KR20090033996A - Organic light emitting display - Google Patents
Organic light emitting display Download PDFInfo
- Publication number
- KR20090033996A KR20090033996A KR1020070099110A KR20070099110A KR20090033996A KR 20090033996 A KR20090033996 A KR 20090033996A KR 1020070099110 A KR1020070099110 A KR 1020070099110A KR 20070099110 A KR20070099110 A KR 20070099110A KR 20090033996 A KR20090033996 A KR 20090033996A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- wiring
- light emitting
- organic light
- insulating film
- transistor
- Prior art date
Links
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims abstract description 35
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 25
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 80
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 26
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 6
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N benzocyclobutene Chemical compound C1=CC=C2CCC2=C1 UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- CXOWYMLTGOFURZ-UHFFFAOYSA-N azanylidynechromium Chemical compound [Cr]#N CXOWYMLTGOFURZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GPBUGPUPKAGMDK-UHFFFAOYSA-N azanylidynemolybdenum Chemical compound [Mo]#N GPBUGPUPKAGMDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- WNUPENMBHHEARK-UHFFFAOYSA-N silicon tungsten Chemical compound [Si].[W] WNUPENMBHHEARK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K77/00—Constructional details of devices covered by this subclass and not covered by groups H10K10/80, H10K30/80, H10K50/80 or H10K59/80
- H10K77/10—Substrates, e.g. flexible substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/12—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
- H01L23/14—Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates characterised by the material or its electrical properties
- H01L23/142—Metallic substrates having insulating layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
- H10N30/883—Additional insulation means preventing electrical, physical or chemical damage, e.g. protective coatings
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
- H01L27/10—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
- H01L27/118—Masterslice integrated circuits
- H01L27/11803—Masterslice integrated circuits using field effect technology
- H01L27/11807—CMOS gate arrays
- H01L2027/11868—Macro-architecture
- H01L2027/11874—Layout specification, i.e. inner core region
- H01L2027/11875—Wiring region, routing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/34—Strap connectors, e.g. copper straps for grounding power devices; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/36—Structure, shape, material or disposition of the strap connectors prior to the connecting process
- H01L2224/37—Structure, shape, material or disposition of the strap connectors prior to the connecting process of an individual strap connector
- H01L2224/3754—Coating
- H01L2224/3757—Plural coating layers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/549—Organic PV cells
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 유기전계발광표시장치에 관한 것이다.The present invention relates to an organic light emitting display device.
유기전계발광표시장치에 사용되는 유기전계발광소자는 두 개의 전극 사이에 발광층이 형성된 자발광소자였다.The organic light emitting display device used in the organic light emitting display device was a self-light emitting device having a light emitting layer formed between two electrodes.
또한, 유기전계발광소자는 빛이 방출되는 방향에 따라 전면발광(Top-Emission) 방식과 배면발광(Bottom-Emission) 방식 등이 있고, 구동방식에 따라 수동매트릭스형(Passive Matrix)과 능동매트릭스형(Active Matrix) 등으로 나누어져 있다.In addition, the organic light emitting device has a top emission type and a bottom emission type depending on the direction in which light is emitted, and a passive matrix type and an active matrix type depending on the driving method. (Active Matrix), etc.
여기서, 능동매트릭스형을 채택한 유기전계발광표시장치의 서브 픽셀은 하나 이상의 트랜지스터, 커패시터 및 유기 발광다이오드를 포함하는데, 일반적으로 2T(트랜지스터)1C(커패시터) 이상의 회로 구조를 갖는다.Here, the subpixel of the organic light emitting display device adopting the active matrix type includes one or more transistors, capacitors, and organic light emitting diodes, and generally has a circuit structure of 2T (transistor) 1C (capacitor) or more.
여기서, 트랜지스터의 게이트, 소스 및 드레인 전극은 기판 상에 박막 형태로 위치한다. 그리고, 이러한 트랜지스터는 구동 드라이버를 통해 스캔 신호, 데이터 신호 및 전원 등을 공급받음으로써 구동을 하게 된다.Here, the gate, source and drain electrodes of the transistor are located in the form of a thin film on the substrate. The transistor is driven by receiving a scan signal, a data signal, a power supply, and the like through a driving driver.
한편, 기판 상에 위치하는 서브 픽셀이 매트릭스형태로 위치하기 때문에 서 브 픽셀에 신호(스캔 신호, 데이터 신호)나 전원을 공급하는 배선들이 교차하는 형태로 배선된다. 이 경우, 배선과 배선이 교차하는 영역에 형성된 커패시턴스 성분에 의해 표시품질이 떨어뜨리는 문제가 있어 이의 개선이 요구된다.On the other hand, since the subpixels located on the substrate are positioned in a matrix, the wirings for supplying signals (scan signals, data signals) or power to the subpixels are interconnected. In this case, there is a problem that the display quality is deteriorated due to the capacitance component formed in the area where the wiring and the wiring cross each other, and improvement thereof is required.
상술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 유기전계발광표시장치의 표시품질 개선 및 신뢰성을 향상시키기 위해 교차하는 배선 간에 발생하는 커패시턴스 성분을 줄이는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention for solving the above-mentioned problems of the background art is to reduce capacitance components occurring between crossing lines in order to improve display quality and reliability of an organic light emitting display device.
상술한 과제 해결 수단으로 본 발명은, 다수의 서브 픽셀을 포함하는 기판; 기판 상에 위치하는 제1배선; 제1배선을 덮도록 위치하는 층간절연막; 층간절연막 상에서 제1배선과 교차하도록 위치하는 제2배선; 및 제1배선과 제2배선이 교차하는 영역에 위치하는 층간절연막의 상부 또는 하부 중 하나 이상에 위치하는 더미 절연막을 포함하는 유기전계발광표시장치를 제공한다.The present invention as a means for solving the above problems, the substrate comprising a plurality of sub-pixels; A first wiring positioned on the substrate; An interlayer insulating film positioned to cover the first wiring; A second wiring positioned to intersect the first wiring on the interlayer insulating film; And a dummy insulating layer disposed on at least one of an upper portion and a lower portion of an interlayer insulating layer positioned at an area where the first and second wirings cross each other.
더미 절연막은, 제1배선과 제2배선이 교차하는 영역에 대응하여 위치할 수 있다.The dummy insulating layer may be positioned to correspond to a region where the first wiring and the second wiring cross each other.
제1배선은, 다수의 서브 픽셀에 스캔 신호를 공급하는 스캔 배선일 수 있다.The first wiring may be a scan wiring for supplying a scan signal to the plurality of subpixels.
제2배선은, 다수의 서브 픽셀에 데이터 신호를 공급하는 데이터 배선일 수 있다.The second wiring may be a data wiring for supplying a data signal to the plurality of sub pixels.
제2배선은, 다수의 서브 픽셀에 전원을 공급하는 전원배선일 수 있다.The second wiring supplies power to the plurality of sub pixels. It may be a power wiring.
더미 절연막은, 유기 또는 무기 절연막일 수 있다.The dummy insulating film may be an organic or inorganic insulating film.
더미 절연막의 두께는, 절연막의 두께보다 더 두꺼울 수 있다.The thickness of the dummy insulating film may be thicker than the thickness of the insulating film.
더미 절연막의 두께는 0.1 ㎛ ~ 5 ㎛일 수 있다.The dummy insulating layer may have a thickness of 0.1 μm to 5 μm.
다수의 서브 픽셀은; 하나 이상의 트랜지스터, 커패시터 및 유기 발광다이오드를 포함하며, 트랜지스터는, 탑 게이트 또는 바탐 게이트 형일 수 있다.A plurality of sub pixels; One or more transistors, capacitors, and organic light emitting diodes, the transistors may be top gate or batam gate type.
트랜지스터는, a-Si 트랜지스터, poly-Si 트랜지스터, Oxide 트랜지스터, Organic 트랜지스터 중 하나일 수 있다.The transistor may be one of an a-Si transistor, a poly-Si transistor, an oxide transistor, and an organic transistor.
본 발명은, 교차하는 배선 간에 발생하는 커패시턴스 성분을 줄일 수 있는 구조를 제공하여 유기전계발광표시장치의 표시품질 개선 및 신뢰성을 향상시키는 효과를 나타낸다.The present invention provides a structure capable of reducing capacitance components generated between crossing wirings, thereby improving display quality and reliability of an organic light emitting display device.
발명의 실시를 위한 구체적인 내용은 이하의 첨부된 도면을 참조하여 하기와 같이 설명한다.Specific details for carrying out the invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명에 따른 유기전계발광표시장치의 평면도이다.1 is a plan view of an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 1에 도시된 바와 같이 기판(110) 상에는 매트릭스형태로 다수의 서브 픽셀(120)이 위치할 수 있다. 다수의 서브 픽셀(120)은, 기판(110) 방향 또는 기판(110)의 반대 방향 중 하나 이상의 방향으로 발광할 수 있다. 서브 픽셀의 회로 구성과 구조는 이하 첨부된 도면을 참조하여 더욱 자세히 설명한다.As illustrated in FIG. 1, a plurality of
먼저, 도 2를 참조하여 서브 픽셀의 회로 구성에 대해 더욱 자세히 설명한다.First, the circuit configuration of the subpixel will be described in more detail with reference to FIG. 2.
도 2는 도 1에 도시된 서브 픽셀의 회로 구성도이다.FIG. 2 is a circuit diagram illustrating a subpixel illustrated in FIG. 1.
도 2에 도시된 바와 같이 도 1에 도시된 서브 픽셀 회로는, 스캔 배선(SCAN)에 게이트가 연결되고 데이터 배선(DATA)에 제1전극이 연결된 제1트랜지스터(T1)를 포함할 수 있다. 또한, 제1트랜지스터(T1)의 제2전극에 게이트가 연결되고 제2전원 배선(GND)에 제2전극이 연결된 제2트랜지스터(T2)를 포함할 수 있다. 또한, 제2트랜지스터(T2)의 게이트에 일단이 연결되고 제2전원 배선(GND)에 타단이 연결된 커패시터(Cst)를 포함할 수 있다. 또한, 제1전원 배선(VDD)에 제1전극(예: 애노드)이 연결되고 제2트랜지스터(T2)의 제1전극에 제2전극(예: 캐소드)이 연결된 유기 발광다이오드(D)를 포함할 수 있다.As illustrated in FIG. 2, the sub pixel circuit shown in FIG. 1 may include a first transistor T1 having a gate connected to the scan line SCAN and a first electrode connected to the data line DATA. In addition, the second transistor T2 may include a gate connected to the second electrode of the first transistor T1 and a second electrode connected to the second power line GND. In addition, a capacitor Cst having one end connected to the gate of the second transistor T2 and the other end connected to the second power line GND may be included. In addition, the organic light emitting diode D includes a first electrode (eg, an anode) connected to the first power line VDD and a second electrode (eg, a cathode) connected to the first electrode of the second transistor T2. can do.
이와 같은 서브 픽셀 회로는 스캔 배선(SCAN)을 통해 스캔 신호가 공급되면 제1트랜지스터(T1)가 턴 온될 수 있다. 그리고 데이터 배선(DATA)을 통해 데이터 신호가 공급되면 턴 온된 제1트랜지스터(T1)를 통해 커패시터(Cst)에 데이터 전압이 저장될 수 있다. 그러면, 커패시터(Cst)에 저장된 데이터 전압에 의해 제2트랜지스터(T2)가 턴온 됨과 아울러, 제1전원 배선(VDD)에 연결된 유기 발광다이오드(D)는 발광을 할 수 있다.In such a sub pixel circuit, when the scan signal is supplied through the scan line SCAN, the first transistor T1 may be turned on. When the data signal is supplied through the data line DATA, the data voltage may be stored in the capacitor Cst through the turned on first transistor T1. Then, the second transistor T2 is turned on by the data voltage stored in the capacitor Cst, and the organic light emitting diode D connected to the first power line VDD may emit light.
다음, 도 3을 참조하여 도 2와 같은 서브 픽셀 회로 구성을 갖는 서브 픽셀의 구조에 대해 더욱 자세히 설명한다.Next, the structure of the subpixel having the subpixel circuit configuration as shown in FIG. 2 will be described in more detail with reference to FIG. 3.
도 3은 도 1에 도시된 Z-Z 영역의 단면도이다.3 is a cross-sectional view of the Z-Z region illustrated in FIG. 1.
도 3에 도시된 바와 같이, 기판(110)이 위치할 수 있다. 기판(110)은 소자를 형성하기 위한 재료로 기계적 강도나 치수 안정성이 우수한 것을 선택할 수 있다. 기판(110)의 재료로는, 유리판, 금속판, 세라믹판 또는 플라스틱판(폴리카보네이트 수지, 아크릴 수지, 염화비닐 수지, 폴리에틸렌테레프탈레이트 수지, 폴리이미드 수지, 폴리에스테르 수지, 에폭시 수지, 실리콘 수지, 불소수지 등) 등을 예로 들 수 있다.As shown in FIG. 3, the
기판(110) 상에는 버퍼층(111)이 위치할 수 있다. 버퍼층(111)은 기판(110)에서 유출되는 알칼리 이온 등과 같은 불순물로부터 후속 공정에서 형성되는 박막 트랜지스터를 보호하기 위해 형성할 수 있다. 버퍼층(111)은 실리콘 산화물(SiO2), 실리콘 질화물(SiNx) 등을 사용할 수 있다.The
버퍼층(111) 상에는 반도체층(112)이 위치할 수 있다. 반도체층(112)은 비정질 실리콘 또는 이를 결정화한 다결정 실리콘을 포함할 수 있다. 여기서 도시하지는 않았지만, 반도체층(112)은 채널 영역, 소오스 영역 및 드레인 영역을 포함할 수 있으며, 소오스 영역 및 드레인 영역에는 P형 또는 N형 불순물이 도핑될 수 있다.The
반도체층(112)을 포함하는 기판(110) 상에는 게이트 절연막(113)이 위치할 수 있다. 게이트 절연막(113)은 실리콘 산화물(SiO2) 또는 실리콘 질화물(SiNx) 등을 사용하여 선택적으로 형성할 수 있다.The
반도체층(112)의 일정 영역인 채널 영역에 대응되도록 게이트 절연막(113) 상에 게이트 전극(114)이 위치할 수 있다. 게이트 전극(114)은 알루미늄(Al), 알루 미늄 합금(Al alloy), 티타늄(Ti), 은(Ag), 몰리브덴(Mo), 몰리브덴 합금(Mo alloy), 텅스텐(W), 텅스텐 실리사이드(WSi2) 중 어느 하나를 포함할 수 있다.The
게이트 전극(114)을 포함한 기판(110) 상에 층간절연막(115)이 위치할 수 있다. 층간절연막(115)은 유기막 또는 무기막일 수 있으며, 이들의 복합막일 수도 있다.An interlayer
층간절연막(115)이 무기막인 경우 실리콘 산화물(SiO2), 실리콘 질화물(SiNx) 또는 SOG(silicate on glass)를 포함할 수 있다. 반면, 유기막인 경우 아크릴계 수지, 폴리이미드계 수지 또는 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene,BCB)계 수지를 포함할 수 있다. 층간절연막(115) 및 게이트 절연막(113) 내에는 반도체층(112)의 일부를 노출시키는 제1 및 제2콘택홀(115a, 115b)이 위치할 수 있다.When the interlayer
층간절연막(115) 상에는 제1전극(116a)이 위치할 수 있다. 제1전극(116a)은 애노드일 수 있으며 ITO(Indium Tin Oxide) 또는 IZO(Indium Zinc Oxide) 등과 같은 도전층을 포함하여 2층 또는 3층 구조로 형성될 수 있다. 이에 대한 설명은 이하에 다른 도면을 첨부하여 더욱 자세히 설명한다.The
층간절연막(115) 상에는 소오스 전극 및 드레인 전극(116b, 116c)이 위치할 수 있다. 소오스 전극 및 드레인 전극(116b, 116c)은 제1 및 제2콘택홀(115a, 115b)을 통하여 반도체층(112)과 전기적으로 연결될 수 있다. 그리고, 드레인 전극(116c)의 일부는 제1전극(116a) 상에 위치하여, 제1전극(116a)과 전기적으로 연결될 수 있다.Source and
소오스 전극 및 드레인 전극(116b, 116c)은 배선 저항을 낮추기 위해 저저항 물질을 포함할 수 있다. 여기서, 소오스 전극 및 드레인 전극(116b, 116c)은 알루미늄(Al), 알미네리윰(Alnd), 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 타이나튬 나이트라이드(TiN), 몰리브덴 나이트라이드(MoN) 또는 크롬 나이트라이드(CrN) 등과 같은 금속층을 포함하여 형성될 수 있다.The source and drain
이상 기판(110) 상에 위치하는 트랜지스터는 게이트 전극(114), 소오스 전극 및 드레인 전극(116b, 116c)을 포함하고 다수의 트랜지스터 및 커패시터를 갖는 트랜지스터 어레이는 이하의 유기 발광다이오드와 전기적으로 연결될 수 있다. (단, 커패시터의 구조는 생략되었음) 그리고 여기서 형성된 트랜지스터는, a-Si 트랜지스터, poly-Si 트랜지스터, Oxide 트랜지스터, Organic 트랜지스터 중 하나일 수 있다.The transistor located on the
한편, 제1전극(116a)(예: 애노드) 상에는 제1전극(116a)의 일부를 노출시키는 절연막(117)이 위치할 수 있다.The insulating
절연막(117)은 벤조사이클로부텐(benzocyclobutene,BCB)계 수지, 아크릴계 수지 또는 폴리이미드 수지 등의 유기물을 포함할 수 있다.The insulating
노출된 제1전극(116a) 상에는 유기발광층(118)이 위치하고 유기발광층(118) 상에는 제2전극(119)(예: 캐소드)이 위치할 수 있다. 제2전극(119)은 유기발광층(118)에 전자를 공급하는 캐소드일 수 있으며, 마그네슘(Mg), 은(Ag), 칼슘(Ca), 알루미늄(Al) 또는 이들의 합금을 포함할 수 있다.The organic
이상 기판(110) 상에 위치하는 트랜지스터 어레이에 포함된 트랜지스터의 소 오스 또는 드레인 전극(116b, 116c)에 연결된 유기 발광다이오드는 제1전극(116a), 유기발광층(118) 및 제2전극(119)을 포함할 수 있다.The organic light emitting diode connected to the source or drain
단, 소오스 또는 드레인 전극(116b, 116c) 상에 위치하는 제1전극(116a)은 트랜지스터 어레이의 표면을 평탄화하는 평탄화막 상에 위치할 수도 있다. 또한, 트랜지스터 어레이에 포함된 트랜지스터의 구조는 게이트의 구조가 탑 게이트 인지 또는 바탐 게이트 인지에 따라 달라질 수 있다. 또한, 트랜지스터 어레이를 형성할 때 사용되는 마스크의 개수와 반도체층 재료에 따라 트랜지스터의 구조는 달리질 수 있다. 그러므로, 서브 픽셀의 구조는 이에 한정되지는 않는다.However, the
다시, 도 1을 참조하면, 기판(110) 상에는 다수의 서브 픽셀(120)에 전기적으로 연결되며 일부 영역에서 상호 교차하도록 배선된 제1 및 제2배선이 위치할 수 있다. 제1배선과 제2배선 사이에는 층간절연막(113)이 위치할 수 있다. 층간절연막(113)은 제1배선을 덮도록 위치할 수 있다.Referring back to FIG. 1, first and second wirings electrically connected to the plurality of
그리고 제1배선과 제2배선이 교차하는 영역 사이에 위치하는 층간절연막(113) 하부 또는 상부 중 하나 이상에는 더미 절연막(140a,140b)이 위치할 수 있다. 또한, 더미 절연막(140a,140b)은 제1배선과 제2배선 교차하는 영역에 대응하여 위치할 수 있다.In addition, the
따라서, 더미 절연막(140a,140b)은 제1배선과 제2배선이 교차하는 영역을 넓게 차지하도록 위치하거나 제1배선과 제2배선이 교차하는 영역에 대응하도록 다소 좁게 위치할 수도 있다.Therefore, the
여기서, 제1배선은 다수의 서브 픽셀(120)에 스캔 신호를 공급하는 스캔 배선(130a)일 수 있다. 그리고 제2배선은 다수의 서브 픽셀(120)에 데이터 신호를 공급하는 데이터 배선(130b)과 다수의 서브 픽셀(120)에 양의 전원을 공급하는 전원배선(130c)을 포함할 수 있다. 단, 제조방법에 따라서는 제1배선이 데이터 배선(130b)과 전원배선(130c)이 되고 제2배선이 스캔 배선(130a)이 될 수도 있다.In this case, the first wiring may be a
이하, 설명의 이해를 돕기 위해 이하 첨부된 도면을 참조하여 더미 절연막(140a,140b)의 구조를 더욱 자세히 설명하되, 스캔 배선(130a)과 전원배선(130c)이 교차하는 영역 사이에 위치하는 제1더미 절연막(140a)을 일례로 설명한다.Hereinafter, the structures of the
도 4는 도 1에 도시된 Y-Y 영역의 일 예시도 이다.4 is a diagram illustrating an example of the Y-Y region illustrated in FIG. 1.
도 4에 도시된 단면도와 같이, 기판(110) 상에는 버퍼층(111)이 위치할 수 있고, 버퍼층(111) 상에는 스캔 배선(130a)이 위치할 수 있다. 또한, 스캔 배선(130a) 상에는 층간절연막(113)이 위치할 수 있고, 층간절연막(113) 상에는 제1더미 절연막(140a)이 위치할 수 있다. 그리고, 제1더미 절연막(140a) 상에는 전원배선(130c)이 스캔 배선(130a)과 일부 영역이 교차하도록 위치할 수 있다.As shown in FIG. 4, the
도 5는 도 1에 도시된 Y-Y 영역의 다른 예시도 이다.5 is another exemplary view of the Y-Y region shown in FIG. 1.
도 5에 도시된 단면도와 같이, 기판(110) 상에는 버퍼층(111)이 위치할 수 있고, 버퍼층(111) 상에는 스캔 배선(130a)이 위치할 수 있다. 또한, 스캔 배선(130a) 상에는 제1더미 절연막(140a)이 위치할 수 있고, 제1더미 절연막(140a) 상에는 층간절연막(113)이 위치할 수 있다. 그리고, 층간절연막(113) 상에는 전원 배선(130c)이 스캔 배선(130a)과 일부 영역이 교차하도록 위치할 수 있다.As shown in FIG. 5, the
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 제1더미 절연막(140a)은 층간절연막(113)의 하부 또는 상부에 위치할 수 있다. 그러나 제1더미 절연막(140a)은 층간절연막(113)의 하부와 상부에 모두 위치할 수 있다.As shown in FIGS. 4 and 5, the first
이상과 같이 스캔 배선(130a)과 전원배선(130c)이 교차하는 영역 사이에 위치하는 층간절연막(113)의 상부 또는 하부 중 하나 이상에 제1더미 절연막(140a)을 형성하면, 기생 커패시턴스가 발생하는 문제를 해결할 수 있다.As described above, when the first
한편, 위에서 발생하는 기생 커패시턴스는 스캔 배선(130a)과 전원배선(130c)을 형성할 때, 이들의 재료로 사용되는 금속재료의 사이에 위치하는 층간절연막(113)이 커패시터 역할을 하기 때문이다.On the other hand, the parasitic capacitance generated above is because when the
그러나 본 발명과 같이 층간절연막(113) 상에 제1더미 절연막(140a)을 형성하면, 커패시터를 형성하는 금속(Metal), 절연막(Insulator), 금속(Metal) 구조를 변형 또는 저지할 수 있게 되어 기생 커패시턴스가 발생하는 문제를 해결할 수 있다.However, when the first
그리고 여기서 사용되는 제1더미 절연막(140a)의 재료로는 유기 또는 무기 절연막이 선택될 수 있다. 여기서, 층간절연막(113)이 유기 절연막인 경우 제1더미 절연막(140a)은 무기 절연막으로 선택될 수 있고, 층간절연막(113)이 무기 절연막인 경우 제1더미 절연막(140a)은 유기 절연막으로 선택될 수 있다. 단, 이와 반대로 제1더미 절연막(140a)은 층간절연막(113)과 동일한 재료로 형성될 수 있다.As the material of the first
한편, 제1더미 절연막(140a)의 두께는 층간절연막(113)의 두께보다 더 두껍게 형성될 수 있다. 이와 같은 관점에서, 제1더미 절연막(140a)의 두께는 0.1 ㎛ ~ 5 ㎛일 수 있다.Meanwhile, the thickness of the first
여기서, 제1더미 절연막(140a)의 두께가 0.1 ㎛ 이상이면, 층간절연막(113)의 두께보다 더 두껍게 형성되어 스캔 배선(130a)과 전원배선(130c) 간의 기생 커패시턴스 발생 량이 줄어든다.If the thickness of the first
반면, 제1더미 절연막(140a)의 두께가 5 ㎛ 이하이면, 전원배선(130c)의 스텝 커버리지를 떨어뜨리지 않는 범위 내에서 스캔 배선(130a)과 전원배선(130c)의 사이를 최대한 이격시킬 수 있다.On the other hand, if the thickness of the first
이로 인해, 스캔 배선(130a)과 전원배선(130c) 간의 기생 커패시턴스 발생 량은 줄어든다. 또한, 이와 같이 제1더미 절연막(140a)의 두께가 일정 범위 이상 넘게 되면, 층간절연막(113)과 제1더미 절연막(140a)이 상호 동일한 재료를 사용하였더라도 기생 커패시턴스을 저지할 수 있다.As a result, the amount of parasitic capacitance generated between the
따라서, 본 발명에 따른 유기전계발광표시장치는 기판 상에서 상호 교차하는 배선 간에 발생하는 커패시턴스 성분을 줄일 수 있는 구조를 제공하여 표시품질 개선 및 신뢰성을 향상시키는 효과를 나타낼 수 있다.Therefore, the organic light emitting display device according to the present invention can provide a structure that can reduce the capacitance component generated between the wiring crossing each other on the substrate can exhibit an effect of improving display quality and reliability.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다 는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 한다. 아울러, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어진다. 또한, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Although the embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, the technical configuration of the present invention described above may be modified in other specific forms by those skilled in the art to which the present invention pertains without changing its technical spirit or essential features. It will be appreciated that it may be practiced. Therefore, the embodiments described above are to be understood as illustrative and not restrictive in all aspects. In addition, the scope of the present invention is shown by the claims below, rather than the above detailed description. Also, it is to be construed that all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts are included in the scope of the present invention.
도 1은 본 발명에 따른 유기전계발광표시장치의 평면도.1 is a plan view of an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
도 2는 도 1에 도시된 서브 픽셀의 회로 구성도.FIG. 2 is a circuit diagram of the subpixel illustrated in FIG. 1. FIG.
도 3은 도 1에 도시된 Z-Z 영역의 단면도.3 is a cross-sectional view of the Z-Z region shown in FIG.
도 4는 도 1에 도시된 Y-Y 영역의 단면도.4 is a cross-sectional view of the Y-Y region shown in FIG.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명><Explanation of symbols on main parts of the drawings>
110: 기판 120: 서브 픽셀110: substrate 120: subpixel
130a: 스캔 배선 130b: 데이터 배선130a:
130c: 전원 배선 140a: 제1더미 절연막130c:
140b: 제2더미 절연막140b: second dummy insulating film
Claims (10)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070099110A KR20090033996A (en) | 2007-10-02 | 2007-10-02 | Organic light emitting display |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070099110A KR20090033996A (en) | 2007-10-02 | 2007-10-02 | Organic light emitting display |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20090033996A true KR20090033996A (en) | 2009-04-07 |
Family
ID=40760051
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020070099110A KR20090033996A (en) | 2007-10-02 | 2007-10-02 | Organic light emitting display |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR20090033996A (en) |
-
2007
- 2007-10-02 KR KR1020070099110A patent/KR20090033996A/en not_active Application Discontinuation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10991917B2 (en) | Array substrate and display device | |
KR101398448B1 (en) | Organic light emitting diode display | |
KR101499235B1 (en) | Organic light emitting diode display and method for manufacturing the same | |
US9196667B2 (en) | Organic light-emitting display with vertically stacked capacitor and capacitive feedback | |
KR100879294B1 (en) | Organic light emitting display | |
US7982386B2 (en) | Organic light emitting display device with opaque electrodes | |
KR101781506B1 (en) | Array substrate for organic electro luminescent device | |
KR20150017978A (en) | Organic light emitting diode display | |
KR102560393B1 (en) | Organic light emitting diode display device | |
KR101499233B1 (en) | Organic light emitting device | |
US7915117B2 (en) | Method for forming a pixel of an electroluminescence device having storage capacitors | |
US20070012926A1 (en) | Display device with reduced number of wires and manufacturing method thereof | |
US7772764B2 (en) | Display device and method of manufacturing the same | |
US7402950B2 (en) | Active matrix organic light emitting display device and method of fabricating the same | |
US20100133990A1 (en) | Organic light emitting device and manufacturing method thereof | |
KR20090005541A (en) | Organic light emitting display | |
KR20150060195A (en) | Organic light emitting diode device and method of fabricating the same | |
KR20090021580A (en) | Organic light emitting diode | |
KR100728129B1 (en) | Organic light emitting display and method of manufacturing the same | |
KR20070052509A (en) | Organic light emitting diode display | |
KR20080104875A (en) | Organic light emitting display | |
US11871628B2 (en) | Method of manufacturing conductive line for display device including the same | |
KR100862555B1 (en) | Organic light emitting display | |
KR100778443B1 (en) | Organic light emitting display | |
KR100684834B1 (en) | Flat pixel array panel, method thereof and flat display device using the same |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
WITN | Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid |