KR20090017104A - Test mode entry circuit and semiconductor memory device using same - Google Patents

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Abstract

A test mode-entering circuit and a semiconductor memory device using the same are provided to reduce a manufacturing cost by reducing kinds of package tests and reducing a test time and kinds of devices used in the package tests. A test mode-entering circuit includes a test pulse generating unit(100) and a test mode signal generating unit(200). The test pulse generating unit generates a first test pulse(pulse1_test) in response to the remaining specific address combination when one of specific addresses(add-add) is shifted to a row. The test mode signal generating unit generates a first test mode signal(Test1_mode) when the first test pulse is enabled. The test mode signal generating unit disables the first test mode signal when a reset signal is enabled.

Description

테스트 모드 진입 회로 및 이를 이용한 반도체 메모리 장치{Circuit for Entering Test Mode and Semiconductor Memory Apparatus Using the Same}Circuit for Entering Test Mode and Semiconductor Memory Apparatus Using the Same}

본 발명은 반도체 메모리 장치에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 웨이퍼 테스트시 테스트를 수행할 수 있는 테스트 모드 진입 회로 및 이를 이용한 반도체 메모리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly, to a test mode entry circuit capable of performing a test during a wafer test and a semiconductor memory device using the same.

일반적인 반도체 메모리 장치는 웨이퍼 테스트시 외부에서 입력되는 4개의 어드레스를 사용하여 테스트 모드를 선택하고 진입하도록 구성되어 있다. A general semiconductor memory device is configured to select and enter a test mode by using four externally input addresses during wafer testing.

일반적인 반도체 메모리 장치가 웨이퍼 테스트시 예를 들어, 상기 4개의 어드레스로 테스트 모드를 선택하고 테스트로 진입하는 동작을 간단히 설명한다. 상기 4개의 어드레스 중 하나의 특정 어드레스가 하이로 천이할 때 나머지 3개의 어드레스 조합으로 테스트 모드가 선택되어지며 선택되어진 테스트 모드로 진입한다. 또한 상기 4개의 어드레스 조합으로 리셋(reset) 신호를 생성하여 선택되어진 테스트 모드를 종료한다. A typical semiconductor memory device during a wafer test, for example, briefly describes an operation of selecting a test mode with the four addresses and entering a test. When one of the four addresses transitions high, the test mode is selected with the remaining three address combinations and enters the selected test mode. In addition, the reset signal is generated by the combination of the four addresses to end the selected test mode.

결국, 일반적인 반도체 메모리 장치가 웨이퍼 테스트시 테스트할 수 있는 테스트 모드의 종류는 총 8가지가 된다. 이유는 상기 제 2 내지 제 3 어드레스 조합 은 총 8가지이기 때문이다.As a result, there are a total of eight types of test modes that a general semiconductor memory device can test during a wafer test. This is because the second to third address combinations have a total of eight types.

반도체 메모리 장치는 양산 단계에서 웨이퍼 레벨 테스트(wafer level test, 이하 웨이퍼 테스트)와 패키지 레벨 테스트(package level test, 이하 패키지 테스트)로 나누어 테스트를 진행하여 완제품의 안정성을 보장하게 된다.The semiconductor memory device is divided into a wafer level test (wafer test) and a package level test (package test) at the mass production stage to ensure the stability of the finished product.

패키지 테스트에서는 웨이퍼 테스트에서 테스트하지 못하는 테스트를 수행하여 반도체 메모리 장치의 불량을 확인한다. 이러한 패키지 테스트 중에는 액티브-라이트-프리차지 동작을 반도체 메모리 장치에 반복시키는 테스트가 있다. 액티브-라이트-프리차지 동작 반복시키는 패키지 테스트를 수행할 경우 반도체 메모리 장치의 워드 라인을 하나씩 활성화시켜야 하기 때문에 테스트 시간이 길어진다. 또한, 반도체 메모리 장치가 고용량화되면서 액티브-라이트-프리차지 동작을 반복시키는 패키지 테스트에 소모되는 시간이 더욱 늘어나게 되며, 패키지 상태에서 액티브-라이트-프리차지 동작을 반복시키는 고가의 테스트 장비를 사용함으로써 반도체 메모리 장치의 가격 상승에 영향을 미치고 있다.The package test performs a test that cannot be tested in the wafer test to confirm the failure of the semiconductor memory device. Among these package tests, there is a test that repeats an active-light-precharge operation to a semiconductor memory device. When performing a package test that repeats the active-write precharge operation, the test time is long because the word lines of the semiconductor memory device must be activated one by one. In addition, as the semiconductor memory device becomes higher in capacity, the time required for the package test for repeating the active-light-precharge operation is further increased, and by using expensive test equipment for repeating the active-light-precharge operation in the package state Increasing price of memory devices.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 웨이퍼 테스트시 수행할 수 있는 테스트 모드의 종류를 늘릴 수 있는 반도체 메모리 장치의 테스트 모드 진입 회로를 제공함에 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-described problem, and an object of the present invention is to provide a test mode entry circuit of a semiconductor memory device capable of increasing the types of test modes that can be performed during wafer testing.

또한, 웨이퍼 테스트시 액티브-라이트-프리차지 동작을 반복시키는 패키지 테스트를 대신할 수 있는 반도체 메모리 장치를 제공함에 그 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide a semiconductor memory device that can replace a package test that repeats an active-light-precharge operation during a wafer test.

본 발명의 실시예에 따른 테스트 모드 진입 회로는 복수개의 특정 어드레스 중 하나가 로우로 천이할 때 나머지 특정 어드레스 조합에 응답하여 제 1 테스트 펄스를 생성하는 테스트 펄스 생성부, 및 상기 제 1 테스트 펄스가 인에이블되면 인에이블된 제 1 테스트 모드 신호를 생성하고 리셋 신호가 인에이블되면 상기 제 1 테스트 모드 신호를 디스에이블시키는 테스트 모드 신호 생성부를 포함한다.According to an embodiment of the present invention, a test mode entry circuit may include a test pulse generator configured to generate a first test pulse in response to a remaining specific address combination when one of a plurality of specific addresses transitions low, And a test mode signal generator configured to generate an enabled first test mode signal when enabled, and to disable the first test mode signal when a reset signal is enabled.

본 발명의 실시예에 따른 테스트 모드 진입 회로를 이용한 반도체 메모리 장치는 복수개의 특정 어드레스 중 하나가 천이할 때 나머지 특정 어드레스 조합에 응답하여 인에이블된 테스트 모드 신호를 생성하고 리셋 신호가 인에이블되면 상기 테스트 모드 신호를 디스에이블시키는 테스트 모드 진입 회로, 상기 테스트 모드 신호가 인에이블되거나 리프레쉬 신호가 인에이블되면 인에이블된 리프레쉬 동작 신호를 생성하는 신호 조합부, 및 상기 리프레쉬 동작 신호가 인에이블되면 리프레쉬 동작을 수행하는 리프레쉬 회로를 포함한다.The semiconductor memory device using the test mode entry circuit according to an exemplary embodiment of the present invention generates an enabled test mode signal in response to the remaining specific address combinations when one of a plurality of specific addresses transitions, and when the reset signal is enabled, A test mode entry circuit for disabling a test mode signal, a signal combination unit configured to generate an enabled refresh operation signal when the test mode signal is enabled or a refresh signal is enabled, and a refresh operation when the refresh operation signal is enabled It includes a refresh circuit for performing the.

본 발명의 실시예에 따른 테스트 모드 진입 회로는 웨이퍼 테스트시 수행할 수 있는 테스트 모드의 종류를 늘림으로써 패키지 테스트의 종류를 줄일 수 효과가 있다.The test mode entry circuit according to an embodiment of the present invention can reduce the type of package test by increasing the type of test mode that can be performed during wafer testing.

또한, 패키지 테스트의 종류를 줄임으로써 테스트에 소모되는 시간과 패키지 테스트에서 사용되는 장비의 종류를 줄일 수 있어 비용 절감의 효과가 있다.In addition, by reducing the type of package test, the time required for the test and the type of equipment used in the package test can be reduced, thereby reducing the cost.

본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 장치의 테스트 모드 진입 회로는 도 1에 도시된 바와 같이, 테스트 펄스 생성부(100), 및 테스트 모드 신호 생성부(200)를 포함한다.The test mode entry circuit of the semiconductor memory device according to the exemplary embodiment of the present invention includes a test pulse generator 100 and a test mode signal generator 200 as illustrated in FIG. 1.

상기 테스트 펄스 생성부(100)는 제 1 어드레스(add<1>)가 천이할 때 제 2 내지 제 4 어드레스(add<2>, add<3>, add<4>) 조합에 응답하여 제 1 테스트 펄스(pulse1_test) 또는 제 2 테스트 펄스(pulse2_test)를 생성한다.The test pulse generation unit 100 responds to the combination of the second to fourth addresses add <2>, add <3>, and add <4> when the first address add <1> transitions. A test pulse pulse1_test or a second test pulse pulse2_test is generated.

상기 테스트 펄스 생성부(100)는 폴링 펄스 생성부(110), 및 라이징 펄스 생성부(120)를 포함한다.The test pulse generator 100 includes a polling pulse generator 110 and a rising pulse generator 120.

상기 폴링 펄스 생성부(110)는 상기 제 1 어드레스(add<1>)가 로우로 천이할 때 상기 제 2 내지 제 4 어드레스(add<2>, add<3>, add<4>) 조합이 기설정된 코드와 일치하면 상기 제 1 테스트 펄스(pulse1_test)를 생성한다.When the first address add <1> transitions low, the polling pulse generator 110 may combine a combination of the second to fourth addresses add <2>, add <3>, and add <4>. If it matches the predetermined code, the first test pulse pulse1_test is generated.

상기 폴링 펄스 생성부(110)는 폴링 펄스 발생기(111), 및 제 1 출력 제어부(112)를 포함한다.The polling pulse generator 110 includes a polling pulse generator 111 and a first output controller 112.

상기 폴링 펄스 발생기(111)는 상기 제 1 어드레스(add<1>)가 로우로 천이할 때 인에이블되는 제 1 펄스(pulse1)를 생성한다.The polling pulse generator 111 generates a first pulse pulse1 that is enabled when the first address add <1> transitions low.

상기 제 1 출력 제어부(112)는 상기 제 2 어드레스 내지 제 4 어드레스(add<2>, add<3>, add<4>) 조합이 상기 기설정된 코드와 일치하면 상기 제 1 펄스(pulse1)를 상기 제 1 테스트 펄스(pulse1_test)로서 출력한다.The first output controller 112 may generate the first pulse pulse1 when the combination of the second to fourth addresses add <2>, add <3>, and add <4> matches the preset code. It outputs as the said 1st test pulse pulse1_test.

상기 라이징 펄스 생성부(120)는 상기 제 1 어드레스(add<1>)가 하이로 천이할 때 상기 제 2 내지 제 4 어드레스(add<2>, add<3>, add<4>) 조합이 기설정된 코드와 일치하면 상기 제 2 테스트 펄스(pulse2_test)를 생성한다.When the first address add <1> transitions high, the rising pulse generator 120 may combine a combination of the second to fourth addresses add <2>, add <3>, and add <4>. If it matches the predetermined code, the second test pulse pulse2_test is generated.

상기 라이징 펄스 생성부(120)는 라이징 펄스 발생기(121), 및 제 2 출력 제어부(122)를 포함한다.The rising pulse generator 120 includes a rising pulse generator 121 and a second output controller 122.

상기 라이징 펄스 발생기(121)는 상기 제 1 어드레스(add<1>)가 하이로 천이할 때 인에이블되는 제 2 펄스(pulse2)를 생성한다.The rising pulse generator 121 generates a second pulse pulse2 that is enabled when the first address add <1> transitions high.

상기 제 2 출력 제어부(122)는 상기 제 2 어드레스 내지 제 4 어드레스(add<2>, add<3>, add<4>) 조합이 상기 기설정된 코드와 일치하면 상기 제 2 펄스(pulse2)를 상기 제 2 테스트 펄스(pulse2_test)로서 출력한다.The second output controller 122 may generate the second pulse pulse2 when the combination of the second address to the fourth address add <2>, add <3>, and add <4> matches the predetermined code. It outputs as said 2nd test pulse pulse2_test.

상기 테스트 모드 신호 생성부(200)는 상기 제 1 테스트 펄스(pulse1_test)가 인에이블되면 인에이블된 상기 제 1 테스트 모드 신호(Test1_mode)를 생성하고 상기 제 2 테스트 펄스(pulse2_test)가 인에이블되면 인에이블된 상기 제 2 테스트 모드 신호(Test2_mode)를 생성하며 리셋 신호(reset)가 인에이블되면 상기 제 1 및 제 2 테스트 모드 신호(Test1_mode, Test2_mode)를 디스에이블시킨다. 이 때, 파워 업 신호(pwrup) 또는 상기 리셋 신호(reset)가 인에이블되면 상기 테스트 모드 신호 생성부(200)는 초기화된다.The test mode signal generator 200 generates the enabled first test mode signal Test1_mode when the first test pulse pulse1_test is enabled, and activates the second test pulse pulse2_test when the first test pulse pulse1_test is enabled. The enabled second test mode signal Test2_mode is generated, and when the reset signal reset is enabled, the first and second test mode signals Test1_mode and Test2_mode are disabled. At this time, when the power-up signal pwrup or the reset signal reset is enabled, the test mode signal generator 200 is initialized.

상기 테스트 모드 신호 생성부(200)는 제 1 레벨 신호 생성부(210), 및 제 2 레벨 신호 생성부(220)를 포함한다.The test mode signal generator 200 includes a first level signal generator 210 and a second level signal generator 220.

상기 제 1 레벨 신호 생성부(210)는 상기 제 1 테스트 펄스(pulse1_test)가 인에이블되면 상기 제 1 테스트 모드 신호(Test1_mode)를 인에이블시키고 상기 리셋 신호(reset)가 인에이블되면 상기 제 1 테스트 모드 신호(Test1_mode)를 디스에이블시키고 초기화된다.The first level signal generator 210 enables the first test mode signal Test1_mode when the first test pulse pulse1_test is enabled and the first test when the reset signal reset is enabled. The mode signal Test1_mode is disabled and initialized.

상기 제 2 레벨 신호 생성부(220)는 상기 제 2 테스트 펄스(pulse2_test)가 인에이블되면 상기 제 2 테스트 모드 신호(Test2_mode)를 인에이블시키고 상기 리셋 신호(reset)가 인에이블되면 상기 제 2 테스트 모드 신호(Test2_mode)를 디스에이블시키고 초기화된다.The second level signal generator 220 enables the second test mode signal Test2_mode when the second test pulse pulse2_test is enabled and the second test when the reset signal reset is enabled. The mode signal Test2_mode is disabled and initialized.

상기 제 1 및 제 2 레벨 신호 생성부(210, 220)는 상기 파워 업 신호(pwrup)가 인에이블되면 초기화된다.The first and second level signal generators 210 and 220 are initialized when the power up signal pwrup is enabled.

이때, 본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 장치의 테스트 모드 진입 회로를 설명함에 있어서 설명의 편의상 반도체 메모리 장치 외부에서 입력되는 4개의 어드레스 신호를 이용하여 설명하지만 어드레스 신호의 개수를 한정하는 것은 아니다. 또한 상기 리셋 신호(reset)는 어드레스 신호 조합으로 생성된다.In this case, in describing the test mode entry circuit of the semiconductor memory device according to the exemplary embodiment of the present invention, for convenience of description, four address signals input from the outside of the semiconductor memory device will be described, but the number of address signals is not limited. The reset signal is also generated by a combination of address signals.

상기 라이징 펄스 발생기(121)는 도 2에 도시된 바와 같이, 제 1 지연기(delay1), 제 1 및 제 2 인버터(IV1, IV2), 및 제 1 낸드 게이트(ND1)를 포함한 다. 상기 제 1 지연기(delay1)는 상기 제 1 어드레스(add<1>)를 입력 받는다. 상기 제 1 인버터(IV1)는 상기 제 1 지연기(delay1)의 출력 신호를 입력 받는다. 상기 제 1 낸드 게이트(ND1)는 상기 제 1 인버터(IV1)와 상기 제 1 어드레스(add<1>)를 입력 받는다. 상기 제 2 인버터(IV2)는 상기 제 1 낸드 게이트(ND1)의 출력 신호를 반전시켜 상기 제 2 펄스(pulse2)를 생성한다.As shown in FIG. 2, the rising pulse generator 121 includes a first delay unit delay1, first and second inverters IV1 and IV2, and a first NAND gate ND1. The first delay delay1 receives the first address add <1>. The first inverter IV1 receives the output signal of the first delayer delay1. The first NAND gate ND1 receives the first inverter IV1 and the first address add <1>. The second inverter IV2 inverts the output signal of the first NAND gate ND1 to generate the second pulse pulse2.

상기 폴링 펄스 발생기(111)는 도 3에 도시된 바와 같이, 제 3 내지 제 5 인버터(IV3, IV4, IV5), 제 2 지연기(delay2), 및 제 2 낸드 게이트(ND2)를 포함한다. 상기 제 3 인버터(IV3)는 상기 제 1 어드레스(add<1>)를 입력 받는다. 상기 제 2 지연기(delay2)는 상기 제 3 인버터(IV3)의 출력 신호를 입력 받는다. 상기 제 4 인버터(IV4)는 상기 제 2 지연기(delay2)의 출력 신호를 입력 받는다. 상기 제 2 낸드 게이트(ND2)는 상기 제 3 인버터(IV3)와 상기 제 4 인버터(IV4)의 출력 신호를 입력 받는다. 상기 제 5 인버터(IV5)는 상기 제 2 낸드 게이트(ND2)의 출력 신호를 반전시켜 상기 제 1 펄스(pulse1)를 생성한다.As illustrated in FIG. 3, the falling pulse generator 111 includes third to fifth inverters IV3, IV4, and IV5, a second delay unit delay2, and a second NAND gate ND2. The third inverter IV3 receives the first address add <1>. The second delay delay2 receives an output signal of the third inverter IV3. The fourth inverter IV4 receives the output signal of the second delayer delay2. The second NAND gate ND2 receives the output signals of the third inverter IV3 and the fourth inverter IV4. The fifth inverter IV5 inverts the output signal of the second NAND gate ND2 to generate the first pulse pulse1.

상기 제 1 출력 제어부(112)는 도 4에 도시된 바와 같이, 제 1 판별부(112-1), 및 제 1 출력부(112-2)를 포함한다. As illustrated in FIG. 4, the first output control unit 112 includes a first determination unit 112-1 and a first output unit 112-2.

상기 제 1 판별부(112-1)는 상기 제 2 내지 제 4 어드레스(add<2:4>)를 입력 받아 상기 기설정된 코드와 일치하면 제 1 판별 신호(dis1)를 생성한다. The first determination unit 112-1 receives the second to fourth addresses add <2: 4> and generates a first determination signal dis1 when it matches the predetermined code.

상기 제 1 출력부(112-2)는 상기 제 1 판별 신호(dis1)가 하이로 인에이블되면 상기 제 1 펄스(pulse1)를 상기 제 1 테스트 펄스(pulse1_test)로서 출력하고 상기 제 1 판별 신호(dis1)가 로우로 디스에이블되면 상기 제 1 펄스(pulse1)와는 무관하게 로우 레벨 신호만을 출력한다. 상기 제 1 출력부(112-2)는 제 3 낸드 게이트(ND3), 및 제 6 인버터(IV6)를 포함한다. 상기 제 3 낸드 게이트(ND3)는 상기 제 1 판별 신호(dis1)와 상기 제 1 펄스(pulse1)를 입력 받는다. 상기 제 6 인버터(IV6)는 상기 제 3 낸드 게이트(ND3)의 출력 신호를 반전시켜 상기 제 1 테스트 펄스(pulse1_test)를 생성한다.The first output unit 112-2 outputs the first pulse pulse1 as the first test pulse pulse1_test when the first discrimination signal dis1 is enabled high, and outputs the first discrimination signal ( When dis1 is disabled low, only the low level signal is output regardless of the first pulse pulse1. The first output unit 112-2 includes a third NAND gate ND3 and a sixth inverter IV6. The third NAND gate ND3 receives the first determination signal dis1 and the first pulse pulse1. The sixth inverter IV6 inverts the output signal of the third NAND gate ND3 to generate the first test pulse pulse1_test.

상기 제 2 출력 제어부(122)는 도 5에 도시된 바와 같이, 제 2 판별부(122-1), 및 제 2 출력부(122-2)를 포함한다. As illustrated in FIG. 5, the second output control unit 122 includes a second determination unit 122-1 and a second output unit 122-2.

상기 제 2 판별부(122-1)는 상기 제 2 내지 제 4 어드레스(add<2:4>)를 입력 받아 상기 기설정된 코드와 일치하면 제 2 판별 신호(dis2)를 생성한다. The second determination unit 122-1 receives the second to fourth addresses add <2: 4> and generates a second determination signal dis2 when it matches the predetermined code.

상기 제 2 출력부(122-2)는 상기 제 2 판별 신호(dis2)가 하이로 인에이블되면 상기 제 2 펄스(pulse2)를 상기 제 2 테스트 펄스(pulse2_test)로서 출력하고 상기 제 2 판별 신호(dis2)가 로우로 디스에이블되면 상기 제 2 펄스(pulse2)와는 무관하게 로우 레벨 신호만을 출력한다. 상기 제 2 출력부(122-2)는 제 4 낸드 게이트(ND4), 및 제 7 인버터(IV7)를 포함한다. 상기 제 4 낸드 게이트(ND4)는 상기 제 2 판별 신호(dis2)와 상기 제 2 펄스(pulse2)를 입력 받는다. 상기 제 7 인버터(IV7)는 상기 제 4 낸드 게이트(ND4)의 출력 신호를 반전시켜 상기 제 2 테스트 펄스(pulse2_test)를 생성한다.The second output unit 122-2 outputs the second pulse pulse2 as the second test pulse pulse2_test when the second discrimination signal dis2 is enabled high, and the second discrimination signal ( When dis2) is disabled low, only the low level signal is output regardless of the second pulse pulse2. The second output unit 122-2 includes a fourth NAND gate ND4 and a seventh inverter IV7. The fourth NAND gate ND4 receives the second discrimination signal dis2 and the second pulse pulse2. The seventh inverter IV7 inverts the output signal of the fourth NAND gate ND4 to generate the second test pulse pulse2_test.

상기 제 1 레벨 신호 생성부(210)는 도 6에 도시된 바와 같이, 제 1 초기화부(211), 제 1 펄스 반전부(212), 및 제 1 플립플롭(213)을 포함한다.As illustrated in FIG. 6, the first level signal generator 210 includes a first initializer 211, a first pulse inverter 212, and a first flip-flop 213.

상기 제 1 초기화부(211)는 상기 파워 업 신호(pwrup) 또는 상기 리셋 신 호(reset)가 인에이블되면 인에이블된 제 1 초기화 신호(initial1)를 생성한다. 이때, 상기 파워 업 신호(pwrup), 상기 리셋 신호(reset), 및 상기 제 1 초기화 신호(initial1)는 모두 로우 인에이블 신호이다.The first initialization unit 211 generates an enabled first initialization signal initial1 when the power-up signal pwrup or the reset signal is enabled. In this case, the power up signal pwrup, the reset signal reset, and the first initialization signal initial1 are all low enable signals.

상기 제 1 초기화부(211)는 제 5 낸드 게이트(ND5), 및 제 8 인버터(IV8)를 포함한다. 상기 제 5 낸드 게이트(ND5)는 상기 파워 업 신호(pwrup)와 상기 리셋 신호(reset)를 입력 받는다. 상기 제 8 인버터(IV8)는 상기 제 5 낸드 게이트(ND5)의 출력 신호를 반전시켜 상기 제 1 초기화 신호(initial1)를 생성한다.The first initialization unit 211 includes a fifth NAND gate ND5 and an eighth inverter IV8. The fifth NAND gate ND5 receives the power up signal pwrup and the reset signal reset. The eighth inverter IV8 inverts the output signal of the fifth NAND gate ND5 to generate the first initialization signal initial1.

상기 제 1 펄스 반전부(212)는 상기 파워 업 신호(pwrup)가 로우로 인에이블되면 상기 제 1 테스트 펄스(pulse1_test)와는 무관하게 하이 레벨의 신호만을 출력하고 상기 파워 업 신호(pwrup)가 하이로 디스에이블되면 상기 제 1 테스트 펄스(pulse1_test)를 반전시켜 제 1 반전 펄스(pulseb1)를 생성한다.When the power-up signal pwrup is enabled low, the first pulse inverting unit 212 outputs only a high level signal regardless of the first test pulse pulse1_test and the power-up signal pwrup is high. When the signal is disabled, the first test pulse pulse1_test is inverted to generate a first inverted pulse pulse1.

상기 제 1 펄스 반전부(212)는 제 6 낸드 게이트(ND6)를 포함한다. 상기 제 6 낸드 게이트(ND6)는 상기 제 1 테스트 펄스(pulse1_test)와 상기 파워 업 신호(pwrup)를 입력 받아 상기 제 1 반전 펄스(pulseb1)를 생성한다.The first pulse inverting unit 212 includes a sixth NAND gate ND6. The sixth NAND gate ND6 receives the first test pulse pulse1_test and the power up signal pwrup to generate the first inverted pulse pulse1.

상기 제 1 플립플롭(213)은 상기 제 1 반전 펄스(pulseb1)가 로우로 인에이블되면 상기 제 1 테스트 모드 신호(Test1_mode)를 로우로 인에이블시키고 상기 제 1 초기화 신호(initial1)가 로우로 인에이블되면 상기 제 1 테스트 모드 신호(Test1_mode)를 하이로 디스에이블시키고 초기화된다.The first flip-flop 213 enables the first test mode signal Test1_mode to low when the first inverted pulse pulseb1 is enabled low, and the first initialization signal initial1 to low. When enabled, the first test mode signal Test1_mode is disabled high and initialized.

상기 제 1 플립플롭(213)은 제 7 및 제 8 낸드 게이트(ND7, ND8), 및 제 9 인버터(IV9)를 포함한다. 상기 제 7 낸드 게이트(ND7)는 상기 제 1 초기화 신 호(initial1)와 상기 제 8 낸드 게이트(ND8)의 출력 신호를 입력 받는다. 상기 제 8 낸드 게이트(ND8)는 상기 제 7 낸드 게이트(ND7)의 출력 신호와 상기 제 1 반전 펄스(pulseb1)를 입력 받는다. 상기 제 9 인버터(IV9)는 상기 제 8 낸드 게이트(ND8)의 출력 신호를 반전시켜 상기 제 1 테스트 모드 신호(Test1_mode)를 생성한다.The first flip-flop 213 includes seventh and eighth NAND gates ND7 and ND8, and a ninth inverter IV9. The seventh NAND gate ND7 receives the output signals of the first initialization signal initial1 and the eighth NAND gate ND8. The eighth NAND gate ND8 receives the output signal of the seventh NAND gate ND7 and the first inverted pulse pulseb1. The ninth inverter IV9 inverts the output signal of the eighth NAND gate ND8 to generate the first test mode signal Test1_mode.

상기 제 2 레벨 신호 생성부(220)는 도 7에 도시된 바와 같이, 제 2 초기화부(221), 제 2 펄스 반전부(222), 및 제 2 플립플롭(223)을 포함한다.As illustrated in FIG. 7, the second level signal generator 220 includes a second initializer 221, a second pulse inverter 222, and a second flip-flop 223.

상기 제 2 초기화부(221)는 상기 파워 업 신호(pwrup) 또는 상기 리셋 신호(reset)가 인에이블되면 인에이블된 제 2 초기화 신호(initial2)를 생성한다. 이때, 상기 파워 업 신호(pwrup), 상기 리셋 신호(reset), 및 상기 제 2 초기화 신호(initial2)는 모두 로우 인에이블 신호이다.The second initialization unit 221 generates the enabled second initialization signal initialize2 when the power-up signal pwrup or the reset signal reset is enabled. In this case, the power up signal pwrup, the reset signal reset, and the second initialization signal initialize2 are all low enable signals.

상기 제 2 초기화부(221)는 제 9 낸드 게이트(ND9), 및 제 10 인버터(IV10)를 포함한다. 상기 제 9 낸드 게이트(ND9)는 상기 파워 업 신호(pwrup)와 상기 리셋 신호(reset)를 입력 받는다. 상기 제 10 인버터(IV10)는 상기 제 9 낸드 게이트(ND9)의 출력 신호를 반전시켜 상기 제 2 초기화 신호(initial2)를 생성한다.The second initialization unit 221 includes a ninth NAND gate ND9 and a tenth inverter IV10. The ninth NAND gate ND9 receives the power up signal pwrup and the reset signal reset. The tenth inverter IV10 inverts the output signal of the ninth NAND gate ND9 to generate the second initialization signal initial2.

상기 제 2 펄스 반전부(222)는 상기 파워 업 신호(pwrup)가 로우로 인에이블되면 상기 제 2 테스트 펄스(pulse2_test)와는 무관하게 하이 레벨의 신호만을 출력하고 상기 파워 업 신호(pwrup)가 하이로 디스에이블되면 상기 제 2 테스트 펄스(pulse2_test)를 반전시켜 제 2 반전 펄스(pulseb2)를 생성한다.When the power up signal pwrup is enabled low, the second pulse inverting unit 222 outputs only a high level signal regardless of the second test pulse pulse2_test, and the power up signal pwrup is high. When disabled, the second test pulse pulse2_test is inverted to generate a second inverted pulse pulseb2.

상기 제 2 펄스 반전부(222)는 제 10 낸드 게이트(ND10)를 포함한다. 상기 제 10 낸드 게이트(ND10)는 상기 제 2 테스트 펄스(pulse2_test)와 상기 파워 업 신호(pwrup)를 입력 받아 상기 제 2 반전 펄스(pulseb2)를 생성한다.The second pulse inverting unit 222 includes a tenth NAND gate ND10. The tenth NAND gate ND10 receives the second test pulse pulse2_test and the power up signal pwrup to generate the second inverted pulse pulse2.

상기 제 2 플립플롭(223)은 상기 제 2 반전 펄스(pulseb2)가 로우로 인에이블되면 상기 제 2 테스트 모드 신호(Test2_mode)를 하이로 인에이블시키고 상기 제 2 초기화 신호(initial2)가 로우로 인에이블되면 상기 제 2 테스트 모드 신호(Test2_mode)를 하이로 디스에이블시키고 초기화된다.The second flip-flop 223 enables the second test mode signal Test2_mode to high when the second inverted pulse pulseb2 is enabled low and the second initialization signal initial2 to low. When enabled, the second test mode signal Test2_mode is disabled high and initialized.

상기 제 2 플립플롭(223)은 제 11 및 제 12 낸드 게이트(ND11, ND12), 및 제 11 인버터(IV9)를 포함한다. 상기 제 11 낸드 게이트(ND11)는 상기 제 2 초기화 신호(initial2)와 상기 제 12 낸드 게이트(ND12)의 출력 신호를 입력 받는다. 상기 제 12 낸드 게이트(ND12)는 상기 제 11 낸드 게이트(ND11)의 출력 신호와 상기 제 2 반전 펄스(pulseb2)를 입력 받는다. 상기 제 11 인버터(IV11)는 상기 제 12 낸드 게이트(ND12)의 출력 신호를 반전시켜 상기 제 2 테스트 모드 신호(Test2_mode)를 생성한다.The second flip-flop 223 includes eleventh and twelfth NAND gates ND11 and ND12, and an eleventh inverter IV9. The eleventh NAND gate ND11 receives the output signal of the second initialization signal initial2 and the twelfth NAND gate ND12. The twelfth NAND gate ND12 receives the output signal of the eleventh NAND gate ND11 and the second inverted pulse pulseb2. The eleventh inverter IV11 inverts the output signal of the twelfth NAND gate ND12 to generate the second test mode signal Test2_mode.

이와 같이 구성된 반도체 메모리 장치의 테스트 모드 진입 회로의 동작을 도 8을 참조하여 설명한다. 이때, 도 4의 제 1 판별부(112-1)의 기설정된 코드는 (0, 0, 0)이고 도 5의 제 2 판별부(122-1)의 기설정된 코드는 (1, 1, 1)이라고 가정한다. 이때, (0, 0, 0)으로 기설정된 상기 제 1 판별부(112-1)는 3개의 입력단을 갖는 노어 게이트로 구현할 수 있으며, (1, 1, 1)으로 기설정된 상기 제 2 판별부(122-1)는 3개의 입력단을 갖는 낸드 게이트와 인버터로 구현 가능하다.The operation of the test mode entry circuit of the semiconductor memory device configured as described above will be described with reference to FIG. 8. In this case, the predetermined code of the first determination unit 112-1 of FIG. 4 is (0, 0, 0) and the predetermined code of the second determination unit 122-1 of FIG. 5 is (1, 1, 1). Suppose). In this case, the first determination unit 112-1 preset to (0, 0, 0) may be implemented as a NOR gate having three input terminals, and the second determination unit preset to (1, 1, 1). Reference numeral 122-1 may be implemented as a NAND gate and an inverter having three input stages.

제 1 어드레스(add<1>)가 하이로 천이될 때 상기 제 2 내지 제 4 어드레 스(add<2>, add<3>, add<4>)가 (1, 1, 1)이면 제 2 테스트 모드 신호(Test2_mode)가 로우로 인에이블되고 리셋 신호(reset)가 로우로 인에이블되면 상기 제 2 테스트 모드 신호(Test2_mode)가 하이로 디스에이블된다.If the second to fourth addresses add <2>, add <3>, and add <4> are (1, 1, 1) when the first address add <1> is transitioned high, the second When the test mode signal Test2_mode is enabled low and the reset signal reset is enabled low, the second test mode signal Test2_mode is disabled high.

도 2, 도 5, 도 7을 참조하여 상기 동작 설명을 더욱 자세히 하면 다음과 같다.Referring to Figures 2, 5, 7 in more detail the operation description as follows.

도 2에서 상기 제 1 어드레스(add<1>)가 하이로 천이할 때 제 2 펄스(pulse2)는 하이로 인에이블되고 소정시간이후 로우로 디스에이블된다.In FIG. 2, when the first address add <1> transitions high, the second pulse pulse2 is enabled high and is disabled low after a predetermined time.

도 5에서 상기 제 2 내지 제 4 어드레스(add<2>, add<3>, add<4>)의 레벨이 제 2 판별부(122-1)가 갖고 있는 기설정된 코드 예를 들어(1, 1, 1)와 일치하면 제 2 판별 신호(dis2)는 하이로 인에이블된다. 하이로 인에이블된 제 2 판별 신호(dis2)는 제 2 출력부(122-2)에 입력되어 상기 제 2 펄스(pulse2)를 상기 제 2 테스트 펄스(pulse2_test)로서 출력한다.In FIG. 5, for example, a preset code having the level of the second to fourth addresses add <2>, add <3>, and add <4>, which the second determination unit 122-1 has (1, If it matches 1, 1, the second discrimination signal dis2 is enabled high. The second determination signal dis2 enabled to be high is input to the second output unit 122-2 to output the second pulse pulse2 as the second test pulse pulse2_test.

도 7에서 파워 업 신호(pwrup)는 하이로 디스에이블된 상태이다. 제 2 펄스 반전부(222)는 하이 레벨인 상기 파워 업 신호(pwrup)를 입력 받아 상기 제 2 테스트 펄스(pulse2_test)를 반전시켜 제 2 반전 펄스(pulseb2)를 생성한다. 이때, 상기 제 2 반전 펄스(pulseb2)는 로우 인에이블 펄스이다. 제 2 플립플롭(223)은 상기 제 2 반전 펄스(pulseb2)가 로우로 인에이블될 때, 로우 레벨로 인에이블된 제 2 테스트 모드 신호(Test2_mode)를 출력한다. 또한 상기 제 2 플립플롭(223)은 리셋 신호(reset)가 인에이블되어 제 2 초기화 신호(initial2)가 로우로 인에이블될 때까지 상기 제 2 테스트 모드 신호(Test2_mode)를 로우 레벨로 즉 인에이블 상태 를 유지한다. 상기 파워 업 신호(pwrup)는 반도체 메모리 장치에 전원을 인가하면 로우로 인에이블되어 반도체 메모리 장치내의 회로를 초기화시키며 소정 시간이후 하이로 디스에이블되는 신호이다.In FIG. 7, the power up signal pwrup is disabled in a high state. The second pulse inverting unit 222 receives the power-up signal pwrup having a high level and inverts the second test pulse pulse2_test to generate a second inverting pulse pulse2. In this case, the second inversion pulse pulseb2 is a low enable pulse. The second flip-flop 223 outputs the second test mode signal Test2_mode enabled at the low level when the second inversion pulse pulseb2 is enabled at the low level. In addition, the second flip-flop 223 may enable the second test mode signal Test2_mode to a low level until the reset signal is enabled and the second initialization signal initial2 is enabled low. Maintain state. The power up signal pwrup is a signal that is enabled low when the power is applied to the semiconductor memory device to initialize a circuit in the semiconductor memory device and is disabled high after a predetermined time.

한편, 상기 제 1 어드레스(add<1>)가 로우로 천이될 때 상기 제 2 내지 제 4 어드레스(add<2>, add<3>, add<4>)가 (0, 0, 0)이면 제 1 테스트 모드 신호(Test1_mode)가 로우로 인에이블되고 상기 리셋 신호(reset)가 로우로 인에이블되면 상기 제 1 테스트 모드 신호(Test1_mode)가 하이로 디스에이블된다.Meanwhile, when the second to fourth addresses add <2>, add <3>, and add <4> are (0, 0, 0) when the first address (add <1>) is transitioned low When the first test mode signal Test1_mode is enabled low and the reset signal reset is low, the first test mode signal Test1_mode is disabled high.

도 2, 도 4, 도 6을 참조하여 상기 동작 설명을 더욱 자세히 하면 다음과 같다.Referring to Figures 2, 4, 6 in more detail the operation description as follows.

도 2에서 상기 제 1 어드레스(add<1>)가 로우로 천이할 때 제 1 펄스(pulse1)는 하이로 인에이블되고 소정시간이후 로우로 디스에이블된다.In FIG. 2, when the first address add <1> transitions low, the first pulse pulse1 is enabled high and is disabled low after a predetermined time.

도 4에서 상기 제 2 내지 제 4 어드레스(add<2>, add<3>, add<4>)의 레벨이 제 1 판별부(112-1)가 갖고 있는 기설정된 코드 예를 들어(0, 0, 0)와 일치하면 제 1 판별 신호(dis1)는 하이로 인에이블된다. 하이로 인에이블된 제 1 판별 신호(dis1)는 제 1 출력부(112-2)에 입력되어 상기 제 1 펄스(pulse1)를 상기 제 1 테스트 펄스(pulse1_test)로서 출력한다.In FIG. 4, for example, a preset code having the level of the second to fourth addresses add <2>, add <3>, and add <4>, which the first determination unit 112-1 has (0, If it matches 0, 0, the first determination signal dis1 is enabled high. The first determination signal dis1, which is enabled high, is input to the first output unit 112-2 to output the first pulse pulse1 as the first test pulse pulse1_test.

도 6에서 파워 업 신호(pwrup)는 하이로 디스에이블된 상태이다. 제 1 펄스 반전부(212)는 하이 레벨인 상기 파워 업 신호(pwrup)를 입력 받아 상기 제 1 테스트 펄스(pulse1_test)를 반전시켜 제 1 반전 펄스(pulseb1)를 생성한다. 이때, 상기 제 1 반전 펄스(pulseb1)는 로우 인에이블 펄스이다. 제 1 플립플롭(213)은 상 기 제 1 반전 펄스(pulseb1)가 로우로 인에이블될 때, 로우 레벨로 인에이블된 제 1 테스트 모드 신호(Test1_mode)를 출력한다. 또한 상기 제 1 플립플롭(213)은 리셋 신호(reset)가 로우로 인에이블되어 제 1 초기화 신호(initial1)가 로우로 인에이블될 때까지 상기 제 1 테스트 모드 신호(Test1_mode)를 로우 레벨로 즉 인에이블 상태로 유지한다. 상기 파워 업 신호(pwrup)는 반도체 메모리 장치에 전원을 인가되면 로우로 인에이블되어 반도체 메모리 장치내의 회로를 초기화시키며 소정 시간이후 하이로 디스에이블되는 신호이다.In FIG. 6, the power up signal pwrup is disabled in a high state. The first pulse inverting unit 212 receives the power-up signal pwrup having a high level and inverts the first test pulse pulse1_test to generate a first inversion pulse pulse1. In this case, the first inversion pulse pulseb1 is a low enable pulse. The first flip-flop 213 outputs the first test mode signal Test1_mode enabled at the low level when the first inversion pulse pulseb1 is enabled at the low level. Also, the first flip-flop 213 may set the first test mode signal Test1_mode to a low level until a reset signal reset is enabled low and the first initialization signal initial1 is enabled low. Keep enabled. The power up signal pwrup is enabled when the power is applied to the semiconductor memory device to initialize the circuit in the semiconductor memory device and is disabled after a predetermined time.

본 발명은 종래의 웨이퍼 테스트에서 사용하는 테스트 모드보다 많은 종류의 테스트 모드를 지원한다. 예를 들어 종래에서는 제 1 어드레스가 하이로 천이할 때 제 2 내지 제 4 어드레스 조합으로 테스트 모드를 선택하여 테스트를 수행하였으나 본 발명에서는 상기 제 1 어드레스가 로우로 천이할 때도 상기 제 2 내지 제 4 어드레스 조합으로 테스트 모드를 선택할 수 있어 종래보다 2배의 테스트 모드를 선택할 수 있다. The present invention supports more types of test modes than those used in conventional wafer testing. For example, in the related art, a test is performed by selecting a test mode using a second to fourth address combination when the first address transitions to high. However, in the present invention, the second to fourth operations also occur when the first address transitions to low. Since the test mode can be selected by the address combination, the test mode can be selected twice as much as before.

도 9는 종래의 웨이퍼 테스트시 수행하지 못했던 리프레쉬 테스트를 수행하도록 구성된 도면이다. 본 발명에 따른 테스트 모드 진입 회로는 상기 제 1 어드레스(add<1>)가 로우로 천이할 때 상기 제 2 내지 제 4 어드레스 조합이 기설정된 코드와 일치하면 로우로 인에이블된 테스트 모드 신호(Test1_mode)를 생성한다. 신호 조합부(300)는 상기 테스트 모드 신호(Test1_mode)가 로우로 인에이블되거나 리프레쉬 신호(refresh)가 로우로 인에이블되면 하이로 인에이블되는 리프레쉬 동작 신호(refresh_act)를 생성한다. 상기 신호 조합부(300)는 제 13 낸드 게이트(ND13)를 포함하며, 상기 제 13 낸드 게이트(ND13)는 상기 테스트 모드 신호(Test1_mode)와 상기 리프레쉬 신호(refresh)를 입력 받아 상기 리프레쉬 동작 신호(refresh_act)를 생성한다. 하이로 인에이블된 상기 리프레쉬 동작 신호(refresh_act)는 리프레쉬 회로(10)에 입력되어 리프레쉬 동작을 수행한다. 웨이퍼 테스트시 리프레쉬 테스트를 수행함으로써 패키지 테스트에서 수행하는 액티브-라이트-프리차지 동작을 반복하는 테스트를 대신할 수 있다. 이유는 리프레쉬 동작은 반도체 메모리 장치의 데이터를 다시 셀에 저장하고 프리차지하는 동작을 포함하기 때문이다. 9 is a diagram configured to perform a refresh test that was not performed in the conventional wafer test. The test mode entry circuit according to the present invention enables the test mode signal Test1_mode enabled to be low when the second to fourth address combinations coincide with a predetermined code when the first address add <1> transitions to low. ) The signal combination unit 300 generates a refresh operation signal refresh_act enabled when the test mode signal Test1_mode is enabled low or when the refresh signal refresh is enabled low. The signal combination unit 300 includes a thirteenth NAND gate ND13, and the thirteenth NAND gate ND13 receives the test mode signal Test1_mode and the refresh signal and receives the refresh operation signal ( refresh_act). The refresh operation signal refresh_act enabled to be high is input to the refresh circuit 10 to perform a refresh operation. By performing the refresh test during the wafer test, it is possible to replace the test that repeats the active-light-precharge operation performed in the package test. This is because the refresh operation includes an operation of storing and precharging data of the semiconductor memory device back to the cell.

따라서 본 발명은 웨이퍼 테스트시 선택할 수 있는 테스트 모드의 종류를 종래보다 많게 하여 패키지 테스트에서 수행하는 테스트 종류를 줄일 수 있다. 또한 본 발명으로 인하여 늘어난 테스트 모드중에 하나를 선택하여 리프레쉬 동작을 테스트할 수 있다. 이는 패키지 테스트에서 수행하는 액티브-라이트-프리차지 동작을 반복하는 테스트를 대신할 수 있어 패키지 테스트에서 사용되는 고가의 장비가 필요 없어진다. 따라서 반도체 메모리 장치의 단가 절감에 효과가 있다. Accordingly, the present invention can reduce the type of test performed in the package test by making more types of test modes that can be selected during wafer testing than in the related art. In addition, the refresh operation can be tested by selecting one of the increased test modes. This can replace testing that repeats the active-light-precharge operation performed by package testing, eliminating the need for expensive equipment used in package testing. Therefore, it is effective to reduce the cost of the semiconductor memory device.

본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Those skilled in the art to which the present invention pertains will understand that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features. Therefore, the above-described embodiments are to be understood as illustrative in all respects and not as restrictive. The scope of the present invention is shown by the following claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included in the scope of the present invention. do.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 장치의 테스트 모드 진입 회로의 블록도,1 is a block diagram of a test mode entry circuit of a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention;

도 2는 도 1의 라이징 펄스 발생기의 회로도,2 is a circuit diagram of the rising pulse generator of FIG.

도 3은 도 1의 폴링 펄스 발생기의 회로도,3 is a circuit diagram of the falling pulse generator of FIG.

도 4는 도 1의 제 1 출력 제어부의 상세 구성도,4 is a detailed configuration diagram of the first output control unit of FIG. 1;

도 5는 도 1의 제 2 출력 제어부의 상세 구성도,5 is a detailed configuration diagram of the second output control unit of FIG. 1;

도 6은 도 1의 제 1 레벨 신호 생성부의 상세 구성도,6 is a detailed configuration diagram of the first level signal generator of FIG. 1;

도 7은 도 1의 제 2 레벨 신호 생성부의 상세 구성도,7 is a detailed configuration diagram of a second level signal generator of FIG. 1;

도 8은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 메모리 장치의 테스트 모드 진입 회로의 타이밍도,8 is a timing diagram of a test mode entry circuit of a semiconductor memory device according to an embodiment of the present invention;

도 9는 본 발명의 실시예에 따른 테스트 진입 회로를 적용한 반도체 메모리장치의 상세 구성도이다.9 is a detailed configuration diagram of a semiconductor memory device to which a test entry circuit according to an exemplary embodiment of the present invention is applied.

Claims (25)

복수개의 특정 어드레스 중 하나가 로우로 천이할 때 나머지 특정 어드레스 조합에 응답하여 제 1 테스트 펄스를 생성하는 테스트 펄스 생성부; 및A test pulse generator configured to generate a first test pulse in response to the remaining specific address combinations when one of the plurality of specific addresses transitions low; And 상기 제 1 테스트 펄스가 인에이블되면 인에이블된 제 1 테스트 모드 신호를 생성하고 리셋 신호가 인에이블되면 상기 제 1 테스트 모드 신호를 디스에이블시키는 테스트 모드 신호 생성부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 테스트 모드 진입 회로. And a test mode signal generator configured to generate an enabled first test mode signal when the first test pulse is enabled, and to disable the first test mode signal when a reset signal is enabled. Test mode entry circuit. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 테스트 펄스 생성부는The test pulse generator is 상기 하나의 특정 어드레스가 하이로 천이할 때 상기 나머지 특정 어드레스 조합에 응답하여 제 2 테스트 펄스를 생성하도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 테스트 모드 진입 회로.And generate a second test pulse in response to the remaining specific address combination when the one specific address transitions high. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 테스트 펄스 생성부는The test pulse generator is 상기 하나의 특정 어드레스가 로우로 천이할 때 상기 나머지 특정 어드레스 조합에 응답하여 상기 제 1 테스트 펄스를 출력하는 폴링 펄스 생성부, 및A polling pulse generator for outputting the first test pulse in response to the remaining specific address combinations when the one specific address transitions low; and 상기 하나의 특정 어드레스가 하이로 천이할 때 상기 나머지 특정 어드레스 조합에 응답하여 상기 제 2 테스트 펄스를 출력하는 라이징 펄스 생성부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 테스트 모드 진입 회로. And a rising pulse generator configured to output the second test pulse in response to the remaining specific address combinations when the one specific address transitions high. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 폴링 펄스 생성부는The polling pulse generator 상기 하나의 특정 어드레스가 로우로 천이할 때 인에이블되는 상기 펄스를 생성하는 폴링 펄스 발생기, 및A polling pulse generator that generates the pulses that are enabled when the one specific address transitions low, and 상기 나머지 특정 어드레스 조합이 상기 기설정된 코드와 일치하면 상기 펄스를 상기 제 1 테스트 펄스로서 출력하는 출력 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 테스트 모드 진입 회로.And an output controller configured to output the pulse as the first test pulse when the remaining specific address combination matches the predetermined code. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 출력 제어부는The output control unit 상기 나머지 특정 어드레스를 입력으로 하여 상기 기설정된 코드와 일치하면 인에이블된 판별 신호를 생성하는 판별부, 및A discriminator configured to generate an enabled discrimination signal when the remaining specific address is input and coincides with the predetermined code; 상기 판별 신호가 인에이블되면 상기 펄스를 상기 제 1 테스트 펄스로서 출력하는 출력부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 테스트 모드 진입 회로.And an output unit configured to output the pulse as the first test pulse when the determination signal is enabled. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 라이징 펄스 생성부는The rising pulse generator 상기 하나의 특정 어르레스가 하이로 천이할 때 인에이블되는 상기 펄스를 생성하는 라이징 펄스 생성기, 및A rising pulse generator that generates the pulses that are enabled when the one particular address transitions high, and 상기 나머지 특정 어드레스 조합이 상기 기설정된 코드와 일치하면 상기 펄스를 상기 제 2 테스트 펄스로서 출력하는 출력 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 테스트 모드 진입 회로.And an output controller configured to output the pulse as the second test pulse when the remaining specific address combination matches the predetermined code. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 출력 제어부는The output control unit 상기 나머지 특정 어드레스를 입력으로 하여 상기 기설정된 코드와 일치하면 인에이블된 판별 신호를 생성하는 판별부, 및A discriminator configured to generate an enabled discrimination signal when the remaining specific address is input and coincides with the predetermined code; 상기 판별 신호가 인에이블되면 상기 펄스를 상기 제 2 테스트 펄스로서 출력하는 출력부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 테스트 모드 진입 회로.And an output unit configured to output the pulse as the second test pulse when the determination signal is enabled. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 테스트 모드 신호 생성부는The test mode signal generation unit 상기 제 1 테스트 펄스가 인에이블되면 상기 제 1 테스트 모드 신호를 생성하고 상기 리셋 신호가 인에이블되면 상기 제 1 테스트 모드 신호를 디스에이블시키는 제 1 레벨 신호 생성부, 및A first level signal generator configured to generate the first test mode signal when the first test pulse is enabled, and to disable the first test mode signal when the reset signal is enabled, and 상기 제 2 테스트 펄스가 인에이블되면 상기 제 2 테스트 모드 신호를 생성하고 상기 리셋 신호가 인에이블되면 상기 제 2 테스트 모드 신호를 디스에이블시키는 제 2 레벨 신호 생성부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 테스트 모드 진입 회로.And a second level signal generator configured to generate the second test mode signal when the second test pulse is enabled and to disable the second test mode signal when the reset signal is enabled. Test mode entry circuit. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 제 1 레벨 신호 생성부는The first level signal generator 파워 업 신호 또는 상기 리셋 신호에 응답하여 초기화 신호를 생성하는 초기화부, An initialization unit generating an initialization signal in response to a power-up signal or the reset signal; 상기 파워 업 신호에 응답하여 상기 제 1 테스트 펄스를 반전시켜 반전 펄스를 생성하는 펄스 반전부, 및A pulse inversion unit inverting the first test pulse in response to the power up signal to generate an inversion pulse; and 상기 초기화 신호에 응답하여 초기화되면 상기 반전 펄스에 응답하여 상기 제 1 테스트 모드 신호를 생성하는 플립 플롭을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 테스트 모드 진입 회로.And a flip-flop configured to generate the first test mode signal in response to the inversion pulse when initialized in response to the initialization signal. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 초기화부는The initialization unit 상기 파워 업 신호가 인에이블 되거나 상기 리셋 신호가 인에이블되면 인에이블된 상기 초기화 신호를 생성하도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 테스트 모드 진입 회로.And generate the enabled initialization signal when the power up signal is enabled or the reset signal is enabled. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 펄스 반전부는The pulse inversion unit 상기 파워 업 신호가 인에이블되면 상기 제 1 테스트 펄스와는 무관하게 특정 레벨의 신호를 출력하고 상기 파워 업 신호가 디스에이블되면 상기 제 1 테스트 펄스를 반전시켜 상기 반전 펄스를 생성하도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 테스트 모드 진입 회로.Output the signal of a specific level irrespective of the first test pulse when the power up signal is enabled, and generate the inverted pulse by inverting the first test pulse when the power up signal is disabled. The test mode entry circuit of the semiconductor memory device. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 플립 플롭은The flip flop 상기 반전 펄스가 인에이블되면 상기 제 1 테스트 모드 신호를 인에이블시키고 상기 초기화 신호가 인에이블되면 상기 제 1 테스트 모드 신호를 디스에이블시키고 초기화되도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 테스트 모드 진입 회로.And the first test mode signal is enabled when the inverted pulse is enabled, and the first test mode signal is disabled and initialized when the initialization signal is enabled. 제 8 항에 있어서,The method of claim 8, 상기 제 2 레벨 신호 생성부는The second level signal generator 파워 업 신호 또는 상기 리셋 신호에 응답하여 초기화 신호를 생성하는 초기화부,An initialization unit generating an initialization signal in response to a power-up signal or the reset signal; 상기 파워 업 신호에 응답하여 상기 제 2 테스트 펄스를 반전시켜 반전 펄스 를 생성하는 펄스 반전부, 및A pulse inversion unit inverting the second test pulse to generate an inversion pulse in response to the power up signal, and 상기 초기화 신호에 응답하여 초기화되면 상기 반전 펄스에 응답하여 상기 제 2 테스트 모드 신호를 생성하는 플립 플롭을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 테스트 모드 진입 회로. And a flip-flop configured to generate the second test mode signal in response to the inversion pulse when initialized in response to the initialization signal. 제 13 항에 있어서,The method of claim 13, 상기 초기화부는The initialization unit 상기 파워 업 신호가인에이블되거나 상기 리셋 신호가 인에이블되면 인에이블된 상기 초기화 신호를 생성하도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 테스트 모드 진입 회로.And generate the enabled initialization signal when the power up signal is enabled or the reset signal is enabled. 제 13 항에 있어서,The method of claim 13, 상기 펄스 반전부는The pulse inversion unit 상기 파워 업 신호가 인에이블되면 상기 제 2 테스트 펄스와는 무관하게 특정 레벨의 신호를 출력하고 상기 파워 업 신호가 디스에이블되면 상기 제 2 테스트 펄스를 반전시켜 상기 반전 펄스를 생성하도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 테스트 모드 진입 회로.Output the signal of a specific level irrespective of the second test pulse when the power up signal is enabled, and generate the inverted pulse by inverting the second test pulse when the power up signal is disabled. The test mode entry circuit of the semiconductor memory device. 제 13 항에 있어서,The method of claim 13, 상기 플립 플롭은The flip flop 상기 반전 펄스가 인에이블되면 상기 제 2 테스트 모드 신호를 인에이블시키고 상기 초기화 신호가 인에이블되면 상기 제 2 테스트 모드 신호를 디스에이블시키고 초기화되도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치의 테스트 모드 진입 회로.And the second test mode signal is enabled when the inverted pulse is enabled, and the second test mode signal is disabled and initialized when the initialization signal is enabled. 복수개의 특정 어드레스 중 하나가 천이할 때 나머지 특정 어드레스 조합에 응답하여 인에이블된 테스트 모드 신호를 생성하고 리셋 신호가 인에이블되면 상기 테스트 모드 신호를 디스에이블시키는 테스트 모드 진입 회로;A test mode entry circuit for generating an enabled test mode signal in response to the remaining specific address combinations when one of a plurality of specific addresses transitions, and disabling the test mode signal when a reset signal is enabled; 상기 테스트 모드 신호가 인에이블되거나 리프레쉬 신호가 인에이블되면 인에이블된 리프레쉬 동작 신호를 생성하는 신호 조합부; 및A signal combination unit configured to generate an enabled refresh operation signal when the test mode signal is enabled or the refresh signal is enabled; And 상기 리프레쉬 동작 신호가 인에이블되면 리프레쉬 동작을 수행하는 리프레쉬 회로를 포함하는 반도체 메모리 장치.And a refresh circuit configured to perform a refresh operation when the refresh operation signal is enabled. 제 17 항에 있어서,The method of claim 17, 상기 테스트 모드 진입 회로는The test mode entry circuit 상기 하나의 특정 어드레스가 천이할 때 상기 나머지 특정 어드레스 조합이 기설정된 코드와 일치하면 상기 테스트 모드 신호를 인에이블시키도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.And enable the test mode signal if the remaining specific address combination coincides with a predetermined code when the one specific address transitions. 제 18 항에 있어서,The method of claim 18, 상기 테스트 모드 진입 회로는The test mode entry circuit 상기 하나의 특정 어드레스가 천이할 때 인에이블되는 테스트 펄스를 생성하고 상기 나머지 특정 어드레스 조합이 상기 기설정된 코드와 일치하면 상기 테스트 펄스를 출력하는 테스트 펄스 생성부, 및A test pulse generation unit generating a test pulse enabled when the one specific address transitions and outputting the test pulse when the remaining specific address combination matches the predetermined code; and 상기 테스트 펄스가 인에이블되면 상기 테스트 모드 신호를 인에이블시키고 상기 리셋 신호가 인에이블되면 상기 테스트 모드 신호를 디스에이블시키는 테스트 모드 신호 생성부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.And a test mode signal generator configured to enable the test mode signal when the test pulse is enabled and disable the test mode signal when the reset signal is enabled. 제 19 항에 있어서,The method of claim 19, 상기 테스트 펄스 생성부는The test pulse generator is 상기 하나의 특정 어드레스가 천이할 때 인에이블되는 상기 펄스를 생성하는 펄스 발생기, 및A pulse generator that generates the pulse that is enabled when the one specific address transitions, and 상기 나머지 특정 어드레스 조합이 상기 기설정된 코드와 동일하면 상기 펄스를 상기 테스트 펄스로서 출력하는 출력 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.And an output controller configured to output the pulse as the test pulse when the remaining specific address combination is the same as the predetermined code. 제 20 항에 있어서,The method of claim 20, 상기 출력 제어부는The output control unit 상기 나머지 특정 어드레스를 입력 받아 상기 기설정된 코드와 동일하면 인에이블된 판별 신호를 생성하는 판별부, 및A discriminator configured to receive the remaining specific address and generate an enabled discrimination signal when the predetermined code is the same as the preset code; 상기 판별 신호가 인에이블되면 상기 펄스를 상기 테스트 펄스로서 출력하는 출력부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.And an output unit configured to output the pulse as the test pulse when the determination signal is enabled. 제 19 항에 있어서,The method of claim 19, 상기 테스트 모드 신호 생성부는The test mode signal generation unit 파워 업 신호 또는 상기 리셋 신호에 응답하여 초기화 신호를 생성하는 초기화부, An initialization unit generating an initialization signal in response to a power-up signal or the reset signal; 상기 파워 업 신호에 응답하여 상기 테스트 펄스를 반전시켜 반전 펄스를 생성하는 펄스 반전부, 및A pulse inversion unit inverting the test pulse in response to the power up signal to generate an inversion pulse, and 상기 초기화 신호에 응답하여 초기화되면 상기 반전 펄스에 응답하여 상기 테스트 모드 신호를 생성하는 플립플롭을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.And a flip-flop configured to generate the test mode signal in response to the inversion pulse when initialized in response to the initialization signal. 제 22 항에 있어서,The method of claim 22, 상기 초기화부는 The initialization unit 상기 파워 업 신호가 인에이블되거나 상기 리셋 신호가 인에이블되면 상기 초기화 신호를 생성하도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.And generate the initialization signal when the power up signal is enabled or the reset signal is enabled. 제 23 항에 있어서,The method of claim 23, 상기 펄스 반전부는The pulse inversion unit 상기 파워 업 신호가 인에이블되면 상기 테스트 펄스와는 무관하게 특정 레벨의 신호를 출력하고 상기 파워 업 신호가 디스에이블되면 상기 테스트 펄스를 반전시켜 상기 반전 펄스를 생성하도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.And when the power-up signal is enabled, output a signal having a specific level irrespective of the test pulse, and when the power-up signal is disabled, invert the test pulse to generate the inverted pulse. . 제 23 항에 있어서,The method of claim 23, 상기 플립 플롭은The flip flop 상기 반전 펄스가 인에이블되면 상기 테스트 모드 신호를 인에이블시키고 상기 초기화 신호가 인에이블되면 상기 테스트 모드 신호를 디스에이블시키고 초기화되도록 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 메모리 장치.And enable the test mode signal when the inversion pulse is enabled, and disable and initialize the test mode signal when the initialization signal is enabled.
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US11881244B2 (en) 2021-07-27 2024-01-23 SK Hynix Inc. Semiconductor memory apparatus including address generation circuit, row hammer detection circuit and operation determination circuit operating to ensure a stable refresh operation against row hammering

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