KR20090047262A - Apparatus for supplying chemicals - Google Patents

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Abstract

노즐에 잔류하는 약액을 제거하여, 작업의 정밀도를 높일 수 있는 약액 공급 장치가 제공된다. 약액 공급 장치는 약액을 저장하는 탱크와, 약액을 분사하는 노즐과, 약액을 탱크로부터 노즐로 공급하는 약액 공급관과, 노즐 또는 약액 공급관에 연결되며, 음압을 이용하여 잔류액을 흡입하는 잔류액 회수관을 포함한다.There is provided a chemical liquid supply device capable of removing the chemical liquid remaining in the nozzle and increasing the accuracy of the work. The chemical liquid supply device is connected to a tank for storing the chemical liquid, a nozzle for injecting the chemical liquid, a chemical liquid supply pipe for supplying the chemical liquid from the tank to the nozzle, a nozzle or the chemical liquid supply pipe, and recovering the residual liquid for sucking the residual liquid by using a negative pressure. Contains the tube.

약액 공급 장치, 잔류액 회수, 회수관 Chemical liquid supply device, residual liquid recovery, recovery pipe

Description

약액 공급 장치{Apparatus for supplying chemicals}Apparatus for supplying chemicals

본 발명은 약액 공급 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 노즐에 잔류하는 약액을 제거하여, 작업의 정밀도를 높일 수 있는 약액 공급 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical liquid supply apparatus, and more particularly, to a chemical liquid supply apparatus capable of removing the chemical liquid remaining in the nozzle and increasing the accuracy of the work.

일반적으로 반도체 제조 공정 중 웨이퍼 가공 공정에는 감광액 도포 공정(Photoresist Coating), 현상 공정(Develop), 식각 공정(Etching), 화학기상증착 공정(Chemical Vapor Deposition), 애싱 공정(Ashing) 등이 있으며, 각각의 여러 단계의 공정을 수행하는 과정에서 기판에 부착된 각종 오염물을 제거하기 위한 공정으로 약액(Chemical) 또는 순수(Deionized Water)를 이용한 세정 공정(Wet Cleaning)이 있다.Generally, wafer processing processes in the semiconductor manufacturing process include photoresist coating, developing, etching, chemical vapor deposition, and ashing, respectively. As a process for removing various contaminants attached to the substrate in the process of performing the various steps of the (Wet Cleaning) using a chemical or deionized water (Wet Cleaning).

이러한 감광액의 도포, 현상, 세정 공정 등에서는 액체 상태의 약액을 기판 위로 분사시켜 공정이 이루어진다. 예를 들어, 일반적인 매엽식 세정 장치의 경우, 한 장의 기판을 처리할 수 있는 기판척(Wafer chuck)에 기판을 고정시킨 후 모터에 의해 기판을 회전시키면서, 기판의 상부에서 분사 노즐을 통해 약액을 분사하고, 기판의 회전력에 의해 약액이 기판의 전면으로 퍼지게 된다.In the application, development, cleaning process, etc. of such a photosensitive liquid, a process is performed by spraying the chemical | medical solution of a liquid state on a board | substrate. For example, in the case of a general sheet type cleaning apparatus, the chemical liquid is fixed through a spray nozzle at the top of the substrate while the substrate is fixed by a wafer chuck capable of processing a single substrate and then rotated by a motor. By spraying, the chemical liquid spreads to the entire surface of the substrate by the rotational force of the substrate.

일반적으로 기판을 처리하는 공정에 있어서 단일의 약액만을 사용하는 것이 아니라 하나의 약액을 사용한 후 다른 약액을 사용한 공정이 연속적으로 이어지게 된다.In general, in the process of processing a substrate, a process using a single chemical liquid and then another chemical liquid is continuously used instead of using a single chemical liquid.

이때, 하나의 약액이 분사되고 약액을 공급하는 밸브가 닫힌 후에도 노즐 내에 남아 있는 잔류 약액이 흘러내려 기판에 떨어지면서 기판의 품질을 저하시킬 수 있다.At this time, even after one chemical liquid is injected and the valve for supplying the chemical liquid is closed, the residual chemical liquid remaining in the nozzle flows down and falls on the substrate, thereby degrading the quality of the substrate.

본 발명이 이루고자 하는 과제는 노즐에 잔류하는 약액을 제거하여, 작업의 정밀도를 높일 수 있는 약액 공급 장치를 제공하고자 하는 것이다.An object of the present invention is to provide a chemical liquid supply apparatus that can remove the chemical liquid remaining in the nozzle, thereby improving the accuracy of the operation.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다. The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects that are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치는 약액을 저장하는 탱크와, 상기 약액을 분사하는 노즐과, 상기 약액을 상기 탱크로부터 상기 노즐로 공급하는 약액 공급관과, 상기 노즐 또는 상기 약액 공급관에 연결되며, 음압을 이용하여 잔류액을 흡입하는 잔류액 회수관을 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a chemical liquid supplying apparatus including a tank for storing a chemical liquid, a nozzle for injecting the chemical liquid, a chemical liquid supply pipe for supplying the chemical liquid from the tank to the nozzle, and the nozzle. Or a residual liquid recovery pipe connected to the chemical liquid supply pipe and sucking the residual liquid by using a negative pressure.

상술한 바와 같은 본 발명에 실시예들에 따른 약액 공급 장치는 노즐에 잔류하는 약액을 제거하여, 작업의 정밀도를 높일 수 있는 효과가 있다.The chemical liquid supply apparatus according to the embodiments of the present invention as described above has the effect of removing the chemical liquid remaining in the nozzle, thereby improving the accuracy of the operation.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention and methods for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but will be implemented in various forms, and only the present embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention, and the general knowledge in the art to which the present invention pertains. It is provided to fully convey the scope of the invention to those skilled in the art, and the present invention is defined only by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

이하, 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치에 관하여 상세히 설명한다. 여기서, 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치의 구성도이고, 도 2는 도 1의 약액 공급 장치에 포함되는 잔류액 회수관 연결부의 단면도이다.Hereinafter, a chemical supply device according to an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2. 1 is a configuration diagram of a chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view of the residual liquid recovery pipe connection included in the chemical liquid supply apparatus of FIG.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치(10)는 제1 약액 유입관(110) 및 제2 약액 유입관(120)을 통하여 각각 약액을 공급받아 탱크(200)에 저장한 후, 약액 공급관(400)을 통하여 노즐(500)로 공급하는 역할을 하며, 노즐(500)에 잔류하는 잔류 약액을 제거하기 위한 잔류액 회수관(700)을 포함한다.The chemical liquid supply device 10 according to an embodiment of the present invention receives the chemical liquid through the first chemical liquid inlet pipe 110 and the second chemical liquid inlet pipe 120, and stores the chemical liquid in the tank 200, and then, the chemical liquid supply pipe It serves to supply to the nozzle 500 through the 400, and includes a residual liquid recovery pipe 700 for removing the residual chemical liquid remaining in the nozzle 500.

구체적으로, 제1 약액 유입관(110) 및 제2 약액 유입관(120)은 각각 서로 다른 약액을 탱크(200)로 공급하는 역할을 하며, 탱크(200)에 각각 연결되어 있다. 이러한 제1 약액 유입관(110) 및 제2 약액 유입관(120)에는 각각 제1 유입 밸브(115) 및 제2 유입 밸브(125)가 연결되어 있다. 제1 유입 밸브(115) 및 제2 유입 밸브(125)는 제1 약액 유입관(110) 및 제2 약액 유입관(120)의 유량을 조절하여, 약액의 농도를 조절하게 된다.Specifically, the first chemical liquid inlet pipe 110 and the second chemical liquid inlet pipe 120 serve to supply different chemical liquids to the tank 200, respectively, and are connected to the tank 200, respectively. The first inlet valve 115 and the second inlet valve 125 are connected to the first chemical liquid inlet pipe 110 and the second chemical liquid inlet pipe 120, respectively. The first inlet valve 115 and the second inlet valve 125 adjust the flow rates of the first chemical liquid inlet pipe 110 and the second chemical liquid inlet pipe 120 to adjust the concentration of the chemical liquid.

탱크(200)는 유입된 약액을 저장하는 기능을 하며, 제1 약액 유입관(110) 및 제2 약액 유입관(120)을 통하여 유입된 두 약액이 서로 혼합되는 공간이 된다.The tank 200 serves to store the introduced chemical liquid, and the two chemical liquids introduced through the first chemical liquid inlet pipe 110 and the second chemical liquid inlet pipe 120 are mixed with each other.

탱크(200)에는 제1 순환관(310) 및 제2 순환관(320)이 연결된다. 제1 순환관(310)은 탱크(200)에 저장된 약액이 배출되는 통로가 되며, 제2 순환관(320)은 제1 순환관(310)을 통하여 배출되는 약액이 다시 탱크(200)로 유입되는 통로가 된다.The first circulation pipe 310 and the second circulation pipe 320 are connected to the tank 200. The first circulation pipe 310 is a passage through which the chemical liquid stored in the tank 200 is discharged, and the second circulation pipe 320 is the chemical liquid discharged through the first circulation pipe 310 again into the tank 200. It becomes the passage to become.

제1 순환관(310)은 탱크(200)의 하부에 연결되며, 약액을 강제 순환시킬 수 있는 순환 펌프(300)가 연결된다. 제1 순환관(310)은 제1 분지관(330)을 통하여 제2 순환관(320)과 연결되며, 제2 순환관(320)을 통하여 약액을 탱크(200)로 유입시킨다. 이와 같이, 제1 순환관(310) 및 제2 순환관(320)을 통하여 약액이 순환됨에 따라 서로 다른 약액의 혼합 균일도가 향상되고, 약액의 온도 또한 균일하게 유지될 수 있다. The first circulation pipe 310 is connected to the lower portion of the tank 200, the circulation pump 300 for forced circulation of the chemical liquid is connected. The first circulation pipe 310 is connected to the second circulation pipe 320 through the first branch pipe 330, and introduces the chemical liquid into the tank 200 through the second circulation pipe 320. As such, as the chemical liquid is circulated through the first circulation tube 310 and the second circulation tube 320, the mixing uniformity of the different chemical liquids may be improved, and the temperature of the chemical liquid may also be maintained uniformly.

제1 분지관(330)은 제1 순환관(310) 및 제2 순환관(320) 사이에 연결되어, 순환되는 약액의 일부를 약액 공급관(400)으로 분지하는 역할을 한다. 이와 같은 제1 분지관(330)은 'T'자형 분지관일 수 있으며, 제1 분지관(330)에 각각 연결되는 제1 순환관(310), 제2 순환관(320) 및 약액 공급관(400)은 서로 직경이 다를 수 있으며, 관내의 유량이 서로 다르게 조절될 수 있다. The first branch pipe 330 is connected between the first circulation pipe 310 and the second circulation pipe 320, and serves to branch a part of the chemical liquid circulated to the chemical liquid supply pipe 400. The first branch pipe 330 may be a 'T' shaped branch pipe, the first circulation pipe 310, the second circulation pipe 320 and the chemical liquid supply pipe (connected to the first branch pipe 330, respectively) 400 may be different from each other in diameter, the flow rate in the tube may be adjusted differently.

약액 공급관(400)은 일단이 제1 분지관(330)에 연결되며, 타단은 노즐(500) 에 연결되어, 제1 순환관(310) 및 제2 순환관(320)을 통하여 순환되는 약액을 노즐(500)에 공급하는 관로가 된다. 이러한 약액 공급관(400)에는 관내로 흐르는 유량을 측정하기 위한 유량계(420)를 포함할 수 있으며, 노즐(500)로 공급되는 약액의 흐름을 조절할 수 있는 약액 공급 밸브(410)를 포함할 수 있다. 이러한 약액 공급 밸브(410)는 노즐(500)로 공급되는 약액을 조절함으로써, 기판에 분사되는 약액을 조절하게 된다.One end of the chemical liquid supply pipe 400 is connected to the first branch pipe 330, and the other end is connected to the nozzle 500, so that the chemical liquid is circulated through the first circulation pipe 310 and the second circulation pipe 320. It becomes a pipeline supplied to the nozzle 500. The chemical liquid supply pipe 400 may include a flow meter 420 for measuring the flow rate flowing into the tube, and may include a chemical liquid supply valve 410 for adjusting the flow of the chemical liquid supplied to the nozzle 500. . The chemical liquid supply valve 410 controls the chemical liquid sprayed on the substrate by adjusting the chemical liquid supplied to the nozzle 500.

노즐(500)은 기판의 상부에 위치하여, 기판에 약액을 분사하는 역할을 한다. 노즐(500)을 통하여 분사된 약액은 기판의 회전에 의해 원심력을 받게 되어, 기판을 처리한 후 기판을 이탈하게 된다. 이러한 기판은 보울(600) 내부의 회전하는 스핀 헤드(610)에 안착되어 회전하게 된다.The nozzle 500 is positioned above the substrate, and serves to inject a chemical liquid onto the substrate. The chemical liquid injected through the nozzle 500 is subjected to centrifugal force by the rotation of the substrate, and then leaves the substrate after processing the substrate. The substrate is mounted on the rotating spin head 610 inside the bowl 600 to rotate.

보울(600)은 다중의 벽을 포함하는 용기로서, 내부에 기판이 안착되어 기판을 회전시키는 스핀 헤드(610)를 포함한다. 보울(600)의 다중 벽에는 다수의 배수구를 포함하여, 약액의 종류에 따라 서로 다른 약액을 배출하는 통로로 사용된다.The bowl 600 is a container including multiple walls, and includes a spin head 610 in which a substrate is mounted and rotates the substrate. Multiple walls of the bowl 600 include a plurality of drains, and are used as a passage for discharging different chemical liquids according to the type of chemical liquid.

약액 공급 밸브(410) 및 노즐(500) 사이에는 제2 분지관(430)이 연결된다. 제2 분지관(430)은 노즐(500)로의 약액 공급이 중단되면, 노즐(500) 및 관로에 남아있는 잔류액이 회수되는 통로가 된다. 제2 분지관(430)은 'T'자형 분지관일 수 있으며, 제2 분지관(430)의 양단에 연결된 약액 공급관(400)은 직경이 서로 다르게 하여, 유입 및 유출되는 약액의 유량을 조절할 수 있다. 이러한 제2 분지관(430)에는 잔류액 회수관(700)이 연결된다. The second branch pipe 430 is connected between the chemical liquid supply valve 410 and the nozzle 500. When the supply of the chemical liquid to the nozzle 500 is stopped, the second branch pipe 430 becomes a passage through which residual liquid remaining in the nozzle 500 and the pipe is recovered. The second branch pipe 430 may be a 'T' shaped branch pipe, and the chemical liquid supply pipe 400 connected to both ends of the second branch pipe 430 may have a different diameter to control the flow rate of the chemical liquid flowing in and out. Can be. Residual liquid recovery pipe 700 is connected to the second branch pipe 430.

잔류액 회수관(700)은 음압을 발생시켜 노즐(500) 또는 약액 공급관(400) 내 부의 잔류액을 흡입하는 역할을 한다. 이러한 잔류액 회수관(700)은 약액 공급관(400)에 비하여 작은 직경의 관을 사용할 수 있다.The residual liquid recovery pipe 700 generates a negative pressure to suck the residual liquid in the nozzle 500 or the chemical liquid supply pipe 400. The residual liquid recovery pipe 700 may use a smaller diameter tube than the chemical liquid supply pipe 400.

잔류액 회수관(700)은 일단이 제2 분지관(430)에 연결되며, 타단은 잔류액 회수관 연결부(710)을 통하여, 순환 펌프(300)의 유입단에 연결된다. 순환 펌프(300)의 유입단은 유체를 흡입하는 압력인 음압이 발생하여, 순환 펌프(300)의 유입단에 연결된 잔류액 회수관(700)의 내부에는 음압이 발생하게 된다.One end of the residual liquid recovery pipe 700 is connected to the second branch pipe 430, and the other end thereof is connected to the inlet end of the circulation pump 300 through the residual liquid recovery pipe connection part 710. The inlet end of the circulation pump 300 generates a negative pressure which is a pressure for sucking the fluid, so that a negative pressure is generated inside the residual liquid recovery pipe 700 connected to the inlet end of the circulation pump 300.

잔류액 회수관 연결부(710)는 양단이 순환 펌프(300)의 유입단에 위치하는 제1 순환관(310)에 연결되며, 측부에 잔류액 회수관(700)이 연결된다. 잔류액 회수관(700)의 직경은 은 제1 순환관(310)의 직경 보다 작게 형성할 수 있다.Residual liquid recovery pipe connection portion 710 is connected to the first circulation pipe 310, both ends are located at the inlet end of the circulation pump 300, the residual liquid recovery pipe 700 is connected to the side. The residual liquid recovery pipe 700 may have a diameter smaller than that of the silver first circulation pipe 310.

순환 펌프(300)가 가동되면 잔류액 회수관 연결부(710) 및 잔류액 회수관(700) 내부는 항상 음압이 작용하게 된다. 이와 같은 잔류액 회수관(700)의 내부로 유입되는 약액을 조절하기 위해 잔류액 회수관(700)에 잔류액 조절 밸브(720)를 설치한다. When the circulation pump 300 is operated, a negative pressure always acts on the residual liquid recovery pipe connection part 710 and the residual liquid recovery pipe 700. The residual liquid control valve 720 is installed in the residual liquid recovery tube 700 to adjust the chemical liquid introduced into the residual liquid recovery tube 700.

잔류액 조절 밸브(720)를 약액 공급 밸브(410)가 닫힌 후에 개방하면, 노즐(500)에 남아 있는 잔류액이 잔류액 회수관(700)을 통하여 회수된다. 이와 같은 잔류액 조절 밸브(720)는 제어부(800)를 통하여 자동으로 제어할 수 있다. 예를 들면, 약액 공급 밸브(410)의 개폐시기와 연동하여 약액 공급 밸브(410) 개폐시기를 조절할 수 있다. 즉, 약액 공급 밸브(410)가 닫히면 일정 시간 내에 제어부(800)는 잔류액 조절 밸브(720)를 개방하여 노즐(500) 내에 남아 있는 잔류액을 회수할 수 있다.When the residual liquid control valve 720 is opened after the chemical liquid supply valve 410 is closed, the residual liquid remaining in the nozzle 500 is recovered through the residual liquid recovery pipe 700. Such a residual liquid control valve 720 may be automatically controlled through the control unit 800. For example, the opening and closing time of the chemical liquid supply valve 410 may be adjusted in conjunction with the opening and closing time of the chemical liquid supply valve 410. That is, when the chemical liquid supply valve 410 is closed, the controller 800 may recover the residual liquid remaining in the nozzle 500 by opening the residual liquid control valve 720 within a predetermined time.

한편, 노즐(500) 끝단부에 잔류 약액의 레벨을 측정할 수 있는 센서를 부착하여, 노즐(500) 끝단부의 약액 레벨에 따라 제어부(800)는 잔류액 조절 밸브(720)를 개폐할 수 있다.On the other hand, by attaching a sensor that can measure the level of the residual chemical liquid at the end of the nozzle 500, the control unit 800 can open and close the residual liquid control valve 720 according to the level of the chemical liquid at the end of the nozzle 500. .

이하, 도 1 및 도 3을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 공급 장치에 관하여 상세히 설명한다. 여기서, 도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 공급 장치에 포함되는 잔류액 회수관 연결부의 단면도이다. 설명의 편의상 상기 일 실시예의 도면에 나타낸 각 부재와 동일 기능을 갖는 동일 부재는 동일 부호로 나타내고, 따라서 그 설명은 생략한다. Hereinafter, a chemical supply device according to another exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 3. 3 is a cross-sectional view of the residual liquid recovery pipe connection included in the chemical liquid supply apparatus according to another embodiment of the present invention. For convenience of explanation, the same members having the same functions as the respective members shown in the drawings of the above embodiment are denoted by the same reference numerals, and thus description thereof is omitted.

본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 공급 장치는 벤츄리관 형상의 잔류액 회수관 연결부(710)를 포함한다. 노즐(500) 내부의 잔류액을 효과적으로 회수하기 위해서는 강한 흡입력을 필요하게 된다. 따라서, 잔류액 회수관(700) 내부에 강한 음압이 유지될 수 있도록 순환 펌프(300)의 유입단에 벤츄리 형상의 잔류액 회수관 연결부(710')를 형성한다. 잔류액 회수관 연결부(710)를 벤츄리 형상으로 형성하면, 베르누이 정리에 따라 관로의 넓이가 큰 양단부 보다 관로의 넓이가 가장 작은 중심부 부근의 압력이 가장 낮아지게 된다. 즉, 동일 유선을 형성하는 유체는 유체의 속도가 빨라지게 되면 압력이 낮아지게 된다. 따라서, 순환 펌프(300)의 용량을 고려하여 약액의 흐름에 큰 지장을 주지 않은 범위를 고려하여 적절한 직경을 갖는 벤츄리관 형 잔류액 회수관 연결부(710')를 설치하여, 잔류액 회수관(700) 내부의 압력을 더 낮게 조절할 수 있다.Chemical liquid supply apparatus according to another embodiment of the present invention includes a residual liquid recovery pipe connecting portion 710 of the venturi tube shape. In order to effectively recover the residual liquid inside the nozzle 500, a strong suction force is required. Therefore, the venturi-shaped residual liquid recovery pipe connection part 710 ′ is formed at the inlet end of the circulation pump 300 so that a strong negative pressure is maintained in the residual liquid recovery pipe 700. When the residual liquid recovery pipe connecting portion 710 is formed in a venturi shape, the pressure in the vicinity of the central portion where the width of the conduit is the smallest is lower than that of both ends of the conduit with the Bernoulli theorem. In other words, the fluid forming the same streamline has a lower pressure when the fluid velocity increases. Accordingly, in consideration of the capacity of the circulation pump 300, a venturi tube-type residual liquid recovery pipe connecting portion 710 'having an appropriate diameter is installed in consideration of a range that does not significantly affect the flow of the chemical liquid. 700) The pressure inside can be adjusted lower.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명 이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.Although embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, those skilled in the art to which the present invention pertains may implement the present invention in other specific forms without changing the technical spirit or essential features thereof. I can understand that. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치의 구성도이다.1 is a block diagram of a chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 약액 공급 장치에 포함되는 잔류액 회수관 연결부의 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view of a residual liquid recovery pipe connection included in the chemical liquid supply device of FIG. 1.

도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 약액 공급 장치에 포함되는 잔류액 회수관 연결부의 단면도이다.Figure 3 is a cross-sectional view of the residual liquid recovery pipe connection included in the chemical liquid supply apparatus according to another embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10: 약액 공급 장치 110: 제1 약액 유입관10: chemical liquid supply device 110: first chemical liquid inlet pipe

115: 제1 유입 밸브 120: 제2 약액 유입관115: first inlet valve 120: second chemical liquid inlet pipe

125: 제2 유입 밸브 200: 탱크125: second inlet valve 200: tank

300: 순환 펌프 310: 제1 순환관300: circulation pump 310: first circulation pipe

320: 제2 순환관 330: 제1 분지관320: second circulation pipe 330: first branch pipe

400: 약액 공급관 410: 약액 공급 밸브400: chemical liquid supply pipe 410: chemical liquid supply valve

420: 유량계 430: 제2 분지관420: flow meter 430: second branch pipe

500: 노즐 600: 보울500: nozzle 600: bowl

610: 스핀 헤드 700: 잔류액 회수관610: spin head 700: residual liquid recovery tube

710: 잔류액 회수관 연결부 800: 제어부710: residual liquid collection pipe connection 800: control unit

Claims (6)

약액을 저장하는 탱크;A tank for storing the chemical liquid; 상기 약액을 분사하는 노즐;A nozzle for injecting the chemical liquid; 상기 약액을 상기 탱크로부터 상기 노즐로 공급하는 약액 공급관; 및A chemical liquid supply pipe for supplying the chemical liquid from the tank to the nozzle; And 상기 노즐 또는 상기 약액 공급관에 연결되며, 음압을 이용하여 잔류액을 흡입하는 잔류액 회수관을 포함하는 약액 공급 장치.And a residual liquid recovery tube connected to the nozzle or the chemical liquid supply pipe and sucking the residual liquid using a negative pressure. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 양단이 상기 탱크와 연결되어 상기 약액을 순환시키며, 상기 양단 사이에 분지관을 포함하여, 상기 분지관을 통하여 상기 약액 공급관에 연결되는 순환관; 및A circulation pipe having both ends connected to the tank to circulate the chemical liquid, and including a branch pipe between the both ends, and connected to the chemical liquid supply pipe through the branch pipe; And 상기 순환관에 연결되어 상기 약액을 순환시키는 순환 펌프를 더 포함하는 약액 공급 장치.And a circulation pump connected to the circulation pipe to circulate the chemical liquid. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 잔류액 회수관은 상기 순환 펌프의 유입단에 연결된 약액 공급 장치.The residual liquid collecting pipe is connected to the inlet of the circulation pump. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 순환 펌프의 상기 유입단은 벤츄리관으로 형성된 약액 공급 장치.The inlet end of the circulation pump is a chemical liquid supply device formed of a venturi tube. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 잔류액 회수관의 관로를 개폐하는 밸브 및 상기 밸브를 제어하는 제어부를 더 포함하되, 상기 제어부는 상기 노즐에 상기 약액의 공급이 중단되면 상기 밸브를 개방하는 약액 공급 장치.And a control unit for controlling the valve and the valve for opening and closing the pipe of the residual liquid collection pipe, wherein the control unit opens the valve when the supply of the chemical liquid to the nozzle is stopped. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 잔류액 회수관의 관로를 개폐하는 밸브 및 상기 밸브를 제어하는 제어부를 더 포함하되, 상기 제어부는 상기 노즐의 상기 약액의 레벨이 낮아지면 상기 밸브를 개방하는 약액 공급 장치.And a control unit for controlling the valve to open and close a pipe of the residual liquid collection pipe, wherein the control unit opens the valve when the level of the chemical liquid in the nozzle is lowered.
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