KR20090097774A - Substrate transfer apparatus and substrate processing apparatus - Google Patents

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Abstract

A substrate transfer apparatus and a substrate processing apparatus are provided to prevent influence of a sudden inertial force in a transfer material by controlling a speed according to S curve. A substrate transfer apparatus transfers a substrate(90), and changes a transfer speed of the substrate. A first conveyor transfers the substrate to a fixed direction. A second conveyor is serially arranged about the first conveyor, and transfers the substrate. A control unit independently controls a transfer speed of a substrate by the first conveyor and the second conveyor. The control unit performs a synchronization control.

Description

기판 반송 장치 및 기판 처리 장치{SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}Substrate conveying apparatus and substrate processing apparatus {SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}

본 발명은, 반도체 웨이퍼, 액정용 표시 장치용 유리 기판, PDP용 유리 기판, 자기/광디스크용의 유리/세라믹 기판 등의 각종 피처리 기판(이하, 간단히 「기판」이라고 칭한다)를 반송하는 기술에 관한 것이다. The present invention relates to a technique for transporting various substrates (hereinafter, simply referred to as "substrates"), such as semiconductor wafers, glass substrates for liquid crystal display devices, glass substrates for PDPs, and glass / ceramic substrates for magnetic / optical disks. It is about.

액정 표시 장치용 유리 기판의 제조 공정의 하나로, 노광 처리한 기판을 현상 처리하는 공정이 알려져 있다. 도 10은, 종래의 현상 장치(100)에 있어서의 기판(190)의 반송을 설명하기 위한 도면이다. 이 현상 장치(100)는, 서로 평행하게 배열된 복수의 반송 롤러(131, 141)에 의해, 기판(190)을 소정의 수평 방향(＋X방향)으로 반송하면서, 기판(190) 상에 현상액을 형성함으로써 현상 처리(패들 현상 처리)하는 기능을 가진다. As one of the manufacturing processes of the glass substrate for liquid crystal display devices, the process of image-processing the exposed substrate is known. 10 is a diagram for explaining the conveyance of the substrate 190 in the conventional developing apparatus 100. This developing apparatus 100 carries out the developing solution on the board | substrate 190, conveying the board | substrate 190 to a predetermined horizontal direction (+ X direction) by the some conveyance roller 131,141 which are arranged in parallel with each other. It has a function of developing (paddle developing) by forming.

구체적으로는, 도 10(A)에 나타낸 바와 같이 종래의 현상 장치(100)에서는, 액층 형성실(130) 내에서 수평 자세로 고속 반송되는 기판(190) 상에 현상액을 액층 형성(液盛)하고, 그리고 액층 형성한 기판(190)을 액층 형성실(130)로부터 자세 변환실(140)까지 반송한 후, 자세 변환실(140) 내에서 일단 기판(190)의 반송을 정 지시킨다. 그리고, 자세 변환실(140) 내에서 기판(190)의 자세가 수평 자세에서 경사 자세로 변환되어(도시하지 않음), 기판(190) 상의 현상액이 제거된다. 또한, 이러한 현상 장치(100)는, 예를 들면 특허 문헌 1에 개시되어 있다. Specifically, as illustrated in FIG. 10A, in the conventional developing apparatus 100, a liquid layer is formed on a substrate 190 which is conveyed at high speed in a horizontal posture in the liquid layer forming chamber 130. And after conveying the board | substrate 190 which formed the liquid layer from the liquid layer formation chamber 130 to the attitude | position conversion chamber 140, conveyance of the board | substrate 190 is stopped once in the attitude | position conversion chamber 140. In the posture converting chamber 140, the posture of the substrate 190 is converted from the horizontal posture to the oblique posture (not shown), so that the developer on the substrate 190 is removed. In addition, this developing apparatus 100 is disclosed by patent document 1, for example.

현상 장치(100)에 있어서, 처리 진행실 내의 복수의 반송 롤러(131)와, 자세 변환실 내의 복수의 반송 롤러(141)는, 각각 구동원인 모터(132, 142)를 구비하고, 모터(132, 142)는 각각 독립적으로 제어된다. 이것에 의해, 자세 변환실(140)에서의 처리 시간에 율속되는 일 없이, 외부로부터 액층 형성실(130)로 기판(190)을 효율적으로 반입할 수 있기 때문에 현상 장치(100)의 스루풋이 향상된다. In the developing apparatus 100, the plurality of conveying rollers 131 in the processing progress chamber and the plurality of conveying rollers 141 in the posture converting chamber are provided with motors 132 and 142 which are driving sources, respectively, and the motor 132. , 142 are each independently controlled. Thereby, since the board | substrate 190 can be efficiently carried in from the outside to the liquid layer formation chamber 130, without being controlled by the processing time in the attitude | position conversion chamber 140, the throughput of the developing apparatus 100 improves. do.

이와 같이 각각 독립적으로 제어된 반송 롤러(131, 141) 사이에서, 기판(190)의 수도를 행할 때에는, 예를 들면 특허 문헌 2에 기재되어 있는 바와 같이, 각 반송 롤러(131, 141) 사이에서 기판(190)의 반송 속도를 일치시킬 필요가 있다. 그래서, 반송 롤러(131, 141)의 반송 속도를 일치시키기 위해, 일정 속도로 기판(190)을 이동시키는(수도하는) 동작이 이루어진다. Thus, when performing transfer of the board | substrate 190 between the conveyance rollers 131 and 141 respectively controlled independently, for example, as described in patent document 2, between each conveyance roller 131 and 141. It is necessary to match the conveyance speed of the board | substrate 190. Thus, in order to match the conveying speeds of the conveying rollers 131 and 141, an operation of moving (receiving) the substrate 190 at a constant speed is performed.

도 10(B) 및 도 10(C)의 각각은, 현상 장치(100)에 있어서의 기판(190)의 전방단의 위치와 그 때의 기판(90)의 반송 속도의 관계를 나타내는 도면이다. 또한, (B) 및 (C)의 가로축(위치)은, (A)에 나타낸 현상 장치(100)의 반송 방향의 각 위치와 일치하고 있으며, 도 10 중, 굵은 점선으로 나타내는 위치 L100은, 액층 형성실(130)과 자세 변환실(140) 사이의 중심 위치를 나타내고 있다. 10B and 10C are diagrams showing the relationship between the position of the front end of the substrate 190 in the developing apparatus 100 and the conveyance speed of the substrate 90 at that time. In addition, the horizontal axis (position) of (B) and (C) is corresponded with each position of the conveyance direction of the developing apparatus 100 shown to (A), and the position L100 shown by the thick dotted line in FIG. 10 is a liquid layer. The center position between the formation chamber 130 and the attitude | position conversion chamber 140 is shown.

예를 들면 (B)에 나타낸 바와 같이, 액층 형성실(130) 내에서 기판(190)의 반송 속도를 고속(속도 V101)에서 저속도(속도 V102)로 변경한 후, 일정한 저속도 로 구동되는 자세 변환실(140)의 반송 롤러(141)에 기판(190)을 이동시킨다는 반송 동작이 행해진다. 혹은, (C)에 나타낸 바와 같이, 액층 형성실(130)로부터 자세 변환실(140)까지, 일정한 고속(속도 V101a)으로 반송 롤러(131, 141) 사이에서 기판을 수도한 후, 자세 변환실(140)에서 반송 속도를 고속(속도 V101a)에서 저속(속도 V102a)으로 변경한다. 이와 같이 반송 롤러(131, 141)의 동작을 제어함으로써, 기판(190)을 수도할 때의 반송 속도를 용이하게 일치시킬 수 있다. For example, as shown in (B), after changing the conveyance speed of the board | substrate 190 from the high speed (speed V101) to the low speed (speed V102) in the liquid layer formation chamber 130, the attitude | position conversion driven by a constant low speed is carried out. The conveyance operation | movement which moves the board | substrate 190 to the conveyance roller 141 of the thread 140 is performed. Or as shown to (C), after transferring a board | substrate between the conveyance rollers 131 and 141 by the constant high speed (speed V101a) from the liquid layer formation chamber 130 to the attitude | position conversion chamber 140, an attitude | position conversion chamber At 140, the conveyance speed is changed from high speed (speed V101a) to low speed (speed V102a). By controlling the operations of the conveying rollers 131 and 141 in this manner, the conveying speed when the substrate 190 is transferred can be easily matched.

[특허 문헌 1 : 일본 공개 특허 공보 2005－197325호][Patent Document 1: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-197325]

[특허 문헌 2 : 일본 공개 특허 공보 평6－239440호][Patent Document 2: Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 6-239440]

그런데, 도 10(B)에 나타낸 예에서는, 액층 형성실(130)이나 자세 변환실(140) 내에 있어서, 저속도(속도 V102)에서의 기판 반송 시간(현상 처리를 위한 시간이 포함된다.)이 필요 이상으로 길어지기 때문에 현상 장치(100)의 스루풋이 저하되어 버린다는 문제가 있었다. 한편, 도 10(C)에 나타낸 예에서는, 기판(90)의 고속(속도 V101a) 이동하는 영역이 비교적 길어져, 저속(속도 V102a)으로 이행할 때까지의 시간이 짧아지기 때문에 현상의 처리 시간을 확보할 필요가 있다. 이 점은, 기판(190)의 반송 거리를 길게 함으로써 해소할 수 있지만, 현상 장치(100)의 장치 치수가 길어진다는 문제가 있었다. By the way, in the example shown to FIG. 10 (B), in the liquid-layer formation chamber 130 and the attitude | position conversion chamber 140, the board | substrate conveyance time (time for developing process is included) at low speed (speed V102) is included. Since it became longer than necessary, there existed a problem that the throughput of the developing apparatus 100 fell. On the other hand, in the example shown in Fig. 10C, the region where the high speed (speed V101a) moves on the substrate 90 becomes relatively long, and the time until the transition to the low speed (speed V102a) is shortened. It needs to be secured. Although this point can be solved by lengthening the conveyance distance of the board | substrate 190, there existed a problem that the apparatus dimension of the developing apparatus 100 becomes long.

또한 최근 액정 표시기의 대형화에 수반되어 처리하는 기판 사이즈도 커지고 있다. 그 때문에, 기판(190) 상에 형성되는 현상액의 액량도 다량이 되기 때문에 기판(190)의 속도 변화(예를 들면, 고속에서 저속으로의 감속)에 의해 현상액에 작용하는 관성력의 영향도 커지고 있다. 그래서, 기판(190)의 반송 속도를 보다 완만하게 변화시키기 위해, 기판(190)의 반송 거리도 길어지고, 장치 치수가 길어지는 경향이 있다. In addition, in recent years, the size of the substrate to be processed has increased with the increase of the size of the liquid crystal display. Therefore, since the liquid amount of the developing solution formed on the substrate 190 also becomes a large amount, the influence of the inertial force acting on the developing solution by the speed change of the substrate 190 (for example, deceleration from high speed to low speed) is also increased. . Therefore, in order to change the conveyance speed of the board | substrate 190 more smoothly, the conveyance distance of the board | substrate 190 also becomes long and there exists a tendency for apparatus dimension to become long.

본 발명은, 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 장치 치수를 길게 하는 일 없이, 또한 효율적으로 기판의 반송 속도를 도중에 변경할 수 있는 반송 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다. This invention is made | formed in view of the said subject, and an object of this invention is to provide the conveyance technique which can change the conveyance speed of a board | substrate efficiently, without lengthening an apparatus dimension.

상기의 과제를 해결하기 위해, 청구항 1의 발명은, 기판을 컨베이어 반송하면서 기판의 반송 속도를 변경하는 기판 반송 장치로서, 기판을 소정의 방향으로 컨베이어 반송하는 제1 컨베이어와, 상기 제1 컨베이어에 대해서 상기 소정의 방향으로 직렬 배치되어, 기판을 컨베이어 반송하는 제2 컨베이어와, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도와, 상기 제2 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를 각각 독립적으로 제어하는 제어 수단을 구비하고, 상기 제어 수단은, 상기 제1 컨베이어에 의해 반송되는 기판의 전방단이 상기 제2 컨베이어에 도달한 때부터 당해 기판의 후방단이 상기 제1 컨베이어를 이간할 때까지의 기판의 수도 기간의 적어도 일부를 포함한 시간대에 있어서, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, 제1 속도에서 제2 속도로 시계열적으로 변화시킴과 함께, 적어도 상기 수도 기간에 있어서, 상기 제2 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도와 정합시키는 동기 제어를 행하는 것을 특징으로 한다. In order to solve the said subject, invention of Claim 1 is a board | substrate conveying apparatus which changes the conveyance speed of a board | substrate, conveying a board | substrate, The 1st conveyor which conveys a board | substrate to a predetermined direction, and the said 1st conveyor. The control means which is arranged in series in the said predetermined direction with respect to the said 2nd conveyor which conveys a board | substrate, and conveys the conveyance speed of the board | substrate by the said 1st conveyor, and the conveyance speed of the board | substrate by the said 2nd conveyor independently, respectively. The control means includes a number of substrates from when the front end of the substrate conveyed by the first conveyor reaches the second conveyor until the rear end of the substrate separates the first conveyor. In a time zone including at least a part of the period, the conveyance speed of the substrate by the first conveyor is measured from the first speed to the second speed. In also at least the period of time, with the thermal variation to Sikkim, and the conveying speed of the substrate by the second conveyor, characterized in that for performing the synchronous control to match the transport speed of the substrate by the first conveyor.

또, 청구항 2의 발명은, 청구항 1의 발명과 관련된 기판 반송 장치로서, 상기 제어 수단은, 상기 수도 기간을 포함하는 상기 시간대에 있어서, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, 시간-속도의 관계가 S자 곡선을 가지도록 상기 제1 속도에서 상기 제2 속도로 변화시키는 것을 특징으로 한다. Moreover, invention of Claim 2 is a board | substrate conveying apparatus which concerns on invention of Claim 1, Comprising: The said control means makes the conveyance speed of the board | substrate by the said 1st conveyor the time-speed in the said time zone containing the said water supply period. It is characterized by changing from the first speed to the second speed so that the relationship has an S-shaped curve.

또, 청구항 3의 발명은, 청구항 2의 발명과 관련된 기판 반송 장치로서, 상기 제어 수단은, 상기 제1 속도와 상기 제2 속도 사이의 속도를 중간 속도로 했을 때, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, 상기 제1 속도에서 상기 중간 속도까지 시간-속도의 관계가 제1의 대략 S자 곡선이 되도록 변화시키고, 상기 수 도 기간의 개시 시점보다도 빠른 시점에서 시작되는 소정의 시간 동안에, 상기 중간 속도로 한 후, 상기 중간 속도에서 상기 제2 속도까지 시간-속도의 관계가 제2의 대략 S자 곡선이 되도록 변화시킴과 함께, 상기 제2 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, 적어도 상기 소정의 시간 동안에 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도와 정합시키는 것을 특징으로 한다. Moreover, invention of Claim 3 is a board | substrate conveying apparatus which concerns on invention of Claim 2, The said control means is a board | substrate by a said 1st conveyor, when the speed between the said 1st speed and the said 2nd speed is made into intermediate speed. During a predetermined time period in which the conveyance speed of is changed so that the time-speed relationship from the first speed to the intermediate speed becomes a first approximately S-curve, and starts at a time earlier than the start of the water supply period, After the intermediate speed is changed, the time-speed relationship from the intermediate speed to the second speed is changed to become a second approximately S-shaped curve, and the conveyance speed of the substrate by the second conveyor is at least the And matching the conveying speed of the substrate by the first conveyor for a predetermined time.

또, 청구항 4의 발명은, 그 상면에 처리액이 형성된 기판을 반송하면서 처리하는 기판 처리 장치로서, 기판의 상면에 처리액을 액층 형성하는 액층 형성 수단과, 상기 액층 형성 수단에 의해 액층 형성된 기판을 수평 반송하는 기판 반송 장치를 구비하고, 상기 기판 반송 장치는, 기판을 소정의 방향으로 컨베이어 반송하는 제1 컨베이어와, 상기 제1 컨베이어에 대해서 상기 소정의 방향으로 직렬 배치되어, 기판을 컨베이어 반송하는 제2 컨베이어와, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도와, 상기 제2 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를 각각 독립적으로 제어하는 제어 수단을 포함하고, 상기 제어 수단은, 상기 제1 컨베이어에 의해 반송되는 기판의 전방단이 상기 제2 컨베이어에 도달한 때부터 당해 기판의 후방단이 상기 제1 컨베이어를 이간할 때까지의 기판의 수도 기간의 적어도 일부를 포함한 시간대에 있어서, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, 제1 속도에서 제2 속도로 시계열적으로 변화시킴과 함께, 적어도 상기 수도 기간에 있어서, 상기 제2 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도와 정합시키는 동기 제어를 행하는 것을 특징으로 한다. Moreover, invention of Claim 4 is a substrate processing apparatus which processes and conveys the board | substrate with which the process liquid was formed in the upper surface, The liquid layer forming means which forms a liquid layer on the upper surface of a board | substrate, and the liquid layer formation board by the said liquid layer forming means. The substrate conveying apparatus is provided with the board | substrate conveying apparatus which horizontally conveys the said board | substrate, The said board | substrate conveying apparatus is arranged in series in the said predetermined direction with respect to the 1st conveyor which conveys a board | substrate in a predetermined direction, and the said 1st conveyor, and conveys a board | substrate And a control means for independently controlling the conveyance speed of the substrate by the first conveyor and the conveyance speed of the substrate by the second conveyor, respectively, wherein the control means is connected to the first conveyor. When the front end of the substrate conveyed by the second conveyor reaches the second conveyor, the rear end of the substrate is separated from the first conveyor. In a time zone including at least a part of the water supply period of the substrate until the time, the conveyance speed of the substrate by the first conveyor is changed in time series from the first speed to the second speed, and at least in the water supply period. And synchronous control of matching the conveying speed of the substrate by the second conveyor with the conveying speed of the substrate by the first conveyor.

또, 청구항 5의 발명은, 청구항 4의 발명과 관련된 기판 처리 장치로서, 상 기 제2 컨베이어 상에서 정지시킨 기판의 자세를 경사 자세로 변경하는 자세 변경 수단을 더 구비하고, 상기 제어 수단은, 상기 제2 컨베이어에 의해 반송되는 기판을, 상기 자세 변경 수단에 의해 상기 기판의 자세를 변경할 때에 일단 정지시키는 것을 특징으로 한다. Moreover, invention of Claim 5 is a substrate processing apparatus which concerns on invention of Claim 4, Comprising: The attitude | position changing means which changes the attitude | position of the board | substrate stopped on the said 2nd conveyor to inclination attitude further, The said control means is the said, The substrate conveyed by the second conveyor is stopped once when the attitude of the substrate is changed by the attitude changing means.

청구항 1 내지 5의 발명에 의하면, 제1 컨베이어와 제2 컨베이어의 경계를 기판이 이동하여 양 컨베이어 사이에서 기판이 수도되는 수도 기간을 이용하여 반송 속도의 변경을 행함으로써, 기판 처리 장치의 반송 경로를 길게 하는 일 없이, 효율적인 반송을 행할 수 있다. According to the invention of Claims 1 to 5, the conveyance path of the substrate processing apparatus is changed by changing the conveyance speed by using a water supply period in which the substrate is moved between the two conveyors by moving the substrate between the boundary of the first conveyor and the second conveyor. Efficient conveyance can be performed without lengthening.

청구항 2의 발명에 의하면, S자 곡선을 따른 속도 조정을 행함으로써, 반송물에 급격한 관성력이 작용하는 것을 방지할 수 있다. 이것에 의해, 기판의 파손이나 위치 엇갈림 등을 방지할 수 있다. According to the invention of claim 2, it is possible to prevent the sudden inertial force from acting on the conveyed article by adjusting the speed along the S curve. This can prevent damage to the substrate, staggered positions, and the like.

청구항 3의 발명에 의하면, 제1 컨베이어의 반송 속도가 일정한 중간 속도에 있는 상태에서, 제2 컨베이어의 반송 속도를 동기시킴으로써, 반송 속도의 동기를 정밀도 좋게 실시할 수 있다. According to the invention of claim 3, in the state where the conveying speed of the first conveyor is at a constant intermediate speed, the conveying speed can be synchronized with high accuracy by synchronizing the conveying speed of the second conveyor.

청구항 5의 발명에 의하면, 기판 상에 형성된 처리액을 효율적으로 폐기할 수 있다. According to the invention of claim 5, the processing liquid formed on the substrate can be disposed of efficiently.

이하, 본 발명의 적합한 실시 형태에 대해, 첨부한 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, preferred embodiment of this invention is described in detail, referring an accompanying drawing.

<1. 제1 실시 형태><1. First embodiment>

<1. 1. 구성 및 기능><1. 1.Configuration and Function>

도 1은, 본 실시 형태에 있어서의 현상 장치(1)를 나타내는 개략 측면도이다. 1 is a schematic side view illustrating the developing apparatus 1 according to the present embodiment.

또한, 도 1에 있어서, 도시 및 설명의 형편상, Z축 방향이 연직 방향을 나타내고, XY평면이 수평면을 나타내는 것으로서 정의하지만, 그들은 위치 관계를 파악하기 위해 편의상 정의하는 것이며, 이하에 설명하는 각 방향을 한정하는 것은 아니다. 이하의 각 도면에 대해서도 마찬가지이다. In addition, in FIG. 1, for convenience of illustration and description, the Z-axis direction is defined as the vertical direction, and the XY plane is defined as the horizontal plane, but they are defined for convenience in order to grasp the positional relationship. It does not limit the direction. The same applies to each of the following drawings.

현상 장치(1)는, 주로 액층 형성부(3), 자세 변환부(4) 및 제어부(8)로 구성되며, 각형의 기판(90)을 수평 반송하면서, 현상 처리를 행하는 기판 처리 장치로서 기능한다. 또한, 처리하는 기판(90)은 각형에 한정되는 것은 아니며, 원형(타원형도 포함한다.)이나 사각형 이외의 다각형형의 기판에 대해서도 처리 대상으로 할 수 있다. The developing apparatus 1 mainly consists of the liquid layer forming part 3, the attitude | position converting part 4, and the control part 8, and functions as a substrate processing apparatus which performs a developing process, horizontally conveying the square substrate 90. FIG. do. In addition, the board | substrate 90 to process is not limited to a square, It can also be made into the process target also about the board | substrate of a polygonal shape other than a circle | round | yen (including elliptical shape) and a rectangle.

[액층 형성부(3)][Liquid Layer Forming Part 3]

액층 형성부(3)는, 주로 복수의 반송 롤러(31), 모터(32), 현상액 공급 노즐(33) 및 기판 검출 센서(34)(34a, 34b, 34c)를 구비한다. 또한, 이러한 구성은, 기판(90)의 반입구와 반출구를 가지는 챔버(도시하지 않음) 내에 설치된다. The liquid layer formation part 3 is mainly equipped with the some conveyance roller 31, the motor 32, the developing solution supply nozzle 33, and the board | substrate detection sensor 34 (34a, 34b, 34c). Moreover, such a structure is provided in the chamber (not shown) which has the carrying in and out of the board | substrate 90. FIG.

반송 롤러(31)는, 기판(90)의 반송 방향(＋X방향)과 수직으로 교차되는 방향(Y방향)으로 길이 방향을 가지고, 축으로 연결되는 복수(본 실시 형태에서는 4개)의 원반 형상을 한 기판 지지부(311)(도 2에 나타내는, 자세 변환부(4)의 기판 지지 부재(411)와 동일한 것)를 가진다. 액층 형성부(3)에서는, 이러한 구성을 가지는 복수(도 1에서는 5개)의 반송 롤러(31)가 반송 방향을 따라 병렬적으로 배치된다. 모터(32)는, 이들 반송 롤러(31)의 각각의 축에 접속되어 있으며, 모터(32)를 구동함으로써 그 동력이 축으로 전달되어 반송 롤러(31)를 소정의 방향으로 회전시킨다. 이것에 의해, 반송 롤러(31)의 기판 지지부의 상단에서 지지된 기판(90)이 소정 방향으로 컨베이어 반송된다. 또한, 모터(32)의 제어는, 후술하는 제어부(8)로부터 보내지는 구동 신호(펄스 제어 신호)에 기초하여 행해진다. The conveyance roller 31 has the longitudinal direction in the direction (Y direction) which perpendicularly intersects the conveyance direction (+ X direction) of the board | substrate 90, and the disk shape of the plurality (4 in this embodiment) connected by an axis | shaft. It has a board | substrate support part 311 (the same thing as the board | substrate support member 411 of the attitude | position conversion part 4 shown in FIG. 2). In the liquid layer formation part 3, the conveyance roller 31 of several (5 in FIG. 1) which has such a structure is arrange | positioned in parallel along a conveyance direction. The motor 32 is connected to each shaft of these conveyance rollers 31, The power is transmitted to an axis | shaft by driving the motor 32, and the conveyance roller 31 is rotated in a predetermined direction. Thereby, the board | substrate 90 supported by the upper end of the board | substrate support part of the conveyance roller 31 is conveyed by the predetermined direction. In addition, control of the motor 32 is performed based on the drive signal (pulse control signal) sent from the control part 8 mentioned later.

현상액 공급 노즐(33)은, 반송 롤러(31)의 상방이며, 또한 액층 형성부(3)의 반송 방향 상류측의 소정 위치에 설치되어, 반송되고 있는 기판(90)의 상면에 소정의 처리액(현상액)을 공급함으로써, 기판(90)의 상면에 현상액을 액층 형성한다. 현상액 공급 노즐(33)은, 공급관(331)을 통하여 현상액이 저류되는 현상액 탱크(도시하지 않음)에 접속되어 있으며, 당해 현상액 탱크로부터 현상액이 공급된다. 또한, 이 현상액 탱크로부터의 현상액의 공급은, 후술하는 제어부(8)에 의해 제어된다. The developing solution supply nozzle 33 is provided above the conveying roller 31 and is provided at a predetermined position on the upstream side in the conveying direction of the liquid layer forming unit 3, and the predetermined processing liquid is provided on the upper surface of the substrate 90 being conveyed. By supplying the (development solution), a developer layer is formed on the upper surface of the substrate 90. The developing solution supply nozzle 33 is connected to a developing tank (not shown) in which the developing solution is stored through the supply pipe 331, and the developing solution is supplied from the developing tank. In addition, supply of the developing solution from this developing tank is controlled by the control part 8 mentioned later.

기판 검출 센서(34)는, 접촉식 진자 센서이다. 이 접촉식 진자 센서의 구성에 대해서는 상세한 설명을 생략하지만, 본 실시 형태에서는, 예를 들면 일본 공개 특허 공보 평11－314072호에 개시된 진자 센서를 적용할 수 있다. 또한 기판 검출 센서(34)는, 접촉형의 센서에 한정되는 것은 아니며, 비접촉형의 센서(예를 들면 광학식의 센서)여도 된다. The substrate detection sensor 34 is a contact pendulum sensor. Although the detailed description is abbreviate | omitted about the structure of this contact type pendulum sensor, in this embodiment, the pendulum sensor disclosed by Unexamined-Japanese-Patent No. 11-314072 can be applied, for example. In addition, the board | substrate detection sensor 34 is not limited to a contact sensor, A non-contact sensor (for example, an optical sensor) may be sufficient.

기판 검출 센서(34a)는, 반송되는 기판(90)의 전방단이 액층 형성부(3)의 반 입구 부근의 위치에 도달한 것을 검출한다. 또, 기판 검출 센서(34b, 34c)는, 반송되는 기판(90)의 전방단이 반출구 부근의 소정의 위치에 도달한 것을 각각 검출한다. 또한, 이들 센서에 의한 기판(90)의 검출 정보는 제어부(8)에 전달된다. 그리고 제어부(8)에 의해, 반송 롤러(31)에 의한 기판(90)의 반송 속도나, 현상액 공급 노즐(33)로부터의 현상액의 공급량 등이 제어된다. The board | substrate detection sensor 34a detects that the front end of the board | substrate 90 conveyed reached the position of the half inlet vicinity of the liquid layer formation part 3. Moreover, the board | substrate detection sensors 34b and 34c respectively detect that the front end of the board | substrate 90 to be conveyed reached | attained the predetermined position of the exit port vicinity. Moreover, the detection information of the board | substrate 90 by these sensors is transmitted to the control part 8. And the control part 8 controls the conveyance speed of the board | substrate 90 by the conveyance roller 31, the supply amount of the developing solution from the developing solution supply nozzle 33, etc.

[자세 변환부(4)][Posture Conversion Part 4]

자세 변환부(4)는, 주로 복수의 반송 롤러(41), 모터(42), 롤러 경사부(43) 및 기판 검출 센서(44)(44a, 44b)를 구비한다. The attitude | position conversion part 4 is mainly equipped with the some conveyance roller 41, the motor 42, the roller inclination part 43, and the board | substrate detection sensors 44 (44a, 44b).

반송 롤러(41)는, 액층 형성부(3)에 있어서의 반송 롤러(31)와 동일한 형상을 가지고 있으며, 원반 형상의 기판 지지 부재(411)에서 기판(90)을 하방으로부터 지지한다. 그리고, 자세 변환부(4)에 있어서도, 이러한 반송 롤러(41)가 반송 방향을 따라 병렬적으로 배치되어 기판(90)을 반송 방향으로 컨베이어 반송한다. 즉, 반송 롤러 41군은, 반송 방향에 있어서, 반송 롤러 31군에 인접하도록 직렬 배치된다. 이것에 의해, 반송 롤러 31군과 반송 롤러 41군으로 기판(90)의 반송 경로가 형성된다. The conveyance roller 41 has the same shape as the conveyance roller 31 in the liquid layer formation part 3, and supports the board | substrate 90 from the disk shaped substrate support member 411 from below. And also in the attitude | position conversion part 4, such a conveyance roller 41 is arrange | positioned in parallel along a conveyance direction, and conveys and conveys the board | substrate 90 in a conveyance direction. That is, the group of conveyance rollers 41 is arranged in series so as to be adjacent to the group of conveying rollers 31 in the conveying direction. Thereby, the conveyance path | route of the board | substrate 90 is formed by the conveyance roller 31 group and the conveyance roller 41 group.

모터(42)는, 이들 반송 롤러(41)의 각각의 축에 접속되어 있으며, 모터(42)를 구동함으로써 그 동력이 축으로 전달되어 반송 롤러(41)를 소정의 방향으로 회전시킨다. 이것에 의해, 기판 지지 부재(411)의 상단에서 지지된 기판(90)이, 도 1중, (＋X)방향으로 반송된다. 또한, 이 모터(42)의 제어는, 후술하는 제어부(8)로부터 보내지는 구동 신호(펄스 제어 신호)에 기초하여 행해진다. The motor 42 is connected to each shaft of these conveyance rollers 41, and by driving the motor 42, the power is transmitted to the axis | shaft, and the conveyance roller 41 is rotated in a predetermined direction. Thereby, the board | substrate 90 supported by the upper end of the board | substrate support member 411 is conveyed in the (+ X) direction in FIG. In addition, control of this motor 42 is performed based on the drive signal (pulse control signal) sent from the control part 8 mentioned later.

다음으로, 자세 변환부(4)에 의한 기판(90)의 자세 변환 기구에 대해, 도 2 및 도 3을 참조하면서 설명한다. Next, the attitude | position conversion mechanism of the board | substrate 90 by the attitude | position conversion part 4 is demonstrated, referring FIG. 2 and FIG.

도 2는, 반송 롤러(41)를 경사시킨 상태를 반송 방향 하류측에서 보았을 때의 도면이다. 또 도 3은, 반송 롤러(41)를 경사시킨 상태의 현상 장치(1)를 나타내는 개략 측면도이다. FIG. 2: is a figure when the state which inclined the conveyance roller 41 is seen from the conveyance direction downstream side. 3 is a schematic side view which shows the developing apparatus 1 in the state which inclined the conveyance roller 41. FIG.

롤러 경사부(43)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 반송 롤러(41)의 축을 회전 가능하게 하면서, 당해 축을 좌우에서 지지하는 롤러축 지지부(412)의 하방에 설치되어 있으며, 편측으로 기울어진 위치(본 실시 형태에서는 (＋Y)측)에 있어서 롤러축 지지부(412)를 하방으로부터 지지한다. 롤러 경사부(43)는, 상세한 것을 생략하지만, 공압식 실린더를 구비하고 있으며, 아암(431)을 상방향(도 2 중, 화살표로 나타내는 방향)으로 신장시킴으로써, 반송 롤러(41)를 수평면에 대해 경사시킨다(도 3 참조). 이것에 의해, 반송 롤러(41) 상에서 정지된 기판(90)의 자세가 수평 자세에서 경사 자세로 변경되어, 기판(90) 상면에 액층 형성된 현상액을 유출시켜 폐기(제거)할 수 있다. 또한, 롤러 경사부(43)의 동작은 제어부(8)에 의해 제어된다. As shown in FIG. 2, the roller inclination part 43 is provided below the roller shaft support part 412 which supports the said shaft from left and right, enabling the shaft of the conveyance roller 41 to rotate, and inclined to one side. In the position ((+ Y) side in this embodiment), the roller shaft support part 412 is supported from below. Although the roller inclination part 43 is abbreviate | omitted in detail, it is equipped with the pneumatic cylinder, and the conveyance roller 41 is extended with respect to a horizontal plane by extending the arm 431 to the upper direction (direction shown by the arrow in FIG. 2). Incline (see FIG. 3). Thereby, the attitude | position of the board | substrate 90 stopped on the conveyance roller 41 is changed from a horizontal attitude | position to the inclined attitude | position, and the developing solution formed in the liquid layer on the upper surface of the board | substrate 90 can be made to drain (dispose). In addition, the operation of the roller inclined portion 43 is controlled by the controller 8.

기판 검출 센서(44)(44a, 44b)는, 액층 형성부(3)에 있어서의 기판 검출 센서(34)와 마찬가지로, 반송되는 기판(90)의 전방단이 소정의 위치를 통과한 것을 검출하고, 그 검출 정보를 제어부(8)에 전달하는 접촉식의 진자 센서이다. 물론 기판 검출 센서(44)에 대해서도 비접촉식 센서여도 된다. 또한, 제어부(8)는, 이러한 기판(90)의 검출 정보에 기초하여, 반송 롤러(41)에 의한 기판(90)의 반송 속도나 롤러 경사부(43)의 아암(431)의 신축 동작 등을 제어한다. The substrate detection sensors 44 (44a, 44b) detect that the front end of the substrate 90 to be conveyed passes through a predetermined position, similar to the substrate detection sensor 34 in the liquid layer forming unit 3. And a pendulum-type pendulum sensor that transmits the detection information to the control unit 8. Of course, the contact detection sensor 44 may also be a non-contact sensor. Moreover, the control part 8 is based on the detection information of the board | substrate 90, the conveyance speed of the board | substrate 90 by the conveyance roller 41, the telescopic motion of the arm 431 of the roller inclination part 43, etc. To control.

[제어부(8)][Control part 8]

도 4는, 제어부(8)와 현상 장치(1)의 각 부의 접속을 나타내는 블럭도이다. 제어부(8)는, 전기적 배선에 의해, 주로 모터(32, 42), 현상액 공급 노즐(33)(구체적으로는, 도시하지 않은 현상액 탱크의 펌프), 롤러 경사부(43) 및 기판 검출 센서(34, 44)에 접속되어 있다. 제어부(8)는, 모터(32, 42)를 구동 제어하는 모터 제어부(81), 현상액 공급 노즐(33)로부터의 현상액의 공급량을 제어하는 노즐 제어부(82) 및 롤러 경사부(43)를 제어하는 롤러 경사 제어부(83)를 주로 구비하고 있다. 제어부(8)는, 기판 검출 센서(34, 44)로부터 송신되는 기판(90)의 검출 정보에 기초하여, 현상액 공급 노즐(33)로부터의 현상액의 토출, 반송 롤러(31, 41)에 의한 기판(90)의 반송 속도 및 반송 롤러(41)의 경사 동작을 제어한다. 4 is a block diagram showing the connection between the control unit 8 and each unit of the developing apparatus 1. The control part 8 mainly uses motors 32 and 42, a developer supply nozzle 33 (specifically, a pump of a developer tank not shown), a roller inclined portion 43, and a substrate detection sensor by electrical wiring. 34, 44). The control part 8 controls the motor control part 81 which controls the drive of the motors 32 and 42, the nozzle control part 82 which controls the supply amount of the developing solution from the developing solution supply nozzle 33, and the roller inclination part 43. The roller inclination control part 83 is mainly provided. The control part 8 discharges the developing solution from the developing solution supply nozzle 33 and the board | substrate by the conveyance rollers 31 and 41 based on the detection information of the board | substrate 90 transmitted from the board | substrate detection sensors 34 and 44. FIG. The conveyance speed of the 90 and the inclination motion of the conveyance roller 41 are controlled.

또한, 모터 제어부(81)는, 모터(32, 42)의 구동을 각각 독립적으로 제어하는 것 외에, 모터(42)의 구동을 모터(32)의 구동에 맞춰 제어하는 동기 제어도 행할 수 있다. 여기에서는 상세한 것을 생략하지만, 예를 들면 특허 문헌 2에 개시되어 있는 동기 제어에 대한 기구를 본 실시 형태의 제어부(8)에 적용하는 것이 가능하다. In addition to controlling the driving of the motors 32 and 42 independently, the motor control unit 81 can also perform synchronous control for controlling the driving of the motor 42 in accordance with the driving of the motor 32. Although details are omitted here, it is possible to apply the mechanism for synchronous control disclosed in Patent Document 2 to the control unit 8 of the present embodiment, for example.

이상이 현상 장치(1)의 구성 및 기능에 대한 설명이다. 다음으로 현상 장치(1)의 동작에 대해 설명한다. The above is the description of the configuration and function of the developing apparatus 1. Next, the operation of the developing apparatus 1 will be described.

<1. 2. 동작><1. 2. Action>

도 5는, 현상 장치(1)의 동작을 설명하기 위한 도면이다. 또한, 도 5(A)는 도 1과 동일하며, 도 5(B)는, 현상 장치(1)에 있어서의 기판(90)의 전방단의 위치와 그 때의 기판(90)의 반송 속도의 관계를 나타내는 도면이다. 또한, 이하에 있어서, 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도는, 실제로 기판(90)을 반송하고 있을 때의 당해 기판(90)의 진행 속도를 의미하는 것 외에, 기판(90)을 반송하고 있지 않을(즉, 기판(90)을 싣고 있지 않은 상태에서 반송 롤러(31, 41)가 회전하고 있을) 때에 대해서도, 기판(90)을 반송하고 있다고 가정한 경우의 당해 기판(90)의 진행 속도(실제로는, 반송 롤러(31, 41)의 회전 속도 등으로부터 산출되는 값)를 포함하고 있는 것으로 한다. 5 is a diagram for explaining the operation of the developing apparatus 1. 5 (A) is the same as FIG. 1, and FIG. 5 (B) shows the position of the front end of the substrate 90 in the developing apparatus 1 and the conveyance speed of the substrate 90 at that time. A diagram showing a relationship. In addition, below, the conveyance speed of the conveyance rollers 31 and 41 not only means the advancing speed of the said board | substrate 90 at the time of conveying the board | substrate 90, but conveys the board | substrate 90, The advancing speed of the said board | substrate 90 when it is assumed that the board | substrate 90 is conveyed also when it is not (that is, the conveyance rollers 31 and 41 are rotating in the state which is not carrying the board | substrate 90). (Actually, the value calculated from the rotational speed of the conveying rollers 31 and 41, etc.) shall be included.

우선, 도시하지 않은 외부로부터 액층 형성부(3)에 기판(90)이 반입되어 오면, 우선, 위치 L1에서 기판 검출 센서(34a)가 기판(90)의 진입을 검출하고 제어부(8)에 당해 검출 정보를 전달한다. 이 검출 정보를 수신한 제어부(8)는, 모터(32)를 구동함으로써, 반송 롤러(31)의 회전 구동을 개시한다.First, when the board | substrate 90 is carried in to the liquid layer formation part 3 from the outside which is not shown in figure, first, the board | substrate detection sensor 34a detects entry of the board | substrate 90 in the position L1, and respond | corresponds to the control part 8 Deliver detection information. The control part 8 which received this detection information starts the rotation drive of the conveyance roller 31 by driving the motor 32.

또한 이것과 동시기에(혹은, 약간 지연되어), 제어부(8)의 제어에 의해, 현상액 공급 노즐(33)로부터의 현상액의 공급이 개시되어 기판(90)의 상면에 현상액의 액층이 형성된다. 또한, 이 때의 기판(90)의 반송 속도를 속도 V1로 한다. 이 속도 V1은, 고속이지만 액층의 형성이 가능한 속도가 된다. At the same time as this (or slightly delayed), the supply of the developing solution from the developing solution supply nozzle 33 is started by the control of the control unit 8 to form a liquid layer of the developing solution on the upper surface of the substrate 90. In addition, the conveyance speed of the board | substrate 90 at this time is made into the speed V1. This speed V1 is high speed but becomes the speed which can form a liquid layer.

다음에, 기판(90)의 전방단이 위치 L2에 도달하면, 위치 L2에 배치된 기판 검출 센서(34b)에 의해 기판(90)이 검출되고 검출 정보가 제어부(8)에 전달된다. 이것에 의해, 제어부(8)는, 현상액 공급 노즐(33)로부터의 현상액의 공급을 정지시킨다. Next, when the front end of the board | substrate 90 reaches the position L2, the board | substrate 90 is detected by the board | substrate detection sensor 34b arrange | positioned at the position L2, and detection information is transmitted to the control part 8. As a result, the controller 8 stops the supply of the developing solution from the developing solution supply nozzle 33.

[감속 제어][Deceleration control]

또한 기판(90)의 전방단이 위치 L3에 도달하면, 기판 검출 센서(34c)에 의해 기판(90)이 검출되고 검출 정보가 제어부(8)에 전달된다. 이것에 의해, 제어부(8)는, 반송 롤러(31)에 의한 기판(90)의 반송 속도가 고속(속도 V1)에서 저속(속도 V2)으로 감속하도록 모터(32)의 감속 제어를 개시한다. 보다 구체적으로는, 도 4(B)에 나타낸 바와 같이, 기판(90)의 반송 속도를, 감속 개시시와 감속 종료시에 있어서의 속도 변화가 완만해지도록 감속시킨다. 이 감속 제어에 대해, 도 6을 참조하면서 더 설명한다. When the front end of the substrate 90 reaches the position L3, the substrate 90 is detected by the substrate detection sensor 34c and the detection information is transmitted to the control unit 8. Thereby, the control part 8 starts deceleration control of the motor 32 so that the conveyance speed of the board | substrate 90 by the conveyance roller 31 may decelerate from high speed (speed V1) to low speed (speed V2). More specifically, as shown in Fig. 4B, the conveyance speed of the substrate 90 is decelerated so that the speed change at the time of deceleration start and the end of deceleration becomes smooth. This deceleration control will be further described with reference to FIG. 6.

도 6은, 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도에 관한 타임 차트이다. 여기서, 도6(A)는 반송 롤러(31)에, 도 6(B)는 반송 롤러(41)에 대응하는 타임 차트이다. 또한, 도 6(A)와 도 6(B)의 가로축의 시간은 상하의 각각의 위치에서 일치한다. 6 is a time chart relating to the conveyance speeds of the conveyance rollers 31 and 41. Here, FIG. 6 (A) is a time chart corresponding to the conveyance roller 31, and FIG. 6 (B) corresponds to the conveyance roller 41. FIG. In addition, the time on the horizontal axis of FIG. 6 (A) and FIG. 6 (B) coincides at each position of the upper and lower sides.

상기 서술한 기판(90)이 위치 L3(도 5 참조)에 도달하는 시간은, 도 6(A)에서는, 시간 T11에 상당한다. 즉, 시간 T11에 있어서, 제어부(8)에 의해, 상기 서술한 반송 롤러(31)의 감속 제어가 개시된다. 보다 구체적으로는, 도 6(A)에 나타낸 바와 같이, 기간 P11(시간 T11~시간 T12)에 있어서, 제어부(8)는, 반송 롤러(31)에 의한 기판(90)의 반송 속도를, 시간-속도의 관계가 S자 곡선(감속 개시시와 감속 종료시의 속도 변화가 완만한 곡선)이 되도록 시계열적으로 변화시킨다. 그리고 시간 T12에서 당해 감속 제어가 종료되고, 반송 롤러(31)에 의한 기판(90)의 반송 속도가 속도 V2가 된다. The time that the above-mentioned board | substrate 90 reaches position L3 (refer FIG. 5) corresponds to time T11 in FIG. 6 (A). That is, at time T11, the control part 8 starts deceleration control of the conveyance roller 31 mentioned above. More specifically, as shown to FIG. 6 (A), in period P11 (time T11-time T12), the control part 8 measures the conveyance speed of the board | substrate 90 by the conveyance roller 31 for time. -Change in time series so that the relationship of speed becomes an S-shaped curve (a curve in which the speed change at the start of deceleration and the end of deceleration is gentle). And the said deceleration control is complete | finished at time T12, and the conveyance speed of the board | substrate 90 by the conveyance roller 31 becomes speed V2.

보다 상세하게는, 「시간-속도」의 관계에 있어서의 미분 계수는 가속도를 나타내므로, 감속 과정에 있어서의 「시간-속도의 관계가 S자 곡선이다」라는 것은, 음의 가속도의 절대값이 순조롭게 커져(즉 감속율이 순조롭게 커져) 가고, 그 후에 음의 가속도의 절대값이 감소로 변하여, 감속율이 순조롭게 작아져 가는 것에 대응한다. 다만 완전한 곡선은 아니며, 꺾인 선 패턴에 의해 근사적으로 S자 곡선을 실현해도 된다. More specifically, since the derivative coefficient in the "time-velocity" relationship represents acceleration, the fact that "the time-velocity relationship is an S curve" in the deceleration process means that the absolute value of the negative acceleration is It increases smoothly (that is, the deceleration rate increases smoothly), and then the absolute value of the negative acceleration changes to decrease, corresponding to the decrease of the deceleration rate smoothly. However, it is not a perfect curve, and the S-shaped curve may be approximated by the broken line pattern.

또한, 속도 V2는, 반송 시간과의 관계에서 현상 처리가 충분히 진행되는 정도의 속도가 된다. 또, 속도 V1, V2의 값은, 현상 장치(1)에 있어서의 기판(90)의 반송 거리에 따라 적절히 결정된다. In addition, the speed V2 becomes the speed of the grade in which image development process fully advances with respect to conveyance time. Moreover, the value of speed V1, V2 is suitably determined according to the conveyance distance of the board | substrate 90 in the developing apparatus 1.

또, 본 실시 형태에 있어서의 제어부(8)의 감속 제어 기구에 대해서는, 상세한 것을 생략하지만, 예를 들면 일본 공개 특허 공보 2001－127492호에 개시하는 제어 기구를 적용하는 것이 가능하다. In addition, although the detail is abbreviate | omitted about the deceleration control mechanism of the control part 8 in this embodiment, it is possible to apply the control mechanism disclosed by Unexamined-Japanese-Patent No. 2001-127492, for example.

이상과 같이 반송 롤러(31)의 반송 속도를 감속 제어함으로써, 반송 속도를 변화시켰을 때에, 기판(90) 및 기판(90) 상의 현상액에 대해서 관성력이 급격하게 작용하는 것을 방지할 수 있기 때문에 기판(90)에 형성된 액층을 적절히 유지할 수 있다. 이것에 의해, 현상 불균일의 발생을 억제할 수 있다. 또, 기판(90)의 파손도 방지할 수 있다. By slowing down the conveyance speed of the conveyance roller 31 as mentioned above, when the conveyance speed is changed, since an inertial force can be prevented from acting rapidly with respect to the board | substrate 90 and the developing solution on the board | substrate 90, a board | substrate ( The liquid layer formed in 90) can be appropriately maintained. Thereby, generation | occurrence | production of image development nonuniformity can be suppressed. In addition, damage to the substrate 90 can also be prevented.

다음에, 제어부(8)는, 기판(90)의 전방단이 반송 방향 최상류측의 반송 롤러(41)의 상단에 도달하기 전에, 모터(42)를 구동함으로써, 반송 롤러(41)를 회전 구동시킨다. 이 때의 반송 롤러(41)의 회전 속도는, 반송 롤러(31)의 회전 속도와 동일해지도록 제어(동기 제어)된다. 다음으로, 이 반송 롤러(31, 41) 사이의 기 판(90)의 수도 시에 있어서의, 반송 속도의 동기 제어에 대해 도 6을 참조하면서 설명한다. Next, the control part 8 drives the conveyance roller 41 by rotating the motor 42, before the front end of the board | substrate 90 reaches the upper end of the conveyance roller 41 of the conveyance direction upstream. Let's do it. The rotational speed of the conveyance roller 41 at this time is controlled (synchronized control) so that it may become the same as the rotational speed of the conveyance roller 31. Next, the synchronous control of the conveyance speed in the case of water supply of the board | substrate 90 between these conveyance rollers 31 and 41 is demonstrated, referring FIG.

[동기 제어][Synchronous control]

도 6(B)에 나타낸 바와 같이, 시간 T13(시간 T11과 시간 T12 사이의 시간)에 있어서, 제어부(8)는, 반송 롤러(41)의 반송 속도를, 속도 V4를 향해 가속을 개시한다. 이 속도 V4는, 속도 V1(고속도)과 속도 V2(저속도) 사이의 중간 속도이며, 반송 롤러(31, 41)를 동기시킬 때의 목표값(동기 개시 속도)이다. 속도 V4의 값은, 미리 오퍼레이터에 의해 설정되어 있어도 되지만, 예를 들면 상황에 맞춰 제어부(8)에 의해 자동적으로 설정되도록 해도 된다. As shown to FIG. 6 (B), in time T13 (time between time T11 and time T12), the control part 8 starts acceleration of the conveyance speed of the conveyance roller 41 toward speed V4. This speed V4 is an intermediate speed between the speed V1 (high speed) and the speed V2 (low speed), and is a target value (synchronous start speed) at the time of synchronizing the conveying rollers 31 and 41. Although the value of the speed V4 may be set previously by an operator, it may be set automatically by the control part 8 according to a situation, for example.

또한, 기판(90)이 반송 롤러(41)에 도달하는 시간 T15까지, 반송 롤러(41)의 반송 속도가 속도 V4에 도달하면, 반송 롤러(31)의 반송 속도가 속도 V4가 될 때까지 그 속도로 유지된다. 그리고, 시간 T14에 있어서 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도가 속도 V4가 되면(일치하면), 제어부(8)는, 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도가 대략 동일하(정합하)도록 모터(32, 42)를 동기 제어한다. In addition, when the conveyance speed of the conveyance roller 41 reaches the speed V4 until the time T15 when the board | substrate 90 reaches the conveyance roller 41, until the conveyance speed of the conveyance roller 31 becomes the speed V4, Maintained at speed. And when the conveyance speed of the conveyance rollers 31 and 41 becomes the speed V4 in time T14 (when it matches), the control part 8 will have the conveyance speed of the conveyance rollers 31 and 41 being substantially the same (coincidentally). The motors 32 and 42 are synchronously controlled.

동기 제어가 개시되는 시간 T14가 경과하면, 시간 T15(시간 T14와 시간 T12의 사이)에서는, 기판(90)의 전방단이 반송 방향 최상류에 있는 반송 롤러(41)의 상단에 도달한다. 그 후, 시간 T16에 있어서, 기판(90)의 후방단이 반송 방향 최하류의 반송 롤러(31)의 상단으로부터 이간한다. 따라서, 시간 T15~시간 T16의 기간이, 기판(90)을 2세트의 반송 롤러(31, 41)의 사이에서의 기판(90)의 수도 기간이 된다. When time T14 at which synchronous control starts, the front end of the board | substrate 90 reaches the upper end of the conveyance roller 41 in the conveyance direction upstream in time T15 (between time T14 and time T12). Then, at time T16, the rear end of the board | substrate 90 separates from the upper end of the conveyance roller 31 of the lowest downstream in a conveyance direction. Therefore, the period of time T15-time T16 becomes the water supply period of the board | substrate 90 between two sets of conveyance rollers 31 and 41 for the board | substrate 90. FIG.

그리고 시간 T17에 있어서, 제어부(8)에 의한 반송 롤러(31, 41)를 동기시키는 제어가 종료되고, 반송 롤러(41)는 속도 V2로 구동되는 한편, 반송 롤러(31)의 회전 구동은 정지된다. And at time T17, the control which synchronizes the conveyance rollers 31 and 41 by the control part 8 is complete | finished, the conveyance roller 41 is driven at the speed V2, and rotational drive of the conveyance roller 31 is stopped. do.

즉, 도 6에 나타내는 기간 P12에서는, 제어부(8)에 의해 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도는, 사선 영역에서 나타낸 바와 같이 정합하고 있다. 그리고 이 기간 P12에는, 기판(90)의 전방단이 반송 롤러(41)에 도달하는 시간 T15 및 기판(90)의 후방단이 반송 롤러(31)로부터 이간하는 시간 T17이 포함된다. 따라서, 액층 형성부(3)와 자세 변환부(4) 사이에서 기판(90)을 이동시킬 때에, 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도가 정합하고 있기 때문에 원활하게 기판(90)을 수도할 수 있다. That is, in the period P12 shown in FIG. 6, the conveyance speeds of the conveyance rollers 31 and 41 are matched by the control part 8 as shown by the diagonal line area | region. And this period P12 includes time T15 at which the front end of the substrate 90 reaches the conveying roller 41 and time T17 at which the rear end of the substrate 90 is separated from the conveying roller 31. Therefore, when moving the board | substrate 90 between the liquid layer formation part 3 and the attitude | position converting part 4, since the conveyance speed of the conveyance rollers 31 and 41 is matched, the board | substrate 90 may be made smooth. Can be.

이상이 반송 롤러(31, 41) 사이의 기판(90)의 수도 시에 있어서의, 반송 속도의 동기 제어에 대한 설명이다. The above is the explanation about the synchronous control of the conveyance speed in the case of the case of the board | substrate 90 between the conveyance rollers 31 and 41. FIG.

[자세 변환 동작][Posture Action]

다시 도 5로 되돌아와, 기판(90)의 전방단이 속도 V2의 저속 상태에서 위치 L5에 도달하면, 제어부(8)는 반송 롤러(41)의 반송 속도를 속도 V2보다도 작은 값으로 감속한다. 그리고 기판(90)의 전방단이 위치 L6에 도달하면, 제어부(8)는, 반송 롤러(41)에 의한 기판(90)의 반송을 정지시킨다. 또한 제어부(8)는, 롤러 경사부(43)를 구동함으로써, 반송 롤러(41)를 경사시켜, 기판(90)에 형성된 현상액의 제거를 행한다(도 2 또는 도 3 참조). 이러한 자세 변환부(4)의 동작은, 도 6에 있어서의 시간 T18~시간 T19에 걸쳐 행해진다. 5, when the front end of the board | substrate 90 reaches the position L5 in the low speed state of the speed V2, the control part 8 will reduce the conveyance speed of the conveyance roller 41 to a value smaller than the speed V2. And when the front end of the board | substrate 90 reaches the position L6, the control part 8 will stop conveyance of the board | substrate 90 by the conveyance roller 41. FIG. Moreover, the control part 8 inclines the conveyance roller 41 by driving the roller inclination part 43, and removes the developing solution formed in the board | substrate 90 (refer FIG. 2 or FIG. 3). The operation of the posture converting section 4 is performed over time T18 to time T19 in FIG. 6.

다음에, 제어부(8)는 모터(42)를 구동함으로써, 위치 L6에서 정지하고 있는 기판(90)을, 자세 변환부(4)로부터 경사 자세인 채로 속도 V3로 배출시킨다. 또한, 현상 장치(1)는, 도시하지 않은 세척 기구에 접속되어 있으며, 배출된 기판(90)은, 당해 세척 기구에서 적절히 세정되어 여분의 현상액이 제거된다. Next, the control part 8 drives the motor 42, and discharges the board | substrate 90 stopped at the position L6 at the speed V3 with the inclination attitude | position from the attitude | position conversion part 4. As shown in FIG. Moreover, the developing apparatus 1 is connected to the washing | cleaning mechanism which is not shown in figure, The discharged board | substrate 90 is wash | cleaned suitably by the said washing | cleaning mechanism, and the extra developer is removed.

이상이 본 실시 형태에 있어서의 현상 장치(1)의 동작에 대한 설명이다. The above is description of the operation | movement of the developing apparatus 1 in this embodiment.

<1. 3. 효과><1. 3. Effect>

본 실시 형태에 의하면, 현상액을 기판(90) 상에 공급하는 액층 형성부(3)의 반송 롤러(31)와, 현상 처리를 행하기 위한 자세 변환부(4)의 반송 롤러(41)를, 각각 독립적으로 제어함으로써, 각각의 처리에 적합한 반송 속도로 기판(90)을 반송할 수 있기 때문에 현상 장치(1)의 스루풋을 향상시킬 수 있다. According to this embodiment, the conveyance roller 31 of the liquid layer formation part 3 which supplies a developing solution on the board | substrate 90, and the conveyance roller 41 of the attitude | position conversion part 4 for performing image development processing, By controlling each independently, since the board | substrate 90 can be conveyed at the conveyance speed suitable for each process, the throughput of the developing apparatus 1 can be improved.

또, 반송 롤러(31)와 반송 롤러(41)의 속도를 정합시키면서, 그들 2세트의 롤러 사이에서 기판(90)의 수도 기간(시간 T15~시간 T16)의 적어도 일부(여기 예에서는, 그 일부인 시간 T15~시간 T12)를 포함한 기간 P11(시간 T11~시간 T12)에 있어서 반송 속도의 감속 제어를 행함으로써, 기판(90)의 반송 거리를 길게 하는 일 없이 현상 처리를 위한 시간을 확보할 수 있다. Moreover, at least part of the water supply period (time T15-time T16) of the board | substrate 90 between these two sets of rollers, matching the speed | rate of the conveyance roller 31 and the conveyance roller 41 (in this example, it is a part of it). By carrying out the deceleration control of the conveyance speed in the period P11 (time T11 to time T12) including the time T15 to time T12, it is possible to secure time for development without increasing the conveyance distance of the substrate 90. .

<2. 제2 실시 형태><2. Second embodiment>

제1 실시 형태에서는, 액층 형성부(3)로부터 자세 변환부(4)로의 기판(90)의 수도를 행할 때의 기판(90)의 반송 속도를 시계열적으로 1개의 S자 곡선을 그리도록 변화시킴으로써 실현했다. 그러나, 반송 롤러(41)의 반송 속도를 리얼 타임으로 변화하는 반송 롤러(31)의 반송 속도에 정합시키는 제어는, 근사적으로는 실시 가능하다. 그러나, 기판의 전방단이 2세트의 반송 롤러(31, 41)의 경계를 넘을 때에, 쌍방의 반송 롤러(31, 41)의 속도 뿐만이 아니라, 가속도도 유한한 값(제로가 아닌 값)으로 하면서, 그들 2세트의 반송 롤러(31, 41) 사이에서 정합시킬 필요가 있기 때문에, 그 동기 제어의 정밀도에는 한계가 있다. In 1st Embodiment, the conveyance speed of the board | substrate 90 at the time of carrying out water transfer of the board | substrate 90 from the liquid layer formation part 3 to the attitude | position conversion part 4 is changed so that one S-shaped curve may be drawn in time series. By realizing it. However, the control which matches the conveyance speed of the conveyance roller 41 with the conveyance speed of the conveyance roller 31 which changes in real time can be approximated. However, when the front end of the substrate crosses the boundary of the two sets of conveying rollers 31 and 41, not only the speeds of the conveying rollers 31 and 41 but also the acceleration are made to be finite values (non-zero values). Since it is necessary to match between these two sets of conveying rollers 31 and 41, the precision of the synchronous control has a limit.

그래서, 제2 실시 형태에서는, 이 동기시키는 제어를 정밀도 좋게 실시하는 방법에 대해 설명한다. 또한, 본 실시 형태의 현상 장치(1)의 구체적 구성은, 제1 실시 형태의 것과 거의 동일하기 때문에, 중복되는 부분에 대해서는 설명을 생략하고 주로 다른 점에 대해 설명한다. 또, 이하의 각 실시 형태에 있어서도 동일하게 한다. Thus, in the second embodiment, a method of accurately performing this synchronization control will be described. In addition, since the specific structure of the developing apparatus 1 of this embodiment is substantially the same as that of 1st Embodiment, it abbreviate | omits description about the overlapping part and mainly explains a different point. Moreover, it is the same also in each following embodiment.

<2. 1. 동작><2. 1.Operation>

도 7은, 제2 실시 형태에 있어서의 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도에 관한 타임 차트이다. 여기서, 도 7(A)은 반송 롤러(31)에, 도 7(B)은 반송 롤러(41)에 대응하는 타임 차트이다. FIG. 7: is a time chart regarding the conveyance speed of the conveyance rollers 31 and 41 in 2nd Embodiment. Here, FIG. 7 (A) is a time chart corresponding to the conveyance roller 31, and FIG. 7 (B) corresponds to the conveyance roller 41. FIG.

여기서, 도 7(A)에 나타낸 기간 P20(시간 T21~시간 T24)은, 제1 실시 형태에 있어서의, 도 6(A)에 나타낸 기간 P11에 대응한다. 그리고, 제1 실시 형태에서는, 기간 P11에 있어서 반송 롤러(31)에 의한 기판(90)의 반송 속도를 시계열적으로 1개의 S자 곡선을 그리도록 변화(감속)시키고 있었지만, 본 실시 형태에서는, 기간 P20에 있어서, 소정의 시간 동안에, 속도 V1과 속도 V2 사이의 속도 V5(중간 속도)로 기판(90)을 반송하는 정속 상태의 기간 P22(시간 T22~시간 T23)이 형성된다. Here, period P20 (time T21-time T24) shown to FIG. 7A respond | corresponds to period P11 shown to FIG. 6A in 1st Embodiment. And in 1st Embodiment, although the conveyance speed of the board | substrate 90 by the conveyance roller 31 was changed (deceleration) so that 1 S-shaped curve might be drawn in time series in the period P11, in this embodiment, In the period P20, a period P22 (time T22 to time T23) in a constant speed state in which the substrate 90 is conveyed at a speed V5 (intermediate speed) between the speed V1 and the speed V2 is formed for a predetermined time.

우선, 시간 T21(시간 T21~시간 T22)에 있어서, 기판(90)의 전방단이 위치 L3에 도달하면(도 5 참조), 제어부(8)는, 반송 롤러(31)의 반송 속도를, 속도 V1에서 속도 V5로 감속시키는 감속 제어를 행한다. 보다 구체적으로는, 도 7(A)에 나타낸 바와 같이, 기간 P21에 있어서, 제어부(8)는, 반송 롤러(31)의 반송 속도를, 시간-속도의 관계가 S자 곡선이 되도록 속도 V1에서 속도 V5로 변화(감속)시킨다. 그리고 소정의 시간 동안에(기간 P22의 동안), 기판(90)을 속도 V5로 유지한 상태로 반송한다. First, in time T21 (time T21-time T22), when the front end of the board | substrate 90 reaches position L3 (refer FIG. 5), the control part 8 will speed up the conveyance speed of the conveyance roller 31, Deceleration control is performed to decelerate from V1 to the speed V5. More specifically, as shown in FIG. 7A, in the period P21, the control unit 8 sets the conveying speed of the conveying roller 31 at the speed V1 such that the time-speed relationship becomes an S-shaped curve. Change (deceleration) at speed V5. Then, during the predetermined time (during the period P22), the substrate 90 is conveyed in the state of maintaining the speed V5.

그리고 소정의 시간(기간 P22)이 경과하면, 다시 제어부(8)에 의해, 반송 롤러(31)의 반송 속도가 V4에서 속도 V2를 향해 감속 제어된다. 보다 구체적으로는, 도 7(A)에 나타낸 바와 같이, 기간 P23(시간 T23~시간 T24)에 있어서, 제어부(8)는, 반송 롤러(31)의 반송 속도를, 기간 P21 일 때와 마찬가지로, 다음의 S자 곡선을 따라, 속도 V4에서 속도 V2로 변화(감속)시킨다. 그리고, 시간 T24~시간 T25(기판(90)이 반송 롤러(31)로부터 이간한 후의 시간) 동안에, 반송 롤러(31)의 반송 속도를 속도 V2로 유지한다. And when predetermined time (period P22) has passed, the conveyance speed of the conveyance roller 31 will be decelerated-controlled toward the speed V2 by V4 again. More specifically, as shown to FIG. 7 (A), in period P23 (time T23-time T24), the control part 8 makes the conveyance speed of the conveyance roller 31 the same as the time period P21, The speed is changed (decelerated) from the speed V4 to the speed V2 according to the following S curve. And the conveyance speed of the conveyance roller 31 is maintained at the speed V2 during time T24-time T25 (time after the board | substrate 90 separated from the conveyance roller 31).

[동기 제어][Synchronous control]

한편, 반송 롤러(41)에 대해서는, 제어부(8)에 의해, 반송 롤러(31)의 반송 속도와 정합하도록 이하와 같이 제어된다. 즉, 도 7(B)에 나타낸 바와 같이, 시간 T22(반송 롤러(31)의 반송 속도가 속도 V5에 도달할 때)보다도 빠른 시간 T26에 있어서, 모터(42)를 구동하고, 반송 롤러(31)의 반송 속도가 속도 V5에 도달하는 시간 T22가 경과하기 전에, 반송 롤러(41)의 반송 속도를 속도 V5에 도달시킨다. 이것에 의해, 현상 장치(1)는, 시간 T22에 있어서의 반송 롤러(31) 및 반송 롤러(41)의 반송 속도를 일치시킬 수 있다. On the other hand, about the conveyance roller 41, it is controlled as follows by the control part 8 so that the conveyance speed of the conveyance roller 31 may match. That is, as shown to FIG. 7 (B), the motor 42 is driven in the time T26 earlier than time T22 (when the conveyance speed of the conveyance roller 31 reaches speed V5), and the conveyance roller 31 is carried out. The conveyance speed of the conveyance roller 41 is reached to the speed V5 before time T22 which the conveyance speed of () reaches speed V5 passes. Thereby, the developing apparatus 1 can match the conveyance speed of the conveyance roller 31 and the conveyance roller 41 in time T22.

또한 그 후에 대해서, 제어부(8)는, 반송 롤러(31, 41)의 속도를 정합시키면서 동기 제어한다. 이것에 의해, 시간 T24에 있어서, 반송 롤러(41)의 반송 속도가 속도 V2가 된다. 그리고 현상 장치(1)는, 기판(90)의 전방단이 위치 L5(도 5 참조)에 도달할 때까지 속도 V2 상태로 기판(90)을 반송한다. In addition, after that, the control part 8 performs synchronous control, matching the speed of the conveyance rollers 31 and 41. FIG. Thereby, in the time T24, the conveyance speed of the conveyance roller 41 becomes speed V2. And the developing apparatus 1 conveys the board | substrate 90 in the state of speed V2 until the front end of the board | substrate 90 reaches position L5 (refer FIG. 5).

여기서, 도 7에 나타내는 예에서는, 시간 T27은, 기판(90)의 전방단이 자세 변환부(4)의 반송 방향 최상류에 있는 반송 롤러(41)의 상단에 도달하는 시간이다. 또, 시간 T28은, 기판(90)의 후방단이 액층 형성부(3)의 반송 방향 최하류에 있는 반송 롤러(31)의 상단으로부터 이간하는 시간이다. 제어부(8)는, 기간 P24(시간 T22~시간 T25)에 있어서, 반송 롤러(31) 및 반송 롤러(41)를 동기 제어하고 있으며, 1매의 기판(90)이 반송 롤러(31) 및 반송 롤러(41)에 걸쳐 있는 기판(90)의 수도 기간(시간 T27~시간 T28)은, 기간 P24에 포함되어 있다. 따라서, 액층 형성부(3)와 자세 변환부(4) 사이에서 기판(90)을 원활히 수도할 수 있다. Here, in the example shown in FIG. 7, time T27 is time when the front end of the board | substrate 90 reaches the upper end of the conveyance roller 41 in the uppermost direction of the conveyance direction of the attitude | position change part 4 here. Moreover, time T28 is time which the rear end of the board | substrate 90 separates from the upper end of the conveyance roller 31 in the conveyance direction most downstream of the liquid layer formation part 3. The control part 8 controls the conveyance roller 31 and the conveyance roller 41 synchronously in period P24 (time T22-time T25), and one board | substrate 90 conveys the conveyance roller 31 and conveyance. The water supply period (time T27-time T28) of the board | substrate 90 which spans the roller 41 is contained in period P24. Therefore, the board | substrate 90 can also be smoothly formed between the liquid layer formation part 3 and the attitude | position conversion part 4.

또한, 동기를 개시하는 속도 V5의 설정 방법으로서는, 미리 오퍼레이터에 의해 설정해도 되고, 상황에 따라 제어부(8)가 결정하는 구성이어도 된다. 또, S자 곡선의 형상이나, 감속 시간(기간 P21, P23) 및 속도 V5로 유지하는 시간(기간 P22)의 설정 방법에 대해서도 마찬가지이다. In addition, the setting method of the speed V5 which starts synchronization may be set by an operator previously, and the structure determined by the control part 8 may be sufficient according to a situation. The same applies to the shape of the S curve and the setting method of the deceleration time (periods P21 and P23) and the time (period P22) to be maintained at the speed V5.

여기서, 시간 T25 이후에 있어서의 현상 장치(1)의 동작(자세 변환 동작 등)에 대해서는, 제1 실시 형태와 동일하기 때문에 설명을 생략한다. 이상이 본 실시 형태에 있어서의 현상 장치(1)의 동작 설명이다. Here, since operation (posture conversion operation etc.) of the developing apparatus 1 in time T25 or later is the same as that of 1st Embodiment, description is abbreviate | omitted. The above is the operation | movement description of the developing apparatus 1 in this embodiment.

<2. 2. 효과><2. 2. Effect>

본 실시 형태에 의하면, 기판(90)의 수도 기간(시간 T27~시간 T28)을 포함한 시간대(기간 P24)에 있어서 2세트의 반송 롤러(31, 41)의 사이에서의 속도의 동기 제어를 행함과 함께, 반송 롤러(31)를 속도 V1(고속)에서 속도 V2(저속)로 속도 변화시킬 때에, 소정의 시간 동안에, 중간 속도(속도 V5)로 기판(90)을 반송하는 기간을 형성한다. 이것에 의해, 반송 롤러(41)의 반송 속도를, 일정 속도(속도 V5)로 동작하는 반송 롤러(31)에 정합시키는 것을 용이하게 할 수 있으므로, 제어부(8)에 의한 반송 롤러(31, 41)의 동기 제어를 정밀도 좋게 실시할 수 있다. According to this embodiment, the synchronous control of the speed between two sets of conveying rollers 31 and 41 is performed in the time zone (period P24) including the water supply period (time T27-time T28) of the board | substrate 90, At the same time, when the conveyance roller 31 is speed-changed from the speed V1 (high speed) to the speed V2 (low speed), a period of conveying the substrate 90 at an intermediate speed (speed V5) is formed for a predetermined time. This makes it easy to match the conveying speed of the conveying roller 41 to the conveying roller 31 which operates at a constant speed (speed V5), and thus conveying rollers 31 and 41 by the control unit 8. Can be performed with high accuracy.

특히, 본 실시 형태에서는, 2세트의 반송 롤러(31, 41)의 사이에서의 기판(90)의 수도 기간(시간 T27~T28)의 전후에서의 동기 제어를 각각 S자 곡선을 따라 행하기 때문에, 이들의 기간에 가속도의 급격한 변화도 없이 안정적으로 기판(90)의 수도가 행해진다. In particular, in this embodiment, since the synchronous control before and after the delivery period (time T27-T28) of the board | substrate 90 between two sets of conveying rollers 31 and 41 is performed along an S-shape, respectively, In these periods, the substrate 90 can be stably carried out without a sudden change in acceleration.

<3. 제3 실시 형태><3. Third embodiment>

상기 실시 형태에서는, 액층 형성부(3) 및 자세 변환부(4) 사이의 기판(90)의 수도 시에, 반송 롤러(31)의 반송 속도를 시계열적으로 S자 곡선을 그리도록 변화시키는 감속 제어를 행하고 있었지만, 감속 제어의 방법은 이것에 한정되는 것은 아니다. In the said embodiment, the speed which changes the conveyance speed of the conveyance roller 31 so that it may draw an S-shape in time series at the time of the delivery of the board | substrate 90 between the liquid layer formation part 3 and the attitude | position transformation part 4 Although control was performed, the method of deceleration control is not limited to this.

도 8은, 제3 실시 형태에 있어서의 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도에 관한 타임 차트이다. 여기서, 도 8(A)은 반송 롤러(31)에, 도 8(B)은 반송 롤러(41)에 대응하는 타임 차트이다. 8 is a time chart relating to the conveyance speeds of the conveyance rollers 31 and 41 in the third embodiment. Here, FIG. 8 (A) is a time chart corresponding to the conveyance roller 31, and FIG. 8 (B) corresponds to the conveyance roller 41. FIG.

<3. 1. 동작><3. 1.Operation>

[감속 제어][Deceleration control]

도 8(A)에 나타낸 기간 P31(시간 T31~시간 T32)은, 반송 롤러(31)의 반송 속도를 감속시키는 제어를 행하는 기간이며, 제1 실시 형태에 있어서의 도 6(A)에 나타낸 기간 P11에 대응하는 기간이다. 제1 실시 형태에서는, 기간 P11에 있어서 반송 롤러(31)의 반송 속도를, 시간-속도의 관계가 S자 곡선이 되도록 변화(감속)시켰지만, 본 실시 형태에서는, 기간 P31에 있어서, 반송 속도를 일정한 비율로(즉, 일정 가속도로) 감속하는 감속 제어가 이루어진다. Period P31 (time T31-time T32) shown to FIG. 8 (A) is a period which performs the control which slows down the conveyance speed of the conveyance roller 31, and shows the period shown to FIG. 6 (A) in 1st Embodiment. It is a period corresponding to P11. In the first embodiment, the conveying speed of the conveying roller 31 is changed (decelerated) so that the time-speed relationship becomes an S-shaped curve in the period P11. In the present embodiment, the conveying speed is changed in the period P31. Deceleration control is made which decelerates at a constant rate (ie at a constant acceleration).

즉, 시간 T31에 있어서, 기판(90)의 전방단이 위치 L3에 도달하면(도 5 참조), 제어부(8)는, 반송 롤러(31)의 반송 속도를, 속도 V1에서 속도 V2를 향해 일정한 비율로 감속하는 감속 제어를 행한다. 보다 구체적으로는, 도 8(A)에 나타낸 바와 같이, 기간 P31에 있어서, 제어부(8)는, 반송 롤러(31)의 반송 속도를, 시간-속도의 관계가 직선이 되도록 속도 V1에서 속도 V2로 변화(감속)시킨다. 그리고 시간 T32에 있어서 반송 속도가 속도 V2가 되면, 제어부(8)는, 반송 롤러(31)의 반송 속도를 속도 V2로 유지하고, 기판(90) 상의 현상 처리를 진행시킨다. That is, in time T31, when the front end of the board | substrate 90 reaches the position L3 (refer FIG. 5), the control part 8 will adjust the conveyance speed of the conveyance roller 31 toward speed V2 from speed V1. Deceleration control is performed to decelerate at a rate. More specifically, as shown to FIG. 8 (A), in period P31, the control part 8 makes the conveyance speed of the conveyance roller 31 the speed V1 to the speed V2 so that time-speed relationship may become a straight line. Change (deceleration) to. And when the conveyance speed becomes speed V2 in time T32, the control part 8 maintains the conveyance speed of the conveyance roller 31 at the speed V2, and advances the image development process on the board | substrate 90. FIG.

[동기 제어][Synchronous control]

한편, 반송 롤러(41)에 대해서는, 제어부(8)에 의해, 반송 롤러(31)의 반송 속도와 동기하도록 이하와 같이 제어된다. 즉, 도 8(B)에 나타낸 바와 같이, 시간 T33에 있어서, 제어부(8)가 모터(42)를 구동하고, 반송 롤러(41)의 반송 속도를, 속도 V6(속도 V1과 속도 V2 사이의 중간 속도)가 되도록 가속시킨다. 그리고 제어부(8)는, 시간 T34(반송 롤러(31)의 반송 속도가 속도 V6가 되는 시간)보다도 이전 시간에 있어서, 반송 롤러(41)의 반송 속도를 속도 V6로 하고, 시간 T34까지 속도 V6으로 유지한다. On the other hand, about the conveyance roller 41, it is controlled by the control part 8 so that it may synchronize with the conveyance speed of the conveyance roller 31 as follows. That is, as shown to FIG. 8 (B), in the time T33, the control part 8 drives the motor 42, and conveys the conveyance speed of the conveyance roller 41 between speed V6 (speed V1 and speed V2). Medium speed). And the control part 8 makes the conveyance speed of the conveyance roller 41 into speed V6 in time before time T34 (time when the conveyance speed of conveyance roller 31 becomes speed V6), and speeds V6 until time T34. Keep it.

또한 반송 롤러(31)의 반송 속도가 속도 V6에 도달하면(시간 T34), 제어부(8)는, 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도를 정합시키는 동기 제어를 행하고, 반송 롤러(41)의 반송 속도에 대해서도 감속 제어를 행한다. 따라서, 시간 T32에 있어서, 반송 롤러(41)의 반송 속도도 속도 V2가 되고, 현상 장치(1)는, 기판(90)의 전방단이 위치 L5(도 5 참조)에 도달할 때까지 속도 V2 상태로 기판(90)을 반송하게 된다. Moreover, when the conveyance speed of the conveyance roller 31 reaches the speed V6 (time T34), the control part 8 performs the synchronous control which matches the conveyance speed of the conveyance rollers 31 and 41, and performs the Deceleration control is also performed for the conveyance speed. Therefore, at time T32, the conveyance speed of the conveyance roller 41 also becomes speed V2, and the developing apparatus 1 has a speed V2 until the front end of the board | substrate 90 reaches the position L5 (refer FIG. 5). The board | substrate 90 is conveyed in a state.

여기서, 도 8에 나타내는 예에서는, 시간 T36은, 기판(90)의 전방단이 자세 변환부(4)의 반송 방향 최상류에 있는 반송 롤러(41)의 상단에 도달하는 시간을 나타내고 있다. 또, 시간 T37은, 기판(90)의 후방단이 액층 형성부(3)의 반송 방향 최하류에 있는 반송 롤러(31)의 상단으로부터 이간하는 시간을 나타내고 있다. 여기서, 도 8에 나타낸 바와 같이, 시간 T34~시간 T35의 기간 P32에 있어서, 반송 롤러(31) 및 반송 롤러(41)의 반송 속도를 정합시킨 동기 제어가 실시되게 된다. 즉, 1매의 기판(90)이 반송 롤러(31) 및 반송 롤러(41)에 걸쳐 있는 수도 기간(시간 T36~시간 T37)은, 동기 제어가 행해지는 기간 P32에 포함된다. 따라서, 액층 형성부(3)와 자세 변환부(4) 사이에서 기판(90)을 원활하게 수도할 수 있다. Here, in the example shown in FIG. 8, time T36 has shown the time when the front end of the board | substrate 90 reaches the upper end of the conveyance roller 41 in the conveyance direction upstream of the attitude | position conversion part 4 here. Moreover, time T37 has shown the time which the rear end of the board | substrate 90 separates from the upper end of the conveyance roller 31 in the conveyance direction downstream of the liquid layer formation part 3. Here, as shown in FIG. 8, in the period P32 of time T34-time T35, the synchronous control which matched the conveyance speed of the conveyance roller 31 and the conveyance roller 41 is performed. That is, the water supply period (time T36-time T37) in which one board | substrate 90 spans the conveyance roller 31 and the conveyance roller 41 is contained in the period P32 in which synchronous control is performed. Therefore, the board | substrate 90 can also be made smooth between the liquid layer formation part 3 and the attitude | position conversion part 4.

또한, 시간 T35 이후에 있어서의 현상 장치(1)의 동작(자세 변환 동작 등)에 대해서는, 제1 실시 형태와 동일하기 때문에 설명을 생략한다. 이상이 본 실시 형태에 있어서의 현상 장치(1)의 동작 설명이다. In addition, since operation (posture conversion operation etc.) of the developing apparatus 1 in time T35 or later is the same as that of 1st Embodiment, description is abbreviate | omitted. The above is the operation | movement description of the developing apparatus 1 in this embodiment.

<3. 2, 효과><3. 2, effect>

도 8(A)에 나타내는 예와 같이 반송 롤러(31)를 감속시킨 경우, 시간 T31, T32에 있어서, 기판(90) 상에 처리된 현상액에 비교적 큰 관성력이 작용하지만, 제어부(8)에 의한 특별한 제어(반송 롤러(31, 41)의 반송 속도를 시계열적으로 S자 곡선을 그리도록 변화시키는 제어)가 불필요해지기 때문에, 현상 장치(1)의 장치 코스트를 억제할 수 있다. When the conveyance roller 31 is decelerated as shown in the example shown in FIG. 8A, a relatively large inertial force acts on the developing solution processed on the substrate 90 at times T31 and T32. Since special control (control to change the conveyance speeds of the conveying rollers 31 and 41 so as to draw an S-shape in time series) is unnecessary, the apparatus cost of the developing apparatus 1 can be suppressed.

또, 반송 롤러(31)의 반송 속도를 일정한 비율로 감속시키기 때문에, 반송 롤러(31)의 반송 속도에 대해서 반송 롤러(41)의 반송 속도를 고정밀도로 정합시키는 것이 용이해진다. Moreover, since the conveyance speed of the conveyance roller 31 is decelerated by a fixed ratio, it becomes easy to match the conveyance speed of the conveyance roller 41 with high precision with respect to the conveyance speed of the conveyance roller 31. FIG.

또한 상기와 같은 감속 제어는 제2 실시 형태에 대해서도 적용할 수 있으며, 보다 구체적으로는 도 7(A)에 나타낸 기간 P21, P23에 있어서, 반송 롤러(31)의 반송 속도를 일정한 비율로 감속시키는 제어를 행해도 된다. The above deceleration control can also be applied to the second embodiment, and more specifically, in the periods P21 and P23 shown in FIG. 7A, the conveyance speed of the conveying roller 31 is reduced at a constant rate. You may control.

<4. 제4 실시 형태><4. Fourth embodiment>

상기 실시 형태에서는, 롤러 경사부(43)에 의해 반송 롤러(41)를 경사시킴으로써, 기판(90)의 자세를 수평 자세에서 경사 자세로 변환함으로써, 기판(90) 상에 형성된 현상액의 제거를 행한다고 설명했다(도 2 및 도 3 참조). 그러나, 기판(90)의 자세를 변환하는 기구는 이것에 한정되는 것은 아니다. In the said embodiment, the inclination of the conveyance roller 41 is carried out by the roller inclination part 43, and the attitude | position of the board | substrate 90 is changed from a horizontal attitude | position to the inclined attitude | movement, and the developing solution formed on the board | substrate 90 is removed. It was described (see Figs. 2 and 3). However, the mechanism for converting the attitude of the substrate 90 is not limited to this.

도 9는, 제4 실시 형태에 있어서의 자세 변환부(4a)의 개략 사시도이다. 자세 변환부(4a)는, 도시하지 않은 승강 기구에 의해 상하로 승강 가능한 상하 롤러부(45)가 구비된다. 상하 롤러부(45)에는, 소정의 간격을 두고 상방으로 연장되는 복수의 지지 부재가 설치되어 있고, 당해 지지 부재의 상단에는 각각 롤러(451)가 설치되어 있다. 상하 롤러부(45)는, 통상은 반송 롤러(41)의 하방에 배치되어 있고, 상방으로 이동됨으로써, 기판(90)을 수평 자세에서 경사 자세로 변환한다. 이것에 의해, 기판(90) 상에 형성된 현상액을 제거할 수 있다. 9 is a schematic perspective view of the posture converting portion 4a in the fourth embodiment. The attitude-converting part 4a is equipped with the up-and-down roller part 45 which can lift up and down by the lifting mechanism which is not shown in figure. The upper and lower roller portions 45 are provided with a plurality of supporting members extending upward at predetermined intervals, and rollers 451 are provided at the upper ends of the supporting members, respectively. The upper and lower roller parts 45 are usually disposed below the conveying roller 41 and are moved upward to thereby convert the substrate 90 from the horizontal posture to the inclined posture. Thereby, the developing solution formed on the board | substrate 90 can be removed.

<5. 변형예> <5. Variation>

이상, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명해 왔지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니고 다양한 변형이 가능하다. As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to the said embodiment, A various deformation | transformation is possible.

예를 들면 상기 실시 형태에서는, 복수 병렬 배치된 반송 롤러(31, 41)에 의해 기판(90)이 반송된다고 설명했지만, 물론 무단 벨트를 사용한 컨베이어 반송 등에 의해 기판 반송 기구가 실현되어도 된다. For example, although the said embodiment demonstrated that the board | substrate 90 is conveyed by the conveyance rollers 31 and 41 arrange | positioned in multiple parallel, of course, the board | substrate conveyance mechanism may be implement | achieved by conveyor conveyance etc. using an endless belt.

또, 제2 실시 형태에 있어서, 제어부(8)가 반송 롤러(41)의 반송 속도를 속도 V4에 도달시키는 타이밍을 시간 T22보다도 이전으로 한다고 설명했다(도 7(B) 참조). 그러나, 반송 롤러(41)의 반송 속도를 속도 V4에 도달시키는 타이밍은, 이것에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면 시간 T22, 혹은 시간 T22와 시간 T23 사이의 임의의 시간으로 해도 된다. In addition, in 2nd Embodiment, it demonstrated that the timing which makes the control part 8 reach | attain the conveyance speed of the conveyance roller 41 to speed V4 was earlier than time T22 (refer FIG. 7 (B)). However, the timing which makes the conveyance speed of the conveyance roller 41 reach | attain speed V4 is not limited to this, For example, it is good also as arbitrary time between time T22 or time T22 and time T23.

일반적으로, 이 발명에 있어서 2개의 컨베이어의 반송 속도를 정합시키는 것은 기판의 수도 기간 만이어도 되고, 수도 기간 이외를 포함한 기간이어도 된다. 한편, 감속 기간은 기판의 수도 기간의 전체를 포함하고 있어도 되고, 일부여도 된다. 또, 상기 각 실시 형태와는 반대로, 2개의 컨베이어의 사이에서 기판의 속도를 증가시키는 경우의 증속 제어에도 이 발명은 적용 가능하다. In general, in this invention, the conveyance speed of two conveyors may be matched only with the water supply period of a board | substrate, and may be a period including other than a water supply period. In addition, the deceleration period may include the whole water supply period of a board | substrate, and may be a part. In contrast to the above embodiments, the present invention is also applicable to speed increase control in the case of increasing the speed of the substrate between two conveyors.

또, 기판 검출 센서(34, 44)의 수나 배치하는 위치는 상기 서술한 것에 한정되는 것은 아니며 적절히 설계 변경이 가능하다. 예를 들면, 반송 롤러(31)에 의한 기판(90)의 반송 속도를 보다 정확하게 계측하기 위해, 액층 형성부(3) 하류측의 소정의 위치에 복수의 센서를 배치하고, 감속 제어(예를 들면 도 6 중, 기간 P11에 있어서의 제어)에 의해 감속하는 기판(90)의 속도를 취득한다. 그리고 당해 취득된 값에 기초하여, 반송 롤러(41)의 동기 제어를 실시하는 것도 유효하다. In addition, the number of the board | substrate detection sensors 34 and 44 and the position to arrange | position are not limited to what was mentioned above, A design change is possible suitably. For example, in order to measure the conveyance speed of the board | substrate 90 by the conveyance roller 31 more accurately, the some sensor is arrange | positioned in the predetermined position downstream of the liquid layer formation part 3, and deceleration control (for example, For example, the speed of the board | substrate 90 which decelerates by control in period P11 in FIG. 6 is acquired. And based on the acquired value, it is also effective to perform synchronous control of the conveyance roller 41. FIG.

또, 상기 실시 형태에서는, 동기 제어를 개시하기 전에, 반송 롤러(41)의 반송 속도를 동기 개시 속도(속도 V4, V5, V6)에 미리 도달시키고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니며, 적어도 반송 롤러(31)의 반송 속도가 당해 동기 개시 속도가 되기 전에 도달시키면 된다. Moreover, in the said embodiment, although the conveyance speed of the conveyance roller 41 is reached beforehand at the synchronous start speed (speed V4, V5, V6) before starting synchronous control, it is not limited to this, At least a conveyance roller What is necessary is just to reach before the conveyance speed of (31) becomes the said synchronous start speed.

또, 제2 실시 형태에서는, 감속 제어 중에 정속으로 하는 기간을 1개소만 형성하는 것이었지만, 물론 이것에 한정되는 것은 아니며, 정속으로 반송되는 기간을 복수 형성해도 된다. 이 경우에는, 반송 롤러(41)의 동기를 개시하는 타이밍이 다수 형성되게 되기 때문에, 제어부(8)에 의한 동기 제어의 선택 자유도가 높아진다. In addition, in 2nd Embodiment, although only one place which made constant speed during deceleration control was formed, it is not limited to this, Of course, you may form multiple periods conveyed by constant speed. In this case, since a large number of timings for starting the synchronization of the conveying roller 41 are formed, the degree of freedom of selection of the synchronization control by the controller 8 is increased.

또, 상기 실시 형태에서는, 자세 변환부(4, 4a)는, 기판(90)의 반송 방향에 평행한 단면측을 상방으로 밀어 올림으로써, 기판(90)의 자세를 경사시킨다고 설명했다. 그러나, 기판(90)의 경사 방법은 이것에 한정되는 것은 아니며, 예를 들면 기판(90)의 반송 방향 하류단(＋X측의 단부)(혹은 상류단(-X측의 단부))을 상방으로 밀어 올림으로써 기판(90)의 자세를 수평면에 대해 경사시켜도 된다. Moreover, in the said embodiment, it was demonstrated that the attitude | position conversion parts 4 and 4a incline the attitude | position of the board | substrate 90 by pushing upward the cross section side parallel to the conveyance direction of the board | substrate 90. As shown in FIG. However, the inclination method of the board | substrate 90 is not limited to this, For example, the conveyance direction downstream end (end of + X side) (or upstream end (end of -X side)) of the board | substrate 90 is upwards, for example. By pushing up, the attitude | position of the board | substrate 90 may be inclined with respect to a horizontal plane.

또, 상기 실시 형태에서는, 현상 처리하는 장치에 대해서만 설명했지만, 이 것에 한정되는 것은 아니며, 그 외의 기판 처리 장치에 대해서도, 본 발명은 적용 가능하다. 예를 들면, 기판(90)에 대해서 노즐로부터 순수나 에칭액, 박리액 혹은 소정의 기체를 공급하는 장치, 혹은 반송되는 기판에 대해서 광을 조사하는 장치 등에도 적용할 수 있다. Moreover, in the said embodiment, although demonstrated only about the image development apparatus, it is not limited to this, This invention is applicable also to other substrate processing apparatuses. For example, it is applicable also to the apparatus which supplies pure water, etching liquid, peeling liquid, or predetermined | prescribed gas to the board | substrate 90, the apparatus which irradiates light with respect to the conveyed board | substrate, etc., for example.

도 1은 본 실시 형태에 있어서의 현상 장치(1)를 나타내는 개략 측면도이다. 1 is a schematic side view illustrating the developing apparatus 1 according to the present embodiment.

도 2는 반송 롤러(41)를 경사시킨 상태를 반송 방향 하류측에서 보았을 때의 도면이다. 2 is a view when the state where the conveying roller 41 is inclined is viewed from the downstream side in the conveying direction.

도 3은 반송 롤러(41)를 경사시킨 상태의 현상 장치(1)를 나타내는 개략 측면도이다. 3 is a schematic side view illustrating the developing apparatus 1 in a state in which the conveying roller 41 is inclined.

도 4는 제어부(8)와 현상 장치(1)의 각 부의 접속을 나타내는 블럭도이다. 4 is a block diagram showing the connection between the control unit 8 and each unit of the developing apparatus 1.

도 5는 현상 장치(1)의 동작을 설명하기 위한 도면이다. 5 is a diagram for explaining the operation of the developing apparatus 1.

도 6은 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도에 관한 타임 차트이다. 6 is a time chart relating to the conveying speeds of the conveying rollers 31 and 41.

도 7은 제2 실시 형태에 있어서의 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도에 관한 타임 차트이다. FIG. 7: is a time chart regarding the conveyance speed of the conveyance rollers 31 and 41 in 2nd Embodiment.

도 8은 제3 실시 형태에 있어서의 반송 롤러(31, 41)의 반송 속도에 관한 타임 차트이다. 8 is a time chart relating to the conveyance speeds of the conveyance rollers 31 and 41 in the third embodiment.

도 9는 제4 실시 형태에 있어서의 자세 변환부(4a)의 개략 사시도이다. 9 is a schematic perspective view of the posture converting portion 4a in the fourth embodiment.

도 10은 종래의 현상 장치(100)에 있어서의 기판(190)의 반송을 설명하기 위한 도면이다. 10 is a view for explaining the conveyance of the substrate 190 in the conventional developing apparatus 100.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1 현상 장치 3 액층 형성부1 developing apparatus 3 liquid layer forming part

31, 41 반송 롤러 32, 42 모터31, 41 conveying roller 32, 42 motor

33 현상액 공급 노즐 34, 44 기판 검출 센서33 Developer feed nozzles 34, 44 Substrate detection sensor

4, 4a 자세 변환부 42 모터4, 4a attitude converter 42 motor

43 롤러 경사부 45 상하 롤러부43 Roller inclined part 45 Upper and lower roller part

8 제어부 90 기판8 controller 90 board

Claims (5)

기판을 컨베이어 반송하면서 기판의 반송 속도를 변경하는 기판 반송 장치로서, A substrate conveyance apparatus for changing a conveyance speed of a substrate while conveying the substrate by conveyor, 기판을 소정의 방향으로 컨베이어 반송하는 제1 컨베이어와, A first conveyor for conveying the substrate in a predetermined direction; 상기 제1 컨베이어에 대해서 상기 소정의 방향으로 직렬 배치되어, 기판을 컨베이어 반송하는 제2 컨베이어와, A second conveyor disposed in series in the predetermined direction with respect to the first conveyor, for conveying and conveying a substrate; 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도와, 상기 제2 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를 각각 독립적으로 제어하는 제어 수단을 구비하고, And control means for independently controlling the conveyance speed of the substrate by the first conveyor and the conveyance speed of the substrate by the second conveyor, respectively. 상기 제어 수단은, The control means, 상기 제1 컨베이어에 의해 반송되는 기판의 전방단이 상기 제2 컨베이어에 도달한 때부터 당해 기판의 후방단이 상기 제1 컨베이어를 이간할 때까지의 기판의 수도 기간의 적어도 일부를 포함한 시간대에 있어서, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, 제1 속도에서 제2 속도로 시계열적으로 변화시킴과 함께, In a time zone including at least a portion of the water supply period of the substrate from when the front end of the substrate conveyed by the first conveyor reaches the second conveyor until the rear end of the substrate separates the first conveyor. While changing the conveyance speed of the substrate by the first conveyor in time series from the first speed to the second speed, 적어도 상기 수도 기간에 있어서, 상기 제2 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도와 정합시키는 동기 제어를 행하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치. In at least the said water supply period, the board | substrate conveying apparatus characterized by the synchronous control which matches the conveyance speed of the board | substrate by the said 2nd conveyor with the conveyance speed of the board | substrate by the said 1st conveyor. 청구항 1에 있어서, The method according to claim 1, 상기 제어 수단은, The control means, 상기 수도 기간을 포함하는 상기 시간대에 있어서, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, 시간-속도의 관계가 S자 곡선을 가지도록 상기 제1 속도에서 상기 제2 속도로 변화시키는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치. In the time period including the water supply period, the conveying speed of the substrate by the first conveyor is changed from the first speed to the second speed so that the time-speed relationship has an S curve. Board | substrate conveying apparatus. 청구항 2에 있어서, The method according to claim 2, 상기 제어 수단은, The control means, 상기 제1 속도와 상기 제2 속도 사이의 속도를 중간 속도로 했을 때, When the speed between the first speed and the second speed is set to an intermediate speed, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, Conveying speed of the substrate by the first conveyor, 상기 제1 속도에서 상기 중간 속도까지 시간-속도의 관계가 제1의 대략 S자 곡선이 되도록 변화시키고, 상기 수도 기간의 개시 시점보다도 빠른 시점에서 시작되는 소정의 시간 동안에, 상기 중간 속도로 한 후, 상기 중간 속도에서 상기 제2 속도까지 시간-속도의 관계가 제2의 대략 S자 곡선이 되도록 변화시킴과 함께, The time-speed relationship is changed from the first speed to the intermediate speed so as to become the first approximately S-shaped curve, and the intermediate speed is set for a predetermined time starting at a time earlier than the start time of the water supply period. Changing the time-velocity relationship from the intermediate speed to the second speed to become a second approximately S-shaped curve, 상기 제2 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, Conveying speed of the substrate by the second conveyor, 적어도 상기 소정의 시간 동안에 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도와 정합시키는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치. And a conveying speed of the substrate by the first conveyor for at least the predetermined time period. 그 상면에 처리액이 액층 형성된 기판을 반송하면서 처리하는 기판 처리 장치로서, As a substrate processing apparatus which processes while conveying the board | substrate with which the process liquid was formed on the upper surface, 기판의 상면에 처리액을 액층 형성하는 액층 형성 수단과, Liquid layer forming means for forming a liquid layer on the upper surface of the substrate, 상기 액층 형성 수단에 의해 액층 형성된 기판을 수평 반송하는 기판 반송 장치를 구비하고,It is provided with the board | substrate conveying apparatus which horizontally conveys the board | substrate formed with liquid layer by the said liquid layer forming means, 상기 기판 반송 장치는, The substrate transfer device, 기판을 소정의 방향으로 컨베이어 반송하는 제1 컨베이어와, A first conveyor for conveying the substrate in a predetermined direction; 상기 제1 컨베이어에 대해서 상기 소정의 방향으로 직렬 배치되어, 기판을 컨베이어 반송하는 제2 컨베이어와, A second conveyor disposed in series in the predetermined direction with respect to the first conveyor, for conveying and conveying a substrate; 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도와, 상기 제2 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를 각각 독립적으로 제어하는 제어 수단을 포함하고, And control means for independently controlling the conveyance speed of the substrate by the first conveyor and the conveyance speed of the substrate by the second conveyor, respectively. 상기 제어 수단은, The control means, 상기 제1 컨베이어에 의해 반송되는 기판의 전방단이 상기 제2 컨베이어에 도달한 때부터 당해 기판의 후방단이 상기 제1 컨베이어를 이간할 때까지의 기판의 수도 기간의 적어도 일부를 포함한 시간대에 있어서, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, 제1 속도에서 제2 속도로 시계열적으로 변화시킴과 함께, In a time zone including at least a portion of the water supply period of the substrate from when the front end of the substrate conveyed by the first conveyor reaches the second conveyor until the rear end of the substrate separates the first conveyor. While changing the conveyance speed of the substrate by the first conveyor in time series from the first speed to the second speed, 적어도 상기 수도 기간에 있어서, 상기 제2 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도를, 상기 제1 컨베이어에 의한 기판의 반송 속도와 정합시키는 동기 제어를 행하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치. In at least the said water supply period, the synchronous control which matches the conveyance speed of the board | substrate by the said 2nd conveyor with the conveyance speed of the board | substrate by the said 1st conveyor is performed, The substrate processing apparatus characterized by the above-mentioned. 청구항 4에 있어서, The method according to claim 4, 상기 제2 컨베이어 상에서 정지시킨 기판의 자세를 경사 자세로 변경하는 자세 변경 수단을 더 구비하고, A posture changing means for changing the posture of the substrate stopped on the second conveyor to an inclined posture, 상기 제어 수단은, The control means, 상기 제2 컨베이어에 의해 반송되는 기판을, 상기 자세 변경 수단에 의해 상기 기판의 자세를 변경할 때에, 일단 정지시키는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치. The board | substrate processing apparatus which stops once the board | substrate conveyed by the said 2nd conveyor changes the attitude | position of the said board | substrate by the said attitude | position change means.
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