KR20090033103A - Electroluminescence device and method for producing the same - Google Patents

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KR20090033103A
KR20090033103A KR1020080094658A KR20080094658A KR20090033103A KR 20090033103 A KR20090033103 A KR 20090033103A KR 1020080094658 A KR1020080094658 A KR 1020080094658A KR 20080094658 A KR20080094658 A KR 20080094658A KR 20090033103 A KR20090033103 A KR 20090033103A
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야스히로 이이즈미
마사야 시모가와라
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다이니폰 인사츠 가부시키가이샤
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Abstract

An electroluminescent device and a manufacturing method thereof are provided to pattern a light emitting layer by using a difference of a wettability change pattern. A first electrode layer(2) is formed on a substrate(1). A wettability change layer(4) is formed on the substrate, and includes an optical catalyst. A wettability of the wettability change layer is changed by an optical catalyst according to an energy irradiation. The energy is irradiated on the wettability change layer into a patterning mode. A wettability change pattern is formed on a surface of the wettability change layer, and includes a lyophilic region(5) and a liquid-repellent region(6). A coating liquid for forming a light emitting layer including quantum dots is coated on the wettability change layer. A light emitting layer(7) is formed on the lyophilic region.

Description

전계 발광 소자 및 그의 제조 방법{ELECTROLUMINESCENCE DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME}EL device and its manufacturing method {ELECTROLUMINESCENCE DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME}

본 특허 출원은, 2007년 9월 28일에 제출된 일본 출원인 일본 특허 출원 제2007-256852호에 기초한 것이다. 이 출원에 있어서의 전체 개시 내용은, 인용함으로써 본 명세서의 일부가 된다.This patent application is based on Japanese Patent Application No. 2007-256852 which is a Japanese application filed on September 28, 2007. The entire disclosure in this application is a part of this specification by citing.

본 발명은, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 층을 사용하여, 양자 도트를 함유하는 발광층의 패터닝을 행하는 전계 발광(이하, EL이라고 하는 경우가 있음) 소자의 제조 방법 및 그에 따라 얻어지는 EL 소자에 관한 것이다.The present invention provides a method for producing an electroluminescent (hereinafter sometimes referred to as EL) element in which patterning of a light emitting layer containing quantum dots is performed using a layer whose wettability is changed by the action of a photocatalyst according to energy irradiation. It relates to an EL device thus obtained.

EL 소자는, 대향하는 2개의 전극으로부터 주입된 정공 및 전자가 발광층 내에서 결합하고, 그 에너지로 발광층 중의 발광 재료를 여기하여 발광 재료에 따른 색의 발광을 행하는 것이며, 자발광의 면상 표시 소자로서 주목받고 있다.The EL element combines holes and electrons injected from two opposite electrodes in the light emitting layer, excites the light emitting material in the light emitting layer with the energy, and emits light in accordance with the light emitting material. It is attracting attention.

일반적으로 EL 소자를 사용한 디스플레이의 제조에 있어서는, 발광층의 패터닝이 이루어지고 있다. 발광층의 패터닝 방법으로서는, 발광 재료를 섀도우 마스크를 통해 증착하는 방법, 잉크젯에 의한 분할 도포 방법, 자외선 조사에 의해 특 정한 발광 색소를 파괴하는 방법, 스크린 인쇄법 등의 다양한 패터닝 방법이 제안되어 있다. 또한, 잉크젯에 의한 분할 도포 방법에서는, 고정밀도의 미세 패턴을 얻기 위해 패턴상의 격벽(뱅크)을 형성하고, 격벽 표면을 발잉크 처리하는 것이 제안되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 및 특허 문헌 2 참조). 또한, 발광층의 패터닝 방법으로서, 고정밀도의 패턴 형성을 가능하게 하는 광 촉매를 사용하는 방법도 제안되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 3 내지 특허 문헌 6 참조).In general, in the manufacture of a display using an EL element, the light emitting layer is patterned. As the patterning method of the light emitting layer, various patterning methods have been proposed, such as a method of depositing a light emitting material through a shadow mask, a method of split coating by inkjet, a method of destroying a specific light emitting pigment by ultraviolet irradiation, and a screen printing method. Moreover, in the division coating method by inkjet, in order to obtain a high-precision fine pattern, it is proposed to form a patterned partition (bank) and to ink-reduce the partition surface (for example, patent document 1 and a patent document). 2). Moreover, as a method of patterning a light emitting layer, the method of using the photocatalyst which enables high-precision pattern formation is also proposed (for example, refer patent document 3-patent document 6).

이 광 촉매를 사용하는 발광층의 패터닝 방법은, 광 촉매를 함유하는 층, 또는 광 촉매를 함유하는 층에 근접하는 층이 에너지 조사되면, 그에 따른 광 촉매의 작용으로부터 이들 층의 습윤성이 변화되는 것을 이용한 것이다. 즉, 이 습윤성의 차이에 의한 패턴을 이용함으로써, 발광층을 패턴상으로 형성하는 것이다. 이와 같이 광 촉매를 사용하는 발광층의 패터닝 방법은, 에너지의 조사만으로 습윤성의 차이에 의한 패턴을 형성할 수 있기 때문에, 발광층의 패터닝에 필요로 되는 시간을 대폭 생략할 수 있다는 점에서 유용한 방법이다.The patterning method of the light emitting layer using this photocatalyst is that when the layer containing the photocatalyst or the layer close to the layer containing the photocatalyst is irradiated with energy, the wettability of these layers is changed from the action of the photocatalyst accordingly. It is used. That is, the light emitting layer is formed in a pattern by using a pattern due to this wettability difference. Thus, the patterning method of the light emitting layer using a photocatalyst is a useful method in that the pattern required by the difference in wettability can be formed only by irradiation of energy, and the time required for patterning of the light emitting layer can be largely omitted.

또한, 최근 반도체를 포함하는 양자 도트를 사용한 발광층을 갖는 발광 소자가 제안, 개발되고 있다. 양자 도트는 반도체의 원자가 복수개 모여 수 ㎚ 내지 수십 ㎚ 정도의 결정을 구성하는 것이며, 결정이 이러한 나노 크기까지 작아지면, 연속적인 밴드 구조가 아닌 이산적인 에너지 준위를 구성하게 된다. 즉, 양자 크기 효과가 현저히 나타나게 되기 때문에, 양자 도트보다 크기가 큰 벌크 결정에 비해 전자의 차폐 효과가 높아지고, 여기자가 재결합하는 확률을 높일 수 있다.Moreover, the light emitting element which has a light emitting layer using the quantum dot containing a semiconductor is proposed and developed in recent years. A quantum dot is composed of a plurality of atoms of a semiconductor to form a crystal of a few nm to several tens of nm, and when the crystal is reduced to such a nano-size, it constitutes a discrete energy level rather than a continuous band structure. That is, since the quantum size effect is remarkable, the shielding effect of the electrons is higher than that of the bulk crystal larger in size than the quantum dots, and the probability of recombination of the excitons can be increased.

또한, 양자 도트를 사용한 발광 소자에서는, 발광 소자의 구성을 변경하지 않고 발광 주파수를 조정할 수 있다. 양자 도트는, 양자 차폐 효과에 의해 크기에 의존한 광학 특성을 나타낸다. 예를 들면, CdSe를 포함하는 양자 도트의 발광색을 단순히 양자 도트의 크기를 변경함으로써, 청색으로부터 적색으로 변화시킬 수 있다. 또한, 양자 도트는 비교적 좁은 반가폭으로 발광하기 때문에, 예를 들면 반가폭을 30 ㎚ 미만으로 할 수 있다. 따라서, 양자 도트는 발광층의 재료로서 우수하다고 할 수 있다.In the light emitting element using the quantum dots, the light emission frequency can be adjusted without changing the configuration of the light emitting element. Quantum dots exhibit optical properties that depend on size by the quantum shielding effect. For example, the emission color of quantum dots containing CdSe can be changed from blue to red by simply changing the size of the quantum dots. In addition, since the quantum dots emit light at a relatively narrow half width, the half width can be, for example, less than 30 nm. Therefore, it can be said that quantum dots are excellent as a material of a light emitting layer.

또한, 양자 도트는 나노 크리스탈, 미립자, 콜로이드 또는 클러스터 등으로 불리는 경우도 있지만, 양자 크기 효과가 발생하는 것은 본 발명에서는 양자 도트와 동일한 것을 나타낸다.In addition, although a quantum dot may be called nanocrystal, microparticles | fine-particles, a colloid, or a cluster, etc., what generate | occur | produces a quantum size effect shows the same thing as a quantum dot in this invention.

이러한 양자 도트를 사용한 발광층의 성막 방법으로서는, 예를 들면 표면에 트리-n-옥틸포스핀옥시드(TOPO) 등의 배위자가 부착된 양자 도트를 함유하는 콜로이드 용액을 사용한 스핀 코팅법 및 침지 코팅법 등이 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 7, 특허 문헌 8 참조). 이 배위자는 양자 도트의 표면에 부착되어, 양자 도트의 분산 안정성을 양호하게 한다.As a method of forming a light emitting layer using such quantum dots, for example, a spin coating method using a colloidal solution containing a quantum dot having a ligand such as tri-n-octylphosphine oxide (TOPO) attached to the surface, an immersion coating method, or the like This is known (for example, refer patent document 7, patent document 8). This ligand is attached to the surface of the quantum dots to improve the dispersion stability of the quantum dots.

[특허 문헌 1] 일본 특허 제3601716호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent No. 3601716

[특허 문헌 2] 일본 특허 제3646510호 공보[Patent Document 2] Japanese Patent No. 3646510

[특허 문헌 3] 일본 특허 공개 제2001-257073호 공보[Patent Document 3] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-257073

[특허 문헌 4] 일본 특허 공개 제2002-231446호 공보[Patent Document 4] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-231446

[특허 문헌 5] 일본 특허 공개 제2004-71286호 공보[Patent Document 5] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-71286

[특허 문헌 6] 일본 특허 공개 제2005-300926호 공보[Patent Document 6] Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-300926

[특허 문헌 7] 일본 특허 공표 제2005-522005호 공보[Patent Document 7] Japanese Patent Publication No. 2005-522005

[특허 문헌 8] 일본 특허 공표 제2006-520077호 공보[Patent Document 8] Japanese Patent Publication No. 2006-520077

그러나, 상기한 양자 도트를 사용하여 성막된 발광층을 패터닝하는 방법에 대해서는, 거의 제안되어 있지 않다.However, little is proposed about the method of patterning the light emitting layer formed into a film using said quantum dot.

본 발명은 상기 실정에 감안하여 이루어진 것이며, 양자 도트를 함유하는 발광층을 용이하게 패터닝하는 것이 가능한 EL 소자의 제조 방법을 제공하는 것을 주된 목적으로 한다.This invention is made | formed in view of the said situation, Comprising: It aims at providing the manufacturing method of the EL element which can easily pattern the light emitting layer containing a quantum dot.

본 발명자들은 상기 과제를 해결하기 위해 다양한 검토를 행한 결과, 양자 도트를 사용한 발광층을 패터닝하기 위해서는, 기판 위에 친소액(親疎液) 패턴을 형성하여 원하는 위치에 도공액을 유지할 필요가 있고, 광 촉매와 발액성을 나타내는 오르가노폴리실록산으로 구성되며, 정공 수송 기능을 나타낼 수 있는 습윤성 변화층, 및 이 습윤성 변화층의 광 촉매 기능을 응용함으로써, 양자 도트를 사용한 발광층의 패터닝을 달성할 수 있다는 것을 발견하였다. 또한, 배위자로서 실란 커플링제를 사용함으로써, 발광층 내의 재료간이나 발광층과 제1 전극층 또는 정공 주입 수송층간에서의 밀착성 향상에 의해, EL 소자의 수명 특성의 개선을 도모할 수 있다는 것을 발견하였다. 또한, 배위자로서 실란 커플링제를 사용함으로써, 발광층을 용매에 대하여 불용화하고, 발광층 형성 공정의 후속 공정에서 도포를 도입하는 것이 가능해진다는 것을 발견하였다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM As a result of performing various examination in order to solve the said subject, in order to pattern the light emitting layer using a quantum dot, it is necessary to form a lyophilic pattern on a board | substrate, and to hold a coating liquid in a desired position, and a photocatalyst. And an organopolysiloxane which exhibits liquid repellency, and has been found to be able to achieve patterning of a light emitting layer using quantum dots by applying a wettability changing layer capable of exhibiting a hole transporting function and a photocatalytic function of this wettability changing layer. It was. In addition, it was found that by using a silane coupling agent as a ligand, the life characteristics of the EL element can be improved by improving the adhesion between the materials in the light emitting layer and between the light emitting layer and the first electrode layer or the hole injection transport layer. In addition, it was found that by using a silane coupling agent as a ligand, it is possible to insolubilize the light emitting layer with respect to a solvent and to introduce coating in a subsequent step of the light emitting layer forming step.

즉, 본 발명은, 제1 전극층이 형성된 기판 위에, 광 촉매를 함유하고, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 습윤성 변화층을 형성하는 습윤성 변화층 형성 공정과, 상기 습윤성 변화층에 패턴상으로 에너지 조사함으 로써, 상기 습윤성 변화층 표면에 친액성 영역 및 발액성 영역을 포함하는 습윤성 변화 패턴을 형성하는 습윤성 변화 패턴 형성 공정과, 습윤성 변화 패턴이 형성된 상기 습윤성 변화층 위에, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트를 함유하는 발광층 형성용 도공액을 도포하여, 상기 친액성 영역 위에 발광층을 형성하는 발광층 형성 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 EL 소자의 제조 방법을 제공한다.That is, the present invention provides a wettability change layer forming step of forming a wettability change layer in which a wettability change layer is formed on a substrate on which a first electrode layer is formed, and the wettability is changed by the action of the photocatalyst according to energy irradiation, and the wettability change. The pattern of the wettability change pattern for forming a wettability change pattern including a lyophilic region and a liquid repellent region on the surface of the wettability change layer by irradiating the layer with a pattern on the wettability change layer, and on the wettability change layer having a wettability change pattern formed thereon, A light emitting layer forming step of coating a light emitting layer forming coating solution containing a quantum dot having a ligand disposed around the same and forming a light emitting layer on the lyophilic region is provided.

본 발명에 따르면, 습윤성 변화층에 패턴상으로 에너지 조사함으로써 습윤성 변화 패턴을 형성하고, 이 습윤성 변화 패턴의 습윤성 차이를 이용함으로써, 발광층을 용이하게 패터닝하는 것이 가능하다.According to the present invention, it is possible to easily pattern the light emitting layer by forming the wettability change pattern by irradiating the wettability change layer with a patterned energy and using the wettability difference of the wettability change pattern.

또한, 본 발명은, 제1 전극층이 형성된 기판 위에, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 습윤성 변화층을 형성하는 습윤성 변화층 형성 공정과, 기체 위에 적어도 광 촉매를 함유하는 광 촉매 처리층이 형성되어 있는 광 촉매 처리층 기체를, 상기 습윤성 변화층에 대하여 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용이 미칠 수 있는 간극을 두고 배치한 후, 패턴상으로 에너지 조사함으로써, 상기 습윤성 변화층 표면에 친액성 영역 및 발액성 영역을 포함하는 습윤성 변화 패턴을 형성하는 습윤성 변화 패턴 형성 공정과, 습윤성 변화 패턴이 형성된 상기 습윤성 변화층 위에, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트를 함유하는 발광층 형성용 도공액을 도포하여, 상기 친액성 영역 위에 발광층을 형성하는 발광층 형성 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 EL 소자의 제조 방법을 제공한다.In addition, the present invention provides a wettability changing layer forming step of forming a wettability changing layer whose wettability is changed by the action of a photocatalyst according to energy irradiation on a substrate on which a first electrode layer is formed, and light containing at least a photocatalyst on a substrate. The wettability changing layer is disposed by arranging a photocatalyst treatment layer gas having a catalyst treatment layer on the wettability changing layer with a gap in which the action of the photocatalyst due to energy irradiation can be applied, and then irradiating energy in a patterned manner. For forming a lightness change pattern for forming a wettability change pattern including a lyophilic region and a liquid repellent region on a surface thereof, and a light emitting layer for forming a light emitting layer containing a quantum dot having a ligand disposed around the wettability change layer having a wettability change pattern formed thereon; And a light emitting layer forming step of applying a coating liquid to form a light emitting layer on the lyophilic region. A manufacturing method of an EL device is provided.

본 발명에 따르면, 광 촉매 처리층을 통해 습윤성 변화층에 패턴상으로 에너지 조사함으로써 습윤성 변화 패턴을 형성하고, 이 습윤성 변화 패턴의 습윤성 차 이를 이용함으로써, 발광층을 용이하게 패터닝하는 것이 가능하다. 또한, 광 촉매는 광 촉매 처리층에 포함되어 있으며, 이 광 촉매 처리층을 갖는 광 촉매 처리층 기체는 습윤성 변화 패턴 형성 공정 후에 습윤성 변화층으로부터 제거되기 때문에, 습윤성 변화층에는 광 촉매가 포함되어 있지 않고, 습윤성 변화층과 발광층의 계면에서의 장벽을 감소시켜, 발광 특성을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, it is possible to easily pattern a light emitting layer by forming a wettability change pattern by irradiating the wettability change layer with a pattern energy through a photocatalyst treatment layer, and using the wettability difference of this wettability change pattern. In addition, since the photocatalyst is contained in the photocatalyst treatment layer and the photocatalyst treatment layer gas having the photocatalyst treatment layer is removed from the wettability change layer after the wettability change pattern forming process, the wettability change layer contains the photocatalyst. Instead, the barrier at the interface between the wettability changing layer and the light emitting layer can be reduced, thereby improving the light emitting characteristics.

상기 발명에 있어서는, 상기 배위자가 실란 커플링제인 것이 바람직하다. 실란 커플링제를 함유하는 발광층 형성용 도공액을 사용함으로써 발광층을 경화시킬 수 있고, 발광층 내에서의 양자 도트의 안정성을 양호하게 할 수 있으며, 수명 특성을 향상시킬 수 있기 때문이다. 또한, 실란 커플링제는 분자 설계가 비교적 용이하기 때문에, 다양한 기능성을 나타내는 관능기를 갖는 실란 커플링제를 사용함으로써, 수명 특성을 개선할 수 있다. 또한, 후술하는 바와 같이 습윤성 변화층이 오르가노폴리실록산을 함유하는 경우에는, 습윤성 변화층 중의 오르가노폴리실록산이 제1 전극층과 결합하고, 발광층 중의 실란 커플링제가 습윤성 변화층과 결합함으로써, 제1 전극층과 습윤성 변화층과 발광층의 밀착성을 향상시킬 수 있다.In the said invention, it is preferable that the said ligand is a silane coupling agent. This is because the light emitting layer can be cured by using the coating liquid for forming the light emitting layer containing the silane coupling agent, the stability of the quantum dots in the light emitting layer can be improved, and the lifespan characteristics can be improved. In addition, since the silane coupling agent is relatively easy in molecular design, the life characteristics can be improved by using a silane coupling agent having a functional group exhibiting various functionalities. In addition, when a wettability change layer contains organopolysiloxane as mentioned later, the organopolysiloxane in a wettability change layer couple | bonds with a 1st electrode layer, and the silane coupling agent in a light emitting layer couple | bonds with a wettability change layer, and a 1st electrode layer And the adhesion between the wettability-changing layer and the light emitting layer can be improved.

상기한 경우, 상기 실란 커플링제가 YnSiX(4-n)(여기서, Y는 알킬기, 플루오로알킬기, 비닐기, 아미노기, 페닐기 또는 에폭시기를 나타내고, X는 알콕실기, 아세틸기 또는 할로겐을 나타내고, n은 0 내지 3의 정수임)으로 표시되는 규소 화합물일 수도 있다. 이러한 규소 화합물은 분자 설계가 비교적 용이하기 때문에, 상기 X, Y를 적절하게 선택함으로써 축합도 등을 제어할 수 있다. 이에 따라, 발광층 내에서의 양자 도트의 안정성을 원하는 것으로 할 수 있다.In the above case, the silane coupling agent is YnSiX (4-n), wherein Y represents an alkyl group, a fluoroalkyl group, a vinyl group, an amino group, a phenyl group or an epoxy group, X represents an alkoxyl group, an acetyl group or a halogen, n Is an integer of 0 to 3). Since the silicon compound is relatively easy in molecular design, the degree of condensation and the like can be controlled by appropriately selecting X and Y. Thereby, stability of the quantum dot in a light emitting layer can be made desired.

또한, 상기한 경우, 상기 실란 커플링제가 YnSiX(4-n)(여기서, Y는 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 정공 수송성을 나타내는 관능기, 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 전자 수송성을 나타내는 관능기, 또는 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 정공 수송성 및 전자 수송성 모두를 나타낼 수 있는 관능기를 나타내고, X는 알콕실기, 아세틸기 또는 할로겐을 나타내고, n은 0 내지 3의 정수임)으로 표시되는 규소 화합물일 수도 있다. 이러한 규소 화합물은 분자 설계가 비교적 용이하기 때문에, 다양한 기능성을 나타내는 관능기를 갖는 것으로 할 수 있으며, 수명 특성을 개선할 수 있다.In addition, in the above case, the silane coupling agent is YnSiX (4-n), wherein Y represents electron transportability bonded through a functional group, direct, vinyl group, or phenyl group, indicating hole transportability directly bonded through a vinyl group or a phenyl group. Silicon represented by a functional group or a functional group capable of exhibiting both hole transportability and electron transportability bonded directly through a vinyl group or a phenyl group, X represents an alkoxyl group, an acetyl group or a halogen, and n is an integer of 0 to 3). It may be a compound. Since the silicon compound is relatively easy in molecular design, it can be set as having a functional group which shows various functionalities, and can improve the life characteristic.

또한, 상기한 경우, 상기 발광층 형성 공정에서 상기 발광층 형성용 도공액을 도포한 후, 경화시키는 것이 바람직하다. 이에 따라, 상술한 바와 같이 발광층 내에서의 양자 도트의 안정성을 양호하게 할 수 있으며, 수명 특성을 향상시킬 수 있기 때문이다. 또한, 후술하는 바와 같이 습윤성 변화층이 오르가노폴리실록산을 함유하는 경우에는, 습윤성 변화층 중의 오르가노폴리실록산이 제1 전극층과 결합하고, 발광층 중의 실란 커플링제가 습윤성 변화층과 결합함으로써, 제1 전극층과 습윤성 변화층과 발광층의 밀착성을 향상시킬 수 있기 때문이다. 나아가서는, 발광층의 열 안정성(Tg: 유리 전이 온도)을 향상시킬 수도 있다.In addition, in the above-mentioned case, it is preferable to apply | coat and apply the coating liquid for light emitting layer formation in the said light emitting layer formation process, and to harden | cure. This is because the stability of the quantum dots in the light emitting layer can be improved as described above, and the lifespan characteristics can be improved. In addition, when a wettability change layer contains organopolysiloxane as mentioned later, the organopolysiloxane in a wettability change layer couple | bonds with a 1st electrode layer, and the silane coupling agent in a light emitting layer couple | bonds with a wettability change layer, and a 1st electrode layer This is because the adhesion between the wettability-changing layer and the light emitting layer can be improved. Furthermore, the thermal stability (Tg: glass transition temperature) of a light emitting layer can also be improved.

또한, 본 발명에 있어서는, 상기 양자 도트가 반도체 미립자를 포함하는 코어부와, 상기 코어부를 피복하고, 상기 반도체 미립자보다 밴드갭이 큰 재료를 포함하는 쉘부를 갖는 것이 바람직하다. 이러한 구성으로 함으로써, 양자 도트가 안정화되기 때문이다.Moreover, in this invention, it is preferable that the said quantum dot has the core part containing semiconductor microparticles | fine-particles, and the shell part which coat | covers the said core part and consists of a material with a bandgap larger than the said semiconductor microparticles | fine-particles. It is because quantum dots are stabilized by setting it as such a structure.

또한, 본 발명에 있어서는, 상기 발광층 형성용 도공액이 정공 수송 재료 및 전자 수송 재료 중 어느 하나 이상을 추가로 함유할 수도 있다. 양자 도트에 이들 재료를 조합함으로써, EL 소자의 제조 공정을 간략화할 수 있게 되거나, 발광층으로의 전하 수송 및 정공과 전자의 재결합에 의해 생성된 여기자의 에너지 이동을 효율적으로 행하는 것이 가능해져, EL 소자의 수명 특성 향상을 도모할 수 있기 때문이다.In the present invention, the light-emitting layer-forming coating liquid may further contain any one or more of a hole transport material and an electron transport material. By combining these materials with the quantum dots, the manufacturing process of the EL element can be simplified, or the energy transfer of excitons generated by charge transport to the light emitting layer and recombination of holes and electrons can be performed efficiently, This is because the lifespan characteristics can be improved.

또한, 본 발명에 있어서는, 상기 발광층 형성용 도공액의 도포 방법이 토출법인 것이 바람직하다. 토출법에서는, 습윤성 변화 패턴을 이용하여 고정밀도의 패턴을 형성할 수 있기 때문이다.Moreover, in this invention, it is preferable that the coating method of the said coating liquid for light emitting layer formation is a discharge method. This is because in the ejection method, a highly precise pattern can be formed using the wettability change pattern.

또한, 본 발명에 있어서는, 상기 습윤성 변화층이 YnSiX(4-n)(여기서, Y는 알킬기, 플루오로알킬기, 비닐기, 아미노기, 페닐기 또는 에폭시기를 나타내고, X는 알콕실기, 아세틸기 또는 할로겐을 나타내고, n은 0 내지 3의 정수임)으로 표시되는 규소 화합물 중 1종 또는 2종 이상의 가수분해 축합물 또는 공가수분해 축합물인 오르가노폴리실록산을 함유하는 것이 바람직하다. 습윤성 변화층에 사용되는 재료는 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되며, 광 촉매의 작용에 의해 분해되지 않을 정도의 결합 에너지가 필요하기 때문에, 상기한 바와 같은 오르가노폴리실록산이 바람직한 것이다.In the present invention, the wettability changing layer is YnSiX (4-n), wherein Y represents an alkyl group, a fluoroalkyl group, a vinyl group, an amino group, a phenyl group or an epoxy group, and X represents an alkoxyl group, an acetyl group or a halogen And n is an integer of 0 to 3), and preferably contains one or two or more hydrolyzed condensates or copolyhydrolyzed condensates of organopolysiloxane. Organopolysiloxanes as described above are preferred because the materials used in the wettability changing layer require binding energy such that the wettability is changed by the action of the photocatalyst and is not decomposed by the action of the photocatalyst.

또한, 본 발명은 기판과, 상기 기판 위에 패턴상으로 형성된 제1 전극층과, 상기 제1 전극층 위에 형성되고, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 것이며, 상기 제1 전극층의 패턴에 대응하여 폴리실록산을 함유하는 친액성 영역 및 상기 제1 전극층의 패턴의 개구부에 대응하여 불소를 포함하는 오르가노폴리실록산을 함유하는 발액성 영역을 포함하는 습윤성 변화 패턴을 갖는 습윤성 변화층과, 상기 습윤성 변화층의 친액성 영역 위에 형성된 발광층과, 상기 발광층 위에 형성된 제2 전극층을 갖고, 주위에 실란 커플링제가 배치된 양자 도트를 상기 발광층에 사용하는 것을 특징으로 하는 EL 소자를 제공한다.In addition, the present invention is formed on the substrate, the first electrode layer formed in a pattern on the substrate, and the first electrode layer, the wettability is changed by the action of the photocatalyst by energy irradiation, the pattern of the first electrode layer A wettability change layer having a wettability change pattern comprising a lyophilic region containing a polysiloxane corresponding to and a liquid repellent region containing an organopolysiloxane containing fluorine corresponding to an opening of a pattern of the first electrode layer, and the wettability A quantum dot having a light emitting layer formed on the lyophilic region of the change layer and a second electrode layer formed on the light emitting layer, and having a silane coupling agent disposed thereon, is used for the light emitting layer.

여기서, 불소는 매우 낮은 표면 에너지를 갖는 것이다. 본 발명에 있어서는, 습윤성 변화층 표면의 친액성 영역이 폴리실록산을 함유하고, 발액성 영역이 불소를 포함하는 오르가노폴리실록산을 함유하고 있기 때문에, 친액성 영역 및 발액성 영역을 비교하면, 친액성 영역 쪽이 임계 표면 장력이 커진다고 할 수 있다. 본 발명에 따르면, 이 발액성 영역 및 친액성 영역의 습윤성의 차이를 이용하여 친액성 영역 위에만 발광층을 형성할 수 있으며, 발광층을 용이하게 패터닝하는 것이 가능한 EL 소자로 할 수 있다.Here, fluorine has very low surface energy. In the present invention, since the lyophilic region on the surface of the wettability changing layer contains polysiloxane, and the liquid repellent region contains organopolysiloxane containing fluorine, the lyophilic region and the liquid repellent region are compared with each other. It can be said that the critical surface tension becomes larger. According to the present invention, the light emitting layer can be formed only on the lyophilic region by using the difference in the wettability between the liquid repellent region and the lyophilic region, and the EL element can be easily patterned.

또한, 발광층에 주위에 실란 커플링제가 배치된 양자 도트를 사용하기 때문에, 발광층을 경화된 것으로 할 수 있으며, 발광층 내에서의 양자 도트의 안정성을 양호하게 할 수 있고, 수명 특성을 향상시키는 것이 가능하다. 또한, 실란 커플링제는 분자 설계가 비교적 용이하기 때문에, 다양한 기능성을 나타내는 관능기를 갖는 실란 커플링제를 사용함으로써, 수명 특성을 개선하는 것이 가능하다. 또한, 습윤성 변화층이 오르가노폴리실록산을 함유하기 때문에, 습윤성 변화층 중의 오르가노폴리실록산이 제1 전극층과 결합하고, 발광층 중의 실란 커플링제가 습윤성 변화층과 결합함으로써, 제1 전극층과 습윤성 변화층과 발광층의 밀착성을 향상시킬 수 있다.In addition, since quantum dots with a silane coupling agent are disposed around the light emitting layer, the light emitting layer can be cured, and the stability of the quantum dots in the light emitting layer can be improved, and the life characteristics can be improved. Do. In addition, since the silane coupling agent is relatively easy in molecular design, it is possible to improve the life characteristics by using a silane coupling agent having a functional group exhibiting various functionalities. In addition, since the wettability changing layer contains an organopolysiloxane, the organopolysiloxane in the wettability changing layer is bonded to the first electrode layer, and the silane coupling agent in the light emitting layer is bonded to the wettability changing layer, thereby providing the first electrode layer and the wettability changing layer. The adhesion of the light emitting layer can be improved.

상기 발명에 있어서는, 상기 발광층이 상기 실란 커플링제의 가수분해 축합물을 함유하고, 경화된 것이 바람직하다. 이에 따라, 상술한 바와 같이 발광층 내에서의 양자 도트의 안정성을 양호하게 할 수 있으며, 수명 특성을 향상시킬 수 있다. 또한, 제1 전극층과 습윤성 변화층과 발광층의 밀착성을 향상시킬 수 있다. 나아가서는, 발광층의 열 안정성(Tg: 유리 전이 온도)을 향상시킬 수도 있다.In the said invention, it is preferable that the said light emitting layer contains the hydrolysis-condensation product of the said silane coupling agent, and is hardened | cured. As a result, as described above, the stability of the quantum dots in the light emitting layer can be improved, and the lifespan characteristics can be improved. In addition, the adhesion between the first electrode layer, the wettability changing layer, and the light emitting layer can be improved. Furthermore, the thermal stability (Tg: glass transition temperature) of a light emitting layer can also be improved.

상기한 경우, 상기 실란 커플링제의 가수분해 축합물이 YnSiX(4-n)(여기서, Y는 알킬기, 플루오로알킬기, 비닐기, 아미노기, 페닐기 또는 에폭시기를 나타내고, X는 알콕실기, 아세틸기 또는 할로겐을 나타내고, n은 0 내지 3의 정수임)으로 표시되는 규소 화합물 중 1종 또는 2종 이상의 가수분해 축합물 또는 공가수분해 축합물인 오르가노폴리실록산일 수도 있다. 이러한 오르가노폴리실록산은 분자 설계가 비교적 용이하기 때문에, 상기 X, Y를 적절하게 선택함으로써 축합도 등을 제어할 수 있다. 이에 따라, 발광층 내에서의 양자 도트의 안정성을 원하는 것으로 할 수 있다.In the above case, the hydrolysis condensate of the silane coupling agent is YnSiX (4-n), wherein Y represents an alkyl group, a fluoroalkyl group, a vinyl group, an amino group, a phenyl group or an epoxy group, and X represents an alkoxyl group, an acetyl group or Organopolysiloxane, which is one or two or more hydrolytic condensates or cohydrolytic condensates of a silicon compound represented by halogen, and n is an integer of 0 to 3). Since such an organopolysiloxane is relatively easy in molecular design, the degree of condensation and the like can be controlled by appropriately selecting X and Y. Thereby, stability of the quantum dot in a light emitting layer can be made desired.

또한, 상기한 경우, 상기 실란 커플링제의 가수분해 축합물이 YnSiX(4-n)(여기서, Y는 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 정공 수송성을 나타내는 관능기, 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 전자 수송성을 나타내는 관능기, 또는 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 정공 수송성 및 전자 수송성 모두를 나타낼 수 있는 관능기를 나타내고, X는 알콕실기, 아세틸기 또는 할로겐을 나타내고, n은 0 내지 3의 정수임)으로 표시되는 규소 화합물 중 1종 또는 2종 이상의 가 수분해 축합물 또는 공가수분해 축합물인 오르가노폴리실록산일 수도 있다. 이러한 오르가노폴리실록산은 분자 설계가 비교적 용이하기 때문에, 다양한 기능성을 나타내는 관능기를 갖는 것으로 할 수 있으며, 수명 특성을 개선할 수 있다.In addition, in the above case, the hydrolysis-condensation product of the silane coupling agent is YnSiX (4-n), wherein Y is directly through a functional group, a direct group, a vinyl group, or a phenyl group, which exhibits hole transportability bonded through a vinyl group or a phenyl group. A functional group which shows the bonded electron transport property, or a functional group which can represent both the hole transport property and the electron transport property which were couple | bonded directly through the vinyl group or the phenyl group, X represents an alkoxyl group, an acetyl group, or a halogen, n is an integer of 0-3 The organopolysiloxane which is 1 type, or 2 or more types of hydrolysis-condensation product or co-hydrolysis-condensation product of the silicon compound represented by) may be sufficient. Since such an organopolysiloxane is relatively easy in molecular design, it can be made to have a functional group which shows various functionalities, and can improve life characteristics.

또한, 본 발명에 있어서는, 상기 양자 도트가 반도체 미립자를 포함하는 코어부와, 상기 코어부를 피복하고, 상기 반도체 미립자보다 밴드갭이 큰 재료를 포함하는 쉘부를 갖는 것이 바람직하다. 이러한 구성으로 함으로써, 양자 도트가 안정화되기 때문이다.Moreover, in this invention, it is preferable that the said quantum dot has the core part containing semiconductor microparticles | fine-particles, and the shell part which coat | covers the said core part and consists of a material with a bandgap larger than the said semiconductor microparticles | fine-particles. It is because quantum dots are stabilized by setting it as such a structure.

본 발명에 따르면, 습윤성 변화층에 패턴상으로 에너지 조사함으로써 습윤성 변화 패턴을 형성하고, 이 습윤성 변화 패턴의 습윤성의 차이를 이용함으로써, 발광층을 용이하게 패터닝하는 것이 가능하다는 효과를 발휘한다.According to the present invention, the wettability changing layer is patterned with energy to form a wettability change pattern, and the light emitting layer can be easily patterned by utilizing the difference in wettability of the wettability change pattern.

본 발명에 따르면, 양자 도트를 함유하는 발광층을 용이하게 패터닝하는 것이 가능한 EL 소자의 제조 방법을 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide a method for producing an EL element which can easily pattern a light emitting layer containing quantum dots.

이하, 본 발명의 EL 소자 및 그의 제조 방법에 대하여 상세히 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the EL element of this invention and its manufacturing method are demonstrated in detail.

A. EL 소자의 제조 방법A. Manufacturing Method of EL Device

본 발명의 EL 소자의 제조 방법은, 습윤성 변화층의 구성 및 습윤성 변화 패턴 형성 공정에 따라 2개의 실시 양태로 분류할 수 있다. 이하, 각 실시 양태로 분류하여 설명한다.The manufacturing method of the EL element of this invention can be classified into two embodiment according to the structure of a wettability change layer, and the wettability change pattern formation process. Hereinafter, it classifies into each embodiment and demonstrates.

I. 제1 실시 양태I. First Embodiment

본 발명의 EL 소자의 제조 방법의 제1 실시 양태는, 제1 전극층이 형성된 기판 위에, 광 촉매를 함유하고, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 습윤성 변화층을 형성하는 습윤성 변화층 형성 공정과, 상기 습윤성 변화층에 패턴상으로 에너지 조사함으로써, 상기 습윤성 변화층 표면에 친액성 영역 및 발액성 영역을 포함하는 습윤성 변화 패턴을 형성하는 습윤성 변화 패턴 형성 공정과, 상기 친액성 영역 위에, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트를 함유하는 발광층 형성용 도공액을 도포하여 발광층을 형성하는 발광층 형성 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.The first embodiment of the method for manufacturing an EL device of the present invention is a wettability which includes a photocatalyst on a substrate on which a first electrode layer is formed, and forms a wettability changing layer whose wettability is changed by the action of the photocatalyst according to energy irradiation. A wettability change pattern forming step of forming a wettability change pattern including a lyophilic region and a liquid-repellent region on the surface of the wettability-changing layer by irradiating the changeable layer formation process with the wettability-modifying layer in a pattern shape; It has a light emitting layer formation process which forms the light emitting layer by apply | coating the coating liquid for light emitting layer formation containing the quantum dot in which the ligand was arrange | positioned around the area | region.

본 실시 양태의 EL 소자의 제조 방법에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다.The manufacturing method of the EL element of this embodiment is demonstrated, referring drawings.

도 1은, 본 실시 양태의 EL 소자의 제조 방법의 일례를 나타내는 공정도이다. 우선, 기판 (1) 위에 제1 전극층 (2)를 패턴상으로 형성하고, 이 제1 전극층 (2)의 패턴의 개구부에 절연층 (3)을 형성하고, 제1 전극층 (2) 및 절연층 (3) 위에 습윤성 변화층 (4)를 형성한다(도 1(a), 습윤성 변화층 형성 공정).1 is a process chart showing an example of a method of manufacturing the EL device of the present embodiment. First, the first electrode layer 2 is formed in a pattern form on the substrate 1, the insulating layer 3 is formed in the opening of the pattern of the first electrode layer 2, and the first electrode layer 2 and the insulating layer are formed. The wettability changing layer 4 is formed on (3) (FIG. 1 (a), a wettability changing layer formation process).

이어서, 포토마스크 (11)을 통해 습윤성 변화층 (4)에 자외선 (12)를 조사한다(도 1(b)). 자외선 (12)의 조사에 의해, 습윤성 변화층 (4)에 함유되는 광 촉매의 작용으로부터 습윤성 변화층 (4)의 조사 부분에서는 습윤성이 액체와의 접촉각이 저하되도록 변화된다(도 1(c)). 이 액체와의 접촉각이 저하되도록 습윤성이 변화된 영역을 친액성 영역 (5)로 한다. 미조사 부분에서는, 습윤성이 변화되지 않는다. 이 습윤성이 변화되지 않는 영역을 발액성 영역 (6)으로 한다. 이에 따라, 습윤성 변화층 (4) 표면에 친액성 영역 (5)와 발액성 영역 (6)을 포함하는 습윤성 변화 패턴이 형성된다. 도 1(b) 및 (c)는 습윤성 변화 패턴 형성 공정이다.Subsequently, the wettability changing layer 4 is irradiated with ultraviolet rays 12 through the photomask 11 (FIG. 1B). By irradiation of the ultraviolet ray 12, the wettability changes in the irradiation part of the wettability change layer 4 from the action of the photocatalyst contained in the wettability change layer 4 so that the contact angle with a liquid may fall (FIG. 1 (c)). ). The region whose wettability has changed so that the contact angle with this liquid falls is set to the lyophilic region 5. In the unirradiated portion, the wettability is not changed. The region where this wettability is not changed is referred to as the liquid repellent region 6. As a result, a wettability change pattern including the lyophilic region 5 and the liquid repellent region 6 is formed on the wettability changing layer 4 surface. 1 (b) and (c) show a wettability change pattern forming process.

습윤성 변화층 (4)는 광 촉매를 함유하고, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 것이며, 조사 부분인 친액성 영역 (5)와 미조사 부분인 발액성 영역 (6)에서는 습윤성에 차이가 있다.The wettability changing layer 4 contains a photocatalyst, and the wettability is changed by the action of the photocatalyst according to the energy irradiation. In the wettability-changing layer 4, the wettability-changing layer 4 and the non-irradiating portion are liquid repellent regions 6 There is a difference in wettability.

이어서, 이 습윤성의 차이를 이용하여, 친액성 영역 (5)와 발액성 영역 (6)을 포함하는 습윤성 변화 패턴 위에 발광층 형성용 도공액을 도포하여, 친액성 영역 (5) 위에만 발광층 (7)을 형성한다(도 1(d), 발광층 형성 공정).Subsequently, using this wettability difference, the coating liquid for forming a light emitting layer is applied onto the wettability change pattern including the lyophilic region 5 and the liquid repellent region 6, and the light emitting layer 7 is disposed only on the lyophilic region 5. ) (FIG. 1 (d), the light emitting layer forming step).

상기 발광층 형성용 도공액에는, 도 2에 예시한 바와 같은 주위에 배위자 (21)이 배치된 양자 도트 (22)가 사용되고 있다. 즉, 배위자 (21)이 양자 도트 (22)의 표면에 부착되어 있으며, 이러한 배위자 (21)이 표면에 부착된 양자 도트 (22)가 발광층 형성용 도공액에 사용되고 있다.The quantum dot 22 in which the ligand 21 was arrange | positioned around the luminescent layer forming coating liquid as shown in FIG. 2 is used. That is, the ligand 21 is affixed to the surface of the quantum dot 22, and the quantum dot 22 with this ligand 21 attached to the surface is used for the coating liquid for light emitting layer formation.

이어서, 발광층 (7) 위에 제2 전극층 (8)을 형성한다(도 1(e), 제2 전극층 형성 공정). 이때, 예를 들면, 제2 전극층 (8)을 투명 전극으로 한 경우에는 전면 발광형의 EL 소자가 얻어지며, 제1 전극층 (2)를 투명 전극으로 한 경우에는 배면 발광형의 EL 소자가 얻어진다.Next, the second electrode layer 8 is formed on the light emitting layer 7 (FIG. 1E, the second electrode layer forming step). At this time, for example, when the second electrode layer 8 is used as a transparent electrode, an EL element of a top emission type is obtained. When the first electrode layer 2 is used as a transparent electrode, an EL element of a bottom emission type is obtained. Lose.

본 실시 양태에 있어서는, 광 촉매를 함유하는 습윤성 변화층에 패턴상으로 에너지를 조사함으로써, 습윤성 변화층 표면에 친액성 영역 및 발액성 영역을 포함하는 습윤성 변화 패턴을 형성한다. 또한, 이 습윤성 변화층 표면에 형성된 습윤성 변화 패턴을 이용하여 발광층의 패터닝을 행한다. 따라서, 복잡한 패터닝 공정이나, 고가의 진공 설비를 필요로 하지 않고, 발광층을 용이하게 패터닝하는 것이 가능하다.In the present embodiment, the wettability change layer containing the photocatalyst is irradiated with a pattern to form energy, thereby forming a wettability change pattern including a lyophilic region and a liquid repellent region on the wettability change layer surface. Further, the light emitting layer is patterned by using the wettability changing pattern formed on the surface of the wettability changing layer. Therefore, it is possible to easily pattern the light emitting layer without the need for complicated patterning process or expensive vacuum equipment.

또한, 본 실시 양태에 있어서, 후술하는 바와 같이 양자 도트의 표면에 부착되어 있는 배위자는 실란 커플링제인 것이 바람직하다. 이에 따라, 발광층을 경화된 것으로 할 수 있으며, 발광층 내에서의 양자 도트의 안정성을 양호하게 할 수 있고, 수명 특성을 향상시키는 것이 가능하다. 또한, 실란 커플링제는 분자 설계가 비교적 용이하기 때문에, 다양한 기능성을 나타내는 관능기를 갖는 실란 커플링제를 사용함으로써, 수명 특성을 개선하는 것이 가능하다.In addition, in this embodiment, it is preferable that the ligand adhering to the surface of a quantum dot is a silane coupling agent as mentioned later. Thereby, a light emitting layer can be made hard, the stability of the quantum dot in a light emitting layer can be made favorable, and a lifetime characteristic can be improved. In addition, since the silane coupling agent is relatively easy in molecular design, it is possible to improve the life characteristics by using a silane coupling agent having a functional group exhibiting various functionalities.

또한, 후술하는 바와 같이, 습윤성 변화층은 오르가노폴리실록산을 함유하는 것이 바람직하다. 이 경우, 습윤성 변화층 중의 오르가노폴리실록산이 제1 전극층과 결합하고, 발광층 중의 실란 커플링제가 습윤성 변화층과 결합함으로써, 제1 전극층과 습윤성 변화층과 발광층의 밀착성을 향상시킬 수 있다. 이에 따라, EL 소자 구동시 등에 있어서의 층간 박리 등에 따른 수명 특성의 저하를 방지하는 것이 가능하다.In addition, as mentioned later, it is preferable that a wettability change layer contains organopolysiloxane. In this case, the organopolysiloxane in the wettability changing layer is bonded to the first electrode layer, and the silane coupling agent in the light emitting layer is bonded to the wettability changing layer, whereby the adhesion between the first electrode layer, the wettability changing layer and the light emitting layer can be improved. Thereby, it is possible to prevent the deterioration of the life characteristics due to the interlayer peeling or the like during EL element driving or the like.

이하, EL 소자의 제조 방법에 있어서의 각 공정에 대하여 설명한다.Hereinafter, each process in the manufacturing method of an EL element is demonstrated.

1. 습윤성 변화층 형성 공정1. Wetability change layer forming process

본 실시 양태에 있어서의 습윤성 변화층 형성 공정은, 제1 전극층이 형성된 기판 위에, 광 촉매를 함유하고, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 습윤성 변화층을 형성하는 공정이다.The wettability changing layer forming process in this embodiment is a process of forming the wettability changing layer in which wettability is changed on the board | substrate with which the 1st electrode layer was formed, and a wettability is changed by the action of the photocatalyst by energy irradiation.

이하 습윤성 변화층, 습윤성 변화층의 형성 방법, 기판 및 제1 전극층에 대하여 설명한다.Hereinafter, the wettability changing layer, the method of forming the wettability changing layer, the substrate, and the first electrode layer will be described.

(1) 습윤성 변화층(1) wettability changing layer

본 실시 양태에 있어서의 습윤성 변화층은 광 촉매를 함유하고, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 것이면 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면, 습윤성 변화층은 광 촉매를 함유하고, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 단일층일 수도 있으며(제1 양태), 광 촉매를 함유하는 층과, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 층이 적층된 것일 수도 있다(제2 양태). 이하, 각 양태에 대하여 설명한다.The wettability changing layer in the present embodiment is not particularly limited as long as the wettability changing layer contains a photocatalyst and the wettability is changed by the action of the photocatalyst according to energy irradiation. For example, the wettability changing layer may be a single layer containing a photocatalyst and whose wettability is changed by the action of the photocatalyst according to energy irradiation (first embodiment), the layer containing the photocatalyst, and the energy The layer which changes wettability by the action of a photocatalyst may be laminated (2nd aspect). Hereinafter, each aspect is demonstrated.

(i) 제1 양태(i) First aspect

본 양태의 습윤성 변화층은 광 촉매를 함유하고, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 단일층이다. 이 습윤성 변화층은, 습윤성 변화층 자체에 함유되는 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되기 때문에, 효율적으로 습윤성 변화 패턴을 형성할 수 있다.The wettability changing layer of this embodiment is a single layer containing a photocatalyst and whose wettability is changed by the action of the photocatalyst by energy irradiation. Since the wettability change layer changes wettability by the action of the photocatalyst contained in the wettability change layer itself, the wettability change layer can form a wettability change pattern efficiently.

본 양태의 습윤성 변화층은 광 촉매를 함유하고, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 것이면 특별히 한정되지 않으며, 통상적으로 광 촉매와, 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 재료를 함유하는 것이다.The wettability changing layer of the present embodiment is not particularly limited as long as the wettability changing layer contains a photocatalyst and the wettability is changed by the action of the photocatalyst according to the energy irradiation, and is usually a material whose wettability is changed by the action of the photocatalyst and the photocatalyst. It contains.

상기 광 촉매로서는, 광 반도체로서 알려져 있는 예를 들면 이산화티탄(TiO2), 산화아연(ZnO), 산화주석(SnO2), 티탄산스트론튬(SrTiO3), 산화텅스텐(WO3), 산화비스무트(Bi2O3) 및 산화철(Fe2O3)을 들 수 있다. 이들 광 촉매는 1종 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상을 혼합하여 사용할 수도 있다.As the photocatalyst, for example, titanium dioxide (TiO 2 ), zinc oxide (ZnO), tin oxide (SnO 2 ), strontium titanate (SrTiO 3 ), tungsten oxide (WO 3 ), bismuth oxide ( Bi 2 O 3 ) and iron oxide (Fe 2 O 3 ). These photocatalysts may be used individually by 1 type, and may mix and use 2 or more types.

이 중에서도 이산화티탄이 밴드갭 에너지가 높고, 화학적으로 안정적이며 독성도 없고, 입수가 용이하기 때문에 바람직하게 사용된다. 이산화티탄에는 아나타제형과 루틸형이 있으며, 모두 사용할 수 있다. 그 중에서도 아나타제형의 이산화티탄이 바람직하다. 아나타제형 이산화티탄은 여기 파장이 380 ㎚ 이하이다.Among these, titanium dioxide is preferably used because of its high bandgap energy, chemical stability, no toxicity, and easy availability. Titanium dioxide has anatase type and rutile type, and both can be used. Especially, anatase type titanium dioxide is preferable. The anatase titanium dioxide has an excitation wavelength of 380 nm or less.

아나타제형 이산화티탄으로서는, 예를 들면 염산 해교형의 아나타제형 티타니아졸(이시하라 산교(주) 제조 STS-02(평균 입경: 7 ㎚), 이시하라 산교(주) 제조 ST-K01), 질산 해교형의 아나타제형 티타니아졸(닛산 가가꾸(주) 제조 TA-15(평균 입경: 12 ㎚)) 등을 들 수 있다.As anatase type titanium dioxide, for example, anatase type titania sol of hydrochloric acid bridge type (Ishihara Sangyo Co., Ltd. make STS-02 (average particle diameter: 7 nm), Ishihara Sangyo Co., Ltd. make ST-K01), nitric acid bridge type Anatase type titania sol (TA-15 (average particle diameter: 12 nm) by Nissan Chemical Industries, Ltd.) etc. are mentioned.

입경이 작을수록 광 촉매 반응이 효과적으로 발생하기 때문에, 광 촉매의 입경은 작은 것이 바람직하다. 구체적으로 광 촉매의 평균 입경은 50 ㎚ 이하인 것이 바람직하고, 20 ㎚ 이하가 특히 바람직하다.The smaller the particle diameter is, the more effectively the photocatalytic reaction occurs. Therefore, it is preferable that the particle size of the photocatalyst is small. Specifically, the average particle diameter of the photocatalyst is preferably 50 nm or less, particularly preferably 20 nm or less.

상기 이산화티탄으로 대표되는 광 촉매의 작용 기구는, 명확하지는 않지만, 에너지의 조사에 의해 광 촉매가 산화 환원 반응을 발생시켜, 수퍼옥시드 라디칼(ㆍO2 -)이나 히드록시 라디칼(ㆍOH) 등의 활성 산소종을 발생시키고, 이 발생한 활성 산소종이 유기물의 화학 구조에 변화를 준다고 생각되고 있다. 본 실시 양태에 있어서는, 이 활성 산소종이 습윤성 변화층 중의 유기물에 작용을 미치고 있다고 사료된다.The photo-catalytic action mechanism, represented by the titanium dioxide include, but are not clear, by the photocatalyst by irradiation of the energy generated by oxidation and reduction reactions, the super-oxide radicals (and O 2 -) or hydroxyl radical (and OH) It is thought that active oxygen species such as these are generated and the generated active oxygen species change the chemical structure of organic matter. In this embodiment, this active oxygen species is considered to have an effect on the organic matter in the wettability changing layer.

습윤성 변화층 중의 광 촉매의 함유량은 5 질량% 내지 90 질량%의 범위 내에서 설정할 수 있으며, 바람직하게는 20 질량% 내지 70 질량%의 범위 내이다.Content of the photocatalyst in a wettability change layer can be set in the range of 5 mass%-90 mass%, Preferably it exists in the range of 20 mass%-70 mass%.

또한, 습윤성 변화층 중의 이산화티탄의 함유량, 결정형 등은, X선 광 전자 분광법, 러더포드 후방 산란 분광법, 핵 자기 공명 분광법 또는 질량 분석법을 이용하거나, 또는 이들 방법을 조합하여 확인할 수 있다.In addition, content of a titanium dioxide, a crystalline form, etc. in a wettability change layer can be confirmed using X-ray photoelectron spectroscopy, Rutherford backscattering spectroscopy, nuclear magnetic resonance spectroscopy, or mass spectrometry, or a combination of these methods.

또한, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 재료로서는, 광 촉매의 작용에 의해 열화, 분해되기 어려운 주쇄를 갖는 것이면 특별히 한정되지 않는다. 이러한 재료로서는, 예를 들면 (1) 졸겔 반응 등에 의해 클로로 또는 알콕시실란 등을 가수분해, 중축합하여 큰 강도를 발휘하는 오르가노폴리실록산, (2) 발수성이나 발유성이 우수한 반응성 실리콘을 가교한 오르가노폴리실록산 등의 오르가노폴리실록산을 들 수 있다.In addition, the material whose wettability is changed by the action of the photocatalyst according to energy irradiation is not particularly limited as long as it has a main chain that is hardly deteriorated and decomposed by the action of the photocatalyst. As such a material, for example, (1) organopolysiloxane which hydrolyzes and polycondenses chloro or alkoxysilane or the like by a sol-gel reaction or the like and exhibits great strength, and (2) organo-crosslinked reactive silicone having excellent water and oil repellency. Organopolysiloxanes, such as polysiloxane, are mentioned.

상기한 (1)의 경우, 화학식 In the case of the above (1),

YnSiX(4-n)YnSiX (4-n)

(여기서, Y는 알킬기, 플루오로알킬기, 비닐기, 아미노기, 페닐기 또는 에폭시기를 나타내고, X는 알콕실기, 아세틸기 또는 할로겐을 나타내고, n은 0 내지 3의 정수임)(Wherein Y represents an alkyl group, a fluoroalkyl group, a vinyl group, an amino group, a phenyl group or an epoxy group, X represents an alkoxyl group, an acetyl group or a halogen and n is an integer of 0 to 3)

으로 표시되는 규소 화합물 중 1종 또는 2종 이상의 가수분해 축합물 또는 공가수분해 축합물인 오르가노폴리실록산이 바람직하게 사용된다. Y로 표시되는 기의 탄소수는 1 내지 20의 범위 내인 것이 바람직하고, X로 표시되는 알콕실기는 메톡시기, 에톡시기, 프로폭시기, 부톡시기인 것이 바람직하다. 상기 화학식으로 표시되는 규소 화합물로서는, 구체적으로 일본 특허 공개 제2000-249821호 공보에 기재되어 있는 것 등을 사용할 수 있다.Organopolysiloxane which is 1 type, or 2 or more types of hydrolysis-condensation product or co-hydrolysis-condensation product of the silicon compound represented by is used preferably. It is preferable that carbon number of the group represented by Y exists in the range of 1-20, and it is preferable that the alkoxyl group represented by X is a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, butoxy group. As a silicon compound represented by the said chemical formula, the thing specifically described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2000-249821 can be used.

특히, 플루오로알킬기를 함유하는 폴리실록산을 바람직하게 사용할 수 있다. 플루오로알킬기를 함유하는 폴리실록산으로서는, 구체적으로 일본 특허 공개 제2000-249821호 공보에 기재되어 있는 플루오로알킬실란 중 1종 또는 2종 이상의 가수분해 축합물 또는 공가수분해 축합물을 들 수 있으며, 일반적으로 불소계 실란 커플링제로서 알려진 것을 사용할 수 있다.In particular, polysiloxanes containing a fluoroalkyl group can be preferably used. Examples of the polysiloxane containing a fluoroalkyl group include one or two or more hydrolysis condensates or cohydrolysis condensates of the fluoroalkylsilanes described in JP-A-2000-249821. Generally what is known as a fluorine-type silane coupling agent can be used.

플루오로알킬기를 함유하는 폴리실록산을 사용함으로써 습윤성 변화층의 발액성이 크게 향상되기 때문에, 습윤성이 변화되지 않는 발액성 영역으로의 발광층의 성막을 방해할 수 있으며, 액체와의 접촉각이 저하되도록 습윤성이 변화된 친액성 영역에만 발광층을 성막하는 것이 가능해진다.Since the liquid repellency of the wettability-changing layer is greatly improved by using polysiloxane containing a fluoroalkyl group, the wettability can be prevented from forming the light emitting layer in the liquid-repellent region where the wettability is not changed, and the wettability is reduced so that the contact angle with the liquid is lowered. It is possible to form the light emitting layer only on the changed lyophilic region.

또한, 습윤성 변화층 중에 플루오로알킬기를 함유하는 폴리실록산이 함유되어 있는 것은, X선 광 전자 분광법, 러더포드 후방 산란 분광법, 핵 자기 공명 분광법 또는 질량 분석법을 이용하여 확인할 수 있다.In addition, the polysiloxane containing a fluoroalkyl group in a wettability change layer can be confirmed using X-ray photoelectron spectroscopy, Rutherford backscattering spectroscopy, nuclear magnetic resonance spectroscopy, or mass spectrometry.

또한, 상기한 (2)의 반응성 실리콘으로서는, 하기 화학식으로 표시되는 골격을 갖는 화합물을 들 수 있다.Moreover, as said reactive silicone of said (2), the compound which has frame | skeleton represented by a following formula is mentioned.

Figure 112008067776577-PAT00001
Figure 112008067776577-PAT00001

단, n은 2 이상의 정수이고, R1, R2는 탄소수 1 내지 10의 치환 또는 비치환된 알킬기, 알케닐기, 아릴기 또는 시아노알킬기이고, 몰비로 전체의 40 % 이하가 비닐, 페닐, 할로겐화페닐이다. 또한, R1, R2가 메틸기인 것이 표면 에너지가 가장 작아지기 때문에 바람직하고, 몰비로 메틸기가 60 % 이상인 것이 더욱 바람직하다. 또한, 쇄 말단 또는 측쇄에는, 분자쇄 중에 적어도 1개 이상의 수산기 등의 반응성기를 갖는다.Provided that n is an integer of 2 or more, R 1 and R 2 are substituted or unsubstituted alkyl, alkenyl, aryl or cyanoalkyl groups having 1 to 10 carbon atoms, and 40% or less of the total is molar ratio of vinyl, phenyl, Phenyl halide. In addition, it is preferable that R 1 and R 2 be a methyl group because the surface energy is the smallest, and it is more preferable that the methyl group is 60% or more in molar ratio. The chain terminal or side chain has a reactive group such as at least one or more hydroxyl groups in the molecular chain.

또한, 상기한 오르가노폴리실록산과 함께 디메틸폴리실록산과 같은 가교 반응하지 않는 안정적인 오르가노 실리콘 화합물을 혼합할 수도 있다.It is also possible to mix with the organopolysiloxane described above a stable organosilicon compound which does not undergo a crosslinking reaction such as dimethylpolysiloxane.

이와 같이 오르가노폴리실록산 등의 다양한 재료를 습윤성 변화층에 사용할 수 있지만, 그 중에서도 습윤성 변화층이 불소를 함유하고 있는 것이 바람직하다. 이 경우, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해, 이 습윤성 변화층 표면의 불소 함유량이 에너지 조사 전에 비해 감소되는 것이 바람직하다.Thus, although various materials, such as organopolysiloxane, can be used for a wettability change layer, it is preferable that a wettability change layer contains fluorine especially. In this case, it is preferable that the fluorine content on the surface of this wettability changing layer is reduced compared with before energy irradiation by the action of the photocatalyst according to energy irradiation.

불소는 매우 낮은 표면 에너지를 갖기 때문에, 불소를 많이 함유하는 물질의 표면은 임계 표면 장력이 보다 작아진다. 그 때문에, 불소의 함유량이 많은 부분의 표면의 임계 표면 장력에 비해 불소의 함유량이 적은 부분의 임계 표면 장력이 커진다.Since fluorine has a very low surface energy, the surface of a fluorine-containing material has a smaller critical surface tension. Therefore, compared with the critical surface tension of the surface of the part with much fluorine content, the critical surface tension of the part with little fluorine content becomes large.

상기한 바와 같은 습윤성 변화층이면, 에너지를 패턴 조사함으로써 에너지 조사 부분인 불소 함유량이 적은 부분(친액성 영역)과, 에너지 미조사 부분인 불소 함유량이 많은 부분(발액성 영역)을 포함하는 습윤성 변화 패턴을 형성할 수 있기 때문이다. 이와 같이 습윤성 변화층이 불소를 함유하는 경우에는, 습윤성 변화 패턴의 형성에 유리하다.In the wettability changing layer as described above, the wettability change includes a portion having a low fluorine content (liquid lyophilic region) that is an energy irradiated portion and a portion having a high fluorine content (a liquid soluble region) that is an unirradiated portion by energy irradiation. This is because a pattern can be formed. Thus, when a wettability change layer contains fluorine, it is advantageous for formation of a wettability change pattern.

또한, 습윤성 변화층에는 상술한 재료 이외에, 예를 들면 일본 특허 공개 제2000-249821호 공보에 기재되어 있는 것과 동일한 계면활성제나 첨가제 등을 함유시킬 수도 있다.In addition, the wettability changing layer may contain, in addition to the above-mentioned materials, for example, the same surfactants, additives and the like as described in JP-A-2000-249821.

이러한 습윤성 변화층은, 상술한 재료를 필요에 따라 다른 첨가제와 함께 용제에 용해 또는 분산시켜 습윤성 변화층 형성용 도공액을 제조하고, 이 습윤성 변화층 형성용 도공액을 전극층 위에 도포함으로써 형성할 수 있다.Such a wettability changing layer can be formed by dissolving or dispersing the above-mentioned material together with other additives in a solvent as needed to produce a coating solution for forming a wettability changing layer, and applying the coating solution for forming a wettability changing layer onto an electrode layer. have.

이때, 습윤성 변화층 형성용 도공액에 사용할 수 있는 용제로서는, 상술한 재료 등과 혼합되는 것이며, 백탁이나 그 밖의 현상에 의해 패터닝 특성에 영향을 미치지 않는 것이면 특별히 한정되지 않는다. 이러한 용제로서는, 예를 들면 메탄올, 에탄올, 이소프로판올, 부탄올 등의 알코올류, 아세톤, 아세토니트릴, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜디메틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸글리콜모노메틸에테르, 디에틸글리콜모노에틸에테르, 디에틸글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 아세트산메틸, 아세트산에틸, 아세트산부틸, 톨루엔, 크실렌, 락트산메틸, 락트산에틸, 피루브산에틸, 3-메톡시프로피온산메틸, 3-에톡시프로피온산에틸, 디메틸포름아미드, 디메틸술폭시드, 디옥산, 에틸렌글리콜, 헥사메틸인산트리아미드, 피리딘, 테트라히드로푸란, N-메틸피롤리디논 등을 들 수 있다. 이들 용제는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.At this time, as a solvent which can be used for the coating liquid for wettability-changing layer formation, it will mix with the above-mentioned material etc., and if it does not affect patterning characteristic by cloudy or other phenomenon, it will not specifically limit. As such a solvent, For example, alcohols, such as methanol, ethanol, isopropanol, butanol, acetone, acetonitrile, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethyl Glycol monomethyl ether, diethyl glycol monoethyl ether, diethyl glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, methyl acetate, ethyl acetate, butyl acetate, toluene, Xylene, methyl lactate, ethyl lactate, ethyl pyruvate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, dimethylformamide, dimethyl sulfoxide, dioxane, ethylene glycol, hexamethyl phosphate triamide, pyridine, tetrahydrofuran , N-methylpyrrolidinone and the like have. These solvents can be used in mixture of 2 or more type.

또한, 습윤성 변화층 형성용 도공액의 도포 방법으로서는, 예를 들면 스핀 코팅법, 잉크젯법, 캐스팅법, LB법, 디스펜서법, 마이크로 그라비아 코팅법, 그라비아 코팅법, 바 코팅법, 롤 코팅법, 와이어바 코팅법, 침지 코팅법, 플렉소 인쇄법, 오프셋 인쇄법, 스크린 인쇄법 등을 들 수 있다.Moreover, as a coating method of the coating liquid for wettability changing layer formation, for example, a spin coating method, the inkjet method, the casting method, the LB method, the dispenser method, the microgravure coating method, the gravure coating method, the bar coating method, the roll coating method, The wire bar coating method, the dip coating method, the flexographic printing method, the offset printing method, the screen printing method, etc. are mentioned.

상기 습윤성 변화층 형성용 도공액의 도포 후, 도막을 건조시킬 수도 있다. 건조 방법으로서는, 균일한 습윤성 변화층을 형성하는 것이 가능한 방법이면 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면 핫 플레이트, 적외선 히터, 오븐 등을 사용할 수 있다.The coating film may be dried after application of the coating solution for forming the wettability changing layer. As a drying method, if it is a method which can form a uniform wettability change layer, it will not specifically limit, For example, a hotplate, an infrared heater, oven, etc. can be used.

습윤성 변화층의 막 두께로서는 습윤성 변화 패턴의 형성이 가능하고, 정공 또는 전자의 수송을 저해하지 않는 막 두께이면 특별히 한정되지 않는다. 구체적으로는 10 ㎚ 내지 500 ㎚인 것이 바람직하고, 그 중에서도 10 ㎚ 내지 200 ㎚, 특히 10 ㎚ 내지 100 ㎚의 범위 내인 것이 바람직하다. 습윤성 변화층이 지나치게 얇으면, 균일하게 성막하는 것이 곤란해지기 때문이다. 반대로 습윤성 변화층이 지나치게 두꺼우면, 정공 또는 전자의 이동을 저해할 가능성이 있기 때문이다.The film thickness of the wettability changing layer is not particularly limited as long as the wettability changing pattern can be formed and the film thickness does not inhibit the transport of holes or electrons. It is preferable that it is 10 nm-500 nm specifically, and it is especially preferable to exist in the range of 10 nm-200 nm, especially 10 nm-100 nm. If the wettability changing layer is too thin, it is difficult to form a film uniformly. On the contrary, if the wettability changing layer is too thick, there is a possibility of inhibiting the movement of holes or electrons.

(ii) 제2 양태(ii) a second aspect

본 양태의 습윤성 변화층은 광 촉매를 함유하는 층과, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이나 변화되는 층(이하, 습윤성이 변화하는 층이라고 하는 경우가 있음)이 적층된 것이다. 이 습윤성 변화층은 기능별로 층이 나누어져 있기 때문에, 층 구성이나 재료의 조합 등을 용이하게 변경할 수 있다. 이하, 습윤성 변화층의 각 구성에 대하여 설명한다.The wettability changing layer of this embodiment is a layer in which a layer containing a photocatalyst and a layer which is wettable or changed by the action of the photocatalyst according to energy irradiation (hereinafter sometimes referred to as a layer whose wettability changes) are laminated. Since the wettability changing layer is divided into layers according to functions, the layer structure, the combination of materials, and the like can be easily changed. Hereinafter, each structure of a wettability change layer is demonstrated.

(광 촉매를 함유하는 층)(Layer containing photocatalyst)

본 양태에 사용되는 광 촉매를 함유하는 층은 광 촉매를 함유하고, 이 층 중의 광 촉매가 적층되어 있는 습윤성이 변화되는 층의 습윤성을 변화시키는 것이면 특별히 한정되지 않는다. The layer containing the photocatalyst used in this embodiment is not particularly limited as long as it contains the photocatalyst and changes the wettability of the layer in which the wettability of the photocatalyst in this layer is laminated is changed.

또한, 광 촉매를 함유하는 층은 추가로 바인더를 함유할 수도 있다. 이에 따라, 성막이 용이해지기 때문이다. 본 양태에 사용되는 바인더로서는, 주골격이 광 촉매의 광 여기에 의해 분해되지 않는 높은 결합 에너지를 갖는 것이면 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면, 알킬실리케이트를 사용할 수 있다. 알킬실리케이트로서는, 화학식 SinOn -1(OR)2n+2(단, Si는 규소, O는 산소, R은 알킬기를 나타냄)로 표시되는 화합물을 들 수 있다. 여기서 n은 1 내지 6의 범위 내, R은 탄소수 1 내지 4의 알킬기인 것이 규소의 비율이 많다는 점에서 바람직하다. 또한, 상기 제1 양태에 기재한 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 재료도 사용할 수 있다.In addition, the layer containing the photocatalyst may further contain a binder. This makes it easy to form a film. The binder used in the present embodiment is not particularly limited as long as the main skeleton has a high binding energy that is not decomposed by photoexcitation of the photocatalyst. For example, alkylsilicates can be used. Examples of the alkyl silicates include compounds represented by the general formula SinO n -1 (OR) 2n + 2 (wherein Si represents silicon, O represents oxygen, and R represents an alkyl group). N is preferably in the range of 1 to 6, and R is preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms in terms of a large proportion of silicon. Moreover, the material whose wettability changes by the action of the photocatalyst by the energy irradiation described in the said 1st aspect can also be used.

또한, 광 촉매를 함유하는 층 표면의 습윤성은 친액성일 수도 있고, 발액성 일 수도 있다.In addition, the wettability of the surface of the layer containing the photocatalyst may be lyophilic or liquid repellent.

광 촉매를 함유하는 층의 두께는 정공 또는 전자의 이동을 방해하지 않는 두께이면 특별히 한정되지 않지만, 구체적으로는 10 ㎚ 내지 500 ㎚인 것이 바람직하고, 그 중에서도 10 ㎚ 내지 200 ㎚, 특히 10 ㎚ 내지 100 ㎚의 범위 내인 것이 바람직하다. 광 촉매를 함유하는 층이 지나치게 얇으면, 습윤성이 변화되는 층의 습윤성을 변화시키는 것이 곤란해지는 경우가 있기 때문이다. 반대로 광 촉매를 함 유하는 층이 지나치게 두꺼우면, 정공 또는 전자의 이동을 저해할 가능성이 있기 때문이다.The thickness of the layer containing the photocatalyst is not particularly limited as long as it does not hinder the movement of holes or electrons. Specifically, the thickness of the layer containing the photocatalyst is preferably 10 nm to 500 nm, and particularly 10 nm to 200 nm, particularly 10 nm to. It is preferable to exist in the range of 100 nm. It is because it may become difficult to change the wettability of the layer from which wettability changes when the layer containing a photocatalyst is too thin. On the contrary, if the layer containing the photocatalyst is too thick, there is a possibility of inhibiting the movement of holes or electrons.

(습윤성이 변화되는 층)(Layer in which wettability is changed)

본 양태에 사용되는 습윤성이 변화되는 층은, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 것이면 특별히 한정되지 않으며, 통상적으로 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 재료를 함유하는 것이다. 또한, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 재료에 대해서는, 상기 제1 양태에 기재한 것과 동일하기 때문에 여기서의 설명은 생략한다.The layer whose wettability is changed in the present embodiment is not particularly limited as long as the wettability is changed by the action of the photocatalyst according to energy irradiation, and is usually a material whose wettability is changed by the action of the photocatalyst according to energy irradiation. It is to contain. In addition, about the material whose wettability changes by the action of the photocatalyst by energy irradiation, since it is the same as that of what was described in the said 1st aspect, the description here is abbreviate | omitted.

또한, 습윤성이 변화되는 층에는, 상기 제1 양태와 마찬가지로 계면활성제나 첨가제 등을 함유시킬 수 있다.Moreover, surfactant, an additive, etc. can be contained in the layer which changes wettability similarly to the said 1st aspect.

습윤성이 변화되는 층의 두께는 습윤성 변화 패턴의 형성이 가능하고, 정공 또는 전자의 수송을 저해하지 않는 두께이면 특별히 한정되지 않지만, 구체적으로는 0.5 ㎚ 내지 20 ㎚인 것이 바람직하고, 그 중에서도 0.5 ㎚ 내지 10 ㎚의 범위 내인 것이 바람직하다. 습윤성 변화층이 지나치게 얇으면, 습윤성의 차이가 명확히 발현하지 않게 될 가능성이 있기 때문이다. 반대로 습윤성 변화층이 지나치게 두꺼우면, 정공 또는 전자의 수송을 저해할 가능성이 있기 때문이다.The thickness of the layer in which the wettability is changed is not particularly limited as long as it is possible to form a wettability change pattern and does not inhibit the transport of holes or electrons. Specifically, the thickness is preferably 0.5 nm to 20 nm, and among them, 0.5 nm. It is preferable to exist in the range of -10 nm. It is because there exists a possibility that the difference in wettability may not express clearly if a wettability change layer is too thin. On the contrary, if the wettability-changing layer is too thick, there is a possibility of inhibiting the transport of holes or electrons.

(2) 기판(2) substrate

본 실시 양태에 사용되는 기판은 투명성을 가질 수도 있고, 갖지 않을 수도 있다. 예를 들면, 도 1(e)에 도시한 EL 소자에 있어서 배면 발광형으로 하는 경 우, 기판 (1)은 투명성을 갖는 것이 바람직하다. 한편, 예를 들면 도 1(e)에 도시한 EL 소자에 있어서 전면 발광형으로 하는 경우, 기판 (1)에 투명성은 요구되지 않는다. 또한, 예를 들면 도 1(e)에 도시한 EL 소자에 있어서 양면으로부터 빛을 취출하는 경우에는, 기판 (1)은 투명성을 갖는 것이 바람직하다.The substrate used for this embodiment may or may not have transparency. For example, in the EL element shown in Fig. 1E, the substrate 1 preferably has transparency. On the other hand, for example, in the EL element shown in Fig. 1E, when the top emission type is used, transparency is not required for the substrate 1. For example, when taking out light from both surfaces in the EL element shown to Fig.1 (e), it is preferable that the board | substrate 1 has transparency.

투명성을 갖는 기판에는, 예를 들면 유리 등의 무기 재료나 투명 수지 등을 사용할 수 있다.As the substrate having transparency, an inorganic material such as glass, a transparent resin, or the like can be used.

상기 투명 수지로서는 필름상으로 성형 가능하면 특별히 한정되지 않지만, 투명성이 높고, 내용매성, 내열성이 비교적 높은 것이 바람직하다. 이러한 투명 수지로서는, 예를 들면 폴리에테르술폰, 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리카르보네이트(PC), 폴리에테르에테르케톤(PEEK), 폴리불화비닐(PFV), 폴리아크릴레이트(PA), 폴리프로필렌(PP), 폴리에틸렌(PE), 비정질 폴리올레핀 또는 불소계 수지 등을 들 수 있다.Although it will not specifically limit, if it can shape | mold in a film form as said transparent resin, It is preferable that transparency is high and solvent resistance and heat resistance are comparatively high. As such a transparent resin, for example, polyether sulfone, polyethylene terephthalate (PET), polycarbonate (PC), polyether ether ketone (PEEK), polyvinyl fluoride (PFV), polyacrylate (PA), poly Propylene (PP), polyethylene (PE), amorphous polyolefin or fluorine resin.

(3) 제1 전극층(3) first electrode layer

본 실시 양태에 사용되는 제1 전극층은 양극일 수도 있고, 음극일 수도 있다. 일반적으로 EL 소자를 제조할 때에는 양극측으로부터 적층하는 것이 안정적으로 EL 소자를 제조할 수 있기 때문에, 제1 전극층이 양극인 것이 바람직하다.The first electrode layer used in the present embodiment may be an anode or a cathode. Generally, when manufacturing an EL element, since laminating from the anode side can stably produce the EL element, it is preferable that the first electrode layer is an anode.

양극에는, 정공이 주입되기 쉽도록 일함수가 큰 도전성 재료가 바람직하게 사용된다. 한편, 음극에는, 전자가 주입되기 쉽도록 일함수가 작은 도전성 재료가 바람직하게 사용된다. 도전성 재료로서는 일반적으로 금속 재료가 사용되지만, 유기물이나 무기 화합물을 사용할 수도 있다. 또한, 제1 전극층에는, 복수의 재료를 혼합하여 사용할 수도 있다.As the anode, a conductive material having a large work function is preferably used so that holes are easily injected. On the other hand, a conductive material having a small work function is preferably used for the cathode so as to easily inject electrons. Although a metal material is generally used as an electroconductive material, organic substance or an inorganic compound can also be used. In addition, a some material can also be mixed and used for a 1st electrode layer.

또한, 제1 전극층은 투명성을 가질 수도 있고, 갖지 않을 수도 있으며, 빛의 취출면에 따라 적절하게 선택된다. 예를 들면, 도 1(e)에 도시한 EL 소자에 있어서 배면 발광형으로 하는 경우, 제1 전극층 (2)는 투명성을 갖는 것이 바람직하다. 한편, 예를 들면 도 1(e)에 도시한 EL 소자에 있어서 전면 발광형으로 하는 경우, 제1 전극층 (2)에 투명성은 요구되지 않는다. 또한, 예를 들면 도 1(e)에 도시한 EL 소자에 있어서 양면으로부터 빛을 취출하는 경우에는, 제1 전극층 (2)는 투명성을 갖는 것이 바람직하다.In addition, the first electrode layer may or may not have transparency, and is appropriately selected depending on the light extraction surface. For example, in the EL element shown in Fig. 1E, it is preferable that the first electrode layer 2 has transparency in the case of the bottom emission type. On the other hand, for example, in the EL element shown in Fig. 1E, transparency is not required for the first electrode layer 2 when it is a top emission type. For example, in the case of extracting light from both surfaces in the EL element shown in Fig. 1E, it is preferable that the first electrode layer 2 has transparency.

투명성을 갖는 도전성 재료로서는, In-Zn-O(IZO), In-Sn-O(ITO), Zn-O-Al, Zn-Sn-O 등을 바람직한 것으로서 예시할 수 있다. 또한, 투명성이 요구되지 않는 경우 도전성 재료로서는 금속을 사용할 수 있으며, 구체적으로는 Au, Ta, W, Pt, Ni, Pd, Cr 또는 Al 합금, Ni 합금, Cr 합금 등을 들 수 있다.As an electroconductive material which has transparency, In-Zn-O (IZO), In-Sn-O (ITO), Zn-O-Al, Zn-Sn-O etc. can be illustrated as a preferable thing. Moreover, when transparency is not required, a metal can be used as a conductive material, Specifically, Au, Ta, W, Pt, Ni, Pd, Cr or Al alloy, Ni alloy, Cr alloy, etc. are mentioned.

제1 전극층이 양극 및 음극 중 어떠한 것이어도, 저항이 비교적 작은 것이 바람직하다.Regardless of which of the anode and the cathode, the first electrode layer is preferably relatively small in resistance.

제1 전극층의 성막 방법으로서는 일반적인 전극의 성막 방법을 이용할 수 있으며, 스퍼터링법, 이온 플레이팅법, 진공 증착법 등을 들 수 있다. 또한, 제1 전극층의 패터닝 방법으로서는, 포토리소그래피법을 들 수 있다.As the film forming method of the first electrode layer, a general electrode film forming method can be used, and a sputtering method, an ion plating method, a vacuum vapor deposition method and the like can be mentioned. Moreover, the photolithographic method is mentioned as a patterning method of a 1st electrode layer.

2. 습윤성 변화 패턴 형성 공정2. Wetability change pattern forming process

본 실시 양태에 있어서의 습윤성 변화 패턴 형성 공정은, 상기 습윤성 변화층에 패턴상으로 에너지 조사함으로써, 상기 습윤성 변화층 표면에 친액성 영역 및 발액성 영역을 포함하는 습윤성 변화 패턴을 형성하는 공정이다.The wettability change pattern forming step in this embodiment is a step of forming a wettability change pattern including a lyophilic region and a liquid-repellent region on the surface of the wettability change layer by energizing the wettability change layer in a pattern form.

에너지 조사에 사용하는 빛의 파장은 통상적으로 450 ㎚ 이하의 범위에서 설정되며, 바람직하게는 380 ㎚ 이하의 범위에서 설정된다. 이것은, 상술한 바와 같이 습윤성 변화층에 사용되는 바람직한 광 촉매가 이산화티탄이고, 이 이산화티탄에 의해 광 촉매 작용을 활성화시키는 에너지로서 상기한 파장의 빛이 바람직하기 때문이다.The wavelength of light used for energy irradiation is usually set in the range of 450 nm or less, and preferably in the range of 380 nm or less. This is because, as described above, the preferred photocatalyst used in the wettability changing layer is titanium dioxide, and light having the above wavelength is preferable as energy for activating the photocatalytic action by the titanium dioxide.

에너지 조사에 사용할 수 있는 광원으로서는, 수은 램프, 메탈 할라이드 램프, 크세논 램프, 엑시머 램프, 기타 다양한 광원을 들 수 있다.As a light source which can be used for energy irradiation, a mercury lamp, a metal halide lamp, a xenon lamp, an excimer lamp, and various other light sources are mentioned.

또한, 패턴상으로 에너지를 조사하는 방법으로서는, 이들 광원을 사용하여 포토마스크를 통해 패턴 조사하는 방법 이외에, 엑시머, YAG 등의 레이저를 사용하여 패턴상으로 묘화 조사하는 방법을 이용할 수도 있다.In addition, as a method of irradiating energy on a pattern, in addition to the method of irradiating a pattern through a photomask using these light sources, the method of drawing irradiation on a pattern using lasers, such as an excimer and a YAG, can also be used.

에너지 조사시의 에너지의 조사량은, 습윤성 변화층 중의 광 촉매의 작용에 의해 습윤성 변화층 표면의 습윤성이 변화되는 데 필요한 조사량으로 한다.The irradiation amount of energy at the time of energy irradiation is made into the irradiation amount required in order to change the wettability of the surface of a wettability change layer by the action of the photocatalyst in a wettability change layer.

이때, 습윤성 변화층을 가열하면서 에너지 조사하는 것이 바람직하다. 감도를 상승시킬 수 있고, 효율적으로 습윤성을 변화시킬 수 있기 때문이다. 구체적으로는, 30 ℃ 내지 80 ℃의 범위 내에서 가열하는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable to perform energy irradiation while heating the wettability changing layer. It is because a sensitivity can be raised and a wettability can be changed efficiently. Specifically, heating in the range of 30 ° C to 80 ° C is preferable.

에너지 조사 방법은, 습윤성 변화층의 습윤성을 변화시키는 것이 가능한 방법이면 특별히 한정되지 않는다. 또한, 에너지의 조사는 목적으로 하는 패턴이 형성된, 예를 들면 포토마스크 등의 마스크를 사용하여 행할 수도 있다. 이에 따라, 목적으로 하는 패턴상으로 에너지를 조사하는 것이 가능해져, 습윤성 변화층의 습 윤성을 패턴상으로 변화시킬 수 있기 때문이다. 이때, 사용되는 마스크의 종류로서는, 목적으로 하는 패턴상으로 에너지를 조사할 수 있으면 특별히 한정되지 않으며, 에너지를 투과하는 소재에 차광부가 형성된 포토마스크 등일 수도 있고, 목적으로 하는 패턴상으로 구멍부가 형성되어 있는 섀도우 마스크 등일 수도 있다. 또한, 이들 마스크의 재료로서, 구체적으로는 금속, 유리나 세라믹 등의 무기물 또는 플라스틱 등의 유기물 등을 들 수 있다.The energy irradiation method is not particularly limited as long as it is a method capable of changing the wettability of the wettability changing layer. In addition, irradiation of energy can also be performed using the mask in which the target pattern was formed, for example, a photomask. It is because it becomes possible to irradiate energy to the target pattern shape by this, and can change the wettability of a wettability change layer to a pattern shape. In this case, the type of mask to be used is not particularly limited as long as energy can be irradiated onto a target pattern, and may be a photomask or the like having a light shielding portion formed on a material that transmits energy, and a hole portion is formed on the target pattern. It may be a shadow mask or the like. Moreover, as a material of these masks, an organic substance, such as an inorganic substance, such as a metal, glass, a ceramic, or a plastic, etc. are mentioned specifically ,.

에너지 조사 방향으로서는, 기판측 및 습윤성 변화층측 중 어떠한 방향으로부터도 행할 수 있다. 포토마스크를 사용하는 경우에는, 포토마스크가 배치된 측으로부터 에너지가 조사된다.As an energy irradiation direction, it can carry out from any direction of a board | substrate side and a wettability change layer side. When using a photomask, energy is irradiated from the side in which the photomask is arrange | positioned.

본 발명에 있어서 친액성 영역이란, 발액성 영역보다 액체와의 접촉각이 작은 영역을 말하며, 발광층 형성용 도공액 등에 대한 습윤성이 양호한 영역이다. 또한, 발액성 영역이란, 친액성 영역보다 액체와의 접촉각이 큰 영역을 말하며, 발광층 형성용 도공액 등에 대한 습윤성이 악화된 영역이다. 또한, 인접하는 영역의 액체와의 접촉각보다 액체와의 접촉각이 1° 이상 낮은 경우에는 친액성 영역, 인접하는 영역의 액체와의 접촉각보다 액체와의 접촉각이 1° 이상 높은 경우에는 발액성 영역으로 한다.In the present invention, the lyophilic region refers to a region having a smaller contact angle with the liquid than the liquid repellent region, and is a region having good wettability with respect to the coating liquid for forming the light emitting layer. The liquid-repellent region refers to a region in which the contact angle with the liquid is larger than that of the lyophilic region, and the wettability to the coating liquid for forming the light emitting layer is deteriorated. In addition, when the contact angle with the liquid is 1 ° or more lower than the contact angle with the liquid in the adjacent region, the liquid-repellent region or the liquid-repellent region when the contact angle with the liquid is 1 ° or more higher than the contact angle with the liquid in the adjacent region. do.

발액성 영역에 있어서는, 발광층 형성용 도공액 등이 갖는 표면 장력과 동등한 표면 장력의 액체에 대한 접촉각이 21°를 초과하는 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 30° 이상, 더욱 바람직하게는 40° 이상이다. 발액성 영역은 발액성이 요구되는 부분이기 때문에, 상기 액체와의 접촉각이 지나치게 작으면 발액성이 충분하지 않고, 발액성 영역에도 발광층 형성용 도공액 등이 부착될 가능성이 있다.In the liquid repellent region, it is preferable that the contact angle with respect to the liquid having a surface tension equivalent to that of the coating liquid for forming the light emitting layer or the like exceeds 21 °, more preferably 30 ° or more, even more preferably 40 ° or more. to be. Since the liquid repellent region is a portion where liquid repellency is required, if the contact angle with the liquid is too small, the liquid repellency is not sufficient, and there is a possibility that a coating liquid for forming a light emitting layer may be attached to the liquid repellent region.

또한, 친액성 영역에 있어서는, 발광층 형성용 도공액 등이 갖는 표면 장력과 동등한 표면 장력의 액체에 대한 접촉각이 20° 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 15° 이하, 더욱 바람직하게는 10° 이하이다. 상기 액체와의 접촉각이 지나치게 높으면 발광층 형성용 도공액 등이 습윤되기 어려워질 가능성이 있으며, 발광층 등이 결여될 가능성이 있기 때문이다.In the lyophilic region, the contact angle with respect to a liquid having a surface tension equivalent to that of the coating liquid for forming the light emitting layer or the like is preferably 20 ° or less, more preferably 15 ° or less, even more preferably 10 ° or less. to be. If the contact angle with the liquid is too high, the coating liquid for forming the light emitting layer may be difficult to wet, and the light emitting layer may be lacking.

또한, 액체와의 접촉각은, 다양한 표면 장력을 갖는 액체와의 접촉각을 접촉각 측정기(교와 가이멘 가가꾸(주) 제조 CA-Z형)를 사용하여 측정(미량 주사기로부터 액적을 적하하여 30초 후)하고, 그 결과로부터, 또는 그 결과를 그래프로 나타내어 구할 수 있다. 이 측정시에는, 다양한 표면 장력을 갖는 액체로서 준스이 가가꾸 가부시끼가이샤 제조의 습윤 지수 표준액을 사용한다.In addition, the contact angle with liquid measured the contact angle with the liquid which has a various surface tension using a contact angle measuring device (type CA-Z by Kyowa Kaimen Kagaku Co., Ltd.). 2), and the result can be calculated | required by graphing. In this measurement, the wetness index standard liquid manufactured by Junsu Chemical Co., Ltd. is used as a liquid having various surface tensions.

또한, 습윤성 변화층이 불소를 함유하는 경우 친액성 영역 중의 불소 함유량으로서는, 발액성 영역 중의 불소 함유량을 100으로 한 경우 50 이하인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 20 이하, 더욱 바람직하게는 10 이하이다. 또한, 이 비율은 중량을 기준으로 한 것이다. 불소 함유량의 비율을 상기 범위로 함으로써, 발액성 영역 및 친액성 영역의 습윤성에 큰 차이를 발생시킬 수 있다. 따라서, 상술한 바와 같이 습윤성 변화층 위에 발광층을 형성할 때에는, 불소 함유량이 적은 친액성 영역에만 정확하게 발광층을 형성할 수 있기 때문에, 고정밀도의 발광층 패턴을 얻을 수 있다.In the case where the wettability-changing layer contains fluorine, the fluorine content in the lyophilic region is preferably 50 or less, more preferably 20 or less, even more preferably 10 or less when the fluorine content in the liquid repellent region is 100. . In addition, this ratio is based on weight. By making the ratio of fluorine content into the said range, a big difference can be produced in the wettability of a liquid repellent region and a lyophilic region. Therefore, when the light emitting layer is formed on the wettability changing layer as described above, the light emitting layer can be formed precisely only in the lyophilic region having a low fluorine content, so that a highly accurate light emitting layer pattern can be obtained.

또한, 불소 함유량의 측정은 일반적으로 행해지고 있는 다양한 방법을 이용할 수 있으며, 예를 들면 X선 광 전자 분광법(X-ray Photoelectron Spectroscopy, ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)로도 불림), 형광 X선 분석법, 질량 분석법 등의 정량적으로 표면의 불소의 양을 측정할 수 있는 방법을 이용할 수 있다.In addition, the measurement of fluorine content can use various methods generally performed, for example, X-ray photoelectron spectroscopy (also called Electron Spectroscopy for Chemical Analysis), fluorescence X-ray analysis, A method capable of quantitatively measuring the amount of fluorine on the surface, such as mass spectrometry, can be used.

3. 발광층 형성 공정3. Light emitting layer forming process

본 실시 양태에 있어서의 발광층 형성 공정은, 상기 친액성 영역 위에, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트를 함유하는 발광층 형성용 도공액을 도포하여 발광층을 형성하는 공정이다.The light emitting layer formation process in this embodiment is a process of apply | coating the light emitting layer formation coating liquid containing the quantum dot in which the ligand was arrange | positioned around the said lipophilic area | region, and forming a light emitting layer.

본 실시 양태에 있어서의 발광층 형성 공정은, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트를 함유하는 발광층 형성용 도공액을 사용하여, 단일 발광층을 형성하는 공정(제3 양태)일 수도 있고, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트와, 정공 수송 재료 및 전자 수송 재료 중 어느 하나 이상을 함유하는 발광층 형성용 도공액을 사용하여, 단일 발광층을 형성하는 공정(제4 양태)일 수도 있고, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트와 정공 수송 재료를 함유하는 발광층 형성용 도공액을 사용하여, 발광층 및 정공 수송층을 일괄적으로 형성하는 공정(제5 양태)일 수도 있다. 이하, 각 양태별로 설명한다.The light emitting layer formation process in this embodiment may be the process (3rd aspect) of forming a single light emitting layer using the light emitting layer formation coating liquid containing the quantum dot in which the ligand was arrange | positioned around, and a ligand The step (fourth aspect) of forming a single light emitting layer using the quantum dot arrange | positioned and the coating liquid for light emitting layer formation containing any one or more of a hole transport material and an electron transport material may be sufficient, and a ligand is arrange | positioned around The process (5th aspect) of forming a light emitting layer and a positive hole transport layer collectively using the coating liquid for light emitting layer formation containing a quantum dot and a hole transport material may be sufficient. Hereinafter, each aspect is demonstrated.

(1) 제3 양태(1) Third aspect

본 양태에 있어서의 발광층 형성 공정은, 상기 친액성 영역 위에, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트를 함유하는 발광층 형성용 도공액을 도포하여 단일 발광 층을 형성하는 공정이다. 이하, 발광층 형성용 도공액 및 발광층의 형성 방법에 대하여 설명한다.The light emitting layer formation process in this aspect is a process of apply | coating the light emitting layer forming coating liquid containing the quantum dot by which the ligand was arrange | positioned on the said lyophilic region, and forming a single light emitting layer. Hereinafter, the coating liquid for light emitting layer formation and the formation method of a light emitting layer are demonstrated.

(i) 발광층 형성용 도공액(i) Coating solution for forming light emitting layer

본 양태에 사용되는 발광층 형성용 도공액은 주위에 배위자가 배치된 양자 도트를 함유하는 것이며, 통상적으로 주위에 배위자가 배치된 양자 도트가 용매에 분산된 것이다. 이하, 발광층 형성용 도공액의 각 구성에 대하여 설명한다.The coating liquid for light emitting layer formation used for this aspect contains the quantum dot by which the ligand was arrange | positioned around it, and the quantum dot by which the ligand was arrange | positioned normally is disperse | distributed to the solvent. Hereinafter, each structure of the coating liquid for light emitting layer formation is demonstrated.

(양자 도트)(Quantum dot)

본 양태에 사용되는 양자 도트로서는, 형광 또는 인광을 발하는 것이면 특별히 한정되지 않는다. 그 중에서도 양자 도트는, 소위 화합물 반도체를 포함하는 것이 바람직하다. 화합물 반도체로서는, 예를 들면 IV족의 화합물, I-VII족의 화합물, II-VI족의 화합물, II-V족의 화합물, III-VI족의 화합물, III-V족의 화합물, IV-VI족의 화합물, I-III-VI족의 화합물, II-IV-VI족의 화합물, II-IV-V족의 화합물 등을 들 수 있다. 구체적으로는 ZnS, ZnSe, ZnTe, CdS, CdSe, CdTe, HgS, HgSe, HgTe , AlN, AlP, AlAs, AlSb, GaN, GaP, GaAs, GaSb, GaSe, InN, InP, InAs, InSb, TlN, TlP, TlAs, TlSb, PbS, PbSe, PbTe 또는 이들의 혼합물을 들 수 있다. 그 중에서도, 범용성 및 광학 특성의 관점에서 CdSe가 바람직하다.The quantum dots used in this embodiment are not particularly limited as long as they emit fluorescence or phosphorescence. Especially, it is preferable that a quantum dot contains what is called a compound semiconductor. As the compound semiconductor, for example, a compound of group IV, a compound of group I-VII, a compound of group II-VI, a compound of group II-V, a compound of group III-VI, a compound of group III-V, IV-VI The compound of a group, the compound of group I-III-VI, the compound of group II-IV-VI, the compound of group II-IV-V, etc. are mentioned. Specifically, ZnS, ZnSe, ZnTe, CdS, CdSe, CdTe, HgS, HgSe, HgTe, AlN, AlP, AlAs, AlSb, GaN, GaP, GaAs, GaSb, GaSe, InN, InP, InAs, InSb, TlN, TlP , TlAs, TlSb, PbS, PbSe, PbTe or mixtures thereof. Especially, CdSe is preferable from a viewpoint of versatility and an optical characteristic.

양자 도트는 반도체 미립자를 포함하는 코어부만을 포함할 수도 있고, 반도체 미립자를 포함하는 코어부와, 코어부를 피복하고, 반도체 미립자보다 밴드갭이 큰 재료를 포함하는 쉘부를 갖는 것일 수도 있다. 이 중에서도, 양자 도트는 상기 코어부와 상기 쉘부를 갖는 것이 바람직하다. 즉, 양자 도트는 코어쉘 구조를 갖 고, 코어쉘형 양자 도트인 것이 바람직하다. 양자 도트의 안정성이 향상되기 때문이다.A quantum dot may contain only the core part containing a semiconductor fine particle, and may have a core part containing a semiconductor fine particle, and the shell part which coat | covers a core part and consists of a material with a bandgap larger than a semiconductor fine particle. Among these, it is preferable that a quantum dot has the said core part and the said shell part. That is, it is preferable that the quantum dots have a core shell structure and are core shell type quantum dots. This is because the stability of the quantum dots is improved.

코어부에 사용되는 반도체 미립자로서는, 상기 화합물 반도체의 미립자가 바람직하게 사용된다.As semiconductor microparticles | fine-particles used for a core part, microparticles | fine-particles of the said compound semiconductor are used preferably.

또한, 쉘부에 사용되는 재료로서는 상기 반도체 미립자보다 밴드갭이 큰 재료이면 특별히 한정되지 않지만, 상기 반도체 미립자와 마찬가지로 상기 화합물 반도체인 것이 바람직하다. 이 경우, 쉘부에 사용되는 화합물 반도체는, 코어부에 사용되는 화합물 반도체와 동일하거나 상이할 수 있다.The material used for the shell portion is not particularly limited as long as the material has a band gap larger than that of the semiconductor fine particles, but is preferably the compound semiconductor similarly to the semiconductor fine particles. In this case, the compound semiconductor used for the shell portion may be the same as or different from the compound semiconductor used for the core portion.

상기 코어쉘형 양자 도트로서는, 예를 들면 코어부/쉘부로 하면 CdSe/CdS, CdSe/ZnS, CdTe/CdS, InP/ZnS, GaP/ZnS, Si/ZnS, InN/GaN, InP/CdSSe, InP/ZnSeTe, GaInP/ZnSe, GaInP/ZnS, Si/AlP, InP/ZnSTe, GaInP/ZnSTe, GaInP/ZnSSe 등을 들 수 있다. 이 중에서도, 범용성 및 광학 특성의 관점에서 CdSe/ZnS가 바람직하다.Examples of the core-shell quantum dots include CdSe / CdS, CdSe / ZnS, CdTe / CdS, InP / ZnS, GaP / ZnS, Si / ZnS, InN / GaN, InP / CdSSe, InP / ZnSeTe, GaInP / ZnSe, GaInP / ZnS, Si / AlP, InP / ZnSTe, GaInP / ZnSTe, GaInP / ZnSSe and the like. Among these, CdSe / ZnS is preferable from the viewpoint of versatility and optical characteristics.

또한, 양자 도트의 형상으로서는, 예를 들면 구형, 막대 형상, 원반상 등을 들 수 있다.Moreover, as a shape of a quantum dot, spherical shape, rod shape, disk shape, etc. are mentioned, for example.

또한, 양자 도트의 형상은, 투과형 전자 현미경(TEM)에 의해 확인할 수 있다.In addition, the shape of a quantum dot can be confirmed with a transmission electron microscope (TEM).

양자 도트의 입경은 20 ㎚ 미만인 것이 바람직하고, 그 중에서도 1 ㎚ 내지 15 ㎚의 범위 내, 특히 1 ㎚ 내지 10 ㎚의 범위 내인 것이 바람직하다. 양자 도트의 입경이 지나치게 크면, 양자 크기 효과가 얻어지지 않게 될 가능성이 있기 때문이다.It is preferable that the particle diameter of a quantum dot is less than 20 nm, and it is especially preferable to exist in the range of 1 nm-15 nm, especially the range of 1 nm-10 nm. This is because if the particle diameter of the quantum dots is too large, the quantum size effect may not be obtained.

양자 도트는 그의 입경에 따라 상이한 발광 스펙트럼을 나타내기 때문에, 목적으로 하는 색에 따라 양자 도트의 입경이 적절하게 선택된다. 예를 들면, CdSe/ZnS를 포함하는 코어쉘형 양자 도트의 경우, 입경이 커짐에 따라 발광 스펙트럼이 장파장측으로 이동하며, 입경이 5.2 ㎚인 경우에는 적색을 나타내고, 입경이 1.9 ㎚인 경우에는 청색을 나타낸다.Since the quantum dots exhibit different emission spectra depending on their particle diameters, the particle diameter of the quantum dots is appropriately selected according to the desired color. For example, in the case of the core-shell quantum dot containing CdSe / ZnS, the emission spectrum shifts to the longer wavelength side as the particle size increases, and when the particle diameter is 5.2 nm, red color is displayed. When the particle diameter is 1.9 nm, blue color is used. Indicates.

또한, 양자 도트의 입경 분포는 비교적 좁은 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that the particle size distribution of a quantum dot is comparatively narrow.

또한, 양자 도트의 입경은 투과형 전자 현미경(TEM), 분말 X선 회절(XRD) 패턴 또는 UV/Vis 흡수 스펙트럼에 의해 확인할 수 있다.In addition, the particle diameter of a quantum dot can be confirmed by a transmission electron microscope (TEM), a powder X-ray diffraction (XRD) pattern, or a UV / Vis absorption spectrum.

주위에 배위자가 배치된 양자 도트의 발광층 형성용 도공액 중의 함유량으로서는, 발광층 형성용 도공액 중의 전체 고형분을 100 질량%로 하면, 50 질량% 내지 100 질량%의 범위 내인 것이 바람직하고, 그 중에서도 60 질량% 내지 100 질량%의 범위 내인 것이 바람직하다. 상기 함유량이 지나치게 작으면, 충분한 발광이 얻어지지 않게 될 가능성이 있기 때문이다. 또한, 상기 함유량이 지나치게 많으면, 발광층의 성막이 곤란해지는 경우가 있기 때문이다.As content in the coating liquid for light emitting layer formation of the quantum dot arrange | positioned around a ligand, when the total solid in the coating liquid for light emitting layer forming is 100 mass%, it is preferable to exist in the range of 50 mass%-100 mass%, and especially 60 It is preferable to exist in the range of mass%-100 mass%. It is because there exists a possibility that sufficient light emission may not be obtained when the said content is too small. Moreover, when the said content is too much, it is because the film-forming of a light emitting layer may become difficult.

양자 도트의 합성 방법으로서는, 일본 특허 공표 제2005-522005호 공보, 일본 특허 공표 제2006-520077호 공보, 일본 특허 공개 제2007-21670호 공보 등을 참조할 수 있다.As a method for synthesizing quantum dots, Japanese Patent Publication No. 2005-522005, Japanese Patent Publication No. 2006-520077, Japanese Patent Publication No. 2007-21670 and the like can be referred to.

또한, 양자 도트의 표면에 부착되어 있는 배위자를 다른 배위자로 교환하는 것이 가능하다. 예를 들면, 표면에 TOPO 등이 부착된 양자 도트를 다량의 실란 커플링제와 혼합함으로써, TOPO 등을 실란 커플링제로 치환할 수 있다. 배위자를 치 환할 때의 온도는, 실온 정도로 하는 것이 바람직하다.It is also possible to replace the ligand attached to the surface of the quantum dots with another ligand. For example, TOPO etc. can be substituted with a silane coupling agent by mixing the quantum dot which TOPO etc. adhered to the surface with a large amount of silane coupling agents. It is preferable to make the temperature at the time of replacing a ligand about room temperature.

또한, 배위자의 치환 방법에 대해서는, 일본 특허 공개 제2007-21670호 공보 등을 참조할 수 있다.Moreover, about Unexamined-Japanese-Patent No. 2007-21670 etc. about the substitution method of a ligand can be referred.

TOPO 등의 배위자가 부착된 양자 도트의 시판품으로서는, 예를 들면 에비던트 테크놀로지사 제조의 형광성 반도체 나노 크리스탈 "에비도트" 등을 사용할 수 있다.As a commercial item of a quantum dot with a ligand such as TOPO, a fluorescent semiconductor nanocrystal " Ebidot " manufactured by Evidence Technology Co., Ltd. can be used.

(배위자)(Religioner)

본 양태에 사용되는 배위자로서는, 일반적으로 양자 도트의 배위자로서 사용되는 것을 사용할 수 있다. 예를 들면 트리-n-옥틸포스핀(TOP) 등의 알킬포스핀, 트리-n-옥틸포스핀옥시드(TOPO) 등의 알킬포스핀옥시드, 알킬포스폰산, 트리스-히드록실프로필포스핀(tHPP) 등의 알킬포스핀산, 피리딘, 푸란, 헥사데실아민 등을 들 수 있다.As a ligand used for this aspect, what is generally used as a ligand of a quantum dot can be used. For example, alkyl phosphines such as tri-n-octylphosphine (TOP), alkyl phosphine oxides such as tri-n-octylphosphine oxide (TOPO), alkyl phosphonic acid, tris-hydroxypropyl phosphine (tHPP) Alkylphosphinic acid, pyridine, furan, hexadecylamine, etc., etc. are mentioned.

또한, 본 양태에 있어서는, 배위자로서 실란 커플링제를 사용할 수 있다. 이 경우, 양자 도트와 실란 커플링제는 배위 결합하고 있다. 양자 도트가 화합물 반도체인 경우, 일반적으로 무기 재료의 표면은 친액성이기 때문에, 가수분해된 실란 커플링제의 Si-OH기의 -OH기는 양자 도트에 배위할 수 있다.In addition, in this aspect, a silane coupling agent can be used as a ligand. In this case, the quantum dot and the silane coupling agent are coordinately bonded. When the quantum dots are compound semiconductors, since the surface of the inorganic material is generally lyophilic, the -OH group of the Si-OH group of the hydrolyzed silane coupling agent can be coordinated with the quantum dots.

배위자로서는, 상기한 것 중에서도 실란 커플링제가 바람직하다. 실란 커플링제를 함유하는 발광층 형성용 도공액을 사용함으로써, 발광층을 경화시킬 수 있다. 이에 따라, 발광층 내에서의 양자 도트의 안정성을 양호하게 할 수 있으며, 수명 특성을 향상시킬 수 있기 때문이다. 나아가서는, 발광층의 열 안정성(Tg: 유 리 전이 온도)을 향상시킬 수도 있다. 또한, 실란 커플링제는 분자 설계가 비교적 용이하기 때문에, 다양한 기능성을 나타내는 관능기를 갖는 실란 커플링제를 사용함으로써, 수명 특성을 개선할 수 있다.As a ligand, a silane coupling agent is preferable among the above. A light emitting layer can be hardened by using the coating liquid for light emitting layer formation containing a silane coupling agent. This is because the stability of the quantum dots in the light emitting layer can be improved and the lifespan characteristics can be improved. Furthermore, the thermal stability (Tg: glass transition temperature) of a light emitting layer can also be improved. In addition, since the silane coupling agent is relatively easy in molecular design, the life characteristics can be improved by using a silane coupling agent having a functional group exhibiting various functionalities.

또한, 상기 습윤성 변화층이 오르가노폴리실록산을 함유하는 경우에는, 배위자로서 실란 커플링제를 사용함으로써, 제1 전극층과 습윤성 변화층과 발광층의 밀착성을 향상시킬 수 있다.In addition, when the wettability changing layer contains organopolysiloxane, the adhesion between the first electrode layer, the wettability changing layer and the light emitting layer can be improved by using a silane coupling agent as a ligand.

또한, 발광층을 경화시킨 경우에는, 발광층 위에 도공액을 사용하여 정공 주입 수송층 또는 전자 주입 수송층 등을 형성할 때, 정공 주입 수송층 또는 전자 주입 수송층 등을 형성하기 위한 도공액 중의 용매에 발광층이 용해되지 않고, 안정적으로 발광층 위에 정공 주입 수송층 또는 전자 주입 수송층 등을 적층할 수 있다.When the light emitting layer is cured, the light emitting layer is not dissolved in the solvent in the coating liquid for forming the hole injection transport layer or the electron injection transport layer when the hole injection transport layer or the electron injection transport layer is formed using the coating solution on the light emitting layer. Instead, the hole injection transport layer, the electron injection transport layer, or the like can be stably laminated on the light emitting layer.

본 양태에 사용되는 실란 커플링제로서는, 양자 도트에 배위하고, 양자 도트를 안정화시킬 수 있는 것이면 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면 (1) 클로로 또는 알콕시실란 등, (2) 반응성 실리콘을 들 수 있다.The silane coupling agent used in the present embodiment is not particularly limited as long as it can coordinate with quantum dots and stabilize the quantum dots. Examples of the silane coupling agent include (2) reactive silicones such as (1) chloro or alkoxysilane. .

상기 (1)의 클로로 또는 알콕시실란 등으로서는, 하기 화학식As chloro or alkoxysilane of said (1), it is a following general formula

YnSiX(4-n)YnSiX (4-n)

(여기서, Y는 알킬기, 플루오로알킬기, 비닐기, 아미노기, 페닐기 또는 에폭시기를 나타내고, X는 알콕실기, 아세틸기 또는 할로겐을 나타내고, n은 0 내지 3의 정수임)(Wherein Y represents an alkyl group, a fluoroalkyl group, a vinyl group, an amino group, a phenyl group or an epoxy group, X represents an alkoxyl group, an acetyl group or a halogen and n is an integer of 0 to 3)

으로 표시되는 규소 화합물이 바람직하게 사용된다. 이 규소 화합물은 1종 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상을 병용할 수도 있다.The silicon compound represented by is used preferably. This silicon compound may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

상기 화학식으로 표시되는 규소 화합물에 있어서, X는 말단부 및 양자 도트에 배위 결합하는 배위 결합부가 된다. 또한, 말단부는 축합 반응이 발생하는 부위이며, 주위에 실란 커플링제가 배치된 양자 도트간을 결합하거나, 발광층을 불용화시키거나, 발광층과 습윤성 변화층의 밀착성 향상에 기여하는 부위이다.In the silicon compound represented by the above formula, X is a coordinating moiety that coordinates to the terminal and quantum dots. In addition, the terminal portion is a portion where a condensation reaction occurs, and is a portion that bonds between quantum dots in which a silane coupling agent is disposed, insolubilizes the light emitting layer, or contributes to improving adhesion between the light emitting layer and the wettability changing layer.

X로 표시되는 알콕실기는 메톡시기, 에톡시기, 프로폭시기, 부톡시기인 것이 바람직하다.It is preferable that the alkoxyl group represented by X is a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, butoxy group.

또한, 상기 화학식으로 표시되는 규소 화합물에 있어서, Y는 기능성부가 된다.In the silicon compound represented by the above formula, Y is a functional moiety.

예를 들면, Y가 알킬기인 경우, 양자 도트간의 스페이서가 되어 용해성에 기여하는 부위가 된다. Y가 플루오로알킬기인 경우, 양자 도트간의 스페이서가 되어 발액성을 나타내는 부위가 된다. Y가 비닐기인 경우, 양자 도트간의 스페이서가 되어 π 공액계를 나타내는 부위가 된다. Y가 아미노기인 경우, 양자 도트간의 스페이서가 되어 친액성을 나타내는 부위가 된다. Y가 페닐기인 경우, 양자 도트간의 스페이서가 되어 발수성을 나타내는 부위가 된다. Y가 에폭시기인 경우, 양자 도트간의 스페이서가 되어 경화성에 기여하는 부위가 된다.For example, when Y is an alkyl group, it becomes a spacer between quantum dots and becomes a site | part which contributes to solubility. When Y is a fluoroalkyl group, it becomes a spacer between quantum dots and becomes a site | part which shows liquid repellency. When Y is a vinyl group, it becomes a spacer between quantum dots and becomes a site | part which shows (pi) conjugated system. When Y is an amino group, it becomes a spacer between quantum dots and becomes a site | part which shows lyophilic property. When Y is a phenyl group, it becomes a spacer between quantum dots and becomes a site | part which shows water repellency. When Y is an epoxy group, it becomes a spacer between quantum dots and becomes a site | part which contributes to sclerosis | hardenability.

Y로 표시되는 기의 탄소수는 1 내지 20의 범위 내인 것이 바람직하다.It is preferable that carbon number of group represented by Y exists in the range of 1-20.

상기 화학식으로 표시되는 규소 화합물로서는, 구체적으로 일본 특허 공개 제2000-249821호 공보에 기재되어 있는 것 등을 사용할 수 있다.As a silicon compound represented by the said chemical formula, the thing specifically described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2000-249821 can be used.

또한, 상기 (1)의 클로로 또는 알콕시실란 등으로서는, 하기 화학식In addition, as chloro or alkoxysilane of said (1), it is a following general formula.

YnSiX(4-n)YnSiX (4-n)

(여기서, Y는 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 정공 수송성을 나타내는 관능기, 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 전자 수송성을 나타내는 관능기, 또는 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 정공 수송성 및 전자 수송성 모두를 나타낼 수 있는 관능기를 나타내고, X는 알콕실기, 아세틸기 또는 할로겐을 나타내고, n은 0 내지 3의 정수임)(Wherein Y is a functional group which shows hole transportability directly bonded through a vinyl group or a phenyl group, a functional group which shows electron transport property bonded through a direct vinyl or phenyl group, or a hole transporting and electron transporting property bonded through a direct, vinyl or phenyl group Represents a functional group capable of representing all, X represents an alkoxyl group, an acetyl group or a halogen, n is an integer from 0 to 3)

으로 표시되는 규소 화합물도 바람직하게 사용된다. 이 규소 화합물은 1종 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상을 병용할 수도 있다.The silicon compound represented by is also used preferably. This silicon compound may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

상기 화학식으로 표시되는 규소 화합물에 있어서, X는 말단부 및 양자 도트에 배위 결합하는 배위 결합부가 된다. 또한, 말단부는 축합 반응이 발생하는 부위이며, 주위에 실란 커플링제가 배치된 양자 도트간을 결합하거나, 발광층을 불용화시키거나, 발광층과 습윤성 변화층의 밀착성 향상에 기여하는 부위이다.In the silicon compound represented by the above formula, X is a coordinating moiety that coordinates to the terminal and quantum dots. In addition, the terminal portion is a portion where a condensation reaction occurs, and is a portion that bonds between quantum dots in which a silane coupling agent is disposed, insolubilizes the light emitting layer, or contributes to improving adhesion between the light emitting layer and the wettability changing layer.

X로 표시되는 알콕실기는 메톡시기, 에톡시기, 프로폭시기, 부톡시기인 것이 바람직하다.It is preferable that the alkoxyl group represented by X is a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, butoxy group.

또한, 상기 화학식으로 표시되는 규소 화합물에 있어서, Y는 기능성부가 된다.In the silicon compound represented by the above formula, Y is a functional moiety.

예를 들면, Y가 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 정공 수송성을 나타내는 관능기인 경우, 양자 도트간의 스페이서가 되어 정공 수송성을 나타내는 부위가 된다. Y가 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 전자 수송성을 나타내는 관능기인 경우, 양자 도트간의 스페이서가 되어 전자 수송성을 나타내는 부위가 된 다. Y가 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 정공 수송성 및 전자 수송성 모두를 나타낼 수 있는 관능기인 경우, 양자 도트간의 스페이서가 되어 정공 수송성 및 전자 수송성 모두를 나타낼 수 있는 부위가 된다.For example, when Y is a functional group exhibiting hole transportability bonded directly via a vinyl group or a phenyl group, it becomes a spacer between quantum dots to become a site showing hole transportability. When Y is a functional group exhibiting electron transportability directly bonded via a vinyl group or a phenyl group, it becomes a spacer between quantum dots to become a site showing electron transportability. When Y is a functional group capable of exhibiting both hole transportability and electron transportability bonded directly through a vinyl group or a phenyl group, it becomes a spacer between both dots to become a site capable of exhibiting both hole transportability and electron transportability.

Y가 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 정공 수송성을 나타내는 관능기인 경우, 그 중에서도 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 정공 수송성을 나타내는 관능기인 것이 바람직하다. 비닐기 및 페닐기는 π 공액계를 나타내는 부위이기 때문이다.When Y is a functional group which shows the hole transport property couple | bonded directly through the vinyl group or the phenyl group, it is preferable that it is a functional group which shows the hole transport property couple | bonded through the vinyl group or the phenyl group especially. It is because a vinyl group and a phenyl group are site | parts which show (pi) conjugated system.

정공 수송성을 나타내는 관능기로서는, 예를 들면 N 원자를 1개 이상 포함하는 방향족 아민기, 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 16의 아릴기를 들 수 있다.As a functional group which shows hole transportability, the aromatic amine group containing one or more N atoms, the substituted or unsubstituted C6-C16 aryl group is mentioned, for example.

N 원자를 1개 이상 포함하는 방향족 아민기로서는, N 원자를 1개 이상 포함하는 방향족 제3급 아민기가 바람직하다. 구체적으로는 N,N'-비스(나프탈렌-1-일)-N,N'-비스(페닐)-벤지딘(α-NPD)이나, 4,4,4-트리스(3-메틸페닐페닐아미노)트리페닐아민(MTDATA) 등의 트리페닐아민을 들 수 있다. 트리페닐아민으로서는, 하기 화학식으로 표시되는 구조를 갖는 것을 들 수 있다.As an aromatic amine group containing one or more N atoms, an aromatic tertiary amine group containing one or more N atoms is preferable. Specifically N, N'-bis (naphthalen-1-yl) -N, N'-bis (phenyl) -benzidine (α-NPD) or 4,4,4-tris (3-methylphenylphenylamino) tri Triphenylamine, such as phenylamine (MTDATA), is mentioned. As triphenylamine, what has a structure represented by a following formula is mentioned.

Figure 112008067776577-PAT00002
Figure 112008067776577-PAT00002

또한, 탄소수 6 내지 16의 아릴기로서는 페닐기, 나프틸기, 톨릴기, 크실릴기, 안트릴기, 페난트릴기, 비페닐기, 나프타세닐기, 펜타세닐기 등을 들 수 있다.Examples of the aryl group having 6 to 16 carbon atoms include a phenyl group, naphthyl group, tolyl group, xylyl group, anthryl group, phenanthryl group, biphenyl group, naphthacenyl group, pentaxenyl group, and the like.

Y가 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 전자 수송성을 나타내는 관능기인 경우, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 전자 수송성을 나타내는 관능기인 것이 바람직하다. 비닐기 및 페닐기는 π 공액계를 나타내는 부위이기 때문이다.When Y is a functional group which shows the electron transport property couple | bonded directly through the vinyl group or the phenyl group, it is preferable that it is a functional group which shows the electron transport property couple | bonded via the vinyl group or the phenyl group. It is because a vinyl group and a phenyl group are site | parts which show (pi) conjugated system.

전자 수송성을 나타내는 관능기로서는, 예를 들면 페난트롤린, 트리아졸, 옥사디아졸, 알루미늄퀴놀리놀 등을 들 수 있다. 구체적으로는 바소큐프로인(BCP), 바소페난트롤린(Bpehn), 트리스(8-히드록시퀴놀리노레이트)알루미늄(Alq3) 등을 들 수 있다. 옥사디아졸, 트리아졸로서는, 하기 화학식으로 표시되는 구조를 갖는 것을 들 수 있다.As a functional group which shows electron transport property, phenanthroline, a triazole, oxadiazole, aluminum quinolinol, etc. are mentioned, for example. Specifically, vasocuproin (BCP), vasophenanthroline (Bpehn), tris (8-hydroxyquinolinorate) aluminum (Alq3), etc. are mentioned. Examples of oxadiazole and triazole include those having a structure represented by the following chemical formula.

Figure 112008067776577-PAT00003
Figure 112008067776577-PAT00003

또한, 전자 수송성을 나타내는 관능기로서는, 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 16의 아릴기도 예시된다. 또한, 탄소수 6 내지 16의 아릴기에 대해서는, 상기와 동일하다.Moreover, as a functional group which shows electron transport property, a substituted or unsubstituted C6-C16 aryl group is illustrated. In addition, the C6-C16 aryl group is the same as the above.

Y가 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 정공 수송성 및 전자 수송성 모두를 나타낼 수 있는 관능기인 경우, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 정공 수송성 및 전자 수송성 모두를 나타낼 수 있는 관능기인 것이 바람직하다. 비닐기 및 페닐기는 π 공액계를 나타내는 부위이기 때문이다.When Y is a functional group capable of exhibiting both hole transportability and electron transportability bonded directly through a vinyl group or a phenyl group, it is preferable that it is a functional group capable of exhibiting both hole transportability and electron transportability bound through a vinyl group or a phenyl group. It is because a vinyl group and a phenyl group are site | parts which show (pi) conjugated system.

정공 수송성 및 전자 수송성 모두를 나타낼 수 있는 관능기로서는, 예를 들면 디스티릴아렌, 다방향족, 방향족 축합환, 카르바졸, 복소환 등을 들 수 있다. 구체적으로는, 하기 화학식으로 표시되는 4,4'-비스(2,2-디페닐-에텐-1-일)디페닐(DPVBi), 4,4'-비스(카르바졸-9-일)비페닐(CBP), 4,4''-디(N-카르바졸릴)-2',3',5',6'-테트라페닐-p-터페닐(CzTT), 1,3-비스(카르바졸-9-일)-벤젠(m-CP), 9,10-디(나프타-2-일)안트라센(DNA) 등을 들 수 있다.Examples of the functional group capable of exhibiting both hole transporting properties and electron transporting properties include distyryl arene, polyaromatics, aromatic condensed rings, carbazoles, heterocycles, and the like. Specifically, the ratio of 4,4'-bis (2,2-diphenyl-ethen-1-yl) diphenyl (DPVBi) and 4,4'-bis (carbazol-9-yl) represented by the following chemical formula Phenyl (CBP), 4,4 ''-di (N-carbazolyl) -2 ', 3', 5 ', 6'-tetraphenyl-p-terphenyl (CzTT), 1,3-bis (carr) Bazol-9-yl) -benzene (m-CP), 9,10- di (naphtha-2-yl) anthracene (DNA), etc. are mentioned.

Figure 112008067776577-PAT00004
Figure 112008067776577-PAT00004

Figure 112008067776577-PAT00005
Figure 112008067776577-PAT00005

또한, 하기 화학식으로 표시되는 구조를 갖는 것을 들 수 있다.Moreover, what has a structure represented by a following formula is mentioned.

Figure 112008067776577-PAT00006
Figure 112008067776577-PAT00006

또한, 정공 수송성 및 전자 수송성 모두를 나타낼 수 있는 관능기로서는, 치환 또는 비치환된 탄소수 6 내지 16의 아릴기도 예시된다. 또한, 탄소수 6 내지 16의 아릴기에 대해서는, 상기와 동일하다.Moreover, as a functional group which can exhibit both a hole transport property and an electron transport property, a substituted or unsubstituted C6-C16 aryl group is illustrated. In addition, the C6-C16 aryl group is the same as the above.

또한, 상기 (2)의 반응성 실리콘으로서는, 하기 화학식으로 표시되는 골격을 갖는 화합물을 들 수 있다.Moreover, as reactive silicone of said (2), the compound which has frame | skeleton represented by a following formula is mentioned.

Figure 112008067776577-PAT00007
Figure 112008067776577-PAT00007

단, n은 2 이상의 정수이고, R1, R2는 각각 탄소수 1 내지 10의 치환 또는 비치환된 알킬기, 알케닐기, 아릴기 또는 시아노알킬기이고, 몰비로 전체의 40 % 이하가 비닐, 페닐, 할로겐화페닐이다. 또한, R1, R2가 메틸기인 것이 바람직하고, 몰비로 메틸기가 60 % 이상인 것이 더욱 바람직하다. 또한, 쇄 말단 또는 측쇄에는, 분자쇄 중에 적어도 1개 이상의 수산기 등의 반응성기를 갖는다.Provided that n is an integer of 2 or more, and R 1 and R 2 each represent a substituted or unsubstituted alkyl, alkenyl, aryl or cyanoalkyl group having 1 to 10 carbon atoms, with 40% or less of the total being vinyl or phenyl by molar ratio. Phenyl halide. Moreover, it is preferable that R <1> , R <2> is a methyl group, and it is more preferable that a methyl group is 60% or more by molar ratio. The chain terminal or side chain has a reactive group such as at least one or more hydroxyl groups in the molecular chain.

또한, 상기 실란 커플링제는 전하 수송성을 가질 수도 있다. 전하 수송성을 갖는 실란 커플링제로 하기 위해서는, 상기 (1)의 경우의 상기 화학식에 있어서의 Y를 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 정공 수송성을 나타내는 관능기, 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 전자 수송성을 나타내는 관능기, 또는 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 정공 수송성 및 전자 수송성 모두를 나타낼 수 있는 관능기로 할 수 있다.The silane coupling agent may also have charge transport properties. In order to be a silane coupling agent having charge transport properties, electrons in which Y in the above formula in the case of (1) is bonded via a functional group, a direct group, a vinyl group, or a phenyl group, which exhibits hole transporting property directly bonded via a vinyl group or a phenyl group It can be set as a functional group which can exhibit both the hole transporting property and the electron transporting property couple | bonded through the vinyl group or the phenyl group directly, or the functional group which shows transportability.

또한, 발광층 형성용 도공액은, 디메틸폴리실록산과 같은 가교 반응하지 않는 안정적인 오르가노 실리콘 화합물을 함유할 수도 있다.Moreover, the coating liquid for light emitting layer formation may contain the stable organo silicone compound which does not crosslinking reaction like dimethylpolysiloxane.

(용매)(menstruum)

본 양태에 사용되는 발광층 형성용 도공액에 사용할 수 있는 용매로서는, 상기한 주위에 배위자가 배치된 양자 도트와 혼합되는 것이면 특별히 한정되지 않는다. 배위자가 실란 커플링제인 경우, 그 중에서도 백탁이나 그 밖의 영향을 미치지 않는 것이 바람직하다. 이러한 용매로서는, 예를 들면 크실렌, 톨루엔, 시클로헥실벤젠, 디히드로벤조푸란, 트리메틸벤젠, 테트라메틸벤젠 등의 방향족 탄화수소계 용매, 피리딘, 피라진, 푸란, 피롤, 티오펜, 메틸피롤리돈 등의 방향족 복소환 화합물계 용매, 헥산, 펜탄, 헵탄, 시클로헥산 등의 지방족 탄화수소계 용매 등을 들 수 있다. 이들 용매는 단독으로 사용할 수도 있고, 혼합하여 사용할 수도 있다.As a solvent which can be used for the coating liquid for light emitting layer formation used for this aspect, if it mixes with the quantum dot in which a ligand was arrange | positioned above, it will not specifically limit. In the case where the ligand is a silane coupling agent, it is preferable not to have turbidity or other effects among them. Examples of such a solvent include aromatic hydrocarbon solvents such as xylene, toluene, cyclohexylbenzene, dihydrobenzofuran, trimethylbenzene, tetramethylbenzene, pyridine, pyrazine, furan, pyrrole, thiophene, methylpyrrolidone, and the like. And aliphatic hydrocarbon solvents such as aromatic heterocyclic compound solvents, hexane, pentane, heptane, and cyclohexane. These solvents may be used alone or in combination.

(기타)(Etc)

본 양태에 사용되는 발광층 형성용 도공액에는, 다양한 첨가제를 첨가할 수 있다. 예를 들면, 잉크젯법에 의해 발광층을 형성하는 경우에는, 토출성을 향상시키는 목적으로 계면활성제 등을 첨가할 수도 있다.Various additives can be added to the coating liquid for light emitting layer formation used for this aspect. For example, when forming a light emitting layer by the inkjet method, surfactant etc. can also be added in order to improve discharge property.

또한, 본 양태에 있어서, 예를 들면 적색, 녹색 및 청색의 3원색의 발광층을 형성하는 경우에는, 적색, 녹색 및 청색의 각 색 발광층 형성용 도공액이 사용된다. 상술한 바와 같이, 양자 도트는 그 입경에 따라 상이한 발광 스펙트럼을 나타내기 때문에, 각 색에 따라 양자 도트의 입경이 조정된다.In addition, in this aspect, when forming the light emitting layer of three primary colors of red, green, and blue, for example, the coating liquid for forming each color light emitting layer of red, green, and blue is used. As described above, since the quantum dots exhibit different emission spectra depending on the particle diameter, the particle diameter of the quantum dots is adjusted according to each color.

(ii) 발광층의 형성 방법(ii) Formation method of light emitting layer

본 양태에 있어서는, 상기 친액성 영역 위에 상기 발광층 형성용 도공액을 도포하여 발광층을 형성한다.In this aspect, the light emitting layer forming coating liquid is coated on the lyophilic region to form a light emitting layer.

발광층 형성용 도공액의 도포 방법으로서는, 예를 들면 스핀 코팅법, 캐스팅법, 침지 코팅법, 바 코팅법, 블레이드 코팅법, 롤 코팅법, 분무 코팅법, 플렉소 인쇄법, 그라비아 인쇄법, 오프셋 인쇄법, 스크린 인쇄법 또는 디스펜서나 잉크젯을 사용하는 토출법 등을 들 수 있다. 이 중에서도 토출법, 플렉소 인쇄법, 그라비아 인쇄법이 바람직하게 이용된다. 특히 토출법이 바람직하고, 나아가서는 잉크젯법이 바람직하다. 이 방법에서는 습윤성 변화 패턴을 이용하여, 고정밀도의 패턴을 형성할 수 있기 때문이다.As a coating method of the coating liquid for light emitting layer formation, for example, a spin coating method, the casting method, the dip coating method, the bar coating method, the blade coating method, the roll coating method, the spray coating method, the flexographic printing method, the gravure printing method, the offset method A printing method, a screen printing method, or the discharge method using a dispenser or an inkjet, etc. are mentioned. Among these, the ejection method, the flexographic printing method, and the gravure printing method are preferably used. In particular, the ejection method is preferable, and furthermore, the inkjet method is preferable. This is because a high-precision pattern can be formed by using the wettability change pattern in this method.

상기 발광층 형성용 도공액의 도포 후, 도막을 건조시킬 수도 있다. 건조 방법으로서는, 균일한 발광층을 형성하는 것이 가능한 방법이면 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면 핫 플레이트, 적외선 히터, 오븐 등을 사용할 수 있다.After application of the coating solution for forming the light emitting layer, the coating film may be dried. As a drying method, if it is a method which can form a uniform light emitting layer, it will not specifically limit, For example, a hotplate, an infrared heater, oven, etc. can be used.

그 중에서도 배위자가 실란 커플링제인 경우에는, 상기 발광층 형성용 도공 액의 도포 후 경화하는 것이 바람직하다. 상기한 건조를 행함으로써, 가수분해된 실란 커플링제의 축합 반응이 진행되고, 발광층이 경화된다.Especially, when a ligand is a silane coupling agent, it is preferable to harden | cure after application | coating of the coating liquid for light emitting layer formation. By performing said drying, condensation reaction of a hydrolyzed silane coupling agent advances and a light emitting layer hardens.

발광층의 두께로서는, 전자와 정공의 재결합 장소를 제공하여 발광하는 기능을 발현할 수 있는 두께이면 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면 1 ㎚ 내지 500 ㎚ 정도로 할 수 있다.The thickness of the light emitting layer is not particularly limited as long as it can provide a function of emitting light by providing a recombination site of electrons and holes, and may be, for example, about 1 nm to 500 nm.

(2) 제4 양태(2) Fourth aspect

본 양태에 있어서의 발광층 형성 공정은, 상기 친액성 영역 위에, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트와, 정공 수송 재료 및 전자 수송 재료 중 어느 하나 이상을 함유하는 발광층 형성용 도공액을 도포하여, 단일 발광층을 형성하는 공정이다.The light emitting layer formation process in this aspect apply | coats the coating liquid for light emitting layer formation containing any one or more of a quantum dot with a ligand arrange | positioned around it, and a hole transport material and an electron transport material on the said lyophilic region, It is a process of forming a light emitting layer.

본 양태에 있어서는, 발광층에 발광 기능 뿐만 아니라 정공 수송 기능이나 전자 수송 기능을 갖게 할 수 있다. 이에 따라, EL 소자의 제조 공정을 간략화할 수 있음과 동시에, 발광층으로의 전하 수송 및 정공과 전자의 재결합에 의해 생성된 여기자의 에너지 이동을 효율적으로 행할 수 있으며, 수명 특성의 향상을 도모할 수 있다.In this embodiment, the light emitting layer can be provided with not only a light emitting function but also a hole transporting function and an electron transporting function. Thereby, the manufacturing process of the EL element can be simplified, and the energy transfer of excitons generated by charge transport to the light emitting layer and recombination of holes and electrons can be efficiently performed, and the lifespan characteristics can be improved. have.

또한, 발광층의 형성 방법에 대해서는, 상기 제3 양태와 동일하기 때문에 여기서의 설명은 생략한다. 이하, 발광층 형성용 도공액에 대하여 설명한다.In addition, since the formation method of a light emitting layer is the same as that of the said 3rd aspect, description here is abbreviate | omitted. Hereinafter, the coating liquid for light emitting layer formation is demonstrated.

(i) 발광층 형성용 도공액(i) Coating solution for forming light emitting layer

본 양태에 사용되는 발광층 형성용 도공액은, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트와, 정공 수송 재료 및 전자 수송 재료 중 적어도 어느 하나 이상을 함유하는 것이며, 통상적으로 주위에 배위자가 배치된 양자 도트와, 정공 수송 재료 및 전자 수송 재료 중 적어도 어느 하나 이상이 용매에 분산 또는 용해된 것이다.The coating liquid for light emitting layer formation used for this aspect contains a quantum dot with a ligand arrange | positioned around it, and contains at least any one or more of a hole transport material and an electron carrying material, Usually, , At least one or more of a hole transport material and an electron transport material are dispersed or dissolved in a solvent.

발광층 형성용 도공액은 주위에 배위자가 배치된 양자 도트와, 정공 수송 재료 및 전자 수송 재료 중 적어도 어느 하나 이상을 함유하는 것일 수 있지만, 그 중에서도 주위에 배위자가 배치된 양자 도트와, 정공 수송 재료와, 전자 수송 재료를 함유하는 것이 바람직하다. 양자 도트로의 전하 수송 및 정공과 전자의 재결합에 의해 생성된 여기자의 에너지 이동을 효율적으로 행할 수 있기 때문이다.The coating liquid for forming the light emitting layer may contain at least one of a quantum dot having a ligand disposed around the hole, a hole transporting material and an electron transporting material, among others, a quantum dot having a ligand disposed around the hole, and a hole transporting material And it is preferable to contain an electron carrying material. This is because the energy transfer of excitons generated by charge transport to quantum dots and recombination of holes and electrons can be efficiently performed.

또한, 배위자에 대해서는, 상기 제3 양태에 기재한 것과 동일하기 때문에 여기서의 설명은 생략한다. 이하, 발광층 형성용 도공액의 다른 구성에 대하여 설명한다.In addition, about a ligand, since it is the same as that described in the said 3rd aspect, description here is abbreviate | omitted. Hereinafter, the other structure of the coating liquid for light emitting layer formation is demonstrated.

(양자 도트)(Quantum dot)

주위에 배위자가 배치된 양자 도트의 발광층 형성용 도공액 중의 함유량으로서는, 발광층 형성용 도공액 중의 전체 고형분을 100 질량%로 하면, 10 질량% 내지 90 질량%의 범위 내인 것이 바람직하고, 그 중에서도 30 질량% 내지 70 질량%의 범위 내인 것이 바람직하다. 상기 함유량이 지나치게 적으면, 충분한 발광이 얻어지지 않게 될 가능성이 있기 때문이다. 또한, 상기 함유량이 지나치게 많으면, 발광층의 성막이 곤란해지거나, 발광층에 정공 수송 기능이나 전자 수송 기능 등을 부여하는 것이 곤란해지는 경우가 있기 때문이다.As content in the coating liquid for light emitting layer formation of the quantum dot arrange | positioned around a ligand, when the total solid in the coating liquid for light emitting layer forming is 100 mass%, it is preferable to exist in the range of 10 mass%-90 mass%, and especially 30 It is preferable to exist in the range of mass%-70 mass%. It is because there exists a possibility that sufficient light emission may not be obtained when the said content is too small. If the content is too large, it is difficult to form the light emitting layer, or it may be difficult to provide a hole transporting function, an electron transporting function, or the like to the light emitting layer.

또한, 양자 도트의 그 밖의 점에 대해서는, 상기 제3 양태에 기재한 것과 동일하기 때문에 여기서의 설명은 생략한다.In addition, about the other point of a quantum dot, since it is the same as that described in the said 3rd aspect, description here is abbreviate | omitted.

(정공 수송 재료)(Hole transport material)

본 양태에 사용되는 정공 수송 재료로서는, 예를 들면 아릴아민 유도체, 안트라센 유도체, 카르바졸 유도체, 티오펜 유도체, 플루오렌 유도체, 디스티릴벤젠 유도체, 스피로 화합물 등을 들 수 있다. 구체적으로는 4,4'-비스[N-(1-나프틸)-N-페닐-아미노]-비페닐(α-NPD), N,N'-비스-(3-메틸페닐)-N,N'-비스-(페닐)-벤지딘(TPD), 4,4',4''-트리스[N-(3-메틸페닐)-N-페닐-아미노]-트리페닐아민(MTDATA), 9,10-디-2-나프틸안트라센(DNA), 4,4-N,N'-디카르바졸-비페닐(CBP), 1,4-비스(2,2-디페닐비닐)벤젠(DPVBi) 등을 들 수 있다. 이들 재료는 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상을 병용할 수도 있다.As a hole transport material used for this aspect, an arylamine derivative, anthracene derivative, a carbazole derivative, a thiophene derivative, a fluorene derivative, a distyrylbenzene derivative, a spiro compound, etc. are mentioned, for example. Specifically 4,4'-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenyl-amino] -biphenyl (α-NPD), N, N'-bis- (3-methylphenyl) -N, N '-Bis- (phenyl) -benzidine (TPD), 4,4', 4 ''-tris [N- (3-methylphenyl) -N-phenyl-amino] -triphenylamine (MTDATA), 9,10- Di-2-naphthylanthracene (DNA), 4,4-N, N'-dicarbazole-biphenyl (CBP), 1,4-bis (2,2-diphenylvinyl) benzene (DPVBi), and the like. Can be mentioned. These materials may be used independently and may use 2 or more types together.

발광층 형성용 도공액이 주위에 배위자가 배치된 양자 도트와 정공 수송 재료를 함유하는 경우, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트와 정공 수송 재료의 혼합비는, (주위에 배위자가 배치된 양자 도트):(정공 수송 재료)=1:0.1 내지 2 정도인 것이 바람직하다. 양자 도트의 혼합비가 지나치게 적으면, 충분한 발광이 얻어지지 않게 될 가능성이 있기 때문이다. 또한, 양자 도트의 혼합비가 지나치게 많으면 발광층의 성막이 곤란해지거나, 발광층에 정공 수송 기능을 부여하는 것이 곤란해지는 경우가 있기 때문이다.When the coating solution for forming the light emitting layer contains a quantum dot having a ligand disposed around it and a hole transporting material, the mixing ratio of the quantum dot having a ligand disposed around it and the hole transporting material is (quantum dot having a ligand disposed around): (Hole transport material) It is preferable that it is about 1: 0.1-2. This is because if the mixing ratio of the quantum dots is too small, sufficient light emission may not be obtained. If the mixing ratio of the quantum dots is too large, it is difficult to form the light emitting layer, or it may be difficult to give the hole transporting function to the light emitting layer.

(전자 수송 재료)(Electronic transport material)

본 양태에 사용되는 전자 수송 재료로서는, 예를 들면 바소큐프로인(BCP), 바소페난트롤린(Bpehn) 등의 페난트롤린 유도체, 트리아졸 유도체, 옥사디아졸 유도체, 트리스(8-퀴놀리놀)알루미늄 착체(Alq3) 등의 알루미늄퀴놀리놀 착체 등을 들 수 있다.Examples of the electron transporting material used in this embodiment include phenanthroline derivatives such as vasocuproin (BCP) and vasophenanthroline (Bpehn), triazole derivatives, oxadiazole derivatives, and tris (8-quinoli). Aluminum quinolinol complexes, such as knol) aluminum complex (Alq3), etc. are mentioned.

발광층 형성용 도공액이 주위에 배위자가 배치된 양자 도트와 전자 수송 재료를 함유하는 경우, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트와 전자 수송 재료의 혼합비는, (주위에 배위자가 배치된 양자 도트):(전자 수송 재료)=1:0.1 내지 2 정도인 것이 바람직하다. 양자 도트의 혼합비가 지나치게 적으면, 충분한 발광이 얻어지지 않게 될 가능성이 있기 때문이다. 또한, 양자 도트의 혼합비가 지나치게 많으면 발광층의 성막이 곤란해지거나, 발광층에 전자 수송 기능을 부여하는 것이 곤란해지는 경우가 있기 때문이다.When the coating solution for forming the light emitting layer contains a quantum dot having an ligand disposed around it and an electron transporting material, the mixing ratio of the quantum dot having a ligand disposed around it and the electron transporting material is (quantum dot having a ligand disposed around): (Electronic transport material) It is preferable that it is about 1: 0.1-2. This is because if the mixing ratio of the quantum dots is too small, sufficient light emission may not be obtained. If the mixing ratio of the quantum dots is too large, it is difficult to form the light emitting layer, or it may be difficult to impart an electron transport function to the light emitting layer.

또한, 발광층 형성용 도공액이 주위에 배위자가 배치된 양자 도트와 정공 수송 재료와 전자 수송 재료를 함유하는 경우, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트와 정공 수송 재료와 전자 수송 재료의 혼합비는, (주위에 배위자가 배치된 양자 도트):(정공 수송 재료):(전자 수송 재료)=1:0.1 내지 2:0.1 내지 2 정도인 것이 바람직하다. 양자 도트의 혼합비가 지나치게 적으면, 충분한 발광이 얻어지지 않게 될 가능성이 있기 때문이다. 또한, 양자 도트의 혼합비가 지나치게 많으면, 발광층의 성막이 곤란해지거나, 발광층에 정공 수송 기능이나 전자 수송 기능을 부여하는 것이 곤란해지는 경우가 있기 때문이다.In addition, when the coating liquid for light emitting layer formation contains the quantum dot in which a ligand was arrange | positioned, a hole transport material, and an electron transport material, the mixing ratio of the quantum dot, a hole transport material, and an electron transport material with a ligand arrange | positioned around it is ( Quantum dots with ligands arranged around them: (hole transporting material): (electron transporting material) = 1: 0.1 to 2: It is preferable that it is about 0.1 to 2. This is because if the mixing ratio of the quantum dots is too small, sufficient light emission may not be obtained. If the mixing ratio of the quantum dots is too large, film formation of the light emitting layer may be difficult, or it may be difficult to give a hole transport function or an electron transport function to the light emitting layer.

(용매)(menstruum)

본 양태에 사용되는 발광층 형성용 도공액에 사용할 수 있는 용매로서는 비극성 용매가 바람직하고, 예를 들면 크실렌, 톨루엔, 시클로헥실벤젠, 디히드로벤조푸란, 트리메틸벤젠, 테트라메틸벤젠 등의 방향족 탄화수소계 용매, 피리딘, 피라진, 푸란, 피롤, 티오펜, 메틸피롤리돈 등의 방향족 복소환 화합물계 용매, 헥 산, 펜탄, 헵탄, 시클로헥산 등의 지방족 탄화수소계 용매 등을 들 수 있다. 이들 용매는 단독으로 사용할 수도 있고, 혼합하여 사용할 수도 있다.As a solvent which can be used for the coating liquid for light emitting layer formation used for this aspect, a nonpolar solvent is preferable, For example, aromatic hydrocarbon solvent, such as xylene, toluene, cyclohexylbenzene, dihydrobenzofuran, trimethylbenzene, tetramethylbenzene, etc. And aromatic heterocyclic compound solvents such as pyridine, pyrazine, furan, pyrrole, thiophene and methylpyrrolidone, and aliphatic hydrocarbon solvents such as hexane, pentane, heptane and cyclohexane. These solvents may be used alone or in combination.

(기타)(Etc)

발광층 형성용 도공액은, 우선 정공 수송 재료 및 전자 수송 재료 중 적어도 어느 하나 이상을 용매에 용해시키고, 이 용액에 주위에 배위자가 배치된 양자 도트를 분산시켜 제조할 수 있다.The coating liquid for light emitting layer formation can be manufactured by first dissolving at least one or more of a hole transport material and an electron transport material in a solvent, and disperse | distributing the quantum dot by which the ligand was arrange | positioned in this solution.

또한, 발광층 형성용 도공액의 그 밖의 점에 대해서는, 상기 제3 양태와 동일하다.In addition, about another point of the coating liquid for light emitting layer formation, it is the same as that of the said 3rd aspect.

또한, 본 양태의 발광층 형성 공정에서 형성되는 발광층에 대해서는, 일본 특허 공표 제2005-522005호 공보 등에 상세히 기재되어 있다.In addition, the light emitting layer formed in the light emitting layer formation process of this aspect is described in detail in Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-522005.

(3) 제5 양태(3) Fifth aspect

본 양태에 있어서의 발광층 형성 공정은, 상기 주위에 배위자가 배치된 양자 도트와 정공 수송 재료와 용매를 함유하는 상기 발광층 형성용 도공액을 사용하여, 상기 발광층 형성용 도공액을 도포하여 도막을 형성한 후, 상기 도막 중의 상기 용매를 제거하면서 상기 정공 수송 재료를 상기 제1 전극층측으로, 상기 주위에 배위자가 배치된 양자 도트를 상기 도막의 최표면측으로 분리하여, 정공 수송층과 상기 발광층을 일괄적으로 형성하는 공정이다.The light emitting layer formation process in this aspect forms the coating film by apply | coating the said light emitting layer formation coating liquid using the said light emitting layer formation coating liquid containing the quantum dot which has a ligand arrange | positioned around this, a hole transport material, and a solvent. Thereafter, while removing the solvent in the coating film, the hole transporting material is separated to the first electrode layer side, and a quantum dot having a ligand arranged around the separation is separated to the outermost surface side of the coating film so that the hole transporting layer and the light emitting layer are collectively. It is a process of forming.

본 양태에 있어서는, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트와 정공 수송 재료와 용매를 함유하는 발광층 형성용 도공액을 포토레지스트층이 패턴상으로 형성된 기판 위에 도포하고, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트와 정공 수송 재료를 상분리 (수직 상분리)시킴으로써, 도 3에 예시한 바와 같이 정공 수송층 (9)와 발광층 (7)을 일괄적으로 형성할 수 있다. 이 경우 정공 수송층 (9)와 발광층 (7)이 상분리한 것이 되고, 정공 수송층 (9)와 발광층 (7) 사이에 상분리 계면 (23)을 갖게 된다.In this embodiment, a coating solution for forming a light emitting layer containing a quantum dot having a ligand disposed around it, a hole transporting material and a solvent is applied onto a substrate on which a photoresist layer is formed in a pattern, and a quantum dot having a ligand arranged around By phase-separating (vertical phase-separating) a hole transport material, the hole transport layer 9 and the light emitting layer 7 can be collectively formed as shown in FIG. In this case, the hole transport layer 9 and the light emitting layer 7 are phase separated, and the phase separation interface 23 is provided between the hole transport layer 9 and the light emitting layer 7.

정공 수송층과 발광층 사이에 상분리 계면을 갖는 경우, 도 3에 예시한 바와 같이 거시적으로는 그 상분리 계면 (23)이 제1 전극층 (2)의 표면과 거의 평행해지고, 도 4에 예시한 바와 같이 미시적으로는 발광층 (7) 및 정공 수송층 (9)가 서로 요철상으로 들어간(중첩된) 상태가 된다. 그 때문에 정공 수송층과 발광층의 접촉 면적이 커지고, 전자와 정공의 재결합 장소가 확대된다. 또한, 이 재결합 장소는 제1 전극층으로부터 벗어난 부분에 존재하기 때문에, 결과로서 발광하는 장소가 확대된다(발광에 기여하는 분자의 수가 증가함). 이 때문에, 발광 효율의 향상이나 장기 수명화를 한층 더 도모할 수 있다.In the case of having a phase separation interface between the hole transport layer and the light emitting layer, the phase separation interface 23 is macroscopically parallel to the surface of the first electrode layer 2 as illustrated in FIG. 3, and microscopically as illustrated in FIG. 4. As a result, the light emitting layer 7 and the hole transporting layer 9 are in a state where the concave-convex shape (overlapped) enters each other. As a result, the contact area between the hole transporting layer and the light emitting layer is increased, and the recombination site of electrons and holes is expanded. In addition, since this recombination site exists in the part which deviates from the 1st electrode layer, the place which emits light as a result expands (the number of molecules which contribute to light emission increases). For this reason, the luminous efficiency can be improved and the lifespan can be further extended.

또한, 정공 수송층과 발광층의 계면이 균일(평탄)하지 않고 요철상이기 때문에, 구동 전압량을 상승시켜도 일제히 정공과 전자가 여기, 결합하는 것을 방지하여, 발광의 강도가 급격하게 상승하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 구동 전압량에 따라 휘도를 천천히 상승시킬 수 있기 때문에, 발광 휘도의 제어나 저휘도 계조(階調) 제어를 용이하게 행할 수 있다. 또한, 구동 전압을 미세하게 제어하기 위한 복잡한 주변 회로가 불필요하다는 이점이 있다.In addition, since the interface between the hole transporting layer and the light emitting layer is not uniform (flat) and is uneven, it prevents the holes and electrons from being excited and combined at the same time even if the driving voltage is increased, thereby preventing the intensity of light emission from rapidly increasing. Can be. Therefore, since the luminance can be increased slowly in accordance with the driving voltage amount, the control of the light emission luminance and the low luminance gradation control can be easily performed. In addition, there is an advantage that a complicated peripheral circuit for finely controlling the driving voltage is unnecessary.

이하, 발광층 형성용 도공액 및 발광층의 형성 방법에 대하여 설명한다.Hereinafter, the coating liquid for light emitting layer formation and the formation method of a light emitting layer are demonstrated.

(i) 발광층 형성용 도공액(i) Coating solution for forming light emitting layer

본 양태에 사용되는 발광층 형성용 도공액은, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트와 정공 수송 재료와 용매를 함유하는 것이다.The coating liquid for light emitting layer formation used for this aspect contains a quantum dot, a hole transport material, and a solvent with a ligand arrange | positioned around it.

또한, 양자 도트 및 배위자에 대해서는 상기 제3 양태에 기재한 것과 동일하고, 정공 수송 재료 및 용매에 대해서는 상기 제4 양태에 기재한 것과 동일하기 때문에, 여기서의 설명은 생략한다.In addition, since it is the same as that described in the said 3rd aspect about a quantum dot and a ligand, and it is the same as that described in the said 4th aspect about a hole transport material and a solvent, description here is abbreviate | omitted.

본 양태에 있어서, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트의 발광층 형성용 도공액 중의 함유량으로서는, 발광층 형성용 도공액 중의 전체 고형분을 100 질량%로 하면, 10 질량% 내지 90 질량%의 범위 내인 것이 바람직하고, 이 중에서도 30 질량% 내지 70 질량%의 범위 내인 것이 바람직하다. 상기 함유량이 지나치게 적으면, 충분한 발광이 얻어지지 않게 될 가능성이 있기 때문이다. 또한, 상기 함유량이 지나치게 많으면, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트와 정공 수송 재료를 상분리시키는 것이 곤란해지기 때문이다.In this embodiment, as content in the coating liquid for light emitting layer formation of the quantum dot arrange | positioned at the circumference | surroundings, when the total solid in the coating liquid for light emitting layer formation is 100 mass%, it is preferable to exist in the range of 10 mass%-90 mass%. Among these, it is preferable to exist in the range of 30 mass%-70 mass%. It is because there exists a possibility that sufficient light emission may not be obtained when the said content is too small. If the content is too large, it is difficult to phase separate the quantum dot and the hole transport material in which the ligand is disposed around.

또한, 발광층 형성용 도공액 중의 주위에 배위자가 배치된 양자 도트와 정공 수송 재료의 혼합비는, (주위에 배위자가 배치된 양자 도트):(정공 수송 재료)=1:0.1 내지 2 정도인 것이 바람직하다. 상기 양자 도트의 혼합비가 지나치게 적으면, 충분한 발광이 얻어지지 않게 될 가능성이 있기 때문이다. 또한, 상기 양자 도트의 혼합비가 지나치게 많으면, 상기 양자 도트와 정공 수송 재료를 상분리시키는 것이 곤란해지기 때문이다.In addition, it is preferable that the mixing ratio of the quantum dot in which a ligand is arrange | positioned around a hole in a coating liquid for light emitting layer formation, and a hole transport material is (quantum dot in which a ligand is arrange | positioned around): (hole transport material) = 1: 0.1-2 or so Do. This is because if the mixing ratio of the quantum dots is too small, sufficient light emission may not be obtained. If the mixing ratio of the quantum dots is too large, it is difficult to phase separate the quantum dots and the hole transporting material.

본 양태에 사용되는 발광층 형성용 도공액은, 우선 정공 수송 재료를 용매에 용해시키고, 이 용액에 주위에 배위자가 배치된 양자 도트를 분산시켜 제조할 수 있다.The coating liquid for light emitting layer formation used for this aspect can be manufactured by melt | dissolving a positive hole transport material first in a solvent, and disperse | distributing the quantum dot by which the ligand was arrange | positioned in this solution.

또한, 발광층 형성용 도공액의 그 밖의 점에 대해서는, 상기 제3 양태와 동일하다.In addition, about another point of the coating liquid for light emitting layer formation, it is the same as that of the said 3rd aspect.

(ii) 발광층의 형성 방법(ii) Formation method of light emitting layer

본 양태에 있어서는, 상기 친액성 영역 위에 상기 발광층 형성용 도공액을 도포하여 도막을 형성한 후, 상기 도막 중의 상기 용매를 제거하면서 상기 정공 수송 재료를 상기 제1 전극층측으로, 상기 주위에 배위자가 배치된 양자 도트를 상기 도막의 최표면측으로 분리하여, 정공 수송층과 상기 발광층을 일괄적으로 형성한다.In this aspect, after forming the coating film by apply | coating the said coating solution for light emitting layer formation on the said lyophilic area | region, a ligand is arrange | positioned around the said hole transport material to the said 1st electrode layer, removing the said solvent in the said coating film. The quantum dots are separated to the outermost surface side of the coating film to form the hole transporting layer and the light emitting layer collectively.

또한, 발광층 형성용 도공액의 도포 방법에 대해서는, 상기 제3 양태와 동일하기 때문에 여기서의 설명은 생략한다.In addition, since it is the same as that of the said 3rd aspect, the application method of the coating liquid for light emitting layer formation is abbreviate | omitted here.

상기 발광층 형성용 도공액을 도포하여 도막을 형성한 후에는, 도막 중으로부터 용매를 제거한다. 용매가 제거되면, 도막 중에서는 도 4에 예시한 바와 같이 정공 수송 재료(도시하지 않음)가 제1 전극층 (2)측으로, 주위에 배위자(도시하지 않음)가 배치된 양자 도트 (22)가 도막의 최표면측으로 상하 방향으로 분리되고, 도막이 고화된다. 이와 같이 하여 정공 수송층 (9) 및 발광층 (7)이 일괄적으로 형성된다. 즉, 상분리에 의해 정공 수송층 및 발광층이 일괄적으로 형성된다.After apply | coating the said coating liquid for light emitting layer formation and forming a coating film, a solvent is removed from the coating film. When the solvent is removed, in the coating film, as illustrated in FIG. 4, a quantum dot 22 having a hole carrier material (not shown) is disposed on the first electrode layer 2 side and a ligand (not shown) is arranged around the coating film. It separates in the up-down direction to the outermost surface side, and the coating film is solidified. In this way, the hole transporting layer 9 and the light emitting layer 7 are collectively formed. That is, the hole transport layer and the light emitting layer are collectively formed by phase separation.

이때, 용매의 종류, 정공 수송 재료의 중량 평균 분자량, 발광층 형성용 도공액 중의 정공 수송 재료의 함유량, 발광층 형성용 도공액 중의 양자 도트 및 배위자의 함유량, 용매를 제거하는 속도, 용매를 제거할 때의 분위기, 발광층 형성용 도공액을 도포하는 바탕층의 표면성 상태 등 중, 1개 이상의 조건을 적절하게 설정함으로써, 정공 수송 재료와 주위에 배위자가 배치된 양자 도트의 상분리 상태를 제어할 수 있다.At this time, the type of solvent, the weight average molecular weight of the hole transport material, the content of the hole transport material in the coating liquid for forming the light emitting layer, the content of the quantum dots and the ligand in the coating liquid for forming the light emitting layer, the speed of removing the solvent, and the removal of the solvent Can be controlled by appropriately setting one or more conditions among the atmosphere, the surface state of the base layer to which the coating liquid for forming the light emitting layer is applied, and the like. .

예를 들면, 용매를 제거할 때의 분위기를 극성 용매의 증기를 함유하는 분위기로 할 수 있다. 이에 따라, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트를 보다 확실하게 도막 중에서 상측에 집중시킬 수 있다. 이 극성 용매로서는, 예를 들면 물이나 메탄올, 에탄올, 이소프로판올과 같은 알코올류 등을 들 수 있다.For example, the atmosphere at the time of removing a solvent can be made into the atmosphere containing the vapor of a polar solvent. As a result, the quantum dots in which the ligands are arranged can be more reliably concentrated on the upper side in the coating film. As this polar solvent, water, alcohol, such as methanol, ethanol, isopropanol, etc. are mentioned, for example.

또한, 상기 발광층 형성용 도공액의 도포 후 도막을 건조시킬 수도 있다. 또한, 건조 방법에 대해서는, 상기 제3 양태와 동일하기 때문에 여기서의 설명은 생략한다.Moreover, you may dry a coating film after application | coating of the coating liquid for light emitting layer formation. In addition, about a drying method, since it is the same as that of the said 3rd aspect, description here is abbreviate | omitted.

그 중에서도 배위자가 실란 커플링제인 경우에는, 상기 발광층 형성용 도공액의 도포 후 도막을 경화시키는 것이 바람직하다. 상기한 건조를 행함으로써, 가수분해된 실란 커플링제의 축합 반응이 진행되고, 발광층이 경화된다.Especially, when a ligand is a silane coupling agent, it is preferable to harden a coating film after application | coating of the coating liquid for light emitting layer formation. By performing said drying, condensation reaction of a hydrolyzed silane coupling agent advances and a light emitting layer hardens.

발광층의 두께로서는, 전자와 정공의 재결합 장소를 제공하여 발광하는 기능을 발현할 수 있는 두께이면 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면 1 ㎚ 내지 500 ㎚ 정도로 할 수 있다.The thickness of the light emitting layer is not particularly limited as long as it can provide a function of emitting light by providing a recombination site of electrons and holes, and may be, for example, about 1 nm to 500 nm.

4. 정공 주입 수송층 형성 공정4. Hole injection transport layer formation process

본 실시 양태에 있어서는, 상기 발광층 형성 공정 전에 상기 친액성 영역 위에 정공 주입 수송층을 형성하는 정공 주입 수송층 형성 공정을 행할 수도 있다. 정공 주입 수송층을 설치함으로써, 발광층으로의 정공의 주입이 안정화되거나 정공 의 수송이 원활해지기 때문에, 발광 효율을 높일 수 있다.In the present embodiment, a hole injection transport layer forming step of forming a hole injection transport layer on the lyophilic region may be performed before the light emitting layer formation step. By providing the hole injection transport layer, the injection of holes into the light emitting layer is stabilized or the transport of holes is smoothed, so that the luminous efficiency can be increased.

정공 주입 수송층 형성 공정 및 발광층 형성 공정의 순으로 행하는 경우에는, 우선 친액성 영역 위에만 정공 주입 수송층을 형성한다. 정공 주입 수송층 표면은 친액성이고, 정공 주입 수송층이 형성되어 있지 않은 영역은 발액성 영역 이기 때문에, 이 습윤성의 차이에 의해 발광층도 친액성 영역 위에만 형성할 수 있다.In the case of performing the hole injection transport layer formation step and the light emitting layer formation step, the hole injection transport layer is first formed only on the lyophilic region. Since the surface of the hole injection transport layer is lyophilic and the region in which the hole injection transport layer is not formed is a liquid repellent region, the light emitting layer can be formed only on the lyophilic region due to this wettability difference.

정공 주입 수송층은, 양극으로부터 주입된 정공을 안정적으로 발광층 내로 주입하는 정공 주입 기능을 갖는 정공 주입층일 수도 있고, 양극으로부터 주입된 정공을 발광층 내로 수송하는 정공 수송 기능을 갖는 정공 수송층일 수도 있고, 정공 주입층 및 정공 수송층이 적층된 것일 수도 있고, 정공 주입 기능 및 정공 수송 기능을 모두 갖는 단일층일 수도 있다.The hole injection transport layer may be a hole injection layer having a hole injection function for stably injecting holes injected from the anode into the light emitting layer, or may be a hole transport layer having a hole transport function for transporting holes injected from the anode into the light emitting layer, The injection layer and the hole transport layer may be laminated, or may be a single layer having both a hole injection function and a hole transport function.

또한, 상기 발광층 형성 공정에서, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트와 정공 수송 재료를 함유하는 발광층 형성용 도공액을 사용하여 단일 발광층을 형성하는 경우나, 정공 수송층과 발광층을 일괄적으로 형성하는 경우, 본 공정에 있어서는 정공 주입 수송층으로서 정공 주입층을 형성하는 것이 바람직하다.In the light emitting layer forming step, when a single light emitting layer is formed by using a light emitting layer forming coating solution containing a quantum dot and a hole transporting material having a ligand disposed around it, or when the hole transporting layer and the light emitting layer are collectively formed. In this step, it is preferable to form a hole injection layer as the hole injection transport layer.

정공 주입층에 사용되는 정공 주입 재료로서는, 발광층 내로의 정공의 주입을 안정화시킬 수 있는 재료이면 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면 페닐아민류, 스타버스트형 아민류, 프탈로시아닌류, 산화바나듐, 산화몰리브덴, 산화루테늄, 산화알루미늄 등의 산화물, 비정질 카본, 폴리아닐린, 폴리티오펜, 폴리페닐렌비닐렌 및 이들 유도체 등의 도전성 고분자 등을 들 수 있다. 상기 도전성 고분자는, 산 에 의해 도핑될 수도 있다. 구체적으로는 4,4'-비스[N-(1-나프틸)-N-페닐-아미노]-비페닐(α-NPD), 4,4',4''-트리스(N,N-디페닐-아미노)-트리페닐아민(TDATA), 4,4',4''-트리스[N-(3-메틸페닐)-N-페닐-아미노]-트리페닐아민(MTDATA), 폴리비닐카르바졸, 폴리(3,4-에틸렌디옥시티오펜)/폴리스티렌술폰산(PEDOT/PSS) 등을 들 수 있다. 이들 재료는 단독으로 사용할 수도 있고, 2종 이상을 병용할 수도 있다.The hole injection material used in the hole injection layer is not particularly limited as long as it can stabilize the injection of holes into the light emitting layer, and examples thereof include phenylamines, starburst amines, phthalocyanines, vanadium oxide, molybdenum oxide, and oxides. Oxides such as ruthenium and aluminum oxide, amorphous carbon, polyaniline, polythiophene, polyphenylenevinylene and conductive polymers such as these derivatives. The conductive polymer may be doped with an acid. Specifically 4,4'-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenyl-amino] -biphenyl (α-NPD), 4,4 ', 4' '-tris (N, N-di Phenyl-amino) -triphenylamine (TDATA), 4,4 ', 4' '-tris [N- (3-methylphenyl) -N-phenyl-amino] -triphenylamine (MTDATA), polyvinylcarbazole, Poly (3,4-ethylenedioxythiophene) / polystyrenesulfonic acid (PEDOT / PSS) and the like. These materials may be used independently and may use 2 or more types together.

정공 주입층의 막 두께로서는 그 기능이 충분히 발휘되는 막 두께이면 특별히 한정되지 않지만, 구체적으로는 5 ㎚ 내지 200 ㎚의 범위 내인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 10 ㎚ 내지 100 ㎚의 범위 내이다.The film thickness of the hole injection layer is not particularly limited as long as its function is sufficiently exhibited. Specifically, the thickness is preferably in the range of 5 nm to 200 nm, and more preferably in the range of 10 nm to 100 nm.

또한, 정공 수송층에 사용되는 정공 수송 재료로서는, 양극으로부터 주입된 정공을 안정적으로 발광층 내로 수송할 수 있는 재료이면 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면 상기 "3. 발광층 형성 공정"의 항에 기재한 정공 수송 재료를 사용할 수 있다.The hole transporting material used for the hole transporting layer is not particularly limited as long as it is a material capable of stably transporting holes injected from the anode into the light emitting layer, and for example, the holes described in the section "3. Light emitting layer forming process". Transport materials can be used.

정공 수송층의 막 두께로서는 그 기능이 충분히 발휘되는 막 두께이면 특별히 한정되지 않지만, 구체적으로는 5 ㎚ 내지 200 ㎚의 범위 내인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 10 ㎚ 내지 100 ㎚의 범위 내이다.The film thickness of the hole transport layer is not particularly limited as long as the function is sufficiently exhibited, but it is preferably in the range of 5 nm to 200 nm, more preferably in the range of 10 nm to 100 nm.

본 공정에 있어서는, 발광층 형성용 도공액의 용매에 대하여 불용이 되도록 정공 주입 수송층을 형성할 수도 있다. 이에 따라, 정공 주입 수송층 위에 발광층을 형성할 때, 발광층 형성용 도공액의 용매가 정공 주입 수송층에 접촉하여도 정공 주입 수송층은 용해되지 않기 때문에, 안정적으로 발광층을 적층할 수 있다. 또한, 정공 주입 수송층의 특성이 저하되는 것을 억제할 수 있다.In this step, the hole injection transport layer may be formed so as to be insoluble in the solvent of the coating liquid for forming the light emitting layer. Accordingly, when the light emitting layer is formed on the hole injection transport layer, the hole injection transport layer is not dissolved even when the solvent of the light emitting layer forming coating liquid contacts the hole injection transport layer, so that the light emitting layer can be laminated stably. Furthermore, the fall of the characteristic of a hole injection transport layer can be suppressed.

정공 주입 수송층을 발광층 형성용 도공액의 용매에 대하여 불용인 것으로 하기 위해, 정공 주입 수송층에 광 개시제 등을 함유시킬 수 있다. 예를 들면, 문헌 [Applied physics letter, Vol 81, (2002)]에 기재되어 있는 광 개시제 등을 도전성 고분자에 혼합함으로써, 자외선 조사에 의해 경화시킬 수 있다.In order to make a hole injection transport layer insoluble with respect to the solvent of the coating liquid for light emitting layer formation, a photoinitiator etc. can be contained in a hole injection transport layer. For example, by mixing the photoinitiator and the like described in the Applied physics letter, Vol 81, (2002) with a conductive polymer, it can be cured by ultraviolet irradiation.

그 중에서도, 정공 주입 수송층을 발광층 형성용 도공액의 용매에 대하여 불용인 것으로 하기 위해서는, 정공 주입 수송층에 경화성 바인더, 또는 열 에너지 또는 방사선의 작용에 의해 용해성이 변화되는 재료를 사용하는 것이 바람직하다. 즉, 정공 주입 수송층 형성용 도공액이 정공 주입 재료 또는 정공 수송 재료 등과 경화성 바인더, 또는 열 에너지 또는 방사선의 작용에 의해 용해성이 변화되는 재료를 함유하는 것이 바람직하다.Especially, in order to make a hole injection transport layer insoluble with respect to the solvent of the coating liquid for light emitting layer formation, it is preferable to use the material which changes solubility by the action of a curable binder or thermal energy or radiation to a hole injection transport layer. That is, it is preferable that the coating liquid for hole injection transport layer formation contains a hole injection material, a hole transport material, etc., or a curable binder, or a material whose solubility is changed by the action of thermal energy or radiation.

특히, 정공 주입 재료 또는 정공 수송 재료 등과 경화성 바인더를 함유하는 정공 주입 수송층 형성용 도공액을 도포하고, 경화하여 정공 주입 수송층을 형성하는 것이 바람직하다.In particular, it is preferable to apply | coat and harden the coating liquid for hole injection transport layer formation containing a hole injection material, a hole transport material, etc., and a curable binder, and to form a hole injection transport layer.

이하, 정공 주입 재료 또는 정공 수송 재료 등과 경화성 바인더를 함유하는 정공 주입 수송층 형성용 도공액을 도포하고, 경화하여 정공 주입 수송층을 형성하는 경우(제6 양태)와, 열 에너지 또는 방사선의 작용에 의해 용해성이 변화되는 재료를 함유하는 정공 주입 수송층 형성용 도공액을 도포하고, 열 에너지를 부여 또는 방사선을 조사하여, 정공 주입 수송층을 형성하는 경우(제7 양태)로 나누어 설명한다.Hereinafter, when the coating liquid for hole injection transport layer formation containing a hardening binder etc. with a hole injection material, a hole transport material, etc. is apply | coated and hardened | cured to form a hole injection transport layer (6th aspect), by the action of thermal energy or a radiation The coating solution for forming a hole injection transport layer containing a material whose solubility is changed is described, which is divided into the case where the hole injection transport layer is formed by applying thermal energy or irradiating radiation (the seventh embodiment).

(1) 제6 양태(1) Sixth aspect

본 양태에 있어서의 정공 주입 수송층 형성 공정은, 정공 주입 재료 또는 정공 수송 재료 등과 경화성 바인더를 함유하는 정공 주입 수송층 형성용 도공액을 도포하고, 경화하여 정공 주입 수송층을 형성하는 공정이다.The hole injection transport layer formation process in this aspect is a process of apply | coating the coating liquid for hole injection transport layer formation containing a hole injection material, a hole transport material, etc., and a curable binder, and hardening | curing to form a hole injection transport layer.

또한, 정공 주입 재료 및 정공 수송 재료에 대해서는, 상술한 바와 같다.In addition, the hole injection material and the hole transport material are as described above.

본 양태에 있어서는, 정공 주입 수송층 형성 공정이 정공 주입 재료 및 경화성 바인더를 함유하는 정공 주입층 형성용 도공액을 도포하고, 경화하여 정공 주입층을 형성하는 정공 주입층 형성 공정인 것이 바람직하다.In this aspect, it is preferable that a hole injection transport layer formation process is a hole injection layer formation process which apply | coats the coating liquid for hole injection layer formation containing a hole injection material and a curable binder, and hardens to form a hole injection layer.

본 양태에 사용되는 경화성 바인더로서는, 열 에너지 또는 방사선의 작용에 의해 경화되는 것이 바람직하고, 예를 들면 졸겔 반응액, 광 경화성 수지, 열 경화성 수지를 들 수 있다. 또한, 졸겔 반응액이란, 경화 후에 겔화되는 반응액을 말한다.As a curable binder used for this aspect, what hardens | cures by the action of heat energy or a radiation is preferable, For example, a sol-gel reaction liquid, a photocurable resin, and a thermosetting resin are mentioned. In addition, a sol-gel reaction liquid means the reaction liquid which gelatinizes after hardening.

이 중에서도 경화성 바인더는, 오르가노폴리실록산을 포함하는 것이 바람직하다. 이 오르가노폴리실록산으로서는, 예를 들면 일본 특허 공개 제2000-249821호 공보에 기재되어 있는 것 등을 사용할 수 있다.Among these, it is preferable that a curable binder contains organopolysiloxane. As this organopolysiloxane, the thing described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2000-249821, etc. can be used, for example.

정공 주입 수송층 형성용 도공액은, 상기한 정공 주입 재료 또는 정공 수송 재료 등과 경화성 바인더를 용매에 분산 또는 용해하여 제조된다. 예를 들면, 경화성 바인더가 오르가노폴리실록산을 포함하는 경우에는, 용매로서 에탄올, 이소프로판올 등의 알코올계가 바람직하게 사용된다.The coating liquid for forming a hole injection transport layer is prepared by dispersing or dissolving the hole injection material or the hole transport material and the like in a solvent. For example, when the curable binder contains organopolysiloxane, alcohols such as ethanol and isopropanol are preferably used as the solvent.

정공 주입 수송층 형성용 도공액의 도포 방법으로서는, 예를 들면 스핀 코팅법, 분무 코팅법, 침지 코팅법, 롤 코팅법, 비드 코팅법 등을 들 수 있다.As a coating method of the coating liquid for hole injection transport layer formation, a spin coating method, the spray coating method, the dip coating method, the roll coating method, the bead coating method, etc. are mentioned, for example.

정공 주입 수송층 형성용 도공액을 도포한 후에는, 경화한다. 경화의 방법으로서는, 열 에너지의 부여 또는 방사선의 조사를 들 수 있다.After apply | coating the coating liquid for hole injection transport layer formation, it hardens | cures. As a method of hardening, provision of heat energy or irradiation of a radiation is mentioned.

(2) 제 7양태(2) Seventh aspect

본 양태에 있어서의 정공 주입 수송층 형성 공정은, 열 에너지 또는 방사선의 작용에 의해 용해성이 변화되는 재료를 함유하는 정공 주입 수송층 형성용 도공액을 도포하고, 열 에너지를 부여 또는 방사선을 조사하여 정공 주입 수송층을 형성하는 공정이다.In the hole injection transport layer formation step in this embodiment, a coating liquid for hole injection transport layer formation containing a material whose solubility is changed by the action of thermal energy or radiation is applied, and the thermal energy is applied or the radiation is irradiated to inject the hole. It is a process of forming a transport layer.

여기서 재료의 용해성이 변화된다는 것은, 재료의 주성분이 용해 또는 분산되는 용매의 극성이 변화되는 것을 말한다. 열 에너지 또는 방사선의 작용에 의해 용해성이 변화되는 재료를 함유하는 층에 대하여, 열 에너지를 부여 또는 방사선을 조사함으로써 재료의 용해성을 변화시키면, 정공 주입 수송층 형성용 도공액의 용매와, 열 에너지 부여 또는 방사선 조사 후의 정공 주입 수송층이 용해되는 용매는 극성이 상이해진다.Here, the change in the solubility of the material means that the polarity of the solvent in which the main component of the material is dissolved or dispersed is changed. When the solubility of the material is changed by applying heat energy or irradiating radiation to the layer containing the material whose solubility is changed by the action of heat energy or radiation, the solvent and the heat energy of the coating liquid for forming a hole injection transport layer are provided. Alternatively, the solvent in which the hole injection transport layer after irradiation is dissolved differs in polarity.

재료의 용해성이 변화되는 정도로서는, 열 에너지 부여 또는 방사선 조사 후의 정공 주입 수송층이 정공 주입 수송층 형성용 도공액에 사용한 용매에 실질적으로 용해되거나 혼화되지 않는 정도일 수 있다. 구체적으로는, 열 에너지 부여 또는 방사선 조사 후의 정공 주입 수송층이 정공 주입 수송층 형성용 도공액에 불용일 수 있다.The degree to which the solubility of the material is changed may be such that the hole injection transport layer after applying heat energy or radiation is not substantially dissolved or mixed with the solvent used in the coating liquid for forming the hole injection transport layer. Specifically, the hole injection transport layer after applying heat energy or irradiation may be insoluble in the coating liquid for hole injection transport layer formation.

본 양태에 사용되는 열 에너지 또는 방사선의 작용에 의해 용해성이 변화되는 재료로서는, 예를 들면 친수성 유기 재료의 친수성기의 일부 또는 전부가 친유 성기로 변환된 것이며, 열 에너지 또는 방사선의 작용에 의해 친유성기의 일부 또는 전부가 친수성기로 되돌아가는 것이 바람직하게 사용된다.As a material whose solubility is changed by the action of thermal energy or radiation used in the present embodiment, for example, part or all of the hydrophilic group of the hydrophilic organic material is converted into a lipophilic group, and the lipophilic group is caused by the action of thermal energy or radiation. Part or all of is returned to the hydrophilic group is preferably used.

상기한 재료에 있어서, 친수성 유기 재료의 친수성기 모두가 친유성기로 변환되어 있을 필요는 없다. 친수성기가 친유성기로 변환되어 있는 비율로서는, 일반적인 비수계 유기 용제에 대하여 원하는 농도 이상의 용해성을 유지할 수 있는 정도일 수 있다. 구체적으로는, 물, 알코올계 용제에 용해 또는 분산되는 친수성 유기 재료가 일반적인 비수계 용제인 톨루엔, 크실렌, 아세트산에틸, 시클로헥사논 등에 0.5 질량% 이상 용해되는 정도로, 친수성기가 친유성기로 변환되어 있는 것이 바람직하다.In the above materials, not all of the hydrophilic groups of the hydrophilic organic material need to be converted to a lipophilic group. As a ratio in which a hydrophilic group is converted into a lipophilic group, it may be the grade which can maintain the solubility more than desired concentration with respect to a general non-aqueous organic solvent. Specifically, the hydrophilic group is converted into a lipophilic group to such an extent that a hydrophilic organic material dissolved or dispersed in water or an alcoholic solvent is dissolved in a mass of 0.5 mass% or more in toluene, xylene, ethyl acetate, cyclohexanone, etc., which are common non-aqueous solvents. It is preferable.

또한, 상기 재료에 있어서는, 친유성기가 모두 친수성기로 되돌아갈 필요는 없다. 친유성기가 친수성기로 되돌아가는 비율로서는, 정공 주입 수송층이 발광층 형성용 도공액의 용매에 용해되지 않는 정도일 수 있다. 구체적으로는 톨루엔, 크실렌, 아세트산에틸, 시클로헥사논 등에 0.5 질량% 이상 용해되는 재료가 톨루엔, 크실렌, 아세트산에틸, 시클로헥사논 등에 불용 또는 난용이 되는 정도로, 친유성기가 친수성기로 되돌아가는 것이 바람직하다. 이때, 완전히 당초의 친수성 유기 재료로 되돌아가지 않을 수도 있다.In addition, in the said material, it is not necessary for all lipophilic groups to return to a hydrophilic group. The ratio at which the lipophilic group returns to the hydrophilic group may be such that the hole injection transport layer is not dissolved in the solvent of the coating liquid for forming the light emitting layer. Specifically, it is preferable that the lipophilic group is returned to the hydrophilic group to such an extent that a material dissolved in 0.5% by mass or more of toluene, xylene, ethyl acetate, cyclohexanone, or the like becomes insoluble or poorly soluble in toluene, xylene, ethyl acetate, cyclohexanone, or the like. . At this time, it may not return completely to the original hydrophilic organic material.

상기 친수성 유기 재료로서는 친수성기를 갖고, 물에 분산 또는 용해되며, 정공 주입 수송층에 요구되는 기능을 발휘하는 것이면 특별히 한정되지 않는다. 정공 주입 수송층이 정공 주입층인 경우에는, 예를 들면 일본 특허 공개 제2006-318876호 공보에 기재되어 있는 것 등을 들 수 있다.The hydrophilic organic material is not particularly limited as long as it has a hydrophilic group, is dispersed or dissolved in water, and exhibits a function required for the hole injection transport layer. When a hole injection transport layer is a hole injection layer, what is described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2006-318876, etc. are mentioned, for example.

친수성 유기 재료에 있어서의 친수성기를 친유성기로 변환하는 방법으로서는, 열 에너지 또는 방사선의 작용에 의해 친유성기의 일부 또는 전부가 친수성기로 되돌아가기 때문에, 보호 반응을 이용하는 방법인 것이 바람직하다. 여기서, 보호 반응이란, 친수성기를 유도체화하여 일시적으로 친수성기에 보호기를 도입하는 반응을 말한다. 보호 반응으로서는, 예를 들면 일본 특허 공개 제2006-318876호 공보에 기재되어 있는 것 등을 들 수 있다.As a method of converting a hydrophilic group in a hydrophilic organic material to a lipophilic group, since part or all of a lipophilic group returns to a hydrophilic group by the action of heat energy or radiation, it is preferable that it is a method of using a protective reaction. Here, a protection reaction means reaction which derivatizes a hydrophilic group and introduces a protecting group temporarily to a hydrophilic group. As a protective reaction, what is described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2006-318876, etc. are mentioned, for example.

정공 주입 수송층 형성용 도공액은, 상기한 친수성 유기 재료의 친수성기의 일부 또는 전부가 친유성기로 변환된 재료를 용매에 분산 또는 용해함으로써 제조할 수 있다. 이때, 용매로서는, 친유성의 재료를 분산 또는 용해할 수 있는 것이 사용된다. 이러한 용매로서는, 예를 들면 일본 특허 공개 제2006-318876호 공보에 기재되어 있는 것 등을 사용할 수 있다.The coating liquid for hole injection transport layer formation can be manufactured by disperse | distributing or melt | dissolving the material in which one or all the hydrophilic groups of said hydrophilic organic material were converted into the lipophilic group in a solvent. At this time, as a solvent, what can disperse | distribute or melt | dissolve a lipophilic material is used. As such a solvent, the thing described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2006-318876, etc. can be used, for example.

또한, 정공 주입 수송층 형성용 도공액 중의 친수성 유기 재료의 친수성기의 일부 또는 전부가 친유성기로 변환된 재료의 농도로서는, 재료의 성분 또는 조성에 따라 상이하지만, 통상적으로 0.1 질량% 이상으로 설정되며, 바람직하게는 1 질량% 내지 5 질량% 정도이다.The concentration of the material in which part or all of the hydrophilic groups of the hydrophilic organic material in the coating liquid for forming the hole injection transport layer is converted into a lipophilic group is different depending on the component or composition of the material, but is usually set to 0.1% by mass or more, Preferably it is about 1-5 mass%.

정공 주입 수송층은, 상기 정공 주입 수송층 형성용 도공액을 도포하여 얻어지는 도막에 열 에너지를 부여하거나 또는 방사선을 조사하고, 도막의 용해성을 변화시킴으로써 형성할 수 있다. 상기 정공 주입 수송층 형성용 도공액의 도포 후에는, 건조를 행할 수도 있다. 열 에너지의 부여 및 방사선의 조사에 대해서는, 예를 들면 일본 특허 공개 제2006-318876호 공보에 기재되어 있는 조건으로 할 수 있 다.The hole injection transport layer can be formed by applying thermal energy to the coating film obtained by applying the coating liquid for hole injection transport layer formation or by irradiating radiation to change the solubility of the coating film. After application of the coating liquid for hole injection transport layer formation, drying may be performed. The provision of thermal energy and irradiation of radiation can be made, for example, under the conditions described in Japanese Patent Laid-Open No. 2006-318876.

또한, 열 에너지 또는 방사선의 작용에 의해 재료의 용해성이 변화되는 메커니즘에 대해서는, 일본 특허 공개 제2006-318876호 공보에 상세히 기재되어 있다.Moreover, the mechanism by which the solubility of a material changes by the action of heat energy or radiation is described in detail in Unexamined-Japanese-Patent No. 2006-318876.

5. 전자 주입 수송층 형성 공정5. Electron injection transport layer formation process

본 실시 양태에 있어서는, 상기 발광층 형성 공정 후 상기 발광층 위에 전자 주입 수송층을 형성하는 전자 주입 수송층 형성 공정을 행할 수도 있다. 전자 주입 수송층을 설치함으로써, 발광층으로의 전자의 주입이 안정화되거나, 전자의 수송이 원활해지기 때문에 발광 효율을 높일 수 있다.In this embodiment, an electron injection transport layer forming step of forming an electron injection transport layer on the light emitting layer after the light emitting layer forming step may be performed. By providing the electron injection transport layer, the injection of electrons into the light emitting layer is stabilized or the electrons are transported smoothly, so that the luminous efficiency can be increased.

전자 주입 수송층은, 음극으로부터 주입된 전자를 안정적으로 발광층 내로 주입하는 전자 주입 기능을 갖는 전자 주입층일 수도 있고, 음극으로부터 주입된 전자를 발광층 내로 수송하는 전자 수송 기능을 갖는 전자 수송층일 수도 있고, 전자 주입층 및 전자 수송층이 적층된 것일 수도 있고, 전자 주입 기능 및 전자 수송 기능을 모두 갖는 단일층일 수도 있다.The electron injection transport layer may be an electron injection layer having an electron injection function for stably injecting electrons injected from the cathode into the light emitting layer, or may be an electron transport layer having an electron transport function for transporting electrons injected from the cathode into the light emitting layer, The injection layer and the electron transport layer may be laminated, or may be a single layer having both an electron injection function and an electron transport function.

또한, 상기 발광층 형성 공정에서, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트와 전자 수송 재료를 함유하는 발광층 형성용 도공액을 사용하여 단일 발광층을 형성하는 경우, 본 공정에 있어서는 전자 주입 수송층으로서 전자 주입층을 형성하는 것이 바람직하다.In the light emitting layer forming step, when a single light emitting layer is formed by using the light emitting layer forming coating solution containing a quantum dot and an electron transporting material having a ligand disposed around it, in this step, the electron injection layer is used as the electron injection transporting layer. It is preferable to form.

전자 주입층에 사용되는 전자 주입 재료로서는, 발광층 내로의 전자의 주입을 안정화시킬 수 있는 재료이면 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면 Ba, Ca, Li, Cs, Mg, Sr 등의 알칼리 금속 또는 알칼리 토류 금속의 단체, 알루미늄리튬 합금 등의 알칼리 금속의 합금, 산화마그네슘, 산화스트론튬 등의 알칼리 금속 또는 알칼리 토류 금속의 산화물, 불화마그네슘, 불화칼슘, 불화스트론튬, 불화바륨, 불화리튬, 불화세슘 등의 알칼리 금속 또는 알칼리 토류 금속의 불화물, 폴리메틸메타크릴레이트폴리스티렌술폰산나트륨 등의 알칼리 금속의 유기 착체 등을 들 수 있다. 또한, Ca/LiF와 같이, 이들을 적층하여 사용하는 것도 가능하다.The electron injection material used for the electron injection layer is not particularly limited as long as it is a material capable of stabilizing the injection of electrons into the light emitting layer, and for example, alkali metal or alkaline earth such as Ba, Ca, Li, Cs, Mg, Sr, etc. Alkali, such as a single metal, alloys of alkali metals, such as aluminum lithium alloys, alkali metals, such as magnesium oxide and strontium oxide, or oxides of alkaline earth metals, magnesium fluoride, calcium fluoride, strontium fluoride, barium fluoride, lithium fluoride, cesium fluoride Organic complexes of alkali metals, such as fluoride of a metal or alkaline-earth metal, sodium polymethylmethacrylate polystyrene sulfonate, etc. are mentioned. Moreover, like Ca / LiF, it is also possible to laminate | stack and use them.

전자 주입층의 막 두께로서는 그 기능이 충분히 발휘되는 막 두께이면 특별히 한정되지 않지만, 구체적으로는 0.1 ㎚ 내지 200 ㎚의 범위 내인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.5 ㎚ 내지 100 ㎚의 범위 내이다.Although it will not specifically limit, if the film thickness of an electron injection layer is the film thickness in which the function is fully exhibited, It is preferable to exist in the range of 0.1 nm-200 nm specifically, More preferably, it exists in the range of 0.5 nm-100 nm.

또한, 전자 수송층에 사용되는 전자 수송 재료로서는, 음극으로부터 주입된 전자를 안정적으로 발광층 내로 수송할 수 있는 재료이면 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면, 상기 "3. 발광층 형성 공정"의 항에 기재한 전자 수송 재료를 사용할 수 있다.The electron transporting material used for the electron transporting layer is not particularly limited as long as it is a material capable of stably transporting electrons injected from the cathode into the light emitting layer. For example, the electron transporting material described in the section "3. Electron transport materials can be used.

전자 수송층의 막 두께로서는 그 기능이 충분히 발휘되는 막 두께이면 특별히 한정되지 않지만, 구체적으로는 1 ㎚ 내지 100 ㎚의 범위 내인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 1 ㎚ 내지 50 ㎚의 범위 내이다.Although it will not specifically limit, if the film thickness of an electron carrying layer is the film thickness in which the function is fully exhibited, It is preferable to exist in the range of 1 nm-100 nm specifically, More preferably, it exists in the range of 1 nm-50 nm.

또한, 전자 주입 기능 및 전자 수송 기능을 모두 갖는 단일층의 형성 재료로서는, Li, Cs, Ba, Sr 등의 알칼리 금속 또는 알칼리 토류 금속이 도핑된 전자 수송 재료를 들 수 있다. 전자 수송 재료로서는 바소큐프로인(BCP), 바소페난트롤린(Bpehn) 등의 페난트롤린 유도체를 들 수 있다. 또한, 전자 수송 재료와 도핑되는 금속의 몰 비율은 1:1 내지 1:3의 범위 내인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게 는 1:1 내지 1:2의 범위 내이다. 알칼리 금속 또는 알칼리 토류 금속이 도핑된 전자 수송 재료는 전자 이동도가 비교적 크고, 금속 단체에 비해 투과율이 높다.Moreover, the electron transport material doped with alkali metals or alkaline earth metals, such as Li, Cs, Ba, Sr, can be mentioned as a formation material of the single layer which has both the electron injection function and the electron transport function. Examples of the electron transporting material include phenanthroline derivatives such as vasocuproin (BCP) and vasophenanthroline (Bpehn). In addition, the molar ratio of the electron transporting material and the metal to be doped is preferably in the range of 1: 1 to 1: 3, more preferably in the range of 1: 1 to 1: 2. The electron transport material doped with the alkali metal or the alkaline earth metal has a relatively high electron mobility and a high transmittance as compared to the metal alone.

전자 주입 기능 및 전자 수송 기능을 모두 갖는 단일층의 막 두께로서는, 그 기능이 충분히 발휘되는 막 두께이면 특별히 한정되지 않지만, 구체적으로는 0.1 ㎚ 내지 100 ㎚의 범위 내인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게는 0.1 ㎚ 내지 50 ㎚의 범위 내이다.The film thickness of the single layer having both the electron injection function and the electron transport function is not particularly limited as long as the function is sufficiently exhibited, but it is particularly preferably in the range of 0.1 nm to 100 nm, more preferably. It is in the range of 0.1 nm to 50 nm.

전자 주입 수송층의 형성 방법으로서는, 예를 들면 진공 증착법 등의 건식 공정일 수도 있고, 스핀 코팅법 등의 습식 공정일 수도 있다. 본 실시 양태에 있어서는, 배위자로서 실란 커플링제를 사용함으로써 발광층을 경화시킬 수 있기 때문에, 습식 공정을 이용한 경우에도 안정적으로 발광층 위에 전자 주입 수송층을 형성할 수 있다.As a method of forming an electron injection transport layer, a dry process, such as a vacuum deposition method, may be sufficient, for example, and a wet process, such as a spin coating method, may be sufficient. In the present embodiment, the light emitting layer can be cured by using a silane coupling agent as the ligand, so that even when a wet process is used, the electron injection transport layer can be stably formed on the light emitting layer.

6. 제2 전극층 형성 공정6. Second electrode layer forming process

본 실시 양태에 있어서는, 통상적으로 상기 발광층 공정 후 발광층 위에 제2 전극층을 형성하는 제2 전극층 형성 공정이 행해진다. 상기 전자 주입 수송층 형성 공정이 행해지는 경우에는, 상기 전자 주입 수송층 형성 공정 후 발광층 위에 제2 전극층을 형성하는 제2 전극층 형성 공정이 행해진다.In the present embodiment, a second electrode layer forming step of forming a second electrode layer on the light emitting layer is usually performed after the light emitting layer step. When the electron injection transport layer forming step is performed, a second electrode layer forming step of forming a second electrode layer on the light emitting layer after the electron injection transport layer forming step is performed.

제2 전극층은 제1 전극층과 대향하는 전극일 수 있으며, 양극일 수도 있고, 음극일 수도 있다.The second electrode layer may be an electrode facing the first electrode layer, may be an anode, or may be a cathode.

제2 전극층을 형성하는 재료로서는, 도전성을 갖는 재료이면 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면, 제2 전극층측으로부터 빛을 취출하는 경우에는, 제2 전극 층은 투명성을 갖는 것이 바람직하다. 한편, 제1 전극층측으로부터 빛을 취출하는 경우에는, 제2 전극층에 투명성은 요구되지 않는다. 또한, 도전성을 갖는 재료에 대해서는, 상기 제1 전극층의 항에 기재한 것과 동일하기 때문에 여기서의 설명은 생략한다.The material for forming the second electrode layer is not particularly limited as long as it is a material having conductivity. For example, when taking out light from the 2nd electrode layer side, it is preferable that a 2nd electrode layer has transparency. On the other hand, in the case where light is taken out from the first electrode layer side, transparency is not required for the second electrode layer. In addition, about the material which has electroconductivity, since it is the same as what was described in the term of the said 1st electrode layer, description here is abbreviate | omitted.

또한, 제2 전극층의 성막 방법 및 패터닝 방법에 대해서는, 상기 제1 전극층의 성막 방법 및 패터닝 방법과 동일하기 때문에 여기서의 설명은 생략한다.In addition, since the film forming method and patterning method of a 2nd electrode layer are the same as the film forming method and patterning method of a said 1st electrode layer, it abbreviate | omits description here.

7. 절연층 형성 공정7. Insulation Layer Forming Process

본 실시 양태에 있어서는, 상기 습윤성 변화층 형성 공정 전에 기판 위의 제1 전극층 패턴의 개구부에 절연층을 형성하는 절연층 형성 공정을 행할 수도 있다. 절연층은 인접하는 제1 전극층 패턴간에서의 도통이나, 제1 전극층 및 제2 전극층간에서의 도통을 방지하기 위해 설치되는 것이다. 이 절연층이 형성된 부분은 비발광 영역이 된다.In this embodiment, the insulating layer forming process of forming an insulating layer in the opening part of the 1st electrode layer pattern on a board | substrate may be performed before the said wettability change layer forming process. The insulating layer is provided to prevent conduction between adjacent first electrode layer patterns or conduction between the first electrode layer and the second electrode layer. The portion where this insulating layer is formed becomes a non-light emitting region.

절연층은 기판 위의 제1 전극층의 패턴의 개구부에 형성되며, 통상적으로 제1 전극층의 패턴의 단부를 덮도록 형성된다.The insulating layer is formed in the opening of the pattern of the first electrode layer on the substrate, and is typically formed to cover the end of the pattern of the first electrode layer.

이 절연층의 형성 재료로서는 절연성을 갖는 것이면 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면 감광성 폴리이미드 수지, 아크릴계 수지 등의 광 경화형 수지, 열 경화형 수지, 무기 재료 등을 사용할 수 있다.It will not specifically limit, if it has insulating property as a forming material of this insulating layer, For example, photocurable resin, such as photosensitive polyimide resin and acrylic resin, thermosetting resin, an inorganic material, etc. can be used.

또한, 절연층의 형성 방법으로서는, 포토리소그래피법, 인쇄법 등의 일반적인 방법을 이용할 수 있다.Moreover, as a formation method of an insulating layer, general methods, such as the photolithographic method and the printing method, can be used.

8. 기타 공정8. Other Process

본 실시 양태에 있어서는, 발광층 등을 산소 및 수증기의 영향으로부터 보호하는 배리어층이나, 광 취출 효율을 향상시키는 저굴절률층을 제2 전극층 위에 형성하는 공정을 행할 수도 있다.In this embodiment, the process of forming the barrier layer which protects a light emitting layer etc. from the influence of oxygen and water vapor, and the low refractive index layer which improves light extraction efficiency on a 2nd electrode layer can be performed.

II. 제2 실시 양태II. Second embodiment

본 발명의 EL 소자의 제조 방법의 제2 실시 양태는, 제1 전극층이 형성된 기판 위에, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 습윤성 변화층을 형성하는 습윤성 변화층 형성 공정과, 기체 위에 적어도 광 촉매를 함유하는 광 촉매 처리층이 형성되어 있는 광 촉매 처리층 기체를, 상기 습윤성 변화층에 대하여 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용이 미칠 수 있는 간극을 두고 배치한 후, 패턴상으로 에너지 조사함으로써, 상기 습윤성 변화층 표면에 친액성 영역 및 발액성 영역을 포함하는 습윤성 변화 패턴을 형성하는 습윤성 변화 패턴 형성 공정과, 상기 친액성 영역 위에, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트를 함유하는 발광층 형성용 도공액을 도포하여, 발광층을 형성하는 발광층 형성 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.A second embodiment of the method for manufacturing an EL device of the present invention includes a wettability changing layer forming step of forming a wettability changing layer whose wettability is changed by the action of a photocatalyst according to energy irradiation on a substrate on which a first electrode layer is formed; After arranging the photocatalyst treatment layer gas on which the photocatalyst treatment layer containing at least a photocatalyst is formed on the substrate with a gap in which the action of the photocatalyst due to energy irradiation can be applied to the wettability varying layer, And a wettability change pattern forming step of forming a wettability change pattern including a lyophilic region and a liquid-repellent region on the surface of the wettability-changing layer by irradiation with energy, and a quantum dot having a ligand disposed around the lyophilic region. It is characterized by having a light emitting layer formation process of apply | coating the light emitting layer forming coating liquid to form a light emitting layer.

본 실시 양태의 EL 소자의 제조 방법에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다.The manufacturing method of the EL element of this embodiment is demonstrated, referring drawings.

도 5는, 본 실시 양태의 EL 소자의 제조 방법의 일례를 나타내는 공정도이다. 우선, 기판 (1) 위에 제1 전극층 (2)를 패턴상으로 형성하고, 이 제1 전극층 (2)의 패턴 개구부에 절연층 (3)을 형성하고, 제1 전극층 (2) 및 절연층 (3) 위에 습윤성 변화층 (4)를 형성한다(도 5(a), 습윤성 변화층 형성 공정).5 is a flowchart showing an example of a method of manufacturing the EL device of the present embodiment. First, the first electrode layer 2 is formed in a pattern shape on the substrate 1, the insulating layer 3 is formed in the pattern opening of the first electrode layer 2, and the first electrode layer 2 and the insulating layer ( 3) The wettability changing layer 4 is formed on it (FIG. 5 (a), a wettability changing layer formation process).

이어서, 도 5(b)에 도시한 바와 같이 기체 (32)와, 이 기체 (32) 위에 패턴 상으로 형성된 차광부 (33)과, 차광부 (33)을 덮도록 기체 (32) 위에 형성된 광 촉매 처리층 (34)를 갖는 광 촉매 처리층 기판(광 촉매 처리층 기체) (31)을 준비한다. 이어서, 광 촉매 처리층 기판 (31)의 광 촉매 처리층 (34)와 습윤성 변화층 (4)가 마주보도록 배치하고, 자외선 (12)를 조사한다. 자외선 (12)의 조사에 의해, 도 5(c)에 도시한 바와 같이 광 촉매 처리층 (34)에 함유되는 광 촉매의 작용으로부터, 습윤성 변화층 (4)의 조사 부분에서는 습윤성이 액체와의 접촉각이 저하되도록 변화된다. 이 액체와의 접촉각이 저하되도록 습윤성이 변화된 영역을 친액성 영역 (5)로 한다. 미조사 부분에서는, 습윤성이 변화되지 않는다. 이 습윤성이 변화되지 않는 영역을 발액성 영역 (6)으로 한다. 또한, 광 촉매 처리층 기판 (31)을 습윤성 변화층 (4)로부터 제거한다. 이에 따라, 습윤성 변화층 (4) 표면에 친액성 영역 (5)와 발액성 영역 (6)을 포함하는 습윤성 변화 패턴이 형성된다. 도 5(b) 및 (c)는 습윤성 변화 패턴 형성 공정이다.Subsequently, as illustrated in FIG. 5B, light formed on the base 32 to cover the base 32, the light blocking portion 33 formed in a pattern shape on the base 32, and the light blocking portion 33. A photocatalyst treatment layer substrate (photocatalyst treatment layer gas) 31 having a catalyst treatment layer 34 is prepared. Subsequently, the photocatalyst treatment layer 34 and the wettability change layer 4 of the photocatalyst treatment layer substrate 31 face each other, and the ultraviolet ray 12 is irradiated. As shown in FIG. 5 (c) by the irradiation of the ultraviolet ray 12, the wettability of the wettability changing layer 4 with the liquid in the irradiated portion of the wettability varying layer 4 from the action of the photocatalyst contained in the photocatalytic treatment layer 34. The contact angle is changed to lower. The region whose wettability has changed so that the contact angle with this liquid falls is set to the lyophilic region 5. In the unirradiated portion, the wettability is not changed. The region where this wettability is not changed is referred to as the liquid repellent region 6. In addition, the photocatalyst treatment layer substrate 31 is removed from the wettability changing layer 4. As a result, a wettability change pattern including the lyophilic region 5 and the liquid repellent region 6 is formed on the wettability changing layer 4 surface. 5 (b) and 5 (c) show a wettability change pattern forming process.

습윤성 변화층 (4)는 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되기 때문에, 조사 부분인 친액성 영역 (5)와 미조사 부분인 발액성 영역 (6)에서는 습윤성에 차이가 있다.Since the wettability change layer 4 is changed in wettability by the action of a photocatalyst by energy irradiation, there is a difference in wettability in the lyophilic region 5 as the irradiated portion and the liquid repellent region 6 as the unirradiated portion.

이어서, 이 습윤성의 차이를 이용하여, 친액성 영역 (5)와 발액성 영역 (6)을 포함하는 습윤성 변화 패턴 위에 발광층 형성용 도공액을 도포하여, 친액성 영역 (5) 위에만 발광층 (7)을 형성한다(도 5(d), 발광층 형성 공정).Subsequently, using this wettability difference, the coating liquid for forming a light emitting layer is applied onto the wettability change pattern including the lyophilic region 5 and the liquid repellent region 6, and the light emitting layer 7 is disposed only on the lyophilic region 5. ) Is formed (Fig. 5 (d), light emitting layer forming step).

상기 발광층 형성용 도공액에는, 도 2에 예시한 바와 같은 주위에 배위자 (21)이 배치된 양자 도트 (22)가 사용되고 있다. 즉, 배위자 (21)이 양자 도트 (22)의 표면에 부착되어 있으며, 이러한 배위자 (21)이 표면에 부착된 양자 도트 (22)가 발광층 형성용 도공액에 사용되고 있다.The quantum dot 22 in which the ligand 21 was arrange | positioned around the luminescent layer forming coating liquid as shown in FIG. 2 is used. That is, the ligand 21 is affixed to the surface of the quantum dot 22, and the quantum dot 22 with this ligand 21 attached to the surface is used for the coating liquid for light emitting layer formation.

이어서, 발광층 (7) 위에 제2 전극층 (8)을 형성한다(도 5(e)). 이때, 예를 들면 제2 전극층 (8)을 투명 전극으로 한 경우에는 전면 발광형의 EL 소자가 얻어지고, 제1 전극층 (2)를 투명 전극으로 한 경우에는 배면 발광형의 EL 소자가 얻어진다.Next, the second electrode layer 8 is formed on the light emitting layer 7 (Fig. 5 (e)). At this time, for example, when the second electrode layer 8 is used as a transparent electrode, an EL element of a top emission type is obtained. When the first electrode layer 2 is used as a transparent electrode, an EL element of a bottom emission type is obtained. .

본 실시 양태에 있어서는, 습윤성 변화층에, 광 촉매를 함유하는 광 촉매 처리층을 통해 에너지를 조사함으로써, 습윤성 변화층 표면에 친액성 영역 및 발액성 영역을 포함하는 습윤성 변화 패턴을 형성한다. 또한, 이 습윤성 변화층 표면에 형성된 습윤성 변화 패턴을 이용하여 발광층의 패터닝을 행한다. 따라서, 복잡한 패터닝 공정이나 고가의 진공 설비를 필요로 하지 않고, 발광층을 용이하게 패터닝하는 것이 가능하다.In this embodiment, the wettability change layer is irradiated with energy through a photocatalyst treatment layer containing a photocatalyst to form a wettability change pattern including a lyophilic region and a liquid repellent region on the surface of the wettability change layer. Further, the light emitting layer is patterned by using the wettability changing pattern formed on the surface of the wettability changing layer. Therefore, it is possible to easily pattern the light emitting layer without the need for complicated patterning process or expensive vacuum equipment.

또한, 본 실시 양태에 있어서는, 광 촉매를 함유하는 광 촉매 처리층을 통해 습윤성 변화층에 에너지를 패턴 조사함으로써, 광 촉매를 함유하지 않은 습윤성 변화층에 대하여 광 촉매의 작용에 의해 습윤성을 변화시킬 수 있다. 또한, 습윤성 변화층 표면에 습윤성 변화 패턴을 형성한 후에는, 광 촉매 처리층을 갖는 광 촉매 처리층 기판을 습윤성 변화층으로부터 제거하기 때문에, EL 소자 자체에 광 촉매가 포함되는 경우는 없다. 즉, 광 촉매는 광 촉매 처리층에 포함되어 있으며, 습윤성 변화층에는 포함되어 있지 않다. 따라서, 습윤성 변화층의 평활성을 향상시킬 수 있으며, 습윤성 변화층과 발광층의 계면에 있어서의 장벽을 감소시킬 수 있다. 이 에 따라 구동 전압을 감소시키고, 휘도나 발광 효율을 높이는 등, 발광 특성을 향상시키는 것이 가능하다. 또한, 전극간의 단락을 방지하는 것도 가능하다.In the present embodiment, the wettability-modifying layer is pattern-irradiated with energy through the photocatalyst treatment layer containing the photocatalyst, thereby changing the wettability by the action of the photocatalyst with respect to the wettability-modifying layer containing no photocatalyst. Can be. In addition, after the wettability change pattern is formed on the wettability change layer surface, the photocatalyst treatment layer substrate having the photocatalytic treatment layer is removed from the wettability change layer, so that the photocatalyst is not included in the EL element itself. In other words, the photocatalyst is included in the photocatalyst treatment layer and is not included in the wettability changing layer. Therefore, the smoothness of the wettability varying layer can be improved, and the barrier at the interface between the wettability varying layer and the light emitting layer can be reduced. Thereby, it is possible to improve the light emission characteristics such as reducing the driving voltage and increasing luminance and luminous efficiency. It is also possible to prevent a short circuit between the electrodes.

또한, 본 실시 양태에 있어서, 양자 도트의 표면에 부착되어 있는 배위자는 실란 커플링제인 것이 바람직하다. 이에 따라, 발광층을 경화된 것으로 할 수 있으며, 발광층 내에서의 양자 도트의 안정성을 양호하게 할 수 있고, 수명 특성을 향상시키는 것이 가능하다. 또한, 실란 커플링제는 분자 설계가 비교적 용이하기 때문에, 다양한 기능성을 나타내는 관능기를 갖는 실란 커플링제를 사용함으로써, 수명 특성을 개선하는 것이 가능하다.In addition, in this embodiment, it is preferable that the ligand adhering to the surface of a quantum dot is a silane coupling agent. Thereby, a light emitting layer can be made hard, the stability of the quantum dot in a light emitting layer can be made favorable, and a lifetime characteristic can be improved. In addition, since the silane coupling agent is relatively easy in molecular design, it is possible to improve the life characteristics by using a silane coupling agent having a functional group exhibiting various functionalities.

또한, 습윤성 변화층은 오르가노폴리실록산을 함유하는 것이 바람직하다. 이 경우, 습윤성 변화층 중의 오르가노폴리실록산이 제1 전극층과 결합하고, 발광층 중의 실란 커플링제가 습윤성 변화층과 결합함으로써, 제1 전극층과 습윤성 변화층과 발광층의 밀착성을 향상시킬 수 있다. 이에 따라, EL 소자 구동시 등에 있어서의 층간 박리 등에 의한 수명 특성의 저하를 방지하는 것이 가능하다.In addition, the wettability changing layer preferably contains an organopolysiloxane. In this case, the organopolysiloxane in the wettability changing layer is bonded to the first electrode layer, and the silane coupling agent in the light emitting layer is bonded to the wettability changing layer, whereby the adhesion between the first electrode layer, the wettability changing layer and the light emitting layer can be improved. Thereby, it is possible to prevent the fall of the life characteristic by the interlayer peeling etc. at the time of EL element drive etc.

또한, 발광층 형성 공정에 대해서는, 상기 제1 실시 양태와 동일하기 때문에 여기서의 설명은 생략한다. 이하, EL 소자의 제조 방법에 있어서의 다른 공정 대하여 설명한다.In addition, about the light emitting layer formation process, since it is the same as that of the said 1st Embodiment, description here is abbreviate | omitted. Hereinafter, another process in the manufacturing method of an EL element is demonstrated.

1. 습윤성 변화층 형성 공정1. Wetability change layer forming process

본 실시 양태에 있어서의 습윤성 변화층 형성 공정은, 제1 전극층이 형성된 기판 위에, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 습윤성 변화층을 형성하는 공정이다.The wettability changing layer forming process in this embodiment is a process of forming the wettability changing layer whose wettability changes by the action of the photocatalyst by energy irradiation on the board | substrate with which the 1st electrode layer was formed.

본 실시 양태에 사용되는 습윤성 변화층은, 에너지에 대하여 불활성이다. 여기서, 에너지란 광 촉매를 작용시킬 때 조사되는 에너지를 말하며, 구체적으로는 자외선 등을 들 수 있다. 또한, 습윤성 변화층이 에너지에 대하여 불활성이라는 것은, 자외선 등이 습윤성 변화층에 조사되었을 때, 습윤성 변화층의 구성 재료가 어떠한 반응도 행하지 않는 것을 말한다.The wettability changing layer used in the present embodiment is inert to energy. Here, energy means energy irradiated when a photocatalyst is made to act, and an ultraviolet-ray etc. are mentioned specifically ,. In addition, that a wettability change layer is inert with respect to energy means that when the ultraviolet-ray etc. irradiate a wettability change layer, the constituent material of a wettability change layer does not perform any reaction.

상술한 바와 같이, 본 실시 양태에 있어서의 습윤성 변화층은 광 촉매의 작용에 의해 반응할 수 있는 것이며, 광 촉매의 존재가 없으면 에너지가 조사되어도 반응하지 않는다. 즉, 습윤성 변화층이 에너지에 대하여 불활성이라는 것은, 구체적으로는 습윤성 변화층이 실질적으로 광 촉매를 함유하지 않는 것을 말한다.As described above, the wettability changing layer in the present embodiment is capable of reacting by the action of a photocatalyst, and does not react even if energy is irradiated without the presence of the photocatalyst. That is, that the wettability changing layer is inert to energy specifically means that the wettability changing layer is substantially free of a photocatalyst.

또한, 습윤성 변화층이 실질적으로 광 촉매를 함유하지 않는다는 것은, 습윤성 변화층 중의 광 촉매의 함유량이 1 중량% 이하인 것을 말한다.In addition, that a wettability change layer does not contain a photocatalyst substantially means that content of the photocatalyst in a wettability change layer is 1 weight% or less.

이와 같이, 본 실시 양태에 있어서의 습윤성 변화층은 실질적으로 광 촉매를 함유하지 않기 때문에 평활성이 양호하고, 습윤성 변화층과 발광층 등의 계면에 있어서의 장벽을 감소시킬 수 있다. 이에 따라 구동 전압을 감소시키고, 휘도나 발광 효율을 높이는 등, 발광 특성을 향상시키는 것이 가능하다. 또한, 전극간의 단락을 방지하는 것도 가능하다.Thus, since the wettability change layer in this embodiment does not contain a photocatalyst substantially, smoothness is favorable and the barrier at the interface of a wettability change layer and a light emitting layer can be reduced. Thereby, it is possible to improve the light emission characteristics such as reducing the driving voltage and increasing luminance and luminous efficiency. It is also possible to prevent a short circuit between the electrodes.

습윤성 변화층은, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 것이면 특별히 한정되지 않는다. 습윤성 변화층에 사용되는 재료로서는, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 재료이며, 광 촉매의 작용에 의해 열화, 분해되기 어려운 주쇄를 갖는 것이면 특별히 한정되지 않는다. 이러한 습윤성 변화층에 사용되는 재료로서는, 예를 들면 (1) 졸겔 반응 등에 의해 클로로 또는 알콕시실란 등을 가수분해, 중축합하여 큰 강도를 발휘하는 오르가노폴리실록산, (2) 발수성이나 발유성이 우수한 반응성 실리콘을 가교한 오르가노폴리실록산 등의 오르가노폴리실록산을 들 수 있다.The wettability changing layer is not particularly limited as long as the wettability is changed by the action of a photocatalyst according to energy irradiation. The material used for the wettability-changing layer is not particularly limited as long as it is a material whose wettability is changed by the action of the photocatalyst due to energy irradiation, and has a main chain that is hardly deteriorated or decomposed by the action of the photocatalyst. As a material used for such a wettability change layer, (1) organopolysiloxane which hydrolyzes and polycondenses chloro or alkoxysilane etc. by a sol-gel reaction etc. and exhibits great strength, (2) reactivity excellent in water repellency and oil repellency Organopolysiloxanes, such as organopolysiloxane which bridge | crosslinked silicone, are mentioned.

또한, 오르가노폴리실록산에 대해서는, 상기 제1 실시 양태에 기재한 것과 동일하기 때문에 여기서의 설명은 생략한다.In addition, since it is the same as that of what was described in the said 1st Embodiment about organopolysiloxane, description here is abbreviate | omitted.

또한, 상기한 오르가노폴리실록산과 함께 디메틸폴리실록산과 같은 가교 반응하지 않는 안정적인 오르가노 실리콘 화합물을 혼합할 수도 있다.It is also possible to mix with the organopolysiloxane described above a stable organosilicon compound which does not undergo a crosslinking reaction such as dimethylpolysiloxane.

이와 같이, 오르가노폴리실록산 등의 다양한 재료를 습윤성 변화층에 사용할 수 있지만, 그 중에서도 습윤성 변화층이 불소를 함유하고 있는 것이 바람직하다.Thus, although various materials, such as organopolysiloxane, can be used for a wettability change layer, it is preferable that a wettability change layer contains fluorine especially.

또한, 습윤성 변화층이 불소를 함유하는 경우에 대해서는, 상기 제1 실시 양태에 기재하였기 때문에 여기서의 설명은 생략한다.In addition, about the case where a wettability change layer contains fluorine, since it described in the said 1st Embodiment, the description here is abbreviate | omitted.

또한, 습윤성 변화층에는 상술한 재료 이외에, 예를 들면 일본 특허 공개 제2000-249821호 공보에 기재되어 있는 것과 동일한 계면활성제나 첨가제 등을 함유시킬 수도 있다.In addition, the wettability changing layer may contain, in addition to the above-mentioned materials, for example, the same surfactants, additives and the like as described in JP-A-2000-249821.

또한, 습윤성 변화층의 형성 방법 및 막 두께 등에 대해서는, 상기 제1 실시 양태에 기재한 것과 동일하기 때문에 여기서의 설명은 생략한다.In addition, since the formation method, film thickness, etc. of a wettability change layer are the same as that of what was described in the said 1st Embodiment, the description here is abbreviate | omitted.

2. 습윤성 변화 패턴 형성 공정2. Wetability change pattern forming process

본 실시 양태에 있어서의 습윤성 변화 패턴 형성 공정은, 기체 위에 적어도 광 촉매를 함유하는 광 촉매 처리층이 형성되어 있는 광 촉매 처리층 기판을, 상기 습윤성 변화층에 대하여 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용이 미칠 수 있는 간극을 두고 배치한 후, 패턴상으로 에너지 조사함으로써, 상기 습윤성 변화층 표면에 친액성 영역 및 발액성 영역을 포함하는 습윤성 변화 패턴을 형성하는 공정이다.In the wettability change pattern forming step of the present embodiment, a photocatalyst treatment layer substrate on which a photocatalyst treatment layer containing at least a photocatalyst is formed on a substrate is formed by the action of the photocatalyst according to energy irradiation on the wettability variation layer. After arrange | positioning the space | interval which may exist, it is a process of forming a wettability change pattern containing a lyophilic region and a liquid repellent region on the surface of the said wettability change layer by energy irradiation in a pattern shape.

이하, 광 촉매 처리층 기판, 광 촉매 처리층 기판 및 습윤성 변화층의 배치, 에너지 조사 및 습윤성 변화 패턴에 대하여 설명한다.Hereinafter, the arrangement of the photocatalyst treatment layer substrate, the photocatalyst treatment layer substrate, and the wettability change layer, the energy irradiation, and the wettability change pattern will be described.

(1) 광 촉매 처리층 기판(광 촉매 처리층 기체)(1) Photocatalyst Treatment Layer Substrate (Photocatalyst Treatment Layer Gas)

본 실시 양태에 있어서는, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 습윤성 변화층 표면에 습윤성 변화 패턴을 형성할 때, 습윤성 변화층에 광 촉매의 작용이 미치게 하기 위해, 광 촉매를 함유하는 광 촉매 처리층을 갖는 광 촉매 처리층 기판을 사용한다. 이 광 촉매 처리층 기판을 습윤성 변화층에 대하여 소정의 간극을 두고 배치하고, 에너지를 패턴상으로 조사함으로써, 습윤성 변화층 표면에 습윤성 변화 패턴을 형성할 수 있다.In the present embodiment, when the wettability change pattern is formed on the surface of the wettability change layer whose wettability is changed by the action of the photocatalyst due to energy irradiation, the photocatalyst is contained in order to cause the action of the photocatalyst on the wettability change layer. A photocatalyst treatment layer substrate having a photocatalyst treatment layer is used. By placing the photocatalyst treatment layer substrate at a predetermined gap with respect to the wettability varying layer and irradiating energy in a pattern, the wettability change pattern can be formed on the surface of the wettability varying layer.

본 실시 양태에 사용되는 광 촉매 처리층 기판은, 기체와 이 기체 위에 형성된 광 촉매 처리층을 갖는 것이다. 또한, 이 광 촉매 처리층 기판에는, 차광부가 패턴상으로 형성될 수도 있다. 이하, 광 촉매 처리층, 기체 및 차광부에 대하여 설명한다.The photocatalyst treatment layer substrate used in the present embodiment has a substrate and a photocatalyst treatment layer formed on the substrate. In addition, a light shielding portion may be formed in a pattern on the photocatalyst treatment layer substrate. Hereinafter, a photocatalyst treatment layer, a base | substrate, and a light shielding part are demonstrated.

(i) 광 촉매 처리층(i) photocatalyst treatment layer

본 실시 양태에 사용되는 광 촉매 처리층은, 광 촉매를 함유하는 것이다. 광 촉매 처리층으로서는, 광 촉매 처리층 중의 광 촉매가 습윤성 변화층 표면의 습윤성을 변화시키는 구성이면 특별히 한정되지 않는다. 광 촉매 처리층은, 예를 들 면 광 촉매와 바인더로 구성되는 것일 수도 있고, 광 촉매 단체로 구성되는 것일 수도 있다. 광 촉매만을 포함하는 광 촉매 처리층인 경우에는, 습윤성 변화층 표면의 습윤성의 변화에 대한 효율이 향상되기 때문에, 처리 시간의 단축화 등의 비용면에서 유리하다. 또한, 광 촉매와 바인더를 포함하는 광 촉매 처리층인 경우에는, 광 촉매 처리층의 형성이 용이하다는 이점을 갖는다.The photocatalyst treatment layer used for this embodiment contains a photocatalyst. As a photocatalyst treatment layer, if a photocatalyst in a photocatalyst treatment layer is a structure which changes the wettability of the surface of a wettability change layer, it will not specifically limit. The photocatalyst treatment layer may be composed of, for example, a photocatalyst and a binder, or may be composed of a photocatalyst alone. In the case of the photocatalyst treatment layer containing only a photocatalyst, since the efficiency with respect to the change of the wettability of the surface of a wettability change layer improves, it is advantageous in terms of cost, such as shortening of processing time. Moreover, in the case of the photocatalyst treatment layer containing a photocatalyst and a binder, it has the advantage that formation of a photocatalyst treatment layer is easy.

또한, 광 촉매에 대해서는, 상기 제1 실시 양태의 습윤성 변화층의 항에 기재한 것과 동일하기 때문에 여기서의 설명은 생략한다.In addition, about a photocatalyst, since it is the same as that of what was described in the term of the wettability change layer of said 1st Embodiment, the description here is abbreviate | omitted.

또한, 광 촉매 처리층이 광 촉매와 바인더를 포함하는 경우, 사용되는 바인더로서는 주골격이 상기 광 촉매의 광 여기에 의해 분해되지 않는 높은 결합 에너지를 갖는 것이 바람직하다. 이러한 바인더로서는, 예를 들면 상술한 오르가노폴리실록산 등을 들 수 있다.In addition, when the photocatalyst treatment layer contains a photocatalyst and a binder, it is preferable that the binder used has a high binding energy in which the main skeleton is not decomposed by photoexcitation of the photocatalyst. As such a binder, the organopolysiloxane mentioned above is mentioned, for example.

또한, 바인더로서 무정형 실리카 전구체를 사용할 수 있다. 이 무정형 실리카 전구체로서는, 화학식 SiX4로 표시되며, X가 할로겐, 메톡시기, 에톡시기 또는 아세틸기 등인 규소 화합물, 이들의 가수분해물인 실라놀, 또는 평균 분자량 3000 이하의 폴리실록산이 바람직하다. 구체적으로는 테트라에톡시실란, 테트라이소프로폭시실란, 테트라-n-프로폭시실란, 테트라부톡시실란, 테트라메톡시실란 등을 들 수 있다. 이들은 단독으로 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다.In addition, an amorphous silica precursor can be used as the binder. As the amorphous silica precursor, a silicon compound represented by the chemical formula SiX4 and X is halogen, methoxy group, ethoxy group or acetyl group, silanol which is a hydrolyzate thereof, or polysiloxane having an average molecular weight of 3000 or less is preferable. Specifically, tetraethoxysilane, tetraisopropoxysilane, tetra-n-propoxysilane, tetrabutoxysilane, tetramethoxysilane, etc. are mentioned. These can be used individually or in mixture of 2 or more types.

광 촉매 처리층이 광 촉매와 바인더를 포함하는 경우, 광 촉매 처리층 중의 광 촉매의 함유량은 5 질량% 내지 60 질량%의 범위 내로 설정할 수 있으며, 바람직하게는 20 질량% 내지 50 질량%의 범위 내이다.When the photocatalyst treatment layer contains a photocatalyst and a binder, the content of the photocatalyst in the photocatalyst treatment layer can be set within the range of 5% by mass to 60% by mass, preferably in the range of 20% by mass to 50% by mass. Mine

또한, 광 촉매 처리층은 상기한 광 촉매 및 바인더 이외에, 예를 들면 일본 특허 공개 제2000-249821호 공보에 기재되어 있는 것과 동일한 계면활성제나 첨가제 등을 함유할 수도 있다.In addition, the photocatalyst treatment layer may contain, in addition to the photocatalyst and the binder described above, for example, the same surfactants and additives as those described in JP-A-2000-249821.

광 촉매 처리층의 두께는 0.01 ㎛ 내지 10 ㎛의 범위 내인 것이 바람직하다.It is preferable that the thickness of a photocatalyst treatment layer exists in the range of 0.01 micrometer-10 micrometers.

또한, 광 촉매 처리층 표면의 습윤성은 친액성일 수도 있고, 발액성일 수도 있다.In addition, the wettability of the surface of the photocatalyst treatment layer may be lyophilic or liquid repellent.

광 촉매만을 포함하는 광 촉매 처리층의 형성 방법으로서는, 예를 들면 CVD법, 스퍼터링법, 진공 증착법 등의 진공 성막법을 들 수 있다. 진공 성막법을 이용하면, 균일한 막이면서도 광 촉매만을 함유하는 광 촉매 처리층을 형성할 수 있다. 이에 따라, 습윤성 변화층 표면의 습윤성을 균일하게 변화시키는 것이 가능해진다. 또한, 광 촉매 처리층이 광 촉매만을 포함하기 때문에, 바인더를 사용하는 경우에 비해 효율적으로 습윤성 변화층 표면의 습윤성을 변화시킬 수 있다.As a formation method of the photocatalyst treatment layer containing only a photocatalyst, the vacuum film-forming methods, such as a CVD method, a sputtering method, and a vacuum vapor deposition method, are mentioned, for example. By using the vacuum film forming method, it is possible to form a photocatalyst treatment layer which is a uniform film and contains only a photocatalyst. Thereby, it becomes possible to change the wettability of the surface of a wettability change layer uniformly. In addition, since the photocatalyst treatment layer contains only the photocatalyst, the wettability on the surface of the wettability changing layer can be changed more efficiently than in the case of using a binder.

또한, 광 촉매만을 포함하는 광 촉매 처리층의 형성 방법으로서는, 예를 들면 광 촉매가 이산화티탄인 경우에는 기체 위에 무정형 티타니아를 성막하고, 이어서 소성에 의해 무정형 티타니아를 결정성 티타니아로 상변화시키는 방법 등을 들 수 있다.As a method of forming a photocatalyst treatment layer containing only a photocatalyst, for example, when the photocatalyst is titanium dioxide, amorphous titania is formed on a substrate, and then the amorphous titania is converted into crystalline titania by firing. Etc. can be mentioned.

무정형 티타니아는, 예를 들면 4염화 티탄, 황산티탄 등의 티탄의 무기염을 가수분해 및 탈수 축합하거나, 또는 테트라에톡시티탄, 테트라이소프로폭시티탄, 테트라-n-프로폭시티탄, 테트라부톡시티탄, 테트라메톡시티탄 등의 유기 티탄 화합물을 산 존재하에 가수분해 및 탈수 축합함으로써 얻을 수 있다. 이어서, 무정형 티타니아를 400 ℃ 내지 500 ℃에서 소성함으로써 아나타제형 티타니아로 변성시키고, 600 ℃ 내지 700 ℃에서 소성함으로써 루틸형 티타니아로 변성시킬 수 있다.The amorphous titania is, for example, hydrolyzed and dehydrated condensed inorganic salts of titanium such as titanium tetrachloride and titanium sulfate, or tetraethoxytitanium, tetraisopropoxytitanium, tetra-n-propoxycitane, tetrabutoxy Organic titanium compounds, such as titanium and tetramethoxy titanium, can be obtained by hydrolysis and dehydration condensation in the presence of an acid. Subsequently, the amorphous titania can be modified to anatase-type titania by firing at 400 ° C to 500 ° C, and to rutile titania by firing at 600 ° C to 700 ° C.

광 촉매와 바인더를 포함하는 광 촉매 처리층의 형성 방법으로서는, 바인더로서 오르가노폴리실록산을 사용한 경우에는, 광 촉매와 바인더인 오르가노폴리실록산을 필요에 따라 다른 첨가제와 함께 용제 중에 분산시켜 광 촉매 처리층 형성용 도공액을 제조하고, 이 광 촉매 처리층 형성용 도공액을 기체 위에 도포하는 방법을 이용할 수 있다. 또한, 바인더로서 자외선 경화형의 성분을 함유하고 있는 경우에는, 도포 후 자외선을 조사하여 경화 처리를 행할 수도 있다.As a method for forming a photocatalyst treatment layer containing a photocatalyst and a binder, when organopolysiloxane is used as a binder, the photocatalyst layer is dispersed by dispersing the photocatalyst and the organopolysiloxane, which is a binder, with other additives as necessary. Forming coating liquid can be manufactured and the method of apply | coating this coating liquid for photocatalyst treatment layer formation on a base | substrate can be used. Moreover, when the ultraviolet curable component is contained as a binder, it can also harden | cure by irradiating an ultraviolet-ray after application | coating.

이때 사용하는 용제로서는 에탄올, 이소프로판올 등의 알코올계의 유기 용제가 바람직하다. 도포 방법으로서는 스핀 코팅, 분무 코팅, 침지 코팅, 롤 코팅, 비드 코팅 등의 일반적인 방법을 이용할 수 있다.As a solvent used at this time, the organic solvent of alcohol type, such as ethanol and isopropanol, is preferable. As a coating method, general methods, such as spin coating, spray coating, dip coating, roll coating, bead coating, can be used.

또한, 광 촉매와 바인더를 포함하는 광 촉매 처리층의 형성 방법으로서는, 바인더로서 무정형 실리카 전구체를 사용한 경우에는, 광 촉매의 입자와 무정형 실리카 전구체를 비수성 용매 중에 균일하게 분산시켜 광 촉매 처리층 형성용 도공액을 제조하고, 이 광 촉매 처리층 형성용 도공액을 기체 위에 도포하고, 무정형 실리카 전구체를 공기 중의 수분에 의해 가수분해시켜 실라놀을 형성시키고, 상온에서 탈수 축중합시키는 방법을 이용할 수 있다. 실라놀의 탈수 축중합을 100 ℃ 이상에서 행하면, 실라놀의 중합도가 증가하여 막 표면의 강도를 향상시킬 수 있다.As a method of forming a photocatalyst treatment layer containing a photocatalyst and a binder, when an amorphous silica precursor is used as a binder, the photocatalyst treatment layer is formed by uniformly dispersing the particles of the photocatalyst and the amorphous silica precursor in a non-aqueous solvent. A coating solution for preparing a photocatalyst, a coating solution for forming a photocatalyst treatment layer on a substrate, hydrolyzing an amorphous silica precursor with moisture in the air to form silanol, and dehydrating polycondensation at room temperature. have. When dehydration polycondensation of silanol is performed at 100 degreeC or more, the polymerization degree of silanol increases and the intensity | strength of a membrane surface can be improved.

광 촉매 처리층의 형성 위치로서는, 예를 들면 도 6(a)에 도시한 바와 같이 기체 (32) 위의 전면에 광 촉매 처리층 (34)가 형성될 수도 있고, 예를 들면 도 6(b)에 도시한 바와 같이, 기체 (32) 위에 광 촉매 처리층 (34)가 패턴상으로 형성될 수도 있다.As a formation position of a photocatalyst treatment layer, the photocatalyst treatment layer 34 may be formed in the whole surface on the base 32, for example as shown in FIG. 6 (a), For example, FIG. 6 (b) ), The photocatalyst treatment layer 34 may be formed on the substrate 32 in a pattern.

광 촉매 처리층이 패턴상으로 형성되어 있는 경우에는, 광 촉매 처리층을 습윤성 변화층에 대하여 소정의 간극을 두고 배치하여, 에너지를 조사할 때 포토마스크 등을 사용하여 패턴 조사할 필요가 없고, 전면에 조사함으로써 습윤성 변화층 표면의 습윤성을 변화시킬 수 있다. 또한, 실제로 광 촉매 처리층과 마주보는 습윤성 변화층 표면만 습윤성이 변화되기 때문에, 에너지의 조사 방향으로서는 광 촉매 처리층과 습윤성 변화층이 마주보는 부분에 에너지가 조사되면, 어떠한 방향이어도 상관없다. 나아가서는, 조사되는 에너지도 평행광 등의 평행한 것으로 한정되지 않는다.When the photocatalyst treatment layer is formed in a pattern form, the photocatalyst treatment layer is arranged with a predetermined gap with respect to the wettability changing layer, and there is no need for pattern irradiation using a photomask or the like when irradiating energy, Irradiation to the entire surface can change the wettability of the wettability changing layer surface. In addition, since the wettability changes only on the surface of the wettability changing layer facing the photocatalytic treatment layer, as the direction of energy irradiation, any direction may be used if energy is irradiated to the part where the photocatalyst treatment layer and the wettability changing layer face. Furthermore, the irradiated energy is also not limited to being parallel such as parallel light.

이 광 촉매 처리층의 패터닝 방법으로서는 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면 포토리소그래피법 등을 들 수 있다.It does not specifically limit as the patterning method of this photocatalyst treatment layer, For example, the photolithographic method etc. are mentioned.

(ii) 기체(ii) gas

광 촉매 처리층 기판에 사용되는 기체는, 후술하는 에너지의 조사 방향이나 얻어지는 EL 소자의 빛의 취출 방향에 따라 투명성이 적절하게 선택된다.The gas used for a photocatalyst process layer board | substrate selects transparency suitably according to the irradiation direction of the energy mentioned later or the light extraction direction of the EL element obtained.

예를 들면, 도 5(e)에 도시한 EL 소자가 전면 발광형이고, EL 소자에 있어서의 기판 또는 제1 전극층이 불투명한 경우에는, 에너지 조사 방향은 필연적으로 광 촉매 처리층 기판측으로부터다. 또한, 예를 들면, 도 5(b)에 도시한 바와 같이 광 촉매 처리층 기판 (31)에 차광부 (33)이 패턴상으로 형성되어 있고, 이 차광부 (33)을 사용하여 패턴상으로 에너지 조사하는 경우에도, 광 촉매 처리층 기판측으 로부터 에너지를 조사할 필요가 있다. 그 때문에, 이들 경우 기체는 투명성을 가질 필요가 있다.For example, when the EL element shown in Fig. 5E is a top emission type and the substrate or the first electrode layer in the EL element is opaque, the direction of energy irradiation is necessarily from the photocatalytic treatment layer substrate side. . For example, as shown in FIG.5 (b), the light shielding part 33 is formed in pattern shape in the photocatalyst process layer board | substrate 31, and is patterned using this light shielding part 33. FIG. Even in the case of energy irradiation, it is necessary to irradiate energy from the photocatalyst treatment layer substrate side. Therefore, in these cases, the gas needs to have transparency.

한편, 예를 들면 도 5(e)에 도시한 EL 소자가 배면 발광형인 경우에는, EL 소자에 있어서의 기판측으로부터 에너지를 조사하는 것이 가능하다. 그 때문에, 이 경우에는 기체에 투명성이 요구되지 않는다.On the other hand, for example, when the EL element shown in Fig. 5E is a bottom emission type, energy can be irradiated from the substrate side in the EL element. Therefore, in this case, transparency is not required for the substrate.

또한, 기체는 가요성을 갖는 것, 예를 들면 수지제 필름 등일 수도 있고, 가요성을 갖지 않는 것, 예를 들면 유리 기판 등일 수도 있다.In addition, a base may be flexible, for example, a resin film, etc., and may be a non-flexible, for example, glass substrate.

기체로서는 특별히 한정되지 않지만, 광 촉매 처리층 기판은 반복 사용되기 때문에 소정의 강도를 갖고, 그 표면이 광 촉매 처리층과의 밀착성이 양호한 것이 바람직하게 사용된다. 구체적으로 기체를 구성하는 재료로서는, 유리, 세라믹, 금속, 플라스틱 등을 들 수 있다.Although it does not specifically limit as a base | substrate, Since a photocatalyst process layer board | substrate is used repeatedly, it has a predetermined intensity | strength, and the thing whose surface is good adhesiveness with a photocatalyst process layer is used preferably. Specifically, glass, ceramics, metals, plastics, etc. are mentioned as a material which comprises a base body.

또한, 기체 표면과 광 촉매 처리층의 밀착성을 향상시키기 위해, 기체 위에 앵커층이 형성될 수도 있다. 앵커층의 형성 재료로서는, 예를 들면 실란계, 티탄계의 커플링제 등을 들 수 있다.In addition, in order to improve the adhesion between the surface of the substrate and the photocatalyst treatment layer, an anchor layer may be formed on the substrate. As a formation material of an anchor layer, a silane type, a titanium coupling agent, etc. are mentioned, for example.

(iii) 차광부(iii) shading

본 실시 양태에 사용되는 광 촉매 처리층 기판에는, 차광부가 패턴상으로 형성될 수도 있다. 패턴상의 차광부를 갖는 광 촉매 처리층 기판을 사용한 경우에는, 에너지 조사시에 포토 마스크를 사용하거나, 레이저광에 의한 묘화 조사를 행할 필요가 없다. 따라서, 이 경우에는, 광 촉매 처리층 기판과 포토마스크의 위치 정렬이 불필요하기 때문에 간편한 공정으로 할 수 있으며, 묘화 조사에 필요한 고 가의 장치도 불필요하기 때문에 비용적으로 유리해진다.The light shielding portion may be formed in a pattern on the photocatalyst treatment layer substrate used in the present embodiment. When the photocatalyst treatment layer substrate which has a pattern light shielding part is used, it is not necessary to use a photomask at the time of energy irradiation, or to perform drawing irradiation by a laser beam. Therefore, in this case, since the alignment of the photocatalyst treatment layer substrate and the photomask is unnecessary, it is possible to make a simple process, and the expensive apparatus required for drawing irradiation is also unnecessary, which is advantageous in terms of cost.

차광부의 형성 위치로서는, 예를 들면 도 5(b)에 도시한 바와 같이 기체 (32) 위에 차광부 (33)이 패턴상으로 형성되고, 이 차광부 (33) 위에 광 촉매 처리층 (34)가 형성될 수도 있다. 또한, 예를 들면 도 7에 도시한 바와 같이, 기체 (32) 위에 광 촉매 처리층 (34)가 형성되고, 이 광 촉매 처리층 (34) 위에 차광부 (33)이 패턴상으로 형성될 수도 있다. 또한, 도시하지 않았지만, 기체의 광 촉매 처리층이 형성되어 있지 않은 측의 표면에 차광부가 패턴상으로 형성될 수도 있다.As a formation position of a light shielding part, the light shielding part 33 is formed in pattern form on the base | substrate 32, for example as shown to FIG. 5 (b), and the photocatalyst process layer 34 on this light shielding part 33 is carried out. ) May be formed. For example, as shown in FIG. 7, the photocatalyst treatment layer 34 may be formed on the base 32, and the light shielding part 33 may be formed in a pattern form on the photocatalyst treatment layer 34. FIG. have. In addition, although not shown, the light shielding portion may be formed in a pattern on the surface of the side on which the gas photocatalyst treatment layer is not formed.

상기한 기체 위에 차광부가 형성되어 있는 경우 및 광 촉매 처리층 위에 차광부가 형성되어 있는 경우에는, 포토마스크를 사용하는 경우와 비교하면, 광 촉매 처리층과 습윤성 변화층이 간극을 두고 배치된 부분의 근방에 차광부가 배치되기 때문에, 기체 내 등에 있어서의 에너지의 산란의 영향을 적게 할 수 있다. 그 때문에, 에너지의 패턴 조사를 매우 정확하게 행하는 것이 가능해진다.When the light shielding portion is formed on the substrate and the light shielding portion is formed on the photocatalyst treatment layer, the photocatalyst treatment layer and the wettability changing layer have a gap between the photocatalyst treatment layer and the wettability changing layer. Since the light shielding portion is disposed in the vicinity, the influence of energy scattering in the gas or the like can be reduced. Therefore, the pattern irradiation of energy can be performed very accurately.

또한, 광 촉매 처리층 위에 차광부가 형성되어 있는 경우에는, 광 촉매 처리층과 습윤성 변화층을 소정의 간극을 두고 배치할 때, 이 차광부의 막 두께를 이 간극의 거리와 일치시킴으로써, 간극을 일정한 것으로 하기 위한 스페이서로서 차광부를 사용할 수 있다. 즉, 광 촉매 처리층과 습윤성 변화층을 소정의 간극을 두고 배치할 때, 차광부와 습윤성 변화층을 밀착시킨 상태로 배치함으로써 소정의 간극을 유지할 수 있다. 또한, 이 상태로 광 촉매 처리층 기판으로부터 에너지를 조사함으로써, 습윤성 변화층 표면에 습윤성 변화 패턴을 고정밀도로 형성할 수 있다.In the case where the light shielding portion is formed on the photocatalyst treatment layer, when the photocatalyst treatment layer and the wettability varying layer are arranged with a predetermined gap, the gap is formed by matching the film thickness of the light shielding portion with the distance of the gap. A light shielding part can be used as a spacer for making it constant. That is, when arranging the photocatalyst treatment layer and the wettability varying layer at a predetermined gap, the predetermined gap can be maintained by arranging the light shielding portion and the wettability varying layer in close contact. Further, by irradiating energy from the photocatalytic treatment layer substrate in this state, the wettability change pattern can be formed on the wettability change layer surface with high accuracy.

또한, 기체의 광 촉매 처리층이 형성되어 있지 않은 측의 표면에 차광부가 형성되어 있는 경우에는, 예를 들면 포토마스크를 차광부의 표면에 착탈 가능한 정도로 밀착시킬 수 있기 때문에, EL 소자의 제조를 소로트로 변경하는 경우 바람직하다.In the case where the light shielding portion is formed on the surface of the side where the gas photocatalyst treatment layer is not formed, the photomask can be adhered to the surface of the light shielding portion to such an extent that the light mask can be detachably attached. It is preferable to change to a small.

차광부의 형성 방법으로서는 특별히 한정되지 않으며, 차광부의 형성면의 특성이나 필요로 하는 에너지에 대한 차폐성 등에 따라 적절하게 선택된다.It does not specifically limit as a formation method of a light shielding part, It selects suitably according to the characteristic of the formation surface of a light shielding part, shielding against energy required, etc.

예를 들면 스퍼터링법, 진공 증착법 등에 의해 두께 1000 Å 내지 2000 Å 정도의 크롬 등의 금속 박막을 형성하고, 이 박막을 패터닝함으로써 차광부를 형성할 수 있다. 이 패터닝 방법으로서는, 일반적인 패터닝 방법을 이용할 수 있다.For example, a light shielding portion can be formed by forming a metal thin film such as chromium having a thickness of about 1000 Pa to 2000 Pa by a sputtering method, a vacuum deposition method, or the like, and patterning the thin film. As this patterning method, a general patterning method can be used.

또한, 예를 들면, 수지 바인더 중에 카본 미립자, 금속 산화물, 무기 안료, 유기 안료 등의 차광성 입자를 함유시킨 층을 패터닝함으로써, 차광부를 형성할 수도 있다. 수지 바인더로서는 폴리이미드 수지, 아크릴 수지, 에폭시 수지, 폴리아크릴아미드, 폴리비닐알코올, 젤라틴, 카제인, 셀룰로오스 등을 들 수 있다. 이들 수지는 1종 단독으로, 또는 2종 이상을 혼합하여 사용할 수 있다. 또한, 수지 바인더로서는, 감광성 수지 또는 O/W 에멀션형의 수지 조성물, 예를 들면 반응성 실리콘을 에멀션화한 것 등을 사용할 수 있다. 패터닝 방법으로서는 포토리소법, 인쇄법 등, 일반적인 패터닝 방법을 이용할 수 있다.For example, a light shielding part can also be formed by patterning the layer which contained light-shielding particle | grains, such as carbon microparticles, a metal oxide, an inorganic pigment, and an organic pigment, in a resin binder. Examples of the resin binder include polyimide resins, acrylic resins, epoxy resins, polyacrylamides, polyvinyl alcohols, gelatin, casein, cellulose and the like. These resin can be used individually by 1 type or in mixture of 2 or more types. Moreover, as a resin binder, photosensitive resin or O / W emulsion type resin composition, for example, the thing which emulsified reactive silicone, etc. can be used. As a patterning method, general patterning methods, such as a photolithography method and a printing method, can be used.

수지 바인더를 사용한 차광부의 두께는, 0.5 ㎛ 내지 10 ㎛의 범위 내에서 설정할 수 있다.The thickness of the light shielding part using a resin binder can be set within the range of 0.5 micrometer-10 micrometers.

(iv) 프라이머층(iv) primer layer

본 실시 양태에 있어서, 상술한 바와 같이 기체 위에 차광부가 패턴상으로 형성되고, 그 차광부 위에 광 촉매 처리층이 형성되어 있는 경우에는, 예를 들면 도 8에 도시한 바와 같이 차광부 (33)과 광 촉매 처리층 (34) 사이에 프라이머층 (35)가 형성되어 있는 것이 바람직하다.In the present embodiment, when the light shielding portion is formed in a pattern shape on the substrate as described above, and the photocatalyst treatment layer is formed on the light shielding portion, for example, as shown in FIG. 8, the light shielding portion 33 is shown. It is preferable that the primer layer 35 is formed between and the photocatalyst treatment layer 34.

이 프라이머층의 작용ㆍ기능은, 명확하지는 않지만 프라이머층은 광 촉매의 작용에 의한 습윤성 변화층의 습윤성 변화를 저해하는 요인이 되는 차광부 및 차광부간에 존재하는 개구부로부터의 불순물, 특히 차광부를 패터닝할 때 발생하는 잔사나, 금속, 금속 이온 등의 불순물의 확산을 방지하는 기능을 갖고 있다고 생각된다. 따라서, 차광부와 광 촉매 처리층 사이에 프라이머층을 형성함으로써, 고감도로 습윤성 변화의 처리가 진행되고, 그 결과 고해상도의 습윤성 변화 패턴을 얻을 수 있다.Although the function and function of this primer layer are not clear, the primer layer patterns impurities, especially the light shielding part, from the light-shielding part and the opening part which exist between the light-shielding parts which become a factor which inhibits the change of the wettability of the wettability-changing layer by the action of a photocatalyst. It is considered to have a function of preventing the diffusion of residues and impurities such as metals and metal ions generated in the process. Therefore, by forming a primer layer between the light shielding portion and the photocatalyst treatment layer, the treatment of wettability change proceeds with high sensitivity, and as a result, a wettability change pattern with high resolution can be obtained.

프라이머층은, 차광부 뿐만 아니라 차광부간의 개구부에 존재하는 불순물이 광 촉매의 작용에 영향을 미치는 것을 방지한다고 생각되기 때문에, 패턴상의 차광부 및 차광부간의 개구부를 덮도록 전면에 형성되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 프라이머층은, 광 촉매 처리층과 차광부가 물리적으로 접촉하지 않도록 배치될 수 있다.Since it is thought that the impurity which exists not only in a light shielding part but an opening part between light shielding parts affects the action of a photocatalyst, the primer layer is formed in the whole surface so that the opening of a patterned light shielding part and a light shielding part may be covered. desirable. In addition, the primer layer may be disposed so that the photocatalyst treatment layer and the light shielding portion do not physically contact each other.

이 프라이머층을 구성하는 재료로서는 특별히 한정되지 않지만, 광 촉매의 작용에 의해 분해되기 어려운 무기 재료가 바람직하다. 무기 재료로서는, 예를 들면 무정형 실리카를 들 수 있다. 이 무정형 실리카의 전구체로서는, 화학식 SiX4로 표시되며, X가 할로겐, 메톡시기, 에톡시기 또는 아세틸기 등인 규소 화합물, 이들의 가수분해물인 실라놀 또는 평균 분자량 3000 이하의 폴리실록산이 바람직하게 사용된다.Although it does not specifically limit as a material which comprises this primer layer, The inorganic material which is hard to decompose by the action of a photocatalyst is preferable. As an inorganic material, amorphous silica is mentioned, for example. As a precursor of this amorphous silica, a silicon compound represented by the formula SiX4, X is halogen, methoxy group, ethoxy group or acetyl group, silanol which is a hydrolyzate thereof, or polysiloxane having an average molecular weight of 3000 or less is preferably used.

또한, 프라이머층의 막 두께는 0.001 ㎛ 내지 1 ㎛의 범위 내인 것이 바람직하고, 특히 0.001 ㎛ 내지 0.5 ㎛의 범위 내인 것이 바람직하다.The film thickness of the primer layer is preferably in the range of 0.001 µm to 1 µm, and particularly preferably in the range of 0.001 µm to 0.5 µm.

(2) 광 촉매 처리층 기판 및 습윤성 변화층의 배치(2) Arrangement of the photocatalytic treatment layer substrate and the wettability changing layer

본 실시 양태에 있어서는, 광 촉매 처리층 기판을 습윤성 변화층에 대하여, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용이 미칠 수 있는 간극을 두고 배치한다. 통상적으로, 광 촉매 처리층 기판의 광 촉매 처리층과 습윤성 변화층을 습윤성 변화층에 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용이 미칠 수 있는 간극을 두고 배치한다.In the present embodiment, the photocatalyst treatment layer substrate is disposed with respect to the wettability varying layer with a gap between the action of the photocatalyst due to energy irradiation. Typically, the photocatalytic treatment layer and the wettability varying layer of the photocatalytic treatment layer substrate are arranged in the wettability varying layer with a gap in which the action of the photocatalyst due to energy irradiation can occur.

또한, 간극이란, 광 촉매 처리층 및 습윤성 변화층이 접촉하고 있는 상태도 포함한다.The gap also includes a state in which the photocatalyst treatment layer and the wettability varying layer are in contact with each other.

광 촉매 처리층과 습윤성 변화층의 간격은, 구체적으로 200 ㎛ 이하인 것이 바람직하다. 광 촉매 처리층과 습윤성 변화층을 소정의 간격을 두고 배치함으로써, 산소, 물 및 광 촉매 작용에 의해 발생한 활성 산소종이 탈착되기 쉬워진다. 광 촉매 처리층과 습윤성 변화층의 간격이 상기 범위보다 넓은 경우에는, 광 촉매 작용에 의해 발생한 활성 산소종이 습윤성 변화층에 접촉하기 어려워져, 습윤성의 변화 속도를 느리게 할 가능성이 있다. 반대로 광 촉매 처리층과 습윤성 변화층의 간격이 지나치게 좁으면, 산소, 물 및 광 촉매 작용에 의해 발생한 활성 산소종이 탈착되기 어려워져, 결과적으로 습윤성의 변화 속도를 느리게 할 가능성이 있다.It is preferable that the space | interval of a photocatalyst treatment layer and a wettability change layer is 200 micrometers or less specifically ,. By arranging the photocatalyst treatment layer and the wettability changing layer at predetermined intervals, active oxygen species generated by oxygen, water, and photocatalysis are easily desorbed. When the space | interval of a photocatalyst treatment layer and a wettability change layer is wider than the said range, the active oxygen species generate | occur | produced by the photocatalysis becomes difficult to contact a wettability change layer, and there exists a possibility of slowing the change rate of wettability. On the contrary, when the space | interval of a photocatalyst treatment layer and a wettability change layer is too narrow, active oxygen species generate | occur | produced by oxygen, water, and photocatalysis will become difficult to desorb, and as a result, the change rate of wettability may be slowed down.

상기 간격은 패턴 정밀도가 매우 양호하고, 광 촉매의 감도도 높고, 습윤성 변화의 효율이 양호한 점을 고려하면 0.2 ㎛ 내지 20 ㎛의 범위 내인 것이 보다 바람직하고, 더욱 바람직하게는 1 ㎛ 내지 10 ㎛의 범위 내이다.The interval is more preferably within the range of 0.2 μm to 20 μm, more preferably 1 μm to 10 μm, considering that the pattern accuracy is very good, the sensitivity of the photocatalyst is high, and the efficiency of the change in wettability is good. In range

한편, 예를 들면 300 ㎜×300 ㎜의 대면적의 EL 소자를 제조하는 경우에는, 상술한 바와 같은 미세한 간극을 광 촉매 처리층 기판과 습윤성 변화층 사이에 설치하는 것이 매우 곤란하다. 따라서, 비교적 대면적의 EL 소자를 제조하는 경우에는, 상기 간극이 5 ㎛ 내지 100 ㎛의 범위 내인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 10 ㎛ 내지 75 ㎛의 범위 내이다. 상기 간극을 상기 범위로 함으로써, 패턴이 희미해지는 등의 패턴 정밀도의 저하를 억제할 수 있으며, 광 촉매의 감도가 악화되어 습윤성 변화의 효율이 악화되는 것을 억제할 수 있기 때문이다.On the other hand, in the case of manufacturing a large area EL element of 300 mm x 300 mm, for example, it is very difficult to provide such a fine gap between the photocatalytic treatment layer substrate and the wettability changing layer. Therefore, when manufacturing a relatively large area EL element, it is preferable that the said clearance exists in the range of 5 micrometers-100 micrometers, More preferably, it exists in the range of 10 micrometers-75 micrometers. It is because deterioration of pattern precision, such as a pattern being blurred, can be suppressed by making the said gap into the said range, and it can suppress that the sensitivity of a photocatalyst deteriorates and the efficiency of wettability change deteriorates.

또한, 상기한 바와 같은 비교적 대면적에 대하여 에너지 조사할 때에는, 에너지 조사 장치 내의 광 촉매 처리층 기판과 습윤성 변화층의 위치 결정 장치에 있어서의 간극의 설정을 10 ㎛ 내지 200 ㎛의 범위 내, 특히 25 ㎛ 내지 75 ㎛의 범위 내로 설정하는 것이 바람직하다. 상기 간극의 설정값을 상기 범위로 함으로써, 패턴 정밀도의 대폭적인 저하나 광 촉매의 감도의 대폭적인 악화를 초래하지 않으며, 광 촉매 처리층 기판과 습윤성 변화층을 접촉시키지 않고 배치할 수 있기 때문이다.When energy is irradiated with respect to the relatively large area as described above, the setting of the gap in the positioning device of the photocatalytic treatment layer substrate and the wettability varying layer in the energy irradiation apparatus is within the range of 10 µm to 200 µm, in particular. It is preferable to set in the range of 25 micrometers-75 micrometers. This is because the setting value of the gap in the above range can be arranged without causing the photocatalyst treatment layer substrate and the wettability changing layer to come into contact with each other without causing a significant reduction in pattern accuracy or a significant deterioration in the sensitivity of the photocatalyst. .

본 실시 양태에 있어서 이러한 간극을 둔 배치 상태는, 적어도 에너지 조사 동안에만 유지되어 있어도 상관없다.In the present embodiment, such a spaced arrangement may be maintained only at least during energy irradiation.

이러한 매우 좁은 간극을 균일하게 설치하여 광 촉매 처리층과 습윤성 변화층을 배치하는 방법으로서는, 예를 들면 스페이서를 사용하는 방법을 들 수 있다. 스페이서를 사용하는 방법으로서는, 균일한 간극을 형성할 수 있음과 동시에, 이 스페이서가 접촉하는 부분은 광 촉매의 작용이 습윤성 변화층 표면에 미치지 않기 때문에, 이 스페이서를 상술한 습윤성 변화 패턴과 동일한 패턴을 갖는 것으로 함으로써, 습윤성 변화층 표면에 소정의 습윤성 변화 패턴을 형성하는 것이 가능해진다.As a method of arrange | positioning such a very narrow gap uniformly and arrange | positioning a photocatalyst treatment layer and a wettability change layer, the method of using a spacer is mentioned, for example. As a method of using a spacer, a uniform gap can be formed, and at the same time, the portion in contact with the spacer has the same pattern as the wettability change pattern described above because the action of the photocatalyst does not reach the surface of the wettability change layer. By having it, it becomes possible to form a predetermined wettability change pattern on the surface of a wettability change layer.

본 실시 양태에 있어서는 스페이서를 1개의 부재로서 형성할 수도 있지만, 공정의 간략화 등을 위해 광 촉매 처리층 기판의 광 촉매 처리층 위에 스페이서가 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이 경우, 상기 차광부의 항에 기재한 바와 같은 이점을 갖는다.In the present embodiment, the spacer may be formed as one member, but the spacer is preferably formed on the photocatalytic treatment layer of the photocatalytic treatment layer substrate for the purpose of simplifying the process. In this case, it has an advantage as described in the above-mentioned light shielding section.

스페이서는 습윤성 변화층 표면에 광 촉매의 작용이 미치치 않도록, 습윤성 변화층 표면을 보호하는 작용을 가질 수 있다. 그 때문에, 스페이서는 조사되는 에너지에 대하여 차폐성을 갖지 않을 수도 있다.The spacer may have a function of protecting the wettability changing layer surface such that the action of the photocatalyst does not reach the wettability changing layer surface. Therefore, the spacer may not have shielding against the energy to be irradiated.

(3) 에너지 조사(3) energy survey

본 실시 양태에 있어서는, 광 촉매 처리층과 습윤성 변화층을 소정의 간극을 두고 배치한 후, 소정의 방향으로부터 에너지를 패턴 조사함으로써, 습윤성 변화층 표면에 습윤성 변화 패턴을 형성한다.In this embodiment, after arrange | positioning a photocatalyst treatment layer and a wettability change layer with a predetermined gap, pattern wettability change pattern is formed in the surface of a wettability change layer by pattern irradiation of energy from a predetermined direction.

또한, 에너지 조사에 사용하는 빛의 파장 및 광원에 대해서는, 상기 제1 실시 양태와 동일하기 때문에 여기서의 설명은 생략한다.In addition, since the wavelength and the light source of light used for energy irradiation are the same as that of the said 1st Embodiment, description here is abbreviate | omitted.

에너지 조사시의 에너지의 조사량은, 광 촉매 처리층 중의 광 촉매의 작용에 의해 습윤성 변화층 표면의 습윤성이 변화하는 데 필요한 조사량으로 한다.The irradiation amount of energy at the time of energy irradiation is made into the irradiation amount required for the wettability of the surface of a wettability change layer to change by the action of the photocatalyst in a photocatalyst treatment layer.

이때, 광 촉매 처리층을 가열하면서 에너지 조사하는 것이 바람직하다. 감도를 상승시킬 수 있고, 효율적으로 습윤성을 변화시킬 수 있기 때문이다. 구체적으로는, 30 ℃ 내지 80 ℃의 범위 내에서 가열하는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable to perform energy irradiation while heating the photocatalyst treatment layer. It is because a sensitivity can be raised and a wettability can be changed efficiently. Specifically, heating in the range of 30 ° C to 80 ° C is preferable.

에너지 조사 방향은, 광 촉매 처리층 기판에 차광부가 형성되어 있는지의 여부, 또는 EL 소자의 빛의 취출 방향 등에 따라 결정된다.The direction of energy irradiation is determined depending on whether or not a light shielding portion is formed on the photocatalyst treatment layer substrate, the light extraction direction of the EL element, or the like.

예를 들면, 광 촉매 처리층 기판에 차광부가 형성되어 있고, 광 촉매 처리층 기판의 기체가 투명한 경우에는, 광 촉매 처리층 기판측으로부터 에너지 조사가 행해진다. 또한, 이 경우 광 촉매 처리층 위에 차광부가 형성되어 있고, 이 차광부가 스페이서로서 기능하는 경우에는, 에너지 조사 방향은 광 촉매 처리층 기판측으로부터일 수도 있고, 기판측으로부터 일 수도 있다.For example, when the light shielding part is formed in the photocatalyst treatment layer substrate, and the gas of the photocatalyst treatment layer substrate is transparent, energy irradiation is performed from the photocatalyst treatment layer substrate side. In this case, when the light shielding portion is formed on the photocatalyst treatment layer, and the light shielding portion functions as a spacer, the energy irradiation direction may be from the photocatalyst treatment layer substrate side or may be from the substrate side.

또한, 예를 들면 광 촉매 처리층이 패턴상으로 형성되어 있는 경우, 에너지 조사 방향은, 상술한 바와 같이 광 촉매 처리층과 습윤성 변화층이 마주보는 부분에 에너지가 조사되면 어떠한 방향이어도 상관없다.For example, when the photocatalyst treatment layer is formed in a pattern, the direction of energy irradiation may be any direction as long as energy is irradiated to the portion where the photocatalyst treatment layer and the wettability changing layer face each other as described above.

마찬가지로 상술한 스페이서를 사용하는 경우에도, 광 촉매 처리층과 습윤성 변화층이 마주보는 부분에 에너지가 조사되면, 에너지 조사 방향은 어떠한 방향이어도 상관없다.Similarly, even when the above-mentioned spacer is used, if energy is irradiated to the part where the photocatalyst treatment layer and the wettability change layer face each other, the direction of energy irradiation may be any direction.

또한, 예를 들면, 포토마스크를 사용하는 경우에는, 포토 마스크가 배치된 측으로부터 에너지가 조사된다. 이 경우, 포토마스크가 배치된 측이 투명할 필요가 있다.For example, when using a photomask, energy is irradiated from the side in which the photomask is arrange | positioned. In this case, the side on which the photomask is disposed needs to be transparent.

에너지 조사 후에는, 광 촉매 처리층 기판이 습윤성 변화층으로부터 제거된 다.After energy irradiation, the photocatalyst treated layer substrate is removed from the wettability changing layer.

(4) 습윤성 변화 패턴(4) wettability change pattern

본 실시 양태에 있어서의 습윤성 변화 패턴은 습윤성 변화층 표면에 형성되는 것이며, 친액성 영역 및 발액성 영역을 포함하는 것이다.The wettability change pattern in this embodiment is formed in the wettability change layer surface, and contains a lyophilic region and a liquid repellent region.

또한, 친액성 영역 및 발액성 영역에 있어서의 액체와의 접촉각에 대해서는, 상기 제1 실시 양태에 기재한 것과 동일하기 때문에 여기서의 설명은 생략한다.In addition, since it is the same as that of what was described in the said 1st Embodiment about the contact angle with the liquid in a lyophilic region and a liquid repellent region, description here is abbreviate | omitted.

3. 기타 공정3. Other Process

본 실시 양태에 있어서도, 상기 제1 실시 양태와 마찬가지로 정공 주입 수송층 형성 공정, 전자 주입 수송층 형성 공정, 절연층 형성 공정 등을 행할 수 있다.Also in this embodiment, like a said 1st Embodiment, a hole injection transport layer formation process, an electron injection transport layer formation process, an insulation layer formation process, etc. can be performed.

또한, 상기 제1 실시 양태와 마찬가지로, 통상적으로 제2 전극층 형성 공정이 행해진다.In addition, similarly to the first embodiment, the second electrode layer forming step is usually performed.

B. EL 소자B. EL device

본 발명의 EL 소자는 기판과, 상기 기판 위에 패턴상으로 형성된 제1 전극층과, 상기 제1 전극층 위에 형성되고, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 것이며, 표면에 상기 제1 전극층의 패턴 위에 배치되고, 폴리실록산을 함유하는 친액성 영역 및 상기 제1 전극층의 패턴의 개구부 위에 배치되고, 불소를 포함하는 오르가노폴리실록산을 함유하는 발액성 영역을 포함하는 습윤성 변화 패턴을 갖는 습윤성 변화층과, 상기 습윤성 변화층의 친액성 영역 위에 형성된 발광층과, 상기 발광층 위에 형성된 제2 전극층을 갖고, 상기 발광층에, 주위에 실란 커플링제가 배치된 양자 도트를 사용하는 것을 특징으로 하는 것이다.The EL element of the present invention is formed on a substrate, a first electrode layer formed in a pattern shape on the substrate, and on the first electrode layer, and the wettability is changed by the action of a photocatalyst due to energy irradiation, and the first surface is formed on the surface. Wettability change with a wettability change pattern disposed over the pattern of the electrode layer, the lyophilic region containing polysiloxane and the liquid repellency region disposed over the opening of the pattern of the first electrode layer and containing the organopolysiloxane containing fluorine; The quantum dot which has a layer, the light emitting layer formed on the lyophilic region of the said wettability change layer, and the 2nd electrode layer formed on the said light emitting layer, and arrange | positioned the silane coupling agent around the said light emitting layer is used, It is characterized by the above-mentioned.

도 1(e)에 예시한 EL 소자에 있어서는, 기판 (1) 위에 제1 전극층 (2)가 패턴상으로 형성되고, 이 제1 전극층 (2)의 패턴의 개구부에 절연층 (3)이 형성되고, 제1 전극층 (2) 및 절연층 (3) 위에 습윤성 변화층 (4)가 형성되고, 습윤성 변화층 (4)의 표면에 친액성 영역 (5) 및 발액성 영역 (6)을 포함하는 습윤성 변화 패턴이 형성되고, 친액성 영역 (5) 위에 발광층 (7)이 형성되고, 발광층 (7) 위에 제2 전극층 (8)이 형성되어 있다. 습윤성 변화층 (4) 표면의 친액성 영역 (5)는 폴리실록산을 함유하고 있고, 제1 전극층 (2)의 패턴 위에 배치되어 있다. 또한, 습윤성 변화층 (4) 표면의 발액성 영역 (6)은 불소를 포함하는 오르가노폴리실록산을 함유하고 있고, 제1 전극층 (2)의 패턴의 개구부 위, 즉 절연층 (3) 위에 배치되어 있다.In the EL element illustrated in FIG. 1E, the first electrode layer 2 is formed in a pattern on the substrate 1, and the insulating layer 3 is formed in the opening of the pattern of the first electrode layer 2. The wettability changing layer 4 is formed on the first electrode layer 2 and the insulating layer 3, and includes a lyophilic region 5 and a liquid-repellent region 6 on the surface of the wettability changing layer 4. The wettability change pattern is formed, the light emitting layer 7 is formed on the lyophilic region 5, and the second electrode layer 8 is formed on the light emitting layer 7. The lyophilic region 5 on the surface of the wettability changing layer 4 contains polysiloxane and is disposed on the pattern of the first electrode layer 2. Further, the liquid-repellent region 6 on the surface of the wettability changing layer 4 contains an organopolysiloxane containing fluorine, and is disposed on the opening of the pattern of the first electrode layer 2, that is, on the insulating layer 3 have.

여기서, 불소는 매우 낮은 표면 에너지를 갖는 것이다. 그 때문에, 불소를 많이 함유하는 물질의 표면은 임계 표면 장력이 보다 작아진다. 즉, 불소의 함유량이 많은 부분의 표면의 임계 표면 장력에 비해, 불소의 함유량이 적은 부분의 임계 표면 장력은 커진다.Here, fluorine has very low surface energy. Therefore, the surface of the substance containing much fluorine becomes smaller in critical surface tension. That is, compared with the critical surface tension of the surface of the part with high fluorine content, the critical surface tension of the part with little fluorine content becomes large.

본 발명에 있어서, 습윤성 변화층 표면의 친액성 영역은 폴리실록산을 함유하고, 습윤성 변화층 표면의 발액성 영역은 불소를 포함하는 오르가노폴리실록산을 함유하고 있기 때문에, 발액성 영역의 불소 함유량은 친액성 영역의 불소 함유량에 비해 많다고 할 수 있다. 따라서, 발액성 영역의 임계 표면 장력에 비해, 친액성 영역의 임계 표면 장력이 커진다고 할 수 있다.In the present invention, since the lyophilic region on the surface of the wettability changing layer contains polysiloxane, and the liquid repellency region on the surface of the wettability changing layer contains organopolysiloxane including fluorine, the fluorine content of the liquid repellency region is lyophilic. It can be said that it is large compared with fluorine content of a region. Therefore, it can be said that the critical surface tension of the lyophilic region is larger than the critical surface tension of the liquid repellent region.

이와 같이, 발액성 영역과 친액성 영역은 임계 표면 장력, 즉 습윤성이 상이 하기 때문에, 이 발액성 영역 및 친액성 영역의 습윤성의 차이를 이용하여, 친액성 영역 위에만 발광층을 형성할 수 있다. 따라서, 복잡한 패터닝 공정이나 고가의 진공 설비를 필요로 하지 않고, 발광층을 용이하게 패터닝하는 것이 가능한 EL 소자로 할 수 있다.As described above, since the liquid repellent region and the lyophilic region have different critical surface tensions, that is, wettability, the light emitting layer can be formed only on the lyophilic region using the difference in the wettability between the liquid repellent region and the lyophilic region. Therefore, it can be set as an EL element which can easily pattern a light emitting layer, without requiring a complicated patterning process and expensive vacuum equipment.

또한, 발명에 있어서는, 발광층에 주위에 실란 커플링제가 배치된 양자 도트를 사용하기 때문에, 발광층을 경화된 것으로 할 수 있고, 발광층 내에서의 양자 도트의 안정성을 양호하게 할 수 있으며, 수명 특성을 향상시키는 것이 가능하다. 나아가서는, 발광층의 열 안정성(Tg: 유리 전이 온도)을 향상시킬 수도 있다. 또한, 실란 커플링제는 분자 설계가 비교적 용이하기 때문에, 다양한 기능성을 나타내는 관능기를 갖는 실란 커플링제를 사용함으로써, 수명 특성을 개선하는 것이 가능하다.In addition, in the invention, since the quantum dots in which the silane coupling agent is disposed around the light emitting layer are used, the light emitting layer can be cured, and the stability of the quantum dots in the light emitting layer can be improved, and the life characteristics are improved. It is possible to improve. Furthermore, the thermal stability (Tg: glass transition temperature) of a light emitting layer can also be improved. In addition, since the silane coupling agent is relatively easy in molecular design, it is possible to improve the life characteristics by using a silane coupling agent having a functional group exhibiting various functionalities.

또한, 습윤성 변화층 표면의 친액성 영역이 폴리실록산을 함유하고, 습윤성 변화층 표면의 발액성 영역이 불소를 포함하는 오르가노폴리실록산을 함유하고 있고, 발광층이 주위에 실란 커플링제가 배치된 양자 도트를 사용한 것이기 때문에, 습윤성 변화층 중의 오르가노폴리실록산이 제1 전극층과 결합하고, 발광층 중의 실란 커플링제가 습윤성 변화층과 결합함으로써, 제1 전극층과 습윤성 변화층과 발광층의 밀착성을 향상시킬 수 있다. 이에 따라, EL 소자 구동시 등에 있어서의 층간 박리 등에 의한 수명 특성의 저하를 방지하는 것이 가능하다.Also, a quantum dot in which the lyophilic region on the surface of the wettability-changing layer contains polysiloxane, the liquid-repellent region on the surface of the wettability-changing layer contains organopolysiloxane containing fluorine, and the luminescent layer has a silane coupling agent disposed around the light-emitting layer Since it is used, the organopolysiloxane in a wettability change layer couple | bonds with a 1st electrode layer, and the silane coupling agent in a light emitting layer couple | bonds with a wettability change layer, and the adhesiveness of a 1st electrode layer, a wettability change layer, and a light emitting layer can be improved. Thereby, it is possible to prevent the fall of the life characteristic by the interlayer peeling etc. at the time of EL element drive etc.

또한, "발광층에, 주위에 실란 커플링제가 배치된 양자 도트를 사용한다"는 것은, 발광층에 있어서, 양자 도트의 주위에 배치된 실란 커플링제가 실란 커플링 제 자체인 경우, 실란 커플링제의 가수분해물로 되어 있는 경우 및 실란 커플링제의 가수분해 축합물로 되어 있는 경우를 모두 포함하는 것이다. 즉, 발광층에 있어서, 양자 도트의 주위에는 실란 커플링제 자체가 배치될 수도 있고, 실란 커플링제의 가수분해물이 배치될 수도 있고, 실란 커플링제의 가수분해 축합물이 배치될 수도 있다. 또한, 실란 커플링제 자체, 실란 커플링제의 가수분해물 및 실란 커플링제의 가수분해 축합물이 혼재할 수도 있다.In addition, "using a quantum dot in which a silane coupling agent is arrange | positioned around a light emitting layer" means that when the silane coupling agent arrange | positioned around a quantum dot is a silane coupling agent itself in a light emitting layer, It includes both the case of the hydrolyzate and the case of the hydrolysis condensate of the silane coupling agent. That is, in the light emitting layer, a silane coupling agent itself may be disposed around the quantum dot, a hydrolyzate of the silane coupling agent may be disposed, or a hydrolysis condensate of the silane coupling agent may be disposed. Moreover, the silane coupling agent itself, the hydrolyzate of a silane coupling agent, and the hydrolysis-condensation product of a silane coupling agent may be mixed.

발광층이 실란 커플링제의 가수분해 축합물을 함유하는 경우에는, 발광층을 경화된 것으로 할 수 있다. 이에 따라, 발광층 위에 도공액을 사용하여 정공 주입 수송층 또는 전자 주입 수송층 등을 형성할 때, 정공 주입 수송층 또는 전자 주입 수송층 등을 형성하기 위한 도공액 중의 용제에 발광층이 용해되지 않고, 안정적으로 발광층 위에 정공 주입 수송층 또는 전자 주입 수송층 등을 적층할 수 있다.When the light emitting layer contains a hydrolysis condensate of a silane coupling agent, the light emitting layer can be made cured. Accordingly, when forming the hole injection transport layer, the electron injection transport layer, or the like using the coating solution on the light emitting layer, the light emitting layer is not dissolved in the solvent in the coating solution for forming the hole injection transport layer, the electron injection transport layer, or the like, and stably rests on the light emitting layer. A hole injection transport layer or an electron injection transport layer can be laminated.

또한, 기판, 제1 전극층, 발광층 및 제2 전극층에 대해서는, 상기 "A. EL 소자의 제조 방법"에 상세히 기재하였기 때문에 여기서의 설명은 생략한다. 이하, 본 발명의 EL 소자의 다른 구성에 대하여 설명한다.In addition, since the board | substrate, the 1st electrode layer, the light emitting layer, and the 2nd electrode layer were described in detail in the said "A. EL element manufacturing method", the description here is abbreviate | omitted. Hereinafter, the other structure of the EL element of this invention is demonstrated.

1. 습윤성 변화층1. Wetability changing layer

본 발명에 있어서의 습윤성 변화층은 제1 전극층 위에 형성되는 것이며, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 것이다. 또한, 습윤성 변화층은, 표면에 제1 전극층의 패턴 위에 배치되고, 폴리실록산을 함유하는 친액성 영역과, 제1 전극층의 패턴의 개구부 위에 배치되고, 불소를 포함하는 오르가노폴리실록산을 함유하는 발액성 영역을 포함하는 습윤성 변화 패턴을 갖고 있다.The wettability changing layer in the present invention is formed on the first electrode layer, and the wettability is changed by the action of the photocatalyst due to energy irradiation. Further, the wettability varying layer is disposed on the surface of the pattern of the first electrode layer and is disposed on the lipophilic region containing polysiloxane and the opening of the pattern of the first electrode layer, and the liquid repellency containing organopolysiloxane containing fluorine is included. It has a wettability change pattern that includes a region.

또한, 친액성 영역 및 발액성 영역에 대해서는, 상기 "A. EL 소자의 제조 방법"의 제1 실시 양태의 습윤성 변화 패턴 형성 공정의 항에 기재하였기 때문에 여기서의 설명은 생략한다.The lyophilic region and the liquid repellent region are described in the section of the wettability change pattern forming step of the first embodiment of the "A. EL device manufacturing method", and therefore the description thereof is omitted.

발액성 영역은 불소를 포함하는 오르가노폴리실록산을 함유하는 것이며, 친액성 영역은 폴리실록산을 함유하는 것이다. 상술한 바와 같이 불소는 매우 낮은 표면 에너지를 갖기 때문에, 불소를 많이 함유하는 물질의 표면은 임계 표면 장력이 보다 작아진다. 따라서, 발액성 영역의 불소 함유량은 친액성 영역의 불소 함유량에 비해 많고, 발액성 영역의 임계 표면 장력에 비해 친액성 영역의 임계 표면 장력이 커진다고 할 수 있다. 습윤성 변화층은, 표면에 이러한 발액성 영역 및 친액성 영역을 포함하는 습윤성 변화 패턴을 갖기 때문에, 습윤성 변화층 위에 발광층을 형성할 때에는, 발액성 영역 및 친액성 영역의 습윤성의 차이를 이용하여 친액성 영역 위에만 발광층을 형성할 수 있는 것이다.The liquid repellent region contains organopolysiloxane containing fluorine, and the lyophilic region contains polysiloxane. As described above, since fluorine has a very low surface energy, the surface of the fluorine-containing material has a smaller critical surface tension. Therefore, it can be said that the fluorine content of the liquid repellent region is higher than the fluorine content of the lyophilic region, and the critical surface tension of the lyophilic region is larger than the critical surface tension of the liquid repellent region. Since the wettability-changing layer has a wettability change pattern including such a liquid-repellent region and a lyophilic region on its surface, when the light emitting layer is formed on the wettability-changing layer, the wettability-changing layer is formed by using the wettability difference between the liquid-repellent region and the lyophilic region. The light emitting layer can be formed only on the liquid region.

또한, 친액성 영역 중 및 발액성 영역 중의 불소 함유량에 대해서는, 상기 "A. EL 소자의 제조 방법"의 제1 실시 양태의 습윤성 변화 패턴 형성 공정의 항에 기재하였기 때문에 여기서의 설명은 생략한다.The fluorine content in the lyophilic region and the liquid-repellent region is described in the section of the wettability change pattern forming step of the first embodiment of the "A. EL device manufacturing method", and therefore the description thereof is omitted.

발액성 영역을 구성하는 불소를 함유하는 오르가노폴리실록산으로서는, 예를 들면 (1) 졸겔 반응 등에 의해 클로로 또는 알콕시실란 등을 가수분해, 중축합하여 큰 강도를 발휘하는 오르가노폴리실록산, (2) 발수성이나 발유성이 우수한 반응성 실리콘을 가교한 오르가노폴리실록산 등을 들 수 있다. 이러한 불소를 함유하는 오르가노폴리실록산은, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화 되는 재료이며, 광 촉매의 작용에 의해 열화, 분해되기 어려운 주쇄를 갖기 때문에, 발액성 영역에 바람직하게 사용할 수 있는 것이다.Examples of organopolysiloxanes containing fluorine constituting the liquid repellent region include (1) organopolysiloxanes which exhibit great strength by hydrolyzing and polycondensing chloro or alkoxysilanes by sol-gel reaction and the like, and (2) water repellency and The organopolysiloxane which bridge | crosslinked the reactive silicone excellent in oil repellency is mentioned. Such fluorine-containing organopolysiloxane is a material whose wettability is changed by the action of a photocatalyst due to energy irradiation, and has a main chain that is hardly deteriorated and decomposed by the action of the photocatalyst, and thus is preferably used in a liquid repellent region. It can be.

상기 (1)의 경우, 불소를 함유하는 오르가노폴리실록산으로서는, 하기 화학식In the case of (1), as organopolysiloxane containing fluorine, the following general formula

YnSiX(4-n)YnSiX (4-n)

(여기서, Y는 알킬기, 플루오로알킬기, 비닐기, 아미노기, 페닐기 또는 에폭시기를 나타내고, Y가 플루오로알킬기인 경우, X는 알콕실기, 아세틸기 또는 할로겐을 나타내고, Y가 알킬기, 비닐기, 아미노기, 페닐기 또는 에폭시기인 경우, X는 불소를 나타내고, n은 0 내지 3의 정수임)(Wherein Y represents an alkyl group, a fluoroalkyl group, a vinyl group, an amino group, a phenyl group or an epoxy group, and when Y is a fluoroalkyl group, X represents an alkoxyl group, an acetyl group or a halogen, and Y represents an alkyl group, a vinyl group, an amino group) , In the case of a phenyl group or an epoxy group, X represents fluorine and n is an integer of 0 to 3).

으로 표시되는 규소 화합물 중 1종 또는 2종 이상의 가수분해 축합물 또는 공가수분해 축합물인 것이 바람직하다. Y로 표시되는 기의 탄소수는 1 내지 20의 범위 내인 것이 바람직하다. 또한, X로 표시되는 알콕실기는 메톡시기, 에톡시기, 프로폭시기, 부톡시기인 것이 바람직하다. 상기 화학식으로 표시되는 규소 화합물로서는, 구체적으로 일본 특허 공개 제2000-249821호 공보에 기재되어 있는 것 등을 사용할 수 있다.It is preferable that it is 1 type, or 2 or more types of hydrolysis condensate or cohydrolysis condensate among the silicon compounds represented by these. It is preferable that carbon number of group represented by Y exists in the range of 1-20. Moreover, it is preferable that the alkoxyl group represented by X is a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, butoxy group. As a silicon compound represented by the said chemical formula, the thing specifically described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2000-249821 can be used.

특히 불소를 함유하는 오르가노폴리실록산은, 플루오로알킬기를 함유하는 폴리실록산인 것이 바람직하다. 플루오로알킬기를 함유하는 폴리실록산으로서는, 구체적으로 일본 특허 공개 제2000-249821호 공보에 기재되어 있는 플루오로알킬실란 중 1종 또는 2종 이상의 가수분해 축합물 또는 공가수분해 축합물을 들 수 있고, 일반적으로 불소계 실란 커플링제로서 알려진 것을 사용할 수 있다.In particular, the organopolysiloxane containing fluorine is preferably a polysiloxane containing a fluoroalkyl group. Examples of the polysiloxane containing a fluoroalkyl group include one or two or more hydrolysis condensates or cohydrolysis condensates of the fluoroalkylsilanes described in JP-A-2000-249821. Generally what is known as a fluorine-type silane coupling agent can be used.

플루오로알킬기를 함유하는 폴리실록산을 사용한 경우에는 발액성 영역의 발액성이 크게 향상되기 때문에, 발액성 영역으로의 발광층의 성막을 방해할 수 있으며, 친액성 영역에만 발광층을 성막하는 것이 가능해진다.When the polysiloxane containing a fluoroalkyl group is used, since the liquid repellency of the liquid repellent region is greatly improved, film formation of the light emitting layer to the liquid repellent region can be prevented, and the light emitting layer can be formed only in the lyophilic region.

또한, 발액성 영역 중에 플루오로알킬기를 함유하는 폴리실록산이 함유되어 있는 것은, X선 광 전자 분광법, 러더포드 후방 산란 분광법, 핵 자기 공명 분광법 또는 질량 분석법을 이용하여 확인할 수 있다.The polysiloxane containing a fluoroalkyl group in the liquid-repellent region can be confirmed using X-ray photoelectron spectroscopy, Rutherford backscattering spectroscopy, nuclear magnetic resonance spectroscopy or mass spectrometry.

또한, 상기한 (2)의 경우, 불소를 함유하는 오르가노폴리실록산에 사용되는 반응성 실리콘으로서는, 하기 화학식으로 표시되는 골격을 갖는 화합물을 들 수 있다.In addition, in the case of said (2), as reactive silicone used for the organopolysiloxane containing fluorine, the compound which has frame | skeleton represented by a following formula is mentioned.

Figure 112008067776577-PAT00008
Figure 112008067776577-PAT00008

여기서, n은 2 이상의 정수이고, R1, R2는 탄소수 1 내지 10의 치환 또는 비 치환된 알킬기, 알케닐기, 아릴기 또는 시아노알킬기이고, 몰비로 전체의 40 % 이하가 불화페닐이다. 또한, R1, R2가 메틸기인 것이 표면 에너지가 가장 작아지기 때문에 바람직하고, 몰비로 메틸기가 60 % 이상인 것이 더욱 바람직하다. 또한, 쇄 말단 또는 측쇄에는, 분자쇄 중에 적어도 1개 이상의 수산기 등의 반응성기를 갖는다.Here, n is an integer of 2 or more, R <1> , R <2> is a C1-C10 substituted or unsubstituted alkyl group, alkenyl group, an aryl group, or a cyanoalkyl group, and 40% or less of the whole is molar ratio phenyl fluoride. In addition, it is preferable that R 1 and R 2 be a methyl group because the surface energy is the smallest, and it is more preferable that the methyl group is 60% or more in molar ratio. The chain terminal or side chain has a reactive group such as at least one or more hydroxyl groups in the molecular chain.

또한, 발액성 영역은, 상기한 불소를 함유하는 오르가노폴리실록산과 함께 디메틸폴리실록산과 같은 가교 반응하지 않는 안정적인 오르가노 실리콘 화합물을 함유할 수도 있다.The liquid repellent region may also contain a stable organosilicon compound that does not undergo crosslinking reaction such as dimethylpolysiloxane together with the organopolysiloxane containing fluorine described above.

친액성 영역은, 발액성 영역보다 불소 함유량이 적은 영역이다. 예를 들면, 도 1(b), (c) 및 도 5(b), (c)에 도시한 바와 같이 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해, 습윤성 변화층 (4)의 조사 부분에서는 불소를 함유하는 오르가노폴리실록산의 불소를 포함하는 측쇄가 분해되어 불소 함유량이 저하되고, 액체와의 접촉각이 저하되도록 습윤성이 변화된다. 이와 같이, 친액성 영역을 구성하는 폴리실록산으로서는, 상기한 불소를 함유하는 오르가노폴리실록산의 불소를 포함하는 측쇄가 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 분해된 것을 예시할 수 있다.The lyophilic region is a region with less fluorine content than the liquid repellent region. For example, as shown in Figs. 1B, 5C, 5B, and 5C, fluorine is used in the irradiated portion of the wettability change layer 4 due to the action of a photocatalyst according to energy irradiation. Wetting property changes so that the side chain containing the fluorine of the organopolysiloxane containing may decompose | disassemble, and fluorine content will fall and a contact angle with a liquid may fall. Thus, as polysiloxane which comprises a lyophilic region, the side chain containing the fluorine of the organopolysiloxane containing said fluorine was decomposed by the action of the photocatalyst by energy irradiation.

또한, 친액성 영역은 발액성 영역과 마찬가지로, 상기 폴리실록산과 함께 디메틸폴리실록산과 같은 가교 반응하지 않는 안정적인 오르가노 실리콘 화합물을 함유할 수도 있다.In addition, the lyophilic region may contain a stable organosilicon compound that does not undergo a crosslinking reaction such as dimethylpolysiloxane together with the polysiloxane, similarly to the liquid repellent region.

또한, 발액성 영역 및 친액성 영역은, 상술한 불소를 함유하는 오르가노폴리실록산이나 폴리실록산 이외에, 예를 들면 일본 특허 공개 제2000-249821호 공보에 기재되어 있는 것과 동일한 계면활성제나 첨가제 등을 함유할 수도 있다.In addition, the liquid-repellent region and the lyophilic region may contain, in addition to the organopolysiloxane and polysiloxane containing fluorine described above, for example, the same surfactants and additives as those described in JP-A-2000-249821. It may be.

발액성 영역 및 친액성 영역의 형성 위치는, 발액성 영역이 제1 전극층의 패턴의 개구부 위에 배치되고, 친액성 영역이 제1 전극층의 패턴 위에 배치될 수 있다.The position where the liquid repellent region and the lyophilic region are formed may be such that the liquid repellent region is disposed over the opening of the pattern of the first electrode layer, and the lyophilic region may be disposed over the pattern of the first electrode layer.

또한, 발액성 영역 및 친액성 영역의 패턴 형상으로서는, 제1 전극층의 패턴 형상에 따라 적절하게 선택된다. 예를 들면, 제1 전극층이 스트라이프상으로 형성되어 있는 경우, 이 제1 전극층의 스트라이프 패턴에 대응하여 친액성 영역도 스트라이프상으로 형성된다. 또한, 예를 들면, 화소에 대응하여 제1 전극층이 모자이크상으로 형성되어 있는 경우, 친액성 영역은 스트라이프상으로 형성될 수도 있고, 모자이크상으로 형성될 수도 있다. 어떠한 경우에도, 습윤성 변화층 표면에 있어서 친액성 영역 이외의 영역은 발액성 영역이 된다.In addition, as a pattern shape of a liquid repellent region and a lyophilic region, it is suitably selected according to the pattern shape of a 1st electrode layer. For example, when the first electrode layer is formed in a stripe shape, the lyophilic region is also formed in a stripe shape corresponding to the stripe pattern of the first electrode layer. In addition, for example, when the first electrode layer is formed in a mosaic shape corresponding to the pixel, the lyophilic region may be formed in a stripe shape or may be formed in a mosaic shape. In any case, regions other than the lyophilic region on the surface of the wettability changing layer become liquid repellent regions.

습윤성 변화층은, 표면에 상술한 발액성 영역 및 친액성 영역을 포함하는 습윤성 변화 패턴을 갖는 것일 수 있다. 통상적으로 습윤성 변화층에 있어서, 표면의 친액성 영역 이외의 부분은 표면의 발액성 영역과 동일한 구성으로 되어 있다. 즉, 습윤성 변화층에 있어서, 표면의 친액성 영역 이외의 부분은 불소를 포함하는 오르가노폴리실록산을 함유하게 된다.The wettability changing layer may have a wettability change pattern including the liquid-repellent region and the lyophilic region described above on its surface. Usually, in the wettability changing layer, portions other than the lyophilic region of the surface have the same structure as the liquid-repellent region of the surface. That is, in the wettability changing layer, portions other than the hydrophilic region on the surface contain organopolysiloxane containing fluorine.

또한, 습윤성 변화층은 광 촉매를 함유할 수도 있고, 함유하지 않을 수도 있다. 광 촉매를 함유하는 습윤성 변화층은, "A. EL 소자의 제조 방법"의 제1 실시 양태에 있어서의 습윤성 변화층과 동일하다. 또한, 광 촉매를 함유하지 않는 습윤성 변화층은, "A. EL 소자의 제조 방법"의 제2 실시 양태에 있어서의 습윤성 변화층과 동일하다.In addition, the wettability changing layer may or may not contain a photocatalyst. The wettability changing layer containing a photocatalyst is the same as the wettability changing layer in 1st Embodiment of "A. EL element manufacturing method." In addition, the wettability change layer which does not contain a photocatalyst is the same as the wettability change layer in 2nd Embodiment of "A. EL element manufacturing method."

또한, 습윤성 변화층이 광 촉매를 함유하는 경우, 습윤성 변화층의 형성 방법 등에 대해서는 "A. EL 소자의 제조 방법"의 제1 실시 양태에 상세히 기재하였으며, 습윤성 변화층이 광 촉매를 함유하지 않는 경우, 습윤성 변화층의 형성 방법 등에 대해서는 "A. EL 소자의 제조 방법"의 제2 실시 양태에 상세히 기재하였기 때 문에 여기서의 설명은 생략한다.In addition, when the wettability change layer contains a photocatalyst, the formation method of the wettability change layer and the like are described in detail in the first embodiment of "A. EL device manufacturing method", and the wettability change layer does not contain the photocatalyst. In this case, the method of forming the wettability changing layer and the like are described in detail in the second embodiment of "A. EL device manufacturing method", and thus the description thereof is omitted.

또한, 습윤성 변화층의 막 두께 등에 대해서는, 상기 "A. EL 소자의 제조 방법"에 상세히 기재하였기 때문에 여기서의 설명은 생략한다.In addition, since the film thickness of a wettability change layer etc. were described in detail in the said "A. manufacturing method of an EL element", the description here is abbreviate | omitted.

2. 기타 층2. Other layers

본 발명에 있어서는, 제1 전극층과 발광층 사이에 정공 주입 수송층이 형성될 수 있다.In the present invention, a hole injection transport layer may be formed between the first electrode layer and the light emitting layer.

또한, 정공 주입 수송층이 정공 수송층인 경우에는, 정공 수송층과 발광층이 상분리될 수도 있다. 이에 따라, 발광 효율 및 수명 특성이 보다 향상되기 때문이다.In addition, when the hole injection transport layer is a hole transport layer, the hole transport layer and the light emitting layer may be phase separated. This is because the luminous efficiency and lifespan characteristics are further improved.

또한, 정공 주입 수송층 및 정공 수송층과 발광층이 상분리되어 있는 경우에 대해서는 상기 "A. EL 소자의 제조 방법"에 상세히 기재하였기 때문에 여기서의 설명은 생략한다.In addition, since the hole injection transport layer, the hole transport layer, and the light emitting layer are phase-separated, they are described in detail in "A. EL element manufacturing method", and thus the description thereof is omitted.

또한, 본 발명에 있어서는, 발광층과 제2 전극층 사이에 전자 주입 수송층이 형성될 수도 있다. 또한, 전자 주입 수송층에 대해서는, 상기 "A. EL 소자의 제조 방법"에 기재하였기 때문에 여기서의 설명은 생략한다.Further, in the present invention, an electron injection transport layer may be formed between the light emitting layer and the second electrode layer. In addition, since the electron injection transport layer was described in "A. EL element manufacturing method", the description here is omitted.

또한, 기판 위의 제1 전극층의 패턴의 개구부에 절연층이 형성될 수도 있다. 또한, 절연층에 대해서는, 상기 "A. EL 소자의 제조 방법"에 기재하였기 때문에 여기서의 설명은 생략한다.In addition, an insulating layer may be formed in the opening of the pattern of the first electrode layer on the substrate. In addition, about the insulating layer, since it described in the "A. EL element manufacturing method", the description here is abbreviate | omitted.

또한, 본 발명은 상기 실시 형태로 한정되지 않는다. 상기 실시 형태는 예시이며, 본 발명의 특허 청구의 범위에 기재된 기술적 사상과 실질적으로 동일한 구성을 갖고, 동일한 작용 효과를 발휘하는 것은 어떠한 것이어도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.In addition, this invention is not limited to the said embodiment. The said embodiment is an illustration, Any thing which has a structure substantially the same as the technical idea described in the claim of this invention, and exhibits the same effect is included in the technical scope of this invention.

<실시예><Example>

이하, 본 발명에 대하여 실시예를 사용하여 구체적으로 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, this invention is demonstrated concretely using an Example.

[실시예 1]Example 1

(투명 전극의 형성)(Formation of the transparent electrode)

세정한 유리 기판 위에 투명 전극으로서 ITO막을 스퍼터링법에 의해 1500 Å의 막 두께로 성막하였다. 그 후, 라인폭 300 ㎛, 피치 100 ㎛가 되도록 포토리소그래피법에 의해 ITO막을 패터닝하였다.The ITO film | membrane was formed into a film thickness of 1500 kPa by the sputtering method on the cleaned glass substrate as a transparent electrode. Thereafter, the ITO film was patterned by the photolithography method so as to have a line width of 300 m and a pitch of 100 m.

(절연층의 형성)(Formation of insulating layer)

ITO막이 패턴상으로 형성된 기판에 네가티브형 레지스트(신닛테쯔 가가꾸사 제조, V259PA)를 건조 막 두께가 1 ㎛가 되도록 스핀 코팅법으로 도포한 후, 120 ℃에서 1 시간 동안 소성하였다. 그 후, ITO막이 없는 피치 부분을 중심으로 100 ㎛의 폭으로 포토마스크를 통해 365 ㎚의 UV광을 500 mJ의 노광량으로 노광하였다. 이때, 포토마스크와 기판을 1 ㎜의 갭을 두고 노광하였다. 이것을 유기 알칼리의 현상액(신닛테쯔 가가꾸사 제조, V259OD)으로 40초간 현상한 후, 160 ℃에서 1 시간 동안 소성함으로써 절연층을 형성하였다.A negative resist (V259PA manufactured by Shinnitetsu Chemical Co., Ltd., V259PA) was applied to the substrate on which the ITO film was formed in a pattern shape by spin coating so as to have a dry film thickness of 1 μm, and then fired at 120 ° C. for 1 hour. Thereafter, 365 nm UV light was exposed at an exposure dose of 500 mJ through a photomask with a width of 100 μm around the pitch portion without the ITO film. At this time, the photomask and the substrate were exposed with a gap of 1 mm. This was developed for 40 seconds with an organic alkali developer (V259OD manufactured by Shinnitetsu Chemical Co., Ltd.), and then fired at 160 ° C. for 1 hour to form an insulating layer.

(습윤성 변화층의 형성)(Formation of the wettability changing layer)

하기의 성분을 혼합함으로써, 습윤성 변화층 형성용 도공액을 제조하였다.The coating liquid for wettability changing layer formation was manufactured by mixing the following components.

<습윤성 변화층 형성용 도공액의 조성><Composition of Coating Liquid for Forming Wetting Change Layer>

ㆍ이산화티탄졸액(이시하라 산교(주) 제조 STS-01) 3 중량부ㆍ 3 parts by weight of titanium dioxide sol liquid (STS-01 manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd.)

ㆍ테트라에톡시실란 1 중량부ㆍ 1 part by weight of tetraethoxysilane

ㆍ2규정의 염산 40 중량부ㆍ 40 parts by weight of hydrochloric acid according to 2 regulations

ㆍ이소프로필알코올 75 중량부ㆍ 75 parts by weight of isopropyl alcohol

ㆍ플루오로알콕시실란(토켐 프로덕츠(주) 제조 MF-160E) 7.5 중량부7.5 parts by weight of fluoroalkoxysilane (MF-160E manufactured by Tochem Products Co., Ltd.)

상기 기판 위에 이 습윤성 변화층 형성용 도공액을 스핀 코터로 도포하고, 150 ℃에서 10분간의 건조 처리를 행하여, 막 두께 60 ㎚의 투명한 습윤성 변화층을 형성하였다. 습윤성 변화층 위에 포토마스크를 통해 고압 수은등(254 ㎚, 365 ㎚)을 사용하여 70 mW/㎠의 조도로 50초간 광 조사하여, 친액성 영역 및 발액성 영역을 포함하는 습윤성 변화 패턴을 형성하였다.The coating liquid for wettability changing layer formation was apply | coated on the said board | substrate with a spin coater, and the drying process was performed at 150 degreeC for 10 minutes, and the transparent wettability changing layer with a film thickness of 60 nm was formed. The wetness change layer was irradiated with a high pressure mercury lamp (254 nm, 365 nm) for 50 seconds using a high pressure mercury lamp (254 nm, 365 nm) to form a wettability change pattern including a lyophilic region and a liquid-repellent region.

(발광층의 형성)(Formation of light emitting layer)

상기 친액성 영역 위에 적색 발광의 양자 도트의 분산액(에비던트 테크놀로지사 제조 메이플-레드 오렌지(Maple-Red Orange)), 녹색 발광의 양자 도트의 분산액(에비던트 테크놀로지사 제조 아디론댁 그린(Adirondack Green)), 청색 발광의 양자 도트의 분산액(에비던트 테크놀로지사 제조 레이크 플라시드 블루(Lake Placid Blue))을 각각 잉크젯법으로 도포하고, 80 ℃에서 30분간 건조시켜 3색의 발광층을 패턴상으로 형성하였다.A dispersion of red luminescent quantum dots (Maple-Red Orange, manufactured by Evidence Technology), and a dispersion of green luminescent quantum dots (Adirondack Green, manufactured by Evidence Technology, Inc.) on the lyophilic region. ) And a dispersion of blue colored quantum dots (Lake Placid Blue manufactured by Avid Technologies) were applied by inkjet method, and dried at 80 ° C. for 30 minutes to form three color light emitting layers in a pattern form. .

(전자 수송층의 형성)(Formation of the electron transport layer)

상기 발광층 위에 진공 증착법에 의해 TAZ를 20 ㎚ 형성하고, 이어서 Alq3을 20 ㎚ 형성하였다.20 nm of TAZ was formed by the vacuum evaporation method on the said light emitting layer, and 20 nm of Alq3 were formed subsequently.

(금속 전극의 형성)(Formation of metal electrodes)

그 후, 진공 증착에 의해 LiF막(막 두께 5 ㎚) 및 Al막(막 두께 1000 Å)을 마스크 증착법에 의해 형성하였다. 이때, ITO막의 패턴과 직교하도록 패턴상으로 LiF막 및 Al막을 형성하였다. 이상에 의해, EL 소자를 제조하였다.Thereafter, a LiF film (film thickness of 5 nm) and an Al film (film thickness of 1000 kPa) were formed by a vacuum deposition method by a mask vapor deposition method. At this time, a LiF film and an Al film were formed in a pattern so as to be orthogonal to the pattern of the ITO film. The EL element was manufactured by the above.

(평가)(evaluation)

ITO 전극 및 Al 전극은 단자를 구비하고 있으며, 이들을 전압원에 접속하였다. 5 V를 상회하는 전압을 인가한 바, 적색 발광층에서는 620 ㎚, 녹색 발광층에서는 520 ㎚, 청색 발광층에서는 490 ㎚에 피크를 갖는 발광이 얻어졌다. 이것은, TOPO로 보호된 각 색의 CdSe/ZnS 양자 도트의 포토 루미네센스 스펙트럼과 동일한 발광을 나타내고 있었다. 또한, 얻어진 EL 소자에서는 양호한 안정성, 효율 및 휘도가 얻어졌으며, 양호한 패터닝 적정을 확인하였다.The ITO electrode and the Al electrode were provided with terminals, and they were connected to the voltage source. When a voltage exceeding 5 V was applied, light emission with a peak at 620 nm in the red light emitting layer, 520 nm in the green light emitting layer, and 490 nm in the blue light emitting layer was obtained. This showed the same light emission as the photoluminescence spectrum of CdSe / ZnS quantum dots of each color protected by TOPO. In addition, in the obtained EL element, good stability, efficiency, and brightness were obtained, and good patterning titration was confirmed.

[실시예 2]Example 2

실시예 1에 있어서, 발광층을 다음과 같이 하여 형성한 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 EL 소자를 제조하였다.In Example 1, an EL device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the light emitting layer was formed as follows.

(발광층의 형성)(Formation of light emitting layer)

1. 적색 발광층 형성용 도공액의 제조1. Preparation of Coating Solution for Forming Red Light Emitting Layer

적색 발광의 양자 도트의 분산액(에비던트 테크놀로지사 제조 메이플-레드 오렌지)에 실란 커플링제를 첨가하고, 배위자를 치환하였다.A silane coupling agent was added to the dispersion of red luminescent quantum dots (Maple-Red Orange manufactured by Avid Technologies, Inc.), and the ligand was substituted.

구체적으로는, 우선 테트라메톡시실란(LS-540, 신에쯔 가가꾸 고교 제조) 5 g과, 페닐트리메톡시실란(LS-2750, 신에쯔 가가꾸 고교 제조) 1 g과, 0.01 N의 HCl 2 g을 실온에서 12 시간 동안 교반하여, 공중합 화합물(실란 커플링제)을 얻었다. 이 공중합 화합물에 톨루엔을 첨가하고 교반하여 용해시켜, 실란 커플링제의 10 중량% 톨루엔 용액을 얻었다.Specifically, first, 5 g of tetramethoxysilane (LS-540, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), 1 g of phenyltrimethoxysilane (LS-2750, manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), and 0.01 N 2 g of HCl was stirred at room temperature for 12 hours to obtain a copolymer compound (silane coupling agent). Toluene was added to this copolymerization compound, and it stirred and dissolved, and obtained the 10 weight% toluene solution of the silane coupling agent.

이어서, 아르곤 가스 분위기하에 상기 양자 도트의 분산액 1 g을 교반하면서, 실온(26 ℃)에서 상기 실란 커플링제의 10 중량% 톨루엔 용액 2 g을 적하하였다. 이 반응액을 12 시간 동안 교반한 후, 아르곤 가스 분위기로부터 대기 분위기로 변경하여, 증발 비산된 양의 톨루엔을 첨가한 후 에탄올을 8 g 적하하였다. 이어서, 원심 분리에 의해 침전물을 반응액으로부터 분리한 후, 하기에 나타낸 절차로 재침전에 의한 정제를 행하였다.Subsequently, 2 g of a 10 wt% toluene solution of the silane coupling agent was added dropwise at room temperature (26 ° C) while stirring 1 g of the dispersion solution of the quantum dots under argon gas atmosphere. After stirring this reaction liquid for 12 hours, it changed from argon gas atmosphere to atmospheric atmosphere, adds the amount of toluene evaporated and scattered, and 8g of ethanol was dripped. Subsequently, the precipitate was separated from the reaction solution by centrifugation, and then purified by reprecipitation by the procedure shown below.

즉, 침전물을 톨루엔 4 g과 혼합하여 분산액으로 하고, 이 분산액에 에탄올 10 g을 적하함으로써 정제된 침전물을 얻었다.That is, the precipitate was mixed with 4 g of toluene to obtain a dispersion, and purified precipitate was obtained by dropwise adding 10 g of ethanol to the dispersion.

이와 같이 하여 얻어진 재침전액을 원심 분리함으로써, 실란 커플링제로 보호된 양자 도트의 정제물을 얻었다.The purified product of the quantum dots protected by the silane coupling agent was obtained by centrifuging the reprecipitation liquid obtained in this way.

이어서, 상기 실란 커플링제로 보호된 양자 도트를 톨루엔에 분산시킨 적색 발광층 형성용 도공액을 제조하였다.Next, the coating liquid for red luminescent layer formation which disperse | distributed the quantum dot protected by the said silane coupling agent in toluene was prepared.

2. 녹색 발광층 형성용 도공액의 제조2. Preparation of Coating Solution for Forming Green Emitting Layer

녹색 발광의 양자 도트의 분산액(에비던트 테크놀로지사 제조 아디론댁 그린)을 사용하여, 상기한 적색 발광층 형성용 도공액의 제조와 동일하게 하여 녹색 발광층 형성용 도공액을 제조하였다.The coating liquid for green light emitting layer formation was produced like manufacture of the above-mentioned red light emitting layer formation coating liquid using the dispersion liquid of green luminescence quantum dot (adirondack green by Aviation Technology).

3. 청색 발광층 형성용 도공액의 제조3. Preparation of Coating Solution for Forming Blue Emitting Layer

청색 발광의 양자 도트의 분산액(에비던트 테크놀로지사 제조 레이크 플라시드 블루)을 사용하여, 상기한 적색 발광층 형성용 도공액의 제조와 동일하게 하여 청색 발광층 형성용 도공액을 제조하였다.The coating liquid for blue light emitting layer formation was produced like manufacture of the above-mentioned coating liquid for red light emitting layer formation using the dispersion liquid of blue luminescence quantum dot (Lave Placid Blue by Aviation Technology).

4. 발광층의 형성4. Formation of light emitting layer

상기한 적색 발광층 형성용 도공액, 녹색 발광층 형성용 도공액, 청색 발광층 형성용 도공액을 각각 잉크젯법으로 도포하고, 100 ℃에서 30분간 건조시키고, 경화시켜 3색의 발광층을 패턴상으로 형성하였다.The above-mentioned coating solution for forming a red light-emitting layer, coating solution for forming a green light-emitting layer, and coating solution for forming a blue light-emitting layer were applied by an inkjet method, dried at 100 ° C. for 30 minutes, and cured to form three light-emitting layers in a pattern form. .

(평가)(evaluation)

ITO 전극 및 Al 전극은 단자를 구비하고 있으며, 이들을 전압원에 접속하였다. 4 V를 상회하는 전압을 인가한 바, 적색 발광층에서는 620 ㎚, 녹색 발광층에서는 520 ㎚, 청색 발광층에서는 490 ㎚에 피크를 갖는 발광이 얻어졌다. 이것은, TOPO로 보호된 각 색의 CdSe/ZnS 양자 도트의 포토 루미네센스 스펙트럼과 동일한 발광을 나타내고 있었다. 또한, 얻어진 EL 소자에서는 양호한 안정성, 효율 및 휘도가 얻어졌으며, 양호한 패터닝 적정을 확인하였다.The ITO electrode and the Al electrode were provided with terminals, and they were connected to the voltage source. When a voltage exceeding 4 V was applied, light emission with a peak at 620 nm in the red light emitting layer, 520 nm in the green light emitting layer, and 490 nm in the blue light emitting layer was obtained. This showed the same light emission as the photoluminescence spectrum of CdSe / ZnS quantum dots of each color protected by TOPO. In addition, in the obtained EL element, good stability, efficiency, and brightness were obtained, and good patterning titration was confirmed.

[실시예 3]Example 3

(절연층의 형성)(Formation of insulating layer)

우선, 유리 기판 위에 제1 전극층으로서 ITO막이 선폭 80 ㎛, 스페이스폭 20 ㎛, 피치 100 ㎛로 패터닝된 기판을 준비하였다.First, a substrate on which a ITO film was patterned on a glass substrate with a line width of 80 μm, a space width of 20 μm, and a pitch of 100 μm was prepared.

이어서, 포지티브형 감광성 재료(OFPR-800, 도꾜 오까사 제조)를 기판 전면에 스핀 코팅법에 의해 막 두께가 1.5 ㎛가 되도록 도포하여, 절연막을 형성하였 다. 이어서, ITO막의 패턴에 맞추어 차광부의 개구부가 횡폭 70 ㎛, 종폭 70 ㎛의 직사각형이 되도록 설계된 포토마스크를 사용하여 노광을 행하고, 알칼리 현상액(NMD-3, 도꾜 오까사 제조)에 의해 현상을 행하였다. 이어서, 250 ℃에서 30분간의 가열 경화 처리를 행하여, 절연층으로 하였다.Subsequently, a positive photosensitive material (OFPR-800, manufactured by TOKYO Corporation) was applied to the entire surface of the substrate by a spin coating method so as to have a film thickness of 1.5 mu m to form an insulating film. Subsequently, exposure is performed using a photomask designed so that the opening of the light shielding portion is a rectangle having a width of 70 μm and a width of 70 μm in accordance with the pattern of the ITO film, followed by development with an alkaline developer (NMD-3, manufactured by Toh-Oh Ko Corporation). It was. Subsequently, the heat-hardening process for 30 minutes was performed at 250 degreeC, and it was set as the insulating layer.

(습윤성 변화층의 형성)(Formation of the wettability changing layer)

이어서, 하기 조성의 습윤성 변화층 형성용 도공액을 제조하였다.Next, the coating liquid for wettability changing layer formation of the following composition was manufactured.

<습윤성 변화층 형성용 도공액의 조성><Composition of Coating Liquid for Forming Wetting Change Layer>

ㆍ오르가노알콕시실란(GE 도시바 실리콘(주) 제조, TSL8113) 0.4 질량부ㆍ 0.4 parts by mass of organoalkoxysilane (GE Toshiba Silicone Co., Ltd., TSL8113)

ㆍ플루오로알킬실란(GE 도시바 실리콘(주) 제조, TSL8233) 0.3 질량부0.3 parts by mass of fluoroalkylsilane (GE Toshiba Silicone Co., Ltd., TSL8233)

ㆍ이소프로필알코올 480 질량부ㆍ 480 parts by mass of isopropyl alcohol

이 습윤성 변화층 형성용 도공액을 스핀 코팅법에 의해 상기 기판 위에 도포하고, 150 ℃에서 10분간의 가열ㆍ건조 처리를 실시하여 가수분해ㆍ중축합 반응을 진행하여 경화시켜, 막 두께 10 ㎚의 습윤성 변화층을 형성하였다.This wettability-forming layer-forming coating solution was applied onto the substrate by spin coating, subjected to heating and drying treatment at 150 ° C. for 10 minutes to proceed with hydrolysis and polycondensation reactions, and cured to have a film thickness of 10 nm. A wettability varying layer was formed.

(광 촉매 처리층 기판의 제조)(Production of Photocatalyst Treatment Layer Substrate)

이어서, ITO막의 패턴에 맞추어 차광부의 개구부가 횡폭 85 ㎛, 종폭 85 ㎛ 의 직사각형이 되도록 설계된 포토마스크를 준비하였다. 이 포토마스크 위에 하기 조성의 광 촉매 처리층 형성용 도공액을 스핀 코터에 의해 도포하고, 150 ℃에서 10분간의 가열ㆍ건조 처리를 실시하고, 가수분해ㆍ중축합 반응을 진행하여 경화시켜, 광 촉매가 오르가노실록산 중에 강고하게 고정된 막 두께 2000 Å의 투명한 광 촉매 처리층을 형성하였다.Next, a photomask designed to have a rectangular opening having a width of 85 µm and a width of 85 µm in length was prepared in accordance with the pattern of the ITO film. The coating liquid for photocatalyst treatment layer formation of the following composition is apply | coated on this photomask by a spin coater, it heat-drys for 10 minutes at 150 degreeC, hydrolyzes and polycondensation reaction, it advances and hardens, The catalyst formed a transparent photocatalytic treatment layer with a film thickness of 2000 Pa, which was firmly fixed in the organosiloxane.

<광 촉매 처리층 형성용 도공액의 조성><Composition of Coating Liquid for Forming Photocatalyst Treatment Layer>

ㆍ이산화티탄(이시하라 산교(주) 제조, ST-K01) 2 질량부ㆍ 2 parts by mass of titanium dioxide (manufactured by Ishihara Sangyo Co., Ltd., ST-K01)

ㆍ오르가노알콕시실란(GE 도시바 실리콘(주) 제조, TSL8113) 0.4 질량부ㆍ 0.4 parts by mass of organoalkoxysilane (GE Toshiba Silicone Co., Ltd., TSL8113)

ㆍ이소프로필알코올 3 질량부ㆍ Isopropyl Alcohol 3 parts by mass

(습윤성 변화 패턴의 형성)(Formation of wettability change pattern)

이어서, 광원으로서 고압 수은등을 갖고, 광 촉매 처리층 기판 및 상기 기판의 위치 조정 기구를 갖는 자외선 노광 장치에 의해 광 촉매 처리층 기판의 차광부의 개구부와 상기 기판의 ITO막의 패턴이 대향하도록, 광 촉매 처리층 기판 및 상기 기판의 위치를 조정하고, 광 촉매 처리층과 습윤성 변화층간의 거리가 20 ㎛가 되도록 조정한 후, 광 촉매 처리층 기판의 이면측으로부터 253 ㎚의 광 노광량이 200 mJ/㎠가 되도록 노광하였다.Subsequently, the light source has a high-pressure mercury lamp as a light source, and the photocatalyst layer substrate and the ultraviolet light exposure apparatus having the position adjusting mechanism of the substrate face each other so that the opening of the light shielding portion of the photocatalyst treatment layer substrate and the pattern of the ITO film of the substrate face each other. After adjusting the position of the catalyst treatment layer substrate and the substrate, and adjusting the distance between the photocatalyst treatment layer and the wettability changing layer to be 20 μm, the light exposure amount of 253 nm from the back side of the photocatalyst treatment layer substrate was 200 mJ / It exposed to 2 cm <2>.

습윤성 변화층의 노광 부분 및 미노광 부분의 액체와의 접촉각을 접촉각계(교와 가이멘 가가꾸사 제조)에 의해 측정하였다. 노광 부분(친액성 영역)에서는 톨루엔에 대하여 20° 미만이고, 미노광 부분(발액성 영역)에서는 톨루엔에 대하여 35° 이상이었다.The contact angle with the liquid of the exposed part and the unexposed part of a wettability change layer was measured by the contact angle meter (made by Kyowa Chemical Co., Ltd.). It was less than 20 degrees with respect to toluene in an exposed part (liquid lyophilic area | region), and 35 degrees or more with respect to toluene in an unexposed part (liquid-free area).

(발광층의 형성)(Formation of light emitting layer)

습윤성 변화층의 노광 부분인 친액성 영역 위에 실시예 2에서 사용한 청색 발광층 형성용 도공액, 녹색 발광층 형성용 도공액, 적색 발광층 형성용 도공액을 잉크젯법에 의해 도포하고, 대기 중에서 80 ℃에서 30분간 건조시켜, 3색의 발광층을 패턴상으로 형성하였다.The coating solution for forming a blue light emitting layer, the coating solution for forming a green light emitting layer, and the coating solution for forming a red light emitting layer, which were used in Example 2, were applied on the lyophilic region, which is the exposed portion of the wettability-changing layer, by an inkjet method, and at 30 ° C. in air. Drying was performed for three minutes to form three color light emitting layers.

(전자 수송층의 형성)(Formation of the electron transport layer)

상기 발광층 위에 진공 증착법에 의해 TAZ를 20 ㎚ 형성하고, 이어서 Alq3을 20 ㎚ 형성하였다.20 nm of TAZ was formed by the vacuum evaporation method on the said light emitting layer, and 20 nm of Alq3 were formed subsequently.

(금속 전극의 형성)(Formation of metal electrodes)

그 후, 진공 증착에 의해 LiF막(막 두께 5 ㎚) 및 Al막(막 두께 1000 Å)을 마스크 증착법에 의해 형성하였다. 이때, ITO막의 패턴과 직교하도록 패턴상으로 LiF막 및 Al막을 형성하였다. 이상에 의해, EL 소자를 제조하였다.Thereafter, a LiF film (film thickness of 5 nm) and an Al film (film thickness of 1000 kPa) were formed by a vacuum deposition method by a mask vapor deposition method. At this time, a LiF film and an Al film were formed in a pattern so as to be orthogonal to the pattern of the ITO film. The EL element was manufactured by the above.

(평가)(evaluation)

ITO 전극 및 Al 전극은 단자를 구비하고 있으며, 이들을 전압원에 접속하였다. 5 V를 상회하는 전압을 인가한 바, 적색 발광층에서는 620 ㎚, 녹색 발광층에서는 520 ㎚, 청색 발광층에서는 490 ㎚에 각각 피크를 갖는 발광이 얻어졌다. 이것은, TOPO로 보호된 각 색의 CdSe/ZnS 양자 도트의 포토 루미네센스 스펙트럼과 동일한 발광을 나타내고 있었다. 또한, 얻어진 EL 소자에서는 양호한 안정성, 효율 및 휘도가 얻어졌으며, 양호한 패터닝 적정을 확인하였다.The ITO electrode and the Al electrode were provided with terminals, and they were connected to the voltage source. When a voltage exceeding 5 V was applied, light emission with a peak at 620 nm in the red light emitting layer, 520 nm in the green light emitting layer, and 490 nm in the blue light emitting layer was obtained. This showed the same light emission as the photoluminescence spectrum of CdSe / ZnS quantum dots of each color protected by TOPO. In addition, in the obtained EL element, good stability, efficiency, and brightness were obtained, and good patterning titration was confirmed.

[실시예 4]Example 4

실시예 3에 있어서, 발광층의 형성 전에 습윤성 변화층의 노광 부분인 친액성 영역 위에 정공 주입층을 형성한 것 이외에는, 실시예 3과 동일하게 하여 EL 소자를 제조하였다.In Example 3, an EL device was manufactured in the same manner as in Example 3, except that the hole injection layer was formed on the lyophilic region that is the exposed portion of the wettability-changing layer before the light emitting layer was formed.

(정공 주입층의 형성)(Formation of Hole Injection Layer)

이어서, 폴리(3,4-알켄디옥시티오펜)과 폴리스티렌술폰산의 염(PEDOT/PSS)의 수분산체(베이트론(Baytron) P CH-8000, 스탈크사 제조)를 이소프로필알코올로 희석하여, 정공 주입층 형성용 도공액을 제조하였다. 이 정공 주입층 형성용 도공액의 점도 및 표면 장력을 측정한 바, 점도가 7 mPaㆍs, 표면 장력이 37 dyn/㎝였다. 습윤성 변화층의 노광 부분인 친액성 영역 위에 정공 주입층 형성용 도공액을 잉크젯법에 의해 건조 후의 막 두께가 80 ㎚가 되도록 도포하고, 대기 중에서 150 ℃에서 10분간 건조시켜 정공 주입층을 형성하였다.Subsequently, an aqueous dispersion of poly (3,4-alkenedioxythiophene) and a salt of polystyrenesulfonic acid (PEDOT / PSS) (Baytron P CH-8000, manufactured by Stalk) is diluted with isopropyl alcohol, A coating liquid for forming a hole injection layer was prepared. The viscosity and surface tension of the coating liquid for hole injection layer formation were measured, and the viscosity was 7 mPa * s and surface tension was 37 dyn / cm. The coating liquid for forming a hole injection layer was applied on the lyophilic region, which is an exposed portion of the wettability changing layer, by an inkjet method so that the film thickness after drying was 80 nm, and dried at 150 ° C. for 10 minutes in air to form a hole injection layer. .

(평가)(evaluation)

ITO 전극 및 Al 전극은 단자를 구비하고 있으며, 이들을 전압원에 접속하였다. 4 V를 상회하는 전압을 인가한 바, 적색 발광층에서는 620 ㎚, 녹색 발광층에서는 520 ㎚, 청색 발광층에서는 490 ㎚에 각각 피크를 갖는 발광이 얻어졌다. 이것은, TOPO로 보호된 각 색의 CdSe/ZnS 양자 도트의 포토 루미네센스 스펙트럼과 동일한 발광을 나타내고 있었다. 또한, 얻어진 EL 소자에서는 양호한 안정성, 효율 및 휘도가 얻어졌으며, 양호한 패터닝 적정을 확인하였다.The ITO electrode and the Al electrode were provided with terminals, and they were connected to the voltage source. When a voltage exceeding 4 V was applied, light emission with a peak at 620 nm in the red light emitting layer, 520 nm in the green light emitting layer, and 490 nm in the blue light emitting layer was obtained. This showed the same light emission as the photoluminescence spectrum of CdSe / ZnS quantum dots of each color protected by TOPO. In addition, in the obtained EL element, good stability, efficiency, and brightness were obtained, and good patterning titration was confirmed.

[실시예 5]Example 5

실시예 3에 있어서 발광층을 다음과 같이 하여 형성하고, 전자 수송층을 형성하지 않은 것 이외에는, 실시예 3과 동일하게 하여 EL 소자를 제조하였다.An EL device was fabricated in the same manner as in Example 3 except that the light emitting layer was formed as follows in Example 3, and the electron transporting layer was not formed.

(발광층의 형성)(Formation of light emitting layer)

1. 적색 발광층 형성용 도공액의 제조1. Preparation of Coating Solution for Forming Red Light Emitting Layer

상기 실시예 2에 있어서 적색 발광의 양자 도트의 분산액(에비던트 테크놀로지사 제조 메이플-레드 오렌지)을 사용하여 제조된 실란 커플링제로 보호된 양자 도트와, 트리아졸(전자 수송 재료)과, TPD(정공 수송 재료)를 톨루엔에 분산시킨 적색 발광층 형성용 도공액을 제조하였다. 이때, 각 재료의 혼합비를 실란 커플링제로 보호된 양자 도트 40 질량부, 트리아졸 30 질량부, TPD 30 질량부로 하였다.In Example 2, a quantum dot protected with a silane coupling agent manufactured using a dispersion of red luminescent quantum dots (Maple-Red Orange, manufactured by Avid Technologies, Inc.), triazole (electron transport material), and TPD ( A coating solution for forming a red light emitting layer in which a hole transport material) was dispersed in toluene was prepared. At this time, the mixing ratio of each material was 40 mass parts of quantum dots, 30 mass parts of triazoles, and 30 mass parts of TPD which were protected by the silane coupling agent.

2. 녹색 발광층 형성용 도공액의 제조2. Preparation of Coating Solution for Forming Green Emitting Layer

상기 실시예 2에 있어서 녹색 발광의 양자 도트의 분산액(에비던트 테크놀로지사 제조 아디론댁 그린)을 사용하여 제조된 실란 커플링제로 보호된 양자 도트를 사용하고, 상기한 적색 발광층 형성용 도공액과 동일하게 하여, 녹색 발광층 형성용 도공액을 제조하였다.In Example 2, a quantum dot protected with a silane coupling agent manufactured using a dispersion of green luminescent quantum dots (Adiron Technology Green, manufactured by Avid Technologies, Inc.) was used, and was the same as the coating liquid for forming a red light-emitting layer. Thus, a coating solution for forming a green light emitting layer was prepared.

3. 청색 발광층 형성용 도공액의 제조3. Preparation of Coating Solution for Forming Blue Emitting Layer

상기 실시예 2에 있어서 청색 발광의 양자 도트의 분산액(에비던트 테크놀로지사 제조 레이크 플라시드 블루)을 사용하여 제조된 실란 커플링제로 보호된 양자 도트를 사용하고, 상기한 적색 발광층 형성용 도공액과 동일하게 하여, 청색 발광층 형성용 도공액을 제조하였다.In Example 2, a coating solution for forming a red light-emitting layer was formed by using a quantum dot protected by a silane coupling agent prepared using a dispersion of blue-emitting quantum dots (Lake Placid Blue manufactured by Avid Technology). In the same manner, a coating solution for forming a blue light emitting layer was prepared.

4. 발광층의 형성4. Formation of light emitting layer

습윤성 변화층의 노광 부분인 친액성 영역 위에 상기한 청색 발광층 형성용 도공액, 녹색 발광층 형성용 도공액, 적색 발광층 형성용 도공액을 잉크젯법에 의해 도포하고, 대기 중에서 80 ℃에서 30분간 건조시켜, 3색의 발광층을 패턴상으로 형성하였다.The above-described coating solution for forming a blue light emitting layer, coating solution for forming a green light emitting layer, and coating solution for forming a red light emitting layer on the lyophilic region, which is an exposed portion of the wettability changing layer, are applied by an inkjet method, and dried at 80 ° C. for 30 minutes in the air. , The light emitting layers of three colors were formed in a pattern shape.

(평가)(evaluation)

ITO 전극 및 Al 전극은 단자를 구비하고 있으며, 이들을 전압원에 접속하였 다. 6 V를 상회하는 전압을 인가한 바, 적색 발광층에서는 620 ㎚, 녹색 발광층에서는 520 ㎚, 청색 발광층에서는 490 ㎚에 각각 피크를 갖는 발광이 얻어졌다. 이것은, TOPO로 보호된 각 색의 CdSe/ZnS 양자 도트의 포토 루미네센스 스펙트럼과 동일한 발광을 나타내고 있었다. 또한, 얻어진 EL 소자에서는 양호한 안정성, 효율 및 휘도가 얻어졌으며, 양호한 패터닝 적정을 확인하였다.The ITO electrode and the Al electrode were provided with terminals, which were connected to a voltage source. When a voltage exceeding 6 V was applied, light emission with a peak at 620 nm in the red light emitting layer, 520 nm in the green light emitting layer, and 490 nm in the blue light emitting layer was obtained. This showed the same light emission as the photoluminescence spectrum of CdSe / ZnS quantum dots of each color protected by TOPO. In addition, in the obtained EL element, good stability, efficiency, and brightness were obtained, and good patterning titration was confirmed.

도 1(a)-(c)는, 본 발명의 EL 소자의 제조 방법의 일례를 나타내는 공정도이다.1 (a)-(c) are process charts showing an example of a method of manufacturing the EL device of the present invention.

도 2는, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트를 나타내는 모식도이다.2 is a schematic diagram illustrating quantum dots in which a ligand is disposed around.

도 3은, 본 발명의 EL 소자의 일례를 나타내는 개략 단면도이다.3 is a schematic cross-sectional view showing an example of the EL element of the present invention.

도 4는, 본 발명의 EL 소자에 있어서의 정공 수송층 및 발광층의 상분리를 설명하기 위한 모식도이다. 4 is a schematic view for explaining phase separation of the hole transport layer and the light emitting layer in the EL device of the present invention.

도 5(a)-(e)는, 본 발명의 EL 소자의 제조 방법의 다른 예를 나타내는 공정도이다.5 (a)-(e) are process charts showing another example of the method of manufacturing the EL device of the present invention.

도 6(a)-(b)는, 본 발명에 사용되는 광 촉매 처리층 기판의 일례를 나타내는 개략 단면도이다.6 (a)-(b) are schematic cross-sectional views showing an example of a photocatalyst treatment layer substrate used in the present invention.

도 7은, 본 발명에 사용되는 광 촉매 처리층 기판의 다른 예를 나타내는 개략 단면도이다.7 is a schematic cross-sectional view showing another example of the photocatalyst treatment layer substrate used in the present invention.

도 8은, 본 발명에 사용되는 광 촉매 처리층 기판의 다른 예를 나타내는 개략 단면도이다.8 is a schematic cross-sectional view showing another example of the photocatalyst treatment layer substrate used in the present invention.

Claims (15)

제1 전극층이 형성된 기판 위에, 광 촉매를 함유하고, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 습윤성 변화층을 형성하는 습윤성 변화층 형성 공정과, A wettability changing layer forming step of forming a wettability changing layer on the substrate on which the first electrode layer is formed, containing a photocatalyst and changing wettability by the action of the photocatalyst according to energy irradiation; 상기 습윤성 변화층에 패턴상으로 에너지 조사함으로써, 상기 습윤성 변화층 표면에 친액성 영역 및 발액성 영역을 포함하는 습윤성 변화 패턴을 형성하는 습윤성 변화 패턴 형성 공정과, A wettability change pattern forming step of forming a wettability change pattern including a lyophilic region and a liquid repellent region on the surface of the wettability change layer by irradiating the wettability change layer with a pattern shape; 습윤성 변화 패턴이 형성된 상기 습윤성 변화층 위에, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트를 함유하는 발광층 형성용 도공액을 도포하여, 상기 친액성 영역 위에 발광층을 형성하는 발광층 형성 공정A light emitting layer forming step of forming a light emitting layer on the lyophilic region by applying a coating solution for forming a light emitting layer containing quantum dots with ligands disposed around the wettability changing layer having a wettability changing pattern formed thereon. 을 갖는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조 방법.The manufacturing method of the electroluminescent element characterized by having. 제1 전극층이 형성된 기판 위에, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 습윤성 변화층을 형성하는 습윤성 변화층 형성 공정과, A wettability changing layer forming step of forming a wettability changing layer in which wettability is changed by the action of a photocatalyst according to energy irradiation, on a substrate having a first electrode layer formed thereon; 기체 위에 적어도 광 촉매를 함유하는 광 촉매 처리층이 형성되어 있는 광 촉매 처리층 기체를, 상기 습윤성 변화층에 대하여 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용이 미칠 수 있는 간극을 두고 배치한 후, 패턴상으로 에너지 조사함으로써, 상기 습윤성 변화층 표면에 친액성 영역 및 발액성 영역을 포함하는 습윤성 변화 패턴을 형성하는 습윤성 변화 패턴 형성 공정과, After arranging the photocatalyst treatment layer gas on which the photocatalyst treatment layer containing at least the photocatalyst is formed on the substrate with a gap in which the action of the photocatalyst due to energy irradiation can be applied to the wettability varying layer, A wettability change pattern forming step of forming a wettability change pattern including a lyophilic region and a liquid repellent region on the surface of the wettability changing layer by irradiating with energy; 습윤성 변화 패턴이 형성된 상기 습윤성 변화층 위에, 주위에 배위자가 배치된 양자 도트를 함유하는 발광층 형성용 도공액을 도포하여, 상기 친액성 영역 위에 발광층을 형성하는 발광층 형성 공정A light emitting layer forming step of forming a light emitting layer on the lyophilic region by applying a coating solution for forming a light emitting layer containing quantum dots with ligands disposed around the wettability changing layer having a wettability changing pattern formed thereon. 을 갖는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조 방법.The manufacturing method of the electroluminescent element characterized by having. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 배위자가 실란 커플링제인 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조 방법.The manufacturing method of the electroluminescent element of Claim 1 or 2 whose said ligand is a silane coupling agent. 제3항에 있어서, 상기 실란 커플링제가 YnSiX(4-n)(여기서, Y는 알킬기, 플루오로알킬기, 비닐기, 아미노기, 페닐기 또는 에폭시기를 나타내고, X는 알콕실기, 아세틸기 또는 할로겐을 나타내고, n은 0 내지 3의 정수임)으로 표시되는 규소 화합물인 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조 방법.The silane coupling agent of claim 3, wherein the silane coupling agent is YnSiX (4-n), wherein Y represents an alkyl group, a fluoroalkyl group, a vinyl group, an amino group, a phenyl group or an epoxy group, and X represents an alkoxyl group, an acetyl group or a halogen and n is an integer of 0 to 3). 제3항에 있어서, 상기 실란 커플링제가 YnSiX(4-n)(여기서, Y는 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 정공 수송성을 나타내는 관능기, 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 전자 수송성을 나타내는 관능기, 또는 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 정공 수송성 및 전자 수송성 모두를 나타낼 수 있는 관능기를 나타내고, X는 알콕실기, 아세틸기 또는 할로겐을 나타내고, n은 0 내지 3의 정수임)으로 표시되는 규소 화합물인 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조 방법.4. The method of claim 3, wherein the silane coupling agent is YnSiX (4-n), wherein Y represents electron transportability bonded through a functional group, direct, vinyl group or phenyl group, indicating hole transportability directly bonded through a vinyl group or a phenyl group. Silicon represented by a functional group or a functional group capable of exhibiting both hole transportability and electron transportability bonded directly through a vinyl group or a phenyl group, X represents an alkoxyl group, an acetyl group or a halogen, and n is an integer of 0 to 3). It is a compound, The manufacturing method of the electroluminescent element characterized by the above-mentioned. 제3항에 있어서, 상기 발광층 형성 공정에서 상기 발광층 형성용 도공액을 도포한 후, 경화시키는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조 방법.The manufacturing method of the electroluminescent element of Claim 3 which hardens | cures after apply | coating the said coating liquid for forming a light emitting layer in the said light emitting layer formation process. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 발광층 형성용 도공액이 정공 수송 재료 및 전자 수송 재료 중 적어도 어느 하나 이상을 더 함유하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조 방법.The method for manufacturing an electroluminescent element according to claim 1 or 2, wherein the coating liquid for forming the light emitting layer further contains at least one or more of a hole transport material and an electron transport material. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 양자 도트가 반도체 미립자를 포함하는 코어부와, 상기 코어부를 피복하고, 상기 반도체 미립자보다 밴드갭이 큰 재료를 포함하는 쉘부를 갖는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조 방법.The electroluminescence according to claim 1 or 2, wherein the quantum dot has a core portion containing semiconductor fine particles, and a shell portion covering the core portion and containing a material having a larger band gap than the semiconductor fine particles. Method of manufacturing the device. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 발광층 형성용 도공액의 도포 방법이 토출법을 포함하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조 방법.The manufacturing method of the electroluminescent element of Claim 1 or 2 in which the coating method of the coating liquid for light emitting layer formation includes a discharge method. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 습윤성 변화층이 YnSiX(4-n)(여기서, Y는 알킬기, 플루오로알킬기, 비닐기, 아미노기, 페닐기 또는 에폭시기를 나타내고, X는 알콕실기, 아세틸기 또는 할로겐을 나타내고, n은 0 내지 3의 정수임)으로 표시되는 규소 화합물 중 1종 또는 2종 이상의 가수분해 축합물 또는 공가수분해 축합물인 오르가노폴리실록산을 함유하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자의 제조 방법.The wettability changing layer according to claim 1 or 2, wherein the wettability changing layer is YnSiX (4-n), wherein Y represents an alkyl group, a fluoroalkyl group, a vinyl group, an amino group, a phenyl group or an epoxy group, and X represents an alkoxyl group, an acetyl group. Or halogen, and n is an integer of 0 to 3). The production of an electroluminescent device comprising organopolysiloxane which is one or two or more hydrolysis condensates or cohydrolysis condensates. Way. 기판과, Substrate, 상기 기판 위에 패턴상으로 형성된 제1 전극층과, A first electrode layer formed in a pattern on the substrate; 상기 제1 전극층 위에 형성되고, 에너지 조사에 따른 광 촉매의 작용에 의해 습윤성이 변화되는 것이며, 상기 제1 전극층의 패턴 위에 배치되고, 폴리실록산을 함유하는 친액성 영역 및 상기 제1 전극층의 패턴의 개구부에 대응하여 불소를 포함하는 오르가노폴리실록산을 함유하는 발액성 영역을 포함하는 습윤성 변화 패턴을 갖는 습윤성 변화층과, It is formed on the first electrode layer, the wettability is changed by the action of the photocatalyst according to the energy irradiation, disposed on the pattern of the first electrode layer, the lyophilic region containing polysiloxane and the opening of the pattern of the first electrode layer A wettability change layer having a wettability change pattern comprising a liquid-repellent region containing an organopolysiloxane containing fluorine corresponding thereto; 상기 습윤성 변화층의 친액성 영역 위에 형성된 발광층과, A light emitting layer formed on the lyophilic region of the wettability changing layer, 상기 발광층 위에 형성된 제2 전극층을 갖고, It has a second electrode layer formed on the light emitting layer, 상기 발광층에, 주위에 실란 커플링제가 배치된 양자 도트를 사용하는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자.The luminescent element uses the quantum dot arrange | positioned around the said light emitting layer, The electroluminescent element characterized by the above-mentioned. 제11항에 있어서, 상기 발광층이 상기 실란 커플링제의 가수분해 축합물을 함유하고, 경화된 것임을 특징으로 하는 전계 발광 소자.The electroluminescent device according to claim 11, wherein the light emitting layer contains a hydrolysis condensate of the silane coupling agent and is cured. 제12항에 있어서, 상기 실란 커플링제의 가수분해 축합물이 YnSiX(4-n)(여기서, Y는 알킬기, 플루오로알킬기, 비닐기, 아미노기, 페닐기 또는 에폭시기를 나타내고, X는 알콕실기, 아세틸기 또는 할로겐을 나타내고, n은 0 내지 3의 정수임)으로 표시되는 규소 화합물 중 1종 또는 2종 이상의 가수분해 축합물 또는 공가수분 해 축합물인 오르가노폴리실록산인 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자.13. The hydrolysis condensation product of claim 12, wherein the hydrolysis condensate of the silane coupling agent is YnSiX (4-n), wherein Y represents an alkyl group, a fluoroalkyl group, a vinyl group, an amino group, a phenyl group or an epoxy group, and X represents an alkoxyl group, acetyl And an organopolysiloxane which is one or two or more hydrolysis condensates or co-hydrolysis condensates among the silicon compounds represented by the group or halogen and n is an integer of 0 to 3). 제12항에 있어서, 상기 실란 커플링제의 가수분해 축합물이 YnSiX(4-n)(여기서, Y는 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 정공 수송성을 나타내는 관능기, 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 전자 수송성을 나타내는 관능기, 또는 직접, 비닐기 또는 페닐기를 통해 결합한 정공 수송성 및 전자 수송성 모두를 나타낼 수 있는 관능기를 나타내고, X는 알콕실기, 아세틸기 또는 할로겐을 나타내고, n은 0 내지 3의 정수임)으로 표시되는 규소 화합물 중 1종 또는 2종 이상의 가수분해 축합물 또는 공가수분해 축합물인 오르가노폴리실록산인 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자.The method according to claim 12, wherein the hydrolysis condensate of the silane coupling agent is YnSiX (4-n), wherein Y is directly through a functional group, a direct group, a vinyl group or a phenyl group which exhibits hole transporting properties through a vinyl group or a phenyl group. A functional group which shows the bonded electron transport property, or the functional group which can represent both the hole transport property and the electron transport property which were couple | bonded directly through the vinyl group or the phenyl group, X represents an alkoxyl group, an acetyl group, or a halogen, n is an integer of 0-3 An organopolysiloxane which is one or two or more hydrolysis condensates or cohydrolysis condensates of the silicon compound represented by the above. 제11항에 있어서, 상기 양자 도트가 반도체 미립자를 포함하는 코어부와, 상기 코어부를 피복하고, 상기 반도체 미립자보다 밴드갭이 큰 재료를 포함하는 쉘부를 갖는 것을 특징으로 하는 전계 발광 소자.The electroluminescent device according to claim 11, wherein the quantum dot has a core portion containing semiconductor fine particles, and a shell portion covering the core portion and containing a material having a larger band gap than the semiconductor fine particles.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160091075A (en) * 2015-01-23 2016-08-02 엘지디스플레이 주식회사 Organic electro-luminescent device and method of fabricating the same

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009087760A (en) * 2007-09-28 2009-04-23 Dainippon Printing Co Ltd Manufacturing method of electroluminescent element
JP2009087783A (en) 2007-09-28 2009-04-23 Dainippon Printing Co Ltd Electroluminescent element
CN101887946B (en) * 2009-05-14 2014-09-17 群创光电股份有限公司 Manufacturing method of organic electroluminescent device and its image display system
JP5531843B2 (en) 2009-07-31 2014-06-25 大日本印刷株式会社 Device material for hole injection transport layer, ink for forming hole injection transport layer, device having hole injection transport layer, and method for producing the same
JP5560996B2 (en) 2009-07-31 2014-07-30 大日本印刷株式会社 Device material for hole injection transport layer, ink for forming hole injection transport layer, device having hole injection transport layer, and method for producing the same
EP2495781B1 (en) * 2009-10-27 2018-12-05 Dai Nippon Printing Co., Ltd. Nanoparticle containing transition metal compound, ink for hole injection/transport layer, device having hole injection/transport layer, and method for producing same
KR101097319B1 (en) * 2009-11-30 2011-12-23 삼성모바일디스플레이주식회사 Method of manufacturing organic light emitting display apparatus and organic light emitting display apparatus
CN102907176B (en) 2010-05-24 2015-10-07 株式会社村田制作所 The manufacture method of light-emitting component, light-emitting component and display unit
TW201200975A (en) * 2010-06-17 2012-01-01 Du Pont Process and materials for making contained layers and devices made with same
CN102289107A (en) * 2011-07-01 2011-12-21 深圳市华星光电技术有限公司 Device and method for making pretilt angle of liquid crystal panel
US20130112942A1 (en) 2011-11-09 2013-05-09 Juanita Kurtin Composite having semiconductor structures embedded in a matrix
KR101894387B1 (en) * 2012-05-22 2018-09-04 해성디에스 주식회사 Printed circuit board and method thereof
KR101463602B1 (en) * 2012-07-03 2014-11-20 주식회사 엘엠에스 Encapsulated quantum dot and device using the same
JP6230974B2 (en) * 2013-08-26 2017-11-15 富士フイルム株式会社 Light conversion member, backlight unit, liquid crystal display device, and method of manufacturing light conversion member
CN103456604B (en) * 2013-09-12 2016-06-08 中国科学院微电子研究所 A kind of Method of processing a substrate that improves carbon back semiconductor devices mobility
CN103441223B (en) * 2013-09-12 2016-06-29 中国科学院微电子研究所 A kind of surface treatment method of controllable carbon-based semiconductors device carrier concentration
WO2015111365A1 (en) * 2014-01-23 2015-07-30 コニカミノルタ株式会社 Quantum dot material and electroluminescent element
US9651825B2 (en) * 2014-09-23 2017-05-16 Au Optronics Corporation Liquid crystal lens display device with light shield structure
CN105259696A (en) * 2015-11-16 2016-01-20 深圳市华星光电技术有限公司 Manufacturing method for color filter substrate
CN105278155B (en) * 2015-11-30 2018-06-01 深圳市华星光电技术有限公司 The production method of quantum dot color membrane substrates
CN105655457B (en) * 2016-01-06 2018-08-03 纳晶科技股份有限公司 Pixel limiting structure, pixel unit and display panel for QLED
CN105449111B (en) * 2016-01-08 2018-03-20 京东方科技集团股份有限公司 Light emitting diode with quantum dots substrate with binder course and preparation method thereof
JP2018107084A (en) * 2016-12-28 2018-07-05 株式会社半導体エネルギー研究所 Method for manufacturing light-emitting device
WO2018225782A1 (en) * 2017-06-08 2018-12-13 株式会社Dnpファインケミカル Curable composition containing quantum dots, cured material containing quantum dots, method for manufacturing optical member, and method for manufacturing display device
CN107799672B (en) 2017-10-30 2020-12-29 京东方科技集团股份有限公司 Quantum dot layer patterning method, quantum dot light-emitting device and manufacturing method thereof
CN109239967B (en) * 2018-10-29 2020-08-25 京东方科技集团股份有限公司 Preparation method of quantum dot color film, color film substrate, display panel and display device
CN109407413A (en) 2018-11-12 2019-03-01 惠科股份有限公司 A kind of display panel, display device and its production light shield
KR20200059723A (en) * 2018-11-21 2020-05-29 삼성전자주식회사 Electroluminescent device, and display device comprising thereof
CN109786431B (en) * 2019-02-25 2021-10-22 京东方科技集团股份有限公司 Display substrate, preparation method thereof and display device
CN110289363B (en) * 2019-06-28 2022-06-03 京东方科技集团股份有限公司 Method for patterning nanoparticle layer, quantum dot light-emitting device and display device
KR20210148546A (en) * 2020-05-29 2021-12-08 삼성디스플레이 주식회사 Hole transporting ink composition, light emitting device, and method for manufacturing the same
EP3940445A1 (en) * 2020-07-14 2022-01-19 Sony Group Corporation Film, illumination device, projector color wheel and method of manufacturing a film
CN113109974A (en) * 2021-03-25 2021-07-13 纳晶科技股份有限公司 Quantum dot device and preparation method thereof
WO2022224314A1 (en) * 2021-04-19 2022-10-27 シャープ株式会社 Method for producing display device, and display device

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6656608B1 (en) * 1998-12-25 2003-12-02 Konica Corporation Electroluminescent material, electroluminescent element and color conversion filter
KR20010085420A (en) * 2000-02-23 2001-09-07 기타지마 요시토시 Electroluminescence element and method manufacturing the same
JP2005502176A (en) * 2001-09-04 2005-01-20 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ Electroluminescent device with quantum dots
EP2902464B1 (en) * 2002-03-29 2019-09-18 Massachusetts Institute Of Technology Light emitting device including semiconductor nanocrystals
JP4217868B2 (en) * 2002-05-07 2009-02-04 大日本印刷株式会社 Electroluminescent device and manufacturing method thereof
US7361413B2 (en) * 2002-07-29 2008-04-22 Lumimove, Inc. Electroluminescent device and methods for its production and use
JP4306231B2 (en) * 2002-11-19 2009-07-29 カシオ計算機株式会社 Display device, display device manufacturing method, and manufacturing device
US20060170331A1 (en) * 2003-03-11 2006-08-03 Dietrich Bertram Electroluminescent device with quantum dots
US7405002B2 (en) * 2004-08-04 2008-07-29 Agency For Science, Technology And Research Coated water-soluble nanoparticles comprising semiconductor core and silica coating
JP2006310036A (en) * 2005-04-27 2006-11-09 Dainippon Printing Co Ltd Substrate for organic electroluminescent element
JP2008153159A (en) * 2006-12-20 2008-07-03 Dainippon Printing Co Ltd Organic electroluminescent element and manufacturing method therefor
KR101586673B1 (en) * 2006-12-22 2016-01-20 엘지디스플레이 주식회사 Organic light emitting display device and method for fabricating the same
JP2009087760A (en) * 2007-09-28 2009-04-23 Dainippon Printing Co Ltd Manufacturing method of electroluminescent element

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160091075A (en) * 2015-01-23 2016-08-02 엘지디스플레이 주식회사 Organic electro-luminescent device and method of fabricating the same

Also Published As

Publication number Publication date
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US20090085473A1 (en) 2009-04-02
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