KR20090073538A - Model equivalent circuit of phase change memory device - Google Patents

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KR20090073538A
KR20090073538A KR1020070141509A KR20070141509A KR20090073538A KR 20090073538 A KR20090073538 A KR 20090073538A KR 1020070141509 A KR1020070141509 A KR 1020070141509A KR 20070141509 A KR20070141509 A KR 20070141509A KR 20090073538 A KR20090073538 A KR 20090073538A
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강희복
홍석경
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Abstract

A spice modeling equivalent circuit of the phase change memory device is provided to effectively process the operation margin in the read mode and the write mode. A phase change detection unit detects the phase change of the phase change resistance device based on the set of reset condition in advance according to the input power source which is applied to the phase change resistance device, and outputs the reset control signal(PCD_RESET). The resistance selection driving unit differently sets up the equivalent resistance between the top electrode(TE) of the phase change resistance device and the bottom electrode(BE) according to the reset control signal and the mode selection signal(MS). The resistance selection driving unit differently sets up the set resistance and the reset resistance at the read mode.

Description

상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로{Model equivalent circuit of phase change memory device}Model equivalent circuit of phase change memory device

본 발명은 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로에 관한 것으로서, 상 변화 메모리 장치의 시뮬레이션(Simulation) 구현에 필요한 스파이스 모델링(Spice modeling) 등가 회로를 구현할 수 있도록 하는 기술이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a model equivalent circuit of a phase change memory device, and is a technique for implementing a spice modeling equivalent circuit required for implementing a simulation of a phase change memory device.

일반적으로 마그네틱 메모리(Magnetic memory) 및 위상 변화 메모리(Phase Change Memory : PCM) 등의 비휘발성 메모리는 휘발성 램(RAM;Random Access Memory) 정도의 데이터 처리 속도를 갖고, 전원의 오프시에도 데이터가 보존되는 특성을 갖는다. In general, nonvolatile memories such as magnetic memory and phase change memory (PCM) have data processing speeds of about volatile random access memory (RAM) and preserve data even when the power is turned off. Has the property of being.

도 1a 및 도 1b는 종래의 상 변화 저항(PCR : Phase Change Resistor) 소자(4)를 설명하기 위한 도면이다. 1A and 1B are diagrams for explaining a conventional phase change resistor (PCR) element 4.

상 변화 저항 소자(4)는 탑(Top)전극(1)과 버텀(Bottom)전극(3) 사이에 위상 변화층(PCM; Phase Change Material;2)을 삽입하여 전압과 전류를 인가하면, 위상 변화층(2)에 고온이 유기되어 저항의 변화에 따른 전기 전도 상태가 변하게 된다. When the phase change resistance element 4 applies a voltage and a current by inserting a phase change material (PCM) 2 between the top electrode 1 and the bottom electrode 3, a phase is applied. The high temperature is induced in the change layer 2 to change the electrical conduction state due to the change in resistance.

여기서, 위상 변화층(2)의 재료로는 AglnSbTe가 주로 사용된다. 그리고, 위 상 변화층(2)은 칼코겐(chalcogen) 원소 (S, Se, Te)를 주성분으로 하는 화합물(chalcogenide)을 이용하는데, 구체적으로 Ge-Sb-Te로 이루어진 게르마늄 안티몬 텔루르 합금물질(Ge2Sb2Te5)을 이용한다. Here, AglnSbTe is mainly used as the material of the phase change layer 2. The phase change layer 2 uses a chalcogenide (chalcogenide) as a main component of a chalcogen element (S, Se, Te), specifically, a germanium antimony tellurium alloy material composed of Ge-Sb-Te ( Ge2Sb2Te5) is used.

도 2a 및 도 2b는 종래의 상 변화 저항 소자의 원리를 설명하기 위한 도면이다. 2A and 2B are diagrams for explaining the principle of a conventional phase change resistance element.

도 2a에서와 같이 상 변화 저항 소자(4)에 임계값 이하의 저전류가 흐르면 위상 변화층(2)이 결정화가 되기에 적당한 온도가 된다. 이에 따라, 위상 변화층(2)이 결정 상태(Crystalline phase)가 되어 저저항 상태의 물질이 된다. As shown in FIG. 2A, when a low current of less than or equal to a threshold flows through the phase change resistance element 4, the phase change layer 2 is at a temperature suitable for crystallization. As a result, the phase change layer 2 is in a crystalline phase to become a material having a low resistance state.

반면에, 도 2b에서와 같이 상 변화 저항 소자(4)에 임계값 이상의 고전류가 흐르면 위상 변화층(2)이 녹는 점(Melting Point) 이상의 온도가 된다. 이에 따라, 위상 변화층(2)이 비결정 상태(Amorphous phase)가 되어 고저항 상태의 물질이 된다. On the other hand, as shown in FIG. 2B, when a high current of more than a threshold flows through the phase change resistance element 4, the temperature of the phase change layer 2 becomes higher than the melting point. As a result, the phase change layer 2 is in an amorphous state and becomes a material of a high resistance state.

이와 같이 상 변화 저항 소자(4)는 두 저항의 상태에 대응하는 데이터를 불휘발성으로 저장할 수 있게 된다. 즉, 상 변화 저항 소자(4)가 저저항 상태일 경우를 데이터 "1"이라 하고, 고저항 상태일 경우를 데이터 "0"이라 하면 두 데이터의 로직 상태를 저장할 수 있다. As described above, the phase change resistive element 4 can non-volatilely store data corresponding to the states of the two resistors. That is, when the phase change resistance element 4 is in the low resistance state, the data is "1", and in the high resistance state is the data "0", the logic state of the two data can be stored.

도 3은 종래의 상 변화 저항 셀의 라이트 동작을 설명하기 위한 도면이다. 3 is a view for explaining a write operation of a conventional phase change resistance cell.

상 변화 저항 소자(4)의 탑 전극(1)과 버텀 전극(3) 사이에 일정 시간 동안 전류를 흘리게 되면 고 열이 발생하게 된다. 이에 따라, 탑 전극(1)과 버텀 전극(3)에 가해 준 온도 상태에 의해 위상 변화층(2)의 상태가 결정상과 비결정상으 로 변하게 된다. When a current flows between the top electrode 1 and the bottom electrode 3 of the phase change resistance element 4 for a predetermined time, high heat is generated. Thereby, the state of the phase change layer 2 changes into a crystalline phase and an amorphous phase by the temperature state applied to the top electrode 1 and the bottom electrode 3.

이때, 일정 시간 동안 저 전류를 흘리게 되면 저온 가열 상태에 의해 결정상이 형성되어 저 저항 소자인 상 변화 저항 소자(4)가 세트(SET) 상태가 된다. 반대로, 일정 시간 동안 고 전류를 흘리게 되면 고온 가열 상태에 의해 비결정상이 형성되어 고 저항 소자인 상 변화 저항 소자(4)가 리셋(RESET) 상태가 된다. 따라서, 이 두 개의 상(Phase) 차이가 전기적인 저항 변화로 표현되어 나타나게 된다. At this time, when a low current flows for a predetermined time, a crystal phase is formed by a low temperature heating state, and the phase change resistance element 4, which is a low resistance element, is set. On the contrary, when a high current flows for a predetermined time, an amorphous phase is formed by a high temperature heating state, and the phase change resistance element 4, which is a high resistance element, is reset. Thus, these two phase differences are represented by electrical resistance change.

이에 따라, 라이트 동작 모드시 세트(Set) 상태를 라이트 하기 위해 상 변화 저항 소자(4)에 낮은 전압을 긴 시간 동안 인가하게 된다. 반면에, 라이트 동작 모드시 리셋(Reset) 상태를 라이트 하기 위해 상 변화 저항 소자(4)에 높은 전압을 짧은 시간 동안 인가하게 된다. Accordingly, a low voltage is applied to the phase change resistance element 4 for a long time to write the set state in the write operation mode. On the other hand, in the write operation mode, a high voltage is applied to the phase change resistance element 4 for a short time to write the reset state.

본 발명은 상변화 메모리 장치에서 시뮬레이션(Simulation) 구현에 필요한 스파이스 모델링(Spice modeling) 등가 회로를 구현하여 리드 모드와 라이트 모드시 독립된 저항 상태를 설정함으로써 리드 모드시의 동작 마진과 라이트 모드시의 동작 마진을 유효하게 처리할 수 있도록 하는데 그 목적이 있다. The present invention implements a spice modeling equivalent circuit required to implement simulation in a phase change memory device and sets independent resistance states in read mode and write mode, thereby operating margin in read mode and operation in write mode. The purpose is to make margins available.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로는, 상 변화 저항 소자에 인가되는 전원을 등가화한 입력 전원이 인가되며, 기 설정된 세트 및 리셋 상태 조건을 기준으로 상기 상 변화 저항 소자의 상 변화를 검출하여 리셋 제어신호를 출력하는 상 변화 검출 수단; 및 리셋 제어신호와 모드 선택신호에 따라, 상 변화 저항 소자의 탑 전극과 버텀 전극 사이에 인가되는 저항을 리드 모드와 라이트 모드시 서로 다르게 설정하는 저항 선택 구동 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다. In the model equivalent circuit of the phase change memory device of the present invention for achieving the above object, an input power source equivalent to a power source applied to a phase change resistance element is applied, and the phase equivalent memory is based on a preset set and reset state condition. Phase change detection means for detecting a phase change of the change resistance element and outputting a reset control signal; And resistance selection driving means for differently setting the resistance applied between the top electrode and the bottom electrode of the phase change resistance element in the read mode and the write mode according to the reset control signal and the mode selection signal.

본 발명은 상변화 메모리 장치에서 시뮬레이션(Simulation) 구현에 필요한 스파이스 모델링(Spice modeling) 등가 회로를 구현하여 리드 모드와 라이트 모드시 독립된 저항 상태를 설정함으로써 리드 모드시의 동작 마진과 라이트 모드시의 동작 마진을 유효하게 처리할 수 있도록 하는 효과를 제공한다. The present invention implements a spice modeling equivalent circuit required to implement simulation in a phase change memory device and sets independent resistance states in read mode and write mode, thereby operating margin in read mode and operation in write mode. It provides the effect of effectively processing margins.

아울러 본 발명의 바람직한 실시예는 예시의 목적을 위한 것으로, 당업자라면 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상과 범위를 통해 다양한 수정, 변경, 대체 및 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정 변경 등은 이하의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다. In addition, a preferred embodiment of the present invention is for the purpose of illustration, those skilled in the art will be able to various modifications, changes, substitutions and additions through the spirit and scope of the appended claims, such modifications and changes are the following claims It should be seen as belonging to a range.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대해 상세히 설명하고자 한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로에서 동작 특성을 설명하기 위한 도면이다. 4 is a diagram for describing an operating characteristic of a model equivalent circuit of the phase change memory device according to the present invention.

도 4의 (C) 영역은 전류(I)의 레벨이 작기 때문에 리드 영역에 해당하며, 세트 상태의 데이터 또는 리셋 상태의 데이터를 리드할 수 있는 영역에 해당한다. 여기서, 전압 Vh는 라이트 저항을 계산하기 위한 기준 파라미터(Parameter)에 해당하며, 디바이스 전압과 전류의 변동에 따라 변화되는 저항을 판단하기 위한 기준값에 해당한다. 예를 들어, 전압 Vh가 큰 전압으로 설정될 경우 라이트 저항값이 작아지게 되고, 전압 Vh가 작은 전압, 즉, 0에 가까워 지게 설정될 경우 라이트 저항값이 커지게 된다. The region (C) of FIG. 4 corresponds to a lead region because the level of the current I is small, and corresponds to a region capable of reading data in a set state or data in a reset state. Here, the voltage Vh corresponds to a reference parameter for calculating the write resistance and corresponds to a reference value for determining the resistance that changes according to the change of the device voltage and the current. For example, when the voltage Vh is set to a large voltage, the write resistance value becomes small, and when the voltage Vh is set to be close to a small voltage, that is, zero, the write resistance value becomes large.

그리고, 리드 영역 (C)에서는 디바이스 전압(V)이 스냅 백 전압 Vth 이하일 경우 전류가 흐르지 않게 된다. 그리고, 디바이스 전압(V)이 스냅 백 전압 Vth 이상이 될 경우 전류가 흐르기 시작한다. In the lead region C, no current flows when the device voltage V is less than or equal to the snapback voltage Vth. And, when the device voltage (V) becomes the snap back voltage Vth or more current begins to flow.

그리고, 전류(I/Ireset)는 셀 사이즈가 서로 다른 조건 하에서도 리셋 전류 Ireset를 기준으로 하여 동일한 표준값 하에서 전류(I)를 판단하기 위하여 적용된다. In addition, the current I / Ireset is applied to determine the current I under the same standard value based on the reset current Ireset even under different cell sizes.

그리고, 도 4의 (D) 영역은 세트 조건(SET current regime)의 영역에 해당하며, (E) 영역은 리셋 조건(RESET current regime)의 영역에 해당한다. In addition, region (D) of FIG. 4 corresponds to a region of a SET current regime, and region (E) corresponds to a region of a reset current regime.

그리고, 도 4의 그래프에서는 디바이스 전압(Device Voltage)과 전류(I)에 대한 파라미터를 고려하여 도시된 것으로, 시간 영역과 기울기(Slope) 조건 등은 고려하지 않도록 한다. In the graph of FIG. 4, the parameters of the device voltage and the current I are illustrated in consideration of the time domain and the slope condition.

본 발명의 스파이스 모델링(Spice Modeling)에 반영되는 상 변화 저항 소자의 기본 파라미터(Parameter)는 다음과 같은 세 가지로 나눌 수 있다. The basic parameters of the phase change resistance element reflected in the Spice modeling of the present invention may be divided into three types as follows.

첫째, 리드 모드시의 세트(SET), 리셋(RESET) 저항이다. First, the set and reset resistors in the read mode.

둘째, 라이트 모드시 스냅 백(Snapback) 현상 이전의 세트, 리셋 저항이다. Secondly, the reset resistor before the snapback phenomenon in the light mode.

셋째, 라이트 모드시 스냅 백 현상 이후의 라이트 히팅 모드(Write Heating Mode)에서의 상 변화 저항 소자의 저항 설정 등이다. Third, the resistance setting of the phase change resistance element in the write heating mode after the snap back phenomenon in the light mode.

여기서, 리드 모드에서의 세트 상태 저항은 20Kohm으로 설정하고, 리셋 상태 저항은 100Kohm으로 설정한다. 그리고, 라이트 모드에서의 세트 상태 저항은 1Kohm에서 시작한다. 또한, 라이트 모드에서의 리셋 상태 저항은 스냅 백 모드 이전의 전압 상태에서는 200Kohm에서 시작하게 되고, 라이트 히팅 구간에서는 상 변화 저항 상태를 1Kohm으로 설정될 수 있는 모델 등가 회로를 구현하게 된다. Here, the set state resistance in the read mode is set to 20 Kohm, and the reset state resistance is set to 100 Kohm. And, the set state resistance in the light mode starts at 1Kohm. In addition, the reset state resistance in the write mode starts at 200Kohm in the voltage state before the snap back mode, and implements a model equivalent circuit that can set the phase change resistance state to 1Kohm in the light heating period.

이와 같이, 본 발명은 리드 모드시와 라이트 모드에서 독립된 저항 상태를 설정함으로써 리드 모드시의 동작 마진과 라이트 모드시의 동작 마진을 유효하게 처리할 수 있도록 한다. As described above, the present invention sets the independent resistance states in the read mode and the write mode so that the operation margin in the read mode and the operation margin in the write mode can be effectively processed.

도 5는 본 발명에 따른 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로에서 저항 선택 구동 수단에 관한 회로도이다. 5 is a circuit diagram of a resistance selection driving means in a model equivalent circuit of a phase change memory device according to the present invention.

본 발명의 저항 선택 구동 수단은 리드 저항 선택부(100)와, 라이트 저항 선택부(110)와, 스냅 백 감지부(120) 및 스냅 백 조정부(130)를 포함한다. The resistance selection driving means of the present invention includes a lead resistance selection unit 100, a write resistance selection unit 110, a snap back detection unit 120, and a snap back adjustment unit 130.

리드 저항 선택부(100)는 저항 R1,R2과, 스위치 SW1,SW2 및 앤드게이트 AND1,AND2를 포함한다. 상 변화 메모리 장치에서 상 변화 저항 소자(PCR)의 탑 전극을 "TE"라 하고, 버텀 전극을 "BE"라 정의하면 탑 전극 TE 노드와, 버텀 전극 BE 노드 사이에 입력신호 Input가 인가된다. The lead resistance selector 100 includes resistors R1 and R2 and switches SW1 and SW2 and AND gates AND1 and AND2. In the phase change memory device, when the top electrode of the phase change resistance element PCR is defined as "TE" and the bottom electrode is defined as "BE", an input signal input is applied between the top electrode TE node and the bottom electrode BE node.

그리고, 탑 전극 TE 노드와 버텀 전극 BE 노드 사이에 저항 R1과 스위치 SW1가 직렬 연결된다. 그리고, 탑 전극 TE 노드와 버텀 전극 BE 노드 사이에 저항 R2 와 스위치 SW2가 직렬 연결된다. The resistor R1 and the switch SW1 are connected in series between the top electrode TE node and the bottom electrode BE node. The resistor R2 and the switch SW2 are connected in series between the top electrode TE node and the bottom electrode BE node.

여기서, 저항 R1의 저항값은 20Kohm으로 설정되는 것이 바람직하다. 그리고, 저항 R2의 저항값은 100Kohm으로 설정되는 것이 바람직하다. Here, the resistance value of the resistor R1 is preferably set to 20 Kohm. The resistance value of the resistor R2 is preferably set to 100 Kohm.

스위치 SW1는 앤드게이트 AND1의 출력인 세트 리드 신호 sw_set_read에 의해 스위칭 동작이 제어된다. 그리고, 스위치 SW2는 앤드게이트 AND2의 출력인 리셋 리드 신호 sw_reset_read에 의해 스위칭 동작이 제어된다. The switch SW1 is controlled by the set read signal sw_set_read which is an output of the AND gate AND1. The switch SW2 controls the switching operation by the reset read signal sw_reset_read which is the output of the AND gate AND2.

앤드게이트 AND1는 모드 선택신호 MS와, 세트 제어신호 PCD_SET를 앤드연산한다. 여기서, 모드 선택신호 MS는 리드 모드시 하이 레벨로 입력되고, 라이트 모드시 로우 레벨로 입력되는 신호이다. The AND gate AND1 performs an AND operation on the mode selection signal MS and the set control signal PCD_SET. Here, the mode selection signal MS is a signal input at the high level in the read mode and at the low level in the write mode.

그리고, 앤드게이트 AND2는 모드 선택신호 MS와, 리셋 제어신호 PCD_RESET를 앤드연산한다. 여기서, 세트 제어신호 PCD_SET는 인버터 IV3에 의해 리셋 제어신호 PCD_RESET가 반전된 신호이다. 그리고, 리셋 제어신호 PCD_RESET는 상 변화 저항 소자(PCR)가 리셋 상태일 경우 하이 레벨로 입력되고, 세트 상태일 경우 로우 레벨로 입력되는 신호이다. The AND gate AND2 performs an AND operation on the mode selection signal MS and the reset control signal PCD_RESET. Here, the set control signal PCD_SET is a signal in which the reset control signal PCD_RESET is inverted by the inverter IV3. The reset control signal PCD_RESET is a signal input at a high level when the phase change resistance element PCR is in a reset state and at a low level in the set state.

그리고, 라이트 저항 선택부(110)는 저항 R3~R5과, 스위치 SW3~SW5 및 앤드게이트 AND3,AND4를 포함한다. 탑 전극 TE 노드와 버텀 전극 BE 노드 사이에 저항 R3과 스위치 SW3가 직렬 연결된다. 그리고, 탑 전극 TE 노드와 버텀 전극 BE 노드 사이에 저항 R4와 스위치 SW4가 직렬 연결된다. 그리고, 저항 R5는 탑 전극 TE 노드와 스위치 SW5 사이에 연결된다. The write resistance selector 110 includes resistors R3 to R5, switches SW3 to SW5, and AND gates AND3 and AND4. The resistor R3 and the switch SW3 are connected in series between the top electrode TE node and the bottom electrode BE node. The resistor R4 and the switch SW4 are connected in series between the top electrode TE node and the bottom electrode BE node. The resistor R5 is connected between the top electrode TE node and the switch SW5.

여기서, 저항 R3의 저항값은 1Kohm으로 설정되는 것이 바람직하다. 그리고, 저항 R4의 저항값은 200Kohm으로 설정되는 것이 바람직하다. 또한, 저항 R5의 저항값은 1Kohm으로 설정되는 것이 바람직하다. Here, the resistance value of the resistor R3 is preferably set to 1 Kohm. The resistance value of the resistor R4 is preferably set to 200 Kohm. In addition, the resistance value of the resistor R5 is preferably set to 1 Kohm.

스위치 SW3는 앤드게이트 AND3의 출력인 세트 라이트 신호 sw_set_write에 의해 스위칭 동작이 제어된다. 그리고, 스위치 SW4는 앤드게이트 AND4의 출력인 리셋 라이트 신호 sw_reset_write에 의해 스위칭 동작이 제어된다. 또한, 스위치 SW5는 저항 R5과 스위치 SW4 사이에 연결되어 스냅 백 신호 SB에 의해 스위칭 동작이 제어된다.The switch SW3 is controlled by the set write signal sw_set_write which is an output of the AND gate AND3. The switch SW4 controls the switching operation by the reset write signal sw_reset_write which is the output of the AND gate AND4. In addition, the switch SW5 is connected between the resistor R5 and the switch SW4 so that the switching operation is controlled by the snap back signal SB.

앤드게이트 AND3는 라이트 인에이블 신호 WE와, 세트 제어신호 PCD_SET를 앤드연산한다. 그리고, 앤드게이트 AND4는 라이트 인에이블 신호 WE와, 리셋 제어신호 PCD_RESET를 앤드연산한다. 여기서, 라이트 인에이블 신호 WE는 인버터 IV2에 의해 모드 선택신호 MS가 반전된 신호이다. The AND gate AND3 performs an AND operation on the write enable signal WE and the set control signal PCD_SET. The AND gate AND4 performs an AND operation on the write enable signal WE and the reset control signal PCD_RESET. Here, the write enable signal WE is a signal in which the mode selection signal MS is inverted by the inverter IV2.

또한, 스냅 백 감지부(120)는 증폭기 A1와, 문턱전압 감지수단 VD1를 포함한다. 증폭기 A1는 포지티브(+) 단자가 탑 전극 TE 노드에 연결되고, 네가티브(-) 단자가 문턱전압 감지 수단 VD1에 연결된다. 이러한 증폭기 A1는 탑 전극 TE 노드의 출력과, 문턱전압 감지 수단 VD1의 문턱전압 Vth을 비교 및 증폭하여 스냅 백 검출신호 SB_DET를 출력한다. In addition, the snap back detector 120 includes an amplifier A1 and a threshold voltage detection means VD1. In the amplifier A1, a positive (+) terminal is connected to the top electrode TE node, and a negative (-) terminal is connected to the threshold voltage sensing means VD1. The amplifier A1 compares and amplifies the output of the top electrode TE node and the threshold voltage Vth of the threshold voltage sensing means VD1 to output the snapback detection signal SB_DET.

즉, 스냅 백 감지부(120)는 버텀 전극 BE 노드를 기준으로 하여 스냅 백 전압인 문턱전압 Vth을 설정하게 된다. 증폭기 A1는 탑 전극 TE 노드의 전압과 버텀 전극 BE 노드 간의 전압 차를 비교하여, 문턱전압 Vth을 초과하게 될 경우 스냅 백 검출신호 SB_DET를 하이 전압 레벨로 출력하게 된다. That is, the snapback detector 120 sets the threshold voltage Vth which is a snapback voltage based on the bottom electrode BE node. The amplifier A1 compares the voltage difference between the top electrode TE node and the bottom electrode BE node, and outputs the snapback detection signal SB_DET at a high voltage level when the threshold voltage Vth is exceeded.

스냅 백 조정부(130)는 인버터 IV1와, 래치 구조의 노아게이트 NOR1,NOR2를 포함한다. 여기서, 노아게이트 NOR1는 스냅 백 검출신호 SB_DET와 노아게이트 NOR2의 출력을 노아연산한다. 노아게이트 NOR2는 노아게이트 NOR1의 출력과, 세트 제어신호 PCD_SET 및 모드 선택신호 MS를 노아연산한다. 인버터 IV1는 노아게이트 NOR1의 출력을 반전하여 스냅 백 신호 SB를 출력한다. The snap back adjustment unit 130 includes an inverter IV1 and a noah gate NOR1 and NOR2 having a latch structure. Here, the NOR gate NOR1 performs a NO operation on the snap back detection signal SB_DET and the output of the NOR gate NOR2. The NOR gate NOR2 performs a NO operation on the output of the NOR gate NOR1, the set control signal PCD_SET, and the mode selection signal MS. Inverter IV1 inverts the output of NOR gate NOR1 and outputs a snapback signal SB.

도 6은 본 발명에 따른 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로에서 상 변화 검출 수단에 관한 회로도이다. 6 is a circuit diagram of a phase change detecting means in a model equivalent circuit of the phase change memory device according to the present invention.

본 발명의 상 변화 검출 수단은 입력 전원 등가부 IP와, 저항 R6,R7과, 적분기(200,210)와, 문턱전압 감지수단 VD2~VD4과, 증폭기 A3,A4,A6과, 앤드게이트 AND5와, 세트 전원 등가부 SET_P 및 래치 수단(230)을 포함한다. The phase change detection means of the present invention includes an input power supply equivalent IP, resistors R6 and R7, integrators 200 and 210, threshold voltage detection means VD2 to VD4, amplifiers A3, A4, A6, and AND AND5, and a set. A power supply equivalent SET_P and latch means 230.

여기서, 입력 전원 등가부 IP는 상 변화 저항 소자(PCR)의 탑 전극 TE 노드와 버텀 전극 BE 노드 간에 가해지는 전원을 등가화한 입력 전원을 나타낸다. 저항 R6은 전원 입력단 Powerin과 전원단 Power 사이에 연결된다. 저항 R6은 노드 Temp의 출력과 문턱전압 Tm의 파라미터를 맞추기 위한 변수 저항에 해당한다. Here, the input power source equivalent part IP represents an input power source equivalent to the power applied between the top electrode TE node and the bottom electrode BE node of the phase change resistance element PCR. Resistor R6 is connected between the power input terminal Powerin and the power terminal power. Resistor R6 corresponds to a variable resistor for matching the output of node Temp with the threshold voltage Tm.

그리고, 적분기(200)는 커패시터 C1와, 증폭기 A2를 포함한다. 여기서, 커패시터 C1는 전원단 Power과 노드 Temp 사이에 연결된다. 그리고, 증폭기 A2는 네가티브(-) 단자가 노드 Power에 연결되고, 포지티브(+) 단자가 접지전압단에 연결된다. 이러한 증폭기 A2는 노드 Power의 출력과 접지전압단의 전압을 비교 및 증폭하여 노드 Temp에 출력한다. The integrator 200 includes a capacitor C1 and an amplifier A2. Here, the capacitor C1 is connected between the power supply terminal Power and the node Temp. In the amplifier A2, the negative terminal is connected to the node power, and the positive terminal is connected to the ground voltage terminal. The amplifier A2 compares and amplifies the output of the node power and the voltage of the ground voltage terminal and outputs the result to the node temp.

증폭기 A3는 네가티브(-) 단자가 문턱전압 감지수단 VD2에 연결되고, 포지티 브(+) 단자가 노드 Temp에 연결된다. 이러한 증폭기 A3는 노드 Temp의 출력과 문턱전압 감지수단 VD2의 출력을 비교 및 증폭하여 노드 Vm에 출력한다. The amplifier A3 has a negative terminal connected to the threshold voltage detecting means VD2, and a positive terminal connected to the node Temp. The amplifier A3 compares and amplifies the output of the node Temp and the output of the threshold voltage sensing means VD2 and outputs the result to the node Vm.

즉, 증폭기 A3는 접지전압단을 기준으로 하여 문턱전압 Tm을 설정하게 된다. 증폭기 A3는 노드 Temp와 접지전압단 간의 전압 차를 비교하여, 문턱전압 Tm을 초과하게 될 경우 노드 Vm을 하이 전압 레벨로 출력하게 된다. That is, the amplifier A3 sets the threshold voltage Tm based on the ground voltage terminal. The amplifier A3 compares the voltage difference between the node Temp and the ground voltage terminal, and outputs the node Vm at a high voltage level when the threshold voltage Tm is exceeded.

그리고, 증폭기 A4는 네가티브(-) 단자가 문턱전압 감지수단 VD3에 연결되고, 포지티브(+) 단자가 노드 Temp에 연결된다. 이러한 증폭기 A4는 노드 Temp의 출력과 문턱전압 감지수단 VD3의 출력을 비교 및 증폭하여 노드 Time1에 출력한다. In the amplifier A4, the negative terminal is connected to the threshold voltage detecting means VD3, and the positive terminal is connected to the node Temp. The amplifier A4 compares and amplifies the output of the node Temp and the output of the threshold voltage sensing means VD3 and outputs the result to the node Time1.

그리고, 저항 R7은 노드 Time1와 노드 Time2 사이에 연결된다. 저항 R7은 노드 Temp1의 출력에서 펄스 폭을 조정하기 위한 변수 저항에 해당한다. Then, resistor R7 is connected between node Time1 and node Time2. Resistor R7 corresponds to a variable resistor to adjust the pulse width at the output of node Temp1.

즉, 증폭기 A4는 접지전압단을 기준으로 하여 문턱전압 Tx을 설정하게 된다. 증폭기 A4는 노드 Temp와 접지전압단 간의 전압 차를 비교하여, 문턱전압 Tx을 초과하게 될 경우 노드 Time1를 하이 전압 레벨로 출력하게 된다. 여기서, 문턱전압 Tm은 문턱전압 Tx보다 높은 레벨을 갖는 것이 바람직하다. That is, the amplifier A4 sets the threshold voltage Tx based on the ground voltage terminal. The amplifier A4 compares the voltage difference between the node Temp and the ground voltage terminal, and outputs the node Time1 at a high voltage level when the threshold voltage Tx is exceeded. Here, the threshold voltage Tm preferably has a level higher than the threshold voltage Tx.

또한, 적분기(210)는 커패시터 C2와, 증폭기 A5 및 스위치 SW6를 포함한다. 여기서, 커패시터 C2는 노드 Time2와 노드 SET_T 사이에 연결된다. 그리고, 증폭기 A5는 네가티브(-) 단자가 노드 Time2에 연결되고, 포지티브(+) 단자가 접지전압단에 연결된다. Integrator 210 also includes capacitor C2, amplifier A5, and switch SW6. Here, capacitor C2 is connected between node Time2 and node SET_T. In the amplifier A5, a negative terminal is connected to the node Time2, and a positive terminal is connected to the ground voltage terminal.

이러한 증폭기 A5는 노드 Time2와 접지전압단의 전압을 비교 및 증폭하여 노드 SET_T에 출력한다. 스위치 SW6는 노드 Time2와 노드 SET_T 사이에 연결되어 노 드 Vm의 전압에 따라 스위칭 동작이 선택적으로 제어된다. 즉, 노드 Vx의 출력이 하이가 될 경우 스위치 SW6가 턴온되어 적분기(210)가 동작하게 된다. 스위치 SW6가 턴온될 경우 세트 조건을 제외하고 리셋 조건에 따라 동작하게 된다. The amplifier A5 compares and amplifies the voltages of the node Time2 and the ground voltage terminal and outputs them to the node SET_T. The switch SW6 is connected between the node Time2 and the node SET_T so that the switching operation is selectively controlled according to the voltage of the node Vm. That is, when the output of the node Vx becomes high, the switch SW6 is turned on so that the integrator 210 operates. When the switch SW6 is turned on, it operates according to the reset condition except for the set condition.

그리고, 세트 전원 등가부 SET_P는 세트(SET) 데이터의 라이트시 가해지는 전원을 등가화한 세트 전원을 나타낸다. 즉, 세트 전원 등가부 SET_P는 노드 SET_T의 출력이 하이가 될 경우 전류가 상승하게 되어, 노드 Cx의 전압이 증가하게 된다. The set power supply equivalent unit SET_P indicates a set power supply that is equivalent to the power applied when the set (SET) data is written. That is, when the output of the node SET_T becomes high, the set power supply equivalent SET_P increases in current, and the voltage of the node Cx increases.

또한, 증폭기 A6는 네가티브(-) 단자가 문턱전압 감지수단 VD4에 연결되고, 포지티브(+) 단자가 노드 Cx에 연결된다. 이러한 증폭기 A6는 노드 CT의 출력과 노드 Cx의 출력을 비교 및 증폭하여 노드 nCrystal에 출력한다. 즉, 노드 Cx의 전압 레벨이 노드 CT 보다 높아지게 될 경우 노드 nCrystal가 하이 전압 레벨이 된다. 앤드게이트 AND5는 노드 Time1와 노드 nCrystal의 출력을 앤드연산하여 노드 Vx에 출력한다. In the amplifier A6, the negative terminal is connected to the threshold voltage detecting means VD4, and the positive terminal is connected to the node Cx. The amplifier A6 compares and amplifies the output of the node CT and the output of the node Cx and outputs the result to the node nCrystal. That is, when the voltage level of the node Cx becomes higher than the node CT, the node nCrystal becomes a high voltage level. The AND gate AND5 performs an AND operation on the outputs of the node Time1 and the node nCrystal and outputs the result to the node Vx.

즉, 증폭기 A6는 접지전압단을 기준으로 하여 문턱전압 CT을 설정하게 된다. 증폭기 A6는 노드 Cx와 접지전압단 간의 전압 차를 비교하여, 문턱전압 CT을 초과하게 될 경우 노드 cCrystal을 하이 전압 레벨로 출력하게 된다. That is, the amplifier A6 sets the threshold voltage CT based on the ground voltage terminal. The amplifier A6 compares the voltage difference between the node Cx and the ground voltage terminal, and outputs the node cCrystal at a high voltage level when the threshold voltage CT is exceeded.

래치 수단(230)은 래치 구조의 노아게이트 NOR3,NOR4와, 노아게이트 NOR5 및 인버터 IV4를 포함한다. 여기서, 노아게이트 NOR3는 노드 Vm의 출력과 노아게이트 NOR4의 출력을 노아연산하여 노아게이트 NOR4에 출력한다. 그리고, 노아게이트 NOR4는 노아게이트 NOR3의 출력과 노아게이트 NOR5의 출력을 노아연산하여 리셋 제 어신호 PCD_RESET를 출력한다. 노아게이트 NOR5는 노드 Vm의 출력과 인버터 IV4에 의해 반전된 노드 Vx의 출력을 노아연산한다. The latch means 230 comprises the noah gates NOR3, NOR4 of the latch structure, the noah gate NOR5, and the inverter IV4. Here, the NOR gate NOR3 performs a NO operation on the output of the node Vm and the output of the NOA gate NOR4 and outputs the result to the NOA gate NOR4. The NOA gate NOR4 performs a NO operation on the output of the NOA gate NOR3 and the output of the NOA gate NOR5, and outputs a reset control signal PCD_RESET. Noah gate NOR5 nodes the output of node Vm and the output of node Vx inverted by inverter IV4.

즉, 리셋 제어신호 PCD_RESET는 리셋 데이터의 라이트 동작시 하이 레벨로 출력되고, 세트 데이터의 라이트 동작시 로우 레벨로 출력된다. 그리고, 래치 수단(230)은 전원이 꺼진 상태에서도 노드 Vm가 하이 전압 레벨을 유지하는 경우 그 상태를 계속 유지하게 된다. 그리고, 노드 Vx의 입력 상태가 바뀌는 경우 리셋 제어신호 PCD_RESET의 상태를 변경하게 된다. That is, the reset control signal PCD_RESET is output at the high level during the write operation of the reset data and is output at the low level during the write operation of the set data. In addition, the latch unit 230 maintains the state when the node Vm maintains the high voltage level even when the power is turned off. When the input state of the node Vx is changed, the state of the reset control signal PCD_RESET is changed.

이러한 구성을 갖는 상 변화 검출 수단의 동작을 도 7의 동작 타이밍도를 참조하여 설명하면 다음과 같다. 도 7의 동작 타이밍도에서 홀수 구간 t1,t3,t5,t7,t9는 라이트 구간에 해당하고, 짝수 구간 t0,t2,t4,t6,t8,t10은 리드 구간에 해당한다. The operation of the phase change detecting means having such a configuration will be described with reference to the operation timing diagram of FIG. In the operation timing diagram of FIG. 7, odd sections t1, t3, t5, t7, and t9 correspond to write sections, and even sections t0, t2, t4, t6, t8, and t10 correspond to read sections.

상 변화 검출 수단은 라이트 모드시 상 변화 저항 소자(PCR)가 세트 라이트 상태인지, 리셋 라이트 상태인지의 여부를 결정하는 회로이다. The phase change detecting means is a circuit for determining whether the phase change resistance element PCR is in the set write state or the reset write state in the write mode.

즉, 입력 전원 등가부 IP를 통해 세트 데이터의 라이트 동작에 필요한 임계전압을 인가하게 된다. 이후에, 일정 시간이 지나면 세트 상태로 설정되어 리셋 제어신호 PCD_RESET가 로우 전압 레벨로 출력된다. That is, the threshold voltage required for the write operation of the set data is applied through the input power equivalent IP. Thereafter, after a predetermined time has elapsed, it is set to a set state and the reset control signal PCD_RESET is output at a low voltage level.

반면에, 입력 전원 등가부 IP를 통해 리셋 데이터의 라이트 동작에 필요한 임계 전압을 인가하게 된다. 이후에, 일정 시간이 지나면 리셋 상태로 설정되어 리셋 제어신호 PCD_RESET가 하이 전압 레벨로 출력된다. On the other hand, the threshold voltage required for the write operation of the reset data is applied through the input power equivalent IP. Thereafter, after a predetermined time has elapsed, it is set to a reset state and the reset control signal PCD_RESET is output at a high voltage level.

먼저, 리드 구간 t0에서는 탑 전극 TE 노드와 버텀 전극 BE 노드 간에 입력 전압 Input이 인가되지 않게 되어 로우 전압 레벨을 유지하게 된다. 이에 따라, 모드 선택신호 MS, 노드 Temp, Cx, Vm, Vx가 로우 전압 레벨을 유지하게 되어 리셋 제어신호 PCD_RESET가 로우 전압 레벨로 출력된다. First, in the read period t0, the input voltage input is not applied between the top electrode TE node and the bottom electrode BE node to maintain a low voltage level. Accordingly, the mode selection signals MS, the nodes Temp, Cx, Vm, and Vx maintain the low voltage level, and the reset control signal PCD_RESET is output at the low voltage level.

이후에, 라이트 구간 t1에서는 탑 전극 TE 노드와 버텀 전극 BE 노드 간에 입력 전압 Input이 리셋 전압 레벨로 천이하게 된다. 이때, 모드 선택신호 MS는 로우 전압 레벨을 유지하게 된다. 그리고, 적분기(200)에 의해 노드 Temp의 출력이 하이 전압 레벨이 된다. Subsequently, in the write period t1, the input voltage input transitions to the reset voltage level between the top electrode TE node and the bottom electrode BE node. At this time, the mode selection signal MS maintains a low voltage level. The integrator 200 then causes the output of the node Temp to reach a high voltage level.

여기서, 노드 Temp의 전압 레벨은 라이트 구간에서 상 변화 저항 소자(PCR)의 히팅(Heating) 온도를 나타낸 것이다. t1 구간에서는 입력 전압 Input이 높은 리셋 전압 레벨로 인가되어 히팅 온도를 나타내는 노드 Temp의 전압 레벨이 높아지게 된다. 즉, 입력 전원 등가부 IP의 전압 레벨이 높은 경우 적분기(200)의 출력 노드 Temp의 전압 레벨이 높아지게 된다. Here, the voltage level of the node Temp represents the heating temperature of the phase change resistance element PCR in the write period. In the t1 section, the input voltage input is applied at a high reset voltage level, thereby increasing the voltage level of the node Temp indicating the heating temperature. That is, when the voltage level of the input power equivalent IP is high, the voltage level of the output node Temp of the integrator 200 becomes high.

또한, 노드 Cx, Vx가 로우 전압 레벨이 되고, 노드 Vm가 하이 전압 레벨이 되어, 리셋 제어신호 PCD_RESET가 하이 전압 레벨로 출력된다. 여기서, 노드 Cx의 전압 레벨은 세트 온도에서의 시간에 따른 결정화 정도를 나타낸다. Further, the nodes Cx and Vx become the low voltage level, the node Vm becomes the high voltage level, and the reset control signal PCD_RESET is output at the high voltage level. Here, the voltage level of the node Cx represents the degree of crystallization over time at the set temperature.

즉, 세트 전원 등가부 SET_P의 전압 레벨에 따라 노드 Cx의 전압 레벨이 변화된다. 이에 따라, 리드 구간에서나 리셋 전압이 레벨이 낮게 인가되는 라이트 구간(예를 들면, t3,t5)에서 노드 Cx의 전압 레벨은 하이 레벨을 유지하게 된다. That is, the voltage level of the node Cx changes according to the voltage level of the set power supply equivalent part SET_P. Accordingly, the voltage level of the node Cx is maintained at the high level in the read period or in the write period (eg, t3, t5) where the reset voltage is applied at a low level.

또한, 노드 Vm의 신호는 녹는점(Melting) 온도 이상에서 하이 레벨로 천이하게 되는 신호이다. 즉, 녹는점 온도 이상의 리셋 전압 레벨이 인가되는 라이트 구 간(예를 들면, t1,t7)에서 하이 전압 레벨로 천이하게 된다. In addition, the signal of the node Vm is a signal that transitions to a high level above the melting temperature. That is, the transition to the high voltage level in the light section (for example, t1, t7) to which the reset voltage level above the melting point temperature is applied.

또한, 노드 Vx의 신호는 목표로 하는 결정화 상태 이후에 활성화되는 신호이다. 즉, 노드 Vx의 신호는 노드 Time1의 출력과 노드 nCrystal의 출력이 하이 전압 레벨로 인가될 경우에 하이 전압 레벨로 천이하게 된다. Further, the signal of the node Vx is a signal that is activated after the target crystallization state. That is, the signal of the node Vx transitions to the high voltage level when the output of the node Time1 and the output of the node nCrystal are applied at the high voltage level.

이어서, 리드 구간 t2에서는 탑 전극 TE 노드와 버텀 전극 BE 노드 간에 입력 전압 Input이 세트 전압 레벨로 천이하게 된다. 이때, 모드 선택신호 MS는 하이 전압 레벨을 유지하게 된다. 그리고, 적분기(200)에 의해 노드 Temp의 출력이 로우 전압 레벨이 된다. Subsequently, in the read period t2, the input voltage input transitions to the set voltage level between the top electrode TE node and the bottom electrode BE node. At this time, the mode selection signal MS maintains a high voltage level. The integrator 200 then causes the output of the node Temp to reach a low voltage level.

또한, 노드 Cx, Vm, Vx가 로우 전압 레벨이 되면, 상 변화 저항 소자(PCR)가 비결정 상태가 된다. 이에 따라, 제어신호 PCD_RESET가 하이 전압 레벨을 유지하게 된다. In addition, when the nodes Cx, Vm, and Vx become low voltage levels, the phase change resistance element PCR is in an amorphous state. Accordingly, the control signal PCD_RESET maintains the high voltage level.

이후에, 라이트 구간 t3에서는 탑 전극 TE 노드와 버텀 전극 BE 노드 간에 입력 전압 Input이 리셋 전압 레벨로 천이하게 된다. 여기서, 라이트 구간 t3에서 인가되는 입력 전압 Input은 라이트 구간 t1에서 인가되는 입력 전압 Input 보다 낮은 전압을 갖는다. t3 구간에서는 입력 전압 Input이 낮은 리셋 전압 레벨로 인가되어 히팅 온도를 나타내는 노드 Temp의 전압 레벨이 낮아지게 된다. Subsequently, in the write period t3, the input voltage input transitions to the reset voltage level between the top electrode TE node and the bottom electrode BE node. Here, the input voltage Input applied in the write section t3 has a lower voltage than the input voltage Input applied in the write section t1. In the period t3, the input voltage input is applied at a low reset voltage level, thereby lowering the voltage level of the node Temp indicating the heating temperature.

이때, 모드 선택신호 MS는 로우 전압 레벨을 유지하게 된다. 그리고, 적분기(200)에 의해 노드 Temp의 출력이 하이 전압 레벨이 된다. 또한, 노드 Cx,Vx가 하이 전압 레벨이 되고, 노드 Vm가 로우 전압 레벨이 되어, 제어신호 PCD_RESET가 하이 전압 레벨로 출력된다. At this time, the mode selection signal MS maintains a low voltage level. The integrator 200 then causes the output of the node Temp to reach a high voltage level. Further, the nodes Cx and Vx become the high voltage level, the node Vm becomes the low voltage level, and the control signal PCD_RESET is output at the high voltage level.

다음에, 리드 구간 t4에서는 탑 전극 TE 노드와 버텀 전극 BE 노드 간에 입력 전압 Input이 세트 전압 레벨로 천이하게 된다. 이때, 모드 선택신호 MS는 하이 전압 레벨을 유지하게 된다. 그리고, 적분기(200)에 의해 노드 Temp의 출력이 로우 전압 레벨이 된다. 또한, 노드 Cx가 하이 전압 레벨이 되고, 노드 Vm, Vx가 로우 전압 레벨이 되어, 제어신호 PCD_RESET가 로우 전압 레벨로 천이하게 된다. Next, in the read period t4, the input voltage Input transitions to the set voltage level between the top electrode TE node and the bottom electrode BE node. At this time, the mode selection signal MS maintains a high voltage level. The integrator 200 then causes the output of the node Temp to reach a low voltage level. Further, the node Cx becomes the high voltage level, the nodes Vm and Vx become the low voltage level, and the control signal PCD_RESET transitions to the low voltage level.

이어서, 라이트 구간 t5에서는 탑 전극 TE 노드와 버텀 전극 BE 노드 간에 입력 전압 Input이 리셋 전압 레벨로 천이하게 된다. 여기서, 라이트 구간 t5에서 인가되는 입력 전압 Input은 라이트 구간 t1에서 인가되는 입력 전압 Input 보다 낮은 전압을 갖는다. Subsequently, in the write period t5, the input voltage input transitions to the reset voltage level between the top electrode TE node and the bottom electrode BE node. Here, the input voltage Input applied in the write section t5 has a lower voltage than the input voltage Input applied in the write section t1.

이때, 모드 선택신호 MS는 로우 전압 레벨을 유지하게 된다. 그리고, 적분기(200)에 의해 노드 Temp의 출력이 하이 전압 레벨이 된다. 또한, 노드 Cx,Vx가 하이 전압 레벨이 되고, 노드 Vm가 로우 전압 레벨이 되어, 제어신호 PCD_RESET가 로우 전압 레벨로 출력된다. At this time, the mode selection signal MS maintains a low voltage level. The integrator 200 then causes the output of the node Temp to reach a high voltage level. Further, the nodes Cx and Vx become the high voltage level, the node Vm becomes the low voltage level, and the control signal PCD_RESET is output at the low voltage level.

다음에, 리드 구간 t6에서는 탑 전극 TE 노드와 버텀 전극 BE 노드 간에 입력 전압 Input이 세트 전압 레벨로 천이하게 된다. 이때, 모드 선택신호 MS는 하이 전압 레벨을 유지하게 된다. 그리고, 적분기(200)에 의해 노드 Temp의 출력이 로우 전압 레벨이 된다. 또한, 노드 Cx가 하이 전압 레벨이 되고, 노드 Vm, Vx가 로우 전압 레벨이 되어, 제어신호 PCD_RESET가 로우 전압 레벨로 천이하게 된다. Next, in the read period t6, the input voltage Input transitions to the set voltage level between the top electrode TE node and the bottom electrode BE node. At this time, the mode selection signal MS maintains a high voltage level. The integrator 200 then causes the output of the node Temp to reach a low voltage level. Further, the node Cx becomes the high voltage level, the nodes Vm and Vx become the low voltage level, and the control signal PCD_RESET transitions to the low voltage level.

이후에, 라이트 구간 t7에서는 탑 전극 TE 노드와 버텀 전극 BE 노드 간에 입력 전압 Input이 리셋 전압 레벨로 천이하게 된다. 이때, 모드 선택신호 MS는 로우 전압 레벨을 유지하게 된다. 그리고, 적분기(200)에 의해 노드 Temp의 출력이 하이 전압 레벨이 된다. 또한, 노드 Cx가 로우 전압 레벨로 천이하고, 노드 Vm,Vx가 하이 전압 레벨로 천이하며, 제어신호 PCD_RESET가 하이 전압 레벨로 천이하게 된다. Subsequently, in the write period t7, the input voltage input transitions to the reset voltage level between the top electrode TE node and the bottom electrode BE node. At this time, the mode selection signal MS maintains a low voltage level. The integrator 200 then causes the output of the node Temp to reach a high voltage level. In addition, the node Cx transitions to a low voltage level, the nodes Vm and Vx transition to a high voltage level, and the control signal PCD_RESET transitions to a high voltage level.

이어서, 리드 구간 t8에서는 탑 전극 TE 노드와 버텀 전극 BE 노드 간에 입력 전압 Input이 세트 전압 레벨로 천이하게 된다. 이때, 모드 선택신호 MS는 하이 전압 레벨을 유지하게 된다. 그리고, 적분기(200)에 의해 노드 Temp의 출력이 로우 전압 레벨이 된다. 또한, 노드 Cx, Vm, Vx가 로우 전압 레벨이 되어, 제어신호 PCD_RESET가 하이 전압 레벨을 유지하게 된다. Subsequently, in the read period t8, the input voltage input transitions to the set voltage level between the top electrode TE node and the bottom electrode BE node. At this time, the mode selection signal MS maintains a high voltage level. The integrator 200 then causes the output of the node Temp to reach a low voltage level. Further, the nodes Cx, Vm, and Vx become low voltage levels, so that the control signal PCD_RESET maintains the high voltage level.

이후에, 라이트 구간 t9에서는 탑 전극 TE 노드와 버텀 전극 BE 노드 간에 입력 전압 Input이 리셋 전압 레벨로 천이하게 된다. 여기서, 라이트 구간 t9에서 인가되는 입력 전압 Input은 라이트 구간 t1에서 인가되는 입력 전압 Input 보다 낮은 전압을 갖는다. Subsequently, in the write period t9, the input voltage input transitions to the reset voltage level between the top electrode TE node and the bottom electrode BE node. Here, the input voltage Input applied in the write section t9 has a lower voltage than the input voltage Input applied in the write section t1.

이때, 모드 선택신호 MS는 로우 전압 레벨을 유지하게 된다. 그리고, 적분기(200)에 의해 노드 Temp의 출력이 하이 전압 레벨이 된다. 또한, 노드 Cx,Vx가 하이 전압 레벨이 되고, 노드 Vm가 로우 전압 레벨이 되어, 제어신호 PCD_RESET가 하이 전압 레벨로 출력된다. At this time, the mode selection signal MS maintains a low voltage level. The integrator 200 then causes the output of the node Temp to reach a high voltage level. Further, the nodes Cx and Vx become the high voltage level, the node Vm becomes the low voltage level, and the control signal PCD_RESET is output at the high voltage level.

다음에, 리드 구간 t10에서는 탑 전극 TE 노드와 버텀 전극 BE 노드 간에 입력 전압 Input이 세트 전압 레벨로 천이하게 된다. 이때, 모드 선택신호 MS는 하이 전압 레벨을 유지하게 된다. 그리고, 적분기(200)에 의해 노드 Temp의 출력이 로우 전압 레벨이 된다. 또한, 노드 Cx가 하이 전압 레벨이 되고, 노드 Vm, Vx가 로우 전압 레벨이 되어, 제어신호 PCD_RESET가 로우 전압 레벨로 천이하게 된다. Next, in the read period t10, the input voltage Input transitions to the set voltage level between the top electrode TE node and the bottom electrode BE node. At this time, the mode selection signal MS maintains a high voltage level. The integrator 200 then causes the output of the node Temp to reach a low voltage level. Further, the node Cx becomes the high voltage level, the nodes Vm and Vx become the low voltage level, and the control signal PCD_RESET transitions to the low voltage level.

이러한 구성을 갖는 본 발명의 저항 선택 구동 수단의 동작 과정을 설명하면 다음과 같다. Referring to the operation of the resistance selection drive means of the present invention having such a configuration as follows.

먼저, 라이트 모드시 모드 선택신호 MS가 로우 레벨로 입력된다. 그리고, 라이트 인에이블 신호 WE가 하이 레벨이 된다. 이에 따라, 앤드게이트 AND1,AND2의 입력이 로우 레벨이 되어 리드 저항 선택부(100)는 동작하지 않게 된다. First, the mode selection signal MS is input at the low level in the write mode. The write enable signal WE is at a high level. As a result, the inputs of the AND gates AND1 and AND2 are at a low level so that the read resistance selector 100 does not operate.

반면에, 앤드게이트 AND3,AND4의 입력이 하이 레벨일 경우, 세트 제어신호 PCD_SET와, 리셋 제어신호 PCD_RESET에 따라 라이트 저항 선택부(110)가 동작하게 된다. On the other hand, when the inputs of the AND gates AND3 and AND4 are at a high level, the write resistance selector 110 operates according to the set control signal PCD_SET and the reset control signal PCD_RESET.

즉, 리셋 제어신호 PCD_RESET가 하이 레벨로 입력될 경우 앤드게이트 AND4의 출력이 하이 레벨이 된다. 이에 따라, 리셋 라이트 신호 sw_reset_write가 활성화되어 도 8에서와 같이 스위치 SW4가 턴온된다. 따라서, 도 4의 (A) 상태에서와 같이 라이트 전류가 라이트 저항 선택부(110)의 저항 R4(200Kohm)을 통해 흐르게 된다. That is, when the reset control signal PCD_RESET is input at the high level, the output of the AND gate AND4 is at the high level. Accordingly, the reset write signal sw_reset_write is activated and the switch SW4 is turned on as shown in FIG. 8. Therefore, as in the state (A) of FIG. 4, the write current flows through the resistor R4 (200 Kohm) of the light resistance selecting unit 110.

그리고, 세트 제어신호 PCD_SET가 하이 레벨로 입력될 경우 앤드게이트 AND3의 출력이 하이 레벨이 된다. 이에 따라, 세트 라이트 신호 sw_set_write가 활성화되어 도 9에서와 같이 스위치 SW3가 턴온된다. 따라서, 라이트 전류가 라이트 저항 선택부(110)의 저항 R3(1Kohm)을 통해 흐르게 된다. When the set control signal PCD_SET is input at a high level, the output of the AND gate AND3 is at a high level. Accordingly, the set write signal sw_set_write is activated and the switch SW3 is turned on as shown in FIG. 9. Therefore, the write current flows through the resistor R3 (1 Kohm) of the light resistance selector 110.

여기서, 리셋 제어신호 PCD_RESET가 하이 레벨로 입력되고, 모드 선택신호 MS가 로우 레벨로 입력될 경우 스냅 백 신호 SB가 하이 레벨로 출력된다. 스냅 백 신호 SB 신호가 하이 레벨이 될 경우 도 8에서와 같이 스위치 SW5가 턴온된다. 따라서, 도 4의 (B) 상태에서와 같이 스냅 백 라이트 전류가 라이트 저항 선택부(110)의 저항 R5(1Kohm)을 통해 흐르게 된다. Here, when the reset control signal PCD_RESET is input at the high level and the mode selection signal MS is input at the low level, the snap back signal SB is output at the high level. When the snap back signal SB signal becomes high level, the switch SW5 is turned on as shown in FIG. 8. Therefore, as in the state (B) of FIG. 4, the snap back current flows through the resistor R5 (1 Kohm) of the light resistance selecting unit 110.

스냅 백 감지부(120)에서는 버텀 전극 BE 단자를 기준으로 하여 스냅 백 전압인 문턱전압 Vth를 설정하게 된다. 이에 따라, 탑 전극 TE 노드와 버텀 전극 BE 노드 간의 전압이 문턱전압 Vth을 초과하지 않을 경우 스냅 백 검출신호 SB_DET가 로우 레벨로 출력된다. The snapback detector 120 sets a threshold voltage Vth which is a snapback voltage based on the bottom electrode BE terminal. Accordingly, when the voltage between the top electrode TE node and the bottom electrode BE node does not exceed the threshold voltage Vth, the snap back detection signal SB_DET is output at a low level.

이때, 모드 선택신호 MS가 로우 레벨이고, 리셋 제어신호 PCD_RESET가 하이 레벨로 입력되는 경우에도, 스냅 백 신호 SB가 로우 레벨로 출력된다. 따라서, 스냅 백 신호 SB가 로우 레벨이 되어 스위치 SW5가 턴오프된다. At this time, even when the mode selection signal MS is at the low level and the reset control signal PCD_RESET is input at the high level, the snap back signal SB is output at the low level. Therefore, the snap back signal SB becomes low level and the switch SW5 is turned off.

한편, 리셋 라이트 신호 sw_reset_write는 하이가 되어 스위치 SW4가 턴온된다. 이에 따라, 스냅 백 이전의 라이트 전류가 라이트 저항 선택부(110)의 저항 R4(200Kohm)을 통해 흐르게 된다. On the other hand, the reset write signal sw_reset_write becomes high and the switch SW4 is turned on. Accordingly, the write current before the snap back flows through the resistor R4 (200 Kohm) of the light resistance selector 110.

이상에서와 같이, 본 발명의 저항 선택 구동 수단은 모드 선택신호 MS와, 리셋 제어신호 PCD_RESET의 상태에 따라 리드 저항 선택부(100)와 라이트 저항 선택부(110)의 활성화가 결정된다. As described above, in the resistance selection driving means of the present invention, activation of the read resistance selection unit 100 and the write resistance selection unit 110 is determined according to the mode selection signal MS and the reset control signal PCD_RESET.

즉, 리드 모드에서는 모드 선택신호 MS가 하이 레벨이 된다. 이에 따라, 앤드게이트 AND3,AND4의 입력이 로우 레벨이 되어 라이트 저항 선택부(110)는 동작하지 않게 된다. That is, in the read mode, the mode selection signal MS becomes high level. Accordingly, the inputs of the AND gates AND3 and AND4 are at a low level, and the write resistance selector 110 does not operate.

반면에, 앤드게이트 AND1,AND2의 입력이 하이 레벨일 경우, 세트 제어신호 PCD_SET와, 리셋 제어신호 PCD_RESET에 따라 리드 저항 선택부(100)가 동작하게 된다. On the other hand, when the inputs of the AND gates AND1 and AND2 are at a high level, the read resistance selector 100 operates according to the set control signal PCD_SET and the reset control signal PCD_RESET.

즉, 리셋 제어신호 PCD_RESET가 하이 레벨로 입력될 경우 앤드게이트 AND2의 출력이 하이 레벨이 된다. 이에 따라, 리셋 리드 신호 sw_reset_read가 활성화되어 도 10에서와 같이 스위치 SW2가 턴온된다. 따라서, 리드 전류가 리드 저항 선택부(100)의 저항 R2(100Kohm)을 통해 흐르게 된다. That is, when the reset control signal PCD_RESET is input at the high level, the output of the AND gate AND2 is at the high level. Accordingly, the reset read signal sw_reset_read is activated and the switch SW2 is turned on as shown in FIG. 10. Therefore, the read current flows through the resistor R2 (100 Kohm) of the read resistance selector 100.

그리고, 세트 제어신호 PCD_SET가 하이 레벨로 입력될 경우 앤드게이트 AND1의 출력이 하이 레벨이 된다. 이에 따라, 세트 리드 신호 sw_set_read가 활성화되어 도 11에서와 같이 스위치 SW1가 턴온된다. 따라서, 리드 전류가 리드 저항 선택부(100)의 저항 R1(20Kohm)을 통해 흐르게 된다. When the set control signal PCD_SET is input at the high level, the output of the AND gate AND1 is at the high level. Accordingly, the set read signal sw_set_read is activated and the switch SW1 is turned on as shown in FIG. 11. Therefore, the read current flows through the resistor R1 (20 Kohm) of the read resistance selector 100.

도 1a 및 도 1b는 종래의 상 변화 저항 소자를 설명하기 위한 도면. 1A and 1B are diagrams for explaining a conventional phase change resistance element.

도 2a 및 도 2b는 종래의 상 변화 저항 소자의 원리를 설명하기 위한 도면. 2A and 2B are diagrams for explaining the principle of a conventional phase change resistance element.

도 3은 종래의 상 변화 저항 셀의 라이트 동작을 설명하기 위한 도면. 3 is a view for explaining a write operation of a conventional phase change resistance cell.

도 4는 본 발명에 따른 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로에서 동작 특성을 설명하기 위한 도면. 4 is a view for explaining operating characteristics in a model equivalent circuit of a phase change memory device according to the present invention;

도 5는 본 발명에 따른 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로에서 저항 선택 구동 수단에 관한 회로도. 5 is a circuit diagram of a resistance selection driving means in a model equivalent circuit of a phase change memory device according to the present invention;

도 6은 본 발명에 따른 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로에서 상 변화 검출 수단에 관한 회로도. 6 is a circuit diagram of a phase change detecting means in a model equivalent circuit of a phase change memory device according to the present invention;

도 7은 도 6의 상 변화 검출 수단에 관한 동작 타이밍도. FIG. 7 is an operation timing diagram relating to the phase change detection means of FIG. 6.

도 8 내지 도 11은 도 5의 저항 선택 구동 수단에 관한 동작을 설명하기 위한 도면. 8 to 11 are diagrams for explaining the operation of the resistance selection driving means of FIG.

Claims (21)

상 변화 저항 소자에 인가되는 입력 전원에 따라 기 설정된 세트 및 리셋 상태 조건을 기준으로 상기 상 변화 저항 소자의 상 변화를 검출하여 리셋 제어신호를 출력하는 상 변화 검출 수단; 및 Phase change detection means for detecting a phase change of the phase change resistance element based on a preset set and reset state condition according to input power applied to the phase change resistance element and outputting a reset control signal; And 상기 리셋 제어신호와 모드 선택신호에 따라, 상기 상 변화 저항 소자의 탑 전극과 버텀 전극 사이의 등가 저항을 리드 모드와 라이트 모드시 서로 다르게 설정하는 저항 선택 구동 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로. And a resistance selection driving means for setting an equivalent resistance between the top electrode and the bottom electrode of the phase change resistance element differently in the read mode and the write mode according to the reset control signal and the mode selection signal. Model equivalent circuit of the memory device. 제 1항에 있어서, 상기 저항 선택 구동 수단은 리드 모드시 세트 저항과 리셋 저항을 서로 다르게 설정하는 것을 특징으로 하는 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로. The model equivalent circuit of a phase change memory device as claimed in claim 1, wherein the resistance selection driving means sets the set resistor and the reset resistor differently in the read mode. 제 2항에 있어서, 상기 리드 모드시의 세트 저항은 상기 리셋 저항보다 작은 것을 특징으로 하는 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로. 3. The model equivalent circuit of a phase change memory device according to claim 2, wherein the set resistance in the read mode is smaller than the reset resistance. 제 1항에 있어서, 상기 저항 선택 구동 수단은 라이트 모드시 스냅 백 이전의 세트 저항과 리셋 저항, 및 스냅 백 이후의 라이트 저항을 서로 다르게 설정하는 것을 특징으로 하는 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로. The model equivalent circuit of a phase change memory device as claimed in claim 1, wherein the resistance selection driving means sets the set resistance before the snap back and the reset resistor and the write resistance after the snap back differently in the write mode. 제 4항에 있어서, 상기 스냅 백 이전의 세트 저항과 상기 라이트 저항은 동일한 저항값을 가지며, 상기 리셋 저항은 상기 세트 저항보다 큰 것을 특징으로 하는 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로. 5. The model equivalent circuit of claim 4, wherein the set resistor before the snap back and the write resistor have the same resistance value, and the reset resistor is larger than the set resistor. 제 1항에 있어서, 상기 저항 선택 구동 수단은 The method of claim 1, wherein the resistance selection drive means 상기 모드 선택신호와 상기 리셋 제어신호에 따라 리드 모드시 리셋 저항과 세트 저항을 서로 다르게 설정하는 리드 저항 선택부; A read resistance selector configured to set a reset resistor and a set resistor differently in read mode according to the mode selection signal and the reset control signal; 상기 모드 선택신호와 상기 리셋 제어신호에 따라 라이트 모드시 리셋 저항과 세트 저항을 서로 다르게 설정하는 라이트 저항 선택부; A write resistor selector configured to set a reset resistor and a set resistor differently in a write mode according to the mode selection signal and the reset control signal; 상기 탑 전극과 상기 버텀 전극 사이에 인가되는 스냅 백 전압을 감지하는 스냅 백 감지부; 및 A snap back detector configured to sense a snap back voltage applied between the top electrode and the bottom electrode; And 상기 스냅 백 감지부의 출력과 세트 제어신호 및 상기 모드 선택신호에 따라 상기 라이트 저항 선택부의 저항을 조정하는 스냅 백 조정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로. And a snap back adjuster configured to adjust a resistance of the write resistance selector according to an output of the snapback detector and a set control signal and the mode selection signal. 제 6항에 있어서, 상기 세트 제어신호는 상기 리셋 제어신호의 반전 신호인 것을 특징으로 하는 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로. 7. The model equivalent circuit of claim 6, wherein the set control signal is an inverted signal of the reset control signal. 제 6항에 있어서, 상기 리드 저항 선택부는 The method of claim 6, wherein the lead resistance selector 상기 모드 선택신호와 상기 세트 제어신호가 모두 하이 레벨로 인가될 경우 세트 리드 신호를 활성화시키는 제 1논리조합수단;First logic combining means for activating a set read signal when both the mode selection signal and the set control signal are applied at a high level; 상기 모드 선택신호와 상기 리셋 제어신호가 모두 하이 레벨로 인가될 경우 리셋 리드 신호를 활성화시키는 제 2논리조합수단;Second logical combining means for activating a reset read signal when both the mode selection signal and the reset control signal are applied at a high level; 상기 세트 리드 신호에 따라 제 1저항을 선택하는 제 1스위칭 수단; 및 First switching means for selecting a first resistor in accordance with the set read signal; And 상기 리셋 리드 신호에 따라 제 2저항을 선택하는 제 2스위칭 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로. And second switching means for selecting a second resistor in accordance with said reset read signal. 제 8항에 있어서, 상기 제 1저항은 제 2저항보다 작은 값을 갖는 것을 특징으로 하는 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로. 9. The model equivalent circuit of claim 8, wherein the first resistor has a smaller value than the second resistor. 제 6항에 있어서, 상기 라이트 저항 선택부는 The method of claim 6, wherein the light resistance selector 상기 세트 제어신호와 라이트 인에이블 신호가 모두 하이 레벨로 인가될 경우 세트 라이트 신호를 활성화시키는 제 3논리조합수단;Third logical combining means for activating a set write signal when both the set control signal and the write enable signal are applied at a high level; 상기 리셋 제어신호와 상기 라이트 인에이블 신호가 모두 하이 레벨로 인가될 경우 리셋 라이트 신호를 활성화시키는 제 4논리조합수단;Fourth logic combining means for activating a reset write signal when both the reset control signal and the write enable signal are applied at a high level; 상기 세트 라이트 신호에 따라 제 3저항을 선택하는 제 3스위칭 수단; Third switching means for selecting a third resistor according to the set write signal; 상기 리셋 라이트 신호에 따라 제 4저항을 선택하는 제 4스위칭 수단; 및 Fourth switching means for selecting a fourth resistor in accordance with the reset write signal; And 상기 스냅 백 조정부의 출력에 따라 제 5저항을 선택하는 제 5스위칭 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로. And a fifth switching means for selecting a fifth resistor in accordance with the output of said snap back adjustment section. 제 10항에 있어서, 상기 라이트 인에이블 신호는 상기 모드 선택 신호의 반전 신호인 것을 특징으로 하는 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로. The model equivalent circuit of claim 10, wherein the write enable signal is an inverted signal of the mode selection signal. 제 10항에 있어서, 상기 라이트 저항 선택부는 The method of claim 10, wherein the write resistance selector 리셋 데이터의 라이트 모드시 스냅 백 이전에는 상기 제 4스위칭 수단이 턴온되고, 상기 스냅 백 이후에는 상기 제 5스위칭 수단이 턴온되는 것을 특징으로 하는 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로. And the fourth switching means is turned on before the snap back in the write mode of the reset data, and the fifth switching means is turned on after the snap back. 제 10항에 있어서, 상기 라이트 저항 선택부는 The method of claim 10, wherein the write resistance selector 세트 데이터의 라이트 모드시 상기 제 3스위칭 수단이 턴온되는 것을 특징으로 하는 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로. And the third switching means is turned on in the write mode of the set data. 제 10항에 있어서, 상기 제 3저항은 제 4저항보다 작고 제 5저항과 동일한 저항 값을 갖는 것을 특징으로 하는 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로. 12. The model equivalent circuit of claim 10, wherein the third resistor is smaller than the fourth resistor and has the same resistance value as the fifth resistor. 제 6항에 있어서, 상기 스냅 백 감지부는 The method of claim 6, wherein the snap back detection unit 상기 버텀 전극을 기준으로 하여 상기 스냅 백 전압을 감지하는 제 1문턱전압 감지수단; 및 First threshold voltage sensing means for sensing the snapback voltage based on the bottom electrode; And 상기 제 1문턱전압 감지수단의 전압과 상기 탑 전극의 전압을 비교 및 증폭 하는 제 1증폭기를 포함하는 것을 특징으로 하는 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로. And a first amplifier for comparing and amplifying a voltage of the first threshold voltage sensing means with a voltage of the top electrode. 제 6항에 있어서, 상기 스냅 백 조정부는 The method of claim 6, wherein the snap back adjustment unit 상기 모드 선택신호와, 상기 세트 제어신호에 따라 상기 스냅 백 감지부의 출력을 래치하는 제 1래치수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로. And first latch means for latching an output of the snap back detector according to the mode selection signal and the set control signal. 제 1항에 있어서, 상기 상 변화 검출 수단은 The method of claim 1, wherein the phase change detecting means 상기 상 변화 저항 소자에 인가되는 전원을 등가화한 입력 전원이 인가되는 입력 전원 등가부; An input power equivalent unit to which input power equalized to power applied to the phase change resistance element is applied; 상기 입력 전원 등가부의 출력을 적분하는 제 1적분기; A first integrator for integrating the output of the input power equivalent unit; 상기 제 1적분기의 출력과 제 2문턱전압 감지수단의 출력을 비교 및 증폭하는 제 2증폭기; A second amplifier for comparing and amplifying the output of the first integrator and the output of the second threshold voltage sensing means; 상기 제 1적분기의 출력과 제 3문턱전압 감지수단의 출력을 비교 및 증폭하는 제 3증폭기; A third amplifier for comparing and amplifying the output of the first integrator and the output of the third threshold voltage sensing means; 상기 제 2증폭기의 출력에 의해 제어되며 상기 제 3증폭기의 출력을 적분하는 제 2적분기; A second integrator controlled by the output of the second amplifier and integrating the output of the third amplifier; 상기 제 2적분기의 출력에 의해 제어되며 세트 데이터의 라이트시 인가되는 전원을 등가화한 세트 전원 등가부; A set power equivalent unit controlled by an output of the second integrator and configured to equalize a power applied when writing set data; 상기 세트 전원 등가부의 출력과 제 4문턱전압 감지수단의 출력을 비교 및 증폭하는 제 4증폭기;A fourth amplifier for comparing and amplifying an output of the set power equivalent unit with an output of a fourth threshold voltage sensing means; 상기 제 3증폭기의 출력과 상기 제 4증폭기의 출력을 논리조합하는 제 5논리조합수단; 및 Fifth logical combining means for logically combining the output of the third amplifier and the output of the fourth amplifier; And 상기 제 2증폭기의 출력과 상기 제 5논리조합수단의 출력을 래치하여 상기 리셋 제어신호를 출력하는 제 2래치수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로. And second latch means for latching an output of said second amplifier and an output of said fifth logical combining means to output said reset control signal. 제 17항에 있어서, 상기 상 변화 검출 수단은 상기 입력 전원 등가부에 리셋 데이터에 대응하는 임계전압이 인가될 경우 상기 리셋 제어신호를 하이 전압 레벨로 출력하고, 상기 입력 전원 등가부에 세트 데이터에 대응하는 임게전압이 인가될 경우 상기 리셋 제어신호를 로우 전압 레벨로 출력하는 것을 특징으로 하는 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로. 18. The apparatus of claim 17, wherein the phase change detection unit outputs the reset control signal at a high voltage level when a threshold voltage corresponding to reset data is applied to the input power equivalent unit, and outputs the set data to the input power equivalent unit. And the reset control signal is output at a low voltage level when a corresponding threshold voltage is applied. 제 17항에 있어서, 상기 제 1적분기는 18. The apparatus of claim 17, wherein the first integrator is 상기 입력 전원 등가부의 출력과 접지전압을 비교 및 증폭하는 제 5증폭기; 및 A fifth amplifier for comparing and amplifying the output voltage of the input power equivalent unit and a ground voltage; And 상기 제 5증폭기의 입력단과 출력단 사이에 연결된 제 1커패시터를 포함하는 것을 특징으로 하는 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로. And a first capacitor connected between an input terminal and an output terminal of the fifth amplifier. 제 17항에 있어서, 상기 제 2적분기는 18. The apparatus of claim 17, wherein the second integrator is 상기 제 3증폭기의 출력과 접지전압을 비교 및 증폭하는 제 6증폭기; A sixth amplifier for comparing and amplifying the output of the third amplifier and the ground voltage; 상기 제 6증폭기의 입력단과 출력단 사이에 연결된 제 2커패시터; 및 A second capacitor connected between the input terminal and the output terminal of the sixth amplifier; And 상기 제 2커패시터와 병렬 연결되어 상기 제 2증폭기의 출력에 의해 제어되는 스위칭 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로. And switching means connected in parallel with said second capacitor and controlled by the output of said second amplifier. 제 17항에 있어서, 상기 제 2증폭기의 출력은 상기 상 변화 저항 소자가 녹는점 온도 이상에서 하이 레벨로 천이하는 신호인 것을 특징으로 하는 상 변화 메모리 장치의 모델 등가 회로. 18. The model equivalent circuit of claim 17, wherein the output of the second amplifier is a signal that transitions to a high level above the melting point temperature of the phase change resistance element.
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