KR20090082114A - Color filter and method of producing thereof, and liquid crystal display device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 컬러필터 및 그 제조방법, 그리고 액정표시장치에 관한 것이다.The present invention relates to a color filter, a manufacturing method thereof, and a liquid crystal display device.
컬러필터는 액정 디스플레이(LCD)나 고체촬상소자에 불가결한 구성부품이다.The color filter is an essential component of a liquid crystal display (LCD) or a solid state image pickup device.
예를 들면, 액정 디스플레이가 텔레비젼용으로 사용되게 되고, 액정 디스플레이용 컬러필터는 종래의 노트북 컴퓨터(laptop computer)용 또는 모니터용의 컬러필터와 비교하여 보다 고품위의 화질이 요구되고 있다. 또한, 대형 TV를 생산하기 위해서 기판 사이즈가 확대되고 있어 수율의 향상 및 비용 삭감의 요구가 커지고 있다.For example, liquid crystal displays are used for televisions, and color filters for liquid crystal displays are required to have higher image quality compared with color filters for laptop computers or monitors. In addition, in order to produce large-sized TVs, the size of the substrate has been expanded, and the demand for improvement in yield and cost reduction is increasing.
상기 화질의 향상에 관해서는, 컬러필터의 제조시에 블랙 매트릭스와 착색 화소의 경계 부분에서 착색 패턴이 융기되어 컬러필터가 평탄하게 되지 않는 것이 원인이 되어 화질의 열화가 생기는 것이 문제가 되고 있었다(예를 들면 일본 특허공개 평9-113721호 공보를 참조). 상기 경계 부분의 융기는 콘트라스트 저하나 색 얼룩 등을 야기할 경우가 있다.Regarding the improvement of the image quality, there is a problem that the deterioration of image quality is caused by the fact that the color pattern is raised at the boundary between the black matrix and the color pixel at the time of manufacturing the color filter and the color filter is not flat. See, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 9-113721. The elevation of the boundary portion may cause a decrease in contrast or color unevenness.
이 때문에, 종래는 화소작성 후에 컬러필터의 표면을 연마하거나, 화소 상에 오버코트층(이하, 「OC층」이라고 칭할 경우가 있음)을 형성함으로써 대응하고 있었다. 그러나, 연마나 OC층의 형성을 행하면 컬러필터의 제조공정이 늘어나서 비용이 높아진다. 또한, 연마의 경우에는 컬러필터가 상처나는 등의 폐해가 발생하는 일도 있어, 연마공정 및/또는 OC층의 형성공정을 생략할 수 있는 방법이 요구되고 있었다.For this reason, conventionally, it responded by grind | polishing the surface of a color filter after pixel formation, or forming the overcoat layer (henceforth a "OC layer" hereafter) on a pixel. However, the polishing and the formation of the OC layer increase the manufacturing process of the color filter and increase the cost. Moreover, in the case of grinding | polishing, the badness, such as a damage of a color filter, may generate | occur | produce, and the method of being able to skip the grinding | polishing process and / or the formation process of an OC layer was calculated | required.
이에 대하여, 블랙 매트릭스의 테이퍼각(taper angle)을 작게 함으로써 상기경계 부분의 융기의 문제를 해결하는 것이 시도되고 있다(예를 들면 일본 특허공개 평9-113721호 공보 및 일본 특허공개 2003-161826호 공보를 참조).In contrast, attempts have been made to solve the problem of ridges in the boundary portions by reducing the taper angle of the black matrix (for example, Japanese Patent Laid-Open No. 9-113721 and Japanese Patent Laid-Open No. 2003-161826). See the publication).
일본 특허공개 2003-161826호 공보에서는 또한, 잉크젯법에 의해 블랙 매트릭스 프레임 내에만 착색 조성물을 부여하고 있다.Japanese Unexamined Patent Publication No. 2003-161826 also provides a coloring composition only in the black matrix frame by the inkjet method.
그러나, 일본 특허공개 평9-113721호 공보에 기재된 방법에서는 상기 테이퍼각을 갖는 블랙 매트릭스를 얻기 위해서 많은 공정이 필요하다. 구체적으로는, 블랙 매트릭스 형성용의 감광성 농색 조성물을 기판 상에 도포해 건조한 후, 또한 포지티브 레지스트를 도포하고, 상기 감광성 농색 조성물과 포지티브 레지스트의 현상 속도비를 조정한다고 하는 수고가 소요되는 것이었다. 또한, 테이퍼각의 조정만으로는 착색 패턴의 융기의 억제 효과가 불충분했다. 또한, 이 기술은 1m×1m 이상의 대형 기판에 대응한 것은 아니었다.However, in the method described in Japanese Patent Laid-Open No. 9-113721, many steps are required to obtain a black matrix having the taper angle. Specifically, after applying and drying the photosensitive deepening composition for black matrix formation on a board | substrate, it was also required to apply a positive resist and to adjust the developing speed ratio of the said photosensitive deepening composition and a positive resist. Moreover, only the adjustment of the taper angle had insufficient effect of suppressing the elevation of the colored pattern. In addition, this technique did not correspond to the large board | substrate of 1m * 1m or more.
한편, 일본 특허공개 2003-161826호 공보에서는 잉크젯법에 의해 착색 조성물을 기판에 부여해서 착색 패턴을 형성하고 있기 때문에, 착색 조성물의 도포 및/ 또는 전사 등에 의해 착색 패턴을 형성할 경우에 발생하는 블랙 매트릭스와 착색 패턴이 겹치는 오버랩부에서의 착색 패턴의 융기를 억제하기 위해서는 적합하지 않다. 오히려, 블랙 매트릭스와 착색 화소의 경계 부분에서 블랙 매트릭스가 착색 화소보다 높아져서 단차가 발생하고, 컬러필터가 평탄하게 되지 않아 마찬가지의 화질 열화의 문제가 생길 경우가 있다.On the other hand, in Japanese Patent Laid-Open No. 2003-161826, since a coloring composition is applied to a substrate by an inkjet method to form a coloring pattern, black generated when a coloring pattern is formed by application and / or transfer of the coloring composition. It is not suitable in order to suppress the rise of the coloring pattern in the overlapped part where the matrix and the coloring pattern overlap. Rather, the black matrix is higher than the colored pixel at the boundary between the black matrix and the colored pixel, whereby a step occurs, and the color filter is not smoothed, which may cause a problem of similar quality degradation.
본 발명의 목적은 상기 사정을 감안하여 연마 또는 오버코트층 설치 등의 공정을 추가하지 않고, 저비용이며 또한 평이한 방법으로 블랙 매트릭스와 착색 화소의 경계 부분에서의 착색 패턴의 융기를 억제하여, 고품질의 화상을 얻을 수 있는 컬러필터 및 그 제조방법, 그리고 액정표시장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above circumstances, an object of the present invention is to provide a high quality image by suppressing the swelling of the colored pattern at the boundary between the black matrix and the colored pixel in a low cost and simple manner without adding a process such as polishing or overcoat layer installation. It is to provide a color filter and a manufacturing method, and a liquid crystal display device that can be obtained.
<1> 컬러필터의 제조방법으로서,<1> As a manufacturing method of a color filter,
감광성 농색 조성물을 이용하여 감광성 농색 조성물층을 기판 상에 형성하는 것, 상기 감광성 농색 조성물층을 노광하는 것, 및 노광 후의 상기 감광성 농색 조성물층을 현상함으로써 상기 감광성 농색 조성물층 내의 상부단으로부터 상기 기판의 법선 방향으로 연장되는 선과, 상기 감광성 농색 조성물층 내의 하부단 사이의 블랙 매트릭스의 폭 방향에 있어서의 거리가 -3.0∼+3.0㎛에 위치하는 블랙 매트릭스 패턴을 형성하고, 또한 형성된 블랙 매트릭스 패턴을 베이킹하는 것을 포함하는 블랙 매트릭스 형성공정과,Forming the photosensitive deep color composition layer on the substrate using the photosensitive deep color composition, exposing the photosensitive deep color composition layer, and developing the photosensitive deep color composition layer after exposure, thereby forming the substrate from an upper end in the photosensitive deep color composition layer. Forming a black matrix pattern in which the distance in the width direction of the black matrix between the line extending in the normal direction and the lower end in the photosensitive deepening composition layer is located at -3.0 to +3.0 µm, A black matrix forming process comprising baking,
베이킹 후의 블랙 매트릭스가 형성되어 있는 상기 기판 상에 감광성 착색 조성물을 이용하여 감광성 착색 조성물층을 형성하고, 상기 감광성 착색 조성물층을 노광하고, 노광 후의 상기 감광성 착색 조성물층을 현상하고, 현상된 상기 감광성 착색 조성물층을 베이킹함으로써 착색 패턴을 형성하고, 여기에서 상기 베이킹 후의 상기 착색 패턴과 상기 블랙 매트릭스가 겹치는 오버랩부의 블랙 매트릭스 폭 방향에 있어서의 길이가 1.0㎛∼12㎛가 되도록 형성되는 착색 패턴 형성공정을 갖는 컬러필터의 제조방법.The photosensitive coloring composition layer is formed using the photosensitive coloring composition on the said board | substrate with which the black matrix after baking is formed, the said photosensitive coloring composition layer is exposed, the said photosensitive coloring composition layer after exposure is developed, and the developed said photosensitive The coloring pattern formation process is formed by baking a coloring composition layer, and here it forms so that the length in the black-matrix width direction of the overlap part which the said coloring pattern after baking and the said black matrix overlap may be 1.0 micrometer-12 micrometers. Method for producing a color filter having a.
<2> 상기 기판 상에 형성된 상기 감광성 농색 조성물의 두께가 0.2㎛∼2.2㎛인 <1>에 기재된 컬러필터의 제조방법.<2> The manufacturing method of the color filter as described in <1> whose thickness of the said photosensitive deepening composition formed on the said board | substrate is 0.2 micrometer-2.2 micrometers.
<3> 상기 블랙 매트릭스 형성공정에 있어서의 상기 현상에 있어서 현상 온도가 20℃∼35℃이며, 현상 시간이 20초∼120초인 <1>에 기재된 컬러필터의 제조방법.The manufacturing method of the color filter as described in <1> whose developing temperature is 20 degreeC-35 degreeC, and developing time is 20 second-120 second in the said image development in the <3> said black-matrix formation process.
<4> 상기 현상 온도가 20℃∼30℃이며, 상기 현상 시간이 30초∼70초인 <3>에 기재된 컬러필터의 제조방법.The manufacturing method of the color filter as described in <3> whose <4> above-mentioned developing temperature is 20 degreeC-30 degreeC, and the said developing time is 30 second-70 second.
<5> 상기 블랙 매트릭스 형성공정이 상기 감광성 농색 조성물층 형성공정의 뒤이며, 또한 상기 노광공정 전에 프리베이킹 공정을 더 포함하는 <1>에 기재된 컬러필터의 제조방법.<5> The method for producing a color filter according to <1>, wherein the black matrix forming step is after the photosensitive deep color composition layer forming step and further includes a prebaking step before the exposure step.
<6> 상기 프리베이킹 공정에 있어서의 프리베이킹 온도가 65℃∼120℃인 <5>에 기재된 컬러필터의 제조방법.<6> The manufacturing method of the color filter as described in <5> whose prebaking temperature in the said prebaking process is 65 degreeC-120 degreeC.
<7> 상기 프리베이킹 공정에 있어서의 프리베이킹 시간이 50초∼300초인 <5>에 기재된 컬러필터의 제조방법.<7> The manufacturing method of the color filter as described in <5> whose prebaking time in the said prebaking process is 50 second-300 second.
<8> 상기 착색 패턴 형성공정에 있어서의 상기 노광에 있어서 마스크 패턴 을 통해서 노광을 행하고, 노광 패턴과 블랙 매트릭스의 겹침 부분의 블랙 매트릭 스의 폭 방향에 있어서의 길이가 3.0㎛∼8.0㎛인 <1>에 기재된 컬러필터의 제조방법.<8> Exposure is performed through the mask pattern in the said exposure in the said coloring pattern formation process, and the length in the width direction of the black matrix of the overlapping part of an exposure pattern and a black matrix is 3.0 micrometers-8.0 micrometers < The manufacturing method of the color filter of 1>.
<9> 상기 착색 패턴 형성공정에 있어서의 상기 현상에 있어서 현상 온도가 20℃∼35℃이며, 현상 시간이 20초∼120초인 <8>에 기재된 컬러필터의 제조방법.The manufacturing method of the color filter as described in <8> whose developing temperature is 20 degreeC-35 degreeC, and developing time is 20 second-120 second in the said image development in the <9> said coloring pattern formation process.
<10> 상기 착색 패턴 형성공정에 있어서 노광 패턴과 블랙 매트릭스의 겹침 부분의 블랙 매트릭스의 폭 방향에 있어서의 상기 길이가 2.0㎛∼10㎛이며, 상기 현상 온도가 20℃∼35℃이며, 상기 현상 시간이 20초∼120초인 <8>에 기재된 컬러필터의 제조방법.In the said coloring pattern formation process, the said length in the width direction of the black matrix of the overlapping part of an exposure pattern and a black matrix is 2.0 micrometers-10 micrometers, The said developing temperature is 20 degreeC-35 degreeC, The said image development The manufacturing method of the color filter as described in <8> whose time is 20 second-120 second.
<11> 상기 길이가 3.0㎛∼8.0㎛이며, 상기 현상 온도가 20℃∼30℃이며, 현상 시간이 30초∼70초인 <10>에 기재된 컬러필터의 제조방법.The manufacturing method of the color filter as described in <10> whose <11> above-mentioned length is 3.0 micrometers-8.0 micrometers, the said developing temperature is 20 degreeC-30 degreeC, and developing time is 30 second-70 second.
<12> 상기 오버랩부의 기판 표면으로부터 가장 떨어진 부분과, 상기 오버랩부 이외의 부분 사이의 기판의 법선 방향에 있어서의 거리가 0.50㎛ 이하인 <1>에 기재된 컬러필터의 제조방법.The manufacturing method of the color filter as described in <1> whose distance in the normal direction of a board | substrate between the part which is the furthest from the surface of the <12> overlap part and the parts other than the said overlap part is 0.50 micrometer or less.
<13> 감광성 착색 조성물층의 층두께가 0.5㎛∼3.0㎛인 <1>에 기재된 컬러필터의 제조방법.The manufacturing method of the color filter as described in <1> whose layer thickness of a <13> photosensitive coloring composition layer is 0.5 micrometer-3.0 micrometers.
<14> <1>∼<13> 중 어느 하나에 기재된 컬러필터의 제조방법에 의해 제조된 컬러필터로서, 블랙 매트릭스와 착색 패턴이 겹치는 오버랩부를 갖고, 상기 오버랩부의 블랙 매트릭스 폭 방향에 있어서의 길이가 1.0㎛∼12㎛인 컬러필터.<14> The color filter manufactured by the manufacturing method of the color filter in any one of <1>-<13> which has an overlap part which a black matrix and a coloring pattern overlap, and length in the black matrix width direction of the said overlap part. The color filter whose 1.0 micrometer-12 micrometers.
<15> 상기 착색 패턴의 표면 중, 상기 오버랩부의 기판 표면으로부터 가장 떨어진 부분과, 상기 오버랩부 이외의 부분 사이의 기판의 법선 방향에 있어서의 거리가 0.50㎛ 이하인 <14>에 기재된 컬러필터.The color filter as described in <14> whose surface in the normal line direction of the board | substrate between the part furthest from the board | substrate surface of the said overlap part and the parts other than the said overlap part among the surfaces of the <15> colored pattern.
<16> <14>에 기재된 컬러필터를 구비한 액정표시장치.<16> A liquid crystal display device provided with the color filter as described in <14>.
<17> <15>에 기재된 컬러필터를 구비한 액정표시장치.<17> A liquid crystal display device provided with the color filter as described in <15>.
[발명의 효과][Effects of the Invention]
본 발명에 의하면, 연마 또는 오버코트층 설치 등의 공정을 추가하지 않고, 저비용으로 또한 평이한 방법으로 블랙 매트릭스와 착색 화소의 경계 부분의 융기를 억제하여, 고품질의 화상을 얻을 수 있는 컬러필터 및 그 제조방법, 및 액정표시장치를 제공할 수 있다.ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the color filter which can obtain the high quality image by suppressing bulging of the boundary part of a black matrix and a colored pixel by the low cost and the plain method, without adding a process of grinding | polishing or an overcoat layer, etc., and its manufacture A method and a liquid crystal display device can be provided.
이하, 본 발명의 컬러필터 및 그 제조방법, 그리고 액정표시장치에 대해서 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the color filter of this invention, its manufacturing method, and a liquid crystal display device are demonstrated in detail.
컬러필터의 제조방법Manufacturing method of color filter
본 발명의 컬러필터의 제조방법은 블랙 매트릭스를 형성하는 공정(블랙 매트릭스 형성공정)과, 착색 패턴을 형성하는 공정(착색 패턴 형성공정)을 포함하고, 필요에 따라 다른 공정을 더 포함할 수 있다.The manufacturing method of the color filter of this invention includes the process of forming a black matrix (black matrix formation process), and the process of forming a coloring pattern (coloring pattern formation process), and may further include another process as needed. .
이하, 블랙 매트릭스 형성공정, 및 착색 패턴 형성공정을 설명한다.Hereinafter, the black matrix forming step and the colored pattern forming step will be described.
블랙 매트릭스 형성공정Black Matrix Forming Process
본 발명에 있어서의 블랙 매트릭스 형성공정에서는 적어도 감광성 농색 조성물을 이용하여 감광성 농색 조성물층을 기판 상에 형성하는 것(감광성 농색 조성물층 형성공정), 상기 감광성 농색 조성물층을 노광하는 것(노광공정), 및 상기 노광 후의 상기 감광성 농색 조성물층을 현상하는 것(현상공정)에 의해, 상기 감광성 농색 조성물층 내의 상부단에 대하여 하부단이 블랙 매트릭스의 폭 방향에 있어서 -3.0∼+3.0㎛에 위치하는 블랙 매트릭스 패턴을 형성하고, 또한 형성된 블랙 매트릭스 패턴을 베이킹하는 것(베이킹 공정)에 의해 블랙 매트릭스를 형성한다. 블랙 매트릭스 형성공정에는 상기 공정에 추가로, 필요에 따라서 그 밖의 공정을 설치해도 좋다.In the black matrix forming step in the present invention, forming a photosensitive deep color composition layer on the substrate using at least the photosensitive deep color composition (photosensitive deep color composition layer forming step) and exposing the photosensitive deep color composition layer (exposure step). And developing the photosensitive deep color composition layer after the exposure (developmental step) so that the lower end is located at -3.0 to +3.0 µm in the width direction of the black matrix with respect to the upper end in the photosensitive deep color composition layer. A black matrix is formed by forming a black matrix pattern and baking the formed black matrix pattern (baking process). In addition to the above step, other steps may be provided in the black matrix forming step.
블랙 매트릭스Black matrix
본 발명에 있어서, 블랙 매트릭스는 광학농도(OD)가 2.0∼8.0으로 되는 것이 바람직하고, 3.0∼8.0으로 되는 것이 더욱 바람직하고, 4.0∼6.0으로 되는 것이 보다 바람직하다. 광학농도가 2.0 이상이면 콘트라스트 저하 등, 표시장치의 표시 품위의 저하를 억제할 수 있다.In the present invention, the black matrix preferably has an optical density (OD) of 2.0 to 8.0, more preferably 3.0 to 8.0, and more preferably 4.0 to 6.0. When the optical concentration is 2.0 or more, a decrease in display quality of the display device, such as a decrease in contrast can be suppressed.
또한, 여기에서 언급하는 광학농도란, ISO Visual(시감) 투과 광학농도를 말한다. ISO Visual 투과 광학농도의 측정에 사용할 수 있는 측정기로서는, 예를 들면 사카타 잉크 엔지니어링 가부시키가이샤의 X-Rite 361T(V)를 들 수 있다.In addition, the optical density referred to here means ISO Visual (visibility) transmission optical density. As a measuring instrument which can be used for the measurement of ISO Visual transmission optical density, Sakata Ink Engineering Co., Ltd. X-Rite 361T (V) is mentioned, for example.
또한 블랙 매트릭스는 선폭(착색 패턴 사이에 끼워진 블랙 매트릭스 길이 방향과 직교하는 방향에 있어서의 길이)이 5㎛∼30㎛인 것이, 고개구율화에 의한 명도 확보의 관점으로부터 바람직하다. 블랙 매트릭스의 두께(블랙 매트릭스의 기판법선 방향에 있어서의 길이)는 블랙 매트릭스와 착색 패턴이 겹치는 오버랩부의 융기를 작게 하는(바람직하게는 0.50㎛ 이하로 함) 관점으로부터 0.2㎛∼2.2㎛가 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.2∼1.6㎛이며, 더욱 바람직하게는 0.5∼1.3㎛이다. 이 두께의 범위에 있어서, 블랙 매트릭스가 형성된 기판의 요철, 즉 블랙 매트릭스의 형성 영역과 비형성 영역의 단차가 적절해져 블랙 매트릭스 형성 후에 RGB 등의 착색 패턴(착색 화소)을 이 위에 형성할 때에도 높은 정밀도로 형성할 수 있다.The black matrix is preferably 5 µm to 30 µm in line width (length in a direction perpendicular to the black matrix longitudinal direction sandwiched between the colored patterns) from the viewpoint of ensuring brightness by high aperture ratio. The thickness of the black matrix (the length in the substrate normal direction of the black matrix) is preferably 0.2 µm to 2.2 µm from the viewpoint of reducing the bulge of the overlapped portion where the black matrix and the coloring pattern overlap (preferably 0.50 µm or less). More preferably, it is 0.2-1.6 micrometers, More preferably, it is 0.5-1.3 micrometers. In this thickness range, the irregularities of the substrate on which the black matrix is formed, that is, the step between the formation region and the non-formation region of the black matrix are appropriate, so that even when a colored pattern (colored pixel) such as RGB is formed thereon after the black matrix is formed, It can be formed with precision.
감광성 농색 조성물층 형성공정Photosensitive deep color composition layer forming process
본 공정에서는 감광성 농색 조성물을 이용하여 감광성 농색 조성물층을 기판 상에 형성한다.In this process, the photosensitive deep color composition layer is formed on a board | substrate using the photosensitive deep color composition.
본 공정에서 사용할 수 있는 기판으로서는, 예를 들면 액정표시소자 등에 사용되는 무알칼리 유리, 소다 유리, 파이렉스(PYREX)(등록상표) 유리, 석영 유리 및 이것들에 투명 도전막을 부착시킨 것, 및 고체촬상소자 등에 사용되는 광전변환소자 기판, 예를 들면 규소 기판 등을 들 수 있다. 또한, 플라스틱 기판도 사용 가능하다. 그 중에서도 무알칼리 유리가 내약품성 및 내열성의 관점으로부터 바람직하다. 이들 기판에, 우선 각 화소를 격리하도록 격자상 등으로 블랙 매트릭스를 형성하고, 그 후에 격자의 빈 부분에 착색 화소가 형성된다.Examples of the substrate that can be used in this step include alkali-free glass, soda glass, PYREX® glass, quartz glass and a transparent conductive film attached thereto, and solid-state imaging, for example, for use in liquid crystal display devices and the like. Photoelectric conversion element substrates used for an element etc., for example, a silicon substrate, etc. are mentioned. Also, a plastic substrate can be used. Among them, alkali free glass is preferred from the viewpoint of chemical resistance and heat resistance. On these substrates, a black matrix is first formed in a lattice form or the like so as to isolate each pixel, and then colored pixels are formed in empty portions of the lattice.
또한 이들 기판 상에는, 필요에 따라 상부의 층과의 밀착성의 개량, 물질의 확산 방지, 또는 기판 표면의 평탄화를 위해서 밑칠층을 형성해도 된다. 기판은 대형(1변이 약 1m 이상)인 쪽이 본 발명의 효과를 보다 달성할 수 있는 점에서 바람직하다.Moreover, on these board | substrates, you may form an undercoat layer as needed for the improvement of adhesiveness with an upper layer, prevention of a material diffusion, or planarization of a board | substrate surface. The board | substrate is preferable that a large size (one side about 1 m or more) can achieve the effect of this invention more.
기판 상에 감광성 농색 조성물층을 형성하는 방법으로서는, 예를 들면 기판상에 감광성 농색 조성물을 도포 등에 의해 부여하는 방법이 있다.As a method of forming a photosensitive deep color composition layer on a board | substrate, there exists a method of providing a photosensitive deep color composition by application | coating etc., for example on a board | substrate.
기판 상으로의 감광성 농색 조성물의 부여 방법으로서는, 슬릿 도포(slit coating), 잉크젯법, 회전 도포, 유연 도포(cast coating), 롤 도포(roll coating), 스크린 인쇄법(screen printing) 등의 각종의 부여 방법을 적용할 수 있다. 그 중에서도 슬릿 도포가 정밀도 및 속도의 관점에서 바람직하다. 이들 도포를 행하기 전에 자외선 또는 각종 세정액으로 기판을 세정하는 것이 도포성 향상의 관점에서 바람직하다.As a method of applying the photosensitive deep color composition onto a substrate, various methods such as slit coating, inkjet method, rotation coating, cast coating, roll coating, screen printing, etc. Granting method can be applied. Among them, slit coating is preferable in view of precision and speed. It is preferable to wash | clean a board | substrate with an ultraviolet-ray or various cleaning liquids before these application | coating from a viewpoint of an improvement of applicability | paintability.
또한, 미리 가지지체 상에 상기 부여 방법에 의해 부여해서 형성한 도막을, 기판 상에 전사하는 방법을 적용할 수도 있다.Moreover, the method of transferring on the board | substrate the coating film apply | coated and formed by the said provision method on the branch body previously can also be applied.
전사 방법에 관해서는 일본 특허공개 2006-23696호 공보의 단락번호 [0023], [0036]∼[0051], 또는 일본 특허공개 2006-47592호 공보의 단락번호 [0096]∼[0108]에 기재된 제작 방법을 본 발명에 있어서도 적합하게 사용할 수 있다.Regarding the transfer method, paragraphs [0023], [0036] to [0051] of JP 2006-23696A, or paragraphs [0096] to [0108] of JP 2006-47592A are prepared. The method can be suitably used also in the present invention.
전사에 사용하는 라미네이터로서는 WO2006-4225의 Fig. 24에 기재된 대형 2정첩 라미네이터, 또는 국제출원번호 JP2007/069132호 공보에 기재된 라미네이터를 적합하게 사용할 수 있다. 이들 라미네이터를 사용함으로써 높은 생산성을 얻을 수 있다.The laminator used for the transfer is shown in Fig. WO2006-4225. The large double hinge laminator as described in 24 or the laminator as described in International Application No. JP2007 / 069132 can be suitably used. By using these laminators, high productivity can be obtained.
감광성 농색 조성물을 기판 상에 부여할 때의 두께(예를 들면 도포두께)는, 형성하는 블랙 매트릭스의 두께의 설계값에 따라 적당하게 조정되지만, 일반적으로는 0.2㎛∼2.2㎛가 바람직하고, 0.2㎛∼1.6㎛인 것이 보다 바람직하며, 0.5㎛∼1.3㎛인 것이 가장 바람직하다.Although the thickness (for example, application | coating thickness) at the time of providing a photosensitive deepening composition on a board | substrate is suitably adjusted according to the design value of the thickness of the black matrix to form, generally 0.2 micrometer-2.2 micrometers are preferable, and It is more preferable that it is micrometer-1.6 micrometers, and it is most preferable that it is 0.5 micrometer-1.3 micrometers.
노광공정Exposure process
노광공정에서는 상기 감광성 농색 조성물층 형성공정에 있어서 형성된 감광 성 농색 조성물층을, 소정의 마스크 패턴을 통해서 노광하고 패터닝(네거티브 조성물의 경우에는 광조사된 도포막 부분만을 경화)한다. 노광에 사용할 수 있는 방사선으로서는, 특히, g선, h선, i선 등의 자외선이 바람직하게 사용된다. 조사량은 5∼500mJ/㎠가 바람직하고, 10∼300mJ/㎠가 보다 바람직하며, 10∼200mJ/㎠가 가장 바람직하다.In an exposure process, the photosensitive deepening composition layer formed in the said photosensitive deepening composition layer forming process is exposed through a predetermined | prescribed mask pattern, and patterning (only negatively irradiated coating film part is hardened). Especially as radiation which can be used for exposure, ultraviolet rays, such as g line | wire, h line | wire, i line | wire, are used preferably. 5-500 mJ / cm <2> is preferable, 10-300 mJ / cm <2> of an irradiation amount is more preferable, and 10-200 mJ / cm <2> is the most preferable.
노광기는 프록시미티(proximity) 방식의 노광기라도, 미러 프로젝션(mirror projection) 방식이어도, 또한 스텝퍼(stepper) 방식이어도 사용 가능하다.The exposure machine may be a proximity type exposure machine, a mirror projection method, or a stepper method.
현상공정Developing Process
이어서, 알칼리 현상처리를 행함으로써, 예를 들면 감광성 농색 조성물이 네거티브인 경우에는 상기 노광에 있어서의 광 미조사 부분을 알카리 수용액에 용출 시켜 광경화한 부분만을 남길 수 있다.Subsequently, by performing an alkali developing process, for example, when the photosensitive deepening composition is negative, only the part which photocured by eluting the non-irradiated part in the said exposure in aqueous alkali solution can be left.
현상액으로서는 유기 알칼리 현상액 또는 무기 알칼리 현상액, 또는 그 혼합 액이 사용된다.As the developing solution, an organic alkali developing solution, an inorganic alkaline developing solution, or a mixture thereof is used.
현상액에 사용하는 알칼리제로서는, 예를 들면 수산화나트륨, 수산화칼륨, 탄산 나트륨, 탄산수소나트륨, 규산 나트륨, 메타규산 나트륨, 암모니아수, 에틸아민, 디에틸아민, 디메틸에탄올아민, 테트라메틸암모늄히드록시드, 테트라에틸암모늄히드록시드, 콜린, 피롤, 피페리딘, 및 1,8-디아자비시클로-[5.4.0]-7-운데센 등의 유기 알칼리성 화합물을 들 수 있다. 이들 알칼리제를 농도가 0.001∼10질량%, 바람직하게는 0.01∼1질량%가 되도록 순수로 희석한 알칼리성 수용액이 현상액으로서 바람직하게 사용된다. 또한, 이러한 알칼리성 수용액으로 이루어지는 현상액을 사용했을 경우에는, 일반적으로 현상후에는 순수로 세정(rinse)한다.As an alkali chemicals used for a developing solution, for example, sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium hydrogencarbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, ammonia water, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, And organic alkaline compounds such as tetraethylammonium hydroxide, choline, pyrrole, piperidine, and 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene. The alkaline aqueous solution which diluted these alkaline agents with the pure water so that a density | concentration may be 0.001-10 mass%, Preferably 0.01-1 mass% is used suitably as a developing solution. In addition, when the developing solution which consists of such alkaline aqueous solution is used, it generally washes with pure water after image development.
본 발명에 있어서는, 본 현상공정 후이며 또한 후술의 베이킹 공정 전에 있어서, 상기 감광성 농색 조성물층 내의 상부단에 대하여 하부단이 블랙 매트릭스의 폭 방향에 있어서 -3.0∼+3.0㎛에 위치하도록 블랙 매트릭스 패턴을 형성한다. 블랙 매트릭스 패턴의 단면 형상, 특히 단부의 단면 형상은 노광, 현상, 및 후술의 프리베이킹의 각 조건에 따라 제어할 수 있다. 그래서 우선 현상공정 후의 블랙 매트릭스 패턴 단부의 단면 형상에 대해서 상세하게 설명한다.In the present invention, after the present developing step and before the baking step described later, the black matrix pattern is disposed so that the lower end is located at -3.0 to +3.0 µm in the width direction of the black matrix with respect to the upper end in the photosensitive deep color composition layer. To form. The cross-sectional shape of a black matrix pattern, especially the cross-sectional shape of an edge part can be controlled according to each condition of exposure, image development, and the prebaking mentioned later. Therefore, first, the cross-sectional shape of the end portion of the black matrix pattern after the developing step will be described in detail.
또한, 상기 감광성 농색 조성물층 내의 상부단에 대한 하부단의 위치란, 감광성 농색 조성물층의 상부단으로부터 기판의 법선 방향으로 연장되는 선과, 감광성 농색 조성물층의 하부단 사이의, 블랙 매트릭스의 폭 방향에 있어서의 거리를 가리킨다. 현상 후의 감광성 농색 조성물층이 역테이퍼형일 때 상기 거리의 값을 「-」로 한다In addition, the position of the lower end with respect to the upper end in the said photosensitive deepening composition layer is the width direction of a black matrix between the line extended in the normal direction of a board | substrate from the upper end of the photosensitive deepening composition layer, and the lower end of the photosensitive deepening composition layer. Indicates the distance in. When the photosensitive deepening composition layer after image development is a reverse taper type, the value of the said distance shall be "-".
블랙 매트릭스의 형성공정에 있어서, 노광 후의 감광성 농색 조성물층을 현상할 때에 감광성 농색 조성물층의 표면(기판에 접하지 않는 면을 말한다 ; 이하, 블랙 매트릭스에 대해서도 마찬가지로 칭한다), 및 상기 표면으로부터 두께(감광성 농색 조성물층의 기판의 법선 방향에 있어서의 길이)에 대하여 3분의 1 이내의 층 내부(이하, 「감광성 농색 조성물층 상부」라 칭한다. 블랙 매트릭스에 대해서도 마찬가지로 블랙 매트릭스의 표면으로부터 두께에 대하여 3분의 1 이내를 「블랙 매트릭스 상부」라고 칭한다)의 현상의 진행과, 감광성 농색 조성물층의 이면(기판에 접하는 면을 말한다 ; 이하, 블랙 매트릭스에 대해서도 마찬가지로 「블랙 매트 릭스의 이면」이라 칭한다), 및 상기 이면으로부터 감광성 농색 조성물층의 두께에 대하여 3분의 2 이내의 층 내부(이하, 「감광성 농색 조성물층 하부」라고 칭한다. 블랙 매트릭스에 대해서는 「블랙 매트릭스 하부」라고도 한다)의 현상의 진행이 동등한 경우에는, 감광성 농색 조성물층(블랙 매트릭스)이 형성된 기판을 블랙 매트릭스의 폭 방향으로 절단하면 감광성 농색 조성물층의 단면 형상은, 예를 들면 도 1에 나타내는 바와 같이 대략 수직인 형상으로 된다. 이하, 감광성 농색 조성물(블랙 매트릭스)의 단면 형상은 블랙 매트릭스의 폭 방향으로 절단한 경우의 단면 형상으로 한다.In the formation process of a black matrix, when developing the photosensitive deepening composition layer after exposure, the surface of a photosensitive deepening composition layer (the surface which does not contact a board | substrate; hereafter is called the same also about a black matrix), and thickness from the said surface ( The layer inside (hereinafter referred to as “upper photosensitive deep color composition layer”) within one third of the photosensitive deep color composition layer in the normal direction of the substrate. Less than one-third is referred to as "advanced black matrix" and progression of the phenomenon and the backside (surface contacting substrate) of the photosensitive deep color composition layer; hereinafter referred to as "backside of black matrix" for the black matrix as well. ), And within two-thirds of the thickness of the photosensitive deepening composition layer from the back surface. When the progress of development of the inside of the layer (hereinafter referred to as "photosensitive deep composition layer lower part". The black matrix is also referred to as "black matrix lower part") is equivalent, the substrate on which the photosensitive deep composition composition layer (black matrix) is formed is black. When cut | disconnected in the width direction of a matrix, the cross-sectional shape of the photosensitive deepening composition layer becomes a substantially vertical shape as shown, for example in FIG. Hereinafter, the cross-sectional shape of the photosensitive deepening composition (black matrix) is made into the cross-sectional shape at the time of cutting | disconnecting in the width direction of a black matrix.
이에 대하여 감광성 농색 조성물층의 표면 및 감광성 농색 조성물층 상부의 현상에 비하여, 감광성 농색 조성물층의 이면 및 감광성 농색 조성물 하부의 현상에 과부족이 발생하는 경우가 있다. 현상이 과다할 경우에는 감광성 농색 조성물층 하부는 도려내어진 상태가 되고, 감광성 농색 조성물층(블랙 매트릭스)이 형성된 기판을 블랙 매트릭스의 폭 방향으로 절단하면 감광성 농색 조성물층의 단면 형상은, 예를 들면 도 2에 나타낸 바와 같이 역테이퍼 형상으로 된다. 한편, 현상이 부족할 경우에는 감광성 농색 조성물층 하부는 돌출된 상태로 되고, 감광성 농색 조성물층(블랙 매트릭스)이 형성된 기판을 블랙 매트릭스의 폭 방향으로 절단하면 감광성 농색 조성물층의 단면 형상은, 예를 들면 도 3에 나타낸 바와 같이 순테이퍼 형상으로 되어 있다.On the other hand, compared with the development of the surface of the photosensitive deepening composition layer and the upper part of the photosensitive deepening composition layer, there may be an excess or shortage in the development of the back surface of the photosensitive deepening composition layer and the bottom of the photosensitive deepening composition. If the development is excessive, the lower portion of the photosensitive deepening composition layer is cut out, and when the substrate on which the photosensitive deepening composition layer (black matrix) is formed is cut in the width direction of the black matrix, the cross-sectional shape of the photosensitive deepening composition layer is, for example, As shown in Fig. 2, the taper has an inverse taper shape. On the other hand, when the development is insufficient, the lower portion of the photosensitive deepening composition layer is protruded, and when the substrate on which the photosensitive deepening composition layer (black matrix) is formed is cut in the width direction of the black matrix, the cross-sectional shape of the photosensitive deepening composition layer is, for example, For example, as shown in FIG. 3, it has a forward taper shape.
또한, 본 현상공정 후이며, 또한 후술의 베이킹 공정 전에 있어서, 감광성 농색 조성물층의 단면 형상이 도 2에 나타낸 바와 같이 역테이퍼가 큰 형상일 경우 에는, 현상공정에 있어서 상부의 돌출부가 깨지기 쉽고, 블랙 매트릭스의 평면 형상의 결함을 발생시키기 쉽다. 그 때문에 역테이퍼의 크기는 3㎛ 이하인 것이 바람직하다. 즉, 감광성 농색 조성물층 내의 상부단에 대하여 하부단이 -3.0∼0㎛에 위치하는 것이 바람직하다. 또한 감광성 농색 조성물층의 단면 형상이 도 3에 나타내는 바와 같은 순테이퍼가 큰 형상일 경우에는, 현상 부족에 의해 감광성 농색 조성물층을 제거해야 할 부분에 잔사가 발생하기 쉽다. 그 때문에 순테이퍼의 크기는 3㎛ 이하와인 것이 바람직하다. 즉, 감광성 농색 조성물층 내의 상부단에 대하여 하부단이 0∼3.0㎛에 위치하는 것이 바람직하다. 따라서, 가장 바람직한 형상은 상기 도 1에 나타내는 바와 같은 감광성 농색 조성물층의 단부가 대략 수직인 형상이다. 현상 후에, 상기한 바와 같이 거의 수직인 형상으로 되고, 그 후의 포스트베이킹 시에 열 처짐(heat sagging)되어 원호상의 단면 형상으로 되는 것이 바람직하다.In addition, after this developing process and before the baking process mentioned later, when the cross-sectional shape of the photosensitive deepening composition layer is a shape with large reverse taper as shown in FIG. 2, the upper protrusion part is easy to be broken in a developing process, It is easy to produce the defect of planar shape of a black matrix. Therefore, it is preferable that the size of a reverse taper is 3 micrometers or less. That is, it is preferable that a lower end is located at -3.0-0 micrometer with respect to the upper end in the photosensitive deepening composition layer. In addition, when the cross-sectional shape of the photosensitive deep color composition layer is a shape with a large forward taper as shown in FIG. 3, a residue tends to generate | occur | produce in the part which should remove the photosensitive deep color composition layer by lack of image development. Therefore, it is preferable that the size of a forward taper is 3 micrometers or less. That is, it is preferable that the lower end is located at 0-3.0 micrometer with respect to the upper end in the photosensitive deepening composition layer. Therefore, the most preferable shape is a shape in which the end of the photosensitive deep color composition layer as shown in FIG. 1 is substantially perpendicular. After development, it is preferable to have a substantially vertical shape as described above, to heat sagging during subsequent postbaking, and to have an arc-shaped cross-sectional shape.
실제로는 공정의 불균일 등에 의해 다소의 변동이 있고, 현상 후의 감광성 농색 조성물층의 형상이, 상부단에 대하여 하부단이 블랙 매트릭스의 폭 방향에 있어서 -3.0∼+3.0㎛에 위치하는 단면 형상이면 문제 없고, 또한 상부단에 대하여 하부단이 -2.0∼+2.0㎛에 위치하는 단면 형상이 바람직하다.In reality, there are some variations due to the process unevenness, and if the shape of the photosensitive deepening composition layer after development is a cross-sectional shape where the lower end is located at -3.0 to +3.0 μm in the width direction of the black matrix with respect to the upper end, the problem is a problem. The cross-sectional shape which does not exist and whose lower end is located at -2.0- + 2.0 micrometer with respect to an upper end is preferable.
본 현상공정 후이며, 또한 후술의 베이킹 공정 전에 있어서, 상기 감광성 농색 조성물층의 단부를 도 1과 같은 수직인 단면 형상으로 하기 위해서는, 현상 조건을 적절하게 조정하는 것이 중요하다. 현상의 조건을 변화시킴으로써 단면 형상을 조정할 수 있다. 개념적으로는 통상 자주 사용되고 있는 현상 조건보다 약간 강한 조건으로 현상을 행할수록 역테이퍼가 되고, 반대로 약간 약한 조건으로 현상을 행할수록 순테이퍼가 된다.In order to make the edge part of the said photosensitive deepening composition layer into the vertical cross-sectional shape like FIG. 1 after this developing process and before the baking process mentioned later, it is important to adjust image development conditions suitably. The cross-sectional shape can be adjusted by changing the conditions of image development. Conceptually, as the development is conducted under conditions slightly stronger than those usually used, the reverse taper is produced. On the contrary, as the development is conducted under slightly weak conditions, the taper becomes forward taper.
보다 강한 조건이란, 보다 높은 온도, 보다 긴 시간, 보다 많은 유량, 보다 높은 샤워압 등이다. 한편, 보다 약한 조건이란, 보다 낮은 온도, 보다 짧은 시간, 보다 적은 유량, 보다 낮은 샤워압 등을 들 수 있다. 그 중에서도 온도 및 시간의 조정은 특히 중요하다.Stronger conditions are higher temperature, longer time, more flow rate, higher shower pressure, and the like. On the other hand, with weaker conditions, lower temperature, shorter time, less flow volume, lower shower pressure, etc. are mentioned. Especially, adjustment of temperature and time is especially important.
구체적으로는, 정밀도 좋게 단면 형상을 조정할 수 있는 점으로부터, 현상 온도는 20℃∼35℃가 바람직하고, 20℃∼30℃가 보다 바람직하다. 현상 시간은 20초∼120초가 바람직하고, 30초∼70초가 보다 바람직하다.Specifically, 20 to 35 degreeC is preferable and 20 to 30 degreeC of development temperature is preferable from the point which can adjust a cross-sectional shape with high precision. 20 second-120 second are preferable, and, as for image development time, 30 second-70 second are more preferable.
이들 중, 현상 온도와 현상 시간의 바람직한 조합으로서는, 예를 들면 온도 23℃에서는 40초∼70초의 조합, 온도 25℃에서는 30초∼60초의 조합을 들 수 있다.Among these, as a preferable combination of developing temperature and developing time, the combination of 40 second-70 second at the temperature of 23 degreeC, and the combination of 30 second-60 second at the temperature of 25 degreeC is mentioned, for example.
또한 샤워압은 블랙 매트릭스의 흠집을 방지할 수 있는 점으로부터, 0.01㎫∼0.5㎫가 바람직하고, 0.05㎫∼0.3㎫가 바람직하며, 0.1㎫∼0.3㎫가 바람직하다.Moreover, since the shower pressure can prevent a black matrix flaw, 0.01 Mpa-0.5 Mpa are preferable, 0.05 Mpa-0.3 Mpa are preferable, and 0.1 Mpa-0.3 Mpa are preferable.
또한 단면 형상을 보다 미세하게 조정하기 위해서는 블랙 매트릭스 형성공정에, 후술하는 프리베이킹 공정을 추가하는 것이 바람직하다.In addition, in order to adjust the cross-sectional shape more finely, it is preferable to add the prebaking process mentioned later to a black matrix formation process.
베이킹 공정Baking process
이어서, 블랙 매트릭스 패턴에 베이킹 처리(포스트베이킹)라고 하는 가열 처리를 실시한다. 베이킹은 감광성 농색 조성물을 완전히 경화시키기 위한 현상 후의 가열 처리이며, 통상 150℃∼260℃의 열경화 처리를 행한다.Next, heat processing called baking process (post-baking) is given to a black matrix pattern. Baking is a heat treatment after development for completely curing the photosensitive deep color composition, and usually a thermosetting treatment at 150 ° C to 260 ° C.
베이킹 온도는 150℃∼260℃가 바람직하고, 180℃∼260℃가 보다 바람직하며, 200℃∼250℃가 가장 바람직하다. 베이킹 시간은 10분∼150분이 바람직하고, 20분∼120분이 보다 바람직하며, 30분∼90분이 가장 바람직하다.As for baking temperature, 150 degreeC-260 degreeC is preferable, 180 degreeC-260 degreeC is more preferable, and 200 degreeC-250 degreeC is the most preferable. 10 minutes-150 minutes are preferable, as for baking time, 20 minutes-120 minutes are more preferable, and 30 minutes-90 minutes are the most preferable.
상기 현상공정 후에 상기 감광성 농색 조성물층의 단부가 도 1과 같은 수직인 단면 형상에 가까운 조성물층을, 상기 조건으로 베이킹함으로써, 단면 형상이 도 4에 나타내는 바와 같이 원호에 가까운 형상으로 조정할 수 있다. 현상 후의 감광성 농색 조성물을 베이킹 처리에 의해 가열함으로써 감광성 농색 조성물이 완전히 경화되기 전에, 일단 휘도가 낮은 상태로 됨으로써 에지부가 표면장력에 의해 둥글어지고, 그 후 경화됨으로써 상기와 같은 형상이 형성된다. After the development process, the composition layer near the vertical cross-sectional shape as shown in Fig. 1 whose end portion is close to the vertical cross-sectional shape is baked under the above conditions, whereby the cross-sectional shape can be adjusted to a shape close to an arc as shown in FIG. 4. Before the photosensitive deep color composition is completely cured by heating the photosensitive deep color composition after development by baking treatment, the edge portion is rounded by the surface tension once by the state of low luminance, and then cured, and the above-described shape is formed.
이 현상 후의 가열에 의한 에지의 둥글게 하기 쉬움(이후, 「열 처짐」이라고 칭할 경우가 있다)은, 감광성 농색 조성물의 조성 및 프리베이킹 조건, 노광 조건, 또는 현상 조건에 의해서도 변화된다. 일반적으로, 감광성 농색 조성물의 조성비에 있어서 후술하는 바인더 폴리머에 비해서 차광제의 농도가 낮을수록 감광성 농색 조성물은 열 처짐되기 쉽고, 차광제의 농도가 높을수록 감광성 농색 조성물은 열 처짐되기 어려워진다. 예를 들면, 베이킹 후의 막두께가 1.4㎛일 때에 OD(블랙 매트릭스의 광학농도)가 4.1이 되는 차광제 농도를 바람직하게 사용할 수 있다. 이것에 비하여, 베이킹 후의 막두께가 1.0㎛일 때에 OD가 4.1이 되는 차광제 농도에서는 열 처짐이 일어나기 어렵다.Easiness of rounding of the edges due to heating after this development (hereinafter may be referred to as "heat deflection") also changes depending on the composition of the photosensitive deep color composition, prebaking conditions, exposure conditions, or developing conditions. In general, the lower the concentration of the light-shielding agent in the composition ratio of the photosensitive deepening composition is, the lower the concentration of the light-shielding agent tends to be thermally sag. For example, when the film thickness after baking is 1.4 micrometers, the light-shielding agent density | concentration which becomes OD (optical density of a black matrix) to 4.1 can be used preferably. On the other hand, when the film thickness after baking is 1.0 micrometer, heat sag hardly arises at the light-shielding agent density | concentration which becomes OD of 4.1.
또한 열 처짐를 발생시키는 다른 수단으로서, 모노머의 조성을 고안하는 것을 들 수 있다. 예를 들면, 일본 특허공개 2004-163917호 공보에 기재된 바와 같이, 모노머로서 3관능 이상의 모노머와 2관능 모노머의 혼합물을 바람직하게 사용할 수 있다.Moreover, as another means of generating heat sag, devising the composition of a monomer is mentioned. For example, as described in Japanese Patent Laid-Open No. 2004-163917, a mixture of a trifunctional or higher monomer and a bifunctional monomer can be preferably used as the monomer.
또한 프리베이킹 온도가 낮고, 프리베이킹 시간이 짧을수록 열 처짐되기 쉽고, 프리베이킹 온도가 높고 프리베이킹 시간이 길수록 열 처짐되기 어렵게 되며, 노광 강도가 약할수록 열 처짐되기 쉽고, 강할수록 열 처짐되기 어려워지며, 현상 조건이 약할수록 열 처짐되기 쉽고, 강할수록 열 처짐되기 어려워지는 경향이 있다. 또한 포스트베이킹 온도는 약간 낮고 장시간에 걸치는 쪽이 열 처짐되기 쉽고, 온도가 높고 단시간인 쪽이 열 처짐되기 어려워지는 경향이 있다.In addition, the lower the prebaking temperature, the shorter the prebaking time, the more likely to sag the heat, the higher the prebaking temperature and the longer the prebaking time, the less likely to sag the heat; the weaker the exposure intensity, the easier to sag the heat; The weaker the development conditions are, the more prone to heat sag, and the stronger the tendency of heat sag. In addition, the post-baking temperature is slightly lower and the one which is long-term tends to be drooped, and the one whose temperature is high and short-term tends to be difficult to be drooped.
도 4에 나타낸 바와 같이 베이킹 후의 평탄한 블랙 매트릭스 표면으로부터 원호가 개시되는 점을 P점으로 하고, 블랙 매트릭스의 수평 방향 말단을 나타내는 Q점과의 수평 방향의 거리를 테이퍼 길이로 하면, 상기 테이퍼 길이는 2.0㎛∼15.0㎛인 것이 바람직하고, 또한 상기 테이퍼 길이가 2.5㎛∼10.0㎛인 것이 바람직하다. 또한, Q점은 기판에 접하는 부분 또는 그 근방의 층내 하부에 위치하는 것이 바람직하다.As shown in FIG. 4, when the point where an arc starts from the flat black matrix surface after baking is set to P point, and the horizontal distance with the Q point which shows the horizontal end of a black matrix is made into a taper length, the said taper length is It is preferable that it is 2.0 micrometers-15.0 micrometers, and it is preferable that the said taper length is 2.5 micrometers-10.0 micrometers. In addition, it is preferable that Q point is located in the lower part in the layer which contact | connects a board | substrate, or its vicinity.
도 5에, 상기 범위의 테이퍼 길이를 갖는 블랙 매트릭스가 형성된 기판 상에 착색 화소를 형성한 경우의 단면도를 나타낸다. 이와 같이, 블랙 매트릭스와 착색 화소의 오버랩부의 융기를 억제할 수 있다. FIG. 5 is a cross-sectional view when a colored pixel is formed on a substrate on which a black matrix having a taper length in the above range is formed. In this manner, the ridges of the overlapping portions of the black matrix and the colored pixels can be suppressed.
베이킹 처리는 현상 후의 감광성 농색 조성물층을 상기 조건으로 되도록 핫플레이트, 컨벡션 오븐(열풍순환식 건조기), 또는 고주파 가열기 등의 가열 수단을 이용하여 연속식 또는 배치식으로 행할 수 있다.Baking treatment can be performed continuously or batchwise using heating means, such as a hotplate, a convection oven (hot air circulation type dryer), or a high frequency heater, so that the photosensitive deepening composition layer after image development may be set to said conditions.
기타 공정Other process
본 발명에 있어서의 블랙 매트릭스 형성공정에 있어서, 상기 감광성 농색 조 성물층 형성공정의 후이며 또한 상기 노광공정 전에 프리베이킹 공정을 더 추가해도 좋다. 또한, 상기 현상공정 후이며 또한 상기 베이킹(포스트베이킹) 공정 전에, 필요에 따라, 형성된 블랙 매트릭스를 노광에 의해 경화하는 공정을 포함하고 있어도 된다.In the black matrix forming step of the present invention, a prebaking step may be further added after the photosensitive deep color composition layer forming step and before the exposure step. Moreover, after the said development process and before the said baking (post baking) process, you may include the process of hardening the formed black matrix by exposure as needed.
프리베이킹 공정Prebaking Process
상술한 바와 같이, 블랙 매트릭스의 현상 후의 단면 형상을 조정하기 위해서는 블랙 매트릭스 형성공정에 있어서의 노광 및/또는 현상의 조건을 조정한 것 외에, 프리베이킹 조건을 적절하게 조정하는 것이 바람직하다. 본 발명에 있어서의 블랙 매트릭스 형성공정에 있어서는, 통상 자주 사용되고 있는 프리베이킹 조건보다 저온에서 행하면 역테이퍼가 되어, 고온에서 행하면 순테이퍼가 되는 경향이 있다.As mentioned above, in order to adjust the cross-sectional shape after image development of a black matrix, in addition to adjusting the conditions of exposure and / or image development in a black matrix formation process, it is preferable to adjust prebaking conditions suitably. In the black matrix forming step in the present invention, the taper becomes inverse taper when it is performed at a lower temperature than prebaking conditions which are often used, and tends to be a forward taper when it is performed at a high temperature.
구체적으로는, 핫플레이트에 의해 프리베이킹를 행할 경우 프리베이킹 온도는 65℃∼120℃가 바람직하다. 65℃ 이상으로 함으로써 현상공정 중에 감광성 농색 조성물층이 박리되는 것을 방지할 수 있고, 120℃ 이하로 함으로써 감광성 농색 조성물층 하부의 현상이 진행되는 상태로 할 수 있다. 보다 바람직하게는 70℃∼100℃이며, 75℃∼90℃가 가장 바람직하다. 또한 프리베이킹 시간은 50초∼300초가 바람직하고, 90초∼200초가 보다 바람직하며, 100초∼180초가 가장 바람직하다. 상기 조건으로 프리베이킹을 행함으로써 감광성 농색 조성물층의 현상 후의 단면 형상이 조정하기 쉬워진다. Specifically, in the case of prebaking with a hot plate, the prebaking temperature is preferably 65 ° C to 120 ° C. By setting it as 65 degreeC or more, peeling of the photosensitive deepening composition layer can be prevented during a developing process, and by setting it as 120 degrees C or less, it can be set as the state which the image development of the lower part of the photosensitive deepening composition layer advances. More preferably, it is 70 degreeC-100 degreeC, and 75 degreeC-90 degreeC is the most preferable. Moreover, as for a prebaking time, 50 second-300 second are preferable, 90 second-200 second are more preferable, and 100 second-180 second are the most preferable. By prebaking on the said conditions, the cross-sectional shape after image development of the photosensitive deepening composition layer becomes easy to adjust.
또한, 프리베이킹은 오븐에서 행할 수도 있고, 그 경우도 적당하게 상기와 동등한 프리베이킹 조건을 설정함으로써 현상 후의 단면 형상을 조정할 수 있다.In addition, prebaking can also be performed in oven, and also in that case, the cross-sectional shape after image development can be adjusted by setting the prebaking conditions similar to the above suitably.
착색 패턴 형성공정Coloring pattern forming process
본 발명에 있어서 착색 패턴 형성공정에서는 적어도 베이킹 후의 감광성 농색 조성물층(블랙 매트릭스)이 형성되어 있는 기판 상에 감광성 착색 조성물을 이용하여 감광성 착색 조성물층을 형성하는 것(감광성 착색 조성물층 형성공정), 상기 감광성 착색 조성물층을 노광하는 것(착색층 노광공정), 노광 후의 상기 감광성 착색 조성물층을 현상하는 것(착색층 현상공정), 현상된 상기 감광성 착색 조성물층을 베이킹하는 것(착색층 베이킹 공정)에 의해, 상기 베이킹 후의 상기 블랙 매트릭스와 겹치는 오버랩부의 블랙 매트릭스 폭 방향에 있어서의 길이가 1.0㎛∼12㎛가 되도록 착색 패턴을 형성한다. 착색 패턴 형성공정에서는 상기 공정에 추가로, 필요에 따라 프리베이킹 공정 등의 다른 공정을 더 형성해도 된다.In the coloring pattern forming step of the present invention, forming a photosensitive coloring composition layer on the substrate on which the photosensitive deepening composition layer (black matrix) after baking is formed (photosensitive coloring composition layer forming step), Exposing the photosensitive coloring composition layer (color layer exposure step), developing the photosensitive coloring composition layer after exposure (color layer development step), baking the developed photosensitive coloring composition layer (color layer baking step ), A coloring pattern is formed such that the length in the black matrix width direction of the overlap portion overlapping with the black matrix after the baking becomes 1.0 µm to 12 µm. In a coloring pattern formation process, you may further form another process, such as a prebaking process, in addition to the said process.
우선, 상기 「오버랩」에 대하여 설명한다.First, the "overlap" will be described.
오버랩Overlap
블랙 매트릭스가 형성된 기판 상에 감광성 착색 조성물을 도포하거나 해서 착색 패턴(착색 화소)을 형성할 때, 블랙 매트릭스와 착색 화소 사이에 간극이 생기지 않도록 감광성 착색 조성물과 블랙 매트릭스가 겹치도록, 감광성 착색 조성물을 블랙 매트릭스에 약간 피복시켜서(오버랩시켜서) 착색 화소를 형성하는 것이 일반적이다. 본 발명에서는 상술의 블랙 매트릭스의 현상 후의 단면 형상에 추가로, 오버랩부의 길이를 1.0㎛∼12㎛로 조정함으로써 고품위의 컬러필터나 액정표시장치를 얻을 수 있다.When forming a coloring pattern (colored pixel) by apply | coating the photosensitive coloring composition on the board | substrate with a black matrix, the photosensitive coloring composition is made so that the photosensitive coloring composition and a black matrix may overlap so that a clearance gap may not arise between a black matrix and a colored pixel. It is common to form colored pixels by slightly covering (overlapping) the black matrix. In this invention, in addition to the cross-sectional shape after image development of the black matrix mentioned above, a high quality color filter and a liquid crystal display device can be obtained by adjusting the length of an overlap part to 1.0 micrometer-12 micrometers.
상기 「오버랩부의 길이」란, 감광성 착색 조성물층을 이용하여 형성되는 착색 패턴과 블랙 매트릭스가 겹치는 오버랩부의 블랙 매트릭스의 폭 방향에 있어서의 길이를 말한다. 이것을 도면을 이용하여 보다 상세하게 설명한다.The said "length of an overlap part" means the length in the width direction of the black matrix of the overlap part in which the black pattern and the coloring pattern formed using the photosensitive coloring composition layer overlap. This will be described in more detail with reference to the drawings.
도 6은 블랙 매트릭스(4)가 형성된 기판(2) 상에 감광성 착색 조성물을 도포하거나 해서 감광성 착색 조성물층(6)을 형성하고, 블랙 매트릭스(4)와 감광성 착색 조성물층(6)이 겹친 오버랩부(8)가 형성된 상태를 나타내는 컬러필터의 부분 단면도이다. 여기에 있어서, 오버랩부(8)는 길이(b)의 영역이며, 오버랩부(8)의 길이(b)는 블랙 매트릭스(4)의 폭 방향에 있어서의 감광성 착색 조성물층(6)과 대치 하는 측의 최외단(S)과, 블랙 매트릭스(4)에 겹치도록 형성된 감광성 착색 조성물층(6)의 블랙 매트릭스(4) 상에 위치하는 최외단(T) 사이의, 블랙 매트릭스(4)의 폭 방향의 거리(길이)로서 구할 수 있다.FIG. 6 shows that the photosensitive
실제로, 오버랩부(8)의 길이(b)를 구할 때에는 컬러필터를 블랙 매트릭스(4)의 패턴의 길이 방향에 수직인 방향으로 컷팅하고, 그 단면으로부터 측정함으로써 구할 수 있다.In fact, in obtaining the length b of the
상기 오버랩부(8)의 길이(b)는 오버랩부의 융기를 작게 하는(바람직하게는 0.50㎛ 이하로 함) 관점에서 1.0㎛∼12㎛인 것이 바람직하고, 1.0㎛∼10㎛가 보다 바람직하며, 2.0㎛∼8.0㎛가 가장 바람직하다.The length b of the
또한, 상기 오버랩부(8)의 길이(b)를 12㎛ 이하로 함으로써 대형 기판(1변의 길이가 1m 이상)에 있어서 컬러필터 및 표시장치를 안정되게 제조할 수 있다.Moreover, by making the length b of the said
오버랩(8)의 길이(b)는 감광성 착색 조성물층의 노광 패턴 위치나 현상 조건 을 변화시킴으로써 조정할 수 있다. 구체적으로는, 노광 패턴의 블랙 매트릭스와의 겹침량을 적게 할수록 오버랩량을 적게 할 수 있다. 또한, 현상 조건을 약하게 할수록, 예를 들면 현상 온도를 낮게 할수록, 또는 현상 시간을 짧게 할수록 오버랩량을 크게 할 수 있다.The length b of the
보다 구체적으로는, 상기 오버랩부(8)의 길이(b)를 1.0㎛∼12㎛로 하기 위해서는 노광 패턴과 블랙 매트릭스의 겹침 부분의 블랙 매트릭스의 폭 방향에 있어서의 거리(길이)를 3.0㎛∼8.0㎛로 설정하는 것이 바람직하다. 또한 현상 온도를 20℃∼35℃로 하는 것이 바람직하고, 20℃∼30℃로 하는 것이 보다 바람직하다. 또한, 현상 시간을 20초∼120초로 하는 것이 바람직하고, 30초∼70초로 하는 것이 보다 바람직하다.More specifically, in order to make the length b of the said
상기 각 조건의 바람직한 조합으로서는, 노광 패턴과 블랙 매트릭스의 겹침 부분의 길이를 2.0㎛∼10㎛로 하고, 현상 온도를 20℃∼35℃로 하며, 또한 현상 시간을 20초∼120초로 하는 조합이 바람직하다.As a preferable combination of each of the above conditions, the combination of the exposure pattern and the overlapped portion of the black matrix is 2.0 µm to 10 µm, the developing temperature is 20 ° C to 35 ° C, and the developing time is 20 seconds to 120 seconds. desirable.
보다 바람직한 조합은 노광 패턴과 블랙 매트릭스의 겹침 부분의 길이를 3.0㎛∼8.0㎛로 하고, 현상 온도를 20℃∼30℃로 하며, 또한 현상 시간을 30초∼70초로 하는 조합이다.A more preferable combination is a combination in which the length of the overlapped portion of the exposure pattern and the black matrix is 3.0 µm to 8.0 µm, the developing temperature is 20 ° C to 30 ° C, and the developing time is 30 seconds to 70 seconds.
상술한 바와 같이, 블랙 매트릭스와 감광성 착색 조성물층의 오버랩부에서는 블랙 매트릭스와 감광성 착색 조성물층이 일부 겹치도록 감광성 착색 조성물을 블랙 매트릭스에 피복시키므로, 그 부분이 융기된 상태로 된다. 이 오버랩부의 융기의 정도를 작게 함으로써 액정 배향의 혼란, 또는 광 누설을 억제할 수 있고, 고품 질의 화상을 얻을 수 있다. 오버랩부의 융기에 대해서 도면을 사용하여 설명한다.As described above, the photosensitive coloring composition is coated on the black matrix so that the black matrix and the photosensitive coloring composition layer partially overlap in the overlap portion of the black matrix and the photosensitive coloring composition layer, so that the powder is raised. By reducing the degree of ridge of this overlap part, the confusion of liquid crystal orientation or light leakage can be suppressed, and a high quality image can be obtained. The elevation of an overlap part is demonstrated using drawing.
도 7은 블랙 매트릭스(4)가 형성된 기판(2) 상에 감광성 착색 조성물을 도포하거나 해서 감광성 착색 조성물층을 형성하고, 노광 및 현상 등을 행하여 착색 패턴(6)을 형성하고, 블랙 매트릭스(4)와 착색 패턴(6)이 겹친 오버랩부(8)에 융기가 발생되어 있는 상태를 나타내는 컬러필터의 부분 단면도이다.7 forms the photosensitive coloring composition layer by apply | coating the photosensitive coloring composition on the board |
상기 「오버랩부의 융기의 정도」란, 보다 상세하게는 착색 패턴(6)의 표면 중 상기 오버랩부(8)에 있어서의 기판(2) 표면[기판(2)의 블랙 매트릭스(4) 및 착색 패턴(6)과 접하는 면]으로부터 가장 떨어진 부분과, 상기 오버랩부(8) 이외의 평탄한 표면부분 사이의 기판의 법선 방향에 있어서의 거리를 말한다. 환언하면, 상기 「오버랩부의 융기의 정도」란, 기판(2) 표면과, 착색 패턴(6)의 표면 중 오버랩부(8)의 기판(2) 표면으로부터 가장 떨어진 부분 사이의 기판의 법선 방향에 있어서의 거리(c)로부터, 기판(2)표면과, 착색 패턴(6)의 표면 중 오버랩부(8) 이외의 부분 사이의 기판의 법선 방향에 있어서의 거리(d)를 뺀 거리(e)를 말한다.The above-mentioned "degree of bump of an overlap part" is more specifically, the surface of the board |
이하, 상기 거리(e)를, 「융기의 높이」라고 한다. 융기의 높이는 고품질의 화상을 얻는 점에서 0.50㎛ 이하가 바람직하고, 0.4㎛ 이하가 더욱 바람직하고, 0.25㎛ 이하가 가장 바람직하다. 이 융기의 높이를 상기와 같이 낮게 억제함으로써 컬러필터를 제작하여 화상 표시시켰을 때에 액정 배향의 혼란, 또는 광 누설을 억제할 수 있어 고품질의 화상을 얻을 수 있다.Hereinafter, the distance e is referred to as "height of uplift." The height of the ridge is preferably 0.50 µm or less, more preferably 0.4 µm or less, and most preferably 0.25 µm or less in terms of obtaining a high quality image. By suppressing the height of this elevation as mentioned above, when a color filter is produced and an image is displayed, the confusion of liquid crystal orientation or light leakage can be suppressed, and a high quality image can be obtained.
융기의 높이는 블랙 매트릭스의 베이킹 후의 단면 형상(즉, 테이퍼 길이)과, 오버랩부의 길이와, 블랙 매트릭스의 두께를 적당하게 설정함으로써 조정할 수 있 다.The height of the ridge can be adjusted by appropriately setting the cross-sectional shape (ie, taper length) after baking of the black matrix, the length of the overlap portion, and the thickness of the black matrix.
상기 테이퍼 길이와, 오버랩부(8)의 길이(b)와, 블랙 매트릭스의 두께의 바람직한 조합은 테이퍼 길이를 2.0㎛∼15㎛로 하고, 오버랩부의 길이를 1.0㎛∼12㎛로 하며, 또한 블랙 매트릭스의 두께를 0.2㎛∼1.5㎛로 하는 것이 바람직하다. 보다 바람직한 조합은, 테이퍼 길이를 2.5㎛∼10㎛로 하고, 오버랩부(8)의 길이(b)를 2.5㎛∼8.5㎛로 하며, 또한 블랙 매트릭스의 두께를 0.5㎛∼1.3㎛로 하는 것이다.The preferred combination of the taper length, the length b of the
다음에 본 발명에 있어서의 착색 패턴 형성공정에 있어서 행하여지는 각종 공정에 대해서 서술한다.Next, the various processes performed in the coloring pattern formation process in this invention are demonstrated.
감광성 착색 조성물층 형성공정Photosensitive coloring composition layer forming process
감광성 착색 조성물층 형성공정에서는 베이킹 후의 감광성 농색 조성물층 (블랙 매트릭스)이 형성되어 있는 기판 상에, 감광성 착색 조성물을 이용하여 감광성 착색 조성물층을 형성한다.In the photosensitive coloring composition layer forming process, the photosensitive coloring composition layer is formed using the photosensitive coloring composition on the board | substrate with which the photosensitive deepening composition layer (black matrix) after baking is formed.
블랙 매트릭스가 형성된 기판 상에 감광성 착색 조성물층을 형성하는 방법으로서는, 기판 상에 감광성 농색 조성물층을 형성하는 방법과 같은 방법, 즉, 도포방법 또는 전사 방법을 이용할 수 있다.As a method of forming a photosensitive coloring composition layer on a board | substrate with a black matrix, the same method as the method of forming a photosensitive deepening composition layer on a board | substrate, ie, a coating method or a transfer method, can be used.
그 중에서도 슬릿 코터 등으로 블랙 매트릭스가 형성된 기판면에 감광성 착색 조성물을 도포하는 방법이, 본 발명의 효과를 잘 달성할 수 있는 점에서 바람직하다.Especially, the method of apply | coating the photosensitive coloring composition to the board | substrate surface in which the black matrix was formed with the slit coater etc. is preferable at the point which can achieve the effect of this invention well.
감광성 착색 조성물층의 층두께는 충분한 색재현 영역을 얻고, 또한 충분한 패널의 휘도를 얻기 위해서 0.5㎛∼3.0㎛가 바람직하고, 1.0㎛∼2.5㎛의 범위인 것 이 보다 바람직하다.The layer thickness of the photosensitive coloring composition layer is preferably 0.5 µm to 3.0 µm, more preferably 1.0 µm to 2.5 µm, in order to obtain a sufficient color reproduction region and to obtain sufficient luminance of the panel.
착색층 노광공정Colored layer exposure process
착색층 노광공정에서는 상기 감광성 착색 조성물층을 노광한다.In the colored layer exposure step, the photosensitive coloring composition layer is exposed.
감광성 착색 조성물층의 노광 처리는 감광성 농색 조성물층의 노광공정과 마찬가지로 해서 행할 수 있다. 복수색의 착색 패턴을 형성할 때에는 각 색용의 소정의 마스크 패턴을 통해서 각 색마다 노광하고, 광조사된 각 색의 감광성 착색 조성물층을 패터닝할(네거티브의 감광성 착색 조성물의 경우에는 광조사된 부분만을 경화한다) 수 있다.The exposure process of the photosensitive coloring composition layer can be performed similarly to the exposure process of the photosensitive deepening composition layer. When forming a multicolored coloring pattern, it exposes for every color through the predetermined | prescribed mask pattern for each color, and patterns the photosensitive coloring composition layer of each color irradiated light (in the case of negative photosensitive coloring composition, the light-irradiated part) Can only cure).
착색층 현상공정Colored layer developing process
착색층 현상공정에서는 노광 후의 상기 감광성 착색 조성물층을 현상한다.In the colored layer developing step, the photosensitive coloring composition layer after exposure is developed.
노광 후의 감광성 착색 조성물층의 현상 처리는 감광성 농색 조성물층의 현상공정의 설명에 있어서 기재한 조작과 같은 조작을 할 수 있고, 상기 현상공정에 있어서 설명한 현상액을 바람직하게 사용할 수 있다.The image development processing of the photosensitive coloring composition layer after exposure can perform the operation similar to the operation described in description of the image development process of the photosensitive deepening composition layer, and can use the developing solution demonstrated in the said image development process suitably.
현상 조건으로서는 블랙 매트릭스와 착색 화소의 오버랩부에 생기는 오버랩부의 길이 및 융기의 높이를 조정하기 위해서, 상기 오버랩의 설명에 있어서 기재한 현상 조건으로 감광성 착색 조성물층을 현상하는 것이 바람직하다.As development conditions, in order to adjust the length of the overlap part and the height of ridge | float which generate | occur | produce in the overlap part of a black matrix and a colored pixel, it is preferable to develop the photosensitive coloring composition layer on the developing conditions described in the description of the said overlap.
착색층 베이킹 공정Colored layer baking process
착색층 베이킹 공정에서는 현상된 상기 감광성 착색 조성물층을 베이킹한다.In the colored layer baking step, the developed photosensitive coloring composition layer is baked.
현상 후의 감광성 착색 조성물층을 베이킹하는 방법은, 상술의 감광성 농색 조성물층을 베이킹하는 베이킹 공정과 같은 방법을 이용할 수 있다.As a method of baking the photosensitive coloring composition layer after image development, the method similar to the baking process of baking the photosensitive deepening composition layer mentioned above can be used.
또, RGB(Red, Green, Blue)의 3색상 등, 복수 색상의 착색 패턴을 형성할 때는 감광성 착색 조성물층의 형성, 노광, 현상, 및 베이킹의 사이클을 원하는 색상수만큼 반복해도 좋고, 색상마다 감광성 착색 조성물층의 형성, 노광, 및 현상을 행하고나서, 최후에 전체 색상분을 한꺼번에 베이킹해도 좋다. 이것에 의해 블랙 매트릭스와 원하는 색상으로 이루어지는 착색 화소를 구비한 컬러필터가 제작된다.In addition, when forming the coloring pattern of multiple colors, such as three colors of RGB (Red, Green, Blue), the formation, exposure, image development, and baking cycle of the photosensitive coloring composition layer may be repeated by the desired number of colors, and every color After forming, exposing, and developing a photosensitive coloring composition layer, you may bake all the color components at the same time last. Thereby, the color filter provided with the black matrix and the colored pixel which consists of desired color is produced.
기타 공정Other process
착색 패턴 형성공정에 있어서도 감광성 착색 조성물층 형성공정의 후이며 또한 착색층 노광공정 전에, 감광성 착색 조성물을 건조시키기 위해서 감광성 착색 조성물층을 프리베이킹하는 공정(착색층 프리베이킹 공정)을 설치해도 된다.Also in a coloring pattern formation process, in order to dry a photosensitive coloring composition after a photosensitive coloring composition layer forming process and before a colored layer exposure process, you may provide the process (color layer prebaking process) of prebaking a photosensitive coloring composition layer.
감광성 착색 조성물층의 프리베이킹 온도는 60℃∼140℃가 바람직하고, 80℃∼120℃가 보다 바람직하다. 프리베이킹 시간은 30초∼300초가 바람직하고, 80초∼200초가 보다 바람직하다.60 degreeC-140 degreeC is preferable, and, as for the prebaking temperature of the photosensitive coloring composition layer, 80 degreeC-120 degreeC is more preferable. 30 second-300 second are preferable, and, as for a prebaking time, 80 second-200 second are more preferable.
다음에 본 발명의 컬러필터의 제조방법에 사용하는 감광성 착색 조성물, 및 감광성 농색 조성물에 대해서 상세하게 설명한다.Next, the photosensitive coloring composition and photosensitive deepening composition used for the manufacturing method of the color filter of this invention are demonstrated in detail.
감광성 착색 조성물Photosensitive coloring composition
본 발명의 컬러필터의 착색 패턴 형성용으로 사용되는 감광성 착색 조성물은, 감방사선성 조성물(예를 들면, 네거티브 조성물의 경우에는 광조사에 의해 경화되는 감방사선성 조성물)이며, (A-1) 착색제, (B) 바인더 폴리머, (C-1) 중합성 화합물, (D) 광중합 개시제, 및 (E) 용제를 함유하는 것이 바람직하고, 원하는 바에 따라, 고분자 분산제 또는 계면활성제 등의 그 밖의 첨가물을 더 함유하고 있어 도 된다.The photosensitive coloring composition used for coloring pattern formation of the color filter of this invention is a radiation sensitive composition (for example, the radiation sensitive composition hardened | cured by light irradiation in the case of a negative composition), (A-1) It is preferable to contain a coloring agent, (B) binder polymer, (C-1) polymeric compound, (D) photoinitiator, and (E) solvent, and if desired, other additives, such as a polymer dispersing agent or surfactant, You may contain more.
(A-1) 착색제(A-1) Colorant
착색제는 염료 및 안료로부터 적당하게 선택할 수 있다. 착색제로서 사용되는 안료는 무기안료이여도 유기안료이여도 되지만, 고투과율인 것이 바람직한 것을 고려하면 되도록이면 입자 사이즈가 작은 안료가 바람직하다. 평균 입자 사이즈는 10㎚∼100㎚인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 10㎚∼50㎚의 범위이다. 본 발명에 사용되는 감광성 착색 조성물에 있어서는, 후술하는 고분자 분산제를 사용함으로써 착색제의 사이즈가 작은 경우이여도 안료 분산성 및 분산 안정성이 양호하게 되기 때문에, 막두께가 얇아도 색순도가 우수한 착색 화소를 형성할 수 있다.The colorant may be appropriately selected from dyes and pigments. Although the pigment used as a coloring agent may be an inorganic pigment or an organic pigment, a pigment with a small particle size is preferable as long as it considers that it is preferable that it is a high transmittance. It is preferable that average particle size is 10 nm-100 nm, More preferably, it is the range of 10 nm-50 nm. In the photosensitive coloring composition used in the present invention, pigment dispersibility and dispersion stability are good even when the size of the colorant is small by using the polymer dispersant described later, so that a colored pixel excellent in color purity is formed even if the film thickness is thin. can do.
착색 패턴(착색 화소) 형성용의 착색제로서 사용할 수 있는 무기안료의 예로서는 금속 산화물 및 금속 착염 등의 금속 화합물을 들 수 있다. 구체예로서는, 철, 코발트, 알루미늄, 카드뮴, 납, 동, 티타늄, 마그네슘, 크롬, 아연, 안티몬 등의 금속 산화물, 및 상기 금속의 복합 산화물 등을 들 수 있다.As an example of the inorganic pigment which can be used as a coloring agent for coloring pattern (color pixel) formation, metal compounds, such as a metal oxide and a metal complex salt, are mentioned. Specific examples include metal oxides such as iron, cobalt, aluminum, cadmium, lead, copper, titanium, magnesium, chromium, zinc and antimony, and composite oxides of the above metals.
또한 유기안료로서는, 예를 들면,As the organic pigment, for example,
C.I. 피그먼트 옐로 11, 24, 31, 53, 83, 93, 99, 108, 109, 110, 138, 139, 147, 150, 151, 154, 155, 167, 180, 185, 199;C.I. Pigment yellow 11, 24, 31, 53, 83, 93, 99, 108, 109, 110, 138, 139, 147, 150, 151, 154, 155, 167, 180, 185, 199;
C.I. 피그먼트 오렌지 36, 38, 43, 71;C.I. Pigment orange 36, 38, 43, 71;
C.I. 피그먼트 레드 81, 105, 122, 149, 150, 155, 171, 175, 176, 177, 209, 220, 224, 242, 254, 255, 264, 270;C.I. Pigment red 81, 105, 122, 149, 150, 155, 171, 175, 176, 177, 209, 220, 224, 242, 254, 255, 264, 270;
C.I. 피그먼트 바이올렛 19, 23, 32, 37, 39;C.I. Pigment violet 19, 23, 32, 37, 39;
C.I. 피그먼트 블루 1, 2, 15, 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66;C.I. Pigment blue 1, 2, 15, 15: 1, 15: 3, 15: 6, 16, 22, 60, 66;
C.I. 피그먼트 그린 7, 36, 37;C.I. Pigment green 7, 36, 37;
C.I. 피그먼트 브라운 25, 28;C.I. Pigment brown 25, 28;
C.I. 피그먼트 블랙 1C.I. Pigment Black 1
등을 들 수 있다.Etc. can be mentioned.
본 발명에 있어서는 특별히 한정되는 것은 아니지만, 하기의 안료가 보다 바람직하다 :Although it does not specifically limit in this invention, The following pigment is more preferable:
C.I. 피그먼트 옐로 11, 24, 108, 109, 110, 138, 139, 150, 151, 154, 167, 180, 185;C.I. Pigment yellow 11, 24, 108, 109, 110, 138, 139, 150, 151, 154, 167, 180, 185;
C.I. 피그먼트 오렌지 36, 71;C.I. Pigment orange 36, 71;
C.I. 피그먼트 레드 122, 150, 171, 175, 177, 209, 224, 242, 254, 255, 264;C.I. Pigment red 122, 150, 171, 175, 177, 209, 224, 242, 254, 255, 264;
C.I. 피그먼트 바이올렛 19, 23, 37;C.I. Pigment violet 19, 23, 37;
C.I. 피그먼트 블루 15:1, 15:3, 15:6, 16, 22, 60, 66;C.I. Pigment blue 15: 1, 15: 3, 15: 6, 16, 22, 60, 66;
C.I. 피그먼트 그린 7, 36, 37.C.I. Pigment Green 7, 36, 37.
이들 유기안료는 단독으로 또는, 색순도를 높이기 위해서 여러가지로 조합시켜서 사용할 수 있다. 조합의 구체예를 이하에 나타낸다.These organic pigments may be used alone or in combination in various ways to increase color purity. The specific example of a combination is shown below.
예를 들면, 적색상(R)용의 안료로서, 안트라퀴논 안료, 페릴렌 안료, 디케토피롤로피롤 안료를 단독으로, 또는 그들의 적어도 1종과, 비스아조 황색 안료, 이소인돌린 황색 안료, 및 퀴노프탈론 황색 안료 중 적어도 1종 및/또는 페릴렌 적색 안료와의 혼합 등을 사용할 수 있다. 예를 들면, 안트라퀴논 안료로서는, C.I. 피그먼트 레드 177을 들 수 있고, 페릴렌 안료로서는 C.I. 피그먼트 레드 155 또는 C.I. 피그먼트 레드 224를 들 수 있고, 디케토피롤로피롤 안료로서는 C.I. 피그먼트 레드 254를 들 수 있고, 색재현성의 점에서 이들의 적어도 1종과 C.I. 피그먼트 옐로 139의 혼합이 바람직하다. 또한 적색 안료와 황색 안료의 질량비(적색 안료:황색 안료)는 충분한 색순도를 얻는 것, 및 NTSC(National Television System Committee) 기준의 색상으로부터의 어긋남을 억제하는 관점에서 100:5∼100:50이 바람직하다. 특히, 상기 질량비로서는 100:10∼100:30의 범위가 최적이다. 또한, 적색 안료끼리의 조합의 경우에는 색도에 맞춰서 조정할 수 있다.For example, as a pigment for red phase (R), an anthraquinone pigment, a perylene pigment, a diketopyrrolopyrrole pigment alone or at least one of them, a bis azo yellow pigment, an isoindolin yellow pigment, and Mixing with at least one of the quinophthalone yellow pigments and / or the perylene red pigments, and the like can be used. For example, as an anthraquinone pigment, C.I. Pigment Red 177 is mentioned, As a perylene pigment, C.I. Pigment Red 155 or C.I. Pigment red 224. Examples of the diketopyrrolopyrrole pigment include C.I. Pigment red 254, and at least one of them and C.I. Preference is given to mixing Pigment Yellow 139. In addition, the mass ratio (red pigment: yellow pigment) of the red pigment and the yellow pigment is preferably 100: 5 to 100: 50 from the viewpoint of obtaining sufficient color purity and suppressing the deviation from the color of the NTSC (National Television System Committee) standard. Do. Especially as said mass ratio, the range of 100: 10-100: 30 is optimal. In addition, in the case of the combination of red pigments, it can adjust to chromaticity.
또한 녹색상(G)용의 안료로서는, 할로겐화 프탈로시아닌 안료를 단독으로, 또는 이것과 비스아조 황색 안료, 퀴노프탈론 황색 안료, 아조메틴 황색 안료, 또는 이소인돌린 황색 안료와의 혼합을 사용할 수 있다. 예를 들면 이러한 예로서는, C.I. 피그먼트 그린 7, 36, 또는 37과, C.I. 피그먼트 옐로 83, C.I. 피그먼트 옐로 138, C.I. 피그먼트 옐로 139, C.I. 피그먼트 옐로 150, C.I. 피그먼트 옐로 180 또는 C.I. 피그먼트 옐로 185와의 혼합이 바람직하다. 녹색 안료와 황색 안료의 질량비(녹색 안료:황색 안료)는 충분한 색순도를 얻는 것, 및 NTSC 기준의 색상으로부터의 어긋남을 억제하는 관점에서 100:5∼100:150이 바람직하다. 질량비로서는 100:30∼100:120의 범위가 특히 바람직하다.As the pigment for the green phase (G), a halogenated phthalocyanine pigment alone or a mixture of this and a bis azo yellow pigment, a quinophthalone yellow pigment, an azomethine yellow pigment, or an isoindolin yellow pigment can be used. . For example, as such an example, C.I. Pigment green 7, 36, or 37, and C.I. Pigment Yellow 83, C.I. Pigment Yellow 138, C.I. Pigment Yellow 139, C.I. Pigment Yellow 150, C.I. Pigment Yellow 180 or C.I. Mixing with Pigment Yellow 185 is preferred. As for mass ratio (green pigment: yellow pigment) of a green pigment and a yellow pigment, 100: 5-100: 150 are preferable from a viewpoint of obtaining sufficient color purity and suppressing the deviation from the color of NTSC standard. As mass ratio, the range of 100: 30-100: 120 is especially preferable.
청색상(B)용의 안료로서는, 프탈로시아닌 안료를 단독으로, 또는 이것과 디옥사딘 보라색 안료의 혼합을 사용할 수 있다. 예를 들면 C.I. 피그먼트 블루 15:6 과 C.I. 피그먼트 바이올렛 23의 혼합이 바람직하다. 청색 안료와 보라색 안료의 질량비(청색 안료:보라색 안료)는 100:0∼100:50이 바람직하고, 보다 바람직하게는 100:5∼100:30이다.As a pigment for a blue phase (B), a phthalocyanine pigment can be used individually or the mixture of this and a dioxadine purple pigment can be used. For example, C.I. Pigment Blue 15: 6 and C.I. Mixing of pigment violet 23 is preferred. As for mass ratio (blue pigment: purple pigment) of a blue pigment and a purple pigment, 100: 0-100: 50 are preferable, More preferably, it is 100: 5-100: 30.
본 발명에 사용되는 감광성 착색 조성물층 중에 있어서의 (A-1) 착색제(안료)의 함유량은 상기 조성물의 전체 고형분(질량)에 대하여 25∼75질량%가 바람직하고, 32∼70질량%가 보다 바람직하다. (A-1) 착색제(안료)의 함유량이 상기 범위 내이면 색농도가 충분하고 뛰어난 색특성을 확보하는데 유효하다.As for content of the (A-1) coloring agent (pigment) in the photosensitive coloring composition layer used for this invention, 25-75 mass% is preferable with respect to the total solid (mass) of the said composition, and 32-70 mass% is more desirable. (A-1) When content of a coloring agent (pigment) is in the said range, color concentration is sufficient and it is effective in ensuring the outstanding color characteristic.
(B) 바인더 폴리머(B) binder polymer
본 발명의 상기 감광성 착색 조성물은 피막 특성의 향상 및 현상 특성의 부여 등의 목적으로 바인더 폴리머를 함유하는 것이 바람직하다. 바인더 폴리머로서 하기의 알칼리 가용성 수지를 사용할 수 있다.It is preferable that the said photosensitive coloring composition of this invention contains a binder polymer for the purpose of the improvement of a film | membrane characteristic, a provision of image development characteristic, etc. The following alkali-soluble resin can be used as a binder polymer.
본 발명에서 사용하는 알칼리 가용성 수지로서는, 직쇄상 유기 고분자 중합체이며, 분자(바람직하게는, 아크릴 공중합체 또는 스티렌 공중합체를 주쇄로 하는 분자) 중에 적어도 1개의 알칼리 가용성을 촉진하는 기(예를 들면 카르복실기, 인 산기, 술폰산기, 또는 히드록실기 등)를 갖는 알칼리 가용성 수지 중에서 적당하게 선택할 수 있다.As alkali-soluble resin used by this invention, it is a linear organic high molecular polymer, group which promotes at least 1 alkali solubility in a molecule | numerator (preferably an acryl copolymer or a molecule which has a styrene copolymer as a main chain) (for example, It can select suitably from alkali-soluble resin which has a carboxyl group, a phosphoric acid group, a sulfonic acid group, or a hydroxyl group etc.).
상기 알칼리 가용성 수지의 보다 바람직한 예로서는, 측쇄에 카르복실산을 갖는 폴리머, 예를 들면 일본 특허공개 소 59-44615호 공보, 일본 특허공고 소 54-34327호 공보, 일본 특허공고 소 58-12577호 공보, 일본 특허공고 소 54-25957호 공보, 일본 특허공개 소 59-53836호 공보, 일본 특허공개 소 59-71048호 공보의 각 공보에 기재되어 있는 바와 같은 메타크릴산 공중합체, 아크릴산 공중합체, 이타콘산 공중합체, 크로톤산 공중합체, 말레산 공중합체, 및 부분 에스테르화 말레산 공중합체 등, 그리고 측쇄에 카르복실산을 갖는 산성 셀룰로오스 유도체, 및 수산기를 갖는 폴리머에 산무수물을 부가시킨 것 등의 아크릴 공중합체의 것을 들 수 있다.As a more preferable example of the said alkali-soluble resin, the polymer which has a carboxylic acid in a side chain, for example, Unexamined-Japanese-Patent No. 59-44615, Unexamined-Japanese-Patent No. 54-34327, Unexamined-Japanese-Patent No. 58-12577 , Methacrylic acid copolymers, acrylic acid copolymers, and itas as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 54-25957, Japanese Patent Laid-Open No. 59-53836, and Japanese Patent Publication No. 59-71048 A choline acid copolymer, a crotonic acid copolymer, a maleic acid copolymer, and a partially esterified maleic acid copolymer, and an acidic cellulose derivative having a carboxylic acid in the side chain, and an acid anhydride added to a polymer having a hydroxyl group, and the like. And acrylic copolymers.
상기 알칼리 가용성 수지의 산가는 10∼200㎎KOH/g, 바람직하게는 30∼180㎎KOH/g, 더욱 바람직하게는 50∼150㎎KOH/g이 바람직하다.The acid value of the said alkali-soluble resin is 10-200 mgKOH / g, Preferably it is 30-180 mgKOH / g, More preferably, 50-150 mgKOH / g is preferable.
알칼리 가용성 수지의 구체적인 구성단위로서는, 특히 (메타)아크릴산과, 이것과 공중합 가능한 다른 단량체와의 공중합체가 바람직하다. 상기 (메타)아크릴산과 공중합 가능한 다른 단량체의 예로서는, 알킬(메타)아크릴레이트, 아릴(메타)아크릴레이트, 및 비닐 화합물 등을 들 수 있다. 여기에서 알킬기 및 아릴기의 수소원자는 치환기로 치환되어 있어도 된다.As a specific structural unit of alkali-soluble resin, the copolymer of (meth) acrylic acid and another monomer copolymerizable with this is preferable especially. As an example of the other monomer copolymerizable with the said (meth) acrylic acid, an alkyl (meth) acrylate, an aryl (meth) acrylate, a vinyl compound, etc. are mentioned. Here, the hydrogen atom of the alkyl group and the aryl group may be substituted with a substituent.
상기 알킬(메타)아크릴레이트 및 아릴(메타)아크릴레이트의 예로서는, CH2=C(R1)(COOR3)에 의해 나타내어지는 화합물을 들 수 있고, 여기에서 R1은 수소원자 또는 탄소수 1∼5의 알킬기를 나타내고, R3은 탄소수 1∼8의 알킬기 또는 탄소수 6∼12의 아랄킬기를 나타낸다. 구체예로서는, 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 프로필(메타)아크릴레이트, 부틸(메타)아크릴레이트, 이소부틸(메타)아크릴레이트, 펜틸(메타)아크릴레이트, 헥실(메타)아크릴레이트, 옥틸(메타)아크릴레이트, 페닐(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트, 톨릴(메타)아크릴 레이트, 나프틸(메타)아크릴레이트, 시클로헥실(메타)아크릴레이트, 히드록시알킬(메타)아크릴레이트(알킬은 탄소수 1∼8의 알킬기), 히드록시글리시딜메타크릴레이트, 및 테트라히드로푸르푸릴메타크릴레이트 등을 들 수 있다.Examples of the alkyl (meth) acrylate and aryl (meth) acrylate include a compound represented by CH 2 = C (R 1 ) (COOR 3 ), wherein R 1 represents a hydrogen atom or C 1 to C 1. An alkyl group of 5 is represented, and R 3 represents an alkyl group of 1 to 8 carbon atoms or an aralkyl group of 6 to 12 carbon atoms. As a specific example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, pentyl (meth) acrylate, hexyl (meth) Acrylate, octyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, tolyl (meth) acrylate, naphthyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, hydroxyalkyl (Meth) acrylate (alkyl is a C1-C8 alkyl group), hydroxyglycidyl methacrylate, tetrahydrofurfuryl methacrylate, etc. are mentioned.
또한 분자 측쇄에 폴리알킬렌옥사이드쇄를 갖는 수지도, 알칼리 가용성 수지의 바람직한 예로서 들 수 있다. 상기 폴리알킬렌옥사이드쇄로서는, 폴리에틸렌옥시드쇄, 폴리프로필렌옥시드쇄, 또는 폴리테트라메틸렌글리콜쇄, 또는 이것들의 병용이 가능하며, 말단은 수소원자 또는 직쇄 혹은 분기의 알킬기이다.Moreover, the resin which has a polyalkylene oxide chain in a molecular side chain is also mentioned as a preferable example of alkali-soluble resin. As said polyalkylene oxide chain, a polyethylene oxide chain, a polypropylene oxide chain, a polytetramethylene glycol chain, or these can be used together, The terminal is a hydrogen atom or a linear or branched alkyl group.
폴리에틸렌옥시드쇄 및/또는 폴리프로필렌옥시드쇄의 반복단위는 1∼20이 바람직하고, 2∼12가 보다 바람직하다. 폴리알킬렌옥사이드쇄를 측쇄에 갖는 아크릴 공중합체의 예로서는, 폴리에틸렌글리콜 모노(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜 모노(메타)아크릴레이트, 및 폴리(에틸렌글리콜-프로필렌글리콜) 모노(메타)아크릴레이트, 그리고 이들의 말단 OH기를 알킬 봉쇄한 화합물, 예를 들면 메톡시폴리에틸렌글리콜 모노(메타)아크릴레이트, 에톡시폴리프로필렌글리콜 모노(메타)아크릴레이트, 및 메톡시폴리(에틸렌글리콜-프로필렌글리콜) 모노(메타)아크릴레이트 등을 공중합 성분으로 하는 아크릴 공중합체를 들 수 있다.1-20 are preferable and, as for the repeating unit of a polyethylene oxide chain and / or a polypropylene oxide chain, 2-12 are more preferable. As an example of the acryl copolymer which has a polyalkylene oxide chain in a side chain, polyethyleneglycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, and poly (ethylene glycol propylene glycol) mono (meth) acrylate, And compounds which alkyl-blocked these terminal OH groups, for example, methoxy polyethylene glycol mono (meth) acrylate, ethoxy polypropylene glycol mono (meth) acrylate, and methoxy poly (ethylene glycol propylene glycol) mono ( The acrylic copolymer which uses a meta) acrylate etc. as a copolymerization component is mentioned.
상기 비닐 화합물의 예로서는, CH2=CR1R2로 나타내어지는 화합물을 들 수 있고, 여기에서 R1은 수소원자 또는 탄소수 1∼5의 알킬기를 나타내고, R2는 탄소수 6∼10의 방향족 탄화수소환을 나타낸다. 구체예로서는 스티렌, α-메틸스티렌, 비닐 톨루엔, 아크릴로니트릴, 비닐아세테이트, N-비닐피롤리돈, 폴리스티렌 매크로 모 노머, 및 폴리메틸메타크릴레이트 매크로 모노머 등을 들 수 있다.Examples of the vinyl compound include a compound represented by CH 2 = CR 1 R 2 , wherein R 1 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, and R 2 represents an aromatic hydrocarbon ring having 6 to 10 carbon atoms. Indicates. Specific examples include styrene, α-methylstyrene, vinyl toluene, acrylonitrile, vinyl acetate, N-vinylpyrrolidone, polystyrene macro monomers, and polymethyl methacrylate macromonomers.
공중합 가능한 다른 단량체는, 1종 단독으로, 또는 2종 이상을 조합시켜서 사용할 수 있다. 이들 중에서 특히, 벤질(메타)아크릴레이트/(메타)아크릴산 공중합체, 및 벤질(메타)아크릴레이트/(메타)아크릴산/다른 모노머로 이루어지는 다원 공중합체가 바람직하다.The other monomer which can be copolymerized can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more type. Especially among these, the multicomponent copolymer which consists of a benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid copolymer, and benzyl (meth) acrylate / (meth) acrylic acid / another monomer is preferable.
아크릴 수지는, 이미 서술한 바와 같이, 20∼200㎎KOH/g의 범위의 산가를 갖는다. 산가가 200 이하이면 아크릴계 수지의 알칼리에 대한 용해성이 지나치게 커지지 않고, 현상 적정범위[현상 래티튜드(latitude)]가 좁아지는 것을 방지할 수 있다. 한편, 20 이상 있으면 알칼리에 대한 용해성이 작아지기 어려우므로 현상 시간의 장시간화를 방지할 수 있다.As mentioned above, an acrylic resin has an acid value of 20-200 mgKOH / g. If the acid value is 200 or less, the solubility of the acrylic resin in alkali is not too large, and the development proper range (developing latitude) can be prevented from narrowing. On the other hand, when it is 20 or more, since the solubility to alkali is unlikely to become small, prolongation of development time can be prevented.
또한, 아크릴 수지의 중량 평균 분자량(Mw)[GPC법(Gel Permeation Chromatography)으로 측정된 폴리스티렌 환산치]은, 감광성 착색 조성물을 도포 등의 공정상 사용하기 쉬운 점도 범위를 실현하기 위해서, 또한 막강도를 확보하기 위해서 2,000∼100,000인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 3,000∼50,000이다.In addition, the weight average molecular weight (Mw) [polystyrene conversion value measured by GPC method (Gel Permeation Chromatography)] of an acrylic resin is further, in order to implement | achieve the viscosity range which is easy to use in the process of apply | coating a photosensitive coloring composition, and also film strength It is preferable that it is 2,000-100,000, More preferably, it is 3,000-50,000 in order to ensure the
또한 본 발명에 있어서의 감광성 착색 조성물의 가교 효율을 향상시키기 위해서, 중합성 기를 알칼리 가용성 수지에 부여한 수지를 단독으로, 또는 중합성 기를 갖지 않는 알칼리 가용성 수지와 병용해도 좋다. 중합성 기를 알칼리 가용성 수지에 부여한 수지의 예로서는, 아릴기, (메타)아크릴기, 또는 아릴옥시알킬기 등을 측쇄에 함유한 폴리머를 들 수 있다. 중합성 이중결합을 갖는 알칼리 가용성 수지는 알칼리 현상액에 의한 현상이 가능하며, 또한 광경화성과 열경화성을 구비한다. 이들 중합성 기를 함유하는 폴리머의 예를 이하에 나타내지만, 1분자 중에 COOH기 또는 OH기 등의 알칼리 가용성 기와 탄소-탄소간 불포화 결합을 포함하는 것이면 하기에 한정되지 않는다.Moreover, in order to improve the crosslinking efficiency of the photosensitive coloring composition in this invention, you may use resin which provided the polymerizable group to alkali-soluble resin individually or in combination with alkali-soluble resin which does not have a polymerizable group. As an example of resin which provided the polymerizable group to alkali-soluble resin, the polymer which contained an aryl group, a (meth) acryl group, or an aryloxyalkyl group etc. in a side chain is mentioned. Alkali-soluble resin which has a polymerizable double bond can be developed by alkaline developing solution, and also has photocurability and thermosetting. Examples of the polymer containing these polymerizable groups are shown below. However, the polymer is not limited as long as it contains an alkali-soluble group such as a COOH group or an OH group and a carbon-carbon unsaturated bond in one molecule.
(1) 미리 이소시아네이트기와 OH기를 반응시켜 미반응의 이소시아네이트기를 1개 남기고, 또한 (메타)아크릴로일기를 적어도 1개 함유하는 화합물과, 카르복실기를 함유하는 아크릴 수지의 반응에 의해 얻어지는 우레탄 변성한 중합성 이중결합 함유 아크릴 수지,(1) A urethane-modified polymerization obtained by reacting an isocyanate group with an OH group in advance to leave one unreacted isocyanate group and at least one compound containing at least one (meth) acryloyl group and an acrylic resin containing a carboxyl group. Acrylic double bond-containing acrylic resin,
(2) 카르복실기를 함유하는 아크릴 수지와, 분자 내에 에폭시기 및 중합성 이중결합을 함께 갖는 화합물의 반응에 의해 얻어지는 불포화기 함유 아크릴 수지,(2) an unsaturated group-containing acrylic resin obtained by reaction of an acrylic resin containing a carboxyl group with a compound having an epoxy group and a polymerizable double bond together in a molecule;
(3) 산 펜던트형 에폭시아크릴레이트 수지,(3) acid pendant epoxy acrylate resin,
(4) OH기를 함유하는 아크릴 수지와, 중합성 이중결합을 갖는 2염기산 무수물을 반응시킨 중합성 이중결합 함유 아크릴 수지.(4) A polymerizable double bond-containing acrylic resin obtained by reacting an acrylic resin containing an OH group with a dibasic acid anhydride having a polymerizable double bond.
상기 중 특히 (1) 및 (2)의 수지가 바람직하다.Among the above, resins of (1) and (2) are particularly preferable.
구체예로서, 예를 들면 OH기를 갖는 2-히드록시에틸아크릴레이트와, 예를 들면 COOH기를 함유하는 메타크릴산과, 이들과 공중합 가능한 아크릴 화합물 또는 비닐 화합물 등의 모노머와의 공중합체에, OH기에 대하여 반응성을 갖는 에폭시환과 탄소간 불포화 결합기를 갖는 화합물(예를 들면 글리시딜아크릴레이트 등의 화합물)을 반응시켜서 얻어지는 화합물 등을 사용할 수 있다. OH기와의 반응에서는 에폭시환 이외에 산무수물, 이소시아네이트기, 또는 아크릴로일기를 갖는 화합물도 사용할 수 있다.As a specific example, for example, a copolymer of 2-hydroxyethyl acrylate having an OH group with methacrylic acid containing a COOH group and a monomer such as an acrylic compound or a vinyl compound copolymerizable therewith may be used in the OH group. The compound etc. which are obtained by making a compound (for example, glycidyl acrylate compounds etc.) which have an epoxy ring which has reactivity with the unsaturated carbon-to-carbon unsaturated bond group react can be used. In the reaction with the OH group, a compound having an acid anhydride, an isocyanate group, or an acryloyl group can be used in addition to the epoxy ring.
또한 일본 특허공개 평 6-102669호 공보, 및 일본 특허공개 평 6-1938호 공보에 기재된 에폭시환을 갖는 화합물과 아크릴산과 같은 불포화 카르복실산을 반응시켜서 얻어지는 화합물에, 포화 또는 불포화 다염기산 무수물을 반응시켜서 얻어지는 반응물도 사용할 수 있다.Moreover, saturated or unsaturated polybasic acid anhydride is reacted with the compound obtained by making the compound which has the epoxy ring of Unexamined-Japanese-Patent No. 6-102669 and Unexamined-Japanese-Patent No. 6-1938, and the compound obtained by making unsaturated carboxylic acid, such as acrylic acid, react. The reactant obtained by making it available can also be used.
COOH기와 같은 알칼리 가용화기와 탄소간 불포화기를 아울러 가지는 화합물의 예로서는, 다이아날(DIANAL) NR 시리즈(미쓰비시 레이온(주)제); Photomer 6173(COOH기 함유 폴리우레탄아크릴 올리고머, Diamond shamrock Co.Ltd., 제);비스코트(VISCOTE) R-264, KS 레지스트 106[모두 오사카 유키 카가쿠 고교(주)제];사이크로머(CYCLOMER) P 시리즈, 프락셀(PLACCEL) CF200 시리즈[모두 다이셀 카가쿠 고교(주)제]; Ebecryl 3800[다이셀 사이텍(주)제] 등을 들 수 있다.As an example of the compound which also has an alkali solubilizer and a carbon-to-carbon unsaturated group, such as a COOH group, it is the DIANAL NR series (made by Mitsubishi Rayon Corporation); Photomer 6173 (COOH group-containing polyurethane acrylic oligomer, Diamond shamrock Co. Ltd., make); Viscote (VISCOTE) R-264, KS resist 106 [all made by Osaka Yuki Kagaku Kogyo Co., Ltd.]; Cyclomer (CYCLOMER ) P series, Placcel CF200 series (both manufactured by Daicel Kagaku Kogyo Co., Ltd.); Ebecryl 3800 (made by Daicel Cytec Co., Ltd.), etc. are mentioned.
알칼리 가용성 수지의 첨가량은 감광성 착색 조성물층의 전체 고형분 중 3∼30질량%의 범위인 것이 바람직하고, 5∼20질량%가 보다 바람직하다.It is preferable that it is the range of 3-30 mass% in the total solid of the photosensitive coloring composition layer, and, as for the addition amount of alkali-soluble resin, 5-20 mass% is more preferable.
감광성 착색 조성물의 조제시에는 바인더 폴리머로서 상기 알칼리 가용성 수지에 추가로, 하기의 에폭시 수지도 더 첨가하는 것이 바람직하다. 에폭시 수지로서는 비스페놀A형 에폭시 수지, 크레졸 노볼락형 에폭시 수지, 비페닐형 에폭시 수지, 및 지환식 에폭시 화합물 등의 에폭시환을 분자 중에 2개 이상 갖는 화합물을 들 수 있다.At the time of preparation of the photosensitive coloring composition, it is preferable to further add the following epoxy resin to the said alkali-soluble resin as a binder polymer further. As an epoxy resin, the compound which has two or more epoxy rings in a molecule | numerator, such as a bisphenol-A epoxy resin, a cresol novolak-type epoxy resin, a biphenyl type epoxy resin, and an alicyclic epoxy compound, is mentioned.
예를 들면 비스페놀A형 에폭시 수지의 예로서는, 에포토토(EPOTOHTO) YD- 115, YD-118T, YD-127, YD-128, YD-134, YD-8125, YD-7011R, ZX-1059, YDF-8170, YDF-170 등[이상, 토토카세이(주)제], 데나콜(DENACOL) EX-1101, EX-1102, EX-1103 등[이상, 나가세 켐텍스(주)], 프락셀 GL-61, GL-62, G101, G102[이상, 다이셀 카가쿠 고교(주)제] 등을 들 수 있다. 그 밖에도, 이들과 유사한 비스페놀F형 에폭시 수지, 및 비스페놀S형 에폭시 수지도 사용 가능한 것으로서 들 수 있다.For example, as an example of bisphenol-A epoxy resin, EPOTOHTO YD-115, YD-118T, YD-127, YD-128, YD-134, YD-8125, YD-7011R, ZX-1059, YDF -8170, YDF-170, etc. (above, manufactured by Tokasei Co., Ltd.), DENACOL EX-1101, EX-1102, EX-1103, etc. [Nagase Chemtex Co., Ltd.], Fraxel GL-61 , GL-62, G101, G102 (above, the Daicel Kagaku Kogyo Co., Ltd. product) etc. are mentioned. In addition, bisphenol F type epoxy resin similar to these and bisphenol S type epoxy resin can also be mentioned as usable.
또한 Ebecryl 3700, 3701, 600[이상, 다이셀 사이텍(주)제] 등의 에폭시아크릴레이트도 사용 가능하다. 크레졸 노볼락형 에폭시 수지의 예로서는, 에포토토 YDPN-638, YDPN-701, YDPN-702, YDPN-703, YDPN-704 등[이상, 토토카세이(주)제], 데나콜 EM-125 등[이상, 나가세 카세이 제]을 들 수 있다. 비페닐형 에폭시 수지의 예로서는, 3,5,3',5'-테트라메틸-4,4'-디글리시딜비페닐 등을 들 수 있다. 지환식 에폭시 화합물의 예로서는, 셀록사이드(CELLOXIDE) 2021, 2081, 2083, 2085, 에포리드(EPOLEAD) GT-301, GT-302, GT-401, GT-403, EHPE-3150[이상, 다이셀 카가쿠 고교(주)제], 산토토(SANTOHTO) ST-3000, ST-4000, ST-5080, ST-5100 등[이상, 토토카세이(주)제], Epiclon 430, 동 673, 동 695, 동 850S, 동 4032[이상, 다이니폰잉크 카가쿠 고교(주)제] 등을 들 수 있다. 또 1,1,2,2-테트라키스(p-글리시딜옥시페닐)에탄, 트리스(p-글리시딜옥시페닐)메탄, 트리글리시딜트리스(히드록시에틸)이소시아누레이트, o-프탈산 디글리시딜에스테르, 테레프탈산 디글리시딜에스테르, 아민형 에폭시 수지인 에포토토 YH-434 및 YH-434L, 및 비스페놀A형 에폭시 수지의 골격 중에 다이머산을 변성한 글리시딜에스테르 등도 사용할 수 있다.Moreover, epoxy acrylates, such as Ebecryl 3700, 3701, and 600 (more than a Daicel Cytec Co., Ltd. product), can also be used. As an example of a cresol novolak-type epoxy resin, Epoto YDPN-638, YDPN-701, YDPN-702, YDPN-703, YDPN-704, etc. (above, Totokasei Co., Ltd. make), Denacol EM-125, etc. [ The above is mentioned by Nagase Kasei. As an example of a biphenyl type epoxy resin, 3,5,3 ', 5'- tetramethyl-4,4'- diglycidyl biphenyl etc. are mentioned. Examples of the alicyclic epoxy compound include CELLOXIDE 2021, 2081, 2083, 2085, EPOLEAD GT-301, GT-302, GT-401, GT-403, and EHPE-3150. Gaku Kogyo Co., Ltd.], Santoto ST-3000, ST-4000, ST-5080, ST-5100, etc. (above, manufactured by Totokasei Co., Ltd.), Epiclon 430, East 673, East 695, East 850S and 4032 (above, the Dainippon Ink & Chemicals Co., Ltd. product) etc. are mentioned. 1,1,2,2-tetrakis (p-glycidyloxyphenyl) ethane, tris (p-glycidyloxyphenyl) methane, triglycidyltris (hydroxyethyl) isocyanurate, o- Phthalic acid diglycidyl ester, terephthalic acid diglycidyl ester, epoxide YH-434 and YH-434L, which are amine epoxy resins, and glycidyl esters modified with dimer acid in the skeleton of bisphenol A epoxy resins can also be used. Can be.
이 중에서 바람직한 수지는, 「분자량/에폭시환의 수」가 100 이상인 것이고, 보다 바람직하게는 130∼500인 것이다. 「분자량/에폭시환의 수」가 작으면 경화성이 높고, 경화시의 수축이 크며, 또한 지나치게 크면 경화성이 부족되고, 신뢰 성이 부족하거나 평탄성이 나빠진다.Among these, preferable resin is "the number of molecular weight / epoxy ring" is 100 or more, More preferably, it is 130-500. If the "molecular weight / number of epoxy rings" is small, the curability is high, the shrinkage during curing is large, and if it is too large, the curability is insufficient, the reliability is poor or the flatness is poor.
바람직한 화합물의 구체예로서는 에포토토 YD-115, 118T, 127, YDF-170, YDPN-638, YDPN-701, 프락셀 GL-61, GL-62, 3,5,3',5'-테트라메틸-4,4'디글리시딜비페닐, 셀록사이드 2021, 2081, 에포리드 GT-302, GT-403, EHPE-3150 등을 들 수 있다.Specific examples of the preferred compound include Efototo YD-115, 118T, 127, YDF-170, YDPN-638, YDPN-701, Fraxel GL-61, GL-62, 3,5,3 ', 5'-tetramethyl- 4,4 'diglycidyl biphenyl, ceoxide 2021, 2081, eporide GT-302, GT-403, EHPE-3150, etc. are mentioned.
(C-1) 중합성 화합물(C-1) polymerizable compound
본 발명에 사용되는 감광성 착색 조성물은 (C-1) 중합성 화합물을 함유하는 것이 바람직하다.It is preferable that the photosensitive coloring composition used for this invention contains the (C-1) polymeric compound.
본 발명에 사용할 수 있는 중합성 화합물은, 적어도 1개의 에틸렌성 불포화이중결합을 갖는 부가 중합성 화합물이며, 말단 에틸렌성 불포화 결합을 적어도 1개, 바람직하게는 2개 이상 갖는 화합물로부터 선택된다. 이러한 화합물군은 해당 산업분야에 있어서 널리 알려지는 것이며, 본 발명에 있어서는 이것들을 특별하게 한정하지 않고 사용할 수 있다. 이것들은, 예를 들면 모노머, 프리폴리머(즉 2량체 또는 3량체) 및 올리고머, 또는 그것들의 혼합물 및 그것들의 공중합체 등의 화학적 형태일 수 있다. 모노머 및 그 공중합체의 예로서는, 불포화 카르복실산(예를 들면 아크릴산, 메타크릴산, 이타콘산, 크로톤산, 이소크로톤산, 말레산 등), 및 그 에스테르류 및 아미드류를 들 수 있다. 바람직하게는, 불포화 카르복실산과 지방족 다가알코올 화합물의 에스테르류, 또는 불포화 카르복실산과 지방족 다가아민 화합물의 아미드류가 사용된다. 또한 히드록실기, 아미노기, 또는 메르캅토기 등의 구핵성 치환기를 갖는 불포화 카르복실산 에스테르류 또는 아미드류와, 단관능 또 는 다관능 이소시아네이트류 또는 단관능 혹은 다관능 에폭시류와의 부가반응 생성물, 및 상기 불포화 카르복실산 에스테르류 또는 아미드류와, 단관능 또는 다관능의 카르복실산과의 탈수축합 반응 생성물 등도 바람직하게 사용된다. 또한 이소시아네이트기 또는 에폭시기 등의 친전자성 치환기를 갖는 불포화 카르복실산 에스테르류 또는 아미드류와, 단관능 또는 다관능의 알코올류, 아민류, 또는 티올류와의 부가반응물, 또한, 할로겐기 또는 토실옥시기 등의 탈리성 치환기를 갖는 불포화 카르복실산 에스테르류 또는 아미드류와, 단관능 또는 다관능의 알코올류, 아민류, 또는 티올류와의 치환 반응물도 바람직하다. 또한 별도의 예로서, 상기의 불포화 카르복실산을 불포화 포스폰산, 스티렌, 또는 비닐에테르 등으로 치환하여 얻어지는 화합물군을 사용하는 것도 가능하다.The polymerizable compound which can be used in the present invention is an addition polymerizable compound having at least one ethylenically unsaturated double bond, and is selected from compounds having at least one, preferably two or more terminal ethylenically unsaturated bonds. Such compound groups are widely known in the industrial field and can be used in the present invention without particular limitation. These can be, for example, chemical forms such as monomers, prepolymers (ie dimers or trimers) and oligomers, or mixtures thereof and copolymers thereof. As an example of a monomer and its copolymer, unsaturated carboxylic acid (for example, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid, etc.), its esters, and amides are mentioned. Preferably, esters of unsaturated carboxylic acids and aliphatic polyhydric alcohol compounds or amides of unsaturated carboxylic acids and aliphatic polyvalent amine compounds are used. Furthermore, addition reaction products of unsaturated carboxylic esters or amides having nucleophilic substituents such as hydroxyl groups, amino groups or mercapto groups with monofunctional or polyfunctional isocyanates or monofunctional or polyfunctional epoxys And dehydration condensation reaction products of the above unsaturated carboxylic acid esters or amides with monofunctional or polyfunctional carboxylic acids are also preferably used. Furthermore, addition reaction products of unsaturated carboxylic acid esters or amides having an electrophilic substituent such as an isocyanate group or an epoxy group with monofunctional or polyfunctional alcohols, amines or thiols, and also halogen or tosyl jade Substitution reaction products of unsaturated carboxylic acid esters or amides having a leaving substituent such as a period and monofunctional or polyfunctional alcohols, amines or thiols are also preferable. As another example, it is also possible to use a compound group obtained by replacing the above unsaturated carboxylic acid with unsaturated phosphonic acid, styrene, vinyl ether or the like.
지방족 다가알코올 화합물과 불포화 카르복실산의 에스테르 모노머의 구체예로서는, 아크릴산 에스테르로서 에틸렌글리콜 디아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜 디아크릴레이트, 1,3-부탄디올디아크릴레이트, 테트라메틸렌글리콜 디아크릴레이트, 프로필렌글리콜 디아크릴레이트, 네오펜틸글리콜 디아크릴레이트, 트리메티롤프로판 트리아크릴레이트, 트리메티롤프로판 트리(아크릴로일옥시프로필)에테르, 트리메티롤에탄 트리아크릴레이트, 헥산디올 디아크릴레이트, 1,4-시클로헥산디올 디아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜 디아크릴레이트, 펜타에리스리톨 디아크릴레이트, 펜타에리스리톨 트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨 테트라아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 디아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트, 소르비톨 트리아크릴레이트, 소르비톨 테트라아크릴레이트, 소르비톨 펜타아크릴레이트, 소르 비톨 헥사아크릴레이트, 트리(아크릴로일옥시에틸) 이소시아누레이트, 폴리에스테르아크릴레이트 올리고머, 및 이소시아누르산 EO변성 트리아크릴레이트 등을 들 수 있고;Specific examples of ester monomers of aliphatic polyhydric alcohol compounds and unsaturated carboxylic acids include ethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, 1,3-butanediol diacrylate, tetramethylene glycol diacrylate, and propylene glycol as acrylic acid esters. Diacrylate, neopentylglycol diacrylate, trimetholpropane triacrylate, trimetholpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, trimetholethane triacrylate, hexanediol diacrylate, 1,4 -Cyclohexanediol diacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol diacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, sorbitol triacrylic re Sorbitol tetraacrylate, sorbitol pentaacrylate, sorbitol hexaacrylate, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, polyester acrylate oligomer, isocyanuric acid EO modified triacrylate, etc. Can;
메타크릴산 에스테르로서는 테트라메틸렌글리콜 디메타크릴레이트, 트리에틸렌글리콜 디메타크릴레이트, 네오펜틸글리콜 디메타크릴레이트, 트리메티롤프로판 트리메타크릴레이트, 트리메티롤에탄 트리메타크릴레이트, 에틸렌글리콜 디메타크릴레이트, 1,3-부탄디올 디메타크릴레이트, 헥산디올 디메타크릴레이트, 펜타에리스리톨 디메타크릴레이트, 펜타에리스리톨 트리메타크릴레이트, 펜타에리스리톨 테트라메타크릴레이트, 디펜타에리스리톨 디메타크릴레이트, 디펜타에리스리톨 헥사메타크릴레이트, 소르비톨 트리메타크릴레이트, 소르비톨 테트라메타크릴레이트, 비스[p-(3-메타크릴옥시-2-히드록시프로폭시)페닐]디메틸메탄, 및 비스-[p-(메타크릴옥시에톡시)페닐]디메틸메탄 등을 들 수 있으며;As methacrylic acid ester, tetramethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, neopentylglycol dimethacrylate, trimetholpropane trimethacrylate, trimetholethane trimethacrylate, ethylene glycol dimethacrylate Methacrylate, 1,3-butanediol dimethacrylate, hexanediol dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol dimethacrylate, Dipentaerythritol hexamethacrylate, sorbitol trimethacrylate, sorbitol tetramethacrylate, bis [p- (3-methacryloxy-2-hydroxypropoxy) phenyl] dimethylmethane, and bis- [p- ( Methacryloxyethoxy) phenyl] dimethyl methane, etc .;
이타콘산 에스테르로서는 에틸렌글리콜 디이타코네이트, 프로필렌글리콜 디이타코네이트, 1,3-부탄디올 디이타코네이트, 1,4-부탄디올 디이타코네이트, 테트라메틸렌글리콜 디이타코네이트, 펜타에리스리톨 디이타코네이트, 및 소르비톨 테트라이타코네이트 등을 들 수 있고;As the itaconic acid ester, ethylene glycol diitaconate, propylene glycol diitaconate, 1,3-butanediol diitaconate, 1,4-butanediol diitaconate, tetramethylene glycol diitaconate, pentaerythritol diitaconate, and sorbitol tetrayi Taconate, etc .;
크로톤산 에스테르로서는 에틸렌글리콜 디크로토네이트, 테트라메틸렌글리콜 디크로토네이트, 펜타에리스리톨 디크로토네이트, 및 소르비톨 테트라디크로토네이트 등을 들 수 있고;Examples of the crotonic acid esters include ethylene glycol dicrotonate, tetramethylene glycol dicrotonate, pentaerythritol dicrotonate, sorbitol tetradicrotonate, and the like;
이소크로톤산 에스테르로서는 에틸렌글리콜 디이소크로토네이트, 펜타에리스 리톨 디이소크로토네이트, 및 소르비톨 테트라이소크로토네이트 등을 들 수 있고;As isocrotonic acid ester, ethylene glycol diisocrotonate, pentaerythritol diisocrotonate, sorbitol tetraisocrotonate, etc. are mentioned;
말레산 에스테르로서는 에틸렌글리콜 디말레이트, 트리에틸렌글리콜 디말레이트, 펜타에리스리톨 디말레이트, 및 소르비톨 테트라말레이트 등을 들 수 있다.Examples of the maleic acid esters include ethylene glycol dimaleate, triethylene glycol dimaleate, pentaerythritol dimaleate, and sorbitol tetramaleate.
그 밖의 에스테르의 예로서, 예를 들면 일본 특허공고 소 51-47334호 공보, 일본 특허공개 소 57-196231호 공보에 기재된 지방족 알코올계 에스테르류나, 일본 특허공개 소 59-5240호 공보, 일본 특허공개 소 59-5241호 공보, 일본 특허공개 평 2-226149호 공보에 기재된 방향족계 골격을 갖는 에스테르, 일본 특허공개 평 1-165613호 공보에 기재된 아미노기를 함유하는 에스테르 등도 바람직하게 사용된다. 또한 상술의 에스테르 모노머는 혼합물로서도 사용할 수 있다.As examples of other esters, for example, the aliphatic alcohol esters described in JP-A-51-47334, JP-A-57-196231, JP-A-59-5240, and JP-A-JP The ester which has the aromatic skeleton of Unexamined-Japanese-Patent No. 59-5241, Unexamined-Japanese-Patent No. 2-226149, the ester containing the amino group of Unexamined-Japanese-Patent No. 1-165613, etc. are used preferably. In addition, the above-mentioned ester monomer can be used also as a mixture.
또한 지방족 다가아민 화합물과 불포화 카르복실산의 아미드 모노머의 구체예로서는, 메틸렌비스-아크릴아미드, 메틸렌비스-메타크릴아미드, 1,6-헥사메틸렌비스-아크릴아미드, 1,6-헥사메틸렌비스-메타크릴아미드, 디에틸렌트리아민트리스아크릴아미드, 크실릴렌비스아크릴아미드, 및 크실릴렌비스메타크릴아미드 등을 들 수 있다. 그 밖의 바람직한 아미드계 모노머의 예로서는, 일본 특허공고 소 54-21726호 공보에 기재된 시클로헥실렌 구조를 갖는 아미드를 들 수 있다.Moreover, as an example of the amide monomer of an aliphatic polyvalent amine compound and an unsaturated carboxylic acid, methylenebis- acrylamide, methylenebis-methacrylamide, 1, 6- hexamethylenebis- acrylamide, 1, 6- hexamethylene bis- meta Krylamide, diethylene triamine trisacrylamide, xylylenebisacrylamide, xylylenebismethacrylamide, etc. are mentioned. As an example of another preferable amide monomer, the amide which has the cyclohexylene structure of Unexamined-Japanese-Patent No. 54-21726 is mentioned.
또한 이소시아네이트와 수산기의 부가반응을 이용하여 제조되는 우레탄계 부가 중합성 화합물도 바람직하며, 그러한 구체예로서는, 예를 들면 일본 특허공고 소 48-41708호 공보 중에 기재되어 있는 1분자에 2개 이상의 이소시아네이트기를 갖는 폴리이소시아네이트 화합물에, 하기 일반식(V)로 나타내어지는 수산기를 함유하는 비닐 모노머를 부가시켜서 얻어진 1분자 중에 2개 이상의 중합성 비닐기를 함 유하는 비닐우레탄 화합물 등을 들 수 있다.Moreover, the urethane type addition polymeric compound manufactured using addition reaction of an isocyanate and a hydroxyl group is also preferable, As such a specific example, it has two or more isocyanate groups in 1 molecule described in Unexamined-Japanese-Patent No. 48-41708, for example. The vinylurethane compound etc. which contain 2 or more polymerizable vinyl groups in 1 molecule obtained by adding the vinyl monomer containing the hydroxyl group represented by following General formula (V) to a polyisocyanate compound are mentioned.
CHCH 22 =C(R= C (R 44 )COOCH) COOCH 22 CH(RCH (R 55 )OH (V)) OH (V)
(단, R4 및 R5는 각각 독립적으로 H 또는 CH3을 나타낸다.)(However, R 4 and R 5 each independently represent H or CH 3. )
또한 일본 특허공개 소 51-37193호 공보, 일본 특허공고 평 2-32293호 공보, 일본 특허공고 평 2-16765호 공보에 기재되어 있는 바와 같은 우레탄아크릴레이트류나, 일본 특허공고 소 58-49860호 공보, 일본 특허공고 소 56-17654호 공보, 일본 특허공고 소 62-39417호 공보, 일본 특허공고 소 62-39418호 공보에 기재된 에틸렌옥사이드계 골격을 갖는 우레탄 화합물류도 바람직하다. 또한 일본 특허공개 소 63-277653호 공보, 일본 특허공개 소 63-260909호 공보, 일본 특허공개 평 1-105238호 공보에 기재되는 분자 내에 아미노 구조나 술피드 구조를 갖는 부가중합성 화합물류를 사용하는 것에 의해서는, 매우 감광 스피드가 우수한 광중합성 조성물을 얻을 수 있다.Moreover, urethane acrylates as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 51-37193, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-32293, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-16765, and Japanese Patent Publication No. 58-49860 Also preferred are urethane compounds having an ethylene oxide-based skeleton described in JP-A-56-17654, JP-A-62-39417, and JP-A-62-39418. In addition, addition polymerizable compounds having an amino structure or sulfide structure in the molecules described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-277653, Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-260909, and Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-105238 are used. By doing this, the photopolymerizable composition which is very excellent in the photosensitive speed can be obtained.
그 밖의 예로서는, 일본 특허공개 소 48-64183호 공보, 일본 특허공고 소 49-43191호 공보, 일본 특허공고 소 52-30490호 공보의 각 공보에 기재되어 있는 폴리에스테르아크릴레이트류, 에폭시 수지와 (메타)아크릴산을 반응시켜서 얻어진 에폭시아크릴레이트류 등의 다관능의 아크릴레이트 및 메타크릴레이트를 들 수 있다. 또한 일본 특허공고 소 46-43946호 공보, 일본 특허공고 평 1-40337호 공보, 일본 특허공고 평 1-40336호 공보에 기재된 특정의 불포화 화합물이나, 일본 특허 공개 평 2-25493호 공보에 기재된 비닐포스폰산계 화합물 등도 들 수 있다. 또한 어떤 경우에는, 일본 특허공개 소 61-22048호 공보에 기재된 퍼플루오로알킬기를 함유하는 구조가 바람직하게 사용된다. 또한 일본 접착 협회지(Journal of the Adhesion Society of Japan)Vol. 20, No. 7, 300∼308페이지(1984년)에 기재되어 있는 광경화성 모노머 및 올리고머도 사용할 수 있다.As other examples, polyester acrylates, epoxy resins and the like described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 48-64183, Japanese Patent Publication No. 49-43191 and Japanese Patent Publication No. 52-30490 And polyfunctional acrylates and methacrylates such as epoxy acrylates obtained by reacting methacrylic acid. Moreover, the specific unsaturated compound of Unexamined-Japanese-Patent No. 46-43946, Unexamined-Japanese-Patent No. 1-40337, Unexamined-Japanese-Patent No. 1-40336, and the vinyl of Unexamined-Japanese-Patent No. 2-25493 are mentioned. Phosphonic acid type compounds etc. are mentioned. Moreover, in some cases, the structure containing the perfluoroalkyl group of Unexamined-Japanese-Patent No. 61-22048 is used preferably. See also Journal of the Adhesion Society of Japan Vol. 20, No. Photocurable monomers and oligomers described in 7,300 to 308 pages (1984) can also be used.
이것들의 중합성 화합물에 대해서, 그 구조, 단독 사용인가 병용인가, 첨가량 등의 사용 방법의 상세한 것은 최종적인 감재의 성능 설계에 맞춰서 임의로 설정할 수 있다. 예를 들면 다음과 같은 관점으로부터 선택된다.About these polymeric compounds, the detail of usage methods, such as the structure, single use, combined use, and addition amount, can be arbitrarily set according to the performance design of a final sensing material. For example, it selects from the following viewpoints.
감도의 점에서는 1분자당의 불포화기 함량이 많은 구조가 바람직하고, 대부분의 경우 2관능 이상이 바람직하다. 또한 착색 화상부 즉, 감광성 착색 조성물층의 강도를 높게 하기 위해서는 3관능 이상의 것이 좋다. 또한 다른 관능수 및/또는 다른 중합성 기(예를 들면 아크릴산 에스테르, 메타크릴산 에스테르, 스티렌계 화합물, 비닐에테르계 화합물)의 것을 병용함으로써 감도와 강도의 양쪽을 조절하는 방법도 유효하다. 경화 감도의 관점으로부터, (메타)아크릴산 에스테르 구조를 2개 이상 함유하는 화합물을 사용하는 것이 바람직하고, 3개 이상 함유하는 화합물을 사용하는 것이 보다 바람직하며, 4개 이상 함유하는 화합물을 사용하는 것이 가장 바람직하다. 또한 경화 감도, 및 미노광부의 현상성의 관점에서는 EO 변성체를 함유하는 것이 바람직하다. 또한 경화 감도, 및 노광부 강도의 관점에서는 우레탄 결합을 함유하는 것이 바람직하다.In terms of sensitivity, a structure having a high content of unsaturated groups per molecule is preferable, and in most cases, a bifunctional or higher function is preferable. Moreover, in order to raise the intensity | strength of a coloring image part, ie, the photosensitive coloring composition layer, a trifunctional or more than trifunctional thing is good. Moreover, the method of adjusting both sensitivity and intensity | strength by using together the thing of another functional water and / or another polymerizable group (for example, acrylic acid ester, methacrylic acid ester, a styrene type compound, and a vinyl ether type compound) is also effective. It is preferable to use the compound containing two or more (meth) acrylic acid ester structures from a viewpoint of hardening sensitivity, It is more preferable to use the compound containing three or more, It is preferable to use the compound containing four or more Most preferred. Moreover, it is preferable to contain an EO modified body from a hardening sensitivity and the developability of an unexposed part. Moreover, it is preferable to contain a urethane bond from a viewpoint of hardening sensitivity and exposure part strength.
또한 감광성 착색 조성물층 중의 다른 성분[예를 들면 바인더 폴리머, 개시 제, 착색제(안료 또는 염료 등)]과의 상용성 및/또는 분산성에 대하여도, 부가중합 화합물의 선택 및 사용법은 중요한 요인이다. 예를 들면 저순도 화합물의 사용이나, 2종 이상의 병용에 의해 상용성을 향상시킬 수 있는 경우가 있다. 또한 기판과의 밀착성을 향상시킬 목적으로 특정의 구조를 선택할 수도 있다.The addition and use of addition polymer compounds are also important factors for compatibility and / or dispersibility with other components (eg, binder polymers, initiators, colorants (pigments or dyes, etc.)) in the photosensitive coloring composition layer. For example, compatibility may be improved by using a low-purity compound and using 2 or more types together. Moreover, a specific structure can also be selected for the purpose of improving adhesiveness with a board | substrate.
이상의 관점으로부터, 비스페놀A 디아크릴레이트, 비스페놀A 디아크릴레이트 EO변성체, 트리메티롤프로판 트리아크릴레이트, 트리메티롤프로판 트리(아크릴로일옥시프로필)에테르, 트리메티롤에탄 트리아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜 디아크릴레이트, 펜타에리스리톨 디아크릴레이트, 펜타에리스리톨 트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨 테트라아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 테트라아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 펜타아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트, 소르비톨 트리아크릴레이트, 소르비톨 테트라아크릴레이트, 소르비톨 펜타아크릴레이트, 소르비톨 헥사아크릴레이트, 트리(아크릴로일옥시에틸) 이소시아누레이트, 펜타에리스리톨 테트라아크릴레이트 EO변성체, 및 디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트 EO변성체 등이 바람직한 예로서 들 수 있다. 또한 시판품으로서는, 우레탄 올리고머 UAS-10, UAB-140[니폰 세이시 케미컬(주)제], DPHA[니폰 카야쿠사제], UA-306H, UA-306T, UA-306I, AH-600, T-600, AI-600[쿄에이샤 카가쿠 고교(주)제]이 바람직하다.From the above viewpoints, bisphenol A diacrylate, bisphenol A diacrylate EO modified substance, trimetholpropane triacrylate, trimetholpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, trimetholethane triacrylate, tetra Ethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, sorbitol triacrylate, Sorbitol tetraacrylate, sorbitol pentaacrylate, sorbitol hexaacrylate, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, pentaerythritol tetraacrylate EO modified, dipentaerythritol hexaacrylate EO modified, etc. Preferred examples are given. Moreover, as a commercial item, urethane oligomer UAS-10, UAB-140 [made by Nippon Seishi Chemical Co., Ltd.], DPHA [made by Nippon Kayaku Co., Ltd.], UA-306H, UA-306T, UA-306I, AH-600, T-600 And AI-600 (manufactured by Kyoeisha Kagaku Kogyo Co., Ltd.) are preferred.
그중에서도, 비스페놀A 디아크릴레이트 EO변성체, 펜타에리스리톨 트리아크릴레이트, 펜타에리스리톨 테트라아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 펜타아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트, 트리(아크릴로일옥시에틸) 이소시아누레이트, 펜타에리스리톨 테트라아크릴레이트 EO변성체, 디펜타에리스리톨 헥사아크릴 레이트 EO변성체, 및 시판품으로서는, DPHA(니폰카야쿠사제), UA-306H, UA-306T, UA-306I, AH-600, T-600, AI-600[쿄에이샤 카가쿠 고교(주)제]이 보다 바람직하다.Among them, bisphenol A diacrylate EO modified product, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, As a pentaerythritol tetraacrylate EO modified body, dipentaerythritol hexaacrylate EO modified body, and a commercial item, DPHA (made by Nippon Kayaku Co., Ltd.), UA-306H, UA-306T, UA-306I, AH-600, T-600 And AI-600 (manufactured by Kyoeisha Kagaku Kogyo Co., Ltd.) are more preferable.
(C-1) 중합성 화합물의 함유량은, 본 발명의 감광성 착색성 조성물층 중의 전체 고형분 중 5∼55질량%인 것이 바람직하고, 10∼50질량%인 것이 보다 바람직하며, 15∼45질량%인 것이 더욱 바람직하다.It is preferable that content of (C-1) polymeric compound is 5-55 mass% in the total solid in the photosensitive coloring composition layer of this invention, It is more preferable that it is 10-50 mass%, It is 15-45 mass% More preferred.
(D) 광중합 개시제(D) photoinitiator
본 발명의 감광성 착색성 조성물은 (D) 광중합 개시제를 함유하는 것이 바람직하다.It is preferable that the photosensitive coloring composition of this invention contains the (D) photoinitiator.
상기 광중합 개시제는 광에 의해 분해되고, 상기 (C-1) 중합성 화합물의 중합을 개시 및 촉진하는 화합물이며, 파장 300∼500㎚의 영역에 흡수를 갖는 것이 바람직하다. 또한 상기 광중합 개시제는 단독으로, 또는 2종 이상을 병용해서 사용할 수 있다.The said photoinitiator is a compound which decomposes | disassembles with light, and starts and promotes superposition | polymerization of the said (C-1) polymeric compound, It is preferable to have absorption in the area | region of wavelength 300-500 nm. In addition, the said photoinitiator can be used individually or in combination of 2 or more types.
상기 광중합 개시제로서는, 예를 들면 유기 할로겐화 화합물, 옥시디아졸 화합물, 카르보닐 화합물, 케탈 화합물, 벤조인 화합물, 아크리딘 화합물, 유기과산화 화합물, 아조 화합물, 쿠마린 화합물, 아지드 화합물, 메탈로센 화합물, 헥사아릴비이미다졸 화합물, 유기붕산 화합물, 디술폰산 화합물, 옥심에스테르 화합물, 오늄염 화합물, 아실포스핀(옥사이드) 화합물을 들 수 있다.As said photoinitiator, an organic halogenated compound, an oxydiazole compound, a carbonyl compound, a ketal compound, a benzoin compound, an acridine compound, an organic peroxide compound, an azo compound, a coumarin compound, an azide compound, a metallocene, for example A compound, a hexaaryl biimidazole compound, an organic boric acid compound, a disulfonic acid compound, an oxime ester compound, an onium salt compound, an acyl phosphine (oxide) compound is mentioned.
유기 할로겐화 화합물의 구체예로서는, 와카바야시 등, 「Bull Chem. Soc Japan」 42, 2924(1969), 미국 특허 제3,905,815호 명세서, 일본 특허공고 소 46-4605호 공보, 일본 특허공개 소 48-36281호 공보, 일본 특허공개 소 55-32070호 공 보, 일본 특허공개 소 60-239736호 공보, 일본 특허공개 소 61-169835호 공보, 일본 특허공개 소 61-169837호 공보, 일본 특허공개 소 62-58241호 공보, 일본 특허공개 소 62-212401호 공보, 일본 특허공개 소 63-70243호 공보, 일본 특허공개 소 63-298339호 공보, M.P.Hutt "Journal of Heterocyclic Chemistry" 1(No 3), (1970)」등에 기재된 화합물을 들 수 있고, 특히, 트리할로메틸기가 치환된 옥사졸 화합물, s-트리아진 화합물을 들 수 있다.Specific examples of the organic halogenated compound include Wakabayashi et al., "Bull Chem. Soc Japan '' 42, 2924 (1969), US Patent No. 3,905,815, Japanese Patent Publication No. 46-4605, Japanese Patent Publication No. 48-36281, Japanese Patent Publication No. 55-32070, Japanese Patent Japanese Patent Laid-Open No. 60-239736, Japanese Patent Laid-Open No. 61-169835, Japanese Patent Laid-Open No. 61-169837, Japanese Patent Laid-Open No. 62-58241, Japanese Patent Laid-Open No. 62-212401, Japanese Patent Publication The compound of Unexamined-Japanese-Patent No. 63-70243, Unexamined-Japanese-Patent No. 63-298339, MPHutt "Journal of Heterocyclic Chemistry" 1 (No 3), (1970), etc. are mentioned, Especially, a trihalomethyl group And an sazole trisazine compound in which is substituted.
s-트리아진 화합물의 예로서는, 보다 바람직하게는 적어도 하나의 모노-, 디-, 또는 트리-할로겐 치환 메틸기가 s-트리아진환에 결합된 s-트리아진 유도체를 들 수 있고, 구체예로서는, 2,4,6-트리스(모노클로로메틸)-s-트리아진, 2,4,6-트리스(디클로로메틸)-s-트리아진, 2,4,6-트리스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-메틸-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-n-프로필-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(α,α,β-트리클로로에틸)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-페닐-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(p-메톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(3,4-에폭시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(p-클로로페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-[1-(p-메톡시페닐)-2,4-부타디에닐]-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-스티릴-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(p-메톡시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(p-i-프로필옥시스티릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(p-톨릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-나톡시나프틸)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-페닐티오-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-벤질티오-4,6-비 스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 4-(o-브로모-p-N,N-(디에톡시카르보닐아미노)-페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2,4,6-트리스(디브로모메틸)-s-트리아진, 2,4,6-트리스(트리브로모메틸)-s-트리아진, 2-메틸-4,6-비스(트리브로모메틸)-s-트리아진, 및 2-메톡시-4,6-비스(트리브로모메틸)-s-트리아진 등을 들 수 있다.As an example of an s-triazine compound, More preferably, the s-triazine derivative which the at least 1 mono-, di-, or tri-halogen substituted methyl group couple | bonded with the s-triazine ring is mentioned, As a specific example, 2, 4,6-tris (monochloromethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (dichloromethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine , 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-n-propyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (α, α, β-trichloroethyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methoxy Phenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (3,4-epoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p -Chlorophenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [1- (p-methoxyphenyl) -2,4-butadienyl] -4,6-bis (trichloro Rommethyl) -s-triazine, 2-styryl-4 , 6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (pi-propyloxysty Ryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-tolyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-nathoxy Naphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-phenylthio-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-benzylthio-4,6- Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-bromo-pN, N- (diethoxycarbonylamino) -phenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-tri Azine, 2,4,6-tris (dibromomethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (tribromomethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis ( Tribromomethyl) -s-triazine, 2-methoxy-4,6-bis (tribromomethyl) -s-triazine, and the like.
옥시디아졸 화합물의 예로서는, 2-트리클로로메틸-5-스티릴-1,3,4-옥소디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(시아노스티릴)-1,3,4-옥소디아졸, 2-트리클로로메틸-5-(나프토-1-일)-1,3,4-옥소디아졸, 및 2-트리클로로메틸-5-(4-스티릴)스티릴-1,3,4-옥소디아졸 등을 들 수 있다.Examples of the oxydiazole compound include 2-trichloromethyl-5-styryl-1,3,4-oxodiazole and 2-trichloromethyl-5- (cyanostyryl) -1,3,4-oxodia Sol, 2-trichloromethyl-5- (naphtho-1-yl) -1,3,4-oxodiazole, and 2-trichloromethyl-5- (4-styryl) styryl-1,3 And 4-oxodiazole.
카르보닐 화합물의 예로서는, 벤조페논, 미힐러케톤, 2-메틸벤조페논, 3-메틸벤조페논, 4-메틸벤조페논, 2-클로로벤조페논, 4-브로모벤조페논, 및 2-카르복시벤조페논 등의 벤조페논 유도체, 2,2-디메톡시-2-페닐아세토페논, 2,2-디에톡시아세토페논, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, α-히드록시-2-메틸페닐프로파논, 1-히드록시-1-메틸에틸-(p-이소프로필페닐)케톤, 1-히드록시-1-(p-도데실페닐)케톤, 2-메틸-1-(4'-(메틸티오)페닐)-2-모르폴리노-1-프로파논, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논-1, 2,4,6-트리메틸벤조일-디페닐-포스핀옥사이드, 1,1,1-트리클로로메틸-(p-부틸페닐)케톤, 및 2-벤질-2-디메틸아미노-4-모르폴리노부틸로페논 등의 아세토페논 유도체, 티옥산톤, 2-에틸티옥산톤, 2-이소프로필티옥산톤, 2-클로로티옥산톤, 2,4-디메틸티옥산톤, 2,4-디에틸티옥산톤, 및 2,4-디이소프로필티옥산톤 등의 티옥산톤 유도체, 그리고 p-디메틸아미노벤조산 에틸, 및 p-디에틸아미노벤조산 에틸 등의 벤조산 에스테르 유도체 등을 들 수 있다.Examples of the carbonyl compound include benzophenone, Michler's ketone, 2-methylbenzophenone, 3-methylbenzophenone, 4-methylbenzophenone, 2-chlorobenzophenone, 4-bromobenzophenone, and 2-carboxybenzophenone Benzophenone derivatives such as 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, α-hydroxy-2-methylphenylpropane, 1- Hydroxy-1-methylethyl- (p-isopropylphenyl) ketone, 1-hydroxy-1- (p-dodecylphenyl) ketone, 2-methyl-1- (4 '-(methylthio) phenyl)- 2-morpholino-1-propanone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine Acetophenone derivatives such as oxides, 1,1,1-trichloromethyl- (p-butylphenyl) ketone, and 2-benzyl-2-dimethylamino-4-morpholinobutyllophenone, thioxanthone, 2- Ethyl thioxanthone, 2-isopropyl thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethyl thioxanthone, 2,4-di Thioxanthone derivatives, such as ethyl thioxanthone and 2, 4- diisopropyl thioxanthone, and benzoic acid ester derivatives, such as p-dimethylaminobenzoic acid ethyl and p-diethylaminobenzoic acid ethyl, etc. are mentioned.
케탈 화합물의 예로서는, 벤질디메틸케탈, 및 벤질-β-메톡시에틸에틸아세탈 등을 들 수 있다.As an example of a ketal compound, benzyl dimethyl ketal, benzyl- (beta)-methoxyethyl ethyl acetal, etc. are mentioned.
벤조인 화합물의 예로서는, m-벤조인이소프로필에테르, 벤조인이소부틸에테르, 벤조인메틸에테르, 및 메틸o-벤조일벤조에이트 등을 들 수 있다.Examples of the benzoin compound include m-benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin methyl ether, methyl o-benzoylbenzoate and the like.
아크리딘 화합물의 예로서는, 9-페닐아크리딘, 9-피리딜아크리딘, 9-피라지닐아크리딘, 1,2-디(9-아크리디닐)에탄, 1,3-디(9-아크리디닐)프로판, 1,4-디(9-아크리디닐)부탄, 1,5-디(9-아크리디닐)펜탄, 1,6-디(9-아크리디닐)헥산, 1,7-디(9-아크리디닐)헵탄, 1,8-디(9-아크리디닐)옥탄, 1,9-디(9-아크리디닐)노난, 1,10-디(9-아크리디닐)데칸, 1,11-디(9-아크리디닐)운데칸, 및 1,12-디(9-아크리디닐)도데칸 등의 디(9-아크리디닐)알칸 등을 들 수 있다.Examples of the acridine compound include 9-phenylacridine, 9-pyridylacridine, 9-pyrazinylacridine, 1,2-di (9-acridinyl) ethane, 1,3-di (9 -Acridinyl) propane, 1,4-di (9-acridinyl) butane, 1,5-di (9-acridinyl) pentane, 1,6-di (9-acridinyl) hexane, 1 , 7-di (9-acridinyl) heptane, 1,8-di (9-acridinyl) octane, 1,9-di (9-acridinyl) nonane, 1,10-di (9-arc And di (9-acridinyl) alkanes such as 1,11-di (9-acridinyl) undecane and 1,12-di (9-acridinyl) dodecane. have.
유기과산화 화합물의 예로서는, 트리메틸시클로헥사논퍼옥사이드, 아세틸아세톤퍼옥사이드, 1,1-비스(tert-부틸퍼옥시)-3,3,5-트리메틸시클로헥산, 1,1-비스(tert-부틸퍼옥시)시클로헥산, 2,2-비스(tert-부틸퍼옥시)부탄, tert-부틸하이드로퍼옥사이드, 쿠멘하이드로퍼옥사이드, 디이소프로필벤젠하이드로퍼옥사이드, 2,5-디메틸헥산-2,5-디하이드로퍼옥사이드, 1,1,3,3-테트라메틸부틸하이드로퍼옥사이드, tert-부틸쿠밀퍼옥사이드, 디쿠밀퍼옥사이드, 2,5-디메틸-2,5-디(tert-부틸퍼옥시)헥산, 2,5-옥사노일퍼옥사이드, 과산화 숙신산, 과산화 벤조일, 2,4-디클로로벤조일퍼옥사이드, 디이소프로필퍼옥시디카보네이트, 디-2-에틸헥실퍼옥시디카보네이트, 디-2-에톡시에틸퍼옥시디카보네이트, 디메톡시이소프로필퍼옥시카보네이트, 디(3-메틸-3-메톡시부틸)퍼옥시디카보네이트, tert-부틸퍼옥시아세테이트, tert-부틸퍼옥시피발레이트, tert-부틸퍼옥시네오데카노에이트, tert-부틸퍼옥시옥타노에이트, tert-부틸퍼옥시라울레이트, 터셔리 카보네이트, 3,3',4,4'-테트라-(t-부틸퍼옥시카르보닐)벤조페논, 3,3',4,4'-테트라-(t-헥실퍼옥시카르보닐)벤조페논, 3,3',4,4'-테트라-(p-이소프로필쿠밀퍼옥시카르보닐)벤조페논, 카르보닐디(t-부틸퍼옥시 2수소 2프탈레이트), 및 카르보닐디(t-헥실퍼옥시 2수소 2프탈레이트) 등을 들 수 있다.Examples of the organic peroxide compound include trimethylcyclohexanone peroxide, acetylacetone peroxide, 1,1-bis (tert-butylperoxy) -3,3,5-trimethylcyclohexane, 1,1-bis (tert-butylper Oxy) cyclohexane, 2,2-bis (tert-butylperoxy) butane, tert-butylhydroperoxide, cumene hydroperoxide, diisopropylbenzenehydroperoxide, 2,5-dimethylhexane-2,5- Dihydroperoxide, 1,1,3,3-tetramethylbutylhydroperoxide, tert-butylcumylperoxide, dicumylperoxide, 2,5-dimethyl-2,5-di (tert-butylperoxy) hexane , 2,5-oxanoyl peroxide, succinic peroxide, benzoyl peroxide, 2,4-dichlorobenzoyl peroxide, diisopropyl peroxydicarbonate, di-2-ethylhexyl peroxydicarbonate, di-2-ethoxyethylperox CDicarbonate, dimethoxyisopropylperoxycarbonate, di (3-methyl-3-methoxybutyl) peroxydicarbo Nitrate, tert-butylperoxyacetate, tert-butylperoxypivalate, tert-butylperoxyneodecanoate, tert-butylperoxyoctanoate, tert-butylperoxy laurate, tertiary carbonate, 3, 3 ', 4,4'-tetra- (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,3', 4,4'-tetra- (t-hexylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,3 ' , 4,4'-tetra- (p-isopropylcumylperoxycarbonyl) benzophenone, carbonyldi (t-butylperoxy dihydrogen 2phthalate), and carbonyldi (t-hexylperoxy dihydrogen 2 Phthalate) etc. are mentioned.
아조 화합물의 예로서는, 일본 특허공개 평 8-108621호 공보에 기재된 아조화합물 등을 들 수 있다.As an example of an azo compound, the azo compound etc. which were described in Unexamined-Japanese-Patent No. 8-108621 are mentioned.
쿠마린 화합물의 예로서는, 3-메틸-5-아미노-((s-트리아진-2-일)아미노)-3-페닐쿠마린, 3-클로로-5-디에틸아미노-((s-트리아진-2-일)아미노)-3-페닐쿠마린, 및 3-부틸-5-디메틸아미노-((s-트리아진-2-일)아미노)-3-페닐쿠마린 등을 들 수 있다.Examples of the coumarin compound include 3-methyl-5-amino-((s-triazin-2-yl) amino) -3-phenylcoumarin, 3-chloro-5-diethylamino-((s-triazine-2 -Yl) amino) -3-phenylcoumarin, 3-butyl-5-dimethylamino-((s-triazin-2-yl) amino) -3-phenylcoumarin, and the like.
아지드 화합물의 예로서는, 미국 특허 제2848328호 명세서, 미국 특허 제2852379호 명세서 및 미국 특허 제2940853호 명세서에 기재된 유기 아지드 화합물, 2,6-비스(4-아지드벤질리덴)-4-에틸시클로헥사논(BAC-E) 등을 들 수 있다.Examples of azide compounds include the organic azide compounds described in US Pat. No. 2848328, US Pat. No. 2852379, and US Pat. No. 2940853, 2,6-bis (4-azidebenzylidene) -4-ethyl. Cyclohexanone (BAC-E) etc. are mentioned.
메탈로센 화합물의 예로서는, 일본 특허공개 소 59-152396호 공보, 일본 특허공개 소 61-151197호 공보, 일본 특허공개 소 63-41484호 공보, 일본 특허공개 평 2-249호 공보, 일본 특허공개 평 2-4705호 공보, 일본 특허공개 평 5-83588호 공보에 기재된 여러 가지 티타노센 화합물, 예를 들면 디-시클로펜타디에닐-Ti-비스-페닐, 디-시클로펜타디에닐-Ti-비스-2,6-디플루오로펜-1-일, 디-시클로펜타디에 닐-Ti-비스-2,4-디-플루오로펜-1-일, 디-시클로펜타디에닐-Ti-비스-2,4,6-트리플루오로펜-1-일, 디-시클로펜타디에닐-Ti-비스-2,3,5,6-테트라플루오로펜-1-일, 디-시클로펜타디에닐-Ti-비스-2,3,4,5,6-펜타플루오로펜-1-일, 디-메틸시클로펜타디에닐-Ti-비스-2,6-디플루오로펜-1-일, 디-메틸시클로펜타디에닐-Ti-비스-2,4,6-트리플루오로펜-1-일, 디-메틸시클로펜타디에닐-Ti-비스-2,3,5,6-테트라플루오로펜-1-일, 디-메틸시클로펜타디에닐-Ti-비스-2,3,4,5,6-펜타플루오로펜-1-일, 및 일본 특허공개 평 1-304453호 공보 및 일본 특허공개 평 1-152109호 공보에 기재된 철-아렌(arene) 착체 등을 들 수 있다.As an example of a metallocene compound, Unexamined-Japanese-Patent No. 59-152396, Unexamined-Japanese-Patent No. 61-151197, Unexamined-Japanese-Patent No. 63-41484, Unexamined-Japanese-Patent No. 2-249, Unexamined-Japanese-Patent No. Various titanocene compounds described in JP-A-2-4705 and JP-A-5-83588, for example, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-phenyl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis -2,6-difluorophen-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,4-di-fluorophen-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis -2,4,6-trifluorophen-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,5,6-tetrafluorophen-1-yl, di-cyclopentadienyl -Ti-bis-2,3,4,5,6-pentafluorophen-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,6-difluorophen-1-yl, di -Methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,4,6-trifluorophen-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,5,6-tetra Roofen-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,4,5,6-pentafluorophen-1-yl, and Japanese Patent Laid-Open No. 1-304453; and The iron-arene complex of Unexamined-Japanese-Patent No. 1-152109, etc. are mentioned.
헥사아릴비이미다졸 화합물의 예로서는, 일본 특허공고 평 6-29285호 공보, 미국 특허 제3,479,185호, 동 제4,311,783호, 동 제4,622,286호 등의 각 명세서에 기재된 여러 가지의 화합물을 들 수 있고, 구체예로서는, 2,2'-비스(o-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(o-브로모페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(o,p-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(o-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라(m-메톡시페닐)비이미다졸, 2,2'-비스(o,o'-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(o-니트로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(o-메틸페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 및 2,2'-비스(o-트리플루오로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸 등을 들 수 있다.As an example of a hexaaryl biimidazole compound, the various compound described in each specification, such as Unexamined-Japanese-Patent No. 6-29285, US Patent 3,479,185, 4,311,783, 4,622,286, is mentioned, Examples include 2,2'-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o-bromophenyl) -4,4', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o, p-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o -Chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (m-methoxyphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (o, o'-dichlorophenyl) -4,4', 5, 5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o-nitrophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o-methylphenyl)- 4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (o-trifluorophenyl) -4,4', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, etc. are mentioned. Can be.
유기 붕산염 화합물의 예로서는, 일본 특허공개 소 62-143044호 공보, 일본 특허공개 소 62-150242호 공보, 일본 특허공개 평 9-188685호 공보, 일본 특허공개 평 9-188686호 공보, 일본 특허공개 평 9-188710호 공보, 일본 특허공개 2000-131837호 공보, 일본 특허공개 2002-107916호 공보, 일본 특허 제2764769호 공보, 일본 특허공개 2002-116539호 공보 등의 각 공보, 및, Kunz, Martin "Rad Tech '98. Proceeding April 19-22, 1998, Chicago" 등에 기재되는 유기 붕산염, 일본 특허공개 평 6-157623호 공보, 일본 특허공개 평 6-175564호 공보, 및 일본 특허공개 평 6-175561호 공보에 기재된 유기 붕소 술포늄 착체 또는 유기 붕소 옥소술포늄 착체, 일본 특허공개 평 6-175554호 공보, 및 일본 특허공개 평 6-175553호 공보에 기재된 유기 붕소 요오드늄 착체, 일본 특허공개 평 9-188710호 공보에 기재된 유기 붕소 포스포늄 착체, 및 일본 특허공개 평 6-348011호 공보, 일본 특허공개 평 7-128785호 공보, 일본 특허공개 평 7-140589호 공보, 일본 특허공개 평 7-306527호 공보, 및 일본 특허공개 평 7-292014호 공보 등의 유기 붕소 천이금속 배위착체 등을 들 수 있다.As an example of an organic borate compound, Unexamined-Japanese-Patent No. 62-143044, Unexamined-Japanese-Patent No. 62-150242, Unexamined-Japanese-Patent No. 9-188685, Unexamined-Japanese-Patent No. 9-188686, Unexamined-Japanese-Patent No. 9-188710, Japanese Patent Laid-Open No. 2000-131837, Japanese Patent Laid-Open No. 2002-107916, Japanese Patent No. 2764769, Japanese Patent Laid-Open No. 2002-116539, and Kunz, Martin " Organic borate described in Rad Tech '98. Proceeding April 19-22, 1998, Chicago "and the like, Japanese Patent Laid-Open No. 6-157623, Japanese Patent Laid-Open No. 6-175564, and Japanese Patent Laid-Open No. 6-175561 The organoboron sulfonium complex or organoboron oxosulfonium complex described in the publication, the organic boron iodonium complex described in JP-A-6-175554, and JP-A-6-175553, JP-A-9- Organoboron force described in Japanese Patent No. 188710 Ium complex, and Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-348011, Japanese Patent Laid-Open No. 7-128785, Japanese Patent Laid-Open No. 7-140589, Japanese Patent Laid-Open No. 7-306527, and Japanese Patent Laid-Open No. 7 Organic boron transition metal coordination complexes, such as -292014, etc. are mentioned.
디술폰 화합물의 예로서는, 일본 특허공개 소 61-166544호 공보, 및 일본 특허공개 2002-328465호 명세서 등에 기재되는 화합물 등을 들 수 있다.As an example of a disulfone compound, the compound etc. which are described in Unexamined-Japanese-Patent No. 61-166544, Unexamined-Japanese-Patent No. 2002-328465, etc. are mentioned.
옥심에스테르 화합물의 예로서는, J.C.S. Perkin II(1979) 1653-1660, J.C.S. Perkin II(1979) 156-162, Journal of Photopolymer Science and Technology(1995) 202-232, 및 일본 특허공개 2000-66385호 공보에 기재된 화합물, 및 일본 특허공개 2000-80068호 공보, 및 일본 특허공표 2004-534797호 공보에 기재된 화합물 등을 들 수 있다. 구체예로서는 치바 스페셜티 케미컬즈사제 일가큐어(IRGACURE) OXE-01 및 OXE-02 등이 바람직하다.As an example of an oxime ester compound, J.C.S. Perkin II (1979) 1653-1660, J.C.S. Perkin II (1979) 156-162, Journal of Photopolymer Science and Technology (1995) 202-232, and the compounds described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-66385, and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-80068, and Japanese Patent Publication 2004 The compound etc. which were described in -534797 are mentioned. As a specific example, Irgacure OXE-01, OXE-02, etc. made from Chiba Specialty Chemicals are preferable.
오늄염 화합물의 예로서는, S.I. Schlesinger, Photogr. Sci. Eng., 18,387(1974), 및 T.S.Bal et al, Polymer, 21,423(1980)에 기재된 디아조늄염, 미국 특허 제4,069,055호 명세서, 및 일본 특허공개 평 4-365049호 공보 등에 기재된 암모늄염, 미국 특허 제4,069,055호 명세서, 및 동 4,069,056호 명세서의 각 명세서에 기재된 포스포늄염, 유럽 특허 제104,143호 명세서, 일본 특허공개 평 2-150848호 공보, 및 일본 특허공개 평 2-296514호 공보의 각 공보에 기재된 요오드늄염 등을 들 수 있다.Examples of onium salt compounds include S.I. Schlesinger, Photogr. Sci. Diazonium salts described in Eng., 18,387 (1974), and TSBal et al, Polymer, 21,423 (1980), ammonium salts described in US Pat. No. 4,069,055, and Japanese Patent Application Laid-open No. Hei 4-365049, US Pat. The phosphonium salts described in 4,069,055 specification and 4,069,056 specification, European Patent No. 104,143, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-150848, and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-296514. Iodonium salt etc. are mentioned.
본 발명에 바람직하게 사용할 수 있는 요오드늄염은 디아릴요오드늄염이며, 안정성의 관점으로부터 알킬기, 알콕시기, 또는 아릴옥시기 등의 전자공여성 기로 2개 이상 치환되어 있는 것이 바람직하다.The iodonium salt which can be preferably used in the present invention is a diaryl iodonium salt, and from the viewpoint of stability, it is preferable that two or more iodonium salts are substituted with an electron donating group such as an alkyl group, an alkoxy group, or an aryloxy group.
본 발명에 바람직하게 사용할 수 있는 술포늄염의 예로서는, 유럽 특허 제370,693호 명세서, 동 390,214호 명세서, 동 233,567호 명세서, 동 297,443호 명세서, 동 297,442호 명세서, 미국 특허 제4,933,377호 명세서, 동 4,760,013호 명세서, 동 4,734,444호 명세서, 동 2,833,827호 명세서, 독일국 특허 제2,904,626호 명세서, 동 3,604,580호 명세서, 동 3,604,581호 명세서의 각 명세서에 기재된 술포늄염을 들 수 있다. 이 술포늄염은 안정성 및 감도의 점으로부터, 바람직하게는 전자흡인성 기로 치환되어 있는 것이 바람직하다. 전자흡인성 기의 하멧값이 0보다 큰 것이 바람직하다. 바람직한 전자흡인성 기의 예로서는, 할로겐 원자 및 카르복실산 등을 들 수 있다.Examples of sulfonium salts that can be preferably used in the present invention include European Patent No. 370,693, Patent 390,214, Patent 233,567, Patent 297,443, Patent 297,442, Patent 4,933,377 and Patent 4,760,013. The sulfonium salt of each specification of the specification, 4,734,444 specification, 2,833,827 specification, German Patent No. 2,904,626 specification, 3,604,580 specification, and 3,604,581 specification is mentioned. It is preferable that this sulfonium salt is substituted by the electron-withdrawing group from the point of stability and sensitivity. It is preferable that the Hammett value of the electron-withdrawing group is larger than zero. As an example of a preferable electron withdrawing group, a halogen atom, a carboxylic acid, etc. are mentioned.
또한 그 밖의 바람직한 술포늄염의 예로서는, 트리아릴술포늄염의 1개의 치 환기가 쿠마린 구조 또는 안트라퀴논 구조를 갖고, 300㎚ 이상에 흡수를 갖는 술포늄염을 들 수 있다. 별도의 바람직한 술포늄염의 예로서는, 트리아릴술포늄염이 아릴옥시기 또는 아릴티오기를 치환기로서 갖고, 300㎚ 이상에 흡수를 갖는 술포늄염을 들 수 있다.Moreover, as an example of another preferable sulfonium salt, the sulfonium salt which has one dentifier of a triaryl sulfonium salt has a coumarin structure or an anthraquinone structure, and has absorption in 300 nm or more. As an example of another preferable sulfonium salt, the sulfonium salt which triarylsulfonium salt has an aryloxy group or an arylthio group as a substituent, and has absorption in 300 nm or more is mentioned.
또한 오늄염 화합물의 예로서는, J.V. Crivello et al, Macromolecules, 10(6), 1307(1977), 및 J.V. Crivello et al, J. Polymer Sci., Polymer Chem. Ed., 17, 1047(1979)에 기재된 셀레노늄염, 및 C.S. Wen et al, Teh, Proc. Conf. Rad. Curing ASIA, p478 Tokyo, Oct(1988)에 기재된 아르소늄염 등의 오늄염 등을 들 수 있다.Moreover, as an example of an onium salt compound, J.V. Crivello et al, Macromolecules, 10 (6), 1307 (1977), and J.V. Crivello et al, J. Polymer Sci., Polymer Chem. Selenium salts described in Ed., 17, 1047 (1979), and C.S. Wen et al, Teh, Proc. Conf. Rad. Onium salts, such as the arsonium salt as described in Curing ASIA, p478 Tokyo, Oct (1988), etc. are mentioned.
아실포스핀(옥사이드) 화합물의 예로서는, 치바 스페셜티 케미컬즈사제의 일가큐어 819, 다로큐어(DAROCURE) 4265, 다로큐어 TPO 등을 들 수 있다.As an example of an acyl phosphine (oxide) compound, the monocure 819 by Chiba Specialty Chemicals Corporation, DAROCURE 4265, Darocure TPO, etc. are mentioned.
(D) 광중합 개시제의 예로서는, 노광 감도의 관점으로부터, 트리할로메틸트리아진 화합물, 벤질디메틸케탈 화합물, α-히드록시케톤 화합물, α-아미노케톤 화합물, 아실포스핀계 화합물, 포스핀옥사이드 화합물, 메탈로센 화합물, 옥심 화합물, 트리아릴이미다졸 다이머, 오늄 화합물, 벤조티아졸 화합물, 벤조페논 화합물, 아세토페논 화합물 및 그 유도체, 시클로펜타디엔-벤젠-철 착체 및 그 염, 할로메틸옥사디아졸 화합물, 및 3-아릴치환 쿠마린 화합물을 들 수 있다.As an example of the (D) photoinitiator, from a viewpoint of exposure sensitivity, a trihalomethyl triazine compound, a benzyl dimethyl ketal compound, the (alpha)-hydroxy ketone compound, the (alpha)-amino ketone compound, the acyl phosphine type compound, the phosphine oxide compound, Metallocene compound, oxime compound, triarylimidazole dimer, onium compound, benzothiazole compound, benzophenone compound, acetophenone compound and derivatives thereof, cyclopentadiene-benzene-iron complex and salts thereof, halomethyloxadia A sol compound and the 3-aryl substituted coumarin compound are mentioned.
더욱 바람직하게는, 트리할로메틸트리아진 화합물, α-아미노케톤 화합물, 아실포스핀 화합물, 포스핀옥사이드 화합물, 옥심 화합물, 트리아릴이미다졸 다이머, 오늄 화합물, 벤조페논 화합물, 및 아세토페논 화합물이며, 트리할로메틸트리 아진 화합물, α-아미노케톤 화합물, 옥심 화합물, 트리아릴이미다졸 다이머, 벤조페논 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종의 화합물이 가장 바람직하다.More preferably, trihalomethyltriazine compound, α-aminoketone compound, acylphosphine compound, phosphine oxide compound, oxime compound, triarylimidazole dimer, onium compound, benzophenone compound, and acetophenone compound And at least one compound selected from the group consisting of a trihalomethyltriazine compound, an α-aminoketone compound, an oxime compound, a triarylimidazole dimer, and a benzophenone compound is most preferred.
(D) 광중합 개시제의 함유량은, 감광성 착색 조성물층 중의 전체 고형분에 대하여 0.1∼20질량%인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.5∼15질량%, 특히 바람직하게는 1∼10질량%이다. 이 범위에서 양호한 감도와 패턴 형성성이 얻어진다.It is preferable that content of (D) photoinitiator is 0.1-20 mass% with respect to the total solid in the photosensitive coloring composition layer, More preferably, it is 0.5-15 mass%, Especially preferably, it is 1-10 mass%. In this range, good sensitivity and pattern formability are obtained.
(E) 용제(E) solvent
본 발명에 사용되는 감광성 착색 조성물은 일반적으로 용제를 이용하여 조제할 수 있다. The photosensitive coloring composition used for this invention can be prepared generally using a solvent.
용제의 예로서는, 에스테르류, 예를 들면 아세트산 에틸, 아세트산-n-부틸, 아세트산 이소부틸, 포름산 아밀, 아세트산 이소아밀, 아세트산 이소부틸, 프로피온산 부틸, 부티르산 이소프로필, 부티르산 에틸, 부티르산 부틸, 알킬에스테르류, 락트산 메틸, 락트산 에틸, 옥시아세트산 메틸, 옥시아세트산 에틸, 옥시아세트산 부틸, 메톡시아세트산 메틸, 메톡시아세트산 에틸, 메톡시아세트산 부틸, 에톡시아세트산 메틸, 및 에톡시아세트산 에틸 ; 3-옥시프로피온산 메틸, 및 3-옥시프로피온산 에틸 등의 3-옥시프로피온산 알킬에스테르류(예를 들면 3-메톡시프로피온산 메틸, 3-메톡시프로피온산 에틸, 3-에톡시프로피온산 메틸, 3-에톡시프로피온산 에틸 등) ; 2-옥시프로피온산 메틸, 2-옥시프로피온산 에틸, 및 2-옥시프로피온산 프로필 등의 2-옥시프로피온산 알킬에스테르류(예를 들면 2-메톡시프로피온산 메틸, 2-메톡시프로피온산 에틸, 2-메톡시프로피온산 프로필, 2-에톡시프로피온산 메틸, 2-에톡시프로피온산 에틸, 2-옥시-2-메틸프로피온산 메틸, 2-옥시-2-메틸프로피온산 에틸, 2-메톡시-2-메틸프로피온산 메틸, 2-에톡시-2-메틸프로피온산 에틸등) ; 피루브산 메틸, 피루브산 에틸, 피루브산 프로필, 아세토아세트산 메틸, 아세토아세트산 에틸, 2-옥소부탄산 메틸, 2-옥소부탄산 에틸, 및 1,3-부탄디올디아세테이트 등;Examples of the solvent include esters such as ethyl acetate, acetic acid-n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, and alkyl esters Methyl lactate, ethyl lactate, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetic acid, oxyacetic acid butyl, methoxyacetic acid methyl, methoxyacetic acid, methoxyacetic acid butyl, ethoxyacetic acid methyl, and ethyl ethoxyacetate; 3-oxypropionic acid alkyl esters, such as 3-oxy methyl propionate and 3-oxy ethyl ethyl (for example, methyl 3-methoxypropionate, 3-methoxy ethyl propionate, 3-ethoxy methyl propionate, 3-ethoxy) Ethyl propionate and the like); 2-oxypropionic acid alkyl esters such as methyl 2-oxypropionate, ethyl 2-oxypropionate and propyl 2-oxypropionic acid (for example, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, and 2-methoxypropionic acid) Propyl, 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate, ethyl 2-oxy-2-methylpropionate, methyl 2-methoxy-2-methylpropionate, 2-e Ethoxy -2-methyl propionate etc.); Methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, methyl 2-oxobutanoate, ethyl 2-oxobutanoate, 1,3-butanediol diacetate, and the like;
에테르류, 예를 들면 디에틸렌글리콜 디메틸에테르, 테트라히드로푸란, 에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 에틸렌글리콜 모노에틸에테르, 메틸셀로솔브아세테이트, 에틸셀로솔브아세테이트, 디에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노부틸에테르, 프로필렌글리콜 메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜 에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜 프로필에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜 디에틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜 모노부틸에테르, 디에틸렌글리콜 모노부틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜 n-프로필에테르아세테이트, 프로필렌글리콜 디아세테이트, 프로필렌글리콜 n-부틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜 페닐에테르, 프로필렌글리콜 페닐에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜 n-프로필에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜 n-부틸에테르아세테이트, 트리프로필렌글리콜 모노n-부틸에테르, 및 트리프로필렌글리콜 메틸에테르아세테이트 등;Ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol Monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol propyl ether acetate, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether , Diethylene glycol monobutyl ether acetate, propylene glycol n-propyl ether acetate, propylene glycol diacetate, propylene glycol n-butyl ether acetate, propylene glycol phenyl ether, propylene glycol phenyl ether acetate Agent, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, dipropylene glycol n- propyl ether acetate, dipropylene glycol n- butyl ether acetate, tripropylene glycol n- butyl ether, and tripropylene glycol methyl ether acetate and the like;
케톤류, 예를 들면 아세톤, 메틸에틸케톤, 시클로헥사논, 2-헵타논, 및 3-헵타논 등;Ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone and the like;
알코올류, 예를 들면 에탄올, 이소프로필알코올, 프로필렌글리콜 메틸에테르, 프로필렌글리콜 모노n-프로필에테르, 및 프로필렌글리콜 모노n-부틸에테르; 및Alcohols such as ethanol, isopropyl alcohol, propylene glycol methyl ether, propylene glycol mono n-propyl ether, and propylene glycol mono n-butyl ether; And
방향족 탄화수소류, 예를 들면 톨루엔, 및 크실렌 등을 들 수 있다.Aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene and the like.
이들 중, 3-에톡시프로피온산 메틸, 3-에톡시프로피온산 에틸, 에틸셀로솔브아세테이트, 락트산 에틸, 디에틸렌글리콜 디메틸에테르, 아세트산 부틸, 3-메톡시프로피온산 메틸, 2-헵타논, 시클로헥사논, 에틸카르비톨아세테이트, 부틸카르비톨아세테이트, 프로필렌글리콜 메틸에테르, 프로필렌글리콜 메틸에테르아세테이트, 및 프로필렌글리콜 에틸에테르아세테이트 등이 바람직하다.Among them, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl cellosolve acetate, ethyl lactate, diethylene glycol dimethyl ether, butyl acetate, methyl 3-methoxypropionate, 2-heptanone, and cyclohexanone , Ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol methyl ether, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate and the like are preferable.
용제는, 단독으로 사용하여도 되고, 2종 이상을 조합시켜서 사용해도 된다.A solvent may be used independently and may be used in combination of 2 or more type.
그 밖의 첨가물Other additives
또한 본 발명에 사용되는 감광성 착색 조성물에는, 상기 성분 이외에 목적에 따라서 여러가지 공지의 첨가제를 더 사용할 수 있다.Moreover, various well-known additives can further be used for the photosensitive coloring composition used for this invention according to the objective besides the said component.
이하, 그러한 첨가제에 대해서 서술한다.Hereinafter, such an additive is described.
분산제Dispersant
본 발명에 있어서의 감광성 착색 조성물은 고분자 분산제를 함유하는 것이 바람직하다. 이 고분자 분산제는 중량 평균 분자량이 3,000∼100,000의 범위에 있는 수지이다. 또한, 산가가 20∼300mg/g인 것이 바람직하다. 이러한 특정의 고분자 분산제를, 이하, 단지 「분산 수지」라고 칭할 경우가 있다.It is preferable that the photosensitive coloring composition in this invention contains a polymeric dispersing agent. This polymer dispersing agent is resin which has a weight average molecular weight in the range of 3,000-100,000. Moreover, it is preferable that acid value is 20-300 mg / g. Such specific polymer dispersing agent may only be called "dispersion resin" below.
본 발명에 있어서의 분산 수지는, 상기 (A-1) 착색제로서 예시한 안료의 분산제, 또는 후술하는 블랙 매트릭스 형성을 위한 감광성 농색 조성물에 있어서 차 광제(블랙 매트릭스 형성용 안료)의 분산제로서 기능할 수 있는 화합물이다.The dispersion resin in the present invention may function as a dispersant of the pigment exemplified as the (A-1) colorant or as a dispersant of a light shielding agent (pigment for forming a black matrix) in a photosensitive deep color composition for forming a black matrix described later. Compound.
분산 수지는 특정의 산가를 가질 필요가 있기 때문에 산성기를 갖는 고분자 화합물인 것이 바람직하다.Since dispersion resin needs to have specific acid value, it is preferable that it is a high molecular compound which has an acidic group.
이 고분자 화합물의 고분자 골격으로서는, 비닐 모노머의 중합체, 비닐 모노머의 공중합체, 에스테르 폴리머, 에테르 폴리머, 우레탄 폴리머, 아미드 폴리머, 에폭시 폴리머, 및 실리콘 폴리머, 그리고 이것들의 변성물, 또는 공중합체[예를 들면 폴리에테르/폴리우레탄 공중합체, 폴리에테르/비닐 모노머 중합체의 공중합체 등(랜덤 공중합체, 블록 공중합체, 그래프트 공중합체 중 어느 것이라도 좋음)을 함유한다]로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종이 바람직하다. 비닐 모노머의 중합체, 비닐 모노머의 공중합체, 에스테르 폴리머, 에테르 폴리머, 우레탄 폴리머, 및 이것들의 변성물 또는 공중합체로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종이 보다 바람직하며, 비닐 모노머의 중합체 및 비닐 모노머의 공중합체가 특히 바람직하다.Examples of the polymer skeleton of the polymer compound include polymers of vinyl monomers, copolymers of vinyl monomers, ester polymers, ether polymers, urethane polymers, amide polymers, epoxy polymers, and silicone polymers, and modified products or copolymers thereof. At least one selected from the group consisting of polyether / polyurethane copolymers, copolymers of polyether / vinyl monomer polymers, and the like (any of random copolymers, block copolymers, and graft copolymers). desirable. At least 1 sort (s) chosen from the group which consists of a polymer of a vinyl monomer, a copolymer of a vinyl monomer, an ester polymer, an ether polymer, a urethane polymer, and these modified | denatured products or a copolymer is more preferable, The polymer of a vinyl monomer and the air of a vinyl monomer are more preferable. Coalition is particularly preferred.
또한 상기와 같은 고분자 골격에 산성기의 도입하는 방법으로서는, 예를 들면 상기 고분자 골격을 중합할 때에 산성기를 함유하는 모노머를 공중합하는 방법, 또는 상기 고분자 골격을 중합 후에 고분자 반응에 의해 도입하는 방법을 들 수 있다. Moreover, as a method of introducing an acidic group into the above-mentioned polymer skeleton, the method of copolymerizing the monomer containing an acidic group when superposing | polymerizing the said polymer skeleton, or the method of introducing the said polymer skeleton by polymer reaction after superposition | polymerization is mentioned, for example. Can be mentioned.
산성기를 함유하는 모노머의 예로서는, (메타)아크릴산, 크로톤산, 이타콘산, 말레산, 푸말산, 계피산, 아크릴산 다이머, 비닐벤조산, 스티렌술폰산, 2-아크릴아미드-2-메틸프로판술폰산, 인산 모노(메타)아크릴로일에틸에스테르, 또는 2-히 드록시에틸메타크릴레이트 등의 알코올성 수산기 함유 모노머, 및 무수 말레산 또는 무수 프탈산 등의 환상 산무수물 등을 반응시킴으로써 얻어지는 모노머 등을 들 수 있다.Examples of the monomer containing an acidic group include (meth) acrylic acid, crotonic acid, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, cinnamic acid, acrylic acid dimer, vinylbenzoic acid, styrenesulfonic acid, 2-acrylamide-2-methylpropanesulfonic acid, monophosphate ( And a monomer obtained by reacting an alcoholic hydroxyl group-containing monomer such as meta) acryloylethyl ester or 2-hydroxyethyl methacrylate, and a cyclic acid anhydride such as maleic anhydride or phthalic anhydride.
또한 산성기를 갖는 고분자 화합물은, 비닐 모노머 성분을 공중합 성분으로서 더 함유하는 것이라도 된다.The polymer compound having an acidic group may further contain a vinyl monomer component as a copolymerization component.
상기 비닐 모노머의 예로서는, 특별히 제한되지 않지만, (메타)아크릴산 에스테르류, 크로톤산 에스테르류, 비닐 에스테르류, 말레산 디에스테르류, 푸말산 디에스테르류, 이타콘산 디에스테르류, (메타)아크릴아미드류, 비닐에테르류, 비닐 알코올의 에스테르류, 스티렌류, 및 (메타)아크릴로니트릴 등을 들 수 있다.Examples of the vinyl monomer include, but are not particularly limited to, (meth) acrylic acid esters, crotonic acid esters, vinyl esters, maleic acid diesters, fumaric acid diesters, itaconic acid diesters, and (meth) acrylamides. Drew, vinyl ether, ester of vinyl alcohol, styrene, (meth) acrylonitrile, etc. are mentioned.
상기 「산성기」의 바람직한 예로서는, 카르복실산기, 술폰산기, 모노황산 에스테르기, 인산기, 모노인산 에스테르기, 및 붕산기를 들 수 있고, 카르복실산기, 술폰산기, 모노황산 에스테르기, 인산기, 및 모노인산 에스테르기가 보다 바람직하고, 카르복실산기, 술폰산기, 인산기가 특히 바람직하다.Preferred examples of the "acidic group" include a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, a monosulfate ester group, a phosphoric acid group, a monophosphate ester group, and a boric acid group, and a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, a monosulfate ester group, a phosphoric acid group, and Monophosphate ester group is more preferable, and a carboxylic acid group, a sulfonic acid group, and a phosphoric acid group are especially preferable.
또한 본 발명에 있어서의 감광성 착색 조성물은, 분산성 향상을 위해서 염기성 질소원자를 갖는 기를 더 함유하는 것도 바람직하다. 상기 염기성 질소원자를 갖는 기의 예로서는, 아미노기(-NH2), 치환 이미노기(-NHR8, 또는 -NR9R10; 여기에서 R8, R9, 및 R10은 각각 독립적으로 탄소수 1∼20의 알킬기, 탄소수 6 이상의 아릴기, 또는 탄소수 7 이상의 아랄킬기를 나타낸다), 하기 화학식(a1)로 나타내어지는 구아니딜기, 또는 하기 화학식(a2)로 나타내어지는 아미디닐기 등이 바람직한 예로서 들 수 있다.Moreover, it is also preferable that the photosensitive coloring composition in this invention contains the group which has a basic nitrogen atom for the improvement of dispersibility. Examples of the group having a basic nitrogen atom include an amino group (-NH 2 ), a substituted imino group (-NHR 8 , or -NR 9 R 10 ; wherein R 8 , R 9 , and R 10 each independently represent 1 to C 1. 20 alkyl groups, aryl groups having 6 or more carbon atoms, or aralkyl groups having 7 or more carbon atoms), guanidyl groups represented by the following formula (a1), or amidinyl groups represented by the following formula (a2) Can be.
상기 화학식(a1) 중 R11 및 R12는 각각 독립적으로 탄소수 1∼20의 알킬기, 탄소수 6 이상의 아릴기, 또는, 탄소수 7 이상의 아랄킬기를 나타낸다.R 11 and R 12 in the formula (a1) each independently represent an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 or more carbon atoms, or an aralkyl group having 7 or more carbon atoms.
상기 화학식(a2) 중 R13 및 R14는 각각 독립적으로 탄소수 1∼20의 알킬기, 탄소수 6 이상의 아릴기, 또는 탄소수 7 이상의 아랄킬기를 나타낸다.R 13 and R 14 in the formula (a2) each independently represent an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, an aryl group having 6 or more carbon atoms, or an aralkyl group having 7 or more carbon atoms.
이들 중에서도 아미노기(-NH2), 치환 이미노기(-NHR8, 또는 -NR9R10; 여기에서 R8, R9, 및 R10은 각각 독립적으로 탄소수 1∼10의 알킬기, 페닐기, 또는 벤질기를 나타낸다), 상기 화학식(a1)로 나타내어지는 구아니딜기[화학식(a1) 중, R11 및 R12는 각각 독립적으로 탄소수 1∼10의 알킬기, 페닐기, 또는 벤질기를 나타낸다], 상기 화학식(a2)로 나타내어지는 아미디닐기[화학식(a2) 중 R13 및 R14는 각각 독립적으로 탄소수 1∼10의 알킬기, 페닐기, 또는 벤질기를 나타낸다] 등에는, 1∼200개의 수소원자, 및 0∼20개의 유황원자로부터 성립되는 기가 더 함유되고, 이들은 무치환이여도 치환기를 더 갖고 있어도 된다.Among these, an amino group (-NH 2 ), a substituted imino group (-NHR 8 , or -NR 9 R 10 ; wherein R 8 , R 9 , and R 10 each independently represent an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a phenyl group, or benzyl The guanidyl group represented by the said general formula (a1) (In formula (a1), R <11> and R <12> represents a C1-C10 alkyl group, a phenyl group, or a benzyl group each independently.), The said general formula (a2). Amidinyl group (R 13 and R 14 in formula (a2) each independently represents an alkyl group, phenyl group, or benzyl group having 1 to 10 carbon atoms); and 1 to 200 hydrogen atoms and 0 to 20 The group formed from the sulfur atoms of the dog is further contained, and these may be unsubstituted or may further have a substituent.
그 밖의 분산제Other dispersants
본 발명에 사용되는 감광성 착색 조성물은 상기 분산 수지와, 종래부터 공지 의 분산제(안료 분산제)를 병용할 수도 있다.The photosensitive coloring composition used for this invention can also use together the said dispersion resin and a conventionally well-known dispersing agent (pigment dispersing agent).
공지의 분산제(안료 분산제)의 예로서는, 고분자 분산제(예를 들면 폴리아미드아민과 그 염, 고분자량 불포화산 에스테르, 변성 폴리우레탄, 변성 폴리에스테르, 변성 폴리(메타)아크릴레이트, (메타)아크릴계 공중합체), 폴리옥시에틸렌알킬인산 에스테르, 폴리옥시에틸렌알킬아민, 알칸올아민, 및 안료 유도체 등을 들 수 있다.Examples of known dispersants (pigment dispersants) include polymer dispersants (e.g., polyamideamines and salts thereof, high molecular weight unsaturated acid esters, modified polyurethanes, modified polyesters, modified poly (meth) acrylates, (meth) acrylic airs). Copolymer), polyoxyethylene alkyl phosphate ester, polyoxyethylene alkyl amine, alkanolamine, and pigment derivatives.
고분자 분산제는 그 구조로부터 또한 직쇄상 고분자, 말단변성형 고분자, 그래프트형 고분자, 및 블록형 고분자로 분류할 수 있다.Polymeric dispersants can also be classified from their structure into linear polymers, terminal modified polymers, graft polymers, and block polymers.
고분자 분산제는 안료의 표면에 흡착되고, 재응집을 방지하도록 작용한다. 그 때문에 안료 표면으로의 앵커(anchor) 부위를 갖는 말단변성형 고분자, 그래프트형 고분자, 또는 블록형 고분자가 바람직한 구조로서 들 수 있다. 한편으로 안료 유도체는 안료 표면을 개질함으로써 고분자 분산제의 흡착을 촉진시키는 효과를 갖는다.The polymeric dispersant is adsorbed on the surface of the pigment and acts to prevent reagglomeration. Therefore, a terminal modified polymer, a graft polymer, or a block polymer having an anchor portion to the pigment surface is mentioned as a preferable structure. On the other hand, the pigment derivative has the effect of promoting the adsorption of the polymer dispersant by modifying the pigment surface.
본 발명에 사용할 수 있는 공지의 분산제(안료 분산제)의 구체예로서는, BYK Chemie사제의 Disperbyk-107(카르복실산 에스테르), 130(폴리아미드), 161, 162, 163, 164, 165, 166, 170(고분자 공중합물), EFKA사제의 EFKA 4047, 4050, 4010, 4165(폴리우레탄계), EFKA 4330, 4340(블록 공중합체), 4400, 4402(변성 폴리아크릴레이트), 5010(폴리에스테르아미드), 6220(지방산 폴리에스테르), 6745(프탈로시아닌 유도체), 6750(아조안료 유도체), 아지노모토 파인테크노사제의 아지스퍼(AJISPER) PB821, PB822, 쿄에이샤 카가쿠사제의 플로렌(FLOWLEN) TG-710(우레탄 올리고머), 폴리플로우(POLYFLOW) No. 50E, No. 300(아크릴계 공중합체), 쿠스모토 카세이사제의 디스파론(DISPARLON) #7004(폴리에테르에스테르), DA-703-50, DA-705, DA-725, 카오사제의 에뮬겐(EMULGEN) 920, 930, 935, 985(폴리옥시에틸렌노닐페닐에테르), 아세타민(ACETAMIN) 86(스테아릴아민아세테이트), 루브리졸사제의 솔스퍼스(SOLSPERSE) 5000(프탈로시아닌 유도체), 22000(아조안료 유도체), 13240(폴리에스테르아민), 3000, 17000, 27000(말단부에 기능부를 갖는 고분자), 24000, 28000, 32000, 38500(그래프트형 고분자), 닛코 케미컬사제의 닛콜(NIKKOL) T106(폴리옥시에틸렌소르비탄모노올레이트), MYS-IEX(폴리옥시에틸렌모노스테아레이트) 등을 들 수 있다.As a specific example of the well-known dispersing agent (pigment dispersing agent) which can be used for this invention, Disperbyk-107 (carboxylic acid ester), 130 (polyamide), 130 (polyamide), 161, 162, 163, 164, 165, 166, 170 by BYK Chemie (Polymer copolymer), EFKA 4047, 4050, 4010, 4165 (polyurethane system), EFKA 4330, 4340 (block copolymer), 4400, 4402 (modified polyacrylate), 5010 (polyesteramide), 6220 made from EFKA (Fatty acid polyester), 6745 (phthalocyanine derivative), 6750 (azo pigment derivative), AJISPER PB821, PB822, product made by Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd. (FLOWLEN) TG-710 (Kyoeisha Kagaku Corporation make) Oligomer), POLYFLOW No. 50E, No. 300 (acrylic copolymer), Disparon # 7004 (polyether ester) made by Kusumoto Kasei Co., Ltd., DA-703-50, DA-705, DA-725, emulgen (EMULGEN) 920 made by Kao Corporation , 930, 935, 985 (polyoxyethylene nonylphenyl ether), acetamine (ACETAMIN) 86 (stearylamine acetate), SOLSPERSE 5000 (phthalocyanine derivative) made by Lubrizol, 22000 (azo pigment derivative) , 13240 (polyester amine), 3000, 17000, 27000 (polymer having a functional part at the end), 24000, 28000, 32000, 38500 (graft type polymer), Nikko (NIKKOL) T106 (polyoxyethylene sorbitan) Monooleate), MYS-IEX (polyoxyethylene monostearate), etc. are mentioned.
상기한 바와 같은 공지의 분산제는, 필요에 따라 분산 수지에 대하여 10∼100질량%, 즉 분산제/분산 수지=1/10∼1/1(등량)의 범위에서 사용할 수 있다.The above-mentioned well-known dispersing agent can be used in the range of 10-100 mass% with respect to dispersion resin, ie, a dispersing agent / dispersion resin = 1 / 10-1 / 1 (equivalent amount) as needed.
계면활성제Surfactants
안료 농도를 크게 하면 도포액의 틱소성이 일반적으로 커지기 때문에 기판 상에 감광성 착색 조성물을 도포 또는 전사해서 감광성 착색 조성물층(착색층 도막) 형성 후의 막두께 편차가 발생하기 쉽다. 또한 특히, 슬릿 코트법에 의한 감광성 착색 조성물층(착색층 도막) 형성에서는 감광성 착색 조성물층 형성용의 도포액이 건조될 때까지 레벨링해서 균일한 두께의 도막을 형성하는 것이 중요하다. 이 때문에, 상기 감광성 착색 조성물은 적절한 계면활성제를 함유하는 것이 바람직하다. 상기 계면활성제의 예로서는, 일본 특허공개 2003-337424호 공보, 일본 특허공개 평 11-133600호 공보에 개시되어 있는 계면활성제를 들 수 있다.When the pigment concentration is increased, the thixotropy of the coating liquid is generally large, so that the film thickness variation after the formation of the photosensitive coloring composition layer (color layer coating film) is likely to occur by applying or transferring the photosensitive coloring composition onto the substrate. Moreover, especially in the formation of the photosensitive coloring composition layer (color layer coating film) by the slit coat method, it is important to level until the coating liquid for photosensitive coloring composition layer formation dries, and to form the coating film of uniform thickness. For this reason, it is preferable that the said photosensitive coloring composition contains a suitable surfactant. As an example of the said surfactant, surfactant disclosed by Unexamined-Japanese-Patent No. 2003-337424 and Unexamined-Japanese-Patent No. 11-133600 is mentioned.
도포성을 향상시키기 위한 계면활성제의 예로서는, 비이온계 계면활성제, 불소계 계면활성제, 실리콘계 계면활성제 등을 들 수 있다.As an example of surfactant for improving applicability | paintability, a nonionic surfactant, a fluorine-type surfactant, a silicone type surfactant, etc. are mentioned.
비이온계 계면활성제의 예로서는, 폴리옥시에틸렌글리콜류, 폴리옥시프로필렌글리콜류, 폴리옥시에틸렌알킬에테르류, 폴리옥시에틸렌알킬아릴에테르류, 폴리옥시에틸렌알킬에스테르류, 폴리옥시프로필렌알킬에테르류, 폴리옥시프로필렌알킬아릴에스테르류, 폴리옥시프로필렌알킬에스테르류, 소르비탄알킬에스테르류, 및 모노글리세리드알킬에스테르류 등을 들 수 있다.Examples of nonionic surfactants include polyoxyethylene glycols, polyoxypropylene glycols, polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkylaryl ethers, polyoxyethylene alkyl esters, polyoxypropylene alkyl ethers, and poly Oxypropylene alkylaryl esters, polyoxypropylene alkyl esters, sorbitan alkyl esters, and monoglyceride alkyl esters.
비이온계 계면활성제의 구체예로서는, 폴리옥시에틸렌글리콜, 폴리옥시프로필렌글리콜 등의 폴리옥시알킬렌글리콜류; 폴리옥시에틸렌라우릴에테르, 폴리옥시프로필렌스테아릴에테르, 폴리옥시에틸렌올레일에테르 등의 폴리옥시알킬렌알킬에테르류; 폴리옥시에틸렌옥틸페닐에테르, 폴리옥시에틸렌폴리스티릴화 에테르, 폴리옥시에틸렌 트리벤질페닐에테르, 폴리옥시에틸렌-프로필렌폴리스티릴화 에테르, 폴리옥시에틸렌 노닐페닐에테르 등의 폴리옥시에틸렌 아릴에테르류; 폴리옥시에틸렌 디라울레이트, 폴리옥시에틸렌 디스테아레이트 등의 폴리옥시알킬렌 디알킬에스테르; 소르비탄 지방산 에스테르류; 및 폴리옥시알킬렌 소르비탄 지방산 에스테르류 등을 들 수 있다.As a specific example of a nonionic surfactant, Polyoxyalkylene glycol, such as polyoxyethylene glycol and polyoxypropylene glycol; Polyoxyalkylene alkyl ethers such as polyoxyethylene lauryl ether, polyoxypropylene stearyl ether and polyoxyethylene oleyl ether; Polyoxyethylene aryl ethers such as polyoxyethylene octylphenyl ether, polyoxyethylene polythiylated ether, polyoxyethylene tribenzylphenyl ether, polyoxyethylene-propylene polytyrylated ether and polyoxyethylene nonylphenyl ether; Polyoxyalkylene dialkyl esters such as polyoxyethylene dilaurate and polyoxyethylene distearate; Sorbitan fatty acid esters; And polyoxyalkylene sorbitan fatty acid esters.
이들의 새로운 구체예로서는, 아데카 플루로닉 시리즈(ADEKA PLURONIC series), 아데카놀 시리즈(ADEKANOL series), 테트로닉 시리즈(TETRONIC series)[이상 ADEKA(주)제], 에뮬겐 시리즈(EMULGEN series), 레오돌 시리즈(RHEODOL series)[이상, 카오(주)제], 에레미놀 시리즈(ELEMINOL series), 노니 폴 시리즈(NONIPOL series), 옥타폴 시리즈(OCTAPOL series), 도데카폴 시리즈(DODECAPOL series), 뉴폴 시리즈(NEWPOL series)[이상, 산요카세이(주)제], 파이오닌 시리즈(PIONIN series)[타케모토 유시(주)제], 닛산 비이온 시리즈(NISSAN NONION series)[니폰 유시(주)제] 등을 들 수 있다. 이것들의 시판되어 있는 것을 적당하게 사용할 수 있다. 바람직한 HLB(Hydrophile-Lipophile Balance)값은 8∼20, 더욱 바람직하게는 10∼17이다.As these new specific examples, Adeka PLURONIC series, Adekanol series, TETRONIC series (above ADEKA Co., Ltd. make), Emulgen series (EMULGEN series) , Leopold series (RHEODOL series) (above, Kao Corporation), Ereninol series (ELEMINOL series), Noni Falls series (NONIPOL series), Octapol series (OCTAPOL series), Dodecapol series (DODECAPOL series), New pole series (NEWPOL series) [product made in Sanyokasei Co., Ltd.], pioneer series (PIONIN series) [product made by Takemoto Yushi Corporation], Nissan NBION series (NISSAN NONION series) [product made by Nippon Yushi Corporation] Etc. can be mentioned. These commercially available can be used suitably. The preferred HLB (Hydrophile-Lipophile Balance) value is 8-20, more preferably 10-17.
불소계 계면활성제의 예로서는, 말단, 주쇄 및 측쇄 중 적어도 어느 하나의 부위에 플루오로알킬기 또는 플루오로알킬렌기를 갖는 화합물을 들 수 있다.As an example of a fluorochemical surfactant, the compound which has a fluoroalkyl group or a fluoroalkylene group in the site | part of at least any one of a terminal, a main chain, and a side chain is mentioned.
구체적인 시판품의 예로서는, 메가팩(MEGAFAC) F142D, 동 F172, 동 F173, 동 F176, 동 F177, 동 F183, 동 780, 동 781, 동 R30, 동 R08[다이니폰 잉크(주)제], 플루오라드(FLUORAD) FC-135, 동 FC-170C, 동 FC-430, 동 FC-431[스미토모 쓰리엠(주)제], 써프론(SURFLON) S-112, 동 S-113, 동 S-131, 동 S-141, 동 S-145, 동 S-382, 동 SC-101, 동 SC-102, 동 SC-103, 동 SC-104, 동 SC-105, 동 SC-106[아사히가라스(주)제], 에프톱(EFTOP) EF 351, 동 352, 동 801, 동 802[JEMCO(주)제] 등을 들 수 있다.As an example of a specific commercial item, Megapack (MEGAFAC) F142D, copper F172, copper F173, copper F176, copper F177, copper F183, copper 780, copper 781, copper R30, copper R08 (made by Dainippon Ink Co., Ltd.), fluoride (FLUORAD) FC-135, East FC-170C, East FC-430, East FC-431 (made by Sumitomo 3M Co., Ltd.), SURFLON S-112, East S-113, East S-131, East S-141, East S-145, East S-382, East SC-101, East SC-102, East SC-103, East SC-104, East SC-105, East SC-106 [Asahi Glass Co., Ltd.] ], EFTOP EF 351, 352, 801, 802 (made by JEMCO Corporation), etc. are mentioned.
실리콘계 계면활성제의 예로서는, 도레이 실리콘(Toray Silicone) DC3PA, 동 DC7PA, 동 SH11PA, 동 SH21PA, 동 SH28PA, 동 SH29PA, 동 SH30PA, 동 SH-190, 동 SH-193, 동 SZ-6032, 동 SF-8428, 동 DC-57, 동 DC-190[이상, 도레이 다우코닝 실리콘(주)제], TSF-4440, TSF-4300, TSF-4445, TSF-4446, TSF-4460, TSF-4452[이상, Momentive Performance Materials Japan제] 등을 들 수 있다.As an example of a silicone type surfactant, Toray Silicone DC3PA, copper DC7PA, copper SH11PA, copper SH21PA, copper SH28PA, copper SH29PA, copper SH30PA, copper SH-190, copper SH-193, copper SZ-6032, copper SF- 8428, copper DC-57, copper DC-190 (above, manufactured by Toray Dow Corning Silicon Co., Ltd.), TSF-4440, TSF-4300, TSF-4445, TSF-4446, TSF-4460, TSF-4452 [more, Momentive Performance Materials Japan] etc. are mentioned.
이들 계면활성제의 양은 감광성 착색 조성물층을 형성하기 위한 도포액 100질량부에 대하여 바람직하게는 5질량부 이하, 보다 바람직하게는 2질량부 이하이다. 계면활성제의 양이 5질량부를 초과하는 경우에는, 도포 건조에서의 표면 거침이 생기기 쉽고 평활성이 악화되기 쉬워진다.The amount of these surfactants is preferably 5 parts by mass or less, and more preferably 2 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the coating liquid for forming the photosensitive coloring composition layer. When the amount of the surfactant exceeds 5 parts by mass, surface roughness in coating drying tends to occur, and smoothness tends to deteriorate.
또한 미경화부의 알칼리 용해성을 촉진하고, 광경화성 조성물의 현상성의 더나은 향상을 꾀할 경우에는, 유기카르복실산, 바람직하게는 중량 평균 분자량이 1000 이하인 저분자량 유기카르복실산을 첨가해도 좋다. 이 유기카르복실산의 구체 예로서에는, 포름산, 아세트산, 프로피온산, 부티르산, 발레르산, 피발산, 카프릭산, 디에틸아세트산, 에난트산, 카프릴산 등의 지방족 모노카르복실산; 옥살산, 말론산, 숙신산, 글루타르산, 아디프산, 피멜산, 스베린산, 아제라인산, 세바신산, 브라실릭산, 메틸말론산, 에틸말론산, 디메틸말론산, 메틸숙신산, 테트라메틸숙신산, 시트라콘산 등의 지방족 디카르복실산; 트리카르발릴산, 아코니트산, 캄포론산 등의 지방족 트리카르복실산; 벤조산, 톨루익산, 쿠민산, 헤멜리트산, 메시틸렌산 등의 방향족 모노카르복실산; 프탈산, 이소프탈산, 테레프탈산, 트리멜리트산, 트리메신산, 멜로판산, 피로멜리트산 등의 방향족 폴리카르복실산; 페닐아세트산, 페녹시아세트산, 메톡시페녹시아세트산, 히드라트로프산, 히드로계피산, 만델산, 페닐숙신산, 아트로프산, 계피산, 계피산 메틸, 계피산 벤질, 신나미리덴 아세트산, 쿠말산, 움벨산 등의 기타 카르복실산을 들 수 있다.Moreover, when promoting alkali solubility of an uncured part and for further improvement of the developability of a photocurable composition, you may add organic carboxylic acid, Preferably low molecular weight organic carboxylic acid whose weight average molecular weight is 1000 or less. Specific examples of the organic carboxylic acid include aliphatic monocarboxylic acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, valeric acid, pivalic acid, capric acid, diethyl acetic acid, enanthic acid and caprylic acid; Oxalic acid, malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, pimelic acid, sublinic acid, azeline acid, sebacic acid, brassic acid, methylmalonic acid, ethylmalonic acid, dimethylmalonic acid, methyl succinic acid, tetramethylsuccinic acid Aliphatic dicarboxylic acids such as citraconic acid; Aliphatic tricarboxylic acids such as tricarballylic acid, aconitic acid and camphoronic acid; Aromatic monocarboxylic acids such as benzoic acid, toluic acid, cuminic acid, hemelic acid and mesitylene acid; Aromatic polycarboxylic acids such as phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, trimellitic acid, trimesic acid, melanoic acid and pyromellitic acid; Phenylacetic acid, phenoxyacetic acid, methoxyphenoxyacetic acid, hydratropic acid, hydrocinnamic acid, mandelic acid, phenylsuccinic acid, atroic acid, cinnamic acid, methyl cinnamic acid, cinnamic acid benzyl, cinnamilidene acetic acid, coumalic acid, umbelic acid And other carboxylic acids.
알콕시실란 화합물Alkoxysilane Compound
본 발명에 사용되는 감광성 착색 조성물은, 기판과의 밀착성의 향상 등의 관 점으로부터 알콕시실란 화합물, 그중에서도 실란커플링제를 더 함유해도 좋다.The photosensitive coloring composition used for this invention may further contain an alkoxysilane compound and the silane coupling agent among them from the viewpoint of adhesiveness improvement with a board | substrate.
실란커플링제는 무기재료와 화학결합 가능한 가수분해성 기로서 알콕시실릴 기를 갖는 것이 바람직하고, 보다 바람직한 실란커플링제의 예로서는 유기 수지와의 사이에서 상호 작용 또는 결합 형성해서 친화성을 나타내는, (메타)아크릴로일, 페닐, 메르캅토, 에폭시실란인 것이 바람직하며, 특히 바람직한 예로서 (메타)아크릴로일프로필 트리메톡시실란을 들 수 있다. The silane coupling agent preferably has an alkoxysilyl group as a hydrolyzable group chemically bondable with an inorganic material, and as an example of a more preferred silane coupling agent, a (meth) acryl is exhibited by interacting or bonding with an organic resin to show affinity. It is preferable that they are loyl, phenyl, mercapto, and epoxysilane, and (meth) acryloylpropyl trimethoxysilane is mentioned as an especially preferable example.
실란커플링제를 사용할 경우의 첨가량은, 본 발명에 사용되는 감광성 착색 조성물층 중의 전체 고형분 중 0.2∼5.0질량%의 범위인 것이 바람직하고, 0.5∼3.0질량%가 보다 바람직하다.It is preferable that it is the range of 0.2-5.0 mass% in the total solid in the photosensitive coloring composition layer used for this invention, and, as for the addition amount when using a silane coupling agent, 0.5-3.0 mass% is more preferable.
공증감제Notary sensitizer
본 발명에 사용되는 감광성 착색 조성물은, 원하는 바에 따라 공증감제를 함유하는 것도 바람직하다. 본 발명에 있어서 공증감제는 증감색소 및/또는 개시제의 활성 방사선에 대한 감도를 한층 더 향상시키거나, 또는 산소에 의한 중합성 화합물의 중합 저해를 억제하는 등의 작용을 갖는다.It is also preferable that the photosensitive coloring composition used for this invention contains a sensitizer as desired. In the present invention, the sensitizer has an action of further improving the sensitivity of the sensitizing dye and / or the initiator to the actinic radiation, or inhibiting the inhibition of polymerization of the polymerizable compound by oxygen.
이러한 공증감제의 예로서는, 아민류, 예를 들면 M. R. Sander 등 저 「Journal of Polymer Society」 제10권 3173쪽(1972), 일본 특허공고 소 44-20189호 공보, 일본 특허공개 소 51-82102호 공보, 일본 특허공개 소 52-134692호 공보, 일본 특허공개 소 59-138205호 공보, 일본 특허공개 소 60-84305호 공보, 일본 특허공개 소 62-18537호 공보, 일본 특허공개 소 64-33104호 공보, Research Disclosure 33825호 기재의 화합물 등을 들 수 있고, 구체예로서는, 트리에탄올아 민, p-디메틸아미노벤조산 에틸에스테르, p-포르밀디메틸아닐린, p-메틸티오디메틸아닐린 등을 들 수 있다.Examples of such a sensitizer include amines such as MR Sander et al., Journal of Polymer Society, Vol. 10, page 3173 (1972), Japanese Patent Publication No. 44-20189, Japanese Patent Publication No. 51-82102, Japanese Patent Laid-Open No. 52-134692, Japanese Patent Laid-Open No. 59-138205, Japanese Patent Laid-Open No. 60-84305, Japanese Patent Laid-Open No. 62-18537, Japanese Patent Laid-Open No. 64-33104, The compound described in Research Disclosure 33825, etc. are mentioned, As a specific example, triethanolamine, p-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester, p-formyldimethyl aniline, p-methylthio dimethylaniline, etc. are mentioned.
공증감제의 다른 예로서는, 티올 및 술피드류, 예를 들면 일본 특허공개 소 53-702호 공보, 일본 특허공고 소 55-500806호 공보, 일본 특허공개 평 5-142772호 공보 기재의 티올 화합물, 일본 특허공개 소 56-75643호 공보의 디술피드 화합물 등을 들 수 있다. 구체예로서는, 2-메르캅토벤조티아졸, 2-메르캅토벤조옥사졸, 2-메르캅토벤조이미다졸, 2-메르캅토-4(3H)-퀴나졸린, β-메르캅토나프탈렌 등을 들 수 있다.As another example of a sensitizer, thiols and sulfides, for example, a thiol compound disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 53-702, Japanese Patent Application Laid-Open No. 55-500806, Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-142772, Japan The disulfide compound of Unexamined-Japanese-Patent No. 56-75643, etc. are mentioned. As a specific example, 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzoimidazole, 2-mercapto-4 (3H)-quinazoline, (beta) -mercaptonaphthalene, etc. are mentioned. .
또한 공증감제의 또 다른 예로서는, 아미노산 화합물(예를 들면 N-페닐글리신 등), 일본 특허공고 소 48-42965호 공보 기재의 유기금속 화합물(예를 들면 트리부틸 주석 아세테이트 등), 일본 특허공고 소 55-34414호 공보 기재의 수소공여체, 일본 특허공개 평 6-308727호 공보 기재의 유황 화합물(예를 들면 트리티안 등) 등을 들 수 있다.In addition, examples of the sensitizer include an amino acid compound (for example, N-phenylglycine), an organometallic compound (for example, tributyl tin acetate, and the like) described in JP-A-48-42965, and JP-A. Hydrogen donor of the 55-34414, the sulfur compound of Unexamined-Japanese-Patent No. 6-308727 (for example, trithiane etc.), etc. are mentioned.
이들 공증감제의 함유량은, 중합 성장 속도와 연쇄 이동의 밸런스에 의한 경화 속도의 향상의 관점으로부터, 경화성 조성물의 전체 고형분의 질량에 대하여 0.1∼30질량%의 범위가 바람직하고, 1∼25질량%의 범위가 보다 바람직하며, 0.5∼20질량%의 범위가 더욱 바람직하다.As for content of these co-sensitizers, the range of 0.1-30 mass% is preferable with respect to the mass of the total solid of a curable composition from a viewpoint of the improvement of the hardening rate by the balance of a polymerization growth rate and a chain transfer, and is 1-25 mass% The range of is more preferable, and the range of 0.5-20 mass% is further more preferable.
중합금지제Polymerization inhibitor
본 발명에 있어서는 감광성 착색 조성물의 제조 중 또는 보존 중에 있어서, 중합 가능한 에틸렌성 불포화 이중결합을 갖는 화합물의 불필요한 열중합을 저지하 기 위해서 소량의 열중합 금지제를 감광성 착색 조성물에 첨가하는 것이 바람직하다.In the present invention, during the preparation or storage of the photosensitive coloring composition, it is preferable to add a small amount of thermal polymerization inhibitor to the photosensitive coloring composition in order to prevent unnecessary thermal polymerization of the compound having a polymerizable ethylenically unsaturated double bond. .
본 발명에 사용할 수 있는 열중합 금지제의 예로서는, 하이드로퀴논, p-메톡시페놀, 디-t-부틸-p-크레졸, 피로갈롤, t-부틸카테콜, 벤조퀴논, 4,4'-티오비스(3-메틸-6-t-부틸페놀), 2,2'-메틸렌비스(4-메틸-6-t-부틸페놀), N-니트로소페닐히드록시아민 제1세륨염 등을 들 수 있다.Examples of the thermal polymerization inhibitor that can be used in the present invention include hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4'-thio Bis (3-methyl-6-t-butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), N-nitrosophenylhydroxyamine first cerium salt, etc. are mentioned. have.
열중합 금지제의 첨가량은 감광성 착색 조성물층 중의 질량에 대하여 약 0.01질량%∼약 5질량%가 바람직하다. 또 필요에 따라, 산소에 의한 중합 저해를 방지하기 위해서 베헨산 또는 베헨산 아미드 등의 고급 지방산 유도체 등을 첨가하고, 도포 후의 건조의 과정에서 감광층의 표면에 편재시켜도 좋다. 고급 지방산 유도체의 첨가량은 전체 조성물의 약 0.5질량%∼약 10질량%가 바람직하다.As for the addition amount of a thermal-polymerization inhibitor, about 0.01 mass%-about 5 mass% are preferable with respect to the mass in the photosensitive coloring composition layer. If necessary, in order to prevent the inhibition of polymerization by oxygen, higher fatty acid derivatives such as behenic acid or behenic acid amide may be added, and may be localized on the surface of the photosensitive layer in the drying process after application. The amount of the higher fatty acid derivative added is preferably about 0.5% by mass to about 10% by mass of the total composition.
가소제Plasticizer
또한, 본 발명에 있어서는, 감광성 착색 조성물층의 물성을 개량하기 위해서 무기 충전제 또는 가소제, 또는 감광층 표면의 잉크 착육성을 향상시킬 수 있는 감지화제 등을 첨가해도 된다.In addition, in this invention, in order to improve the physical property of the photosensitive coloring composition layer, you may add an inorganic filler or a plasticizer, or a sensing agent which can improve the ink buildability of the photosensitive layer surface.
가소제의 예로서는, 디옥틸프탈레이트, 디도데실프탈레이트, 트리에틸렌글리콜 디카프릴레이트, 디메틸글리콜 프탈레이트, 트리크레실포스페이트, 디옥틸아디페이트, 디부틸세바케이트, 트리아세틸글리세린 등을 들 수 있다. 결합제를 사용했을 경우, 에틸렌성 불포화 이중결합을 갖는 화합물과 결합제의 합계 질량에 대하여 10질량% 이하의 가소제를 첨가할 수 있다.Examples of the plasticizer include dioctyl phthalate, didodecyl phthalate, triethylene glycol dicaprylate, dimethyl glycol phthalate, tricresyl phosphate, dioctyl adipate, dibutyl sebacate, triacetylglycerine and the like. When using a binder, 10 mass% or less plasticizer can be added with respect to the total mass of a compound and an binder which have an ethylenically unsaturated double bond.
상술한 성분을 사용함으로써 본 발명에 있어서의 감광성 착색 조성물은 고감도로 경화하고, 또한 보존 안정성도 양호하게 된다. 또한 기판으로의 높은 밀착성을 나타낸다. 따라서, 상기 각종 성분을 함유하는 감광성 착색 조성물은 컬러필터에 바람직하게 사용할 수 있다.By using the above-mentioned component, the photosensitive coloring composition in this invention hardens with high sensitivity, and storage stability also becomes favorable. Moreover, high adhesiveness to a board | substrate is shown. Therefore, the photosensitive coloring composition containing the said various component can be used suitably for a color filter.
감광성 농색 조성물Photosensitive thickening composition
본 발명에 사용되는 감광성 농색 조성물은 (A-2) 차광제, (B) 바인더 폴리머, (C-2) 중합성 화합물, (D) 광중합 개시제 및 (E) 용제를 함유하는 것이 바람직하고, 필요에 따라 분산제 또는 계면활성제 등의 다른 첨가제를 함유해도 좋다.It is preferable that the photosensitive deepening composition used for this invention contains (A-2) light-shielding agent, (B) binder polymer, (C-2) polymeric compound, (D) photoinitiator, and (E) solvent, and is necessary. It may also contain other additives such as dispersants or surfactants.
(A-2) 차광제(A-2) Shading Agent
(A-2) 차광제의 예로서는, 상기 (A-1) 착색제 외에 카본블랙, 티타늄블랙, 금속 미립자, 금속 산화물, 황화물의 미립자 등을 들 수 있다. 그 중에서도 차광성과 비용의 밸런스가 우수한 카본블랙이 특히 바람직하다.Examples of the light-shielding agent (A-2) include carbon black, titanium black, metal fine particles, metal oxides, and sulfide fine particles in addition to the above-mentioned (A-1) colorant. Especially, carbon black which is excellent in the balance of light-shielding property and cost is especially preferable.
이것들은 필요에 따라 단독으로 또는 복수종 조합하여 사용된다. 예를 들면, 카본블랙 단독, 유기안료의 혼합, 카본블랙과 유기안료의 병용 등이다.These are used individually or in combination of multiple types as needed. Examples thereof include carbon black alone, a mixture of organic pigments, and a combination of carbon black and organic pigments.
차광용의 재료로서는 종래부터 흑색 착색제로서, 가시광 영역을 차폐하도록 안료를 적어도 2종 이상 병용해서 사용되어 왔다. 이들 안료의 예로서는, 일본 특허공개 2005-17716호 공보 [0038]∼[0040]이나, 일본 특허공개 2005-17521호 공보 [0080]∼[0088]에 기재된 안료를 들 수 있고, 이들 안료를 사용한 차광층의 형성은 일본 특허공개 평 7-271020 등에 개시되어 있다.As a material for light shielding, at least 2 or more types of pigments have been used together as a black coloring agent so that a visible light area may be shielded conventionally. As an example of these pigments, the pigment of Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-17716 [0038]-[0040], and the Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-17521-[0080]-[0088] is mentioned, The light-shielding using these pigments is mentioned. The formation of the layer is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 7-271020 and the like.
차광 효과를 보다 크게 하기 위해서 일본 특허공개 2000-147240, 일본 특허 공개 2000-143985, 일본 특허공개 2005-338328, 일본 특허공개 2006-154849 등에서는 카본블랙, 티타늄블랙, 또는 흑연 등이 바람직한 차광 재료로서 개발되어 왔다. 본 발명에 있어서는 차광성 및 비용의 관점으로부터 카본블랙은 차광 재료의 바람직한 예이다.In order to further increase the light shielding effect, in Japanese Patent Laid-Open No. 2000-147240, Japanese Patent Laid-Open No. 2000-143985, Japanese Patent Laid-Open No. 2005-338328, Japanese Patent Laid-Open 2006-154849 and the like, carbon black, titanium black, graphite, or the like are preferable light shielding materials. Has been developed. In the present invention, carbon black is a preferred example of the light shielding material from the viewpoint of light shielding properties and cost.
카본블랙의 예로서는, 피그먼트 블랙 7(카본블랙)이 바람직하다. 카본블랙으로서는, 예를 들면 미쓰비시 카가쿠사제의 카본블랙 #2400, #2350, #2300, #2200, #1000, #980, #970, #960, #950, #900, #850, MCF88, #650, MA600, MA7, MA8, MA11, MA100, MA220, IL30B, IL31B, IL7B, IL11B, IL52B, #4000, #4010, #55, #52, #50, #47, #45, #44, #40, #33, #32, #30, #20, #10, #5, CF9, #3050, #3150, #3250, #3750, #3950, 다이아블랙(DIABLACK) A, 다이아블랙 N220M, 다이아블랙 N234, 다이아블랙 I, 다이아블랙 LI, 다이아블랙 II, 다이아블랙 N339, 다이아블랙 SH, 다이아블랙 SHA, 다이아블랙 LH, 다이아블랙 H, 다이아블랙 HA, 다이아블랙 SF, 다이아블랙 N550M, 다이아블랙 E, 다이아블랙 G, 다이아블랙 R, 다이아블랙 N760M, 다이아블랙 LP; 데구사제의 카본블랙 Color Black FW200, Color Black FW2, Color Black FW1, Color Black FW18, Color Black S170, Color Black S160, Special Black 6, Special Black 5, Special Black 4, Special Black 4A, Printex U, Printex V, Printex 140U, Printex 140V, Printex 35; Cabot사제의 카본블랙 REGAL 400, REGAL 400R, REGAL XC72, VULCAN XC72R, MOGUL L, MONARCH 1400, MONARCH 1000, BLACK PEARLS 1400; 아사히 카본사제의 카본블랙 SUNBLACK 900, 동 910, 동 930, 동 960, 동 970 등을 들 수 있다. 또한 전기저항을 크게 하기 위해서 이들 카본블랙을 고분자 화합물로 피복한 것도 바람직한 예로서 들 수 있다. 이들 카본블랙의 바람직한 단립자의 크기는 10㎚∼100㎚, 보다 바람직하게는 10㎚∼50㎚이다.As an example of carbon black, pigment black 7 (carbon black) is preferable. As carbon black, for example, carbon black # 2400, # 2350, # 2300, # 2200, # 1000, # 980, # 970, # 960, # 950, # 900, # 850, MCF88, # made by Mitsubishi Kagaku Corporation 650, MA600, MA7, MA8, MA11, MA100, MA220, IL30B, IL31B, IL7B, IL11B, IL52B, # 4000, # 4010, # 55, # 52, # 50, # 47, # 45, # 44, # 40 , # 33, # 32, # 30, # 20, # 10, # 5, CF9, # 3050, # 3150, # 3250, # 3750, # 3950, DIABLACK A, DIA BLACK N220M, DIA BLACK N234 , Diamond black I, diamond black LI, diamond black II, diamond black N339, diamond black SH, diamond black SHA, diamond black LH, diamond black H, diamond black HA, diamond black SF, diamond black N550M, diamond black E, diamond Black G, diamond black R, diamond black N760M, diamond black LP; Carbon black Color Black FW200, Color Black FW2, Color Black FW1, Color Black FW18, Color Black S170, Color Black S160, Special Black 6, Special Black 5, Special Black 4, Special Black 4A, Printex U, Printex V, Printex 140U, Printex 140V, Printex 35; Carbon black REGAL 400, REGAL 400R, REGAL XC72, VULCAN XC72R, MOGUL L, MONARCH 1400, MONARCH 1000, BLACK PEARLS 1400; Carbon black SUNBLACK 900, Copper 910, Copper 930, Copper 960, Copper 970 by Asahi Carbon, etc. are mentioned. In addition, a coating of these carbon blacks with a high molecular compound in order to increase the electrical resistance is also preferable. The preferred size of the discrete particles of these carbon blacks is 10 nm to 100 nm, more preferably 10 nm to 50 nm.
(C-2) 중합성 화합물(C-2) Polymerizable Compound
블랙 매트릭스 형성용의 감광성 농색 조성물에 있어서의 (C-2) 중합성 화합물로서는, 상기 감광성 착색 조성물에 있어서 사용된 (C-1) 중합성 화합물도 바람직한 것으로서 들 수 있지만, 특히 이하에 나타내는 화합물이 바람직하다.As a (C-2) polymeric compound in the photosensitive deepening composition for black-matrix formation, the (C-1) polymeric compound used in the said photosensitive coloring composition is also mentioned as a preferable thing, Especially the compound shown below is desirable.
감광성 농색 조성물에 있어서의 중합성 화합물로서는 에틸렌성 불포화 이중결합을 2개 이상 갖고, 광의 조사에 의해 부가중합하는 모노머 또는 올리고머인 것이 바람직하다. 그러한 모노머 및 올리고머의 예로서는, 분자 중에 적어도 1개의 부가중합 가능한 에틸렌성 불포화기를 갖고, 비점이 상압에서 100℃ 이상인 화합물을 들 수 있다. 그 구체예로서는, 폴리에틸렌글리콜 모노(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜 모노(메타)아크릴레이트, 및 페녹시에틸(메타)아크릴레이트 등의 단관능 아크릴레이트 및 단관능 메타크릴레이트; 폴리에틸렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜 디(메타)아크릴레이트, 트리메티롤에탄 트리아크릴레이트, 트리메티롤프로판 트리(메타)아크릴레이트, 트리메티롤프로판 디아크릴레이트, 네오펜틸글리콜 디(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨 테트라(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨 트리(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 헥사(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 펜타(메타)아크릴레이트, 헥산디올 디(메타)아크릴레이트, 트리메티롤프로판 트리(아크릴로일옥시프로필)에테르, 트리(아크릴로일옥시 에틸) 이소시아누레이트, 트리(아크릴로일옥시에틸) 시아누레이트, 글리세린 트리(메타)아크릴레이트; 및 트리메티롤프로판 또는 글리세린 등의 다관능 알코올에 에틸렌옥사이드 또는 프로필렌옥사이드를 부가한 후 (메타)아크릴레이트화한 것 등의 다관능 아크릴레이트 또는 다관능 메타크릴레이트를 들 수 있다.As a polymeric compound in the photosensitive deepening composition, it is preferable that it is a monomer or oligomer which has two or more ethylenically unsaturated double bonds and adds polymerization by irradiation of light. As an example of such a monomer and an oligomer, the compound which has an ethylenically unsaturated group which can be at least 1 addition polymerization in a molecule | numerator, and whose boiling point is 100 degreeC or more at normal pressure is mentioned. As the specific example, Monofunctional acrylate and monofunctional methacrylate, such as polyethyleneglycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, and phenoxyethyl (meth) acrylate; Polyethylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, trimetholethane triacrylate, trimetholpropane tri (meth) acrylate, trimetholpropane diacrylate, neopentyl glycol di (Meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, hexanediol di (meth) Acrylate, trimetholpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxy ethyl) isocyanurate, tri (acryloyloxyethyl) cyanurate, glycerin tri (meth) acrylate; And polyfunctional acrylates or polyfunctional methacrylates such as those obtained by adding ethylene oxide or propylene oxide to polyfunctional alcohols such as trimetholpropane or glycerin and then (meth) acrylated.
또한 산성 다관능 광경화성 화합물도 바람직한 예로서 들 수 있다. 산성 다관능 광경화성 화합물의 예로서는, (1) 수산기와 함께 3개 이상의 광경화성 관능기를 갖는 모노머 또는 올리고머를 2염기산 무수물로 변성함으로써 카르복실기를 도입해서 얻어진 화합물, (2) 수산기와 함께 3개 이상의 광경화성 관능기를 갖는 모노머 또는 올리고머에, 글리시딜기 또는 이소시아네이트기와 COOH기를 아울러 가지는 화합물 등을 부가함으로써 카르복실기를 도입해서 얻어진 화합물, 또는 (3) 3개 이상의 광경화성 관능기를 갖는 방향족 화합물을 농황산 또는 발연황산으로 변성함으로써 술폰산기를 도입해서 얻어진 화합물 등을 들 수 있다. 또한 산성 다관능 광경화성 화합물 그 자체인 모노머를 반복 단위로서 함유하는 올리고머를, 산성 다관능 광경화성 화합물로서 사용해도 된다. 산성 다관능 광경화성 화합물 바람직한 예로서는, 하기 일반식(ⅰ) 또는 일반식(ⅱ)로 나타내어지는 화합물을 들 수 있다. 또한, 일반식(ⅰ) 및 일반식(ⅱ)에 있어서, T 또는 G가 옥시알킬렌기인 경우에는 탄소원자측의 말단이 R, X 또는 W에 결합한다.Moreover, an acidic polyfunctional photocurable compound is also mentioned as a preferable example. Examples of the acidic polyfunctional photocurable compound include (1) a compound obtained by introducing a carboxyl group by modifying a monomer or oligomer having three or more photocurable functional groups together with a hydroxyl group to a dibasic acid anhydride, (2) three or more together with a hydroxyl group Concentrated sulfuric acid or fuming a compound obtained by introducing a carboxyl group by adding a glycidyl group or a compound having an isocyanate group and a COOH group to a monomer or oligomer having a photocurable functional group, or (3) an aromatic compound having three or more photocurable functional groups. The compound etc. which were obtained by introduce | transducing a sulfonic acid group by denaturation with sulfuric acid are mentioned. Moreover, you may use the oligomer which contains the monomer which is an acidic polyfunctional photocurable compound itself as a repeating unit, as an acidic polyfunctional photocurable compound. Acidic polyfunctional photocurable compound As a preferable example, the compound represented by the following general formula (i) or general formula (ii) is mentioned. In addition, in general formula (iii) and general formula (ii), when T or G is an oxyalkylene group, the terminal at the side of a carbon atom couple | bonds with R, X, or W. Moreover, as shown to FIG.
일반식(i) 중, R은 (메타)아크릴로일옥시기를 나타내고, X는 -COOH기, 또는 -OPO3H2기를 나타낸다. T는 옥시알킬렌기를 나타내고, 여기에서 알킬렌기의 탄소수는 1∼4이다. n은 0∼20이다.In the general formula (i), R represents an acryloyloxy group in a (meth) acrylate, X represents a -COOH group, or -OPO 3 H 2. T represents an oxyalkylene group, and carbon number of an alkylene group is 1-4 here. n is 0-20.
일반식(ⅱ) 중, W는 일반식(ⅰ)에 있어서의 R 또는 X와 동의이며, 6개의 W 중 3개 이상의 W가 R과 동의이다. G는 일반식(ⅰ)에 있어서의 T와 동의이다. Z는 -O- 또는, -OC=ONH(CH2)qNHCOO-를 나타낸다. p는 0∼20이며, q는 1∼8이다. 1분자 내에 복수 존재하는 R, T, G, W는 각각 동일하여도, 달라도 된다.In general formula (ii), W is synonymous with R or X in general formula (iii), and three or more W out of six W is synonymous with R. G is synonymous with T in General formula. Z represents -O- or -OC = ONH (CH 2 ) qNHCOO-. p is 0-20 and q is 1-8. Two or more R, T, G, and W in one molecule may be same or different, respectively.
일반식(ⅰ) 및 일반식(ⅱ)로 나타내어지는 산성 다관능 광경화성 화합물의 시판품의 예로서는, 도아고세이(주)제의 카르복실기 함유 3관능 아크릴레이트인 TO-756, 및 카르복실기 함유 5관능 아크릴레이트인 TO-1382 등을 들 수 있다.As an example of the commercial item of the acidic polyfunctional photocurable compound represented by General formula (i) and General formula (ii), TO-756 which is a carboxyl group-containing trifunctional acrylate made by Toagosei Co., Ltd., and a carboxyl group-containing 5-functional acrylate Phosphorus TO-1382 etc. are mentioned.
또 다른 예로서, 일본 특허공고 소 48-41708호 공보, 일본 특허공고 소 50-6034호 공보, 및 일본 특허공개 소 51-37193호 공보에 기재되어 있는 우레탄아크릴레이트류; 일본 특허공개 소 48-64183호 공보, 일본 특허공고 소 49-43191호 공보, 및 일본 특허공고 소 52-30490호 공보에 기재되어 있는 폴리에스테르아크릴레이트류; 에폭시 수지와 (메타)아크릴산의 반응 생성물인 에폭시아크릴레이트류 등의 다관능 아크릴레이트 및 다관능 메타크릴레이트를 들 수 있다. 상기 중에서 트리메티롤프로판 트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리스리톨 테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 헥사(메타)아크릴레이트, 디펜타에리스리톨 펜타(메타)아크릴레이트, 상기 카르복실기 함유 5관능 아크릴레이트 등이 바람직하다. 또한 이밖에, 일본 특허공개 평 11-133600호 공보에 기재된 「중합성 화합물B」도 바람직한 예로서 들 수 있다.As another example, the urethane acrylates described in Unexamined-Japanese-Patent No. 48-41708, Unexamined-Japanese-Patent No. 50-6034, and Unexamined-Japanese-Patent No. 51-37193; Polyester acrylates described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 48-64183, Japanese Patent Publication No. 49-43191, and Japanese Patent Publication No. 52-30490; Polyfunctional acrylates and polyfunctional methacrylates, such as epoxy acrylates which are reaction products of an epoxy resin and (meth) acrylic acid, are mentioned. In the above, trimetholpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, and the carboxyl group-containing 5-functional acrylate This is preferred. In addition, "polymerizable compound B" described in Unexamined-Japanese-Patent No. 11-133600 is also a preferable example.
블랙 매트릭스 형성용으로 사용되는 감광성 농색 조성물에 있어서의 (C-2) 중합성 화합물의 함유량은, 감광성 농색 조성물층의 전체 고형분 중 5∼50질량%인 것이 바람직하고, 7∼40질량%인 것이 보다 바람직하며, 10∼35질량%인 것이 더욱 바람직하다.It is preferable that content of the (C-2) polymeric compound in the photosensitive deepening composition used for forming a black matrix is 5-50 mass% in the total solid of the photosensitive deepening composition layer, and it is 7-40 mass% More preferably, it is still more preferable that it is 10-35 mass%.
감광성 농색 조성물에 사용되는 (B) 바인더 폴리머, (D) 중합개시제, (E) 용제, 그 밖의 첨가제 등은, 상기한 착색 패턴 형성용의 감광성 착색 조성물에 있어서의 것과 같고, 바람직한 함유량도 같다.The (B) binder polymer, (D) polymerization initiator, (E) solvent, other additives, etc. which are used for the photosensitive deepening composition are the same as those in the photosensitive coloring composition for coloring pattern formation mentioned above, and its preferable content is also the same.
컬러필터Color filter
본 발명의 컬러필터는 본 발명의 컬러필터의 제조방법에 의해 제조한 컬러필터이며, 블랙 매트릭스와 착색 패턴이 겹치는 오버랩부를 갖고, 상기 오버랩부의 블랙 매트릭스의 폭 방향에 있어서의 길이가 1.0㎛∼12㎛이다.The color filter of this invention is a color filter manufactured by the manufacturing method of the color filter of this invention, has an overlap part which a black matrix and a coloring pattern overlap, and the length in the width direction of the black matrix of the said overlap part is 1.0 micrometer-12 [Mu] m.
상기 감광성 착색 조성물 및 감광성 농색 조성물을 사용하고, 본 발명의 컬 러필터의 제조방법으로 제조한 본 발명의 컬러필터는, 융기의 높이가 낮게 억제되고, 또한 오버랩의 길이도 적성하며, 고품위의 표시를 가능하게 한다. 상기 오버랩부의 길이는 1.0㎛∼12㎛이며, 상기 융기의 높이는 0.50㎛ 이하인 것이 바람직하다.Using the photosensitive coloring composition and the photosensitive deepening composition, the color filter of the present invention manufactured by the method for producing a color filter of the present invention has a low height of the ridge and is also suitable for the length of the overlap and a high quality display. To make it possible. It is preferable that the length of the said overlap part is 1.0 micrometer-12 micrometers, and the height of the said bump is 0.50 micrometer or less.
액정표시장치LCD Display
본 발명의 액정표시장치는 본 발명의 컬러필터를 구비한 액정표시장치이다. 그 때문에 고품위의 화상을 표시할 수 있다. The liquid crystal display device of the present invention is a liquid crystal display device provided with the color filter of the present invention. Therefore, a high quality image can be displayed.
스페이서는 도포에 의한 제작 방법 또는 전사에 의한 제작 방법을 적합하게 사용할 수 있다. 도포에 의한 제작 방법은 공정이 간단한 점에서 바람직하다. 전사에 의한 제작 방법은 스페이서 높이의 균일성이 좋은 점에서 바람직하다. 전사에 의한 제작 방법에 대해서는 일본 특허공개 2008-146018호 기재의 방법이 특히 바람직하다.The spacer can use the manufacturing method by coating or the manufacturing method by transfer suitably. The manufacturing method by application | coating is preferable at a point with a simple process. The manufacturing method by transfer is preferable at the point that the uniformity of a spacer height is good. About the manufacturing method by transcription | transfer, the method of Unexamined-Japanese-Patent No. 2008-146018 is especially preferable.
표시장치의 정의 및 각 표시장치의 설명은 예를 들면 「전자 디스플레이 디바이스(사사키 아키오 저, (주)코교쵸사카이 1990년 발행)」, 「디스플레이 디바이스(이부키 스미아키 저, 산교토쇼(주) 1989년 발행)」등에 기재되어 있다. 또한 액정표시장치에 대해서는, 예를 들면 「차세대 액정 디스플레이 기술(우치다 타쯔오 편집, (주)코교쵸사카이 1994년 발행)」에 기재되어 있다. 본 발명을 적용할 수 있는 액정표시장치에 특별히 제한은 없고, 예를 들면 상기 「차세대 액정 디스플레이 기술」에 기재되어 있는 여러 가지 방식의 액정표시장치에 적용할 수 있다.For the definition of the display device and the explanation of each display device, for example, "Electronic display device (by Akio Sasaki, issued by Kokyocho Sakai Co., Ltd., 1990)", "Display device (by Ibuki Sumiaki, by Sankyo Show Co., Ltd.) Issued in 1989). Moreover, about a liquid crystal display device, it describes in the "next-generation liquid crystal display technology (Tatsuo Uchida editing, Kogyo-cho Sakai Co., 1994)." There is no restriction | limiting in particular in the liquid crystal display device which can apply this invention, For example, it can apply to the liquid crystal display device of various systems described in the said "next-generation liquid crystal display technology."
본 발명은 그 중에서 특히, 컬러 TFT(Thin Film Transistor) 방식의 액정표 시장치에 유효하다. 컬러 TFT 방식의 액정표시장치에 대해서는, 예를 들면 「컬러 TFT 액정 디스플레이(쿄리츠슛판(주) 1996년 발행)」에 기재되어 있다. 또한 본 발명은 IPS(In-Plane Switching) 등의 횡전계 구동방식, MVA(Multi-domain Vertical Alignment) 등의 화소분할 방식 등의 시야각이 확대된 액정표시장치, STN(Super-twisted Nematic), TN(Twisted Nematic), VA(Vertical Alignment), OCS(On Chip Spacer), FFS(Fringe Field Switching), 및 R-OCB(Reflective Optically Compensated Bend) 등에도 적용할 수 있다. 이들 방식에 대해서는 예를 들면 「EL(Electro-Luminescence), PDP(Plasma Display Panel), LCD 디스플레이 -기술과 시장의 최신동향-(도레이 리서치 센터 조사연구부문2001년 발행)」의 43페이지에 기재되어 있다. The present invention is particularly effective in the liquid crystal table market value of the color TFT (Thin Film Transistor) system. About the liquid crystal display device of a color TFT system, it describes in a "color TFT liquid crystal display (Kyoritsu Shooting Co., Ltd. 1996 issuance), for example. In addition, the present invention provides a liquid crystal display device having an enlarged viewing angle such as a lateral electric field driving method such as IPS (In-Plane Switching), a pixel division method such as MVA (Multi-domain Vertical Alignment), a super-twisted nematic (STN), and a TN. (Twisted Nematic), VA (Vertical Alignment), OCS (On Chip Spacer), FFS (Fringe Field Switching), R-OCB (Reflective Optically Compensated Bend) and the like. These methods are described, for example, on page 43 of `` Electro-Luminescence (EL), Plasma Display Panel (PDP), LCD Display-Latest Trends in Technology and Markets '' (Published in 2001 by Toray Research Center). have.
액정표시장치는 컬러필터 이외에, 전극기판, 편광 필름, 위상차 필름, 백라이트, 스페이서, 시야각 보장필름 등 여러 가지 부재로 구성된다. 본 발명의 차광막 부착 기판은 이들 공지의 부재로 구성되는 액정표시장치에 적용할 수 있다.In addition to the color filter, the liquid crystal display device is composed of various members such as an electrode substrate, a polarizing film, a retardation film, a backlight, a spacer, a viewing angle guarantee film, and the like. The board | substrate with a light shielding film of this invention is applicable to the liquid crystal display device comprised from these well-known members.
이들 부재에 대해서는, 예를 들면 「'94 액정 디스플레이 주변재료·케미컬의 시장(시마 켄타로 (주)CMC, 1994년 발행)」, 「2003 액정관련 시장의 현재의 상태와 장래 전망(하권)(오모테 료키치, (주)후지 키메라 소우켄, 2003년 발행)」에 기재되어 있다.For these members, for example, the market of '94 liquid crystal display peripheral materials and chemicals (Kenta Shima CMC, 1994), the current status and future prospects of the 2003 liquid crystal related market (the lower volume) (Omote) Ryokichi, Fuji Chimera Souken, 2003 issue).
백라이트에 대해서는, SID Meeting Digest 1380(2005)(A .Konno et. al)이나, 월간 디스플레이 2005년 12월호의 18∼24페이지(시마 야스히로), 동 25∼30페이지(야기 타카아키) 등에 기재되어 있다.Backlighting is described in SID Meeting Digest 1380 (2005) (A.Konno et. Al), pages 18-24 (Shima Yasuhiro), pages 25-30 (Yagi Takaaki), etc. of the December 2005 issue of the monthly display. .
본 발명의 컬러필터는 종래 공지의 냉음극관의 삼파장관과 조합시켰을 때에 높은 콘트라스트를 실현할 수 있다. 또한 적, 녹, 및 청의 LED 광원(RGB-LED)을 백라이트로 함으로써, 휘도가 높고 또한 색순도가 높은 색재현성이 양호한 액정표시장치를 제공할 수 있다.The color filter of the present invention can realize high contrast when combined with a three-wavelength tube of a conventionally known cold cathode tube. Further, by using the red, green, and blue LED light sources (RGB-LEDs) as backlights, it is possible to provide a liquid crystal display device having high luminance and high color reproducibility.
또한 한편으로, 액정표시장치에 요구되는 성능은 화상의 응답 속도의 향상이다. 응답 속도의 향상을 위해서 액정의 배향 속도의 개량이 이루어져 있다. 한편 셀(cell)의 구조면으로부터는 액정층의 두께 저감이, 비용 절감 상도 필요하다. 액정층의 두께 저감에 필요한 또하나의 기술은, 착색 화소와 블랙 매트릭스의 경계 부분에서의 액정의 배향 혼란을 작게 하는 것이다. 그 때문에 착색 화소와 블랙 매트릭스의 경계 부분에서의 융기를 작게 하는 것이 요구된다. On the other hand, the performance required for the liquid crystal display device is an improvement in the response speed of the image. In order to improve the response speed, the alignment speed of the liquid crystal is improved. On the other hand, from the structure surface of a cell, the thickness reduction of a liquid crystal layer requires a cost reduction image. Another technique required for reducing the thickness of the liquid crystal layer is to reduce the orientation disturbance of the liquid crystal at the boundary between the colored pixel and the black matrix. For this reason, it is required to reduce the elevation at the boundary between the colored pixel and the black matrix.
본 발명의 컬러필터의 제조방법에 의해 제조된 컬러필터는 현상 후의 블랙 매트릭스 형성용의 감광성 농색 조성물층이 수직에 가까운 단면 형상을 갖고, 착색 패턴(착색 화소) 형성용의 감광성 착색 조성물층과 블랙 매트릭스의 오버랩부의 길이가 1.0∼12㎛이며, 융기를 작게 할 수 있다.The color filter manufactured by the manufacturing method of the color filter of this invention has the cross-sectional shape of the photosensitive deepening composition layer for black-matrix formation after image development which is nearly vertical, and the photosensitive coloring composition layer and black for formation of a coloring pattern (color pixel). The length of the overlap portion of the matrix is 1.0 to 12 µm, and the ridges can be made small.
이와 같이, 본 발명의 컬러필터는 융기가 작기 때문에 상기 오버랩부에서의 액정의 배향 혼란을 저감할 수 있고, 화상 표시했을 때의 시인성도 향상된다. 본 발명의 액정표시장치에 본 발명의 컬러필터를 사용함으로써 각 착색 화소의 블랙 매트릭스와의 겹침부를 평탄하게 할 수 있고, 평탄성이 양호해지면 액정층을 박층화하거나, 투명전극 ITO를 부설하기 전에 연마하거나, 평탄화층을 부여하거나 할 필요가 없어져서 공정의 합리화, 및 비용절감, 및 양산성에 공헌할 수 있다.As described above, the color filter of the present invention has a small bump, so that the alignment disturbance of the liquid crystal in the overlap portion can be reduced, and the visibility at the time of image display is also improved. By using the color filter of the present invention in the liquid crystal display of the present invention, it is possible to flatten the overlapping portion with the black matrix of each colored pixel, and when the flatness is good, the liquid crystal layer is thinned or polished before laying the transparent electrode ITO. In addition, it is not necessary to provide a planarization layer, which contributes to rationalization of the process, cost reduction, and mass productivity.
[실시예]EXAMPLE
이하에 실시예를 들어서 본 발명을 더욱 구체적으로 설명한다. 이하의 실시예에 나타내는 재료, 시약, 비율, 기기, 조작 등은 본 발명의 범위로부터 일탈하지 않는 한 적당하게 변경할 수 있다. 따라서, 본 발명의 범위는 이하에 나타내는 구체예에 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 실시예에 있어서 특별히 기재하지 않는 한 「%」 및 「부」는 「질량%」 및 「질량부」를 나타내고, 분자량이란 중량 평균 분자량을 나타낸다. 또한 「wt%」는 「질량%」를 나타낸다.An Example is given to the following and this invention is demonstrated to it further more concretely. Materials, reagents, ratios, instruments, operations, and the like shown in the following examples can be changed as appropriate without departing from the scope of the present invention. Therefore, the scope of the present invention is not limited to the specific example shown below. In addition, unless otherwise indicated in a following example, "%" and "part" show the "mass%" and the "mass part", and a molecular weight shows a weight average molecular weight. In addition, "wt%" shows the "mass%."
실시예 1Example 1
1. 감광성 농색 조성물의 조제1. Preparation of the photosensitive deepening composition
카본블랙 분산액(K-1)의 조제Preparation of Carbon Black Dispersion (K-1)
하기 처방으로 카본블랙 분산액(K-1)을 조제했다.The carbon black dispersion (K-1) was prepared by the following prescription.
·카본블랙(데구사제의 컬러 블랙 FW2) …26.7부Carbon black (color black FW2 made by Degussa)... Part 26.7
·분산제[쿠스모토 카세이제 디스파론 DA7500(산가 26; 아민가 40)]Dispersant [Kusmoto Kasei Disparon DA7500 (acid number 26; amine number 40)]
…3.3부 … Part 3.3
·벤질메타크릴레이트/메타크릴산 공중합체Benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer
(=72/28[몰비] 공중합체, 분자량 30,000, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트의 50질량% 용액) …10부 (= 72/28 [molar ratio] copolymer, molecular weight 30,000, 50 mass% solution of propylene glycol monomethyl ether acetate)…
·프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트 …60부Propylene glycol monomethyl ether acetate... 60 copies
상기 각 성분을 3000rpm의 조건으로 호모지나이저를 이용하여 1시간 교반했다. 얻어진 혼합 용액을 0.3㎜ 지르코니아 비드를 사용한 비드 분산기[상품명:디스 퍼맷(DESPERMAT), GETZMANN사(VMA-GETZMANN GMBH)제]로 8시간 미분산 처리를 실시하고 카본블랙 분산액(K-1)을 얻었다.Each said component was stirred for 1 hour using the homogenizer on 3000 rpm conditions. The resultant mixed solution was subjected to microdispersion treatment for 8 hours using a bead disperser (trade name: DESPERMAT, manufactured by GETZMANN (VMA-GETZMANN GMBH)) using 0.3 mm zirconia beads to obtain a carbon black dispersion (K-1). .
얻어진 카본블랙 분산액(K-1)을 사용하여 하기 표 1의 처방으로 감광성 농색 조성물 도포액 CK-1, CK-3, 및 CK-4를 조제했다. 표 1 중의 수치는 질량비를 나타낸다.Using the obtained carbon black dispersion (K-1), the photosensitive deep color composition coating liquids CK-1, CK-3, and CK-4 were prepared by the prescription of Table 1 below. The numerical value of Table 1 shows mass ratio.
표 1 중의 각 성분의 상세한 것은 하기와 같다. The detail of each component of Table 1 is as follows.
·수지 용액 C-2: 벤질메타크릴레이트/메타크릴산 공중합체(=85/15[몰비] 공중합체, Mw 10,000, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트의 50wt% 용액)Resin solution C-2: Benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (= 85/15 [molar ratio] copolymer, Mw 10,000, 50 wt% solution of propylene glycol monomethyl ether acetate)
·UV 경화성 수지 C-3: 상품명 사이크로머 P ACA-250 다이셀 카가쿠 고교(주)제[측쇄에 지환기, COOH기, 및 아크릴로일기를 갖는 아크릴계 공중합체, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트 용액(고형분: 50질량%)]UV-curable resin C-3: Product name Cyclomer P ACA-250 Daicel Kagaku Kogyo Co., Ltd. make [Acrylic copolymer, propylene glycol monomethyl ether acetate solution which has alicyclic group, COOH group, and acryloyl group in a side chain] (Solid content: 50% by mass)]
·중합성 화합물 C-5: 니폰 카야쿠(주)제 KAYARAD DPHA와, 니폰 카야쿠(주)제 KAYARAD R684의 60대 40(질량비)의 혼합물Polymerizable compound C-5: A mixture of 60 to 40 (mass ratio) of KAYARAD DPHA manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. and KAYARAD R684 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.
·개시제 C-7: 상품명 「OXE-02」치바 스페셜티 케미컬즈사제Initiator C-7: Product name "OXE-02" manufactured by Chiba Specialty Chemicals
·계면활성제 C-8: 상품명 「메가팩 R30」다이니폰 잉크 카가쿠 고교(주)제Surfactant C-8: Product name "Megapack R30" Dainippon Ink & Chemicals Co., Ltd. make
·용제: PGMEA=프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트Solvent: PGMEA = propylene glycol monomethyl ether acetate
EEP=3-에톡시에틸프로피오네이트 EEP = 3-Ethoxyethyl Propionate
2. 도포에 의한 블랙 매트릭스의 형성2. Formation of Black Matrix by Application
감광성 농색 조성물층 형성공정Photosensitive deep color composition layer forming process
얻어진 감광성 농색 조성물 CK-1을, 세정한 유리 기판(코닝사제 밀레니엄(MILLENIUM) 0.7mm 두께)에 슬릿 코터(형번 HC6000, 히라타 기코 가부시키가이샤제)를 이용하여 포스트베이킹한 후의 막두께가 1.2㎛가 되도록, 슬릿과 유리 기판 사이의 간격, 및 토출량을 조절하고, 도포속도 120mm/초로 도포했다.The film thickness after post-baking the obtained photosensitive deepening composition CK-1 using the slit coater (model number HC6000, the product made by Hirata Giko Co., Ltd.) to the cleaned glass substrate (Millenium (MILLENIUM) made by Corning Corporation) 1.2 The space | interval between a slit and a glass substrate, and discharge amount were adjusted so that it might become micrometer, and it apply | coated at the application | coating speed of 120 mm / sec.
프리베이킹 공정, 및 노광공정Prebaking Process and Exposure Process
이어서, 핫플레이트를 이용하여 80℃에서 120초간 가열(프리베이킹 처리)을 행한 후, 프록시미티 방식 노광기(형번 LE5565A 가부시키가이샤 히타치 하이테크놀로지사제)를 이용하여 60mJ/㎠로 노광했다.Subsequently, heating (prebaking process) was performed at 80 degreeC for 120 second using the hotplate, and it exposed at 60 mJ / cm <2> using the proximity type exposure machine (the model number LE5565A, the Hitachi High-Technologies company).
현상공정Developing Process
그 후에 수평 반송형의 현상장치로 현상했다. 즉, 수산화칼륨 현상액 CDK-1[후지 필름 일렉트로닉스 마테리알즈(주)제]의 1.0% 현상액(즉, CDK-1을 1질량부, 및 순수를 99질량부 함유하는 희석액; 24℃)으로 샤워압을 0.15㎫로 설정하고, 37초 현상하여 순수로 세정하고, 현상 후의 블랙 매트릭스를 얻었다.Then, it developed with the horizontal conveyance developing apparatus. Namely, shower with 1.0% developer of potassium hydroxide developer CDK-1 (manufactured by Fujifilm Electronics Material Co., Ltd.) (that is, a diluent containing 1 part by mass of CDK-1 and 99 parts by mass of pure water; 24 ° C). The pressure was set to 0.15 MPa, developed for 37 seconds, washed with pure water, and the black matrix after development was obtained.
여기에서 SEM(Scanning Electron Microscope)을 이용하여 블랙 매트릭스의 단면 사진을 촬영하여 단면 형상을 확인한 결과, 상부단에 대하여 하부단이 블랙 매트릭스의 폭 방향에 있어서 약 3㎛에 위치하는 순테이퍼 형상이었다. 또한, 이하의 실시예 및 비교예에 있어서의 상부단에 대한 하부단의 위치(표 6에는 「상부단∼하부단의 거리」로 기재)를 표 6에 나타낸다.As a result of photographing the cross-sectional shape of the black matrix using SEM (Scanning Electron Microscope), the cross-sectional shape was confirmed. As a result, the lower end of the black matrix was in a forward taper shape of approximately 3 μm in the width direction of the black matrix. In addition, the position of the lower end with respect to the upper end in a following example and a comparative example is shown in Table 6 (it describes as "distance of an upper end-a lower end" in Table 6).
SEM 촬영은 블랙 매트릭스의 격자의 긴변의 중앙 부근에 있어서 블랙 매트릭스의 폭 방향으로, 또한 기판 표면에 수직으로, 블랙 매트릭스를 기판과 함께 절단해서 행했다. SEM imaging was performed by cutting the black matrix together with the substrate in the width direction of the black matrix and perpendicular to the substrate surface near the center of the long side of the lattice of the black matrix.
베이킹 공정Baking process
이어서, 220℃의 클린 오븐에서 40분간 포스트베이킹 처리하여 착색 화소 형성 영역의 개구가 90㎛×200㎛이며, 블랙 매트릭스의 두께가 1.2㎛이며, 블랙 매트릭스의 선폭이 약 25㎛인 격자상 블랙 매트릭스 기판을 형성했다.Subsequently, the post-baking process was performed for 40 minutes in the clean oven at 220 degreeC, and the lattice-shaped black matrix whose opening of a colored pixel formation area is 90 micrometers x 200 micrometers, the thickness of a black matrix is 1.2 micrometers, and the line width of a black matrix is about 25 micrometers. A substrate was formed.
X-Rite 361T(V)[사카타 잉크 엔지니어링(주)제]를 이용하여 완성된 블랙 매트릭스의 광학농도(OD)를 측정한 결과 4.2이었다.It was 4.2 when the optical density (OD) of the completed black matrix was measured using X-Rite 361T (V) (made by Sakata Ink Engineering Co., Ltd.).
3. 감광성 착색 조성물의 조제3. Preparation of Photosensitive Coloring Composition
3-1. 적색(R)용 감광성 착색 조성물 도포액 CR-1의 조제3-1. Preparation of photosensitive coloring composition coating liquid CR-1 for red (R)
하기 처방으로 적색(R)용 분산액(R-1)을 조제했다.The dispersion (R-1) for red (R) was prepared with the following prescription.
·Pigment Red 254(SEM 관찰에서의 평균 입자지름 43㎚) …11부Pigment Red 254 (average particle diameter 43 nm in SEM observation). Part 11
·Pigment Red 177(SEM 관찰에서의 평균 입자지름 58㎚) …4부Pigment Red 177 (average particle diameter 58 nm in SEM observation).
·하기 분산 수지 A-3 …5부Dispersion resin A-3 below. Part 5
·분산제(상품명:Disperbyk-161, 빅케미사제)Dispersant (brand name: Disperbyk-161, BIC Chem Corporation)
(프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트의 30% 용액) …3부(30% solution of propylene glycol monomethyl ether acetate) Part Three
·알칼리 가용성 수지 : 벤질메타크릴레이트/메타크릴산 공중합체Alkali-soluble resin: Benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer
(=75/25[몰비] 공중합체, 분자량 30,000, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트 용액(고형분 : 50질량%)) …9부 (= 75/25 [molar ratio] copolymer, molecular weight 30,000, propylene glycol monomethyl ether acetate solution (solid content: 50 mass%)). Part 9
·용제B : 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트 …68부Solvent B: propylene glycol monomethyl ether acetate... Part 68
상기 각 성분을, 3000rpm의 조건에서 호모지나이저를 이용하여 1시간 교반했다. 얻어진 혼합 용액을 0.3㎜ 지르코니아 비드를 이용하여 비드 분산기(상품명:디스퍼맷, GETZMANN사제)로 4시간 미분산 처리를 실시하고, 적색(R)용 분산액(R-1)을 얻었다. SEM으로 관찰한 결과 평균 입자지름은 36㎚이었다.Each said component was stirred for 1 hour using the homogenizer on 3000 rpm conditions. The obtained mixed solution was microdispersed for 4 hours using the bead disperser (brand name: dispermat, the product made by GETZMANN) using 0.3 mm zirconia beads, and the dispersion liquid for red (R) (R-1) was obtained. The average particle diameter was 36 nm as observed by SEM.
얻어진 적색(R)용 분산액(R-1)을 사용하여 하기 처방으로 적색(R)용 감광성 착색 조성물 도포액 CR-1을 조제했다.The photosensitive coloring composition coating liquid CR-1 for red (R) was prepared by the following prescription using the obtained dispersion (R-1) for red (R).
·적색(R)용 분산액(R-1) …100부· Dispersion (R-1) for red (R). 100 copies
·에폭시 수지:(상품명 EHPE3150 다이셀 카가쿠 고교사제) …2부Epoxy resin: (brand name EHPE3150 Daicel Kagaku Kogyo Co., Ltd.) Part Two
·중합성 화합물:디펜타에리스리톨 펜타아크릴레이트와 디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트의 혼합물 …8부Polymerizable compound: A mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate.
·중합개시제:4-(o-브로모-p-N,N-디(에톡시카르보닐메틸)아미노-페닐)-2,6-디(트리클로로메틸)-s-트리아진 …1부Polymerization initiator: 4- (o-bromo-p-N, N-di (ethoxycarbonylmethyl) amino-phenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine. chapter 1
·중합개시제:2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논-1Polymerization initiator: 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1
…1부 … chapter 1
·중합개시제:디에틸티옥산톤 …0.5부Polymerization initiator: diethyl thioxanthone... 0.5 part
·중합금지제:p-메톡시페놀 …0.001부Polymerization inhibitor: p-methoxyphenol... 0.001 copies
·불소계 계면활성제(상품명:MEGAFAC R30 다이니폰 잉크 카가쿠 고교사제)Fluorine-based surfactant (brand name: MEGAFAC R30 Dainippon ink Kagaku Kogyo Co., Ltd.)
…0.01부 … 0.01 part
·비이온계 계면활성제(상품명:테트로닉 R150 ADEKA사제) …0.2부Nonionic surfactant (trade name: manufactured by Tetronic R150 ADEKA Corporation)... 0.2 part
·용제:프로필렌글리콜 n-부틸에테르아세테이트 …30부Solvent: Propylene glycol n-butyl ether acetate Part 30
·용제:프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트 …100부Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate 100 copies
상기 성분을 혼합 교반하고, 적색(R)용 감광성 착색 조성물 도포액 CR-1을 얻었다.The said component was mixed and stirred, and the photosensitive coloring composition coating liquid CR-1 for red (R) was obtained.
3-2. 녹색(G)용 감광성 착색 조성물 도포액 CG-1의 조제3-2. Preparation of photosensitive coloring composition coating liquid CG-1 for green (G)
하기 처방으로 녹색(G)용 분산액(G-1)을 조제했다.The dispersion (G-1) for green (G) was prepared by the following prescription.
·Pigment Green 36(SEM 관찰에서의 평균 입자지름 47㎚) …11부Pigment Green 36 (average particle diameter 47 nm in SEM observation). Part 11
·Pigment Yellow 150(SEM 관찰에서의 평균 입자지름 39㎚) …7부Pigment Yellow 150 (average particle diameter 39 nm in SEM observation). Part 7
·하기 분산 수지 A-3 …5부Dispersion resin A-3 below. Part 5
·분산제(상품명:Disperbyk-161, 빅케미사제 30% 용액) …3부Dispersant (brand name: Disperbyk-161, 30% solution made by BIC Chem) Part Three
·알칼리 가용성 수지:벤질메타크릴레이트/메타크릴산 공중합체Alkali-soluble resin: Benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer
(=85/15[몰비] 공중합체, 분자량 30,000, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트 용액(고형분:50질량%)) …11부 (= 85/15 [molar ratio] copolymer, molecular weight 30,000, propylene glycol monomethyl ether acetate solution (solid content: 50 mass%)) Part 11
·용제:프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트 …70부Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate 70 copies
상기 각 성분을 3000rpm의 조건에서 호모지나이저를 이용하여 1시간 교반했다. 얻어진 혼합 용액을 0.3㎜ 지르코니아 비드를 사용한 비드 분산기(상품명:디스퍼맷, GETZMANN사제)에서 8시간 미분산 처리를 실시하여 녹색(G)용 분산액(G-1)을 얻었다.Each said component was stirred for 1 hour using the homogenizer on 3000 rpm conditions. The obtained mixed solution was subjected to microdispersion treatment for 8 hours using a bead disperser (trade name: Dispermat, manufactured by GETZMANN Corporation) using 0.3 mm zirconia beads to obtain a dispersion (G-1) for green (G).
얻어진 녹색(G)용 분산액(G-1)을 사용하여 하기 처방으로 녹색(G)용 감광성 착색 조성물 도포액 CG-1을 조제했다. 다시 SEM으로 관찰하면 평균 입자지름은 32㎚이었다.The photosensitive coloring composition coating liquid CG-1 for green (G) was prepared by the following prescription using the obtained dispersion (G-1) for green (G). When observed again by SEM, the average particle diameter was 32 nm.
·녹색(G)용 분산액(G-1) …100부· Dispersion (G-1) for green (G). 100 copies
·에폭시 수지: (상품명 EHPE3150 다이셀 카가쿠 고교사제) …2부Epoxy resin: (product name EHPE3150 Daicel Kagaku Kogyo Co., Ltd.) Part Two
·중합성 화합물:디펜타에리스리톨 펜타아크릴레이트와 디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트의 혼합물 …8부Polymerizable compound: A mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate.
·중합성 화합물:펜타에리스리톨의 테트라(에톡시아크릴레이트) …2부Polymerizable compound: tetra (ethoxyacrylate) of pentaerythritol; Part Two
·중합개시제:1,3-비스트리할로메틸-5-벤조옥소란트리아진 …2부Polymerization initiator: 1,3-bistrihalomethyl-5-benzooxolantriazine... Part Two
·중합개시제:2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논-1Polymerization initiator: 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1
…1부 … chapter 1
·중합개시제:디에틸티옥산톤 …0.5부· Polymerization initiator: diethyl thioxtone 0.5 part
·중합금지제:p-메톡시페놀 …0.001부Polymerization inhibitor: p-methoxyphenol... 0.001 copies
·불소계 계면활성제(상품명:MEGAFAC R08 다이니폰 잉크 카가쿠 고교사제)Fluorine-based surfactant (brand name: MEGAFAC R08 Dainippon ink Kagaku Kogyo Co., Ltd.)
…0.02부 … 0.02part
·비이온계 계면활성제(상품명:에뮬겐 A-60 카오사제) …0.5부Nonionic surfactant (trade name: emulgen A-60 KAO Co., Ltd.); 0.5 part
·용제:프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트 …120부Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate 120 copies
·용제:프로필렌글리콜 n-프로필에테르아세테이트 …30부Solvent: Propylene glycol n-propyl ether acetate Part 30
상기 조성을 혼합 교반하여 녹색(G)용 감광성 착색 조성물 도포액 CG-1을 얻었다.The said composition was mixed and stirred, and the photosensitive coloring composition coating liquid CG-1 for green (G) was obtained.
3-3. 청색(B)용 감광성 착색 조성물 도포액 CB-1의 조제3-3. Preparation of photosensitive coloring composition coating liquid CB-1 for blue (B)
하기 처방으로 청색(B)용 분산액(B-1)을 조제했다.The dispersion (B-1) for blue (B) was prepared by the following prescription.
·Pigment Blue 15:6(SEM 관찰에서의 평균 입자지름 55㎚) …14부Pigment Blue 15: 6 (average particle diameter 55 nm in SEM observation). Part 14
·Pigment Violet 23(SEM 관찰에서의 평균 입자지름 61㎚) …1부Pigment Violet 23 (average particle diameter 61 nm in SEM observation). chapter 1
·하기 분산 수지 A-3 …5부Dispersion resin A-3 below. Part 5
·분산제(상품명:Disperbyk-161, 빅케미사제 30% 용액) …3부Dispersant (brand name: Disperbyk-161, 30% solution made by BIC Chem) Part Three
·알칼리 가용성 수지:벤질메타크릴레이트/메타크릴산 공중합체Alkali-soluble resin: Benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer
(=80/20[몰비] 공중합체, 분자량 30,000, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트 용액(고형분:50질량%)) …4부 (= 80/20 [molar ratio] copolymer, molecular weight 30,000, propylene glycol monomethyl ether acetate (solid content: 50 mass%)).
·용제:프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트 …73부Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate Part 73
상기 각 성분을 3000rpm의 조건으로 호모지나이저를 이용하여 1시간 교반했다. 얻어진 혼합 용액을 0.3㎜ 지르코니아 비드를 이용하여 비드 분산기(상품명:디스퍼맷, GETZMANN사제)로 4시간 미분산 처리를 실시하고, 청색(B)용 분산액(B-1)을 얻었다. 다시 SEM으로 관찰하면 평균 입자지름은 39㎚이었다.Each said component was stirred for 1 hour using the homogenizer on 3000 rpm conditions. The obtained mixed solution was microdispersed for 4 hours using the bead disperser (brand name: dispermat, the product made by GETZMANN) using 0.3 mm zirconia beads, and the dispersion liquid for blue (B) (B-1) was obtained. When observed again with an SEM, the average particle diameter was 39 nm.
얻어진 청색(B)용 분산액(B-1)을 사용하여 하기 처방으로 청색(B)용 감광성 착색 조성물 도포액 CB-1을 조제했다.The photosensitive coloring composition coating liquid CB-1 for blue (B) was prepared by the following prescription using the obtained dispersion (B-1) for blue (B).
·청색(B)용 분산액(B-1) …100부· Dispersion (B-1) for blue (B). 100 copies
·알칼리 가용성 수지:벤질메타크릴레이트/메타크릴산 공중합체Alkali-soluble resin: Benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer
(=80/20[몰비] 공중합체, 분자량 30,000, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트 용액(고형분:50질량%)) …7부 (= 80/20 [molar ratio] copolymer, molecular weight 30,000, propylene glycol monomethyl ether acetate solution (solid content: 50 mass%)) Part 7
·에폭시 수지:(상품명 셀록사이드 2080 다이셀 카가쿠 고교사제)Epoxy resin: (product name Celoxide 2080 Daicel Kagaku Kogyo Co., Ltd.)
…2부 … Part Two
·UV 경화성 수지:(상품명 사이크로머 P ACA-250 다이셀 카가쿠 고교사제)UV curable resin: (brand name cyclomer P ACA-250 Daicel Kagaku Kogyo KK)
(측쇄에 지환기, COOH기, 및 아크릴로일기를 갖는 아크릴계 공중합체, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트 용액(고형분:50질량%)) …4부(Acrylic copolymer having alicyclic group, COOH group, and acryloyl group in side chain, propylene glycol monomethyl ether acetate solution (solid content: 50% by mass))
·중합성 화합물:디펜타에리스리톨 펜타아크릴레이트와 디펜타에리스리톨 헥사아크릴레이트의 혼합물 …12부Polymerizable compound: A mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate.
·중합개시제:1-(9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카르바졸-3-일)-1-(o-아세틸 옥심)에타논 …3부Polymerization initiator: 1- (9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl) -1- (o-acetyl oxime) ethanone Part Three
·중합금지제:p-메톡시페놀 …0.001부Polymerization inhibitor: p-methoxy phenol. 0.001 copies
·불소계 계면활성제(상품명:MEGAFAC R08 다이니폰 잉크 카가쿠 고교사제)Fluorine-based surfactant (brand name: MEGAFAC R08 Dainippon ink Kagaku Kogyo Co., Ltd.)
…0.02부 … 0.02part
·비이온계 계면활성제(상품명:에뮬겐 A-60 카오사제) …1.0부Nonionic surfactant (trade name: emulgen A-60 KAO Co., Ltd.); 1.0 part
·용제:3-에톡시프로피온산 에틸 …20부Solvent: 3-ethoxypropionate ethyl Part 20
·용제:프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트 …150부Solvent: Propylene glycol monomethyl ether acetate 150 copies
상기 성분을 혼합 교반하여 청색(B)용 감광성 착색 조성물 도포액 CB-1을 얻었다.The said component was mixed and stirred, and the photosensitive coloring composition coating liquid CB-1 for blue (B) was obtained.
4. 분산 수지 A-3의 합성4. Synthesis of Dispersion Resin A-3
4-1. 연쇄이동제 A3의 합성4-1. Synthesis of Chain Transfer Agent A3
디펜타에리스리톨 헥사키스(3-메르캅토프로피오네이트)[DPMP;사카이 카가쿠 고교(주)제](하기 화합물(33)) 7.83부, 및 흡착 부위를 갖고, 또한 탄소-탄소 이중결합을 갖는 하기 화합물(m-6) 4.55부를, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 28.90부에 용해시켜 질소 기류하, 70℃로 가열했다. 이것에, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴)[V-65, 와코 쥰야쿠 고교(주)제] 0.04부를 첨가해서 3시간 가열했다. 또한 V-65를 0.04부 첨가하고, 질소 기류하, 70℃에서 3시간 반응시켰다. 실온까지 냉각함으로써 이하에 나타내는 메르캅탄 화합물(연쇄이동제 A3)의 30% 용액을 얻었다.7.83 parts of dipentaerythritol hexakis (3-mercaptopropionate) [DPMP; manufactured by Sakai Kagaku Kogyo Co., Ltd.] (Compound (33)), and an adsorption site, and also having a carbon-carbon double bond 4.55 parts of following compounds (m-6) were melt | dissolved in 28.90 parts of propylene glycol monomethyl ethers, and it heated at 70 degreeC under nitrogen stream. To this was added 0.04 parts of 2,2'-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) [V-65, manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.] and heated for 3 hours. Furthermore, 0.04 part of V-65 was added and it was made to react at 70 degreeC under nitrogen stream for 3 hours. The 30% solution of the mercaptan compound (chain transfer agent A3) shown below was obtained by cooling to room temperature.
4-2. 분산 수지 A-3의 합성4-2. Synthesis of Dispersion Resin A-3
상기한 바와 같이 해서 얻어진 연쇄이동제 A3의 30% 용액 4.99부, 메타크릴산 메틸 19.0부, 메타크릴산 1.0부, 및 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 4.66부의 혼합 용액을, 질소기류 하, 90℃로 가열했다. 이 혼합 용액을 교반하면서 2,2'-아조비스이소부티르산 디메틸[V-601, 와코 쥰야쿠 고교(주)제] 0.139부, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 5.36부, 및 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트 9.40부의 혼합 용액을 2.5시간 걸쳐서 적하했다. 적하 종료하고나서 90℃에서 2.5시간 반응시킨 후, 2,2'-아조비스이소부티르산 디메틸 0.046부, 및 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트 4.00부의 혼합 용액을 투입하고, 2시간 더 반응시켰다. 반응액에 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 1.52부, 및 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트 21.7부를 첨가한 후 실온까지 냉각함으로써 특정 분산 수지 A-3(폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량 24000)의 용액(특정 분산 수지 30질량%, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르 21질량%, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트 49질량%)을 얻었다.The mixed solution of 4.99 parts of the 30% solution of the chain transfer agent A3 obtained as mentioned above, 19.0 parts of methyl methacrylate, 1.0 part of methacrylic acid, and 4.66 parts of propylene glycol monomethyl ether was heated at 90 degreeC under nitrogen stream. . 0.139 parts of 2,2'- azobisisobutyric acid dimethyl [V-601, Wako Pure Chemical Industries, Ltd. product], 5.36 parts of propylene glycol monomethyl ethers, and 9.40 parts of propylene glycol monomethyl ether acetates while stirring this mixed solution. The mixed solution was added dropwise over 2.5 hours. After completion of the dropwise addition, the mixture was reacted at 90 ° C for 2.5 hours, and then a mixed solution of 0.046 parts of
이 특정 분산 수지 A-3의 산가는 48㎎KOH/g이었다. 분산 수지 A-3의 구조를 이하에 나타낸다.The acid value of this specific dispersion resin A-3 was 48 mgKOH / g. The structure of dispersion resin A-3 is shown below.
컬러필터의 제작Production of color filter
감광성 착색 조성물층 형성공정Photosensitive coloring composition layer forming process
얻어진 적색(R)용 감광성 착색 조성물 도포액 CR-1을, 상기 블랙 매트릭스 기판의 블랙 매트릭스 형성면측에 도포했다. 구체적으로는, 감광성 농색 조성물층 형성의 경우와 마찬가지로, 포스트베이킹 후의 감광성 착색 조성물층의 층두께가 약 2.1㎛가 되도록 슬릿과 블랙 매트릭스 기판 사이의 간격, 및 토출량을 조절하고, 도포 속도 120mm/초로 도포했다. The obtained photosensitive coloring composition coating liquid CR-1 for red (R) was apply | coated to the black matrix formation surface side of the said black matrix substrate. Specifically, in the same manner as in the case of forming the photosensitive deep color composition layer, the interval between the slit and the black matrix substrate and the discharge amount were adjusted so that the layer thickness of the photosensitive colored composition layer after postbaking was about 2.1 μm, and the coating speed was 120 mm / sec. Applied.
착색층 프리베이킹 공정, 및 착색층 노광공정Colored layer prebaking process, and colored layer exposure process
이어서, 핫플레이트를 이용하여 100℃에서 120초간 가열(프리베이킹 처리)을 행한 후, 프록시미티 방식 노광기(형번 LE5565A 가부시키가이샤 히타치 하이테크놀로지제)를 이용하여 90mJ/㎠로 노광했다.Subsequently, heating (prebaking process) was performed at 100 degreeC for 120 second using the hotplate, and it exposed at 90 mJ / cm <2> using the proximity type exposure machine (Model No. LE5565A Corporation Hitachi High Technology).
또한 노광 패턴과 블랙 매트릭스의 겹침(노광 겹침량)이 5.5㎛가 되도록 마스크 패턴 및 노광기를 설정했다.Moreover, the mask pattern and the exposure machine were set so that the overlap (exposure overlap amount) of an exposure pattern and a black matrix might be 5.5 micrometers.
착색층 현상공정, 및 착색층 베이킹 공정Colored layer developing step, and colored layer baking step
그 후에 수산화칼륨계 현상액 CDK-1[후지 필름 일렉트로닉스 마테리알즈(주)제]의 1.0% 현상액(CDK-1을 1질량부 및 순수를 99질량부 함유하는 희석액, 25℃)으로 샤워압을 0.2㎫로 설정하고, 45초 현상하여 순수로 세정했다.Thereafter, the shower pressure was reduced with 1.0% developer (diluent containing 25 parts by mass of 1 part by mass of CDK-1 and 99 parts by mass of pure water) of potassium hydroxide developer CDK-1 (manufactured by Fujifilm Electronics Material Co., Ltd.). It set to 0.2 Mpa, and developed for 45 second and wash | cleaned with pure water.
이어서 220℃의 클린오븐에서 30분간 포스트베이킹 처리하고, 열처리가 끝난 적색 화소를 형성했다.Subsequently, it post-baked for 30 minutes in the clean oven of 220 degreeC, and formed the red pixel after heat processing.
이어서, 상기 감광성 착색 조성물층 형성공정, 착색층 프리베이킹 공정, 착색층 노광공정, 착색층 현상공정, 및 착색층 베이킹 공정에 있어서의 적색(R)용 감광성 착색 조성물 도포액 CR-1을, 녹색(G)용 감광성 착색 조성물 도포액 CG-1로 바꾼 이외는 마찬가지로 하여 녹색 화소를 형성했다. 또한 그 후에 적색(R)용 감광성 착색 조성물 도포액 CR-1을, 청색(B)용 감광성 착색 조성물 도포액 CB-1로 바꾼 이외는 마찬가지로 하여 청색 화소를 형성해서 컬러필터를 얻었다.Subsequently, the photosensitive coloring composition coating liquid CR-1 for red (R) in the said photosensitive coloring composition layer forming process, colored layer prebaking process, colored layer exposure process, colored layer developing process, and colored layer baking process is green. The green pixel was similarly formed except having changed into the photosensitive coloring composition coating liquid CG-1 for (G). Moreover, except then replacing the photosensitive coloring composition coating liquid CR-1 for red (R) with the photosensitive coloring composition coating liquid CB-1 for blue (B), blue pixels were similarly formed and the color filter was obtained.
무작위로 선택한 10화소의 SEM 단면사진을 찍고, 감광성 착색 조성물층과 블랙 매트릭스의 오버랩부의 블랙 매트릭스의 폭 방향에 있어서의 길이를 측정한 결과, 산술평균으로 5.0㎛이었다.SEM cross-sectional photographs of 10 pixels selected at random were taken, and the length in the width direction of the black matrix of the overlapping portion of the photosensitive coloring composition layer and the black matrix was measured. As a result, the arithmetic mean was 5.0 μm.
상기 SEM 단면사진은 블랙 매트릭스의 긴변의 중앙 부근에서 긴변 방향에 대하여 직각으로 자른 단면을 SEM 촬영했다.The SEM cross section photographed the cross section which was cut at right angles with respect to the long side direction near the center of the long side of the black matrix.
또한 접촉식 표면 조도계 P-10[케이엘에이 텐코르(주)제]을 이용하여 무작위로 선택한 100의 착색 패턴의 「융기」의 높이를 측정한 결과, 산술평균으로 0.22㎛이었다. 융기의 높이 측정은, 도 8에 나타낸 바와 같이 해서, 블랙 매트릭스(10)의 격자 긴변의 중앙 부근에서 상기 블랙 매트릭스(10)의 폭 방향(A방향)에 촉침(12)을 움직여 행하였다. Moreover, the height of the "ridge | flop" of 100 colored patterns selected at random using the contact surface roughness meter P-10 (made by KLA Tencor Co., Ltd.) was 0.22 micrometers in an arithmetic mean. As shown in FIG. 8, the height measurement of the elevation was performed by moving the
또한 각 색의 착색 패턴과 블랙 매트릭스로 형성된 융기의 높이는, 착색 패턴의 표면 중 오버랩부의 기판 표면으로부터 가장 떨어진 부분과, 오버랩부 이외의 평탄한 표면 부분 사이의 기판의 법선 방향에 있어서의 거리로서 구했다.In addition, the height of the ridge formed by the coloring pattern of each color and the black matrix was calculated | required as distance in the normal line direction of the board | substrate between the part remote from the board | substrate surface of the overlap part among the surfaces of a coloring pattern, and flat surface parts other than the overlap part.
액정표시장치의 제작Manufacture of LCD
상기로부터 얻은 컬러필터의 R화소, G화소, 및 B화소 그리고 블랙 매트릭스 상에 또한 ITO 투명전극을 스퍼터링에 의해 형성했다. 별도, 대향 기판으로서 유리 기판을 준비하고, 마찬가지로 ITO 투명전극을 스퍼터링에 의해 형성했다. 그리고, 상기 ITO 투명전극 상의 격벽의 상방에 상당하는 부분에 기둥상 포토스페이서를 형성하고, 그 위에 폴리이미드로 이루어지는 배향막을 더 형성했다. The ITO transparent electrode was also formed by sputtering on the R pixels, the G pixels, the B pixels, and the black matrix of the color filter obtained above. Separately, the glass substrate was prepared as a counter substrate, and the ITO transparent electrode was similarly formed by sputtering. And a columnar photospacer was formed in the part corresponding to the upper part of the partition on the said ITO transparent electrode, and the alignment film which consists of polyimide was further formed on it.
그 후에 컬러필터의 착색 화소군의 주위를 둘러싸도록 형성된 블랙 매트릭스 외곽선에 상당하는 위치에, 자외선 경화 수지의 시일제를 디스펜서 방식에 의해 도포하고, TN 모드용 액정을 적하해서 진공 상태로 대향 기판과 접합시켰다. 접합된 기판을 UV 조사한 후 열처리해서 시일제를 경화시켰다. 이렇게 하여 액정 셀을 얻었다. 이 액정 셀의 양면에 (주)산릿츠제의 편광판 HLC2-2518을 붙이고, 이어서 냉음극관의 백라이트를 구성해서 상기 편광판이 설치된 액정 셀의 배면이 되는 측에 배치하여 액정표시장치로 했다.Thereafter, the sealing agent of the ultraviolet curable resin was applied by a dispenser method to a position corresponding to the black matrix outline formed around the colored pixel group of the color filter, the liquid crystal for TN mode was dropped and the counter substrate was placed in a vacuum state. Conjugation. The bonded substrate was subjected to UV irradiation and then heat treated to cure the sealing agent. In this way, a liquid crystal cell was obtained. The polarizing plate HLC2-2518 made from Sanlitz Co., Ltd. was stuck to both surfaces of this liquid crystal cell, Then, the backlight of a cold cathode tube was comprised and it arrange | positioned on the side used as the back surface of the liquid crystal cell provided with the said polarizing plate, and it was set as the liquid crystal display device.
액정표시장치의 화질 평가Image quality evaluation of LCD
액정표시장치에 통전하여 각종 표시 화상을 육안으로 관찰하고, 하기의 평가기준에 따라서 평가했다. 결과는 하기 표 6에 나타낸다.Various display images were visually observed by energizing a liquid crystal display device and evaluated according to the following evaluation criteria. The results are shown in Table 6 below.
평가기준Evaluation standard
○:얼룩이 없고, 표시가 선명하며 박력이 있다고 느낀다.(Circle): There is no stain, a display is clear and feels to be powerful.
△:얼룩은 없지만, 표시에 박력을 느낄수 없다.(Triangle | delta): There is no stain, but I cannot feel force in a display.
×:얼룩이 있거나, 하얗게 보이거나 해서 보고 즐길 수 없다.X: There is a dirt, or it looks white and cannot see and enjoy it.
실시예 2∼실시예 10 및 실시예 13∼실시예 24Examples 2 to 10 and 13 to 24
실시예 1에 있어서, 감광성 농색 조성물 도포액(표 5에서는 농색 조성물이라 표기한다) CK-1을 사용하여 블랙 매트릭스 형성공정에 있어서의 프리베이킹 조건,및 현상 조건, 및 착색 패턴 형성공정에 있어서의 노광 겹침량을 표 5에 나타내는 값으로 바꾼 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 하여 컬러필터를 제작했다. 그 컬러필터를 이용하여 실시예 1과 마찬가지로 해서 액정표시장치를 제작했다. 또한 실시예 1과 같은 평가를 실시했다. 그 결과를 표 6에 나타낸다.Example 1 WHEREIN: The photobaking composition coating liquid (it is described with a darkening composition in Table 5) using CK-1, the prebaking conditions in the black-matrix formation process, the image development conditions, and the coloring pattern formation process. A color filter was produced in the same manner as in Example 1 except that the exposure overlap amount was changed to the value shown in Table 5. A liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 1 using the color filter. Moreover, evaluation similar to Example 1 was performed. The results are shown in Table 6.
실시예 11Example 11
블랙 매트릭스 형성을, 도포에 의한 형성이 아니라 하기에 나타내는 전사에 의한 형성에 의하여 행하고, 노광기를 보다 대형의 기판에 대응한 미러 프로젝션 방식의 노광기(형번 MPA-8800, 캐논 가부시키가이샤 제)로 바꾼 이외는 실시예 1과 마찬가지로 해서 컬러필터를 제작했다. 이 컬러필터를 이용하여 액정표시장치를 제작했다. 또한 실시예 1과 같은 평가를 실시했다. 그 결과를 표 6에 나타낸다.The black matrix was formed by the transfer shown below, not by the coating, and the exposure machine was replaced with a mirror projection type exposure machine (model number MPA-8800, manufactured by Canon Corporation) corresponding to a larger substrate. A color filter was produced in the same manner as in Example 1 except for the above. The liquid crystal display device was produced using this color filter. Moreover, evaluation similar to Example 1 was performed. The results are shown in Table 6.
전사에 의한 블랙 매트릭스의 형성Formation of Black Matrix by Transfer
감광성 전사재료 CK1의 제작Fabrication of Photosensitive Transfer Material CK1
두께 75㎛의 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름 가지지체(PET 가지지체) 위에, 슬릿상 노즐을 이용하여 하기 처방 H1로 이루어지는 열가소성 수지층용 도포액을 도포하고, 건조시켜서 열가소성 수지층을 형성했다. 다음에 상기 처방 P1로 이루어지는 중간층용 도포액을 열가소성 수지층 위에 더 도포하고, 건조시켜서 중간층(산소차단막)을 형성했다. 이 중간층 위에 또한, 상기 감광성 농색 조성물 도포액 CK-1을 도포하고, 90도의 열기류에서 건조시켜서 감광성 수지층 K1을 형성했다. 또한, 이 감광성 수지층의 표면에 보호 필름(두께 12㎛ 폴리프로필렌 필름)을 압착하고, 가지지체와 열가소성 수지층과 중간층과 감광성 수지층 K1이 일체가 된 감광성 전사재료 CK1을 제작했다.On the 75-micrometer-thick polyethylene terephthalate film support body (PET support body), the coating liquid for thermoplastic resin layers which consists of following formula H1 was apply | coated using a slit-shaped nozzle, it dried, and the thermoplastic resin layer was formed. Next, the coating liquid for intermediate | middle layers which consists of said prescription P1 was further apply | coated on a thermoplastic resin layer, and it dried, and formed the intermediate | middle layer (oxygen barrier film). On this intermediate | middle layer, the said photosensitive deepening composition coating liquid CK-1 was apply | coated, and it dried in 90 degree heat flow, and formed the photosensitive resin layer K1. Furthermore, the protective film (
열가소성 수지층용 도포액 : 처방 H1Coating liquid for thermoplastic resin layer: prescription H1
·메탄올 …11.1부Methanol. Part 11.1
·프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트 …6.36부Propylene glycol monomethyl ether acetate... Part 6.36
·메틸에틸케톤 …52.4부Methyl ethyl ketone. Part 52.4
·메틸메타크릴레이트/2-에틸헥실아크릴레이트/벤질메타크릴레이트/메타크릴산 공중합체(공중합 조성비(몰비)=55/11.7/4.5/28.8, 분자량=10만, Tg≒70℃)Methyl methacrylate / 2-ethylhexyl acrylate / benzyl methacrylate / methacrylic acid copolymer (copolymerization composition ratio (molar ratio) = 55 / 11.7 / 4.5 / 28.8, molecular weight = 100,000, Tg ≒ 70 ° C.)
…6.80부 … 6.80
·스티렌/아크릴산 공중합체(공중합 조성비(몰비)=63/37, 평균 분자량=1만, Tg≒100℃) …10.2부Styrene / acrylic acid copolymer (copolymerization composition ratio (molar ratio) = 63/37, average molecular weight = 10,000, Tg ≒ 100 ° C.). Part 10.2
·2,2-비스[4-(메타크릴옥시폴리에톡시)페닐]프로판2,2-bis [4- (methacryloxypolyethoxy) phenyl] propane
(신나카무라 카가쿠 고교(주)제) …9.1부 (Shin-Nakamura Kagaku Kogyo Co., Ltd.)… Part 9.1
·상기 구조물 1의 30% MEK(메틸에틸케톤) 용액 …0.54부30% MEK (methyl ethyl ketone) solution of structure 1. 0.54part
이상과 같이 해서 얻어진 감광성 전사재료 CK1은, 열가소성 수지의 건조막 두께가 14.6㎛이며, 중간층의 건조막 두께가 1.6㎛이며, 감광성 수지층 K1의 건조막 두께가 1.3㎛이었다.The dry film thickness of the thermoplastic resin was 14.6 micrometers, the dry film thickness of the intermediate | middle layer was 1.6 micrometers, and the dry film thickness of the photosensitive resin layer K1 of the photosensitive transfer material CK1 obtained as mentioned above was 1.3 micrometers.
다음에 무알칼리 유리 기판(이하, 단지 「유리 기판」이라고도 한다)을, 25℃로 조정한 유리 세정제 액을 샤워에 의해 20초간 분사하면서 나일론모를 갖는 회전 브러시로 세정하고, 또한 순수로 샤워 세정했다. 그 후에 실란커플링액(N-β(아미노에틸)γ-아미노프로필트리메톡시실란 0.3질량% 수용액, 상품명:KBM603, 신에츠카가쿠 고교(주)제)을 샤워에 의해 20초간 분사하여 순수 샤워 세정했다. 이 기판을 기판 예비 가열장치를 이용하여 100℃에서 2분간 가열했다.Next, the alkali free glass substrate (henceforth only called a "glass substrate") was wash | cleaned with the rotating brush which has nylon hair, spraying the glass detergent liquid adjusted to 25 degreeC by shower for 20 second, and also shower-washing with pure water. . After that, a silane coupling liquid (N-β (aminoethyl) γ-aminopropyltrimethoxysilane 0.3 mass% aqueous solution, trade name: KBM603, manufactured by Shin-Etsukagaku Kogyo Co., Ltd.) was sprayed for 20 seconds by showering to clean the pure water shower. did. This board | substrate was heated at 100 degreeC for 2 minutes using the board | substrate preheater.
얻어진 실란커플링 처리 유리 기판에, 상기에 의해 얻은 감광성 전사재료 CK1로부터 보호 필름을 제거하고, 제거 후에 노출된 감광성 수지층 K1을, 그 표면이 실란커플링 처리 유리 기판의 표면과 접하도록 겹쳐서 WO2006-4225의 Fig.24에 기재된 대형 2정첩 라미네이터를 이용하여 라미네이트했다. 라미네이트의 조건(전사 조건)을 하기 표 2에 나타낸다.The protective film is removed from the photosensitive transfer material CK1 obtained by the above to the obtained silane coupling process glass substrate, and the photosensitive resin layer K1 exposed after removal is overlapped so that the surface may contact the surface of a silane coupling process glass substrate, WO2006 Lamination was carried out using a large two-fold laminator as shown in Fig. 24 of -4225. The conditions (transfer conditions) of the laminate are shown in Table 2 below.
계속해서, PET 가지지체를 열가소성 수지층과의 계면에서 박리하고 가지지체를 제거했다. 가지지체를 박리한 후, 미러 프로젝션형 노광기(MPA-8800, 캐논(주)제)에 의해 노광량 100mJ/㎠로 패턴 노광했다.Subsequently, the PET support was peeled off at the interface with the thermoplastic resin layer to remove the support. After peeling a branch body, it pattern-exposed at 100 mJ / cm <2> of exposure amounts by the mirror projection type exposure machine (MPA-8800, Canon Co., Ltd. product).
다음에 트리에탄올아민계 현상액[트리에탄올아민 30% 함유, 상품명:T-PD2(후지 필름(주)제)를 순수로 12배로 희석한 액(T-PD2 1부를 순수 11부의 비율로 혼합한 액)]을 30℃에서 20초간, 플랫 노즐 압력 0.04㎫로 샤워 현상하고, 열가소성 수지층과 중간층을 제거했다. 계속해서, 이 유리 기판의 상면에 에어를 분사하여 액제거한 후, 순수를 샤워에 의해 10초간 분사하고 순수 샤워 세정하고, 에어를 분사하여 기판 상의 액 고임을 줄였다.Next, a triethanolamine developer [30% containing triethanolamine, brand name: T-PD2 (manufactured by Fujifilm Co., Ltd.), diluted 12 times with pure water (solution of mixing 1 part of T-PD2 in the ratio of 11 parts of pure water)] Was shower-developed at 30 degreeC for 20 second by the flat nozzle pressure of 0.04 Mpa, and the thermoplastic resin layer and the intermediate | middle layer were removed. Subsequently, after spraying air on the upper surface of this glass substrate to remove the liquid, pure water was sprayed for 10 seconds by showering, pure shower cleaning, and air was sprayed to reduce liquid pool on the substrate.
그 후에 수산화칼륨계 현상액 CDK-1[후지 필름 일렉트로닉스 마테리알즈(주)제]의 1.0% 현상액(CDK-1을 1질량부, 및 순수를 99질량부 함유하는 희석액, 28℃)으로 샤워압을 0.10㎫로 설정하고, 55초 현상하여 순수로 세정했다.Subsequently, showering pressure with 1.0% developer (diluent containing 1 part by mass of CDK-1 and 99 parts by mass of pure water, 28 ° C.) of potassium hydroxide developer CDK-1 (manufactured by Fujifilm Electronics Material Co., Ltd.) Was set to 0.10 MPa, and developed for 55 seconds to wash with pure water.
계속해서, 세정제[인산염, 규산염, 비이온 계면활성제, 소포제, 및 안정제를 함유;상품명:T-SD1(후지 필름(주)제)]를 순수로 10배로 희석한 액을 이용하여 33℃에서 20초간, 콘형 노즐 압력 0.02㎫로 샤워로 분사하고, 또한 부드러운 나일론모를 갖는 회전 브러시에 의해 형성된 패턴 상(像)을 문질러서 잔사 제거를 행하고, 원하는 블랙 매트릭스 패턴을 얻었다.Subsequently, using a liquid obtained by diluting the washing agent [phosphate, silicate, nonionic surfactant, antifoaming agent, and stabilizer; brand name: T-SD1 (manufactured by Fuji Film Co., Ltd.) 10-fold with pure water, It sprayed by shower at 0.02 Mpa of cone-shaped nozzle pressure for a second, and rubbed the pattern image formed by the rotating brush which has a soft nylon hair, the residue was removed, and the desired black matrix pattern was obtained.
여기에서, SEM으로 단면사진을 찍고, 감광성 농색 조성물층의 단면 형상을 관찰한 결과 테이퍼 길이가 약 1.5㎛이었다. 상기 테이퍼 길이의 측정 방법은 실시예 1에 있어서의 테이퍼 길이의 측정과 마찬가지로 해서 행했다.Here, when the cross-sectional photograph was taken by SEM and the cross-sectional shape of the photosensitive deepening composition layer was observed, the taper length was about 1.5 micrometers. The measuring method of the said taper length was performed similarly to the measurement of the taper length in Example 1.
이어서 220℃의 클린오븐에서 40분간 포스트베이킹 처리하고, 착색 화소 형성 영역의 개구가 90㎛×200㎛이며, 블랙 매트릭스의 선폭이 약 25㎛인 격자상 블랙 매트릭스를 형성했다.Subsequently, the post-baking process was carried out for 40 minutes in the clean oven at 220 degreeC, and the lattice-shaped black matrix whose opening of the colored pixel formation area | region is 90 micrometers x 200 micrometers, and the line width of a black matrix is about 25 micrometers was formed.
실시예 12Example 12
실시예 11에 있어서의 감광성 농색 조성물 도포액 CK-1을, 하기 감광성 농색 조성물 도포액 CK-2로 변경한 이외는 실시예 11과 마찬가지로 해서 컬러필터를 얻고, 상기 컬러필터를 이용하여 액정표시장치를 제작했다.A color filter was obtained in the same manner as in Example 11 except that the photosensitive deep color composition coating liquid CK-1 in Example 11 was changed to the following photosensitive deep color composition coating liquid CK-2, and a liquid crystal display device was used using the color filter. Made.
감광성 농색 조성물 도포액 CK-2의 조제Preparation of Photosensitive Deep Color Composition Coating Liquid CK-2
하기 표 3에 기재된 양의 안료 분산물 K-2, 및 프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트를 칭량하여, 온도 24℃(±2℃)에서 혼합하고, 150r.p.m.으로 10분간 교반하였다. 이 교반 중에, 표 1에 기재된 양의 메틸에틸케톤, 시클로헥사논, 바인더 2, 페노티아진, DPHA액, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[4'-(N,N-비스디에톡시카르보닐메틸)아미노-3'-브로모페닐]-s-트리아진, 및 하기 계면활성제 1을 칭량하여 온도 25℃(±2℃)에서 이 순서로 첨가하고, 온도 40℃(±2℃)에서 150r.p.m.으로 30분간 교반함으로써 감광성 농색 조성물 도포액 CK-2를 얻었다.The pigment dispersion K-2 and the propylene glycol monomethyl ether acetate in the amounts shown in Table 3 below were weighed, mixed at a temperature of 24 ° C. (± 2 ° C.), and stirred at 150 r.p.m. for 10 minutes. During this stirring, methyl ethyl ketone, cyclohexanone,
또, 상기 표 3에 기재된 양은 질량부이며, 각 성분의 상세한 것은 하기에 나타내는 바와 같다.In addition, the quantity shown in the said Table 3 is a mass part, The detail of each component is as showing below.
안료 분산물 K-2Pigment Dispersion K-2
·카본블랙(데구사사제 Nipex35) 13.1%13.1% of carbon black (Nipex35 made by Degussa)
·분산제(하기 화합물1) 0.65%Dispersant (compound 1 below) 0.65%
·폴리머(벤질메타크릴레이트/메타크릴산=72/28몰비의 랜덤 공중합물, 분자량 3.7만) 6.72%6.72% of polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid = random copolymer of 72/28 molar ratio, molecular weight 370,000)
·프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트 79.53%Propylene glycol monomethyl ether acetate 79.53%
바인더 2
·폴리머(벤질메타크릴레이트/메타크릴산=78/22몰비의 랜덤 공중합체, 분자량=3.8만) …27%Polymer (benzyl methacrylate / methacrylic acid = 78/22 mole ratio random copolymer, molecular weight = 3.8 million). 27%
·프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트 …73%Propylene glycol monomethyl ether acetate... 73%
DPHA액DPHA liquid
·니폰 카야쿠(주)제 KAYARAD DPHA와 니폰 카야쿠(주)제 KAYARAD R-684의 60대 40(질량비)의 혼합물 …76%Mixture of 60 to 40 (mass ratio) of KAYARAD DPHA manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. and KAYARAD R-684 manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.. 76%
·프로필렌글리콜 모노메틸에테르아세테이트 …24%Propylene glycol monomethyl ether acetate... 24%
실시예 25Example 25
실시예 1의 블랙 매트릭스 형성에 있어서 감광성 농색 조성물 도포액 CK-1을 도포할 때에, 베이킹 후의 블랙 매트릭스 막두께가 1.5㎛가 되도록 슬릿과 유리 기판 사이의 간격, 및 토출량을 조정해서 감광성 농색 조성물 도포액 CK-1을 도포하고, 컬러필터의 제조공정(블랙 매트릭스 형성공정 및 착색 패턴 형성공정)의 각 조건을 표 5와 같이 변경한 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 컬러필터를 제조했다. 또한 이 컬러필터를 이용하여 액정표시장치를 제작했다.When applying the photosensitive deep color composition coating liquid CK-1 in the black matrix formation of Example 1, the space | interval between a slit and a glass substrate, and discharge amount are adjusted so that the black matrix film thickness after baking may be set to 1.5 micrometers, and the photosensitive deep color composition application is apply | coated. The color filter was manufactured like Example 1 except apply | coating solution CK-1 and changing each condition of the manufacturing process (black matrix formation process and colored pattern formation process) of a color filter like Table 5. Moreover, the liquid crystal display device was produced using this color filter.
실시예 26Example 26
실시예 1의 블랙 매트릭스 형성에 있어서 감광성 농색 조성물 도포액 CK-1을, 감광성 농색 조성물 도포액 CK-3으로 변경하고, 감광성 농색 조성물 도포액 CK-3을 도포할 때에 베이킹 후의 블랙 매트릭스 막두께가 1.8㎛이 되도록 슬릿과 유리 기판 사이의 간격, 및 토출량을 조정해서 감광성 농색 조성물 도포액 CK-3을 도포하고, 컬러필터의 제조공정(블랙 매트릭스 형성공정 및 착색 패턴 형성공정)의 각 조건을 표 5와 같이 변경한 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 컬러필터를 제조했다. 또한 이 컬러필터를 이용하여 액정표시장치를 제작했다.In forming the black matrix of Example 1, when the photosensitive deep color composition coating liquid CK-3 is changed to the photosensitive deep color composition coating liquid CK-3 and the photosensitive deep color composition coating liquid CK-3 is applied, the black matrix film thickness after baking becomes The interval between the slit and the glass substrate and the discharge amount were adjusted so as to be 1.8 µm, and the photosensitive deep color composition coating liquid CK-3 was applied, and the conditions of the color filter manufacturing process (black matrix forming step and colored pattern forming step) were shown. A color filter was produced in the same manner as in Example 1 except that the modification was carried out as in Example 5. Moreover, the liquid crystal display device was produced using this color filter.
실시예 27Example 27
실시예 1의 블랙 매트릭스 형성에 있어서 감광성 농색 조성물 도포액 CK-1을 도포할 때에, 베이킹 후의 블랙 매트릭스 막두께가 1.0㎛가 되도록 슬릿과 유리 기판 사이의 간격, 및 토출량을 조정해서 감광성 농색 조성물 도포액 CK-1을 도포하고, 컬러필터의 제조공정(블랙 매트릭스 형성공정 및 착색 패턴 형성공정)의 각 조건을 표 5와 같이 변경한 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 컬러필터를 제조했다. 또한 이 컬러필터를 이용하여 액정표시장치를 제작했다.When applying the photosensitive deep color composition coating liquid CK-1 in the black matrix formation of Example 1, the space | interval between a slit and a glass substrate, and discharge amount are adjusted so that the black matrix film thickness after baking may be set to 1.0 micrometer, and the photosensitive deep color composition application is apply | coated. The color filter was manufactured like Example 1 except apply | coating solution CK-1 and changing each condition of the manufacturing process (black matrix formation process and colored pattern formation process) of a color filter like Table 5. Moreover, the liquid crystal display device was produced using this color filter.
실시예 28Example 28
실시예 1의 블랙 매트릭스 형성에 있어서 감광성 농색 조성물 도포액 CK-1을 감광성 농색 조성물 도포액 CK-4로 변경하고, 감광성 농색 조성물 도포액 CK-4를 도포할 때에, 베이킹 후의 블랙 매트릭스 막두께가 0.7㎛가 되도록 슬릿과 유리 기판 사이의 간격, 및 토출량을 조정해서 감광성 농색 조성물 도포액 CK-4를 도포하고, 컬러필터의 제조공정(블랙 매트릭스 형성공정 및 착색 패턴 형성공정)의 각 조건을 표 5와 같이 변경한 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 컬러필터를 제조했다. 또한 이 컬러필터를 이용하여 액정표시장치를 제작했다.In forming the black matrix of Example 1, when the photosensitive deep color composition coating liquid CK-4 is changed to the photosensitive deep color composition coating liquid CK-4 and the photosensitive deep color composition coating liquid CK-4 is applied, the black matrix film thickness after baking becomes The interval between the slit and the glass substrate and the discharge amount were adjusted so as to be 0.7 μm, and the photosensitive deep color composition coating liquid CK-4 was applied, and the conditions of the color filter manufacturing process (black matrix forming step and colored pattern forming step) were shown. A color filter was produced in the same manner as in Example 1 except that the modification was carried out as in Example 5. Moreover, the liquid crystal display device was produced using this color filter.
실시예 29Example 29
실시예 13에 있어서, 기둥형상 스페이서 형성공정을 이하와 같이 변경하고, 블랙 매트릭스의 현상 조건을 표 5와 같이 변경한 이외는, 실시예 13과 마찬가지로 해서 컬러필터를 제조했다. 또한, 이 컬러필터를 이용하여 액정표시장치를 제작했다. In Example 13, the color filter was manufactured like Example 13 except having changed the columnar spacer formation process as follows, and changing the developing conditions of the black matrix as Table 5. Moreover, the liquid crystal display device was produced using this color filter.
스페이서 형성공정Spacer Forming Process
상기 감광성 전사재료 CK1의 제작에 있어서, 감광성 수지 조성물층 K1을 표 4에 나타내는 처방 1로 변경한 이외는 감광성 전사재료 CK1의 제작과 마찬가지로 해서 건조층 두께 4.1㎛의 감광성 수지 조성물층을 갖는 스페이서 형성용 감광성 전사재료를 제작했다. 또한, 표 4에 있어서의 단위는 질량부이다.In preparation of the said photosensitive transfer material CK1, spacer formation which has a photosensitive resin composition layer with a dry layer thickness of 4.1 micrometers was carried out similarly to preparation of the photosensitive transfer material CK1 except having changed the photosensitive resin composition layer K1 into the prescription 1 shown in Table 4. A photosensitive transfer material was prepared. In addition, the unit in Table 4 is a mass part.
화합물 구조 P-1로 나타내어지는 수지의 합성Synthesis of Resin Represented by Compound Structure P-1
반응용기 중에 1-메톡시-2-프로판올(다이셀 카가쿠 고교(주)제) 8.57부를 미리 첨가하여 90℃로 승온하고, 이소프로필메타크릴레이트 6.27부, 메타크릴산 5.15부, 아조계 중합개시제(와코쥰야쿠사제, V-601) 1부, 및 1-메톡시-2-프로판올 8.57부로 이루어지는 혼합용액을 질소가스 분위기 하, 90℃의 반응용기 중에 2시간 걸쳐서 적하했다. 적하 후 4시간 반응시켜서 아크릴 수지 용액을 얻었다.8.57 parts of 1-methoxy-2-propanol (made by Daicel Kagaku Kogyo Co., Ltd.) are previously added to a reaction container, and it heats up at 90 degreeC, 6.27 parts of isopropyl methacrylates, 5.15 parts of methacrylic acid, and azo polymerization The mixed solution which consists of 1 part of initiators (made by Wako Pure Chemical Industries Ltd., V-601) and 8.57 parts of 1-methoxy- 2-propanol was dripped over 2 hours in 90 degreeC reaction container under nitrogen gas atmosphere. After dropping, the mixture was reacted for 4 hours to obtain an acrylic resin solution.
이어서, 상기 아크릴 수지 용액에 하이드로퀴논모노메틸에테르 0.025부, 및 테트라에틸암모늄브로마이드 0.084부를 첨가한 후, 글리시딜메타크릴레이트 5.41부를 2시간 걸쳐서 적하했다. 적하 후, 공기를 불어넣으면서 90℃에서 4시간 반응시킨 후, 고형분 농도가 45%가 되도록 용매 MMPGAC를 첨가함으로써 조제하여, 불포화기를 가지는 하기 화합물 구조 P-1로 나타내어지는 수지 용액을 얻었다.Subsequently, after adding 0.025 part of hydroquinone monomethyl ether and 0.084 part of tetraethylammonium bromide to the said acrylic resin solution, 5.41 parts of glycidyl methacrylates were dripped over 2 hours. After dripping and reacting at 90 degreeC for 4 hours, blowing air, it prepared by adding solvent MMPGAC so that solid content concentration might be 45%, and obtained the resin solution represented by the following compound structure P-1 which has an unsaturated group.
또한, 상기 화합물 구조 P-1로 나타내어지는 수지의 분자량(Mw)은 중량 평균 분자량을 나타내고, 상기 분자량의 측정방법으로서는 겔 침투 크로마토그래피(GPC)를 이용하여 측정했다.In addition, the molecular weight (Mw) of resin represented by the said compound structure P-1 showed the weight average molecular weight, and measured using gel permeation chromatography (GPC) as a measuring method of the said molecular weight.
알칼리 가용 수지(20)의 조제Preparation of alkali-soluble resin 20
반응용기 중에 1-메톡시-2-프로판올 25g과 1-메톡시-2-프로필아세테이트 25g의 혼합 용매를 미리 첨가하고, 90℃로 승온하여 스티렌 32.1g, 메타크릴산 36.5g, 아조계 중합개시제(와코쥰야쿠사제, V-601) 6.73g, 1-메톡시-2-프로판올 25g, 및 1-메톡시-2-프로필아세테이트 25g의 혼합용액을 질소가스 분위기 하, 90℃의 반응용기 중에 2시간 걸쳐서 적하했다. 적하 후 4시간 반응시켜서 아크릴 수지 용액을 얻었다.Into the reaction vessel, a mixed solvent of 25 g of 1-methoxy-2-propanol and 25 g of 1-methoxy-2-propyl acetate is added in advance, and the temperature is raised to 90 ° C. to give 32.1 g of styrene, 36.5 g of methacrylic acid, and an azo polymerization initiator. (Made by Wako Pure Chemical Industries, V-601) A mixed solution of 6.73 g, 25 g of 1-methoxy-2-propanol, and 25 g of 1-methoxy-2-propyl acetate was placed in a reaction vessel at 90 ° C. under a nitrogen gas atmosphere. It was dripped over time. After dropping, the mixture was reacted for 4 hours to obtain an acrylic resin solution.
이어서, 상기 아크릴 수지 용액에 하이드로퀴논모노메틸에테르 0.5g, 및 테트라에틸암모늄브로마이드 0.015g을 첨가한 후, 글리시딜메타크릴레이트 31.3g을 2시간 걸쳐서 적하했다. 적하 후, 공기를 불어 넣으면서 90℃에서 4시간 반응시켜 알칼리 가용 수지 용액을 얻었다. 이 알칼리 가용 수지(20) 용액 중의 고형분은 50%이었다.Next, after adding 0.5 g of hydroquinone monomethyl ether and 0.015 g of tetraethylammonium bromide to the said acrylic resin solution, 31.3 g of glycidyl methacrylates were dripped over 2 hours. After dripping, it reacted at 90 degreeC for 4 hours, blowing air, and obtained the alkali-soluble resin solution. Solid content in this alkali-soluble resin 20 solution was 50%.
얻어진 스페이서 형성용 감광성 전사재료의 커버 필름을 박리하고, 노출된 감광성 수지 조성물층의 표면을 컬러필터 기판에 중합하여 WO2006-4225의 Fig.24에 기재된 대형 2정첩 라미네이터를 이용하여 선압 100N/㎝, 130℃의 가압·가열 조건하에서 반송속도 2m/분으로 접합시켰다. 그 후에 PET 가지지체를 열가소성 수지층과의 계면에서 박리 제거하고, 감광성 수지 조성물층을 열가소성 수지층 및 중간층과 함께 전사했다.The cover film of the obtained photosensitive transfer material for spacer formation was peeled off, the surface of the exposed photosensitive resin composition layer was polymerized on a color filter substrate, and a linear pressure of 100 N / cm, using a large two-fold laminator as described in Fig. 24 of WO2006-4225, Bonding was carried out at a conveyance speed of 2 m / min under pressure and heating conditions of 130 ° C. Thereafter, the PET support was peeled off at the interface with the thermoplastic resin layer, and the photosensitive resin composition layer was transferred together with the thermoplastic resin layer and the intermediate layer.
다음에, 초고압 수은등을 갖는 프록시미티형 노광기(히타치 하이 테크놀러지즈(주)제)를 이용하여 마스크(화상 패턴을 갖는 석영노광 마스크)와, 상기 마스크와 열가소성 수지층이 마주보도록 배치한 컬러필터 기판을 대략 평행하게 수직으로 세운 상태에서, 마스크면과 감광성 수지 조성물층의 중간층에 접하는 측의 표면과의 사이의 거리를 100㎛로 하고, 마스크를 통해서 열가소성 수지층측에서 노광량 90mJ/㎠로 프록시미티 노광했다.Next, a mask (a quartz exposure mask having an image pattern) using a proximity exposure machine (manufactured by Hitachi High Technologies, Inc.) having an ultra-high pressure mercury lamp, and a color filter substrate arranged so that the mask and the thermoplastic resin layer face each other. In a state in which the surfaces of the photosensitive resin composition layer are in contact with the surface of the intermediate layer of the photosensitive resin composition layer, the distance between the mask surface and the surface of the photosensitive resin composition layer is 100 μm, and the exposure amount is 90 mJ /
다음에 트리에탄올아민계 현상액(상품명:T-PD2를 순수로 12배로 희석한 액)을 30℃에서 50초간, 플랫 노즐 압력 0.04㎫로 샤워 현상하고, 열가소성 수지층과 중간층을 제거했다. 계속해서, 이 유리 기판의 상면에 에어를 분사하여 액제거한 후, 순수를 샤워에 의해 10초간 분사하여 순수 샤워 세정하고, 에어를 분사하여 기판 상의 액고임을 줄였다.Next, the triethanolamine-based developer (trade name: a solution diluted 12-fold with pure water) was shower-developed at 30 ° C for 50 seconds at a flat nozzle pressure of 0.04 MPa to remove the thermoplastic resin layer and the intermediate layer. Subsequently, after spraying air on the upper surface of the glass substrate to remove the liquid, pure water was sprayed for 10 seconds by a shower, followed by pure shower cleaning, and air was sprayed to reduce the liquid level on the substrate.
계속해서, 탄산 Na계 현상액[0.38몰/ℓ의 탄산수소나트륨, 0.47몰/ℓ의 탄산나트륨, 5%의 디부틸나프탈렌술폰산 나트륨, 음이온 계면활성제, 소포제, 및 안정제를 함유;상품명:T-CD1(후지 필름(주)제)을 순수로 10배로 희석한 액]을 이용하여 29℃에서 50초간, 콘형 노즐 압력 0.15㎫로 샤워 현상하고, 스페이서의 패턴 상을 얻었다.Subsequently, it contains Na carbonate developer [0.38 mol / L sodium hydrogencarbonate, 0.47 mol / L sodium carbonate, 5% sodium dibutylnaphthalenesulfonate, anionic surfactant, an antifoamer, and a stabilizer; FUJIFILM CO., LTD.] Was shower-developed at a cone nozzle pressure of 0.15 MPa for 50 seconds using a liquid diluted 10-fold with pure water, to obtain a pattern image of a spacer.
계속해서, 세정제[인산염, 규산염, 비이온 계면활성제, 소포제, 및 안정제를 함유;상품명:T-SD3(후지 필름(주)제)을 순수로 10배로 희석한 액]를 이용하여 33℃에서 20초간, 콘형 노즐 압력 0.02㎫로 샤워로 분사하고, 형성된 패턴 상의 주변의 잔사 제거를 행하여 원하는 스페이서 패턴을 얻었다.Subsequently, using a washing | cleaning agent [containing a phosphate, a silicate, a nonionic surfactant, an antifoamer, and a stabilizer; brand name: T-SD3 (liquid diluted 10-fold with Fuji Film Co., Ltd. product)] 20 at 33 degreeC The nozzle was sprayed at a cone nozzle pressure of 0.02 MPa for a second, and the surrounding residue on the formed pattern was removed to obtain a desired spacer pattern.
다음에 스페이서 패턴이 형성된 컬러필터 기판을, 240℃ 하에서 50분간 가열 처리를 행해(열처리 공정), 포토 스페이서를 제작했다.Next, the color filter substrate in which the spacer pattern was formed was heat-processed at 240 degreeC for 50 minutes (heat processing process), and the photo spacer was produced.
얻어진 스페이서 패턴은 지름 24㎛, 평균 높이 3.6㎛의 원기둥 모양이었다. 또한, 평균 높이는 얻어진 스페이서 20개를 삼차원 표면구조 해석 현미경(메이커:ZYGO Corporation, 형식:New View 5022)을 사용하여 ITO의 투명전극 형성면에서 가장 높은 위치를 측정해 산술평균에 의해 구했다.The obtained spacer pattern was cylindrical with a diameter of 24 µm and an average height of 3.6 µm. In addition, the average height of 20 spacers obtained was calculated | required by the arithmetic mean by measuring the highest position in the transparent electrode formation surface of ITO using the three-dimensional surface structure analysis microscope (maker: ZYGO Corporation, model: New View 5022).
실시예 30 및 31Examples 30 and 31
실시예 1에 있어서, 기둥형상 스페이서 형성공정을 실시예 29와 같이 변경하고, 블랙 매트릭스 현상 조건을 표 5와 같이 변경한 이외는 실시예 1과 같은 방법.In Example 1, the method of Example 1 was changed except having changed the columnar spacer formation process like Example 29, and changing the black matrix developing conditions as Table 5.
실시예 32Example 32
실시예 1에 있어서, 기둥형상 스페이서 형성공정을 실시예 29와 같이 변경하고, 블랙 매트릭스의 선폭이 17㎛이며, 노광 겹침량이 4.5㎛가 되도록 블랙 매트릭스와 화소의 마스크 패턴을 변경하고, 블랙 매트릭스 현상 조건을 표와 같이 변경한 이외는 실시예 1과 같은 방법.In Example 1, the columnar spacer forming process was changed as in Example 29, the black matrix and the mask pattern of the pixel were changed so that the line width of the black matrix was 17 µm, and the overlapping amount was 4.5 µm. The same method as in Example 1 except that the conditions were changed as shown in the table.
실시예 33Example 33
실시예 32에 있어서, 현상 장치를 수평 반송형으로 변경한 이외는 실시예 32와 마찬가지로 하여 컬러필터를 제조했다. 또한 이 컬러필터를 이용하여 액정표시장치를 제작했다.In Example 32, the color filter was manufactured like Example 32 except having changed the developing apparatus into the horizontal conveyance type. Moreover, the liquid crystal display device was produced using this color filter.
실시예 34Example 34
실시예 32에 있어서, 현상 장치를 수직 반송형으로 변경한 이외는 실시예 32와 마찬가지로 하여 컬러필터를 제조했다. 또한 이 컬러필터를 이용하여 액정표시장치를 제작했다.In Example 32, the color filter was manufactured like Example 32 except having changed the developing apparatus into the vertical conveyance type. Moreover, the liquid crystal display device was produced using this color filter.
비교예 1∼비교예 6Comparative Example 1 to Comparative Example 6
실시예 1에 있어서, 블랙 매트릭스 형성공정에 있어서의 프리베이킹 조건, 및 현상 조건, 그리고 착색 패턴 형성공정에 있어서의 노광 겹침량을 표 5에 나타내는 값으로 바꾼 이외는, 실시예 1과 마찬가지로 해서 컬러필터를 제작하고, 그 컬러필터를 이용하여 실시예 1과 마찬가지로 해서 액정표시장치를 제작했다.In Example 1, it carried out similarly to Example 1 except having changed the prebaking conditions in a black-matrix formation process, the image development conditions, and the exposure overlap amount in a coloring pattern formation process into the value shown in Table 5. A filter was produced and a liquid crystal display device was produced in the same manner as in Example 1 using the color filter.
표 5중, 「블랙 매트릭스 형성공정」란에 있어서의 프리베이킹 시간 및 현상 시간의 단위는 「초」이며, 프리베이킹 온도 및 현상 온도의 단위는「℃」이다. 또한 「착색 패턴 형성공정」란에 있어서의 노광 겹침량의 단위는 「㎛」이다.In Table 5, the unit of prebaking time and image development time in the "black matrix formation process" column is "second", and the unit of prebaking temperature and image development temperature is "degreeC". In addition, the unit of the exposure overlap amount in the "coloring pattern formation process" column is "micrometer".
상기 실시예 2∼실시예 34, 및 비교예 1∼비교예 6에 의해 제작한 각 액정표시장치에 대해서 실시예 1과 마찬가지로 해서 화질평가를 행했다. 결과를 표 6에 나타낸다.Image quality evaluation was performed similarly to Example 1 about each liquid crystal display device produced by the said Example 2-Example 34, and Comparative Examples 1-6. The results are shown in Table 6.
또한, 비교예 1∼비교예 4에 있어서는 블랙 매트릭스 현상 후에 잔사가 발생 또는, 블랙 매트릭스의 선폭이 굵어지거나, 또는 블랙 매트릭스가 깨졌기 때문에 기판 상에 착색 패턴을 형성할 수 없었다. 또한 비교예 5에 있어서는, 블랙 매트릭스와 화소 사이에 일부 간극이 발생하는 등의 백색화가 발생하였기 때문에 그 후의 평가 및 표시장치 작성에는 적합하지 않은 컬러필터가 되었다. 그 때문에 비교예 1∼5에 있어서는, 융기의 높이를 구할 수 없고, 또한 액정표시장치의 평가를 행할 수 없었다.In Comparative Examples 1 to 4, a colored pattern could not be formed on the substrate because a residue was generated after black matrix development, the line width of the black matrix became thick, or the black matrix was broken. In Comparative Example 5, since whitening such as a partial gap was generated between the black matrix and the pixels, it became a color filter unsuitable for subsequent evaluation and display device creation. Therefore, in Comparative Examples 1-5, the height of ridge cannot be calculated | required and the liquid crystal display device cannot be evaluated.
표 6 중, 두께, 상부단∼하부단의 거리, 오버랩, 및 융기의 높이의 단위는 모두 「㎛」이다.In Table 6, the unit of the thickness, the distance from the upper end to the lower end, the overlap, and the height of the ridge are all "µm".
표 6으로부터 알 수 있는 바와 같이, 실시예 1∼실시예 34의 컬러필터는 융기의 높이가 억제되어, 이들 컬러필터를 사용한 액정표시장치는 고품질의 화질인 것을 알 수 있었다.As can be seen from Table 6, the heights of the elevations of the color filters of Examples 1 to 34 were suppressed, and it was found that the liquid crystal display device using these color filters was of high quality.
도 1은 상단부로부터 하단부가 거의 일치한 현상 후의 블랙 매트릭스 기판의 부분 단면도이다.1 is a partial cross-sectional view of a black matrix substrate after development, in which the lower end portion almost coincides with the upper end portion.
도 2는 역테이퍼가 생긴 현상 후의 블랙 매트릭스 기판의 부분 단면도이다.2 is a partial cross-sectional view of the black matrix substrate after development in which reverse taper occurs.
도 3은 순테이퍼가 생긴 현상 후의 블랙 매트릭스 기판의 부분 단면도이다.3 is a partial cross-sectional view of the black matrix substrate after development where a forward taper is formed.
도 4는 포스트베이킹 처리 후의 블랙 매트릭스 기판의 부분 단면도이다.4 is a partial cross-sectional view of the black matrix substrate after the postbaking treatment.
도 5는 포스트베이킹 처리 후의 블랙 매트릭스 상에 착색층이 형성된 컬러필터 기판의 부분 단면도이다.5 is a partial cross-sectional view of a color filter substrate on which a colored layer is formed on a black matrix after postbaking treatment.
도 6은 오버랩부가 형성된 컬러필터의 부분 단면도이다.6 is a partial cross-sectional view of a color filter in which an overlap part is formed.
도 7은 오버랩부에 융기가 있는 컬러필터의 부분 단면도이다.7 is a partial cross-sectional view of a color filter having raised portions in the overlap portion.
도 8은 융기의 높이를 구하기 위한 측정방법의 개념도이다.8 is a conceptual diagram of a measuring method for obtaining the height of a ridge.
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