KR20090018247A - Organic light emitting diode display device and method of manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 유기발광다이오드 표시장치에 관한 것으로, 구체적으로, 신뢰성을 확보하며, 토스트 불량을 개선할 수 있는 듀얼 패널 타입의 유기 전계 발광 표시 장치 및 이의 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
최근, 유기발광다이오드 표시장치는 자체발광형으로 액정표시장치와 같은 백라이트가 필요하지 않아 경량 박형이 가능할 뿐만 아니라, 단순한 공정을 거쳐 제조될 수 있어 가격 경쟁력을 키울 수 있다. 또한, 유기발광다이오드 표시장치는 저전압 구동, 높은 발광효율, 넓은 시야각을 가짐에 따라, 차세대 디스플레이로서 급상승하고 있다.Recently, the organic light emitting diode display is self-luminous and does not require a backlight, such as a liquid crystal display, so that it is not only light and thin, but also can be manufactured through a simple process, thereby increasing price competitiveness. In addition, organic light emitting diode display devices are rapidly rising as next generation displays due to low voltage driving, high luminous efficiency, and wide viewing angle.
유기발광다이오드 표시장치는 광을 발생하는 유기발광다이오드 소자와 상기 유기발광다이오드의 구동을 제어하는 구동소자, 예컨대 박막트랜지스터를 포함한다. 여기서, 구동소자는 유기발광다이오드 소자를 개별적으로 구동하므로 유기발광 다이오드 소자에 낮은 전류를 인가하더라도 유기발광다이오드 소자는 동일한 휘도를 나타낼 수 있다. 이로써, 유기발광다이오드 표시장치는 구동소자를 구비함으로써, 저소비 전력, 고정세, 대형화에 유리할 뿐만 아니라, 유기발광다이오드 표시장치의 수명을 향상시킬 수 있다.The organic light emitting diode display device includes an organic light emitting diode device for generating light and a driving device for controlling driving of the organic light emitting diode, for example, a thin film transistor. Here, since the driving device individually drives the organic light emitting diode device, the organic light emitting diode device may display the same luminance even when a low current is applied to the organic light emitting diode device. As a result, the organic light emitting diode display device includes a driving element, which is advantageous for low power consumption, high definition, and large size, and can improve the life of the organic light emitting diode display device.
이와 같은 유기발광다이오드 표시장치는 상기 유기발광층에서 제공된 광을 상기 구동소자가 형성된 기판을 통해 사용자에게 영상을 제공함에 따라 개구율이 감소되었다. 또한, 유기발광다이오드 표시장치는 하나의 기판에 구동소자와 유기발광다이오드 소자를 연속적으로 형성함에 따라, 유기발광다이오드 표시장치의 제조 공정시간이 길어지며, 공정 수율이 저하되는 문제점이 제기되었다.In the organic light emitting diode display as described above, the aperture ratio is reduced as the light provided from the organic light emitting layer is provided to the user through the substrate on which the driving device is formed. In addition, in the organic light emitting diode display device, as the driving device and the organic light emitting diode device are continuously formed on one substrate, the manufacturing process time of the organic light emitting diode display device is lengthened, and the process yield is raised.
이에 따라, 듀얼 패널 타입의 유기발광다이오드 표시장치에 대한 기술이 대두되었다. 듀얼 패널 타입의 유기발광다이오드 표시장치는 서로 이격된 제 1 및 제 2 기판을 포함한다. 여기서, 상기 제 1 기판에 구동소자가 형성되어 있으며, 상기 제 2 기판에는 유기발광다이오드 소자가 형성되어 있다. 이때, 서로 이격된 상기 구동소자와 상기 유기발광다이오드 소자는 서로 전기적으로 연결하며 제 1 및 제 2 기판을 합착되어 있다.Accordingly, a technology for an organic light emitting diode display device of a dual panel type has emerged. The dual panel type organic light emitting diode display includes first and second substrates spaced apart from each other. Here, a driving device is formed on the first substrate, and an organic light emitting diode device is formed on the second substrate. In this case, the driving device and the organic light emitting diode device spaced apart from each other are electrically connected to each other and the first and second substrates are bonded to each other.
이와 같은 듀얼 패널 타입의 유기발광다이오드 표시장치는 제 1 및 제 2 기판에 각각 구동소자와 유기발광다이오드를 각각 형성한 뒤, 상기 제 1 및 제 2 기판을 진공상태에서 서로 합착하여 제조될 수 있다. 이로써, 공정 수율을 향상시킬 수 있다.Such an organic light emitting diode display of the dual panel type may be manufactured by forming driving elements and organic light emitting diodes on the first and second substrates, respectively, and then bonding the first and second substrates together in a vacuum state. . Thereby, process yield can be improved.
그러나, 듀얼 패널 타입의 유기발광다이오드 표시장치는 상기 구동소자와 상 기 유기발광다이오드 소자의 접촉이 불안정하다는 문제점을 가진다. However, the dual panel type organic light emitting diode display has a problem in that the contact between the driving element and the organic light emitting diode element is unstable.
예를 들면, 상기 구동소자와 상기 유기발광다이오드 소자의 접촉 계면에서 산화막이 형성되어 듀얼 패널 타입의 유기발광다이오드 표시장치의 신뢰성이 저하되는 문제를 야기할 수 있다. For example, an oxide film is formed at a contact interface between the driving device and the organic light emitting diode device, which may cause a problem that the reliability of the dual panel type organic light emitting diode display device is degraded.
또한, 듀얼 패널 타입의 유기발광다이오드 표시장치는 그 내부에서 발생된 아웃게싱(outgassing) 또는 그의 내부로 침투한 수분 및 산소에 의해, 상기 제 1 및 제 2 기판간의 셀갭 증가가 외곽에서부터 중앙으로 점차적으로 발생하는 문제점을 가진다. 이로 인해, 구동소자와 유기발광다이오드 소자간의 전기적 접촉 불량이 외곽에서 중앙부로 점차적으로 진행하게 되고, 결국 듀얼 패널 타입의 유기발광다이오드 표시장치는 시간이 지날수록 외곽에서 중앙부로 점차적으로 점등이 되지 않는 토스트 불량이 발생하는 문제점을 가진다. 특히, 듀얼 패널 타입의 유기발광다이오드 표시장치의 구동시에 내부압의 증가로 인해 토스트 불량률은 증가하게 된다. 이와 같은, 토스트 불량은 휘도를 급격히 감소하고 전압 강하를 유도할 수 있다. 여기서, 전압 강화는 유기발광다이오드 소자에 공급되는 구동 전압을 감소시키게 되어, 결국 소비 전력을 증가시킬 수 있다.In addition, in the dual panel type organic light emitting diode display, the cell gap between the first and second substrates is gradually increased from the outside to the center by the outgassing generated therein or moisture and oxygen penetrated therein. It has a problem that occurs. As a result, poor electrical contact between the driving element and the organic light emitting diode device gradually progresses from the outer portion to the center portion, and as a result, the dual panel type organic light emitting diode display device does not gradually light up from the outer portion to the center portion over time. There is a problem that a bad toast occurs. In particular, when the dual panel type organic light emitting diode display is driven, the toast failure rate increases due to an increase in internal pressure. Such toast failures can drastically reduce brightness and lead to voltage drops. In this case, the voltage enhancement may reduce the driving voltage supplied to the organic light emitting diode device, thereby increasing power consumption.
따라서, 종래 공정 효율을 증가시킬 수 있는 듀얼 패널 타입의 유기발광다이오드 표시장치는 시간이 지남에 따라 유기발광다이오드 소자와 구동소자의 전기적 접촉이 불안정하여 신뢰성이 저하되거나 토스트 불량이 발생하는 문제를 가진다.Accordingly, the dual panel type organic light emitting diode display device which can increase the process efficiency of the related art has a problem in that electrical contact between the organic light emitting diode element and the driving element is unstable over time, resulting in a decrease in reliability or poor toast. .
본 발명의 하나의 과제는 유기발광다이오드 소자와 구동소자의 전기적 접촉을 안정화하여 신뢰성을 향상시키며 토스트 불량을 방지할 수 있는 유기발광다이오드 표시장치를 제공함에 있다.One object of the present invention is to provide an organic light emitting diode display that can improve reliability by preventing electrical contact between the organic light emitting diode device and the driving device and prevent toast failure.
본 발명의 다른 하나의 과제는 상기 유기발광다이오드 표시장치의 제조 방법을 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing the organic light emitting diode display.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명의 일 측면은 유기발광다이오드 표시장치를 제공한다. 상기 유기발광다이오드 표시장치는 제 1 기판상에 배치된 구동 소자, 상기 구동 소자를 포함하는 상기 제 1 기판상에 배치된 보호막, 상기 보호막상에 상기 구동 소자와 전기적으로 연결된 콘택 패턴, 상기 제 1 기판과 마주하는 제 2 기판의 내측면에 배치된 제 1 전극, 상기 제 1 전극상에 배치되며, 적어도 유기발광 패턴을 포함하는 유기층, 상기 유기층상에 배치된 제 2 전극, 및 상기 제 2 전극상에 배치되며, 상기 콘택 패턴과 전기적으로 접촉된 콘택부를 구비하는 제 3 전극을 포함한다.In order to achieve the above technical problem, an aspect of the present invention provides an organic light emitting diode display. The organic light emitting diode display may include a driving element disposed on a first substrate, a passivation layer disposed on the first substrate including the driving element, a contact pattern electrically connected to the driving element on the passivation layer, and the first pattern. A first electrode disposed on an inner surface of a second substrate facing the substrate, an organic layer disposed on the first electrode and including at least an organic light emitting pattern, a second electrode disposed on the organic layer, and the second electrode And a third electrode disposed on and having a contact portion in electrical contact with the contact pattern.
상기 기술적 과제를 이루기 위하여 본 발명의 다른 일 측면은 유기발광다이오드 표시장치의 제조 방법을 제공한다. 상기 제조 방법은 제 1 및 제 2 기판을 각각 제공하는 단계, 상기 제 1 기판상에 구동소자를 형성하는 단계, 상기 구동소자를 포함하는 상기 제 1 기판상에 보호막을 형성하는 단계, 상기 보호막상에 상기 구동소자와 전기적으로 연결된 콘택 패턴을 형성하는 단계, 상기 제 2 기판상에 제 1 전극을 형성하는 단계, 상기 제 1 전극상에 적어도 유기발광 패턴을 포함하는 유기층을 형성하는 단계, 상기 유기층상에 제 2 전극을 형성하는 단계, 상기 제 2 전극상에 돌출된 콘택부를 구비하는 제 3 전극을 형성하는 단계, 및 상기 콘택부와 상기 콘택 패턴을 서로 전기적으로 접촉시키며, 상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함한다.In order to achieve the above technical problem, another aspect of the present invention provides a method of manufacturing an organic light emitting diode display. The manufacturing method includes providing a first and a second substrate, respectively, forming a driving element on the first substrate, forming a protective film on the first substrate including the driving element, and forming the protective film. Forming a contact pattern electrically connected to the driving device at the first side, forming a first electrode on the second substrate, and forming an organic layer including at least an organic light emitting pattern on the first electrode Forming a second electrode on the layer, forming a third electrode having a contact portion protruding on the second electrode, and electrically contacting the contact portion and the contact pattern to each other; 2 bonding the substrate.
본 발명은 구동소자와 전기적으로 접촉하는 전극을 내식성이 강한 재질로 형성하여, 구동소자와 유기발광다이오드 소자간의 접촉 계면에서 산화물이 형성되는 것을 방지하여, 결국 완성된 유기발광다이오드 표시장치의 신뢰성을 확보할 수 있다.The present invention forms an electrode which is electrically in contact with the driving element by using a material having high corrosion resistance, thereby preventing the formation of oxide at the contact interface between the driving element and the organic light emitting diode element, thereby improving reliability of the completed organic light emitting diode display device. It can be secured.
또한, 구동소자와 유기발광다이오드 소자는 저융점 합금을 이용한 융착 공정을 통해 구동소자와 유기발광다이오드 소자를 전기적으로 접촉시킴에 따라, 토스트 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.In addition, the driving device and the organic light emitting diode device may be in contact with the driving device and the organic light emitting diode device through a fusion process using a low melting point alloy, it is possible to prevent the toast failure occurs.
또한, 저융점 합금을 이용한 구동소자와 유기발광다이오드 소자간의 접촉 계면에서 산화물이 형성되는 것을 지연시킬 수 있어, 신뢰성을 향상시킬 수 있다.In addition, oxide formation can be delayed at the contact interface between the driving element and the organic light emitting diode element using the low melting point alloy, thereby improving the reliability.
이하, 본 발명의 실시예들은 유기발광다이오드 표시장치의 도면을 참고하여 상세하게 설명한다. 다음에 소개되는 실시예들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되어지는 것이다. 따라서, 본 발명은 이하 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 그리고, 도면들에 있어서, 장치의 크기 및 두께 등은 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings of the organic light emitting diode display. The following embodiments are provided as examples to sufficiently convey the spirit of the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the invention is not limited to the embodiments described below and may be embodied in other forms. In the drawings, the size and thickness of the device may be exaggerated for convenience. Like numbers refer to like elements throughout.
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치를 설명하기 위해 도시한 도면들이다. 도 1a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 평면도이고, 도 1b는 도 1a에 도시된 I-I'선을 따라 절단한 단면도이다. 1A and 1B are diagrams illustrating an organic light emitting diode display device according to a first embodiment of the present invention. FIG. 1A is a plan view of an organic light emitting diode display according to a first exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1A.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 유기발광다이오드 표시장치는 서로 마주하며 일정 간격으로 이격된 제 1 및 제 2 기판(100, 200)을 포함한다. 상기 제 1 및 제 2 기판(100, 200)은 그 사이에 개재된 밀봉부재(미도시함)에 의해 합착되어 있다. 밀봉부재는 상기 제 1 및 제 2 기판(100, 200)사이의 이격 공간으로 수분 및 산소가 투과되는 것을 방지할 수 있다.1A and 1B, the organic light emitting diode display includes first and
상기 제 1 기판(100)은 다수개의 화소들이 정의되어 있으나, 설명의 편의상 도면에서 상기 다수의 화소들 중 하나의 화소만을 확대하여 도시하였다.Although the plurality of pixels are defined in the
상기 제 1 기판(100)상에 다수의 배선, 예컨대 게이트 배선(101), 데이터 배선(102) 및 전원배선(103)이 배치되어 있다. 상기 게이트 배선(101)과 상기 데이터 배선(102)은 서로 교차하여, 상기 화소를 정의할 수 있다. 상기 화소는 상기 게이 트 배선(101)과 상기 데이터 배선(102)의 배열 및 형태에 따라 다양한 형태로 배열될 수 있다. 예를 들어, 상기 게이트 배선(101)과 상기 데이터 배선(102)이 직교할 경우, 상기 각 화소는 사각 또는 직사각형의 형태를 가질 수 있다. A plurality of wirings, for example, a
이에 더하여, 상기 게이트 배선(101)과 상기 데이터 배선(102)은 그 사이에 개재된 게이트 절연막(미도시함)에 의해 서로 절연되어 있다. 또한, 상기 다수의 배선들의 각 끝단에 패드 전극(미도시함)이 배치되어 있다. 상기 패드 전극은 외부 구동회로부로부터 전기적 신호를 인가받아 상기 각 배선으로 제공한다. 또한, 상기 패드 전극을 덮는 패드 접촉 전극이 배치되어 있을 수 있다. 실질적으로, 외부 구동회로부는 패드 접촉 전극과 전기적으로 접촉하여 외부 구동회로부로부터 전기적 신호를 인가받는다.In addition, the
상기 각 화소에 상기 게이트 배선(101), 상기 데이터 배선(102) 및 상기 전원 배선(103)과 전기적으로 연결된 구동 소자(105)가 배치되어 있다. 상기 구동소자(105)는 상기 게이트 배선(101), 상기 데이터 배선(102) 및 상기 전원 배선(103)으로부터 인가된 전기적 신호에 의해 후술 될 유기발광다이오드 소자(E)를 구동한다. 상기 구동소자(105)는 선택 신호에 따라 각 화소를 선택하는 스위칭 박막트랜지스터와, 상기 스위칭 박막트랜지스터의 온/오프(On/Off)에 의해 조정된 전기적 신호, 예컨대 데이터 신호에 의해 유기발광다이오드 소자(E)에 구동하는 구동 박막트랜지스터와, 상기 전기적 신호를 일정 시간 유지하기 위한 캐패시터등을 포함할 수 있다. A
상기 다수의 배선 및 상기 구동소자(105)를 포함하는 상기 제 1 기판(100)상 에 보호막(120)이 배치되어 있다. 상기 보호막(120)은 유기 절연막 또는 무기절연막으로 형성할 수 있다. 상기 보호막(120)은 구동 소자(105)의 일부를 노출하는 콘택홀을 구비할 수 있다. 실질적으로,상기 콘택홀은 구동 박막트랜지스터(도면에는 도시하지 않음)에 구비되어 전기적 신호를 출력하는 드레인 전극의 일정 부분을 노출한다.The
상기 보호막(120) 상에 상기 콘택홀을 통해 상기 구동소자(105)와 전기적으로 연결된 콘택 패턴(130)이 배치되어 있다. 상기 콘택 패턴(130)이 부식되는 것을 방지하기 위해, 상기 콘택 패턴(130)은 내식성을 갖는 도전물질로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 상기 콘택 패턴(130)은 ITO 및 IZO 중 어느 하나로 형성되어 있을 수 있다. 이에 더하여, 상기 콘택 패턴(130)은 상기 패드부 접촉 전극과 동일한 재질로 형성하여 상기 패드 전극의 부식을 방지하여, 유기발광다이오드 표시장치의 신뢰성을 확보할 수 있다.A
한편, 상기 제 2 기판(200)은 상기 화소와 대응된 대향 화소가 정의되어 있다. 즉, 상기 대향 화소는 상기 제 2 기판(200)에 다수 개로 정의되어 있을 수 있다. On the other hand, in the
상기 대향 화소와 대응된 상기 제 1 기판(100)상에 배치된 상기 구동소자(105)와 전기적으로 연결된 유기발광다이오드 소자(E)가 배치되어 있다. 상기 화소에 배치된 상기 구동소자(105)와 상기 대향 화소에 배치된 유기발광다이오드 소자(E)를 서로 전기적으로 연결시키기 위해, 상기 화소와 상기 대향 화소는 적어도 일부가 중첩될 수 있다.The organic light emitting diode device E is electrically connected to the
상기 유기발광다이오드 소자(E)는 제 1 전극(210), 적어도 유기발광 패턴을 포함하는 유기층(220) 및 제 2 전극(230)을 포함한다. 자세하게, 상기 제 1 전극(210)은 다수의 대향 화소에 공통으로 배치될 수 있다. 상기 제 1 전극(210)은 투명하여 광을 투과한다. 상기 제 1 전극(210)은 ITO 및 IZO 중 어느 하나로 이루어져 있을 수 있다. 이로써, 상기 유기발광 패턴에서 발생된 광은 상기 제 1 전극(210) 및 상기 제 2 기판(200)을 투과하여, 사용자에게 영상을 제공한다. 이에 따라, 상기 광은 제 1 기판(100)에 배치된 상기 구동소자(105)의 영향을 받지 않고 제 2 기판(200)을 투과함에 따라 광 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 구동소자(105)는 상기 광 투과율을 고려하지 않고 자유롭게 다양한 크기 및 형태로 설계할 수 있다.The organic light emitting diode device E includes a
상기 유기발광 패턴은 상기 제 1 및 제 2 전극(210, 220)으로부터 각각 제 1 및 제 2 전하를 제공받아 특정한 파장의 광을 발생한다. 상기 유기발광 패턴은 각 대향 화소별로 분리되어 있을 수 있다. 이와 달리, 상기 유기발광 패턴은 서로 다른 색상을 구현하는 대향 화소별로 분리되어 있을 수도 있다.The organic light emitting pattern receives first and second charges from the first and
상기 유기층(220)은 상기 유기발광 패턴으로 제 1 및 제 2 전하를 원활하게 제공하기 위해, 제 1 전하주입층, 제 1 전하수송층, 제 1 전하 저지층, 제 2 전하수송층 및 제 2 전하주입층 중 적어도 어느 하나를 더 포함할 수 있다. 상기 제 1 전하주입층 및 제 1 전하수송층은 상기 제 1 전극(210)과 상기 유기발광 패턴사이에 개재될 수 있다. 상기 제 1 전하 저지층, 제 2 전하수송층 및 제 2 전하주입층은 상기 유기발광 패턴과 후술될 제 2 전극(230)사이에 개재될 수 있다.The
상기 제 2 전극(230)은 각 대향 화소별로 분리되어 있다. 상기 제 2 전극(230)은 상기 구동소자(105)와 전기적으로 연결된다. 상기 제 2 전극(230)은 상기 제 1 전극(210) 및 상기 제 2 기판(200)으로 광을 반사시켜, 광 투과율을 향상시킬 수 있다. 또한, 상기 제 2 전극(230)은 상기 유기발광 패턴으로 제 2 전하가 터널링(Tunneling), 즉 제 2 전하가 에너지 장벽을 넘어서기 위해, 상기 제 1 전극(210)에 비해 일함수가 작은 도전물질로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 전극(230)은 Al 및 Pb 중 어느 하나로 형성할 수 있다.The
이에 더하여, 상기 제 1 전극(210)과 상기 유기층(220) 사이에 세퍼레이터(215)가 개재되어 있다. 상기 세퍼레이터(215)는 단면으로 보았을 때, 역 사다리꼴 형상을 가질 수 있다. 이로써, 상기 세퍼레이터(215)는 상기 대향 화소의 주변을 따라 상기 제 1 전극(210)상에 배치되어, 상기 제 2 전극(230)을 각 대향 화소별로 분리한다. 도면에는 도시되지 않았으나, 상기 제 1 전극(210)과 상기 세퍼레이터(215) 사이에 버퍼 패턴이 더 배치될 수 있다. 버퍼 패턴은 상기 제 1 전극(210)과 상기 세퍼레이터(215) 간의 접착력을 향상시키며, 상기 제 1 전극(210)과 상기 제 2 전극(230)간의 쇼트 불량을 방지하는 역할을 한다.In addition, a
또한, 상기 제 1 전극(210)과 상기 유기층(220) 사이에 적어도 하나 이상의 돌기부재(205)가 배치되어 있다. 상기 돌기부재(205)는 상기 세퍼레이터(215)에 의해 정의된 영역, 예컨대 상기 대향 화소와 대응된 상기 제 1 전극(210)상에 배치된다. 상기 돌기부재(205)는 정사다리꼴 형상의 단면을 가진다. 이에 따라, 상기 돌기부재(205)는 상기 유기층(220) 및 상기 제 2 전극(230)의 단락 없이, 상기 유기 층(220) 및 상기 제 2 전극(230)의 일부를 돌출시킨다. 이로써, 상기 제 1 기판(100)과 상기 제 2 기판(200)이 합착될 경우, 상기 제 2 전극(230)의 돌출부와 상기 콘택 패턴(130)은 전기적으로 접촉하게 되고, 결국 상기 유기발광다이오드 소자(E)와 상기 구동 소자(105)는 서로 전기적으로 연결된다.In addition, at least one
그러나, 상기 제 2 전극(230)은 내부에 발생할 수 있는 아웃 개싱(outgassing) 또는 외부로부터 투입된 산소 및 수분에 의해 산화될 수 있다. 이에 따라, 상기 제 2 전극(230)과 상기 콘택 패턴(130)사이의 접촉 계면에서 산화막이 형성된다. 이로 인해, 구동소자(105)와 유기발광다이오드 소자(E)간의 콘택 저항이 증가하게 되어 신호 지연이 발생하게 되고, 결국 유기발광다이오드 표시장치의 신뢰성이 저하될 수 있다.However, the
이에 따라, 유기발광다이오드 소자(E)는 상기 제 2 전극(230)상에 배치되며, 상기 제 2 전극(230)에 비해 수분 및 산소에 대한 큰 내식성을 갖는 제 3 전극(240)을 더 포함할 수 있다. 상기 제 3 전극(240)은 상기 돌기부재(205)에 의해 일부가 돌출된 영역, 즉 콘택부(245)를 구비한다. 상기 콘택부(245)는 상기 콘택 패턴(130)과 접촉하여, 실질적으로 상기 구동소자(105)와 상기 유기발광다이오드 소자(E)를 전기적으로 연결시킨다. 또한, 상기 제 3 전극(240)은 상기 유기발광 패턴으로 제 1 전하를 제공하기 위해, 상기 제 1 전극(210)에 비해 일함수가 낮은 도전물질로 형성되어 있을 수 있다. 이로써, 상기 제 3 전극(240)을 형성하는 도전물질의 예로서는 Ag, Ti, V, W 및 Ta 중 어느 하나일 수 있다. Accordingly, the organic light emitting diode device E is disposed on the
상기 제 3 전극(240)은 상기 세퍼레이터(215)에 의해 각 대향 화소별로 분리 될 수 있다. 이에 따라, 상기 제 3 전극(240)은 상기 제 2 전극(230)과 대응된 면적을 가질 수 있다.The
따라서, 본 발명의 제 1 실시예에서 내식성을 갖는 상기 제 3 전극(240)을 더 구비하여, 상기 구동소자(105)와 상기 유기발광다이오드 소자(E)의 접촉 계면에서 산화막이 형성되어 콘택 저항이 증가하는 것을 방지할 수 있었다. 즉, 상기 구동소자(105)와 상기 유기발광다이오드 소자(E)의 전기적 접촉성을 안정화시킴에 따라, 유기발광다이오드 표시장치의 신뢰성을 향상시킬 수 있었다.Therefore, in the first embodiment of the present invention, further comprising the
도 2는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 단면도이다. 제 2 실시예에서 상기 제 3 전극의 콘택부를 제외하고 앞서 설명한 제 1 실시예의 유기발광다이오드 표시장치와 동일한 구성요소를 가진다. 따라서, 제 1 실시예와 반복되는 설명은 생략하기로 하며, 동일한 참조번호는 동일한 구성 요소를 지칭한다.2 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to a second exemplary embodiment of the present invention. The second embodiment has the same components as the organic light emitting diode display of the first embodiment described above except for the contact portion of the third electrode. Therefore, repeated description of the first embodiment will be omitted, and like reference numerals refer to like elements.
도 2를 참조하면, 유기발광다이오드 표시장치는 서로 마주하며 합착된 제 1 및 제 2 기판(100, 200)을 포함한다. 상기 제 1 기판(100)상에 구동 소자(105), 보호막(110) 및 콘택 패턴(130)이 배치되어 있으며, 상기 제 1 기판(100)과 마주하는 상기 제 2 기판(200)의 내측면에 제 1 전극(210), 적어도 유기발광 패턴을 포함하는 유기층(220), 제 2 전극(230) 및 제 3 전극(340)을 포함한다. 여기서, 상기 제 3 전극(340)은 콘택 패턴(130)과 전기적으로 접촉된 콘택부(345)를 포함한다.Referring to FIG. 2, the organic light emitting diode display includes first and
상기 콘택부(345)는 상기 콘택 패턴(130)에 융착되어 있다. 이로써, 시간이 지남에 따라 상기 제 1 및 제 2 기판(100, 200)간의 셀갭이 무너지게 되어, 제 3 전극(340) 및 콘택 패턴(130)의 접촉이 끊어져 발생하는 토스트 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.The
상기 제 3 전극(340)은 60℃ 내지 120℃ 범위의 저 융점을 갖는 도전물질을 포함한다. 여기서, 상기 융점이 60℃이상일 경우, 박막 형성이 어렵다. 또, 융점이 120℃를 초과할 경우, 제 3 전극(340)과 상기 콘택 패턴(130)을 융착시키기 위한 공정 온도가 상승하게 되어 유기발광다이오드 소자(E), 특히 유기발광 패턴이 변형되어 수명이 저하되거나 광 효율이 저하될 수 있다.The
또한, 상기 제 3 전극(340)이 단일 물질의 저 융점 금속으로 형성될 경우, 상기 제 3 전극(340)이 상기 제 2 전극(230)의 표면에서 자기 결집(self aggregation) 현상 및 응괴(conglomeration)현상이 발생할 수 있다. 이로써, 상기 제 3 전극(340)은 적어도 2 종이 혼합된 합금을 포함한다. 예를 들면, 상기 합금은 In, Sn 및 Bi 중 적어도 2 이상을 포함할 수 있다. In addition, when the
또한, 상기 제 3 전극(340)이 합금으로 형성되었을 지라도, 상기 제 3 전극(340)은 저융점을 가짐에 따라 외부 환경에 의해 자기 결집(self aggregation) 현상 및 응괴(conglomeration)현상이 발생할 수도 있다. 이에 따라, 상기 제 3 전극(340)은 단락될 수 있으나, 상기 제 3 전극(340)의 하부에 배치된 상기 제 2 전극(230)에 의해 상기 제 3 전극(340)의 단락을 보완해준다.In addition, even if the
상기 제 3 전극(340)을 이루는 합금은 다른 금속에 비해 수분 및 산소에 대한 내식성이 증가되므로 상기 콘택부(345)와 상기 콘택 패턴(130)사이의 접촉 계면 에서 산화막이 형성되는 것을 방지 및 지연시킬 수 있다.Since the alloy constituting the
따라서, 본 발명의 제 2 실시예에서는 상기 유기발광 패턴으로 제 2 전하를 제공하는 전극을 제 2 및 제 3 전극(230, 240)으로 형성하고, 상기 제 3 전극(340)은 상기 콘택 패턴(130)에 융착하여 구동소자(105)와 유기발광다이오드 소자(E)간의 접착력을 향상시켜 토스트 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.Accordingly, in the second embodiment of the present invention, the second and
이와 더불어 상기 제 3 전극(340)은 내식성을 갖는 합금으로 형성됨에 따라 상기 제 3 전극(340)과 상기 콘택 패턴(130)간의 접촉 계면에서 산화막이 형성되는 것을 지연 및 방지하여 유기발광다이오드 표시장치의 신뢰성이 저하되는 것을 방지할 수 있다.In addition, since the
도 3a 내지 도 3e들은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 제조 방법을 설명하기 위해 도시한 단면도들이다.3A to 3E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode display according to a third exemplary embodiment of the present invention.
도 3a를 참조하면, 유기발광다이오드 표시장치를 제조하기 위해, 먼저 제 1 기판(100)을 제공한다. 상기 제 1 기판(100)은 다수의 화소들이 정의되어 있다.Referring to FIG. 3A, in order to manufacture an organic light emitting diode display, first, a
상기 제 1 기판(100)상에 구동 소자(105)를 형성한다. 도면에는 도시되지 않았으나, 상기 구동소자(105)를 형성하는 공정에서 상기 제 1 기판(100)상에 다수의 배선, 예컨대 게이트 배선(도 1a에서 101), 데이터 배선(도 1a에서 102) 및 전원 배선(도 1a에서 103)이 더 형성될 수 있다.The
이후, 상기 구동소자(105)를 포함하는 상기 제 1 기판(100)상에 보호막(110)을 형성한다. 상기 보호막(110)은 무기 절연막으로 형성할 수 있다. 예를 들면, 상 기 무기절연막은 실리콘 산화막, 실리콘 질화막 및 이들의 적층막 중 어느 하나일 수 있다. 상기 보호막(110)을 형성하기 위해, 상기 구동소자(105)를 포함하는 상기 제 1 기판(100)상에 화학기상증착법을 통해 무기 절연막을 형성한다. 이후, 무기 절연막의 일부를 식각하여, 상기 구동 소자(105)의 일부를 노출하는 콘택홀을 형성한다. Thereafter, the
이후, 상기 보호막(100)상에 콘택홀을 통해 상기 구동소자(105)와 전기적으로 연결된 콘택 패턴(130)을 형성한다. 콘택 패턴(130)을 형성하기 위해, 먼저 상기 보호막(110)상에 도전막을 형성한다. 상기 도전막은 상기 구동소자(105)와 후술될 유기발광다이오드 소자(E)간의 전기적 접촉 계면에서 산화막이 형성되는 것을 방지하기 위해, 내식성을 갖는 도전물질로 형성할 수 있다. 예를 들면, 상기 도전막은 ITO 및 IZO 중 어느 하나로 형성할 수 있다. 이후, 상기 도전막을 각 화소별로 식각하여 상기 콘택 패턴(130)을 형성한다. Thereafter, a
도 3b를 참조하면, 제 2 기판(200)을 제공한다. 상기 제 2 기판(200)은 상기 화소와 대응된 대향 화소가 다수 개로 정의되어 있을 수 있다.Referring to FIG. 3B, a
상기 제 2 기판상에 제 1 전극(210)을 형성한다. 상기 제 1 전극(210)은 다수의 대향 화소에 공통으로 형성할 수 있다. 상기 제 1 전극(210)은 투명하여 광을 투과한다. 상기 제 1 전극(210)은 ITO 및 IZO 중 어느 하나로 형성할 수 있다. 상기 제 1 전극(210)은 스퍼터링법을 통해 형성할 수 있다.The
도 3c를 참조하면, 상기 각 대향 화소의 주변을 따라 상기 제 1 전극(210)상에 세퍼레이터(215)를 형성한다. 상기 세퍼레이터(215)는 역 사다리꼴 형상의 단면 을 가진다. Referring to FIG. 3C, a
또한, 상기 대향 화소의 상기 제 1 전극(210)상에 적어도 하나 이상의 돌기부재(205)를 형성한다. 상기 돌기부재(205)는 정 사다리꼴 형상을 단면을 가질 수 있다. 여기서, 상기 세퍼레이터(215)를 형성한 후, 상기 돌기부재(205)를 형성하는 것으로 설명하였으나, 돌기부재(205)를 형성한 후 상기 세퍼레이터(215)를 형성할 수도 있다.In addition, at least one
상기 세퍼레이터(215) 및 상기 돌기부재(205)는 유기 절연물질로부터 형성할 수 있다. The
이에 더하여, 상기 세퍼레이터(215)를 형성하기 전에 상기 각 대향 화소의 주변을 따라 버퍼 패턴(미도시함)을 더 형성할 수 있다. 버퍼 패턴은 실리콘 산화막 또는 실리콘 질화막 중 적어도 하나를 식각하여 형성할 수 있다.In addition, before the
도 3d를 참조하면, 상기 돌기부재(205) 및 상기 세퍼레이터(215)가 형성된 상기 제 1 기판상에 유기층(220)을 형성한다. 상기 유기층(220)은 적어도 각 대향 화소별로 패터닝된 유기발광 패턴을 포함한다. 이에 더하여, 상기 유기층(220)은 제 1 전하 주입층, 제 1 전하 수송층, 제 1 전하 억제층, 제 2 전하 수송층 및 제 2 전하 주입층 중 적어도 어느 하나를 더 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3D, an
상기 유기층(220)은 습식 공정 또는 진공 증착법을 통해 형성할 수 있다. 특히, 상기 유기발광 패턴은 쉐도우 마스크를 이용한 진공증착법 등을 통해 형성할 수 있다.The
이후, 상기 유기층(220)상에 제 2 전극(230)을 형성한다. 상기 제 2 전 극(230)은 진공증착법으로 도전물질을 증착하여 형성할 수 있다. 이때, 상기 도전물질은 상기 세퍼레이터(215)에 의해 각 대향 화소별로 자연적으로 분리되면서 상기 유기층(220)상에 증착되어, 상기 각 대향 화소별로 분리된 상기 제 2 전극(230)을 형성할 수 있다.Thereafter, the
이후, 상기 제 2 전극(230)상에 제 3 전극(240)을 형성한다. 상기 제 3 전극(240)은 상기 제 2 전극(230)에 비해 내식성이 큰 도전물질로부터 형성될 수 있다. 또한, 상기 제 3 전극(240)은 상기 제 1 전극(210)에 비해 일함수가 작은 도전물질로 형성될 수 있다. 예를 들면, 상기 제 3 전극(240)은 Ag, Ti, V, W 및 Ta 중 어느 하나로 형성할 수 있다. 상기 제 3 전극(240)은 진공 증착을 통해 형성할 수 있다. 이때, 상기 제 3 전극(240)은 상기 세퍼레이터(215)에 의해 각 대향화소별로 분리된다. 또한, 상기 제 3 전극(240)은 돌기부재(205)에 의해 돌출되어, 상기 돌기부재의 상부와 대응된 콘택부(245)를 포함한다.Thereafter, a
도 3e를 참조하면, 상기 콘택부(245)와 상기 콘택 패턴(130)을 서로 전기적으로 접촉시키며, 상기 제 1 및 제 2 기판(100, 200) 중 적어도 어느 하나의 외곽에 밀봉부재(미도시함)를 형성한 후 상기 제 1 및 제 2 기판(100, 200)을 합착시킨다. Referring to FIG. 3E, the
따라서, 본 발명의 실시예에서, 상기 제 3 전극(240)과 상기 콘택 패턴(130)을 각각 내식성이 큰 도전물질로 형성됨에 따라 상기 제 2 전극(230)의 표면이 산화되는 것은 물론, 상기 제 3 전극(240)의 콘택부(245)와 상기 콘택 패턴(130)의 접촉 계면에서 산화막이 형성되는 것을 방지할 수 있다. Therefore, in the embodiment of the present invention, as the
또한, 상기 제 3 전극(240)은 별도의 패터닝 공정, 예컨대 포토레지스트 형성, 마스크를 이용한 노광 공정, 식각공정 및 상기 포토레지스트의 제거 공정을 더 수행하지 않고, 상기 세퍼레이터(215)에 의해 각 대향 화소별로 식각함에 따라, 공정을 단순화시킬 수 있었다.In addition, the
도 4a 및 도 4b들은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다. 본 발명의 제 4 실시예는 앞서 설명한 제 3 전극을 형성하는 것을 제외하고 앞서 설명한 제 3 실시예와 동일한 제조 방법을 통해 형성할 수 있다. 따라서, 제 4 실시예에서 제 3 실시예와 반복되는 설명은 생략하여 기술하며, 동일한 참조번호는 동일한 구성요소를 지칭한다.4A and 4B are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode display according to a fourth embodiment of the present invention. The fourth embodiment of the present invention can be formed through the same manufacturing method as the above-described third embodiment except for forming the third electrode. Therefore, the description repeated from the third embodiment in the fourth embodiment will be omitted, and the same reference numerals refer to the same components.
도 4a를 참조하면, 유기발광다이오드 표시장치를 제조하기 위해, 제 1 및 제 2 기판(100, 200)을 각각 제공한다. 이후, 상기 제 1 기판(100)상에 구동소자(105), 보호막(110) 및 콘택 패턴(130)을 형성한다. 이와 별도로, 상기 제 2 기판(200)상에 제 1 전극(210), 적어도 유기발광 패턴을 포함하는 유기층(220), 제 2 전극(230) 및 돌출된 콘택부(345)를 구비하는 제 3 전극(340)을 형성한다. 이후, 상기 콘택부(345)와 상기 콘택 패턴(130)을 서로 전기적으로 접촉시키며, 상기 제 1 및 제 2 기판(100, 200)을 합착한다.Referring to FIG. 4A, first and
상기 제 3 전극(340)은 60℃ 내지 120℃의 범위를 갖는 저융점 합금을 포함할 수 있다. 상기 제 3 전극(340)은 In, Sn 및 Bi 중 적어도 2 이상을 공증착법으로 형성할 수 있다. 즉, 적어도 2 개의 도가니에 서로 다른 금속을 각각 충진한 다. 이후, 상기 적어도 2 개의 도가니를 동시에 가열하여 상기 적어도 2 개의 도가니에 각각 충진된 금속들을 동시에 상기 제 2 전극(230)상으로 증착시켜, 제 3 전극(340)을 형성할 수 있다. 이와 달리, 상기 제 3 전극(340)은 In, Sn 및 Bi 중 적어도 2 이상의 합금을 진공 증착법으로 형성할 수 있다. 즉, 하나의 도가니에 상기 합금을 충진한 후, 상기 도가니를 가열하여 상기 도가니에 충진된 합금을 상기 제 2 전극(230)상으로 증착시켜, 제 3 전극(340)을 형성할 수 있다.The
도 4b를 참조하면, 상기 제 1 및 제 2 기판(100, 200)을 합착한 후, 합착된 상기 제 1 및 제 2 기판(100, 200)을 열처리하여 상기 제 3 전극(340)의 콘택부(345)를 상기 콘택 패턴(130)에 융착한다. 열처리의 온도는 제 3 전극(340)의 융점 및 유기발광다이오드 소자(E)의 열화를 고려하여 80℃ 내지 120℃일 수 있다.Referring to FIG. 4B, after the first and
따라서, 본 발명의 제 4 실시예서, 제 3 전극(340)은 저융점 합금으로 형성한 후, 상기 제 3 전극(340)과 콘택 패턴(130)을 융착시켜, 구동소자(105)와 유기발광다이오드 소자(E)간의 접착력을 향상시켜, 토스트 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.Therefore, in the fourth embodiment of the present invention, the
또한, 제 3 전극(340)의 저융점 합금은 다른 단일 도전물질에 비해 아웃 갯싱, 산소 및 수분등에 의해 내식성이 크므로, 구동소자(105)와 유기발광다이오드 소자(E)의 접촉 계면에서 산화막이 형성되는 것을 지연시키거나 방지될 수 있다.In addition, since the low melting point alloy of the
이하, 종래의 유기발광다이오드 표시장치와 본 발명의 실시예에 의한 유기발광다이오드 표시장치의 전기적 접촉 특성을 비교하기 위해, 종래의 제 1 유기발광 다이오드 표시장치와 상술한 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 제 2, 제 3 및 제 4 유기발광다이오드 표시장치를 제조하였다.Hereinafter, in order to compare the electrical contact characteristics of the conventional organic light emitting diode display and the organic light emitting diode display according to the embodiment of the present invention, the first organic light emitting diode display and the embodiment of the present invention as described above. A second, third and fourth organic light emitting diode display according to the present invention was manufactured.
상기 제 1 유기발광다이오드 표시장치의 제 2 전극은 Al으로 형성하고, 콘택 패턴은 Mo으로 형성하였다. The second electrode of the first organic light emitting diode display device is formed of Al, and the contact pattern is formed of Mo.
상기 제 2 유기발광다이오드 표시장치는 제 2 전극상에 제 3 전극을 더 형성하고, 제 3 전극을 Ag로 형성하였고, 콘택 패턴은 ITO로 형성하는 것을 제외하고 제 1 유기발광다이오드 표시장치와 동일한 구성을 가진다. The second organic light emitting diode display device is the same as the first organic light emitting diode display device except that a third electrode is further formed on the second electrode, the third electrode is formed of Ag, and the contact pattern is formed of ITO. Has a configuration.
상기 제 3 유기발광다이오드 표시장치는 제 3 전극을 In:Sn 합금으로 형성하였고, 콘택 패턴은 ITO로 형성하는 것을 제외하고 제 2 유기발광다이오드 표시장치와 동일한 구성을 가진다.The third organic light emitting diode display device has the same configuration as the second organic light emitting diode display device except that the third electrode is formed of an In: Sn alloy, and the contact pattern is formed of ITO.
상기 제 4 유기발광다이오드 표시장치는 제 3 전극을 In:Bi 합금으로 형성하고, 콘택 패턴은 ITO로 형성하는 것을 제외하고 제 2 유기발광다이오드 표시장치와 동일한 구성을 가진다.The fourth organic light emitting diode display has the same structure as the second organic light emitting diode display except that the third electrode is formed of In: Bi alloy and the contact pattern is formed of ITO.
도 5는 제 1 내지 제 3 유기발광다이오드 표시장치의 고온-고습 시간에 따른 콘택 저항(Rc) 변화를 보여주는 그래프이다. 여기서, 제 1 유기발광다이오드 표시장치들을 상온, 80℃, 100℃, 및 120℃에서 각각 시간에 따른 콘택 저항(Rc) 변화를 측정하였다. 이때, 습도는 90%였다. 또한, 상기 콘택 저항(Rc) 변화는 제 1 유기발광다이오드 표시장치들에 구비된 다수의 배선들 중 수십 개를 선택하여 측정하고, 그 분산도를 상기 그래프에 도시하였다. 이와 동일한 방법으로 제 2 및 제 3 유기발광다이오드 표시장치의 콘택 저항(Rc) 변화를 측정하였다.FIG. 5 is a graph illustrating a change in contact resistance (Rc) according to a high temperature and high humidity time of the first to third organic light emitting diode display devices. Here, the change in contact resistance (Rc) with time was measured at room temperature, 80 ° C, 100 ° C, and 120 ° C of the first organic light emitting diode display devices, respectively. At this time, the humidity was 90%. In addition, the contact resistance (Rc) change is measured by selecting dozens of a plurality of wirings provided in the first organic light emitting diode display devices, the dispersion degree is shown in the graph. In the same manner, the change in contact resistance Rc of the second and third organic light emitting diode display devices was measured.
도 5에서와 같이, 제 1 내지 제 3 유기발광다이오드 표시장치(510, 520, 530)의 콘택 저항(Rc) 변화를 살펴보면, 고온-고습에서 콘택 저항(Rc) 변화량은 제 2 및 제 3 유기발광다이오드 표시장치(520, 530)에 비해 제 1 유기발광다이오드 표시장치(510)가 큰 것을 확인할 수 있다. 콘택 저항(Rc)의 급격한 변화는 구동소자와 유기발광다이오드 소자의 접촉 계면에서 모폴로지(morphology)가 변화되어 접촉 면적이 감소하거나, 접촉 계면에서 산화막이 형성되어 발생할 수 있다. 즉, 콘택 저항(Rc)의 급격한 변화는 구동소자와 유기발광다이오드 소자의 전기적 접촉이 불안정할 경우에 발생할 수 있다.As shown in FIG. 5, the change in contact resistance Rc of the first to third organic light emitting
따라서, 제 2 및 제 3 유기발광다이오드 표시장치(520, 530)는 제 1 유기발광다이오드 표시장치(510)에 비해 구동소자와 유기발광다이오드 소자의 전기적 접촉 특성이 더 안정적인 것을 확인할 수 있었다. 또한, 상기 제 3 유기발광다이오드 표시장치(530)에서와 같이, 상기 제 3 전극과 상기 콘택 패턴이 융착되어 있어도 실질적으로 전압 강하 및 유기발광다이오드 소자의 전류 흐름에 영향을 미치지 않은 것을 확인할 수 있었다.Accordingly, it was confirmed that the second and third organic light emitting
도 6은 제 1 내지 제 4 유기발광다이오드 표시장치들을 탈착한 후의 접촉 계면을 보여주는 주사전자 현미경의 사진들이다. 여기서, 제 1 유기발광다이오드 표시장치들을 60℃의 온도와 90%의 습도를 갖는 분위기에서 500시간 동안 방치한 후, 제 1 유기발광다이오드 표시장치에 열처리를 수행하였다. 이후, 제 1 유기발광다이오드 표시장치들의 제 1 및 제 2 기판을 탈착시킨 후 구동소자와 유기발광다이오드 소자간의 콘택 영역들을 각각 주사전자 현미경으로 관찰하였다. 이와 동일한 방법 으로 제 2 내지 제 4 유기발광다이오드 표시장치들에 각각 구비된 구동소자와 유기발광다이오드 소자간의 콘택 영역들을 각각 주사전자 현미경으로 관찰하였다.FIG. 6 is a photograph of a scanning electron microscope showing a contact interface after detaching the first to fourth organic light emitting diode display devices. Here, the first organic light emitting diode display devices were left for 500 hours in an atmosphere having a temperature of 60 ° C. and a humidity of 90%, and then heat-treated to the first organic light emitting diode display device. Subsequently, after removing the first and second substrates of the first organic light emitting diode display devices, contact regions between the driving device and the organic light emitting diode device were observed with a scanning electron microscope. In the same manner, contact regions between the driving elements and the organic light emitting diode elements respectively provided in the second to fourth organic light emitting diode display devices were observed with a scanning electron microscope.
도 6에서와 같이, 제 1 내지 제 4 유기발광다이오드 표시장치(510, 520, 530, 540)의 탈착된 후의 콘택 영역을 살펴보면, 제 1 및 제 2 유기발광다이오드 표시장치(510, 520)에서 콘택 패턴과 콘택부의 표면 변화를 관찰할 수 없었다. 그러나, 제 3 및 제 4 유기발광다이오드 표시장치(530, 540)는 콘택 패턴과 콘택부의 표면에서 융착되었다 떨어진 형상을 관찰할 수 있었다. 또한, 제 3 유기발광다이오드 표시장치(530)에서 열처리 온도를 증가할수록 융착 특성이 증가되는 것을 확인할 수 있었다.As shown in FIG. 6, when the contact regions of the first to fourth organic light emitting
따라서, 저융점 합금으로 제 3 전극을 구비함에 따라, 융착에 의해 유기발광다이오드 소자와 구동소자를 전기적으로 접촉시킬 수 있었다. 이에 따라, 유기발광다이오드 소자와 구동소자간의 전기적 및 물리적 접착력을 향상시킬 수 있으며, 이에 따라 토스트 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.Therefore, by providing the third electrode of the low melting point alloy, the organic light emitting diode element and the driving element could be electrically contacted by fusion. Accordingly, the electrical and physical adhesion between the organic light emitting diode device and the driving device can be improved, thereby preventing toast defects from occurring.
도 1a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 평면도이다. 1A is a plan view of an organic light emitting diode display according to a first exemplary embodiment of the present invention.
도 1b는 도 1a에 도시된 I-I'선을 따라 절단한 단면도이다. FIG. 1B is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1A.
도 2는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 단면도이다.2 is a cross-sectional view of an organic light emitting diode display according to a second exemplary embodiment of the present invention.
도 3a 내지 도 3e들은 본 발명의 제 3 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 제조 방법을 설명하기 위해 도시한 단면도들이다.3A to 3E are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode display according to a third exemplary embodiment of the present invention.
도 4a 및 도 4b들은 본 발명의 제 4 실시예에 따른 유기발광다이오드 표시장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도들이다.4A and 4B are cross-sectional views illustrating a method of manufacturing an organic light emitting diode display according to a fourth embodiment of the present invention.
도 5는 제 1 내지 제 3 유기발광다이오드 표시장치의 고온-고습 시간에 따른 콘택 저항(Rc) 변화를 보여주는 그래프이다.FIG. 5 is a graph illustrating a change in contact resistance (Rc) according to a high temperature and high humidity time of the first to third organic light emitting diode display devices.
도 6은 제 1 내지 제 4 유기발광다이오드 표시장치들을 탈착한 후의 접촉 계면을 보여주는 주사전자 현미경의 사진들이다.FIG. 6 is a photograph of a scanning electron microscope showing a contact interface after detaching the first to fourth organic light emitting diode display devices.
(도면의 주요 부분에 대한 참조 부호의 설명) (Explanation of reference numerals for the main parts of the drawings)
100 : 제 1 기판 105 : 구동소자100: first substrate 105: driving element
110 : 보호막 130 : 콘택 패턴110: protective film 130: contact pattern
200 : 제 2 기판 210 : 제 1 전극200: second substrate 210: first electrode
220 : 유기층 230 : 제 2 전극220: organic layer 230: second electrode
240, 340 : 제 3 전극 245, 345 : 콘택부240, 340:
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