KR20090014072A - 자동화 개발 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 특정한 장소나 프로그램에 의존되지 않는 개발환경을 제공하며, 컴포넌트 모듈화된 개발환경에 의해 만들어진 컴포넌트 모듈을 재 사용하여 개발 기간을 단축할 수 있으며, 수정과 변경이 용이한 자동화 개발 시스템에 관한 것이다. 본 발명은, 컴포넌트 기반의 모듈을 이용하며, 컴포넌트 모듈을 플로우 차트에 대응시키고, 사용자가 플로우 차트를 통해 컴포넌트 모듈을 배치, 및 수정하며, 컴포넌트 모듈은, 국제 반도체 장비 표준에 따라 형성함으로써 자동화된 방식으로 제어 코드를 생성하는 자동화 개발 시스템에 의해 구현된다.

자동화, 모듈, 다이어그램, 플로우 차트, SECS

Description

자동화 개발 시스템{Virtual factory automatoin system}

본 발명은 자동화 개발 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 특정한 장소나 프로그램에 의존되지 않는 개발환경을 제공하며, 컴포넌트 모듈화된 개발환경에 의해 만들어진 컴포넌트 모듈을 재 사용하여 개발 기간을 단축하고 개발된 제어코드의 수정, 및 변경이 용이한 자동화 개발 시스템에 관한 것이다.

반도체 생산 장비간 통신 표준화(SECS : SEMI Equipment Communication Standard)는 반도체 장치를 생산하는 업체들에 의해 도입되었다. 그러나 현장에서는 여전히 통신 표준화를 따르기 이전의 오래된 장치를 사용하는 곳이 많다.

오래된 반도체 장치들은 업그레이드된 최근 장치들과는 달리, 병렬 포트와 플로피 디스크 그리고 통신을 위한 I/O 포트를 사용한다. 반면에 최신 장치들은 장치간 통신 표준화(SECS)를 따른다. 따라서 여러 가지 장치들이 작업하는 생산 라인에서 몇몇 장치들은 다른 장비들과 통신하는데 어려움을 겪는다.

반도체 장치 간 통신 표준화가 적용되지 않은 시스템을 사용하는데 있어서 가장 큰 문제점은 장치 조작은 물론 각 장치들로부터의 데이터를 저장하기 위해서는 별도의 인력이 필요하다는 것이다. 장치들로부터 정보를 수집하고 기록하기 위 해 인력을 사용하는 것은 시간과 노력 그리고 비용이 소요된다. 또, 사람의 조작으로 인한 에러 발생률이 증가한다. 엄격한 장치 간 통신 표준화의 요구사항을 만족하기 위해서는 시스템은 정보를 수집, 통합하고 그것을 중앙 서버에 전달할 수 있어야 한다.

종래의 자동화 개발 시스템은,

장치제어, 특히 반도체 장치제어관리에서 다음과 같은 문제점이 있어, 새로운 장치제어용 소프트웨어 개발이 요구된다.

(1) 문제가 발생시 장치 제어용 소프트웨를 개발한 개발자 측이 장치 제어를 위한 프로그램을 코드 형태로 제공하므로 원인 진단과 처방에 걸리는 시간이 상당하며, 라인 생산성에 큰 손실을 가져오고 있다. 따라서 신속하게 파악, 분석, 수정, 보완할 수 있는 소프트웨어가 요구된다.

(2) 수율향상 등 생산성 향상을 위하여 최신 장치로 교체하거나, 공정 프로세스의 변경이 필요한 경우가 발생할 경우, 생산공정 H/W 변경에 맞게 관련 설비제어 소프트웨어(MMI)의 로직 즉, scheduler 소프트웨어의 변경이 필요하다. 그러나, 기존 MMI 소프트웨어를 이용하는 환경에서는 scheduler 프로그램을 개발한 Software 제작사에서 scheduling logic을 공개를 하지 않으므로, 변경이 기술적으로 어렵고 공정 개선이 현실적으로 불가능한 실정이다. 따라서 생산공정 H/W 변경에 맞게 Scheduler 소프트웨어의(MMI)의 로직을 User가 수정 가능하도록 하는 것이 요구된다.

(3) 기존 시스템은 특정 장소에 원격제어시스템을 구축하여 제한된 장소에서 만 장치를 원격으로 제어할 수 있어 시스템 사용이 매우 불편하다.　 또한,　기존의 원격제어 S/W는 MMI를 제공하는 회사의 제품에만 적용이 가능하여 범용성이 매우 떨어져, 장소에 구애받지 않고, 이기종 소프트웨어에도 설치될 수 있는 범용 소프트웨어의 개발이 필요하다. 장치제어를 효율적으로 수행하기 위해서는 제어관련 전문가가 장소에 구애받지 않고, 시스템에 접근하여, 필요할 경우 장치제어를 할 수 있어야 한다.

4) 장치 제공업체는 고객에 따라 서로 다른 요구사항에 따른 개발비용 증가, 장치 사용업체는 각 시스템간 상이한 통신사양으로 인한 시스템 통합문제가 발생하고 있다.　 이에 따라, 장치제어용 MMI 솔루션 역시 SEMI standard에 부합되게 개발할 필요가 있으나, SEMI 표준 내용이 너무나 방대하여, 각 공정관리에 적합하면서도 표준에 부합되는 S/W를 제작하는데 어려움이 있다. 따라서, SEMI 표준에 맞게 각 기능을 component base하에 모듈화를 하여 각 모듈의 재 사용성을 높임으로써, 표준에도 부합되며, 각 사마다 상이한 장비제어 프로세스에 적합한 솔루션을 보다 신속하게 개발할 수 있는 기능이 요구된다.

본 발명은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 컴포넌트화된 모듈을 이용하여 SECS 규격에 부합하는 제어 코드를 생성하며, 생성된 제어 코드를 쉽게 편집할 수 있도록 하는 자동화 개발 시스템을 제공하는데 있다.

또한, 본 발명의 목적은 S/W 로직에 Diagram, 또는 플로우 차트로 표현하는 비주얼라이즈(Visualize) 방식을 적용하여, 제어 코드의 개발, 수정, 유지, 보수를 개선하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 특정장소, 특정 MMI S/W에 구애받지 않는 개방형,범용원격제어 S/W 개발환경을 구축하는데 있다.

본 발명에 따른 자동화 개발 시스템은, .따라서 본 발명은 적어도 하나의 SECS(Semiconductor Equipment Communication Standart) 표준 메시지를 이용하여 구성되는 컴포넌트 모듈을 구비하고, 상기 컴포넌트 모듈을 호스트 시스템에 등록하며, 상기 등록된 컴포넌트들 중 호출된 컴포넌트는 상기 호스트 시스템과 연결되는 디스플레이장치의 일 측에 플로우 차트, 및 다이어그램 중 어느 하나의 형태로 표시되고, 상기 디스플레이장치에 표시된 컴포넌트는 상기 플로우 차트, 및 다이어그램의 형태를 유지하는 상태에서 편집되도록 함으로써 GUI 기반에서 SECS 표준 메시지에 따른 재어 프로그램을 작성할 수 있도록 한다.

본 발명에 따른 자동화 개발 시스템은, 적어도 하나의 SECS(Semiconductor Equipment Communication Standart) 표준 메시지를 이용하여 구성되는 컴포넌트 모듈을 구비하고, 제어 대상 장치, 및 상기 장치를 제어하는 호스트 사이에 통신 채널을 형성하며, 상기 컴포넌트를 호출 시, 상기 컴포넌트를 디스플레이장치의 일 측에 플로우 차트, 및 다이어그램 중 어느 하나의 형태로 표시하며, 상기 컴포넌트에 대해 메시지를 편집하는 편집 인터페이스를 상기 디스플레이장치로 표시하는 비주얼 처리부; 및 상기 편집된 컴포넌트를 구성하는 SECS 표준 메시지를 결합하여 전체 소스 코드를 생성하는 코드 생성부;를 포함한다.

상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 자동화 개발 시스템은 표준화된 SECS 메시지에 의해 제어 대상 장비를 제어할 수 있는 코드를 생성할 수 있도록 하며, 코드 생성은 플로우 차트, 또는 다이어그램의 형태로 구현함으로써, 특정한 프로그램에 의존되지 않는 장비 제어 프로그램의 개발 환경을 제공한다.

본 발명은 컴포넌트 모듈을 이용하여 장비 제어 코드를 생성하므로 컴포넌트 모듈을 타 장치에도 적용할 수 있으며, 컴포넌트 모듈은 SECS 규격에 따른 메시지의 조합이므로 컴포넌트의 조합이 곧 제어 코드의 생성에 직결된다. 따라서, 다양한 반도체 장치를 제어하기 위한 개발비용, 시간, 및 노력이 대폭 감소한다.

또한, 기존의 개발 기간을 1/2 이상 줄일 수 있고, 비용도 기존을 1/2 정도인 장비 제어 시스템을 구축할 수 있다. 따라서 고객이 요구한 납기 내에 제품을 공급할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 자동화 개발 시스템의 인터페이스 화면(10)을 도시한다.

도시된 인터페이스 화면(10)에는 등록된 컴포넌트 모듈을 표시하는 모듈 리스트(16), 플로우 차트 메뉴(15), 및 편집 인터페이스(14)가 마련되고, 도면의 하단 좌측에는 코딩된 결과를 표시하는 메뉴(Output)가 마련된다.

개발자가 모듈 리스트(16)를 참고하여 원하는 컴포넌트 모듈명(예를 들어, S1F21, S1F23, ..., 및 S7F77 중 어느 하나)을 선택하면, 선택된 컴포넌트 모듈명에 해당하는 컴포넌트 모듈이 도면 중앙에 표시된 바와 같이, 플로우 차트(또는 다이어그램)의 형태로 표시된다. 플로우 차트는 컴포넌트 모듈(12a ∼ 12k)이 모듈 리스트(16)에서 선택된 순서에 따라 "start" 부터 순서대로 연결된다. 개발자는 이미 만들어진 플로우 차트에 새로운 컴포넌트 모듈을 삽입하여 플로우 차트를 구성하는 각 컴포넌트 모듈(12a ∼ 12k)의 연결 고리를 변경할 수 있다. 도시된 플로우 차트에서, 각 컴포넌트 모듈(12a ∼ 12k)의 일 측에는 컴포넌트 모듈에 대한 부가 설명이 배치된다. 부가 설명에는 컴포넌트 모듈(12a ∼ 12k)의 타입, 변수, 변수 값, 및 실행 후, 결과 값등이 표시된다.

도면의 우측에는 각 컴포넌트 모듈(12a ∼ 12k) 중 개발자에 의해 선택된 컴포넌트 모듈의 구성을 표시하고, 이를 편집할 수 있도록 하는 인터페이스(14)가 마련된다. 도시된 인터페이스(14)는 플로우 차트 메뉴(15)에 도시된 컴포넌트 모듈 중 "start(12a)"에 대한 것으로, 컴포넌트 모듈(12a)을 구성하는 각 문장은 아래에 기재된 의미를 갖는다.

- 아래 -

component text는 컴포넌트에 부여된 명칭을 나타낸다.

- description 아래의 document는 컴포넌트를 설명하기 위한 주석을 기입하고,

trace는 콤포넌트를 실행 후, 컴포넌트의 변수, 변수 값, 및 컴포넌트가 실행되는 채널에 대한 추적 여부를 설정한다.

variable list는 컴포넌트에 소속되는 변수의 리스트를 나타낸다.

variable list에 부속되는 $PARAMETER는 외부에서 넘어오는 데이터를 의미하고, $RETURN은 외부로 넘겨줄 변수 데이터를 나타낸다.

$MsgID는 SECS 표준에 따른 메시지의 ID를 나타낸다.

$IDevID는 장치(반도체 장치)를 제어하는 호스트의 장치 아이디를 나타낸다.

$IStrm은 SECS 메시지의 스트림 넘버를 나타낸다.

$IFunc은 SECS 메시지의 함수 넘버를 나타낸다.

$ISysByte는 하나의 SECS 메시지에 대한 primary, 및 secondary를 확인하는 아이디를 나타낸다. 여기서, primary는 호스트에서 장치로 전송되는 메시지를 의미하고, secondary는 장치에서 호스트로 전송되는 메시지를 의미한다. 이는 도 2를 참조하도록 한다.

Event는 State change transition(SCT) 이벤트를 설정할 수 있다. 스타트 컴포넌트 모듈의 이벤트가 활성화될 경우, 이벤트에 반응하여 전체 컴포넌트 모듈 이 작동할 수 있다.

Event에 대한 항목은 도 6에 도시된 이벤트 인터페이스를 통해 추가되거나, 편집될 수 있다.

도 6에 도시된 이벤트 인터페이스는 도 1에 도시된 메뉴 버튼 중 하나에 의해 호출되며, 본 발명에 의한 자동화 개발 시스템이 제공하지 않는 별도의 이벤트를 추가할 수 있도록 한다.

IO write configuration은 변수 값을 초기화 할 수 있다.

위에 기재된 컴포넌트 모듈은 도 1에 도시된 컴포넌트 모듈(12a)을 구성하는 SECS 메시지 규격에 따른 메시지가 조합된 것이다. 이와같은 형태의 SECS 메시지가 구비된 컴포넌트 모듈(12a)은 타 개발자도 사용 가능한, 즉 범용으로 사용할 수 있도록 각 항목(예를 들어, component text, variable list, 및 Event등)이 마련되고, 자신의 필요에 따라 필요한 항목을 편집하여 컴포넌트 모듈을 원하는 형태로 변경할 수 있도록 한다.

컴포넌트 모듈(12a)을 구성하는 모든 메시지는 SECS 규격에 따른 메시지 이므로 각 컴포넌트 모듈(12a ∼ 12k)이 결합된 최종 제어 코드도 SECS 규격에 맞는 메시지의 조합이 된다. 따라서, 개발자는 모듈 리스트(16)에서 원하는 컴포넌트 모듈명을 선택하면, 자동화 개발 시스템은 선택된 모듈에 해당하는 컴포넌트 모듈을 플로우 차트 메뉴(15)에 표시하며, 플로우 차트 메뉴(15)에 열거된 컴포넌트 모듈(12a ∼ 12k)이 하나의 제어 코드로 변환되어 누구나 원하는 제어 코드를 생성할 수 있도록 한다.

도 1의 우측 하단에는 플로우 차트 메뉴(15)에 표시된 각 컴포넌트 모듈(12a ∼ 12k)에 대한 최종 테스트 결과가 표시되며, 오류가 발생할 경우, 오류코드, 오류가 발생한 라인의 정보가 표시된다.

도면에서, 모듈 리스트(16)에 표시된 컴포넌트 모듈명은 S21F21, S1F23, S1F25와 같은 형태를 갖는다. SECS 메시지는 도 3에 도시된 형태의 명령어 셋을 구비한다. 도시된 인터페이스 화면(10)은 후술할 비주얼 처리부에 의해 구현되는 기능이다.

도 3에서 S1F1은 호스트가 제어대상 장치의 응답을 요청하는 메시지를 의미하고, S5F3은 제어대상 장치의 알람을 활성화 또는 비 활성화 하는 명령어를 의미한다. 일반인에게는 저와 같은 형태의 메시지가 난해할 수 있으나, SECS 표준에 따라 반도체 장치 제어 코드를 설계하는 해당 업자에게 있어서, SECS 메시지는 명령어의 조합으로 표현되는 것이 이해하기 용이하며, 모듈 리스트(16)에 기재된 컴포넌트 모듈명은 해당 업자에게 있어서 이해하기 쉽고 사용하기 쉬운 형태임을 말해둔다. 물론, 모듈 리스트(16)에 기재된 컴포넌트 모듈명 대신 영어나 한글을 이용하여 컴포넌트 모듈명을 작성할 수 있다.

도 4는 본 발명에 따른 자동화 개발 시스템의 전체 구성도를 도시한다.

본 발명에 의한 자동화 개발 시스템은, SECS 드라이버(51), SECS 인코더(52), SECS 디코더(53), SECS 매니저(54), 워크 풀(55), 비주얼 처리부(56), 및 코드 생성부(57)를 구비한다.

SECS 드라이버(51)는 SECS 표준에 따른 S9 스트림을 지원하며, 데이터를 전송, 또는 수신하고, SECS 메시지 통신, 이벤트 처리, 타임아웃 처리, 알람 처리, 및 무효 메시지에 대한 처리를 수행한다. 여기서, 타임아웃 처리는 호스트(30)에서 제어대상 장치로 전송된 SECS 메시지가 일정 기간 동안 처리되지 않을 때, 무효로 처리하거나, 해당 SECS 메시지가 수행되지 않을 때, 재 시도하거나, 다른 루틴으로 점프하는 처리를 의미한다.

SECS 인코더(52)는 제어대상 장치에서 호스트(30)로 전송하는 데이터를 SECS 규격에 따른 데이터로 변환한다. SECS 디코더(53)는 SECS 인코더(52)에 의해 변환된 데이터를 개발자가 볼 수 있는 데이터 타입으로 변환한다. 개발자는 SECS 디코더(53)에서 변환된 데이터 타입을 이용하여 디버깅, 및 편집을 수행할 수 있다.

SECS 매니저(54)는 메시지의 타입을 스트림, 및 펑션(function) 중 하나로 구분한다. 메시지 타입은 도 1에 도시된 인터페이스 화면(10)을 통해 기입된 데이터 타입에 따라 구분되는 것이 바람직하다. 워크 풀(55)은 SECS 규격에 따른 메시지를 이용하여 스트림, 및 펑션을 처리한다. 워크 풀(55)은 멀티-스레딩(multi-threading)을 이용하여 복수의 스트림, 및 펑션을 처리할 수 있으며, 제어 코드의 개발 시간을 단축시킬 수 있다.

비주얼 처리부(56)는, 도 1의 모듈 리스트(16)에서 호출된 컴포넌트 모듈(12a ∼ 12k)을 플로우 차트나 다이어그램의 형태로 디스플레이장치에 표시하며, 각 컴포넌트 모듈(12a ∼ 12k) 중 선택된 컴포넌트 모듈(12a ∼ 12k 중 하나)을 인터페이스(14)에 표시하여 개발자로 하여금 원하는 항목을 편집할 수 있도록 한다. 비주얼 처리부(56)는 디스플레이장치에 표시되는 컴포넌트 모듈(12a ∼ 12k)을 편집하기 위한 메뉴를, 디스플레이장치에 표시된 컴포넌트 모듈 그 자체에서 호출할 수 있다. 이에 대해 도 5를 참조하여 설명토록 한다.

도 5는 비주얼 처리부(56)가 컴포넌트 모듈(12b)를 카피, 삭제, 회전, 브레이크 포인트 설정, 및 다큐먼트 디스플레이를 통해 편집할 수 있도록 하는 편집 방식의 일 예를 도시한다.

도면에 도시된 바와 같이, 비주얼 처리부(56)는 컴포넌트 모듈(12b)의 편집을 위해, 마우스의 커서를 컴포넌트 모듈(12b)에 대응시키고, 마우스의 우측 버튼을 눌러 디스플레이장치에 플로우 차트 형태로 표시된 컴포넌트를 조작할 수 있다. 마우스에 의해 컴포넌트 모듈(12b)가 선택될 때, 도 1의 인터페이스(14)에는 선택된 컴포넌트 모듈(12b)을 구성하는 옵션(예를 들어 component text, variable list, Event 등)이 표시되고, 표시된 옵션들은 개발자의 필요에 따라 편집될 수 있다.

코드 생성부(57)는 비주얼 처리부(56)에 의해 편집되고 정렬된 컴포넌트 모듈(12a ∼ 12k)을 SECS 표준에 따른 하나의 제어 코드로 변환한다. 변환된 제어 코드는 네트워크를 통해 제어대상 장치로 인가되고, 제어대상 장치가 인가된 제어 코드에 응답하여 전송하는 응답 메시지는 SECS 인코더(52), 및 SECS 디코더(53)로 피드백되어 제어코드의 성패 여부를 판단할 수 있다.

본 발명에 의한 자동화 개발 시스템은 SECS 표준에 따라 제어 코드를 생성하 는 반도체 장치, LCD 장치, 및 석유나 철강분야의 자동화 플랜트에 적용될 수 있다.

본 발명에 의한 자동화 개발 시스템이 반도체 장치에 적용될 경우, Wafer Polisher, Etcher, CVD, Asher, Annealing, Cleaning, Module Tester 등에 적용 가능하고,

LCD 장치에 적용될 경우, Coater, Etcher, Stripper, 합착기, 경화기, LC Dispenser, 세정기, 검사기, Packaging 등에 적용될 수 있다.

이 외에도, 별도의 인력을 필요로 하지 않는, 자동화된 시설(예를 들어 정수 처리 장치, 오수 처리장치, 소각 장치)에 적용 가능하며, 빌딩 내 주차 관리 설비, 시멘트, 철강과 같은 원재료를 가공하는 시설에도 적용할 수 있다.

도 1은 본 발명에 따른 자동화 개발 시스템의 인터페이스 화면을 도시한다.

도 2는 primary와 secondary에 대한 개념을 설명하기 위한 개념도를 도시한다.

도 3은 SECS 명령어 셋의 형태를 설명하기 위한 도면을 도시한다.

도 4는 본 발명에 따른 자동화 개발 시스템의 전체 구성도를 도시한다.

도 5는 비주얼 처리부가 컴포넌트 모듈을 카피, 삭제, 회전, 브레이크 포인트 설정, 및 다큐먼트 디스플레이를 통해 편집할 수 있도록 하는 편집 방식의 일 예를 도시한다.

도 6은 이벤트 항목의 편집을 위한 인터페이스의 일 예를 도시한다.

** 주요 도면 부호에 대한 설명 **

30 : 호스트 SECS 드라이버 : 51

SECS 인코더 : 52 SECS 디코더 : 53

SECS 메니저 : 54 워크 풀 : 55

비주얼 처리부 : 56 코드 생성부 : 57

Claims (7)

1. 적어도 하나의 SECS(Semiconductor Equipment Communication Standart) 표준 메시지를 이용하여 구성되는 컴포넌트 모듈을 구비하고, 상기 컴포넌트 모듈을 호스트 시스템에 등록하며,

   상기 등록된 컴포넌트들 중 호출된 컴포넌트는 상기 호스트 시스템과 연결되는 디스플레이장치의 일 측에 플로우 차트, 및 다이어그램 중 어느 하나의 형태로 표시되고,

   상기 디스플레이장치에 표시된 컴포넌트는 상기 플로우 차트, 및 다이어그램의 형태를 유지하는 상태에서 편집되도록 함으로써 GUI 기반에서 SECS 표준 메시지에 따른 재어 프로그램을 작성할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 자동화 개발 시스템.
2. 제1항에 있어서,

   상기 편집된 컴포넌트는,

   상기 SECS 표준 메시지의 형태로 인코딩되는 것을 특징으로 하는 자동화 개발 시스템.
3. 적어도 하나의 SECS(Semiconductor Equipment Communication Standart) 표준 메시지를 이용하여 구성되는 컴포넌트 모듈을 구비하고, 제어 대상 장치, 및 상기 장치를 제어하는 호스트 사이에 통신 채널을 형성하며,

   상기 컴포넌트를 호출 시, 상기 컴포넌트를 디스플레이장치의 일 측에 플로우 차트, 및 다이어그램 중 어느 하나의 형태로 표시하며, 상기 컴포넌트에 대해 메시지를 편집하는 편집 인터페이스를 상기 디스플레이장치로 표시하는 비주얼 처리부; 및

   상기 편집된 컴포넌트를 구성하는 SECS 표준 메시지를 결합하여 전체 소스 코드를 생성하는 코드 생성부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동화 개발 시스템.
4. 제3항에 있어서,

   상기 비주얼 처리부는,

   상기 등록된 컴포넌트 모듈의 모듈 리스트, 및 상기 편집 인터페이스를 상기 디스플레이장치의 타 측에 표시하는 것을 특징으로 하는 자동화 개발 시스템.
5. 제4항에 있어서,

   상기 모듈 리스트는,

   사용자 정의되는 컴포넌트 모듈을 등록 시, 등록된 컴포넌트 모듈을 상기 모듈 리스트에 표시하는 것을 특징으로 하는 자동화 개발 시스템.
6. 제3항에 있어서,

   상기 소스 코드를 상기 장치로 전송하여 테스트하는 테스트 모듈;을 더 포함하며,

   상기 테스트 모듈은,

   상기 호스트가 상기 장치로 전송하는 소스 코드에 응답하여 상기 장치에서 상기 호스트로 전송하는 메시지를 상기 SECS 표준 메시지로 변환하는 SECS 인코더;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자동화 개발 시스템.
7. 제6항에 있어서,

   상기 장치에서 전송되는 메시지를 상기 비주얼 처리부의 데이터 포멧으로 변환하여 상기 비주얼 처리부로 제공하여 상기 디스플레이장치에 표시되도록 하는 SECS 디코더;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자동화 개발 시스템.

Images