KR20090009181U - 게이트밸브 - Google Patents

Abstract

본 고안은 게이트밸브에 관한 것으로서, 본 고안에 따른 게이트밸브는 진공챔버와, 상기 진공챔버 내부를 감압하는 진공펌프 사이에 설치되는 게이트밸브에 있어서, 내부에 슬라이드공간을 형성하고, 진공챔버에 연결되는 흡입구와 진공펌프에 연결되는 토출구가 개구되는 하우징; 상기 하우징의 슬라이드 공간을 왕복운동하면서 흡입구와 토출구를 개폐하는 슬라이더; 외주면에 나선을 형성하며, 상기 슬라이더를 왕복운동시키는 나선축; 중심부는 관통되어 상기 나선축의 나선에 대응되는 나선이 형성된 관통삽입공을 구비하고, 상기 슬라이더의 일측에 고정 설치되어 상기 나선축을 따라 이동하는 연결브라켓; 상기 하우징의 일측에서 상기 나선축의 타측에 연결되어 상기 나선축을 회전시키는 모터;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이에 의하여, 슬라이더가 하우징의 슬라이드공간 내에서 용이하게 이동하면서, 흡입구와 토출구를 정확하게 개폐할 수 있는 게이트밸브가 제공된다.

또한, 슬라이더의 이동속도를 조절하여 게이트밸브의 개폐속도를 향상시킬 수 있는 게이트밸브가 제공된다.

게이트밸브, 가스켓, 나선축, 모터, 연결브라켓

Description

게이트밸브{GATE VALVE}

본 고안은 게이트밸브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 모터에 의해 회전하는 나선축을 이용하여 슬라이더를 왕복운동시켜 게이트밸브를 개폐하므로써, 연결관의 대형화에 대응하여 게이트밸브가 정확하게 개폐되도록 하고, 개폐속도가 향상되며, 원가절감을 이룰 수 있는 게이트밸브에 관한 것이다.

일반적으로 반도체는 고정밀도를 요구하므로 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되고 있다. 이러한 이유로 반도체 소자는 공기 중에 포함된 이물질의 접촉을 가장 완벽하게 차단할 수 있는 진공 상태에서 제조된다, 따라서 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다.

반도체 제조공저에는 반도체 소자의 집적공정이 이루어지는 챔버와 이 챔버 내의 공기를 흡입하는 진공펌프 사이에 설치되어 진공펌프의 흡입력이 챔버로 전달되는 것을 개폐하도록 게이트밸브가 중요한 역할을 한다.

이때 게이트밸브는 장비의 유지 보수를 위하여 진공챔버와 진공펌프 사이를 차단하여 장비나 설비를 점검하거나 세정하는 것과 같이 장비의 유지 보수를 위하 여 사용된다.

또한, 게이트밸브는 진공펌프나 장비가 오동작할 때 재빨리 진공챔버와 진공펌프의 연결통로를 닫아 진공챔버 내의 진공 상태가 유지되도록 하여 생산 라인의 장비가 지속적으로 생산을 가능토록 하는 역할을 한다.

첨부 도면 도 1은 종래 기술에 따른 게이트밸브의 평면도이고, 도 2는 종래 기술에 따른 게이트밸브의 측면도이다.

도 1과 도 2를 참조하면, 게이트밸브는 진공챔버와 진공펌프를 연결하는 연결관 사이에서 플랜지 이음으로 연결되어 있다.

게이트밸브는 몸체(100)와 차단판(200)과 실린더(500)로 구분되며, 몸체(100)에는 연결관(120)이 연결되는 통과공(110)이 형성되고, 몸체(100)의 내부공간(140)에서는 차단판(200)이 형성되어 실린더(500)에 의해 몸체(100) 내부를 슬라이드 이동하면서 통과공(110)을 개폐하게 된다. 차단판(200)에는 가장자리를 따라 오링(210)이 결합되어 있다. 차단판(200)과 실린더(500)는 구동축(300)에 의해 연결되어 있다.

하지만, 최근 반도체 및 LCD 제조 기술 발전에 따라 기판의 크기가 대형화되면서, 게이트밸브가 설치되는 연결관의 구경이 커지고 있다.

따라서, 종래 기술에 따른 게이트밸브는 연결관의 구경이 커짐에 따라 통과공의 구경이 증가되고, 차단판의 크기도 증가하여 몸체의 내부공간에서 차단판의 슬라이드 이동이 어려워지는 문제점이 있었다.

또한, 실린더의 왕복운동을 이용하여 차단판의 슬라이드 이동속도를 조절하기 어려운 문제점이 있었다.

따라서, 본 고안의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 슬라이더가 하우징의 슬라이드공간 내에서 용이하게 이동하면서, 흡입구와 토출구를 정확하게 개폐할 수 있는 게이트밸브를 제공함에 있다.

또한, 슬라이더의 이동속도를 조절하여 게이트밸브의 개폐속도를 향상시킬 수 있는 게이트밸브를 제공함에 있다.

또한, 게이트밸브가 폐쇄되었을 때 흡입구 또는 토출구에서의 밀폐력을 향상시킬 수 있는 게이트밸브를 제공함에 있다.

또한, 게이트밸브가 개방 또는 폐쇄되었을 때, 슬라이더의 슬라이딩공간으로 이물질이 침입하는 것을 방지하고, 하우징과 슬라이더의 밀착력을 향상시킬 수 있는 게이트밸브를 제공함에 있다.

또한, 하우징 내부에 축적될 수 있는 이물질을 용이하게 제거하고, 이물질 축적에 따른 게이트밸브의 개폐 정확성을 향상시킬 수 있는 게이트밸브를 제공함에 있다.

또한, 하우징의 슬라이딩공간에서 슬라이더가 용이하게 이동할 수 있도록 하는 게이트밸브를 제공함에 있다.

상기 목적은, 본 고안에 따라, 진공챔버와, 상기 진공챔버 내부를 감압하는 진공펌프 사이에 설치되는 게이트밸브에 있어서, 내부에 슬라이드공간을 형성하고, 진공챔버에 연결되는 흡입구와 진공펌프에 연결되는 토출구가 개구되는 하우징; 상기 하우징의 슬라이드 공간을 왕복운동하면서 흡입구와 토출구를 개폐하는 슬라이더; 외주면에 나선을 형성하며, 상기 슬라이더를 왕복운동시키는 나선축; 중심부는 관통되어 상기 나선축의 나선에 대응되는 나선이 형성된 관통삽입공을 구비하고, 상기 슬라이더의 일측에 고정 설치되어 상기 나선축을 따라 이동하는 연결브라켓; 상기 하우징의 일측에서 상기 나선축의 타측에 연결되어 상기 나선축을 회전시키는 모터;를 포함하는 게이트밸브에 의해 달성된다.

여기서 상기 연결브라켓은 상기 나선축의 축방향과 수직한 상기 슬라이더의 측면에 고정 설치되도록 하는 것이 바람직하다.

여기서 상기 연결브라켓은 상기 나선축의 축방향과 평행한 상기 슬라이더의 측면에 고정 설치되도록 하는 것이 바람직하다.

여기서 상기 흡입구 또는 토출구에 대응되는 슬라이더의 면과, 상기 흡입구와, 상기 토출구 중 적어도 어느 하나에 설치되어 상기 흡입구와 상기 슬라이딩공간 사이 또는 상기 토출구와 상기 슬라이딩공간 사이의 기밀을 유지하는 제1패킹부재;가 형성되도록 하는 것이 바람직하다.

여기서 게이트밸브 완전 폐쇄시 상기 슬라이더의 선단 또는 후단에 대응되는 상기 하우징의 내주면과, 게이트밸브 완전 개방시 상기 슬라이더의 선단 또는 후단에 대응되는 상기 하우징의 내주면과, 상기 슬라이더의 선단과, 상기 슬라이더의 후단 중 적어도 어느 하나에 설치되어 상기 슬라이더의 왕복운동에 따라 상기 나선축이 설치된 슬라이딩공간의 기밀을 유지하는 제2패킹부재;가 형성되도록 하는 것 이 바람직하다.

여기서 상기 하우징은 상기 슬라이더의 슬라이딩 방향 선단을 개구하여 개구부를 형성하고, 상기 하우징의 개구부는 내측이 오목하게 함몰된 커버부재가 착탈 가능하게 결합되도록 하는 것이 바람직하다.

여기서 상기 하우징의 슬라이딩 공간 내주면에 접촉하는 상기 슬라이더의 외측면 중 적어도 어느 한 면에 고정 설치되고, 회전 가능한 적어도 하나 이상의 롤러베어링;이 형성되도록 하는 것이 바람직하다.

여기서 일단은 상기 슬라이더 또는 상기 연결브라켓에 밀착 고정되고 타단은 상기 하우징의 내면에 각각 밀착 고정되어 상기 나선축을 감싸고, 상기 슬라이더의 왕복운동에 따라 신축 가능한 신축부재;가 형성되도록 하는 것이 바람직하다.

본 고안에 따르면, 슬라이더가 하우징의 슬라이드공간 내에서 용이하게 이동하면서, 흡입구와 토출구를 정확하게 개폐할 수 있는 게이트밸브가 제공된다.

또한, 슬라이더의 이동속도를 조절하여 게이트밸브의 개폐속도를 향상시킬 수 있는 게이트밸브가 제공된다.

또한, 게이트밸브가 폐쇄되었을 때 흡입구 또는 토출구에서의 밀폐력을 향상시킬 수 있는 게이트밸브가 제공된다.

또한, 게이트밸브가 개방 또는 폐쇄되었을 때, 슬라이더의 슬라이딩공간으로 이물질이 침입하는 것을 방지하고, 하우징과 슬라이더의 밀착력을 향상시킬 수 있는 게이트밸브가 제공된다.

또한, 하우징 내부에 축적될 수 있는 이물질을 용이하게 제거하고, 이물질 축적에 따른 게이트밸브의 개폐 정확성을 향상시킬 수 있는 게이트밸브가 제공된다.

또한, 하우징의 슬라이딩공간에서 슬라이더가 용이하게 이동할 수 있도록 하는 게이트밸브가 제공된다.

또한, 모터에 의해 회전하는 나선축에 이물질이 축적되는 것을 방지하도록 하는 게이트밸브가 제공된다.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 고안의 제1실시예에 따른 게이트밸브에 대하여 상세하게 설명한다.

첨부 도면 도 3은 본 고안의 제1실시예에 따른 게이트밸브를 개략적으로 도시한 사시도이고, 도 4는 본 고안의 제1실시예에 따른 게이트밸브를 개략적으로 도시한 평면도이며, 도 5는 본 고안의 제1실시예에 따른 게이트밸브를 개략적으로 도시한 측면도이고, 도 6은 본 고안의 제1실시예에 따른 게이트밸브의 하우징을 개략적으로 도시한 평단면도이다.

도 3 내지 도 6을 참조하면, 본 고안의 제1실시예에 따른 게이트밸브는 진공챔버와, 진공챔버 내부를 감압하는 진공펌프 사이에 설치되는 것으로, 하우징(1), 슬라이더(2), 나선축(3), 연결브라켓(4), 모터(5)로 구분할 수 있다.

하우징(1)은 내부에 슬라이딩공간(14)을 형성하고 있으며, 일측면에는 진공챔버로부터 연장되는 연결관에 연결할 수 있는 흡입구(11)가 개구되고, 타측면에는 진공펌프로부터 연장되는 연결관에 연결할 수 있는 토출구(12)가 개구된다.

흡입구(11)와 토출구(12)는 도면에 도시된 바와 같이 서로 대향되는 면에 평행하게 형성될 수 있으며, 게이트밸브의 설치 위치에 따라 흡입구(11)와 토출구(12)의 위치는 변경될 수 있다.

그리고, 후술하는 슬라이더(2)의 슬라이딩 방향 선단에 위치한 하우징(1)의 일측면을 개구하여 개구부를 형성하고, 하우징(1)의 개구부는 커버부재(13)를 이용하여 착탈 가능하게 밀폐시킨다.

커버부재(13)는 하우징(1)의 개구부를 향하는 내측이 오목하게 함몰된 형태를 이루도록 하여 후술하는 슬라이더(2)의 슬라이드 이동에 따라 슬라이드 선단에 축적될 수 있는 이물질에 따른 게이트밸브의 오동작을 방지할 수 있다.

하우징(1)에는 후술하는 슬라이더(2)의 슬라이드 방향에 수직하도록 제2패킹부재(17)를 설치하는 것이 유리하다.

제2패킹부재(17)는 도 6에 도시된 바와 같이 흡입구(11)와 토출구(12)를 완전히 폐쇄하였을 때의 슬라이더(2) 선단 또는 후단에 대응하여 하우징(1)의 슬라이딩공간(14) 내주면을 따라 형성된다.

도시되지 않았지만, 제2패킹부재(17)는 흡입구(11)와 토출구(12)를 완전히 개방하였을 때의 상기 슬라이더(2) 선단 또는 후단에 대응하여 하우징(1)의 슬라이 딩공간(14) 내주면을 따라 형성될 수 있다.

제2패킹부재(17)는 게이트밸브 완전 폐쇄시 슬라이더(2)의 선단 또는 후단에 대응되는 하우징(1)의 내주면과, 게이트밸브 완전 개방시 슬라이더(2)의 선단 또는 후단에 대응되는 하우징(1)의 내주면과, 슬라이더(2)의 선단과, 슬라이더(2)의 후단 중 적어도 어느 하나에 설치되어 슬라이더(2)의 왕복운동에 따라 나선축(3)이 설치된 슬라이딩공간(14)의 기밀을 유지할 수 있으면 충분하다.

슬라이더(2)는 하우징(1)의 슬라이딩공간(14)에 삽입되어 왕복 운동하면서 흡입구(11)와 토출구(12)를 개폐한다.

흡입구(11)와 토출구(12)을 폐쇄하는 슬라이더(2)의 면에는 흡입구(11)와 토출구(12)의 크기에 대응하여 제1패킹부재(21)가 형성되는 것이 바람직하다.

제1패킹부재(21)는 흡입구(11)와 토출구(12)의 지름보다 크게 형성되는 것이 바람직하다.

제1패킹부재(21)는 흡입구(11) 또는 토출구(12)에 대응되는 슬라이더(2)의 면과, 흡입구(11)와, 토출구(12) 중 적어도 어느 하나에 설치되어 흡입구(11)와 슬라이딩공간(14) 사이 또는 토출구(12)와 슬라이딩공간(14) 사이의 기밀을 유지할 수 있으면 충분하다.

제2패킹부재(17)와 제1패킹부재(21)는 가스켓 또는 오링의 형태로 설치될 수 있다. 또한, 제2패킹부재(17)와 제1패킹부재(21)는 테프론이나 고무와 같은 비금속 재질로 이루어질 수 있지만, 제작 및 사용환경에 따라 금속재질로 이루어질 수 있다. 또한, 제2패킹부재(17)와 제1패킹부재(21)는 설치 부위에 일체로 형성되어 제 작을 용이하게 할 수 있다. 또한, 제2패킹부재(17)와 제1패킹부재(21)는 설치 부위에 착탈 가능하게 형성되어 장기 사용에 따른 제2패킹부재(17)와 제1패킹부재(21)의 교체를 용이하게 할 수 있다.

슬라이더(2)의 모서리를 라운딩 처리함으로써, 상술한 제2패킹부재(17) 또는 제1패킹부재(21)가 설치된 하우징(1)의 슬라이딩공간(14)에서 슬라이더(2)가 용이하게 왕복운동할 수 있고, 슬라이더(2)와 패킹부재(17)(21) 간의 마찰이나 마모를 방지할 수 있다.

그리고 슬라이더(2)의 슬라이드 이동을 용이하게 하기 위해 하우징(1)의 슬라이딩공간(14) 내주면에 접촉하는 슬라이더(2)의 외측면 중 적어도 어느 한 면에 고정 설치되고, 회전 가능한 적어도 하나 이상의 롤러베어링(22)이 형성될 수 있다.

도면에서 롤러베어링(22)은 슬라이더(2)의 양측면에 각각 한 쌍이 형성되어 있으며, 여기서 롤러베어링(22)의 위치 및 개수를 한정하지 않고, 하우징(1)의 슬라이딩공간(14) 내부에서 슬라이더(2)가 용이하게 슬라이드 이동될 수 있도록 하면 충분하다.

롤러베어링(22)은 슬라이더(2)의 일측면에 삽입되어 회전축(23)을 중심으로 회전 가능하게 결합되어 있다.

나선축(3)은 상술한 슬라이더(2)를 슬라이딩공간(14) 내에서 왕복운동시키기 위한 것으로 외주면에 일방향으로 나선이 형성되어 있다.

나선축(3)은 하우징(1)을 관통하여 후술하는 모터(5)의 회전축(미도시)과 결 합되며, 하우징(1)의 관통부위에는 나선축(3)을 감싸면서 나선축(3)과 하우징(1) 사이의 틈새를 밀폐하고, 후술하는 연결브라켓(4)의 이동에 따라 하우징(1)이 파손되는 것을 방지하기 위해 안전패드(33)가 설치된다.

그리고 나선축(3)은 후술하는 모터(5) 측에서 지지브라켓(35)에 의해 회전 가능하게 고정되어 있어 모터(5)와 나선축(3)의 결합을 용이하게 한다.

여기서 나선축(3)에는 일단이 슬라이더(2) 또는 연결브라켓(4)에 밀착 고정되고 타단은 하우징(1)의 내면에 각각 밀착 고정되어 나선축(3)을 감싸는 신축부재(37)가 형성될 수 있다.

신축부재(37)는 슬라이더(2)의 왕복운동에 따라 신축 가능한 것으로, 통상 벨로우즈나 자바라의 형태를 이룰 수 있다.

신축부재(37)는 나선축(3)에 이물질이 축적되는 것을 방지하는 역할을 한다.

연결브라켓(4)은 중심부에 관통삽입공이 형성된다.

관통삽입공은 내주면에 나선축(3)의 나선에 대응하여 나선이 형성되어 있어 나선축(3)이 회전하면 연결브라켓(4)에 의해 슬라이더(2)가 나선축(3)을 따라 슬라이드 이동된다.

본 고안의 제1실시예에서는 슬라이더(2)가 슬라이드 이동되는 방향과 수직한 방향에 연결브라켓(4)이 설치되고, 이때, 슬라이더(2)는 관통삽입공의 축방향과 일치하여 슬라이더공(25)이 형성되는 것이 유리하다.

모터(5)는 하우징(1)의 외측에 설치되어 하우징(1)을 관통한 나선축(3)의 끝단에 결합되고 나선축(3)을 회전시킨다. 여기서 모터(5)의 회전축(미도시)과 나선 축(3)은 서로 평행할 수 있고, 또한 수직일 수 있다.

지금부터는 상술한 게이트밸브의 제1실시예의 작동에 대하여 설명한다.

첨부 도면 도 7은 본 고안의 제1실시예에 따른 게이트밸브의 동작 상태를 개략적으로 도시한 평면도이고, 도 8은 본 고안의 제1실시예에 따른 게이트밸브의 동작 상태를 개략적으로 도시한 측면도이다.

도 7과 도 8을 참조하면, 본 고안의 제1실시예에서 게이트밸브를 개방하기 위해 모터(5)를 구동시키면, 지지브라켓(35)에 의해 고정된 나선축(3)이 시계방향으로 회전한다.

그러면, 연결브라켓(4)이 결합된 슬라이더(2)는 나선축(3)을 따라 모터(5) 측으로 이동되고, 나선축(3)은 슬라이더(2)의 슬라이더공(25) 내부를 따라 이동되면서, 흡입구(11)와 토출구(12)를 개방한다.

나선축(3)이 계속 회전하면서, 연결브라켓(4)이 안전패드(33)에 접촉되면, 모터(5)가 정지하여 흡입구(11)와 토출구(12)를 완전 개방하게 된다.

이때, 슬라이더(2)와 제2패킹부재(17)가 밀착되어 슬라이딩공간(14) 내부를 폐쇄함으로써, 슬라이딩공간(14) 내부의 이물질 침투를 방지한다.

다시 게이트밸브를 폐쇄하기 위해 모터(5)를 구동시켜 나선축(3)을 반시계방향으로 회전시킨다.

그러면, 연결브라켓(4)이 결합된 슬라이더(2)는 나선축(3)을 따라 하우징(1)의 선단(커버부재측)으로 이동되고, 나선축(3)은 슬라이더(2)의 슬라이더공(25) 내부에서 이탈되면서 흡입구(11)와 토출구(12)를 폐쇄한다.

나선축(3)이 계속 회전하면서 슬라이더(2)의 선단이 커버부재(13)에 접촉되면, 모터(5)가 정지하고, 흡입구(11)와 토출구(12)를 완전 폐쇄하게 된다. 이때, 제1패킹부재(21)에 의해 흡입구(11)와 토출구(12)의 밀폐력이 향상되고, 제2패킹부재(17)에 의해 슬라이딩공간(14)을 폐쇄할 수 있다.

모터(5)의 회전수에 따라 슬라이더(2)가 흡입구(11)와 토출구(12)를 개방하는 정도를 조절할 수 있고, 모터(5)의 회전속도에 따라 흡입구(11)와 토출구(12)의 개폐속도를 조절할 수 있다.

다음으로 본 고안의 제2실시예에 따른 게이트밸브에 대하여 설명한다.

첨부 도면 도 9는 본 고안의 제2실시예에 따른 게이트밸브를 개략적으로 도시한 평면도로써 ,도 9를 참조하면, 본 고안의 제2실시예에 따른 게이트밸브는 본 고안의 제1실시예에 따른 하우징(1)의 일측에 별도의 하우징(1)을 형성하고, 별도의 하우징(1)에 나선축(3)이 설치된다. 그리고 나선축(3)은 양측이 지지브라켓(35)에 의해 회전가능하게 고정되고, 일측이 모터(5)에 결합된다.

여기서 연결브라켓(4)은 관통삽입공이 나선축(3)을 감싸도록 형성되고, 슬라이더(2)의 슬라이드 이동 방향과 평행한 슬라이더(2)의 측면에 설치 고정된다.

다시 말해, 나선축(3)의 축 방향과 평행인 슬라이더(2)의 측면에 연결브라켓(4)을 설치한다. 여기서 연결브라켓(4)은 하나 이상 설치되는 것이 유리하다.

이때 본 고안의 제1실시예에 따른 슬라이더공(25)은 형성되지 않는다.

이하 본 고안의 제2실시예에 따른 게이트밸브의 구성은 본 고안의 제1실시예 에 따른 게이트밸브의 구성과 동일하므로 생략한다.

지금부터는 상술한 게이트밸브의 제2실시예의 작동에 대하여 설명한다.

첨부 도면 도 10은 본 고안의 제2실시예에 따른 게이트밸브의 동작 상태를 개략적으로 도시한 평면도로써, 도 10을 참조하면, 본 고안의 제2실시예에 따른 게이트밸브를 개방하기 위해 모터(5)를 회전시키면, 나선축(3)을 시계방향으로 회전시킨다.

그러면, 연결브라켓(4)은 나선축(3)을 따라 이동되고, 슬라이더(2)는 흡입구(11)와 토출구(12)를 개방하게 된다.

그리고 슬라이더(2)의 후단이 하우징(1)의 내측면에 접촉되면, 모터(5)가 정지되고, 흡입구(11)와 토출구(12)를 완전 개방하게 된다.

본 고안의 제2실시예에 따른 게이트밸브를 폐쇄하기 위해서는 모터(5)를 구동하여 나선축(3)을 반시계 방향으로 회전시킨다.

모터(5)의 회전량에 따라 슬라이더(2)가 흡입구(11)와 토출구(12)를 개방하는 정도를 조절할 수 있고, 모터(5)의 회전속도에 따라 흡입구(11)와 토출구(12)의 개폐속도를 조절할 수 있다.

본 고안의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 고안의 청구범위 기재 의 범위 내에 있는 것으로 본다.

도 1은 종래 기술에 따른 게이트밸브의 평면도,

도 2는 종래 기술에 따른 게이트밸브의 측면도,

도 3은 본 고안의 제1실시예에 따른 게이트밸브를 개략적으로 도시한 사시도,

도 4는 본 고안의 제1실시예에 따른 게이트밸브를 개략적으로 도시한 평면도,

도 5는 본 고안의 제1실시예에 따른 게이트밸브를 개략적으로 도시한 측면도,

도 6은 본 고안의 제1실시예에 따른 게이트밸브의 하우징을 개략적으로 도시한 평단면도,

도 7은 본 고안의 제1실시예에 따른 게이트밸브의 동작 상태를 개략적으로 도시한 평면도,

도 8은 본 고안의 제1실시예에 따른 게이트밸브의 동작 상태를 개략적으로 도시한 측면도,

도 9는 본 고안의 제2실시예에 따른 게이트밸브를 개략적으로 도시한 평면도,

도 10은 본 고안의 제2실시예에 따른 게이트밸브의 동작 상태를 개략적으로 도시한 평면도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1: 하우징 2: 슬라이더 3: 나선축

4 : 연결브라켓 5: 모터 11: 흡입구

12: 토출구 13: 커버부재 14: 슬라이딩공간

17: 제2패킹부재 21: 제1패킹부재 22: 롤러베어링

23: 회전축 25: 슬라이더공 33: 안전패드

35: 지지브라켓 37: 신축부재

Claims (8)

1. 진공챔버와, 상기 진공챔버 내부를 감압하는 진공펌프 사이에 설치되는 게이트밸브에 있어서,

   내부에 슬라이드공간을 형성하고, 진공챔버에 연결되는 흡입구와 진공펌프에 연결되는 토출구가 개구되는 하우징;

   상기 하우징의 슬라이드 공간을 왕복운동하면서 흡입구와 토출구를 개폐하는 슬라이더;

   외주면에 나선을 형성하며, 상기 슬라이더를 왕복운동시키는 나선축;

   중심부는 관통되어 상기 나선축의 나선에 대응되는 나선이 형성된 관통삽입공을 구비하고, 상기 슬라이더의 일측에 고정 설치되어 상기 나선축을 따라 이동하는 연결브라켓;

   상기 하우징의 일측에서 상기 나선축의 타측에 연결되어 상기 나선축을 회전시키는 모터;를 포함하는 게이트밸브.
2. 제1항에 있어서,

   상기 연결브라켓은 상기 나선축의 축방향과 수직한 상기 슬라이더의 측면에 고정 설치되는 것을 특징으로 하는 게이트밸브.
3. 제1항에 있어서,

   상기 연결브라켓은 상기 나선축의 축방향과 평행한 상기 슬라이더의 측면에 고정 설치되는 것을 특징으로 하는 게이트밸브.
4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 흡입구 또는 토출구에 대응되는 슬라이더의 면과, 상기 흡입구와, 상기 토출구 중 적어도 어느 하나에 설치되어 상기 흡입구와 상기 슬라이딩공간 사이 또는 상기 토출구와 상기 슬라이딩공간 사이의 기밀을 유지하는 제1패킹부재;가 형성되는 것을 특징으로 하는 게이트밸브.
5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

   게이트밸브 완전 폐쇄시 상기 슬라이더의 선단 또는 후단에 대응되는 상기 하우징의 내주면과, 게이트밸브 완전 개방시 상기 슬라이더의 선단 또는 후단에 대응되는 상기 하우징의 내주면과, 상기 슬라이더의 선단과, 상기 슬라이더의 후단 중 적어도 어느 하나에 설치되어 상기 슬라이더의 왕복운동에 따라 상기 나선축이 설치된 슬라이딩공간의 기밀을 유지하는 제2패킹부재;가 형성되는 것을 특징으로 하는 게이트밸브.
6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 하우징은 상기 슬라이더의 슬라이딩 방향 선단을 개구하여 개구부를 형성하고, 상기 하우징의 개구부는 내측이 오목하게 함몰된 커버부재가 착탈 가능하 게 결합되는 것을 특징으로 하는 게이트밸브.
7. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

   상기 하우징의 슬라이딩 공간 내주면에 접촉하는 상기 슬라이더의 외측면 중 적어도 어느 한 면에 고정 설치되고, 회전 가능한 적어도 하나 이상의 롤러베어링;이 형성되는 것을 특징으로 하는 게이트밸브.
8. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

   일단은 상기 슬라이더 또는 상기 연결브라켓에 밀착 고정되고 타단은 상기 하우징의 내면에 각각 밀착 고정되어 상기 나선축을 감싸고, 상기 슬라이더의 왕복운동에 따라 신축 가능한 신축부재;가 형성되는 것을 특징으로 하는 게이트밸브.

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