KR20090112346A - 개선된 구조의 초소형 자가 발전기 및 그 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (12)
- 자가 발전기에 있어서,외력에 의해 전하를 발생시키며, 일체로 연결되되 나선형 구조를 갖도록 원형 배열된 다수의 외팔보들; 및상기 각각의 외팔보에 형성되며, 상기 발생된 전하를 수집하는 전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 자가 발전기.
- 제1항에 있어서, 상기 외팔보는 :외력에 의해 탄성 변형되는 탄성 박막; 및상기 탄성 박막과 일체로 이루어져 상기 탄성 박막의 변형에 의해 함께 변형되어 전하를 발생시키는 압전 박막;을 포함하는 것을 특징으로 하는 자가 발전기.
- 제2항에 있어서,상기 다수의 외팔보들의 중앙에 위치하며, 각 외팔보와 물리적으로 연결되어 상기 외팔보들의 변형을 증가시키는 무게추;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자가 발전기.
- 제3항에 있어서,상기 무게추는, 적어도 하나의 관통홀이 형성된 것을 특징으로 하는 자가 발전기.
- 제1항에 있어서,상기 전극은, 두 개의 전극이 서로 이격되되 맞물리게 형성된 것을 특징으로 하는 자가 발전기.
- 제1항에 있어서,상기 외팔보들에 형성된 전극 전체는 병렬 연결된 것을 특징으로 하는 자가 발전기.
- 제1항에 있어서,상기 외팔보들에 형성된 전극 전체는 직렬 연결된 것을 특징으로 하는 자가 발전기.
- 기판상에 탄성 박막을 형성하는 단계;상기 형성된 탄성 박막상에 절연막을 형성하는 단계;상기 형성된 절연막 상에 금속 박막을 증착하는 단계;상기 증착된 금속 박막을 식각하여 전극을 형성하는 단계;상기 탄성 박막 및 금속 박막 상에 압전 박막을 형성하는 단계;상기 압전 박막과 탄성 박막을 식각하여 상기 압전 박막과 탄성 박막으로 이루어진 다수의 외팔보들을 형성하는 단계; 및외력에 의해 상기 다수의 외팔보들이 휘어지도록 상기 기판 하면의 해당 부위를 식각하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 자가 발전기 제조 방법.
- 제8항에 있어서,상기 다수의 외팔보들을 형성하는 단계는, 상기 다수의 외팔보들이 원형으로 배열되도록 상기 압전 박막과 탄성 박막을 식각하는 것을 특징으로 하는 자가 발전기 제조 방법.
- 제9항에 있어서,상기 다수의 외팔보들을 형성하는 단계는, 원형이되 나선형으로 배열되도록 상기 압전 박막과 탄성 박막을 식각하는 것을 특징으로 하는 자가 발전기 제조 방법.
- 제9항에 있어서,상기 기판 하면의 해당 부위를 식각하는 단계는, 상기 원형으로 배열된 외팔보들의 중앙에 위치하여 상기 외팔보들의 움직임을 증가시키기 위한 무게추가 형성되도록 식각하는 것을 특징으로 하는 자가 발전기 제조 방법.
- 제9항에 있어서,상기 전극을 형성하는 단계는, 적어도 일부에 대해 두 개의 전극이 서로 이격되되 맞물리게 형성되도록 형성하는 것을 특징으로 하는 자가 발전기 제조 방법.
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