KR20090050968A - Polymerizable resin composition - Google Patents

Polymerizable resin composition Download PDF

Info

Publication number
KR20090050968A
KR20090050968A KR1020080112920A KR20080112920A KR20090050968A KR 20090050968 A KR20090050968 A KR 20090050968A KR 1020080112920 A KR1020080112920 A KR 1020080112920A KR 20080112920 A KR20080112920 A KR 20080112920A KR 20090050968 A KR20090050968 A KR 20090050968A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
group
compound
formula
resin composition
acrylate
Prior art date
Application number
KR1020080112920A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101529728B1 (en
Inventor
가츠하루 이노우에
가즈오 다케베
Original Assignee
스미또모 가가꾸 가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 스미또모 가가꾸 가부시끼가이샤 filed Critical 스미또모 가가꾸 가부시끼가이샤
Publication of KR20090050968A publication Critical patent/KR20090050968A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101529728B1 publication Critical patent/KR101529728B1/en

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F20/00Homopolymers and copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride, ester, amide, imide or nitrile thereof
    • C08F20/02Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms, Derivatives thereof
    • C08F20/10Esters
    • C08F20/26Esters containing oxygen in addition to the carboxy oxygen
    • C08F20/32Esters containing oxygen in addition to the carboxy oxygen containing epoxy radicals
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F20/00Homopolymers and copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride, ester, amide, imide or nitrile thereof
    • C08F20/02Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms, Derivatives thereof
    • C08F20/10Esters
    • C08F20/12Esters of monohydric alcohols or phenols
    • C08F20/16Esters of monohydric alcohols or phenols of phenols or of alcohols containing two or more carbon atoms
    • C08F20/18Esters of monohydric alcohols or phenols of phenols or of alcohols containing two or more carbon atoms with acrylic or methacrylic acids
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08KUse of inorganic or non-macromolecular organic substances as compounding ingredients
    • C08K5/00Use of organic ingredients
    • C08K5/16Nitrogen-containing compounds
    • C08K5/32Compounds containing nitrogen bound to oxygen
    • C08K5/33Oximes
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08LCOMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L33/00Compositions of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical, or of salts, anhydrides, esters, amides, imides or nitriles thereof; Compositions of derivatives of such polymers
    • C08L33/04Homopolymers or copolymers of esters
    • C08L33/06Homopolymers or copolymers of esters of esters containing only carbon, hydrogen and oxygen, which oxygen atoms are present only as part of the carboxyl radical
    • C08L33/062Copolymers with monomers not covered by C08L33/06
    • C08L33/068Copolymers with monomers not covered by C08L33/06 containing glycidyl groups
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08LCOMPOSITIONS OF MACROMOLECULAR COMPOUNDS
    • C08L33/00Compositions of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical, or of salts, anhydrides, esters, amides, imides or nitriles thereof; Compositions of derivatives of such polymers
    • C08L33/04Homopolymers or copolymers of esters
    • C08L33/14Homopolymers or copolymers of esters of esters containing halogen, nitrogen, sulfur, or oxygen atoms in addition to the carboxy oxygen
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G2650/00Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule
    • C08G2650/22Macromolecular compounds obtained by reactions forming an ether link in the main chain of the macromolecule characterised by the initiator used in polymerisation
    • C08G2650/24Polymeric initiators

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
  • Polymerisation Methods In General (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)

Abstract

알칼리 가용성 수지 (A), 중합성 화합물 (B), 개시제 (C), 개시 보조제 (D) 및 용제 (E) 를 함유하고, 개시 보조제 (D) 가 식 (I-1) 및 식 (I-2) 로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종으로 나타내는 화합물을 함유하는 화합물인 중합성 수지 조성물.Alkali-soluble resin (A), a polymeric compound (B), an initiator (C), an initiator adjuvant (D), and a solvent (E) are contained, and an initiator adjuvant (D) is a formula (I-1) and a formula (I-) Polymeric resin composition which is a compound containing the compound represented by at least 1 sort (s) chosen from the group which consists of 2).

Figure 112008078584396-PAT00001
Figure 112008078584396-PAT00001

[식 (I-1) 및 식 (I-2) 중, 고리 X1, 고리 X2 및 고리 X3 은 각각 독립적으로 탄소수 6 ∼ 12 의 방향 고리를 나타낸다. Y1 ∼ Y4 는 각각 독립적으로 산소 원자 또는 황 원자를 나타낸다. R1 ∼ R4 는 각각 독립적으로 탄소수 1 ∼ 12 의 알킬기 또는 탄소수 6 ∼ 12 의 아릴기를 나타낸다. [In Formula (I-1) and Formula (I-2), ring X 1 , ring X 2, and ring X 3 each independently represent an aromatic ring having 6 to 12 carbon atoms. Y 1 to Y 4 each independently represent an oxygen atom or a sulfur atom. R 1 to R 4 each independently represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an aryl group having 6 to 12 carbon atoms.

그 방향 고리, 그 알킬기 및 그 아릴기에 함유되는 메틸렌기는 산소 원자, -NH- 또는 황 원자로 치환되어 있어도 되고, 그 방향 고리, 그 알킬기 및 그 아릴기에 함유되는 수소 원자는 할로겐 원자로 치환되어도 된다.] The methylene group contained in the aromatic ring, the alkyl group and the aryl group may be substituted with an oxygen atom, -NH- or a sulfur atom, and the hydrogen atom contained in the aromatic ring, the alkyl group and the aryl group may be substituted with a halogen atom.]

Description

중합성 수지 조성물 {POLYMERIZABLE RESIN COMPOSITION}Polymerizable Resin Composition {POLYMERIZABLE RESIN COMPOSITION}

본 발명은 중합성 수지 조성물에 관한 것이다. The present invention relates to a polymerizable resin composition.

액정 표시 장치나 터치 패널 등, 표시 장치를 구성하는 컬러 필터와 어레이 기판 사이에는, 감광성 수지를 사용한 포토리소그래피로 스페이서 (포토 스페이서) 를 형성하는 것이 제안되어 있다. 이 방법에 의하면, 임의의 장소에 스페이서를 형성할 수 있다. It is proposed to form a spacer (photo spacer) by photolithography using a photosensitive resin between a color filter constituting a display device such as a liquid crystal display device or a touch panel and an array substrate. According to this method, a spacer can be formed in arbitrary places.

그런데, 포토리소그래피의 광원에 사용되는 수은등으로부터 방사되는 광은, 통상적으로 436㎚ 부근, 408㎚ 부근, 365㎚ 부근, 315㎚ 부근, 313㎚ 부근 등에 고강도 스펙트럼을 갖는다. By the way, the light radiated | emitted from the mercury lamp used for the light source of photolithography has a high intensity spectrum normally about 436 nm, 408 nm vicinity, 365 nm vicinity, 315 nm vicinity, 313 nm vicinity, etc.

실제의 포토 스페이서 형성 프로세스에서 사용되는 노광기는, 프록시미티 노광기나 스테퍼가 사용되는 경우가 많고, 최근의 프록시미티 노광기에서는, 350㎚ 미만의 단파장의 광을 컷하여 사용하는 경우가 많다. 또 스테퍼에서는, 408㎚ 부근이나 365㎚ 부근의 파장의 광이 사용되고 있다. The exposure machine used in the actual photo-spacer formation process often uses a proximity exposure machine and a stepper, and the recent proximity exposure machine often cuts and uses short wavelength of less than 350 nm. In the stepper, light having a wavelength around 408 nm and around 365 nm is used.

이와 같은 350㎚ 미만의 단파장의 광을 방사하고 있지 않는 노광기를 사용한 경우라도, 충분한 경화성이 얻어지는 조성물, 요컨대 436㎚ 부근, 408㎚ 부근, 365 ㎚ 부근의 파장의 광에 충분한 감도를 갖는 조성물이 제안되어 있다. 이와 같은 조성물로서 특허 문헌 1 에는 4,4'-비스디에틸아미노벤조페논을 함유하는 조성물이 기재되어 있다. 또, 특허 문헌 2 에는 안트라센을 함유하는 조성물이 기재되어 있다. Even when using an exposure machine that does not emit light having a short wavelength of less than 350 nm, a composition having sufficient curability, that is, a composition having sufficient sensitivity to light having a wavelength of around 436 nm, around 408 nm, and around 365 nm is proposed. It is. As such a composition, Patent Document 1 describes a composition containing 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone. In addition, Patent Document 2 describes a composition containing anthracene.

특허 문헌 1 : 일본 공개특허공보 2005-208360호Patent Document 1: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2005-208360

특허 문헌 2 : 일본 공개특허공보 2003-50459호Patent Document 2: Japanese Unexamined Patent Publication No. 2003-50459

종래의 조성물에서는, 436㎚ 부근, 408㎚ 부근, 365㎚ 부근의 파장의 광에 충분한 감도는 얻어지지만, 그 조성물로부터 얻어지는 도막 또는 패턴의 투과율을 충분히는 얻을 수 없는 경우가 있었다. In the conventional composition, although sufficient sensitivity is obtained for the light of the wavelength of around 436 nm, about 408 nm, and around 365 nm, the transmittance | permeability of the coating film or pattern obtained from this composition may not be fully obtained.

본 발명자들은 상기 과제에 대해 검토한 결과, 어떤 종류의 화합물을 함유하는 중합성 수지 조성물이 350 ∼ 450㎚ 범위의 광에 충분한 감도를 갖고, 또한 그 조성물로부터 얻어지는 도막 또는 패턴의 투과율이 충분히 높은 것을 알아냈다. MEANS TO SOLVE THE PROBLEM As a result of examining the said subject, it turned out that the polymeric resin composition containing some kind of compound has sufficient sensitivity to the light of 350-450 nm range, and the transmittance | permeability of the coating film or pattern obtained from the composition is high enough. Figured out.

즉, 본 발명은 이하의 [1] ∼ [8] 을 제공하는 것이다. That is, this invention provides the following [1]-[8].

[1]. 알칼리 가용성 수지 (A), 중합성 화합물 (B), 개시제 (C), 개시 보조제 (D) 및 용제 (E) 를 함유하고, 개시 보조제 (D) 가 식 (I-1) 및 식 (I-2) 로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종으로 나타내는 화합물을 함유하는 화합물인 중합성 수지 조성물.[One]. Alkali-soluble resin (A), a polymeric compound (B), an initiator (C), an initiator adjuvant (D), and a solvent (E) are contained, and an initiator adjuvant (D) is a formula (I-1) and a formula (I-) Polymeric resin composition which is a compound containing the compound represented by at least 1 sort (s) chosen from the group which consists of 2).

Figure 112008078584396-PAT00002
Figure 112008078584396-PAT00002

[식 (I-1) 및 식 (I-2) 중, 고리 X1, 고리 X2 및 고리 X3 은 각각 독립적으로 탄소수 6 ∼ 12 의 방향 고리를 나타낸다. Y1 ∼ Y4 는 각각 독립적으로 산소 원자 또는 황 원자를 나타낸다. R1 ∼ R4 는 각각 독립적으로 탄소수 1 ∼ 12 의 알킬기 또는 탄소수 6 ∼ 12 의 아릴기를 나타낸다. [In Formula (I-1) and Formula (I-2), ring X 1 , ring X 2, and ring X 3 each independently represent an aromatic ring having 6 to 12 carbon atoms. Y 1 to Y 4 each independently represent an oxygen atom or a sulfur atom. R 1 to R 4 each independently represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an aryl group having 6 to 12 carbon atoms.

그 방향 고리, 그 알킬기 및 그 아릴기에 함유되는 메틸렌기는 산소 원자, -NH- 또는 황 원자로 치환되어 있어도 되고, 그 방향 고리, 그 알킬기 및 그 아릴기에 함유되는 수소 원자는 할로겐 원자로 치환되어도 된다.] The methylene group contained in the aromatic ring, the alkyl group and the aryl group may be substituted with an oxygen atom, -NH- or a sulfur atom, and the hydrogen atom contained in the aromatic ring, the alkyl group and the aryl group may be substituted with a halogen atom.]

[2]. 개시제 (C) 가 비이미다졸계 화합물, 아세토페논계 화합물, 트리아진계 화합물, 아실포스핀옥사이드계 화합물 및 옥심계 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 화합물을 함유하는 화합물인 [1] 에 기재된 중합성 수지 조성물. [2]. [1] to [1], wherein the initiator (C) is a compound containing at least one compound selected from the group consisting of a biimidazole compound, an acetophenone compound, a triazine compound, an acylphosphine oxide compound, and an oxime compound The polymerizable resin composition described.

[3]. 알칼리 가용성 수지 (A) 가 에폭시기 및 옥세타닐기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 기를 갖는 수지인 [1] 또는 [2] 에 기재된 중합성 수지 조성물. [3]. Polymeric resin composition as described in [1] or [2] whose alkali-soluble resin (A) is resin which has at least 1 sort (s) of group chosen from the group which consists of an epoxy group and an oxetanyl group.

[4]. 알칼리 가용성 수지 (A) 가 반응성 이중 결합을 갖는 수지인 [1] ∼ [3] 중 어느 하나에 기재된 중합성 수지 조성물. [4]. Polymeric resin composition in any one of [1]-[3] whose alkali-soluble resin (A) is resin which has a reactive double bond.

[5]. 개시 보조제 (D) 가 추가로 다관능 티올 화합물 (T) 를 함유하는 화합물인 [1] ∼ [4] 중 어느 하나에 기재된 중합성 수지 조성물. [5]. Polymeric resin composition in any one of [1]-[4] whose starting adjuvant (D) is a compound which further contains a polyfunctional thiol compound (T).

[6]. [1] ∼ [5] 중 어느 하나에 기재된 중합성 수지 조성물을 이용하여 형성되는 도막. [6]. The coating film formed using the polymeric resin composition in any one of [1]-[5].

[7]. [1] ∼ [5] 중 어느 하나에 기재된 중합성 수지 조성물을 이용하여 형성되는 패턴.[7]. The pattern formed using the polymeric resin composition in any one of [1]-[5].

[8]. [6] 에 기재된 도막 및 [7] 에 기재된 패턴으로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종을 포함하는 표시 장치. [8]. A display device comprising at least one selected from the group consisting of the coating film as described in [6] and the pattern as described in [7].

본 발명의 중합성 수지 조성물에 의하면, 350 ∼ 450㎚ 범위의 광에 충분한 감도를 갖고, 또한 투과율이 충분히 높은 도막 또는 패턴을 형성할 수 있다.According to the polymeric resin composition of this invention, it can form the coating film or pattern which has sufficient sensitivity for the light of 350-450 nm range, and is high enough transmittance | permeability.

이하, 본 발명을 상세하게 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, this invention is demonstrated in detail.

본 발명의 중합성 수지 조성물은, 알칼리 가용성 수지 (A), 중합성 화합물 (B), 개시제 (C), 개시 보조제 (D) 및 용제 (E) 를 함유하고, 개시 보조제 (D) 가 식 (I-1) 및 식 (I-2) 로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종으로 나타내는 화합물을 함유하는 화합물이다. The polymerizable resin composition of the present invention contains an alkali-soluble resin (A), a polymerizable compound (B), an initiator (C), an initiation aid (D) and a solvent (E), and the initiation aid (D) is formula (D). It is a compound containing the compound represented by at least 1 sort (s) chosen from the group which consists of I-1) and Formula (I-2).

Figure 112008078584396-PAT00003
Figure 112008078584396-PAT00003

[식 (I-1) 및 식 (I-2) 중, 고리 X1, 고리 X2 및 고리 X3 은 각각 독립적으로 탄소수 6 ∼ 12 의 방향 고리를 나타낸다. Y1 ∼ Y4 는 각각 독립적으로 산소 원자 또는 황 원자를 나타낸다. R1 ∼ R4 는 각각 독립적으로 탄소수 1 ∼ 12 의 알킬기 또는 탄소수 6 ∼ 12 의 아릴기를 나타낸다. [In Formula (I-1) and Formula (I-2), ring X 1 , ring X 2, and ring X 3 each independently represent an aromatic ring having 6 to 12 carbon atoms. Y 1 to Y 4 each independently represent an oxygen atom or a sulfur atom. R 1 to R 4 each independently represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an aryl group having 6 to 12 carbon atoms.

그 방향 고리, 그 알킬기 및 그 아릴기에 함유되는 메틸렌기는 산소 원자, -NH- 또는 황 원자로 치환되어 있어도 되고, 그 방향 고리, 그 알킬기 및 그 아릴기에 함유되는 수소 원자는 할로겐 원자로 치환되어도 된다.] The methylene group contained in the aromatic ring, the alkyl group and the aryl group may be substituted with an oxygen atom, -NH- or a sulfur atom, and the hydrogen atom contained in the aromatic ring, the alkyl group and the aryl group may be substituted with a halogen atom.]

개시 보조제 (D) 가 식 (I-2) 로 나타내는 화합물을 함유하는 화합물인 것이 바람직하다. It is preferable that a starting adjuvant (D) is a compound containing the compound represented by Formula (I-2).

본 발명의 중합성 수지 조성물에 사용되는 알칼리 가용성 수지 (A) 로서는, 알칼리 가용성 수지 (A1) 나, 알칼리 가용성 수지 (A2) 가 예시된다. 알칼리 가용성 수지 (A1) 는, 알칼리 용해성을 나타내고, 알칼리 가용성 수지 (A2) 는, 알칼리 용해성 그리고, 광 및 열의 적어도 어느 일방의 작용에 의한 반응성을 나타낸다. As alkali-soluble resin (A) used for the polymeric resin composition of this invention, alkali-soluble resin (A1) and alkali-soluble resin (A2) are illustrated. Alkali-soluble resin (A1) shows alkali solubility, and alkali-soluble resin (A2) shows alkali solubility and reactivity by the action of at least one of light and heat.

알칼리 가용성 수지 (A1) 로서는, 불포화 카르복실산 및 불포화 카르복실산 무수물로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 화합물 (a) (이하 「(a)」라고 하는 경우가 있다) 와, (a) 와 공중합 가능한 단량체 (b) (단, (a) 와는 상이하다) (이하 「(b)」라고 하는 경우가 있다) 를 중합하여 이루어지는 공중합체 등이 예시된다. As alkali-soluble resin (A1), at least 1 sort (s) of compound (a) (Hereinafter, it may be called "(a)") chosen from the group which consists of unsaturated carboxylic acid and unsaturated carboxylic anhydride, and (a) The copolymer etc. which superpose | polymerize with the monomer (b) which can copolymerize with (it differs from (a)) (hereinafter may be called "(b)") are illustrated.

(a) 로서는, 구체적으로는 예를 들어 아크릴산, 메타크릴산, 크로톤산 등의 불포화 모노 카르복실산류 ; As (a), specifically, unsaturated monocarboxylic acids, such as acrylic acid, methacrylic acid, a crotonic acid;

말레산, 푸마르산, 시트라콘산, 메사콘산, 이타콘산 등의 불포화 디카르복실산류 ; Unsaturated dicarboxylic acids such as maleic acid, fumaric acid, citraconic acid, mesaconic acid and itaconic acid;

상기의 불포화 디카르복실산류의 무수물 ; Anhydrides of the above unsaturated dicarboxylic acids;

숙신산 모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸], 프탈산 모노[2-(메트)아크릴로일옥시에틸] 등의 2 가(價) 이상의 다가 카르복실산의 불포화 모노[(메트)아크릴로일옥시알킬]에스테르류 ; Unsaturated mono [(meth) acrylic acid of divalent or higher polyhydric carboxylic acid such as succinic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] and phthalic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] Iloxyalkyl] esters;

α-(히드록시메틸)아크릴산 등의, 동일 분자 중에 히드록시기 및 카르복실기를 함유하는 불포화 아크릴레이트류 등을 들 수 있다. Unsaturated acrylate containing a hydroxyl group and a carboxyl group in the same molecule, such as (alpha)-(hydroxymethyl) acrylic acid, etc. are mentioned.

이들 중, 아크릴산, 메타크릴산 또는 무수 말레산 등이 공중합 반응성면이나 알칼리 용해성면에서 바람직하게 사용된다. 이들은, 단독으로 또는 조합하여 사용된다. Among these, acrylic acid, methacrylic acid or maleic anhydride are preferably used in terms of copolymerization reactivity or alkali solubility. These are used individually or in combination.

(b) 로서는, As (b),

메틸(메트)아크릴레이트, 에틸(메트)아크릴레이트, n-부틸(메트)아크릴레이트, sec-부틸(메트)아크릴레이트, tert-부틸(메트)아크릴레이트 등의 (메트)아크릴산 알킬에스테르류 ;(Meth) acrylic acid alkyl esters such as methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) acrylate and tert-butyl (meth) acrylate;

시클로헥실(메트)아크릴레이트, 2-메틸시클로헥실(메트)아크릴레이트, 트리시클로[5.2.1.02,6]데칸-8-일(메트)아크릴레이트 (당해 기술 분야에서는, 관용명으로서 디시클로펜타닐(메트)아크릴레이트라 하고 있다), 디시클로펜타닐옥시에틸(메트)아크릴레이트, 이소보로닐(메트)아크릴레이트 등의 (메트)아크릴산 고리형 알킬 에스테르류 ;Cyclohexyl (meth) acrylate, 2-methylcyclohexyl (meth) acrylate, tricyclo [5.2.1.0 2,6 ] decane-8-yl (meth) acrylate (in the art, dicyclopentanyl as conventional name) (Meth) acrylic-acid cyclic alkyl esters, such as (meth) acrylate), dicyclopentanyloxyethyl (meth) acrylate, and isoboroyl (meth) acrylate;

시클로헥실아크릴레이트, 2-메틸시클로헥실아크릴레이트, 트리시클로[5 2.1.02,6]데칸-8-일아크릴레이트 (당해 기술 분야에서 관용명으로서 디시클로펜타닐아크릴레이트라고 하고 있다), 디시클로펜타옥시에틸아크릴레이트, 이소보로닐아크릴레이트 등의 아크릴산 고리형 알킬에스테르류 ;Cyclohexyl acrylate, 2-methylcyclohexyl acrylate, tricyclo [5 2.1.0 2,6 ] decane-8-yl acrylate (common name in the art as dicyclopentanyl acrylate), dicyclo Acrylic acid cyclic alkyl esters such as pentaoxyethyl acrylate and isoboroyl acrylate;

페닐(메트)아크릴레이트, 벤질(메트)아크릴레이트 등의 (메트)아크릴산 아릴에스테르류 ;(Meth) acrylic acid aryl esters such as phenyl (meth) acrylate and benzyl (meth) acrylate;

페닐아크릴레이트, 벤질아크릴레이트 등의 아크릴산 아릴에스테르류 ;Acrylic acid aryl esters such as phenyl acrylate and benzyl acrylate;

말레산 디에틸, 푸마르산 디에틸, 이타콘산 디에틸 등의 디카르복실산 디에스테르 ;Dicarboxylic acid diesters such as diethyl maleate, diethyl fumarate and diethyl itaconic acid;

2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메트)아크릴레이트 등의 히드록시알킬에스테르류 ;Hydroxyalkyl esters such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate and 2-hydroxypropyl (meth) acrylate;

비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-메틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-에틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-히드록시비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-카르복시비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-히드록시메틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-(2'-히드록시에틸)비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-메톡시비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-에톡시비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5,6-디히드록시비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5,6-디카르복시비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5,6-디(히드록시메틸)비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5,6-디(2'-히드록시에틸)비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5,6-디메톡시비시클로[2.2.1]헵트- 2-엔, 5,6-디에톡시비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-히드록시-5-메틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-히드록시-5-에틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-카르복시-5-메틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-카르복시-5-에틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-히드록시메틸-5-메틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-카르복시-6-메틸비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-카르복시-6-에테르비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5,6-디카르복시비시클로[2.2.1]헵트-2-엔 무수물 (하이믹산 무수물), 5-tert-부톡시카르보닐비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-시클로헥실옥시카르보닐비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5-페녹시카르보닐비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5,6-디(tert-부톡시카르보닐)비시클로[2.2.1]헵트-2-엔, 5,6-디(시클로헥실옥시카르보닐)비시클로[2.2.1]헵트-2-엔 등의 비시클로 불포화 화합물류 ;Bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxybi Cyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxymethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5- (2 '-Hydroxyethyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-methoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-ethoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene , 5,6-dihydroxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-dicarboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-di (hydroxymethyl) Bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-di (2'-hydroxyethyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-dimethoxybicyclo [2.2. 1] hept-2-ene, 5,6-diethoxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-hydroxy-5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5- Hydroxy-5-ethylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-5-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-5-ethylbicyclo [2.2 .1] hept-2-ene, 5-hydroxymethyl-5-methylbicyclo [ 2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-6-methylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-carboxy-6-etherbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-dicarboxybicyclo [2.2.1] hept-2-ene anhydride (hymic acid anhydride), 5-tert-butoxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-cyclohex Siloxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5-phenoxycarbonylbicyclo [2.2.1] hept-2-ene, 5,6-di (tert-butoxycarbonyl) bicyclo [ Bicyclo unsaturated compounds such as 2.2.1] hept-2-ene and 5,6-di (cyclohexyloxycarbonyl) bicyclo [2.2.1] hept-2-ene;

N-페닐말레이미드, N-시클로헥실말레이미드, N-벤질말레이미드, N-숙신이미딜-3-말레이미드벤조에이트, N-숙신이미딜-4-말레이미드부틸레이트, N-숙신이미딜-6-말레이미드카프로에이트, N-숙신이미딜-3-말레이미드프로피오네이트, N-(9-아크리디닐)말레이미드 등의 디카르보닐이미드 유도체류 ;N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-benzylmaleimide, N-succinimidyl-3-maleimidebenzoate, N-succinimidyl-4-maleimide butyrate, N-succinimidyl Dicarbonylimide derivatives such as -6-maleimide caproate, N-succinimidyl-3-maleimide propionate and N- (9-acridinyl) maleimide;

스티렌, α-메틸스티렌, m-메틸스티렌, p-메틸스티렌, 비닐톨루엔, p-메톡시스티렌, 아크릴로니트릴, 메타크릴로니트릴, 염화 비닐, 염화 비닐리덴, 아크릴아미드, 메타크릴아미드, 아세트산 비닐, 1,3-부타디엔, 이소프렌, 2,3-디메틸-1,3-부타디엔 등을 들 수 있다. Styrene, α-methylstyrene, m-methylstyrene, p-methylstyrene, vinyltoluene, p-methoxystyrene, acrylonitrile, methacrylonitrile, vinyl chloride, vinylidene chloride, acrylamide, methacrylamide, acetic acid Vinyl, 1,3-butadiene, isoprene, 2,3-dimethyl-1,3-butadiene, and the like.

이들 중, 스티렌, N-페닐말레이미드, N-시클로헥실말레이미드, N-벤질말레이미드, 비시클로[2.2.1]헵트-2-엔 등이 공중합 반응성 및 알칼리 용해성면에서 바람 직하다. Among them, styrene, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide, N-benzylmaleimide, bicyclo [2.2.1] hept-2-ene and the like are preferred in terms of copolymerization reactivity and alkali solubility.

이들은, 단독으로 혹은 조합하여 사용된다. These are used individually or in combination.

(a) 및 (b) 를 공중합시켜 얻어지는 공중합체에 있어서는, 각각으로부터 유도되는 구성 성분의 비율이, 상기의 공중합체를 구성하는 구성 성분의 합계 몰수를 100몰% 로 했을 때에 몰분율로, 이하의 범위에 있는 것이 바람직하다. In the copolymer obtained by copolymerizing (a) and (b), the ratio of the structural component derived from each is a mole fraction, when the total mole number of the structural component which comprises said copolymer is 100 mol%. It is preferable to be in a range.

(a) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 2 ∼ 40몰%structural units derived from (a); 2-40 mol%

(b) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 60 ∼ 98몰%structural units derived from (b); 60 to 98 mol%

또, 상기 구성 성분의 비율이 이하의 범위이면, 보다 바람직하다. Moreover, it is more preferable if the ratio of the said structural component is the following ranges.

(a) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 5 ∼ 35몰% structural units derived from (a); 5 to 35 mol%

(b) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 65 ∼ 95몰%structural units derived from (b); 65 to 95 mol%

상기의 구성 비율이, 상기 서술한 범위에 있으면, 보존 안정성, 현상성 및 내용제성이 양호해지는 경향이 있다. When said composition ratio exists in the range mentioned above, there exists a tendency for storage stability, developability, and solvent resistance to become favorable.

알칼리 가용성 수지 (A1) 는, 예를 들어 문헌 「고분자 합성의 실험법」(오오츠 타카유키저 발행소 (주) 화학 동인 제 1 판 제 1 쇄 1972년 3월 1일 발행) 에 기재된 방법 및 당해 문헌에 기재된 인용 문헌을 참고로 하여 제조할 수 있다. Alkali-soluble resin (A1) is, for example, described in the method described in the document "Experimental method of polymer synthesis" (Otsu Takayuki Seisen Co., Ltd., first chemical first edition March 1, 1972). It may be prepared with reference to the cited documents described.

구체적으로는, 공중합체를 구성하는 단위 (a) 및 (b) 의 소정량, 중합 개시제 및 용제를 반응 용기 중에 주입하고, 질소에 의해 산소를 치환함으로써, 산소 부존재하에서, 교반, 가열, 보온함으로써 중합체가 얻어진다. 또한, 얻어진 공중합체는 반응 후의 용액을 그대로 사용해도 되고, 농축 혹은 희석한 용액을 사용 해도 되고, 재침전 등의 방법으로 고체 (분체) 로서 얻은 것을 사용해도 된다. Specifically, by injecting a predetermined amount, a polymerization initiator and a solvent of the units (a) and (b) constituting the copolymer into the reaction vessel and replacing oxygen with nitrogen, stirring, heating, and warming in the absence of oxygen A polymer is obtained. In addition, the obtained copolymer may use the solution after reaction as it is, may use the concentrated or diluted solution, and may use what was obtained as a solid (powder) by methods, such as reprecipitation.

알칼리 가용성 수지 (A1) 의 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자량은, 바람직하게는 3,000 ∼ 100,000, 보다 바람직하게는 5,000 ∼ 50,000 이다. 알칼리 용해성을 갖는 수지 (A1) 의 중량 평균 분자량이 상기의 범위에 있으면, 도포성이 양호해지는 경향이 있고, 또 현상시에 막 감소가 잘 발생하지 않고, 또한 현상시에 비화소 부분의 누락성이 양호한 경향이 있어, 바람직하다. The polystyrene reduced weight average molecular weight of alkali-soluble resin (A1) becomes like this. Preferably it is 3,000-100,000, More preferably, it is 5,000-50,000. When the weight average molecular weight of resin (A1) which has alkali solubility exists in the said range, applicability | paintability tends to become favorable, and a film | membrane decrease does not generate | occur | produce well at the time of image development, and the missing property of a non-pixel part at the time of image development. This tends to be favorable and is preferable.

알칼리 가용성 수지 (A1) 의 분자량 분포 [중량 평균 분자량 (Mw)/수평균 분자량 (Mn)] 는, 바람직하게는 1.1 ∼ 6.0 이고, 보다 바람직하게는 1.2 ∼ 4.0 이다. 분자량 분포가 상기의 범위에 있으면, 현상성이 우수한 경향이 있으므로 바람직하다. The molecular weight distribution [weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)] of alkali-soluble resin (A1) becomes like this. Preferably it is 1.1-6.0, More preferably, it is 1.2-4.0. When molecular weight distribution exists in the said range, since it exists in the tendency which is excellent in developability, it is preferable.

본 발명의 중합성 수지 조성물에 사용할 수 있는 알칼리 가용성 수지 (A1) 의 함유량은, 중합성 수지 조성물 중의 고형분에 대해 질량분율로, 바람직하게는 5 ∼ 90질량%, 보다 바람직하게는 10 ∼ 70질량% 이다. 알칼리 가용성 수지 (A1) 의 함유량이 상기의 범위에 있으면, 현상액에 대한 용해성이 충분하여, 비화소 부분의 기판 상에 현상 잔사가 잘 발생하지 않으며, 또 현상시에 노광부의 화소 부분의 막 감소가 잘 발생하지 않고, 비노광 부분의 누락성이 양호한 경향이 있어, 바람직하다. Content of alkali-soluble resin (A1) which can be used for the polymeric resin composition of this invention is a mass fraction with respect to solid content in a polymeric resin composition, Preferably it is 5-90 mass%, More preferably, it is 10-70 mass % to be. When content of alkali-soluble resin (A1) exists in the said range, solubility to a developing solution is enough, the development residue does not generate | occur | produce well on the board | substrate of a non-pixel part, and the film reduction of the pixel part of an exposure part at the time of image development It is hard to generate | occur | produce, and the omission property of a non-exposed part tends to be favorable, and it is preferable.

알칼리 용해성 그리고 광 및 열의 적어도 일방의 작용에 의한 반응성을 나타내는 알칼리 가용성 수지 (A2) 로서는, (A21) ∼ (A23) 가 예시된다. As alkali-soluble resin (A2) which shows alkali solubility and reactivity by the action of at least one of light and heat, (A21)-(A23) is illustrated.

알칼리 가용성 수지 (A21) 는, (a) 와 (b) 와 에폭시기 및 옥세타닐기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 기를 갖고, 또한 반응성 이중 결합을 갖 는 화합물 (c) (이하 「(c)」라고 하는 경우가 있다) 와의 공중합체이다. Alkali-soluble resin (A21) has at least 1 sort (s) of group chosen from the group which consists of (a) and (b), an epoxy group, and an oxetanyl group, and also has compound (c) (hereinafter "(c) ) ").

에폭시기를 갖는 화합물이란, 예를 들어 지방족 에폭시기 및 지환식 에폭시기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 기를 갖는 화합물을 말한다. 옥세타닐기를 갖는 화합물이란, 예를 들어 지방족 옥세타닐기 및 지환식 옥세타닐기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 기를 갖는 화합물을 말한다. 반응성 이중 결합을 갖는 화합물이란 불포화 결합을 갖는 화합물을 말한다. The compound which has an epoxy group means the compound which has at least 1 sort (s) of group chosen from the group which consists of an aliphatic epoxy group and an alicyclic epoxy group, for example. The compound which has an oxetanyl group means the compound which has at least 1 sort (s) of group chosen from the group which consists of an aliphatic oxetanyl group and an alicyclic oxetanyl group, for example. The compound which has a reactive double bond means the compound which has an unsaturated bond.

알칼리 가용성 수지 (A22) 는, (a) 와 (b) 의 공중합체로서, (a) 에서 유래하는 카르복실기의 일부를, (c) 에서 유래하는 에폭시기 또는 옥세타닐기와 반응 시킴으로써 얻어지는 공중합체이다. Alkali-soluble resin (A22) is a copolymer of (a) and (b) which is a copolymer obtained by making a part of carboxyl group derived from (a) react with the epoxy group or oxetanyl group derived from (c).

알칼리 가용성 수지 (A23) 은, (a) 와 (c) 의 공중합체이다. Alkali-soluble resin (A23) is a copolymer of (a) and (c).

에폭시기를 갖고, 또한 반응성 이중 결합을 갖는 화합물 (c1) 중, 지방족 에폭시기를 갖는 화합물로서는, 구체적으로는, 글리시딜(메트)아크릴레이트, β-메틸글리시딜(메트)아크릴레이트, β-에틸글리시딜(메트)아크릴레이트, o-비닐벤질글리시딜에테르, m-비닐벤질글리시딜에테르, p-비닐벤질글리시딜에테르 또는 글리시딜비닐에테르 등을 들 수 있다. As a compound which has an epoxy group and has an aliphatic epoxy group among the compounds (c1) which have a reactive double bond, specifically, glycidyl (meth) acrylate, (beta) -methyl glycidyl (meth) acrylate, (beta)- Ethyl glycidyl (meth) acrylate, o-vinyl benzyl glycidyl ether, m-vinyl benzyl glycidyl ether, p-vinyl benzyl glycidyl ether, glycidyl vinyl ether, etc. are mentioned.

에폭시기를 갖고, 또한 반응성 이중 결합을 갖는 화합물 (c1) 중, 지환식 에폭시기를 갖는 화합물로서는, 비닐시클로헥센모노옥사이드1,2-에폭시-4-비닐시클로헥산 (예를 들어 세로키사이드 2000 ; 다이셀 화학 공업 (주) 제조), 3,4-에폭시시클로헥실메틸아크릴레이트 (예를 들어 사이크로마 A400 ; 다이셀 화학 공업 (주) 제조), 3,4-에폭시시클로헥실메틸메타아크릴레이트 (예를 들어 사이크로마 M100 ; 다이셀 화학 공업 (주) 제조), 식 (II) 로 나타내는 화합물 및 식 (III) 으로 나타내는 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 화합물을 들 수 있다. Among the compounds (c1) having an epoxy group and having a reactive double bond, examples of the compound having an alicyclic epoxy group include vinylcyclohexene monooxide 1,2-epoxy-4-vinylcyclohexane (for example, serotoside 2000; Cell Chemical Industry Co., Ltd.), 3, 4- epoxycyclohexyl methyl acrylate (for example, cycloma A400; Daicel Chemical Industry Co., Ltd. product), 3, 4- epoxycyclohexyl methyl methacrylate (Example For example, at least 1 sort (s) of compound chosen from the group which consists of a cyclochromic M100; the Daicel Chemical Industry Co., Ltd. product), the compound represented by Formula (II), and the compound represented by Formula (III) is mentioned.

Figure 112008078584396-PAT00004
Figure 112008078584396-PAT00004

[식 (II) 및 식 (III) 에 있어서, R 및 R' 는 각각 독립적으로 수소 원자, 수산기 또는 탄소수 1 ∼ 4 의 알킬기를 나타낸다. [In Formula (II) and Formula (III), R and R 'respectively independently represent a hydrogen atom, a hydroxyl group, or a C1-C4 alkyl group.

X 및 X' 는 각각 독립적으로 단결합 또는 탄소수 1 ∼ 6 의 알킬렌기를 나타낸다. 그 알킬렌기에 함유되는 메틸렌기는, 헤테로 원자로 치환되어 있어도 된다.] X and X 'respectively independently represent a single bond or a C1-C6 alkylene group. The methylene group contained in this alkylene group may be substituted by the hetero atom.]

R 및 R' 로서는, 구체적으로는 수소 원자, 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, sec-부틸기, tert-부틸기 등의 알킬기 ;Specific examples of R and R 'include alkyl groups such as hydrogen atom, methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, sec-butyl group and tert-butyl group;

히드록시메틸기, 1-히드록시에틸기, 2-히드록시에틸기, 1-히드록시-n-프로필기, 2-히드록시-n-프로필기, 3-히드록시-n-프로필기, 1-히드록시-이소프로필기, 2-히드록시-이소프로필기, 1-히드록시-n-부틸기, 2-히드록시-n-부틸기, 3-히드록시-n-부틸기, 4-히드록시-n-부틸기 등의 수산기 함유 알킬기를 들 수 있다. 바람직하게는 수소 원자, 메틸기, 히드록시메틸기, 1-히드록시에틸기 또는 2-히드록시에틸기를 들 수 있고, 보다 바람직하게는 수소 원자 또는 메틸기를 들 수 있다. Hydroxymethyl group, 1-hydroxyethyl group, 2-hydroxyethyl group, 1-hydroxy-n-propyl group, 2-hydroxy-n-propyl group, 3-hydroxy-n-propyl group, 1-hydroxy -Isopropyl group, 2-hydroxy-isopropyl group, 1-hydroxy-n-butyl group, 2-hydroxy-n-butyl group, 3-hydroxy-n-butyl group, 4-hydroxy-n And hydroxyl group-containing alkyl groups such as -butyl group. Preferably, a hydrogen atom, a methyl group, a hydroxymethyl group, 1-hydroxyethyl group, or 2-hydroxyethyl group is mentioned, More preferably, a hydrogen atom or a methyl group is mentioned.

X 및 X' 로서 단결합이나, 메틸렌기, 에틸렌기, 프로필렌기 등의 알킬렌기 ; 옥시메틸렌기, 옥시에틸렌기, 옥시프로필렌기, 티오메틸렌기, 티오에틸렌기, 티오 프로필렌기, 아미노메틸렌기, 아미노에틸렌기, 아미노프로필렌기 등의 헤테로 원자 함유 알킬렌기 등을 들 수 있다. 바람직하게는 단결합, 메틸렌기, 에틸렌기, 옥시메틸렌기 또는 옥시에틸렌기를 들 수 있고, 보다 바람직하게는 단결합 또는 옥시에틸렌기를 들 수 있다. X and X 'are single bonds, alkylene groups such as methylene group, ethylene group and propylene group; Hetero atom containing alkylene groups, such as an oxymethylene group, an oxyethylene group, an oxypropylene group, a thiomethylene group, a thioethylene group, a thiopropylene group, an amino methylene group, an aminoethylene group, an aminopropylene group, etc. are mentioned. Preferably, a single bond, a methylene group, an ethylene group, an oxymethylene group, or an oxyethylene group is mentioned, More preferably, a single bond or an oxyethylene group is mentioned.

식 (II) 로 나타내는 화합물로서는, 식 (II-1) ∼ 식 (II-15) 로 나타내는 화합물 등을 들 수 있고, 바람직하게는 식 (II-1), 식 (II-3), 식 (II-5), 식 (II-7), 식 (II-9), 식 (II-11) ∼ 식 (II-15) 를 들 수 있고, 보다 바람직하게는 식 (II-1), 식 (II-7), 식 (II-9), 식 (II-15) 를 들 수 있다. As a compound represented by Formula (II), the compound etc. which are represented by Formula (II-1)-Formula (II-15) are mentioned, Preferably Formula (II-1), Formula (II-3), Formula ( II-5), formula (II-7), formula (II-9), formula (II-11)-formula (II-15), More preferably, formula (II-1), formula ( II-7), formula (II-9), and formula (II-15) are mentioned.

Figure 112008078584396-PAT00005
Figure 112008078584396-PAT00005

식 (III) 으로 나타내는 화합물로서는, 식 (III-1) ∼ 식 (III-15) 로 나타내는 화합물 등을 들 수 있고, 바람직하게는 식 (III-1), 식 (III-3), 식 (III-5), 식 (III-7), 식 (III-9), 식 (III-11) ∼ 식 (III-15) 를 들 수 있고, 보다 바람직하게는 식 (III-1), 식 (III-7), 식 (III-9), 식 (III-15) 를 들 수 있다. As a compound represented by Formula (III), the compound etc. which are represented by Formula (III-1)-Formula (III-15) are mentioned, Preferably Formula (III-1), Formula (III-3), Formula ( III-5), formula (III-7), formula (III-9), formula (III-11) to formula (III-15), and more preferably formula (III-1) and formula ( III-7), formula (III-9) and formula (III-15) are mentioned.

Figure 112008078584396-PAT00006
Figure 112008078584396-PAT00006

식 (II) 로 나타내는 화합물 및 식 (III) 으로 나타내는 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 화합물은, 각각 단독으로 사용할 수도 있고, 임의의 비율로 혼합할 수도 있다. 혼합하는 경우, 그 혼합 비율은 몰비로, 바람직하게는 [식 (II) 로 나타내는 화합물] : [식 (III) 으로 나타내는 화합물] 로, 5:95 ∼ 95:5, 보다 바람직하게는 10:90 ∼ 90:10, 더욱 바람직하게는 20:80 ∼ 80:20 이다. The at least 1 sort (s) of compound chosen from the group which consists of a compound represented by Formula (II) and a compound represented by Formula (III) may be used independently, respectively and may be mixed in arbitrary ratios. In the case of mixing, the mixing ratio is in a molar ratio, preferably [compound represented by formula (II)]: [compound represented by formula (III)], 5:95 to 95: 5, more preferably 10:90 90:10, More preferably, it is 20: 80-80: 20.

옥세타닐기를 갖고, 또한 반응성 이중 결합을 갖는 화합물 (c2) 로서는, 예를 들어 3-메틸-3-메타크릴옥시메틸옥세탄, 3-메틸-3-아크릴옥시메틸옥세탄, 3-에틸-3-메타크릴옥시메틸옥세탄, 3-에틸-3-아크릴옥시메틸옥세탄, 3-메틸-3-메타크릴옥시에틸옥세탄, 3-메틸-3-아크릴옥시에테르옥세탄, 3-에틸-3-메타크릴옥시에틸옥세탄 또는 3-에틸-3-아크릴옥시에틸옥세탄 등을 들 수 있다. As a compound (c2) which has an oxetanyl group and also has a reactive double bond, it is 3-methyl-3- methacryloxy methyl oxetane, 3-methyl-3- acryloxy methyl oxetane, 3-ethyl-, for example. 3-methacryloxymethyloxetane, 3-ethyl-3-acryloxymethyloxetane, 3-methyl-3-methacryloxyethyl oxetane, 3-methyl-3-acryloxyether oxetane, 3-ethyl- 3-methacryloxyethyl oxetane, 3-ethyl-3-acryloxyethyl oxetane, etc. are mentioned.

이들은, 단독으로 혹은 조합하여 사용된다. These are used individually or in combination.

알칼리 가용성 수지 (A21) 에 있어서, 각각으로부터 유도되는 구성 성분의 비율이, 알칼리 가용성 수지 (A21) 를 구성하는 구성 성분의 합계 몰수에 대해 몰분율로, 이하의 범위에 있는 것이 바람직하다. In alkali-soluble resin (A21), it is preferable that the ratio of the structural component guide | induced from each exists in the following ranges with a mole fraction with respect to the total mole number of the structural component which comprises alkali-soluble resin (A21).

(a) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 2 ∼ 40몰%structural units derived from (a); 2-40 mol%

(b) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 1 ∼ 65몰%structural units derived from (b); 1 to 65 mol%

(c) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 2 ∼ 95몰%structural units derived from (c); 2 to 95 mol%

또, 상기 구성 성분의 비율이 이하의 범위이면, 보다 바람직하다.  Moreover, it is more preferable if the ratio of the said structural component is the following ranges.

(a) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 5 ∼ 35몰% structural units derived from (a); 5 to 35 mol%

(b) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 1 ∼ 60몰%structural units derived from (b); 1 to 60 mol%

(c) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 5 ∼ 80몰%structural units derived from (c); 5 to 80 mol%

상기의 구성 비율이 상기 서술한 범위에 있으면, 보존 안정성, 현상성, 내용제성, 내열성 및 기계 강도가 양호해지는 경향이 있다. When said composition ratio exists in the range mentioned above, storage stability, developability, solvent resistance, heat resistance, and mechanical strength tend to become favorable.

알칼리 가용성 수지 수지 (A21) 는, 예를 들어 문헌 「고분자 합성의 실험법」(오오츠 타카유키저 발행소 (주) 화학 동인 제 1 판 제 1 쇄 1972년 3월 1일 발행) 에 기재된 방법 및 당해 문헌에 기재된 인용 문헌을 참고로 하여 제조할 수 있다. The alkali-soluble resin resin (A21) is, for example, the method described in the document "Experimental Method for Polymer Synthesis" (Otsu Takayuki Seisen Co., Ltd., Chemical Copper, First Edition First Edition March 1, 1972) and the document. It may manufacture with reference to the cited document described in.

구체적으로는, 공중합체를 구성하는 단위 (a), (b) 및 (c) 를 유도하는 화합물의 소정량, 중합 개시제 및 용제를 반응 용기 중에 주입하고, 질소에 의해 산소를 치환함으로써, 산소 부존재하에서 교반, 가열, 보온함으로써, 중합체가 얻어진다. 또한, 얻어진 공중합체는, 반응 후의 용액을 그대로 사용해도 되고, 농축 혹은 희석한 용액을 사용해도 되고, 재침전 등의 방법으로 고체 (분체) 로서 얻은 것을 사용해도 된다. Specifically, oxygen is absent by injecting a predetermined amount, a polymerization initiator, and a solvent of a compound guiding units (a), (b) and (c) constituting the copolymer into a reaction vessel, and replacing oxygen with nitrogen. The polymer is obtained by stirring, heating, and keeping warm under the following. In addition, the obtained copolymer may use the solution after reaction as it is, may use the concentrated or diluted solution, and may use what was obtained as a solid (powder) by methods, such as reprecipitation.

알칼리 가용성 수지 수지 (A22) 를 제조할 때, 먼저 (a) 및 (b) 를 공중합 시켜 공중합체를 제조한다. 각각으로부터 유도되는 구성 성분의 비율이, 상기의 공중합체를 구성하는 구성 성분의 합계 몰수에 대해 몰분율로, 이하의 범위에 있는 것이 바람직하다. When preparing alkali-soluble resin resin (A22), a copolymer is manufactured by copolymerizing (a) and (b) first. It is preferable that the ratio of the structural component guide | induced from each exists in the following ranges with a mole fraction with respect to the total number of moles of the structural component which comprises said copolymer.

(a) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 5 ∼ 50몰%structural units derived from (a); 5-50 mol%

(b) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 50 ∼ 95몰%structural units derived from (b); 50 to 95 mol%

또, 상기 구성 성분의 비율이 이하의 범위이면, 보다 바람직하다. Moreover, it is more preferable if the ratio of the said structural component is the following ranges.

(a) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 10 ∼ 45몰%structural units derived from (a); 10 to 45 mol%

(b) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 55 ∼ 90몰%structural units derived from (b); 55 to 90 mol%

다음으로, 광이나 열의 작용에 의한 반응성을 갖게 하기 위해서, (a) 및 (b) 를 공중합시켜 얻어지는 공중합체에서 유래하는 (a) 의 카르복실산 및 카르복실산 무수물의 일부를, (c) 에서 유래하는 에폭시기 또는 옥세타닐기와 반응시킨다. Next, in order to give reactivity by the action of light and heat, a part of the carboxylic acid and carboxylic anhydride of (a) derived from the copolymer obtained by copolymerizing (a) and (b) is (c) It reacts with the epoxy group or oxetanyl group derived from

(c) 의 몰수는, (a) 의 몰수에 대해, 5 ∼ 80몰% 이고, 바람직하게는 10 ∼ 75몰% 이고, 보다 바람직하게는 15 ∼ 70몰% 이다. The molar number of (c) is 5-80 mol% with respect to the mole number of (a), Preferably it is 10-75 mol%, More preferably, it is 15-70 mol%.

구성 비율이, 상기의 범위에 있으면, 보존 안정성, 현상성, 내용제성, 내열성, 기계 강도 및 감도의 밸런스가 양호해지는 경향이 있다. When a composition ratio exists in the said range, there exists a tendency for the balance of storage stability, developability, solvent resistance, heat resistance, mechanical strength, and a sensitivity to become favorable.

알칼리 가용성 수지 수지 (A22) 는, 2 단계의 공정을 거쳐 제조할 수 있다. 예를 들어 문헌 「고분자 합성의 실험법」 (오오츠 타카유키저 발행소 (주) 화학 동인 제 1 판 제 1 쇄 1972년 3월 1일 발행) 에 기재된 방법이나, 일본 공개특허공보 2001-89533호에 기재된 방법을 참고로 하여 제조할 수 있다. Alkali-soluble resin resin (A22) can be manufactured through a two-step process. For example, the method described in the document "Experimental method of polymer synthesis" (Otsu Takayuki Seisakusho Co., Ltd. first edition first edition March 1, 1972) and Japanese Unexamined Patent Publication No. 2001-89533 It may be prepared by reference to the method.

구체적으로, 먼저, 제 1 단계의 공정에 대해 말한다. (a) 및 (b) 를 공중합시켜 얻어지는 공중합체 (즉, 알칼리 가용성 수지) 를 구성하는 단위 (a) 및 (b) 를 유도하는 화합물의 소정량, 중합 개시제 및 용제를 반응 용기 중에 주입하고, 질소에 의해 산소를 치환함으로써, 산소 부존재하에서 교반, 가열, 보온함으로써, 알칼리 가용성 수지가 얻어진다. 또한, 얻어진 수지는, 반응 후의 용액을 그대로 사용해도 되고, 농축 혹은 희석한 용액을 사용해도 되고, 재침전 등의 방법으로 고체 (분체) 로서 얻은 것을 사용해도 된다. 상기의 수지의 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자량은, 바람직하게는 3,000 ∼ 100,000, 보다 바람직하게는 5,000 ∼ 50,000 이다. 수지의 중량 평균 분자량이 상기의 범위에 있으면, 도포성이 양호해지는 경향이 있고, 또 현상시에 막 감소가 잘 발생하지 않고, 또한 현상시에 비화소 부분의 누락성이 양호한 경향이 있어, 바람직하다. Specifically, first, the process of the first step. A predetermined amount, a polymerization initiator, and a solvent of a compound inducing units (a) and (b) constituting a copolymer (i.e., alkali-soluble resin) obtained by copolymerizing (a) and (b) are injected into a reaction vessel, By replacing oxygen with nitrogen, alkali-soluble resin is obtained by stirring, heating, and keeping warm in the absence of oxygen. In addition, the obtained resin may use the solution after reaction as it is, may use the concentrated or diluted solution, and may use what was obtained as solid (powder) by methods, such as reprecipitation. The polystyrene reduced weight average molecular weight of said resin becomes like this. Preferably it is 3,000-100,000, More preferably, it is 5,000-50,000. When the weight average molecular weight of resin exists in the said range, applicability | paintability tends to become favorable, and film | membrane decrease does not occur easily at the time of image development, and the missing property of a non-pixel part at the time of image development tends to be favorable, and is preferable. Do.

상기 수지의 분자량 분포 [중량 평균 분자량 (Mw)/수평균 분자량 (Mn)] 는, 바람직하게는 1.1 ∼ 6.0 이고, 보다 바람직하게는 1.2 ∼ 4.0 이다. 분자량 분포가 상기의 범위에 있으면, 도포성이나 현상성이 우수한 경향이 있으므로 바람직하다. The molecular weight distribution [weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)] of the said resin becomes like this. Preferably it is 1.1-6.0, More preferably, it is 1.2-4.0. When molecular weight distribution exists in the said range, since there exists a tendency which is excellent in applicability | paintability and developability, it is preferable.

다음으로, 제 2 단계의 공정에 대해 말한다. 이어서, 플라스크 내 분위기를 질소로부터 공기로 치환하고, 구성 성분 (a) 의 몰수에 대해, 5 ∼ 80몰% 의 구성 성분 (c), 카르복실기와 에폭시기 또는 옥세타닐기와의 반응 촉매로서 예를 들어 트리스디메틸아미노메틸페놀을 모노머 (a) ∼ (c) 의 합계량에 대해 질량 기준으로 0.001 ∼ 5%, 및 중합 금지제로서 예를 들어 하이드로퀴논을 모노머 (a) ∼ (c) 의 합계량에 대해 질량 기준으로 0.001 ∼ 5% 를 플라스크 내에 넣어, 60 ∼ 130℃ 에서, 1 ∼ 10 시간 반응을 계속함으로써, 상기 수지와 구성 성분 (c) 를 반응시킬 수 있다. 또한, 중합 조건과 동일하게, 제조 설비나 중합에 의한 발열량 등을 고려하여, 주입 방법이나 반응 온도를 적절히 조정할 수 있다. Next, the process of a 2nd step is said. Subsequently, the atmosphere in the flask is replaced with nitrogen from air, and for example, as a reaction catalyst of 5 to 80 mol% of the component (c), the carboxyl group and the epoxy group or the oxetanyl group, based on the number of moles of the component (a). As the mass basis, trisdimethylaminomethylphenol is 0.001% to 5% based on the total amount of the monomers (a) to (c), and hydroquinone is used as the mass amount based on the total amount of the monomers (a) to (c). The said resin and a structural component (c) can be made to react by putting 0.001-5% in a flask as a reference | standard, and continuing reaction for 1 to 10 hours at 60-130 degreeC. In addition, in the same manner as the polymerization conditions, the injection method and the reaction temperature can be appropriately adjusted in consideration of the amount of heat generated by the production facility, polymerization, and the like.

알칼리 가용성 수지 (A23) 에 있어서, 각각으로부터 유도되는 구성 성분의 비율이, 알칼리 가용성 수지 (A23) 를 구성하는 구성 성분의 합계 몰수에 대해 몰분율로, 이하의 범위에 있는 것이 바람직하다. In alkali-soluble resin (A23), it is preferable that the ratio of the structural component guide | induced from each exists in the following ranges with a mole fraction with respect to the total mole number of the structural component which comprises alkali-soluble resin (A23).

(a) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 5 ∼ 95몰%structural units derived from (a); 5 to 95 mol%

(c) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 5 ∼ 95몰%structural units derived from (c); 5 to 95 mol%

또, 상기 구성 성분의 비율이 이하의 범위이면, 보다 바람직하다. Moreover, it is more preferable if the ratio of the said structural component is the following ranges.

(a) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 10 ∼ 90몰%structural units derived from (a); 10 to 90 mol%

(c) 로부터 유도되는 구성 단위 ; 10 ∼ 90몰%structural units derived from (c); 10 to 90 mol%

상기 구성 비율이, 상기 서술한 범위에 있으면, 보존 안정성, 현상성, 내용제성, 내열성 및 기계 강도가 양호해지는 경향이 있다. When the said composition ratio exists in the range mentioned above, there exists a tendency for storage stability, developability, solvent resistance, heat resistance, and mechanical strength to become favorable.

알칼리 가용성 수지 수지 (A23) 는, 예를 들어 문헌 「고분자 합성의 실험법」(오오츠 타카유키저 발행소 (주) 화학 동인 제 1 판 제 1 쇄 1972년 3월 1일 발행) 에 기재된 방법 및 당해 문헌에 기재된 인용 문헌을 참고로 하여 제조할 수 있다. The alkali-soluble resin resin (A23) is, for example, the method described in the document "Experimental method of polymer synthesis" (Otsu Takayuki Seisen Co., Ltd., Chemical Copper, First Edition First Printing March 1, 1972) and the document. It may manufacture with reference to the cited document described in.

구체적으로는, 공중합체를 구성하는 단위 (a) 및 (c) 를 유도하는 화합물의 소정량, 중합 개시제 및 용제를 반응 용기 중에 주입하여, 질소에 의해 산소를 치환함으로써, 산소 부존재하에서 교반, 가열, 보온함으로써, 중합체가 얻어진다. 또한, 얻어진 공중합체는, 반응 후의 용액을 그대로 사용해도 되고, 농축 혹은 희석한 용액을 사용해도 되고, 재침전 등의 방법으로 고체 (분체) 로서 얻은 것을 사용해도 된다. Specifically, a predetermined amount, a polymerization initiator, and a solvent of the compound constituting the copolymer (a) and (c) constituting the copolymer are injected into the reaction vessel, and oxygen is substituted with nitrogen, thereby stirring and heating in the absence of oxygen. By keeping warm, a polymer is obtained. In addition, the obtained copolymer may use the solution after reaction as it is, may use the concentrated or diluted solution, and may use what was obtained as a solid (powder) by methods, such as reprecipitation.

본 발명의 중합성 수지 조성물에 포함되는 중합성 화합물 (B) 로서는, 단관능 모노머, 2 관능 모노머 또는 그 밖에 3 관능 이상의 다관능 모노머를 들 수 있다. As a polymeric compound (B) contained in the polymeric resin composition of this invention, a monofunctional monomer, a bifunctional monomer, or the trifunctional or more than trifunctional polyfunctional monomer is mentioned.

단관능 모노머의 구체예로서는, 노닐페닐카르비톨(메트)아크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필(메트)아크릴레이트, 2-에틸헥실카르비톨(메트)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메트)아크릴레이트, 라우릴(메트)아크릴레이트, 스테아릴(메 트)아크릴레이트, 2-(2-에톡시에톡시)에틸(메트)아크릴레이트, 테트라히드로푸르푸릴(메트)아크릴레이트, 카프로락톤(메트)아크릴레이트, 에톡시화 노닐페놀(메트)아크릴레이트, 프로폭시화 노닐페놀(메트)아크릴레이트 또는 N-비닐피롤리돈 등을 들 수 있다. As a specific example of a monofunctional monomer, nonylphenyl carbitol (meth) acrylate, 2-hydroxy-3- phenoxypropyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl carbitol (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (Meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, 2- (2-ethoxyethoxy) ethyl (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, Caprolactone (meth) acrylate, ethoxylated nonylphenol (meth) acrylate, propoxylated nonylphenol (meth) acrylate, N-vinylpyrrolidone, and the like.

또 2 관능 모노머의 구체예로서는, 1,3-부탄디올디(메트)아크릴레이트, 1,3-부탄디올(메트)아크릴레이트, 1,6-헥산디올디(메트)아크릴레이트, 에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 디에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디(메트)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 테트라에틸렌글리콜디(메트)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디아크릴레이트, 비스페놀 A 의 비스(아크릴로일옥시에틸)에테르, 에톡시화 비스페놀 A 디(메트)아크릴레이트, 프로폭시화 네오펜틸글리콜디(메트)아크릴레이트, 에톡시화 네오펜틸글리콜디(메트)아크릴레이트 또는 3-메틸펜탄디올디(메트)아크릴레이트 등을 들 수 있다. Moreover, as a specific example of a bifunctional monomer, 1, 3- butanediol di (meth) acrylate, 1, 3- butanediol (meth) acrylate, 1, 6- hexanediol di (meth) acrylate, and ethylene glycol di (meth) Acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, polyethylene glycol diacrylate, bisphenol Bis (acryloyloxyethyl) ether of A, ethoxylated bisphenol A di (meth) acrylate, propoxylated neopentylglycoldi (meth) acrylate, ethoxylated neopentylglycoldi (meth) acrylate or 3- Methyl pentanediol di (meth) acrylate etc. are mentioned.

그 밖에 3 관능 이상의 다관능 모노머의 구체예로서는, 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트, 트리스(2-히드록시에틸)이소시아누레이트트리(메트)아크릴레이트, 에톡시화 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 프로폭시화 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트, 트리펜타에리트리톨테트라(메트)아크릴레이트, 트리펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트, 트리펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트, 트리펜타에리트리톨헵타(메트)아크릴레이트, 트리펜타에리트리톨옥타 (메트)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트와 산무수물의 반응물, 디펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트와 산무수물의 반응물, 트리펜타에리트리톨헵타(메트)아크릴레이트와 산무수물 카프로락톤 변성 트리메틸올프로판트리(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 트리스(2-히드록시에틸)이소시아누레이트트리(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 펜타에리트리톨테트라(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 디펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 디펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 트리펜타에리트리톨테트라(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 트리펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 트리펜타에리트리톨헥사(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 트리펜타에리트리톨헵타(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 트리펜타에리트리톨옥타(메트)아크릴레이트, 카프로락톤 변성 펜타에리트리톨트리(메트)아크릴레이트와 산무수물의 반응물, 카프로락톤 변성 디펜타에리트리톨펜타(메트)아크릴레이트와 산무수물의 반응물, 또는 카프로락톤 변성 트리펜타에리트리톨헵타(메트)아크릴레이트와 산무수물 등을 들 수 있다. In addition, as a specific example of a trifunctional or more than trifunctional polyfunctional monomer, trimethylol propane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, and tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate tri (meth) acrylate , Ethoxylated trimethylolpropane tri (meth) acrylate, propoxylated trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerytate Lithol hexa (meth) acrylate, tripentaerythritol tetra (meth) acrylate, tripentaerythritol penta (meth) acrylate, tripentaerythritol hexa (meth) acrylate, tripentaerythritolhepta (meth) acrylic Elate, reactant of tripentaerythritol octa (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate and acid anhydride, dipenta Tritol penta (meth) acrylate and acid anhydride reactant, tripentaerythritol hepta (meth) acrylate and acid anhydride caprolactone modified trimethylolpropane tri (meth) acrylate, caprolactone modified pentaerythritol tri (meth) Acrylate, caprolactone modified tris (2-hydroxyethyl) isocyanurate tri (meth) acrylate, caprolactone modified pentaerythritol tetra (meth) acrylate, caprolactone modified dipentaerythritol penta (meth) acrylic Latex, caprolactone modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, caprolactone modified tripentaerythritol tetra (meth) acrylate, caprolactone modified tripentaerythritol penta (meth) acrylate, caprolactone modified tripentaerythrate Lithol hexa (meth) acrylate, caprolactone modified tripentaerythritol hepta (meth) acrylate , Reactant of caprolactone-modified tripentaerythritol octa (meth) acrylate, caprolactone-modified pentaerythritol tri (meth) acrylate and acid anhydride, caprolactone-modified dipentaerythritol penta (meth) acrylate and acid anhydride The reactant or caprolactone modified tripentaerythritol hepta (meth) acrylate, an acid anhydride, etc. are mentioned.

특히 2 관능 이상의 다관능 모노머가 바람직하게 사용된다. 이들 중합성 화합물 (B) 은, 단독으로 또는 2 종 이상 병용하여 사용할 수 있다. In particular, a bifunctional or more than polyfunctional monomer is used preferably. These polymeric compounds (B) can be used individually or in combination of 2 or more types.

중합성 화합물 (B) 의 함유량은, 알칼리 가용성 수지 (A) 및 중합성 화합물 (B) 의 합계량에 대해 질량분율로, 바람직하게는 1 ∼ 70질량%, 보다 바람직하게는 5 ∼ 60질량% 이다. 중합성 화합물 (B) 의 함유량이 상기의 범위에 있으면, 감 도, 도막 및 패턴의 강도, 평활성, 신뢰성 및 기계 강도가 양호해지는 경향이 있어, 바람직하다. Content of a polymeric compound (B) is mass fraction with respect to the total amount of alkali-soluble resin (A) and a polymeric compound (B), Preferably it is 1-70 mass%, More preferably, it is 5-60 mass%. . When content of a polymeric compound (B) exists in the said range, there exists a tendency for the sensitivity, smoothness, reliability, and mechanical strength of a sensitivity, a coating film, and a pattern to become favorable, and it is preferable.

본 발명의 중합성 수지 조성물에 포함되는 개시제 (C) 로서는, 광 또는 열의 작용에 의해 중합을 개시하는 화합물로, 비이미다졸계 화합물, 아세토페논계 화합물, 트리아진계 화합물, 아실포스핀옥사이드계 화합물 또는 옥심계 화합물이 바람직하고, 비이미다졸계 화합물이 감도가 우수하므로 특히 바람직하다. As an initiator (C) contained in the polymerizable resin composition of this invention, it is a compound which starts superposition | polymerization by the action of light or a heat, A biimidazole type compound, an acetophenone type compound, a triazine type compound, an acylphosphine oxide type compound Or an oxime type compound is preferable and a biimidazole type compound is especially preferable since it is excellent in sensitivity.

상기의 비이미다졸 화합물로서는, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(2,3-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸(예를 들어 일본 공개특허공보 평6-75372호, 일본 공개특허공보 평6-75373호 등 참조), 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라(알콕시페닐)비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4, 4',5,5'-테트라(디알콕시페닐)비이미다졸, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라(트리알콕시페닐)비이미다졸 (예를 들어 일본 특허공보 소48-38403호, 일본 공개특허공보 소62-174204호 등 참조), 4,4',5,5'-위치의 페닐기가 카르보알콕시기에 의해 치환되어 있는 이미다졸 화합물 (예를 들어 일본 공개특허공보 평7-10913호 등 참조) 등을 들 수 있고, 바람직하게는 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(2,3-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸, 2,2'-비스(2,4-디클로로페닐)-4,4',5,5'-테트라페닐비이미다졸을 들 수 있다. As said biimidazole compound, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'- tetraphenyl biimidazole, 2,2'-bis (2,3- dichlorophenyl ) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole (see, for example, JP-A-6-75372, JP-A-6-75373, etc.), 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra (alkoxyphenyl ) Biimidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4, 4 ', 5,5'-tetra (dialkoxyphenyl) biimidazole, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (trialkoxyphenyl) biimidazole (see, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 48-38403, Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-174204, etc.), 4,4' And imidazole compounds in which the phenyl group at the 5,5'-position is substituted with a carboalkoxy group (see, for example, JP-A-7-10913, etc.), and preferably 2,2 '. -Bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5 '-Tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (2,3-dichlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetraphenylbiimidazole, 2,2'-bis (2,4- Dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole.

상기의 아세토페논계 화합물로서는, 디에톡시아세토페논, 2-히드록시-2-메틸-1-페닐프로판-1-온, 벤질디메틸케탈, 2-히드록시-1-[4-(2-히드록시에톡시)페닐]- 2-메틸프로판-1-온, 2-히드록시-1-{4-[4-(2-히드록시-2-메틸-프로피오닐)-벤질]-페닐}-2-메틸-프로판-1-온, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 2-메틸-1-(4-메틸티오페닐)-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-벤질-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)부탄-1-온, 2-(2-메틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(3-메틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(4-메틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-에틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-프로필벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-부틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2,3-디메틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2,4-디메틸벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-클로로벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-브로모벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(3-클로로벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(4-클로로벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(3-브로모벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(4-브로모벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-메톡시벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(3-메톡시벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(4-메톡시벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-메틸-4-메톡시벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-메틸-4-브로모벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-(2-브로모-4-메톡시벤질)-2-디메틸아미노-1-(4-모르폴리노페닐)-부타논, 2-히드록시-2-메틸-1-[4-(1-메틸비닐)페닐]프로판-1-온의 올 리고머 등을 들 수 있다. As said acetophenone type compound, diethoxy acetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzyl dimethyl ketal, 2-hydroxy-1- [4- (2-hydroxy Ethoxy) phenyl] -2-methylpropane-1-one, 2-hydroxy-1- {4- [4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl) -benzyl] -phenyl} -2- Methyl-propane-1-one, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 2- (2-methylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (3- Methylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (4-methylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone , 2- (2-ethylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-propylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholi Nophenyl) -butanone, 2- (2-butylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2, 3-dimethylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2,4-dimethylbenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl ) -Butanone, 2- (2-chlorobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-bromobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (3-chlorobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (4-chlorobenzyl) -2 -Dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (3-bromobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- ( 4-bromobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-methoxybenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl ) -Butanone, 2- (3-methoxybenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (4-methoxybenzyl) -2-dimethylamino-1 -(4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-methyl-4-methoxybenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2 -Me Methyl-4-bromobenzyl) -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone, 2- (2-bromo-4-methoxybenzyl) -2-dimethylamino-1- Oligomers of (4-morpholinophenyl) -butanone, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (1-methylvinyl) phenyl] propan-1-one, and the like.

상기의 트리아진계 화합물로서는, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시페닐)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시나프틸)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-피페로닐-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-(4-메톡시스티릴)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(5-메틸푸란-2-일)에테닐]-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(푸란-2-일)에테닐]-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(4-디에틸아미노-2-메틸페닐)에테닐]-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-[2-(3,4-디메톡시페닐)에테닐]-1,3,5-트리아진 등을 들 수 있다. As said triazine type compound, 2, 4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1, 3, 5- triazine, 2, 4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxynaphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl-1,3,5-triazine, 2,4-bis ( Trichloromethyl) -6- (4-methoxystyryl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methylfuran-2-yl ) Ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine, etc. are mentioned.

상기의 아실포스핀옥사이드계 개시제로서는, 2,4,6-트리메틸벤조일디페닐포스핀옥사이드 등을 들 수 있다. 2,4,6-trimethylbenzoyl diphenyl phosphine oxide etc. are mentioned as said acylphosphine oxide type initiator.

상기의 옥심 화합물로서는, 0-에톡시카르보닐-α-옥시이미노-1-페닐프로판-1-온, 식 (IV) 로 나타내는 화합물, 식 (V) 로 나타내는 화합물 등을 들 수 있다. Examples of the oxime compound include 0-ethoxycarbonyl-α-oxyimino-1-phenylpropan-1-one, a compound represented by formula (IV), a compound represented by formula (V), and the like.

Figure 112008078584396-PAT00007
Figure 112008078584396-PAT00007

본 발명의 중합성 수지 조성물에 포함되는 개시 보조제 (D) 는, 식 (I-1) 및 식 (I-2) 로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종으로 나타내는 화합물을 함유하는 화합물이다. The start adjuvant (D) contained in the polymeric resin composition of this invention is a compound containing the compound represented by at least 1 sort (s) chosen from the group which consists of a formula (I-1) and a formula (I-2).

Figure 112008078584396-PAT00008
Figure 112008078584396-PAT00008

[식 (I-1) 및 식 (I-2) 중, 고리 X1, 고리 X2 및 고리 X3 은 각각 독립적으로 탄소수 6 ∼ 12 의 방향 고리를 나타낸다. Y1 ∼ Y4 는 각각 독립적으로 산소 원자 또는 황 원자를 나타낸다. R1 ∼ R4 는 각각 독립적으로 탄소수 1 ∼ 12 의 알킬기 또는 탄소수 6 ∼ 12 의 아릴기를 나타낸다. [In Formula (I-1) and Formula (I-2), ring X 1 , ring X 2, and ring X 3 each independently represent an aromatic ring having 6 to 12 carbon atoms. Y 1 to Y 4 each independently represent an oxygen atom or a sulfur atom. R 1 to R 4 each independently represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an aryl group having 6 to 12 carbon atoms.

그 방향 고리, 그 알킬기 및 그 아릴기에 함유되는 메틸렌기는 산소 원자, -NH- 또는 황 원자로 치환되어 있어도 되고, 그 방향 고리, 그 아릴기 및 그 아릴기에 함유되는 수소 원자는 할로겐 원자로 치환되어도 된다.] The methylene group contained in the aromatic ring, the alkyl group and the aryl group may be substituted with an oxygen atom, -NH- or a sulfur atom, and the hydrogen atom contained in the aromatic ring, the aryl group and the aryl group may be substituted with a halogen atom. ]

할로겐 원자로서는, 불소 원자, 염소 원자, 브롬 원자 등을 들 수 있다. As a halogen atom, a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom, etc. are mentioned.

탄소수 6 ∼ 12 의 방향 고리로서는, 벤젠 고리, 메틸벤젠 고리, 디메틸벤젠 고리, 에틸벤젠 고리, 프로필벤젠 고리, 부틸벤젠 고리, 펜틸벤젠 고리, 헥실벤젠 고리, 시클로헥실벤젠 고리, 클로로벤젠 고리, 디클로로벤젠 고리, 브로모벤젠 고리, 디브로모벤젠 고리, 페닐벤젠 고리, 클로로페닐벤젠 고리, 브로모페닐벤젠 고리, 나프탈렌 고리, 클로로나프탈렌 고리, 브로모나프탈렌 고리, 페난트렌 고리, 크리센 고리, 플루오란텐 고리, 벤조[a]피렌 고리, 벤조[e]피렌 고리, 페릴렌 고리 및 그들의 유도체 등을 들 수 있다. Examples of the aromatic ring having 6 to 12 carbon atoms include benzene ring, methylbenzene ring, dimethylbenzene ring, ethylbenzene ring, propylbenzene ring, butylbenzene ring, pentylbenzene ring, hexylbenzene ring, cyclohexylbenzene ring, chlorobenzene ring and dichloro Benzene ring, bromobenzene ring, dibromobenzene ring, phenylbenzene ring, chlorophenylbenzene ring, bromophenylbenzene ring, naphthalene ring, chloronaphthalene ring, bromonaphthalene ring, phenanthrene ring, chrysene ring, fluorine Lanten ring, benzo [a] pyrene ring, benzo [e] pyrene ring, perylene ring, derivatives thereof and the like.

탄소수 1 ∼ 12 의 알킬기로서는, 메틸기, 에틸기, n-프로필기, 이소프로필기, n-부틸기, 1-메틸-n-프로필기, 2-메틸-n-프로필기, tert-부틸기, n-펜틸기, 1-메틸-n-부틸기, 2-메틸-n-부틸기, 3-메틸-n-부틸기, 1,1-디메틸-n-프로필기, 1,2-디메틸-n-프로필기, 2,2-디메틸-n-프로필기, n-헥실기, 시클로헥실기, 1-클로로-n-부틸기, 2-클로로-n-부틸기, 3-클로로-n-부틸기 등을 들 수 있다. Examples of the alkyl group having 1 to 12 carbon atoms include methyl group, ethyl group, n-propyl group, isopropyl group, n-butyl group, 1-methyl-n-propyl group, 2-methyl-n-propyl group, tert-butyl group and n -Pentyl group, 1-methyl-n-butyl group, 2-methyl-n-butyl group, 3-methyl-n-butyl group, 1,1-dimethyl-n-propyl group, 1,2-dimethyl-n- Propyl group, 2,2-dimethyl-n-propyl group, n-hexyl group, cyclohexyl group, 1-chloro-n-butyl group, 2-chloro-n-butyl group, 3-chloro-n-butyl group Can be mentioned.

탄소수 6 ∼ 12 의 아릴기로서는, 페닐기, 클로로페닐기, 디클로로페닐기, 브로모페닐기, 디브로모페닐기, 클로로브로모페닐기, 히드록시페닐기, 알콕시페닐기, 비페닐기, 클로로비페닐기, 디클로로비페닐기, 브로모페닐기, 디브로모페닐기, 나프틸기, 클로로나프틸기, 디클로로나프틸기, 브로모나프틸기, 디브로모나프틸기, 히드록시나프틸기 등을 들 수 있다. Examples of the aryl group having 6 to 12 carbon atoms include phenyl group, chlorophenyl group, dichlorophenyl group, bromophenyl group, dibromophenyl group, chlorobromophenyl group, hydroxyphenyl group, alkoxyphenyl group, biphenyl group, chlorobiphenyl group, dichlorobiphenyl group and bromine A phenyl group, a dibromo phenyl group, a naphthyl group, a chloro naphthyl group, a dichloro naphthyl group, a bromonaphthyl group, a dibromonaphthyl group, a hydroxy naphthyl group, etc. are mentioned.

식 (I-1) 및 식 (I-2) 로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종으로 나타내는 화합물로서, 구체적으로는,As a compound represented by at least 1 sort (s) chosen from the group which consists of a formula (I-1) and a formula (I-2),

디메톡시나프탈렌, 디에톡시나프탈렌, 디프로폭시나프탈렌, 디이소프로폭시나프탈렌, 디부톡시나프탈렌 등의 디알콕시나프탈렌류Dialkoxynaphthalenes such as dimethoxynaphthalene, diethoxynaphthalene, dipropoxynaphthalene, diisopropoxynaphthalene and dibutoxynaphthalene

디메톡시안트라센, 디에톡시안트라센, 디프로폭시안트라센, 디이소프로폭시안트라센, 디부톡시안트라센, 디펜타옥시안트라센, 디헥사옥시안트라센, 메톡시에톡시안트라센, 메톡시프로폭시안트라센, 메톡시이소프로폭시안트라센, 메톡시부톡시안트라센, 에톡시프로폭시안트라센, 에톡시이소프로폭시안트라센, 에톡시부톡시안트라센, 프로폭시이소프로폭시안트라센, 프로폭시부톡시안트라센, 이소프로폭시 부톡시안트라센 등의 디알콕시안트라센류Dimethoxy anthracene, diethoxy anthracene, dipropoxy canthracene, diisopropoxy canthracene, dibutoxy anthracene, dipentaoxy anthracene, dihexaoxy anthracene, methoxyethoxy anthracene, methoxy propoxy canthracene, methoxy isopropoxy Dialkoxy such as anthracene, methoxybutoxy anthracene, ethoxy propoxycanthracene, ethoxy isopropoxythracene, ethoxy butoxy anthracene, propoxy isopropoxythracene, propoxy butoxy anthracene, isopropoxy butoxy anthracene Anthracene

디메톡시나프타센, 디에톡시나프타센, 디프로폭시나프타센, 디이소프로폭시나프타센, 디부톡시나프타센 등의 디알콕시나프타센류Dialkoxy naphthacenes such as dimethoxynaphthacene, diethoxynaphthacene, dipropoxynaphthacene, diisopropoxynaphthacene and dibutoxynaphthacene

등을 들 수 있는데, 그것에 한정된 것은 아니다. Etc., but is not limited thereto.

개시제 (C) 의 함유량은, 알칼리 가용성 수지 (A) 및 중합성 화합물 (B) 의 합계량에 대해 질량분율로, 바람직하게는 0.1 ∼ 40질량%, 보다 바람직하게는 1 ∼ 30질량% 이다. Content of an initiator (C) is a mass fraction with respect to the total amount of alkali-soluble resin (A) and a polymeric compound (B), Preferably it is 0.1-40 mass%, More preferably, it is 1-30 mass%.

개시 보조제 (D) 의 함유량은, 알칼리 가용성 수지 (A) 및 중합성 화합물 (B) 의 합계량에 대해 질량분율로, 바람직하게는 0.01 ∼ 20질량%, 보다 바람직하게는 0.1 ∼ 10질량% 이다. Content of a starting adjuvant (D) is a mass fraction with respect to the total amount of alkali-soluble resin (A) and a polymeric compound (B), Preferably it is 0.01-20 mass%, More preferably, it is 0.1-10 mass%.

식 (I-1) 및 식 (I-2) 로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종으로 나타내는 화합물의 함유량은, 개시 보조제 (D) 의 함유량에 대해, 바람직하게는 50 ∼ 100%, 보다 바람직하게는 60 ∼ 100%, 더욱 바람직하게는 65 ∼ 100% 이다. 식 (I-1) 및 식 (I-2) 로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종으로 나타내는 화합물의 함유량이 상기의 범위에 있으면, 이것을 함유하는 중합성 수지 조성물을 이용하여 도막을 형성했을 때에, 도막의 투명성이 양호해져 바람직하다. Content of the compound represented by at least 1 sort (s) chosen from the group which consists of a formula (I-1) and a formula (I-2) becomes like this. Preferably it is 50 to 100% with respect to content of a starting adjuvant (D), More preferably, Is 60 to 100%, more preferably 65 to 100%. When content of the compound represented by at least 1 sort (s) chosen from the group which consists of Formula (I-1) and Formula (I-2) exists in said range, when forming a coating film using the polymeric resin composition containing this, Transparency of a coating film becomes favorable and is preferable.

개시제 (C) 의 합계량이 상기의 범위에 있으면, 중합성 수지 조성물이 고감도로 되어, 상기의 중합성 수지 조성물을 이용하여 형성한 도막이나 패턴의 강도나, 상기의 도막이나 패턴의 표면에 있어서의 평활성이 양호해지는 경향이 있어, 바람직하다. 상기에 더하여, 개시 보조제 (D) 의 양이 상기의 범위에 있으면, 얻어지는 중합성 수지 조성물의 감도가 더욱 높아지고, 상기의 중합성 수지 조성물을 이용하여 형성하는 패턴의 생산성이 향상되는 경향이 있어, 바람직하다. When the total amount of the initiator (C) is in the above range, the polymerizable resin composition becomes highly sensitive, and the strength of the coating film or pattern formed using the polymerizable resin composition and the surface of the coating film or pattern described above. Smoothness tends to be good and is preferable. In addition to the above, when the amount of the starting aid (D) is in the above range, the sensitivity of the obtained polymerizable resin composition is further increased, and the productivity of the pattern formed by using the polymerizable resin composition tends to be improved. desirable.

본 발명의 효과를 손상하지 않는 정도로, 추가로 아민 화합물, 하기의 카르복실산 화합물 및 다관능 티올 화합물 (T) 를 사용해도 된다. 특히, 다관능 티올 화합물 (T) 를 사용하는 것이 바람직하다. You may use an amine compound, the following carboxylic acid compound, and a polyfunctional thiol compound (T) to the extent which does not impair the effect of this invention. In particular, it is preferable to use a polyfunctional thiol compound (T).

아민 화합물의 구체예로서는, 트리에탄올아민, 메틸디에탄올아민, 트리이소프로판올아민 등의 지방족 아민 화합물, 4-디메틸아미노벤조산 메틸, 4-디메틸아미노벤조산 에틸, 4-디메틸아미노벤조산 이소아밀, 4-디메틸아미노벤조산 2-에틸헥실, 벤조산 2-디메틸아미노에틸, N,N-디메틸파라톨루이딘, 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논 (통칭 ; 미힐러즈 케톤) 또는 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논 등의 방향족 아민 화합물을 들 수 있다. Specific examples of the amine compound include aliphatic amine compounds such as triethanolamine, methyldiethanolamine and triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoic acid, 4-dimethylaminobenzoic acid ethyl, 4-dimethylaminobenzoic acid isoamyl and 4-dimethylaminobenzoic acid 2-ethylhexyl, 2-dimethylaminoethyl benzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone (collectively; Mihilers ketone) or 4,4'-bis (diethyl Aromatic amine compounds, such as amino) benzophenone, are mentioned.

상기의 카르복실산 화합물로서는, 페닐티오아세트산, 메틸페닐티오아세트산, 에틸페닐티오아세트산, 메틸에틸페닐티오아세트산, 디메틸페닐티오아세트산, 메톡시페닐티오아세트산, 디메톡시페닐티오아세트산, 클로로페닐티오아세트산, 디클로로페닐티오아세트산, N-페닐글리신, 페녹시아세트산, 나프틸티오아세트산, N-나프틸글리신 또는 나프톡시아세트산 등의 방향족 헤테로아세트산류를 들 수 있다. Examples of the carboxylic acid compound include phenylthioacetic acid, methylphenylthioacetic acid, ethylphenylthioacetic acid, methylethylphenylthioacetic acid, dimethylphenylthioacetic acid, methoxyphenylthioacetic acid, dimethoxyphenylthioacetic acid, chlorophenylthioacetic acid and dichloro And aromatic heteroacetic acids such as phenylthioacetic acid, N-phenylglycine, phenoxyacetic acid, naphthylthioacetic acid, N-naphthylglycine or naphthoxyacetic acid.

다관능 티올 화합물 (T) 는, 분자내에 2 개 이상의 티올기를 갖는 화합물이다. 그 중에서도, 2 개 이상의 지방족 티올기를 갖는 화합물이, 본 발명의 중합성 수지 조성물의 감도가 높아지므로 보다 바람직하다. The polyfunctional thiol compound (T) is a compound having two or more thiol groups in the molecule. Especially, the compound which has a 2 or more aliphatic thiol group is more preferable, since the sensitivity of the polymeric resin composition of this invention becomes high.

다관능 티올 화합물 (T) 로서는, 구체적으로는, 헥산디티올, 데칸디티올, 1,4-디메틸메르캅토벤젠, 부탄디올비스티오프로피오네이트, 부탄디올비스티오글리콜레이트, 에틸렌글리콜비스티오글리콜레이트, 트리메틸올프로판트리스티오글리콜레이트, 부탄디올비스티오프로피오네이트, 트리메틸올프로판트리스티오프로피오네이트, 트리메틸올프로판트리스티오글리콜레이트, 펜타에리트리톨테트라키스티오프로피오네이트, 펜타에리트리톨테트라키스티오글리콜레이트, 트리스히드록시에틸트리스티오프로피오네이트, 펜타에리트리톨테트라키스(3-메르캅토부틸레이트) 또는 1,4-비스(3-메르캅토부티릴옥시)부탄 등을 들 수 있다. Specific examples of the polyfunctional thiol compound (T) include hexanedithiol, decandithiol, 1,4-dimethylmercaptobenzene, butanediolbisthiopropionate, butanediolbisthioglycolate, ethylene glycol bisthioglycolate, Trimethylolpropane tristhioglycolate, butanediol bisthiopropionate, trimethylol propane tristyropropionate, trimethylol propane tristhioglycolate, pentaerythritol tetrakistyropropionate, pentaerythritol tetrakisthioglycolate And trishydroxyethyl tristyopiophytonate, pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutylate), 1,4-bis (3-mercaptobutyryloxy) butane and the like.

다관능 티올 화합물 (T) 의 함유량은, 알칼리 가용성 수지 (A) 및 중합성 화합물 (B) 의 합계량에 대해 질량분율로, 바람직하게는 0.5 ∼ 20질량%, 보다 바람직하게는 1 ∼ 15질량% 이다. 다관능 티올 화합물 (T) 의 함유량이 상기의 범위에 있으면, 감도가 높아지고, 또 현상성이 양호해지는 경향이 있어, 바람직하다. Content of a polyfunctional thiol compound (T) is mass fraction with respect to the total amount of alkali-soluble resin (A) and a polymeric compound (B), Preferably it is 0.5-20 mass%, More preferably, it is 1-15 mass%. to be. When content of a polyfunctional thiol compound (T) exists in said range, there exists a tendency for a sensitivity to become high and developability becomes favorable, and it is preferable.

본 발명의 효과를 손상시키지 않는 정도이면, 광중합 개시제 등을 추가로 병용할 수 있으며, 당해 광중합 개시제로서는, 예를 들어 벤조인계 화합물, 벤조페논계 화합물 또는 티오크산톤계 화합물 등을 들 수 있다. As long as the effect of this invention is not impaired, a photoinitiator etc. can be used together further, As a photoinitiator, a benzoin type compound, a benzophenone type compound, a thioxanthone type compound, etc. are mentioned, for example.

보다 구체적으로는 이하와 같은 화합물을 들 수 있고, 이들을 각각 단독으로, 또는 2 종 이상 조합하여 사용할 수 있다. More specifically, the following compounds are mentioned, These can be used individually or in combination of 2 or more types, respectively.

상기의 벤조인계 화합물로서는, 예를 들어 벤조인, 벤조인메틸에테르, 벤조인에틸에테르, 벤조인이소프로필에테르 또는 벤조인이소부틸에테르 등을 들 수 있다. As said benzoin type compound, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, etc. are mentioned, for example.

상기의 벤조페논계 화합물로서는, 예를 들어 벤조페논, o-벤조일벤조산 메 틸, 4-페닐벤조페논, 4-벤조일-4'-메틸디페닐설파이드, 3,3',4,4'-테트라(tert-부틸퍼옥시카르보닐)벤조페논 또는 2,4,6-트리메틸벤조페논 등을 들 수 있다. As said benzophenone type compound, benzophenone, the methyl o-benzoyl benzoate, 4-phenylbenzo phenone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenyl sulfide, 3,3 ', 4,4'- tetra (tert-butylperoxycarbonyl) benzophenone or 2,4,6-trimethylbenzophenone etc. are mentioned.

상기의 티오크산톤계 화합물로서는, 예를 들어 2-이소프로필티오크산톤, 4-이소프로필티오크산톤, 2,4-디에틸티오크산톤, 2,4-디클로로티오크산톤 또는 1-클로로-4-프로폭시티오크산톤 등을 들 수 있다. As said thioxanthone type compound, 2-isopropyl thioxanthone, 4-isopropyl thioxanthone, 2, 4- diethyl thioxanthone, 2, 4- dichloro thioxanthone, or 1-chloro, for example 4-propoxy thioxanthone etc. are mentioned.

그 밖에도, 10-부틸-2-클로로아크리돈, 2-에틸안트라퀴논, 벤질, 9,10-페난트렌퀴논, 캠퍼 퀴논, 페닐글리옥실산 메틸 또는 티타노센 화합물 등이 광중합 개시제로서 예시된다. In addition, 10-butyl-2-chloroacridone, 2-ethylanthraquinone, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphor quinone, methyl phenylglyoxylate, titanocene compound, etc. are illustrated as a photoinitiator.

또, 연쇄 이동을 일으킬 수 있는 기를 갖는 광중합 개시제로서, 일본 공표특허공보 2002-544205호에 기재되어 있는 광중합 개시제를 사용할 수 있다. Moreover, the photoinitiator described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2002-544205 can be used as a photoinitiator which has group which can cause chain transfer.

상기의 연쇄 이동을 일으킬 수 있는 기를 갖는 광중합 개시제로서는, 예를 들어 하기 식 (5) ∼ 하기 식 (10) 의 광중합 개시제를 들 수 있다. As a photoinitiator which has group which can cause said chain transfer, the photoinitiator of following formula (5)-following formula (10) is mentioned, for example.

Figure 112008078584396-PAT00009
Figure 112008078584396-PAT00009

본 발명의 중합성 수지 조성물에 사용되는 용제 (E) 는, 구체적으로는 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노프로필에테르 및 에틸렌글리콜모노부틸에테르 등의 에틸렌글리콜모노알킬에테르류 ; The solvent (E) used for the polymeric resin composition of this invention is specifically ethylene glycol monoalkyl ether, such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, and ethylene glycol monobutyl ether. ;

디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜디프로필에테르 및 디에틸렌글리콜디부틸에테르, 디에틸렌글리콜에틸메틸에테르 등의 디에틸렌글리콜디알킬에테르류 ;Diethylene glycol dialkyl ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, and diethylene glycol ethyl methyl ether;

메틸셀로솔브아세테이트 및 에틸셀로솔브아세테이트 등의 에틸렌글리콜알킬에테르아세테이트류 ;Ethylene glycol alkyl ether acetates such as methyl cellosolve acetate and ethyl cellosolve acetate;

프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노프로필에테르아세테이트, 메톡시부틸아세테이트 및 메톡시펜틸아세테이트 등의 알킬렌글리콜알킬에테르아세테이트류 ;Alkylene glycol alkyl ether acetates such as propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, methoxy butyl acetate and methoxy pentyl acetate;

벤젠, 톨루엔, 자일렌 및 메시틸렌 등의 방향족 탄화수소류 ; Aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene and mesitylene;

메틸에틸케톤, 아세톤, 메틸아밀케톤, 메틸이소부틸케톤 및 시클로헥사논, 시클로펜타논 등의 케톤류 ; Ketones such as methyl ethyl ketone, acetone, methyl amyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone and cyclopentanone;

에탄올, 프로판올, 부탄올, 헥산올, 시클로헥산올, 에틸렌글리콜, 메톡시부탄올, 에톡시부탄올, 및 글리세린 등의 알코올류 ;Alcohols such as ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, methoxybutanol, ethoxybutanol, and glycerin;

3-에톡시프로피온산 에틸 및 3-메톡시프로피온산 메틸 등의 에스테르류 ;Esters such as ethyl 3-ethoxypropionate and methyl 3-methoxypropionate;

γ-부티로락톤 등의 고리형 에스테르류 등을 들 수 있다. Cyclic ester, such as (gamma) -butyrolactone, etc. are mentioned.

상기의 용제 중, 도포성, 건조성면에서, 바람직하게는 상기 용제 중에서 비점이 100 ∼ 200℃ 인 유기 용제를 들 수 있다. 비점이 100 ∼ 200℃ 인 유기 용제로서 구체적으로는, 알킬렌글리콜알킬에테르아세테이트류, 메톡시부탄올 및 에톡시부탄올 등의 알코올류, 시클로헥사논 등의 케톤류, 3-에톡시프로피온산에틸 및 3-메톡시프로피온산 메틸 등의 에스테르류를 들 수 있고, 더욱 바람직하게는 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 시클로헥사논, 메톡시부탄올, 메톡시부틸아세테이트, 3-에톡시프로피온산 에틸 및 3-메톡시프로피온산 메틸을 들 수 있다. Among the solvents described above, an organic solvent having a boiling point of 100 to 200 ° C. is preferably used in terms of coating properties and drying properties. Specific examples of the organic solvent having a boiling point of 100 to 200 ° C include alcohols such as alkylene glycol alkyl ether acetates, methoxybutanol and ethoxybutanol, ketones such as cyclohexanone, ethyl 3-ethoxypropionate and 3- Ester, such as methyl methoxy propionate, is mentioned, More preferably, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, cyclohexanone, methoxy butanol, methoxy butyl acetate, and 3-ethoxy propionate ethyl are mentioned. And 3-methoxypropionate methyl.

이들 용제 (E) 는 각각 단독으로, 또는 2 종류 이상 혼합하여 사용할 수 있다. These solvents (E) can be used individually or in mixture of 2 or more types, respectively.

본 발명의 중합성 수지 조성물에 있어서의 용제 (E) 의 함유량은, 중합성 수지 조성물에 대해 질량분율로, 바람직하게는 60 ∼ 90질량%, 보다 바람직하게는 65 ∼ 85질량% 이다. 용제 (E) 의 함유량이 상기의 범위에 있으면, 스핀 코터, 슬릿 & 스핀 코터, 슬릿 코터 (다이코터, 커튼 플로우 코터라고도 불리는 경우가 있다), 잉크젯, 롤 코터, 딥 코터 등의 도포 장치로 도포했을 때에 도포성이 양호해질 가망이 있어, 바람직하다. Content of the solvent (E) in the polymeric resin composition of this invention is a mass fraction with respect to polymeric resin composition, Preferably it is 60-90 mass%, More preferably, it is 65-85 mass%. If content of solvent (E) exists in the said range, it coats with coating apparatuses, such as a spin coater, a slit & spin coater, a slit coater (it may also be called a die coater and a curtain flow coater), an inkjet, a roll coater, and a dip coater. When it does, coating property has a favorable í * quality and is preferable.

본 발명의 중합성 수지 조성물에는, 필요에 따라 충전제, 그 밖의 고분자 화합물, 착색재, 안료 분산제, 밀착 촉진제, 산화 방지제, 자외선 흡수제, 광안정제, 연쇄 이동제 등의 첨가제를 병용할 수도 있다. In the polymerizable resin composition of the present invention, additives such as fillers, other polymer compounds, colorants, pigment dispersants, adhesion promoters, antioxidants, ultraviolet absorbers, light stabilizers, and chain transfer agents may be used in combination.

충전제로서 구체적으로는, 유리, 실리카 또는 알루미나 등이 예시된다. Specifically as a filler, glass, silica, alumina, etc. are illustrated.

그 밖의 고분자 화합물로서 구체적으로는, 에폭시 수지 또는 말레이미드 수지 등의 경화성 수지나 폴리비닐알코올, 폴리아크릴산, 폴리에틸렌글리콜모노알킬에테르, 폴리플루오로알킬아크릴레이트, 폴리에스테르, 폴리우레탄 등의 열가소성 수지 등을 사용할 수 있다. Specific examples of other high molecular compounds include curable resins such as epoxy resins and maleimide resins, and thermoplastic resins such as polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ethers, polyfluoroalkyl acrylates, polyesters, polyurethanes, and the like. Can be used.

착색재로서는, 컬러 인덱스 (The Society of Dyers and Colourists 출판) 에서 안료 (Pigment) 로 분류되어 있는 화합물을 들 수 있다. As a coloring material, the compound classified as pigment in the color index (The Society of Dyers and Colorists published) is mentioned.

구체적으로는, C.I. 피그먼트 옐로우 1, 3, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 53, 83, 86, 93, 94, 109, 110, 117, 125, 128, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 153, 154, 166, 173, 194, 214 등의 황색 안료 ;Specifically, C.I. Pigment Yellow 1, 3, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 53, 83, 86, 93, 94, 109, 110, 117, 125, 128, 137, 138, 139 Yellow pigments such as, 147, 148, 150, 153, 154, 166, 173, 194, and 214;

C.I. 피그먼트 오렌지 13, 31, 36, 38, 40, 42, 43, 51, 55, 59, 61, 64, 65, 71, 73 등의 오렌지색의 안료 ;C.I. Pigment orange 13, 31, 36, 38, 40, 42, 43, 51, 55, 59, 61, 64, 65, 71, 73 and the like orange pigments;

C.I. 피그먼트 레드 9, 97, 105, 122, 123, 144, 149, 166, 168, 176, 177, 180, 192, 209, 215, 216, 224, 242, 254, 255, 264, 265 등의 적색 안료 ;C.I. Pigment Red 9, 97, 105, 122, 123, 144, 149, 166, 168, 176, 177, 180, 192, 209, 215, 216, 224, 242, 254, 255, 264, 265, etc. ;

C.I. 피그먼트 블루 15, 15:3, 15:4, 15:6, 60 등의 청색 안료 ;C.I. Blue pigments such as Pigment Blue 15, 15: 3, 15: 4, 15: 6 and 60;

C.I. 피그먼트 바이올렛 1, 19, 23, 29, 32, 36, 38 등의 바이올렛색 안료 ;C.I. Violet pigments such as pigment violet 1, 19, 23, 29, 32, 36 and 38;

C.I. 피그먼트 그린 7, 36 등의 녹색 안료 ;C.I. Green pigments such as pigment green 7, 36;

C.I. 피그먼트 브라운 23, 25 등의 브라운색 안료 ;C.I. Brown pigments such as pigment brown 23 and 25;

C.I. 피그먼트 블랙 1, 7 등의 흑색 안료 등을 들 수 있다. C.I. Black pigments, such as pigment black 1 and 7, etc. are mentioned.

안료 분산제로서는, 시판되는 계면 활성제를 사용할 수 있고, 예를 들어 실리콘계, 불소계, 에스테르계, 카티온계, 아니온계, 노니온계, 양성 등의 계면 활성제 등을 들 수 있고, 각각 단독으로 또는 2 종 이상을 조합하여 사용된다. 상기의 계면 활성제의 예로서는, 폴리옥시에틸렌알킬에테르류, 폴리옥시에틸렌알킬페닐에테르류, 폴리에틸렌글리콜디에스테르류, 소르비탄 지방산 에스테르류, 지방산 변성 폴리에스테르류, 3 급 아민 변성 폴리우레탄류, 폴리에틸렌이민류 등 그 밖에, 상품명으로 KP (신에츠 화학 공업 (주) 제조), 폴리플로우 (쿄에이 화학 (주) 제조), 에프탑 (토케므 프로덕츠사 제조), 메가팩 (다이닛폰 잉크 화학 공업 (주) 제조), 플로라드 (스미토모 3M (주) 제조), 아사히 가드, 서프론 (이상, 아사히 가라스 (주) 제조), 솔스퍼스 (제네카 (주) 제조), EFKA (EFKA CHEMICALS 사 제조) 또는 PB821 (아지노모토 (주) 제조) 등을 들 수 있다. As the pigment dispersant, commercially available surfactants can be used, and for example, surfactants such as silicone, fluorine, ester, cationic, anion, nonionic, and amphoteric and the like can be cited. It is used in combination. Examples of the above surfactants include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl phenyl ethers, polyethylene glycol diesters, sorbitan fatty acid esters, fatty acid modified polyesters, tertiary amine modified polyurethanes, and polyethyleneimines. Others, such as KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Polyflow (manufactured by Kyoi Chemical Co., Ltd.), F-Top (manufactured by Tokemu Products Co., Ltd.), Megapack (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.) ), Florade (manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.), Asahi Guard, Supron (above, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), Solsperth (manufactured by Geneca Co., Ltd.), EFKA (manufactured by EFKA CHEMICALS), or PB821 (made by Ajinomoto Co., Ltd.), etc. are mentioned.

밀착 촉진제로서 구체적으로는, 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란, 비닐트리스(2-메톡시에톡시)실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-클로로프로필메틸디메톡시실란, 3-클로로프로필트리메톡시실란, 3-메타크릴로일옥시프로필트리메톡시실란 또는 3-메르캅토프로필트리메톡시실란 등을 들 수 있다. Specific examples of adhesion promoters include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, and N. -(2-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane or 3-mercapto Propyl trimethoxysilane, etc. are mentioned.

산화 방지제로서 구체적으로는, 2-tert-부틸-6-(3-tert-부틸-2-히드록시-5-메틸벤질)-4-메틸페닐아크릴레이트, 2-[1-(2-히드록시-3,5-디-tert-펜틸페닐)에틸]-4,6-디-tert-펜틸페닐아크릴레이트, 6-[3-(3-tert-부틸-4-히드록시-5-메틸페닐)프로폭시]-2,4,8,10-테트라-tert-부틸디벤즈[d,f][1,3,2]디옥사포스페핀, 3,9-비스[2-{3-(3-tert-부틸-4-히드록시-5-메틸페닐)프로피오닐옥시}-1,1-디메틸에틸]-2,4,8,10-테트라옥사스피로[5.5]운데칸, 2,2'-메틸렌비스(6-tert-부틸-4-메틸페놀), 4,4'-부틸리덴비스(6-tert-부틸-3-메틸페놀), 4,4'-티오비스(2-tert-부틸-5-메틸페놀), 2,2'-티오비스(6-tert-부틸-4-메틸페놀), 디라우릴3,3'-티오디프로피오네이트, 디미리스틸3,3'-티오디프로피오네이트, 디스테아릴3,3'-티오디프로피오네이트, 펜타에리트리틸테트라키스(3-라우릴티오프로피오네이트), 1,3,5-트리스(3,5-디-tert-부틸-4-히드록시벤질)-1,3,5-트리아진-2,4,6(1H,3H,5H)-트리온, 3,3',3'',5,5',5''-헥사-tert-부틸-a,a',a''-(메시틸렌-2,4,6-트리일)트리-p-크레 졸, 펜타에리트리톨테트라키스[3-(3,5-디-tert-부틸-4-히드록시페닐)프로피오네이트] 또는 2,6-디-tert-부틸-4-메틸페놀 등을 들 수 있다. Specific examples of the antioxidant include 2-tert-butyl-6- (3-tert-butyl-2-hydroxy-5-methylbenzyl) -4-methylphenyl acrylate and 2- [1- (2-hydroxy- 3,5-di-tert-pentylphenyl) ethyl] -4,6-di-tert-pentylphenylacrylate, 6- [3- (3-tert-butyl-4-hydroxy-5-methylphenyl) propoxy ] -2,4,8,10-tetra-tert-butyldibenz [d, f] [1,3,2] dioxaphosphine, 3,9-bis [2- {3- (3-tert- Butyl-4-hydroxy-5-methylphenyl) propionyloxy} -1,1-dimethylethyl] -2,4,8,10-tetraoxaspiro [5.5] undecane, 2,2'-methylenebis (6 -tert-butyl-4-methylphenol), 4,4'-butylidenebis (6-tert-butyl-3-methylphenol), 4,4'-thiobis (2-tert-butyl-5-methyl Phenol), 2,2'-thiobis (6-tert-butyl-4-methylphenol), dilauryl 3,3'- thiodipropionate, dimyristyl 3,3'- thiodipropionate, Distearyl3,3'-thiodipropionate, pentaerythritol tetrakis (3-laurylthiopropionate), 1,3,5-tris (3,5-di-tert-part -4-hydroxybenzyl) -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione, 3,3 ', 3' ', 5,5', 5 '' -Hexa-tert-butyl-a, a ', a' '-(mesitylene-2,4,6-triyl) tri-p-cresol, pentaerythritol tetrakis [3- (3,5-di -tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate] or 2,6-di-tert-butyl-4-methylphenol and the like.

자외선 흡수제로서 구체적으로는, 2-(2-히드록시-5-tert-부틸페닐)-2H-벤조트리아졸, 옥틸-3-[3-tert-부틸-4-히드록시-5-(5-클로로-2H-벤조트리아졸-2-일)페닐]프로피오네이트, 2-[4-[(2-히드록시-3-도데실옥시프로필)옥시]-2-히드록시페닐]-4,6-비스(2,4-디메틸페닐)-1,3,5-트리아진, 2-[4-[(2-히드록시-3-(2'-에틸)헥실)옥시]-2-히드록시페닐]-4,6-비스(2,4-디메틸페닐)-1,3,5-트리아진, 2,4-비스(2-히드록시-4-부틸옥시페닐)-6-(2,4-비스-부틸옥시페닐)-1,3,5-트리아진, 2-(2-히드록시-4-[1-옥틸옥시카르보닐에톡시]페닐)-4,6-비스(4-페닐페닐)-1,3,5-트리아진, 2-(2H-벤조트리아졸-2-일)-4,6-비스(1-메틸-1-페닐에틸)페놀, 2-(2H-벤조트리아졸-2-일)-6-(1-메틸-1-페닐에틸)-4-(1,1,3,3-테트라메틸부틸)페놀, 2-(3-tert-부틸-2-히드록시-5-메틸페닐)-5-클로로벤조트리아졸 또는 알콕시벤조페논 등을 들 수 있다. Specific examples of the ultraviolet absorber include 2- (2-hydroxy-5-tert-butylphenyl) -2H-benzotriazole and octyl-3- [3-tert-butyl-4-hydroxy-5- (5- Chloro-2H-benzotriazol-2-yl) phenyl] propionate, 2- [4-[(2-hydroxy-3-dodecyloxypropyl) oxy] -2-hydroxyphenyl] -4,6 -Bis (2,4-dimethylphenyl) -1,3,5-triazine, 2- [4-[(2-hydroxy-3- (2'-ethyl) hexyl) oxy] -2-hydroxyphenyl ] -4,6-bis (2,4-dimethylphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (2-hydroxy-4-butyloxyphenyl) -6- (2,4- Bis-butyloxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2- (2-hydroxy-4- [1-octyloxycarbonylethoxy] phenyl) -4,6-bis (4-phenylphenyl) -1,3,5-triazine, 2- (2H-benzotriazol-2-yl) -4,6-bis (1-methyl-1-phenylethyl) phenol, 2- (2H-benzotriazole- 2-yl) -6- (1-methyl-1-phenylethyl) -4- (1,1,3,3-tetramethylbutyl) phenol, 2- (3-tert-butyl-2-hydroxy-5 -Methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole, alkoxybenzophenone, etc. are mentioned.

광안정제로서 구체적으로는, 숙신산과 (4-히드록시-2,2,6,6-테트라메틸피페리딘-1-일)에탄올로 이루어지는 고분자, N,N',N'',N'''-테트라키스(4,6-비스(부틸(N-메틸-2,2,6,6-테트라메틸피페리딘-4-일)아미노)트리아진-2-일)-4,7-디아자데칸-1,10-디아민, 데칸디오산과, 비스(2,2,6,6-테트라메틸-1-(옥틸옥시)-4-피페리디닐)에스테르와, 1,1-디메틸에틸히드로퍼옥시드의 반응물, 비스(1,2,2,6,6-펜타메틸-4-피페리디닐)-[[3,5-비스(1,1-디메틸에틸)-4-히드록시페닐]메틸]부틸말로네이트, 2,4-비스[N-부틸-N-(1-시클로헥실옥시-2,2,6,6-테트라메틸피페리딘-4-일)아미노]- 6-(2-히드록시에틸아민)-1,3,5-트리아진, 비스(1,2,2,6,6-펜타메틸-4-피페리디닐)세바케이트 또는 메틸(1,2,2,6,6-펜타메틸-4-피페리디닐)세바케이트 등을 들 수 있다. Specifically as a light stabilizer, a polymer consisting of succinic acid and (4-hydroxy-2,2,6,6-tetramethylpiperidin-1-yl) ethanol, N, N ', N' ', N' ' '-Tetrakis (4,6-bis (butyl (N-methyl-2,2,6,6-tetramethylpiperidin-4-yl) amino) triazin-2-yl) -4,7-dia Jadecane-1,10-diamine, decandioic acid, bis (2,2,6,6-tetramethyl-1- (octyloxy) -4-piperidinyl) ester, 1,1-dimethylethylhydroperox Seed reaction, bis (1,2,2,6,6-pentamethyl-4-piperidinyl)-[[3,5-bis (1,1-dimethylethyl) -4-hydroxyphenyl] methyl] Butylmalonate, 2,4-bis [N-butyl-N- (1-cyclohexyloxy-2,2,6,6-tetramethylpiperidin-4-yl) amino] -6- (2- Hydroxyethylamine) -1,3,5-triazine, bis (1,2,2,6,6-pentamethyl-4-piperidinyl) sebacate or methyl (1,2,2,6,6 -Pentamethyl-4-piperidinyl) sebacate, etc. are mentioned.

연쇄 이동제로서는, 도데실메르캅탄, 2,4-디페닐-4-메틸-1-펜텐 등을 들 수 있다. Examples of the chain transfer agent include dodecyl mercaptan, 2,4-diphenyl-4-methyl-1-pentene, and the like.

중합성 수지 조성물은, 예를 들어 이하와 같이 하여, 유리 기판이나 필름 기판, 컬러 필터나 구동 회로를 형성한 기재 상에 도포하고, 광경화 및 현상을 실시하여, 도막이나 패턴을 형성할 수 있다. 먼저, 이 중합성 수지 조성물을 기판(통상은 유리) 또는 먼저 형성된 중합성 수지 조성물의 고형분으로 이루어지는 층의 위에 도포하여, 도포된 중합성 수지 조성물층으로부터 프리 베이크함으로써 용제 등의 휘발 성분을 제거하여, 평활한 미경화 도막을 얻는다. 이 때의 미경화 도막의 두께는 대략 1 ∼ 6㎛ 이다. 이와 같이 하여 얻어진 미경화 도막에, 목적으로 하는 패턴을 형성하기 위한 마스크를 개재하여, 수은등이나 발광 다이오드로부터 발생하는 자외선을 조사한다. A polymeric resin composition can be apply | coated on the base material which formed the glass substrate, the film substrate, the color filter, or the drive circuit as follows, for example, can photocure and develop, and can form a coating film or a pattern. . First, this polymeric resin composition is apply | coated on the board | substrate (usually glass) or the layer which consists of solid content of the polymeric resin composition formed earlier, and prebaking from the apply | coated polymeric resin composition layer removes volatile components, such as a solvent, To obtain a smooth uncured coating. The thickness of the uncured coating film at this time is about 1-6 micrometers. The uncured coating film thus obtained is irradiated with ultraviolet rays generated from a mercury lamp or a light emitting diode via a mask for forming a target pattern.

또, 패턴 형성에 있어서, 그 선폭은 마스크 사이즈에 따라, 적절히 제어할 수 있다. In the pattern formation, the line width can be appropriately controlled according to the mask size.

최근의 노광기에서는, 350㎚ 미만의 광을, 당해 파장역을 컷하는 필터를 이용하여 컷하거나 436㎚ 부근, 408㎚ 부근, 365㎚ 부근의 파장의 광을, 당해 파장역을 추출하는 밴드 패스 필터를 이용하여 선택적으로 추출하거나 하여, 노광부 전체에 균일하게 평행 광선이 조사된다. 이 때 마스크와 기판의 정확한 위치 맞춤 이 실시되도록, 마스크 얼라이너나 스테퍼 등의 장치를 사용하는 것이 바람직하다. 또한 이 후, 광 조사가 종료된 도막을 알칼리 수용액에 접촉시켜 비노광부를 용해시켜, 현상함으로써, 목적으로 하는 도막이나 패턴이 얻어진다. 현상 방법은, 액마운팅법, 딥핑법 또는 스프레이법 등의 어느 것이어도 된다. 또한, 현상시에 기판을 임의의 각도로 기울여도 된다. In the recent exposure machine, the bandpass filter which cuts the light of less than 350 nm using the filter which cuts the said wavelength range, or extracts the light of the wavelength range of 436 nm, 408 nm, and 365 nm vicinity is the said wavelength range. It selectively extracts using and irradiates a parallel light beam uniformly to the whole exposure part. At this time, it is preferable to use a device such as a mask aligner or a stepper so that the correct alignment of the mask and the substrate is performed. In addition, the coating film after light irradiation is contacted with aqueous alkali solution, the non-exposed part is melted and developed, and the target coating film and pattern are obtained. The developing method may be any of a liquid mounting method, a dipping method or a spray method. In addition, you may incline a board | substrate at arbitrary angles at the time of image development.

패터닝 노광 후의 현상에 사용하는 현상액은, 통상적으로 알칼리성 화합물과 계면 활성제를 포함하는 수용액이다. The developing solution used for image development after patterning exposure is the aqueous solution containing an alkaline compound and surfactant normally.

알칼리성 화합물은, 무기 또는 유기의 알칼리성 화합물 중 어느 것이어도 된다. The alkaline compound may be either an inorganic or organic alkaline compound.

무기 알칼리성 화합물의 구체예로서는, 수산화 나트륨, 수산화 칼륨, 인산 수소2 나트륨, 인산2 수소 나트륨, 인산 수소2 암모늄, 인산2 수소 암모늄, 인산2 수소 칼륨, 규산 나트륨, 규산 칼륨, 탄산 나트륨, 탄산 칼륨, 탄산 수소 나트륨, 탄산 수소 칼륨, 붕산 나트륨, 붕산 칼륨 또는 암모니아 등을 들 수 있다. Specific examples of the inorganic alkaline compounds include sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium hydrogen phosphate, sodium dihydrogen phosphate, ammonium hydrogen phosphate, ammonium dihydrogen phosphate, potassium dihydrogen phosphate, sodium silicate, potassium silicate, sodium carbonate, potassium carbonate, Sodium hydrogen carbonate, potassium hydrogen carbonate, sodium borate, potassium borate or ammonia and the like.

또, 유기 알칼리성 화합물의 구체예로서는, 테트라메틸암모늄히드록시드, 2-히드록시에틸트리메틸암모늄히드록시드, 모노메틸아민, 디메틸아민, 트리메틸아민, 모노에틸아민, 디에틸아민, 트리에틸아민, 모노이소프로필아민, 디이소프로필아민 또는 에탄올아민 등을 들 수 있다. 이들 무기 및 유기 알칼리성 화합물은, 각각 단독으로 또는 2 종 이상 조합하여 사용할 수 있다. 알칼리 현상액 중의 알칼리성 화합물의 농도는, 바람직하게는 0.01 ∼ 10질량% 이고, 보다 바람직하게는 0.03 ∼ 5질량% 이다. Moreover, as a specific example of an organic alkaline compound, tetramethylammonium hydroxide, 2-hydroxyethyl trimethylammonium hydroxide, monomethylamine, dimethylamine, trimethylamine, monoethylamine, diethylamine, triethylamine, mono Isopropylamine, diisopropylamine, ethanolamine, etc. are mentioned. These inorganic and organic alkaline compounds can be used individually or in combination of 2 or more types, respectively. The concentration of the alkaline compound in the alkaline developer is preferably 0.01 to 10% by mass, more preferably 0.03 to 5% by mass.

또 알칼리 현상액 중의 계면 활성제는, 노니온계 계면 활성제 또는 아니온계 계면 활성제 또는 카티온계 계면 활성제 중 어느 것이어도 된다. Moreover, any of nonionic surfactant, anionic surfactant, or cationic surfactant may be sufficient as surfactant in alkaline developing solution.

노니온계 계면 활성제의 구체예로서는, 폴리옥시에틸렌알킬에테르, 폴리옥시에틸렌아릴에테르, 폴리옥시에틸렌알킬아릴에테르, 그 밖의 폴리옥시에틸렌 유도체, 옥시에틸렌/옥시프로필렌 블록 코폴리머, 소르비탄 지방산 에스테르, 폴리옥시에틸렌소르비탄 지방산 에스테르, 폴리옥시에틸렌소르비톨 지방산 에스테르, 글리세린 지방산 에스테르, 폴리옥시에틸렌 지방산 에스테르, 폴리옥시에틸렌알킬아민 등을 들 수 있다. Specific examples of nonionic surfactants include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene aryl ethers, polyoxyethylene alkylaryl ethers, other polyoxyethylene derivatives, oxyethylene / oxypropylene block copolymers, sorbitan fatty acid esters, and polyoxy Ethylene sorbitan fatty acid ester, polyoxyethylene sorbitol fatty acid ester, glycerin fatty acid ester, polyoxyethylene fatty acid ester, polyoxyethylene alkylamine, etc. are mentioned.

아니온계 계면 활성제의 구체예로서는, 라우릴알코올 황산 에스테르나트륨이나 올레일알코올 황산 에스테르나트륨 등의 고급 알코올 황산 에스테르염류, 라우릴 황산 나트륨이나 라우릴 황산 암모늄 등의 알킬황산염류, 도데실벤젠술폰산 나트륨이나 도데실나프탈렌술폰산 나트륨 등의 알킬아릴술폰산염류 등을 들 수 있다. Specific examples of the anionic surfactant include higher alcohol sulfate ester salts such as sodium lauryl alcohol sulfate and sodium oleyl alcohol sulfate, alkyl sulfates such as sodium lauryl sulfate and ammonium lauryl sulfate, sodium dodecylbenzenesulfonate, Alkyl aryl sulfonates, such as sodium dodecyl naphthalene sulfonate, etc. are mentioned.

카티온계 계면 활성제의 구체예로서는, 스테아릴아민염산염이나 라우릴트리메틸암모늄클로라이드 등의 아민염 또는 제 4 급 암모늄염 등을 들 수 있다.Specific examples of the cationic surfactants include amine salts such as stearylamine hydrochloride and lauryl trimethylammonium chloride, and quaternary ammonium salts.

이들 계면 활성제는, 각각 단독으로 사용할 수도, 또 2 종 이상 조합하여 사용할 수도 있다. These surfactants may be used alone, or may be used in combination of two or more thereof.

알칼리 현상액 중의 계면 활성제의 농도는, 바람직하게는 0.01 ∼ 10질량% 의 범위, 보다 바람직하게는 0.05 ∼ 8질량%, 보다 바람직하게는 0.1 ∼ 5질량% 이다. The density | concentration of surfactant in alkaline developing solution becomes like this. Preferably it is the range of 0.01-10 mass%, More preferably, it is 0.05-8 mass%, More preferably, it is 0.1-5 mass%.

현상 후, 수세를 실시하고, 추가로 필요에 따라, 150 ∼ 230℃ 에서 10 ∼ 180 분의 포스트 베이크를 실시할 수도 있다. After image development, water washing is performed and the post-baking for 10 to 180 minutes can also be performed at 150-230 degreeC further as needed.

본 발명의 중합성 수지 조성물을 이용하여, 이상과 같은 각 공정을 거쳐, 기판상 혹은 칼라 필터 기판 상에 패턴을 형성할 수 있다. 이 패턴은, 액정 표시 장치에 사용되는 포토 스페이서나 패터닝 가능한 오버코트로서 유용하다. 또, 미경화 도막에 대한 패터닝 노광시에, 홀 형성용 포토마스크를 사용하면, 홀을 형성할 수 있고, 층간 절연막으로서 유용하다. 그리고, 미경화 도막에 대한 노광시에, 포토마스크를 사용하지 않고 전체면 노광 및 가열 경화, 혹은 가열 경화만으로 투명막을 형성할 수 있고, 이 투명막은 오버코트로서 유용하며, 또, 터치 패널에도 사용할 수 있다. Using the polymerizable resin composition of this invention, a pattern can be formed on a board | substrate or a color filter substrate through each above process. This pattern is useful as a photo spacer and a patternable overcoat used for a liquid crystal display device. In the case of patterning exposure to an uncured coating film, when a photomask for forming a hole is used, holes can be formed, which is useful as an interlayer insulating film. At the time of exposure to the uncured coating film, a transparent film can be formed only by whole surface exposure and heat curing or heat curing without using a photomask, and this transparent film is useful as an overcoat and can also be used for a touch panel. have.

이렇게 하여 얻어지는 도막이나 패턴을 액정 표시 장치 등의 표시 장치에 장착시킴으로써, 우수한 품질의 표시 장치를 높은 수율로 제조할 수 있다. By attaching the coating film and pattern obtained in this way to display apparatuses, such as a liquid crystal display device, the display apparatus of the outstanding quality can be manufactured with high yield.

본 발명에 의하면, 노광시에 436㎚ 부근, 408㎚ 부근, 365㎚ 부근의 파장의 광에 충분한 감도를 갖고, 또한 투과율이 높은 도막 또는 패턴을 형성할 수 있게 된다. According to the present invention, it is possible to form a coating film or a pattern having a sufficient sensitivity for light having a wavelength of around 436 nm, around 408 nm, and around 365 nm at the time of exposure.

실시예 Example

이하, 본 발명을 실시예에 기초하여 보다 상세하게 설명하는데, 본 발명이 실시예에 의해 한정되는 것이 아닌 것은 말할 필요도 없다. 예 중, 함유량 내지 사용량을 나타내는 % 및 부는, 특별히 언급이 없는 한 질량 기준이다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, although this invention is demonstrated in detail based on an Example, it cannot be overemphasized that this invention is not limited by an Example. In the examples,% and parts indicating content to the amount of use are based on mass unless otherwise specified.

(수지 Aa 의 합성예) (Synthesis example of resin Aa)

환류 냉각기, 적하 깔때기 및 교반기를 구비한 1ℓ 의 플라스크 내에 질소를 0.02ℓ/분으로 흘려 질소 분위기로 하고, 3-메톡시-1-부탄올 200부 및 3-메톡시부틸아세테이트 105부를 넣고, 교반하면서 70℃ 까지 가열하였다. 이어서, 메타크릴산 60부, 3,4-에폭시트리시클로[5.2.1,02.6]데실아크릴레이트 (식 (II-1) 로 나타내는 화합물 및 식 (III-1) 로 나타내는 화합물을, 몰비로 50:50 으로 혼합) 240부 및 3-메톡시부틸아세테이트 140부에 용해시켜 용액을 조제하고, 그 용해액을 적하 깔때기를 이용하여 4 시간에 걸쳐, 70℃ 로 보온한 플라스크 내에 적하시켰다. 한편, 중합 개시제 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 30부를 3-메톡시부틸아세테이트 225부에 용해시킨 용액을, 다른 적하 깔때기를 이용하여 4 시간에 걸쳐 플라스크 내에 적하시켰다. 중합 개시제의 용액의 적하가 종료된 후, 4 시간, 70℃ 로 유지하고, 그 후 실온까지 냉각시켜, 고형분 32.6%, 산가 110mg-KOH/g (고형분 환산) 의 공중합체 (수지 Aa) 의 용액을 얻었다. 얻어진 수지 Aa 의 중량 평균 분자량 Mw 는, 1.3×104, 분산도는 2.50 이었다. Into a 1 L flask equipped with a reflux cooler, a dropping funnel and a stirrer, nitrogen was flowed at 0.02 L / min to a nitrogen atmosphere, 200 parts of 3-methoxy-1-butanol and 105 parts of 3-methoxybutyl acetate were added and stirred. Heated to 70 ° C. Subsequently, 60 parts of methacrylic acid, 3,4-epoxytricyclo [5.2.1,0 2.6 ] decyl acrylate (compound represented by formula (II-1) and compound represented by formula (III-1) are molar ratios. 240 parts and 140 parts of 3-methoxybutyl acetates were dissolved, the solution was prepared, and the solution was dripped in the flask kept at 70 degreeC over 4 hours using the dropping funnel. On the other hand, the solution which melt | dissolved 30 parts of polymerization initiators 2,2'- azobis (2, 4- dimethylvaleronitrile) in 225 parts of 3-methoxybutyl acetate was dripped at the flask over 4 hours using another dropping funnel. I was. After completion of the dropwise addition of the solution of the polymerization initiator, the mixture was kept at 70 ° C for 4 hours, then cooled to room temperature, and then a solution of a copolymer (resin Aa) having a solid content of 32.6% and an acid value of 110 mg-KOH / g (solid content conversion). Got. The weight average molecular weight Mw of obtained resin Aa was 1.3 * 10 <4> , and dispersion degree was 2.50.

Figure 112008078584396-PAT00010
Figure 112008078584396-PAT00010

(수지 Ab 의 합성예) (Synthesis example of resin Ab)

환류 냉각기, 적하 깔때기 및 교반기를 구비한 1ℓ 의 플라스크 내에 질소를 0.02ℓ/분으로 흘려 질소 분위기로 하고, 3-메톡시-1-부탄올 200부 및 3-메톡시부틸아세테이트 105부를 넣고, 교반하면서 70℃ 까지 가열하였다. 이어서, 메타 크릴산 55부, 3,4-에폭시트리시클로[5.2.1.02.6]데실아크릴레이트 (식 (II-1) 로 나타내는 화합물 및 식 (III-1) 로 나타내는 화합물을, 몰비로 50:50 인 혼합물) 175부 그리고 N-시클로헥실말레이미드 70부를, 3-메톡시부틸아세테이트 140부에 용해시켜 용액을 조제하고, 그 용해액을 적하 펌프를 이용하여 4 시간에 걸쳐, 70℃ 로 보온한 플라스크 내에 적하시켰다. Into a 1 L flask equipped with a reflux cooler, a dropping funnel and a stirrer, nitrogen was flowed at 0.02 L / min to a nitrogen atmosphere, 200 parts of 3-methoxy-1-butanol and 105 parts of 3-methoxybutyl acetate were added and stirred. Heated to 70 ° C. Subsequently, 55 parts of methacrylic acid, 3,4-epoxytricyclo [5.2.1.0 2.6 ] decyl acrylate (a compound represented by the formula (II-1) and a compound represented by the formula (III-1)) in a molar ratio of 50: 50 phosphorus mixture) 175 parts and 70 parts of N-cyclohexyl maleimide were dissolved in 140 parts of 3-methoxybutyl acetate to prepare a solution, and the solution was kept at 70 ° C over 4 hours using a dropping pump. It was dripped in one flask.

한편, 중합 개시제 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 30부를 3-메톡시부틸아세테이트 225부에 용해시킨 용액을, 다른 적하 펌프를 이용하여 5 시간에 걸쳐 플라스크 내에 적하시켰다. 중합 개시제의 용액의 적하가 종료된 후, 4 시간, 70℃ 로 유지하고, 그 후 실온까지 냉각시켜, 고형분 32.6%, 산가 34.3mg-KOH/g 의 공중합체 (수지 Ab) 의 용액을 얻었다. 얻어진 수지 Ab 의 중량 평균 분자량 (Mw) 은 1.4×104, 수평균 분자량 (Mn) 은, 5.4×103, 분산도는 2.5 였다. On the other hand, the solution which melt | dissolved 30 parts of polymerization initiators 2,2'- azobis (2, 4- dimethylvaleronitrile) in 225 parts of 3-methoxybutyl acetates is dripped in the flask over 5 hours using another dropping pump. I was. After completion of the dropwise addition of the solution of the polymerization initiator, the mixture was kept at 70 ° C for 4 hours, and then cooled to room temperature, thereby obtaining a solution of a copolymer (resin Ab) having a solid content of 32.6% and an acid value of 34.3 mg-KOH / g. As for the weight average molecular weight (Mw) of obtained resin Ab, 1.4 * 10 <4> and number average molecular weight (Mn) were 5.4 * 10 <3> and dispersion degree was 2.5.

(수지 Ac 의 합성예) (Synthesis example of resin Ac)

환류 냉각기, 적하 깔때기 및 교반기를 구비한 1ℓ 의 플라스크 내에 질소를 0.02ℓ/분으로 흘려 질소 분위기로 하고, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 250부를 첨가하여 교반하면서 70℃ 까지 가열하였다. 이어서, 메타크릴산 52.6부, 메타크릴산 메틸을 105.2부, 메타크릴산 벤질을 29.9부 그리고 N-벤질말레이미드 29.9부를, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트에 용해시켜 용액을 조제하고, 그 용해액을 적하 펌프를 이용하여 4 시간에 걸쳐, 70℃ 로 보온한 플라스크 내에 적하시켰다. Into a 1 L flask equipped with a reflux cooler, a dropping funnel and a stirrer, nitrogen was flowed at 0.02 L / min to a nitrogen atmosphere, and 250 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate was added and heated to 70 ° C while stirring. Subsequently, 52.6 parts of methacrylic acid, 105.2 parts of methyl methacrylate, 29.9 parts of benzyl methacrylate and 29.9 parts of N-benzylmaleimide were dissolved in propylene glycol monomethyl ether acetate to prepare a solution, and the solution was dissolved. It was dripped at the flask kept at 70 degreeC over 4 hours using the dropping pump.

한편, 중합 개시제 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 30부를 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 164부에 용해시킨 용액을, 다른 적하 펌프를 이용하여 5 시간에 걸쳐 플라스크 내에 적하시켰다. 중합 개시제의 용액의 적하가 종료된 후, 4 시간, 70℃ 로 유지하고, 그 후 실온까지 냉각시켰다. On the other hand, the solution which melt | dissolved 30 parts of polymerization initiator 2,2'- azobis (2, 4- dimethylvaleronitrile) in 164 parts of propylene glycol monomethyl ether acetates was dripped in the flask over 5 hours using another dropping pump. I was. After dripping of the solution of a polymerization initiator was complete | finished, it hold | maintained at 70 degreeC for 4 hours, and cooled to room temperature after that.

이어서, 이 반응액에 메타크릴산 글리시딜 37.4부, 촉매로서 취하고 있는 아민(1,8-디아자비시클로[5.4.0]운데센-7) 0.5부, 중합 금지제로서 2,2'-메틸렌비스(4-메틸-6-t-부틸페놀) 0.2부를 추가하고, 5% 산소 농도로 조정한 공기, 질소 혼합 가스를 200㎖/분의 유량으로 버블링하면서 4 시간 100℃ 에서 보온한 후, 냉각시켜, 고형분 42.0%, 산가 28.9mg-KOH/g 의 공중합체 (수지 Ac) 의 용액을 얻었다. 얻어진 수지 Ac 의 중량 평균 분자량 (Mw) 은 8.2×103, 수평균 분자량 (Mn) 은 4.7×103, 분산도는 1.8 이었다. Next, 37.4 parts of glycidyl methacrylate, 0.5 part of amine (1,8- diazabicyclo [5.4.0] undecene-7) taken as a catalyst, and 2,2'- as a polymerization inhibitor were added to this reaction liquid. 0.2 part of methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol) was added, and the mixture was kept at 100 ° C for 4 hours while bubbling air and nitrogen gas mixture adjusted to 5% oxygen concentration at a flow rate of 200 ml / min. It cooled, and obtained the solution of the copolymer (resin Ac) of 42.0% of solid content, and the acid value of 28.9 mg-KOH / g. The weight average molecular weight (Mw) of the obtained resin Ac was 8.2x10 <3> , the number average molecular weight (Mn) was 4.7x10 <3> , and dispersion degree was 1.8.

(분자량의 측정) (Measurement of molecular weight)

수지 Aa ∼ 수지 Ac 의 중량 평균 분자량 (Mw) 및 수평균 분자량 (Mn) 의 측정에 대해서는, GPC 법을 이용하여, 이하의 조건으로 실시하였다. About the measurement of the weight average molecular weight (Mw) and number average molecular weight (Mn) of resin Aa-resin Ac, it implemented on the following conditions using GPC method.

장치 ; K2479 ((주) 시마즈 제작소 제조) Device ; K2479 (manufactured by Shimadzu Corporation)

칼럼 ; SHIMADZU Shim-pack GPC-80Mcolumn ; SHIMADZU Shim-pack GPC-80M

칼럼 온도 ; 40℃ Column temperature; 40 ℃

용매 ; THF (테트라히드로푸란)Solvent; THF (tetrahydrofuran)

유속 ; 1.0㎖/min Flow rate; 1.0ml / min

검출기 ; RIDetector; RI

상기에서 얻어진 폴리스티렌 환산 중량 평균 분자량 및 수평균 분자량의 비를 분산도 (Mw/Mn) 로 하였다. The ratio of the polystyrene reduced weight average molecular weight and number average molecular weight obtained above was made into dispersion degree (Mw / Mn).

(실시예 1)(Example 1)

[중합성 수지 조성물 1 의 합성] [Synthesis of Polymerizable Resin Composition 1]

수지 Aa 의 용액 153부 (고형분 환산 50부), 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트 (KAYARADDPHA ; 닛폰 화약 (주) 제조) (B) 50부, 2,2'-비스(2-클로로페닐)-4, 4',5,5'-테트라페닐-1,2'-비이미다졸 (B-CIM ; 호도가야 화학 (주) 제조) (C) 4부, 9,10-디부톡시안트라센 (DBA ; 카와사키 카세이 (주) 제조) (D) 1부, 펜타에리트리톨테트라키스티오프로피오네이트 (PEMP ; 사카이 화학 공업 (주) 제조) (T) 3부, 3-에톡시에틸프로피오네이트 (D) 88부, 3-메톡시-1-부탄올 (D) 5부, 3-메톡시부틸아세테이트 (D) 65부를 혼합하여 중합성 수지 조성물 1 을 얻었다. 153 parts of solution of Resin Aa (50 parts in terms of solid content), dipentaerythritol hexaacrylate (KAYARADDPHA; manufactured by Nippon Gunpowder Co., Ltd.) (B) 50 parts, 2,2'-bis (2-chlorophenyl) -4 , 4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole (B-CIM; manufactured by Hodogaya Chemical Co., Ltd.) (C) 4 parts, 9,10-dibutoxyanthracene (DBA; Kawasaki Kasei Co., Ltd.) (D) 1 part, pentaerythritol tetrakistiopionate (PEMP; Sakai Chemical Industries, Ltd.) (T) 3 parts, 3-ethoxyethyl propionate (D) 88 5 parts of 3-methoxy-1-butanol (D) and 65 parts of 3-methoxybutyl acetate (D) were mixed to obtain a polymerizable resin composition 1.

[패턴 1 의 제작] [Production of Pattern 1]

가로 세로 2 인치인 유리 기판 (#1737 ; 코닝사 제조) 을 중성 세제, 물 및 알코올로 순차 세정하고 나서 건조시켰다. 이 유리 기판 상에, 중합성 수지 조성물 1 을 200mJ/㎠ 의 노광량 (405㎚) 으로 노광하고, 현상, 수세, 포스트 베이크 후의 막 두께가 3.0㎛ 가 되도록 스핀 코트하고, 다음으로 클린 오븐 중, 100℃ 에서 3 분간 프리 베이크하였다. 냉각 후, 이 중합성 수지 조성물 1 을 도포한 기판과 석영 유리제 포토마스크의 간격을 10㎛ 로 하여, 노광기 (TME-150 RSK ; 탑콘 (주) 제, 광원 ; 초고압 수은등) 를 이용하여, 대기 분위기하, 200mJ/㎠ 의 노 광량 (405㎚ 기준) 으로 광조사하였다. 또한, 이 때의 중합성 수지 조성물 1 에 대한 조사는, 초고압 수은등으로부터의 방사광을, 광학 필터 (LU0400 ; 아사히 분광 (주) 제조) 를 통과시켜, 400㎚ 이하의 광을 컷하여 사용하였다. 한 변이 10㎛ 인 정방형의 투광부를 갖고, 당해 정방형의 간격이 100㎛ 인 포토마스크를 이용하여, 노광을 실시하였다. A glass substrate (# 1737; manufactured by Corning Corporation) having a length of 2 inches was washed sequentially with a neutral detergent, water, and alcohol, and then dried. On this glass substrate, polymeric resin composition 1 is exposed by the exposure amount (405 nm) of 200mJ / cm <2>, spin-coating so that the film thickness after image development, water washing, and postbaking may be set to 3.0 micrometers, and it is next in a clean oven. It prebaked for 3 minutes at ° C. After cooling, the space | interval of the board | substrate which apply | coated this polymeric resin composition 1, and the quartz glass photomask was set to 10 micrometers, and air atmosphere was used using the exposure machine (TME-150RSK; Topcon Co., Ltd. light source, ultrahigh pressure mercury lamp). The light was irradiated with a light exposure amount (405 nm standard) of 200 mJ / cm 2. In addition, irradiation with the polymeric resin composition 1 at this time passed the light emitted from an ultrahigh pressure mercury lamp through an optical filter (LU0400; Asahi Spectrometer), and cut and used the light of 400 nm or less. Exposure was performed using the photomask whose one side has a square light-transmitting part of 10 micrometers, and the said square space | interval is 100 micrometers.

광조사 후, 비이온계 계면 활성제 0.12% 와 수산화 칼륨 0.04% 를 함유하는 수계 현상액에 상기 도막을 25℃ 에서 100 초간 침지시켜 현상하고, 수세 후, 오븐중, 220℃ 에서 20 분간 포스트 베이크를 실시하여, 패턴 1 을 얻었다. After light irradiation, the coating film was immersed in an aqueous developer containing 0.12% of a nonionic surfactant and 0.04% of potassium hydroxide at 25 ° C. for 100 seconds for development. After washing with water, post-baking was carried out at 220 ° C. for 20 minutes in an oven. Thus, pattern 1 was obtained.

Figure 112008078584396-PAT00011
Figure 112008078584396-PAT00011

(표 1 의 수치의 단위는 부이다)(Units in numerical values in Table 1 are negative)

(실시예 2)(Example 2)

표 1 에 나타내는 조성이 되도록, 실시예 1 과 동일하게 하여, 중합성 수지 조성물 2 및 패턴 2 를 얻었다. Polymerizable resin composition 2 and pattern 2 were obtained like Example 1 so that it may become a composition shown in Table 1.

(실시예 3)(Example 3)

표 1 에 나타내는 조성이 되도록, 실시예 1 과 동일하게 하여, 중합성 수지 조성물 3 및 패턴 3 을 얻었다. The polymerizable resin composition 3 and the pattern 3 were obtained like Example 1 so that it might become the composition shown in Table 1.

(비교예 1)(Comparative Example 1)

표 1 에 나타내는 조성이 되도록, 식 (I-1) 및 식 (I-2) 로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종으로 나타내는 화합물 대신에 4,4'-비스디에틸아미노벤조페논 (EAB-F) 을 사용한 것 이외에는, 실시예 1 와 동일하게 하여, 중합성 수지 조성물 4 및 패턴 4 를 얻었다. 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone (EAB-F) instead of the compound represented by at least 1 sort (s) chosen from the group which consists of Formula (I-1) and Formula (I-2) so that it may become a composition shown in Table 1. Polymerizable resin composition 4 and the pattern 4 were obtained like Example 1 except having used).

(비교예 2 ∼ 비교예 9) (Comparative Example 2-Comparative Example 9)

표 1 에 나타내는 조성이 되도록, 식 (I-1) 및 식 (I-2) 로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종으로 나타내는 화합물 대신에 기재된 화합물을 사용한 것 이외에는, 실시예 1 과 동일하게 하여, 중합성 수지 조성물 5 ∼ 중합성 수지 조성물 12 및 패턴 5 ∼ 패턴 12 를 얻었다. Except having used the compound described instead of the compound represented by at least 1 sort (s) chosen from the group which consists of Formula (I-1) and Formula (I-2) so that it may become a composition shown in Table 1, it carried out similarly to Example 1, Polymerizable resin composition 5-polymeric resin composition 12 and pattern 5-pattern 12 were obtained.

중합성 수지 조성물 1 ∼ 중합성 수지 조성물 12 및 패턴 1 ∼ 패턴 12 에 대해, 이하의 평가를 실시하여 결과를 표 2 에 나타냈다. About the polymeric resin composition 1-polymeric resin composition 12 and the patterns 1-pattern 12, the following evaluation was performed and the result was shown in Table 2.

<용해성>Solubility

중합성 조성물을 육안으로 관찰하여, 불용물이 없는 경우를 ○, 불용물이 있는 경우를 × 로 하였다. The polymerizable composition was visually observed, and the case where there was no insoluble matter was defined as ○ and the case where there was an insoluble matter was ×.

<패턴><Pattern>

노광량 100mJ/㎠, 220℃ 에서 20 분의 조건으로 포스트 베이크하여 얻어진 패턴을, 주사 전자현미경 (S-4100 ; (주) 히타치 제작소 제조) 을 이용하여 단면 관찰하였다. The pattern obtained by post-baking on exposure amount 100mJ / cm <2> and 220 degreeC on the conditions of 20 minutes was observed with a cross section using the scanning electron microscope (S-4100; the Hitachi Corporation make).

(하부 바닥면의 크기≥ 상부 바닥면의 크기) 인 경우를 ○, (하부 바닥면의 크기 < 상부 바닥면의 크기) 인 경우를 ×, 패턴 박리가 발생한 경우를 ― 로 하였다. (Circle) and the case where pattern peeling generate | occur | produced (circle) and the case of (size of lower bottom surface <size of upper bottom surface) for the case of (size of lower bottom surface≥ size of upper bottom surface).

<잔막 감도><Remnant Sensitivity>

패턴의 평가와 동일한 조작을 실시하여, 노광량 100mJ/㎠ 및 200mJ/㎠ 의 패턴을 형성하였다. 각각의 포스트 베이크 후의 패턴 높이를, 삼차원 비접촉 표면 형상 계측 시스템 (Micromap MM527N-PS-M100 ; (주) 료카 시스템사 제조) 으로 계측하였다. 하기 식 (1) 에 의해 잔막 감도를 산출하였다. The same operation as the evaluation of the pattern was carried out to form patterns of exposure amounts of 100 mJ / cm 2 and 200 mJ / cm 2. The pattern height after each post-baking was measured by the three-dimensional non-contact surface shape measuring system (Micromap MM527N-PS-M100; Ryka System Co., Ltd. make). Residual film sensitivity was computed by following formula (1).

잔막 감도 (%)=100×(노광량 100mJ/㎠ 에 있어서의 높이) Residual film sensitivity (%) = 100 × (height in exposure amount 100mJ / cm 2)

/(노광량 200mJ/㎠ 에 있어서의 높이) (1)                    / (Height in exposure amount 200mJ / ㎠) (1)

잔막 감도 (%) 의 수치가 클수록, 패턴 높이의 노광량 의존성이 작고, 프로세스 마진이 넓기 때문에 양호하다. The larger the numerical value of the residual film sensitivity (%), the smaller the exposure dose dependency of the pattern height and the better the process margin.

<투과율><Transmittance>

중합성 수지 조성물을 이용하여, 포스트 베이크 후의 막 두께가 3.0㎛ 가 되도록 경화막을 제작하였다. 그 경화막의 제작 도중에 있어서, 프리 베이크 후, 노광 후 및 포스트 베이크 후의 각 단계에 대해, 현미 분광 측광 장치 (OSP-SP200 ; OLYMPUS 사 제조) 를 이용하여, 400㎚ 에 있어서의 투과율 (%) 을 측정하였다. Using the polymeric resin composition, the cured film was produced so that the film thickness after post-baking might be set to 3.0 micrometers. In the middle of preparation of the cured film, the transmittance | permeability (%) in 400 nm is measured using the microscopic spectrophotometer (OSP-SP200; OLYMPUS company) about each step after prebaking, after exposure, and postbaking. It was.

투과율이 높아지는 것은, 흡수가 작아지는 것을 의미한다. 패턴 박리가 발생했기 때문에 측정할 수 없는 경우에는 ― 로 하였다. Higher transmittance means less absorption. It was set as-when it was not able to measure because pattern peeling occurred.

Figure 112008078584396-PAT00012
Figure 112008078584396-PAT00012

표 2 에 나타내는 실시예 1 ∼ 3 의 결과로부터, 특정 구조의 개시 보조제를 함유하는 본 발명의 중합성 수지 조성물을 사용하면, 패턴이 양호하고, 감도와 투과율의 밸런스가 우수한 패턴 및 도막이 얻어지는 것을 알 수 있다. 한편, 비교예 1 은, 감도는 양호하지만 투과가 낮고, 비교예 9 는, 감도, 투과율 모두 낮고, 비교예 2 ∼ 8 은, 패턴의 박리가 발생되어 있어, 잔막 감도와 투과율의 쌍방이 높은 것을 얻을 수 없었다. From the results of Examples 1-3 shown in Table 2, when using the polymeric resin composition of this invention containing the starting adjuvant of a specific structure, it turns out that a pattern is favorable and the pattern and coating film which are excellent in the balance of a sensitivity and a transmittance | permeability are obtained. Can be. On the other hand, Comparative Example 1 had good sensitivity but low transmission, Comparative Example 9 had both low sensitivity and low transmittance, and Comparative Examples 2 to 8 had peeling of the pattern, indicating that both of the residual film sensitivity and the transmittance were high. Could not get

본 발명의 중합성 수지 조성물은, 패턴이 양호하고, 감도와 투과율의 밸런스가 우수한 도막 및 패턴을 형성할 수 있고, 오버 코트, 포토 스페이서, 절연막, 액정 배향 제어용 돌기, 착색 패턴의 막 두께를 맞추기 위한 코트층 등, 표시 장치에 사용되는 막의 형성에 바람직하게 사용할 수 있다. The polymeric resin composition of this invention can form the coating film and pattern which have a favorable pattern, and is excellent in the balance of a sensitivity and a transmittance | permeability, and match | match the film thickness of an overcoat, a photo spacer, an insulating film, the liquid crystal orientation control protrusion, and a coloring pattern. It can use suitably for formation of the film used for a display apparatus, such as a coating layer for these.

본 발명의 중합성 수지 조성물에 의하면, 노광시에 436㎚ 부근, 408㎚ 부근, 365㎚ 부근의 파장의 광에 충분한 감도를 갖고, 또한 투과율의 높은 도막 또는 패턴을 형성할 수 있다. According to the polymeric resin composition of this invention, it can form the coating film or pattern which has sufficient sensitivity to light of the wavelength of 436 nm, 408 nm, and 365 nm vicinity at the time of exposure, and has a high transmittance | permeability.

Claims (8)

알칼리 가용성 수지 (A), 중합성 화합물 (B), 개시제 (C), 개시 보조제 (D) 및 용제 (E) 를 함유하고, 개시 보조제 (D) 가 식 (I-1) 및 식 (I-2) 로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종으로 나타내는 화합물을 함유하는 화합물인 중합성 수지 조성물.Alkali-soluble resin (A), a polymeric compound (B), an initiator (C), an initiator adjuvant (D), and a solvent (E) are contained, and an initiator adjuvant (D) is a formula (I-1) and a formula (I-) Polymeric resin composition which is a compound containing the compound represented by at least 1 sort (s) chosen from the group which consists of 2).
Figure 112008078584396-PAT00013
Figure 112008078584396-PAT00013
[식 (I-1) 및 식 (I-2) 중, 고리 X1, 고리 X2 및 고리 X3 은 각각 독립적으로 탄소수 6 ∼ 12 의 방향 고리를 나타낸다. Y1 ∼ Y4 는 각각 독립적으로 산소 원자 또는 황 원자를 나타낸다. R1 ∼ R4 는 각각 독립적으로 탄소수 1 ∼ 12 의 알킬기 또는 탄소수 6 ∼ 12 의 아릴기를 나타낸다. [In Formula (I-1) and Formula (I-2), ring X 1 , ring X 2, and ring X 3 each independently represent an aromatic ring having 6 to 12 carbon atoms. Y 1 to Y 4 each independently represent an oxygen atom or a sulfur atom. R 1 to R 4 each independently represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an aryl group having 6 to 12 carbon atoms. 그 방향 고리, 그 알킬기 및 그 아릴기에 함유되는 메틸렌기는 산소 원자, -NH- 또는 황 원자로 치환되어 있어도 되고, 그 방향 고리, 그 알킬기 및 그 아릴기에 함유되는 수소 원자는 할로겐 원자로 치환되어도 된다.] The methylene group contained in the aromatic ring, the alkyl group and the aryl group may be substituted with an oxygen atom, -NH- or a sulfur atom, and the hydrogen atom contained in the aromatic ring, the alkyl group and the aryl group may be substituted with a halogen atom.]
제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 개시제 (C) 가, 비이미다졸계 화합물, 아세토페논계 화합물, 트리아진계 화합물, 아실포스핀옥사이드계 화합물 및 옥심계 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 화합물을 함유하는 화합물인 중합성 수지 조성물. Polymeric resin whose initiator (C) is a compound containing at least 1 sort (s) of compound chosen from the group which consists of a biimidazole type compound, an acetophenone type compound, a triazine type compound, an acylphosphine oxide type compound, and an oxime type compound. Composition. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 알칼리 가용성 수지 (A) 가 에폭시기 및 옥세타닐기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종의 기를 갖는 수지인 중합성 수지 조성물. Polymeric resin composition whose alkali-soluble resin (A) is resin which has at least 1 sort (s) of group chosen from the group which consists of an epoxy group and an oxetanyl group. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 알칼리 가용성 수지 (A) 가 반응성 이중 결합을 갖는 수지인 중합성 수지 조성물. Polymeric resin composition whose alkali-soluble resin (A) is resin which has a reactive double bond. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 4, 개시 보조제 (D) 가 추가로 다관능 티올 화합물 (T) 를 함유하는 화합물인 중합성 수지 조성물. Polymeric resin composition whose starting aid (D) is a compound which further contains a polyfunctional thiol compound (T). 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 기재된 중합성 수지 조성물을 이용하여 형성되는 도막. The coating film formed using the polymeric resin composition of any one of Claims 1-5. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 기재된 중합성 수지 조성물을 이용하 여 형성되는 패턴.The pattern formed using the polymeric resin composition of any one of Claims 1-5. 제 6 항에 기재된 도막 및 제 7 항에 기재된 패턴으로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종을 포함하는 표시 장치. A display device comprising at least one member selected from the group consisting of the coating film according to claim 6 and the pattern according to claim 7.
KR1020080112920A 2007-11-16 2008-11-13 Polymerizable resin composition KR101529728B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007297730 2007-11-16
JPJP-P-2007-297730 2007-11-16

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20090050968A true KR20090050968A (en) 2009-05-20
KR101529728B1 KR101529728B1 (en) 2015-06-17

Family

ID=40709327

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080112920A KR101529728B1 (en) 2007-11-16 2008-11-13 Polymerizable resin composition

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5353177B2 (en)
KR (1) KR101529728B1 (en)
CN (1) CN101434682B (en)
TW (1) TWI431418B (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140020759A (en) * 2012-08-09 2014-02-19 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 Curable resin composition

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5660774B2 (en) * 2009-11-04 2015-01-28 住友化学株式会社 Colored photosensitive resin composition, coating film, pattern and display device
JP2013148804A (en) * 2012-01-23 2013-08-01 Sumitomo Chemical Co Ltd Photosensitive resin composition
TWI485524B (en) * 2013-08-30 2015-05-21 Everlight Chem Ind Corp Photosensitive resin composition and use thereof
JP6769053B2 (en) * 2016-03-11 2020-10-14 住友化学株式会社 Polymerizable resin composition
JP7145362B2 (en) * 2017-10-26 2022-10-03 エア・ウォーター・パフォーマンスケミカル株式会社 Radically photopolymerizable composition containing anthracene-based radical photopolymerization sensitizer and naphthalene-based radical photopolymerization sensitizer
JP7227738B2 (en) * 2018-11-07 2023-02-22 サカタインクス株式会社 FILM-FORMING COMPOSITION, GLASS SUBSTRATE COATING THE FILM-FORMING COMPOSITION, AND TOUCH PANEL USING THE GLASS SUBSTRATE

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005121775A (en) * 2003-10-15 2005-05-12 Sumitomo Chemical Co Ltd Photosensitive resin composition
DE602004001116T2 (en) * 2003-10-15 2006-10-05 Nippon Oil Corp. Polymerizable liquid-crystal mixture and liquid-crystal film produced therefrom
JP4428151B2 (en) * 2004-06-23 2010-03-10 Jsr株式会社 Radiation-sensitive composition for forming colored layer and color filter
US8105759B2 (en) * 2005-07-05 2012-01-31 Hitachi Chemical Company, Ltd. Photosensitive resin composition, and, photosensitive element, method for forming resist pattern, method for manufacturing printed wiring board and method for manufacturing partition wall for plasma display panel using the composition
JP5098643B2 (en) * 2005-08-30 2012-12-12 Jsr株式会社 Radiation-sensitive resin composition and method for producing plated model
JP4752656B2 (en) * 2005-09-09 2011-08-17 日立化成工業株式会社 Photosensitive resin composition, photosensitive element, resist pattern forming method using these, and printed wiring board manufacturing method
JP4650630B2 (en) * 2005-10-07 2011-03-16 Jsr株式会社 Radiation sensitive resin composition for spacer, spacer, and formation method thereof

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20140020759A (en) * 2012-08-09 2014-02-19 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 Curable resin composition

Also Published As

Publication number Publication date
CN101434682A (en) 2009-05-20
JP5353177B2 (en) 2013-11-27
CN101434682B (en) 2014-04-09
TW200928580A (en) 2009-07-01
JP2009139932A (en) 2009-06-25
KR101529728B1 (en) 2015-06-17
TWI431418B (en) 2014-03-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5922273B2 (en) Photosensitive resin composition
JP5933056B2 (en) Photosensitive resin composition
JP5994008B2 (en) Photosensitive resin composition
TWI464189B (en) Hardened resin composition
JP5023878B2 (en) Polymerizable resin composition
KR101529728B1 (en) Polymerizable resin composition
KR20070014998A (en) Photosensitive resin composition
KR20100081931A (en) Photosensitive resin composition
JP2010107755A (en) Photosensitive resin composition
JP2009249609A (en) Curable resin composition
KR101465253B1 (en) Polymerizable resin composition
KR102157642B1 (en) Photosensitive resin comopsition, photocurable pattern formed from the same and image display comprising the pattern
JP5199029B2 (en) Curable resin composition
KR102596395B1 (en) Colored photosensitive resin composition, color filter and image display device produced using the same
JP2017160372A (en) Polymerizable resin composition

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180530

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190530

Year of fee payment: 5