KR20090006461A - 액정표시장치의 스프레이 장비 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 액정표시장치의 스프레이(spray) 장비는 노즐 내에 진동을 발생시키는 초음파 발진기(ultrasonic generator)를 설치함으로써 노즐의 막힘을 방지하는 동시에 도포액의 분산도를 향상시키기 위한 것으로, 스테이지에 설치되어 기판을 고정시키는 테이블; 상기 테이블의 상부에 위치하여 상기 기판 표면에 소정의 도포액을 분사하는 적어도 하나의 노즐; 및 상기 노즐의 내부공간에 설치되어 상기 노즐의 내부공간에 담겨 있는 도포액에 초음파 진동을 가하는 초음파 발진기를 포함한다.
스프레이 장비, 노즐, 초음파 발진기, 액정표시장치

Description

액정표시장치의 스프레이 장비{SPRAYING EQUIPMENT FOR LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE}
본 발명은 액정표시장치의 스프레이 장비에 관한 것으로, 구체적으로는 액정표시장치의 어레이 기판이나 컬러필터 기판에 금속 및 비금속의 박막을 증착하기 위한 스프레이(spray) 장비에 관한 것이다.
최근의 정보화 사회에서 디스플레이는 시각정보 전달매체로서 그 중요성이 더 한층 강조되고 있으며, 향후 주요한 위치를 점하기 위해서는 저소비전력화, 박형화, 경량화, 고화질화 등의 요건을 충족시켜야 한다. 현재 평판 디스플레이(Flat Panel Display; FPD)의 주력 제품인 액정표시장치(Liquid Crystal Display; LCD)는 디스플레이의 이러한 조건들을 만족시킬 수 있는 성능뿐만 아니라 양산성까지 갖추었기 때문에, 이를 이용한 각종 신제품 창출이 급속도로 이루어지고 있으며 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube; CRT)을 점진적으로 대체할 수 있는 핵심부품 산업으로서 자리 잡았다.
일반적으로, 액정표시장치는 매트릭스(matrix) 형태로 배열된 액정셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여, 상기 액정셀들의 광투과율을 조 절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다.
이를 위해 상기 액정표시장치는 크게 컬러필터(color filter) 기판과 어레이(array) 기판 및 상기 컬러필터 기판과 어레이 기판 사이에 형성된 액정층(liquid crystal layer)으로 구성된다.
이하, 도 1을 참조하여 일반적인 액정표시장치의 구조에 대해서 상세히 설명한다.
도 1은 일반적인 액정표시장치를 개략적으로 나타내는 분해사시도이다.
도면에 도시된 바와 같이, 상기 액정표시장치는 크게 컬러필터 기판(5)과 어레이 기판(10) 및 상기 컬러필터 기판(5)과 어레이 기판(10) 사이에 형성된 액정층(30)으로 구성된다.
상기 컬러필터 기판(5)은 적(Red; R), 녹(Green; G) 및 청(Blue; B)의 색상을 구현하는 다수의 서브-컬러필터(7)로 구성된 컬러필터(C)와 상기 서브-컬러필터(7) 사이를 구분하고 액정층(30)을 투과하는 광을 차단하는 블랙매트릭스(black matrix)(6), 그리고 상기 액정층(30)에 전압을 인가하는 투명한 공통전극(8)으로 이루어져 있다.
또한, 상기 어레이 기판(10)은 종횡으로 배열되어 복수개의 화소영역(P)을 정의하는 복수개의 게이트라인(16)과 데이터라인(17), 상기 게이트라인(16)과 데이터라인(17)의 교차영역에 형성된 스위칭소자인 박막 트랜지스터(T) 및 상기 화소영역(P) 위에 형성된 화소전극(18)으로 이루어져 있다.
이와 같이 구성된 상기 컬러필터 기판(5)과 어레이 기판(10)은 화상표시 영 역의 외곽에 형성된 실런트(sealant)(미도시)에 의해 대향하도록 합착되어 액정표시패널을 구성하며, 상기 컬러필터 기판(5)과 어레이 기판(10)의 합착은 상기 컬러필터 기판(5) 또는 어레이 기판(10)에 형성된 합착키(미도시)를 통해 이루어진다.
이때, 상기와 같이 구성되는 액정표시장치는 특히, 박막 트랜지스터를 형성하기 위해 다수의 절연막, 실리콘 박막 및 금속 박막 등의 박막 증착공정을 필요로 하는데, 금속 박막의 경우에는 스퍼터링(sputtering)과 같은 물리기상증착(Physical Vapour Deposition; PVD) 방법을 사용하며, 실리콘 박막 및 절연막은 플라즈마 화학기상증착(Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition; PECVD)과 같은 화학기상증착 방법을 일반적으로 이용하고 있다.
그러나, 상기와 같은 물리기상증착이나 화학기상증착 방법은 고가의 진공 증착장비를 사용하여야 하며, 진공 중에서 박막을 증착 함에 따라 증착과정이 복잡하다는 단점을 가지고 있다.
본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 물리기상증착이나 화학기상증착 장비와 같은 진공 증착장비를 사용한 복잡한 증착과정 없이 금속이나 비금속의 박막을 형성할 수 있는 액정표시장치의 스프레이 장비를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은 상기 스프레이 장비의 노즐 막힘을 방지하고 도포액과 같은 도포액의 분산도를 향상시킨 액정표시장치의 스프레이 장비를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적 및 특징들은 후술되는 과제의 해결수단과 발명의 실시를 위한 구체적인 내용 및 특허청구범위에서 설명될 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 액정표시장치의 스프레이 장비는 스테이지에 설치되어 기판을 고정시키는 테이블; 상기 테이블의 상부에 위치하여 상기 기판 표면에 소정의 도포액을 분사하는 적어도 하나의 노즐; 및 상기 노즐의 내부공간에 설치되어 상기 노즐의 내부공간에 담겨 있는 도포액에 초음파 진동을 가하는 초음파 발진기를 포함한다.
본 발명에 따른 액정표시장치의 스프레이 장비는 노즐 내의 도포액의 침전물 발생을 방지하는 효과를 제공한다.
또한, 본 발명에 따른 액정표시장치의 스프레이 장비는 장비 대기시간이 길어지는 경우 노즐 토출구가 막히는 현상을 방지할 수 있게 되며, 그 결과 노즐 막힘 방지에 따른 장비 가동률을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 액정표시장치의 스프레이 장비의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스프레이 장비의 구조를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 스프레이 장비(200)는 스테이지(stage)(210)와 상기 스테이지(210) 상에 설치되어 소정의 기판(예를 들어, 액정표시장치의 어레이 기판이나 컬러필터 기판)(100)을 고정시키는 테이블(table)(220) 및 상기 테이블(220)의 상부에 위치하여 상기 기판(100) 표면에 소정의 도포액을 분사하여 금속이나 비금속 박막을 형성시키는 적어도 하나의 노즐(230)로 이루어져 있다.
이때, 상기 스테이지(210)의 양단에는 상기 노즐(230)을 X축 방향으로 이동시키기 위한 한 쌍의 X축 이동장치(260)가 설치되어 있으며, 상기 한 쌍의 X축 이동장치(260)에는 상기 노즐(230)을 Y축 방향으로 이동시키기 위한 Y축 이동장치(265)가 설치되어 있다.
또한, 상기 각각의 노즐(230) 상부에는 도포액 저장탱크(250)에 저장된 도포액을 상기 노즐(230)로 공급하는 도포액 공급배관(240)이 연결되어 있으며, 상기 도포액 저장탱크(250)와 도포액 공급배관(240)을 통해 공급된 도포액은 노즐(230) 하단의 토출구(미도시)를 통해 기판(100) 표면으로 분사되게 된다.
이때, 상기 테이블(220) 내부에는 소정의 히터(225)가 설치될 수 있으며, 상기 히터(225)는 상기 기판(100)을 소정 온도로 가열시켜 상기 기판(100) 전면에 분사된 도포액 내의 용매를 날려 제거함으로써 상기 기판(100) 표면에 소정의 금속이나 비금속 박막을 형성하는 역할을 한다.
이와 같이 구성된 스프레이 장비(200)를 이용한 금속 및 비금속 박막의 형성방법은 진공장비를 이용한 박막 증착방법을 대체하기 위해 이용되며, 로더(미도시)를 통해 스테이지(210)의 테이블(220)로 로딩된 기판(100)은 상기 테이블(220)에 고정되게 된다.
이후, 상기 스테이지(210)에 구비된 이동장치(260, 265)가 X축 및 Y축으로 이동하면서 저장탱크(250)로부터 박막 형성을 위한 액상의 도포액을 공급받아 노즐(230)의 토출구를 통해 기판(100) 위로 분사하게 된다. 이때, 분사속도 및 분사량은 노즐(230)을 통해 조절되며, 이렇게 노즐(230)로 분사량을 조절함으로써 재료 사용의 효율성을 높일 수 있고, 필요량만 도포하기 때문에 제품 생산성을 높일 수 있다.
이때, 기판(100)에 분사된 도포액 중 박막을 형성하는 재료 외의 용매는 상기 히터(225)의 가열을 통해 휘발되어 제거되게 된다.
다만, 스프레이 장비(200)의 대기시간이 증가할 경우 노즐(230) 내 도포액이 굳거나 상기 도포액이 노즐(230) 하단의 토출구에 침전되어 상기 토출구가 막히는 현상이 발생하게 된다.
또한, 기판(100)의 대형화에 따른 노즐(230) 개수의 증가로 인해 노즐(230)간 분사영역의 중첩으로 단위 박막의 두께 및 표면 균일도가 나빠질 수 있으며, 도포액의 휘발로 인해 오염이 발생할 수 있게 된다.
이에 따라 본 발명의 실시예에 따른 노즐 내부에는 초음파 진동을 발생시키는 초음파 발생기가 설치되어 있는데, 이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 노즐의 구성을 상세히 설명한다.
도 3은 도 2에 도시된 스프레이 장비의 노즐을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 스프레이 장비의 노즐(230)은 소정의 도포액(300)을 담을 수 있는 내부공간을 가진 노즐 몸체(231)와 상기 노즐 몸체(231)의 상부에 연결되어 상기 노즐(230)에 도포액(300)을 공급하는 공급배관(240) 및 상기 노즐 몸체(231)의 하단에 설치되어 기판 표면으로 도포액(300)을 분사하는 토출구(232)로 이루어져 있다.
그리고, 상기 노즐 몸체(231)의 외곽에는 노즐(230)에서 발생하는 열을 낮추기 위해 상기 노즐 몸체(231)에 냉각수를 공급하는 냉각수 입출(入出)구(233)가 설치되어 있으며, 또한 상기 토출구(232)의 좌우에는 각각 세정액 및 분무가스가 유입되는 세정액 유입구(236) 및 분무가스 유입구(234)가 형성되어 있다.
상기 세정액 유입구(236)를 통해 토출구(232)에 유입된 세정액은 상기 토출구(232)를 세정하는 역할을 하게 되며, 상기 분무가스 유입구(234)를 통해 토출 구(232)로 유입된 분무가스는 노즐 몸체(231)의 내부공간에 저장된 도포액(300)을 토출구(232)를 통해 분사하도록 하는 역할을 한다.
이때, 도포액(300)이 담겨져 있는 상기 노즐 몸체(231)의 내부공간에는 상기 도포액(300)에 진동을 발생시키기 위한 초음파 발진기(ultrasonic generator)(235)가 설치되어 있는데, 상기 초음파 발진기(235)는 상기 노즐 몸체(231)의 내부공간에 초음파 진동을 발생시킴으로써 도포액(300)이 시간이 경과하여도 굳지 않게 하는 한편 도포액의 분산도를 일정하게 유지시키는 역할을 한다.
또한, 초음파 발진기(235)의 진동으로 인해 침전물이 발생하지 않게 되어, 그 결과 장비의 대기시간이 발생하여도 노즐(230)의 토출구(232)가 막히지 않게 된다.
참고로, 상기 초음파 발진기(235)는 일반적인 60Hz의 전기적인 에너지를 공급받아 주파수 15~1000kHz 정도의 주파수를 가진 기계적인 에너지로 변환, 증폭하여 초음파 진동 에너지를 발생시키게 한다.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 실시예에 따른 박막 형성방법을 순차적으로 나타내는 단면도이다.
도 4a에 도시된 바와 같이, 소정의 박막을 형성하기 위한 소정의 기판(100)을 히터(225)가 구비된 테이블(200) 위에 로딩(loading)한다.
이때, 상기 기판(100)은 본 발명의 목적을 저해하지 않는 한 특별히 제한되지 않으며, 유리, 석영 또는 플라스틱으로 이루어진 기판(100) 등을 사용할 수 있다.
이후, 본 발명의 노즐(230)을 통해 도포액을 스프레이 방식으로 분사하여 상기 기판(100) 전면에 소정의 도포막(300)을 형성한다.
이때, 상기 도포액을 스프레이 방식으로 분사하는 방법은 노즐(230)과 기판(100) 사이의 거리, 분사 노즐(230)의 크기 및 노즐(230) 내부에 공급되는 압력 등 여러 조건을 조절함으로써 더욱 구체화될 수 있다.
이때, 상기 도포액은 예를 들어, 금속의 박막을 형성하고자 하는 경우에는 유기금속 전구체(precursor)와 같은 금속 분말에 유기용매가 혼합된 용액으로 이루어질 수 있다. 이때, 상기 용액은 유기용매에 용해된 전이금속, Ⅲ-A족 금속, Ⅳ-A족 반도체 금속 및 Ⅱ-족 금속 등으로 이루어진 군에서 선택된 금속을 함유하는 전구체를 포함하는 액체 혼합물이다.
구체적으로, 상기 유기금속 전구체는 상기 전이금속, Ⅲ-A족 금속, Ⅳ-A족 반도체 금속 및 Ⅱ-족 금속 등으로 이루어진 군에서 선택된 금속과 리간드(ligand)로 이루어지며, 상기 금속은 환원성이 높아 열분해에 의해 최종적으로 순수 금속으로 환원되어 석출되게 된다.
상기 유기금속 전구체를 용해시키기 위해 사용할 수 있는 유기용매는 특별히 제한되지는 않으며, 알코올계 용매, 아세테이트계 용매, 니트릴계 용매, 지방족계 탄화수소 용매, 방향족계 탄화수소 용매, 케톤계 용매 또는 에테르계 용매를 사용할 수 있다.
다음으로, 소정의 도포막(300)이 형성된 기판(100)에 히터(225)를 통해 열을 가하게 되면, 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 도포막 내에 함유된 용매가 휘발됨 에 따라 순수 금속으로 이루어진 금속 박막(310)이 형성되게 된다.
여기서, 본 발명의 실시예에 따른 열 처리시, 활성화된 리간드는 중심금속을 환원시키고 유기금속 전구체 전체의 분해를 촉진하여, 유기금속 전구체는 순수 금속으로 전환되게 된다.
이후, 상기 기판(100) 상에 형성된 금속 박막(310)을 원하는 형상으로 패턴하기 위해 포토리소그래피(photolithography)공정과 식각(etching)공정을 진행하게 된다. 먼저, 도 4c에 도시된 바와 같이, 상기 금속 박막(310) 상부에 스핀 코팅과 같은 방법으로 포토레지스트(photo resist)로 이루어진 소정의 감광막(400)을 형성한다.
다음으로, 도 4d에 도시된 바와 같이, 얻고자 하는 패턴이 형성된 마스크(500)를 사용하여 자외선(ultraviolet; UV)을 상기 기판(100)에 형성된 감광막(400)에 선택적으로 조사한다.
이때, 노광(exposure)시 광 투과부를 통과한 자외선만이 감광막(400)과 반응하게 되며, 이후 상기 노광된 감광막(400)을 현상하게 되면, 도 4e에 도시된 바와 같이, 상기 광 투과부에 해당하는 감광막은 자외선과 반응하여 현상액에 의해 제거되는 한편 상기 광 비투과부는 자외선이 통과되지 않으므로 해당 영역의 감광막이 남아 소정의 감광막패턴(410)을 형성하게 된다.
다만, 상기의 경우는 포지티브 타입의 포토레지스트를 사용했기 때문이며, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며 본 발명은 네거티브 타입의 포토레지스트를 사용하는 경우에도 적용 가능하다.
이후, 도 4f에 도시된 바와 같이, 상기 감광막패턴(410)을 마스크로 이용하여 건식식각(dry etching) 또는 습식식각(wet etching)으로 상기 금속 박막을 선택적으로 제거하여 원하는 금속 박막패턴(500)을 형성한다.
이하, 상기와 같은 박막 형성방법을 이용한 액정표시장치의 제조방법을 상세히 설명한다.
액정표시장치의 제조공정은 크게 어레이 기판에 구동소자를 형성하는 구동소자 어레이공정과 컬러필터 기판에 컬러필터를 형성하는 컬러필터공정 및 셀공정으로 구분될 수 있다.
우선, 어레이공정에 의해 상기 어레이 기판에 종횡으로 배열되어 화소영역을 정의하는 복수의 게이트라인과 데이터라인을 형성하고 상기 화소영역 각각에 상기 게이트라인과 데이터라인에 접속되는 구동소자인 박막 트랜지스터를 형성한다. 또한, 상기 어레이공정을 통해 상기 박막 트랜지스터에 접속되어 박막 트랜지스터를 통해 신호가 인가됨에 따라 액정층을 구동하는 화소전극을 형성한다.
또한, 컬러필터 기판에는 컬러필터공정에 의해 컬러를 구현하는 적, 녹 및 청색의 서브컬러필터로 구성되는 컬러필터층과 공통전극을 형성한다. 이때, 횡전계(In Plane Switching; IPS)방식의 액정표시장치를 제작하는 경우에는 상기 어레이공정을 통해 상기 화소전극이 형성된 어레이 기판에 상기 공통전극을 형성하게 된다.
여기서, 상기 어레이 기판에 게이트라인과 데이터라인 및 화소전극 등과 같은 금속 박막패턴을 형성하는 경우 및 상기 컬러필터 기판에 컬러필터와 같은 유기 박막패턴을 형성하는 경우에는 전술한 본 발명에 따른 스프레이 장비를 이용할 수 있다.
이어서, 상기 어레이 기판과 컬러필터 기판에 각각 배향막을 도포한 후 어레이 기판과 컬러필터 기판 사이에 형성되는 액정층의 액정분자에 배향규제력 또는 표면고정력(즉, 프리틸트각(pretilt angle)과 배향방향)을 제공하기 위해 상기 배향막을 배향 처리한다.
그리고, 셀갭을 일정하게 유지하기 위한 스페이서가 형성되고 상기 컬러필터 기판의 외곽부에는 실링재가 도포된 후 상기 어레이 기판과 컬러필터 기판에 압력을 가하여 합착하게 된다.
한편, 상기 어레이 기판과 컬러필터 기판은 대면적의 모기판으로 이루어져 있다. 다시 말해서, 대면적의 모기판에 복수의 패널영역이 형성되고, 상기 패널영역 각각에 구동소자인 박막 트랜지스터 및 컬러필터층이 형성되기 때문에 낱개의 액정표시패널을 제작하기 위해서는 상기 모기판을 절단, 가공해야만 한다.
이후, 상기와 같이 가공된 개개의 액정표시패널에 액정주입구를 통해 액정을 주입하고 상기 액정주입구를 봉지하여 액정층을 형성한 후 각 액정패널을 검사함으로써 액정표시패널을 제작하게 된다.
이때, 상기 액정의 주입은 압력 차를 이용한 진공주입방식을 사용하는데, 상기 진공주입방식은 대면적의 모기판으로부터 분리된 단위 액정표시패널의 액정주입구를 일정한 진공이 설정된 챔버 내에서 액정이 채워진 용기에 침액시킨 다음 진공 정도를 변화시킴으로써, 상기 액정표시패널 내부 및 외부의 압력 차에 의해 액정을 액정표시패널 내부로 주입시키는 방식으로, 이와 같이 액정이 액정표시패널 내부에 충진 되면, 액정주입구를 밀봉시켜 액정표시패널의 액정층을 형성한다. 따라서, 상기 액정표시패널에 진공주입 방식을 통해 액정층을 형성하는 경우에는 실 패턴의 일부가 개방되도록 형성하여 액정주입구의 기능을 갖도록 하여야 한다.
다른 방법으로 적하방식을 이용한 경우에는 배향막을 형성한 후, 상기 컬러필터 기판에 실런트로 소정의 실 패턴을 형성하는 동시에 상기 어레이 기판에 액정층을 형성하게 된다.
상기 적하방식은 디스펜서를 이용하여 복수의 어레이 기판이 배치된 대면적의 제 1 모기판이나 또는 복수의 컬러필터 기판이 배치된 제 2 모기판의 화상표시 영역에 액정을 적하 및 분배(dispensing)하고, 상기 제 1, 제 2 모기판을 합착하는 압력에 의해 액정을 화상표시 영역 전체에 균일하게 분포되도록 함으로써, 액정층을 형성하는 방식이다.
따라서, 상기 액정표시패널에 적하 방식을 통해 액정층을 형성하는 경우에는 액정이 화상표시 영역 외부로 누설되는 것을 방지할 수 있도록 실 패턴이 화소부 영역 외곽을 감싸는 폐쇄된 패턴으로 형성되어야 한다.
이후, 상기와 같이 액정이 적하되고 실링재가 도포된 상기 어레이 기판과 컬러필터 기판을 정렬한 상태에서 압력을 가하여 상기 실링재에 의해 상기 어레이 기판과 컬러필터 기판을 합착함과 동시에 압력의 인가에 의해 적하된 액정을 액정표시패널 전체에 걸쳐 균일하게 퍼지게 한다. 이와 같은 공정에 의해 대면적의 모기판에는 액정층이 형성된 복수의 액정표시패널이 형성되며, 이 유리기판을 가공, 절 단하여 복수의 액정표시패널로 분리하고 각각의 액정표시패널을 검사함으로써 액정표시패널을 제작하게 된다.
상기한 설명에 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나 이것은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 따라서 발명은 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다.
도 1은 일반적인 액정표시장치를 개략적으로 나타내는 분해사시도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 스프레이 장비의 구조를 개략적으로 나타내는 단면도.
도 3은 도 2에 도시된 스프레이 장비의 노즐을 개략적으로 나타내는 단면도.
도 4a 내지 도 4f는 본 발명의 실시예에 따른 박막 형성방법을 순차적으로 나타내는 단면도.
** 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 **
100 : 기판 200 : 스프레이 장비
210 : 스테이지 220 : 테이블
225 : 히터 230 : 노즐
231 : 노즐 몸체 232 : 토출구
233 : 냉각수 입출(入出)구 234 : 분무가스 유입구
235 : 초음파 발진기 236 : 세정액 유입구

Claims (7)

  1. 스테이지에 설치되어 기판을 고정시키는 테이블;
    상기 테이블의 상부에 위치하여 상기 기판 표면에 소정의 도포액을 분사하는 적어도 하나의 노즐; 및
    상기 노즐의 내부공간에 설치되어 상기 노즐의 내부공간에 담겨 있는 도포액에 초음파 진동을 가하는 초음파 발진기를 포함하는 액정표시장치의 스프레이 장비.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 스테이지에 설치되어 상기 노즐을 X축 방향 및 Y축 방향으로 각각 이동시키는 X축 이동장치 및 Y축 이동장치를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 스프레이 장비.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 테이블 내에 설치되어 상기 기판을 가열하여 상기 도포액 내의 용매를 날려 상기 기판 표면에 소정의 금속이나 비금속 박막을 남기는 히터를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 스프레이 장비.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 노즐은
    상기 도포액을 담을 수 있는 내부공간을 가진 노즐 몸체;
    상기 노즐 몸체의 상부에 연결되어 상기 노즐에 도포액을 공급하는 공급배 관; 및
    상기 노즐 몸체의 하단에 설치되어 상기 기판 표면에 도포액을 분사하는 토출구를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 스프레이 장비.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 초음파 발진기는 상기 도포액에 15~1000kHz의 초음파 진동을 가하는 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 스프레이 장비.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 도포액은 금속 분말에 유기용매가 혼합된 용액인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 스프레이 장비.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 금속 분말은 유기금속 전구체인 것을 특징으로 하는 액정표시장치의 스프레이 장비.
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