KR20090069383A - Level controlling apparatus for the heater of a chemical vapor deposition device - Google Patents

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KR20090069383A
KR20090069383A KR1020070137032A KR20070137032A KR20090069383A KR 20090069383 A KR20090069383 A KR 20090069383A KR 1020070137032 A KR1020070137032 A KR 1020070137032A KR 20070137032 A KR20070137032 A KR 20070137032A KR 20090069383 A KR20090069383 A KR 20090069383A
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김석봉
공용호
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주식회사 동부하이텍
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Abstract

A level controlling apparatus for a heater of a chemical vapor deposition device is provided to prevent the waste of high-price components due to abrasion of a tuning screw and a lead screw by reducing the control times of an unnecessary heater. A level controlling apparatus for a heater of a chemical vapor deposition device comprises: an upper heater level adjusting plate(30b) integrally formed on the bottom of a heater; a lower heater level adjusting plate(30a) connected to a driving part moving the heater vertically; a plurality of springs(35) installed at the constant interval along an edge between the upper heater level adjusting plate and the lower heater level adjusting plate; a plurality of lead screws(31) controlling the gap between the lower heater level adjusting plate and the upper heater level adjusting plate; a plurality of digital level gauge(40) outputting signals by sensing the slope of the heater through the slope of the lower heater level adjusting plate; and a controller receiving the signal outputted from the digital level gauge and converting the slope of the heater into display signals and outputting the display signals.

Description

ＣＶＤ 장비의 히터 레벨 조절 장치{Level controlling apparatus for the heater of a chemical vapor deposition device}Level controlling apparatus for the heater of a chemical vapor deposition device

본 발명은 화학기상증착(CVD; chemical vapor deposition, 이하 'CVD'라 함) 장비의 히터 레벨 조절 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 CVD 장비에 사용되는 히터의 기울기를 디지털 방식으로 측정하여 외부에 표시해 줌으로써 작업자가 히터의 레벨 조절을 용이하고도 신속하게 수행할 수 있게 되어 장비 가동율을 향상시킬 수 있도록 하는 CVD 장비의 히터 레벨 조절 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a heater level control apparatus for chemical vapor deposition (CVD) equipment, and more particularly, to digitally measure the slope of a heater used in a CVD equipment. The present invention relates to a heater level control device of a CVD apparatus that enables an operator to easily and quickly adjust the level of the heater to improve the equipment operation rate.

일반적으로 반도체 소자는 웨이퍼 표면에 박막을 적층하고 패터닝함으로써 만들어진다. 이러한 박막은 CVD(chemical vapor deposition), PVD(physical vapor deposition), ECP(electrochemical plating) 등의 방식으로 형성된다.Generally, semiconductor devices are made by stacking and patterning thin films on the wafer surface. The thin film is formed by chemical vapor deposition (CVD), physical vapor deposition (PVD), electrochemical plating (ECP), or the like.

상기 CVD 방식은 박막을 형성하는 압력에 따라서 AP(atmospheric pressure) CVD, LP(low pressure) CVD, SA(sub atmospheric) CVD 등으로 나누어진다.The CVD method is divided into at least one of AP (atmospheric pressure) CVD, LP (low pressure) CVD, sub atmospheric (CVD), and the like depending on the pressure of forming the thin film.

상기 CVD 공정을 실시하는 장비는 공정챔버 내에 열을 발생하기 위하여 램프 모듈 또는 히터가 구비되며, 특히 히터를 열원으로 사용하는 CVD 장비는 히터의 레벨을 조절하기 위한 장치가 구비된다.Equipment for performing the CVD process is provided with a lamp module or a heater to generate heat in the process chamber, in particular CVD equipment using the heater as a heat source is provided with a device for adjusting the level of the heater.

도 1은 종래 CVD 장비의 구성을 개략적으로 나타내는 사시도이고, 도 2는 종래 CVD 장비의 히터 레벨 조절 장치를 나타낸 부분 사시도이며, 도 3은 종래 CVD 장비의 히터 레벨 조절 장치의 측단면도이다.1 is a perspective view schematically showing the configuration of a conventional CVD equipment, Figure 2 is a partial perspective view showing a heater level control device of a conventional CVD equipment, Figure 3 is a side cross-sectional view of a heater level control device of a conventional CVD equipment.

도 1을 참조하면, 종래의 CVD 장비는 상측의 샤워헤드(25)에서 분사되는 공정가스와의 반응으로 화학기상증착이 수행되는 공정챔버(10)가 마련되고, 상기 공정챔버(10)의 내부로 로딩되는 웨이퍼의 하측에 구비되어, 상기 공정챔버(10)에 열원을 공급하는 히터(20)를 포함하여 이루어지며, 상기 히터(20)의 하측에는 상기 히터(20)의 레벨을 조절하기 위한 히터 레벨 조절 장치(30)가 구비되어 있다.Referring to FIG. 1, the conventional CVD apparatus is provided with a process chamber 10 in which chemical vapor deposition is performed by reaction with a process gas injected from an upper shower head 25, and the inside of the process chamber 10. It is provided on the lower side of the wafer to be loaded, comprising a heater 20 for supplying a heat source to the process chamber 10, the lower side of the heater 20 for adjusting the level of the heater 20 The heater level control device 30 is provided.

상기 히터 레벨 조절 장치(30)는 도 2와 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 히터(20)의 하측으로 일체를 이루는 히터 레벨 조절 상부판(30b)과 상기 히터 레벨 조절 상부판(30b)의 하측으로 일정간격 이격되도록 구비되어, 상기 히터(20)를 상하로 구동시키는 구동부(미도시됨)에 연결되는 히터 레벨 조절 하부판(30a) 사이의 가장자리를 따라 일정간격으로 복수의 스피링(35)과, 상기 스프링(35) 각각에 인접하여 조절스크류(32; 32a,32b)에 의해 상기 히터 레벨 조절 상부판(30b)에 삽입고정된 고정스크류(33b)와 상기 히터 레벨 조절 하부판(30a)에 삽입고정된 고정스크류(33a)의 사이에 설치되어, 상기 히터 레벨 조절 상부판(30b)과 상기 히터 레벨 조절 하부판(30a)의 간격을 조절함으로써 상기 히터(20)의 레벨을 조절하는 리드스크류(31)를 포함하여 이루어진다.As shown in FIGS. 2 and 3, the heater level adjusting device 30 includes the heater level adjusting top plate 30b and the heater level adjusting top plate 30b integrally formed under the heater 20. A plurality of springs 35 are provided at a predetermined interval along the edge between the heater level control lower plate 30a connected to a driving unit (not shown) which is provided to be spaced apart at a predetermined interval downward to drive the heater 20 up and down. And fixing screws 33b and heater level adjusting lower plates 30a fixed to the heater level adjusting upper plate 30b by adjusting screws 32; 32a and 32b adjacent to the springs 35, respectively. Lead screws are installed between the fixing screw (33a) is inserted and fixed to adjust the level of the heater 20 by adjusting the interval between the heater level adjusting top plate (30b) and the heater level adjusting lower plate (30a) ( 31).

이와 같은 종래의 CVD 장비의 히터 레벨 조절 장치가 설치된 CVD 공정챔버(10)는 CVD 공정을 계속적으로 실시하면서 웨이퍼 상에 균일한 막질을 형성하기 위해서는 일정한 스펙(Spec) 내에서 유지되도록 하여야 한다.The CVD process chamber 10 in which the heater level control device of the conventional CVD apparatus is installed must be maintained within a certain specification in order to form a uniform film quality on the wafer while continuously performing the CVD process.

하지만 공정을 계속 진행하면서 발생되는 부산물이 공정가스가 분사되는 샤워헤드(25)에 부착되면서 웨이퍼의 박막의 균일도를 떨어뜨리게 되는 경우에는 더 이상 공정을 진행하지 못하게 되는 경우가 발생하며, 이러한 경우에 작업자는 히터(20)의 레벨을 조절하여 다시 공정 스펙에 맞춘 후에 다시 공정을 진행하게 된다. However, when the by-products generated during the process continue to adhere to the shower head 25 through which the process gas is injected, thereby decreasing the uniformity of the thin film of the wafer, the process may no longer be performed. The operator adjusts the level of the heater 20 to meet the process specification again and then proceeds with the process again.

히터(20)의 레벨 조절은 조절스크류(32)를 스패너(spanner)를 이용하여 회전시켜 상기 리드스크류(31)와의 체결위치를 변경하여 히터 레벨 조절 상부판(30b)과 히터 레벨 조절 하부판(30b)의 간격을 조절함으로써 이루어진다.The level adjustment of the heater 20 rotates the adjusting screw 32 using a spanner to change the fastening position with the lead screw 31 to adjust the heater level adjusting top plate 30b and the heater level adjusting lower plate 30b. By adjusting the spacing).

이와 같이, 종래의 CVD 장비의 히터 레벨 조절 장치(30)는 히터(20)의 레벨을 정확하게 조절하기가 힘들 뿐만 아니라, 잦은 조절로 인하여 조절스크류(32)와 리드스크류(31)가 마모되어 파손되는 문제가 있고, 여러 번 조절한 후에 안정된 스펙을 얻어 다시 공정을 진행하는 데에는 상당한 시간이 소요되는 문제점이 있다.As such, the heater level control device 30 of the conventional CVD equipment is difficult to precisely adjust the level of the heater 20, and due to frequent adjustment, the adjustment screw 32 and the lead screw 31 are worn and damaged. There is a problem that it takes a considerable time to proceed to the process again to obtain a stable specification after several adjustments.

또한, 히터(20)의 레벨 조절을 잘못하여 히터(20) 레벨이 너무 많이 상승하여 실제로 웨이퍼가 공정챔버(10)로 로딩될 때 이송로봇의 블레이드가 히터(20)에 부딪쳐 고가의 부품을 교체해야 하는 경우도 발생되는 문제점이 있다.In addition, when the level of the heater 20 is incorrectly adjusted, the level of the heater 20 rises so much that when the wafer is actually loaded into the process chamber 10, the blade of the transfer robot hits the heater 20 and replaces an expensive part. There is also a problem that must occur.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, CVD 장비에 사용되는 히터의 기울기를 측정하여 외부에 표시해 줌으로써 히터의 레벨 조절을 용이하고 신속하게 수행하도록 하며, 히터의 레벨 이상이 외부에서 감지되는 경우에는 즉각적인 조치가 가능하도록 하여 사전 예방 정비시에 수반되는 부수적인 활동을 줄여 장비 가동률을 향상시킴과 아울러 제품 수율을 증대시킬 수 있도록 하는 CVD 장비의 히터 레벨 조절 장치를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, by measuring the inclination of the heater used in the CVD equipment to be displayed to the outside to easily and quickly adjust the level of the heater, the level of the heater from the outside If detected, it is possible to provide immediate action to reduce the additional activities involved in preventive maintenance, thereby improving equipment utilization and increasing heater yield of CVD equipment. have.

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 CVD 장비의 히터 레벨 조절 장치는, CVD 공정이 수행되는 공정챔버의 하측에 구비되어 상기 공정챔버에 열원을 공급하는 히터의 레벨을 조절하는 장치에 있어서, 상기 히터의 하측으로 일체를 이루는 히터 레벨 조절 상부판; 상기 히터 레벨 조절 상부판의 하측으로 일정간격 이격되도록 구비되어, 상기 히터를 상하로 이동시키는 구동부에 연결되는 히터 레벨 조절 하부판; 상기 히터 레벨 조절 상부판과 상기 히터 레벨 조절 하부판 사이에 가장자리를 따라 일정간격으로 설치되는 복수의 스프링; 상기 스프링 각각에 인접하여 복수의 조절스크류에 의해 상기 히터 레벨 조절 상부판에 삽입고정된 고정스크류와 상기 히터 레벨 조절 하부판에 삽입고정된 고정스크류의 사이에 설치되어, 상기 히터 레벨 조절 상부판과 상기 히터 레벨 조절 하부판의 간격을 조절하는 복수의 리드스크류; 상기 스프링 각각에 인접하여 상기 히터 레벨 조절 하부판의 상단에 설치되며, 상기 히터 레벨 조절 하부판의 기울기를 통해 상기 히터의 기울기를 감지하여 신호를 출력하는 복수의 디지털 레벨 게이지;및 상기 디지털 레벨 게이지 각각으로부터 출력되는 신호를 수신하여 상기 히터의 기울기를 디스플레이신호로 변환하여 출력하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.In the apparatus for adjusting the heater level of the CVD apparatus of the present invention for achieving the above object, in the apparatus for adjusting the level of the heater which is provided under the process chamber in which the CVD process is performed to supply a heat source to the process chamber Heater level control top plate integrally formed with the lower side of the heater; A heater level adjusting lower plate provided to be spaced apart from the heater level adjusting upper plate by a predetermined distance and connected to a driving unit for moving the heater up and down; A plurality of springs installed at regular intervals along an edge between the heater level adjusting top plate and the heater level adjusting bottom plate; Adjacent to each of the spring is installed between the fixed screw inserted into the heater level adjustment top plate by a plurality of adjustment screws and the fixed screw inserted into the heater level adjustment lower plate, the heater level adjustment top plate and the A plurality of lead screws for adjusting the spacing of the heater level control lower plate; A plurality of digital level gauges disposed on an upper end of the heater level adjusting lower plate adjacent to each of the springs, and configured to output a signal by detecting a tilt of the heater through the inclination of the heater level adjusting lower plate; and from each of the digital level gauges; And a controller configured to receive the output signal and convert the slope of the heater into a display signal.

상기 제어부로부터 출력되는 디스플레이신호를 수신하여 외부로 상기 히터의 기울기를 디스플레이하는 디스플레이부;를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.And a display unit configured to receive a display signal output from the controller and display the inclination of the heater to the outside.

상기 디지털 레벨 게이지 각각으로부터 출력되는 신호를 수신하여 상기 출력 신호가 미리 설정된 허용범위 내인지 여부를 감지하여 상기 제어부로 그 결과 신호를 출력하는 레벨 감지 보드;및 상기 제어부가 상기 레벨 감지 보드로부터 수신한 신호에 의해 상기 디지털 레벨 게이지에서 감지한 레벨이 상기 레벨 감지 보드에서 미리 설정된 허용범위를 벗어날 경우에는 외부에 경보를 발생시키는 레벨 감지 경보부;를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.A level sensing board which receives a signal output from each of the digital level gauges, detects whether the output signal is within a preset allowable range, and outputs a result signal to the controller; and the control unit received from the level sensing board. And a level detection alarm unit for generating an alarm to the outside when the level sensed by the digital level gauge by a signal is outside the preset allowable range in the level detection board.

상기 디지털 레벨 게이지 각각으로부터 출력되는 신호를 수신하여 상기 디지털 레벨 게이지의 정상작동 여부를 감지하여 상기 제어부로 그 결과 신호를 출력하는 인터락 보드;및 상기 제어부가 상기 인터락 보드로부터 수신한 신호에 의해 상기 디지털 레벨 게이지가 비정상적으로 작동되는 경우에는 외부에 경보를 발생시키는 인터락 경보부;를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.An interlock board which receives a signal output from each of the digital level gauges, detects whether the digital level gauge is normally operated, and outputs a result signal to the controller; and a signal received by the controller from the interlock board. And an interlock alarm unit for generating an alarm to the outside when the digital level gauge is abnormally operated.

본 발명에 따른 CVD 장비의 히터 레벨 조절 장치에 의하면, CVD 장비에 사용되는 히터의 기울기를 측정하여 외부의 디스플레이부에 표시해 줌으로써 히터의 레 벨 조절을 용이하고 신속하게 수행할 수 있고, 히터의 레벨 이상을 외부에서 감지한 경우에는 즉각적인 조치가 가능하도록 하여 사전 예방 정비시에 수반되는 부수적인 활동을 줄여 장비 가동율을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.According to the heater level control apparatus of the CVD equipment according to the present invention, it is possible to easily and quickly adjust the level of the heater by measuring the slope of the heater used in the CVD equipment and displaying it on the external display, the level of the heater If an abnormality is detected from the outside, it is possible to take immediate action to reduce the incidental activities involved in the preventive maintenance to improve the equipment utilization rate.

또한, 본 발명에 의하면 불필요한 히터의 레벨 조절 횟수를 줄여 조절스크류 및 리드스크류 등의 마모로 인한 고가 부품의 낭비를 방지함으로써 보다 더 안정적인 공정 장비 관리를 할 수 있게 되는 장점이 있다.In addition, the present invention has the advantage that it is possible to manage the process equipment more stable by preventing the waste of expensive components due to wear of the adjustment screw and lead screw by reducing the number of unnecessary level adjustment of the heater.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the configuration and operation of the preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 따른 CVD 장비의 히터 레벨 조절 장치의 측단면도이고, 도 5는 본 발명에 따른 CVD 장비의 히터 레벨 조절 장치의 제어 블럭도이다.Figure 4 is a side cross-sectional view of the heater level control device of the CVD equipment according to the present invention, Figure 5 is a control block diagram of the heater level control device of the CVD equipment according to the present invention.

이하에서는 종래의 히터 레벨 조절 장치와 중복되는 구성요소에 대한 상세한 설명은 생략하고, 본 발명에서 새롭게 부가된 구성요소를 중심으로 하여 상세히 설명하도록 한다.Hereinafter, a detailed description of the components overlapping with the conventional heater level control device will be omitted, and will be described in detail with reference to the newly added components in the present invention.

본 발명에 따른 히터 레벨 조절 장치는, 종래의 히터 레벨 조절 장치의 구성요소에 추가하여, 히터 레벨 조절 상부판(30b)과 히터 레벨 조절 하부판(30a)의 사이에 설치되는 스프링(35) 각각에 인접하여 상기 히터 레벨 조절 하부판(30a)의 상단에 설치되어 상기 히터 레벨 조절 하부판(30a)의 기울기를 통해 상기 히터(20)의 기울기를 감지하여 신호를 출력하는 복수의 디지털 레벨 게이지(40)와, 상기 디지털 레벨 게이지(40) 각각으로부터 출력되는 신호를 수신하여 상기 히터(20)의 기울 기를 디스플레이신호로 변환하여 출력하는 제어부(60) 및 상기 제어부(60)로부터 출력되는 디스플레이신호를 수신하여 외부로 상기 히터(20)의 기울기를 디스플레이하는 디스플레이부(70)를 포함한다.The heater level adjusting device according to the present invention is provided in each of the springs 35 installed between the heater level adjusting upper plate 30b and the heater level adjusting lower plate 30a in addition to the components of the conventional heater level adjusting device. A plurality of digital level gauges 40 installed adjacent to the heater level adjusting lower plate 30a and sensing a tilt of the heater 20 through an inclination of the heater level adjusting lower plate 30a and outputting a signal; Receiving a signal output from each of the digital level gauge 40, the controller 60 for converting the slope of the heater 20 to a display signal and outputting the display signal received from the controller 60 and external And a display unit 70 for displaying a slope of the heater 20.

상기 디지털 레벨 게이지(40)는 종래에 작업자가 수작업으로 스패너를 이용하여 조절스크류(32)와 리드스크류(31)의 체결위치를 변경하는 작업을 반복수행함으로써 히터(20)의 레벨을 조절하는 방식이나 버블 게이지(bubble gauge)를 이용한 방식과는 달리 디지털 방식을 이용한 측정 장치이다.The digital level gauge 40 conventionally adjusts the level of the heater 20 by repeating the operation of changing the fastening position of the adjustment screw 32 and the lead screw 31 by using a wrench manually. In contrast to the method using a bubble gauge (bubble gauge) is a measuring device using a digital method.

상기 디지털 레벨 게이지(40)의 내부에는 포텐셜 센서(potential sensor, 미도시)와 레이저 빔 센서(laser beam sensor, 미도시)를 이용하여 빔의 직진성에 의해 좌,우로 기울어진 값을 디지털 방식으로 외부에 출력하는 것을 이용한 것이다. 즉, 디지털 레벨 게이지(40)의 하측에 형성된 홀(hole, 미도시)에 레이저 빔 센서로부터 입사되어 반사된 빔의 각도를 상기 포텐셜 센서가 감지함으로써 좌,우로 기울어진 정도를 신호로 출력한다.The digital level gauge 40 uses a potential sensor (not shown) and a laser beam sensor (not shown) to externally digitally tilt the left and right values due to the straightness of the beam. To print to That is, the potential sensor detects the angle of the beam incident and reflected from the laser beam sensor into a hole (not shown) formed at the lower side of the digital level gauge 40, and outputs the degree of tilting left and right as a signal.

그리고, 상기 디지털 레벨 게이지(40)는 자체 내에 영점 조정(zero calibration)을 할 수 있도록 하는 데이터베이스(database)가 구비되어 있다.In addition, the digital level gauge 40 is provided with a database for performing zero calibration in itself.

제어부(60)는 디지털 레벨 게이지(40) 각각으로부터 출력되는 신호를 수신하여 연산 작용을 거쳐서 히터(20)의 기울기를 디스플레이신호로 변환하여 출력한다. 즉, 상기 제어부(60)는 히터(20)의 기울기 변화를 계속적으로 사용자에게 전달해주는 역할을 한다.The controller 60 receives a signal output from each of the digital level gauges 40 and converts the slope of the heater 20 into a display signal through an arithmetic operation to output the signal. That is, the controller 60 serves to continuously transmit the change of the inclination of the heater 20 to the user.

상기 제어부(60)로부터 출력되는 디스플레이신호는 디스플레이부(70)에서 수 신하여 히터(20)의 기울기를 외부에 표시한다.The display signal output from the control unit 60 is received by the display unit 70 to display the inclination of the heater 20 to the outside.

또한, 본 발명의 CVD 장비의 히터 레벨 조절 장치는 디지털 레벨 게이지(40)로부터 감지된 히터(20)의 기울기가 미리 설정된 허용범위 내인지 여부를 감지하여 그 결과 신호를 제어부(60)로 출력하는 레벨 감지 보드(45)와, 상기 제어부(60)에서 수신한 신호에 의하여 상기 디지털 레벨 게이지(40)에서 측정된 히터(20)의 기울기가 상기 레벨 감지 보드(45)에서 미리 설정된 허용범위를 벗어날 경우에는 외부에 경보를 발생시키는 레벨 감지 경보부(80)를 추가로 포함한다.In addition, the heater level control apparatus of the CVD apparatus of the present invention detects whether the inclination of the heater 20 detected from the digital level gauge 40 is within a preset allowable range and outputs the result signal to the controller 60. The inclination of the heater 20 measured by the digital level gauge 40 according to the level sensing board 45 and the signal received from the controller 60 is outside the preset tolerance range set by the level sensing board 45. If the case further includes a level detection alarm unit for generating an alarm to the outside.

예컨대, 상기 레벨 감지 보드(45)에서 설정된 스펙이 +0.3 또는 -0.3의 범위를 벗어날 경우에는 상기 레벨 감지 보드(45)에서는 제어부(60)로 경고 신호를 출력하고, 상기 제어부(45)에서는 상기 레벨 감지 경보부(80)에서 경보를 발생시키도록 제어하게 된다.For example, when the specification set in the level sensing board 45 is out of the range of +0.3 or -0.3, the level sensing board 45 outputs a warning signal to the control unit 60, and the control unit 45 displays the warning signal. The level detection alarm unit 80 is controlled to generate an alarm.

또한, 본 발명의 CVD 장비의 히터 레벨 조절 장치는 디지털 레벨 게이지(40) 각각으로부터 감지된 히터(20)의 기울기에 대한 출력 신호를 수신하여 상기 디지털 레벨 게이지(40)의 정상작동 여부를 감지하여 제어부(60)로 신호를 출력하는 인터락 보드(50)와, 상기 제어부(60)가 상기 인터락 보드(50)로부터 수신한 신호에 의해 상기 디지털 레벨 게이지(40)가 비정상적으로 작동되는 경우에는 외부에 경보를 발생시키는 인터락 경보부(90)를 포함한다.In addition, the heater level control apparatus of the CVD apparatus of the present invention receives the output signal for the inclination of the heater 20 detected from each of the digital level gauge 40 to detect whether the digital level gauge 40 is operating normally When the digital level gauge 40 is abnormally operated by the interlock board 50 that outputs a signal to the control unit 60 and the signal received by the control unit 60 from the interlock board 50. An interlock alarm unit 90 for generating an alarm to the outside is included.

따라서, 전원공급의 차단이나 파손 등으로 인하여 상기 디지털 레벨 게이지(40)가 오작동되는 경우에는 상기 인터락 경보부(90)에서 경보를 발생시켜 작업자가 이에 대한 즉각적인 상황 대처를 할 수 있게 한다.Therefore, when the digital level gauge 40 malfunctions due to the interruption or damage of power supply, the interlock alarm unit 90 generates an alarm so that an operator can immediately deal with the situation.

상기와 같이 본 발명은 디지털 레벨 게이지(40)에서 측정된 히터(20)의 기울기를 디스플레이부(70)를 통하여 외부에 표시하고, 상기 디지털 레벨 게이지(40)에서 측정된 히터(20)의 기울기가 미리 설정된 허용범위 내인지 여부를 판단할 수 있도록 하는 레벨 감지 보드(45)와 레벨 감지 경보부(80)를 구비함과 아울러, 상기 디지털 레벨 게이지(40)의 정상작동 여부를 판단할 수 있도록 하는 인터락 보드(50)와 인터락 경보부(90)를 구비함으로써 CVD 공정에 있어서의 히터(20) 레벨 조절을 안정적으로 수행할 수 있게 된다.As described above, the present invention displays the inclination of the heater 20 measured by the digital level gauge 40 to the outside through the display unit 70, and the inclination of the heater 20 measured by the digital level gauge 40. Is provided with a level sensing board 45 and a level sensing alarm unit 80 to determine whether the range is within a preset allowable range, and to determine whether the digital level gauge 40 operates normally. By providing the interlock board 50 and the interlock alarm unit 90, the heater 20 level control in the CVD process can be stably performed.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정·변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.It is apparent to those skilled in the art that the present invention is not limited to the above embodiments and can be practiced in various ways without departing from the technical spirit of the present invention. will be.

도 1은 종래 CVD 장비의 구성을 개략적으로 나타내는 사시도, 1 is a perspective view schematically showing the configuration of a conventional CVD equipment;

도 2는 종래 CVD 장비의 히터 레벨 조절 장치를 나타낸 부분 사시도,Figure 2 is a partial perspective view showing a heater level control device of a conventional CVD equipment,

도 3은 종래 CVD 장비의 히터 레벨 조절 장치의 측단면도,Figure 3 is a side cross-sectional view of the heater level control device of the conventional CVD equipment,

도 4는 본 발명에 따른 CVD 장비의 히터 레벨 조절 장치의 측단면도,Figure 4 is a side cross-sectional view of the heater level control device of the CVD equipment according to the present invention,

도 5는 본 발명에 따른 CVD 장비의 히터 레벨 조절 장치의 제어 블럭도이다.5 is a control block diagram of a heater level control apparatus of the CVD apparatus according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

10 : 공정챔버 20 : 히터10: process chamber 20: heater

25 : 샤워헤드 30 : 히터 레벨 조절 장치25: shower head 30: heater level control device

30a : 히터 레벨 조절 하부판 30b : 히터 레벨 조절 상부판30a: heater level adjustment top plate 30b: heater level adjustment top plate

31 : 리드스크류 32 : 조절스크류31: Lead screw 32: Adjustment screw

33 : 고정스크류 35 : 스프링33: fixed screw 35: spring

40 : 디지털 레벨 게이지 45 : 레벨 감지 보드40: digital level gauge 45: level detection board

50 : 인터락 보드 60 : 제어부50: interlock board 60: control unit

70 : 디스플레이부 80 : 레벨 감지 경보부70: display unit 80: level detection alarm unit

90 : 인터락 경보부90: interlock alarm unit

Claims (4)

CVD 공정이 수행되는 공정챔버의 하측에 구비되어 상기 공정챔버에 열원을 공급하는 히터의 레벨을 조절하는 장치에 있어서,An apparatus for controlling a level of a heater provided below a process chamber in which a CVD process is performed to supply a heat source to the process chamber, 상기 히터의 하측으로 일체를 이루는 히터 레벨 조절 상부판;A heater level adjusting top plate integrally formed with the lower side of the heater; 상기 히터 레벨 조절 상부판의 하측으로 일정간격 이격되도록 구비되어, 상기 히터를 상하로 이동시키는 구동부에 연결되는 히터 레벨 조절 하부판;A heater level adjusting lower plate provided to be spaced apart from the heater level adjusting upper plate by a predetermined distance and connected to a driving unit for moving the heater up and down; 상기 히터 레벨 조절 상부판과 상기 히터 레벨 조절 하부판 사이에 가장자리를 따라 일정간격으로 설치되는 복수의 스프링;A plurality of springs installed at regular intervals along an edge between the heater level adjusting top plate and the heater level adjusting bottom plate; 상기 스프링 각각에 인접하여 복수의 조절스크류에 의해 상기 히터 레벨 조절 상부판에 삽입고정된 고정스크류와 상기 히터 레벨 조절 하부판에 삽입고정된 고정스크류의 사이에 설치되어, 상기 히터 레벨 조절 상부판과 상기 히터 레벨 조절 하부판의 간격을 조절하는 복수의 리드스크류;Adjacent to each of the spring is installed between the fixed screw inserted into the heater level adjustment top plate by a plurality of adjustment screws and the fixed screw inserted into the heater level adjustment lower plate, the heater level adjustment top plate and the A plurality of lead screws for adjusting the spacing of the heater level control lower plate; 상기 스프링 각각에 인접하여 상기 히터 레벨 조절 하부판의 상단에 설치되며, 상기 히터 레벨 조절 하부판의 기울기를 통해 상기 히터의 기울기를 감지하여 신호를 출력하는 복수의 디지털 레벨 게이지;및A plurality of digital level gauges installed at an upper end of the heater level adjusting lower plate adjacent to each of the springs, and outputting a signal by detecting a tilt of the heater through an inclination of the heater level adjusting lower plate; and 상기 디지털 레벨 게이지 각각으로부터 출력되는 신호를 수신하여 상기 히터의 기울기를 디스플레이신호로 변환하여 출력하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 CVD 장비의 히터 레벨 조절 장치.And a controller configured to receive a signal output from each of the digital level gauges, convert the slope of the heater into a display signal, and output the converted signal. 제 1 항에 있어서, 상기 제어부로부터 출력되는 디스플레이신호를 수신하여 외부로 상기 히터의 기울기를 디스플레이하는 디스플레이부;를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 CVD 장비의 히터 레벨 조절 장치.The apparatus of claim 1, further comprising a display unit configured to receive a display signal output from the controller and display a slope of the heater to the outside. 제 1 항에 있어서, 상기 디지털 레벨 게이지 각각으로부터 출력되는 신호를 수신하여 상기 출력 신호가 미리 설정된 허용범위 내인지 여부를 감지하여 상기 제어부로 그 결과 신호를 출력하는 레벨 감지 보드;및The level sensing board of claim 1, further comprising: a level sensing board configured to receive a signal output from each of the digital level gauges, detect whether the output signal is within a preset allowable range, and output a result signal to the controller; 상기 제어부가 상기 레벨 감지 보드로부터 수신한 신호에 의해 상기 디지털 레벨 게이지에서 감지한 레벨이 상기 레벨 감지 보드에서 미리 설정된 허용범위를 벗어날 경우에는 외부에 경보를 발생시키는 레벨 감지 경보부;를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 CVD 장비의 히터 레벨 조절 장치.And a level sensing alarm unit configured to generate an alarm to the outside when the level sensed by the digital level gauge is outside the preset tolerance range set by the level sensing board by the signal received from the level sensing board. Heater level control device of the CVD equipment, characterized in that. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 디지털 레벨 게이지 각각으로부터 출력되는 신호를 수신하여 상기 디지털 레벨 게이지의 정상작동 여부를 감지하여 상기 제어부로 그 결과 신호를 출력하는 인터락 보드;및The interlock board according to any one of claims 1 to 3, wherein the interlock board receives a signal output from each of the digital level gauges, detects whether the digital level gauge is normally operated, and outputs the result signal to the controller. ; And 상기 제어부가 상기 인터락 보드로부터 수신한 신호에 의해 상기 디지털 레벨 게이지가 비정상적으로 작동되는 경우에는 외부에 경보를 발생시키는 인터락 경보부;를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 CVD 장비의 히터 레벨 조절 장치.And an interlock alarm unit for generating an alarm to the outside when the digital level gauge is abnormally operated by the signal received from the interlock board by the control unit. .
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