KR20090046385A - Electroless plateing method and electroless plate using thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 무전해 도금 방법 및 이를 이용한 도금체에 관한 것으로, 보다 상세하게는 촉매 입자를 이용한 무전해 도금 방법 및 이를 이용한 도금체에 관한 것이다. The present invention relates to an electroless plating method and a plated body using the same, and more particularly, to an electroless plating method using catalyst particles and a plated body using the same.

본 발명에서는, 피도금 부재의 표면에 촉매 입자를 분사하여 표면에 고정하여 무전해 도금함으로서, 종래 에칭 공정 및 습식 전치리 공정을 생략할 수 있는 효과가 있다. In the present invention, the catalyst particles are sprayed onto the surface of the member to be plated, fixed to the surface, and electroless plated, thereby eliminating the conventional etching process and wet pretreatment process.

건식 분사 Dry spraying

Description

무전해 도금법 및 이를 이용한 무전해 도금체{ELECTROLESS PLATEING METHOD AND ELECTROLESS PLATE USING THEREOF}ELECTROLESS PLATEING METHOD AND ELECTROLESS PLATE USING THEREOF}

본 발명은 무전해 도금 방법 및 이를 이용한 도금체에 관한 것으로, 보다 상세하게는 촉매 입자를 이용한 무전해 도금 방법 및 이를 이용한 도금체에 관한 깃이다.The present invention relates to an electroless plating method and a plated body using the same, and more particularly, to an electroless plating method using catalyst particles and a plated body using the same.

무전해 도금이라 함은 화학도금 또는 자기촉매 도금이라고도 불리는 것으로, 외부로부터 전기에너지를 공급받지 않고 금속염 수용액 중의 금속이온을 환원제의 힘에 의해 자기 촉매적으로 환원시켜 피처리물의 표면 위에 금속을 석출시키는 방식으로 전기를 공급할 수 없거나 공급하기 어려운 플라스틱 등의 재질을 가진 부품의 표면 도금에 많이 사용된다.Electroless plating, also called chemical plating or self-catalyst plating, is a method of depositing metal on the surface of a workpiece by reducing the metal ions in an aqueous metal salt solution catalytically by means of a reducing agent without receiving electrical energy from the outside. It is widely used for the surface plating of parts made of materials such as plastic that cannot or cannot be supplied with electricity.

무전해 도금의 촉매로서는, 주석, 팔라듐의 콜로이드 용액이나 염화팔라듐 등의 팔라듐 화합물의 수용액이 이용되고 있다. 이러한 촉매는, 무기의 팔라듐 화합물을 이용하고 있기 때문에, 물보다 젖는 성질이 양호한 도포 도공성이 뛰어나고, 또한, 수지 등의 다른 유기 화합물을 용해하는 것이 가능한 유기용매에 용해시키려고 하면 용해성이 낮아, 팔라듐이 침강하여 균일한 용액을 얻을 수 없다고 하 는 문제점이 있었다. 또한, 저급 지방산을 갖는 초산 팔라듐은 메탄올에는 농도에 따라서는 가용이지만, 즉시 팔라듐이 침전한다고 하는 문제가 있었다. 이에 따라, 무전해 도금을 위한 다양한 전처리 방식이 개발되고 있다. As a catalyst for electroless plating, an aqueous solution of a colloidal solution of tin and palladium or a palladium compound such as palladium chloride is used. Since such a catalyst uses an inorganic palladium compound, when it is going to dissolve in the organic solvent which is excellent in the wettability property than water, and which can melt | dissolve other organic compounds, such as resin, it is low in solubility, This settling had a problem that a uniform solution could not be obtained. In addition, although palladium acetate having a lower fatty acid is soluble in methanol depending on the concentration, there is a problem that palladium immediately precipitates. Accordingly, various pretreatment methods for electroless plating have been developed.

닛코킨조쿠 가부시키가이샤가 출원한 대한민국 공개 특허 10-2006-0114024에서는 탄소 원자수 5∼25를 갖는 지방산의 귀금속 비누 및 금속 포착능을 지닌 관능기를 갖는 실란커플링제를 포함하는 무전해 도금 전처리제를 개시하고 있다. 또한 대한민국 공개 특허 10-2007-0088611에는 도금 강도를 높이기 위해, 폴리이미드필름에 실란커플링제와 에폭시 수지를 함유한 유기용매로 전처리 후, 무전해 도금을 실시하는 방식이 개시되어 있다.Korean Patent Application Publication No. 10-2006-0114024 filed by Nikko Kinzoku Co., Ltd. discloses an electroless plating pretreatment agent comprising a noble metal soap of fatty acids having 5 to 25 carbon atoms and a silane coupling agent having a functional group having a metal trapping ability. It is starting. In addition, Korean Patent Publication No. 10-2007-0088611 discloses a method of performing electroless plating after pretreatment with an organic solvent containing a silane coupling agent and an epoxy resin in a polyimide film in order to increase plating strength.

한편, 무전해 도금에서는 플라스틱 등의 재질로 이루어진 부품표면에만 금속이온이 선택적으로 석출되어 도금 효과를 거둘 수 있도록 부품 표면에는 활성화에너지를 줄여주는 촉매가 부착된다. 상기 플라스틱 표면은 촉매가 부착되어 용이하게 존재할 수 있도록 하기 위해서는 에칭을 통해 거칠기를 높여 사용되는 것이 일반적이다. On the other hand, in electroless plating, metal ions are selectively deposited only on the surface of a component made of a material such as plastic, so that a catalyst for reducing activation energy is attached to the surface of the component so that the plating effect can be obtained. The plastic surface is generally used to increase the roughness through etching so that the catalyst can be easily attached and present.

에칭방법으로는 크롬산-황산 또는 인산과 같은 강한 산화산에 플라스틱을 침지하는 산 에칭법이 통상적으로 많이 사용되었다. 이러한 산 에칭법은 공정이 간단하고 에칭에 의한 표면 조도 개선효과가 우수하다는 장점이 있으나, 작업자의 피부·점막 등을 강하게 자극하는 인체 유해성 물질이 발생하고 지속적 환경처리 비용 증가 등의 문제점을 가지고 있다. 이러한, 산 에칭법의 문제점을 해결하기 위한 대안공정으로 건식 플라즈마 표면처리법이 제시되었으나, 연속 공정이 어렵고, 장비 가 고가라는 등의 문제가 있다. As the etching method, an acid etching method in which a plastic is immersed in a strong oxide acid such as chromic acid-sulfuric acid or phosphoric acid is commonly used. This acid etching method has the advantage of simple process and excellent surface roughness improvement effect by etching, but it has problems such as generation of human harmful substances that strongly irritate the skin and mucous membrane of worker and continuous increase of environmental treatment cost. . The dry plasma surface treatment method has been proposed as an alternative process for solving the problem of the acid etching method, but there are problems such as difficulty in continuous process and expensive equipment.

또한 일본 특허 공보 평-1-092377호에는 수지 재료를 오존 가스로 미리 처리한 다음, 처리된 수지 재료를 무전해 도금하는 방법이 개시되어 있다. 이러한 공보에 따르면, 수지 재료의 불포화 결합이 오존에 의해 파괴되어 작은 분자로 변화되고, 이에 따라 상이한 화학 성분을 가지는 분자들이 수지 재료의 표면에 공존하여, 그 평탄도가 저하되고, 표면이 거칠어진다. 따라서, 무전해 도금이 형성된 코팅이 거칠어진 표면에 팽팽히 들어가서 그로부터 코팅이 쉽게 벗겨지는 것을 방지한다.In addition, Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei-1-092377 discloses a method of pretreating the resin material with ozone gas and then electroless plating the treated resin material. According to this publication, the unsaturated bonds of the resin material are broken down by ozone to change into small molecules, whereby molecules having different chemical constituents coexist on the surface of the resin material, resulting in a decrease in flatness and a rough surface. . Thus, the coating on which the electroless plating is formed is taut to the roughened surface to prevent the coating from peeling easily therefrom.

또한, 일본 특허 공보 평 8-092752호에는 에칭에 의해 수지 재료로 폴리올레핀을 거칠게 하고, 거칠어진 폴리올레핀을 오존수와 접촉하게 한 다음, 양이온 계면 활성제(cationic surface active agent)를 포함하는 용액으로 거칠어진 폴리올레핀을 처리하는 방법이 개시되어 있다. In addition, Japanese Patent Application Laid-open No. Hei 8-092752 discloses a polyolefin that is roughened with a resin material by etching, the roughened polyolefin is brought into contact with ozone water, and then roughened with a solution containing a cationic surface active agent. A method of treating is disclosed.

상술된 방법에서, 도금 코팅의 점착성은 수지 재료의 표면을 거칠게 함으로써 소위 앵커 효과(anchor effect)에 의해 증가된다. 그러나, 이러한 방법에 따르면, 수지 재료의 표면 평탄도가 감소한다. 따라서, 수지 재료에 양호한 외관을 유지하면서 금속 광택을 제공하기 위하여, 도금 코팅이 두꺼워야만 하므로, 인시(man hour)가 증가하는 단점을 유발한다.In the above-described method, the adhesion of the plating coating is increased by the so-called anchor effect by roughening the surface of the resin material. However, according to this method, the surface flatness of the resin material is reduced. Thus, in order to provide metallic luster while maintaining a good appearance to the resin material, the plating coating must be thick, which leads to an increase in man hour.

또한, 에칭으로 수지 재료의 표면을 거칠게 하는 방법에서, 크롬산, 황산 등등과 같은 위험한 물질이 사용되어야 하므로, 그 결과 발생되는 폐수(liquid waste) 처리 등등의 문제점이 발생한다. 또한, 이러한 방법은 수지 재료의 표면 평탄도가 감소하는 문제점을 해결할 수 없다.In addition, in the method of roughening the surface of the resin material by etching, dangerous substances such as chromic acid, sulfuric acid, and the like must be used, resulting in problems such as liquid waste treatment resulting. This method also cannot solve the problem of decreasing the surface flatness of the resin material.

김 진수가 출원한 대한민국 특허출원 2005-47121호에서는 무전해 도금공정의 전공정에 걸쳐 처리액을 수용성으로 하는 방법이 개시되어 있다. 이 발명에 따른 전처리법은 폴리카보네이트 및 폴리카보네이트가 함유된 피도물을 세척하는 세척단계; 상기 세척된 피도물을 질산처리하여 표면의 첨가제를 제거하는 질산처리단계; 상기 질산처리후 이를 계면활성제가 첨가된 전처리액으로 처리하여 표면을 부풀리는 전처리액 처리단계; 상기 전처리액 처리 후 무수크롬산, 황산, 소포제 및 침적제가 첨가된 에칭용액에 담그는 제 1 에칭단계; 상기 에칭용액을 일정속도로 교반하면서 2회 에칭하는 제 2 에칭단계; 상기 에칭후 중화액과 염산 및 물을 혼합한 혼합액으로 중화처리하는 중화단계; 상기 중화처리후 극성부여액과 염산 및 물을 혼합한 혼합액으로 처리하여 극성을 부여하는 극성부여단계; 상기 극성부여 후 이를 염산 및 황산으로 처리하는 활성처리단계; 상기 활성처리후 이를 화학동 도금하는 화학동 도금단계; 상기 화학동 도금 후 이를 무전해 니켈도금하는 니켈도금단계; 상기 니켈도금된 피도물을 건조하는 건조단계로 이루어진다. Korean Patent Application No. 2005-47121 filed by Kim Jin-soo discloses a method of making a treatment liquid water-soluble over the entire process of the electroless plating process. Pretreatment according to the present invention comprises a washing step of washing the polycarbonate and the coating material containing polycarbonate; A nitric acid treatment step of removing nitric acid from the surface of the washed object to remove additives from the surface; A pretreatment solution treatment step of inflating the surface by treating the nitric acid with a pretreatment solution to which a surfactant is added; A first etching step after the pretreatment solution is immersed in an etching solution to which chromic anhydride, sulfuric acid, an antifoaming agent, and a deposition agent are added; A second etching step of etching the etching solution twice while stirring at a constant speed; A neutralization step of neutralizing the mixture with a mixed solution of neutralizing solution, hydrochloric acid and water after the etching; A polarization step of imparting polarity by treating the polarization solution with a mixed solution of hydrochloric acid and water after the neutralization treatment; An active treatment step of treating the solution with hydrochloric acid and sulfuric acid after the polarization; A chemical copper plating step of electrolytic copper plating after the activation treatment; A nickel plating step of electroless nickel plating after the chemical copper plating; It consists of a drying step of drying the nickel-plated workpiece.

다이신 케미칼 캄파니, 리미티드 등이 출원한 대한민국 특허출원 2001-89839 호에서는 비도전성 물질의 표면에 도전성 금속 산화물을 함유하는 피막을 형성시킨 후, 촉매 부여 공정을 실시하는 무전해 도금 처리법을 개시하고 있다. Korean Patent Application No. 2001-89839, filed by Daishin Chemical Company, Limited, et al., Discloses an electroless plating method in which a film containing a conductive metal oxide is formed on a surface of a non-conductive material, and then subjected to a catalyst applying process. have.

상기와 같은 문제를 해결하기 위해서, 일본 특허 공보 평 10-088361호 및 일본 특허 공보 평 8-253869호에는 자외선으로 수지 재료를 조사하고, 얻어진 수지 재료를 무전해 도금 처리하는 방법이 개시되어 있다. 자외선 조사에 의하여, 수지 재료의 표면이 활성화되고, 활성화된 수지 재료상의 활성기들이 도금 재료로서의 활성 금속 입자들과 화학적으로 결합하여, 탁월한 점착성을 가지는 도금 코팅을 형성한다. 그러나, 자외선을 조사하는 방법은 수지 재료의 표면을 활성화시키기 위하여 다량의 에너지가 필요하므로, 수지 재료가 광원으로부터의 열광선에 의해 변질되는 경우가 발생한다.In order to solve the above problems, Japanese Patent Laid-Open Nos. 10-088361 and 8-253869 disclose a method of irradiating a resin material with ultraviolet light and electroless plating the obtained resin material. By ultraviolet irradiation, the surface of the resin material is activated, and the active groups on the activated resin material chemically bond with the active metal particles as the plating material, thereby forming a plating coating having excellent adhesion. However, the method of irradiating ultraviolet rays requires a large amount of energy in order to activate the surface of the resin material, so that the resin material is deteriorated by the hot rays from the light source.

도요다 지도샤 가부시끼가이샤에게 허여된 대한민국 특허 제 697051호에서는 수지 재료를 오존을 포함하는 용액과 접촉하는 동시에, 자외선을 조사하여, 오존수 처리에 의한 활성화 및 자외선 처리에 의한 활성화가 공동으로 작용하여 간단한 처리에 의해 우수한 점착 강도를 가지는 도금 코팅방식을 개시하고 있다. 또한 제 555928 호에서는 오존을 함유하는 용액 중에서 처리한 후, 음이온성 계면활성제 및 비이온성 계면활성제의 적어도 한쪽과 알칼리성분을 함유하는 용액과 접촉시키는 방식이 개시되어 있다. In Korean Patent No. 697051, issued to Toyota Shisha Co., Ltd., a resin material is brought into contact with a solution containing ozone, and irradiated with ultraviolet rays, thereby activating by ozone water treatment and activation by ultraviolet treatment. The plating coating method which has the outstanding adhesive strength by the process is disclosed. Further, 555928 discloses a method of treating in an ozone-containing solution and then contacting at least one of the anionic and nonionic surfactants with a solution containing an alkali component.

또한, 대한민국 특허 781813 호에서는 엔지니어링 플라스틱 수지에 대한 니켈도금에 있어서 플라스틱 수지의 표면을 에칭하여 표면 거칠기를 증가시키고, 니켈도금의 촉매제로서 촉매금속인 Pd가 함유된 팔라듐염과 염산용액에 침지시킨 후, 침지후 촉매층을 형성하고 화학니켈 도금액에 침지하여 전도성 피막이 형성시키는 방법이 개시되어 있다. In addition, in Korean Patent 781813, the surface of the plastic resin is etched in nickel plating on the engineering plastic resin to increase the surface roughness, and after immersion in the palladium salt and the hydrochloric acid solution containing Pd as a catalyst metal as a catalyst for nickel plating. And a method of forming a catalyst layer after immersion and immersing in a chemical nickel plating solution to form a conductive film.

대한민국 특허 제 589253호에서는 세라믹 기판에 도금층을 형성하는 방법이 개시되어 있다. 세라믹 기판에 대한 금속배선 형성방법은 소결 형성된 세라믹 기판에 탈지 및 에칭공정후 활성화된 팔라듐(Pd) 핵을 형성하고 구리를 도금하고, 니켈 또는 금을 순차적으로 무전해 도금한다.Korean Patent No. 589253 discloses a method of forming a plating layer on a ceramic substrate. In the method of forming a metal wiring on a ceramic substrate, an activated palladium (Pd) nucleus is formed on the sintered ceramic substrate after degreasing and etching, copper is plated, and nickel or gold is sequentially electroless plated.

종래의 발명들은 일반적으로 팔라듐염은 가격이 비싸고, 습식 처리됨으로서 복잡한 구조의 물체에 선택적인 도금이 어렵다는 문제가 있다. 일부 포토리소그래피 평면에는 선택적인 도금이 가능하나, 여전히 3차원 입체구조물에 적용하기는 어렵다는 문제가 있다. 따라서, 반도체 부품의 경우 전자파(EMI) 차폐를 위하여 몰딩물에 무전해 도금을 하지 못하고, 도전성 금속 케이스를 씌워 외부 전자파를 차단하고 있다. 하지만 도전성 금속 케이스를 별도 제작하여야 하고, 케이스를 씌우는 작업이 별도로 필요하기 때문에 제조비용이 증가한다. 또한 금속 케이스는 습기에 약하여 장기 보관 또는 사용시 녹이 발생이 되어 사용시 불량요인이 된다. 또한, 피도금 부재의 에칭이나 전처리 용액의 사용으로 인해, 환경 친화적이지 못하다는 문제가 계속되고 있다.Conventional inventions generally suffer from the problem that palladium salts are expensive and difficult to selectively plate on complex structures by being wet. Selective plating is possible on some photolithography planes, but there is still a problem that it is difficult to apply to three-dimensional solid structures. Therefore, in the case of semiconductor parts, electroless plating is not performed on moldings to shield electromagnetic waves, and external electromagnetic waves are blocked by covering a conductive metal case. However, the manufacturing cost increases because the conductive metal case must be manufactured separately, and the case is covered separately. In addition, the metal case is vulnerable to moisture, which causes rust when stored or used for a long period of time. Moreover, the problem of being unfriendly to the environment continues due to the etching of the member to be plated and the use of the pretreatment solution.

따라서, 시장에서는 에칭 및 습식 전철리 방식에 따른 문제를 해결할 수 있는 새로운 방법에 대한 요구가 계속되고 있다. Therefore, there is a continuing demand for new methods that can solve the problems of etching and wet transfer methods.

본 발명의 목적은 에칭 공정이 없는 신규한 무전해 도금 방법을 제공하는 것이다. It is an object of the present invention to provide a novel electroless plating method without an etching process.

본 발명의 다른 목적은 에칭 공정이 없는 무전래 도금 방식으로 도금된 도금체를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a plated plated by an electroless plating method without an etching process.

본 발명의 또 다른 목적은 무전해 도금용 건식 전처리 방식을 제공하는 것이다. Yet another object of the present invention is to provide a dry pretreatment method for electroless plating.

본 발명의 또 다른 목적은 무전해 도금용 건식 전처리 장치를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a dry pretreatment apparatus for electroless plating.

본 발명의 또 다른 목적은 새로운 무전해 도금 방식 및 이를 이용한 전기, 전자 부품을 제공하는 것이다. Still another object of the present invention is to provide a new electroless plating method and electric and electronic components using the same.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 무전해 도금법은 피도금 부재에 촉매 입자를 고정하여 도금하는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the electroless plating method of the present invention is characterized by plating the catalyst particles fixed to the plated member.

본 발명에 있어서, 상기 촉매 입자는 무전해 도금 공정에서 금속 성분을 석출하여 피도금 부재의 표면에 금속을 도금할 수 있는 고체 상태의 입자를 의미하는 것으로서, 피도금 부재의 표면에 도금막을 형성할 수 있는 한 특별한 제한은 없다. In the present invention, the catalyst particle means a particle in a solid state that can deposit a metal component and plate a metal on the surface of the member to be plated in an electroless plating process, and form a plated film on the surface of the member to be plated. There is no special limitation as long as it can.

본 발명의 실시에 있어서, 상기 촉매입자는 실리콘(Si) 니켈(Ni), 팔라듐(Pd), 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 흑연, 구리 입자, 이들의 합금 입자, 그리고, 이들의 화합물의 입자, 예를 들어 할로겐화물, 수산화물, 황산염, 탄산염 화합물 등의 입자를 사용할 수 있다. In the practice of the present invention, the catalyst particles are silicon (Si) nickel (Ni), palladium (Pd), gold (Au), silver (Ag), platinum (Pt), graphite, copper particles, alloy particles thereof, And particles of these compounds, for example, particles such as halides, hydroxides, sulfates, carbonate compounds and the like can be used.

본 발명의 일 실시에 있어서, 상기 실리콘 입자를 촉매성분으로 사용할 수 있으며, N타입 또는 P타입 등으로 개질된 실리콘 입자를 사용하는 것을 포함한다. 상기 실리콘 입자는 단독으로도 사용될 수 있으며, 알루미나(Al2O3), 실리콘 옥사이드(SiO2), 실리콘 카바이드(SiC) 등의 입자와 혼합하여 사용할 수 있다. In one embodiment of the present invention, the silicon particles can be used as a catalyst component, including the use of silicon particles modified to N type or P type or the like. The silicon particles may be used alone, or may be used by mixing with particles such as alumina (Al 2 O 3 ), silicon oxide (SiO 2 ), silicon carbide (SiC), and the like.

상기 촉매 입자들은 피도금 부재의 표면에 입자형태로 분사되어 고정될 수 있도록, 1 - 100 ㎛ 정도의 평균 직경을 가지는 것이 바람직하다. 상기 촉매 입자들은 상업적으로 구입해서 사용하거나 또는 원료를 분쇄기에 갈아서 사용할 수 있다. 상기 분쇄기는 통상의 그라인더나 볼 밀등을 사용할 있으며, 특별한 제한은 없다. The catalyst particles preferably have an average diameter of about 1-100 μm so as to be sprayed and fixed in the form of particles on the surface of the member to be plated. The catalyst particles can be purchased commercially or used by grinding the raw material into the mill. The grinder may be a conventional grinder, ball mill, etc., there is no particular limitation.

본 발명에 있어서, 상기 촉매 입자는 피도금 부재에 촉매입자를 분사함으로써 고정될 수 있으며, 바람직하게는 도금막이 피도금 부재로부터 박리되는 것을 방지하기 위해서, 입자의 적어도 일부가 표면에 삽입되도록 분사하여 고정되는 것이 바람직하다. In the present invention, the catalyst particles can be fixed by injecting the catalyst particles to the plated member, preferably, in order to prevent the plated film from being peeled off from the plated member, by spraying at least a portion of the particles to be inserted into the surface It is preferable to be fixed.

본 발명의 실시에 있어서, 상기 촉매 입자의 고정은 피도금 부재에 평균 직경이 1 - 100 ㎛ 정도인 촉매입자를 0.1 - 3.0, 바람직하게는 0.6 - 0.8 kgf/㎠ 의 압력으로 분사되는 공기와 함께 분사함으로써 이루어질 수 있다. 발명의 바람직한 일 실시에 의해서, 상기 촉매는 미세한 촉매 입자들이 일정 압력으로 분사되는 공 기에 혼합되어 분사되는 건식 분사 방식으로 분사되어, 고정된다. In the practice of the present invention, the fixation of the catalyst particles may be performed by spraying the catalyst particles having an average diameter of about 1-100 μm to the plated member at a pressure of 0.1-3.0, preferably 0.6-0.8 kg f / cm 2. By spraying together. According to a preferred embodiment of the invention, the catalyst is injected and fixed in a dry spray method in which fine catalyst particles are mixed and injected into the air injected at a constant pressure.

본 발명의 금속 도금방법에 의하면, 피도금 부재는 그 성질과 상태에 제한되지 않는다. 예를 들면 유리, 세라믹 등의 무기재료, 폴리에스테르, 폴리아미드, 폴리이미드, 불소수지 등의 플라스틱 재료, 그 필름, 시트, 섬유, 필요에 의해 유리포 기초재 등으로 보강된 에폭시 수지 등의 절연판 등의 절연물이나 Si웨이퍼 등의 반도체 등의 도전성이 낮은 피도금 부재에 적용될 수 있으며, 피도금 부재는 투명유리판, Si웨이퍼, 그 외 반도체 기판등에 바람직하게 적용할 수 있다. 또한, 피도금 부재는 분체에 적용될 수 있으며, 예를 들면 유리비드, 이황화 몰리브덴 분말, 산화마그네슘 분말, 흑연 분말, SiC 분말, 산화지르코늄 분말, 알루미나 분말, 산화규소 분말, 마이카 프레이크, 유리섬유, 질화규소, 테프론(등록상표) 분말 등을 들 수 있다. 본 발명의 바람직한 실시에 있어서, 상기 피도금 부재는 분사된 촉매입자가 일부 삽입되어 고정될 수 있도록 촉매 입자에 비해 경도가 낮은 것은 좋다.According to the metal plating method of this invention, a to-be-plated member is not restrict | limited to the property and state. Insulation plates, such as inorganic materials, such as glass and ceramics, plastic materials, such as polyester, polyamide, polyimide, and fluororesin, its film, sheet | seat, fiber, and epoxy resin reinforced with the glass cloth base material as needed. It can be applied to an insulator such as an insulating material or a plated member having low conductivity such as a semiconductor such as a Si wafer, and the plated member can be suitably applied to a transparent glass plate, a Si wafer, and other semiconductor substrates. Further, the plated member may be applied to the powder, for example, glass beads, molybdenum disulfide powder, magnesium oxide powder, graphite powder, SiC powder, zirconium oxide powder, alumina powder, silicon oxide powder, mica flake, glass fiber, silicon nitride And Teflon (registered trademark) powder. In a preferred embodiment of the present invention, the to-be-plated member may have a lower hardness than the catalyst particles so that the injected catalyst particles may be partially inserted and fixed.

본 발명에 있어서, 상기 무전해 도금 방식은 금속이온을 환원제의 힘에 의해 자기 촉매적으로 환원시켜 피처리물의 표면 위에 금속을 석출시킬 수 있는한 특별한 제한은 없다. 본 발명에 있어서, 상기 무전해 도금에 의해서 형성되는 피막의 종류는 전도성 도막으로서, 바람직하게는 니켈, 구리, 은, 금 또는 이들의 합금 도금이 가능하다. In the present invention, the electroless plating method is not particularly limited as long as the metal ions can be self-catalyzed by the force of the reducing agent to precipitate the metal on the surface of the workpiece. In the present invention, the type of the film formed by the electroless plating is a conductive coating film, preferably nickel, copper, silver, gold or alloy plating thereof.

본 발명은 일 측면에 있어서, 본 발명의 목적에 따라, 피도금 부재; 상기 피도금 부재에 고정된 촉매 입자; 및 도금층을 포함하여 이루어지는 도금체를 제공한다.The present invention in one aspect, according to the object of the present invention, the plated member; Catalyst particles fixed to the plated member; And it provides a plated body comprising a plated layer.

본 발명은 다른 일 측면에 있어서, 촉매 입자를 분사하여 피도금 부재에 고정시키는 것을 특징으로 하는 무전해 도금 전처리 방법으로 이루어진다. According to another aspect of the present invention, there is provided an electroless plating pretreatment method, wherein the catalyst particles are sprayed and fixed to a member to be plated.

본 발명에 있어서, 상기 촉매 입자는 실리콘(Si) 니켈(Ni), 팔라듐(Pd), 금(Au), 은(Ag), 백금(Pt), 흑연, 구리 입자, 이들의 합금 입자, 그리고, 이들의 화합물의 입자, 예를 들어 할로겐화물, 수산화물, 황산염, 탄산염 화합물 등의 입자를 사용할 수 있다. 본 발명의 일 실시에 있어서, 상기 실리콘 입자를 촉매성분으로 사용할 수 있으며, N 타입 또는 P 타입 등으로 개질된 실리콘 입자를 사용하는 것도 가능하다. 상기 실리콘 입자는 단독으로도 사용될 수 있으며, 알루미나(Al2O3), 실리콘 옥사이드(SiO2), 실리콘 카바이드(SiC) 등의 입자와 혼합하여 사용할 수 있다. In the present invention, the catalyst particles are silicon (Si) nickel (Ni), palladium (Pd), gold (Au), silver (Ag), platinum (Pt), graphite, copper particles, alloy particles thereof, and Particles of these compounds, for example, particles such as halides, hydroxides, sulfates, carbonate compounds and the like can be used. In one embodiment of the present invention, the silicon particles can be used as a catalyst component, it is also possible to use silicon particles modified to N type or P type or the like. The silicon particles may be used alone, or may be used by mixing with particles such as alumina (Al 2 O 3 ), silicon oxide (SiO 2 ), silicon carbide (SiC), and the like.

상기 촉매 입자들은 피도금 부재의 표면에 입자형태로 분사되어 고정될 수 있도록, 1 - 100 ㎛ 정도의 평균 직경을 가지는 것이 바람직하며, 도금막이 피도금 부재로부터 박리되는 것을 방지하기 위해서, 입자의 적어도 일부가 표면에 삽입된 상태로 고정되는 것이 바람직하다. The catalyst particles preferably have an average diameter of about 1-100 μm so as to be sprayed and fixed in the form of particles on the surface of the plated member, in order to prevent the plating film from being peeled off from the plated member, It is preferable that a part is fixed while being inserted into the surface.

본 발명에 있어서, 상기 피도금 부재는 열경화성 수지 또는 열가소성 수지, 에폭시 수지, 목재, 세라믹등의 재료로 이루어질 수 있다. 발명의 실시에 있어서, 상기 피도금 부재는 플라스틱 외장재, 반도체 소자, 인쇄회로 기판, 광반도체, 리모콘 수신 소자, 광센서 등을 포함한다. In the present invention, the member to be plated may be made of a material such as a thermosetting resin or a thermoplastic resin, epoxy resin, wood, ceramic. In the practice of the invention, the plated member includes a plastic exterior material, a semiconductor element, a printed circuit board, an optical semiconductor, a remote control receiving element, an optical sensor, and the like.

본 발명에 있어서, 상기 도금층은 니켈, 구리, 은, 금 또는 이들의 합금 도 금층이며, 바람직하게는 무전해 도금을 통해서 도금되는 금속층이다. In the present invention, the plating layer is nickel, copper, silver, gold or an alloy plating gold layer thereof, preferably a metal layer plated through electroless plating.

본 발명은 다른 일 측면에 있어서, 실리콘 입자의 무전해 도금 전처리 제로의 용도를 제공한다. 상기 실리콘 입자는 1 - 100 ㎛의 평균 입경을 가지는 것이 바람직하다. In another aspect, the present invention provides a use of the electroless plating pretreatment agent of the silicon particles. It is preferable that the said silicon particle has an average particle diameter of 1-100 micrometers.

이하, 실시예를 통해서 본원 발명을 보다 상세하게 설명한다. Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to Examples.

상기와 같은 구성 및 작용에 의하여 본 발명의 효과는 플라스틱 수지로 몰딩한 반도체 소자의 표면에 금속 도금층을 형성함으로써 전자파 차폐 및 광 차폐효과를 갖게 되었다. 또한 무전해 도금을 거친후 니켈, 또는 흑니켈로서 후처리하여 표면강도가 뛰어나고, 내마모성과 내열성이 개선되고, 외부 접촉에 의한 산화방지효과가 있다. 본 발명은 핸드폰, PDA, 노트북등 플라스틱 수지에 적용가능하며, 광택 또는 무광택의 장식효과 및 전자파 차폐효과를 갖게 되는 유용한 발명이다.The effect of the present invention by the configuration and action as described above has the effect of electromagnetic shielding and light shielding by forming a metal plating layer on the surface of the semiconductor element molded with a plastic resin. In addition, after electroless plating, it is post-treated as nickel or black nickel, so that the surface strength is excellent, wear resistance and heat resistance are improved, and there is an oxidation preventing effect by external contact. The present invention is applicable to plastic resins, such as mobile phones, PDAs, notebooks, and is a useful invention to have a decorative effect of glossy or matte and electromagnetic shielding effect.

실시예Example

실시예 1.Example 1.

리드프레임에 수광 센서 및 작동 IC가 장착되고, 반원형의 수광창이 형성되도록 리모콘 수신용 반도체 소자를 EMC 몰드로서 도 1과 같이 구조물을 형성하였다. 구조물의 표면을 500 배로 확대하여 표면을 관측하고, 결과를 도 2에 도시하였다. A light receiving sensor and an operation IC are mounted on the lead frame, and a semiconductor device for remote control reception is formed as an EMC mold to form a semicircular light receiving window as shown in FIG. 1. The surface of the structure was enlarged 500 times to observe the surface, and the results are shown in FIG. 2.

수광창을 간이 차폐물로 차폐한 후, 구조물 표면을 니켈로 도금하기 위해서, 먼저 촉매 입자로서 평균 입경 2 ㎛ 의 실리콘(Si)입자를 구조물 표면에 0.2 kgf/㎠의 압력으로 호닝장비(Horning M/C)를 이용하여 분사하였다. 분사 후 구조물의 표면을 도 3에 도시하였다. After shielding the light receiving window with a simple shield, in order to plate the surface of the structure with nickel, first, a silicon (Si) particle having an average particle diameter of 2 µm was used as a catalyst particle at a pressure of 0.2 kg f / cm2 on the surface of the structure. / C). The surface of the structure after spraying is shown in FIG. 3.

상기 촉매 입자 분사로 전처리된 구조물을 염화니켈 도금액에 침지하였다. 염화니켈 도금액은 순수, 차아인산나트륨(NaH2PO2), 구연산암모늄 ((NH4)2HC6H5O7), 염화암모늄(NH4Cl), 염화니켈(NiCl2)으로서 구성되어 있고, 암모니아수(NH4OH)로서 pH가 조절되었다. 침지시 용액의 온도는 92℃ 이상, 침지시간은 10분 가량 진행하였다. 침지 후 수세하고 건조 및 어닐링하여 피막을 안정화하였다. 어닐링은 175 ℃ 온도에서 1시간 가량 진행하였다. 1 ㎛ 이상의 니켈 도금층이 제품의 표면에 형성되었다. 도금층이 형성된 제품 및 그 표면 확대사진을 각각 도 4 및 도 5에 도시하였다. The structure pretreated by the catalyst particle spray was immersed in a nickel chloride plating solution. Nickel chloride plating solution is composed of pure water, sodium hypophosphite (NaH 2 PO 2 ), ammonium citrate ((NH 4 ) 2 HC 6 H 5 O 7 ), ammonium chloride (NH 4 Cl), nickel chloride (NiCl 2 ) , PH was adjusted as aqueous ammonia (NH 4 OH). The temperature of the solution during the immersion was 92 ℃ or more, the immersion time proceeded for about 10 minutes. After dipping, the film was stabilized by washing with water, drying and annealing. Annealing was performed at 175 degreeC for about 1 hour. A nickel plated layer of 1 µm or more was formed on the surface of the product. Products having plated layers and enlarged photographs of the surfaces thereof are shown in FIGS. 4 and 5, respectively.

피막의 부착력을 테스트한 결과로서, 접착 테이프 또는 송곳 스크래치에 강한 저항성을 나타냈다. 또한 전기전도성에 있어서 도전성이 확인되었다. 전자파 차폐 실험을 위하여 적외광 수신모듈(Infrared Receiver Module)에 적용하여 수신 노이즈의 차단여부를 확인하였으며, 기존의 금속케이스와 동일한 특성을 나타내었다.As a result of testing the adhesion of the film, it showed strong resistance to adhesive tape or awl scratch. In addition, conductivity was confirmed in electrical conductivity. For the electromagnetic shielding experiment, it was applied to the Infrared Receiver Module to check the blocking of the reception noise and showed the same characteristics as the existing metal case.

실시예 2.Example 2.

전처리된 구조물을 흑색 니켈로 도금한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다. 제품의 표면에 흑니켈 도금이 이루어졌으며, 도 6에 도시된 바와 같이 동일한 결과를 나타내었다. The same procedure was followed as in Example 1 except that the pretreated structure was plated with black nickel. Black nickel plating was performed on the surface of the product, and the same result as shown in FIG. 6 was obtained.

비교 실시예 1Comparative Example 1

알루미나 입자를 단독으로 사용한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 실시하였다. 제품의 표면에 니켈 도금이 이루어지지 않았다. The same procedure as in Example 1 was conducted except that the alumina particles were used alone. There was no nickel plating on the surface of the product.

도 1은 수광창이 형성된 리모콘 수신 모듈의 EMC 몰딩 구조물 사진이다. 1 is a photograph of the EMC molding structure of the remote control receiving module having a light receiving window.

도 2는 촉매 입자 분사 전 EMC 몰딩 구조물 표면의 현미경 500배 비율 표면사진이다. FIG. 2 is a microscope 500x magnification surface image of the surface of an EMC molding structure prior to catalyst particle injection.

도 3은 촉매 입자 분사 후 EMC 몰딩 구조물 표면의 현미경 500배 비율의 표면 사진이다. 3 is a photograph of the surface of the microscope 500 times the surface of the EMC molding structure after the catalyst particle injection.

도 4는 본 발명의 실시에 따른 수광창을 제외한 EMC 몰딩의 표면에 안착된 입자를 중심으로 니켈이 도금된 몰딩의 사진이다. Figure 4 is a photograph of the nickel-plated molding around the particles seated on the surface of the EMC molding except the light receiving window according to the embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 실시에 따른 니켈 도금 후 EMC 몰딩 구조물 표면을 현미경 500배 비율로 촬영한 표면 사진이다. 5 is a surface photograph of the surface of the EMC molding structure after nickel plating according to an embodiment of the present invention at a microscope ratio of 500 times.

도 6는 본 발명의 다른 실시에 따른 수광창을 제외한 EMC 몰딩의 표면에 안착된 입자를 중심으로 흑니켈이 도금된 몰딩의 사진이다.FIG. 6 is a photograph of a molding in which black nickel is plated around particles deposited on a surface of an EMC molding except for a light receiving window according to another embodiment of the present invention.

Claims (21)

피도금 부재에 촉매 입자를 고정하여 도금하는 것을 특징으로 하는 무전해 도금 방법.Electroless plating method characterized in that the plating by fixing the catalyst particles to the member to be plated. 제1항에 있어서, 촉매입자는 입자의 적어도 일부가 피도금 부재의 표면에 삽입되어 고정되는 무전해 도금 방법.The electroless plating method according to claim 1, wherein at least a part of the catalyst particles are inserted into and fixed to the surface of the member to be plated. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 촉매 입자는 평균입경이 1 - 100 ㎛ 인 것을 특징으로 하는 무전해 도금 방법.The electroless plating method according to claim 1 or 2, wherein the catalyst particles have an average particle diameter of 1 to 100 m. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 촉매입자는 피도금 부재에 촉매입자를 분사하여 고정되는 무전해 도금 방법.The electroless plating method according to claim 1 or 2, wherein the catalyst particles are fixed by spraying the catalyst particles onto the member to be plated. 제4항에 있어서, 상기 촉매입자는 건식 분사되어 고정되는 무전해 도금 방법.5. The method of claim 4, wherein the catalyst particles are dry sprayed and fixed. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 촉매입자는 무전해 도금 촉매 성분을 포함하는 입자인 무전해 도금 방법.The electroless plating method according to claim 1 or 2, wherein the catalyst particles are particles containing an electroless plating catalyst component. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 촉매 입자는 실리콘, 니켈, 팔라듐, 금, 은, 백금, 흑연, 구리 이들의 혼합물을 포함하는 입자인 무전해 도금 방법.The electroless plating method according to claim 1 or 2, wherein the catalyst particles are particles comprising a mixture of silicon, nickel, palladium, gold, silver, platinum, graphite, and copper. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 촉매입자는 실리콘 입자인 무전해 도금 방법.The electroless plating method according to claim 1 or 2, wherein the catalyst particles are silicon particles. 제5항에 있어서, 상기 촉매입자는 0.1-3.0 kgf/㎠ 압력으로 분사되는 것을 특징으로 하는 무전해 도금 방법.6. The electroless plating method of claim 5, wherein the catalyst particles are injected at a pressure of 0.1-3.0 kg f / cm 2. 제1항에 있어서, 상기 피도금 부재는 플라스틱, 목재, 또는 세라믹인 것을 특징으로 하는 무전해 도금 방법.The electroless plating method according to claim 1, wherein the member to be plated is plastic, wood, or ceramic. 피도금 부재; 상기 피도금 부재에 고정된 촉매 입자; 및 무전해 도금층을 포함하는 도금체.Member to be plated; Catalyst particles fixed to the plated member; And an electroless plating layer. 제11항에 있어서, 촉매입자는 입자의 적어도 일부가 피도금 부재의 표면에 삽입되어 고정되는 도금체.12. The plated body according to claim 11, wherein at least a part of the catalyst particles are inserted into and fixed to the surface of the member to be plated. 제11항 또는 제12항에 있어서, 상기 촉매 입자는 평균입경이 1 - 100 ㎛ 인 것을 특징으로 하는 도금체.The plated product according to claim 11 or 12, wherein the catalyst particles have an average particle diameter of 1 to 100 µm. 제11항 또는 제12항에 있어서, 상기 촉매입자는 피도금 부재에 촉매입자를 분사하여 고정되는 도금체.The plating member according to claim 11 or 12, wherein the catalyst particles are fixed by injecting the catalyst particles onto the member to be plated. 제14항에 있어서, 상기 촉매입자는 건식 분사되어 고정되는 도금체.The plating body according to claim 14, wherein the catalyst particles are fixed by dry spraying. 제11항 또는 제12항에 있어서, 상기 무전해 도금 촉매 성분을 포함하는 입자인 도금체.The plated body according to claim 11 or 12, which is a particle containing the electroless plating catalyst component. 제11항 또는 제12항에 있어서, 상기 촉매 입자는 실리콘, 니켈, 팔라듐, 금, 은, 백금, 흑연, 구리 이들의 혼합물을 포함하는 입자인 도금체.The plating body according to claim 11 or 12, wherein the catalyst particles are particles including silicon, nickel, palladium, gold, silver, platinum, graphite, copper, and mixtures thereof. 제17항에 있어서, 상기 촉매입자는 실리콘 입자인 도금체.The plating body according to claim 17, wherein the catalyst particles are silicon particles. 제11항 또는 제12항에 있어서, 상기 피도금 부재는 봉지재 또는 기판인 도금체.The plated body according to claim 11 or 12, wherein the plated member is an encapsulant or a substrate. 피도금 부재에 무전해 도금 촉매 입자를 분사하여 고정하는 것을 특징으로 하는 무전해 도금 전처리 방법.The electroless plating pretreatment method characterized by spraying and fixing an electroless plating catalyst particle to a to-be-plated member. 실리콘, 니켈, 팔라듐, 금, 은, 백금, 흑연, 구리 및 이들의 하나 이상 혼합물로 이루어진 그룹에서 선택되는 1 - 100 ㎛ 평균 입경의 무전해 도금 촉매 입자.Electroless plating catalyst particles of 1-100 μm average particle size selected from the group consisting of silicon, nickel, palladium, gold, silver, platinum, graphite, copper and one or more mixtures thereof.
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