파 진동 전류에 의해, 무부하시를 점등시로 하여 오검지하기 쉬운 문제가 있다. 따라서, 특허 문헌 2에는, 무부하시에 부유 용량을 흐르는 고주파 전류에 의해, 무부하 검지가 지장을 받는 일을 막기 위해서, 무부하 검지 수단에 고주파 전류 바이패스 수단을 부가한 방전 램프 점등 장치가 기재되어 있다. 더욱 구체적으로는, 무부하 검지 수단의 전류 검출 부분에 대해서, 콘덴서 또는 콘덴서 및 저항기의 직렬 회로를 병렬 접속하여, 무부하시에 흐르는 고주파 전류를 분로시키는 구성이 나타나고 있다.Patent Literature 1 describes a discharge lamp lighting device that connects a rare gas fluorescent lamp to a secondary side of an output transformer, detects a current flowing through the secondary side of the output transformer, and detects a no-load state. However, the no-load detection means described in Patent Document 1 has a problem that the no-load is turned on by the high frequency vibration current flowing through the floating capacitance such as the harness, the transformer of the rare gas fluorescent lamp, and is easily misdetected. Therefore, Patent Document 2 describes a discharge lamp lighting apparatus in which a high frequency current bypass means is added to the no load detection means in order to prevent the no load detection from being interrupted by the high frequency current flowing through the stray capacitance under no load. . More specifically, a configuration is shown in which a high frequency current flowing through no load is shunted by connecting a capacitor or a series circuit of a capacitor and a resistor in parallel to the current detection portion of the no load detecting means.

도 18은, 특허 문헌 2에 기재되어 있는 것과 같은 종래 기술에 관계되는 방전 램프 장치의 회로 구성을 나타내는 도면이다.FIG. 18 is a diagram showing a circuit configuration of a discharge lamp device according to the prior art as described in Patent Document 2. As shown in FIG.

동 도면에 있어서, 직류 전원(101)으로부터 출력되는 직류 전압은, 교류 변환 회로(102)에 입력된다. 교류 변환 회로(102)는, 스위칭 소자 Q11, Q12, Q21, Q22, 다이오드 D11, D12, D21, D22로 이루어지고, 풀 브릿지 회로를 구성한다. 스 위칭 소자 Q11, Q22와 스위칭 소자 Q21, Q12는, 각각 직렬로 접속되고, 그들 양단에 직류 전원(1)이 접속된다. 스위칭 소자 Q11, Q21은 하이 사이드 측에 배치되고, 스위칭 소자 Q22, Q12는 로우 사이드 측에 배치된다. 다이오드 D11, D12, D21, D22는, 스위칭 소자 Q11, Q12, Q21, Q22에 대해서 각각 개별적으로 병렬 접속된다. 방향은 저전위측으로부터 고전위측을 순방향으로 한다. 스위칭 소자 Q11, Q12, Q21, Q22에는, 스위칭 소자 구동 회로(21)로부터 출력되는 신호 S1, S1, S2, S2가 각각 입력되며, 동신호가 하이 레벨인 경우에 온이 되고, 로우 레벨인 경우에 오프가 되도록 동작한다. 트랜스(103)의 1차측 양단은, 교류 변환 회로(102)의 스위칭 소자 Q11, Q21의 접속점과 스위칭 소자 Q22, Q12의 접속점에 접속되며, 트랜스(103)의 2차측 양단에는, 희가스 발광 램프(104)와 무부하 검지 회로(105)의 전류 파형 검출 회로(106)로 이루어지는 직렬 회로가 접속된다.In the figure, the DC voltage output from the DC power supply 101 is input to the AC conversion circuit 102. The AC conversion circuit 102 is composed of the switching elements Q11, Q12, Q21, Q22, diodes D11, D12, D21, and D22, and constitutes a full bridge circuit. The switching elements Q11 and Q22 and the switching elements Q21 and Q12 are connected in series, respectively, and the DC power supply 1 is connected to both ends thereof. The switching elements Q11 and Q21 are arranged on the high side side, and the switching elements Q22 and Q12 are arranged on the low side side. Diodes D11, D12, D21, and D22 are individually connected in parallel with the switching elements Q11, Q12, Q21, and Q22. The direction makes the high potential side forward from the low potential side. In the switching elements Q11, Q12, Q21, and Q22, signals S1, S1, S2, and S2 output from the switching element driving circuit 21 are input, respectively, and are turned on when the same signal is at a high level, and at a low level. To turn off. Both ends of the primary 103 of the transformer 103 are connected to the connection points of the switching elements Q11 and Q21 of the AC conversion circuit 102 and the connection points of the switching elements Q22 and Q12, and rare gas emission lamps are provided at both ends of the secondary side of the transformer 103. The series circuit which consists of 104 and the current waveform detection circuit 106 of the no load detection circuit 105 is connected.

도 19는, 도 18에 나타낸 무부하 검지 회로(105)의 구체적 구성을 나타내는 회로도이다.FIG. 19 is a circuit diagram showing a specific configuration of the no load detecting circuit 105 shown in FIG. 18.

동 도면에 있어서, 전류 파형 검출 회로(106)는 저항 Rs로 이루어지고, 점등시 또는 무부하시에 흐르는 전류에 비례하는 전류 파형 신호를 출력한다. 전류 파형 신호는, 저항 R1, 콘덴서 C1에 의한 로우 패스 필터로 이루어지는 고주파 바이패스 회로(107)에 입력된다. 고주파 바이패스 회로(107)로부터의 출력 신호는, 다이오드 D1로 이루어지는 정류 회로(108)에 의해 반파 정류되고, 저항 R2, 콘덴서 C2로 이루어지는 평균화 회로(109)에 입력된다. 평균화 회로(109)에서 평균화된 신호는, 비교 회로(110)에 입력된다. 비교 회로(110)에 입력된 입력 신호는, 저항 R3, R4의 직렬 회로에 입력되고, 저항 R3와 R4로 분압된 전압이 트랜지스터 Q1의 베이스, 이미터 사이에 입력된다. 베이스, 이미터간 전압이 약 0.6V를 웃돌면, 트랜지스터 Q1가 온이 되며, 무부하 검지 신호를 하이 레벨로부터 로우 레벨로 변화시킨다.In the figure, the current waveform detection circuit 106 is composed of a resistor Rs and outputs a current waveform signal proportional to the current flowing at the time of lighting or no load. The current waveform signal is input to the high frequency bypass circuit 107 formed of a low pass filter by the resistor R1 and the capacitor C1. The output signal from the high frequency bypass circuit 107 is half-wave rectified by the rectifying circuit 108 composed of the diode D1 and input to the averaging circuit 109 composed of the resistor R2 and the capacitor C2. The signal averaged by the averaging circuit 109 is input to the comparison circuit 110. The input signal input to the comparison circuit 110 is input to the series circuit of the resistors R3 and R4, and the voltage divided by the resistors R3 and R4 is input between the base and the emitter of the transistor Q1. When the voltage between the base and the emitter exceeds about 0.6 V, the transistor Q1 is turned on, thereby changing the no load detection signal from the high level to the low level.

도 20(a)는, 도 18에 나타낸 방전 램프 장치에서, 희가스 형광 램프(104)의 점등시에서의, 무부하 검지 회로(105)의 평균화 회로(109)에 입력되는 신호 파형을 나타내는 도면이다. 동신호 파형은, 정류 회로(108)에 의해 반파 정류되므로, 마이너스 성분은 컷되며, 주기 T로 시간 평균을 행하면, 평균값은 양인 일정 이상의 크기를 가진다. 도 20(b)는, 도 18에 나타낸 방전 램프 장치의, 무부하시에서의, 무부하 검지 회로(105)의 평균화 회로(109)에 입력되는 입력 신호의 신호 파형을 나타내는 도면이다. 동신호 파형은 정류 회로(108)에 의해 반파 정류되므로, 마이너스 성분은 컷되며, 주기 T로 시간 평균을 행하면, 평균값은 어느 일정 이상의 크기를 가진다.FIG. 20A is a diagram showing signal waveforms input to the averaging circuit 109 of the no-load detecting circuit 105 when the rare gas fluorescent lamp 104 is turned on in the discharge lamp device shown in FIG. 18. Since the sinusoidal signal waveform is half-wave rectified by the rectifier circuit 108, the negative component is cut, and if the time average is performed in the period T, the average value has a predetermined or more magnitude. FIG. 20B is a diagram showing a signal waveform of an input signal input to the averaging circuit 109 of the no load detection circuit 105 at no load of the discharge lamp device shown in FIG. 18. Since the dynamic signal waveform is half-wave rectified by the rectifier circuit 108, the negative component is cut, and if the time average is performed in the period T, the average value has a certain magnitude or more.

[특허 문헌 1 : 특허공개 2002－231478호 공보][Patent Document 1: Patent Publication No. 2002-231478]

[특허 문헌 2 : 특허공개 2003－36987호 공보][Patent Document 2: Patent Publication No. 2003-36987]

그러나, 특허 문헌 2에 기재된 무부하 검지 수단은, 램프 전류와 고주파 진동 전류의 주파수 성분의 차가 작은 경우는, 무부하시와 점등시의 구별이 곤란하고, 오검지의 가능성이 있다. 그 때문에, 오검지를 회피하고자 하면, 램프 전류와 고주파 진동 전류의 주파수의 차를 크게 유지하기 위해, 희가스 형광 램프의 방전에 관련된 정전 용량과 하니스나 트랜스 등의 부유 용량의 크기의 관계에 제약을 둘 필요가 있다. 그러나, 이것으로는 하니스의 길이나 희가스 방전 램프의 크기 등을 자유롭게 결정할 수 없다고 하는 문제가 있다. 또, 희가스 방전 램프나 하니스의 근처에 도체가 설치되는 등, 설계시에서는 상정할 수 없는 조건하에서 사용되면, 부유 용량의 크기가 변화하고, 오검지를 막는 것이 곤란하게 된다고 하는 문제가 있다.However, when the difference between the frequency component of a lamp current and a high frequency vibration current is small, the no load detection means of patent document 2 is difficult to distinguish between no load and lighting, and there exists a possibility of misdetection. Therefore, in order to avoid misdetection, in order to maintain a large difference between the frequency of the lamp current and the high frequency vibration current, a restriction is placed on the relationship between the capacitance associated with the discharge of the rare gas fluorescent lamp and the magnitude of the stray capacitance such as a harness or a transformer. It needs to be placed. However, this has a problem that the length of the harness, the size of the rare gas discharge lamp, or the like cannot be freely determined. Moreover, when used under conditions which cannot be assumed at the time of design, such as providing a conductor near a rare gas discharge lamp or a harness, there exists a problem that the magnitude | size of a floating capacity changes, and it becomes difficult to prevent erroneous detection.

본 발명의 목적은, 상기의 문제점을 감안하여, 광원으로서 희가스 형광 램프를 사용한 것과 같은 경우에서, 무부하시와 점등시를 확실하게 준별해 검지할 수 있는 방전 램프 장치를 제공하는 것에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a discharge lamp apparatus capable of reliably quasi-differentiating detection between no load and lighting time in the case of using a rare gas fluorescent lamp as a light source.

본 발명은, 상기의 과제를 해결하기 위해, 다음과 같은 수단을 채용했다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM This invention employ | adopts the following means in order to solve said subject.

제1 수단은, 한쪽 또는 한쪽 조의 제1 스위칭 소자와 다른쪽 또는 다른쪽 조의 제2 스위칭 소자를 교대로 스위칭 동작시켜 직류 전압을 교류 전압으로 변환시키는 교류 변환 회로와, 이 교류 변환 회로로부터의 교류 전압을 승압하는 트랜스 와, 이 트랜스의 2차측에 접속된 희가스 형광 램프를 구비한 방전 램프 장치에 있어서, 상기 제1 스위칭 소자의 온 기간을 포함하고 상기 제2 스위칭 소자의 온 기간을 포함하지 않는 상기 교류 전압의 대략 반주기 동안 흐르는 전류를 검출하는 수단과, 상기 검출된 전류를 평균화하는 평균화 회로와, 이 평균화 회로의 출력값을 기준값과 비교하는 비교 회로로 이루어지는 무부하 검지 회로를 설치한 것을 특징으로 하는 방전 램프 장치이다.The first means includes an alternating current conversion circuit configured to alternately switch between the first switching element of one or one set and the second switching element of the other or the other set to convert a DC voltage into an alternating voltage, and an alternating current from the alternating current converting circuit. A discharge lamp device comprising a transformer for boosting a voltage and a rare gas fluorescent lamp connected to a secondary side of the transformer, the discharge lamp device including an on period of the first switching element and not including an on period of the second switching element. And a no-load detecting circuit comprising means for detecting a current flowing during approximately half of the AC voltage, an averaging circuit for averaging the detected currents, and a comparing circuit for comparing the output value of the averaging circuit with a reference value. It is a discharge lamp device.

제2 수단은, 한쪽 또는 한쪽 조의 제1 스위칭 소자와 다른쪽 또는 다른쪽 조의 제2 스위칭 소자를 교대로 스위칭 동작시켜 직류 전압을 교류 전압으로 변환시키는 교류 변환 회로와, 이 교류 변환 회로로부터의 교류 전압을 승압하는 트랜스와, 이 트랜스의 2차측에 접속된 희가스 형광 램프를 구비한 방전 램프 장치에 있어서, 제1 스위칭 소자가 온일 때에 흐르는 제1 전류 경로와 제2 스위칭 소자가 온일 때에 흐르는 제2 전류 경로가 겹침과 더불어, 상기 제1 전류 경로와 상기 제2 전류 경로를 흐르는 전류가 서로 역방향인 전류 경로에 직렬로 접속된 전류 파형 검출 회로와, 상기 제1 스위칭 소자의 온 기간을 포함하고 상기 제2 스위칭 소자의 온 기간을 포함하지 않는 상기 교류 전압의 대략 반주기 동안, 상기 전류 파형 검출 회로에서 검출된 전류 파형 신호를 통과시키는 스위치 회로와, 이 스위치 회로를 통과한 전류 파형 신호를 평균화하는 평균화 회로와, 이 평균화 회로의 출력값을 기준값과 비교하는 비교 회로로 이루어지는 무부하 검지 회로를 설치한 것을 특징으로 하는 방전 램프 장치이다.The second means includes an alternating current conversion circuit configured to alternately switch between the first switching element of one or one set and the second switching element of the other or the other set to convert a DC voltage into an alternating voltage, and an alternating current from the alternating current converting circuit. A discharge lamp device having a transformer for boosting a voltage and a rare gas fluorescent lamp connected to a secondary side of the transformer, the second lamp flowing when the first current path flowing when the first switching element is on and the second switching element are on; A current waveform detection circuit connected in series to a current path in which the current paths overlap and the currents flowing in the first current path and the second current path are opposite to each other, and an on-period of the first switching element; The current waveform detected by the current waveform detection circuit for approximately half a period of the alternating voltage not including an on period of a second switching element A discharge lamp comprising a no-load detection circuit comprising a switch circuit for passing an arc, an averaging circuit for averaging the current waveform signal passing through the switch circuit, and a comparison circuit for comparing the output value of the averaging circuit with a reference value. Device.

제3 수단은, 제2 수단에 있어서, 상기 무부하 검지 회로의 전류 파형 검출 회로를, 상기 트랜스의 2차측에 접속한 것을 특징으로 하는 방전 램프 장치이다.A 3rd means is a discharge lamp apparatus characterized by connecting the current waveform detection circuit of the said no load detection circuit to the secondary side of the said transformer in a 2nd means.

제4 수단은, 한쪽 또는 한쪽 조의 제1 스위칭 소자와 다른쪽 또는 다른쪽 조의 제2 스위칭 소자를 교대로 스위칭 동작시켜 직류 전압을 교류 전압으로 변환시키는 교류 변환 회로와, 이 교류 변환 회로로부터의 교류 전압을 승압하는 트랜스와, 이 트랜스의 2차측에 접속된 희가스 형광 램프를 구비한 방전 램프 장치에 있어서, 제1 스위칭 소자가 온일 때에 흐르는 제1 전류 경로와 제2 스위칭 소자가 온일 때에 흐르는 제2 전류 경로가 겹치지 않는 전류 경로에 직렬로 접속된 전류 파형 검출 회로와, 상기 전류 파형 검출 회로에서 검출된 전류 파형 신호를 평균화하는 평균화 회로와, 이 평균화 회로의 출력값을 기준값과 비교하는 비교 회로로 이루어지는 무부하 검지 회로를 설치한 것을 특징으로 하는 방전 램프 장치이다.The fourth means includes an alternating current converting circuit for converting a DC voltage into an alternating voltage by alternately switching the first switching element of one or one set and the second switching element of the other or the other set, and the alternating current from the alternating current converting circuit. A discharge lamp device having a transformer for boosting a voltage and a rare gas fluorescent lamp connected to a secondary side of the transformer, the second lamp flowing when the first current path flowing when the first switching element is on and the second switching element are on; A current waveform detection circuit connected in series to a current path where the current paths do not overlap, an averaging circuit for averaging the current waveform signals detected by the current waveform detection circuit, and a comparison circuit for comparing the output value of the averaging circuit with a reference value. A discharge lamp device characterized by providing a no-load detection circuit.

제5 수단은, 한쪽 또는 한쪽 조의 제1 스위칭 소자와 다른쪽 또는 다른쪽 조의 제2 스위칭 소자를 교대로 스위칭 동작시켜 직류 전압을 교류 전압으로 변환시키는 교류 변환 회로와, 이 교류 변환 회로로부터의 교류 전압을 승압하는 트랜스와, 이 트랜스의 2차측에 접속된 희가스 형광 램프를 구비한 방전 램프 장치에 있어서, 제1 스위칭 소자가 온일 때에 흐르는 제1 전류 경로와 제2 스위칭 소자가 온일 때에 흐르는 제2 전류 경로가 겹침과 더불어, 상기 제1 전류 경로와 상기 제2 전류 경로를 흐르는 전류가 서로 같은 방향인 전류 경로에 직렬로 접속된 전류 파형 검출 회로와, 상기 전류 파형 검출 회로에서 검출된 전류 파형 신호를 평균화하는 평균화 회로와, 이 평균화 회로의 출력값을 기준값과 비교하는 비교 회로로 이루어지는 무부하 검지 회로를 설치한 것을 특징으로 하는 방전 램프 장치이다.The fifth means includes an alternating current converting circuit configured to alternately switch between the first switching element of one or one set and the second switching element of the other or the other set to convert a DC voltage into an alternating voltage, and an alternating current from the alternating current converting circuit. A discharge lamp device having a transformer for boosting a voltage and a rare gas fluorescent lamp connected to a secondary side of the transformer, the second lamp flowing when the first current path flowing when the first switching element is on and the second switching element are on; A current waveform detection circuit connected in series to a current path in which the current paths overlap and the currents flowing in the first current path and the second current path are in the same direction, and the current waveform signal detected by the current waveform detection circuit. A no-load detection circuit comprising an averaging circuit for averaging the circuit and a comparison circuit comparing the output value of the averaging circuit with a reference value A discharge lamp device according to claim groping.

제6 수단은, 제1 수단 내지 제5 수단 중 어느 1개의 수단에 있어서, 상기 희가스 형광 램프를 대신해 자외선을 조사하는 엑시머 램프를 이용한 것을 특징으로 하는 방전 램프 장치이다.The sixth means is the discharge lamp device in any one of the first to fifth means, which uses an excimer lamp for irradiating ultraviolet light in place of the rare gas fluorescent lamp.

본 발명에 의하면, 광원으로서 희가스 형광 램프로 이루어지는 방전 램프를 사용한 것과 같은 경우에서, 무부하시와 점등시를 확실히 준별해 검지할 수 있으며, 종래의 무부하 상태의 오검지를 없앨 수 있다.According to the present invention, in the case of using a discharge lamp made of a rare gas fluorescent lamp as a light source, it is possible to reliably distinguish between no load and lighting time, and eliminate the conventional misdetection of a no-load state.

본 발명의 제1 실시 형태를 도 1 내지 도 5를 이용해 설명한다.1st Embodiment of this invention is described using FIGS.

도 1은, 본 실시 형태의 발명에 관련된 방전 램프 장치의 회로 구성을 나타내는 도면이다.1 is a diagram showing a circuit configuration of a discharge lamp device according to the invention of the present embodiment.

동 도면에 있어서, 1은 직류 전원, 2는 교류 변환 회로, 21은 스위칭 소자 구동 회로, 22는 RS 플립플롭, 3은 트랜스, 4는 희가스 형광 램프, 5는 무부하 검지 회로, 51은 트랜스(3)의 2차측을 흐르는 전류를 검출하는 전류 파형 검출 회로, 52는 스위치 회로, 53은 평균화 회로, 54는 비교 회로이다.In the figure, 1 is a DC power supply, 2 is an AC conversion circuit, 21 is a switching element driving circuit, 22 is an RS flip-flop, 3 is a transformer, 4 is a rare gas fluorescent lamp, 5 is a no-load detection circuit, 51 is a transformer (3 A current waveform detecting circuit for detecting a current flowing through the secondary side of the circuit, 52 is a switch circuit, 53 is an averaging circuit, and 54 is a comparison circuit.

도 2는, 도 1에 나타낸 희가스 형광 램프(4)의 구성을 나타내는 도면이며, 도 2(a)는, 희가스 형광 램프의 관축 방향으로 직교하는 절단면에서 본 단면도, 도 2(b)는, 희가스 형광 램프의 사시도이다.FIG. 2: is a figure which shows the structure of the rare gas fluorescent lamp 4 shown in FIG. 1, FIG. 2 (a) is sectional drawing seen from the cut surface orthogonal to the tube axis direction of a rare gas fluorescent lamp, and FIG. 2 (b) is a rare gas A perspective view of a fluorescent lamp.

이들 도면에 나타내는 바와 같이, 희가스 형광 램프(4)는, 예를 들면, 유리관(41)으로 밀폐상으로 구성된 직관 형상의 외위기로서, 그 내면에는 희토류 형광 체, 할로 인산염 형광체 등의 형광체로 이루어지는 형광 물질(42)이 형성되어 있다. 유리관(41)의 봉착 구조는 유리관(41)의 단부에 디스크 형상의 봉착 유리판을 봉착해 구성되어 있지만, 예를 들면, 단순히 유리관(41)을 가열하면서 축경 가공하여 용단하는 이른바 탑 시일에 의해 구성할 수도 있다. 외부 전극(43, 44)은, 예를 들면, 알루미늄 테이프를 폭 1mm로 절단한 것이, 유리관(41)의 외표면에서의 희가스 형광 램프의 중심축을 사이에 둔 대향 위치에 붙여져 있다. 또, 외부 전극(43, 44)은, 예를 들면, 도전성 페이스트를 스크린 인쇄하고, 소부해 형성한 것이어도 된다. 또한, 이 유리관(41)의 밀폐 공간에는 수은 등의 금속 증기를 포함하지 않는 He, Ar, Xe, Kr 중 어느 1 종류 이상을 주성분으로 하는 희가스가 소정량 봉입되어 있다. 역 시동 부위(45)는, 도전성 물질 혹은 역 전자 방사 물질로 이루어지고, 방전 개시를 용이하게 하기 위해서, 유리관(41)의 내부에 적어도 1개소 배치된다. 방전은 역 시동 부위(45)를 기점으로 발생하고, 그곳으로부터 연쇄적으로 희가스 형광 램프 전체에 확산된다. 통상은, 유리관(41)의 단부 등에 설치되며, 점등 중에서의 광취출 효율에 영향을 주지 않도록 한다.As shown in these figures, the rare gas fluorescent lamp 4 is, for example, a straight tube envelope configured in a closed phase with a glass tube 41, and has an inner surface made of a phosphor such as a rare earth phosphor and a halo phosphate phosphor. The fluorescent substance 42 is formed. Although the sealing structure of the glass tube 41 is comprised by sealing the disk-shaped sealing glass plate at the edge part of the glass tube 41, For example, it consists of what is called a top seal which melts and melts the glass tube 41 while heating. You may. The external electrodes 43 and 44 cut | disconnect, for example, an aluminum tape 1 mm in width | variety, are affixed in the opposing position which centered the central axis of the rare gas fluorescent lamp in the outer surface of the glass tube 41. As shown in FIG. In addition, the external electrodes 43 and 44 may be formed by screen-printing and baking a conductive paste, for example. In addition, a predetermined amount of a rare gas containing, as a main component, any one or more of He, Ar, Xe, and Kr, which does not contain metal vapor such as mercury, is sealed in the sealed space of the glass tube 41. The reverse start portion 45 is made of a conductive material or a reverse electrospinning material, and is disposed at least one inside the glass tube 41 in order to facilitate the discharge start. The discharge is generated from the reverse starting portion 45 as a starting point, and therefrom is sequentially spread throughout the rare gas fluorescent lamp. Usually, it is provided in the edge part of the glass tube 41, etc., and it does not affect the light extraction efficiency in lighting.

도 3은, 희가스 형광 램프(4)의 등가 회로를 나타내는 도면이다.3 is a diagram illustrating an equivalent circuit of the rare gas fluorescent lamp 4.

동 도면에 나타내는 바와 같이, 희가스 형광 램프(4)는, 유리관(41)의 정전 용량 Cg와 방전의 임피던스 p가 직렬로 접속되고, 방전 공간의 정전 용량 Cd가 방전의 임피던스 p와 병렬로 접속된 형태로 나타난다. 정전 용량 Cs는 하니스나 트랜스 등의 부유 용량이다. 이와 같이, 희가스 형광 램프(4)는, 유리관(41)의 정전 용량을 통해 방전하는, 용량성의 부하이다. 무부하시는, 방전의 임피던스 p는 무한대 가 되므로, 희가스 형광 램프(4)는 콘덴서와 등가로 간주할 수 있다.As shown in the figure, in the rare gas fluorescent lamp 4, the capacitance Cg of the glass tube 41 and the impedance p of the discharge are connected in series, and the capacitance Cd of the discharge space is connected in parallel with the impedance p of the discharge. Appears in the form. The electrostatic capacitance Cs is stray capacitance such as a harness or a transformer. In this manner, the rare gas fluorescent lamp 4 is a capacitive load that discharges through the electrostatic capacitance of the glass tube 41. Since no load, the discharge impedance p becomes infinite, the rare gas fluorescent lamp 4 can be regarded as equivalent to the capacitor.

다음으로, 도 1로 돌아와, 본 실시 형태의 방전 램프 장치의 회로 구성을 상세하게 설명한다.Next, returning to FIG. 1, the circuit configuration of the discharge lamp device of the present embodiment will be described in detail.

동 도면에 있어서, 직류 전원(1)으로부터 출력되는 직류 전압은, 교류 변환 회로(2)에 입력된다. 교류 변환 회로(2)는, 스위칭 소자 Q11, Q12, Q21, Q22, 다이오드 D11, D12, D21, D22로 이루어지고, 풀 브릿지 회로를 구성한다. 스위칭 소자 Q11, Q22와 스위칭 소자 Q21, Q12는, 각각 직렬로 접속되고, 그들 양단에 직류 전원(1)이 접속된다. 스위칭 소자 Q11, Q21는 하이 사이드측에 배치되며, 스위칭 소자 Q22, Q12는 로우 사이드측에 배치된다. 다이오드 D11 ~ D22는, 각각 스위칭 소자Q11 ~ Q22의 기생 다이오드, 또는 별도로 부가한 것이며, 스위칭 소자 Q11, Q12, Q21, Q22에 대해서, 각각 개별적으로 병렬 접속된다. 방향은 저전위측으로부터 고전위측을 순방향으로 한다. 스위칭 소자 Q11, Q12, Q21, Q22에는, 스위칭 소자 구동 회로(21)로부터 출력되는 신호 S1, S1, S2, S2가 각각 입력되고, 동신호가 하이 레벨인 경우에 온이 되며, 로우 레벨인 경우에 오프가 되도록 동작한다. 트랜스(3)의 1차측 양단에는, 교류 변환 회로(2)의 스위칭 소자 Q11, Q22의 접속점과 스위칭 소자 Q21, Q12의 접속점에 접속되며, 트랜스(3)의 2차측 양단에는, 희가스 형광 램프(4)와 무부하 검지 회로(5)의 전류 파형 검출 회로(51)로 이루어지는 직렬 회로가 접속된다. 무부하 검지 회로(5)로부터 출력된 무부하 검지 신호는, 스위칭 소자 구동 회로(21)에 입력된다.In the same figure, the DC voltage output from the DC power supply 1 is input into the AC conversion circuit 2. The AC converter circuit 2 is composed of switching elements Q11, Q12, Q21, Q22, diodes D11, D12, D21, D22, and constitutes a full bridge circuit. The switching elements Q11 and Q22 and the switching elements Q21 and Q12 are connected in series, respectively, and the DC power supply 1 is connected to both ends. The switching elements Q11 and Q21 are arranged on the high side side, and the switching elements Q22 and Q12 are arranged on the low side side. The diodes D11 to D22 are parasitic diodes of the switching elements Q11 to Q22 or separately added, and are individually connected in parallel to the switching elements Q11, Q12, Q21 and Q22. The direction makes the high potential side forward from the low potential side. In the switching elements Q11, Q12, Q21, and Q22, signals S1, S1, S2, and S2 output from the switching element driving circuit 21 are input, respectively, and are turned on when the same signal is at a high level. To turn off. Both ends of the transformer 3 are connected to the connection points of the switching elements Q11 and Q22 of the AC conversion circuit 2 and the connection points of the switching elements Q21 and Q12, and rare gas fluorescent lamps are connected to both ends of the transformer 3. The series circuit which consists of 4) and the current waveform detection circuit 51 of the no load detection circuit 5 is connected. The no load detection signal output from the no load detection circuit 5 is input to the switching element drive circuit 21.

동 도면에 있어서, 스위칭 소자 Q11, Q12를 제1 스위칭 소자로 하고, 스위칭 소자 Q21, Q22를 제2 스위칭 소자로 한다. 또, 제1 스위칭 소자 Q11, Q12가 온일 때에 전류가 흐르는 경로를 제1 전류 경로로 하고, 구체적으로는, 직류 전원(1)의 고전위측으로부터, 스위칭 소자 Q11, 트랜스(3)의 1차측, 스위칭 소자 Q12, 직류 전원(1)의 저전위측까지를 주회하는 경로와, 트랜스(3)의 2차측의 고전위 단자(이하, HV 단자라고 한다)로부터, 희가스 형광 램프(4), 무부하 검지 회로(5)의 전류 파형 검출 회로(51), 트랜스(3)의 저전위 단자(이하, LV 단자라고 한다)까지를 주회하는 경로로 한다. 또, 제2 스위칭 소자 Q21, Q22가 온일 때에 전류가 흐르는 경로를 제2 전류 경로로 하며, 구체적으로는, 직류 전원(1)의 고전위측으로부터, 스위칭 소자 Q21, 트랜스(3)의 1차측, 스위칭 소자 Q22, 직류 전원(1)의 저전위측까지를 주회하는 경로와, 트랜스(3)의 2차측의 LV 단자로부터, 무부하 검지 회로(5)의 전류 파형 검출 회로(51), 희가스 형광 램프(4), 트랜스(3)의 2차측의 HV 단자까지를 주회하는 경로로 한다.In the same figure, switching elements Q11 and Q12 are made into a 1st switching element, and switching elements Q21 and Q22 are made into a 2nd switching element. The first current path is a path through which current flows when the first switching elements Q11 and Q12 are turned on. Specifically, the primary side of the switching element Q11 and the transformer 3 from the high potential side of the DC power supply 1, The rare gas fluorescent lamp 4 and the no-load detection are detected from the path around the switching element Q12 and the low potential side of the DC power supply 1 and the high potential terminal (hereinafter referred to as the HV terminal) on the secondary side of the transformer 3. The path around the current waveform detection circuit 51 of the circuit 5 and the low potential terminal (hereinafter referred to as LV terminal) of the transformer 3 is set as a path for winding. The second current path is a path through which current flows when the second switching elements Q21 and Q22 are on. Specifically, from the high potential side of the DC power supply 1, the primary side of the switching element Q21 and the transformer 3, The current waveform detecting circuit 51 of the no-load detecting circuit 5 and the rare gas fluorescent lamp from the path for winding around the switching element Q22, the low potential side of the DC power supply 1, and the LV terminal on the secondary side of the transformer 3. (4) A route around the HV terminal on the secondary side of the transformer 3 is used.

여기서, 무부하 검지 회로(5)의 전류 파형 검출 회로(51)는, 제1 전류 경로와 제2 전류 경로가 겹치고, 또한 제1 스위칭 소자가 온이 되어 최초에 흐르는 전류의 방향과, 제2 스위칭 소자가 온이 되어 최초에 흐르는 전류의 방향이 서로 반대가 되는 경로 내이면 어디에 설치해도 된다.Here, the current waveform detection circuit 51 of the no-load detection circuit 5 has a direction in which the first current path and the second current path overlap, the first switching element is turned on, and the current flowing first and the second switching. The device may be provided as long as the device is turned on and is in a path in which directions of currents initially flowing are opposite to each other.

도 4는, 도 1에 나타낸 무부하 검지 회로(5)의 구체적 구성을 나타내는 회로도이다.FIG. 4 is a circuit diagram showing a specific configuration of the no load detection circuit 5 shown in FIG. 1.

동 도면에 있어서, 전류 파형 검출 회로(51)는 저항 Rs로 이루어지고, 전류에 비례한 크기의 전류 파형 신호를 출력한다. 전류 경로가 접지할 수 없는 경우는 저항 Rs 대신에 커런트 트랜스를 이용해도 된다. 전류 파형 신호는 스위치 회로(52)에 입력된다. 스위치 회로(52)에 입력되는 입력 신호는, 일단이 직류 전압 Va에 접속된 저항 R1, R2의 직렬 회로의 타단에 접속된다. 저항 R1과 R2의 접속점은, 스위치 AS1의 일단에 접속된다. 여기에서는, 단전원 입력의 아날로그 스위치를 이용하기 때문에, 전류 파형 신호의 제로점을 R2×Va/(R1＋R2)로 하며, 진동 파형이 양의 범위에 들어가도록 조절되고 있다. 단, R1, R2 》Rs로 한다. 스위치 AS1에는 제어 신호로서 도 1에 나타낸 RS 플립플롭(22)으로부터 스위치 회로 제어 신호가 입력되며, 스위치 회로 제어 신호가 하이 레벨인 경우에 도통 상태가 되고, 로우 레벨인 경우에 비도통 상태가 된다. 스위치 회로(52)의 출력 신호는, 평균화 회로(53)에 입력된다. 평균화 회로(53)에 입력되는 입력 신호는, 일단이 접지된 콘덴서 C1의 타단에 입력되고 평균화된다. 평균화된 신호는, 비교 회로(54)에 입력된다. 비교 회로(54)는, 연산 증폭기 OP1, 저항 R3 ~ R11, 트랜지스터 Q1, 직류 전압 Va로 구성된다. 비교 회로(54)에 입력된 신호는, 스위치 회로(52)로 쉬프트한 제로점을 원상태로 되돌리기 위한 차동 증폭 회로에 입력된다. 차동 증폭 회로는, 저항 R3, R4, R7, R8과 연산 증폭기로 구성되며, R3 = R7, R4 = R8의 관계이다. 차동 증폭 회로의 플러스 입력측(R3측)에는, 콘덴서 C1로 평균화된 신호가 입력되고, 마이너스 입력측(R7측)에는, 전압 Va를 저항 R5, R6에 의해 분압한 크기의 전압이 입력된다. 여기서, R5 = R1, R6 = R2로 함으로써, 전압 Va의 크기가 변화해도, 전류 파형 신호의 제로점을 쉬프트하는 크기와 원상태로 되돌리는 크기가 동일하게 되므로, 전압 Va의 불균형을 없앨 수 있다. 차동 증폭 회로의 출력 신호, 즉 연산 증폭 기 OP1의 출력 신호는, 저항 R9, R10의 직렬 회로에 입력되며, 저항 R9와 R10로 분압된 전압이 트랜지스터 Q1의 베이스, 이미터 사이에 입력된다. 베이스, 이미터간 전압이 약 0.6V를 웃돌면, 트랜지스터 Q1가 온이 되고, 무부하 검지 신호를 하이 레벨로부터 로우 레벨로 변화시킨다. 도 1에 있어서, 무부하 검지 신호가 로우 레벨일 때는, 스위칭 소자 구동 회로(21)의 발진을 지속하도록 작동하고, 무부하 검지 신호가 하이 레벨인 경우는, 스위칭 소자 구동 회로(21)의 발진을 정지하도록 작동한다.In the figure, the current waveform detection circuit 51 is made of a resistor Rs and outputs a current waveform signal having a magnitude proportional to the current. If the current path cannot be grounded, a current transformer may be used instead of resistor Rs. The current waveform signal is input to the switch circuit 52. The input signal input to the switch circuit 52 is connected to the other end of the series circuit of the resistors R1 and R2 whose one end is connected to the DC voltage Va. The connection point of the resistors R1 and R2 is connected to one end of the switch AS1. In this case, since an analog switch of a single power supply input is used, the zero point of the current waveform signal is set to R2 × Va / (R1 + R2), and the vibration waveform is adjusted to fall within a positive range. However, let R1, R2 >> Rs be. The switch circuit control signal is input to the switch AS1 from the RS flip-flop 22 shown in FIG. 1 as a control signal. The switch circuit control signal is turned on when the switch circuit control signal is at high level, and is turned off when it is at low level. . The output signal of the switch circuit 52 is input to the averaging circuit 53. The input signal input to the averaging circuit 53 is input to the other end of the capacitor C1 whose one end is grounded, and averaged. The averaged signal is input to the comparison circuit 54. The comparison circuit 54 is composed of an operational amplifier OP1, resistors R3 to R11, a transistor Q1, and a direct current voltage Va. The signal input to the comparison circuit 54 is input to the differential amplifier circuit for returning the zero point shifted to the switch circuit 52 to its original state. The differential amplifier circuit is composed of resistors R3, R4, R7, R8 and an operational amplifier, and has a relationship of R3 = R7, R4 = R8. A signal averaged by the capacitor C1 is input to the positive input side (R3 side) of the differential amplifier circuit, and a voltage having a magnitude obtained by dividing voltage Va by resistors R5 and R6 is input to the negative input side (R7 side). Here, by setting R5 = R1 and R6 = R2, even if the magnitude of the voltage Va changes, the magnitude of shifting the zero point of the current waveform signal and the magnitude of returning to the original state are the same, so that an unbalance of the voltage Va can be eliminated. The output signal of the differential amplifier circuit, that is, the output signal of the operational amplifier OP1, is input to the series circuit of the resistors R9 and R10, and the voltage divided by the resistors R9 and R10 is input between the base and the emitter of the transistor Q1. When the voltage between the base and the emitter exceeds about 0.6 V, the transistor Q1 is turned on to change the no load detection signal from the high level to the low level. In Fig. 1, when the no-load detection signal is at the low level, the switching element drive circuit 21 operates to continue oscillation. When the no-load detection signal is at the high level, the oscillation of the switching element drive circuit 21 is stopped. It works.

도 5는, 도 1에 나타낸 방전 램프 장치의 회로 동작을 설명하기 위한 타이밍 차트이다.FIG. 5 is a timing chart for explaining the circuit operation of the discharge lamp device shown in FIG. 1.

동 도면에 있어서, 신호 S1는, 펄스폭 ton의 하이 레벨 신호가 주기 T로 반복되는, 반복 신호이다. 신호 S2도 펄스폭 ton, 주기 T의 반복 신호이며, 신호 S1에 대해서 위상이 180°어긋나 출력된다. 스위치 회로 제어 신호는, 신호 S1가 하이 레벨이 되고 나서, 신호 S2가 하이 레벨이 될 때까지 동안이 하이 레벨이며, 신호 S2가 하이 레벨이 되고 나서, 신호 S1가 하이 레벨이 될 때까지 동안이 로우 레벨이 되는 신호이다. 희가스 형광 램프(4)의 램프 전압 파형은, 신호 S1가 하이 레벨이 되면 음으로부터 양으로 극성 반전하고, 신호 S2가 하이 레벨이 되면 양으로부터 음으로 극성 반전한다. 여기서, 전류 파형 검출 회로(51)에 의해 검출되는 전류 파형 신호는, 제1, 제2 전류 경로를 흐르는 전류에 비례하는 신호이다. 전류 파형 신호가 스위치 회로(52)에 의해 제어되고 평균화 회로(53)에 입력되는 입력 신호는, 스위치 회로 제어 신호가 하이 레벨인 동안만을 뽑아낸 전류 파형 신호에 상 당한다. 또한, 본 실시 형태에서는, 스위치 회로 제어 신호는, 신호 S1가 하이 레벨이 되고 나서, 신호 S2가 하이 레벨이 될 때까지 동안이 하이 레벨이고, 신호 S2가 하이 레벨이 되고 나서, 신호 S1가 하이 레벨이 될 때까지 동안이 하이 레벨이 되도록 제어되고 있지만, 스위치 회로 제어 신호의 온 기간은, 신호 S1의 온 기간을 모두 포함하는, 대략 반주기(T/2)의 기간이면, 이것으로 한정할 필요는 없다.In the figure, the signal S1 is a repetitive signal in which the high level signal of the pulse width ton is repeated in the period T. The signal S2 is also a repetition signal of the pulse width ton and the period T. The phase is shifted 180 degrees with respect to the signal S1 and output. The switch circuit control signal is at a high level after the signal S1 is at the high level and until the signal S2 is at the high level, and until the signal S1 is at the high level after the signal S2 is at the high level. It is a signal that goes low. The ramp voltage waveform of the rare gas fluorescent lamp 4 is polarized inverted from negative to positive when the signal S1 becomes high level and polarized inverted from positive to negative when the signal S2 becomes high level. Here, the current waveform signal detected by the current waveform detection circuit 51 is a signal proportional to the current flowing through the first and second current paths. The input signal in which the current waveform signal is controlled by the switch circuit 52 and input to the averaging circuit 53 corresponds to the current waveform signal extracted only while the switch circuit control signal is at a high level. In the present embodiment, the switch circuit control signal is at a high level until the signal S1 is at a high level, and the signal S1 is at a high level after the signal S2 is at a high level. Although it is controlled so that it may become a high level until it reaches a level, it is necessary to limit to this if it is a period of about half period (T / 2) which includes all the on periods of signal S1, and the ON period of a switch circuit control signal. There is no.

다음으로, 본 발명의 제2 실시 형태를 도 6 내지 도 8을 이용해 설명한다.Next, 2nd Embodiment of this invention is described using FIG.

도 6은, 본 실시 형태의 발명에 관련된 방전 램프 장치의 회로 구성을 나타내는 도면이다. 또한, 동 도면에 있어서, 무부하 검지 회로(6)의 구성 및 회로로의 삽입 위치 이외는, 도 1에 나타낸 동부호의 구성에 대응하므로 설명은 생략한다.6 is a diagram showing a circuit configuration of a discharge lamp device according to the invention of the present embodiment. In addition, in the same figure, since it corresponds to the structure of the eastern arc shown in FIG. 1 except the structure of the no load detection circuit 6 and the insertion position in a circuit, description is abbreviate | omitted.

동 도면에 있어서, 스위칭 소자 Q11, Q12를 제1 스위칭 소자로 하고, 스위칭 소자 Q21, Q22를 제2 스위칭 소자로 한다. 제1 스위칭 소자 Q11, Q12가 온일 때에 전류가 흐르는 경로를 제1 전류 경로로 하고, 구체적으로는, 직류 전원(1)의 고전위측으로부터, 스위칭 소자 Q11, 트랜스(3)의 1차측, 스위칭 소자 Q12, 무부하 검지 회로(6)의 전류 파형 검출 회로(61), 직류 전원(1)의 저전위측까지를 주회하는 경로와, 트랜스(3)의 2차측의 HV 단자로부터, 희가스 형광 램프(4), 트랜스(3)의 LV 단자까지를 주회하는 경로로 한다. 또, 제2 스위칭 소자 Q21, Q22가 온일 때에 전류가 흐르는 경로를 제2 전류 경로로 하며, 구체적으로는, 직류 전원(1)의 고전위측으로부터, 스위칭 소자 Q21, 트랜스(3)의 1차측, 스위칭 소자 Q22, 직류 전원(1)의 저전위측까지를 주회하는 경로와, 트랜스(3)의 2차측의 LV단자로부터, 희가스 형광 램프(4), 트랜스(3)의 2차측의 HV 단자까지를 주회하는 경로로 한다.In the same figure, switching elements Q11 and Q12 are made into a 1st switching element, and switching elements Q21 and Q22 are made into a 2nd switching element. The path through which current flows when the first switching elements Q11 and Q12 are on is used as the first current path. Specifically, the switching element Q11 and the primary side of the transformer 3 and the switching element from the high potential side of the DC power supply 1. A rare gas fluorescent lamp (4) is provided from a path that winds around Q12, the current waveform detection circuit 61 of the no load detection circuit 6, the low potential side of the DC power supply 1, and the HV terminal on the secondary side of the transformer 3; ) Is a route around the LV terminal of the transformer 3. The second current path is a path through which current flows when the second switching elements Q21 and Q22 are on. Specifically, from the high potential side of the DC power supply 1, the primary side of the switching element Q21 and the transformer 3, From the LV terminal on the secondary side of the transformer 3 and the path around the low potential side of the switching element Q22 and the DC power supply 1 to the rare gas fluorescent lamp 4 and the HV terminal on the secondary side of the transformer 3 Is the route to go around.

동 도면에 있어서, 무부하 검지 회로(6)의 전류 파형 검출 회로(61)는, 제1 전류 경로에 설치되어 있지만, 제1 전류 경로와 제2 전류 경로가 서로 겹치지 않는 경로 내이면 어디라도 된다.In the same figure, although the current waveform detection circuit 61 of the no load detection circuit 6 is provided in the 1st current path | route, as long as it is in the path | route where the 1st current path and the 2nd current path do not overlap with each other, it is good.

도 7은, 도 6에 나타낸 무부하 검지 회로(6)의 구체적 구성을 나타내는 회로도이다.FIG. 7 is a circuit diagram showing a specific configuration of the no load detection circuit 6 shown in FIG. 6.

동 도면에 있어서, 전류 파형 검출 회로(61)는 저항 Rs로 이루어지고, 전류에 비례한 크기의 전류 파형 신호를 출력한다. 전류 경로가 접지할 수 없는 경우는 저항 Rs 대신에 커런트 트랜스를 이용해도 된다. 전류 파형 검출 회로(61)로부터의 출력 신호는, 저항 R1, 콘덴서 C1로 이루어지는 평균화 회로(62)에 입력되고 평균화된다. 평균화 회로(62)로부터의 출력 신호는, 비교 회로(63)에 입력된다. 비교 회로(63)에 입력된 입력 신호는, 저항 R2, R3의 직렬 회로에 입력되며, 저항 R2와 R3으로 분압된 전압이 트랜지스터 Q1의 베이스, 이미터 사이에 입력된다. 베이스, 이미터간 전압이 약 0.6V를 웃돌면, 트랜지스터 Q1가 온이 되고, 무부하 검지 신호를 하이 레벨로부터 로우 레벨로 변화시킨다.In the figure, the current waveform detection circuit 61 is made of a resistor Rs and outputs a current waveform signal having a magnitude proportional to the current. If the current path cannot be grounded, a current transformer may be used instead of resistor Rs. The output signal from the current waveform detection circuit 61 is input to the averaging circuit 62 consisting of the resistor R1 and the capacitor C1 and averaged. The output signal from the averaging circuit 62 is input to the comparison circuit 63. The input signal input to the comparison circuit 63 is input to the series circuit of the resistors R2 and R3, and the voltage divided by the resistors R2 and R3 is input between the base and the emitter of the transistor Q1. When the voltage between the base and the emitter exceeds about 0.6 V, the transistor Q1 is turned on to change the no load detection signal from the high level to the low level.

도 8은, 도 6에 나타낸 방전 램프 장치의 회로 동작을 설명하기 위한 타이밍 차트이다.FIG. 8 is a timing chart for explaining the circuit operation of the discharge lamp device shown in FIG. 6.

동 도면에 있어서, 신호 S1는, 펄스폭 ton의 하이 레벨 신호가 주기 T로 반복되는, 반복 신호이다. 신호 S2도 펄스폭 ton, 주기 T의 반복 신호이며, 신호 S1에 대해서 위상이 180°어긋나 출력된다. 램프 전압 파형은, 신호 S1가 하이 레벨이 되면 음으로부터 양으로 극성 반전하고, 신호 S2가 하이 레벨이 되면 양으로부 터 음으로 극성 반전한다. 여기서, 전류 파형 검출 회로(61)에 의해 검출되는 전류 파형 신호는, 제1 또는 제2 전류 경로 중 어느 한쪽의 전류에 비례하는 신호이다.In the figure, the signal S1 is a repetitive signal in which the high level signal of the pulse width ton is repeated in the period T. The signal S2 is also a repetition signal of the pulse width ton and the period T. The phase is shifted 180 degrees with respect to the signal S1 and output. The ramp voltage waveform is inverted from positive to positive when the signal S1 is at high level, and inverted from positive to negative when the signal S2 is at high level. Here, the current waveform signal detected by the current waveform detection circuit 61 is a signal proportional to the current of either the first or second current path.

다음으로, 본 발명의 제3 실시 형태를 도 9 및 도 10을 이용해 설명한다.Next, 3rd Embodiment of this invention is described using FIG. 9 and FIG.

도 9는, 본 실시 형태의 발명에 관련된 방전 램프 장치의 회로 구성을 나타내는 도면이다. 또한, 동 도면에 있어서, 무부하 검지 회로(7)의 구성 및 회로로의 삽입 위치 이외는, 도 1에 나타낸 동부호의 구성에 대응하므로 설명을 생략한다. 또, 무부하 검지 회로(7)의 구체적 구성은, 도 7에서 설명한 회로도와 동일하므로 설명을 생략한다.9 is a diagram showing the circuit configuration of the discharge lamp device according to the invention of the present embodiment. In addition, in the same figure, since it corresponds to the structure of the eastern arc shown in FIG. 1 except the structure of the no load detection circuit 7 and the insertion position in a circuit, description is abbreviate | omitted. In addition, since the specific structure of the no load detection circuit 7 is the same as the circuit diagram demonstrated in FIG. 7, description is abbreviate | omitted.

동 도면에 있어서, 스위칭 소자 Q11, Q12를 제1 스위칭 소자로 하고, 스위칭 소자 Q21, Q22를 제2 스위칭 소자로 한다. 또, 제1 스위칭 소자 Q11, Q12가 온일 때에 전류가 흐르는 경로를 제1 전류 경로로 하고, 구체적으로는, 직류 전원(1)의 고전위측으로부터, 스위칭 소자 Q11, 트랜스(3)의 1차측, 스위칭 소자 Q12, 무부하 검지 회로(7)의 전류 파형 검출 회로(71), 직류 전원(1)의 저전위측까지를 주회하는 경로와, 트랜스(3)의 2차측의 HV 단자로부터, 희가스 형광 램프(4), 트랜스(3)의 LV 단자까지를 주회하는 경로로 한다. 또, 제2 스위칭 소자 Q21, Q22가 온일 때에 전류가 흐르는 경로를 제2 전류 경로로 하며, 구체적으로는, 직류 전원(1)의 고전위측으로부터, 스위칭 소자 Q21, 트랜스(3)의 1차측, 스위칭 소자 Q22, 무부하 검지 회로(7)의 전류 파형 검출 회로(71), 직류 전원(1)의 저전위측까지를 주회하는 경로와, 트랜스(3)의 2차측의 LV 단자로부터, 희가스 형광 램프(4), 트랜스(3)의 2차측의 HV 단자까지를 주회하는 경로로 한다.In the same figure, switching elements Q11 and Q12 are made into a 1st switching element, and switching elements Q21 and Q22 are made into a 2nd switching element. The first current path is a path through which current flows when the first switching elements Q11 and Q12 are turned on. Specifically, the primary side of the switching element Q11 and the transformer 3 from the high potential side of the DC power supply 1, A rare gas fluorescent lamp is provided from a path around the current waveform detection circuit 71 of the switching element Q12, the no-load detection circuit 7, the low potential side of the DC power supply 1, and the HV terminal on the secondary side of the transformer 3. (4) A route around the LV terminal of the transformer 3 is used. The second current path is a path through which current flows when the second switching elements Q21 and Q22 are on. Specifically, from the high potential side of the DC power supply 1, the primary side of the switching element Q21 and the transformer 3, A rare gas fluorescent lamp from the switching element Q22, the current waveform detection circuit 71 of the no-load detection circuit 7, the path which circulates to the low potential side of the DC power supply 1, and the LV terminal of the secondary side of the transformer 3 (4) A route around the HV terminal on the secondary side of the transformer 3 is used.

동 도면에 있어서, 무부하 검지 회로(7)의 전류 파형 검출 회로(71)는, 제1 전류 경로와 제2 전류 경로가 겹치고, 또한, 제1 스위칭 소자가 온이 되어 최초에 흐르는 전류의 방향과, 제2 스위칭 소자가 온이 되어 최초에 흐르는 전류의 방향이 서로 같아지는 경로 내이면, 어디이어도 된다.In the same figure, the current waveform detection circuit 71 of the no-load detection circuit 7 has a first current path and a second current path overlapping each other, and the first switching element is turned on and thus the direction of the current flowing first. The second switching element may be on as long as the second switching element is in the path where the directions of the currents flowing at the same time are the same.

도 10은, 도 9에 나타낸 방전 램프 장치의 회로 동작을 설명하기 위한 타이밍 차트이다.FIG. 10 is a timing chart for explaining the circuit operation of the discharge lamp device shown in FIG. 9.

동 도면에 있어서, 신호 S1는, 펄스폭 ton의 하이 레벨 신호가 주기 T로 반복되는, 반복 신호이다. 신호 S2도 펄스폭 ton, 주기 T의 반복 신호이며, 신호 S1에 대해서 위상이 180°어긋나 출력된다. 램프 전압 파형은, 신호 S1가 하이 레벨이 되면 음으로부터 양으로 극성 반전하고, 신호 S2가 하이 레벨이 되면 양으로부터 음으로 극성 반전한다. 여기서, 전류 파형 검출 회로(71)에 의해 검출되는 전류 파형 신호는, 제1, 제2 전류 경로를 흐르는 전류에 비례하는 신호이다.In the figure, the signal S1 is a repetitive signal in which the high level signal of the pulse width ton is repeated in the period T. The signal S2 is also a repetition signal of the pulse width ton and the period T. The phase is shifted 180 degrees with respect to the signal S1 and output. The ramp voltage waveform is inverted from negative to positive when the signal S1 is at high level, and inverted from positive to negative when the signal S2 is at high level. Here, the current waveform signal detected by the current waveform detection circuit 71 is a signal proportional to the current flowing through the first and second current paths.

다음으로, 제1 내지 제3 실시 형태의 발명에 관련된 방전 램프 장치에서의, 희가스 형광 램프(4)의 점등시 및 무부하시에 있어서의 각 부의 전류 파형에 대해 설명한다.Next, the current waveform of each part at the time of lighting and no load of the rare gas fluorescent lamp 4 in the discharge lamp device which concerns on invention of 1st-3rd embodiment is demonstrated.

도 11(a)는, 제1 내지 제3 실시 형태의 발명에 관련된 방전 램프 장치에서, 희가스 형광 램프(4)의 점등시에서의 트랜스(3)의 2차측에 흐르는 전류 파형을 나타내는 도면이다.11A is a diagram showing a current waveform flowing to the secondary side of the transformer 3 when the rare gas fluorescent lamp 4 is turned on in the discharge lamp device according to the invention of the first to third embodiments.

도 11(b)는, 제1 내지 제3 실시 형태의 발명에 관련된 방전 램프 장치에서, 희가스 형광 램프(4)의 무부하시에서의 트랜스(3)의 2차측에 흐르는 전류 파형을 나타내는 도면이다.FIG. 11 (b) is a diagram showing a current waveform flowing to the secondary side of the transformer 3 at no load of the rare gas fluorescent lamp 4 in the discharge lamp device according to the invention of the first to third embodiments.

도 12(a)는, 제1 실시 형태(또는 제2 실시 형태)의 발명에 관련된 방전 램프 장치의, 희가스 형광 램프(4)의 점등시에 있어서의, 무부하 검지 회로(5)의 평균화 회로(53)(또는 무부하 검지 회로(6)의 평균화 회로(62))에 입력되는 입력 신호의 파형을 나타내는 도면이며, 주기 T로 파형의 시간 평균을 행하면, 평균값은 어느 일정 이상의 크기를 갖는다. 또한, 제로점을 쉬프트하고 있는 경우는, 쉬프트한 크기를 차감하여 생각한다.12A shows an averaging circuit of the no-load detection circuit 5 when the rare gas fluorescent lamp 4 is turned on in the discharge lamp device according to the invention of the first embodiment (or the second embodiment). 53) (or the averaging circuit 62 of the no-load detecting circuit 6) shows the waveform of the input signal. When the time average of the waveform is performed in the period T, the average value has a certain magnitude or more. In the case where the zero point is shifted, the shifted size is considered to be subtracted.

도 12(b)는, 제1 실시 형태(또는 제2 실시 형태)의 발명에 관련된 방전 램프 장치의 무부하시에서의, 무부하 검지 회로(5)의 평균화 회로(53)(또는 무부하 검지 회로(6)의 평균화 회로(62))에 입력되는 입력 신호의 파형을 나타내는 도면이고, 무부하시에 흐르는 진동 전류는, 희가스 형광 램프(4)의 정전 용량이나 부유 용량을 흐르는 진동 전류이다. 직류 성분은 포함되어 있지 않다. 그 때문에, 주기 T로 파형의 시간 평균을 행하면, 평균값은 대략 0이 된다. 또한, 제로점을 쉬프트하고 있는 경우는, 쉬프트한 크기를 차감하여 생각한다.12B shows an averaging circuit 53 (or no load detecting circuit 6) of the no load detecting circuit 5 at no load of the discharge lamp device according to the invention of the first embodiment (or the second embodiment). Is a diagram showing the waveform of the input signal input to the averaging circuit 62), and the vibration current flowing under no load is the vibration current flowing through the electrostatic capacitance and the stray capacitance of the rare gas fluorescent lamp 4. DC component is not included. Therefore, when the time average of the waveform is performed in the period T, the average value becomes approximately zero. In the case where the zero point is shifted, the shifted size is considered to be subtracted.

도 13(a)은, 제3 실시 형태의 발명에 관련된 방전 램프 장치의, 희가스 형광 램프(4)의 점등시에서의, 무부하 검지 회로(7)의 평균화 회로(72)에 입력되는 입력 신호의 파형을 나타내는 도면이며, 주기 T로 파형의 시간 평균을 행하면, 평균값은 어느 일정 이상의 크기를 갖는다.FIG. 13A shows the input signal input to the averaging circuit 72 of the no-load detection circuit 7 when the rare gas fluorescent lamp 4 is turned on in the discharge lamp device according to the invention of the third embodiment. It is a figure which shows a waveform. When the time average of a waveform is performed in period T, an average value will have a magnitude | size more than a certain level.

또한, 도 13(b)은, 제3 실시 형태의 발명에 관련된 방전 램프 장치의 무부하시에서의, 무부하 검지 회로(7)의 평균화 회로(72)에 입력되는 입력 신호의 파형을 나타내는 도면이다. 무부하시에 흐르는 진동 전류는, 희가스 형광 램프(4)의 정전 용량이나 부유 용량을 흐르는 진동 전류이며, 직류 성분은 포함되지 않는다. 그 때문에, 주기 T로 파형의 시간 평균을 행하면, 평균값은 대략 0이 된다.13 (b) is a diagram showing waveforms of input signals input to the averaging circuit 72 of the no load detection circuit 7 at no load of the discharge lamp device according to the invention of the third embodiment. The vibration current flowing at no load is a vibration current flowing through the electrostatic capacitance and the stray capacitance of the rare gas fluorescent lamp 4, and no direct current component is included. Therefore, when the time average of the waveform is performed in the period T, the average value becomes approximately zero.

상기와 같이, 제1 실시 형태(또는 제2 실시 형태)의 발명에 관련된 방전 램프 장치에 의하면, 도 12(a)에 나타내는 바와 같이, 점등시의 무부하 검지 회로(5)의 평균화 회로(53)(또는 무부하 검지 회로(6)의 평균화 회로(62))의 출력은 어느 일정 이상의 크기를 가지며, 한편, 도 12(b)에 나타내는 바와 같이, 무부하시의 무부하 검지 회로(5)의 평균화 회로(53)(또는 무부하시의 무부하 검지 회로(6)의 평균화 회로(62))의 출력은 대략 0이 된다. 이 평균화 회로(5)(또는 평균화 회로(6))의 출력을 측정함으로써, 점등 상태에 있는지, 무부하 상태에 있는지를 알 수 있다. 점등시와 무부하시에서의 평균화 회로(5)(또는 평균화 회로(6))의 출력차는 크고, 구별은 용이하고, 또, 부유 용량 등의 크기가 변화해, 진동 전류 파형의 주파수가 변화하더라도, 무부하시의 적분값은 대략 0이며, 불점등 검지의 정확성에 영향을 미치지 않는다.As described above, according to the discharge lamp device according to the invention of the first embodiment (or the second embodiment), as shown in Fig. 12A, the averaging circuit 53 of the no-load detection circuit 5 at the time of lighting is shown. (Or the output of the averaging circuit 62 of the no-load detecting circuit 6 has a certain size or more, and as shown in Fig. 12B, the averaging circuit of the no-load detecting circuit 5 at no load ( 53) (or the averaging circuit 62 of the no load detection circuit 6 at no load) becomes approximately zero. By measuring the output of this averaging circuit 5 (or averaging circuit 6), it can be known whether it is in a lighting state or a no-load state. The output difference of the averaging circuit 5 (or the averaging circuit 6) at the time of lighting and no load is large, it is easy to distinguish, and even if the magnitude | size of a stray capacitance changes, and the frequency of a vibration current waveform changes, The integral value at no load is approximately 0, and does not affect the accuracy of the unlit detection.

또, 상기와 같이, 제3 실시 형태의 발명에 관련된 방전 램프 장치에 의하면, 도 13(a)에 나타내는 바와 같이, 점등시의 무부하 검지 회로(7)의 평균화 회로(72)의 출력은 어느 일정 이상의 크기를 가지며, 한편, 도 13(b)에 나타내는 바와 같이, 무부하시의 무부하 검지 회로(7)의 평균화 회로(72)의 출력은 대략 0이 된다. 이 평균화 회로(7)의 출력을 측정함으로써, 점등 상태에 있는지, 무부하 상태에 있는지를 알 수 있다. 점등시와 무부하시에서의 평균화 회로(72)의 출력차는 크고, 구별은 용이하며, 또, 부유 용량 등의 크기가 변화해, 진동 전류 파형의 주파수가 변화하더라도, 무부하시의 적분값은 대략 0이고, 불점등 검지의 정확성에 영향을 미치지 않는다.As described above, according to the discharge lamp device according to the invention of the third embodiment, as shown in FIG. 13A, the output of the averaging circuit 72 of the no-load detection circuit 7 at the time of lighting is constant. 13 (b), the output of the averaging circuit 72 of the no load detection circuit 7 at no load is approximately zero. By measuring the output of this averaging circuit 7, it can be known whether it is in a lighting state or a no-load state. The output difference of the averaging circuit 72 at the time of lighting and no load is large, it is easy to distinguish, and even if the magnitude | size of a stray capacitance etc. changes and the frequency of a vibration current waveform changes, the integral value at no load is about 0. It does not affect the accuracy of the detection of unlit detection.

도 14는, 제1 내지 제3 각 실시 형태의 발명에 관련된 방전 램프 장치의 평균화 회로에서의 점등시의 시간 평균값에 대한 무부하시의 시간 평균값의 상대값과, 도 18에 나타낸 종래 기술에 관계되는 방전 램프 장치의 평균화 회로에서의, 점등시의 시간 평균값에 대한 무부하시의 시간 평균값의 상대값을 나타낸 표이다.14 is related to the relative value of the time average value at no load with respect to the time average value at the time of lighting in the averaging circuit of the discharge lamp apparatus which concerns on each of invention of 1st-3rd embodiment, and is related with the prior art shown in FIG. It is a table which shows the relative value of the time average value at no load with respect to the time average value at the time of lighting in the averaging circuit of a discharge lamp device.

동 도면에 나타내는 바와 같이, 각 실시 형태의 발명에 관련된 방전 램프 장치에서는, 어느쪽도 상대값은 9%대이며, 점등시와 무부하시의 차는 90% 이상 있으므로, 불균형에 대한 허용 범위는 크다. 또, 부유 용량의 크기가 변화해도 무부하시의 적분값의 크기에 거의 영향을 미치지 않기 때문에, 점등시와 무부하시의 차가 줄어드는 일은 없다. 이것은, 도 12(a)와 도 12(b), 또는 도 13(a)에 나타내는 평균화 회로에 입력되는 입력 신호 파형을 대비 관찰함으로써도 분명하다. 한편, 종래 기술에 관계되는 방전 램프 장치에서는, 상대값은 65.3%이며, 점등시와 무부하시의 차는 약 35%이므로, 불균형에 대한 허용 범위는 작다. 또, 부유 용량 등의 크기가 변화하면, 무부하시의 전류 파형이 바뀌어, 적분값이 변화하므로, 점등시와 무부하시의 차가 줄어들 우려가 있다. 이것은, 도 20(a)와 도 20(b)에 나타내는 평균화 회로에 입력되는 입력 신호 파형을 대비 관찰함으로써도 분명하다.As shown in the figure, in the discharge lamp apparatus according to the invention of each embodiment, the relative value is 9% in both, and the difference between lighting and no load is 90% or more, so the allowable range for the imbalance is large. In addition, since the magnitude of the floating capacity hardly affects the magnitude of the integral value at no load, the difference between lighting and no load is not reduced. This is also apparent by contrasting the input signal waveform input to the averaging circuit shown in Figs. 12A and 12B or 13A. On the other hand, in the discharge lamp device according to the prior art, the relative value is 65.3%, and the difference between lighting and no load is about 35%, so the allowable range for the imbalance is small. In addition, if the magnitude of the stray capacitance or the like changes, the current waveform at no load is changed and the integral value is changed, so that there is a fear that the difference between lighting and no load is reduced. This is also apparent by contrasting the input signal waveforms input to the averaging circuit shown in Figs. 20A and 20B.

또한, 제1 내지 제3 실시 형태에서는, 교류 변환 회로(2)를 풀 브릿지 방식으로 구성했지만, 이것에 한정되지 않고, 교류 변환 회로(2)를 푸시풀 방식으로 구 성해도 된다.In addition, although the AC conversion circuit 2 was comprised by the full bridge system in 1st thru | or 3rd embodiment, it is not limited to this, You may comprise the AC conversion circuit 2 by the push-pull system.

도 15는, 교류 변환 회로(2)를 푸시풀 방식으로 구성하고, 무부하 검지 회로가 생략되어 도시되어 있는 방전 램프 장치의 회로 구성을 나타내는 도면이다.FIG. 15 is a diagram showing the circuit configuration of the discharge lamp device in which the AC conversion circuit 2 is configured by the push-pull method and the no-load detection circuit is omitted.

동 도면에 있어서, 여기에서는, 한쪽의 스위칭 소자 Q1를 제1 스위칭 소자로 하고, 다른쪽의 스위칭 소자 Q2를 제2 스위칭 소자로 한다. 제1 전류 경로는, 제1 스위칭 소자 Q1가 온일 때에 전류가 흐르는 경로이며, 이 전류는, 직류 전원(1)의 고전위측으로부터, 트랜스(3), 스위칭 소자 Q1, 직류 전원(1)의 저전위측까지를 둘레로 하는 경로와, 트랜스(3)의 2차측의 HV 단자로부터, 희가스 형광 램프(4), 트랜스(3)의 2차측의 LV 단자까지를 둘레로 하는 경로를 흐른다. 제2 전류 경로는, 제2 스위칭 소자 Q2가 온일 때에 전류가 흐르는 경로이며, 이 전류는, 직류 전원(1)의 고전위측으로부터, 트랜스(3), 스위칭 소자 Q2, 직류 전원(1)의 저전위측까지를 둘레로 하는 경로와, 트랜스(3)의 2차측의 LV 단자로부터, 희가스 형광 램프(4), 트랜스(3)의 2차측의 HV 단자까지를 둘레로 하는 경로를 흐른다.In the same figure, here, one switching element Q1 is made into a 1st switching element, and the other switching element Q2 is made into a 2nd switching element. The first current path is a path through which current flows when the first switching element Q1 is on, and the current flows from the high potential side of the direct current power source 1 to the low level of the transformer 3, the switching element Q1, and the direct current power source 1. The path around the potential side and the HV terminal on the secondary side of the transformer 3 flow from the rare gas fluorescent lamp 4 to the LV terminal on the secondary side of the transformer 3. The second current path is a path through which the current flows when the second switching element Q2 is on, and the current flows from the high potential side of the direct current power source 1 to the low level of the transformer 3, the switching element Q2, and the direct current power source 1. The path around the potential side and the LV terminal on the secondary side of the transformer 3 flow from the rare gas fluorescent lamp 4 to the HV terminal on the secondary side of the transformer 3.

또, 교류 변환 회로(2)를 하프 브릿지 방식으로 구성해도 된다.Moreover, you may comprise the AC conversion circuit 2 by the half bridge system.

도 16은, 교류 변환 회로(2)를 하프 브릿지 방식으로 구성하고, 무부하 검지 회로가 생략되어 도시되어 있는 방전 램프 장치의 회로 구성을 나타내는 도면이다.FIG. 16: is a figure which shows the circuit structure of the discharge lamp apparatus which the AC conversion circuit 2 is comprised by the half bridge system, and the no load detection circuit is abbreviate | omitted.

동 도면에 있어서, 여기에서는, 한쪽의 스위칭 소자 Q1를 제1 스위칭 소자로 하고, 다른쪽의 스위칭 소자 Q2를 제2 스위칭 소자로 한다. 제1 전류 경로는, 제1 스위칭 소자 Q1가 온일 때에 전류가 흐르는 경로이며, 이 전류는, 콘덴서 C1의 고전위측으로부터, 스위칭 소자 Q1, 트랜스(3), 콘덴서 C1의 저전위측까지를 둘레로 하는 경로와, 트랜스(3)의 2차측의 HV 단자로부터, 희가스 형광 램프(4), 트랜스(3)의 2차측의 LV 단자까지를 둘레로 하는 경로를 흐른다. 제2 전류 경로는, 제2 스위칭 소자 Q2가 온일 때에 전류가 흐르는 경로이며, 이 전류는, 콘덴서 C2의 고전위측으로부터, 트랜스(3)의 1차측, 스위칭 소자 Q2, 콘덴서 C2의 저전위측까지를 둘레로 하는 경로와, 트랜스(3)의 2차측의 LV 단자로부터, 희가스 형광 램프(4), 트랜스(3)의 2차측의 HV 단자까지를 둘레로 하는 경로를 흐른다.In the same figure, here, one switching element Q1 is made into a 1st switching element, and the other switching element Q2 is made into a 2nd switching element. The first current path is a path through which current flows when the first switching element Q1 is on, and the current flows from the high potential side of the capacitor C1 to the low potential side of the switching element Q1, the transformer 3, and the capacitor C1. And a path around the rare gas fluorescent lamp 4 and the LV terminal on the secondary side of the transformer 3 from the HV terminal on the secondary side of the transformer 3. The second current path is a path through which current flows when the second switching element Q2 is on, and the current flows from the high potential side of the capacitor C2 to the primary side of the transformer 3, the switching element Q2, and the low potential side of the capacitor C2. And a path around the LV terminal on the secondary side of the transformer 3 to the rare gas fluorescent lamp 4 and the HV terminal on the secondary side of the transformer 3.

도 15 및 도 16에 있어서, 제1 실시 형태의 방전 램프 장치에서의 무부하 검지 회로(5)에 상당하는 무부하 검지 회로가 삽입되는 개소는, 제1 전류 경로와 제2 전류 경로가 겹치고, 또한, 제1 스위칭 소자가 온이 되어 최초에 흐르는 전류와 제2 스위칭 소자가 온이 되어 최초에 흐르는 전류의 방향이 서로 반대가 되는 경로 내이면, 어디에 설치해도 된다. 또, 제2 실시 형태의 방전 램프 장치에서의 무부하 검지 회로(6)에 상당하는 무부하 검지 회로가 삽입되는 개소는, 제1 전류 경로와 제2 전류 경로에서 서로 겹쳐지지 않는 경로 내이면 어디여도 된다. 또한 제3 실시 형태의 방전 램프 장치에서의 무부하 검지 회로(7)에 상당하는 무부하 검지 회로가 삽입되는 개소는, 제1 전류 경로와 제2 전류 경로가 겹치고, 또한, 제1 스위칭 소자가 온이 되어 최초에 흐르는 전류와 제2 스위칭 소자가 온이 되어 최초에 흐르는 전류의 방향이 서로 같아지는 경로 내이면, 어디에 설치해도 된다.In FIG. 15 and FIG. 16, in the place where the no-load detection circuit equivalent to the no-load detection circuit 5 in the discharge lamp device of the first embodiment is inserted, the first current path and the second current path overlap, and If the 1st switching element turns on, the current which flows initially and a 2nd switching element turns on, and may be provided anywhere in the path | route where the direction of the electric current which flows initially is mutually opposite. In addition, the location where the no-load detection circuit equivalent to the no-load detection circuit 6 in the discharge lamp device of the second embodiment is inserted may be anywhere within the path not overlapping each other in the first current path and the second current path. . In the discharge lamp device according to the third embodiment, the no-load detection circuit corresponding to the no-load detection circuit 7 is inserted in the first current path and the second current path, and the first switching element is turned on. If the current flowing first and the second switching element are turned on and within the path where the directions of the current flowing first are the same, it may be provided anywhere.

또한, 본 발명의 방전 램프 장치는, 희가스 형광 램프를 대신해, 엑시머 램프에도 적용 가능하다.Moreover, the discharge lamp apparatus of this invention is applicable to an excimer lamp instead of a rare gas fluorescent lamp.

도 17은, 엑시머 램프의 일례를 나타내는 개략 단면도이다. 동 도면에 나타 내는 바와 같이, 이 엑시머 램프는, 원통 외부 방사형의 것으로, 방전 용기(46)는 석영 유리 등의 유전체로 구성되어 있다. 방전 용기(46)는, 원통 형상을 한 외벽(461)과, 그 내측에 통축을 공통으로 한 원통 형상의 내벽(462)과, 이 외벽(461)과 내벽(462)을 양단에서 밀봉하는 밀봉벽(463, 464)으로 이루어지고, 이러한 각 벽으로 둘러싸인 원통 형상의 영역이 방전 공간 S가 된다. 외벽(461)의 표면에 밀착해 망형상의 제1 전극(47)이 설치되고, 내벽(462)의 통축측의 표면에 밀착해 알루미늄 등으로 이루어지는 제2 전극(48)이 밀착해 설치되어 있다. 이들의 제1, 제2 전극간에는 고주파 전원(8)이 접속된다. 고주파 전원(8)에 의해 제1 전극(47)과 제2 전극(48) 사이에 고주파 전압이 인가되면, 방전 공간 S 내에는 유전체 배리어 방전에 의한 직경 0.02 ~ 0.2mm 정도의 다수의 마이크로 플라즈마가 발생한다. 이것에 의해 방전 공간 S 내에 엑시머가 생성되고, 엑시머광이 방출된다. 이 엑시머광은, 외벽(461)을 투과해 제1 전극(47)의 강목을 통과하여 외부에 방사된다. 방전 공간 S 내에 봉입되는 방전 가스로서는, 희가스 또는 희가스와 할로겐 가스의 혼합 가스가 이용되지만, 방전 가스의 종류를 바꿈으로써, 각각 발광 중심 파장이 상이한 엑시머광을 방사시킬 수 있다. 방전 가스로서 크세논(Xe), 크립톤(Kr), 아르곤(Ar) 등의 희가스를 이용했을 경우에는, 각각 172nm, 146nm, 126nm의 발광 중심 파장을 갖는 엑시머광을 얻을 수 있다. 또, 크립톤(Kr)과 염소(Cl) 가스의 혼합 가스를 이용했을 경우에는, 발광 중심 파장이 222nm의 엑시머광이 얻어진다.17 is a schematic cross-sectional view showing an example of an excimer lamp. As shown in the figure, this excimer lamp is a cylindrical external radial type, and the discharge container 46 is comprised from dielectrics, such as quartz glass. The discharge container 46 seals the outer wall 461 which has a cylindrical shape, the cylindrical inner wall 462 which has a cylindrical shaft in the inside, and seals this outer wall 461 and the inner wall 462 at both ends. The cylindrical area | region which consists of walls 463 and 464 and is enclosed by each such wall becomes discharge space S. FIG. The mesh-shaped 1st electrode 47 is provided in close_contact with the surface of the outer wall 461, and the 2nd electrode 48 which consists of aluminum etc. in close_contact with the surface of the cylindrical shaft side of the inner wall 462 is provided. The high frequency power supply 8 is connected between these 1st, 2nd electrodes. When a high frequency voltage is applied between the first electrode 47 and the second electrode 48 by the high frequency power source 8, a plurality of micro plasmas having a diameter of about 0.02 to 0.2 mm due to dielectric barrier discharge are generated in the discharge space S. Occurs. As a result, an excimer is generated in the discharge space S, and the excimer light is emitted. The excimer light passes through the outer wall 461 and passes through the hardwood of the first electrode 47 and is radiated to the outside. As the discharge gas enclosed in the discharge space S, a rare gas or a mixed gas of a rare gas and a halogen gas is used, but excimer light having different emission center wavelengths can be emitted by changing the type of discharge gas. When rare gases, such as xenon (Xe), krypton (Kr), argon (Ar), etc. are used as discharge gas, excimer light which has the emission center wavelength of 172 nm, 146 nm, and 126 nm, respectively can be obtained. When a mixed gas of krypton (Kr) and chlorine (Cl) gas is used, excimer light having a light emission center wavelength of 222 nm is obtained.

도 1은 제1 실시 형태의 발명에 관련된 방전 램프 장치의 회로 구성을 나타내는 도면이다.1 is a diagram showing a circuit configuration of a discharge lamp device according to the invention of the first embodiment.

도 2는 도 1에 나타낸 희가스 형광 램프(4)의 구성을 나타내는 도면이다.FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of the rare gas fluorescent lamp 4 shown in FIG. 1.

도 3은 희가스 형광 램프(4)의 등가 회로를 나타내는 도면이다.3 is a diagram showing an equivalent circuit of the rare gas fluorescent lamp 4.

도 4는 도 1에 나타낸 무부하 검지 회로(5)의 구체적 구성을 나타내는 회로도이다.FIG. 4 is a circuit diagram showing a specific configuration of the no load detection circuit 5 shown in FIG. 1.

도 5는 도 1에 나타낸 방전 램프 장치의 회로 동작을 설명하기 위한 타이밍 차트이다.FIG. 5 is a timing chart for explaining the circuit operation of the discharge lamp device shown in FIG. 1.

도 6은 제2 실시 형태의 발명에 관련된 방전 램프 장치의 회로 구성을 나타내는 도면이다.6 is a diagram illustrating a circuit configuration of a discharge lamp device according to the invention of the second embodiment.

도 7은 도 6에 나타낸 무부하 검지 회로(6)의 구체적 구성을 나타내는 회로도이다.FIG. 7 is a circuit diagram showing a specific configuration of the no load detection circuit 6 shown in FIG. 6.

도 8은 도 6에 나타낸 방전 램프 장치의 회로 동작을 설명하기 위한 타이밍 차트이다.FIG. 8 is a timing chart for explaining the circuit operation of the discharge lamp device shown in FIG. 6.

도 9는 제3 실시 형태의 발명에 관련된 방전 램프 장치의 회로 구성을 나타내는 도면이다.9 is a diagram illustrating a circuit configuration of a discharge lamp device according to the invention of the third embodiment.

도 10은 도 9에 나타낸 방전 램프 장치의 회로 동작을 설명하기 위한 타이밍 차트이다.FIG. 10 is a timing chart for explaining the circuit operation of the discharge lamp device shown in FIG. 9.

도 11은 제1 내지 제3 실시 형태의 발명에 관련된 방전 램프 장치에서, 희가 스 형광 램프(4)의 점등시에서의 트랜스(3)의 2차측에 흐르는 전류 파형, 및 희가스 형광 램프(4)의 무부하시에서의 트랜스(3)의 2차측에 흐르는 전류 파형을 나타내는 도면이다.11 shows a current waveform flowing to the secondary side of the transformer 3 and the rare gas fluorescent lamp 4 in the discharge lamp device according to the invention of the first to third embodiments when the rare gas fluorescent lamp 4 is turned on. Is a diagram showing a current waveform flowing to the secondary side of the transformer 3 at no load.

도 12는 제1(또는 제2) 실시 형태의 발명에 관련된 방전 램프 장치에서, 희가스 형광 램프(4)의 점등시 및 무부하시에서의, 무부하 검지 회로(5)의 평균화 회로(53)(또는 무부하 검지 회로(6)의 평균화 회로(62))에 입력되는 입력 신호의 전류 파형을 나타내는 도면이다.Fig. 12 shows the averaging circuit 53 of the no load detection circuit 5 (or at the time of turning on the rare gas fluorescent lamp 4 and at no load in the discharge lamp device according to the invention of the first (or second) embodiment). It is a figure which shows the current waveform of the input signal input into the averaging circuit 62 of the no load detection circuit 6. As shown in FIG.

도 13은 제3 실시 형태의 발명에 관련된 방전 램프 장치에서, 희가스 형광 램프(4)의 점등시에 및 무부하시에서의, 무부하 검지 회로(7)의 평균화 회로(72)에 입력되는 입력 신호의 전류 파형을 나타내는 도면이다.Fig. 13 shows the input signal input to the averaging circuit 72 of the no load detection circuit 7 at the time of lighting the rare gas fluorescent lamp 4 and at no load in the discharge lamp device according to the invention of the third embodiment. It is a figure which shows a current waveform.

도 14는 제1 내지 제3 각 실시 형태의 발명에 관련된 방전 램프 장치 및 도 17에 나타낸 종래 기술과 관계되는 방전 램프 장치의 평균화 회로에서, 점등시의 시간 평균값에 대한 무부하시의 시간 평균값의 상대값을 나타낸 표이다.FIG. 14 shows a relationship between the time average value at no load and the time average value at lighting in the averaging circuit of the discharge lamp device according to the invention of each of the first to third embodiments and the prior art shown in FIG. 17. A table showing values.

도 15는 교류 변환 회로(2)를 푸시풀 방식으로 구성하고, 무부하 검지 회로가 생략되어 도시되어 있는 방전 램프 장치의 회로 구성을 나타내는 도면이다.FIG. 15 is a diagram showing the circuit configuration of the discharge lamp device in which the AC conversion circuit 2 is configured in a push-pull manner and the no-load detection circuit is omitted.

도 16은 교류 변환 회로(2)를 하프 브릿지 방식으로 구성하고, 무부하 검지 회로가 생략되어 도시되어 있는 방전 램프 장치의 회로 구성을 나타내는 도면이다.FIG. 16: is a figure which shows the circuit structure of the discharge lamp apparatus which shows the AC conversion circuit 2 by the half bridge system, and the no load detection circuit was abbreviate | omitted.

도 17은 엑시머 램프의 일례를 나타내는 개략 단면도이다.It is a schematic sectional drawing which shows an example of an excimer lamp.

도 18은 종래 기술에 관계되는 방전 램프 장치의 회로 구성을 나타내는 도면이다.18 is a diagram illustrating a circuit configuration of a discharge lamp device according to the prior art.

도 19는 도 18에 나타낸 무부하 검지 회로(105)의 구체적 구성을 나타내는 회로도이다.FIG. 19 is a circuit diagram showing a specific configuration of the no load detection circuit 105 shown in FIG. 18.

도 20은 도 18에 나타낸 방전 램프 장치에서, 희가스 형광 램프(104)의 점등시에서의 무부하 검지 회로(105)의 평균화 회로(108)에 입력되는 입력 신호의 전류 파형, 및 희가스 형광 램프(104)의 무부하시에서의 무부하 검지 회로(105)의 평균화 회로(108)에 입력되는 입력 신호의 전류 파형을 나타내는 도면이다.FIG. 20 shows a current waveform of an input signal input to the averaging circuit 108 of the no-load detecting circuit 105 when the rare gas fluorescent lamp 104 is turned on, and the rare gas fluorescent lamp 104 in the discharge lamp device shown in FIG. 18. Is a diagram showing a current waveform of an input signal input to the averaging circuit 108 of the no load detection circuit 105 at no load.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1 : 직류 전원 2 : 교류 변환 회로1: DC power supply 2: AC conversion circuit

21 : 스위칭 소자 구동 회로 22 : RS 플립플롭21: switching element driving circuit 22: RS flip-flop

3 : 트랜스 4 : 희가스 형광 램프3: trance 4: rare gas fluorescent lamp

41 : 유리관 42 : 형광 물질41 glass tube 42 fluorescent material

43, 44 : 외부 전극 45 : 역 시동 부위43, 44: external electrode 45: reverse start site

46 : 방전 용기 461 : 외벽46: discharge vessel 461: outer wall

462 : 내벽 463, 464 : 밀봉벽462: inner wall 463, 464: sealing wall

47 : 제1 전극 48 : 제2 전극47: first electrode 48: second electrode

5 : 무부하 검지 회로 51 : 전류 파형 검출 회로5: No Load Detection Circuit 51: Current Waveform Detection Circuit

52 : 스위치 회로 53 : 평균화 회로52: switch circuit 53: averaging circuit

54 : 비교 회로 6 : 무부하 검지 회로54 Comparative Circuit 6: No Load Detection Circuit

61 : 전류 파형 검출 회로 62 : 평균화 회로61 current waveform detection circuit 62 averaging circuit

63 : 비교 회로 7 : 무부하 검지 회로63 comparison circuit 7: no-load detection circuit

71 : 전류 파형 검출 회로 72 : 평균화 회로71 current waveform detection circuit 72 averaging circuit

73 : 비교 회로 8 : 고주파 전원73: comparison circuit 8: high frequency power supply

Q11, Q12, Q21, Q22 : 스위칭 소자 D11, D12, D21, D22 : 다이오드Q11, Q12, Q21, Q22: switching elements D11, D12, D21, D22: diode

Claims (6)

한쪽 또는 한쪽 조의 제1 스위칭 소자와 다른쪽 또는 다른쪽 조의 제2 스위칭 소자를 교대로 스위칭 동작시켜 직류 전압을 교류 전압으로 변환시키는 교류 변환 회로와, 이 교류 변환 회로로부터의 교류 전압을 승압하는 트랜스와, 이 트랜스의 2차측에 접속된 희가스 형광 램프를 구비한 방전 램프 장치에 있어서,An alternating current conversion circuit configured to alternately switch one or one pair of first switching elements and the other or second pair of switching elements to convert a direct current voltage into an alternating voltage; and a transformer for boosting an alternating voltage from the alternating current conversion circuit. And a discharge lamp device having a rare gas fluorescent lamp connected to a secondary side of the transformer, 상기 제1 스위칭 소자의 온 기간을 포함하고 상기 제2 스위칭 소자의 온 기간을 포함하지 않는 상기 교류 전압의 대략 반주기 동안 흐르는 전류를 검출하는 수단과, 상기 검출된 전류를 평균화하는 평균화 회로와, 이 평균화 회로의 출력값을 기준값과 비교하는 비교 회로로 이루어지는 무부하 검지 회로를 설치한 것을 특징으로 하는 방전 램프 장치.Means for detecting a current flowing during approximately half a period of the alternating voltage including an on period of the first switching element and not including an on period of the second switching element, an averaging circuit for averaging the detected current, and A discharge lamp device comprising a no-load detection circuit comprising a comparison circuit for comparing the output value of the averaging circuit with a reference value. 한쪽 또는 한쪽 조의 제1 스위칭 소자와 다른쪽 또는 다른쪽 조의 제2 스위칭 소자를 교대로 스위칭 동작시켜 직류 전압을 교류 전압으로 변환시키는 교류 변환 회로와, 이 교류 변환 회로로부터의 교류 전압을 승압하는 트랜스와, 이 트랜스의 2차측에 접속된 희가스 형광 램프를 구비한 방전 램프 장치에 있어서,An alternating current conversion circuit configured to alternately switch one or one pair of first switching elements and the other or second pair of switching elements to convert a direct current voltage into an alternating voltage; and a transformer for boosting an alternating voltage from the alternating current conversion circuit. And a discharge lamp device having a rare gas fluorescent lamp connected to a secondary side of the transformer, 제1 스위칭 소자가 온일 때에 흐르는 제1 전류 경로와 제2 스위칭 소자가 온일 때에 흐르는 제2 전류 경로가 겹침과 더불어, 상기 제1 전류 경로와 상기 제2 전류 경로를 흐르는 전류가 서로 역방향인 전류 경로에 직렬로 접속된 전류 파형 검출 회로와, 상기 제1 스위칭 소자의 온 기간을 포함하고 상기 제2 스위칭 소자의 온 기간을 포함하지 않는 상기 교류 전압의 대략 반주기 동안, 상기 전류 파형 검출 회로에서 검출된 전류 파형 신호를 통과시키는 스위치 회로와, 이 스위치 회로를 통과한 전류 파형 신호를 평균화하는 평균화 회로와, 이 평균화 회로의 출력값을 기준값과 비교하는 비교 회로로 이루어지는 무부하 검지 회로를 설치한 것을 특징으로 하는 방전 램프 장치.A current path in which the first current path flowing when the first switching element is on and the second current path flowing when the second switching element is on overlap, and the currents flowing through the first current path and the second current path are opposite to each other. A current waveform detection circuit connected in series with the second circuit; and detected by the current waveform detection circuit for approximately half a period of the AC voltage including an on period of the first switching element and not including an on period of the second switching element. A no-load detection circuit comprising a switch circuit for passing the current waveform signal, an averaging circuit for averaging the current waveform signal passing through the switch circuit, and a comparison circuit for comparing the output value of the averaging circuit with a reference value, Discharge lamp device. 청구항 2에 있어서,The method according to claim 2, 상기 무부하 검지 회로의 전류 파형 검출 회로를, 상기 트랜스의 2차측에 접속한 것을 특징으로 하는 방전 램프 장치.And a current waveform detection circuit of the no load detection circuit is connected to a secondary side of the transformer. 한쪽 또는 한쪽 조의 제1 스위칭 소자와 다른쪽 또는 다른쪽 조의 제2 스위칭 소자를 교대로 스위칭 동작시켜 직류 전압을 교류 전압으로 변환시키는 교류 변환 회로와, 이 교류 변환 회로로부터의 교류 전압을 승압하는 트랜스와, 이 트랜스의 2차측에 접속된 희가스 형광 램프를 구비한 방전 램프 장치에 있어서,An alternating current conversion circuit configured to alternately switch one or one pair of first switching elements and the other or second pair of switching elements to convert a direct current voltage into an alternating voltage; and a transformer for boosting an alternating voltage from the alternating current conversion circuit. And a discharge lamp device having a rare gas fluorescent lamp connected to a secondary side of the transformer, 제1 스위칭 소자가 온일 때에 흐르는 제1 전류 경로와 제2 스위칭 소자가 온일 때에 흐르는 제2 전류 경로가 겹치지 않는 전류 경로에 직렬로 접속된 전류 파형 검출 회로와, 상기 전류 파형 검출 회로에서 검출된 전류 파형 신호를 평균화하는 평균화 회로와, 이 평균화 회로의 출력값을 기준값과 비교하는 비교 회로로 이루어지는 무부하 검지 회로를 설치한 것을 특징으로 하는 방전 램프 장치.A current waveform detection circuit connected in series to a current path where the first current path flowing when the first switching element is on and the second current path flowing when the second switching element is on do not overlap, and the current detected by the current waveform detection circuit. A non-load detecting circuit comprising an averaging circuit for averaging waveform signals and a comparing circuit for comparing the output value of the averaging circuit with a reference value. 한쪽 또는 한쪽 조의 제1 스위칭 소자와 다른쪽 또는 다른쪽 조의 제2 스위칭 소자를 교대로 스위칭 동작시켜 직류 전압을 교류 전압으로 변환시키는 교류 변환 회로와, 이 교류 변환 회로로부터의 교류 전압을 승압하는 트랜스와, 이 트랜스의 2차측에 접속된 희가스 형광 램프를 구비한 방전 램프 장치에 있어서,An alternating current conversion circuit configured to alternately switch one or one pair of first switching elements and the other or second pair of switching elements to convert a direct current voltage into an alternating voltage; and a transformer for boosting an alternating voltage from the alternating current conversion circuit. And a discharge lamp device having a rare gas fluorescent lamp connected to a secondary side of the transformer, 제1 스위칭 소자가 온일 때에 흐르는 제1 전류 경로와 제2 스위칭 소자가 온일 때에 흐르는 제2 전류 경로가 겹침과 더불어, 상기 제1 전류 경로와 상기 제2 전류 경로를 흐르는 전류가 서로 같은 방향인 전류 경로에 직렬로 접속된 전류 파형 검출 회로와, 상기 전류 파형 검출 회로에서 검출된 전류 파형 신호를 평균화하는 평균화 회로와, 이 평균화 회로의 출력값을 기준값과 비교하는 비교 회로로 이루어지는 무부하 검지 회로를 설치한 것을 특징으로 하는 방전 램프 장치.The first current path flowing when the first switching element is on and the second current path flowing when the second switching element is on, and the currents flowing in the first current path and the second current path are in the same direction. A no-load detection circuit comprising a current waveform detection circuit connected in series with a path, an averaging circuit for averaging the current waveform signal detected by the current waveform detection circuit, and a comparison circuit for comparing the output value of the averaging circuit with a reference value. Discharge lamp device, characterized in that. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 5, 상기 희가스 형광 램프를 대신해 자외선을 조사하는 엑시머 램프를 이용한 것을 특징으로 하는 방전 램프 장치.And an excimer lamp for irradiating ultraviolet light in place of the rare gas fluorescent lamp.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200000809A (en) * 2018-06-25 2020-01-03 에이블릭 가부시키가이샤 Backdraft prevention circuit and power supply circuit

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7331582B2 (en) * 2019-09-25 2023-08-23 東芝ライテック株式会社 power supply
JP7449474B2 (en) 2020-09-01 2024-03-14 ウシオ電機株式会社 Light source device, lighting circuit, driving method

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03124231A (en) * 1989-10-04 1991-05-27 Hitachi Ltd Multiplex dc power supply
JPH07143740A (en) * 1993-11-12 1995-06-02 Hitachi Ltd Power supply circuit
JPH07274492A (en) * 1994-03-28 1995-10-20 Nippondenso Co Ltd Dc-dc converter having fail safe function
JP4159804B2 (en) * 2002-05-29 2008-10-01 パナソニック フォト・ライティング 株式会社 Lighting circuit for cold cathode discharge tube and lighting device using the same
JP2006302563A (en) * 2005-04-18 2006-11-02 Harison Toshiba Lighting Corp Discharge lamp lighting device
JP4857925B2 (en) * 2006-06-13 2012-01-18 ミツミ電機株式会社 Multi-output DC / DC converter
JP4823851B2 (en) * 2006-10-27 2011-11-24 株式会社ダイヘン High frequency power supply

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200000809A (en) * 2018-06-25 2020-01-03 에이블릭 가부시키가이샤 Backdraft prevention circuit and power supply circuit

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