KR20090008789U - Precision transfer stage - Google Patents
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Abstract
본 고안은 일단에 구비되는 마이크로미터와 같은 측정게이지(M)에 의해 이송량이 조절되는 정밀 이송스테이지에 있어서, 작업테이블(W)상에 안착고정되도록 다수의 체결공(10a)이 형성되고, 상면에 제1위치고정홈(12)이 형성되는 고정베이스(10); 상기 고정베이스(10)의 제1위치고정홈(12)상에 하부가 일부 삽입된 상태로 안착되고, 양단에 제1미끄럼홈(22)이 형성되는 제1가이드블록(20); 상기 제1가이드블록(20)의 상부가 일부 삽입되도록 저면에 수용홈(30a)이 형성되고, 제1미끄럼홈(22)과 대응하는 내면에 미끄럼볼(34)을 사이에 두고 맞물리도록 제2미끄럼홈(32)이 형성되는 제2가이드블록(30); 및 상기 제2가이드블록(30)을 수용한 상태로 체결되도록 저면에 제2위치결정홈(42)이 형성되는 이송베이스(40);을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.The present invention is a precision transfer stage in which the transfer amount is controlled by a measuring gauge (M), such as a micrometer provided at one end, a plurality of fastening holes (10a) is formed to be seated on the work table (W), the upper surface A fixed base 10 having a first position fixing groove 12 formed therein; A first guide block 20 seated on the first position fixing groove 12 of the fixed base 10 with a lower portion partially inserted therein and having first sliding grooves 22 formed at both ends thereof; A receiving groove 30a is formed on a bottom surface of the first guide block 20 so that the upper portion of the first guide block 20 is partially inserted therein, and the second sliding hole 34 is engaged with the sliding ball 34 interposed therebetween. A second guide block 30 in which a sliding groove 32 is formed; And a transfer base 40 having a second positioning groove 42 formed on a bottom thereof so as to be fastened in a state where the second guide block 30 is accommodated therein.
이에 따라, 본 고안은 이송베이스가 2개의 제1, 2가이드블록에 의해 슬라이드이송되도록 구성됨에 따라 조립공정이 크게 간소화됨은 물론 숙련된 작업자를 통한 불필요한 예압조절공정이 생략되어 제조원가절감과 생산성향상을 도모하는 효과가 있다.Accordingly, the present invention, as the transfer base is configured to slide transfer by two first and second guide blocks, greatly simplifies the assembly process as well as eliminating unnecessary preload adjustment processes by skilled workers, thereby reducing manufacturing costs and improving productivity. It is effective to plan.
Description
본 고안은 정밀 이송스테이지에 관한 것으로, 보다 상세하게는 정밀측정용으로 사용되는 스테이지의 가공, 조립에 따른 정밀도 및 사용상 오차발생을 방지하기 위한 정밀 이송스테이지에 관한 것이다.The present invention relates to a precision transfer stage, and more particularly, to a precision transfer stage for preventing the occurrence of errors in use and precision of the processing, assembly of the stage used for precision measurement.
통상적으로 정밀 이송스테이지는 광학장비를 이용한 측정스테이지 및 반도체공정의 가공스테이지 등과 같이 가공물의 위치를 정밀하게 조절하기 위한 용도로 사용된다. 즉, 사용분야의 특성상 이송에 따른 정밀도가 유지되도록 구성부품의 공차가공 및 조립에 따른 높은 숙련도가 요구되는바, 특히 슬라이드이송가능하게 설치된 가이드레일간에 예압조절이 이송스테이지의 정밀도를 좌우하므로 작업자의 숙련도가 이송스테이지의 정밀도를 결정짓는 요소로 작용한다.In general, the precision transfer stage is used for precisely adjusting the position of a workpiece, such as a measuring stage using optical equipment and a processing stage of a semiconductor process. That is, due to the characteristics of the field of use, high skill is required for tolerance machining and assembly of components so that the precision of conveying is maintained. Skill level plays a role in determining the accuracy of the transfer stage.
예컨대, 종래에 이송스테이지는 테이블에 체결되는 고정블록과, 고정블록상면에 음양각구조로 맞물리도록 이송블록이 구비되고, 고정블록과 이송블록의 음양각부상에 볼베어링을 사이에 두고 서로 대향하도록 2개가 1조로 이루어진 레일이 양단에 한 쌍으로 설치되어 슬라이드이송되도록 구비된다.For example, in the related art, the transfer stage is provided with a fixed block fastened to a table and a transfer block so as to be engaged in a negative relief structure on the upper surface of the fixed block, and the two are opposed to each other with ball bearings interposed between the fixed block and the negative relief portion of the transfer block. A pair of rails are provided at both ends in pairs to slide the rails.
하지만, 한 쌍의 레일이 고정블록과 이송블록상에 각각 독립적으로 볼트체결해야함은 물론 레일사이에 볼베어링을 삽입하되, 볼베어링을 초기 삽입시 이탈 및 간격을 유지하기 위해 케이지와 함께 설치해야 함에 따라 조립공정이 다분화되어 생산성이 저하되고, 또 조립을 완료한 후에는 이송스테이지의 이송정밀도를 높이기 위하여 한 쌍의 레일간에 예압조절공정(예컨대, 미리 크로스롤러 가이드를 일정한 압력으로 밀착되도록 설정하는 공정)을 일일이 수행해야하므로 작업상 번거로운 단점이 따랐다.However, as a pair of rails must be bolted independently on the fixed block and the transfer block, as well as inserting ball bearings between the rails, but the ball bearings must be installed together with the cage to maintain separation and spacing upon initial insertion. After the process is diversified, productivity decreases, and after the assembly is completed, a preload adjusting process (for example, setting the cross roller guide to be in close contact with a constant pressure) between the pair of rails in order to increase the feeding accuracy of the transfer stage. This has to be done manually, which is cumbersome in terms of work.
뿐만 아니라, 예압조절공정이 이송스테이지의 정밀도를 결정짓는 핵심적인 공정이므로 상당이 높은 숙련도를 요구함에 따라 비숙련공을 통한 작업이 사실상 불가능하므로 고임금의 숙련공 고용이 불가피하고, 이는 고용비용상승으로 이어져 제조원가 상승을 부추기는 실정이다.In addition, since the preload control process is a key process for determining the precision of the transfer stage, it is inevitable to hire high-skilled skilled workers because it is virtually impossible to work through unskilled workers as it requires a considerable level of skill. The situation is encouraging.
또, 작동중에 볼베어링이 구형으로 형성되어 외주면이 국부적으로 레일과 마찰되어 미끄럼이송됨에 따라 하중이 볼베어링과 레일의 면접부분으로 집중되어 볼베어링이 쉽게 변형되거나 레일 표면이 마모되어 골을 형성함에 따라 이송스테이지의 이송이 원활하게 이루어지지 못함은 물론 정밀도가 크게 저하되는 폐단이 따랐다. In addition, as the ball bearings are spherically formed during operation, the outer peripheral surface is rubbed with the rails, and the slides are transferred, so that the load is concentrated to the ball bearings and the interview portions of the rails. Not only did not transfer smoothly, but also caused a significant drop in precision.
이에 따라 본 고안은 상기한 점에 착안한 것으로서, 보다 상세하게는 사용상 높은 정밀도를 요구하는 이송스테이지의 구조를 개선하여 조립공정을 크게 단축하여 생산성을 향상시키고, 또 작업자의 숙련도에 영향을 받지 않고 우수한 정밀도를 가진 정밀 이송스테이지를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.Accordingly, the present invention has been made in view of the above, and in more detail, by improving the structure of the transfer stage that requires high precision in use, greatly shortening the assembly process to improve productivity, and without being affected by the skill of the operator. It is an object to provide a precision transfer stage with excellent precision.
이러한 목적을 달성하기 위해 본 고안의 특징은, 일단에 구비되는 마이크로미터와 같은 측정게이지(M)에 의해 이송량이 조절되는 정밀 이송스테이지에 있어서, 작업테이블(W)상에 안착고정되도록 다수의 체결공(10a)이 형성되고, 상면에 제1위치고정홈(12)이 형성되는 고정베이스(10); 상기 고정베이스(10)의 제1위치고정홈(12)상에 하부가 일부 삽입된 상태로 안착되고, 양단에 제1미끄럼홈(22)이 형성되는 제1가이드블록(20); 상기 제1가이드블록(20)의 상부가 일부 삽입되도록 저면에 수용홈(30a)이 형성되고, 제1미끄럼홈(22)과 대응하는 내면에 원통형의 롤러볼(34)을 사이에 두고 맞물리도록 제2미끄럼홈(32)이 형성되는 제2가이드블록(30); 및 상기 제2가이드블록(30)을 수용한 상태로 체결되도록 저면에 제2위치결정홈(42)이 형성되는 이송베이스(40);을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In order to achieve this object, a feature of the present invention is a precision transfer stage in which a feed amount is controlled by a measuring gauge M such as a micrometer provided at one end, and a plurality of fastenings are mounted and fixed on a work table W. A fixed base 10 having a ball 10a formed therein and having a first position fixing groove 12 formed on an upper surface thereof; A first guide block 20 seated on the first position fixing groove 12 of the fixed base 10 with a lower portion partially inserted therein and having first sliding grooves 22 formed at both ends thereof; An accommodation groove 30a is formed at a bottom of the first guide block 20 so that the upper portion of the first guide block 20 is partially inserted, and the first sliding block 22 is engaged with the cylindrical roller ball 34 interposed therebetween. A second guide block 30 having a second sliding groove 32 formed therein; And a transfer base 40 having a second positioning groove 42 formed on a bottom thereof so as to be fastened in a state where the second guide block 30 is accommodated therein.
이때, 상기 이송베이스(40)는 고정베이스(10)와 대응하는 일면에 이송방향으로 공간부(40a)가 형성되고, 공간부(40a)상에 수용되어 일단은 고정베이스(10)상에 결속되고 다른 일단은 이송베이스(40)상에 결속되도록 스프링(50)이 구비되는 것을 특징으로 한다.At this time, the transport base 40 is formed on the surface corresponding to the fixed base 10 in the transport direction, the space portion 40a is accommodated on the space portion 40a, one end is bound on the fixed base 10 And the other end is characterized in that the spring 50 is provided to be bound on the transfer base 40.
또한, 상기 고정베이스(10) 측면에 수직으로 설치되어 장공(62a)이 형성되는 가이드판(62)과, 가이드판(62)의 장공(62a)을 통하여 이송베이스(40) 측면에 나사결합되는 조절구(64)가 설치되는 잠금부(60)가 구비되는 것을 특징으로 한다.In addition, the guide plate 62 is installed perpendicular to the side of the fixed base 10 and the long hole 62a is formed, and the screw is coupled to the side of the transfer base 40 through the long hole 62a of the guide plate 62. It is characterized in that the locking portion 60 is provided with the adjusting opening (64).
또한, 상기 제1,2미끄럼홈(22)(32)은 "V"자의 형태로 함몰형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, the first and second sliding grooves (22, 32) is characterized in that the depression is formed in the form of "V".
또한, 상기 원통형의 롤러볼(34)은 제1, 2미끄럼홈(22)(32)상에 서로 엇갈리게 삽입되는 것을 특징으로 한다.In addition, the cylindrical roller ball 34 is characterized in that the first and second sliding grooves 22, 32 are inserted alternately on each other.
이상의 구성 및 작용에 의하면, 본 고안은 이송베이스가 2개의 일체형 제1, 2가이드블록에 의해 슬라이드이송되도록 구성됨에 따라 조립공정이 크게 간소화됨은 물론 기존에 숙련된 작업자를 통한 예압조절공정이 생략되어 생산성이 크게 향상됨과 동시에 정밀도가 우수하게 유지되는 효과가 있다.According to the above configuration and action, the present invention is configured to slide the transfer base by two integral first and second guide block, greatly simplifying the assembly process as well as eliminating the preload adjustment process through the existing skilled workers Productivity is greatly improved and precision is maintained.
도 1은 본 고안에 따른 정밀 이송스테이지를 평면에서 나타내는 구성도. 1 is a block diagram showing a precision transfer stage according to the present invention in a plane.
도 2a 내지 2b는 본 고안에 따른 정밀 이송스테이지를 측면에서 나타내는 구성도.Figure 2a to 2b is a block diagram showing a precision transfer stage according to the present invention from the side.
도 3은 본 고안에 따른 정밀 이송스테이지의 잠금부를 나타내는 구성도.Figure 3 is a block diagram showing a locking portion of the precision transfer stage according to the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 고안에 따른 정밀 이송스테이지를 평면에서 나타내는 구성도이고, 도 2a 내지 2b는 본 고안에 따른 정밀 이송스테이지를 측면에서 나타내는 구성도이고, 도 3은 본 고안에 따른 정밀 이송스테이지의 잠금부를 나타내는 구성도이다.1 is a block diagram showing a precision transfer stage according to the present invention in plan, Figures 2a to 2b is a configuration diagram showing a precision transfer stage according to the present invention, Figure 3 is a lock of the precision transfer stage according to the present invention It is a block diagram which shows a part.
본 고안은 정밀 이송스테이지에 관련되며, 이때 정밀 이송스테이지는 현미경과 같은 광학장비 및 반도체 제조에 사용되는 장비 등의 작업테이블상에 설치되고, 일단에 구비되는 마이크로미터와 같은 측정게이지(M)에 의해 가공 혹은 측정을 위해 투입된 제품의 위치를 조절시 정밀도가 우수하게 유지되면서 조립생산에 따른 작업이 간단 용이하도록 하기 위해 고정베이스(10), 제1가이드블록(20), 제2가이드블록(30), 이송베이스(40) 등을 주요 구성으로 이루어진다.The present invention relates to a precision transfer stage, wherein the precision transfer stage is installed on a worktable such as optical equipment such as a microscope and equipment used for semiconductor manufacturing, and at a measurement gauge (M) such as a micrometer provided at one end. The fixed base 10, the first guide block 20, the second guide block 30 in order to simplify the work according to the assembly production while maintaining the precision when adjusting the position of the product injected for processing or measurement by ), The transfer base 40 and the like is made of a main configuration.
본 고안에 따른 고정베이스(10)는 작업테이블(W)상에 안착고정되도록 다수의 체결공(10a)이 형성되고, 상면에 제1위치고정홈(12)이 형성된다. 고정베이스(10)는 사각판형태로 형성되고, 체결공(10a)을 통하여 체결되는 볼트에 의해 작업테이블(W)상에 고정되되, 저면이 작업테이블(W)상에 보다 긴밀하게 밀착되도록 체결공(10a)과 대응하는 가장자리부가 중앙부보다 돌출되도록 형성된다. 그리고 제1위치고정홈(12)은 후술하는 이송베이스(40)의 이송방향으로 형성되는바, 제1가이드블록(20)의 저면이 일부 수용되어 긴밀하게 맞물려 고정되도록 공차가공된다.Fixed base 10 according to the present invention is a plurality of fastening holes (10a) is formed to be seated on the work table (W), the first position fixing groove 12 is formed on the upper surface. The fixed base 10 is formed in a rectangular plate shape, and is fixed on the work table W by bolts fastened through the fastening holes 10a, and the bottom surface is fastened to be in close contact with the work table W more closely. The edge portion corresponding to the ball 10a is formed to protrude from the center portion. And the first position fixing groove 12 is formed in the conveying direction of the transfer base 40 to be described later, the bottom surface of the first guide block 20 is partially accommodated is processed to be tightly engaged and fixed.
또한, 본 고안에 따른 제1가이드블록(20)은 고정베이스(10)의 제1위치고정홈(12)상에 하부가 일부 삽입된 상태로 안착되고, 양단에 제1미끄럼홈(22)이 형성된다. 제1가이드블록(20)는 사각판형으로 형성되어 길이방향에 해당하는 양측면에 제1미끄럼홈(22)이 "V"자의 형태로 함몰형성되고, 고정베이스(10)상에 설치시 정위치에 결속되도록 제1위치고정홈(22)의 사이즈를 고려하여 공차가공된다.In addition, the first guide block 20 according to the present invention is seated with the lower portion partially inserted into the first position fixing groove 12 of the fixed base 10, the first sliding groove 22 is at both ends Is formed. The first guide block 20 is formed in a rectangular plate shape, the first sliding groove 22 is formed in the form of a "V" on both sides corresponding to the longitudinal direction in the correct position when installed on the fixed base 10 Tolerance is processed in consideration of the size of the first position fixing groove 22 to be bound.
여기서, 제1가이드블록(20)은 후술하는 제2가이드블록(30)과 슬라이드이송되도록 맞물려 조립됨에 따라 수직하중을 견디면서 제2가이드블록(30)의 반복이송에 따른 마모가 방지되도록 표면을 열처리하여 연마가공하는 것이 바람직하다.Here, the first guide block 20 is engaged with the second guide block 30, which will be described later to be assembled to slide the surface to withstand the vertical load while preventing the wear caused by repeated transfer of the second guide block 30 It is preferable to heat-process and grind | polish.
또한, 본 고안에 따른 제2가이드블록(30)은 제1가이드블록(20)의 상부가 일부 삽입되도록 저면에 수용홈(30a)이 형성되고, 제1미끄럼홈(22)과 대응하는 내면에 원통형의 롤러볼(34)을 사이에 두고 맞물리도록 제2미끄럼홈(32)이 형성된다. 수용홈(30a)은 제1가이드블록(20)의 선단부가 수용된 상태로 서로 면접되지 않도록 공차가공되고, 제1미끄럼홈(22)과 대응하는 위치에 "V"자의 형태로 제2미끄럼홈(32)이 함몰형성되어 원통형의 롤러볼(34)을 사이에 두고 서로 대향하게 위치된다. In addition, the second guide block 30 according to the present invention has a receiving groove (30a) is formed on the bottom surface so that the upper portion of the first guide block 20 is partially inserted, the inner surface corresponding to the first sliding groove (22) A second sliding groove 32 is formed to engage with the cylindrical roller ball 34 therebetween. Receiving groove (30a) is processed to the tolerance so as not to be interviewed with each other in the state that the front end of the first guide block 20 is received, the second sliding groove in the form of "V" in the position corresponding to the first sliding groove (22) 32 is recessed and positioned opposite each other with a cylindrical roller ball 34 therebetween.
이를 더욱 상세하게 설명하자면, 제1미끄럼홈(22)과 제2미끄럼홈(32)으로 이루어진 마름모꼴의 공간상에 원통형의 롤러볼(34)이 지그재그방향으로 서로 엇갈리게 삽입되는바, 즉 도 2a 내지 2b의 확대도와 같이 초기 삽입되는 원통형의 롤러볼(34)을 45도정도 기울인 상태로 삽입하였다면, 다음 원통형의 롤러볼(34)은 먼저 투입된 원통형의 롤러볼(34)과 반대방향으로 -45도정도 기울인 상태로 투입된다. 이처럼 제1미끄럼홈(22)과 제2미끄럼홈(32)상에 미끄럼 운동되도록 삽입되는 롤러볼(34)이 원통형으로 형성되어 슬라이드이송시 접지면적이 확대됨에 따라 이송스테이지의 안정성이 확보되면서 제1미끄럼홈(22)과 제2미끄럼홈(32)의 표면이 국부적으로 마모되는 현상이 방지되는 이점이 있다.To describe this in more detail, cylindrical roller balls 34 are alternately inserted in a zigzag direction in a rhombic space composed of a first slide groove 22 and a second slide groove 32, that is, FIGS. If the cylindrical roller ball 34, which is initially inserted as shown in the enlarged view of 2b, is inserted in a state of being inclined about 45 degrees, the next cylindrical roller ball 34 is -45 degrees in the opposite direction to the first cylindrical roller ball 34 that is inserted. It is also put in the tilted state. As described above, the roller ball 34 inserted into the slide on the first slide groove 22 and the second slide groove 32 is formed in a cylindrical shape, and as the ground area is enlarged during slide transfer, the stability of the transfer stage is secured. The surface of the first sliding groove 22 and the second sliding groove 32 is advantageously prevented from being worn locally.
또한, 본 고안에 따른 이송베이스(40)는 제2가이드블록(30)을 수용한 상태로 체결되도록 저면에 제2위치결정홈(42)이 형성된다. 제2위치결정홈(42)은 제2가이드블록(30)의 선단부가 일부 수용된 상태로 긴밀하게 고정되도록 미리 제2가이드블록(30)의 사이즈를 고려하여 공차가공되고, 상면은 제품 혹은 제품을 고정하기 위한 클램프(도시생략)가 설치되도록 평면가공된다. 이에 이송베이스(40)는 제2가이드블록을 통하여 고정베이스(10) 상단에 대향하게 위치되어 제1가이드블록(20)을 타고 슬라이드이송되는 구조를 가진다.In addition, the transfer base 40 according to the present invention has a second positioning groove 42 is formed on the bottom surface to be fastened in a state in which the second guide block 30 is accommodated. The second positioning groove 42 is processed tolerant in consideration of the size of the second guide block 30 in advance so that the tip portion of the second guide block 30 is tightly fixed in a state in which the second guide block 30 is partially accommodated. The plane is machined to install a clamp (not shown) for fixing. The transfer base 40 is positioned to face the upper end of the fixed base 10 through the second guide block has a structure that slides the ride on the first guide block 20.
한편, 이송베이스(40)의 슬라이드이송량은 마이크로미터와 같은 측정게이지(M)에 의해 조절되는바, 측정게이지는 전방 혹은 도 1에 도시된 바와 같이 고정베이스(10) 측면에 구비된 고정플레이트(P)를 통하여 설치되고, 측정게이지(M)의 측정봉 단부와 대응하는 이송베이스 측단에 볼이 구비되는 브라켓(B)이 설치되어 측정게이지(M)를 회전시 측정봉이 돌출되면서 브라켓(B)을 밀어 이송베이스(40)의 위치가 조절된다.On the other hand, the slide feed amount of the transfer base 40 is controlled by a measuring gauge (M), such as a micrometer, the measuring gauge is provided in the front or fixed plate (10) side of the fixed base (10) as shown in FIG. It is installed through P), the bracket (B) is provided at the side of the transfer base corresponding to the measuring rod end of the measuring gauge (M) is provided with a bracket (B) as the measuring rod protrudes when rotating the measuring gauge (M) Push the position of the transfer base 40 is adjusted.
이때, 상기 이송베이스(40)는 고정베이스(10)와 대응하는 일면에 이송방향으로 공간부(40a)가 형성되고, 공간부(40a)상에 수용되어 일단은 고정베이스(10)상에 결속되고 다른 일단은 이송베이스(40)상에 결속되도록 스프링(50)이 구비되어 측정봉의 돌출방향과 반대방향으로 복귀하려는 이송력이 작용함에 따라 이송베이스(40)가 이송중에 유격발생이 방지되어 정밀하게 위치조절되는 이점이 있다. At this time, the transport base 40 is formed on the surface corresponding to the fixed base 10 in the transport direction, the space portion 40a is accommodated on the space portion 40a, one end is bound on the fixed base 10 And the other end is provided with a spring 50 so as to bind on the transfer base 40, so that the play force is prevented during the transfer of the transfer base 40 due to the feeding force to return to the direction opposite to the projecting direction of the measuring rod. There is an advantage to be adjusted.
또한, 상기 고정베이스(10) 측면에 수직으로 설치되어 장공(62a)이 형성되는 가이드판(62)과, 가이드판(62)의 장공(62a)을 통하여 이송베이스(40) 측면에 나사결합되는 조절구(64)가 설치되는 잠금부(60)가 구비된다. 장공(62a)은 도 3과 같이 이송베이스(40)의 이송범위에 해당하는 폭으로 형성됨에 따라 측정게이지(M)를 조작시 조절구(64)가 이송베이스(40)와 함께 장공(62a)상에서 이송되고, 측정게이즈(M)를 통한 위치조절이 완료되면 조절구(64)를 잠근 상태로 제품 측정 혹은 가공작업을 수행하게 된다.In addition, the guide plate 62 is installed perpendicular to the side of the fixed base 10 and the long hole 62a is formed, and the screw is coupled to the side of the transfer base 40 through the long hole 62a of the guide plate 62. The locking unit 60 is provided with a control mechanism 64 is provided. As the long hole 62a is formed to have a width corresponding to the conveying range of the conveying base 40 as shown in FIG. 3, when the measuring gauge M is manipulated, the adjusting hole 64 together with the conveying base 40 makes the long hole 62a. Is transported in the phase, when the position adjustment is completed through the measuring gauge (M) is to perform the product measurement or processing work with the control mechanism (64) locked.
조립상에 있어서, 우선 고정베이스(10)의 제1위치고정홈(12)상에 제1가이드블록(20)을 나사체결하고, 또 이송베이스(40)의 제2위치결정홈(42)상에 제2가이드블록(30)을 삽입체결한다. 이어서 제2가이블록(30)의 수용홈(30a)상에 제1가이드블록(20)의 선단부를 수용한 상태로 서로 대향하는 위치에서 마름모꼴의 공간부를 형성하는 제1, 2미끄럼홈(22)(32)사이에 원통형의 롤러볼(34)을 삽입하면 조립이 완료된다.In assembly, first, the first guide block 20 is screwed into the first position fixing groove 12 of the fixed base 10, and the second positioning groove 42 of the transfer base 40 is screwed. Insert and fasten the second guide block (30). Subsequently, the first and second sliding grooves 22 which form a rhombic space portion at positions facing each other with the tip portion of the first guide block 20 received on the receiving groove 30a of the second guide block 30 are formed. Insertion of the cylindrical roller ball 34 between the (32) is completed.
이처럼, 이송베이스(40)의 슬라이드이송을 위한 제1, 2가이드블록(20)(30) 조립공정이 간단하게 이루어짐에 따라 기존에 2개가 1조로 이루어진 크로스롤러 가이드 한 쌍을 일일이 대향하는 위치에 설치해야 하는 번거로운 단점이 해소됨은 물론 사용상에 이송정밀도를 높이기 위한 크로스롤러 가이드의 예압조절공정까지 생략되어 비숙련공도 조립작업을 어려움 없이 수행가능함에 따라 인건비 절감 및 생산성 형상을 도모하는 이점이 있다. As such, as the assembly process of the first and second guide blocks 20 and 30 for the slide transfer of the transfer base 40 is made simple, two pairs of cross roller guides, each of which is conventionally opposed to each other, are positioned at positions facing each other. The cumbersome drawbacks that need to be installed are eliminated as well as the preload adjustment process of the cross-roller guide to increase the feeding accuracy in use is omitted, so that unskilled workers can perform the assembly work without difficulty, thereby reducing labor costs and improving productivity.
Claims (5)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2020080002599U KR20090008789U (en) | 2008-02-27 | 2008-02-27 | Precision transfer stage |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2020080002599U KR20090008789U (en) | 2008-02-27 | 2008-02-27 | Precision transfer stage |
Publications (1)
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|---|---|
| KR20090008789U true KR20090008789U (en) | 2009-09-01 |
Family
ID=41302705
Family Applications (1)
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Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20090008789U (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102216906B1 (en) * | 2020-01-29 | 2021-02-18 | 주식회사 디피아이엔 | Precision Gonio Stage |
-
2008
- 2008-02-27 KR KR2020080002599U patent/KR20090008789U/en not_active Application Discontinuation
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