KR20090047157A - 수직자기기록헤드 및 그 제조방법 - Google Patents

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Abstract

수직자기기록헤드 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 수직자기기록헤드는 기록 매체를 향해 기록 자기장을 인가하는 폴팁부를 가지는 메인 폴; 상기 폴팁부에서 기록 매체에 정보를 기록하는 자기장이 발생되도록 상기 메인 폴의 상부 및 하부를 솔레노이드 형태로 둘러싸는 코일; 상기 메인 폴과 함께 자기장의 자로를 형성하는 것으로, 상기 메인 폴의 상부를 지나는 코일 부분을 둘러싸는 리턴 요크;를 포함하며, 상기 코일이 상기 메인 폴의 상부를 지나는 회수는 상기 메인 폴의 하부를 지나는 회수보다 적게 형성된다.

Description

수직자기기록헤드 및 그 제조방법{Perpendicular magnetic recording head and method for manufacturing the same}
본 발명은 수직 자기기록방식으로 정보를 기록하는 수직자기기록헤드와 그의 제조방법에 관한 것이다.
자기 기록은 기록 방식에 따라 크게 수평 자기 기록 방식과 수직 자기 기록 방식으로 나눌 수 있다. 수평 자기 기록 방식은 자성층의 자화 방향이 자성층의 표면에 평행하게 정렬되는 것을 이용하여 정보를 기록하는 방식이고, 수직 자기 기록 방식은 자성층의 자화 방향이 자성층의 표면에 수직 방향으로 정렬되는 것을 이용하여 정보를 기록하는 방식이다. 기록 밀도 측면에서 볼 때, 수직 자기 기록 방식은 수평 자기 기록 방식보다 훨씬 유리하여, 다양한 구조의 수직 자기기록 헤드가 개발되고 있다.
기록밀도를 높이기 위해서는 고주파 기록 특성이 향상되어야 한다. 고주파 기록 특성을 향상시킨다는 것은 고주파에서의 기록 자기장을 강하게 유지하고 동시에 기록 자기장의 반응시간(rise time)을 짧게 하는 것을 의미한다. 수직자기기록헤드의 요크 길이가 짧아질수록 자기장의 반응시간 측면에서 유리하다는 것이 알려 져 있다. 그러나, 요크 길이를 줄이는 것은 일반적으로 코일 턴수의 감소를 수반하게 되어 기록 자기장이 약화된다. 따라서, 요크 길이를 줄이면서도 기록에 필요한 기록 필드 강도를 유지할 수 있는 설계가 필요하다.
본 발명은 상술한 필요성에 따라 안출된 것으로, 고주파 기록 특성이 개선될 수 있는 구조의 고밀도 자기기록용 수직자기기록헤드 및 그의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 실시예에 따른 수직자기기록헤드는 기록 매체를 향해 기록 자기장을 인가하는 폴팁부를 가지는 메인 폴; 상기 폴팁부에서 기록 매체에 정보를 기록하는 자기장이 발생되도록 상기 메인 폴의 상부 및 하부를 솔레노이드 형태로 둘러싸는 코일; 상기 메인 폴과 함께 자기장의 자로를 형성하는 것으로, 상기 메인 폴의 상부를 지나는 코일 부분을 둘러싸는 리턴 요크;를 포함하며, 상기 코일이 상기 메인 폴의 상부를 지나는 회수는 상기 메인 폴의 하부를 지나는 회수보다 적게 형성된다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 수직자기기록헤드는 기록 매체를 향해 기록 자기장을 인가하는 폴팁부를 가지는 메인 폴; 상기 폴팁부에서 기록 매체에 정보를 기록하는 자기장이 발생되도록 상기 메인 폴의 상부에 평면 스파이럴 형태로 마련된 코일; 상기 메인 폴과 함께 자기장의 자로를 형성하는 것으로, 상기 코일의 일부를 둘러싸는 리턴 요크;를 포함하며, 상기 코일이 상기 리턴 요크의 앞쪽을 지나는 회수는 상기 리턴 요크의 뒤쪽을 지나는 회수보다 적게 형성된다.
본 발명의 실시예에 따른 수직자기기록헤드의 제조방법은 (가) 하부 코일층, 메인 폴 및 제1절연층을 순차 형성하는 단계; (나) 상기 제1절연층 위에 상부 코일층을 형성하는 단계; (다) 상기 상부 코일층을 마스크로 하여 상기 제1절연층 및 메인폴을 식각하여, ABS 쪽으로 갈수록 두께가 얇아지는 폴팁부를 메인폴의 일단에 형성하는 단계; (라) 상기 상부 코일층과 상기 폴팁부 위로 제2절연층을 형성하는 단계; (마) 상기 제2절연층 위로 상기 상부 코일층을 둘러싸는 형상의 리턴 요크를 형성하는 단계;를 포함한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 수직자기기록헤드의 제조방법은 (가) 메인 폴, 제1절연층 및 프론트코일부와 백코일부를 포함하는 코일층을 순차 형성하는 단계; (나) 상기 프론트코일부를 마스크로 하여 상기 제1절연층 및 메인폴을 식각하여, ABS 쪽으로 갈수록 두께가 얇아지는 폴팁부를 메인폴의 일단에 형성하는 단계; (다) 상기 프론트코일부 및 상기 폴팁부 위로 제2절연층을 형성하는 단계; (라) 상기 제2절연층 위로 상기 프론트코일부를 둘러싸는 형상의 리턴 요크를 형성하는 단계;를 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이하의 도면들에서 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭하며, 도면상에서 각 구성요소의 크기는 설명의 명료성과 편의상 과장되어 있을 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 수직자기기록헤드의 개략적인 구조를 보이는 단면도이고, 도 2는 도 1의 수직자기기록헤드의 평면도이다. 도 2의 I-I'단면도가 도 1에 해당하며, 도 2에서는 코일(150) 구조를 상세히 보이기 위해 리턴 요 크(180)가 메인 폴(120)과 연결되는 연결부(180a)만을 도시하고, 리턴 요크(180)의 도시는 생략하였다.
도면들을 참조하면, 수직자기기록헤드(100)는 기록 매체(M)를 향해 기록 자기장을 인가하는 메인 폴(120), 상기 메인 폴(120)에서 기록 매체(M)에 정보를 기록하는 자기장이 발생되도록 전류가 인가되는 코일(150), 상기 메인 폴과 함께 자기장의 자로를 형성하는 리턴 요크(180)를 포함한다.
수직자기기록헤드(100)는 에어베어링면(air bearing surface, ABS)으로부터 소정 거리 이격된 기록매체(M)에 대해 다운트랙 방향을 따라 상대적으로 이동하며, 메인 폴(120)에서의 기록 자기장에 의해 기록 매체(M)를 기록 매체(M)의 표면에 수직인 방향으로 자화시킴으로써 기록을 수행한다. 이를 위하여, 메인 폴(120)은 ABS 쪽 일단에, 기록 자기장을 기록 매체(M)에 인가하는 폴팁부(120a)를 가진다. 폴팁부(120a)는, 예를 들어, ABS쪽으로 갈수록 두께가 얇아지는 형상으로 형성될 수 있다.
코일(150)은 메인 폴(120)의 상부 및 하부를 솔레노이드형으로 둘러싼 구조로 되어 있으며, 상기 코일(150)이 메인 폴(120)의 상부를 지나는 회수가 메인 폴(120)의 하부를 지나는 회수보다 적다. 예를 들어, 도시된 바와 같이, 코일(150)은 하부 코일(152,156)과 상부 코일(154)을 포함하며, 즉, 권선수가 1.5회인 구조로 되어 있다. 다만, 이와 같은 권선수는 예시적인 것이며, 코일(150)은 메인 폴(120)의 상부를 지나는 회수가 N번, 메인 폴(120)의 하부를 지나는 회수가 (N+1)번이 되고, 즉, (N+0.5)회의 권선수를 가지도록 설계될 수 있다.
리턴 요크(180)는 메인 폴(120)과 함께 자기장의 자로를 형성하는 것으로, 상부 코일(154)을 둘러싸는 형태이며, 일단은 갭을 사이에 두고 폴팁부(120a)와 마주하며, 타단은 연결부(180a)에 의해 메인 폴(120)과 연결되어 있다.
또한, 일반적으로, 수직자기기록헤드(100)는 기록매체에 저장된 정보를 읽는 재생헤드(미도시)를 함께 구비한다.
또한, 수직자기기록헤드(100)는 폴팁부(120a)에 자기장이 집중되는 것을 돕기 위해 메인 폴(120)의 상면 또는 하면에 마련되는 서브 요크(미도시)를 더 포함할 수 있다.
메인 폴(120)과 리턴 요크(130)는 코일(150)에 의해 발생한 기록 자기장의 자로를 형성하기 위해 자성 물질로 만들어진다. 특히, 메인 폴(120)은 기록 매체(M)에 정보를 기록하는 자기장을 인가하는 것으로, 메인 폴(120)의 폴팁부(120a)에 집속되는 자기장의 크기는 포화 자속 밀도(Bs)에 의해 제한되므로, 상대적으로 큰 포화자속밀도를 갖는 물질로 형성된다. 일반적으로, 메인 폴(120)은 포화 자속 밀도가 리턴 요크(180)에 비해 큰 자성물질로 이루어지며, 예를 들어 NiFe, CoFe, CoNiFe 등이 채용될 수 있다. 리턴 요크(180)는 높은 주파수의 자기장 변화에 대하여 빠른 응답 특성을 가질 수 있도록 메인 폴(120)보다 상대적으로 투자율이 높은 특성을 갖도록 만들어진 것이 바람직하다. 니켈 철(NiFe)과 같은 자성 물질이 주로 사용되며, 이 때 Ni와 Fe의 성분 비를 조절함으로써 포화 자속 밀도(Bs)와 투자율이 적절히 설계된다.
수직자기기록헤드(100)의 구조를 본 실시예와 같이 정하는 것은 요크 길 이(YL)을 가능한 줄이면서도 기록에 필요한 기록 자기장의 세기를 유지하기 위한 것이다. 메인 폴(120)을 둘러싸는 코일(150)의 권선수는 자로의 길이를 형성하는 요크 길이(YL)에 직접적으로 관련되는 설계 항목이다. 예를 들어, 코일(150) 선폭의 제어나 코일(150)과 리턴 요크(180) 사이를 절연하는 절연층의 두께 제어와 같은 공정 조건들이 일정한 경우, 요크 길이(YL)는 코일(150)의 권선수가 작아질수록 이에 비례하여 작아진다. 요크 길이(YL)를 줄이는 경우 기록 자기장의 반응 시간(rise time)이 짧아지는 효과가 있으나, 코일(150)의 권선수를 줄여 요크 길이(YL)를 줄이는 것은 기록 자기장을 발생시키는 기자력을 작아지게 한다. 본 발명의 코일(150) 구조는 요크 길이(YL)를 보다 효율적으로 줄이기 위해 도입된 것으로, 코일(150)이 메인 폴(120)의 상부, 즉, 메인 폴(120)과 리턴 요크(180) 사이를 지나는 회수는 가능한 줄이고, 요크 길이(YL)에 영향을 주지 않는, 메인 폴(120) 하부를 지나는 회수는 이보다 크게 하여, 요크 길이(YL)는 줄이면서도 기자력의 감소를 가능한 억제하고 있다. 예를 들어, 요크 길이(YL)의 최소값은 코일(150)이 메인 폴(120)의 상부, 즉, 메인 폴(120)과 리턴 요크(180) 사이를 지나는 회수를 1회로 하는 경우에 얻어질 수 있는데, 이 경우 코일(150)이 메인 폴(120)의 하부를 지나는 회수는 2회로 하여, 1.5턴 솔레노이드형으로 코일(150)을 형성함으로써, 요크 길이(YL)는 최소화하고 기자력의 감소는 가능한 줄이는 설계를 도출한 것이다.
또한, 이와 함께 폴팁부(120a)의 두께를 ABS 쪽으로 갈수록 얇게 하는 구조로 하여 기자력의 감소에 의해 발생하게 되는 기록 자기장의 감소를 보완하고 있다.
표 1은 본 발명의 실시예와 비교예에 의한 수직자기기록헤드의 기록 특성 파라미터들을 비교하여 보인 것으로, 비교예의 수직자기기록헤드는 1턴 코일 구조로, 즉, 도 1에서 코일이 메인 폴의 상부 및 하부를 지나는 회수가 동일하게 한 번인 경우이다.
　 current Hw Hr Gradient1 Hw_eff Gradient2
(mA) (T) (T) (Oe/nm) (T) (Oe/nm)
비교예 　30 0.681 -0.0828 113.38 0.961 141.92
　40 0.876 -0.0822 162.06 1.225 164.16
　50 0.993 -0.0751 171.67 1.388 176.25
실시예 　 　30 0.711 -0.0696 123.10 0.996 145.64
　40 0.922 -0.0717 169.61 1.283 170.25
　50 1.026 -0.0654 174.47 1.425 180.90
표에서 Hw는 기록 자기장(Recording Field), Hr은 리턴 필드(Return Field), Hw_eff는 유효 기록 자기장(Effective Recording Field)을 의미한다. Hw는 기록 자기장 프로파일에서 나타나는 최대값으로 이 값이 충분히 커야 기록이 가능하다. Hr은 기록 자기장 프로파일에서 기록하고자 하는 방향과 반대 방향으로 형성되며, 따라서, 리턴 필드는 그 절대값이 작은 것이 기록에 유리한 조건이 된다. Hw나 Hr은 수직 성분 값을 나타내며, Hw_eff은 수직 기록에 수직 성분뿐만이 아니라 수평 방향 성분도 기여함을 고려한 양이다. Hw_eff는 Z 방향을 수직 방향이라고 할 때 다음과 같이 정의된다.
Hw_eff=((Hx2+Hy2)1/3+Hz2 /3)3/2
필드기울기(field gradient)는 신호대 잡음비(SNR)에 영향을 주는 요소로서, 표에서는 Gradient 1과 Gradient 2로 나타내고 있다. 각각은 기록 자기장이 기록매체의 보자력(Hc)에 해당하는 위치에서의 필드기울기 및 최대 필드기울기를 의미한다.
표를 참조하면, 실시예의 경우 비교예의 경우보다 기록 필드(Hw)가 크고 리턴 필드(Hr)의 절대값이 작으며, 필드 기울기 측면에서도 우수한 특성을 보이고 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 의한 수직자기기록헤드(200)의 개략적인 구조를 보이는 단면도이다. 본 실시예는 코일(250)이 평면 스파이럴 형으로 형성된 점에 도 1의 실시예와 차이가 있으므로, 이에 대해서만 설명하고, 나머지 구성 요소의 설명은 도 1의 실시예에서 설명한 동일부재의 설명에 의한다. 코일(250)은 메인 폴(120)의 상부에 형성되며, 프론트코일(254)과 백코일(252,256)을 포함한다. 프론트코일(254)과 백코일(252,256)은 평면 스파이럴형 코일(250)을 이루며, 상기 스파이럴형 코일(250)이 리턴 요크(180)와 메인 폴(120) 사이를 지나는 회수는 리턴 요크(180)의 뒤쪽을 지나는 회수보다 적게 형성된다. 도시된 바와 같이, 코일(150)은 리턴 요크(180)와 메인 폴(120) 사이를 한 번 지나며, 리턴 요크(180)의 뒤쪽은 두 번 지나는 구조로 형성되어 있다. 여기서, 뒤쪽은 리턴 요크(180)에서 볼 때, ABS 쪽과 반대되는 쪽을 의미한다.
본 실시예에서도 요크 길이(YL)를 줄이기 위해 코일(150)이 메인 폴(120)과 리턴 요크(180) 사이를 지나는 회수를 줄이고, 리턴 요크(180)의 뒤쪽을 지나는 회 수는 이보다 많게 하여 기자력의 감소를 가능한 줄이는 구조를 채택하고 있다. 또한, 코일(250)의 권선수 1.5턴은 예시적인 것이며, 코일(150)은 메인 폴(120)과 리턴 요크(180) 사이를 지나는 회수가 N번, 리턴 요크(180)의 뒤쪽을 지나는 회수가 (N+1)번이 되도록, 즉, (N+0.5)회의 권선수를 가지도록 설계될 수 있다.
도 4a 내지 도 4e는 본 발명의 실시예에 의한 수직자기기록헤드의 제조방법을 설명하기 위한 도면이다.
먼저, 도 4a를 참조하면, 절연층(110), 하부 코일층(150L), 메인 폴(120)이 형성되어 있다. 절연층(110)을 일부 형성한 위에 도금 공정에 의해 하부 코일층(150L)을 형성하고, 하부 코일층(150L)을 덮는 절연층(110)을 형성한다. 절연층(110)의 하부에는 미도시되었지만 자기저항소자를 구비하는 재생헤드가 일반적으로 형성된다.
메인 폴(120)은 절연층(110) 위에 CoFe, CoNiFe와 같이 포화자속밀도(Bs)가 큰 자성물질을 증착 또는 도금하여 형성한다.
여기서, 하부 코일층(150L)은 메인 폴(120)의 상부 및 하부를 둘러싸는 솔레노이드 형 코일의 일부를 형성하는 것이다. 도면에서는 솔레노이드 형 코일이 메인 폴(120)의 하부를 2회 지나는 형상이 되도록 하부 코일층(150L)이 형성되어 있다.
다음, 도 4b와 같이, 메인 폴(120) 위에 제1절연층(140)을 형성한다. 제1절연층(140)은 예를 들어, 포토리지스트의 코팅 또는 ALD(atomic layer deposition) 방법에 의해 Al2O3를 증착하여 형성할 수 있다.
다음, 도 4c와 같이 제1절연층(140) 위에 상부 코일층(150U)을 형성한다. 상부 코일층(150U)은 하부 코일층(150L)과 함께 솔레노이드 형 코일을 형성하는 것으로, 솔레노이드형 코일이 메인 폴(120)의 하부를 지나는 회수보다 적게 메인 폴(120)의 상부를 지나도록 형성된다. 도면에서는 솔레노이드 형 코일이 메인 폴(120)의 상부를 1회 지나는 형상이 되도록 상부 코일층(150U)이 형성되어 있다.
다음, 4d와 같이, 상부 코일층(150U)을 마스크로 하여 제1절연층(140) 및 메인 폴(120)을 식각한다. 이 단계에서, 메인 폴(120)의 일단에 ABS 쪽으로 갈수록 두께가 얇아지는 폴팁부(120a)가 형성되고, 메인 폴(120)의 타단에는 리턴 요크(180)와 연결될 연결부(180a)가 형성된다. IBE(ion beam etching)과 같은 건식 식각 공정이 사용될 수 있으며, 상부 코일층(150U)에 의한 그림자 효과(shadow effect)에 의해 폴팁부(120a)의 경사가 형성된다. 상부 코일층(150U)의 두께, ABS로부터의 거리, 식각 각도에 따라 폴팁부(120a)의 형상이 조절될 수 있다. 이와 같이, 폴팁부(120a)에 기록 자기장이 집속되는 효과를 높이기 위해, ABS 쪽으로 갈수록 두께가 얇아지는 구조로 폴팁부(120a)를 형성함에 있어, 상부 코일층(150U)을 마스크로 한 식각 공정을 사용하므로, 상부 코일층(150U)이 ABS에 보다 가까워지는 구조를 채택하게 되며, 공정의 편이와 기록 특성에 유리한 구조가 함께 도모된다.
다음, 도 4e와 같이 제2절연층(160)을 형성한다. 제2절연층(140)은 메인 폴(120)과 메인 폴(120) 위에 형성될 리턴 요크(180)사이에 갭을 형성하고, 또한, 상부 코일층(150U)과 상기 리턴 요크(180)와의 사이를 절연하기 위해 형성되는 것이다. 제2절연층(160)은 예를 들어, 포토리지스트의 코팅 또는 ALD(atomic layer deposition) 방법에 의해 Al2O3를 증착하여 형성할 수 있다.
다음, 도 4f와 같이 리턴 요크(180)를 형성한다. 리턴 요크(180)는 NiFe 또는 CoNiFe와 같은 자성물질을 증착 또는 도금함으로써 형성할 수 있다.
이와 같은 단계에 의해 요크 길이(YL)를 가능한 줄이면서도 기자력의 감소는 억제되는 구조의 수직자기기록헤드가 제조된다.
상술한 제조과정에서 메인 폴(120)의 상면 또는 하면에 메인 폴(120)의 폴팁부(120a)에 기록 자기장이 집속되는 것을 돕기 위해 마련되는 서브 요크를 형성하는 과정을 더 포함할 수 있다. 또한, 코일이 메인 폴(120)과 리턴 요크(180) 사이를 N번 지나고, 리턴 요크(180)의 하부를 (N+1)번 지나는 코일 구조로 형성하는 것도 가능하다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 다른 실시예에 의한 수직자기기록헤드의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다. 본 실시예는 코일(250F,250B)의 형성과정에서 도 4a 내지 도 4d에서 설명한 실시예와 차이가 있으므로, 이를 중심으로 설명하며, 설명되지 않은 공정 단계는 도 4a 내지 도 4f에서 설명한 동일부재의 형성 방법의 설명에 의한다.
먼저, 도 5a를 참조하면, 메인 폴(120), 제1절연층(140), 프론트코일부(250F)와 백코일부(250B)를 포함하는 코일층을 형성한다. 프론트코일부(250F)와 백코일부(250B)는 스파이럴형 코일을 이루는 형상으로 형성된다. 다음, 도 5b와 같이, 프론트코일부(150B)를 마스크로 하여 제1절연층(140)과 메인 폴(120)을 식각하 여, 폴팁부(120a) 및 연결부(180a)를 형성한다. 다음, 도 5c와 같이, 제2절연층(160)을 폴팁부(120a)와 프론트코일부(250F) 위에 형성하고, 도 5d와 같이 프론트코일부(250F)를 둘러싸는 형상의 리턴 요크(180)를 형성한다.
이와 같은 단계에 의해 요크 길이(YL)를 가능한 줄이면서도 기자력의 감소는 억제되는 구조의 수직자기기록헤드가 제조된다.
또한, 상술한 제조과정에서 메인 폴(120)의 상면 또는 하면에 메인 폴(120)의 폴팁부(120a)에 기록 자기장이 집속되는 것을 돕기 위해 마련되는 서브 요크를 형성하는 과정을 더 포함할 수 있으며, 코일이 메인 폴(120)과 리턴 요크(180) 사이를 N번 지나고, 리턴 요크(180)의 뒤쪽을 (N+1)번 지나는 코일 구조로 형성하는 것도 가능하다.
이러한 본원 발명인 수직자기기록헤드 및 그 제조방법은 이해를 돕기 위하여 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 수직자기기록헤드의 개략적인 구조를 보이는 단면도이다.
도 2는 도 1의 수직자기기록헤드의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 의한 수직자기기록헤드의 개략적인 구조를 보이는 단면도이다.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 실시예에 의한 수직자기기록헤드의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 다른 실시예에 의한 수직자기기록헤드의 제조방법을 설명하기 위한 도면들이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
120 ... 메인 폴 120a ... 폴팁부
140 ... 제1절연층 160 ... 제2절연층
150,250 ... 코일 152,156 ...하부 코일
154 ... 상부코일 252,256 ...백 코일
254 ... 프론트코일 150U, 150L...상부코일층, 하부코일층
250F, 250B...프론트코일부, 백코일부

Claims (11)

  1. 기록 매체를 향해 기록 자기장을 인가하는 폴팁부를 가지는 메인 폴;
    상기 폴팁부에서 기록 매체에 정보를 기록하는 자기장이 발생되도록 상기 메인 폴의 상부 및 하부를 솔레노이드 형태로 둘러싸는 코일;
    상기 메인 폴과 함께 자기장의 자로를 형성하는 것으로, 상기 메인 폴의 상부를 지나는 코일 부분을 둘러싸는 리턴 요크;를 포함하며,
    상기 코일이 상기 메인 폴의 상부를 지나는 회수는 상기 메인 폴의 하부를 지나는 회수보다 적은 수직자기기록헤드.
  2. 기록 매체를 향해 기록 자기장을 인가하는 폴팁부를 가지는 메인 폴;
    상기 폴팁부에서 기록 매체에 정보를 기록하는 자기장이 발생되도록 상기 메인 폴의 상부에 평면 스파이럴 형태로 마련된 코일;
    상기 메인 폴과 함께 자기장의 자로를 형성하는 것으로, 상기 코일의 일부를 둘러싸는 리턴 요크;를 포함하며,
    상기 코일이 상기 리턴 요크의 앞쪽을 지나는 회수는 상기 리턴 요크의 뒤쪽을 지나는 회수보다 적은 수직자기기록헤드.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 폴팁부는 ABS 쪽으로 갈수록 두께가 얇아지는 수직자기기록헤드
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 메인 폴은 상기 리턴 요크에 비해 포화 자속 밀도가 큰 물질로 형성되는 수직자기기록헤드.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 메인 폴의 상면 또는 하면에 상기 폴팁부에 자기장이 집중되는 것을 돕는 서브 요크가 더 마련되는 수직자기기록헤드.
  6. (가) 하부 코일층, 메인 폴 및 제1절연층을 순차 형성하는 단계;
    (나) 상기 제1절연층 위에 상부 코일층을 형성하는 단계;
    (다) 상기 상부 코일층을 마스크로 하여 상기 제1절연층 및 메인폴을 식각하여, ABS 쪽으로 갈수록 두께가 얇아지는 폴팁부를 메인폴의 일단에 형성하는 단계;
    (라) 상기 상부 코일층과 상기 폴팁부 위로 제2절연층을 형성하는 단계;
    (마) 상기 제2절연층 위로 상기 상부 코일층을 둘러싸는 형상의 리턴 요크를 형성하는 단계;를 포함하는 수직자기기록헤드의 제조방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 하부 코일층과 상기 상부 코일층은 상기 메인 폴을 둘러싸는 솔레노이드형 코일을 이루며,
    상기 솔레노이드형 코일이 상기 메인 폴의 상부를 지나는 회수는 상기 메인 폴의 하부를 지나는 회수보다 적게 형성되는 수직자기기록헤드의 제조방법.
  8. (가) 메인 폴, 제1절연층 및 프론트코일부와 백코일부를 포함하는 코일층을 순차 형성하는 단계;
    (나) 상기 프론트코일부를 마스크로 하여 상기 제1절연층 및 메인폴을 식각하여, ABS 쪽으로 갈수록 두께가 얇아지는 폴팁부를 메인폴의 일단에 형성하는 단계;
    (다) 상기 프론트코일부 및 상기 폴팁부 위로 제2절연층을 형성하는 단계;
    (라) 상기 제2절연층 위로 상기 프론트코일부를 둘러싸는 형상의 리턴 요크를 형성하는 단계;를 포함하는 수직자기기록헤드의 제조방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 프론트코일부와 백코일부는 상기 리턴 요크를 둘러싸는 평면 스파이럴형 코일을 이루며,
    상기 스파이럴형 코일이 상기 리턴 요크의 앞쪽을 지나는 회수는 상기 리턴 요크의 뒷쪽을 지나는 회수보다 적게 형성되는 수직자기기록헤드의 제조방법.
  10. 제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 메인 폴은 상기 리턴 요크에 비해 포화 자속 밀도가 큰 물질로 형성되 는 수직자기기록헤드의 제조방법.
  11. 제6항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 메인 폴의 상면 또는 하면에 상기 폴팁부에 자기장이 집중되는 것을 돕는 서브 요크를 형성하는 단계를 더 포함하는 수직자기기록헤드의 제조방법.
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